説明

ヒータ用成形体及びセラミックヒータ

【課題】セラミックヒータの発熱性能を維持しながら、ヒータ用成形体ひいてはセラミックヒータを安定して製造できるようにする。
【解決手段】ヒータ用成形体40において、両接続部53a、53bの軸方向の長さをL(mm)、両軸部52b、52cの軸芯を含む平面に直交する両軸部52b、52cの厚みをa(mm)、平面に直交するU字部51の厚みをb(mm)、ヒータ用成形体40を焼成したヒータ線20を軸方向に延びる絶縁材料製の支持体36、27とともにセラミックヒータ1とした場合のセラミックヒータ1の軸方向の長さをc(mm)としたとき、ヒータ用成形体40は、a/10≦b≦a/1.5、(a−b)/2L≦1/2.4及びL≦c/3を満足する。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ヒータ用成形体及びセラミックヒータに関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献1に従来のグロープラグが開示されている。このグロープラグは、筒状の主体金具と、この主体金具の先端部内側に配置された柱状のセラミックヒータと、主体金具の後端側に配置された中軸とを備えたものである。主体金具はディーゼルエンジンのシリンダヘッドに固定され、中軸はバッテリに電気的に接続される。
【0003】
特許文献1開示のセラミックヒータは、窒化珪素(Si34)質の絶縁材料からなる柱状の基体と、この基体内に内装された抵抗体とからなる。抵抗体は、セラミックヒータの先端部に埋設される発熱部と、発熱部と接続された状態で基体に埋設されつつ基体の他端側に延びる一対のリード部とを備えている。なお、各リード部には、基体の他端部表面に露出する電極部が一体に接続されている。特許文献1に開示されたセラミックヒータは、その外周に金属外筒及び金属リングが設けられており、一方の電極部は金属外筒を介して主体金具と電気的に接続され、他方の電極部は金属リングを介して中軸と電気的に接続されている。
【0004】
抵抗体を構成する発熱部及びリード部は、例えば炭化タングステン(WC)とSi34との混合物からなる導電材料の焼結体である。発熱部はWCの配合量が少なくされて導電性が低くなっており、リード部はWCの配合量が多くされて導電性が高くなっている。このため、セラミックヒータに通電することによって、セラミックヒータの先端に位置する抵抗体の発熱部がリード部に比べてより発熱するようになっている。これにより、グロープラグはディーゼルエンジンの始動時やアイドリング時に活用される。
【0005】
この種のセラミックヒータは以下の製造方法により製造されていた。まず、例えばWCの配合量を少なくした導電材料によって後に発熱部となるU字部を射出成形した後、WCの配合量を多くした導電材料によって後にリード部となる軸部を射出成形し、軸部とU字部とが一体となったヒータ用成形体を得る。なお、リード部と一体に接続される電極部となる突出部も軸部と一体に成形されている。
【0006】
得られたヒータ用成形体は、後に基体となる絶縁材料製の支持体に内装された後、プレスされて複合成形体とされる。その後、この複合成形体は、脱バインダー処理され、ホットプレス等で1700°C以上、例えば約1800°C前後で焼成される。こうして得られた焼結体が研磨され、セラミックヒータとなる。
【0007】
こうして、得られたセラミックヒータは、熱伝導性に優れ、急速昇温が可能になっている。また、このセラミックヒータは、抵抗体が導電材料の焼結体であることから、高温での耐蝕性に優れ、優れた耐久性も発揮する。さらに、このセラミックヒ−タは、リード部に金属リード線を用いたセラミックヒータと比較し、WやW−Re合金等の線材を曲げたり、切断したりする金属リード線の作製工程を不要とする他、射出成形金型の共有化と工程の大幅な簡略化とを実現することから、大量生産及び低廉化を可能としている。
【0008】
【特許文献1】特開2003−22889号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0009】
しかし、WCの配合量を少なくした導電材料によってU字部を射出成形した後、WCの配合量を多くした導電材料によって軸部を射出成形し、軸部とU字部とが一体となったヒータ用成形体を得る製造方法では、軸部とU字部とに関して、同一の導電材料でないこと及び1回の射出成形によって双方が同時に成形されないことに起因して、軸部とU字部との接合面に明確に異なる相同士の接する界面が生じることとなる。このため、この場合には、軸部とU字部との接合面の密着性を充分に高くすることができないことから、ヒータ用成形体の取り扱い時に、軸部とU字部との接合面で剥離が生じる等の不具合を完全に排除することが困難であり、歩留まりの向上についても限界がある。
【0010】
その上、近年、セラミックヒータの発熱性能を維持しながら、その製造コストをさらに低廉化したいという要求もある。
【0011】
そこで、これらの問題を解決する方策として、同一の導電材料を用いた単純な1回の射出成形工程によって軸部とU字部とを同時に成形し、ヒータ用成形体とする方法が考えられる。こうして得られるヒータ用成形体は、軸部とU字部との接合面がなくなり、これらの剥離を生じることがなくなる。また、この場合、1回の射出成形工程によってヒータ用成形体を得ることができるとともに、2種類の導電材料を準備する必要もないことから、製造コストの低廉化も実現できると考えられる。
【0012】
しかしながら、軸部とU字部とを同一の導電材料で1回射出成形したヒータ用成形体に基づくセラミックヒータの場合にも、発熱部において良好な発熱性能が当然に要求される。このため、このセラミックヒータにおいて、軸部とU字部とを異なる導電材料で2回射出成形したセラミックヒータと同様の発熱性能を維持しようとすれば、U字部の断面積を軸部の断面積よりもさらに減らさざるを得ないこととなる。この場合、軸部の先端とU字部の後端とを連結する接続部が脱型時に折れ易く、安定してヒータ用成形体を製造することができず、セラミックヒータの歩留まりが極端に悪化してしまう。
【0013】
本発明は、上記従来の実情に鑑みてなされたものであって、セラミックヒータの発熱性能を維持しながら、ヒータ用成形体ひいてはセラミックヒータを安定して製造できるようにすることを解決すべき課題としている。
【課題を解決するための手段】
【0014】
本発明者らは、上記課題解決のために鋭意研究を行った。そして、軸部とU字部とを同一の導電材料で射出成形したセラミックヒータにあっては、軸部の先端とU字部の後端とを連結する接続部の軸方向の長さ、両軸部の軸芯を含む平面に直交する軸部の厚み、その平面に直交するU字部の厚み及びセラミックヒータの軸方向の長さの設定が重要であることを発見し、本発明を完成するに至った。
