互いに対向する複数の電極を有する面光源装置及びその製造方法
【課題】別途大量生産される隔壁部材に放電電極を取り付けることによって、単位放電セル内に一対の放電電極が互いに対向するフラットパネルディスプレイ装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも１つの単位放電セルで構成されるフラットパネルディスプレイ装置は、上部基板及び下部基板と、上部基板と下部基板とを支持しかつ互いに離間させておくための１若しくは複数の第１の隔壁部材と、単位放電セルの放電スペース内に電界を発生させるために、第１の隔壁部材上に形成される一対の電極であって、第１の隔壁部材の側面のうち放電スペースと接する側面上に形成され、互いに直角に対向する、該一対の電極とを含み、第１の隔壁部材の内部にスペースが形成されていることを特徴とする。
【解決手段】少なくとも１つの単位放電セルで構成されるフラットパネルディスプレイ装置は、上部基板及び下部基板と、上部基板と下部基板とを支持しかつ互いに離間させておくための１若しくは複数の第１の隔壁部材と、単位放電セルの放電スペース内に電界を発生させるために、第１の隔壁部材上に形成される一対の電極であって、第１の隔壁部材の側面のうち放電スペースと接する側面上に形成され、互いに直角に対向する、該一対の電極とを含み、第１の隔壁部材の内部にスペースが形成されていることを特徴とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマの放電現象を用いたフラットパネルディスプレイ装置及びその製造方法に関し、詳細には、上部基板と下部基板の間に挿入される隔壁部材上に放電電極を配置することによって放電スペース内に放電ガスを充填させる構造を有するフラットパネルディスプレイ装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）装置とは、ディスプレイ装置の対角長の１／４に等しいかまたはそれ以下の厚さ、例えば数ミリメートル（ｍｍ）ないし数センチメートル（ｃｍ）の厚さのフラットパネル（平面パネル）を有するディスプレイ装置を意味する。比較的軽量かつ薄型の低消費電力装置として、ＦＰＤ装置は次第に、ディスプレイ装置の歴史において最も長く用いられてきた陰極線管（ＣＲＴ）に取って代わりつつある。
【０００３】
このようなフラットパネルディスプレイは、独自に発光可能な発光型と別途に光源を必要とする受光型とに区分される。発光型には、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）、ＯＬＥＤ（有機発光ディスプレイ）、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）などが挙げられ、受光型には、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）などが挙げられる。受光型に属するＬＣＤは、外部光源がなければ画像を表示することが不可能なので、別途の光源であるバックライトユニット（ＢＬＵ）が必ず必要となる。このようなＢＬＵには、高電圧電界により放出された電子により励起された水銀ガスから発散された紫外線が、蛍光体と衝突して可視光線を発生させるＣＣＦＬ（冷陰極蛍光ランプ）、半導体に電圧を加える際に生じるエレクトロルミネッセンス現象を用いるＬＥＤ（発光デバイス）、ガス放電から発生する紫外線により蛍光体を発光させて光を拡散させるＦＦＬ（平板蛍光ランプ）などの光源が広く使われている。
【０００４】
ＦＦＬ方式は、線光源を用いるＣＣＦＬ方式と異なりランプが１つだけの面光源（フラット光源）を用いるので、部品数が大きく削減され、ＢＬＵ及びＬＣＤパネルの製造工程に対する自動化が可能であるという長所があり、特に大型ＬＣＤに採用することが有利である点で注目されている。
【０００５】
図１から図４は、従来技術によるフラットパネルディスプレイ装置１００の一例を示す図面である。
【０００６】
まず、図１は、フラットパネルディスプレイ装置１００の全体構成を示す平面図であり、図２は、図１のＡ−Ａ’に沿って切った断面図である。図１及び図２に示すように、フラットパネルディスプレイ装置１００は、上部基板１０１と、下部基板１０２と、上部基板１０１及び下部基板１０２を支持しながら複数の単位放電セルのためのスペースを形成するための隔壁部材１０３と、上部基板１０１及び下部基板１０２を封止するための封止材１０４と、該放電セルのスペース内の放電ガスを放電させるための電界を発生する放電電極１０５と、ガス放電により可視光線を放出する蛍光体１０６と、放電ガスを放電セルに注入するためのガス注入口１０７とを含む。
【０００７】
フラットパネルディスプレイ装置１００即ちＦＦＬの基本的な発光原理は、一般的な蛍光灯の発生原理と類似している。放電電極１０５により発生した電界により加速された電子が、放電ガスが充填されている放電スペースで流動しながら、該放電ガスと衝突するようになる。このとき、２５３．７ｎｍの紫外線が放出するようになって、放出された紫外線が蛍光体１０６を励起させ可視光線を放出するようになる。
【０００８】
図２に示すように、従来のフラットパネルディスプレイ装置１００の放電電極１０５の特徴は、放電電極１０５が下部基板１０２上に位置するということである。即ち、図２に示すように、４つの放電電極１０５が２つの放電セルに設けられている構造が例として示されている（ここでは、図２は２つの放電セルを含む断面で観察した図面であるので、図２は２つの放電セルのみを示すが、図１を参照すると、６つの放電セルがフラットパネルディスプレイ装置１００に含まれている）。放電電極１０５は、隔壁部材１０３の両側に隣接する下部基板１０２の第１の領域と、封止材１０４に隣接する下部基板１０２の第２の領域との上に位置することが分かる。
【０００９】
ガス注入口１０７を通じて注入される放電ガスの種類は、無水銀放電ガスと水銀放電ガスとに大別される。無水銀放電ガスを用いる場合には、励起種が真空紫外線を放出するキセノン（Ｘｅ）が含まれたガスを用いて、必要によってヘリウム（Ｈｅ）、ネオン（Ｎｅ）、アルゴン（Ａｒ）、クリプトン（Ｋｒ）などの不活性ガスをさらに含む混合ガスを用いる。水銀（Ｈｇ）放電ガスを用いる場合には、ネオン（Ｎｅ）、アルゴン（Ａｒ）などの不活性ガスをさらに含む混合ガスを用いる。
【００１０】
図３は、図１の隔壁部材１０３の構造をより詳細に示した図面である。図３の左図は、Ｘ軸方向から見た長手方向（Ｙ軸方向）の隔壁部材の形状を示したものであり、右図は、Ｙ軸方向から見た長手方向の隔壁部材の形状を示したものである。フラットパネルディスプレイ装置１００は、装置内部の入力と外部大気圧との間の圧力差を克服しながら放電スペースを維持しなければならないため、複数の隔壁部材の設置が不可避である。要するに、フラットパネルディスプレイ装置１００の隔壁部材１０３は、放電スペースを維持しながら同時に上部基板１０１及び下部基板１０２を支持する役割を果たし得る。図のように、隔壁部材１０３は、長方形形状かつ主としてガラス製であり得る。
【００１１】
図４は、図２の放電電極１０５の構造をより詳細に示した図面である。
【００１２】
図４に示すように、放電電極１０５の全体構成は、実際の電極としての金属層１０５ａと、Ａｌ２Ｏ３またはＴｉＯ２などの誘電体層１０５ｂと、ＭｇＯなどの保護層１０５ｃとから構成され得る。ここで、誘電体層１０５ｂは、金属層１０５ａを保護するために用いられ、保護層１０５ｃは、誘電体層１０５ｂの減衰を防止するために用いられる。
【００１３】
図５から図９は、フラットパネルディスプレイ装置１００の製造工程を示す（主に下部基板１０２の製造工程に対して説明する）。
【００１４】
図５のステップは、図５から図９の工程によって下部基板１０２上に形成されることになる放電電極１０５の３層構造のうち電極の役割を果たす金属層１０５ａを形成する工程である。図５は、下部基板１０２上に４つの金属層１０５ａを形成することによって２つの放電セル（全体として６つの放電セル）の構造を構成する工程を示す。
【００１５】
図６のステップは、金属層１０５ａ上に誘電体層１０５ｂを形成する工程であり、図７のステップは、誘電体層１０５ｂ上に保護層１０５ｃを形成する工程であり、図８のステップは、一対の放電電極１０５の間で下部基板１０２上に蛍光体１０６を形成する工程である。
【００１６】
その一方で、蛍光体１０６のみが形成される上部基板１０１（図示せず）が準備され得る。
【００１７】
図９のステップは、封止材１０４を用いて上部基板１０１及び下部基板１０２を封止する工程である。上部基板１０１と下部基板１０２との間に隔壁部材１０３が設けられる。ここで、隔壁部材１０３は、別途の工程（図示せず）にて準備される。封止工程後に、放電ガスがガス注入口１０７から注入されかつガス注入口をがチップ−オフ（tip off）されると、フラットパネルディスプレイ装置１００の製造工程が完了する。放電電極及び蛍光体の形成工程、封止工程、ガス注入工程などと関連した詳細な内容は公知であるため、これに対する説明は本明細書では省略する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
しかし、従来の装置には次のような問題があった。
【００１９】
第１に、金属層１０５ａ、誘電体層１０５ｂ、保護層１０５ｃ及び蛍光体１０６が全て下部基板１０２上に形成されるため、このような３層構造の形成の際に繰り返される高温焼成過程によって下部基板１０２が熱的衝撃を受け得る。そのため、ガラス材質の下部基板１０２に亀裂などが発生し、フラットパネルディスプレイ装置１００の寿命を短縮させ得る。
【００２０】
第２に、１つの放電セルグループ（例えば、６つの放電セル）を作るためには、１つの基板（例えば、下部基板１０２）を対象として、３つのサブステップ、即ち、金属層１０５ａの焼成、誘電体層１０５ｂの焼成、保護層１０５ｃの蒸着から構成される放電電極１０５の製造工程を遂行することになるので、このような放電セルグループを多量に生成するためには、１つの基板ごとに前記の複雑な３つの工程を反復して行って電極構造を生成しなければならなく、工程数が必要以上に多くなり、装置の生産性が低下し、単価が高くなろ得るという短所があった。
【００２１】
本発明は、上記の問題点に鑑みて成されたものであって、本発明の１つの目的は、別途大量生産される隔壁部材に放電電極を取り付けることによって、単位放電セル内に一対の放電電極が互いに対向するフラットパネルディスプレイ装置を提供することである。
【００２２】
本発明の他の目的は、下部基板上に、金属層、誘電体層及び保護層を直接形成する工程を必要としないフラットパネルディスプレイ装置の製造工程を提供し、それによって下部基板への熱的衝撃の影響を低下させ、装置の寿命及び性能を向上させることにある。
【００２３】
本発明のさらに他の目的は、電極を含む多数の隔壁部材を別途大量生産することによって、工程のステップ数が減少し、ロボット組立工程の適用による工程を自動化できるおかげで、生産性の向上を達成できるフラットパネルディスプレイ装置の大量生産方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
本発明の一態様では、少なくとも１つの単位放電セルを含むフラットパネルディスプレイ装置であって、上部基板及び下部基板と、前記上部基板と前記下部基板とを支持しかつ互いに離間させておくための１若しくは複数の第１の隔壁部材と、前記単位放電セルの放電スペース内に電界を発生させるために、前記第１の隔壁部材上に形成される一対の電極であって、前記第１の隔壁部材の側面のうち前記放電スペースと接する側面上に形成され、互いに直角に対向する、該一対の電極とを含み、前記第１の隔壁部材の内部に、スペースが形成されていることを特徴とするフラットパネルディスプレイ装置が提供される。
