スライドテーブル付きリニアアクチュエータ
【課題】スライドテーブルの高さを抑制できるスライドテーブル付きリニアアクチュエータを提供する。
【解決手段】雄ネジ２０によってピストンロッド１７の先端に締め付け固定されているフローティング部材１９は、円筒形状の小径部１９１と、第１大径部１９２と、第２大径部１９３とを備えている。第１大径部１９２の周縁は、ピストン１６の移動方向に見て、ガイドブロック１２に対するスライドテーブル１３の載置方向（矢印Ｒの方向）と垂直な方向に平坦な平坦縁１９４，１９５を有する。第１大径部１９２は、ピストン１６の移動方向Ｐに見て、ガイドブロック１２に対するスライドテーブル１３の載置方向（矢印Ｒの方向）の最大幅Ｔ（平坦縁１９４，１９５間の距離）が該載置方向Ｒと垂直な方向の最大幅Ｙよりも小さくなる形状に形成されている。ピストン１６は、シリンダブロック１１内で回動不能な偏平形状に形成されている。
【解決手段】雄ネジ２０によってピストンロッド１７の先端に締め付け固定されているフローティング部材１９は、円筒形状の小径部１９１と、第１大径部１９２と、第２大径部１９３とを備えている。第１大径部１９２の周縁は、ピストン１６の移動方向に見て、ガイドブロック１２に対するスライドテーブル１３の載置方向（矢印Ｒの方向）と垂直な方向に平坦な平坦縁１９４，１９５を有する。第１大径部１９２は、ピストン１６の移動方向Ｐに見て、ガイドブロック１２に対するスライドテーブル１３の載置方向（矢印Ｒの方向）の最大幅Ｔ（平坦縁１９４，１９５間の距離）が該載置方向Ｒと垂直な方向の最大幅Ｙよりも小さくなる形状に形成されている。ピストン１６は、シリンダブロック１１内で回動不能な偏平形状に形成されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スライドテーブル付きのリニアアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
ワークを搬送するためのスライドテーブルを備えたリニアアクチュエータは、例えば特許文献１に開示されている。特許文献１に開示のリニアアクチュエータでは、ガイドブロックがシリンダ本体（シリンダブロック）上に載置されており、スライドテーブルがガイドブロック上にスライド可能に載置されている。シリンダ本体にスライド可能に収容されたロッドとスライドテーブルとは、エンドプレート及びフローティングブッシュ（フローティング部材）を介して連結されており、フローティングブッシュは、エンドプレートとピストンロッドとを連結している。ピストンロッドが往復動されると、スライドテーブルがピストンロッドの移動方向に往復動される。
【０００３】
ピストンロッドの移動方向に見た場合のピストンの形状は、円形状であってシリンブロック内で回転可能であり、ピストンロッドの移動方向に見た場合のフローティングブッシュの形状も円形状である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−６１６１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
スライドテーブルの高さを低く抑えるには、エンドプレートとピストンロッドとを連結するフローティングブッシュの最大径を小さくすればよいが、円筒形状のフローティングブッシュは、フローティングブッシュの筒内に通した雄ネジを用いてピストンロッドの先端にねじ止めされるため、フローティングブッシュの最大径を小さくすることが困難である。つまり、エンドプレートとピストンロッドとを連結するフローティングブッシュの円形状は、スライドテーブルの高さを低く抑える際の妨げになる。
【０００６】
本発明は、スライドテーブルの高さを抑制できるスライドテーブル付きのリニアアクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、スライドテーブルがガイドブロックに対して流体圧シリンダのピストンロッドの移動方向と垂直な方向に載置されており、前記ピストンロッドと前記スライドテーブルとがエンドプレート及びフローティング部材を介して連結されており、前記フローティング部材は、前記エンドプレートと前記ピストンロッドとを連結しており、前記スライドテーブルが前記ピストンロッドの移動方向に往復動されるスライドテーブル付きリニアアクチュエータを対象とし、請求項１の発明では、前記移動方向に見た場合の前記フローティング部材の形状は、前記ガイドブロックに対する前記スライドテーブルの載置方向の最大幅が前記載置方向と垂直な方向の最大幅よりも小さくなるように形成されており、前記ピストンロッドを中心とする前記フローティング部材の回り止めを行なう回り止め手段が設けられている。