【0015】
すなわち、本発明のヒータ用成形体は、一対をなして軸方向に延びる軸部と、両該軸部よりも小さい断面積でU字状に形成されたU字部と、両該軸部の先端と該U字部の後端とを連結し、該U字部側から両該軸部側に向かって断面積が大きくなる一対の接続部とを備え、両該軸部、両該接続部及び該U字部が同一の導電材料で射出成形されたヒータ用成形体であって、
前記接続部の軸方向の長さをL(mm)、両前記軸部の軸芯を含む平面に直交する該軸部の厚みをa(mm)、該平面に直交する前記U字部の厚みをb(mm)、前記ヒータ用成形体を焼成した抵抗体を軸方向に延びる絶縁材料製の支持体とともにセラミックヒータとした場合の該セラミックヒータの軸方向の長さをc(mm)としたとき、
a/10≦b≦a/1.5、(a−b)/2L≦1/2.4及びL≦c/3を満足することを特徴とする。
【0016】
本発明のヒータ用成形体は、両軸部、両接続部及びU字部が同一の導電材料で射出成形されている。このため、こうして得られるヒータ用成形体は、軸部とU字部との接合面がなくなり、これらの剥離を生じることがない。また、この場合、1回の射出成形工程によってヒータ用成形体を得ることができるとともに、2種類の導電材料を準備する必要もないことから、製造コストの低廉化も実現できる。
【0017】
そして、本発明のヒータ用成形体は、U字部の厚みb(mm)と軸部の厚みa(mm)との比、接続部の勾配の大きさ(a−b)/2L及び接続部の軸方向の長さL(mm)とセラミックヒータの軸方向の長さc(mm)との比に関して、軸部の先端とU字部の後端とを連結する接続部が脱型時に折れることを抑制して、高い歩留まりで安定的にヒータ用成形体を製造することができる適正範囲を後述する実験及び検討によって見出して規定したものである。
【0018】
この適正範囲は、射出成形される材料が導電材料であるという特殊性や、ヒータ用成形体の形状自体も細径長尺の一対の軸部とU字部との組み合わせであるという特殊性等を考慮したものである。このように本発明のヒータ用成形体は、特有の材料面及び形状面での技術的制約の中で独自に鋭意検討して見出すにいたったものである。
【0019】
具体的には、本発明のヒータ用成形体は、接続部の軸方向の長さをL(mm)、両軸部の軸芯を含む平面に直交する軸部の厚みをa(mm)、その平面に直交するU字部の厚みをb(mm)、ヒータ用成形体を焼成した抵抗体を軸方向に延びる絶縁材料製の支持体とともにセラミックヒータとした場合のセラミックヒータの軸方向の長さをc(mm)としたとき、
U字部の厚みb(mm)と軸部の厚みa(mm)との比に関して、
a/10≦b≦a/1.5…(式1)
接続部の勾配の大きさ(a−b)/2Lに関して、
(a−b)/2L≦1/2.4…(式2)
接続部の軸方向の長さL(mm)とセラミックヒータの軸方向の長さc(mm)との比に関して、
L≦c/3…(式3)
の3つの式を満足する軸部と接続部とU字部とを備えている。
【0020】
そのような適正範囲内でヒータ用成形体を製造することにより、軸部とU字部との間において、抵抗体の厚みが急激に変化することがなくなり、軸部の先端とU字部の後端とを連結する接続部での応力集中を緩和することができる。そのため、接続部が脱型時に折れ難くなる。そのため、U字部は、所望の発熱性能が発揮できるような小さな断面積でU字状に形成されることが可能となり、セラミックヒータの発熱性能を維持しながら、セラミックヒータ製造時の歩留まりを大幅に向上させることができる。
【0021】
したがって、本発明のヒータ用成形体は安定して製造される。また、このヒータ用成形体に基づくセラミックヒータの発熱性能も維持される。このため、このヒータ用成形体によれば、高い品質のセラミックヒータを安価に製造することが可能となる。
【0022】
両軸部、両接続部及びU字部は、同一の導電材料で射出成形されている。それらに用いられる導電材料は、導電性セラミック及び絶縁性セラミックにて構成され得る。導電性セラミックとしては、例えば、WC、二珪化モリブデン(MoSi2)及び二珪化タングステン(WSi2)等、周知のものを採用できる。また、絶縁性セラミックとしては、窒化珪素質の絶縁性セラミックを採用することができる。それにより導電性セラミックと窒化珪素との含有比率を変化させて、耐熱衝撃性を高めながら、発熱部の電気抵抗率を所望の値に調整することができる。
【0023】
軸部は、セラミックヒータの基体内に内装される抵抗体を構成するリード部になるものである。そのため、軸部は一対をなして軸方向に延びる棒状体となっている。リード部には高導電性と低発熱性とが求められるので、軸部は棒状体の断面積がU字部よりも大きくされている。また、軸部には、各リード部に一体に接続されてセラミックヒータの表面に露出する電極部となるべき突出部が一体に形成され得る。
【0024】
U字部は、セラミックヒータの基体内に内装される抵抗体を構成し、U字状に形成された発熱部になるものである。このU字部は両軸部と同一の導電材料で射出成形される。そのため、発熱部には良好な発熱性能が求められるので、U字部は両軸部よりも断面積が減らされている。
【0025】
接続部は、軸部とU字部との間に位置する一対のものであり、断面積の異なる軸部の先端とU字部の後端とを連結している。このため、接続部は、U字部側から両該軸部側に向かって断面積が大きくされている。また、両接続部は、両軸部及びU字部と同一の導電材料で射出成形される。
【0026】
両軸部と両接続部とU字部とが一体に射出成形されて形成されたヒータ用成形体は、歩留まり向上のため、射出成形金型から脱型される際に、損傷が生じないことが要求されている。特に、接続部については、形状が適正でないと、折損等の損傷が生じる可能性が高い。そこで、発明者らが鋭意検討した結果に基づき、後述する通り、軸部の先端とU字部の後端とを連結する接続部が適正な形状とされている。こうして、軸部と接続部とU字部とが一体となってヒータ用成形体となっている。
【0027】
本発明のヒータ用成形体は、軸部、接続部及びU字部が上記式1〜3を満足する。以下、各式について詳述する。
【0028】
本発明のヒータ用成形体は、a/10≦b≦a/1.5…(式1)に対して、bがa/1.5より大きくなると、U字部の厚みbが軸部の厚みaに近づくと同時に、U字部の断面積も軸部の断面積に近づくこととなる。この場合、このヒータ用成形体が焼成された抵抗体においては、発熱部の電気抵抗値が低くなってリード部の電気抵抗値に近づくこととなり、セラミックヒータの先端部のみで十分な発熱性能を発揮するということができなくなる。