【００２５】
本発明の別の態様では、少なくとも１つの単位放電セルを含むフラットパネルディスプレイ装置であって、上部基板及び下部基板と、前記上部基板と前記下部基板とを支持しかつ互いに離間させておくための１若しくは複数の第１の隔壁部材と、前記単位放電セルの放電スペース内に電界を発生させるために、前記第１の隔壁部材上に形成される一対の電極であって、前記第１の隔壁部材の側面のうち前記放電スペースと接する側面上に形成され、互いに対向する、該一対の電極とを含み、前記第１の隔壁部材に、溝が形成されていることを特徴とするフラットパネルディスプレイ装置が提供される。
【００２６】
本発明のさらに別の態様では、少なくとも１つの単位放電セルを含むフラットパネルディスプレイ装置であって、上部基板及び下部基板と、前記上部基板と前記下部基板とを支持しかつ互いに離間させておくための１若しくは複数の第１の隔壁部材と、前記第１の隔壁部材の内部に含まれた状態で、前記単位放電セルの放電スペース内に電界を発生させる電極とを含み、前記複数の第１の隔壁部材のうち両側面が前記単位放電セルに接している特定の第１の隔壁部材の内部に含まれる電極は、前記特定の第１の隔壁部材に隣り合わせる単位放電セルに共通する電極であるような装置が提供される。
【００２７】
本発明のさらに別の態様では、少なくとも１つの単位放電セルを含むフラットパネルディスプレイ装置であって、前記単位放電セルの放電スペースを形成する上部基板及び下部基板と、該放電スペース内に電界を発生させつつ前記上部基板と前記下部基板とを支持しかつ互いに離間させておくための第１の隔壁部材とを含み、前記第１の隔壁部材には前記放電スペース内に放電ガスを円滑に供給するための溝が形成されていることを特徴とする装置が提供される。
【００２８】
本発明のさらに別の態様では、少なくとも１つの単位放電セルで構成され、該単位放電セルの放電スペースは上部基板と下部基板との間に位置するような、フラットパネルディスプレイ装置を製造する方法であって、（ａ）標準基板（reference substrate）上に複数の電極を形成するステップと、（ｂ）前記電極を含むように前記基板をカットするステップと、（ｃ）前記カットされた電極を前記下部基板と前記上部基板の間に挿入するステップとを含むフラットパネルディスプレイ装置の製造方法が提供される。
【発明の効果】
【００２９】
本発明によれば、フラットパネルディスプレイ装置は、（ｉ）放電電極が上部基板及び下部基板とは別途に隔壁部材の製造工程の中に形成されることによって、製造工程数の減少、作業の容易性に伴う生産性向上及びロボット組立などの自動化プロセスが可能なこと、（ｉｉ）上部基板及び下部基板は、放電電極の形成の際に必須に伴う高温焼成過程を経てないので、フラットパネルディスプレイ装置の原価の節減しかつ熱的衝撃の影響を小さくすることが可能である（例えば、安価なソーダライムを基板として用いることができる）という効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】従来技術に係るフラットパネルディスプレイ装置の全体構成を示す平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ’に沿って切った断面図である。
【図３】図１の隔壁部材を示す図である。
【図４】図２の放電電極を示す図である。
【図５】従来のフラットパネルディスプレイ装置の製造工程を示す図である。
【図６】従来のフラットパネルディスプレイ装置の製造工程を示す図である。
【図７】従来のフラットパネルディスプレイ装置の製造工程を示す図である。
【図８】従来のフラットパネルディスプレイ装置の製造工程を示す図である。
【図９】従来のフラットパネルディスプレイ装置の製造工程を示す図である。
【図１０】本発明の第１の実施形態に係るフラットパネルディスプレイ装置の全体構成を示す平面図である。
【図１１】図１０のＡ−Ａ’に沿って切った断面図である。
【図１２】図１０の隔壁部材を示す図である。
【図１３】図１１の放電電極を示す図である。
【図１４】他の形状の隔壁部材を示す図である。
【図１５】本発明の第２の実施形態に係るフラットパネルディスプレイ装置の全体構成を示す平面図である。
【図１６】図１５の隔壁部材を示す図である。
【図１７】本発明に係る隔壁部材の製造工程を示す図である。
【図１８】本発明に係る隔壁部材の製造工程を示す図である。
【図１９】本発明に係る隔壁部材の製造工程を示す図である。
【図２０】本発明に係る隔壁部材の製造工程を示す図である。
【図２１】本発明の第３の実施形態に係るフラットパネルディスプレイ装置の全体構成を示す平面図である。
【図２２】図２１のＡ−Ａ’に沿って切った断面図である。
【図２３】図２１の隔壁部材を示す図である。
【図２４】図２２の電極を示す図である。
【図２５】他の形状の隔壁部材を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
後述する詳細な説明においては、本発明が実施され得る特定の実施形態を例示として示す添付図面を参照する。これらの実施形態は、当業者が容易に実施できるのに充分に詳細に説明する。本発明の多様な実施形態は、相異なるが、必ずしも相互に排他的ではないと理解されたい。例えば、１つの実施形態と関連して説明する特定の機能、構造及び特性は、本発明の趣旨及び範囲を逸脱することなく他の実施形態で実現され得る。また、以下に開示するそれぞれの実施形態のうち、個別の構成要素の位置または配置は、本発明の趣旨及び範囲を逸脱することなく変更可能であると理解されたい。以下の詳細な説明は、限定的な意味で扱うものでなく、本発明の技術的範囲は、適切に説明されるならば、その特許請求の範囲に記載された各請求項が主張するものと均等な全ての技術的範囲を含む。図面において、同様の符号は、幾つかの図面を通して同じかまたは類似の機能部分を指す。
【００３２】
本発明の実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００３３】
図１０から図１４は、本発明の第１の実施形態によるフラットパネルディスプレイ装置３００を示す図面である。
【００３４】
まず、図１０は、フラットパネルディスプレイ装置３００の全体構成を示す平面図であり、図１１は、図１０のフラットパネルディスプレイ装置３００をＡ−Ａ’に沿って切った断面図である。図１０及び図１１に示すように、フラットパネルディスプレイ装置３００は、上部基板３０１、下部基板３０２、隔壁部材３０４、３０５、３０６、封止材３０７、放電電極３０８、蛍光体３０９、ガス注入口３１０などを含むことができる。フラットパネルディスプレイ装置３００は、複数の単位放電セル３０３で構成され、本明細書では単位放電セルを基準にフラットパネルディスプレイ装置を説明することにする。
【００３５】
また、本発明では６つの単位放電セルで構成されるフラットパネルディスプレイ装置を例に挙げて説明するが、フラットパネルディスプレイ装置の面積が大きくなるにつれて単位放電セルの個数は追加に増加することもできる。
【００３６】
本発明の第１の実施形態に従って、フラットパネルディスプレイ装置３００は、放電スペース内に電界を形成するための一対の放電電極３０８を有し、放電電極３０８は、上部基板３０１と下部基板３０２とを支持しかつ互いに離間させておく機能を有するＹ軸方向に並んだ隔壁部材３０４、３０５の側面上に形成される。このように、単位放電セル３０３内の一対の放電電極３０８は、互いに対向し得る。
【００３７】
一方、図１１に示すように、蛍光体３０９は、上部基板３０１及び下部基板３０２上に位置することができるが、これに限定されるのではない。例えば、上部基板３０１及び下部基板３０２のうちいずれか１つにのみ位置してもよく、隔壁部材３０４、３０５、３０６上に位置してもよい。また、上記の様々な例は、特別な言及がなくても本明細書の他の実施形態に適用され得ることに留意されたい。
【００３８】
互いに対向する複数の電極を有するフラットパネルディスプレイ装置の動作過程は、次の通りである。（ａ）隔壁部材３０４、３０５上の放電電極３０８に適切な電圧が印加されると、部分的な放電現象が始まち、（ｂ）電圧が十分な時間の間印加されれば、互いに対向する一対の放電電極３０８の間に細い帯形状の初期放電経路が形成され、（ｃ）初期放電経路が形成された後に印加電圧が増加すると、初期放電経路が電極間のスペースにおいて垂直方向へ拡張され、（ｄ）各拡張された放電経路は、隣接した放電経路と結合され、放電スペースを満たすので、均一かつ完全な放電が提供される。
【００３９】
図１２は、図１０に示された隔壁部材の構造をより詳細に示した図面である。図１２において、一番上の図は、隔壁部材３０４、次の図は、隔壁部材３０５、一番下の図は、隔壁部材３０６を示し、各々の隔壁部材３０４、３０５、３０６は、左図と右図とに分かれて示されている。左図は、Ｘ軸方向から隔壁部材３０４、３０５を観察し、Ｙ軸方向から隔壁部材３０６を観察した図面であり、右図は、Ｙ軸方向から隔壁部材３０４、３０５を観察し、Ｘ軸方向から隔壁部材３０６を観察した図面である。
【００４０】
便宜上、本明細書においては、Ｙ軸方向に配置される隔壁部材３０４、３０５と、X軸方向に配置される平行な隔壁部材３０６とを考慮することによって、隔壁部材について説明する。Ｙ軸方向に沿った隔壁部材３０４、３０５とＸ軸方向に沿った隔壁部材３０６とは実質的に直角で交差する。１つの単位放電セルが基本的に、Ｙ軸方向の一対の隔壁部材３０４、３０５及びＸ軸方向の一対の隔壁部材３０６によって形成される放電スペースを占める。ここで、単位放電セルが最も外側のものに対応する場合、最も外側の隔壁部材３０６は省略され得る。
【００４１】
Ｙ軸方向に沿った隔壁部材３０４、３０５の構造は、放電セルが、隔壁部材の両側に接しているか、隔壁部材の片側に接しているかによって区分される。詳細には、Ｙ軸方向の隔壁部材３０４は、放電セルに片側で接し、Ｙ軸方向の隔壁部材３０５は、放電セルに両側で接している。
【００４２】
その一方で、Ｘ軸隔壁部材３０６上には放電電極が形成されていない。しかしながら、これに限定されるものではない。例えば、補助電極として働く放電電極は、隔壁部材３０６上にも形成されることができる。また、補助電極は、特別な言及がなくても本明細書の他の実施形態に適用され得ることに留意されたい。
【００４３】
隔壁部材は、断面が四角形、円形または環状の連続した棒形状か、あるいは球形、多角面体などの点形状で具現可能で、その材質としてガラス、セラミックなどが挙げられる。これに追加して、隔壁部材の断面は、円形、楕円形、多角形などをカットした一部の形態でもよい。また、隔壁部材の様々な例は、特別な言及がなくても本明細書の他の実施形態に適用され得ることに留意されたい。
【００４４】
図１３は、図１１の放電電極３０８の構造をより詳細に示した図面である。本発明の第１の実施形態によれば、放電電極３０８の構成は、従来の放電電極１０５の構成と類似している（それゆえ、放電電極３０８は、金属層３０８ａ、誘電体層３０８ｂ及び保護層３０８ｃから構成され得る）。しかし、保護層１０５ｃと保護層３０８ｃとの違いは、図４の保護層１０５ｃは上向きに形成されているが、図１３の保護層３０８ｃは右向きであることである。これは、保護電極３０８が隔壁部材３０４、３０５の側面上に形成され、保護層３０８ｃが保護電極３０８上に形成されるためである。それゆえ、保護層３０８ｃは、左または右向きであり得、即ち図１１に示すように隔壁部材３０４、３０５の左側または右側に配置され得る。
【００４５】
