ウエハトレイ、それを用いた検査装置および検査方法
【課題】ウエハスケールレンズおよびウエハスケールカメラモジュールを、ウエハレベルで検査するトレイを用いることによって、検査時間を短縮する方法の提供。
【解決手段】検査装置１００は、遮光筺体１０４内に、検査対象となるウエハスケールレンズ２を保持するウエハトレイ１と、テスト用の被写体１０１と、検査用のマスターチップである受光部１０３と、受光部１０３を保持する保持台１０２とを備えている。検査装置１００は、被写体１０１と、受光部１０３との間に配置されたウエハスケールレンズ２の撮像テストを、ウエハレベルで行う。
【解決手段】検査装置１００は、遮光筺体１０４内に、検査対象となるウエハスケールレンズ２を保持するウエハトレイ１と、テスト用の被写体１０１と、検査用のマスターチップである受光部１０３と、受光部１０３を保持する保持台１０２とを備えている。検査装置１００は、被写体１０１と、受光部１０３との間に配置されたウエハスケールレンズ２の撮像テストを、ウエハレベルで行う。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハトレイ、それを用いた検査装置および検査方法に関し、より詳細には、ウエハスケールレンズまたはウエハスケールカメラモジュール用のウエハトレイ、そのウエハトレイを用いたウエハスケールレンズまたはウエハスケールカメラモジュールの検査装置および検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
デジタルスチルカメラ、カメラ付携帯電話、監視カメラなどの普及に伴い、それらに使用される固体撮像装置（カメラモジュール）の需要も増大し、且つ、適用の必要性から小型化、高信頼性、コストダウンの要求が高まっている。そのような要求を満たすカメラモジュールの製造方法として、半導体チップである撮像素子に、ウエハ状態のままレンズを搭載したウエハスケールパッケージ化することが提案されている。
【０００３】
例えば、特許文献１および特許文献２には、複数のカメラモジュールを、ウエハスケールパッケージ化することによって、ウエハスケールでカメラモジュールを製造する方法が開示されている。この方法を採用すると、カメラモジュールへの実装部品数を低減すると共に、半導体チップに光学レンズを直接実装する事ができる。その結果、カメラモジュールを個々に製造する場合に生じる組み立てばらつき、および、その組み立てばらつきが原因となるレンズの集光能力低下を招くことなく、カメラモジュールの実装サイズの小型化を図ることが可能になる。
【０００４】
一方、製造されたカメラモジュールの出荷前には、カメラモジュールの評価が行われる。例えば、特許文献３には、イメージセンサパッケージの良否を、カメラモジュールに組み付ける前に評価する検査方法が開示されている。この検査方法では、ウエハスケールのイメージセンサパッケージを、個々のイメージセンサパッケージに個片化（分離）した後、イメージセンサパッケージを１つ１つ検査する。
【０００５】
また、特許文献４には、カメラモジュールの分野ではないものの、ＩＣパッケージの検査方法が開示されている。この検査方法でも、個々に分離されたＩＣパッケージを、１つ１つ検査する。さらに、この検査方法では、ＩＣパッケージが、加圧された状態で検査が行われる。
【０００６】
一方、特許文献５には、カメラモジュールに適用されるレンズの検査方法が開示されている。この検査方法でも、個々に分離されたレンズを、１つ１つ検査する。
【特許文献１】特表２００５−５３９２７６号公報（２００５年１２月２２日公表）
【特許文献２】特開２００４−６３７５１号公報（２００４年２月２６日公開）
【特許文献３】特開２００７−１６３４５３号公報（２００７年６月２８日公開）
【特許文献４】特開平７−１２８９４号公報（１９９５年１月１７日公開）
【特許文献５】特開２００５−３３１３４５号公報（２００５年１２月２日公開）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の検査方法は、ウエハスケールのカメラモジュールまたはレンズを、個片化した後検査するため、検査時間が非常に長いという問題がある。
【０００８】
具体的には、特許文献１および特許文献２に開示されたウエハスケールカメラモジュールまたはそのカメラモジュールに適用されるウエハスケールレンズのコストダウンを図るため、特許文献３〜５の方法を用いて、出荷判定のための撮像テスト（検査）を高効率化するとする。
【０００９】
例えば、特許文献３の検査方法を適用した場合、まず、個片化されたカメラモジュールが収納されたトレイから、カメラモジュールを１つずつ移送ユニットによって載置ユニットに移し替える。次に、載置ユニットの上部に設置された検査用チャート（被写体）および光源によって、撮像テストを行うことになる。しかし、この検査方法では、検査前に、ウエハスケールカメラモジュールを個片化する必要がある上、個片化したカメラモジュールも、１〜数個ずつ程度しかテストできない。このため、載置ユニットへの搬送時間も、テスト時間も非常に長くなる。
【００１０】
一方、特許文献４の検査方法は、ＩＣパッケージの検査方法であって、カメラモジュールの検査方法ではない。このため、カメラモジュールに適用することはできない。仮に適用したとすると、特許文献４の検査方法は、個片化されたカメラモジュールを複数個トレイに収納した状態で、テストが可能である。このため、移送ユニットによりカメラモジュールを１つずつ搬送する特許文献３の検査方法に比べると、処理能力は向上するとも考えられる。しかし、特許文献４の検査方法を適用した場合、ウエハスケールカメラモジュールの上部に、ウエハスケールカメラモジュールを加圧するためのコンタクトプッシャーが配置される。このため、コンタクトプッシャーが、邪魔になって、カメラモジュールの上面に設置された検査用チャートや光源を撮像することができない。このため、特許文献４の検査方法は、カメラモジュールの検査に適用することはできない。
【００１１】
また、特許文献５の検査方法を適用した場合、特許文献３と同様に、検査前に、ウエハスケールカメラモジュールを個片化する必要がある。このため、個片化されたカメラモジュールを検査場所へ搬送する搬送時間も、テスト時間も非常に長くなる。
【００１２】
このように、特許文献３〜５の検査方法を、ウエハスケールカメラモジュールに適用すると、ウエハ状態のカメラモジュールを、個々のカメラモジュールに分離した後、検査する必要がある。従って、搬送時間が長く、検査効率も悪くなるため、検査時間が非常に長いという問題がある。このような問題は、カメラモジュールに適用されるレンズを複数有するウエハスケールレンズを検査する場合にも生じる。
【００１３】
そこで、本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、ウエハスケールレンズおよびウエハスケールカメラモジュールを、ウエハレベルで検査することによって、検査時間を短縮できるウエハトレイ、それを用いた検査装置および検査方法を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明のウエハトレイは、上記の課題を解決するために、カメラモジュールに用いられるレンズを複数有するウエハスケールレンズを保持し、ウエハスケールレンズの検査装置に用いられるウエハトレイであって、
ウエハスケールレンズを保持した状態で、検査対象となるレンズの評価ができるようになっていることを特徴としている。
【００１５】
上記の発明によれば、ウエハスケールレンズの撮像テストを、ウエハ状態で行う。つまり、ウエハスケールレンズを個々のレンズに分離する前に、撮像テストを行う。これにより、分離した個々のレンズを検査装置に搬送する必要がなくなる。しかも、多数のレンズを同時に検査することができる。従って、ウエハスケールレンズの検査効率を高め、検査時間を飛躍的に短縮することができる。
【００１６】
本発明のウエハトレイでは、ウエハスケールレンズが挟持される２枚のトレイを備えており、各トレイには開口が形成されており、レンズ光学部が形成されたウエハスケールレンズのおもて面に接するトレイに形成された開口内に、レンズ光学部が配置される一方、ウエハスケールレンズの裏面に接するトレイに形成された開口内に、検査用の受光部が配置されるように、ウエハスケールレンズが保持されていてもよい。
【００１７】
上記の発明によれば、２枚のトレイにウエハスケールレンズが挟持される。また、各トレイには、開口が形成されているため、ウエハスケールレンズを挟持した状態で、ウエハスケールレンズの撮像テストを行うことができる。
【００１８】
本発明のウエハトレイでは、ウエハスケールレンズのおもて面に接するトレイに形成された開口内に、レンズの画角が確保されることが好ましい。上記の発明によれば、ウエハスケールレンズのおもて面に接するトレイに、レンズの画角を妨げない大きさの開口が形成されている。このため、レンズによる撮影は、開口によって妨げられない。従って、正確な撮像テストを行うことができる。
【００１９】
本発明のウエハトレイでは、レンズ光学部が形成されたウエハスケールレンズのおもて面に接するトレイが、遮光性を有することが好ましい。上記の発明によれば、遮光性を有するトレイによって、画角外の光が遮断または吸収される。これにより、画角外の光の進入および画角外の光の乱反射を防ぐことができる。従って、正確な撮像テストを行うことができる。
【００２０】
本発明のウエハトレイでは、ウエハスケールレンズが、吸着保持されてもよい。これにより、ウエハスケールレンズの製造工程時に発生した反りやあおりを、矯正及び吸収する事ができる。このため、撮像テストで重要な画角ズレ等軽減できる。従って、正確な撮像テストを実施する事ができる。
【００２１】
本発明のウエハトレイでは、レンズ光学部が形成されたウエハスケールレンズのおもて面に接する吸着口を備えており、上記吸着口は、レンズ光学部を避けて形成されていてもよい。上記の発明によれば、吸着口が、レンズ光学部を避けて形成されている。つまり、吸着口は、平坦部に形成されている。従って、ウエハスケールレンズを確実に吸着保持することができる。
【００２２】
本発明のウエハトレイでは、上記吸着口は、互いに隣接するレンズ間を仕切るように形成されていることが好ましい。これにより、ウエハスケールレンズに形成されたレンズを均一に保持することができる。
【００２３】
本発明のウエハトレイでは、上記吸着口が、遮光性を有することが好ましい。上記の発明によれば、遮光性を有する吸着口によって、画角外の光が遮断または吸収される。これにより、画角外の光の進入および画角外の光の乱反射を防ぐことができる。従って、正確な撮像テストを行うことができる。
【００２４】
本発明のウエハトレイでは、レンズ光学部が形成されたウエハスケールレンズのおもて面のみが、吸着保持されることが好ましい。これにより、ウエハトレイの構成を簡素化することができる。また、ウエハスケールレンズの裏面から受光部を接近または接触させやすくなるため、検査装置の構成を簡素化することもできる。
【００２５】
本発明のウエハトレイでは、ウエハスケールレンズの位置合わせのための位置決めガイドを備えることが好ましい。これにより、ウエハトレイの正確な位置に、ウエハスケールレンズを装着することができる。従って、ウエハスケールレンズに傷を付けずに、ウエハスケールレンズを装着および搬送することができる。
【００２６】
本発明の検査装置は、前記いずれかのウエハトレイを備えることを特徴としている。また、本発明の検査方法は、前記いずれかのウエハトレイを用いて、ウエハレベルでウエハスケールレンズを評価することを特徴としている。従って、ウエハスケールレンズの検査効率を高め、検査時間を飛躍的に短縮することができる。
【００２７】
本発明のウエハトレイは、上記の課題を解決するために、レンズと固体撮像素子とを備え、裏面に電極部が形成されたカメラモジュールを複数有するウエハスケールカメラモジュールを保持し、カメラモジュールの検査装置に用いられるウエハトレイであって、
カメラモジュールを保持した状態で、検査対象となるカメラモジュールのレンズが被写体を撮影する一方、電極部に検査用のコンタクトピンが接触できるようになっていることを特徴としている。
【００２８】
上記の発明によれば、ウエハスケールカメラモジュールの撮像テストを、ウエハ状態で行う。つまり、ウエハスケールカメラモジュールを個々のカメラモジュールに分離する前に、撮像テストを行う。これにより、分離した個々のカメラモジュールを検査装置に搬送する必要がなくなる。しかも、多数のカメラモジュールを同時に検査することができる。従って、ウエハスケールカメラモジュールの検査効率を高め、検査時間を飛躍的に短縮することができる。
【００２９】
本発明のウエハトレイでは、ウエハスケールカメラモジュールが挟持される２枚のトレイを備えており、
各トレイには開口が形成されており、
レンズが形成されたウエハスケールカメラモジュールのおもて面に接するトレイに形成された開口内に、レンズ光学部が配置される一方、ウエハスケールカメラモジュールの裏面に接するトレイに形成された開口内に、検査用のコンタクトピンが配置されるように、ウエハスケールカメラモジュールが保持されていてもよい。
【００３０】
上記の発明によれば、２枚のトレイにウエハスケールカメラモジュールが挟持される。また、各トレイには、開口が形成されているため、ウエハスケールカメラモジュールを挟持した状態で、ウエハスケールカメラモジュールの撮像テストを行うことができる。
【００３１】
本発明のウエハトレイでは、ウエハスケールカメラモジュールのおもて面に接するトレイに形成された開口内に、レンズの画角が確保されることが好ましい。上記の発明によれば、ウエハスケールレンズのおもて面に接するトレイに、レンズの画角を妨げない大きさの開口が形成されている。このため、レンズによる撮影は、開口によって妨げられない。従って、正確な撮像テストを行うことができる。
【００３２】
本発明のウエハトレイでは、レンズが形成されたウエハスケールカメラモジュールのおもて面に接するトレイが、遮光性を有することが好ましい。上記の発明によれば、遮光性を有するトレイによって、画角外の光が遮断または吸収される。これにより、画角外の光の進入および画角外の光の乱反射を防ぐことができる。従って、正確な撮像テストを行うことができる。
【００３３】