【0029】
一方、本発明のヒータ用成形体は、式1に対して、bがa/10より小さくなると、U字部の厚みbが軸部の厚みaよりも大幅に小さくなると同時に、U字部の断面積が軸部の断面積よりも大幅に小さくなる。この場合、U字部の断面積が細くなり過ぎて、射出成形時の流動性不足による未充填部の発生や脱型時の折損等の問題が生じ、ヒータ用成形体の製造時の歩留まりが大幅に低下することになる。
【0030】
また、本発明のヒータ用成形体は、(a−b)/2L≦1/2.4…(式2)に反して、(a−b)/2Lが1/2.4より大きくなると、脱型の際に、接続部に応力集中しやすくなる。このため、接続部で折損等が生じ易くなり、ヒータ用成形体の製造時の歩留まりが大幅に低下することになる。
【0031】
さらに、本発明のヒータ用成形体は、L≦c/3…(式3)に反して、Lがc/3より大きくなると、このヒータ用成形体が焼成された抵抗体において、軸部が焼成されてなるリード部と、U字部が焼成されてなる発熱部との間のテーパ部で、電気抵抗値が緩やかに変化する領域が長くなり過ぎて、その領域で無駄な発熱を生じることになる。このため、良好な発熱性能を発揮できなくなる。
【0032】
特に、本発明のヒータ用成形体において、
b≧0.5(mm)…(式4)
であることが望ましい。bが0.5(mm)以上の場合、射出成形時の流動性不足による未充填部の発生や脱型時の折損等の問題が生じないために十分なU字部の断面積をより確実に確保することができる。このため、歩留まりを低下させることなくヒータ用成形体を射出成形することが可能となり、良好な発熱性能をより確実に発揮させることが可能となる。
【0033】
また、本発明のヒータ用成形体は、導電材料がWCとSi34との混合物又はMoSi2とSi34との混合物を主成分とし得る。この場合、ヒータ用成形体は、導電性及び発熱特性等の電気的特性と、焼結体としての強度等の機械的特性とを最適なものに調整し易くなり、一層の作用効果を奏することが可能となる。
【0034】
本発明は、ヒータ用成形体としてだけでなく、セラミックヒータとしても成立する。
【0035】
すなわち、本発明のセラミックヒータは、一対をなして軸方向に延びる軸部と、両該軸部よりも小さい断面積でU字状に形成されたU字部と、両該軸部の先端と該U字部の後端とを連結し、該U字部側から両該軸部側に向かって断面積が大きくなる一対の接続部とを備え、両該軸部、両該接続部及び該U字部が同一の導電材料で射出成形されたヒータ用成形体を得た後、該ヒータ用成形体を軸方向に延びる絶縁材料製の支持体に内装し、両該軸部の軸芯を含む平面に平行であってかつ該支持体の軸芯に垂直な方向に圧縮力を作用させながら、該ヒータ用成形体を該支持体とともに焼成することにより、該支持体が軸方向に延びる柱状の基体とされ、該ヒータ用成形体が該基体内に内装された抵抗体とされたセラミックヒータであって、
該抵抗体は、該軸部が焼成されたリード部と、該U字部が焼成された発熱部と、該接続部が焼成されたテーパ部とを有するものであり、
前記テーパ部の軸方向の長さをL’(mm)、両前記リード部の軸芯を含む平面に直交する該リード部の厚みをa’(mm)、該平面に直交する前記発熱部の厚みをb’(mm)、前記セラミックヒータの軸方向の長さをc(mm)としたとき、
a’/10≦b’≦a’/1.5、(a’−b’)/2L’≦1/2.4及びL’≦c/3を満足することを特徴とする。
【0036】
本発明のセラミックヒータは、具体的には、下記の通り、製造されるものである。
【0037】
最初に、両軸部、両接続部及びU字部が同一の導電材料からなる上記本発明のヒータ用成形体が射出成形される。この後、ヒータ用成形体を軸方向に延びる絶縁材料製の支持体に内装する。そして、ヒータ用成形体は支持体とともにプレスされて複合成形体とされ、脱バインダ処理される。
【0038】
その後、複合成形体は、両軸部の軸芯を含む平面に平行であってかつ支持体の軸芯に垂直な方向に圧縮力を作用させながら焼成される。具体的には、ホットプレス等で1700°C以上、例えば約1800°C前後で焼成される。こうして得られた焼結体が研磨され、セラミックヒータとなる。なお、支持体の軸芯は、支持体自体の軸芯、複合成形体の軸芯とほぼ共通し、ヒータ用成形体の軸部の軸芯とほぼ平行である。
【0039】
このセラミックヒータは、支持体が軸方向に延びる柱状の基体とされ、ヒータ用成形体が基体内に内装された抵抗体とされたものである。そして、抵抗体は、軸部が焼成されたリード部と、U字部が焼成された発熱部と、接続部が焼成されたテーパ部とを有するものである。
【0040】
このセラミックヒータにおいて、抵抗体は、テーパ部の軸方向の長さをL’(mm)、両リード部の軸芯を含む平面に直交するリード部の厚みをa’(mm)、その平面に直交する発熱部の厚みをb’(mm)、セラミックヒータの軸方向の長さをc(mm)としたとき、
発熱部の厚みb’(mm)とリード部の厚みa’(mm)との比に関して、
a/10≦b≦a/1.5…(式5)
テーパ部の勾配の大きさ(a’−b’)/2L’に関して、
(a’−b’)/2L’≦1/2.4…(式6)
テーパ部の軸方向の長さL’(mm)とセラミックヒータの軸方向の長さc(mm)との比に関して、
L’≦c/3…(式7)
の3つの式を満足するリード部とテーパ部と発熱部とを備えている。
【0041】
このセラミックヒータは、上述の通り、焼成時に作用する圧縮力の作用方向が規定されるとともに、上記式5〜7に規定する適正範囲内となるように製造される。また、セラミックヒータ自体が発熱性能を維持することができる。
【0042】
具体的に説明すれば、このセラミックヒータにおいて、ヒータ用成形体と支持体とからなる複合成形体が焼成される際に、両軸部の軸芯を含む平面に平行であってかつ支持体の軸芯に垂直な方向に圧縮力を受ける。このため、ヒータ用成形体は圧縮力の作用方向に扁平に潰れるように変形し、焼成されて抵抗体となる。一方、ヒータ用成形体は、軸部の両軸芯を含む平面に直交し、かつ支持体の軸芯に直交する方向には膨張しようとするが、この膨張は治具等により規制される。このため、ヒータ用成形体は軸部の両軸芯を含む平面に直交し、かつ支持体の軸芯に直交する方向には潰れないまま焼成されて抵抗体となる。
【0043】
このため、抵抗体におけるテーパ部の軸方向の長さL’(mm)は、ヒータ用成形体における接続部の軸方向の長さL(mm)と略同一寸法のままとなる。また、抵抗体におけるリード部の厚みa’(mm)は、ヒータ用成形体における軸部の厚みa(mm)と略同一寸法のままとなる。また、抵抗体におけ発熱部の厚みb’(mm)は、ヒータ用成形体におけるU字部の厚みb(mm)と略同一寸法のままとなる。
