【課題】複数の基板を一括して容易に乾燥することができる乾燥ユニットおよび基板処理装置を提供する。
【解決手段】乾燥部７０は、複数の基板Ｗを一括して乾燥させる乾燥ユニットである。乾燥部７０は、主として、乾燥チャンバ７１と、貯留槽７２と、排出管７１ａ、７２ａと、バルブ７１ｂ、７２ｂと、吐出ノズル８７（８７ａ、８７ｂ）と、を備えている。ＩＰＡによる純水の置換処理において、貯留槽７２に複数の基板Ｗが浸漬されると、吐出ノズル８７から乾燥チャンバ７１内にＩＰＡの蒸気が供給され、純水８０ａの液面８０ｂにＩＰＡの液膜８０ｃが形成される。続いて、貯留槽７２から純水８０ａが排出され、ＩＰＡの液膜８０ｃが、下降させられる。そして、各基板Ｗの基板面とＩＰＡの液膜８０ｃとが接触することによって、各基板Ｗに付着した純水が、ＩＰＡに置換される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、野菜、果物や木材などを３０〜５０℃の低温で全体を均一に遠赤外線により乾燥させる、前後、左右、上下を天然鉱石の蓄熱パネルで囲まれた低温乾燥室を提供する。
【解決手段】本発明の低温乾燥室には、蓄熱パネルが前後、左右、上下に配置され、前記蓄熱パネルは、柱３の幅で金網押え用木板１４、金網１５と木材羽目板１６の所定間隔の空間を形成し、該空間に天然鉱石１２を充填する。前記低温乾燥室の四周囲は蓄熱パネルで囲まれているので、該蓄熱パネル内の天然鉱石１２が加熱され、該天然鉱石１２に熱が蓄熱されると共に天然鉱石１２から遠赤外線を放射する。 （もっと読む）

【課題】温度調整機能・湿度調整機能・低温乾燥機能を備えることで均質・均一機能の好適な低温乾燥機を提供する。
【解決手段】低温乾燥機の構造は木材の多孔質組成・通気性、吸湿性の特徴をいかした。その木材の構造物の内部空間に、より高い通気性と吸放湿性を備えた微細な多孔をもつ珪藻土を充填する事により低温乾燥の性能を高めた一体型建材として珪藻土の持つ環境機能を提供する。また、地域の木材・珪藻土を活用することで地域事業の育成と地域産業の開発を視野に入れた低温乾燥機を提供する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、野菜等の被乾燥物を少量乾燥できる静置型乾燥装置を提供する。
【解決手段】
本発明の野菜等の静置型乾燥装置１は、少量の被乾燥物である野菜等を乾燥ボックス２ａの中に入れ、当該乾燥ボックス２ａの複数個を重設して乾燥風を下方から上方に通風して乾燥を行うことができるようにしてあるので、これにより、少量の野菜等を乾燥することができ、また、簡単な構造なので乾燥装置の製造コストも安価である。また、乾燥運転中に乾燥中の被乾燥物の状態を観察する際には、多段に重設した前記乾燥ボックス２ａを下ろしたりすることなく、サンプル乾燥ボックス８を引き出して乾燥中の被乾燥物の変色等の品質変化を容易に観察することもできる。さらに、乾燥運転中において、重量測定部４で測定した重量測定値の表示を見て被乾燥物の乾燥進行状況（水分値の低下状況）を把握することができるため、乾燥を停止する時期を適宜判断することができる。 （もっと読む）

【課題】均一かつ迅速に印刷用紙のシーズニングを行う。
【解決手段】本発明による印刷用紙シーズニング装置１０は、複数枚の印刷用紙を積み重ねて載置する載置台１２と、載置台１２の上部に当該載置台１２と対向して配置される天板２８との間に形成される用紙収容領域３４に対して側面側から送風を行う送風手段１４ａ〜ｆ、１５ａ〜ｆと、用紙収容領域３４の側面部に配置される側板２０，２１，２２，２３と、側板２１，２２，２３に形成された開口２６によって構成される排気部２７と、を備え、当該排気部２７の下側の開口率が上側の開口率よりも小さくなっている。更に好ましくは、載置台１２の用紙載置面及び天板２８の下面（用紙抑え面）について、送風手段の送風方向と直交する方向に曲率を有する湾曲面とする。 （もっと読む）

