乾燥装置
【課題】ハンガーに保持されて乾燥室内を非接触で搬送される間に両面乾燥される薄板状のワークに粉塵などが落下して付着することがなく、ワーク上方の発塵を防いで装置を小型化することが可能な乾燥装置を提供する。
【解決手段】乾燥風が循環する乾燥室２内を周回移動する無端ベルトチェーン８にハンガー挿入部８ａが所定ピッチで設けられた当該ハンガー挿入部８ａにワークＷを保持したハンガーＨを保持させて乾燥室２内をチェーン回転方向に起立姿勢のまま移送されるハンガー移送部７と、ハンガー移送部７により移送されたハンガーＨからワークＷを分離して下流側へ送り出すと共に当該ワークＷと分離されたハンガーＨを次のワーク保持に備えてワーク搬送方向上流側へ送り返すハンガー戻し部１０とを備えた。
【解決手段】乾燥風が循環する乾燥室２内を周回移動する無端ベルトチェーン８にハンガー挿入部８ａが所定ピッチで設けられた当該ハンガー挿入部８ａにワークＷを保持したハンガーＨを保持させて乾燥室２内をチェーン回転方向に起立姿勢のまま移送されるハンガー移送部７と、ハンガー移送部７により移送されたハンガーＨからワークＷを分離して下流側へ送り出すと共に当該ワークＷと分離されたハンガーＨを次のワーク保持に備えてワーク搬送方向上流側へ送り返すハンガー戻し部１０とを備えた。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばプリント回路基板の製造工程で露光・現像又は印刷が行われた際に基板両面にコーティングされた保護層などの加熱・乾燥工程に用いられる基板等の乾燥装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板乾燥を行うウィケット式乾燥装置としては、図７に示す乾燥装置６０が実用化されている。この乾燥装置６０は、乾燥室６１内にチェーン等で構成された無限軌道６２に、ワークＷの保持部材であるワーク受枠６３が所定ピッチで多数固定されている。
ワークＷは、水平方向にワーク受枠６３間に挿入支持されて無限軌道６２の上面で起立するワーク受枠６３の間に保持されたまま、乾燥室６１内で熱風に晒された状態で搬送される間に乾燥が行われる（特許文献１、図６参照）。
【０００３】
また、例えば基板両面にレジスト等がコーティングされたワークを非接触で両面乾燥させるため、乾燥室内をワークがハンガーに吊り下げられたまま搬送する装置も実用化されている。例えば、乾燥室の長手方向に配設され、複数のハンガーがワークを保持した状態で所定間隔をおいて一列に載置される載置部、及び複数のハンガーを載せて送り方向へ間欠的に送るべく、ハンガーを載せるための上昇移動、ハンガーを載せて送り方向へ水平移動、ハンガーを降ろすための下降移動、送り方向とは反対方向へ水平移動の順に作動する送り用作動部を備えている（特許文献２、図１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許３９２６９２３号公報
【特許文献２】特許４５１０３０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
プリント回路基板の製造工程では、露光・現像又は印刷技術が利用されるが、これらの製造工程には基板の加熱・乾燥工程が必須になる。その加熱・乾燥工程における乾燥室についても、高いクリーン度（高空気清浄度）が要求される。
しかしながら、上記特許文献１の乾燥装置を用いる場合、図８に示す無限軌道６２自体の作動による発塵、さらに無限軌道６２がたわまないように接触して支持する構成との摺接による発塵など、無限軌道６２を周回移動する機構が大きな発塵源となり、ワークＷの上方から降下する塵埃となって乾燥室６１内が汚染されるという課題がある。また、周回移動する無限軌道６２に支持された戻りのワーク受枠６３も垂下して搬送されるため、装置全高が高くなり乾燥装置６０が大型化する。また、ワークＷはワーク受枠６３に立て掛けて搬送されるため、両面コーティングされた基板においてはワーク受枠６３との接触跡が残ってしまうおそれがある。
また、特許文献２の乾燥装置は、ワークをハンガーに固定して乾燥室内を吊り下げながら送り用作動部によって順送りされるようになっている。よって、ワークの上方に送り用作動部の駆動源や駆動機構が配置されるため、ごみや粉塵がワークに落下して付着するおそれがあるうえに、装置全高が高くなるため大型化する。
更には、近年半導体装置の小型化が進み、基板の厚みも薄型化しており、乾燥室内における基板の反りを抑えたいというニーズもある。
【０００６】
本発明はこれらの課題を解決すべくなされたものであり、その目的とするところは、ハンガーに保持されて乾燥室内を非接触で搬送される間に両面乾燥される薄板状のワークに粉塵などが落下して付着することがなく、ワーク上方の発塵を防いで装置を小型化することが可能な乾燥装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は上記目的を達成するため、次の構成を備える。
薄板状のワークがハンガーに保持されたまま非接触で乾燥室内を移送される間に所定の温度プロファイルで順次ワーク両面の乾燥が行われる乾燥装置であって、乾燥風が循環する乾燥室内を周回移動する無端ベルトチェーンにハンガー保持部が所定ピッチで設けられた当該ハンガー保持部に前記ワークを保持したハンガーを保持させて前記乾燥室内を起立姿勢のまま前記チェーン回転方向に移送するハンガー移送部と、前記ハンガー移送部によって移送された前記ハンガーから前記ワークを分離して下流側へ送り出すと共に当該ワークと分離された前記ハンガーを次のワーク保持に備えてワーク搬送方向上流側へ送り返すハンガー戻し部と、を具備したことを特徴とする。
上記構成によれば、ワークを保持したハンガーがハンガー移送部によりチェーン回転方向に起立姿勢で移送される間にワークに非接触で両面乾燥される。これにより、ワークより上方に駆動源や無限軌道やその周回機構などの機械的摺動部は存在せず、乾燥室内を搬送される薄板状のワークに粉塵などが落下して付着することがなく、ワーク上方の発塵を防いで装置を小型化することが可能となる。
【０００８】
前記乾燥室内のワーク移送経路において、前記ワークより下方に搬送駆動源及び機械的摺動部が配置されていることが望ましい。