【０００８】
回り止め手段によって回り止めを阻止されているフローティング部材の載置方向の最大幅が前記載置方向と垂直な方向の最大幅よりも小さいため、スライドテーブルの高さ（前記載置方向の高さ）を抑制することができる。
【０００９】
好適な例では、前記回り止め手段は、前記流体圧シリンダのピストンと、前記ピストンを収容するシリンダブロックとを備え、前記移動方向に見た場合の前記ピストンの形状は、前記シリンダブロック内で回動不能な形状である。
【００１０】
前記移動方向に見た場合のピストンの形状を前記載置方向に偏平な形状とすれば、シリンダブロックの高さも抑制することができる。
好適な例では、前記回り止め手段は、前記エンドプレートに形成された嵌め込み凹部と、前記嵌め込み凹部に嵌め込まれた前記フローティング部材とを備え、前記移動方向に見た場合の前記嵌め込み凹部の形状は、前記移動方向に見た場合の前記フローティング部材の形状と同形である。
【００１１】
嵌め込み凹部の形状とフローティング部材の形状とを同形とした構成は、回り止め手段として簡便である。
好適な例では、前記流体圧シリンダと前記ガイドブロックとは、直列に連結されている。
【００１２】
このような直列連結構造は、前記載置方向におけるリニアアクチュエータ全体の薄型化に有利である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明のスライドテーブル付きのリニアアクチュエータは、スライドテーブルの高さを抑制できるという優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】第１の実施形態を示す斜視図。
【図２】平断面図。
【図３】（ａ）は、図２のＡ−Ａ線断面図。（ｂ）は、図２のＢ−Ｂ線断面図。（ｃ）は、図２のＣ−Ｃ線断面図。（ｄ）は、図２のＤ−Ｄ線断面図。
【図４】第２の実施形態を示し、（ａ），（ｂ）は、断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明を具体化した第１の実施形態を図１〜図３に基づいて説明する。
図１に示すように、偏平な四角柱形状のシリンダブロック１１にはガイドブロック１２が連結されている。ガイドブロック１２には四角板形状のスライドテーブル１３が載置されており、スライドテーブル１３の端面にはエンドプレート１４がネジ１５によって締め付け固定されている。
【００１６】
図３（ｄ）に示すように、ガイドブロック１２の上面には一対のレール１２１，１２２が平行に一体形成されており、スライドテーブル１３の下面には一対の被ガイドレール１３１，１３２が平行に一体形成されている。レール１２１，１２２と被ガイドレール１３１，１３２とは、複数の転動ボール２１を介して連結されており、被ガイドレール１３１，１３２は、転動ボール２１を介してレール１２１，１２２の長さ方向への移動を案内される。
【００１７】
図２に示すように、シリンダブロック１１内にはピストン１６がスライド可能に収容されており、ピストン１６にはピストンロッド１７が連結して固定されている。ピストンロッド１７は、シリンダブロック１１の端部に連結されたガイドプレート１８の通し孔１８１を通ってスライドテーブル１３側へ突出している。ピストンロッド１７の移動方向（矢印Ｐの方向）は、被ガイドレール１３１，１３２の移動方向と同じ方向である。
【００１８】
シリンダブロック１１及びピストンロッド１７と共に流体圧シリンダを構成するピストン１６は、シリンダブロック１１に連結された蓋２２とピストン１６との間に第１圧力室１１１を区画すると共に、ガイドプレート１８とピストン１６との間に第２圧力室１１２を区画する。第１圧力室１１１は、図示しない３方弁を介して圧力エア供給源に接続されており、第２圧力室１１２は、図示しない３方弁を介して圧力エア供給源に接続されている。