【0044】
このように、本発明のセラミックヒータは、上述の通り、焼成時に作用する圧縮力の作用方向が規定されるとともに、上記式5〜7に規定された適正範囲内となるように製造されることにより、前出の発明のヒータ用成形体における式1〜3に規定された適正範囲をすべて満たすこととなる。
【0045】
このため、前出の発明のヒータ用成形体の作用効果と同様の理由により、セラミックヒータの発熱性能を維持しながら、セラミックヒータ製造時の歩留まりを大幅に向上させることができる。
【0046】
したがって、本発明のセラミックヒータは、発熱性能を維持しながら、安定して製造される。このため、このセラミックヒータは、高い品質と製造コストの低廉化とを実現することができる。
【0047】
特に、本発明のセラミックヒータにおいて、
b’≧0.5(mm)…(式8)
であることが望ましい。b’が0.5(mm)以上の場合、上述の理由により、前出の発明のヒータ用成形体について、式4に規定された適正範囲を満たすことを意味し、前出の発明のヒータ用成形体と同様の作用効果を相することができる。
【0048】
また、本発明のセラミックヒータは、導電材料はWCとSi34との混合物又はMoSi2とSi34との混合物を主成分とし得る。この場合も、上述の理由により、前出の発明のヒータ用成形体と同様の作用効果を相することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0049】
以下、図面を参照しつつ本発明を具体化した実施例1〜10及び比較例1〜5を説明する。
【0050】
まず、図1及び図2に示すように、実施例1〜10及び比較例1〜5のヒータ用成形体40を適用したセラミックヒータ1及びこのセラミックヒータ1を用いたグロープラグ50を説明する。
【0051】
このグロープラグ50は、筒状の主体金具4と、この主体金具4の先端部内側に金属外筒3を介して配置され、先端に発熱部11をもつ柱状のセラミックヒータ1と、主体金具4の後端部に配置された中軸6と、中軸6とセラミックヒータ1の後端部とを接続する接続金具17及び金属リング18とを備えたものである。
【0052】
セラミックヒータ1は、窒化珪素質の絶縁材料からなる柱状の基体14と、この基体14内に内装された抵抗体20とからなる。抵抗体20は、基体14の一端側内部に埋設された発熱部11と、発熱部11と接続された状態で基体14に埋設されつつ基体14の他端側に延びる一対のリード部12b、12cとからなる。各リード部12b、12cには、基体14の他端側表面に露出する電極部12a、12dが一体に接続されている。一方の電極部12dは金属外筒3を介して主体金具4と電気的に接続され、他方の電極部12aは金属リング18及び接続金具17を介して中軸6と電気的に接続されている。
【0053】
すなわち、中軸6の前端部には接続金具17の後端部が固定されており、接続金具17の前端部は金属リング18に固定されている。金属リング18は、セラミックヒータ1の後端部に嵌合されており、一方の電極部12aの露出した面と接触している。これにより中軸6は接続金具17及び金属リング18を介して一方の電極部12aと電気的に接続されている。
【0054】
また、金属外筒3はセラミックヒータ1の中央部に嵌合されている。この金属外筒3は他方の電極部12dと接触しており、これにより主体金具4は金属外筒3を介して他方の電極部12dと電気的に接続されている。
【0055】
基体14は、窒化珪素質の絶縁体からなる柱状のものである。窒化珪素質の絶縁体は、例えば窒化珪素(Si34)を主成分とする主相粒子が焼結助剤成分等に由来した粒界相により結合された形態のものである。なお、主相は、SiあるいはNの一部がAlあるいはOで置換されたもの、さらには、相中にLi、Ca、Mg、Y等の金属原子が固溶したものであってもよい。
【0056】
発熱部11と、電極部12a、12dをもつリード部12b、12cとは、導電性セラミック及び絶縁性セラミックからなる導電材料の焼結体である。
【0057】
発熱部11及びリード部12b、12cの全てについて、同一の導電材料が採用されている。そして、発熱部11及びリード部12b、12cが同一材料であるがゆえに、リード部12b、12cは、発熱部11に比べて、断面積が大きくされることにより、電気抵抗値が低くされ、所望の高導電性と低発熱性とを確保している。他方、発熱部11は、リード部12b、12cに比べて、断面積が小さくされることにより、電気抵抗値が高くされ、所望の発熱性能を確保している。
【0058】
なお、主体金具4の外周面にはねじ部5が形成されている。グロープラグ50は、主体金具4のねじ部5が図示しないディーゼルエンジンのシリンダヘッドに螺合される。これにより、セラミックヒータ1の先端部がディーゼルエンジンの燃焼室内に位置される。また、中軸6の後端部に接続されるキャップ19がバッテリに電気的に接続される。そして、中軸6、接続金具17、金属リング18、一方の電極部12a、リード部12b、発熱部11、他方のリード部12c、他方の電極部12d、金属外筒3及び主体金具4の順で電流が流れ、セラミックヒータ1の先端の発熱部11が発熱する。こうして、ディーゼルエンジンは燃焼室内の予熱が行われる。
【0059】
上記セラミックヒータ1の抵抗体20となるヒータ用成形体40として、以下の手順で実施例1〜10及び比較例1〜5のものを製造した。
【0060】
最初に、図3(a)に示すように、一対をなして軸方向に平行に延びる軸部52b、52cと、両軸部52b、52cよりも小さい断面積でU字状に形成されたU字部51と、両軸部52b、52cをU字部51に連結する一対の接続部53a、53bとを備えたヒータ用成形体40を得る。ヒータ用成形体40の焼成により、図1、2に示す通り、U字部51は発熱部11となり、軸部52b、52cはリード部12b、12cとなり、接続部53a、53bはテーパ部13a、13bとなる。軸部52b、52cには突出部52a、52dが形成されており、ヒータ用成形体40の焼成により、突出部52a、52dはリード部12b、12cの電極部12a、12dとなる。
【0061】
この際、まず、ヒータ用成形体40の導電材料を以下の通りの構成となるように調合した。この導電材料は、焼成後にSi34、SiO2及びEr23からなる絶縁セラミックが30質量%含有され、WCが70質量%含有される。また、この絶縁セラミック100質量%中に、SiO2が2質量%含有され、Er23が5質量%含有される。そのため、各材料が焼成後に上記の配合比になるように、Si34粉末、WC粉末、SiO2粉末、Er23粉末及び熱可塑性樹脂を混合して、この導電材料を得た。なお、不純物は無視した。