ここで、金属層３０８ａは、スクリーン印刷法によって印刷された後、焼成され、誘電体層３０８ｂは、該焼成された金属層３０８ａ上にスクリーン印刷法やＤＦＲ（ドライフィルムレジスト）を用いる積層法によって形成され、保護層３０８ｃは、誘電体層３０８ｂ上にスパッタリング法や電子ビーム蒸着法を用いて形成されることができる。
【００４６】
ところで、金属層３０８ａは、純金属だけでなく、合金、金属化合物、炭素などの導電性材質からなることができる。これに対しては、特別な言及がなくても本明細書の他の実施形態に適用され得ることに留意されたい。
【００４７】
Ｙ軸方向の隔壁部材３０５とＸ軸方向の隔壁部材３０６とは互いに、例えば直角に、交差することができる。図１２に示すように、隔壁部材３０５、３０６が互いに、例えば直角に、交差るように配置するために、溝３１１、３１２が、Ｙ軸方向に隔壁部材３０５に、Ｘ軸方向に隔壁部材３０６にそれぞれ形成される。溝３１１、３１２の深さは、隔壁部材３０５、３０６の高さの半分になるように決定され得ることが望ましいが、これに限定されるものではない。ここで、フラットパネルディスプレイ装置の設計の様々な例を考慮して、隔壁部材３０５と隔壁部材３０６が交差するか否かを選択することができる。その一方で、隔壁部材３０４と隔壁部材３０６は、必ずしも互いに交差しない。
【００４８】
図１４は、図１１及び図１２に示された隔壁部材３０５に対する変形構造の例を示す。即ち、放電電極３０８が両側に形成されているＹ軸方向の隔壁部材３０５の構造は構造、放電電極３０８が片側に形成されているＹ軸方向の２つの隔壁部材３０４と置き換えられる。隔壁部材３０５の場合、各層即ち金属層、誘電体層及び保護層は、一般に隔壁部材の両側において塗布工程及びその後の焼結工程を経なければならないが、隔壁部材３０４の場合は、塗布工程及びその後の焼結工程は隔壁部材の片側にのみ適用されればよいため、隔壁部材３０５よりも隔壁部材３０４を製造する方が容易である。従って、隔壁部材３０５を２つの隔壁部材３０４と置き換えることによって、フラットパネルディスプレイ装置３００の製造工程は非常に簡単になり得る。このような変形例によれば、２つの隔壁部材３０４同士が一定距離離れたままになるようにすることによって２つの隔壁部材３０４間にスペースが形成され、該スペースを電力伝達ラインなどが通過するようにすることができる。
【００４９】
図１５から図１６は、本発明の第２の実施形態に係るフラットパネルディスプレイ装置４００を示す図面で、隔壁部材が交差しないフラットパネルディスプレイ装置４００の一例を示している。
【００５０】
ここでは、図１０から図１６に含まれる３桁の符号のうち少なくとも２桁が同一ならば、同じ部分を指していることを意味する。
【００５１】
まず、図１５は、フラットパネルディスプレイ装置４００の全体構成を示す平面図である。隔壁部材４０４、４０５、４０６の構造及び隔壁部材４０５、４０６が交差しないことを除いては、フラットパネルディスプレイ装置４００の基本的な構成は、フラットパネルディスプレイ装置３００のそれと同一なので、これに対する詳細な説明は省略する。
【００５２】
図１６は、図１５の隔壁部材の構造をより詳細に示した図面である。図１６に示すように、一番上の図は、隔壁部材４０４を、次の図は、隔壁部材４０５を、一番下の図は、隔壁部材４０６を示す。各々の隔壁部材４０４、４０５、４０６に関する図面は、左図と右図とに分かれて示している。ここで、左図は、隔壁部材４０４、４０５をＸ軸方向で示して、隔壁部材４０６をＹ軸方向で示したもので、右図は、隔壁部材４０４、４０５をＹ軸方向で示し、隔壁部材４０６をｘ軸方向で示したものである。前述のように、本実施形態は、Ｙ軸方向の隔壁部材４０４、４０５とＸ軸方向の隔壁部材４０６とが重なり合っていない構造を有している。
【００５３】
隔壁部材同士が重なり合っている第１の実施形態と、隔壁部材同士が重なり合っていない第２の実施形態との差異は、次の通りである。
【００５４】
第１の実施形態は、Ｘ軸方向の隔壁部材同士が一体化されているので、フラットパネルディスプレイ装置の製造工程に含まれるステップの数が第２の実施形態より少ない。しかしながら、第１の実施形態は、隔壁部材３０５、３０６に互いに重なり合うための溝を形成しなければならないため、隔壁部材３０５、３０６の製造が容易でなく、製造単価が増加し得る。さらに、第１の実施形態に従って隔壁部材３０５に形成された深溝３１１は、隔壁部材３０５の構造を脆弱にすることがあり、深溝３１１部分のせいで隔壁部材３０５の高さは急減するので、溝３１１近辺の導体の面積が狭くなり得る。これによって、電極間の電場を均一でないようにし得るので、プラズマの形成に悪影響を及ぼすことがある。
【００５５】
これとは逆に、第２の実施形態によれば、Ｘ軸方向の隔壁部材は一体化されていない（即ち隔壁部材４０６同士が分離されている）。これにより、組立工程において組立ステップが増えるので、生産性が落ちる。しかしながら、隔壁部材の非交差構成のおかげで、必ずしも隔壁部材４０６に溝を形成する必要がなく、加工をさらに容易にし得る。また、第１の実施形態の深溝構造３１１とは逆に、第２の実施形態の隔壁部材４０５は深溝を有しないので、隔壁部材の高さは均一であり得る。隔壁部材４０５の均一な高さのおかげで、構造面で脆弱でなく、電極間の電場を均一に形成しかつプラズマの分布を均一にし得る。従って、不均一な電場による発熱可能性は、第２の実施形態によれば最小化され得る。ここで、隔壁部材４０５の下面に形成された狭小溝４１６は、放電スペース全体のガス排気役割と、ガス注入口４１０を通じて注入されたガスを隣の放電セルに伝達させる役割を果たす。
【００５６】
図１７から図２０は、第１の実施形態及び第２の実施形態に係るフラットパネルディスプレイ装置の隔壁部材に対する製造過程を示す図面である。本製造過程の特徴は、従来技術とは異なり、放電電極が下部基板の製造過程とは別途に製造されるという点にある。即ち、図１７から図２０によれば、複数の隔壁部材及びその側面上に形成された放電電極は、フラットパネルディスプレイ装置の上部基板及び下部基板の製造工程に関係なく大量生産されることができる。
【００５７】
図１７は、隔壁部材製造用ガラス基板５０１上に多数の放電電極５０２を形成するステップを示す。前述のように、放電電極５０２は金属層、誘電体層及び保護層を含む。このとき、放電電極をガラス基板５０１の両側に各々形成してもよく、片側にのみ形成してもよい。
【００５８】
図１８は、放電電極５０２が形成されたガラス基板５０１をカットして複数の隔壁部材を製造するステップを示す。図１８に示すように、放電電極５０２が両側に形成された隔壁部材５０３と放電電極５０２が片側にのみ形成された隔壁部材５０４とが存在し、この中隔壁部材５０３はＹ軸方向の隔壁部材３０５、４０５に該当し、隔壁部材５０４は他のＹ軸方向の隔壁部材３０４、４０４に該当する。図１８に示すカットのステップは、望ましくはダイヤモンドまたはタングステン合金でできた鋸刃、高圧ウォータージェットカッティング法またはレーザカッティング法によって行われることができるが、これらに限定されるものではない。
【００５９】
一方、図１７のステップと図１８のステップとの順序は変更できることに留意されたい。言い換えれば、ガラス基板５０１をまずカットすることによって準備された複数のストリップ形状のガラス基板上に、金属層、誘電体層、保護層を含む放電電極５０２を形成することができる。
【００６０】
図１９及び図２０に示すように、上記したように提供される大量生産された隔壁部材５０３、５０４が上部基板と下部基板の間に挿入され、放電スペース内に放電ガスをが注入されるとき、ようやくフラットパネルディスプレイ装置が完成する。具体的には、図２０に示すように、両側に放電電極が形成される隔壁部材５０３は、中央に位置して放電セルを区切ることができるが、片側にのみ放電電極が形成されている隔壁部材５０４は、基板の縁部に配置される。
【００６１】
このように、本発明は、隔壁部材を製造する別の工程中に放電電極を形成することによって、次のような長所がある。
【００６２】
第１に、側面に放電電極が形成された多数の隔壁部材を別途に大量生産され、フラットパネルディスプレイ装置の製造工程に効率的に適用されるので、生産性の向上、全体工程に含まれるステップ数の減少及び工程の自動化を実現することができる。
【００６３】
第２に、隔壁部材を組み立てた後に低温で焼成が行われる下部基板に、放電電極が直接形成されないため、下部基板上に安価なソーダライムガラスを用いることができるという長所がある。従来の技法に従って、上部基板及び下部基板に高歪点ガラスを用いてきたが、その理由は、放電電極は高温焼成過程によって基板上に直接形成されたからである。しかし、高歪点ガラスは、ソーダライムガラスより高価であるので望ましくなかった。本発明は、この問題を克服する点で非常に意味がある。
【００６４】
第３に、下部基板は、製造工程中に高温焼成過程を経ないため、熱的衝撃がより小さい。
【００６５】
図２１から図２５は、本発明の第３の実施形態によるフラットパネルディスプレイ装置６００を示す図面である。
【００６６】
まず、図２１はフラットパネルディスプレイ装置６００の全体構成を示し、図２２は図２１のＡ−Ａ’から見たフラットパネルディスプレイ装置６００の断面図である。第３の実施形態に従うフラットパネルディスプレイ装置６００の基本的な構成は、第１の実施形態によるフラットパネルディスプレイ装置３００の構成とほぼ同一である。フラットパネルディスプレイ装置６００は上部基板６０１、下部基板６０２、隔壁部材６０４、６０５、６０６、封止材６０７、放電電極６０８、蛍光体６０９、ガス注入口６１０を含む。
【００６７】
本発明の第３の実施形態に従って、放電スペース内に電界を形成する一対の放電電極６０８が、図２２に示すようにＹ軸方向に隔壁部材６０４、６０５の内部に形成される。従って、単位放電セル６０３内の一対の放電電極６０８は互いに対向し得る。
【００６８】
図２３は、図２１の隔壁部材の構造をより詳細に示す。具体的には、一番上の図は隔壁部材６０４を示し、次の図は隔壁部材６０５を示し、一番下の図は隔壁部材６０６を示す。ここで、隔壁部材６０４、６０５、６０６は各々、左右の図に分けられている。左側の図は、Ｘ軸方向から見た隔壁部材６０４、６０５及びＹ軸方向から見た隔壁部材６０６を指し、右側の図は、Ｙ軸方向から見た隔壁部材６０４、６０５及びＸ軸方向から見た隔壁部材６０６を指す。
【００６９】
本発明の第３の実施形態によれば、隔壁部材の構造及び配列は、第１の実施形態と基本的には同一であるが、次のような差異がある。まず、Ｙ軸方向の隔壁部材６０４、６０５の断面は、円形、または全体として中空パイプ形状である。さらに、放電電極の役割をする金属棒６０８が隔壁部材６０４、６０５内にＹ軸方向に挿入され得る。従って、Ｙ軸方向の隔壁部材６０４とＹ軸方向の隔壁部材６０５とに放電電極の構造の点で差異はない。しかし、第１の実施形態で述べたような２つの隣り合うセルに隣接する隔壁部材６０５の底部にガス通路６１３を形成することが望ましい。
【００７０】
図２３に示すようなＸ軸方向の隔壁部材６０６の断面は長方形の棒状であるが、これに限定されるものではない。例えば、隔壁部材６０６は、隔壁部材６０４、６０５と同様に中心部分が中空の円形パイプ形状であってもよい。別の例では、隔壁部材６０６は、中心部分が特定の誘電率を有する材料で満たされた中空のパイプ形状であってもよい。
【００７１】