本発明のウエハトレイでは、ウエハスケールカメラモジュールが、吸着保持されてもよい。これにより、ウエハスケールカメラモジュールの製造工程時に発生した反りやあおりを、矯正及び吸収する事ができる。このため、撮像テストで重要な画角ズレ等軽減できる。従って、正確な撮像テストを実施する事ができる。
【００３４】
本発明のウエハトレイでは、レンズが形成されたウエハスケールカメラモジュールのおもて面に接する吸着口を備えており、上記吸着口は、レンズ光学部を避けて形成されていることが好ましい。上記の発明によれば、吸着口が、レンズ光学部を避けて形成されている。つまり、吸着口は、平坦部に形成されている。従って、ウエハスケールカメラモジュールを確実に吸着保持することができる。
【００３５】
本発明のウエハトレイでは、上記吸着口は、互いに隣接するカメラモジュール間を仕切るように形成されていることが好ましい。これにより、ウエハスケールカメラモジュールに形成されたレンズを均一に保持することができる。
【００３６】
本発明のウエハトレイでは、上記吸着口が、遮光性を有することが好ましい。上記の発明によれば、遮光性を有する吸着口によって、画角外の光が遮断または吸収される。これにより、画角外の光の進入および画角外の光の乱反射を防ぐことができる。従って、正確な撮像テストを行うことができる。
【００３７】
本発明のウエハトレイでは、レンズが形成されたウエハスケールカメラモジュールのおもて面のみが、吸着保持されることが好ましい。これにより、ウエハトレイの構成を簡素化することができる。また、ウエハスケールカメラモジュールの裏面からコンタクトピンを接触させやすくなるため、検査装置の構成を簡素化することもできる。
【００３８】
本発明のウエハトレイでは、電極部が形成されたウエハスケールカメラモジュールの裏面に接する吸着口を備えており、上記吸着口は、電極部を避けて形成されていてもよい。
【００３９】
上記の発明によれば、吸着口が、電極部を避けて形成されている。つまり、吸着口は、平坦部に形成されている。従って、ウエハスケールカメラモジュールを確実に吸着保持することができる。また、電極部のコンタクタ加重によるそりを吸収しウエハの割れを防止できる。
【００４０】
本発明のウエハトレイでは、ウエハスケールカメラモジュールの裏面のみが、吸着保持されることが好ましい。これにより、ウエハスケールカメラモジュールの裏面からそりを吸収しウエハの割れを防止できる。
【００４１】
本発明のウエハトレイでは、ウエハスケールカメラモジュールの位置合わせのための位置決めガイドを備えることが好ましい。これにより、ウエハトレイの正確な位置に、ウエハスケールカメラモジュールを装着することができる。従って、ウエハスケールカメラモジュールに傷を付けずに、ウエハスケールカメラモジュールを装着および搬送することができる。
【００４２】
本発明の検査装置は、前記いずれかのウエハトレイを備えることを特徴としている。また、本発明の検査方法は、前記いずれかのウエハトレイを用いて、ウエハレベルでウエハスケールカメラモジュールを評価するることを特徴としている。従って、ウエハスケールカメラモジュールの検査効率を高め、検査時間を飛躍的に短縮することができる。
【００４３】
請求項１１〜２０のいずれか１項に記載のウエハトレイを用いて、ウエハレベルでウエハスケールレンズを評価することを特徴とするウエハスケールレンズの検査方法。
【発明の効果】
【００４４】
本発明のウエハトレイは、以上のように、ウエハスケールレンズまたはウエハスケールカメラモジュールを保持した状態で、検査対象となるウエハスケールレンズまたはウエハスケールカメラモジュールの評価ができる構成である。それゆえ、ウエハスケールレンズまたはウエハスケールカメラモジュールの検査効率を高め、検査時間を飛躍的に短縮することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４５】
以下、本発明の実施の形態について、図１〜図１３に基づいて説明する。
【００４６】
〔実施の形態１〕
本実施形態では、図１〜図５に基づき、ウエハスケールレンズの撮像テストを、ウエハレベルで行う検査方法について説明する。図３は、本実施形態のウエハトレイを備えた撮像テスト装置（検査装置）の概略図である。
【００４７】
図３のように、本実施形態の検査装置１００は、遮光筺体１０４内に、検査対象となるウエハスケールレンズ２を保持するウエハトレイ１と、テスト用の被写体１０１と、検査用のマスターチップである受光部１０３と、受光部１０３を保持する保持台１０２とを備えている。検査装置１００は、被写体１０１と、受光部１０３との間に配置されたウエハスケールレンズ２の撮像テストを、ウエハレベルで行う。
【００４８】
ウエハスケールレンズ２の撮像テストは、まず、ウエハスケールレンズ２に形成された各レンズによって被写体１０１を撮影する。一方、ウエハスケールレンズ２の裏面に受光部１０３を接近または接触させて、検査対象となるレンズによって撮影された被写体１０１を、受光部１０３で受光する。そして、受光部１０３から出力された画像データに基づき、レンズの性能を評価する。つまり、検査装置１００は、受光部１０３を用いることにより、ウエハスケールレンズ２を完成品のカメラモジュールと見立てて撮像テストを行う。このため、完成品のカメラモジュールを形成したときと同じ条件で、評価できる。
【００４９】
このように、検査装置１００では、ウエハトレイ１を用いることによって、ウエハスケールレンズ２の撮像テストを、ウエハ状態で行う。つまり、ウエハスケールレンズ２を個々のレンズに分離する前に、撮像テストを行う。これにより、個々のレンズを検査装置１００に搬送する必要がなくなる。しかも、多数のレンズを同時に検査することができる。従って、検査効率を高め、検査時間を飛躍的に短縮することができる。
【００５０】
ここで、ウエハトレイ１について具体的に説明する。図１は、本実施形態のウエハトレイ１の斜視図であって、（ａ）開状態のウエハトレイ１、（ｂ）は閉状態のウエハトレイ１を示している。図１（ａ）のように、ウエハトレイ１は、２枚のトレイ（上トレイ１１，下トレイ１２）によって、１枚のウエハスケールレンズ２を挟持するようになっている。
【００５１】
ウエハスケールレンズ２は、複数のレンズ２０を有している。図２は、ウエハスケールレンズ２が有するレンズ２０の断面図である。レンズ２０は、おもて面に凸状のレンズ光学部（レンズ光学面）２１が形成されており、このレンズ光学部２１が実質的にレンズとして機能する。なお、レンズ光学部２１が形成されているため、レンズ２０のおもて面は凹凸形状となっている。
【００５２】
なお、図１（ａ）のように、ウエハスケールレンズ２の外縁部にはノッチ２ａが形成されている。そして、ウエハトレイ１の下トレイ１２には、このノッチ２ａに対応する位置決めガイド１２ａが形成されている。これにより、図１（ｂ）のように、ウエハトレイ１が閉状態になると、ノッチ２ａと位置決めガイド１２ａとが互いに嵌合することによって、下トレイ１２上の正確な位置に、ウエハスケールレンズ２が配置される。
【００５３】
上トレイ１１および下トレイ１２は、ウエハスケールレンズ２の保持領域に、各トレイ１１，１２を貫通した網目状（格子状）の開口が形成されている。具体的には、図４は、ウエハトレイ１の閉状態を示す断面図である。図４のように、ウエハトレイ１の上トレイ１１には開口１５が、下トレイ１２には開口１６が形成される。上トレイ１１に形成された開口１５の面積（網目の大きさ）は、各レンズ２０に対応する大きさである。このため、ウエハトレイ１では、隣接するレンズ２０（光学レンズ部２１）間が、仕切り１７ａによって仕切られている。この仕切り１７ａは、レンズ光学部２１の画角２３の範囲外に設けられている。本実施形態では、テーパ構造の仕切り１７ａを有しており、レンズ光学部２１から離れるにつれて仕切り１７ａの幅（太さ）が狭く（細く）なっている。
【００５４】
このように、上トレイ１１には開口１５が形成されているため、ウエハスケールレンズ２の各レンズ光学部２１が、開口１５から露出する。従って、上述の検査装置１００による撮像テストの際には、ウエハトレイ１に保持されたウエハスケールレンズ２が被写体１０１を撮影できる。
【００５５】
また、本実施形態では、上トレイ１１に形成された開口１５内に、レンズ２１の画角２３が確保されている。つまり、本実施形態では、上トレイ１１に、レンズ２１の画角２３を妨げない大きさの開口１５が形成されている。このため、レンズ２１による撮影は、開口１５によって妨げられない。従って、正確な撮像テストを行うことができる。
【００５６】
一方、下トレイ１２に形成された開口１６は、撮像テストの際に、ウエハスケールレンズ２が受光部１０３にアクセスできる程度の大きさであればよい。本実施形態では、隣接するレンズ２０間が、仕切り１７ｂによって仕切られている。これにより、図４のように、撮像テストの際には、保持台１０２に保持された受光部１０３が、接近または接触することによって、ウエハスケールレンズ２が被写体１０１を撮像できる。
【００５７】
このように、上トレイ１１および下トレイ１２には、開口１５，１６が形成されているため、ウエハトレイ１を閉状態としても、ウエハスケールレンズ２の両面にアクセスできる。従って、ウエハレベルでの撮像テストが可能となる。
【００５８】
なお、図４のように、ウエハトレイ１は、外側部に開閉支点１３を備えており、この開閉支点１３を軸にして、各トレイ１１，１２の開閉動作が可能になっている。また、ウエハトレイ１の閉状態は、止め具１４によって固定される。また、下トレイ１２は、ウエハスケールレンズ２の底面および側面に接触するようになっており、位置決め機能も有する。
【００５９】
また、ウエハスケールレンズ２を確実に保持する上では、仕切り１７ａ，１７ｂを隣接するレンズ２０間に形成することが好ましい。ただし、仕切り１７ａ，１７ｂは、隣接するレンズ２０間に形成することに限定されるものではなく、ウエハスケールレンズ２を十分に保持さえできれば、数個のレンズ２０ごとに間隔をあけて形成してもよいし、全く形成しなくてもよい。
【００６０】
さらに、より正確な撮像テストを行う上では、ウエハスケールレンズ２のおもて面に接する上トレイ１１が、遮光性を有することが好ましい。言い換えれば、仕切り１７ａが、遮光性を有することが好ましい。上トレイ１１（仕切り１７ａ）が遮光性を有していれば、上トレイ１１（仕切り１７ａ）が画角外の光を、遮断または吸収する。これにより、画角外の光の進入および画角外の光の乱反射を防ぐことができる。従って、正確な撮像テストを行うことができる。なお、上トレイ１１（仕切り１７ａ）自体が遮光性を有する材料から形成されていてもよいし、遮光性を有さない上トレイ１１（仕切り１７ａ）に、遮光膜を形成することによって、上トレイ１１（仕切り１７ａ）に遮光性を付与してもよい。
【００６１】
上述のように、ウエハトレイ１は、ウエハスケールレンズ２を２枚のトレイ１１，１２によって挟み込む構成である。しかし、ウエハトレイ１の構成はこれに限定されるものではない。例えば、図５は、別のウエハトレイ１ａを示す断面図である。
【００６２】
図５のウエハトレイ１ａは、ウエハスケールレンズ２を吸着保持する。具体的には、ウエハトレイ１ａは、ウエハスケールレンズ２のレンズ光学部２１の形成面と対向配置された光学ガラス１１ａを備えている。光学ガラス１１ａは、光学特性に優れており、ウエハスケールレンズ２による被写体の撮影に影響しない。このため、光学ガラス１１ａには、上述の上トレイ１１のような開口は形成されず、レンズ光学部２１の形成面の全域を覆っている。
【００６３】
光学ガラス１１ａは、ウエハスケールレンズ２を吸着保持するために、その裏面からレンズ光学部２１に向かって吸着口１９が形成されている。吸着口１９は、上述の仕切り１７ａと同様に、隣接するレンズ光学部２１（レンズ２０）間に形成されている。各吸着口１９は、レンズ光学部２１を避けて、かつ、画角２３の範囲外で、ウエハスケールレンズ２に接触している。また、各吸着口１９は、互いに連通しており、吸気経路を形成する。これにより、光学ガラス１１ａの側方から吸引（吸気）すると、ウエハスケールレンズ２がウエハトレイ１ａに吸着保持される。また、ウエハトレイ１ａは、吸気によって充分にウエハスケールレンズ２を吸着保持できる。このため、ウエハトレイ１ａでは、ウエハスケールレンズ２の裏面にウエハトレイ１で用いた下トレイ１２が不要である。従って、ウエハスケールレンズ２の裏面は露出している。これにより、受光部１０３を接近または接触させて、撮像テストが可能となる。
【００６４】
また、吸着口１９は、遮光性を有することが好ましい。吸着口１９が遮光性を有していると、吸着口１９が、画角外の光を遮断または吸収する。これにより、画角外の光の進入および画角外の光の乱反射を防ぐことができる。従って、正確な撮像テストを行うことができる。なお、吸着口１９自体が遮光性を有する材料から形成されていてもよいし、遮光性を有さない吸着口１９に、遮光膜を形成することによって、吸着口１９に遮光性を付与してもよい。
【００６５】
なお、光学ガラス１１ａは、光学樹脂など、撮像テストに影響しない光学特性に優れた材料から構成されていればよい。また、吸着の際、光学ガラス１１ａの外縁部に形成された位置決めガイド１８には、ウエハスケールレンズ２が当接する。これにより、ウエハスケールレンズ２のθ位置が確保される。
【００６６】
以上のように、本実施形態によれば、ウエハスケールレンズの撮像テストを、ウエハ状態で行う。つまり、ウエハスケールレンズを個々のレンズに分離する前に、撮像テストを行う。これにより、分離した個々のレンズを検査装置に搬送する必要がなくなる。しかも、多数のレンズを同時に検査することができる。従って、ウエハスケールレンズの検査効率を高め、検査時間を飛躍的に短縮することができる。つまり、ウエハ状態のままでの良否判定が可能となる。その結果、不良品は、後続の工程には持ち込まれず、早い段階で排除することができる。従って、歩留まりの向上および品質の向上が確保できる。それゆえ、上述したスループットの向上と併せて、コストダウンを図ることが可能となる。
【００６７】
〔実施の形態２〕
次に、本実施形態では、図６〜図１３に基づき、ウエハスケールカメラモジュールの撮像テストを、ウエハレベルで行う。なお、説明の便宜上、前記実施の形態１にて説明した図面と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。
【００６８】