【００１９】
図３（ａ）に示すように、ピストン１６は、ピストンロッド１７の移動方向Ｐに見て偏平な形状に形成されている。つまり、ガイドブロック１２に対するスライドテーブル１３の載置方向（矢印Ｒの方向）におけるピストン１６の幅は、載置方向Ｒと垂直な方向かつピストンロッド１７の移動方向Ｐと垂直な方向（矢印Ｑの方向）の幅よりも小さくしてある。シリンダブロック１１及びピストン１６は、シリンダブロック１１内でピストンロッド１７を中心とする回転を阻止する回り止め手段を構成する。
【００２０】
スライドテーブル１３側へ突出するピストンロッド１７の突出端面には筒形状のフローティング部材１９が雄ネジ２０によって締め付け固定されている。フローティング部材１９は、円筒形状の小径部１９１と、第１大径部１９２と、第２大径部１９３とを備えている。
【００２１】
図３（ｃ）に示すように、第１大径部１９２の周縁は、ピストン１６の移動方向Ｐに見て、ガイドブロック１２に対するスライドテーブル１３の載置方向（矢印Ｒの方向）と垂直な方向に平坦な平坦縁１９４，１９５を有する。平坦縁１９４，１９５は、互いに平行である。つまり、第１大径部１９２は、ピストン１６の移動方向Ｐに見て、ガイドブロック１２に対するスライドテーブル１３の載置方向（矢印Ｒの方向）の最大幅Ｔ（平坦縁１９４，１９５間の距離）が該載置方向Ｒと垂直な方向の最大幅Ｙよりも小さくなる形状に形成されている。
【００２２】
図３（ｂ）に示すように、ピストン１６の移動方向Ｐに見た第２大径部１９３は、第１大径部１９２の形状と同形同大であって一対の平坦縁１９４，１９５を備えている。
図３（ｃ）に示すように、エンドプレート１４には嵌め込み凹部２３が形成されている。嵌め込み凹部２３は、小径部１９１を嵌め込む幅狭部２３１と、第１大径部１９２を嵌め込む幅広部２３２とからなる。小径部１９１は、幅狭部２３１に嵌め込まれており、第１大径部１９２は、幅広部２３２に嵌め込まれている。第２大径部１９３は、ガイドプレート１８に対向するエンドプレート１４の対向面１４１に接合可能に、エンドプレート１４とガイドプレート１８との間に配置される。
【００２３】
第１圧力室１１１に圧力エアが供給されると共に、第２圧力室１１２から圧力エアが排気されると、ピストン１６が突出方向へ移動する。この移動運動は、第２大径部１９３及びエンドプレート１４を介してスライドテーブル１３に伝えられ、スライドテーブル１３がシリンダブロック１１から遠ざかる方向へ移動する。
【００２４】
第２圧力室１１２に圧力エアが供給されると共に、第１圧力室１１１から圧力エアが排気されると、ピストン１６がシリンダブロック１１内に没入する方向へ移動する。この移動運動は、第１大径部１９２及びエンドプレート１４を介してスライドテーブル１３に伝えられ、スライドテーブル１３がシリンダブロック１１に近付く方向へ移動する。
【００２５】
第１の実施形態では以下の効果が得られる。
（１）シリンダブロック１１内で回動不能なピストン１６によって回り止めを阻止されているフローティング部材１９の載置方向Ｒの最大幅Ｔが載置方向Ｒと垂直な方向の最大幅Ｙよりも小さいため、円形状のフローティング部材に比べてスライドテーブル１３の高さ（載置方向Ｒの高さ）を抑制することができる。
【００２６】
（２）ピストン１６の移動方向Ｐに見た場合のピストン１６の形状が載置方向Ｒに偏平な形状であるため、シリンダブロック１１の高さも抑制することができる。
（３）シリンダブロック１１とガイドブロック１２とを直列に連結した構造は、シリンダブロック１１とガイドブロック１２とを載置方向Ｒに重ね合わせた場合に比べて、載置方向Ｒにおけるリニアアクチュエータ全体の薄型化に有利である。
【００２７】
（４）四角板形状のスライドテーブル１３に対してその板厚方向へ大きな荷重が掛かった場合、スライドテーブル１３が板厚方向に撓み変形しようとする。このような撓み変形を生じさせるような荷重は、エンドプレート１４を傾かせる。このように傾いたエンドプレート１４とフローティング部材１９の大径部１９２，１９３の周縁との間でこじりが生じると、エンドプレート１４やフローティング部材１９が摩耗し、摩耗粉が発生する。