【0062】
そして、図3(a)及び図4に示すように、この導電材料によってヒータ用成形体40を射出成形した。ヒータ用成形体40の射出成形金型の上下型の分割面は、図3(a)に示すY−Y面(両軸部52b、52cの軸芯を含む平面)と同一とした。
【0063】
この際、実施例1〜10及び比較例1〜5の各々について、両接続部53a、53bの軸方向の長さL(mm)、両軸部52b、52cの軸芯を含む平面に直交する両軸部52b、52cの厚みa(mm)、その平面に直交するU字部51の厚みb(mm)を図5及び表1に示す通りに設定した。具体的には、射出成形用金型のキャビティのa、b及びLに相当する箇所を表1に示すような寸法に切削加工した。そして、これらの射出成形金型を実施例1〜10及び比較例1〜5のヒータ用成形体40の射出成形に適用した。このため、これらの射出成形金型によって得られた各ヒータ用成形体40において、a、b及びLは、当然に表1に示す通り略同一寸法に成形されるはずである。このため、実際にはヒータ用成形体40のa、b及びLを測定せず、外観検査で樹脂充填不良がないこと、反り等変形がないことを確認しているだけであるが、ヒータ用成形体40のa、b及びLは、金型のキャビティにおけるa、b及びLに相当する部分の寸法と略同一寸法であるとみなすことができる。このため、ヒータ用成形体40のa、b及びLは、表1の設定値と略同一寸法であるとみなして、以下に説明を続ける。
【0064】
【表1】

【0065】
なお、図3(a)及び図4に示すように、突出部52a、52dは、軸方向に長い略六角形をなしている。このため、通電用成形体40を容易に金型から抜くことができる。また、両軸部52b、52cにおけるU字部51とは反対側の先端部に仮接続部55が一体成形されている。このため、軸部52b、52cの両端がU字部51と仮接続部55とによって連結されることとなり、ヒータ用成形体40の変形やたわみが抑制され、脱型時や次工程への搬送等の際の破損をより確実に防止することができている。
【0066】
こうして、1回の射出成形工程によって、U字部51及び軸部52b、52cを備えたヒータ用成形体40を形成することが可能となり、製造コストの低廉化を実現することができる。
【0067】
この後、得られたヒータ用成形体40を適用し、以下の工程により、セラミックヒータ1を製造した。この際、一方において、図4に示すように、焼成後に基体14の約半分を構成する第1支持体37を用意した。この第1支持体37は、焼成後にSi34が90質量%、Er23が9質量%、SiO2が1質量%の配合比になるように、Si34粉末、Er23粉末及びSiO2粉末からなる混合粉末が成形されたものである。第1支持体37にはヒータ用成形体40を収容するための凹部37aが凹設されている。得られたヒータ用成形体40を第1支持体37の凹部37a内に収容した。
【0068】
この後、ヒータ用成形体40側に上記混合粉末を載せ、プレス成形することにより、基体14の残部をなす第2支持体36も形成して、複合成形体30を得た。その後、この複合成形体30は、脱バインダー処理され、ホットプレス等で約1800°C前後で焼成された後、研磨されて、(b)に示す焼結体1aを得た。なお、図3(b)では、基体14の外形を示す線を仮想線(二点鎖線)で表し、抵抗体20を示す線を実線で表している。こうして、焼結体1aが仕上げ処理をされることにより、第1、2支持体37、36によって基体14を構成するとともに、ヒータ用成形体40によって基体14内に内装される抵抗体20を構成しているセラミックヒータ1が得られた。
【0069】
このような製造方法に関して、図3(a)に示すヒータ用成形体40から図3(b)に示す焼結体1aに至る過程を図6(a)〜(d)及び図7(a)〜(d)を用いてさらに詳しく説明する。図6(a)〜(d)は図3(a)に示すヒータ用成形体40のB−B断面から図3(b)に示す焼結体1aのB−B断面に変化する過程を示し、図7(a)〜(d)は図3(a)に示すヒータ用成形体40のC−C断面から図3(b)に示す焼結体1aのC−C断面に変化する過程を示す。
【0070】
図6(a)及び図7(a)に示す通り、ヒータ用成形体40が射出成形金型80a、80b内で射出成形された後、脱型された。その後、ヒータ用成形体40は乾燥工程として乾燥処理された(実施例1〜10及び比較例1〜5では、200°C−50分間)。
【0071】
次に、ヒータ用成形体40は、図6(b)及び図7(b)に示す通り、第1支持体37と内装され、その上部に前記混合粉末を載せられた後、プレス成形された。その結果、基体14の残部をなす第2支持体36がともに形成された複合成形体30が得られた。複合成形体30は、所定の温度(例えば600°C)でそのまま保持されることにより、バインダ成分等が除去された。
【0072】
そして、図6(c)及び図7(c)に示す通り、この複合成形体30は、グラファイト等で構成された図示しないホットプレス用成形型によって加圧保持され、焼成炉中で所定の焼成温度(1700°C以上:例えば1800°C程度)で焼成された。これにより、複合成形体30は、図中の矢印が示すように、ヒータ用成形体40の両軸部52b、52cの軸芯を含む平面に平行で、かつ支持体36、37の軸芯に垂直な方向に作用する圧縮力によって、潰れるように変形し、焼結体1aが得られた。この際、ヒータ用成形体40は、軸部52b、52cの軸芯同士が接近するとともに、両軸部52b、52c、両接続部53a、53b及びU字部51が加圧力の作用方向に潰れるように変形するものである。
【0073】
こうして得られた焼結体1aは、図3(b)、図6(d)及び図7(d)に示す通り、外周面がセンターレスグラインダ等によって研磨された。その結果、基体14の断面が円形になったセラミックヒータ1が得られた。
【0074】
この後、図3(b)に示す通り、焼結体1aの発熱部11側先端部が半球状に研磨され、その一方で、反対の先端部にある仮接続部55が焼成されてなる仮接続部焼結体55aを含む基体13の余剰部分56が切除された。こうして、図8(a)及び(b)に示すセラミックヒータ1が完成した。
【0075】
こうして得られた実施例1〜10及び比較例1〜5のセラミックヒータ1は、直径が3.5mm、軸方向の長さc(mm)が41mmとされている。
【0076】
そして、得られたセラミックヒータ1が例えばグロープラグ50に適用される場合、接続金具17、金属リング18及び主体金具4等の部材と組み合わせられ、図1に示すグロープラグ50が完成する。
【0077】