これにより、少なくとも乾燥室内においてはワークに搬送駆動源や機械的摺動部からの粉塵や駆動源等に付着した揮発性の溶剤がワークに落下するおそれがなくなり、クリーンな環境下で乾燥が行なえる。
【０００９】
前記ハンガー保持部は、一対の無端ベルトチェーンに筒状のハンガー挿入部が所定ピッチで組み付けられていることが好ましい。
これにより、より省スペースで多数のワークをハンガー挿入部に挿入して垂直姿勢で支持して乾燥させることができる。また、ハンガーの使用枚数を半分以下に減らして繰り返し使用することにより、装置の小型化を図ることができる。更には、ワークのサイズ変更はハンガーを変更すれば足りるので、装置の大幅な改変は不要となり、汎用性が向上する。
【００１０】
前記ハンガーに対して前記ワークがチャック若しくはガイドされて移送されることが望ましい。薄型のフィルム状の基板のように、乾燥によって反りが発生しやすいワークの場合には、４辺チャックすることでワークの反りや波打つなどの変形を抑えることができる。また、ワークの剛性が高い例えばガラス板等の場合には、チャックする必要はなく、両側ガイドに沿って保持することで印刷面を乾燥させることができる。
【００１１】
前記乾燥室内には、乾燥空気をフィルターを介して循環させ該乾燥空気の一部を給排気する循環路が形成されていることが好ましい。
これにより、乾燥室内で揮発した溶剤等がフィルターを通じて除去されるため、天井等に付着してワークに落下するおそれはなくなる。
【００１２】
ワーク搬送方向上流側より搬送された薄板状のワークを保持位置へ搬送し、当該保持位置へ上昇した第１ハンガー昇降部に載置したハンガーに前記ワークを保持させるワーク保持部と、前記ワークを保持したハンガーを水平姿勢から起立姿勢に姿勢変更させるワーク姿勢変更部と、を具備し、前記ワーク姿勢変更部により起立姿勢にしたハンガーを前記ハンガー保持部に保持させて前記ハンガー移送部によって前記乾燥室内を前記チェーン回転方向に移送されるようにしてもよい。
これにより、ワーク搬送方向上流側より例えば前工程でコーティングされた薄板状のワークが保持位置へ搬送されると、ハンガーに保持させて水平姿勢から起立姿勢に姿勢変更させてハンガー保持部に保持させるまでの動作を自動化して効率よくワークを乾燥室に搬入することができる。
【００１３】
また、前記ハンガー移送部により移送され垂直姿勢から水平姿勢になったハンガー保持部からハンガーを順次保持解除位置へ取り出すハンガー取り出し部と、前記保持解除位置に取り出されたハンガーから保持を解除して乾燥後のワークを下流側へ搬送するワーク送り出し部と、前記保持解除位置でワークと分離されたハンガーを受け取った第２ハンガー昇降部を下降させて当該ハンガーを前記ハンガー戻し部に受け渡して前記ワーク保持部へ戻すようにしてもよい。
これにより、乾燥後のワークをハンガーより分離して後工程に搬送し、ハンガーを再度ワーク保持部へ戻してワークを保持させるまでの動作を自動化して効率よくワーク搬送を行うことができる。
【発明の効果】
【００１４】
上述した乾燥装置を用いれば、ハンガーに保持されて乾燥室内を非接触で搬送される間に両面乾燥される薄板状のワークに粉塵などが落下して付着することがなく、ワーク上方の発塵を防いで装置を小型化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】乾燥装置の内部構成を透視した正面図である。
【図２】乾燥装置の内部構成を透視した平面図である。
【図３】ハンガー移送部、ハンガー取り出し部、ワーク送り出し部、ハンガー戻し部の構成を示す説明図である。
【図４】ワーク保持部及びワーク姿勢変更部の構成を示す説明図である。
【図５】ワークを移載するピックアップ装置の配置を示す説明図である。
【図６】乾燥室の熱気循環を示す説明図である。
【図７】他例に係るハンガーの態様を示す正面説明図及び上視図である。
【図８】従来のウィケット方式の乾燥装置の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明に係る乾燥装置の実施形態について、添付図面を参照しながら説明する。本実施形態では、ワークとしてプリント配線基板の基板製造工程で用いられる乾燥装置を例示して説明する。
【００１７】
図１を参照して、乾燥装置の概略構成について説明する。
乾燥装置１は、薄板状のワークＷがハンガーＨに保持されたまま乾燥室２内を非接触で移送される間に所定の温度プロファイルにしたがって順次ワーク両面の乾燥が行われる。
【００１８】
前工程においてワークＷは基板両面にレジスト等のコーティング材が印刷或いは塗布により両面コーティングされている。ワーク保持部３は、ワーク搬送方向上流側より搬送された薄板状のワークＷをチャック位置（保持位置）Ｐ１へ搬送し、当該チャック位置Ｐ１へ上昇した第１ハンガー昇降部４に載置したハンガーＨにワークＷを保持させる。
【００１９】
ワーク姿勢変更部５は、ワークＷを保持したハンガーＨを水平姿勢から起立姿勢に姿勢変更させる。ワーク姿勢変更部５により起立姿勢にしたハンガーＨはハンガー移送部７に搬入されて無端ベルトチェーン８に固定されたハンガー保持部（ハンガー挿入部８ａ）に両側フレーム挿入端部ＦＥ（図７（Ａ）（Ｂ）参照）挿入保持させたまま乾燥室２内をチェーン回転方向に移送される。
【００２０】
ハンガー移送部７は、乾燥風が循環する乾燥室１内を周回移動する無端ベルトチェーン８にハンガー挿入部８ａが所定ピッチで設けられた当該ハンガー挿入部８ａに両側フレーム挿入端部ＦＥを挿入してワークＷを保持したハンガーＨを起立姿勢のまま保持させて乾燥室２内をチェーン回転方向に移送する。即ち、ワークＷは、乾燥室２内を非接触で移送される間に両面乾燥が行われる。
【００２１】
ハンガー取り出し部９は、ハンガー移送部７により移送され垂直姿勢から水平姿勢になったハンガー挿入部８ａからハンガーＨが抜き出されて順次チャック解除位置Ｐ２へ移送される。ワーク送り出し部１０は、チャック解除位置Ｐ２に取り出されたハンガーＨからワークＷのクリップＫを解放して当該ワークＷを下流側へ搬送する。
【００２２】
第２ハンガー昇降部１１は、チャック解除位置Ｐ２でワークＷと分離されたハンガーＨを受け取ったまま下降して当該ハンガーＨをハンガー戻し部１２に受け渡す。ハンガー戻し部１２は、ハンガーＨをワーク搬送方向上流側のワーク保持部３に向って返送する。
