【課題】緻密かつ均一な膜を高い成膜速度にて形成することができる成膜装置及び成膜方法を提供すること。
【解決手段】成膜対象となる基材５を配置する真空槽１１内にプラズマを発生するプラズマ発生手段２と、プラズマ発生手段２によって発生させたプラズマを基材５の周辺の閉込め空間に閉じ込めるマルチカスプ磁界を形成するマルチカスプ磁界発生手段３と、基材５を保持すると共に閉込め空間の中心近傍を中心軸として回転する保持回転手段４とを有することを特徴とする成膜装置１。真空槽１１内に、プラズマを発生させると共に、プラズマを基材５の周辺の閉込め空間に閉じ込めるマルチカスプ磁界を形成し、基材５を閉込め空間の中心近傍を中心軸として回転させながら、基材５の表面に成膜を行うことを特徴とする成膜方法。 （もっと読む）

【課題】プラズマ化した反応性ガスの照射領域を微小な所望の範囲に設定できかつ高い処理効率にてプラズマ処理を行うことができる大気圧プラズマ発生方法と装置を提供する。
【解決手段】両端が開口した反応容器２の一端２ａから不活性ガス５を供給し、反応容器２内の反応空間に高周波電界を印加して不活性ガス５をプラズマ化し、反応容器２の他端２ｂから不活性ガスプラズマ流６を吹き出し、この不活性ガスプラズマ流６の一側に隣接して一部重なるように反応性ガス流９を形成し、不活性ガスプラズマ流６と反応性ガス流９が重なった境界部１０でガス混合を行って反応性ガス８をプラズマ化し、プラズマ化した反応性ガスを照射するようにした。 （もっと読む）

【課題】常圧で密閉及び開放構造のいずれでも処理でき、瞬間加熱によって処理時間を低減でき、収率向上及び費用節減が図れ、高温処理時間短縮によって基板の熱膨張および収縮による損傷を最小限にとどめて不良率を減少させ、基板上に実現される構造物形成材料層の緻密度を向上できる熱処理炉、平板表示素子装置およびそれによって製造される平板表示素子を提供する。
【解決手段】平板表示素子製造のためのパネル４０４に形成される構造物形成材料層に熱処理をして必要な構造物を形成する平板表示素子製造用熱処理炉４０２は、前記熱処理炉は、マイクロウェーブを発生させるマグネトロン；前記マグネトロンで発生したマイクロウェーブを伝達する導波管；および、前記マイクロウェーブとガスによってマイクロウェーブプラズマ３０６を形成して、前記パネルに照射されるように放出する放電管を含む。 （もっと読む）

航空機は気流が通過する表面を含む。プラズマアクチュエータは、前記表面上にプラズマを発生するように構成され、前記プラズマは前記表面から気流の剥離を低減するために有向運動量を前記表面周囲の空気へと結合させる。航空機の表面からの気流の剥離を低減する方法は、前記気流がプラズマが存在しない場合に前記表面から剥離するであろう位置で前記表面周囲の空気中に前記プラズマを発生するステップを含む。 （もっと読む）

【課題】整合回路や位相回路を構成するリアクタンス素子の発熱を防止してプラズマを安定して効率的に発生させかつコンパクトな構成を実現する。
【解決手段】アンテナと、アンテナの近傍に配置され、一端にガスＧが供給される放電管８と、アンテナにＶＨＦ周波数帯の高周波電力を供給する高周波電源と、アンテナと高周波電源の間に設けられた整合回路や位相回路を備えた大気圧プラズマ発生装置１において、アンテナを第１の基板２上に配置するとともに、第１の基板２上に第２、第３の基板３、４を積層して積層基板５を構成し、アンテナを第１と第２の基板２、３の間に挟み、整合回路や位相回路を構成する平面状のリアクタンス素子を第２と第３の基板３、４の間に挟んで配置した。 （もっと読む）

【課題】 大気圧下で又は大気圧付近の圧力で、マイクロ波電力により低温の非熱平衡プラズマを安定して、ノズルから吹き出させ、被加工物にプラズマを使用したＣＶＤ（化学蒸着）、エッチング、アッシング、被加工物に溶断又は溶接、表面改質等の材料プロセシングを行う吹き出し形マイクロ波励起プラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】 マイクロ波をマイクロ波入力部３１から誘電体基板３に導入させ、誘電体基板３の一方の面に設けあられたマイクロストリップ線路１及びテーパー形状の導体１１と他方の面に設けられたアース導体２との間を伝播させ、テーパー形状の導体１１とアース導体２となる誘電体基板３の端部の断面であるマイクロ波出力部５５から補助電極２０が設けられた誘電体ガス管２５に放射させ、誘電体ガス管２５の内部にマイクロ波の電界を集中させ、誘電体ガス管２５の一方の端部に設けられたノズルから吹き出すプラズマを発生させる吹き出し形マイクロ波励起プラズマ処理装置。 （もっと読む）