こうして得られた実施例1〜10及び比較例1〜5について、完成したセラミックヒータ1の基体14内に内装された抵抗体20の主要寸法測定を実施した。測定には、X線写真(マイクロフォーカス)等の非破壊検査手法を適用した。測定箇所については、図9に示す通り、抵抗体20のテーパ部13a、13bの軸方向の長さL’(mm)、リード部12b、12cの厚みa’(mm)、発熱部11の厚みb’(mm)を測定した。主要寸法測定の結果を表2に示す。
【0078】
【表2】

【0079】
抵抗体20におけるa’、b’及びL’は、表1に示すヒータ用成形体40におけるa、b及びLと比べて、結果的に略同一寸法となっている。これは、この実施例1〜10及び比較例1〜5の製造方法において、図6(c)及び図7(c)の図中の矢印が示すように、ヒータ用成形体40の両軸部52b、52cの軸芯を含む平面に平行で、かつ支持体36、37の軸芯に垂直な方向に作用する圧縮力によって、潰れるように変形しながら、焼成されて、焼結体1aとされるからである。
【0080】
一方、ヒータ用成形体40はa、b及びLを潰す方向には変形しない。このため、抵抗体20におけるa’、b’及びL’は、ヒータ用成形体40におけるa、b及びLと比べて、結果的に略同一寸法のままとなるのである。このため、実施例1〜10及び比較例1〜5と同様のセラミックヒータ1に関して、完成品であるセラミックヒータ1の基体14内に内装された抵抗体20におけるa’、b’及びL’を測定することができれば、そのa’、b’及びL’をヒータ用成形体40におけるa、b及びLとみなすことができるのである。また、完成品であるセラミックヒータ1のセラミック組織をX線回折法等によって解析することにより、焼成時の圧縮力の作用方向を特定することができる。
【0081】
ここで、実施例1〜10及び比較例1〜5について、本発明による効果を確認するための試験を実施した。具体的には、実施例1〜7及び比較例1〜3については、ヒータ用成形体40の製造時の歩留まり(%)測定を実施し、実施例8〜10及び比較例4、5については、セラミックヒータ1をグロープラグ50に組み付けた状態での通電試験を実施した。
【0082】
まず、実施例1〜7及び比較例1〜3について実施したヒータ用成形体40の製造時の歩留まり(%)測定について、詳細及び結果を説明する。
【0083】
ヒータ用成形体40の製造時の歩留まり(%)測定の方法は、1ショット4個取りの射出成形金型を用いて、25ショット、100個のヒータ用成形体40を製作し、200°C−50分の乾燥工程の後に、拡大鏡検査にて、外観にクラック等の割れがないかを検査するものである。歩留まり(%)測定の結果を表2に示す。
【0084】
なお、実施例1〜7及び比較例1〜3のヒータ用成形体40は全て
a/10≦b≦a/1.5…(式1)
L≦c/3…(式3)
b≧0.5(mm)…(式4)
の式を満たしている。
【0085】
特に、bが0.5(mm)以上の場合、射出成形時の流動性不足による未充填部の発生や脱型時の折損等の問題が生じないために十分なU字部51の断面積をより確実に確保することができる。実際、実施例1〜7及び比較例1〜3のヒータ用成形体40においては、射出成形時の流動性不足による未充填部は発生していなかった。また、後述する施例8〜10及び比較例45のヒータ用成形体40においても式4を満たしており、射出成形時の流動性不足による未充填部は発生していなかった。このため、歩留まりを低下させることなくヒータ用成形体40を射出成形することがより確実にできるようになっている。このため、良好な発熱性能をより確実に実現できる。
【0086】
そして、実施例1〜7のヒータ用成形体40は全て
(a−b)/2L≦1/2.4…(式2)
を満たしている。そのため、軸部52b、52cとU字部51との間の接続部53a、53bの形状が相対的に緩やか勾配になっている。
【0087】
なお、実施例1〜7において、ヒータ用成形体40は全て、上記式1〜4に規定された範囲内となるように成形され、かつ上述の焼成工程を含む製造方法で実施例1〜7のセラミックヒータ1に適用されるから、表2に示すように、完成した実施例1〜7のセラミックヒータ1の基体14内に内装された抵抗体20におけるa’、b’及びL’も、結果的に上記式5〜8に規定された範囲内となっている。そして、このようなa、b及びLとa’、b’及びLとの関係は、後述の実施例8〜10及び比較例1〜5にも当然に当てはまるので、以下説明は省略する。
【0088】
その結果、ヒータ用成形体40の製造工程における歩留まり測定の結果は、歩留まり90%以上と向上している。そして、実施例3〜7のように、勾配(a−b)/2Lを1/3以下とさらに緩やかにすることによって、歩留まりは99%以上と飛躍的に向上している。
【0089】
その理由は、ヒータ用成形体40を脱型する際に、軸部52b、52cとU字部51との間での厚みの変化による接続部53a、53bでの応力集中を緩和することができるからであると考えられる。そのため、軸部52b、52cとU字部51との間の接続部53a、53bが脱型時に折れ難くなっている。そのため、所望の発熱性能が発揮できるような小さな断面積でU字部51がU字状に形成されることが可能となり、セラミックヒータ1の発熱性能を維持しながら、ヒータ用成形体40の製造時の歩留まりを大幅に向上させることができているのである。
【0090】
これに対して、比較例1〜3は、式1、式3及び式4は満たすものの、
(a−b)/2L≦1/2.4…(式2)
を満たさない。このため、軸部52b、52cとU字部51との間の接続部53a、53bの形状が実施例1〜7に比較して、きつい勾配になっている。
【0091】
その結果、ヒータ用成形体40の製造工程における歩留まり測定の結果は、歩留まりが良いものでも89%であり、90%未満に低下している。その理由は、ヒータ用成形体40を脱型する際に、軸部52b、52cとU字部51との間での厚みの急激な変化によって、接続部53a、53bでの応力集中が生じ易くなるからであると考えられる。そのため、ヒータ用成形体40は、脱型時にたわみや変形等による荷重を受けると、接続部53a、53b近辺で折損等の不具合が生じ易くなり、ヒータ用成形体40の製造時の歩留まりを向上させることができなくなるのである。
【0092】
こうして、実施例1〜7のヒータ用成形体40は、高い歩留まりで製造されることが可能となっているのである。
【0093】
次に、実施例8〜10及び比較例4、5のセラミックヒータ1について、グロープラグ50に組み付けた状態での通電試験を実施した。通電試験は、上述の方法により製造されたセラミックヒータ1をグロープラグ50に組み付けた後、そのグロープラグ50に通電して、セラミックヒータ1の発熱部11の飽和温度が1200°C±25°Cとなるように調整した後の消費電力を測定するものである。消費電力の測定結果も表2に示す。