図８は、本実施形態のウエハトレイを備えた撮像テスト装置（検査装置）の概略図である。検査装置１１０は、実施の形態１の検査装置１００と略同様の構成である。ただし、検査装置１１０では、検査対象がウエハスケールカメラモジュール３である点、ウエハトレイ４がウエハスケールカメラモジュール３を保持する点、ウエハスケールカメラモジュール３の裏面側からコンタクタ１０５に設けられたコンタクトピン１０６を接触させる点が、検査装置１００と異なる。
【００６９】
具体的には、図８のように、本実施形態の検査装置１１０は、遮光筺体１０４内に、検査対象となるウエハスケールカメラモジュール３を保持するウエハトレイ４と、テスト用の被写体１０１と、コンタクトピン１０６を備えたコンタクタ１０５とを備えている。検査装置１１０は、被写体１０１と、コンタクタ１０５との間に配置されたウエハスケールカメラモジュール３の撮像テストを、ウエハレベルで行う。
【００７０】
ウエハスケールカメラモジュール３の撮像テストは、まず、ウエハスケールカメラモジュール３に形成された各カメラモジュール３０によって被写体１０１を撮影する。一方、ウエハスケールカメラモジュール３の裏面にコンタクトピン１０６を接触させて、検査対象となるカメラモジュールによって撮影されて出力された被写体１０１の画像データに基づき、カメラモジュールの性能を評価する。
【００７１】
このように、検査装置１１０では、ウエハトレイ４を用いることによって、ウエハスケールカメラモジュール３の撮像テストを、ウエハ状態で行う。つまり、ウエハスケールカメラモジュール３を個々のカメラモジュールに分離する前に、撮像テストを行う。これにより、個々のカメラモジュールを検査装置１１０に搬送する必要がなくなる。しかも、多数のカメラモジュールを同時に検査することができる。従って、検査効率を高め、検査時間を飛躍的に短縮することができる。
【００７２】
ここで、ウエハトレイ４について具体的に説明する。図６は、本実施形態のウエハトレイ４の斜視図であって、（ａ）開状態のウエハトレイ４、（ｂ）は閉状態のウエハトレイ４を示している。図６（ａ）のように、ウエハトレイ４は、２枚のトレイ（上トレイ４１，下トレイ４２）によって、１枚のウエハスケールカメラモジュール３を挟持するようになっている。
【００７３】
ウエハスケールカメラモジュール３は、複数のカメラモジュール３０を有している。図７は、ウエハスケールカメラモジュール３が有するカメラモジュール３０の断面図である。カメラモジュール３０は、レンズ２０と撮像部３１とが光軸方向に積層されており、レンズ２０の裏面に撮像部３１が配置されている。撮像部３１の裏面には、撮像部３１の電極部である半田バンプ３２が形成されている。このため、撮像部３１の裏面は凹凸形状となっている。
【００７４】
なお、図６（ａ）のように、ウエハスケールカメラモジュール３の外縁部にはノッチ３ａが形成されている。そして、ウエハトレイ４の下トレイ４２には、このノッチ３ａに対応する位置決めガイド４２ａが形成されている。これにより、図６（ｂ）のように、ウエハトレイ４が閉状態になると、ノッチ３ａと位置決めガイド４２ａとが互いに嵌合することによって、下トレイ４２上の正確な位置に、ウエハスケールカメラモジュール３が配置される。
【００７５】
上トレイ４１および下トレイ４２は、ウエハスケールカメラモジュール３の保持領域に、各トレイ４１，４２を貫通した網目状（格子状）の開口が形成されている。具体的には、図９は、ウエハトレイ４の閉状態を示す断面図である。図９のように、ウエハトレイ４の上トレイ４１には開口４５が、下トレイ４２には開口４６が形成される。上トレイ４１に形成された開口４５の面積（網目の大きさ）は、各レンズ２０に対応する大きさである。このため、ウエハトレイ４では、隣接するレンズ２０（光学レンズ部２１）間が、仕切り４７ａによって仕切られている。この仕切り４７ａは、レンズ光学部２１の画角２３の範囲外に設けられている。本実施形態では、テーパ構造の仕切り４７ａを有しており、レンズ光学部２１から離れるにつれて仕切り４７ａの幅（太さ）が狭く（細く）なっている。
【００７６】
このように、上トレイ４１には開口４５が形成されているため、ウエハスケールカメラモジュール３の各レンズ光学部２１が、開口４５から露出する。従って、上述の検査装置１１０による撮像テストの際には、ウエハトレイ４に保持されたウエハスケールカメラモジュール３が被写体１０１を撮影できる。
【００７７】
また、本実施形態では、上トレイ４１に形成された開口４５内に、レンズ２１の画角２３が確保されている。つまり、本実施形態では、上トレイ４１に、レンズ２１の画角２３を妨げない大きさの開口４５が形成されている。このため、レンズ２１による撮影は、開口４５によって妨げられない。従って、正確な撮像テストを行うことができる。
【００７８】
一方、下トレイ４２に形成された開口４６は、撮像テストの際に、ウエハスケールカメラモジュール３の半田バンプ３２にコンタクトピン１０６が接触できる程度の大きさであればよい。本実施形態では、隣接するカメラモジュール３０間が、仕切り４７ｂによって仕切られている。これにより、図９のように、撮像テストの際には、コンタクタ１０５に設けられたコンタクトピン１０６が、半田バンプ３２に接触することによって、ウエハスケールカメラモジュール３が被写体１０１を撮像できる。
【００７９】
このように、上トレイ４１および下トレイ４２には、開口４５，４６が形成されているため、ウエハトレイ４を閉状態としても、ウエハスケールカメラモジュール３の両面にアクセスできる。従って、ウエハレベルでの撮像テストが可能となる。
【００８０】
なお、図９のように、ウエハトレイ４は、外側部に開閉支点４３を備えており、この開閉支点４３を軸にして、各トレイ４１，４２の開閉動作が可能になっている。また、ウエハトレイ４の閉状態は、止め具４４によって固定される。また、下トレイ４２は、ウエハスケールカメラモジュール３の底面および側面に接触するようになっており、位置決め機能も有する。
【００８１】
また、ウエハスケールカメラモジュール３を確実に保持する上では、仕切り４７ａ，４７ｂを隣接するレンズ２０間に形成することが好ましい。ただし、仕切り４７ａ，４７ｂは、隣接するカメラモジュール３０間に形成することに限定されるものではなく、ウエハスケールカメラモジュール３を十分に保持さえできれば、数個のカメラモジュール３０ごとに間隔をあけて形成してもよいし、全く形成しなくてもよい。
【００８２】
さらに、より正確な撮像テストを行う上では、ウエハスケールカメラモジュール３のおもて面に接する上トレイ４１が、遮光性を有することが好ましい。言い換えれば、仕切り４７ａが、遮光性を有することが好ましい。上トレイ４１（仕切り４７ａ）が遮光性を有していれば、画角外の光が上トレイ４１（仕切り４７ａ）によって、遮断または吸収される。これにより、画角外の光の進入および画角外の光の乱反射を防ぐことができる。従って、正確な撮像テストを行うことができる。なお、上トレイ４１（仕切り４７ａ）自体が遮光性を有する材料から形成されていてもよいし、遮光性を有さない上トレイ４１（仕切り４７ａ）に、遮光膜を形成することによって、上トレイ４１（仕切り４７ａ）に遮光性を付与してもよい。
【００８３】
上述のように、ウエハトレイ４は、ウエハスケールカメラモジュール３を２枚のトレイ４１，４２によって挟み込む構成である。しかし、ウエハトレイ１の構成はこれに限定されるものではない。例えば、図１０および図１１は、別のウエハトレイ４ａ，４ｂを示す断面図である。
【００８４】
図１０および図１１のウエハトレイ４ａ，４ｂは、ウエハスケールカメラモジュール３を吸着保持する。
【００８５】
具体的には、図１０のウエハトレイ４ａは、ウエハスケールカメラモジュール３のレンズ光学部２１の形成面と対向配置された光学ガラス４１ａを備えている。光学ガラス４１ａは、光学特性に優れており、ウエハスケールカメラモジュール３による被写体の撮影に影響しない。このため、光学ガラス４１ａには、上述の上トレイ４１のような開口は形成されず、レンズ光学部２１の形成面の全域を覆っている。
【００８６】
光学ガラス４１ａは、ウエハスケールカメラモジュール３を吸着保持するために、その裏面からレンズ光学部２１に向かって吸着口４９が形成されている。吸着口４９は、上述の仕切り４７ａと同様に、隣接するカメラモジュール３０間に形成されている。各吸着口４９は、レンズ光学部２１を避けて、かつ、画角２３の範囲外で、ウエハスケールカメラモジュール３のレンズ光学部の形成面に接触している。また、各吸着口４９は、互いに連通しており、吸気経路を形成する。これにより、光学ガラス４１ａの側方から吸引（吸気）すると、ウエハスケールカメラモジュール３がウエハトレイ４ａに吸着保持される。また、ウエハトレイ４ａは、吸気によって充分にウエハスケールレンズ２を吸着保持できる。このため、ウエハトレイ４ａでは、ウエハスケールカメラモジュール３の裏面に、ウエハトレイ４で用いた下トレイ４２が不要である。従って、ウエハスケールカメラモジュール３の裏面は露出している。これにより、コンタクトピン１０６を接触させて、撮像テストが可能となる。
【００８７】
また、吸着口４９は、遮光性を有することが好ましい。吸着口４９が遮光性を有していると、吸着口４９が、画角外の光を遮断または吸収する。これにより、画角外の光の進入および画角外の光の乱反射を防ぐことができる。従って、正確な撮像テストを行うことができる。なお、吸着口４９自体が遮光性を有する材料から形成されていてもよいし、遮光性を有さない吸着口４９に、遮光膜を形成することによって、吸着口４９に遮光性を付与してもよい。
【００８８】
なお、光学ガラス４１ａは、光学樹脂など、撮像テストに影響しない光学特性に優れた材料から構成されていればよい。また、吸着の際、光学ガラス４１ａの外縁部に形成された位置決めガイド４８には、ウエハスケールカメラモジュール３の側面が当接する。これにより、ウエハスケールカメラモジュール３のθ位置が確保される。
【００８９】
一方、図１１のウエハトレイ４ｂは、ウエハトレイ４ａとは逆に、ウエハスケールカメラモジュール３の裏面を、吸着保持する。具体的には、ウエハスケールカメラモジュール３の裏面に対向配置されたコンタクトトレイ４１ｂを備えている。
【００９０】
コンタクトトレイ４１ｂは、ウエハスケールカメラモジュール３を吸着保持するために、ウエハスケールカメラモジュール３の裏面（半田バンプ３２）に向かって吸着口４９が形成されている。吸着口４９は、隣接するカメラモジュール３０間に形成されている。各吸着口４９は、半田バンプ３２を避けてウエハスケールカメラモジュール３の裏面に接触している。また、各吸着口４９は、互いに連通しており、吸気経路を形成する。これにより、コンタクトトレイ４１ｂの側方から吸引（吸気）すると、ウエハスケールカメラモジュール３がウエハトレイ４ｂに吸着保持される。また、ウエハトレイ４ｂは、吸気によって充分にウエハスケールカメラモジュール３を吸着保持できる。このため、ウエハトレイ４ｂでは、ウエハスケールカメラモジュール３のおもて面に、ウエハトレイ４で用いた上トレイ４１が不要である。従って、ウエハスケールカメラモジュール３のおもて面（レンズ光学部２１）は露出している。これにより、レンズ光学部２１により被写体１０１を撮像することが可能となる。
【００９１】
一方、コンタクトトレイ４１ｂには、コンタクタを形成することもできる。具体的には、コンタクトトレイ４１ｂには、コンタクトピン１０６が貫通しており、ウエハスケールカメラモジュール３を吸着保持したときに、コンタクトピン１０６が半田バンプ３２に接触する。これにより、コンタクトピン１０６を半田バンプ３２に接触させて、撮像テストが可能となる。また、コンタクトトレイ４１ｂは貫通したコンタクトピン１０６により、裏面に配線基板５０をダイレクトにコンタクトする事も可能である。
これにより、ウエハスケールカメラモジュール３の吸着保持と、半田バンプ３２へのコンタクトピン１０６の接触とを同時に実現できる。
【００９２】
なお、吸着の際、コンタクトトレイ４１ｂの外縁部に形成された位置決めガイド４８には、ウエハスケールカメラモジュール３の側面が当接する。これにより、ウエハスケールカメラモジュール３のθ位置が確保される。
【００９３】
本実施形態のウエハトレイ４におけるウエハスケールカメラモジュール３の位置決めガイド４２ａについて説明する。図１２および図１３は、位置決めガイドによるウエハの位置合わせを示す斜視図である。
【００９４】
図１２の例では、ウエハスケールカメラモジュール３の外縁部に、予め位置決めノッチ３ａが形成されている。一方、ウエハトレイ４（下トレイ４２）には、各ノッチ３ａに対応する位置決めガイド４２ａが形成されている。これにより、各ノッチ３ａを、ウエハトレイ４に形成された位置決めガイド４２ａにあてがうように装着することにより、各カメラモジュール３０の裏面（電極面）が、ウエハトレイ４に形成された開口４６内に配置される。従って、ウエハスケールカメラモジュール３がウエハトレイ４に正確に装着される。
【００９５】
一方、図１３の例では、ウエハスケールカメラモジュール３の外縁部に、ノッチ３ａに加え、位置決め穴３ｂが形成されている。一方、ウエハトレイ４（下トレイ４２）には、ノッチ３ａに対応する位置決めガイド４２ａに加え、位置決め穴３ｂに挿着される位置決めピン４２ｂが形成されている。これにより、各ノッチ３ａを、ウエハトレイ４に形成された位置決めガイド４２ａにあてがうように装着するとともに、位置決め穴３ｂに位置決めピン４２ｂを挿着する。その結果、各カメラモジュール３０の裏面（電極面）が、ウエハトレイ４に形成された開口４６内に配置される。従って、ウエハスケールカメラモジュール３がウエハトレイ４に正確に装着される。
【００９６】
なお、ウエハスケールカメラモジュール３の位置決めを行うには、図１２、図１３以外にもそれぞれのウエハスケールカメラモジュール３の形状に合わせたガイドが用いられうることはいうまでもない。
【００９７】
以上のように、本発明によれば、ウエハスケールカメラモジュールまたはウエハスケールレンズを保持したまま、光学面からの撮像、および、撮像部へのコンタクタの接触または受光部の接近または接触が可能となる。それゆえ、ウエハスケールカメラモジュールまたはウエハスケールレンズを個片化することなくテストすることができる。
【００９８】
本発明は、以下のように表現することもできる。
【００９９】
〔１〕光学レンズ及び固体撮像素子をウェハスケールで形成したウェハスケールカメラモジュールにおいて、ウェハスケールのままレンズ光学面及び、撮像素子電極面の同時アクセスを可能とする事を特徴とするウェハトレイ。本発明のウエハトレイは、ウエハスケールカメラモジュールの構造を考慮し、光学面および撮像素子電極面（ウエハの両面）に同時にアクセス可能な形状となっている。