図２４は、図２２の隔壁部材の構造をより詳細に示した図面である。前述のように、本発明の第３の実施形態によれば、放電電極として働く金属棒６０８は、Ｙ軸方向の隔壁部材６０４、６０５内に挿入される。従って、本発明の第１及び第２の実施形態とは異なり、電極形成に必要な印刷法やディッピング法などの工程を省略することができ、電極形成工程を単純化し得る。言い換えると、本発明の第３の実施形態に従って、比較的簡単な工程、即ち誘電体が形成される指定の仕様の外径を有する各ガラス管に金属体（例えば、金属棒）を挿入する工程が必要とされ得る。その一方で、隔壁部材６０４、６０５と金属棒６０８の間に空気層６１１が存在し得る。隣接するセルが１つである隔壁部材６０４の場合には、片側に誘電体層６１２が形成されているガラス管を用いることができ、隣接するセルが２つである隔壁部材６０５の場合には、両側に誘電体層６１２が形成されるガラス管を用いることができる。必要に応じて、誘電体層６１２上に保護層が形成され得る。
【００７２】
図２５は、隔壁部材６０４、６０５の様々な例である。図２５によれば、放電スペース内に電界を形成する一対の放電電極が、上部基板と下部基板とを支持しかつ互いに離間させておくＹ軸方向の隔壁部材としても働き得る。即ち、金属パイプ（図中の黒い部分）は、隔壁部材と放電電極との役割を同時にするものである。また、図２５の例においてさえも、電極形成において既存の形成方法である印刷法やディッピング法を省略することができるため、電極の製造工程が簡単になる。要するに、本発明の第３の実施形態によれば、電極として用いられる金属体（例えば、金属パイプ）の外面の周りに誘電体層を巻き付ける簡単な工程が必要とされ得る。保護層は、必要に応じて誘電体層上に形成されることができる。
【００７３】
具体的には、図２５には隔壁部材６０４、６０５の３つの異なる例が示されており、左の図は断面が円形である隔壁部材の構造を示し、真ん中の図は断面が楕円形である隔壁部材の構造を示し、右の図は断面が四角形である隔壁部材の構造を示す。しかしながら、隔壁部材の形状及び厚さは、これに限定されるものではなく、隔壁部材の役割を果たし得る範囲においてを多様に定めることができる。
【００７４】
なお、本発明を好適な実施形態に則して説明したが、本発明の要旨から逸脱しない範囲内で当該技術分野の技術に照らし合わせて多様に変形することが可能である。したがって、本発明の技術的範囲は、上述の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載及びこれと均等なものに基づいて定められるべきである。
【符号の説明】
【００７５】
１００、３００、４００、６００ フラットパネルディスプレイ装置
１０１、３０１、６０１ 上部基板
１０２、３０２、６０２ 下部基板
１０３、３０４、３０５、３０６、４０４、４０５、４０６、５０３、５０４、６０４、６０５、６０６ 隔壁部材
１０４、６０７ 封止材
１０５、５０２、６０８ 放電電極
１０６、６０９ 蛍光体
１０７、６１０ ガス注入口
３０３ 単位放電セル
３０８ 一対の放電電極
５０１ 隔壁部材製造用ガラス基板
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマの放電現象を用いたフラットパネルディスプレイ装置及びその製造方法に関し、詳細には、上部基板と下部基板の間に挿入される隔壁部材上に放電電極を配置することによって放電スペース内に放電ガスを充填させる構造を有するフラットパネルディスプレイ装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）装置とは、ディスプレイ装置の対角長の１／４に等しいかまたはそれ以下の厚さ、例えば数ミリメートル（ｍｍ）ないし数センチメートル（ｃｍ）の厚さのフラットパネル（平面パネル）を有するディスプレイ装置を意味する。比較的軽量かつ薄型の低消費電力装置として、ＦＰＤ装置は次第に、ディスプレイ装置の歴史において最も長く用いられてきた陰極線管（ＣＲＴ）に取って代わりつつある。
【０００３】
このようなフラットパネルディスプレイは、独自に発光可能な発光型と別途に光源を必要とする受光型とに区分される。発光型には、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）、ＯＬＥＤ（有機発光ディスプレイ）、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）などが挙げられ、受光型には、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）などが挙げられる。受光型に属するＬＣＤは、外部光源がなければ画像を表示することが不可能なので、別途の光源であるバックライトユニット（ＢＬＵ）が必ず必要となる。このようなＢＬＵには、高電圧電界により放出された電子により励起された水銀ガスから発散された紫外線が、蛍光体と衝突して可視光線を発生させるＣＣＦＬ（冷陰極蛍光ランプ）、半導体に電圧を加える際に生じるエレクトロルミネッセンス現象を用いるＬＥＤ（発光デバイス）、ガス放電から発生する紫外線により蛍光体を発光させて光を拡散させるＦＦＬ（平板蛍光ランプ）などの光源が広く使われている。
【０００４】
ＦＦＬ方式は、線光源を用いるＣＣＦＬ方式と異なりランプが１つだけの面光源（フラット光源）を用いるので、部品数が大きく削減され、ＢＬＵ及びＬＣＤパネルの製造工程に対する自動化が可能であるという長所があり、特に大型ＬＣＤに採用することが有利である点で注目されている。
【０００５】
図１から図４は、従来技術によるフラットパネルディスプレイ装置１００の一例を示す図面である。
【０００６】
まず、図１は、フラットパネルディスプレイ装置１００の全体構成を示す平面図であり、図２は、図１のＡ−Ａ’に沿って切った断面図である。図１及び図２に示すように、フラットパネルディスプレイ装置１００は、上部基板１０１と、下部基板１０２と、上部基板１０１及び下部基板１０２を支持しながら複数の単位放電セルのためのスペースを形成するための隔壁部材１０３と、上部基板１０１及び下部基板１０２を封止するための封止材１０４と、該放電セルのスペース内の放電ガスを放電させるための電界を発生する放電電極１０５と、ガス放電により可視光線を放出する蛍光体１０６と、放電ガスを放電セルに注入するためのガス注入口１０７とを含む。
【０００７】
フラットパネルディスプレイ装置１００即ちＦＦＬの基本的な発光原理は、一般的な蛍光灯の発生原理と類似している。放電電極１０５により発生した電界により加速された電子が、放電ガスが充填されている放電スペースで流動しながら、該放電ガスと衝突するようになる。このとき、２５３．７ｎｍの紫外線が放出するようになって、放出された紫外線が蛍光体１０６を励起させ可視光線を放出するようになる。
【０００８】
図２に示すように、従来のフラットパネルディスプレイ装置１００の放電電極１０５の特徴は、放電電極１０５が下部基板１０２上に位置するということである。即ち、図２に示すように、４つの放電電極１０５が２つの放電セルに設けられている構造が例として示されている（ここでは、図２は２つの放電セルを含む断面で観察した図面であるので、図２は２つの放電セルのみを示すが、図１を参照すると、６つの放電セルがフラットパネルディスプレイ装置１００に含まれている）。放電電極１０５は、隔壁部材１０３の両側に隣接する下部基板１０２の第１の領域と、封止材１０４に隣接する下部基板１０２の第２の領域との上に位置することが分かる。
【０００９】
ガス注入口１０７を通じて注入される放電ガスの種類は、無水銀放電ガスと水銀放電ガスとに大別される。無水銀放電ガスを用いる場合には、励起種が真空紫外線を放出するキセノン（Ｘｅ）が含まれたガスを用いて、必要によってヘリウム（Ｈｅ）、ネオン（Ｎｅ）、アルゴン（Ａｒ）、クリプトン（Ｋｒ）などの不活性ガスをさらに含む混合ガスを用いる。水銀（Ｈｇ）放電ガスを用いる場合には、ネオン（Ｎｅ）、アルゴン（Ａｒ）などの不活性ガスをさらに含む混合ガスを用いる。
【００１０】
図３は、図１の隔壁部材１０３の構造をより詳細に示した図面である。図３の左図は、Ｘ軸方向から見た長手方向（Ｙ軸方向）の隔壁部材の形状を示したものであり、右図は、Ｙ軸方向から見た長手方向の隔壁部材の形状を示したものである。フラットパネルディスプレイ装置１００は、装置内部の入力と外部大気圧との間の圧力差を克服しながら放電スペースを維持しなければならないため、複数の隔壁部材の設置が不可避である。要するに、フラットパネルディスプレイ装置１００の隔壁部材１０３は、放電スペースを維持しながら同時に上部基板１０１及び下部基板１０２を支持する役割を果たし得る。図のように、隔壁部材１０３は、長方形形状かつ主としてガラス製であり得る。
【００１１】
図４は、図２の放電電極１０５の構造をより詳細に示した図面である。
【００１２】
図４に示すように、放電電極１０５の全体構成は、実際の電極としての金属層１０５ａと、Ａｌ２Ｏ３またはＴｉＯ２などの誘電体層１０５ｂと、ＭｇＯなどの保護層１０５ｃとから構成され得る。ここで、誘電体層１０５ｂは、金属層１０５ａを保護するために用いられ、保護層１０５ｃは、誘電体層１０５ｂの減衰を防止するために用いられる。
【００１３】
図５から図９は、フラットパネルディスプレイ装置１００の製造工程を示す（主に下部基板１０２の製造工程に対して説明する）。
【００１４】
図５のステップは、図５から図９の工程によって下部基板１０２上に形成されることになる放電電極１０５の３層構造のうち電極の役割を果たす金属層１０５ａを形成する工程である。図５は、下部基板１０２上に４つの金属層１０５ａを形成することによって２つの放電セル（全体として６つの放電セル）の構造を構成する工程を示す。
【００１５】
図６のステップは、金属層１０５ａ上に誘電体層１０５ｂを形成する工程であり、図７のステップは、誘電体層１０５ｂ上に保護層１０５ｃを形成する工程であり、図８のステップは、一対の放電電極１０５の間で下部基板１０２上に蛍光体１０６を形成する工程である。
【００１６】
その一方で、蛍光体１０６のみが形成される上部基板１０１（図示せず）が準備され得る。
【００１７】
図９のステップは、封止材１０４を用いて上部基板１０１及び下部基板１０２を封止する工程である。上部基板１０１と下部基板１０２との間に隔壁部材１０３が設けられる。ここで、隔壁部材１０３は、別途の工程（図示せず）にて準備される。封止工程後に、放電ガスがガス注入口１０７から注入されかつガス注入口をがチップ−オフ（tip off）されると、フラットパネルディスプレイ装置１００の製造工程が完了する。放電電極及び蛍光体の形成工程、封止工程、ガス注入工程などと関連した詳細な内容は公知であるため、これに対する説明は本明細書では省略する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
しかし、従来の装置には次のような問題があった。
【００１９】
第１に、金属層１０５ａ、誘電体層１０５ｂ、保護層１０５ｃ及び蛍光体１０６が全て下部基板１０２上に形成されるため、このような３層構造の形成の際に繰り返される高温焼成過程によって下部基板１０２が熱的衝撃を受け得る。そのため、ガラス材質の下部基板１０２に亀裂などが発生し、フラットパネルディスプレイ装置１００の寿命を短縮させ得る。
【００２０】
第２に、１つの放電セルグループ（例えば、６つの放電セル）を作るためには、１つの基板（例えば、下部基板１０２）を対象として、３つのサブステップ、即ち、金属層１０５ａの焼成、誘電体層１０５ｂの焼成、保護層１０５ｃの蒸着から構成される放電電極１０５の製造工程を遂行することになるので、このような放電セルグループを多量に生成するためには、１つの基板ごとに前記の複雑な３つの工程を反復して行って電極構造を生成しなければならなく、工程数が必要以上に多くなり、装置の生産性が低下し、単価が高くなろ得るという短所があった。
【００２１】
本発明は、上記の問題点に鑑みて成されたものであって、本発明の１つの目的は、別途大量生産される隔壁部材に放電電極を取り付けることによって、単位放電セル内に一対の放電電極が互いに対向するフラットパネルディスプレイ装置を提供することである。