【００２８】
フローティング部材１９の載置方向Ｒの最大幅Ｔが載置方向Ｒと垂直な方向の最大幅Ｙよりも小さいフローティング部材１９では、スライドテーブル１３に対してその板厚方向へ大きな荷重が掛かった場合にエンドプレート１４とフローティング部材１９との間でこじりが生じる場合には、平坦縁１９４，１９５とエンドプレート１４との間でこじりが生じる。しかし、最大幅Ｙを直径とする円形のフローティング部材に比べて、平坦縁１９４，１９５間の距離が小さいフローティング部材１９では、平坦縁１９４，１９５とエンドプレート１４との間でのこじりが低減する。従って、摩耗粉の発生が抑制される。
【００２９】
本発明では以下のような実施形態も可能である。
○図４（ｂ）に示すように、嵌め込み凹部２３の幅広部２３２を形成する平坦部２３３と、第１大径部１９２の平坦縁１９４とが互いに面接触状態にあり、平坦部２３３を備えた第１大径部１９２及び平坦縁１９４嵌め込み凹部２３が回り止め手段を構成するようにしてもよい。この場合、図４（ａ）に示すように、ピストン１６Ａの移動方向に見た場合のピストン１６Ａの形状が円形であってもよい。
【００３０】
○フローティング部材１９を固定するピストンロッド１７の形状がピストンロッド１７の移動方向に見た場合に非円形（例えば四角あるいは楕円）であってもよい。ガイドプレート１８の通し孔１８１が非円形（例えば四角あるいは楕円）であれば、ピストンロッド１７が回動することはない。この場合、非円形の通し孔１８１及び非円形のピストンロッド１７が回り止め手段を構成する。
【００３１】
○シリンダブロック１１上にガイドブロック１２を載置し、ガイドブロック１２上にスライドテーブル１３を載置したリニアアクチュエータに本発明を適用してもよい。
前記した実施形態から把握できる技術思想について以下に記載する。
【００３２】
〔１〕前記回り止め手段は、前記ピストンロッドを通す通し孔と前記ピストンロッドとを備え、前記移動方向に見た場合の前記通し孔及び前記ピストンロッドの形状は、非円形である請求項１に記載のスライドテーブル付きリニアアクチュエータ。
【符号の説明】
【００３３】
１１…流体圧シリンダ及び回り止め手段を構成するシリンダブロック。１２…ガイドブロック。１３…スライドテーブル。１４…エンドプレート。１６…流体圧シリンダ及び回り止め手段を構成するピストン。１７…流体圧シリンダを構成するピストンロッド。１９…フローティング部材。１９２…回り止め手段を構成する第１大径部。２３…回り止め手段を構成する嵌め込み凹部。Ｒ…載置方向。Ｐ…移動方向。Ｔ，Ｙ…最大幅。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スライドテーブル付きのリニアアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
ワークを搬送するためのスライドテーブルを備えたリニアアクチュエータは、例えば特許文献１に開示されている。特許文献１に開示のリニアアクチュエータでは、ガイドブロックがシリンダ本体（シリンダブロック）上に載置されており、スライドテーブルがガイドブロック上にスライド可能に載置されている。シリンダ本体にスライド可能に収容されたロッドとスライドテーブルとは、エンドプレート及びフローティングブッシュ（フローティング部材）を介して連結されており、フローティングブッシュは、エンドプレートとピストンロッドとを連結している。ピストンロッドが往復動されると、スライドテーブルがピストンロッドの移動方向に往復動される。
【０００３】
ピストンロッドの移動方向に見た場合のピストンの形状は、円形状であってシリンブロック内で回転可能であり、ピストンロッドの移動方向に見た場合のフローティングブッシュの形状も円形状である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−６１６１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