【課題】塗布膜に形成されるムラの発生を抑えるとともに、乾燥工程に要するタクトタイムを短縮できる予備乾燥装置、予備乾燥方法及び、基板処理システムを提供する。
【解決手段】基板上に塗布された塗布膜を乾燥させる本乾燥装置により塗布膜を乾燥させる前に、前記塗布膜を予備的に乾燥させる予備乾燥装置であって、予備乾燥装置は、搬入部と搬出部とに連通し高温雰囲気に形成される加熱乾燥室を有しており、搬送部が、前記搬入部から搬入させた基板を前記加熱乾燥室を通過させることにより、当該基板を加熱乾燥室で高温雰囲気に曝して基板上の塗布膜を予備的に乾燥させることを特徴とする。 （もっと読む）

【解決手段】 パレット洗浄システム２の乾燥部Ｆには、複数の起立状態のパレット１を所定間隔で保持して、該パレットを載置面に直交する方向に搬送する第７コンベヤ２２が設けられており、この第７コンベヤはパレットの下方に設けた下部コンベヤ２２ａと、上方に設けた上部コンベヤ２２ｂと、これら下部コンベヤおよび上部コンベヤに複数設けられた保持部材Ｓａ，Ｓｂとを備えている。
制御手段は上記下部コンベヤおよび上部コンベヤを個別に制御して、パレットの供給位置および排出位置では、上記パレットが起立状態となるように上下の保持部材を位置させ（図５（ａ））、上記供給位置と排出位置との間では、上下の保持部材を搬送方向にずらして、上記パレットを起立状態から傾斜状態へと傾斜させるようになっている（図５（ｂ））。
【効果】 パレットの乾燥を効率的に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】搬送装置の搬送部に汚れが固着することを防ぎながら、洗浄工程で搬送部に付着した洗浄水が、乾燥工程を搬送中の物品に接触しないようにする。
【解決手段】洗浄工程を通過し、洗浄水が付着した搬送部２と鶏卵Ｅを離間手段３と離間板９によって離間させ、走行路ｂを進む搬送部２に付着している洗浄水を、水分除去手段４で除去する。洗浄水が除去された搬送部２を合流手段５によって搬送路ａ上の鶏卵Ｅに合流させて、搬送部２で再び鶏卵ＥをＡ方向へ搬送する。 （もっと読む）

【課題】 水洗および有機溶剤による洗浄の後の乾燥において、半導体ウエハを短時間で良好に処理可能な優れた半導体ウエハ処理方法および半導体ウエハ乾燥装置を提供すること。
【解決手段】 半導体ウエハの洗浄工程後に、半導体ウエハの複数の面へガスを吹き付ける乾燥工程を行う半導体ウエハ処理方法であって、乾燥工程は、半導体ウエハへガスを吹き付ける際に、複数方向からのガスが半導体ウエハの主面上において交わらないように、ガスの吹き付けを制御することとする。また、半導体ウエハの複数の面へガスを吹き付ける半導体ウエハ乾燥装置であって、半導体ウエハの一側面側からガスを噴射させる第１噴射パイプと、半導体ウエハの他の側面側からガスを噴射させる第２噴射パイプとを備え、第１噴射パイプおよび第２噴射パイプのうち少なくとも１つが移動しながら噴射可能であることとする。 （もっと読む）

【課題】減圧乾燥を用いた光学素子の製造方法において、基板面内での膜厚ムラ（ばらつき）を抑制するための方法及び装置を提供する。
【解決手段】給気口１０と排気口１１を具備した減圧乾燥装置において、基板１を支持するステージ３上部に、基板１に対する角度を変更可能な変速板１２を取り付ける。この装置により、基板１上の流速分布が、排気口１１に近づくにしたがって大きくなる分布となり、この結果、基板１上部の溶媒蒸気濃度を場所によらず、かつ時間によらず一定とすることができる。このため、乾燥状態が基板１全面にわたって同一となるため、膜厚ムラの少ない光学素子を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】被処理物中の水分を比較的短時間で蒸散させることができ、簡素な構造で、省エネルギも図ることができる乾燥装置を提供する。
【解決手段】乾燥装置１０は、横長の箱体状のケーシング１１内に、被処理物を載せる搬送ベルト１２及び搬送ベルト１２を一定方向へ回動させる駆動機構であるモータ１３を有するベルトコンベア１４と、搬送ベルト１２上に載って搬送される被処理物を圧延するため搬送ベルト１２の上方に配列された複数の加圧ローラ１５と、搬送ベルト１２を昇温させるため搬送ベルト１２の内周面の一部に面接触して配置されたベルト加熱手段１６と、を備えている。それぞれの加圧ローラ１２の下流側（矢線Ｘ方向側）には、搬送ベルト１２に載って搬送される被処理物を撹拌する撹拌手段２１が設けられ、その下流側（矢線Ｘ方向側）には、被処理物に熱風を吹き付ける送風手段３１が設けられている。 （もっと読む）