【００２２】
本発明の他の目的は、下部基板上に、金属層、誘電体層及び保護層を直接形成する工程を必要としないフラットパネルディスプレイ装置の製造工程を提供し、それによって下部基板への熱的衝撃の影響を低下させ、装置の寿命及び性能を向上させることにある。
【００２３】
本発明のさらに他の目的は、電極を含む多数の隔壁部材を別途大量生産することによって、工程のステップ数が減少し、ロボット組立工程の適用による工程を自動化できるおかげで、生産性の向上を達成できるフラットパネルディスプレイ装置の大量生産方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
本発明の一態様では、少なくとも１つの単位放電セルを含むフラットパネルディスプレイ装置であって、上部基板及び下部基板と、前記上部基板と前記下部基板とを支持しかつ互いに離間させておくための１若しくは複数の第１の隔壁部材と、前記単位放電セルの放電スペース内に電界を発生させるために、前記第１の隔壁部材上に形成される一対の電極であって、前記第１の隔壁部材の側面のうち前記放電スペースと接する側面上に形成され、互いに直角に対向する、該一対の電極とを含み、前記第１の隔壁部材の内部に、スペースが形成されていることを特徴とするフラットパネルディスプレイ装置が提供される。
【００２５】
本発明の別の態様では、少なくとも１つの単位放電セルを含むフラットパネルディスプレイ装置であって、上部基板及び下部基板と、前記上部基板と前記下部基板とを支持しかつ互いに離間させておくための１若しくは複数の第１の隔壁部材と、前記単位放電セルの放電スペース内に電界を発生させるために、前記第１の隔壁部材上に形成される一対の電極であって、前記第１の隔壁部材の側面のうち前記放電スペースと接する側面上に形成され、互いに対向する、該一対の電極とを含み、前記第１の隔壁部材に、溝が形成されていることを特徴とするフラットパネルディスプレイ装置が提供される。
【００２６】
本発明のさらに別の態様では、少なくとも１つの単位放電セルを含むフラットパネルディスプレイ装置であって、上部基板及び下部基板と、前記上部基板と前記下部基板とを支持しかつ互いに離間させておくための１若しくは複数の第１の隔壁部材と、前記第１の隔壁部材の内部に含まれた状態で、前記単位放電セルの放電スペース内に電界を発生させる電極とを含み、前記複数の第１の隔壁部材のうち両側面が前記単位放電セルに接している特定の第１の隔壁部材の内部に含まれる電極は、前記特定の第１の隔壁部材に隣り合わせる単位放電セルに共通する電極であるような装置が提供される。
【００２７】
本発明のさらに別の態様では、少なくとも１つの単位放電セルを含むフラットパネルディスプレイ装置であって、前記単位放電セルの放電スペースを形成する上部基板及び下部基板と、該放電スペース内に電界を発生させつつ前記上部基板と前記下部基板とを支持しかつ互いに離間させておくための第１の隔壁部材とを含み、前記第１の隔壁部材には前記放電スペース内に放電ガスを円滑に供給するための溝が形成されていることを特徴とする装置が提供される。
【００２８】
本発明のさらに別の態様では、少なくとも１つの単位放電セルで構成され、該単位放電セルの放電スペースは上部基板と下部基板との間に位置するような、フラットパネルディスプレイ装置を製造する方法であって、（ａ）標準基板（reference substrate）上に複数の電極を形成するステップと、（ｂ）前記電極を含むように前記基板をカットするステップと、（ｃ）前記カットされた電極を前記下部基板と前記上部基板の間に挿入するステップとを含むフラットパネルディスプレイ装置の製造方法が提供される。
【発明の効果】
【００２９】
本発明によれば、フラットパネルディスプレイ装置は、（ｉ）放電電極が上部基板及び下部基板とは別途に隔壁部材の製造工程の中に形成されることによって、製造工程数の減少、作業の容易性に伴う生産性向上及びロボット組立などの自動化プロセスが可能なこと、（ｉｉ）上部基板及び下部基板は、放電電極の形成の際に必須に伴う高温焼成過程を経てないので、フラットパネルディスプレイ装置の原価の節減しかつ熱的衝撃の影響を小さくすることが可能である（例えば、安価なソーダライムを基板として用いることができる）という効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】従来技術に係るフラットパネルディスプレイ装置の全体構成を示す平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ’に沿って切った断面図である。
【図３】図１の隔壁部材を示す図である。
【図４】図２の放電電極を示す図である。
【図５】従来のフラットパネルディスプレイ装置の製造工程を示す図である。
【図６】従来のフラットパネルディスプレイ装置の製造工程を示す図である。
【図７】従来のフラットパネルディスプレイ装置の製造工程を示す図である。
【図８】従来のフラットパネルディスプレイ装置の製造工程を示す図である。
【図９】従来のフラットパネルディスプレイ装置の製造工程を示す図である。
【図１０】本発明の第１の実施形態に係るフラットパネルディスプレイ装置の全体構成を示す平面図である。
【図１１】図１０のＡ−Ａ’に沿って切った断面図である。
【図１２】図１０の隔壁部材を示す図である。
【図１３】図１１の放電電極を示す図である。
【図１４】他の形状の隔壁部材を示す図である。
【図１５】本発明の第２の実施形態に係るフラットパネルディスプレイ装置の全体構成を示す平面図である。
【図１６】図１５の隔壁部材を示す図である。
【図１７】本発明に係る隔壁部材の製造工程を示す図である。
【図１８】本発明に係る隔壁部材の製造工程を示す図である。
【図１９】本発明に係る隔壁部材の製造工程を示す図である。
【図２０】本発明に係る隔壁部材の製造工程を示す図である。
【図２１】本発明の第３の実施形態に係るフラットパネルディスプレイ装置の全体構成を示す平面図である。
【図２２】図２１のＡ−Ａ’に沿って切った断面図である。
【図２３】図２１の隔壁部材を示す図である。
【図２４】図２２の電極を示す図である。
【図２５】他の形状の隔壁部材を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
後述する詳細な説明においては、本発明が実施され得る特定の実施形態を例示として示す添付図面を参照する。これらの実施形態は、当業者が容易に実施できるのに充分に詳細に説明する。本発明の多様な実施形態は、相異なるが、必ずしも相互に排他的ではないと理解されたい。例えば、１つの実施形態と関連して説明する特定の機能、構造及び特性は、本発明の趣旨及び範囲を逸脱することなく他の実施形態で実現され得る。また、以下に開示するそれぞれの実施形態のうち、個別の構成要素の位置または配置は、本発明の趣旨及び範囲を逸脱することなく変更可能であると理解されたい。以下の詳細な説明は、限定的な意味で扱うものでなく、本発明の技術的範囲は、適切に説明されるならば、その特許請求の範囲に記載された各請求項が主張するものと均等な全ての技術的範囲を含む。図面において、同様の符号は、幾つかの図面を通して同じかまたは類似の機能部分を指す。
【００３２】
本発明の実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００３３】
図１０から図１４は、本発明の第１の実施形態によるフラットパネルディスプレイ装置３００を示す図面である。
【００３４】
まず、図１０は、フラットパネルディスプレイ装置３００の全体構成を示す平面図であり、図１１は、図１０のフラットパネルディスプレイ装置３００をＡ−Ａ’に沿って切った断面図である。図１０及び図１１に示すように、フラットパネルディスプレイ装置３００は、上部基板３０１、下部基板３０２、隔壁部材３０４、３０５、３０６、封止材３０７、放電電極３０８、蛍光体３０９、ガス注入口３１０などを含むことができる。フラットパネルディスプレイ装置３００は、複数の単位放電セル３０３で構成され、本明細書では単位放電セルを基準にフラットパネルディスプレイ装置を説明することにする。
【００３５】
また、本発明では６つの単位放電セルで構成されるフラットパネルディスプレイ装置を例に挙げて説明するが、フラットパネルディスプレイ装置の面積が大きくなるにつれて単位放電セルの個数は追加に増加することもできる。
【００３６】
本発明の第１の実施形態に従って、フラットパネルディスプレイ装置３００は、放電スペース内に電界を形成するための一対の放電電極３０８を有し、放電電極３０８は、上部基板３０１と下部基板３０２とを支持しかつ互いに離間させておく機能を有するＹ軸方向に並んだ隔壁部材３０４、３０５の側面上に形成される。このように、単位放電セル３０３内の一対の放電電極３０８は、互いに対向し得る。
【００３７】
一方、図１１に示すように、蛍光体３０９は、上部基板３０１及び下部基板３０２上に位置することができるが、これに限定されるのではない。例えば、上部基板３０１及び下部基板３０２のうちいずれか１つにのみ位置してもよく、隔壁部材３０４、３０５、３０６上に位置してもよい。また、上記の様々な例は、特別な言及がなくても本明細書の他の実施形態に適用され得ることに留意されたい。
【００３８】
互いに対向する複数の電極を有するフラットパネルディスプレイ装置の動作過程は、次の通りである。（ａ）隔壁部材３０４、３０５上の放電電極３０８に適切な電圧が印加されると、部分的な放電現象が始まち、（ｂ）電圧が十分な時間の間印加されれば、互いに対向する一対の放電電極３０８の間に細い帯形状の初期放電経路が形成され、（ｃ）初期放電経路が形成された後に印加電圧が増加すると、初期放電経路が電極間のスペースにおいて垂直方向へ拡張され、（ｄ）各拡張された放電経路は、隣接した放電経路と結合され、放電スペースを満たすので、均一かつ完全な放電が提供される。
【００３９】
図１２は、図１０に示された隔壁部材の構造をより詳細に示した図面である。図１２において、一番上の図は、隔壁部材３０４、次の図は、隔壁部材３０５、一番下の図は、隔壁部材３０６を示し、各々の隔壁部材３０４、３０５、３０６は、左図と右図とに分かれて示されている。左図は、Ｘ軸方向から隔壁部材３０４、３０５を観察し、Ｙ軸方向から隔壁部材３０６を観察した図面であり、右図は、Ｙ軸方向から隔壁部材３０４、３０５を観察し、Ｘ軸方向から隔壁部材３０６を観察した図面である。
【００４０】
便宜上、本明細書においては、Ｙ軸方向に配置される隔壁部材３０４、３０５と、X軸方向に配置される平行な隔壁部材３０６とを考慮することによって、隔壁部材について説明する。Ｙ軸方向に沿った隔壁部材３０４、３０５とＸ軸方向に沿った隔壁部材３０６とは実質的に直角で交差する。１つの単位放電セルが基本的に、Ｙ軸方向の一対の隔壁部材３０４、３０５及びＸ軸方向の一対の隔壁部材３０６によって形成される放電スペースを占める。ここで、単位放電セルが最も外側のものに対応する場合、最も外側の隔壁部材３０６は省略され得る。
【００４１】
Ｙ軸方向に沿った隔壁部材３０４、３０５の構造は、放電セルが、隔壁部材の両側に接しているか、隔壁部材の片側に接しているかによって区分される。詳細には、Ｙ軸方向の隔壁部材３０４は、放電セルに片側で接し、Ｙ軸方向の隔壁部材３０５は、放電セルに両側で接している。
【００４２】
その一方で、Ｘ軸隔壁部材３０６上には放電電極が形成されていない。しかしながら、これに限定されるものではない。例えば、補助電極として働く放電電極は、隔壁部材３０６上にも形成されることができる。また、補助電極は、特別な言及がなくても本明細書の他の実施形態に適用され得ることに留意されたい。