スライドテーブルの高さを低く抑えるには、エンドプレートとピストンロッドとを連結するフローティングブッシュの最大径を小さくすればよいが、円筒形状のフローティングブッシュは、フローティングブッシュの筒内に通した雄ネジを用いてピストンロッドの先端にねじ止めされるため、フローティングブッシュの最大径を小さくすることが困難である。つまり、エンドプレートとピストンロッドとを連結するフローティングブッシュの円形状は、スライドテーブルの高さを低く抑える際の妨げになる。
【０００６】
本発明は、スライドテーブルの高さを抑制できるスライドテーブル付きのリニアアクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、スライドテーブルがガイドブロックに対して流体圧シリンダのピストンロッドの移動方向と垂直な方向に載置されており、前記ピストンロッドと前記スライドテーブルとがエンドプレート及びフローティング部材を介して連結されており、前記フローティング部材は、前記エンドプレートと前記ピストンロッドとを連結しており、前記スライドテーブルが前記ピストンロッドの移動方向に往復動されるスライドテーブル付きリニアアクチュエータを対象とし、請求項１の発明では、前記移動方向に見た場合の前記フローティング部材の形状は、前記ガイドブロックに対する前記スライドテーブルの載置方向の最大幅が前記載置方向と垂直な方向の最大幅よりも小さくなるように形成されており、前記ピストンロッドを中心とする前記フローティング部材の回り止めを行なう回り止め手段が設けられている。
【０００８】
回り止め手段によって回り止めを阻止されているフローティング部材の載置方向の最大幅が前記載置方向と垂直な方向の最大幅よりも小さいため、スライドテーブルの高さ（前記載置方向の高さ）を抑制することができる。
【０００９】
好適な例では、前記回り止め手段は、前記流体圧シリンダのピストンと、前記ピストンを収容するシリンダブロックとを備え、前記移動方向に見た場合の前記ピストンの形状は、前記シリンダブロック内で回動不能な形状である。
【００１０】
前記移動方向に見た場合のピストンの形状を前記載置方向に偏平な形状とすれば、シリンダブロックの高さも抑制することができる。
好適な例では、前記回り止め手段は、前記エンドプレートに形成された嵌め込み凹部と、前記嵌め込み凹部に嵌め込まれた前記フローティング部材とを備え、前記移動方向に見た場合の前記嵌め込み凹部の形状は、前記移動方向に見た場合の前記フローティング部材の形状と同形である。
【００１１】
嵌め込み凹部の形状とフローティング部材の形状とを同形とした構成は、回り止め手段として簡便である。
好適な例では、前記流体圧シリンダと前記ガイドブロックとは、直列に連結されている。
【００１２】
このような直列連結構造は、前記載置方向におけるリニアアクチュエータ全体の薄型化に有利である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明のスライドテーブル付きのリニアアクチュエータは、スライドテーブルの高さを抑制できるという優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】第１の実施形態を示す斜視図。
【図２】平断面図。
【図３】（ａ）は、図２のＡ−Ａ線断面図。（ｂ）は、図２のＢ−Ｂ線断面図。（ｃ）は、図２のＣ−Ｃ線断面図。（ｄ）は、図２のＤ−Ｄ線断面図。
【図４】第２の実施形態を示し、（ａ），（ｂ）は、断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明を具体化した第１の実施形態を図１〜図３に基づいて説明する。
図１に示すように、偏平な四角柱形状のシリンダブロック１１にはガイドブロック１２が連結されている。ガイドブロック１２には四角板形状のスライドテーブル１３が載置されており、スライドテーブル１３の端面にはエンドプレート１４がネジ１５によって締め付け固定されている。
【００１６】
図３（ｄ）に示すように、ガイドブロック１２の上面には一対のレール１２１，１２２が平行に一体形成されており、スライドテーブル１３の下面には一対の被ガイドレール１３１，１３２が平行に一体形成されている。レール１２１，１２２と被ガイドレール１３１，１３２とは、複数の転動ボール２１を介して連結されており、被ガイドレール１３１，１３２は、転動ボール２１を介してレール１２１，１２２の長さ方向への移動を案内される。