【００２３】
上述した乾燥室２内のワーク移送経路において、ワークＷより下方に搬送駆動源及び機械的摺動部が配置されている。これにより、少なくとも乾燥室２内においてはワークＷに搬送駆動源や機械的摺動部からの粉塵や、上記駆動源等に付着した揮発性の溶剤がワークに落下するおそれがなくなり、クリーンな環境下で両面乾燥が行なえる。
【００２４】
次に乾燥装置１の各部の構成について説明する。
図１及び図２において、両面コーティングされてワーク搬送方向上流側から搬送されたワークＷは受け取りコンベア１３に受け渡される（図５参照）。チャック位置Ｐ１には、第１ハンガー昇降部４によってハンガーＨは水平姿勢で支持されて待機している。図４に示すように、ハンガーＨは、矩形の枠体であって、４辺に１対ずつ設けられたクリップＫによってワークＷの各辺をチャックしてテンションを付与した状態で保持するようになっている。
【００２５】
図７（Ａ）〜（Ｃ）はハンガーＨの他の構成を示す正面図及び上視図である。図７（Ａ）に示すように、ワークＷをハンガーＨの両側２辺若しくは３辺にクリップＫでチャックするか若しくは図７（Ｃ）に示すＬ型ガイド２４でワークＷの両側を保持して底辺に設けられた支持ピン等を設けて比較的合成の高いガラス板などを保持するようにしてもよい。また、クリップＫのチャック位置は、ワークＷのサイズに応じて変更することができるように着脱可能に設けられていてもよい。即ち、図７（Ｂ）において、ハンガーＨの上下フレームＦに対してチャックＫ若しくは（Ｌ型ガイド）を取り付けた取付板２５を幅方向両側若しくは上下で着脱して取付位置を変更するようにしてもよい。これにより多様なサイズのワークＷや、剛性の異なる多様なワークＷを保持して乾燥することができる。
【００２６】
図５において、受け取りコンベア１３から第１ピックアップ１４によって、ワークＷが保持されてハンガーＨ上のチャック位置Ｐ１に移載される。ハンガーＨの４辺に設けられたクリップＫは、図４に示すように第１ハンガー昇降部４によってチャック位置Ｐ１へ上昇した際に第１アンクランプ機構Ｕ１によって開放状態に維持される。この状態で第１ピックアップ装置１４によってワークＷがハンガーＨに受け渡されると、第１アンクランプ機構Ｕ１はクリップＫを閉じてワークＷの４辺を同時にチャックする。クリップＫの開閉は、例えば第１アンクランプ機構Ｕ１に設けられたアクチュエータ（ソレノイド、シリンダ等）により開閉操作が行われる。
【００２７】
薄型のフィルム状の基板のように、比較的剛性の低いワークＷの場合にはハンガーＨに対して４辺がチャックされて移送されることが望ましい。乾燥によって反りが発生しやすいワークＷの場合には、４辺チャックすることでワークの反りや波打つなどの変形を抑えることができる。また、ガラス板等のように剛性が比較的高いワークＷの場合には必ずしもチャックする必要はなく両側をＬ型ガイド等でガイドするだけで足りる。
【００２８】
図４において、チャック位置Ｐ１でワークＷがハンガーＨに保持されると、ワーク姿勢変更部５に備えた昇降動作及び回転動作が可能な姿勢変更ロボット１５のハンド１５ａによってハンガーＨの両側フレームを把持したまま図３に示すように水平姿勢のまま上昇し、上昇位置で時計回り方向へ９０度回転させて、垂直姿勢へ姿勢変更する（図１参照）。このとき、ハンガーＨにはワークＷが移送方向後面側にチャックされている。そして、図１に示すように垂直姿勢になったハンガーＨの上辺フレームをスライド可能なスライドハンド１６により把持して乾燥室２内に搬入される。
【００２９】
ハンガー移送部７に設けられた無端ベルトチェーン８は、図２に示すように乾燥室２の長手方向に沿って一対設けられている。一対の無端ベルトチェーン８は図示しない駆動モータにより駆動され、各ベルトチェーン８には筒状のハンガー挿入部８ａ（ハンガー保持部）が所定ピッチで組み付けられている。一対のハンガー挿入部８ａの垂直姿勢となった上流端でスライドハンド１６により把持されたハンガーＨが解放されて両側下端部（フレーム挿入端部ＦＥ；図７（Ａ）（Ｂ）参照）がハンガー挿入部８ａに各々挿入支持されたままチューン回転方向に移送される。これにより、省スペースで多数のハンガーＨをハンガー挿入部８ａに挿入することにより、ワークＷを乾燥室２内に非接触で垂直姿勢のまま支持して両面乾燥させることができる。また、ハンガーＨの使用枚数を半分以下に減らして繰り返し使用することにより、装置の小型化を図ることができる。更には、ワークＷのサイズ変更はハンガーＨを変更すれば足りるので、装置の大幅な改変は不要となり、汎用性が向上する。また、ワークＷはハンガーＨとともに乾燥室２内に順送りされて、所定時間乾燥が行なわれるので、各ワークＷに作用する温度プロファイルは一定であるため、ワークＷによって乾燥状態がばらつくことはなく所期の乾燥品質が得られる。
【００３０】
図６に示すように、乾燥室２内には、送風ファン１７、フィルター１８、ヒータ１９などが配置されている。ヒータ１９に加熱された乾燥空気を送風ファン１７によりフィルター１７を介してワークＷに上方から吹き付けて乾燥させ、一部を給排気しながら再加熱して循環させる循環送風路２ａが形成されている。これにより、乾燥室２内で揮発した溶剤等がフィルター１８を通じて除去されるため、天井等に付着してワークＷに落下するおそれはなくなる。
【００３１】
図３において、無端ベルトチェーン８によってチェーン回転方向上流側より下流側に垂直姿勢のまま移送されたハンガーＨは水平姿勢になると、図５に示すハンガー取り出し部９に設けられたスライド機構２０のハンド２０ａによってハンガーＨの両側を把持されて水平方向にチャック解除位置Ｐ２へ取り出される。そして、スライド機構２０に設けられた第２アンクランプ機構Ｕ２によってクリップＫが解放される。
【００３２】
また、図５において、チャック解除位置Ｐ２でクリップＫによるチャックが解放されたワークＷは、第２ピックアップ装置２１によってワークＷのみが保持されて受け渡しコンベア２２に載置されて下流側へ搬送される。
【００３３】