【０１００】
これにより、ウエハスケールカメラモジュールを、個々のカメラモジュールに個片化することなく、ウエハ状態でカメラモジュールの撮像テストが可能となる。このため、従来のように個片状態で（個々のカメラモジュール単位で）撮像テストを行う場合に比べて、撮像テストが実施し易くなる上、スループットも飛躍的に向上する。
【０１０１】
また、予めウエハトレイにより、ウエハスケールカメラモジュールのＸ方向、Ｙ方向、およびθ方向の位置調整が行われる。このため、撮像テスト装置には、ウエハスケールカメラモジュールの位置を調整するための複雑な機構を設ける必要がない。従って、撮像テスト装置の開発も容易になる。
【０１０２】
つまり、上記の発明によれば、ウエハ状態のままでの良否判定が可能となる。その結果、不良品は、後続の工程には持ち込まれず、早い段階で排除することができる。従って、後続の工程の歩留まりの向上およびユーザへの出荷品質の向上が確保できる。それゆえ、上述したスループットの向上と併せて、コストダウンを図ることが可能となる。
【０１０３】
〔２〕上記〔１〕に記載のウエハトレイにおいて、複数の穴が開いた上蓋及び下蓋で挟み込み、ウェハスケールカメラモジュールを収納する事を特徴とするウェハトレイ。この構成では、複数の穴が形成された上蓋および下蓋によって、ウエハが挟み込まれる。これにより、ウエハスケールカメラモジュールのまま、ウエハトレイに収納および固定することができる。
【０１０４】
〔３〕上記〔２〕に記載のウエハトレイにおいて、ウェハスケールカメラモジュールの光学レンズ面に接する蓋の形状は、光学レンズの画角を損なわない穴を有する事を特徴とするウェハトレイ。この構成では、ウエハスケールカメラモジュールの光学レンズ形成面に接する蓋には、光学レンズの画角を損なわないように、穴が形成されている。つまり、その蓋には、光学レンズの凹凸を回避するように、穴が形成されている。
【０１０５】
〔４〕上記〔２〕に記載のウエハトレイにおいて、ウェハスケールカメラモジュールの撮像素子電極面に接するトレイの形状は、電極面へのコンタクトを損なわない穴を有する事を特徴とするウェハトレイ。この構成では、ウエハスケールカメラモジュールの撮像素子電極面に接する蓋には、電極面に形成された半田バンプ等の凹凸を回避するように、穴が形成されている。これにより、カメラモジュールのテストの際に、コンタクトピン等が、電極面（半田バンプ等）に、直接コンタクトすることが可能となる。
【０１０６】
〔５〕上記〔１〕に記載のウエハトレイにおいて、ウェハスケールカメラモジュールの光学レンズ面のみを保持する事を特徴とするウェハトレイ。なお、ウエハスケールカメラモジュールの光学レンズ面に接するトレイは、光学ガラスもしくは光学樹脂等、光学特性に優れた素材により形成することによって、光学面のみでウエハを固定することができる。
【０１０７】
〔６〕上記〔５〕に記載のウエハトレイにおいて、ウェハスケールカメラモジュールの光学特性を損なわないトレイはウェハスケールカメラモジュールを吸引保持するためのしきりを有する事を特徴とするウェハトレイ。これによれば、本発明のウエハトレイにウエハを装着する事により、ケースの剛性を利用し、ウエハの製造工程で発生する反りやあおりを矯正及び吸収する事ができ、撮像テストで重要な画角ズレ等軽減でき、正確な撮像テストを実施する事ができる。なお、このウエハトレイは、ウエハスケールカメラモジュールの光学レンズ面に接するトレイの形状が、光学レンズの凹凸を回避し、且つ光学レンズの画角を損なわない状態でウエハを吸着可能なしきりを有するとも表現できる。
【０１０８】
〔７〕上記〔１〕に記載のウエハトレイにおいて、ウェハスケールカメラモジュールの撮像素子電極面のみを保持する事を特徴とするウェハトレイ。これにより、ウエハスケールカメラモジュールの撮像素子電極面に接するトレイのみでウエハを固定する事ができる。
【０１０９】
〔８〕上記〔７〕に記載のウエハトレイにおいて、ウェハスケールカメラモジュールの撮像素子電極面に接するトレイの形状は、電極面へコンタクトするプローブピンと吸引保持するためのしきり（吸着口）を有する事を特徴とするウエハトレイ。この構成では、本発明のトレイにウエハを装着する事により、ケースの剛性を利用し、電極部のコンタクタ加重によるそりを吸収しウエハの割れを防止できる。
【０１１０】
また、この構成では、半田バンプも整然と配列されているウエハ形状に即したコンタクタの一括形成（１個〜全数）が可能となるため、コンタクタ数を増加させる事ができる。従って、多数個同時測定（複数同時検査）が容易となる。
【０１１１】
なお、この構成は、上記〔７〕のウエハトレイにおいて、ウエハスケールカメラモジュールの撮像素子電極面に接するトレイの形状は、電極面に設けられた半田バンプ等の電極に直接コンタクトが可能なコンタクトピンを有し、また半田バンプ等の凹凸を回避しながらウエハ吸着が可能なしきりによりウエハを固定し、且つコンタクトを補助することを特徴としているともいえる。
【０１１２】
〔９〕上記〔１〕〜〔８〕のいずれかのウエハトレイにおいて、ウェハ形状を利用した位置決めガイドを有する事を特徴とするウェハトレイ。この構成では、ウエハスケールカメラモジュールのウエハ形状を利用し、トレイに位置決めガイドを設けているため、正確な位置にウエハを装着可能なる。これにより、位置決めガイドに沿ってウエハをトレイに装着する事により、ウエハスケールカメラモジュールの光学部及び電極部の凹凸に傷を付けずに装着、搬送する事ができる。また、ウエハスケールレンズに傷を付けずに、装着および搬送することができる。すなわち、ウエハトレイに形成された位置決めガイドに沿って、ウエハトレイにウエハを装着することができる。これにより、ウエハトレイの正確な位置に、ウエハを装着することができる。従って、ウエハスケールカメラモジュールの光学面および電極面を傷つけずに、ウエハトレイにウエハを装着できる。また、ウエハスケールカメラモジュールを保護することもできる。このため、歩留まりおよび品質を、さらに向上することができる。
【０１１３】
〔１０〕上記〔１〕〜〔９〕のいずれかのウエハトレイと用いて、ウエハスケールカメラモジュールのレンズ光学面、および、撮像素子の電極面に、同時にアクセスすることを特徴とするウェハスケールカメラモジュールのテスト方法。これにより、ウエハスケールカメラモジュールの状態のまま、撮像テストを実施することができる。
【０１１４】
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【０１１５】
本発明は、デジタルスチルカメラ、カメラ付携帯電話、監視カメラなどカメラモジュールを備えた各種電子機器の製造に好適に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【０１１６】
【図１】本発明のウエハトレイの斜視図であって、（ａ）開状態のウエハトレイ、（ｂ）は閉状態のウエハトレイを示している。
【図２】図１のウエハトレイに保持されるウエハスケールレンズが有するレンズの断面図である。
【図３】図１のウエハトレイを備えた検査装置の概略図である。
【図４】図１のウエハトレイの断面図である。
【図５】本発明の別のウエハトレイの断面図である。
【図６】本発明のウエハトレイの斜視図であって、（ａ）開状態のウエハトレイ、（ｂ）は閉状態のウエハトレイを示している。
【図７】図６のウエハトレイに保持されるウエハスケールカメラモジュールが有するカメラモジュールの断面図である。
【図８】図６のウエハトレイを備えた検査装置の概略図である。
【図９】図６のウエハトレイの断面図である。
【図１０】本発明の別のウエハトレイの断面図である。
【図１１】本発明の別のウエハトレイの断面図である。
【図１２】本発明のウエハトレイに形成された位置決めガイドによるウエハの位置合わせを示す斜視図である。
【図１３】本発明のウエハトレイに形成された別の位置決めガイドによるウエハの位置合わせを示す斜視図である。
【符号の説明】
【０１１７】
１，１ａ ウエハトレイ
２ ウエハスケールレンズ
３ ウエハスケールカメラモジュール
４，４ａ，４ｂ ウエハトレイ
１１ 上トレイ（トレイ）
１２ 下トレイ（トレイ）
１３ トレイ開閉支点
１４ 止め具
１５ 開口
１６ 開口
１７ａ 仕切り
１７ｂ 仕切り
１８ 位置合わせガイド
１９ 吸着口
２０ レンズ
２１ レンズ光学部
２３ 画角
３０ カメラモジュール
３２ 半田バンプ（電極部）
４１ 上トレイ（トレイ）
４２ 下トレイ（トレイ）
４３ 開閉支点
４４ 止め具
４５ 開口
４６ 開口
４７ａ 仕切り
４７ｂ 仕切り
４８ 位置合わせガイド
４９ 吸着口
５０ 配線基板
１００ 検査装置
１０１ 被写体
１０２ 保持台
１０３ 受光部
１０４ 遮光筺体
１０５ コンタクタ
１０６ コンタクトピン
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハトレイ、それを用いた検査装置および検査方法に関し、より詳細には、ウエハスケールレンズまたはウエハスケールカメラモジュール用のウエハトレイ、そのウエハトレイを用いたウエハスケールレンズまたはウエハスケールカメラモジュールの検査装置および検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
デジタルスチルカメラ、カメラ付携帯電話、監視カメラなどの普及に伴い、それらに使用される固体撮像装置（カメラモジュール）の需要も増大し、且つ、適用の必要性から小型化、高信頼性、コストダウンの要求が高まっている。そのような要求を満たすカメラモジュールの製造方法として、半導体チップである撮像素子に、ウエハ状態のままレンズを搭載したウエハスケールパッケージ化することが提案されている。
【０００３】
例えば、特許文献１および特許文献２には、複数のカメラモジュールを、ウエハスケールパッケージ化することによって、ウエハスケールでカメラモジュールを製造する方法が開示されている。この方法を採用すると、カメラモジュールへの実装部品数を低減すると共に、半導体チップに光学レンズを直接実装する事ができる。その結果、カメラモジュールを個々に製造する場合に生じる組み立てばらつき、および、その組み立てばらつきが原因となるレンズの集光能力低下を招くことなく、カメラモジュールの実装サイズの小型化を図ることが可能になる。
【０００４】
一方、製造されたカメラモジュールの出荷前には、カメラモジュールの評価が行われる。例えば、特許文献３には、イメージセンサパッケージの良否を、カメラモジュールに組み付ける前に評価する検査方法が開示されている。この検査方法では、ウエハスケールのイメージセンサパッケージを、個々のイメージセンサパッケージに個片化（分離）した後、イメージセンサパッケージを１つ１つ検査する。
【０００５】
また、特許文献４には、カメラモジュールの分野ではないものの、ＩＣパッケージの検査方法が開示されている。この検査方法でも、個々に分離されたＩＣパッケージを、１つ１つ検査する。さらに、この検査方法では、ＩＣパッケージが、加圧された状態で検査が行われる。
【０００６】
一方、特許文献５には、カメラモジュールに適用されるレンズの検査方法が開示されている。この検査方法でも、個々に分離されたレンズを、１つ１つ検査する。
【特許文献１】特表２００５−５３９２７６号公報（２００５年１２月２２日公表）
【特許文献２】特開２００４−６３７５１号公報（２００４年２月２６日公開）
【特許文献３】特開２００７−１６３４５３号公報（２００７年６月２８日公開）
【特許文献４】特開平７−１２８９４号公報（１９９５年１月１７日公開）
【特許文献５】特開２００５−３３１３４５号公報（２００５年１２月２日公開）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の検査方法は、ウエハスケールのカメラモジュールまたはレンズを、個片化した後検査するため、検査時間が非常に長いという問題がある。
【０００８】
具体的には、特許文献１および特許文献２に開示されたウエハスケールカメラモジュールまたはそのカメラモジュールに適用されるウエハスケールレンズのコストダウンを図るため、特許文献３〜５の方法を用いて、出荷判定のための撮像テスト（検査）を高効率化するとする。
【０００９】
例えば、特許文献３の検査方法を適用した場合、まず、個片化されたカメラモジュールが収納されたトレイから、カメラモジュールを１つずつ移送ユニットによって載置ユニットに移し替える。次に、載置ユニットの上部に設置された検査用チャート（被写体）および光源によって、撮像テストを行うことになる。しかし、この検査方法では、検査前に、ウエハスケールカメラモジュールを個片化する必要がある上、個片化したカメラモジュールも、１〜数個ずつ程度しかテストできない。このため、載置ユニットへの搬送時間も、テスト時間も非常に長くなる。
【００１０】
一方、特許文献４の検査方法は、ＩＣパッケージの検査方法であって、カメラモジュールの検査方法ではない。このため、カメラモジュールに適用することはできない。仮に適用したとすると、特許文献４の検査方法は、個片化されたカメラモジュールを複数個トレイに収納した状態で、テストが可能である。このため、移送ユニットによりカメラモジュールを１つずつ搬送する特許文献３の検査方法に比べると、処理能力は向上するとも考えられる。しかし、特許文献４の検査方法を適用した場合、ウエハスケールカメラモジュールの上部に、ウエハスケールカメラモジュールを加圧するためのコンタクトプッシャーが配置される。このため、コンタクトプッシャーが、邪魔になって、カメラモジュールの上面に設置された検査用チャートや光源を撮像することができない。このため、特許文献４の検査方法は、カメラモジュールの検査に適用することはできない。
【００１１】
また、特許文献５の検査方法を適用した場合、特許文献３と同様に、検査前に、ウエハスケールカメラモジュールを個片化する必要がある。このため、個片化されたカメラモジュールを検査場所へ搬送する搬送時間も、テスト時間も非常に長くなる。
【００１２】
このように、特許文献３〜５の検査方法を、ウエハスケールカメラモジュールに適用すると、ウエハ状態のカメラモジュールを、個々のカメラモジュールに分離した後、検査する必要がある。従って、搬送時間が長く、検査効率も悪くなるため、検査時間が非常に長いという問題がある。このような問題は、カメラモジュールに適用されるレンズを複数有するウエハスケールレンズを検査する場合にも生じる。