【００４３】
隔壁部材は、断面が四角形、円形または環状の連続した棒形状か、あるいは球形、多角面体などの点形状で具現可能で、その材質としてガラス、セラミックなどが挙げられる。これに追加して、隔壁部材の断面は、円形、楕円形、多角形などをカットした一部の形態でもよい。また、隔壁部材の様々な例は、特別な言及がなくても本明細書の他の実施形態に適用され得ることに留意されたい。
【００４４】
図１３は、図１１の放電電極３０８の構造をより詳細に示した図面である。本発明の第１の実施形態によれば、放電電極３０８の構成は、従来の放電電極１０５の構成と類似している（それゆえ、放電電極３０８は、金属層３０８ａ、誘電体層３０８ｂ及び保護層３０８ｃから構成され得る）。しかし、保護層１０５ｃと保護層３０８ｃとの違いは、図４の保護層１０５ｃは上向きに形成されているが、図１３の保護層３０８ｃは右向きであることである。これは、保護電極３０８が隔壁部材３０４、３０５の側面上に形成され、保護層３０８ｃが保護電極３０８上に形成されるためである。それゆえ、保護層３０８ｃは、左または右向きであり得、即ち図１１に示すように隔壁部材３０４、３０５の左側または右側に配置され得る。
【００４５】
ここで、金属層３０８ａは、スクリーン印刷法によって印刷された後、焼成され、誘電体層３０８ｂは、該焼成された金属層３０８ａ上にスクリーン印刷法やＤＦＲ（ドライフィルムレジスト）を用いる積層法によって形成され、保護層３０８ｃは、誘電体層３０８ｂ上にスパッタリング法や電子ビーム蒸着法を用いて形成されることができる。
【００４６】
ところで、金属層３０８ａは、純金属だけでなく、合金、金属化合物、炭素などの導電性材質からなることができる。これに対しては、特別な言及がなくても本明細書の他の実施形態に適用され得ることに留意されたい。
【００４７】
Ｙ軸方向の隔壁部材３０５とＸ軸方向の隔壁部材３０６とは互いに、例えば直角に、交差することができる。図１２に示すように、隔壁部材３０５、３０６が互いに、例えば直角に、交差るように配置するために、溝３１１、３１２が、Ｙ軸方向に隔壁部材３０５に、Ｘ軸方向に隔壁部材３０６にそれぞれ形成される。溝３１１、３１２の深さは、隔壁部材３０５、３０６の高さの半分になるように決定され得ることが望ましいが、これに限定されるものではない。ここで、フラットパネルディスプレイ装置の設計の様々な例を考慮して、隔壁部材３０５と隔壁部材３０６が交差するか否かを選択することができる。その一方で、隔壁部材３０４と隔壁部材３０６は、必ずしも互いに交差しない。
【００４８】
図１４は、図１１及び図１２に示された隔壁部材３０５に対する変形構造の例を示す。即ち、放電電極３０８が両側に形成されているＹ軸方向の隔壁部材３０５の構造は構造、放電電極３０８が片側に形成されているＹ軸方向の２つの隔壁部材３０４と置き換えられる。隔壁部材３０５の場合、各層即ち金属層、誘電体層及び保護層は、一般に隔壁部材の両側において塗布工程及びその後の焼結工程を経なければならないが、隔壁部材３０４の場合は、塗布工程及びその後の焼結工程は隔壁部材の片側にのみ適用されればよいため、隔壁部材３０５よりも隔壁部材３０４を製造する方が容易である。従って、隔壁部材３０５を２つの隔壁部材３０４と置き換えることによって、フラットパネルディスプレイ装置３００の製造工程は非常に簡単になり得る。このような変形例によれば、２つの隔壁部材３０４同士が一定距離離れたままになるようにすることによって２つの隔壁部材３０４間にスペースが形成され、該スペースを電力伝達ラインなどが通過するようにすることができる。
【００４９】
図１５から図１６は、本発明の第２の実施形態に係るフラットパネルディスプレイ装置４００を示す図面で、隔壁部材が交差しないフラットパネルディスプレイ装置４００の一例を示している。
【００５０】
ここでは、図１０から図１６に含まれる３桁の符号のうち少なくとも２桁が同一ならば、同じ部分を指していることを意味する。
【００５１】
まず、図１５は、フラットパネルディスプレイ装置４００の全体構成を示す平面図である。隔壁部材４０４、４０５、４０６の構造及び隔壁部材４０５、４０６が交差しないことを除いては、フラットパネルディスプレイ装置４００の基本的な構成は、フラットパネルディスプレイ装置３００のそれと同一なので、これに対する詳細な説明は省略する。
【００５２】
図１６は、図１５の隔壁部材の構造をより詳細に示した図面である。図１６に示すように、一番上の図は、隔壁部材４０４を、次の図は、隔壁部材４０５を、一番下の図は、隔壁部材４０６を示す。各々の隔壁部材４０４、４０５、４０６に関する図面は、左図と右図とに分かれて示している。ここで、左図は、隔壁部材４０４、４０５をＸ軸方向で示して、隔壁部材４０６をＹ軸方向で示したもので、右図は、隔壁部材４０４、４０５をＹ軸方向で示し、隔壁部材４０６をｘ軸方向で示したものである。前述のように、本実施形態は、Ｙ軸方向の隔壁部材４０４、４０５とＸ軸方向の隔壁部材４０６とが重なり合っていない構造を有している。
【００５３】
隔壁部材同士が重なり合っている第１の実施形態と、隔壁部材同士が重なり合っていない第２の実施形態との差異は、次の通りである。
【００５４】
第１の実施形態は、Ｘ軸方向の隔壁部材同士が一体化されているので、フラットパネルディスプレイ装置の製造工程に含まれるステップの数が第２の実施形態より少ない。しかしながら、第１の実施形態は、隔壁部材３０５、３０６に互いに重なり合うための溝を形成しなければならないため、隔壁部材３０５、３０６の製造が容易でなく、製造単価が増加し得る。さらに、第１の実施形態に従って隔壁部材３０５に形成された深溝３１１は、隔壁部材３０５の構造を脆弱にすることがあり、深溝３１１部分のせいで隔壁部材３０５の高さは急減するので、溝３１１近辺の導体の面積が狭くなり得る。これによって、電極間の電場を均一でないようにし得るので、プラズマの形成に悪影響を及ぼすことがある。
【００５５】
これとは逆に、第２の実施形態によれば、Ｘ軸方向の隔壁部材は一体化されていない（即ち隔壁部材４０６同士が分離されている）。これにより、組立工程において組立ステップが増えるので、生産性が落ちる。しかしながら、隔壁部材の非交差構成のおかげで、必ずしも隔壁部材４０６に溝を形成する必要がなく、加工をさらに容易にし得る。また、第１の実施形態の深溝構造３１１とは逆に、第２の実施形態の隔壁部材４０５は深溝を有しないので、隔壁部材の高さは均一であり得る。隔壁部材４０５の均一な高さのおかげで、構造面で脆弱でなく、電極間の電場を均一に形成しかつプラズマの分布を均一にし得る。従って、不均一な電場による発熱可能性は、第２の実施形態によれば最小化され得る。ここで、隔壁部材４０５の下面に形成された狭小溝４１６は、放電スペース全体のガス排気役割と、ガス注入口４１０を通じて注入されたガスを隣の放電セルに伝達させる役割を果たす。
【００５６】
図１７から図２０は、第１の実施形態及び第２の実施形態に係るフラットパネルディスプレイ装置の隔壁部材に対する製造過程を示す図面である。本製造過程の特徴は、従来技術とは異なり、放電電極が下部基板の製造過程とは別途に製造されるという点にある。即ち、図１７から図２０によれば、複数の隔壁部材及びその側面上に形成された放電電極は、フラットパネルディスプレイ装置の上部基板及び下部基板の製造工程に関係なく大量生産されることができる。
【００５７】
図１７は、隔壁部材製造用ガラス基板５０１上に多数の放電電極５０２を形成するステップを示す。前述のように、放電電極５０２は金属層、誘電体層及び保護層を含む。このとき、放電電極をガラス基板５０１の両側に各々形成してもよく、片側にのみ形成してもよい。
【００５８】
図１８は、放電電極５０２が形成されたガラス基板５０１をカットして複数の隔壁部材を製造するステップを示す。図１８に示すように、放電電極５０２が両側に形成された隔壁部材５０３と放電電極５０２が片側にのみ形成された隔壁部材５０４とが存在し、この中隔壁部材５０３はＹ軸方向の隔壁部材３０５、４０５に該当し、隔壁部材５０４は他のＹ軸方向の隔壁部材３０４、４０４に該当する。図１８に示すカットのステップは、望ましくはダイヤモンドまたはタングステン合金でできた鋸刃、高圧ウォータージェットカッティング法またはレーザカッティング法によって行われることができるが、これらに限定されるものではない。
【００５９】
一方、図１７のステップと図１８のステップとの順序は変更できることに留意されたい。言い換えれば、ガラス基板５０１をまずカットすることによって準備された複数のストリップ形状のガラス基板上に、金属層、誘電体層、保護層を含む放電電極５０２を形成することができる。
【００６０】
図１９及び図２０に示すように、上記したように提供される大量生産された隔壁部材５０３、５０４が上部基板と下部基板の間に挿入され、放電スペース内に放電ガスをが注入されるとき、ようやくフラットパネルディスプレイ装置が完成する。具体的には、図２０に示すように、両側に放電電極が形成される隔壁部材５０３は、中央に位置して放電セルを区切ることができるが、片側にのみ放電電極が形成されている隔壁部材５０４は、基板の縁部に配置される。
【００６１】
このように、本発明は、隔壁部材を製造する別の工程中に放電電極を形成することによって、次のような長所がある。
【００６２】
第１に、側面に放電電極が形成された多数の隔壁部材を別途に大量生産され、フラットパネルディスプレイ装置の製造工程に効率的に適用されるので、生産性の向上、全体工程に含まれるステップ数の減少及び工程の自動化を実現することができる。
【００６３】
第２に、隔壁部材を組み立てた後に低温で焼成が行われる下部基板に、放電電極が直接形成されないため、下部基板上に安価なソーダライムガラスを用いることができるという長所がある。従来の技法に従って、上部基板及び下部基板に高歪点ガラスを用いてきたが、その理由は、放電電極は高温焼成過程によって基板上に直接形成されたからである。しかし、高歪点ガラスは、ソーダライムガラスより高価であるので望ましくなかった。本発明は、この問題を克服する点で非常に意味がある。
【００６４】
第３に、下部基板は、製造工程中に高温焼成過程を経ないため、熱的衝撃がより小さい。
【００６５】
図２１から図２５は、本発明の第３の実施形態によるフラットパネルディスプレイ装置６００を示す図面である。
【００６６】
まず、図２１はフラットパネルディスプレイ装置６００の全体構成を示し、図２２は図２１のＡ−Ａ’から見たフラットパネルディスプレイ装置６００の断面図である。第３の実施形態に従うフラットパネルディスプレイ装置６００の基本的な構成は、第１の実施形態によるフラットパネルディスプレイ装置３００の構成とほぼ同一である。フラットパネルディスプレイ装置６００は上部基板６０１、下部基板６０２、隔壁部材６０４、６０５、６０６、封止材６０７、放電電極６０８、蛍光体６０９、ガス注入口６１０を含む。
【００６７】
本発明の第３の実施形態に従って、放電スペース内に電界を形成する一対の放電電極６０８が、図２２に示すようにＹ軸方向に隔壁部材６０４、６０５の内部に形成される。従って、単位放電セル６０３内の一対の放電電極６０８は互いに対向し得る。
【００６８】
図２３は、図２１の隔壁部材の構造をより詳細に示す。具体的には、一番上の図は隔壁部材６０４を示し、次の図は隔壁部材６０５を示し、一番下の図は隔壁部材６０６を示す。ここで、隔壁部材６０４、６０５、６０６は各々、左右の図に分けられている。左側の図は、Ｘ軸方向から見た隔壁部材６０４、６０５及びＹ軸方向から見た隔壁部材６０６を指し、右側の図は、Ｙ軸方向から見た隔壁部材６０４、６０５及びＸ軸方向から見た隔壁部材６０６を指す。
【００６９】