また、ワークＷと分離したハンガーＨは、図３に示す第２ハンガー昇降部１１に受け渡されて下降し、ハンガー戻し部１０に設けられた返送用コンベア２３に受け渡される。返送用コンベア２３に載置されたハンガーＨは、ワーク保持部６の下方位置まで返送される。返送用コンベア２３も粉塵が生じないように無端状のアイアンラバーベルト等が用いられる。次いで第１ハンガー昇降部４に受け渡されて、次のワークＷのチャックに備えてチャック位置Ｐ１へ上昇して待機する。
【００３４】
上述したように無端状ベルトチェーン８に対してハンガーＨをハンガー挿入部８ａから挿抜可能に支持して移送しており、ハンガーＨを繰り返し使用可能にしているので、ウィケット方式の乾燥装置にくらべてハンガーＨの使用数が半分以下に抑えられ、装置高さも低くでき小型化が図れる。
また、ハンガーＨはベルトチェーン８に固定されていないため、基板サイズ変更してもハンガーＨを変更するだけで対応することができ、装置の汎用性を高めることができる。
また、クリップＫによるクリップ位置は、基板製品として不要な部分であるため、基板の両面同時乾燥が可能になる。
また、乾燥室２内に設けられたハンガー移送部７内を垂直姿勢で移送されるワークＷより上方に搬送駆動源や無限軌道やその周回機構などの機械的摺動部は存在しないのでワークＷへの粉塵等の落下や異物の付着のおそれはない。
また、乾燥室２内の循環送風路２ａにプレフィルターやヘパフィルターを設けることで、クリーン炉における両面乾燥を行うことが可能になる。
【００３５】
上記実施形態では、ハンガー移送部７の上流側にワーク姿勢変更部５を配置し、下流側にワーク送り出し部１０を設けたが、これらを入れ替えて配置してもよい。
即ち、ワークＷを水平姿勢のままハンガーＨのクリップＫに保持させて、水平姿勢のまま乾燥室２内に搬入してハンガーＨを水平位置にあるハンガー挿入部８ａに挿入支持させる。
【００３６】
ワークＷを保持したハンガーＨは、ベルトチェーン８の回転にしたがって水平姿勢から垂直姿勢へ変化してそのまま乾燥室２内を下流側に移送される。そして、ベルトチェーン８の垂直姿勢の下流端でワーク姿勢変更部５に設けられたスライドハンド１６によってハンガーＨが把持されて姿勢変更ロボット１５に受け渡されて反時計回り方向に９０度回転して水平姿勢に姿勢変更してクリップＫを解除してワークＷとハンガーＨとを分離するようにしてもよい。
【００３７】
また、ハンガー保持部７に保持させるハンガーＨの数はハンガー挿入部８ａの数やベルトチェーン８の長さ変更により任意に増減可能である。また、ハンガーＨに保持されるワークＷも４辺チャックに限らず３辺チャック、２辺チャック、或いは両側ガイド等であってもよい。ハンガーＨにＬ型ガイド２４を設けてチャックを用いない場合には、第１アンクランプ機構Ｕ１，第２アンクランプ機構Ｕ２を省略することも可能である。
【符号の説明】
【００３８】
Ｐ１ チャック位置
Ｐ２ チャック解放位置
Ｈ ハンガー
Ｆ フレーム
ＦＥ フレーム挿入端部
Ｗ ワーク
Ｋ クリップ
Ｕ１ 第１アンクランプ機構
Ｕ２ 第２アンクランプ機構
１ 乾燥装置
２ 乾燥室
２ａ 循環送風路
３ ワーク保持部
４ 第１ハンガー昇降部
５ ワーク姿勢変更部
６ ワーク保持部
７ ハンガー移送部
８ 無端ベルトチェーン
８ａ ハンガー挿入部
９ ハンガー取り出し部
１０ ワーク送り出し部
Ｐ２ チャック解除位置
１１ 第２ハンガー昇降部
１２ ハンガー戻し部
１３ 受け取りコンベア
１４ 第１ピックアップ装置
１５ 姿勢変更ロボット
１５ａ，２０ａ ハンド
１６ スライドハンド
１７ 送風ファン
１８ フィルター
１９ ヒータ
２０ スライド機構
２１ 第２ピックアップ装置
２２ 受け渡しコンベア
２３ 返送用コンベア
２４ Ｌ型ガイド
２５ 取付板
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばプリント回路基板の製造工程で露光・現像又は印刷が行われた際に基板両面にコーティングされた保護層などの加熱・乾燥工程に用いられる基板等の乾燥装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板乾燥を行うウィケット式乾燥装置としては、図７に示す乾燥装置６０が実用化されている。この乾燥装置６０は、乾燥室６１内にチェーン等で構成された無限軌道６２に、ワークＷの保持部材であるワーク受枠６３が所定ピッチで多数固定されている。
ワークＷは、水平方向にワーク受枠６３間に挿入支持されて無限軌道６２の上面で起立するワーク受枠６３の間に保持されたまま、乾燥室６１内で熱風に晒された状態で搬送される間に乾燥が行われる（特許文献１、図６参照）。
【０００３】
また、例えば基板両面にレジスト等がコーティングされたワークを非接触で両面乾燥させるため、乾燥室内をワークがハンガーに吊り下げられたまま搬送する装置も実用化されている。例えば、乾燥室の長手方向に配設され、複数のハンガーがワークを保持した状態で所定間隔をおいて一列に載置される載置部、及び複数のハンガーを載せて送り方向へ間欠的に送るべく、ハンガーを載せるための上昇移動、ハンガーを載せて送り方向へ水平移動、ハンガーを降ろすための下降移動、送り方向とは反対方向へ水平移動の順に作動する送り用作動部を備えている（特許文献２、図１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許３９２６９２３号公報
【特許文献２】特許４５１０３０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
プリント回路基板の製造工程では、露光・現像又は印刷技術が利用されるが、これらの製造工程には基板の加熱・乾燥工程が必須になる。その加熱・乾燥工程における乾燥室についても、高いクリーン度（高空気清浄度）が要求される。
しかしながら、上記特許文献１の乾燥装置を用いる場合、図８に示す無限軌道６２自体の作動による発塵、さらに無限軌道６２がたわまないように接触して支持する構成との摺接による発塵など、無限軌道６２を周回移動する機構が大きな発塵源となり、ワークＷの上方から降下する塵埃となって乾燥室６１内が汚染されるという課題がある。また、周回移動する無限軌道６２に支持された戻りのワーク受枠６３も垂下して搬送されるため、装置全高が高くなり乾燥装置６０が大型化する。また、ワークＷはワーク受枠６３に立て掛けて搬送されるため、両面コーティングされた基板においてはワーク受枠６３との接触跡が残ってしまうおそれがある。