【００１７】
図２に示すように、シリンダブロック１１内にはピストン１６がスライド可能に収容されており、ピストン１６にはピストンロッド１７が連結して固定されている。ピストンロッド１７は、シリンダブロック１１の端部に連結されたガイドプレート１８の通し孔１８１を通ってスライドテーブル１３側へ突出している。ピストンロッド１７の移動方向（矢印Ｐの方向）は、被ガイドレール１３１，１３２の移動方向と同じ方向である。
【００１８】
シリンダブロック１１及びピストンロッド１７と共に流体圧シリンダを構成するピストン１６は、シリンダブロック１１に連結された蓋２２とピストン１６との間に第１圧力室１１１を区画すると共に、ガイドプレート１８とピストン１６との間に第２圧力室１１２を区画する。第１圧力室１１１は、図示しない３方弁を介して圧力エア供給源に接続されており、第２圧力室１１２は、図示しない３方弁を介して圧力エア供給源に接続されている。
【００１９】
図３（ａ）に示すように、ピストン１６は、ピストンロッド１７の移動方向Ｐに見て偏平な形状に形成されている。つまり、ガイドブロック１２に対するスライドテーブル１３の載置方向（矢印Ｒの方向）におけるピストン１６の幅は、載置方向Ｒと垂直な方向かつピストンロッド１７の移動方向Ｐと垂直な方向（矢印Ｑの方向）の幅よりも小さくしてある。シリンダブロック１１及びピストン１６は、シリンダブロック１１内でピストンロッド１７を中心とする回転を阻止する回り止め手段を構成する。
【００２０】
スライドテーブル１３側へ突出するピストンロッド１７の突出端面には筒形状のフローティング部材１９が雄ネジ２０によって締め付け固定されている。フローティング部材１９は、円筒形状の小径部１９１と、第１大径部１９２と、第２大径部１９３とを備えている。
【００２１】
図３（ｃ）に示すように、第１大径部１９２の周縁は、ピストン１６の移動方向Ｐに見て、ガイドブロック１２に対するスライドテーブル１３の載置方向（矢印Ｒの方向）と垂直な方向に平坦な平坦縁１９４，１９５を有する。平坦縁１９４，１９５は、互いに平行である。つまり、第１大径部１９２は、ピストン１６の移動方向Ｐに見て、ガイドブロック１２に対するスライドテーブル１３の載置方向（矢印Ｒの方向）の最大幅Ｔ（平坦縁１９４，１９５間の距離）が該載置方向Ｒと垂直な方向の最大幅Ｙよりも小さくなる形状に形成されている。
【００２２】
図３（ｂ）に示すように、ピストン１６の移動方向Ｐに見た第２大径部１９３は、第１大径部１９２の形状と同形同大であって一対の平坦縁１９４，１９５を備えている。
図３（ｃ）に示すように、エンドプレート１４には嵌め込み凹部２３が形成されている。嵌め込み凹部２３は、小径部１９１を嵌め込む幅狭部２３１と、第１大径部１９２を嵌め込む幅広部２３２とからなる。小径部１９１は、幅狭部２３１に嵌め込まれており、第１大径部１９２は、幅広部２３２に嵌め込まれている。第２大径部１９３は、ガイドプレート１８に対向するエンドプレート１４の対向面１４１に接合可能に、エンドプレート１４とガイドプレート１８との間に配置される。
【００２３】
第１圧力室１１１に圧力エアが供給されると共に、第２圧力室１１２から圧力エアが排気されると、ピストン１６が突出方向へ移動する。この移動運動は、第２大径部１９３及びエンドプレート１４を介してスライドテーブル１３に伝えられ、スライドテーブル１３がシリンダブロック１１から遠ざかる方向へ移動する。
【００２４】
第２圧力室１１２に圧力エアが供給されると共に、第１圧力室１１１から圧力エアが排気されると、ピストン１６がシリンダブロック１１内に没入する方向へ移動する。この移動運動は、第１大径部１９２及びエンドプレート１４を介してスライドテーブル１３に伝えられ、スライドテーブル１３がシリンダブロック１１に近付く方向へ移動する。
【００２５】
第１の実施形態では以下の効果が得られる。
（１）シリンダブロック１１内で回動不能なピストン１６によって回り止めを阻止されているフローティング部材１９の載置方向Ｒの最大幅Ｔが載置方向Ｒと垂直な方向の最大幅Ｙよりも小さいため、円形状のフローティング部材に比べてスライドテーブル１３の高さ（載置方向Ｒの高さ）を抑制することができる。