本発明の第３の実施形態によれば、隔壁部材の構造及び配列は、第１の実施形態と基本的には同一であるが、次のような差異がある。まず、Ｙ軸方向の隔壁部材６０４、６０５の断面は、円形、または全体として中空パイプ形状である。さらに、放電電極の役割をする金属棒６０８が隔壁部材６０４、６０５内にＹ軸方向に挿入され得る。従って、Ｙ軸方向の隔壁部材６０４とＹ軸方向の隔壁部材６０５とに放電電極の構造の点で差異はない。しかし、第１の実施形態で述べたような２つの隣り合うセルに隣接する隔壁部材６０５の底部にガス通路６１３を形成することが望ましい。
【００７０】
図２３に示すようなＸ軸方向の隔壁部材６０６の断面は長方形の棒状であるが、これに限定されるものではない。例えば、隔壁部材６０６は、隔壁部材６０４、６０５と同様に中心部分が中空の円形パイプ形状であってもよい。別の例では、隔壁部材６０６は、中心部分が特定の誘電率を有する材料で満たされた中空のパイプ形状であってもよい。
【００７１】
図２４は、図２２の隔壁部材の構造をより詳細に示した図面である。前述のように、本発明の第３の実施形態によれば、放電電極として働く金属棒６０８は、Ｙ軸方向の隔壁部材６０４、６０５内に挿入される。従って、本発明の第１及び第２の実施形態とは異なり、電極形成に必要な印刷法やディッピング法などの工程を省略することができ、電極形成工程を単純化し得る。言い換えると、本発明の第３の実施形態に従って、比較的簡単な工程、即ち誘電体が形成される指定の仕様の外径を有する各ガラス管に金属体（例えば、金属棒）を挿入する工程が必要とされ得る。その一方で、隔壁部材６０４、６０５と金属棒６０８の間に空気層６１１が存在し得る。隣接するセルが１つである隔壁部材６０４の場合には、片側に誘電体層６１２が形成されているガラス管を用いることができ、隣接するセルが２つである隔壁部材６０５の場合には、両側に誘電体層６１２が形成されるガラス管を用いることができる。必要に応じて、誘電体層６１２上に保護層が形成され得る。
【００７２】
図２５は、隔壁部材６０４、６０５の様々な例である。図２５によれば、放電スペース内に電界を形成する一対の放電電極が、上部基板と下部基板とを支持しかつ互いに離間させておくＹ軸方向の隔壁部材としても働き得る。即ち、金属パイプ（図中の黒い部分）は、隔壁部材と放電電極との役割を同時にするものである。また、図２５の例においてさえも、電極形成において既存の形成方法である印刷法やディッピング法を省略することができるため、電極の製造工程が簡単になる。要するに、本発明の第３の実施形態によれば、電極として用いられる金属体（例えば、金属パイプ）の外面の周りに誘電体層を巻き付ける簡単な工程が必要とされ得る。保護層は、必要に応じて誘電体層上に形成されることができる。
【００７３】
具体的には、図２５には隔壁部材６０４、６０５の３つの異なる例が示されており、左の図は断面が円形である隔壁部材の構造を示し、真ん中の図は断面が楕円形である隔壁部材の構造を示し、右の図は断面が四角形である隔壁部材の構造を示す。しかしながら、隔壁部材の形状及び厚さは、これに限定されるものではなく、隔壁部材の役割を果たし得る範囲においてを多様に定めることができる。
【００７４】
なお、本発明を好適な実施形態に則して説明したが、本発明の要旨から逸脱しない範囲内で当該技術分野の技術に照らし合わせて多様に変形することが可能である。したがって、本発明の技術的範囲は、上述の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載及びこれと均等なものに基づいて定められるべきである。
【符号の説明】
【００７５】
１００、３００、４００、６００ フラットパネルディスプレイ装置
１０１、３０１、６０１ 上部基板
１０２、３０２、６０２ 下部基板
１０３、３０４、３０５、３０６、４０４、４０５、４０６、５０３、５０４、６０４、６０５、６０６ 隔壁部材
１０４、６０７ 封止材
１０５、５０２、６０８ 放電電極
１０６、６０９ 蛍光体
１０７、６１０ ガス注入口
３０３ 単位放電セル
３０８ 一対の放電電極
５０１ 隔壁部材製造用ガラス基板
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの単位放電セルを含むフラットパネルディスプレイ装置であって、
上部基板及び下部基板と、
前記上部基板と前記下部基板とを支持しかつ互いに離間させておくための１若しくは複数の第１の隔壁部材と、
前記単位放電セルの放電スペース内に電界を発生させるために、前記第１の隔壁部材上に形成された一対の電極とを含み、
前記一対の電極は、前記第１の隔壁部材の全ての側面のうち前記放電スペースと接する１若しくは複数の側面上に形成され、前記一対の電極は、互いに対向し、
前記第１の隔壁部材の内部に内部スペースが形成されていることを特徴とする装置。
【請求項２】
前記スペースを電力伝達ラインが通過するようにすることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
少なくとも１つの単位放電セルを含むフラットパネルディスプレイ装置であって、
上部基板及び下部基板と、
前記上部基板と前記下部基板とを支持しかつ互いに離間させておくための１若しくは複数の第１の隔壁部材と、
前記単位放電セルの放電スペース内に電界を発生させるために、前記第１の隔壁部材上に形成された一対の電極とを含み、
前記一対の電極は、前記第１の隔壁部材の全ての側面のうち前記放電スペースと接する１若しくは複数の側面上に形成され、前記一対の電極は、互いに対向し、
前記第１の隔壁部材に、１若しくは複数の溝が形成されていることを特徴とする装置。
【請求項４】
前記溝は、前記放電スペース内に放電ガスを円滑に供給するためのガス通路であることを特徴とする請求項３に記載の装置。
【請求項５】
前記上部基板と前記下部基板とを支持しかつ互いに離間させておくための、前記第１の隔壁部材に垂直に配列された１若しくは複数の第２の隔壁部材をさらに含むことを特徴とする請求項１または３に記載の装置。
【請求項６】
前記第２の隔壁部材は、連続した棒または点の形状であることを特徴とする請求項５に記載の装置。
【請求項７】
前記連続した棒の断面形状は、四角形、円形または環状のうちの少なくとも１つを含み、前記連続した点の形状は、球形、多角面体のうちの少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記第２の隔壁部材には、電極が形成されることを特徴とする請求項５に記載の装置。
【請求項９】
前記電界により形成されたプラズマによって励起されて可視光線を放出する蛍光体をさらに含むことを特徴とする請求項５に記載の装置。
【請求項１０】
前記蛍光体は、前記上部基板及び下部基板のうちの少なくとも１つの上に形成されることを特徴とする請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
前記蛍光体は、前記第１の隔壁部材及び前記第２の隔壁部材のうちの少なくとも１つに形成されることを特徴とする請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
前記第１及び第２の隔壁部材の材質は、絶縁性物質からなることを特徴とする請求項５に記載の装置
【請求項１３】
前記絶縁性物質は、ガラスまたはセラミックを含むことを特徴とする請求項１２に記載の装置。
【請求項１４】
前記第１の隔壁部と前記第２の隔壁部材とは、互いに交差することを特徴とする請求項５に記載の装置
【請求項１５】
前記電極は、前記第１の隔壁部材上に形成された導電性材質の被膜層であることを特徴とする請求項１または３に記載の装置。
【請求項１６】
前記電極上には、誘電体層が形成されることを特徴とする請求項１５に記載の装置。
【請求項１７】
前記誘電体層上には、保護層が形成されることを特徴とする請求項１６に記載の装置。
【請求項１８】
前記導電性材質は、金属、合金、金属化合物、炭素の中の少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項１５に記載の装置。
【請求項１９】
少なくとも１つの単位放電セルを含むフラットパネルディスプレイ装置であって、
上部基板及び下部基板と、
前記上部基板と前記下部基板とを支持しかつ互いに離間させておくための１若しくは複数の第１の隔壁部材と、
前記第１の隔壁部材の内部に設けられた状態で、前記単位放電セルの放電スペース内に電界を発生させる電極とを含み、
隣り合う単位放電セルに両側面が接している特定の第１の隔壁部材が、前記隣り合う単位放電セルに共通する電極であることを特徴とする装置。
【請求項２０】
前記特定の第１の隔壁部材の断面は、円形、楕円形、多角形の中の少なくとも１つ、または円形、楕円形、多角形を任意にカットした一部で構成される図形の中の少なくとも１つであることを特徴とする請求項１９に記載の装置。
【請求項２１】
前記上部基板と前記下部基板とを支持しかつ互いに離間させておくための、前記第１の隔壁部材に垂直に配列された１若しくは複数の第２の隔壁部材をさらに含むことを特徴とする請求項１９に記載の装置。
【請求項２２】
前記第２の隔壁部材は、連続した棒または点の形状であることを特徴とする請求項２１に記載の装置。
【請求項２３】
前記連続した棒の断面形状は、四角形、円形または環状のうちの少なくとも１つを含み、前記連続した点の形状は、球形、多角面体のうちの少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項２２に記載の装置。
【請求項２４】
前記第２の隔壁部材には、電極が形成されることを特徴とする請求項２１に記載の装置。
【請求項２５】
前記電界により形成されたプラズマによって励起されて可視光線を放出する蛍光体を、さらに含むことを特徴とする請求項１９に記載の装置。
【請求項２６】
前記第１の隔壁部材に対して垂直方向に配列された第２の隔壁部材をさらに含み、
前記蛍光体は、前記第１の隔壁部材及び前記第２の隔壁部材のうちの少なくとも１つに形成されることを特徴とする請求項２５に記載の装置。
【請求項２７】
前記第１及び第２の隔壁部材は、絶縁性物質からなることを特徴とする請求項２１に記載の装置
【請求項２８】
前記絶縁性物質は、ガラスまたはセラミックを含むことを特徴とする請求項２７に記載の装置。
【請求項２９】
前記蛍光体は、前記上部基板及び下部基板のうちの少なくとも１つの上に形成されることを特徴とする請求項２５に記載の装置。
【請求項３０】
前記第１の隔壁部材に、溝が形成されていることを特徴とする請求項１９に記載の装置
【請求項３１】
前記第１の隔壁部材と該第１の隔壁部材に含まれた電極との間のスペースは、空気または誘電体で満たされることを特徴とする請求項１９に記載の装置。
【請求項３２】
前記第１の隔壁部材上には、誘電体層が形成されることを特徴とする請求項１９に記載の装置。
【請求項３３】
前記電極は、前記第１の隔壁部材の内部に挿入される金属棒であることを特徴とする請求項１９に記載の装置。
【請求項３４】
少なくとも１つの単位放電セルを含むフラットパネルディスプレイ装置であって、
前記単位放電セルの放電スペースを形成する上部基板及び下部基板と、
前記上部基板と前記下部基板とを支持しかつ互いに離間させつつ前記放電スペース内に電界を発生させる第１の隔壁部材とを含み、
前記第１の隔壁部材には、前記放電スペース内に放電ガスを円滑に供給するための溝が形成されていることを特徴とする装置。
【請求項３５】
前記上部基板と前記下部基板とを支持しかつ互いに離間させておくための、前記第１の隔壁部材に垂直に配列された１若しくは複数の第２の隔壁部材をさらに含むことを特徴とする請求項３４に記載の装置。
【請求項３６】