【００１３】
そこで、本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、ウエハスケールレンズおよびウエハスケールカメラモジュールを、ウエハレベルで検査することによって、検査時間を短縮できるウエハトレイ、それを用いた検査装置および検査方法を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明のウエハトレイは、上記の課題を解決するために、カメラモジュールに用いられるレンズを複数有するウエハスケールレンズを保持し、ウエハスケールレンズの検査装置に用いられるウエハトレイであって、
ウエハスケールレンズを保持した状態で、検査対象となるレンズの評価ができるようになっていることを特徴としている。
【００１５】
上記の発明によれば、ウエハスケールレンズの撮像テストを、ウエハ状態で行う。つまり、ウエハスケールレンズを個々のレンズに分離する前に、撮像テストを行う。これにより、分離した個々のレンズを検査装置に搬送する必要がなくなる。しかも、多数のレンズを同時に検査することができる。従って、ウエハスケールレンズの検査効率を高め、検査時間を飛躍的に短縮することができる。
【００１６】
本発明のウエハトレイでは、ウエハスケールレンズが挟持される２枚のトレイを備えており、各トレイには開口が形成されており、レンズ光学部が形成されたウエハスケールレンズのおもて面に接するトレイに形成された開口内に、レンズ光学部が配置される一方、ウエハスケールレンズの裏面に接するトレイに形成された開口内に、検査用の受光部が配置されるように、ウエハスケールレンズが保持されていてもよい。
【００１７】
上記の発明によれば、２枚のトレイにウエハスケールレンズが挟持される。また、各トレイには、開口が形成されているため、ウエハスケールレンズを挟持した状態で、ウエハスケールレンズの撮像テストを行うことができる。
【００１８】
本発明のウエハトレイでは、ウエハスケールレンズのおもて面に接するトレイに形成された開口内に、レンズの画角が確保されることが好ましい。上記の発明によれば、ウエハスケールレンズのおもて面に接するトレイに、レンズの画角を妨げない大きさの開口が形成されている。このため、レンズによる撮影は、開口によって妨げられない。従って、正確な撮像テストを行うことができる。
【００１９】
本発明のウエハトレイでは、レンズ光学部が形成されたウエハスケールレンズのおもて面に接するトレイが、遮光性を有することが好ましい。上記の発明によれば、遮光性を有するトレイによって、画角外の光が遮断または吸収される。これにより、画角外の光の進入および画角外の光の乱反射を防ぐことができる。従って、正確な撮像テストを行うことができる。
【００２０】
本発明のウエハトレイでは、ウエハスケールレンズが、吸着保持されてもよい。これにより、ウエハスケールレンズの製造工程時に発生した反りやあおりを、矯正及び吸収する事ができる。このため、撮像テストで重要な画角ズレ等軽減できる。従って、正確な撮像テストを実施する事ができる。
【００２１】
本発明のウエハトレイでは、レンズ光学部が形成されたウエハスケールレンズのおもて面に接する吸着口を備えており、上記吸着口は、レンズ光学部を避けて形成されていてもよい。上記の発明によれば、吸着口が、レンズ光学部を避けて形成されている。つまり、吸着口は、平坦部に形成されている。従って、ウエハスケールレンズを確実に吸着保持することができる。
【００２２】
本発明のウエハトレイでは、上記吸着口は、互いに隣接するレンズ間を仕切るように形成されていることが好ましい。これにより、ウエハスケールレンズに形成されたレンズを均一に保持することができる。
【００２３】
本発明のウエハトレイでは、上記吸着口が、遮光性を有することが好ましい。上記の発明によれば、遮光性を有する吸着口によって、画角外の光が遮断または吸収される。これにより、画角外の光の進入および画角外の光の乱反射を防ぐことができる。従って、正確な撮像テストを行うことができる。
【００２４】
本発明のウエハトレイでは、レンズ光学部が形成されたウエハスケールレンズのおもて面のみが、吸着保持されることが好ましい。これにより、ウエハトレイの構成を簡素化することができる。また、ウエハスケールレンズの裏面から受光部を接近または接触させやすくなるため、検査装置の構成を簡素化することもできる。
【００２５】
本発明のウエハトレイでは、ウエハスケールレンズの位置合わせのための位置決めガイドを備えることが好ましい。これにより、ウエハトレイの正確な位置に、ウエハスケールレンズを装着することができる。従って、ウエハスケールレンズに傷を付けずに、ウエハスケールレンズを装着および搬送することができる。
【００２６】
本発明の検査装置は、前記いずれかのウエハトレイを備えることを特徴としている。また、本発明の検査方法は、前記いずれかのウエハトレイを用いて、ウエハレベルでウエハスケールレンズを評価することを特徴としている。従って、ウエハスケールレンズの検査効率を高め、検査時間を飛躍的に短縮することができる。
【００２７】
本発明のウエハトレイは、上記の課題を解決するために、レンズと固体撮像素子とを備え、裏面に電極部が形成されたカメラモジュールを複数有するウエハスケールカメラモジュールを保持し、カメラモジュールの検査装置に用いられるウエハトレイであって、
カメラモジュールを保持した状態で、検査対象となるカメラモジュールのレンズが被写体を撮影する一方、電極部に検査用のコンタクトピンが接触できるようになっていることを特徴としている。
【００２８】
上記の発明によれば、ウエハスケールカメラモジュールの撮像テストを、ウエハ状態で行う。つまり、ウエハスケールカメラモジュールを個々のカメラモジュールに分離する前に、撮像テストを行う。これにより、分離した個々のカメラモジュールを検査装置に搬送する必要がなくなる。しかも、多数のカメラモジュールを同時に検査することができる。従って、ウエハスケールカメラモジュールの検査効率を高め、検査時間を飛躍的に短縮することができる。
【００２９】
本発明のウエハトレイでは、ウエハスケールカメラモジュールが挟持される２枚のトレイを備えており、
各トレイには開口が形成されており、
レンズが形成されたウエハスケールカメラモジュールのおもて面に接するトレイに形成された開口内に、レンズ光学部が配置される一方、ウエハスケールカメラモジュールの裏面に接するトレイに形成された開口内に、検査用のコンタクトピンが配置されるように、ウエハスケールカメラモジュールが保持されていてもよい。
【００３０】
上記の発明によれば、２枚のトレイにウエハスケールカメラモジュールが挟持される。また、各トレイには、開口が形成されているため、ウエハスケールカメラモジュールを挟持した状態で、ウエハスケールカメラモジュールの撮像テストを行うことができる。
【００３１】
本発明のウエハトレイでは、ウエハスケールカメラモジュールのおもて面に接するトレイに形成された開口内に、レンズの画角が確保されることが好ましい。上記の発明によれば、ウエハスケールレンズのおもて面に接するトレイに、レンズの画角を妨げない大きさの開口が形成されている。このため、レンズによる撮影は、開口によって妨げられない。従って、正確な撮像テストを行うことができる。
【００３２】
本発明のウエハトレイでは、レンズが形成されたウエハスケールカメラモジュールのおもて面に接するトレイが、遮光性を有することが好ましい。上記の発明によれば、遮光性を有するトレイによって、画角外の光が遮断または吸収される。これにより、画角外の光の進入および画角外の光の乱反射を防ぐことができる。従って、正確な撮像テストを行うことができる。
【００３３】
本発明のウエハトレイでは、ウエハスケールカメラモジュールが、吸着保持されてもよい。これにより、ウエハスケールカメラモジュールの製造工程時に発生した反りやあおりを、矯正及び吸収する事ができる。このため、撮像テストで重要な画角ズレ等軽減できる。従って、正確な撮像テストを実施する事ができる。
【００３４】
本発明のウエハトレイでは、レンズが形成されたウエハスケールカメラモジュールのおもて面に接する吸着口を備えており、上記吸着口は、レンズ光学部を避けて形成されていることが好ましい。上記の発明によれば、吸着口が、レンズ光学部を避けて形成されている。つまり、吸着口は、平坦部に形成されている。従って、ウエハスケールカメラモジュールを確実に吸着保持することができる。
【００３５】
本発明のウエハトレイでは、上記吸着口は、互いに隣接するカメラモジュール間を仕切るように形成されていることが好ましい。これにより、ウエハスケールカメラモジュールに形成されたレンズを均一に保持することができる。
【００３６】
本発明のウエハトレイでは、上記吸着口が、遮光性を有することが好ましい。上記の発明によれば、遮光性を有する吸着口によって、画角外の光が遮断または吸収される。これにより、画角外の光の進入および画角外の光の乱反射を防ぐことができる。従って、正確な撮像テストを行うことができる。
【００３７】
本発明のウエハトレイでは、レンズが形成されたウエハスケールカメラモジュールのおもて面のみが、吸着保持されることが好ましい。これにより、ウエハトレイの構成を簡素化することができる。また、ウエハスケールカメラモジュールの裏面からコンタクトピンを接触させやすくなるため、検査装置の構成を簡素化することもできる。
【００３８】
本発明のウエハトレイでは、電極部が形成されたウエハスケールカメラモジュールの裏面に接する吸着口を備えており、上記吸着口は、電極部を避けて形成されていてもよい。
【００３９】
上記の発明によれば、吸着口が、電極部を避けて形成されている。つまり、吸着口は、平坦部に形成されている。従って、ウエハスケールカメラモジュールを確実に吸着保持することができる。また、電極部のコンタクタ加重によるそりを吸収しウエハの割れを防止できる。
【００４０】
本発明のウエハトレイでは、ウエハスケールカメラモジュールの裏面のみが、吸着保持されることが好ましい。これにより、ウエハスケールカメラモジュールの裏面からそりを吸収しウエハの割れを防止できる。
【００４１】
本発明のウエハトレイでは、ウエハスケールカメラモジュールの位置合わせのための位置決めガイドを備えることが好ましい。これにより、ウエハトレイの正確な位置に、ウエハスケールカメラモジュールを装着することができる。従って、ウエハスケールカメラモジュールに傷を付けずに、ウエハスケールカメラモジュールを装着および搬送することができる。
【００４２】
本発明の検査装置は、前記いずれかのウエハトレイを備えることを特徴としている。また、本発明の検査方法は、前記いずれかのウエハトレイを用いて、ウエハレベルでウエハスケールカメラモジュールを評価するることを特徴としている。従って、ウエハスケールカメラモジュールの検査効率を高め、検査時間を飛躍的に短縮することができる。
【００４３】
請求項１１〜２０のいずれか１項に記載のウエハトレイを用いて、ウエハレベルでウエハスケールレンズを評価することを特徴とするウエハスケールレンズの検査方法。
【発明の効果】
【００４４】
本発明のウエハトレイは、以上のように、ウエハスケールレンズまたはウエハスケールカメラモジュールを保持した状態で、検査対象となるウエハスケールレンズまたはウエハスケールカメラモジュールの評価ができる構成である。それゆえ、ウエハスケールレンズまたはウエハスケールカメラモジュールの検査効率を高め、検査時間を飛躍的に短縮することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４５】
以下、本発明の実施の形態について、図１〜図１３に基づいて説明する。
【００４６】
〔実施の形態１〕
本実施形態では、図１〜図５に基づき、ウエハスケールレンズの撮像テストを、ウエハレベルで行う検査方法について説明する。図３は、本実施形態のウエハトレイを備えた撮像テスト装置（検査装置）の概略図である。
【００４７】
図３のように、本実施形態の検査装置１００は、遮光筺体１０４内に、検査対象となるウエハスケールレンズ２を保持するウエハトレイ１と、テスト用の被写体１０１と、検査用のマスターチップである受光部１０３と、受光部１０３を保持する保持台１０２とを備えている。検査装置１００は、被写体１０１と、受光部１０３との間に配置されたウエハスケールレンズ２の撮像テストを、ウエハレベルで行う。
【００４８】
ウエハスケールレンズ２の撮像テストは、まず、ウエハスケールレンズ２に形成された各レンズによって被写体１０１を撮影する。一方、ウエハスケールレンズ２の裏面に受光部１０３を接近または接触させて、検査対象となるレンズによって撮影された被写体１０１を、受光部１０３で受光する。そして、受光部１０３から出力された画像データに基づき、レンズの性能を評価する。つまり、検査装置１００は、受光部１０３を用いることにより、ウエハスケールレンズ２を完成品のカメラモジュールと見立てて撮像テストを行う。このため、完成品のカメラモジュールを形成したときと同じ条件で、評価できる。
【００４９】
このように、検査装置１００では、ウエハトレイ１を用いることによって、ウエハスケールレンズ２の撮像テストを、ウエハ状態で行う。つまり、ウエハスケールレンズ２を個々のレンズに分離する前に、撮像テストを行う。これにより、個々のレンズを検査装置１００に搬送する必要がなくなる。しかも、多数のレンズを同時に検査することができる。従って、検査効率を高め、検査時間を飛躍的に短縮することができる。
【００５０】
ここで、ウエハトレイ１について具体的に説明する。図１は、本実施形態のウエハトレイ１の斜視図であって、（ａ）開状態のウエハトレイ１、（ｂ）は閉状態のウエハトレイ１を示している。図１（ａ）のように、ウエハトレイ１は、２枚のトレイ（上トレイ１１，下トレイ１２）によって、１枚のウエハスケールレンズ２を挟持するようになっている。
【００５１】
ウエハスケールレンズ２は、複数のレンズ２０を有している。図２は、ウエハスケールレンズ２が有するレンズ２０の断面図である。レンズ２０は、おもて面に凸状のレンズ光学部（レンズ光学面）２１が形成されており、このレンズ光学部２１が実質的にレンズとして機能する。なお、レンズ光学部２１が形成されているため、レンズ２０のおもて面は凹凸形状となっている。
【００５２】