また、特許文献２の乾燥装置は、ワークをハンガーに固定して乾燥室内を吊り下げながら送り用作動部によって順送りされるようになっている。よって、ワークの上方に送り用作動部の駆動源や駆動機構が配置されるため、ごみや粉塵がワークに落下して付着するおそれがあるうえに、装置全高が高くなるため大型化する。
更には、近年半導体装置の小型化が進み、基板の厚みも薄型化しており、乾燥室内における基板の反りを抑えたいというニーズもある。
【０００６】
本発明はこれらの課題を解決すべくなされたものであり、その目的とするところは、ハンガーに保持されて乾燥室内を非接触で搬送される間に両面乾燥される薄板状のワークに粉塵などが落下して付着することがなく、ワーク上方の発塵を防いで装置を小型化することが可能な乾燥装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は上記目的を達成するため、次の構成を備える。
薄板状のワークがハンガーに保持されたまま非接触で乾燥室内を移送される間に所定の温度プロファイルで順次ワーク両面の乾燥が行われる乾燥装置であって、乾燥風が循環する乾燥室内を周回移動する無端ベルトチェーンにハンガー保持部が所定ピッチで設けられた当該ハンガー保持部に前記ワークを保持したハンガーを保持させて前記乾燥室内を起立姿勢のまま前記チェーン回転方向に移送するハンガー移送部と、前記ハンガー移送部によって移送された前記ハンガーから前記ワークを分離して下流側へ送り出すと共に当該ワークと分離された前記ハンガーを次のワーク保持に備えてワーク搬送方向上流側へ送り返すハンガー戻し部と、を具備したことを特徴とする。
上記構成によれば、ワークを保持したハンガーがハンガー移送部によりチェーン回転方向に起立姿勢で移送される間にワークに非接触で両面乾燥される。これにより、ワークより上方に駆動源や無限軌道やその周回機構などの機械的摺動部は存在せず、乾燥室内を搬送される薄板状のワークに粉塵などが落下して付着することがなく、ワーク上方の発塵を防いで装置を小型化することが可能となる。
【０００８】
前記乾燥室内のワーク移送経路において、前記ワークより下方に搬送駆動源及び機械的摺動部が配置されていることが望ましい。
これにより、少なくとも乾燥室内においてはワークに搬送駆動源や機械的摺動部からの粉塵や駆動源等に付着した揮発性の溶剤がワークに落下するおそれがなくなり、クリーンな環境下で乾燥が行なえる。
【０００９】
前記ハンガー保持部は、一対の無端ベルトチェーンに筒状のハンガー挿入部が所定ピッチで組み付けられていることが好ましい。
これにより、より省スペースで多数のワークをハンガー挿入部に挿入して垂直姿勢で支持して乾燥させることができる。また、ハンガーの使用枚数を半分以下に減らして繰り返し使用することにより、装置の小型化を図ることができる。更には、ワークのサイズ変更はハンガーを変更すれば足りるので、装置の大幅な改変は不要となり、汎用性が向上する。
【００１０】
前記ハンガーに対して前記ワークがチャック若しくはガイドされて移送されることが望ましい。薄型のフィルム状の基板のように、乾燥によって反りが発生しやすいワークの場合には、４辺チャックすることでワークの反りや波打つなどの変形を抑えることができる。また、ワークの剛性が高い例えばガラス板等の場合には、チャックする必要はなく、両側ガイドに沿って保持することで印刷面を乾燥させることができる。
【００１１】
前記乾燥室内には、乾燥空気をフィルターを介して循環させ該乾燥空気の一部を給排気する循環路が形成されていることが好ましい。
これにより、乾燥室内で揮発した溶剤等がフィルターを通じて除去されるため、天井等に付着してワークに落下するおそれはなくなる。
【００１２】
ワーク搬送方向上流側より搬送された薄板状のワークを保持位置へ搬送し、当該保持位置へ上昇した第１ハンガー昇降部に載置したハンガーに前記ワークを保持させるワーク保持部と、前記ワークを保持したハンガーを水平姿勢から起立姿勢に姿勢変更させるワーク姿勢変更部と、を具備し、前記ワーク姿勢変更部により起立姿勢にしたハンガーを前記ハンガー保持部に保持させて前記ハンガー移送部によって前記乾燥室内を前記チェーン回転方向に移送されるようにしてもよい。
これにより、ワーク搬送方向上流側より例えば前工程でコーティングされた薄板状のワークが保持位置へ搬送されると、ハンガーに保持させて水平姿勢から起立姿勢に姿勢変更させてハンガー保持部に保持させるまでの動作を自動化して効率よくワークを乾燥室に搬入することができる。
【００１３】
また、前記ハンガー移送部により移送され垂直姿勢から水平姿勢になったハンガー保持部からハンガーを順次保持解除位置へ取り出すハンガー取り出し部と、前記保持解除位置に取り出されたハンガーから保持を解除して乾燥後のワークを下流側へ搬送するワーク送り出し部と、前記保持解除位置でワークと分離されたハンガーを受け取った第２ハンガー昇降部を下降させて当該ハンガーを前記ハンガー戻し部に受け渡して前記ワーク保持部へ戻すようにしてもよい。
これにより、乾燥後のワークをハンガーより分離して後工程に搬送し、ハンガーを再度ワーク保持部へ戻してワークを保持させるまでの動作を自動化して効率よくワーク搬送を行うことができる。
【発明の効果】
【００１４】
上述した乾燥装置を用いれば、ハンガーに保持されて乾燥室内を非接触で搬送される間に両面乾燥される薄板状のワークに粉塵などが落下して付着することがなく、ワーク上方の発塵を防いで装置を小型化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】乾燥装置の内部構成を透視した正面図である。
【図２】乾燥装置の内部構成を透視した平面図である。
【図３】ハンガー移送部、ハンガー取り出し部、ワーク送り出し部、ハンガー戻し部の構成を示す説明図である。
【図４】ワーク保持部及びワーク姿勢変更部の構成を示す説明図である。
【図５】ワークを移載するピックアップ装置の配置を示す説明図である。
【図６】乾燥室の熱気循環を示す説明図である。
【図７】他例に係るハンガーの態様を示す正面説明図及び上視図である。