【課題】飲食品の表面を迅速に焼き上げる調理方法および調理器を提供することを目的とする。それにより、例えば、グラタン又はピザの表面のチーズを溶かす、パイの外皮のクリスピーな食感を出す、餃子などの麺帯食品にクリスピーな食感と焼き立ての風味を付与する、おむすびの表面におこげを作る、肉類の旨みを閉じ込める等の調理が可能な方法および調理器を提供することを目的とする。
【解決手段】吹き出し形プラズマ発生装置１と、同軸ケーブル３と、ガス管４と、同軸導波管変換器５と、マイクロ波伝播方向変換器６と、送風機７と、ガス導入口８と、ガス排気口９と、前記の吹き出し形プラズマ発生装置の格納室２２と、前記のプラズマ発生装置を支持する支持棒２３と、前記の支持棒の長さおよび平面の位置を制御するコントロール器２４を備える電子レンジ。 （もっと読む）

【課題】
本発明は有害ガスなどを処理する平板型低温プラズマ反応器に関し、誘電体障壁放電方式の平板型低温プラズマ反応器の熱応力による耐久性を大きく向上させることができ、車両など処理すべきガスの温度変化範囲が広く、時間に対する変化量も大きい環境でも安定的に低温プラズマを発生させることができるのはもちろん、高電圧積層部の電極リード部分をそれぞれの高電圧電極板に個別に構成することで、アークなど異常放電による過電流をそれぞれの電極端子に個別付着されたヒューズなどで遮断し、全体性能に問題がない限り少数の問題が発生したプラズマ層に電力を供給しないようにして全体反応器の寿命を延長させることができる効果がある。
【解決手段】
本発明は多層平板電極を具備した誘電体障壁放電方式の平板型低温プラズマ反応装置において、高電圧の電源が印加され、スペーサを介して積層されて相互一定に離隔される多数の高電圧電極板を含み、上記高電圧電極板とスペーサが融着接合されてなる高電圧積層部と、 接地端子と連結されて上記高電圧電極板間にそれぞれ位置するように相互離隔される多数の接地電極板と、上記接地電極板と高電圧電極板間に反応空間が形成されるように上記接地電極板と高電圧電極板間にそれぞれ介在される多数のスペーサを含む接地電極積層部と、上記高電圧電極板と上記接地電極積層部の接地電極板及びスペーサにそれぞれ形成される貫通ホールを介して貫通されて突出した一側端にナットが締結されて上記高電圧電極板、接地電極板及びスペーサが結合されるようにするが、結合された部位に熱による変形量を吸収するための遊隙が形成されるようにその外径が上記貫通ホールの直径よりも相対的に小さく形成された締結ボルトを含んで構成されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電極の冷却を効率よく行うことができる、放電処理装置を提供する。
【解決手段】電極の少なくとも一つは、（１）放電面となる外周面を有する周壁１２と、周壁１２の両端からそれぞれ連続する側壁２８，３８とを少なくとも含み、内部に中空空間が形成される電極本体と、（２）電極本体の中空空間内に配置され、電極本体の周壁１２と側壁２８，３８との間に密閉空間５１，５３，５５を形成する内側部材５０，５２，５４と、（３）密閉空間の二つの側壁側５３，５５にそれぞれ連通する第１冷媒路４２，３７，３２，３４及び第２冷媒路４４，２６とを備える。 （もっと読む）

【課題】安定したプラズマを長時間出力する。
【解決手段】マイク３９は、プラズマ発生ノズル３１から放出されるプラズマの音を測定する。バイアス電流調整部９０１は、マイク３９により測定された音の波形の１周期の最後の１／４周期の積算値を求め、求めた積算値が、上限基準データより大きい場合は、バイアス電流を下げ、求めた積算値が、下限基準データよりも小さい場合は、バイアス電流を上げる。これにより長時間安定したプラズマを放出することができる。 （もっと読む）