なお、図１（ａ）のように、ウエハスケールレンズ２の外縁部にはノッチ２ａが形成されている。そして、ウエハトレイ１の下トレイ１２には、このノッチ２ａに対応する位置決めガイド１２ａが形成されている。これにより、図１（ｂ）のように、ウエハトレイ１が閉状態になると、ノッチ２ａと位置決めガイド１２ａとが互いに嵌合することによって、下トレイ１２上の正確な位置に、ウエハスケールレンズ２が配置される。
【００５３】
上トレイ１１および下トレイ１２は、ウエハスケールレンズ２の保持領域に、各トレイ１１，１２を貫通した網目状（格子状）の開口が形成されている。具体的には、図４は、ウエハトレイ１の閉状態を示す断面図である。図４のように、ウエハトレイ１の上トレイ１１には開口１５が、下トレイ１２には開口１６が形成される。上トレイ１１に形成された開口１５の面積（網目の大きさ）は、各レンズ２０に対応する大きさである。このため、ウエハトレイ１では、隣接するレンズ２０（光学レンズ部２１）間が、仕切り１７ａによって仕切られている。この仕切り１７ａは、レンズ光学部２１の画角２３の範囲外に設けられている。本実施形態では、テーパ構造の仕切り１７ａを有しており、レンズ光学部２１から離れるにつれて仕切り１７ａの幅（太さ）が狭く（細く）なっている。
【００５４】
このように、上トレイ１１には開口１５が形成されているため、ウエハスケールレンズ２の各レンズ光学部２１が、開口１５から露出する。従って、上述の検査装置１００による撮像テストの際には、ウエハトレイ１に保持されたウエハスケールレンズ２が被写体１０１を撮影できる。
【００５５】
また、本実施形態では、上トレイ１１に形成された開口１５内に、レンズ２１の画角２３が確保されている。つまり、本実施形態では、上トレイ１１に、レンズ２１の画角２３を妨げない大きさの開口１５が形成されている。このため、レンズ２１による撮影は、開口１５によって妨げられない。従って、正確な撮像テストを行うことができる。
【００５６】
一方、下トレイ１２に形成された開口１６は、撮像テストの際に、ウエハスケールレンズ２が受光部１０３にアクセスできる程度の大きさであればよい。本実施形態では、隣接するレンズ２０間が、仕切り１７ｂによって仕切られている。これにより、図４のように、撮像テストの際には、保持台１０２に保持された受光部１０３が、接近または接触することによって、ウエハスケールレンズ２が被写体１０１を撮像できる。
【００５７】
このように、上トレイ１１および下トレイ１２には、開口１５，１６が形成されているため、ウエハトレイ１を閉状態としても、ウエハスケールレンズ２の両面にアクセスできる。従って、ウエハレベルでの撮像テストが可能となる。
【００５８】
なお、図４のように、ウエハトレイ１は、外側部に開閉支点１３を備えており、この開閉支点１３を軸にして、各トレイ１１，１２の開閉動作が可能になっている。また、ウエハトレイ１の閉状態は、止め具１４によって固定される。また、下トレイ１２は、ウエハスケールレンズ２の底面および側面に接触するようになっており、位置決め機能も有する。
【００５９】
また、ウエハスケールレンズ２を確実に保持する上では、仕切り１７ａ，１７ｂを隣接するレンズ２０間に形成することが好ましい。ただし、仕切り１７ａ，１７ｂは、隣接するレンズ２０間に形成することに限定されるものではなく、ウエハスケールレンズ２を十分に保持さえできれば、数個のレンズ２０ごとに間隔をあけて形成してもよいし、全く形成しなくてもよい。
【００６０】
さらに、より正確な撮像テストを行う上では、ウエハスケールレンズ２のおもて面に接する上トレイ１１が、遮光性を有することが好ましい。言い換えれば、仕切り１７ａが、遮光性を有することが好ましい。上トレイ１１（仕切り１７ａ）が遮光性を有していれば、上トレイ１１（仕切り１７ａ）が画角外の光を、遮断または吸収する。これにより、画角外の光の進入および画角外の光の乱反射を防ぐことができる。従って、正確な撮像テストを行うことができる。なお、上トレイ１１（仕切り１７ａ）自体が遮光性を有する材料から形成されていてもよいし、遮光性を有さない上トレイ１１（仕切り１７ａ）に、遮光膜を形成することによって、上トレイ１１（仕切り１７ａ）に遮光性を付与してもよい。
【００６１】
上述のように、ウエハトレイ１は、ウエハスケールレンズ２を２枚のトレイ１１，１２によって挟み込む構成である。しかし、ウエハトレイ１の構成はこれに限定されるものではない。例えば、図５は、別のウエハトレイ１ａを示す断面図である。
【００６２】
図５のウエハトレイ１ａは、ウエハスケールレンズ２を吸着保持する。具体的には、ウエハトレイ１ａは、ウエハスケールレンズ２のレンズ光学部２１の形成面と対向配置された光学ガラス１１ａを備えている。光学ガラス１１ａは、光学特性に優れており、ウエハスケールレンズ２による被写体の撮影に影響しない。このため、光学ガラス１１ａには、上述の上トレイ１１のような開口は形成されず、レンズ光学部２１の形成面の全域を覆っている。
【００６３】
光学ガラス１１ａは、ウエハスケールレンズ２を吸着保持するために、その裏面からレンズ光学部２１に向かって吸着口１９が形成されている。吸着口１９は、上述の仕切り１７ａと同様に、隣接するレンズ光学部２１（レンズ２０）間に形成されている。各吸着口１９は、レンズ光学部２１を避けて、かつ、画角２３の範囲外で、ウエハスケールレンズ２に接触している。また、各吸着口１９は、互いに連通しており、吸気経路を形成する。これにより、光学ガラス１１ａの側方から吸引（吸気）すると、ウエハスケールレンズ２がウエハトレイ１ａに吸着保持される。また、ウエハトレイ１ａは、吸気によって充分にウエハスケールレンズ２を吸着保持できる。このため、ウエハトレイ１ａでは、ウエハスケールレンズ２の裏面にウエハトレイ１で用いた下トレイ１２が不要である。従って、ウエハスケールレンズ２の裏面は露出している。これにより、受光部１０３を接近または接触させて、撮像テストが可能となる。
【００６４】
また、吸着口１９は、遮光性を有することが好ましい。吸着口１９が遮光性を有していると、吸着口１９が、画角外の光を遮断または吸収する。これにより、画角外の光の進入および画角外の光の乱反射を防ぐことができる。従って、正確な撮像テストを行うことができる。なお、吸着口１９自体が遮光性を有する材料から形成されていてもよいし、遮光性を有さない吸着口１９に、遮光膜を形成することによって、吸着口１９に遮光性を付与してもよい。
【００６５】
なお、光学ガラス１１ａは、光学樹脂など、撮像テストに影響しない光学特性に優れた材料から構成されていればよい。また、吸着の際、光学ガラス１１ａの外縁部に形成された位置決めガイド１８には、ウエハスケールレンズ２が当接する。これにより、ウエハスケールレンズ２のθ位置が確保される。
【００６６】
以上のように、本実施形態によれば、ウエハスケールレンズの撮像テストを、ウエハ状態で行う。つまり、ウエハスケールレンズを個々のレンズに分離する前に、撮像テストを行う。これにより、分離した個々のレンズを検査装置に搬送する必要がなくなる。しかも、多数のレンズを同時に検査することができる。従って、ウエハスケールレンズの検査効率を高め、検査時間を飛躍的に短縮することができる。つまり、ウエハ状態のままでの良否判定が可能となる。その結果、不良品は、後続の工程には持ち込まれず、早い段階で排除することができる。従って、歩留まりの向上および品質の向上が確保できる。それゆえ、上述したスループットの向上と併せて、コストダウンを図ることが可能となる。
【００６７】
〔実施の形態２〕
次に、本実施形態では、図６〜図１３に基づき、ウエハスケールカメラモジュールの撮像テストを、ウエハレベルで行う。なお、説明の便宜上、前記実施の形態１にて説明した図面と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。
【００６８】
図８は、本実施形態のウエハトレイを備えた撮像テスト装置（検査装置）の概略図である。検査装置１１０は、実施の形態１の検査装置１００と略同様の構成である。ただし、検査装置１１０では、検査対象がウエハスケールカメラモジュール３である点、ウエハトレイ４がウエハスケールカメラモジュール３を保持する点、ウエハスケールカメラモジュール３の裏面側からコンタクタ１０５に設けられたコンタクトピン１０６を接触させる点が、検査装置１００と異なる。
【００６９】
具体的には、図８のように、本実施形態の検査装置１１０は、遮光筺体１０４内に、検査対象となるウエハスケールカメラモジュール３を保持するウエハトレイ４と、テスト用の被写体１０１と、コンタクトピン１０６を備えたコンタクタ１０５とを備えている。検査装置１１０は、被写体１０１と、コンタクタ１０５との間に配置されたウエハスケールカメラモジュール３の撮像テストを、ウエハレベルで行う。
【００７０】
ウエハスケールカメラモジュール３の撮像テストは、まず、ウエハスケールカメラモジュール３に形成された各カメラモジュール３０によって被写体１０１を撮影する。一方、ウエハスケールカメラモジュール３の裏面にコンタクトピン１０６を接触させて、検査対象となるカメラモジュールによって撮影されて出力された被写体１０１の画像データに基づき、カメラモジュールの性能を評価する。
【００７１】
このように、検査装置１１０では、ウエハトレイ４を用いることによって、ウエハスケールカメラモジュール３の撮像テストを、ウエハ状態で行う。つまり、ウエハスケールカメラモジュール３を個々のカメラモジュールに分離する前に、撮像テストを行う。これにより、個々のカメラモジュールを検査装置１１０に搬送する必要がなくなる。しかも、多数のカメラモジュールを同時に検査することができる。従って、検査効率を高め、検査時間を飛躍的に短縮することができる。
【００７２】
ここで、ウエハトレイ４について具体的に説明する。図６は、本実施形態のウエハトレイ４の斜視図であって、（ａ）開状態のウエハトレイ４、（ｂ）は閉状態のウエハトレイ４を示している。図６（ａ）のように、ウエハトレイ４は、２枚のトレイ（上トレイ４１，下トレイ４２）によって、１枚のウエハスケールカメラモジュール３を挟持するようになっている。
【００７３】
ウエハスケールカメラモジュール３は、複数のカメラモジュール３０を有している。図７は、ウエハスケールカメラモジュール３が有するカメラモジュール３０の断面図である。カメラモジュール３０は、レンズ２０と撮像部３１とが光軸方向に積層されており、レンズ２０の裏面に撮像部３１が配置されている。撮像部３１の裏面には、撮像部３１の電極部である半田バンプ３２が形成されている。このため、撮像部３１の裏面は凹凸形状となっている。
【００７４】
なお、図６（ａ）のように、ウエハスケールカメラモジュール３の外縁部にはノッチ３ａが形成されている。そして、ウエハトレイ４の下トレイ４２には、このノッチ３ａに対応する位置決めガイド４２ａが形成されている。これにより、図６（ｂ）のように、ウエハトレイ４が閉状態になると、ノッチ３ａと位置決めガイド４２ａとが互いに嵌合することによって、下トレイ４２上の正確な位置に、ウエハスケールカメラモジュール３が配置される。
【００７５】
上トレイ４１および下トレイ４２は、ウエハスケールカメラモジュール３の保持領域に、各トレイ４１，４２を貫通した網目状（格子状）の開口が形成されている。具体的には、図９は、ウエハトレイ４の閉状態を示す断面図である。図９のように、ウエハトレイ４の上トレイ４１には開口４５が、下トレイ４２には開口４６が形成される。上トレイ４１に形成された開口４５の面積（網目の大きさ）は、各レンズ２０に対応する大きさである。このため、ウエハトレイ４では、隣接するレンズ２０（光学レンズ部２１）間が、仕切り４７ａによって仕切られている。この仕切り４７ａは、レンズ光学部２１の画角２３の範囲外に設けられている。本実施形態では、テーパ構造の仕切り４７ａを有しており、レンズ光学部２１から離れるにつれて仕切り４７ａの幅（太さ）が狭く（細く）なっている。
【００７６】
このように、上トレイ４１には開口４５が形成されているため、ウエハスケールカメラモジュール３の各レンズ光学部２１が、開口４５から露出する。従って、上述の検査装置１１０による撮像テストの際には、ウエハトレイ４に保持されたウエハスケールカメラモジュール３が被写体１０１を撮影できる。
【００７７】
また、本実施形態では、上トレイ４１に形成された開口４５内に、レンズ２１の画角２３が確保されている。つまり、本実施形態では、上トレイ４１に、レンズ２１の画角２３を妨げない大きさの開口４５が形成されている。このため、レンズ２１による撮影は、開口４５によって妨げられない。従って、正確な撮像テストを行うことができる。
【００７８】
一方、下トレイ４２に形成された開口４６は、撮像テストの際に、ウエハスケールカメラモジュール３の半田バンプ３２にコンタクトピン１０６が接触できる程度の大きさであればよい。本実施形態では、隣接するカメラモジュール３０間が、仕切り４７ｂによって仕切られている。これにより、図９のように、撮像テストの際には、コンタクタ１０５に設けられたコンタクトピン１０６が、半田バンプ３２に接触することによって、ウエハスケールカメラモジュール３が被写体１０１を撮像できる。
【００７９】
このように、上トレイ４１および下トレイ４２には、開口４５，４６が形成されているため、ウエハトレイ４を閉状態としても、ウエハスケールカメラモジュール３の両面にアクセスできる。従って、ウエハレベルでの撮像テストが可能となる。
【００８０】
なお、図９のように、ウエハトレイ４は、外側部に開閉支点４３を備えており、この開閉支点４３を軸にして、各トレイ４１，４２の開閉動作が可能になっている。また、ウエハトレイ４の閉状態は、止め具４４によって固定される。また、下トレイ４２は、ウエハスケールカメラモジュール３の底面および側面に接触するようになっており、位置決め機能も有する。
【００８１】
また、ウエハスケールカメラモジュール３を確実に保持する上では、仕切り４７ａ，４７ｂを隣接するレンズ２０間に形成することが好ましい。ただし、仕切り４７ａ，４７ｂは、隣接するカメラモジュール３０間に形成することに限定されるものではなく、ウエハスケールカメラモジュール３を十分に保持さえできれば、数個のカメラモジュール３０ごとに間隔をあけて形成してもよいし、全く形成しなくてもよい。
【００８２】
さらに、より正確な撮像テストを行う上では、ウエハスケールカメラモジュール３のおもて面に接する上トレイ４１が、遮光性を有することが好ましい。言い換えれば、仕切り４７ａが、遮光性を有することが好ましい。上トレイ４１（仕切り４７ａ）が遮光性を有していれば、画角外の光が上トレイ４１（仕切り４７ａ）によって、遮断または吸収される。これにより、画角外の光の進入および画角外の光の乱反射を防ぐことができる。従って、正確な撮像テストを行うことができる。なお、上トレイ４１（仕切り４７ａ）自体が遮光性を有する材料から形成されていてもよいし、遮光性を有さない上トレイ４１（仕切り４７ａ）に、遮光膜を形成することによって、上トレイ４１（仕切り４７ａ）に遮光性を付与してもよい。