【図８】従来のウィケット方式の乾燥装置の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明に係る乾燥装置の実施形態について、添付図面を参照しながら説明する。本実施形態では、ワークとしてプリント配線基板の基板製造工程で用いられる乾燥装置を例示して説明する。
【００１７】
図１を参照して、乾燥装置の概略構成について説明する。
乾燥装置１は、薄板状のワークＷがハンガーＨに保持されたまま乾燥室２内を非接触で移送される間に所定の温度プロファイルにしたがって順次ワーク両面の乾燥が行われる。
【００１８】
前工程においてワークＷは基板両面にレジスト等のコーティング材が印刷或いは塗布により両面コーティングされている。ワーク保持部３は、ワーク搬送方向上流側より搬送された薄板状のワークＷをチャック位置（保持位置）Ｐ１へ搬送し、当該チャック位置Ｐ１へ上昇した第１ハンガー昇降部４に載置したハンガーＨにワークＷを保持させる。
【００１９】
ワーク姿勢変更部５は、ワークＷを保持したハンガーＨを水平姿勢から起立姿勢に姿勢変更させる。ワーク姿勢変更部５により起立姿勢にしたハンガーＨはハンガー移送部７に搬入されて無端ベルトチェーン８に固定されたハンガー保持部（ハンガー挿入部８ａ）に両側フレーム挿入端部ＦＥ（図７（Ａ）（Ｂ）参照）挿入保持させたまま乾燥室２内をチェーン回転方向に移送される。
【００２０】
ハンガー移送部７は、乾燥風が循環する乾燥室１内を周回移動する無端ベルトチェーン８にハンガー挿入部８ａが所定ピッチで設けられた当該ハンガー挿入部８ａに両側フレーム挿入端部ＦＥを挿入してワークＷを保持したハンガーＨを起立姿勢のまま保持させて乾燥室２内をチェーン回転方向に移送する。即ち、ワークＷは、乾燥室２内を非接触で移送される間に両面乾燥が行われる。
【００２１】
ハンガー取り出し部９は、ハンガー移送部７により移送され垂直姿勢から水平姿勢になったハンガー挿入部８ａからハンガーＨが抜き出されて順次チャック解除位置Ｐ２へ移送される。ワーク送り出し部１０は、チャック解除位置Ｐ２に取り出されたハンガーＨからワークＷのクリップＫを解放して当該ワークＷを下流側へ搬送する。
【００２２】
第２ハンガー昇降部１１は、チャック解除位置Ｐ２でワークＷと分離されたハンガーＨを受け取ったまま下降して当該ハンガーＨをハンガー戻し部１２に受け渡す。ハンガー戻し部１２は、ハンガーＨをワーク搬送方向上流側のワーク保持部３に向って返送する。
【００２３】
上述した乾燥室２内のワーク移送経路において、ワークＷより下方に搬送駆動源及び機械的摺動部が配置されている。これにより、少なくとも乾燥室２内においてはワークＷに搬送駆動源や機械的摺動部からの粉塵や、上記駆動源等に付着した揮発性の溶剤がワークに落下するおそれがなくなり、クリーンな環境下で両面乾燥が行なえる。
【００２４】
次に乾燥装置１の各部の構成について説明する。
図１及び図２において、両面コーティングされてワーク搬送方向上流側から搬送されたワークＷは受け取りコンベア１３に受け渡される（図５参照）。チャック位置Ｐ１には、第１ハンガー昇降部４によってハンガーＨは水平姿勢で支持されて待機している。図４に示すように、ハンガーＨは、矩形の枠体であって、４辺に１対ずつ設けられたクリップＫによってワークＷの各辺をチャックしてテンションを付与した状態で保持するようになっている。
【００２５】
図７（Ａ）〜（Ｃ）はハンガーＨの他の構成を示す正面図及び上視図である。図７（Ａ）に示すように、ワークＷをハンガーＨの両側２辺若しくは３辺にクリップＫでチャックするか若しくは図７（Ｃ）に示すＬ型ガイド２４でワークＷの両側を保持して底辺に設けられた支持ピン等を設けて比較的合成の高いガラス板などを保持するようにしてもよい。また、クリップＫのチャック位置は、ワークＷのサイズに応じて変更することができるように着脱可能に設けられていてもよい。即ち、図７（Ｂ）において、ハンガーＨの上下フレームＦに対してチャックＫ若しくは（Ｌ型ガイド）を取り付けた取付板２５を幅方向両側若しくは上下で着脱して取付位置を変更するようにしてもよい。これにより多様なサイズのワークＷや、剛性の異なる多様なワークＷを保持して乾燥することができる。
【００２６】
図５において、受け取りコンベア１３から第１ピックアップ１４によって、ワークＷが保持されてハンガーＨ上のチャック位置Ｐ１に移載される。ハンガーＨの４辺に設けられたクリップＫは、図４に示すように第１ハンガー昇降部４によってチャック位置Ｐ１へ上昇した際に第１アンクランプ機構Ｕ１によって開放状態に維持される。この状態で第１ピックアップ装置１４によってワークＷがハンガーＨに受け渡されると、第１アンクランプ機構Ｕ１はクリップＫを閉じてワークＷの４辺を同時にチャックする。クリップＫの開閉は、例えば第１アンクランプ機構Ｕ１に設けられたアクチュエータ（ソレノイド、シリンダ等）により開閉操作が行われる。
【００２７】
薄型のフィルム状の基板のように、比較的剛性の低いワークＷの場合にはハンガーＨに対して４辺がチャックされて移送されることが望ましい。乾燥によって反りが発生しやすいワークＷの場合には、４辺チャックすることでワークの反りや波打つなどの変形を抑えることができる。また、ガラス板等のように剛性が比較的高いワークＷの場合には必ずしもチャックする必要はなく両側をＬ型ガイド等でガイドするだけで足りる。
【００２８】
図４において、チャック位置Ｐ１でワークＷがハンガーＨに保持されると、ワーク姿勢変更部５に備えた昇降動作及び回転動作が可能な姿勢変更ロボット１５のハンド１５ａによってハンガーＨの両側フレームを把持したまま図３に示すように水平姿勢のまま上昇し、上昇位置で時計回り方向へ９０度回転させて、垂直姿勢へ姿勢変更する（図１参照）。このとき、ハンガーＨにはワークＷが移送方向後面側にチャックされている。そして、図１に示すように垂直姿勢になったハンガーＨの上辺フレームをスライド可能なスライドハンド１６により把持して乾燥室２内に搬入される。
【００２９】