【００２６】
（２）ピストン１６の移動方向Ｐに見た場合のピストン１６の形状が載置方向Ｒに偏平な形状であるため、シリンダブロック１１の高さも抑制することができる。
（３）シリンダブロック１１とガイドブロック１２とを直列に連結した構造は、シリンダブロック１１とガイドブロック１２とを載置方向Ｒに重ね合わせた場合に比べて、載置方向Ｒにおけるリニアアクチュエータ全体の薄型化に有利である。
【００２７】
（４）四角板形状のスライドテーブル１３に対してその板厚方向へ大きな荷重が掛かった場合、スライドテーブル１３が板厚方向に撓み変形しようとする。このような撓み変形を生じさせるような荷重は、エンドプレート１４を傾かせる。このように傾いたエンドプレート１４とフローティング部材１９の大径部１９２，１９３の周縁との間でこじりが生じると、エンドプレート１４やフローティング部材１９が摩耗し、摩耗粉が発生する。
【００２８】
フローティング部材１９の載置方向Ｒの最大幅Ｔが載置方向Ｒと垂直な方向の最大幅Ｙよりも小さいフローティング部材１９では、スライドテーブル１３に対してその板厚方向へ大きな荷重が掛かった場合にエンドプレート１４とフローティング部材１９との間でこじりが生じる場合には、平坦縁１９４，１９５とエンドプレート１４との間でこじりが生じる。しかし、最大幅Ｙを直径とする円形のフローティング部材に比べて、平坦縁１９４，１９５間の距離が小さいフローティング部材１９では、平坦縁１９４，１９５とエンドプレート１４との間でのこじりが低減する。従って、摩耗粉の発生が抑制される。
【００２９】
本発明では以下のような実施形態も可能である。
○図４（ｂ）に示すように、嵌め込み凹部２３の幅広部２３２を形成する平坦部２３３と、第１大径部１９２の平坦縁１９４とが互いに面接触状態にあり、平坦部２３３を備えた第１大径部１９２及び平坦縁１９４嵌め込み凹部２３が回り止め手段を構成するようにしてもよい。この場合、図４（ａ）に示すように、ピストン１６Ａの移動方向に見た場合のピストン１６Ａの形状が円形であってもよい。
【００３０】
○フローティング部材１９を固定するピストンロッド１７の形状がピストンロッド１７の移動方向に見た場合に非円形（例えば四角あるいは楕円）であってもよい。ガイドプレート１８の通し孔１８１が非円形（例えば四角あるいは楕円）であれば、ピストンロッド１７が回動することはない。この場合、非円形の通し孔１８１及び非円形のピストンロッド１７が回り止め手段を構成する。
【００３１】
○シリンダブロック１１上にガイドブロック１２を載置し、ガイドブロック１２上にスライドテーブル１３を載置したリニアアクチュエータに本発明を適用してもよい。
前記した実施形態から把握できる技術思想について以下に記載する。
【００３２】
〔１〕前記回り止め手段は、前記ピストンロッドを通す通し孔と前記ピストンロッドとを備え、前記移動方向に見た場合の前記通し孔及び前記ピストンロッドの形状は、非円形である請求項１に記載のスライドテーブル付きリニアアクチュエータ。
【符号の説明】
【００３３】
１１…流体圧シリンダ及び回り止め手段を構成するシリンダブロック。１２…ガイドブロック。１３…スライドテーブル。１４…エンドプレート。１６…流体圧シリンダ及び回り止め手段を構成するピストン。１７…流体圧シリンダを構成するピストンロッド。１９…フローティング部材。１９２…回り止め手段を構成する第１大径部。２３…回り止め手段を構成する嵌め込み凹部。Ｒ…載置方向。Ｐ…移動方向。Ｔ，Ｙ…最大幅。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スライドテーブルがガイドブロックに対して流体圧シリンダのピストンロッドの移動方向と垂直な方向に載置されており、前記ピストンロッドと前記スライドテーブルとがエンドプレート及びフローティング部材を介して連結されており、前記フローティング部材は、前記エンドプレートと前記ピストンロッドとを連結しており、前記スライドテーブルが前記ピストンロッドの移動方向に往復動されるスライドテーブル付きリニアアクチュエータにおいて、