【課題】十分な水切り性能が得られると共に、鋼板の安定搬送ができ、しかも省スペース化が図れる鋼板の水切り装置を提供する。
【解決手段】鋼板１１の搬送方向に背面を向けて交差配置され、鋼板１１の上面１２の水１３を除去する平板状の水切り用ゴム１４を有する鋼板の水切り装置１０であり、水切り用ゴム１４は、その上側が上下方向に昇降可能に設けた吊持部材２１に垂下固定され、その下端が鋼板１１の搬送方向下流側に背面角部２５ａを有し、吊持部材２１を下降して水切り用ゴム１４を鋼板１１の上面１２に押付けた際に、その下部２６が湾曲してその最下角部２７が鋼板１１に接触するように、吊持部材２１の水切り用ゴム取付け基端位置Ｈ_Ｔから下端位置Ｈ_Ｂまでの水切り用ゴム１４の自由長さＨと、鋼板１１の上面高さ位置から下端位置Ｈ_Ｂまでの水切り用ゴム１４の突出長さＤとの比Ｄ／Ｈを、０．１以上０．３８以下とした。 （もっと読む）

【課題】含水湿潤ゲルを乾燥させる過程で、ゲルに手を加えず、かつ有機溶媒や気体など亀裂の発生を抑制するための試薬を使用することなく、ゲルの亀裂の発生を簡単、安価に抑制する方法を提供する。
【解決手段】含水湿潤ゲルを乾燥する際に、まず含水湿潤ゲルから水を除去して含水湿潤ゲルの水含有量を減少させ、次いで、残りの溶媒を除去することにより湿潤ゲルを乾燥する。例えば、湿潤ゲル３と溶媒を含有する含水湿潤ゲルが収容された湿潤ゲル容器１を加熱する。これにより、溶媒３は湿潤ゲル容器１の上部空間８に蒸気となって蒸発する。この溶媒含有気体は、湿潤ゲル容器に嵌合された脱水剤容器２内に孔７を通して拡散し、脱水剤により水が除去される。この状態を１〜２日保持することにより、溶媒３中の水はほぼ除去される。その後脱水剤容器２を取り外し、水の除去された湿潤ゲルを加熱することにより溶媒をほぼ完全に除去した後、さらに高温で加熱して溶媒を完全除去すれば、亀裂の無い乾燥ゲルが得られる。 （もっと読む）

【課題】減圧蒸気を用いてより効果の高い蒸気乾燥を行うことができる蒸気乾燥方法を提供する。
【解決手段】洗浄したワークを、溶剤を用いて乾燥する蒸気乾燥方法は、減圧された蒸気槽内において、洗浄後のワークを貯留された溶剤に浸漬する冷浴工程Ｓ１０と、蒸気槽内に溶剤の減圧蒸気を充満させて蒸気エリアを形成し、冷浴工程Ｓ１０後のワークを蒸気エリアに移動させて減圧蒸気中に留置する蒸気乾燥工程Ｓ２０と、蒸気乾燥工程Ｓ２０後に、ワークを蒸気エリアから蒸気槽内において減圧蒸気の希薄な冷却エリアに移動させ、ワーク表面の溶剤を気化させる冷却工程Ｓ３０とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】乾燥装置を用いて、樹脂粒状体材料を熱エネルギー効率良く乾燥させる。
【解決手段】乾燥容器２は真空二重管構造からなっており、該乾燥容器２の少なくとも内壁には高熱伝導性材料が使用されており、該乾燥容器２の上方に位置する開口部９より、乾燥容器２内に樹脂粒状体材料２０が投入され、熱風供給管３は開口部９より上下方向に乾燥容器２内に挿入配管されており、乾燥容器２内に投入された樹脂粒状体材料２０の最下部位置まで達している。熱風供給管３より供給される熱風３０は、熱風供給管３の内部を上部から下部に向けて供給されて、最下部位置で乾燥容器２内に開放され、樹脂粒状体材料２０の最下部位置のものより自然対流により順次開口部位置のものに向けて流れ、樹脂粒状体材料２０を乾燥させることができる。 （もっと読む）