ハンガー移送部７に設けられた無端ベルトチェーン８は、図２に示すように乾燥室２の長手方向に沿って一対設けられている。一対の無端ベルトチェーン８は図示しない駆動モータにより駆動され、各ベルトチェーン８には筒状のハンガー挿入部８ａ（ハンガー保持部）が所定ピッチで組み付けられている。一対のハンガー挿入部８ａの垂直姿勢となった上流端でスライドハンド１６により把持されたハンガーＨが解放されて両側下端部（フレーム挿入端部ＦＥ；図７（Ａ）（Ｂ）参照）がハンガー挿入部８ａに各々挿入支持されたままチューン回転方向に移送される。これにより、省スペースで多数のハンガーＨをハンガー挿入部８ａに挿入することにより、ワークＷを乾燥室２内に非接触で垂直姿勢のまま支持して両面乾燥させることができる。また、ハンガーＨの使用枚数を半分以下に減らして繰り返し使用することにより、装置の小型化を図ることができる。更には、ワークＷのサイズ変更はハンガーＨを変更すれば足りるので、装置の大幅な改変は不要となり、汎用性が向上する。また、ワークＷはハンガーＨとともに乾燥室２内に順送りされて、所定時間乾燥が行なわれるので、各ワークＷに作用する温度プロファイルは一定であるため、ワークＷによって乾燥状態がばらつくことはなく所期の乾燥品質が得られる。
【００３０】
図６に示すように、乾燥室２内には、送風ファン１７、フィルター１８、ヒータ１９などが配置されている。ヒータ１９に加熱された乾燥空気を送風ファン１７によりフィルター１７を介してワークＷに上方から吹き付けて乾燥させ、一部を給排気しながら再加熱して循環させる循環送風路２ａが形成されている。これにより、乾燥室２内で揮発した溶剤等がフィルター１８を通じて除去されるため、天井等に付着してワークＷに落下するおそれはなくなる。
【００３１】
図３において、無端ベルトチェーン８によってチェーン回転方向上流側より下流側に垂直姿勢のまま移送されたハンガーＨは水平姿勢になると、図５に示すハンガー取り出し部９に設けられたスライド機構２０のハンド２０ａによってハンガーＨの両側を把持されて水平方向にチャック解除位置Ｐ２へ取り出される。そして、スライド機構２０に設けられた第２アンクランプ機構Ｕ２によってクリップＫが解放される。
【００３２】
また、図５において、チャック解除位置Ｐ２でクリップＫによるチャックが解放されたワークＷは、第２ピックアップ装置２１によってワークＷのみが保持されて受け渡しコンベア２２に載置されて下流側へ搬送される。
【００３３】
また、ワークＷと分離したハンガーＨは、図３に示す第２ハンガー昇降部１１に受け渡されて下降し、ハンガー戻し部１０に設けられた返送用コンベア２３に受け渡される。返送用コンベア２３に載置されたハンガーＨは、ワーク保持部６の下方位置まで返送される。返送用コンベア２３も粉塵が生じないように無端状のアイアンラバーベルト等が用いられる。次いで第１ハンガー昇降部４に受け渡されて、次のワークＷのチャックに備えてチャック位置Ｐ１へ上昇して待機する。
【００３４】
上述したように無端状ベルトチェーン８に対してハンガーＨをハンガー挿入部８ａから挿抜可能に支持して移送しており、ハンガーＨを繰り返し使用可能にしているので、ウィケット方式の乾燥装置にくらべてハンガーＨの使用数が半分以下に抑えられ、装置高さも低くでき小型化が図れる。
また、ハンガーＨはベルトチェーン８に固定されていないため、基板サイズ変更してもハンガーＨを変更するだけで対応することができ、装置の汎用性を高めることができる。
また、クリップＫによるクリップ位置は、基板製品として不要な部分であるため、基板の両面同時乾燥が可能になる。
また、乾燥室２内に設けられたハンガー移送部７内を垂直姿勢で移送されるワークＷより上方に搬送駆動源や無限軌道やその周回機構などの機械的摺動部は存在しないのでワークＷへの粉塵等の落下や異物の付着のおそれはない。
また、乾燥室２内の循環送風路２ａにプレフィルターやヘパフィルターを設けることで、クリーン炉における両面乾燥を行うことが可能になる。
【００３５】
上記実施形態では、ハンガー移送部７の上流側にワーク姿勢変更部５を配置し、下流側にワーク送り出し部１０を設けたが、これらを入れ替えて配置してもよい。
即ち、ワークＷを水平姿勢のままハンガーＨのクリップＫに保持させて、水平姿勢のまま乾燥室２内に搬入してハンガーＨを水平位置にあるハンガー挿入部８ａに挿入支持させる。
【００３６】
ワークＷを保持したハンガーＨは、ベルトチェーン８の回転にしたがって水平姿勢から垂直姿勢へ変化してそのまま乾燥室２内を下流側に移送される。そして、ベルトチェーン８の垂直姿勢の下流端でワーク姿勢変更部５に設けられたスライドハンド１６によってハンガーＨが把持されて姿勢変更ロボット１５に受け渡されて反時計回り方向に９０度回転して水平姿勢に姿勢変更してクリップＫを解除してワークＷとハンガーＨとを分離するようにしてもよい。
【００３７】
また、ハンガー保持部７に保持させるハンガーＨの数はハンガー挿入部８ａの数やベルトチェーン８の長さ変更により任意に増減可能である。また、ハンガーＨに保持されるワークＷも４辺チャックに限らず３辺チャック、２辺チャック、或いは両側ガイド等であってもよい。ハンガーＨにＬ型ガイド２４を設けてチャックを用いない場合には、第１アンクランプ機構Ｕ１，第２アンクランプ機構Ｕ２を省略することも可能である。
【符号の説明】
【００３８】
Ｐ１ チャック位置
Ｐ２ チャック解放位置
Ｈ ハンガー
Ｆ フレーム
ＦＥ フレーム挿入端部
Ｗ ワーク
Ｋ クリップ
Ｕ１ 第１アンクランプ機構
Ｕ２ 第２アンクランプ機構
１ 乾燥装置
２ 乾燥室
２ａ 循環送風路
３ ワーク保持部
４ 第１ハンガー昇降部
５ ワーク姿勢変更部
６ ワーク保持部
７ ハンガー移送部
８ 無端ベルトチェーン
８ａ ハンガー挿入部
９ ハンガー取り出し部
１０ ワーク送り出し部
Ｐ２ チャック解除位置
１１ 第２ハンガー昇降部
１２ ハンガー戻し部
１３ 受け取りコンベア
１４ 第１ピックアップ装置
１５ 姿勢変更ロボット
１５ａ，２０ａ ハンド
１６ スライドハンド
１７ 送風ファン
１８ フィルター
１９ ヒータ
２０ スライド機構
２１ 第２ピックアップ装置
２２ 受け渡しコンベア
２３ 返送用コンベア
２４ Ｌ型ガイド
２５ 取付板
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄板状のワークがハンガーに保持されたまま非接触で乾燥室内を移送される間に所定の温度プロファイルで順次ワーク両面の乾燥が行われる乾燥装置であって、