【００８３】
上述のように、ウエハトレイ４は、ウエハスケールカメラモジュール３を２枚のトレイ４１，４２によって挟み込む構成である。しかし、ウエハトレイ１の構成はこれに限定されるものではない。例えば、図１０および図１１は、別のウエハトレイ４ａ，４ｂを示す断面図である。
【００８４】
図１０および図１１のウエハトレイ４ａ，４ｂは、ウエハスケールカメラモジュール３を吸着保持する。
【００８５】
具体的には、図１０のウエハトレイ４ａは、ウエハスケールカメラモジュール３のレンズ光学部２１の形成面と対向配置された光学ガラス４１ａを備えている。光学ガラス４１ａは、光学特性に優れており、ウエハスケールカメラモジュール３による被写体の撮影に影響しない。このため、光学ガラス４１ａには、上述の上トレイ４１のような開口は形成されず、レンズ光学部２１の形成面の全域を覆っている。
【００８６】
光学ガラス４１ａは、ウエハスケールカメラモジュール３を吸着保持するために、その裏面からレンズ光学部２１に向かって吸着口４９が形成されている。吸着口４９は、上述の仕切り４７ａと同様に、隣接するカメラモジュール３０間に形成されている。各吸着口４９は、レンズ光学部２１を避けて、かつ、画角２３の範囲外で、ウエハスケールカメラモジュール３のレンズ光学部の形成面に接触している。また、各吸着口４９は、互いに連通しており、吸気経路を形成する。これにより、光学ガラス４１ａの側方から吸引（吸気）すると、ウエハスケールカメラモジュール３がウエハトレイ４ａに吸着保持される。また、ウエハトレイ４ａは、吸気によって充分にウエハスケールレンズ２を吸着保持できる。このため、ウエハトレイ４ａでは、ウエハスケールカメラモジュール３の裏面に、ウエハトレイ４で用いた下トレイ４２が不要である。従って、ウエハスケールカメラモジュール３の裏面は露出している。これにより、コンタクトピン１０６を接触させて、撮像テストが可能となる。
【００８７】
また、吸着口４９は、遮光性を有することが好ましい。吸着口４９が遮光性を有していると、吸着口４９が、画角外の光を遮断または吸収する。これにより、画角外の光の進入および画角外の光の乱反射を防ぐことができる。従って、正確な撮像テストを行うことができる。なお、吸着口４９自体が遮光性を有する材料から形成されていてもよいし、遮光性を有さない吸着口４９に、遮光膜を形成することによって、吸着口４９に遮光性を付与してもよい。
【００８８】
なお、光学ガラス４１ａは、光学樹脂など、撮像テストに影響しない光学特性に優れた材料から構成されていればよい。また、吸着の際、光学ガラス４１ａの外縁部に形成された位置決めガイド４８には、ウエハスケールカメラモジュール３の側面が当接する。これにより、ウエハスケールカメラモジュール３のθ位置が確保される。
【００８９】
一方、図１１のウエハトレイ４ｂは、ウエハトレイ４ａとは逆に、ウエハスケールカメラモジュール３の裏面を、吸着保持する。具体的には、ウエハスケールカメラモジュール３の裏面に対向配置されたコンタクトトレイ４１ｂを備えている。
【００９０】
コンタクトトレイ４１ｂは、ウエハスケールカメラモジュール３を吸着保持するために、ウエハスケールカメラモジュール３の裏面（半田バンプ３２）に向かって吸着口４９が形成されている。吸着口４９は、隣接するカメラモジュール３０間に形成されている。各吸着口４９は、半田バンプ３２を避けてウエハスケールカメラモジュール３の裏面に接触している。また、各吸着口４９は、互いに連通しており、吸気経路を形成する。これにより、コンタクトトレイ４１ｂの側方から吸引（吸気）すると、ウエハスケールカメラモジュール３がウエハトレイ４ｂに吸着保持される。また、ウエハトレイ４ｂは、吸気によって充分にウエハスケールカメラモジュール３を吸着保持できる。このため、ウエハトレイ４ｂでは、ウエハスケールカメラモジュール３のおもて面に、ウエハトレイ４で用いた上トレイ４１が不要である。従って、ウエハスケールカメラモジュール３のおもて面（レンズ光学部２１）は露出している。これにより、レンズ光学部２１により被写体１０１を撮像することが可能となる。
【００９１】
一方、コンタクトトレイ４１ｂには、コンタクタを形成することもできる。具体的には、コンタクトトレイ４１ｂには、コンタクトピン１０６が貫通しており、ウエハスケールカメラモジュール３を吸着保持したときに、コンタクトピン１０６が半田バンプ３２に接触する。これにより、コンタクトピン１０６を半田バンプ３２に接触させて、撮像テストが可能となる。また、コンタクトトレイ４１ｂは貫通したコンタクトピン１０６により、裏面に配線基板５０をダイレクトにコンタクトする事も可能である。
これにより、ウエハスケールカメラモジュール３の吸着保持と、半田バンプ３２へのコンタクトピン１０６の接触とを同時に実現できる。
【００９２】
なお、吸着の際、コンタクトトレイ４１ｂの外縁部に形成された位置決めガイド４８には、ウエハスケールカメラモジュール３の側面が当接する。これにより、ウエハスケールカメラモジュール３のθ位置が確保される。
【００９３】
本実施形態のウエハトレイ４におけるウエハスケールカメラモジュール３の位置決めガイド４２ａについて説明する。図１２および図１３は、位置決めガイドによるウエハの位置合わせを示す斜視図である。
【００９４】
図１２の例では、ウエハスケールカメラモジュール３の外縁部に、予め位置決めノッチ３ａが形成されている。一方、ウエハトレイ４（下トレイ４２）には、各ノッチ３ａに対応する位置決めガイド４２ａが形成されている。これにより、各ノッチ３ａを、ウエハトレイ４に形成された位置決めガイド４２ａにあてがうように装着することにより、各カメラモジュール３０の裏面（電極面）が、ウエハトレイ４に形成された開口４６内に配置される。従って、ウエハスケールカメラモジュール３がウエハトレイ４に正確に装着される。
【００９５】
一方、図１３の例では、ウエハスケールカメラモジュール３の外縁部に、ノッチ３ａに加え、位置決め穴３ｂが形成されている。一方、ウエハトレイ４（下トレイ４２）には、ノッチ３ａに対応する位置決めガイド４２ａに加え、位置決め穴３ｂに挿着される位置決めピン４２ｂが形成されている。これにより、各ノッチ３ａを、ウエハトレイ４に形成された位置決めガイド４２ａにあてがうように装着するとともに、位置決め穴３ｂに位置決めピン４２ｂを挿着する。その結果、各カメラモジュール３０の裏面（電極面）が、ウエハトレイ４に形成された開口４６内に配置される。従って、ウエハスケールカメラモジュール３がウエハトレイ４に正確に装着される。
【００９６】
なお、ウエハスケールカメラモジュール３の位置決めを行うには、図１２、図１３以外にもそれぞれのウエハスケールカメラモジュール３の形状に合わせたガイドが用いられうることはいうまでもない。
【００９７】
以上のように、本発明によれば、ウエハスケールカメラモジュールまたはウエハスケールレンズを保持したまま、光学面からの撮像、および、撮像部へのコンタクタの接触または受光部の接近または接触が可能となる。それゆえ、ウエハスケールカメラモジュールまたはウエハスケールレンズを個片化することなくテストすることができる。
【００９８】
本発明は、以下のように表現することもできる。
【００９９】
〔１〕光学レンズ及び固体撮像素子をウェハスケールで形成したウェハスケールカメラモジュールにおいて、ウェハスケールのままレンズ光学面及び、撮像素子電極面の同時アクセスを可能とする事を特徴とするウェハトレイ。本発明のウエハトレイは、ウエハスケールカメラモジュールの構造を考慮し、光学面および撮像素子電極面（ウエハの両面）に同時にアクセス可能な形状となっている。
【０１００】
これにより、ウエハスケールカメラモジュールを、個々のカメラモジュールに個片化することなく、ウエハ状態でカメラモジュールの撮像テストが可能となる。このため、従来のように個片状態で（個々のカメラモジュール単位で）撮像テストを行う場合に比べて、撮像テストが実施し易くなる上、スループットも飛躍的に向上する。
【０１０１】
また、予めウエハトレイにより、ウエハスケールカメラモジュールのＸ方向、Ｙ方向、およびθ方向の位置調整が行われる。このため、撮像テスト装置には、ウエハスケールカメラモジュールの位置を調整するための複雑な機構を設ける必要がない。従って、撮像テスト装置の開発も容易になる。
【０１０２】
つまり、上記の発明によれば、ウエハ状態のままでの良否判定が可能となる。その結果、不良品は、後続の工程には持ち込まれず、早い段階で排除することができる。従って、後続の工程の歩留まりの向上およびユーザへの出荷品質の向上が確保できる。それゆえ、上述したスループットの向上と併せて、コストダウンを図ることが可能となる。
【０１０３】
〔２〕上記〔１〕に記載のウエハトレイにおいて、複数の穴が開いた上蓋及び下蓋で挟み込み、ウェハスケールカメラモジュールを収納する事を特徴とするウェハトレイ。この構成では、複数の穴が形成された上蓋および下蓋によって、ウエハが挟み込まれる。これにより、ウエハスケールカメラモジュールのまま、ウエハトレイに収納および固定することができる。
【０１０４】
〔３〕上記〔２〕に記載のウエハトレイにおいて、ウェハスケールカメラモジュールの光学レンズ面に接する蓋の形状は、光学レンズの画角を損なわない穴を有する事を特徴とするウェハトレイ。この構成では、ウエハスケールカメラモジュールの光学レンズ形成面に接する蓋には、光学レンズの画角を損なわないように、穴が形成されている。つまり、その蓋には、光学レンズの凹凸を回避するように、穴が形成されている。
【０１０５】
〔４〕上記〔２〕に記載のウエハトレイにおいて、ウェハスケールカメラモジュールの撮像素子電極面に接するトレイの形状は、電極面へのコンタクトを損なわない穴を有する事を特徴とするウェハトレイ。この構成では、ウエハスケールカメラモジュールの撮像素子電極面に接する蓋には、電極面に形成された半田バンプ等の凹凸を回避するように、穴が形成されている。これにより、カメラモジュールのテストの際に、コンタクトピン等が、電極面（半田バンプ等）に、直接コンタクトすることが可能となる。
【０１０６】
〔５〕上記〔１〕に記載のウエハトレイにおいて、ウェハスケールカメラモジュールの光学レンズ面のみを保持する事を特徴とするウェハトレイ。なお、ウエハスケールカメラモジュールの光学レンズ面に接するトレイは、光学ガラスもしくは光学樹脂等、光学特性に優れた素材により形成することによって、光学面のみでウエハを固定することができる。
【０１０７】
〔６〕上記〔５〕に記載のウエハトレイにおいて、ウェハスケールカメラモジュールの光学特性を損なわないトレイはウェハスケールカメラモジュールを吸引保持するためのしきりを有する事を特徴とするウェハトレイ。これによれば、本発明のウエハトレイにウエハを装着する事により、ケースの剛性を利用し、ウエハの製造工程で発生する反りやあおりを矯正及び吸収する事ができ、撮像テストで重要な画角ズレ等軽減でき、正確な撮像テストを実施する事ができる。なお、このウエハトレイは、ウエハスケールカメラモジュールの光学レンズ面に接するトレイの形状が、光学レンズの凹凸を回避し、且つ光学レンズの画角を損なわない状態でウエハを吸着可能なしきりを有するとも表現できる。
【０１０８】
〔７〕上記〔１〕に記載のウエハトレイにおいて、ウェハスケールカメラモジュールの撮像素子電極面のみを保持する事を特徴とするウェハトレイ。これにより、ウエハスケールカメラモジュールの撮像素子電極面に接するトレイのみでウエハを固定する事ができる。
【０１０９】
〔８〕上記〔７〕に記載のウエハトレイにおいて、ウェハスケールカメラモジュールの撮像素子電極面に接するトレイの形状は、電極面へコンタクトするプローブピンと吸引保持するためのしきり（吸着口）を有する事を特徴とするウエハトレイ。この構成では、本発明のトレイにウエハを装着する事により、ケースの剛性を利用し、電極部のコンタクタ加重によるそりを吸収しウエハの割れを防止できる。
【０１１０】
また、この構成では、半田バンプも整然と配列されているウエハ形状に即したコンタクタの一括形成（１個〜全数）が可能となるため、コンタクタ数を増加させる事ができる。従って、多数個同時測定（複数同時検査）が容易となる。
【０１１１】
なお、この構成は、上記〔７〕のウエハトレイにおいて、ウエハスケールカメラモジュールの撮像素子電極面に接するトレイの形状は、電極面に設けられた半田バンプ等の電極に直接コンタクトが可能なコンタクトピンを有し、また半田バンプ等の凹凸を回避しながらウエハ吸着が可能なしきりによりウエハを固定し、且つコンタクトを補助することを特徴としているともいえる。
【０１１２】
〔９〕上記〔１〕〜〔８〕のいずれかのウエハトレイにおいて、ウェハ形状を利用した位置決めガイドを有する事を特徴とするウェハトレイ。この構成では、ウエハスケールカメラモジュールのウエハ形状を利用し、トレイに位置決めガイドを設けているため、正確な位置にウエハを装着可能なる。これにより、位置決めガイドに沿ってウエハをトレイに装着する事により、ウエハスケールカメラモジュールの光学部及び電極部の凹凸に傷を付けずに装着、搬送する事ができる。また、ウエハスケールレンズに傷を付けずに、装着および搬送することができる。すなわち、ウエハトレイに形成された位置決めガイドに沿って、ウエハトレイにウエハを装着することができる。これにより、ウエハトレイの正確な位置に、ウエハを装着することができる。従って、ウエハスケールカメラモジュールの光学面および電極面を傷つけずに、ウエハトレイにウエハを装着できる。また、ウエハスケールカメラモジュールを保護することもできる。このため、歩留まりおよび品質を、さらに向上することができる。
【０１１３】
〔１０〕上記〔１〕〜〔９〕のいずれかのウエハトレイと用いて、ウエハスケールカメラモジュールのレンズ光学面、および、撮像素子の電極面に、同時にアクセスすることを特徴とするウェハスケールカメラモジュールのテスト方法。これにより、ウエハスケールカメラモジュールの状態のまま、撮像テストを実施することができる。
【０１１４】
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【０１１５】