【0094】
ここで、実施例8、9及び比較例4は、上述の実施例1〜7に対して、発熱部11の厚みb’(mm)を増加させて、リード部12b、12cの厚みa’(mm)に近づけたものである。言い換えれば、U字部51の厚みb(mm)を増加させて、軸部部52b、52cの厚みa(mm)に近づけたものである。実施例8、9は式1〜8の全てを満たしている。一方、比較例4は、式1、5を満たさず、それ以外の式2〜4、6〜8を満たしている。具体的には、比較例4は、bが式1の上限を超え、b’が式5の上限を超えている。
【0095】
これにより、発熱部11の断面積のリード部12b、12cの断面積に対する比率は増加する傾向となる。通電試験による消費電力の測定は、こうした傾向においても、これらのセラミックヒータ1が発熱部11の発熱性能を維持できているかを確認することができる。
【0096】
この結果、表2に示すように、実施例8、9、比較例4の順番で、発熱部11の厚みb’(mm)のリード部12a、12bの厚みa’に対する比率が増加するにつれて、消費電力が増加している。
【0097】
その際、実施例8、9では、消費電力が70W未満という結果であり、抵抗体20をなすリード部12b、12cと発熱部11とを比べた場合、発熱部11が主要な発熱部分となって、リード部12b、12cでは電力を浪費していない。このため、充分な発熱性能を維持できていると言える。
【0098】
それに対して、比較例4では、消費電力が70W以上という結果であり、抵抗体20をなすリード部12b、12cと発熱部11とを比べた場合、発熱部11の断面積が増加して、リード部の断面積に近づき、発熱部11のみならず、リード部までが発熱するようになって、リード部12b、12cが電力を無駄に浪費している。このため、充分な発熱性能を維持できていないと言える。
【0099】
さらに、別の観点からの評価として、実施例8、10及び比較例5は、上述の実施例1〜7に対して、テーパ部13a、13bの長さL’(mm)を長くしたものである。言い換えれば、接続部13の長さL(mm)を長くしたものである。実施例8,10は式1〜8の全てを満たしている。一方、比較例5は、式3、7を満たさず、それ以外の式1、2、4〜6、8を満たしている。具体的には、比較例5は、Lが式3の上限を超え、L’が式7の上限を超えている。
【0100】
これにより、発熱部11からリード部12b、12cへと断面積が増加する部分の長さが長くなる傾向となる。通電試験による消費電力の測定は、こうした傾向においても、これらのセラミックヒータ1が発熱部11の発熱性能を維持できているかを確認することができる。
【0101】
この結果、表2に示すように、実施例8、実施例10、比較例5の順番で、テーパ部13a、13bの長さL’が長くなるにつれて、消費電力が増加している。
【0102】
その際、実施例8、10では、消費電力が70W未満という結果であり、テーパ部13a、13bと発熱部11とを比べた場合、発熱部11が主要な発熱部分となって、テーパ部13a、13bでは電力を浪費していない。このため、充分な発熱性能を維持できていると言える。
【0103】
それに対して、比較例5では、消費電力が70W以上という結果であり、テーパ部13a、13bと発熱部11とを比べた場合、テーパ部13a、13bが長くなって体積が増加し、発熱部11のみならず、テーパ部13a、13bまでが発熱するようになって、テーパ部13a、13bが電力を無駄に浪費している。このため、充分な発熱性能を維持できていないと言える。
【0104】
なお、上述の実施例1〜7に関して、発熱部11の厚みb’(mm)のリード部12a、12bの厚みa’(mm)に対する比率は、実施例8、9よりも小さくされている。また、テーパ部13a,13bの長さは、実施例8、10よりも短くされている。このため、実施例1〜7に関しては、通電試験を行うまでもなく、発熱部11が主要な発熱部分となって、リード部12b、12c又はテーパ部13a、13bは電力を無駄に浪費していないと推定できる。このため、実施例1〜7は、充分な発熱性能を維持できていると推定できる。
【0105】
こうして、実施例1〜10のセラミックヒータ1は、グロープラグ50に適用されても、良好な発熱性能を維持できているのである。
【0106】
したがって、実施例1〜10のヒータ用成形体40においては、高い歩留まりで製造されることが可能となっており、セラミックヒータ1の発熱性能を維持しながら、その製造コストの低廉化を実現することができているのである。特に、実施例3〜7においてはこの効果が顕著なのである。
【0107】
そして、実施例1〜10のヒータ用成形体40は、導電材料がWCとSi34との混合物を主成分としている。このため、ヒータ用成形体40は、導電性及び発熱特性等の電気的特性と、焼結体としての強度等の機械的特性とを最適なものに調整し易くなっており、一層の作用効果を奏することができているのである。
【0108】
また、実施例1〜10のセラミックヒータ1は、上述の通り、焼成時に作用する圧縮力の作用方向が規定されるとともに、上記式5〜7に規定する適正範囲内となるように製造されている。これは、実施例1〜10のヒータ用成形体40が式1〜3に規定する適正範囲内となるように製造されていることと同義である。これにより、このセラミックヒータ1に適用されるヒータ用成形体40は、射出成形される際に、軸部52b、52cの先端とU字部51の後端とを連結する接続部53a、53bが脱型時に折れることが抑制され、高い歩留まりで安定的に製造されることが可能となる。このため、セラミックヒータ1自体も、発熱性能を維持することができている。このため、実施例1〜10のセラミックヒータ1は、前出のヒータ用成形体40と同様の作用効果を奏することができているのである。
【0109】
以上において、本発明を実施例1〜10に即して説明したが、実施例1〜10は特許請求の範囲に記載した発明以外に以下の発明を内包している。
【0110】
(1)一対をなして軸方向に平行に延びる軸部と、両該軸部よりも小さい断面積でU字状に形成されたU字部と、両該軸部を該U字部に連結する一対の接続部とを備えたヒータ用成形体において、
両前記軸部、両前記接続部及び前記U字部は同一の導電材料で射出成形され、該U字部の軸芯に直交する方向の断面積は両該軸部の軸芯に直交する方向の断面積より小さいことを特徴とするヒータ用成形体。
【0111】
(1)の発明では、セラミックヒータの発熱性能を維持することができるとともに、1回の射出成形工程によって、U字部及び軸部を備えたヒータ用成形体を形成することが可能となり、製造コストの低廉化を実現することができる。
【0112】