前記移動方向に見た場合の前記フローティング部材の形状は、前記ガイドブロックに対する前記スライドテーブルの載置方向の最大幅が前記載置方向と垂直な方向の最大幅よりも小さくなるように形成されており、
前記ピストンロッドを中心とする前記フローティング部材の回り止めを行なう回り止め手段が設けられているスライドテーブル付きリニアアクチュエータ。
【請求項２】
前記回り止め手段は、前記流体圧シリンダのピストンと、前記ピストンを収容するシリンダブロックとを備え、前記移動方向に見た場合の前記ピストンの形状は、前記シリンダブロック内で回動不能な形状である請求項１に記載のスライドテーブル付きリニアアクチュエータ。
【請求項３】
前記回り止め手段は、前記エンドプレートに形成された嵌め込み凹部と、前記嵌め込み凹部に嵌め込まれた前記フローティング部材とを備え、前記移動方向に見た場合の前記嵌め込み凹部の形状は、前記移動方向に見た場合の前記フローティング部材の形状と同形である請求項１に記載のスライドテーブル付きリニアアクチュエータ。
【請求項４】
前記流体圧シリンダと前記ガイドブロックとは、直列に連結されている請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のスライドテーブル付きリニアアクチュエータ。
【請求項１】
スライドテーブルがガイドブロックに対して流体圧シリンダのピストンロッドの移動方向と垂直な方向に載置されており、前記ピストンロッドと前記スライドテーブルとがエンドプレート及びフローティング部材を介して連結されており、前記フローティング部材は、前記エンドプレートと前記ピストンロッドとを連結しており、前記スライドテーブルが前記ピストンロッドの移動方向に往復動されるスライドテーブル付きリニアアクチュエータにおいて、
前記移動方向に見た場合の前記フローティング部材の形状は、前記ガイドブロックに対する前記スライドテーブルの載置方向の最大幅が前記載置方向と垂直な方向の最大幅よりも小さくなるように形成されており、
前記ピストンロッドを中心とする前記フローティング部材の回り止めを行なう回り止め手段が設けられているスライドテーブル付きリニアアクチュエータ。
【請求項２】
前記回り止め手段は、前記流体圧シリンダのピストンと、前記ピストンを収容するシリンダブロックとを備え、前記移動方向に見た場合の前記ピストンの形状は、前記シリンダブロック内で回動不能な形状である請求項１に記載のスライドテーブル付きリニアアクチュエータ。
【請求項３】
前記回り止め手段は、前記エンドプレートに形成された嵌め込み凹部と、前記嵌め込み凹部に嵌め込まれた前記フローティング部材とを備え、前記移動方向に見た場合の前記嵌め込み凹部の形状は、前記移動方向に見た場合の前記フローティング部材の形状と同形である請求項１に記載のスライドテーブル付きリニアアクチュエータ。
【請求項４】
前記流体圧シリンダと前記ガイドブロックとは、直列に連結されている請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のスライドテーブル付きリニアアクチュエータ。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図２】
【図３】
【図４】
【公開番号】特開２０１０−２２３３０５（Ｐ２０１０−２２３３０５Ａ）
【公開日】平成２２年１０月７日（２０１０．１０．７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−７０２１３（Ｐ２００９−７０２１３）
【出願日】平成２１年３月２３日（２００９．３．２３）
【出願人】（０００１０６７６０）シーケーディ株式会社 (627)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年１０月７日（２０１０．１０．７）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年３月２３日（２００９．３．２３）
【出願人】（０００１０６７６０）シーケーディ株式会社 (627)
【Ｆターム（参考）】
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