【課題】ヒートポンプにより発生される冷媒による加熱源と冷却源とを用いることにより、低消費電力で効率よくベーパーラインの形成が可能となる蒸気乾燥システムを提供する。
【解決手段】ヒートポンプ回路２０は、コンプレッサ２１と加熱コイル２２と膨張弁２３と冷却コイル２４、２５とを具備し、乾燥、貯液槽１０は、排気ダクト３０を具備し、冷却コイル２４、２５は、乾燥、貯液槽１０内と排気ダクト３０内に配置され、膨張弁２３において発生した冷却源となる冷媒が、排気ダクト３０内の冷却コイル２５を通過した後、乾燥、貯液槽１０内の冷却コイル２４を通過する。 （もっと読む）

【課題】凍結乾燥装置において、被乾燥物からの昇華水蒸気を、凝縮捕集するトラップ管１２を冷却するようそれの内部に循環さす冷凍機９の冷媒が、熱交換により持ち出して冷凍機９の冷媒が、熱交換により持ち出して冷凍機９の凝縮部に移動させて、外部に放出させていた凝縮潜熱を、回収し、回収した熱量を、熱媒循環路ａの熱媒を加熱する加熱器７に供給して、被乾燥物に昇華潜熱を与えるようにする。
【解決手段】トラップ管１２を冷媒により冷却する冷凍機９の凝縮部９ａと、棚５に熱媒を循環させる熱媒循環路ａに設ける加熱器７との間に、熱媒体を低温側の蒸発器部１５から高温側の凝縮器部１７との間を循環するよう流動させて低温側から高温側に熱移動させるヒートポンプＰを配設し、ヒートポンプＰの低温側は、冷凍機９の凝縮部９ａに、ヒートポンプＰの高温側は、熱媒循環路ａに設けた加熱器７に対し、接触・接続させる。 （もっと読む）

【課題】乾燥炉のフランジ部分のシール性の向上により炉内温度上昇を図り、かつ、炉内の耐火材ライニング部分の隙間発生に起因する鉄皮の酸化やライニングの損傷の問題を生じることのない電気亜鉛メッキライン乾燥炉の密閉方法の提供
【解決手段】該加熱帯１・均熱帯２・スロート部３は各々鉄皮に耐火材が内張りされた構造を有し、該加熱帯１または均熱帯２の少なくとも一方と該スロート部３とのフランジ接合部分から該フランジ接合部分に隣接する内張り耐火材部分に渡り、セラミックファイバーをアルミナクロスで梱包した耐火性シール部材を５０〜７０％の圧縮率で圧着させる工程と、圧縮された耐火性シール部材と、加熱帯または均熱帯との間隙にスロート部をスライド挿入して配置する工程と、スロート部の配置後、前記圧縮力を弱めて、耐火性シール部材を膨張させる工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】ラックバーに蛇行させて掛け渡したゴムシート部材のＵ字状下端部に防着液が溜まることを防止して、防着液を迅速かつ確実に乾燥させる防着液の乾燥方法および装置を提供する。
【解決手段】ゴムシート部材Ｒが掛け渡された複数のラックバー２を、乾燥装置１に設置された押上げ体５の上方で、ガイドレール３に沿って、ゴムシート部材Ｒの長手方向先端側に移動させることにより、ゴムシート部材ＲのＵ字状下端部の幅方向一部を押上げてこの下端部に傾斜面Ｓを形成し、この傾斜面Ｓによってゴムシート部材Ｒの表面上の余分な防着液Ｌを流下させた状態にしてゴムシート部材Ｒに付着した防着液Ｌを乾燥させる。 （もっと読む）

【課題】乾燥装置を用いて、樹脂粒状体材料を短時間で均一に乾燥させる。
【解決手段】乾燥容器２の上方に位置する開口部９より、乾燥容器２内に樹脂粒状体材料２０が投入され、熱風供給管３は開口部９より上下方向に乾燥容器２内に挿入配管されており、乾燥容器２内に投入された樹脂粒状体材料２０の最下部位置まで達している。熱風供給管３より供給される熱風３０は、熱風供給管３の内部を上部から下部に向けて供給されて、最下部位置で乾燥容器２内に開放され、樹脂粒状体材料２０の最下部位置のものより自然対流により順次開口部位置のものに向けて流れ、樹脂粒状体材料２０を乾燥させることができる。 （もっと読む）