乾燥風が循環する乾燥室内を周回移動する無端ベルトチェーンにハンガー保持部が所定ピッチで設けられた当該ハンガー保持部に前記ワークを保持したハンガーを順次保持させて前記乾燥室内を起立姿勢のまま前記チェーン回転方向に移送するハンガー移送部と、
前記ハンガー移送部によって移送された前記ハンガーから前記ワークを分離して下流側へ送り出すと共に当該ワークと分離された前記ハンガーを次のワーク保持に備えてワーク搬送方向上流側へ送り返すハンガー戻し部と、を具備したことを特徴とする乾燥装置。
【請求項２】
前記乾燥室内のワーク移送経路において、前記ワークより下方に搬送駆動源及び機械的摺動部が配置されている請求項１記載の乾燥装置。
【請求項３】
前記ハンガー保持部は、一対の無端ベルトチェーンに筒状のハンガー挿入部が所定ピッチで組み付けられている請求項１又は請求項２記載の乾燥装置。
【請求項４】
前記ハンガーに対して前記ワークがチャック若しくはガイドされて移送される請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の乾燥装置。
【請求項５】
前記乾燥室内には、乾燥空気をフィルターを介して循環させ該乾燥空気の一部を給排気する循環送風路が形成されている請求項１乃至請求項４のうちいずれか１項記載の乾燥装置。
【請求項６】
ワーク搬送方向上流側より搬送された薄板状のワークを保持位置へ搬送し、当該保持位置へ上昇した第１ハンガー昇降部に載置したハンガーに前記ワークを保持させるワーク保持部と、
前記ワークを保持したハンガーを水平姿勢から起立姿勢に姿勢変更させるワーク姿勢変更部と、を具備し
前記ワーク姿勢変更部により起立姿勢にしたハンガーを前記ハンガー保持部に保持させて前記ハンガー移送部によって前記乾燥室内を前記チェーン回転方向に移送される請求項１乃至請求項５のうちいずれか１項記載の乾燥装置。
【請求項７】
前記ハンガー移送部により移送され垂直姿勢から水平姿勢になったハンガー保持部からハンガーを順次保持解除位置へ取り出すハンガー取り出し部と、
前記保持解除位置に取り出されたハンガーから保持を解除して乾燥後のワークを下流側へ搬送するワーク送り出し部と、
前記保持解除位置でワークと分離されたハンガーを受け取った第２ハンガー昇降部を下降させて当該ハンガーを前記ハンガー戻し部に受け渡して前記ワーク保持部へ戻す請求項１乃至請求項６のうちいずれか１項記載の乾燥装置。
【請求項１】
薄板状のワークがハンガーに保持されたまま非接触で乾燥室内を移送される間に所定の温度プロファイルで順次ワーク両面の乾燥が行われる乾燥装置であって、
乾燥風が循環する乾燥室内を周回移動する無端ベルトチェーンにハンガー保持部が所定ピッチで設けられた当該ハンガー保持部に前記ワークを保持したハンガーを順次保持させて前記乾燥室内を起立姿勢のまま前記チェーン回転方向に移送するハンガー移送部と、
前記ハンガー移送部によって移送された前記ハンガーから前記ワークを分離して下流側へ送り出すと共に当該ワークと分離された前記ハンガーを次のワーク保持に備えてワーク搬送方向上流側へ送り返すハンガー戻し部と、を具備したことを特徴とする乾燥装置。
【請求項２】
前記乾燥室内のワーク移送経路において、前記ワークより下方に搬送駆動源及び機械的摺動部が配置されている請求項１記載の乾燥装置。
【請求項３】
前記ハンガー保持部は、一対の無端ベルトチェーンに筒状のハンガー挿入部が所定ピッチで組み付けられている請求項１又は請求項２記載の乾燥装置。
【請求項４】
前記ハンガーに対して前記ワークがチャック若しくはガイドされて移送される請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の乾燥装置。
【請求項５】
前記乾燥室内には、乾燥空気をフィルターを介して循環させ該乾燥空気の一部を給排気する循環送風路が形成されている請求項１乃至請求項４のうちいずれか１項記載の乾燥装置。
【請求項６】
ワーク搬送方向上流側より搬送された薄板状のワークを保持位置へ搬送し、当該保持位置へ上昇した第１ハンガー昇降部に載置したハンガーに前記ワークを保持させるワーク保持部と、
前記ワークを保持したハンガーを水平姿勢から起立姿勢に姿勢変更させるワーク姿勢変更部と、を具備し
前記ワーク姿勢変更部により起立姿勢にしたハンガーを前記ハンガー保持部に保持させて前記ハンガー移送部によって前記乾燥室内を前記チェーン回転方向に移送される請求項１乃至請求項５のうちいずれか１項記載の乾燥装置。
【請求項７】
前記ハンガー移送部により移送され垂直姿勢から水平姿勢になったハンガー保持部からハンガーを順次保持解除位置へ取り出すハンガー取り出し部と、
前記保持解除位置に取り出されたハンガーから保持を解除して乾燥後のワークを下流側へ搬送するワーク送り出し部と、
前記保持解除位置でワークと分離されたハンガーを受け取った第２ハンガー昇降部を下降させて当該ハンガーを前記ハンガー戻し部に受け渡して前記ワーク保持部へ戻す請求項１乃至請求項６のうちいずれか１項記載の乾燥装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２０１３−４７５９６（Ｐ２０１３−４７５９６Ａ）
【公開日】平成２５年３月７日（２０１３．３．７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１２−８８１９５（Ｐ２０１２−８８１９５）
【出願日】平成２４年４月９日（２０１２．４．９）
【特許番号】特許第５１３８１０８号（Ｐ５１３８１０８）
【特許公報発行日】平成２５年２月６日（２０１３．２．６）
【出願人】（３９４０２５３７１）株式会社マックステック (6)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年３月７日（２０１３．３．７）
【国際特許分類】
【出願日】平成２４年４月９日（２０１２．４．９）
【特許番号】特許第５１３８１０８号（Ｐ５１３８１０８）
【特許公報発行日】平成２５年２月６日（２０１３．２．６）
【出願人】（３９４０２５３７１）株式会社マックステック (6)
【Ｆターム（参考）】
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