(2)両前記軸部の前記U字部とは反対側の先端部には各該軸部を連結する仮接続部が一体に形成されていることを特徴とする(1)記載のヒータ用成形体。
【0113】
(2)の発明では、両軸部の両端がU字部と仮接続部とによって連結されることとなり、ヒータ用成形体の変形やたわみが抑制され、脱型時や次工程への搬送等の際の破損をより確実に防止することができる。
【0114】
また、本発明は上記実施例1〜10に制限されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更して適用できることはいうまでもない。
【産業上の利用可能性】
【0115】
本発明は例えばグロープラグ等に使用されるヒータ用成形体及びセラミックヒータに利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【0116】
【図1】実施例1〜10及び比較例1〜5のヒータ用成形体を適用したセラミックヒータを組み込んだグロープラグの断面図である。
【図2】実施例1〜10及び比較例1〜5のヒータ用成形体を適用したセラミックヒータを組み込んだグロープラグ要部拡大断面図である。
【図3】実施例1〜10及び比較例1〜5のヒータ用成形体に係り、(a)はヒータ用成形体の正面図及び側面図であり、(b)はヒータ用成形体の焼結体の正面図及び側面図である。
【図4】実施例1〜10及び比較例1〜5のヒータ用成形体の製造工程の一部を示す斜視図である。
【図5】実施例1〜10及び比較例1〜5のヒータ用成形体に係り、図3(a)に示されたZ部の要部拡大断面図である。
【図6】実施例1〜10及び比較例1〜5のヒータ用成形体に係り、(a)〜(d)は製造工程の一部を順を追って示すためものであって、図3(a)に示すヒータ用成形体40のB−B断面から図3(b)に示す焼結体1aのB−B断面に変化する過程を示すB−B断面の要部拡大断面図である。
【図7】実施例1〜10及び比較例1〜5のヒータ用成形体に係り、(a)〜(d)は製造工程の一部を順を追って示すためものであって、図3(a)に示すヒータ用成形体40のC−C断面から図3(b)に示す焼結体1aのC−C断面に変化する過程を示すC−C断面の要部拡大断面図である。
【図8】実施例1〜10及び比較例1〜5のヒータ用成形体に係り、(a)は完成したセラミックヒータの正面図であり、(b)は(a)のA−A断面を示す断面図である。
【図9】実施例1〜10及び比較例1〜5のヒータ用成形体に係り、図8(a)に示されたX部の要部拡大断面図である。
【符号の説明】
【0117】
1…セラミックヒータ
11…発熱部
12b、12c…リード部
13a、13b…テーパ部
14…基体
20…抵抗体
36、37…支持体
40…ヒータ用成形体
51…U字部
52b、52c…軸部
53a、53b…接続部

【特許請求の範囲】
【請求項1】
一対をなして軸方向に延びる軸部と、両該軸部よりも小さい断面積でU字状に形成されたU字部と、両該軸部の先端と該U字部の後端とを連結し、該U字部側から両該軸部側に向かって断面積が大きくなる一対の接続部とを備え、両該軸部、両該接続部及び該U字部が同一の導電材料で射出成形されたヒータ用成形体であって、
前記接続部の軸方向の長さをL(mm)、両前記軸部の軸芯を含む平面に直交する該軸部の厚みをa(mm)、該平面に直交する前記U字部の厚みをb(mm)、前記ヒータ用成形体を焼成した抵抗体を軸方向に延びる絶縁材料製の支持体とともにセラミックヒータとした場合の該セラミックヒータの軸方向の長さをc(mm)としたとき、
a/10≦b≦a/1.5、(a−b)/2L≦1/2.4及びL≦c/3を満足することを特徴とするヒータ用成形体。
【請求項2】
b≧0.5(mm)であることを特徴とする請求項1記載のヒータ用成形体。
【請求項3】
前記導電材料はWCとSi34との混合物又はMoSi2とSi34との混合物を主成分としていることを特徴とする請求項1又は2記載のヒータ用成形体。
【請求項4】
一対をなして軸方向に延びる軸部と、両該軸部よりも小さい断面積でU字状に形成されたU字部と、両該軸部の先端と該U字部の後端とを連結し、該U字部側から両該軸部側に向かって断面積が大きくなる一対の接続部とを備え、両該軸部、両該接続部及び該U字部が同一の導電材料で射出成形されたヒータ用成形体を得た後、該ヒータ用成形体を軸方向に延びる絶縁材料製の支持体に内装し、両該軸部の軸芯を含む平面に平行であってかつ該支持体の軸芯に垂直な方向に圧縮力を作用させながら、該ヒータ用成形体を該支持体とともに焼成することにより、該支持体が軸方向に延びる柱状の基体とされ、該ヒータ用成形体が該基体内に内装された抵抗体とされたセラミックヒータであって、
該抵抗体は、該軸部が焼成されたリード部と、該U字部が焼成された発熱部と、該接続部が焼成されたテーパ部とを有するものであり、
前記テーパ部の軸方向の長さをL’(mm)、両前記リード部の軸芯を含む平面に直交する該リード部の厚みをa’(mm)、該平面に直交する前記発熱部の厚みをb’(mm)、前記セラミックヒータの軸方向の長さをc(mm)としたとき、
a’/10≦b’≦a’/1.5、(a’−b’)/2L’≦1/2.4及びL’≦c/3を満足することを特徴とするセラミックヒータ。
【請求項5】
b’≧0.5(mm)であることを特徴とする請求項4記載のセラミックヒータ。
【請求項6】
前記導電材料はWCとSi34との混合物又はMoSi2とSi34との混合物を主成分としていることを特徴とする請求項4又は5記載のセラミックヒータ。

【図1】
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【図2】
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【図3】
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【図4】
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【図5】
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【図6】
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【図7】
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【図8】
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【図9】
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