本発明は、デジタルスチルカメラ、カメラ付携帯電話、監視カメラなどカメラモジュールを備えた各種電子機器の製造に好適に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【０１１６】
【図１】本発明のウエハトレイの斜視図であって、（ａ）開状態のウエハトレイ、（ｂ）は閉状態のウエハトレイを示している。
【図２】図１のウエハトレイに保持されるウエハスケールレンズが有するレンズの断面図である。
【図３】図１のウエハトレイを備えた検査装置の概略図である。
【図４】図１のウエハトレイの断面図である。
【図５】本発明の別のウエハトレイの断面図である。
【図６】本発明のウエハトレイの斜視図であって、（ａ）開状態のウエハトレイ、（ｂ）は閉状態のウエハトレイを示している。
【図７】図６のウエハトレイに保持されるウエハスケールカメラモジュールが有するカメラモジュールの断面図である。
【図８】図６のウエハトレイを備えた検査装置の概略図である。
【図９】図６のウエハトレイの断面図である。
【図１０】本発明の別のウエハトレイの断面図である。
【図１１】本発明の別のウエハトレイの断面図である。
【図１２】本発明のウエハトレイに形成された位置決めガイドによるウエハの位置合わせを示す斜視図である。
【図１３】本発明のウエハトレイに形成された別の位置決めガイドによるウエハの位置合わせを示す斜視図である。
【符号の説明】
【０１１７】
１，１ａ ウエハトレイ
２ ウエハスケールレンズ
３ ウエハスケールカメラモジュール
４，４ａ，４ｂ ウエハトレイ
１１ 上トレイ（トレイ）
１２ 下トレイ（トレイ）
１３ トレイ開閉支点
１４ 止め具
１５ 開口
１６ 開口
１７ａ 仕切り
１７ｂ 仕切り
１８ 位置合わせガイド
１９ 吸着口
２０ レンズ
２１ レンズ光学部
２３ 画角
３０ カメラモジュール
３２ 半田バンプ（電極部）
４１ 上トレイ（トレイ）
４２ 下トレイ（トレイ）
４３ 開閉支点
４４ 止め具
４５ 開口
４６ 開口
４７ａ 仕切り
４７ｂ 仕切り
４８ 位置合わせガイド
４９ 吸着口
５０ 配線基板
１００ 検査装置
１０１ 被写体
１０２ 保持台
１０３ 受光部
１０４ 遮光筺体
１０５ コンタクタ
１０６ コンタクトピン
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カメラモジュールに用いられるレンズを複数有するウエハスケールレンズを保持し、ウエハスケールレンズの検査装置に用いられるウエハトレイであって、
ウエハスケールレンズを保持した状態で、検査対象となるレンズの評価ができるようになっていることを特徴とするウエハトレイ。
【請求項２】
ウエハスケールレンズが挟持される２枚のトレイを備えており、
各トレイには開口が形成されており、
レンズ光学部が形成されたウエハスケールレンズのおもて面に接するトレイに形成された開口内に、レンズ光学部が配置される一方、ウエハスケールレンズの裏面に接するトレイに形成された開口内に、検査用の受光部が配置されるように、ウエハスケールレンズが保持されていることを特徴とする請求項１に記載のウエハトレイ。
【請求項３】
ウエハスケールレンズのおもて面に接するトレイに形成された開口内に、レンズの画角が確保されることを特徴とする請求項２に記載のウエハトレイ。
【請求項４】
レンズ光学部が形成されたウエハスケールレンズのおもて面に接するトレイが、遮光性を有することを特徴とする請求項２または３に記載のウエハトレイ。
【請求項５】
ウエハスケールレンズが、吸着保持されることを特徴とする請求項１に記載のウエハトレイ。
【請求項６】
レンズ光学部が形成されたウエハスケールレンズのおもて面に接する吸着口を備えており、
上記吸着口は、レンズ光学部を避けて形成されていることを特徴とする請求項５に記載のウエハトレイ。
【請求項７】
上記吸着口は、互いに隣接するレンズ間を仕切るように形成されていることを特徴とする請求項６に記載のウエハトレイ。
【請求項８】
上記吸着口が、遮光性を有することを特徴とする請求項６または７に記載のウエハトレイ。
【請求項９】
レンズ光学部が形成されたウエハスケールレンズのおもて面のみが、吸着保持されることを特徴とする請求項５〜８のいずれか１項に記載のウエハトレイ。
【請求項１０】
ウエハスケールレンズの位置合わせのための位置決めガイドを備えることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載のウエハトレイ。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか１項に記載のウエハトレイを備えるウエハスケールレンズの検査装置。
【請求項１２】
請求項１〜１０のいずれか１項に記載のウエハトレイを用いて、ウエハレベルでウエハスケールレンズを評価することを特徴とするウエハスケールレンズの検査方法。
【請求項１３】
レンズと固体撮像素子とを備え、裏面に電極部が形成されたカメラモジュールを複数有するウエハスケールカメラモジュールを保持し、カメラモジュールの検査装置に用いられるウエハトレイであって、
カメラモジュールを保持した状態で、検査対象となるカメラモジュールのレンズが被写体を撮影する一方、電極部に検査用のコンタクトピンが接触できるようになっていることを特徴とするウエハトレイ。
【請求項１４】
ウエハスケールカメラモジュールが挟持される２枚のトレイを備えており、
各トレイには開口が形成されており、
レンズが形成されたウエハスケールカメラモジュールのおもて面に接するトレイに形成された開口内に、レンズ光学部が配置される一方、ウエハスケールカメラモジュールの裏面に接するトレイに形成された開口内に、検査用のコンタクトピンが配置されるように、ウエハスケールカメラモジュールが保持されていることを特徴とする請求項１３に記載のウエハトレイ。
【請求項１５】
ウエハスケールカメラモジュールのおもて面に接するトレイに形成された開口内に、レンズの画角が確保されることを特徴とする請求項１４に記載のウエハトレイ。
【請求項１６】
レンズが形成されたウエハスケールカメラモジュールのおもて面に接するトレイが、遮光性を有することを特徴とする請求項１４または１５に記載のウエハトレイ。
【請求項１７】
ウエハスケールカメラモジュールが、吸着保持されることを特徴とする請求項１４に記載のウエハトレイ。
【請求項１８】
レンズが形成されたウエハスケールカメラモジュールのおもて面に接する吸着口を備えており、
上記吸着口は、レンズ光学部を避けて形成されていることを特徴とする請求項１７に記載のウエハトレイ。
【請求項１９】
上記吸着口は、互いに隣接するカメラモジュール間を仕切るように形成されていることを特徴とする請求項１８に記載のウエハトレイ。
【請求項２０】
上記吸着口が、遮光性を有することを特徴とする請求項１８または１９に記載のウエハトレイ。
【請求項２１】
レンズが形成されたウエハスケールカメラモジュールのおもて面のみが、吸着保持されることを特徴とする請求項１７〜２０のいずれか１項に記載のウエハトレイ。
【請求項２２】
電極部が形成されたウエハスケールカメラモジュールの裏面に接する吸着口を備えており、
上記吸着口は、電極部を避けて形成されていることを特徴とする請求項１７に記載のウエハトレイ。
【請求項２３】
ウエハスケールカメラモジュールの裏面のみが、吸着保持されることを特徴とする請求項２２に記載のウエハトレイ。
【請求項２４】
ウエハスケールカメラモジュールの位置合わせのための位置決めガイドを備えることを特徴とする請求項１３〜２３のいずれか１項に記載のウエハトレイ。
【請求項２５】
請求項１３〜２４のいずれか１項に記載のウエハトレイを備えるウエハスケールカメラモジュールの検査装置。
【請求項２６】
請求項１３〜２４のいずれか１項に記載のウエハトレイを用いて、ウエハレベルでウエハスケールレンズを評価することを特徴とするウエハスケールレンズの検査方法。
【請求項１】
カメラモジュールに用いられるレンズを複数有するウエハスケールレンズを保持し、ウエハスケールレンズの検査装置に用いられるウエハトレイであって、
ウエハスケールレンズを保持した状態で、検査対象となるレンズの評価ができるようになっていることを特徴とするウエハトレイ。
【請求項２】
ウエハスケールレンズが挟持される２枚のトレイを備えており、
各トレイには開口が形成されており、
レンズ光学部が形成されたウエハスケールレンズのおもて面に接するトレイに形成された開口内に、レンズ光学部が配置される一方、ウエハスケールレンズの裏面に接するトレイに形成された開口内に、検査用の受光部が配置されるように、ウエハスケールレンズが保持されていることを特徴とする請求項１に記載のウエハトレイ。
【請求項３】
ウエハスケールレンズのおもて面に接するトレイに形成された開口内に、レンズの画角が確保されることを特徴とする請求項２に記載のウエハトレイ。
【請求項４】
レンズ光学部が形成されたウエハスケールレンズのおもて面に接するトレイが、遮光性を有することを特徴とする請求項２または３に記載のウエハトレイ。
【請求項５】
ウエハスケールレンズが、吸着保持されることを特徴とする請求項１に記載のウエハトレイ。
【請求項６】
レンズ光学部が形成されたウエハスケールレンズのおもて面に接する吸着口を備えており、
上記吸着口は、レンズ光学部を避けて形成されていることを特徴とする請求項５に記載のウエハトレイ。
【請求項７】
上記吸着口は、互いに隣接するレンズ間を仕切るように形成されていることを特徴とする請求項６に記載のウエハトレイ。
【請求項８】
上記吸着口が、遮光性を有することを特徴とする請求項６または７に記載のウエハトレイ。
【請求項９】
レンズ光学部が形成されたウエハスケールレンズのおもて面のみが、吸着保持されることを特徴とする請求項５〜８のいずれか１項に記載のウエハトレイ。
【請求項１０】
ウエハスケールレンズの位置合わせのための位置決めガイドを備えることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載のウエハトレイ。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか１項に記載のウエハトレイを備えるウエハスケールレンズの検査装置。
【請求項１２】
請求項１〜１０のいずれか１項に記載のウエハトレイを用いて、ウエハレベルでウエハスケールレンズを評価することを特徴とするウエハスケールレンズの検査方法。
【請求項１３】
レンズと固体撮像素子とを備え、裏面に電極部が形成されたカメラモジュールを複数有するウエハスケールカメラモジュールを保持し、カメラモジュールの検査装置に用いられるウエハトレイであって、
カメラモジュールを保持した状態で、検査対象となるカメラモジュールのレンズが被写体を撮影する一方、電極部に検査用のコンタクトピンが接触できるようになっていることを特徴とするウエハトレイ。
【請求項１４】
ウエハスケールカメラモジュールが挟持される２枚のトレイを備えており、
各トレイには開口が形成されており、
レンズが形成されたウエハスケールカメラモジュールのおもて面に接するトレイに形成された開口内に、レンズ光学部が配置される一方、ウエハスケールカメラモジュールの裏面に接するトレイに形成された開口内に、検査用のコンタクトピンが配置されるように、ウエハスケールカメラモジュールが保持されていることを特徴とする請求項１３に記載のウエハトレイ。
【請求項１５】
ウエハスケールカメラモジュールのおもて面に接するトレイに形成された開口内に、レンズの画角が確保されることを特徴とする請求項１４に記載のウエハトレイ。
【請求項１６】
レンズが形成されたウエハスケールカメラモジュールのおもて面に接するトレイが、遮光性を有することを特徴とする請求項１４または１５に記載のウエハトレイ。
【請求項１７】
ウエハスケールカメラモジュールが、吸着保持されることを特徴とする請求項１４に記載のウエハトレイ。
【請求項１８】
レンズが形成されたウエハスケールカメラモジュールのおもて面に接する吸着口を備えており、
上記吸着口は、レンズ光学部を避けて形成されていることを特徴とする請求項１７に記載のウエハトレイ。
【請求項１９】
上記吸着口は、互いに隣接するカメラモジュール間を仕切るように形成されていることを特徴とする請求項１８に記載のウエハトレイ。
【請求項２０】
上記吸着口が、遮光性を有することを特徴とする請求項１８または１９に記載のウエハトレイ。
【請求項２１】
レンズが形成されたウエハスケールカメラモジュールのおもて面のみが、吸着保持されることを特徴とする請求項１７〜２０のいずれか１項に記載のウエハトレイ。
【請求項２２】
電極部が形成されたウエハスケールカメラモジュールの裏面に接する吸着口を備えており、
上記吸着口は、電極部を避けて形成されていることを特徴とする請求項１７に記載のウエハトレイ。
【請求項２３】
ウエハスケールカメラモジュールの裏面のみが、吸着保持されることを特徴とする請求項２２に記載のウエハトレイ。
【請求項２４】
ウエハスケールカメラモジュールの位置合わせのための位置決めガイドを備えることを特徴とする請求項１３〜２３のいずれか１項に記載のウエハトレイ。
【請求項２５】
請求項１３〜２４のいずれか１項に記載のウエハトレイを備えるウエハスケールカメラモジュールの検査装置。
【請求項２６】
請求項１３〜２４のいずれか１項に記載のウエハトレイを用いて、ウエハレベルでウエハスケールレンズを評価することを特徴とするウエハスケールレンズの検査方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【公開番号】特開２０１０−７３７４８（Ｐ２０１０−７３７４８Ａ）
【公開日】平成２２年４月２日（２０１０．４．２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−２３６９１３（Ｐ２００８−２３６９１３）
【出願日】平成２０年９月１６日（２００８．９．１６）
【出願人】（０００００５０４９）シャープ株式会社 (33,933)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年４月２日（２０１０．４．２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年９月１６日（２００８．９．１６）
【出願人】（０００００５０４９）シャープ株式会社 (33,933)
【Ｆターム（参考）】
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