第２の隔壁部材は、連続した棒または点の形状であることを特徴とする請求項３５に記載の装置。
【請求項３７】
前記連続した棒の断面形状は、四角形、円形または環状のうちの少なくとも１つを含み、前記連続した点の形状は、球形、多角面体のうちの少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項３６に記載の装置。
【請求項３８】
前記第２の隔壁部材には、電極が形成されることを特徴とする請求項３５に記載の装置。
【請求項３９】
前記第１の隔壁部材の材質は導電性材質の被膜層を含み、前記第２の隔壁部材の材質は絶縁性材質を含むことを特徴とする請求項３５に記載の装置。
【請求項４０】
前記導電性材質は、金属、合金、金属化合物、炭素のうちの少なくとも１つを含み、前記絶縁性材質は、ガラス、セラミックのうちの少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項３９に記載の装置。
【請求項４１】
前記電界により形成されたプラズマによって励起されて可視光線を放出する蛍光体を、さらに含むことを特徴とする請求項３４に記載の装置。
【請求項４２】
前記蛍光体は、前記上部基板及び下部基板のうちの少なくとも１つ上に形成されることを特徴とする請求項４１に記載の装置。
【請求項４３】
前記上部基板と前記下部基板とを支持しかつ互いに離間させておくための、前記第１の隔壁部材に垂直に配列された１若しくは複数の第２の隔壁部材をさらに含み、
前記蛍光体は、前記第１の隔壁部材及び前記第２の隔壁部材のうちの少なくとも１つに形成されることを特徴とする請求項４１に記載の装置。
【請求項４４】
前記第１の隔壁部材上には、誘電体層が形成されることを特徴とする請求項３４に記載の装置。
【請求項４５】
少なくとも１つの単位放電セルを含み、該単位放電セルの放電スペースは上部基板と下部基板との間に位置するような、フラットパネルディスプレイ装置を製造する方法であって、
（ａ）標準基板上に複数の電極を形成するステップと、
（ｂ）前記電極を含むように前記標準基板をカットするステップと、
（ｃ）前記カットされた電極を前記下部基板と前記上部基板の間に挿入するステップとを含むことを特徴とするフラットパネルディスプレイ装置の製造方法。
【請求項４６】
前記ステップ（ａ）において、前記電極は、前記標準基板の両側または片側に形成されることを特徴とする請求項４５に記載の装置の製造方法。
【請求項４７】
前記ステップ（ａ）において、前記標準基板の両側または片側に形成された電極上に、誘電体層が形成されることを特徴とする請求項４６に記載の装置の製造方法。
【請求項４８】
前記ステップ（ａ）において、前記標準基板の両側または片側上の前記誘電体層上に、保護膜層が形成されることを特徴とする請求項４７に記載の装置の製造方法。
【請求項４９】
前記ステップ（ｂ）において、
前記電極をカットすることによって前記標準基板の片側に形成された電極が得られる場合には、前記電極がカットされた電極は、垂直方向に前記標準基板層、前記電極層の順に積層された第１の積層構造を有し、
前記電極をカットすることによって前記標準基板の両側に形成された電極が得られる場合には、前記電極がカットされた電極は、垂直方向に前記電極層、前記標準基板層、前記電極層の順に積層された第２の積層構造を有することを特徴とする請求項４５に記載の装置の製造方法。
【請求項５０】
前記第１の積層構造は、垂直方向に前記標準基板層、前記電極層、誘電体層の順に積層された構造であり、
前記第２の積層構造は、垂直方向に誘電体層、前記電極層、前記標準基板層、前記電極層、誘電体層の順に積層された構造であることを特徴とする請求項４９に記載の装置の製造方法。
【請求項５１】
前記第１の積層構造は、垂直方向に前記標準基板層、前記電極層、前記誘電体層、保護膜層の順に積層された構造であり、
前記第２の積層構造は、垂直方向に保護膜層、前記誘電体層、前記電極層、前記標準基板層、前記電極層、前記誘電体層、保護膜層の順に積層された構造であることを特徴とする請求項５０に記載の装置の製造方法。
【請求項５２】
前記ステップ（ｂ）は、ダイヤモンドまたはタングステン合金でできた鋸刃、高圧ウォータージェットカッティング法、またはレ一ザカッティング法によって行われることを特徴とする請求項５１に記載の製造方法。
【請求項５３】
前記ステップ（ｃ）において、前記第１及び第２の積層構造内に含まれる前記標準基板層が、前記下部基板と前記上部基板との間で支持体として機能することを特徴とする請求項５１に記載の装置の製造方法。
【請求項５４】
前記ステップ（ｃ）において、前記第１及び第２の積層構造が、前記下部基板と上部基板の間に挿入されることを特徴とする請求項５１に記載の装置の製造方法。
【請求項５５】
前記ステップ（ｃ）において、前記第１及び第２の積層構造を、水平方向に倒して前記下部基板と上部基板の間に挿入することを特徴とする請求項５４に記載の装置の製造方法。
【請求項５６】
前記ステップ（ｃ）において、前記第１の積層構造構造は、前記第１の積層構造の片側のみが前記単位放電セルに接している第１の位置で、前記単位放電セルの第１の支持体として機能し、前記第２の積層構造は、前記第２の積層構造の両側が前記単位放電セルに接している第２の位置で、前記単位放電セルの第２の支持体として機能することを特徴とする請求項５５に記載の装置の製造方法。
【請求項５７】
前記ステップ（ｃ）において、前記各カットされた電極は棒形状であることを特徴とする請求項４５に記載の装置の製造方法。
【請求項５８】
前記カットされた電極に垂直になるように、隔壁部材を前記下部基板と前記上部基板の間に挿入するステップをさらに含むことを特徴とする請求項５７に記載の装置の製造方法。
【請求項５９】
前記下部基板と前記上部基板とを封止材で封止するステップをさらに含むことを特徴とする請求項５８に記載の装置の製造方法。
【請求項１】
少なくとも１つの単位放電セルを含むフラットパネルディスプレイ装置であって、
上部基板及び下部基板と、
前記上部基板と前記下部基板とを支持しかつ互いに離間させておくための１若しくは複数の第１の隔壁部材と、
前記単位放電セルの放電スペース内に電界を発生させるために、前記第１の隔壁部材上に形成された一対の電極とを含み、
前記一対の電極は、前記第１の隔壁部材の全ての側面のうち前記放電スペースと接する１若しくは複数の側面上に形成され、前記一対の電極は、互いに対向し、
前記第１の隔壁部材の内部に内部スペースが形成されていることを特徴とする装置。
【請求項２】
前記スペースを電力伝達ラインが通過するようにすることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
少なくとも１つの単位放電セルを含むフラットパネルディスプレイ装置であって、
上部基板及び下部基板と、
前記上部基板と前記下部基板とを支持しかつ互いに離間させておくための１若しくは複数の第１の隔壁部材と、
前記単位放電セルの放電スペース内に電界を発生させるために、前記第１の隔壁部材上に形成された一対の電極とを含み、
前記一対の電極は、前記第１の隔壁部材の全ての側面のうち前記放電スペースと接する１若しくは複数の側面上に形成され、前記一対の電極は、互いに対向し、
前記第１の隔壁部材に、１若しくは複数の溝が形成されていることを特徴とする装置。
【請求項４】
前記溝は、前記放電スペース内に放電ガスを円滑に供給するためのガス通路であることを特徴とする請求項３に記載の装置。
【請求項５】
前記上部基板と前記下部基板とを支持しかつ互いに離間させておくための、前記第１の隔壁部材に垂直に配列された１若しくは複数の第２の隔壁部材をさらに含むことを特徴とする請求項１または３に記載の装置。
【請求項６】
前記第２の隔壁部材は、連続した棒または点の形状であることを特徴とする請求項５に記載の装置。
【請求項７】
前記連続した棒の断面形状は、四角形、円形または環状のうちの少なくとも１つを含み、前記連続した点の形状は、球形、多角面体のうちの少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記第２の隔壁部材には、電極が形成されることを特徴とする請求項５に記載の装置。
【請求項９】
前記電界により形成されたプラズマによって励起されて可視光線を放出する蛍光体をさらに含むことを特徴とする請求項５に記載の装置。
【請求項１０】
前記蛍光体は、前記上部基板及び下部基板のうちの少なくとも１つの上に形成されることを特徴とする請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
前記蛍光体は、前記第１の隔壁部材及び前記第２の隔壁部材のうちの少なくとも１つに形成されることを特徴とする請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
前記第１及び第２の隔壁部材の材質は、絶縁性物質からなることを特徴とする請求項５に記載の装置
【請求項１３】
前記絶縁性物質は、ガラスまたはセラミックを含むことを特徴とする請求項１２に記載の装置。
【請求項１４】
前記第１の隔壁部と前記第２の隔壁部材とは、互いに交差することを特徴とする請求項５に記載の装置
【請求項１５】
前記電極は、前記第１の隔壁部材上に形成された導電性材質の被膜層であることを特徴とする請求項１または３に記載の装置。
【請求項１６】
前記電極上には、誘電体層が形成されることを特徴とする請求項１５に記載の装置。
【請求項１７】
前記誘電体層上には、保護層が形成されることを特徴とする請求項１６に記載の装置。
【請求項１８】
前記導電性材質は、金属、合金、金属化合物、炭素の中の少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項１５に記載の装置。
【請求項１９】
少なくとも１つの単位放電セルを含むフラットパネルディスプレイ装置であって、
上部基板及び下部基板と、
前記上部基板と前記下部基板とを支持しかつ互いに離間させておくための１若しくは複数の第１の隔壁部材と、
前記第１の隔壁部材の内部に設けられた状態で、前記単位放電セルの放電スペース内に電界を発生させる電極とを含み、
隣り合う単位放電セルに両側面が接している特定の第１の隔壁部材が、前記隣り合う単位放電セルに共通する電極であることを特徴とする装置。
【請求項２０】
前記特定の第１の隔壁部材の断面は、円形、楕円形、多角形の中の少なくとも１つ、または円形、楕円形、多角形を任意にカットした一部で構成される図形の中の少なくとも１つであることを特徴とする請求項１９に記載の装置。
【請求項２１】
前記上部基板と前記下部基板とを支持しかつ互いに離間させておくための、前記第１の隔壁部材に垂直に配列された１若しくは複数の第２の隔壁部材をさらに含むことを特徴とする請求項１９に記載の装置。
【請求項２２】
前記第２の隔壁部材は、連続した棒または点の形状であることを特徴とする請求項２１に記載の装置。
【請求項２３】
前記連続した棒の断面形状は、四角形、円形または環状のうちの少なくとも１つを含み、前記連続した点の形状は、球形、多角面体のうちの少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項２２に記載の装置。
【請求項２４】
前記第２の隔壁部材には、電極が形成されることを特徴とする請求項２１に記載の装置。
【請求項２５】
前記電界により形成されたプラズマによって励起されて可視光線を放出する蛍光体を、さらに含むことを特徴とする請求項１９に記載の装置。
【請求項２６】
前記第１の隔壁部材に対して垂直方向に配列された第２の隔壁部材をさらに含み、
前記蛍光体は、前記第１の隔壁部材及び前記第２の隔壁部材のうちの少なくとも１つに形成されることを特徴とする請求項２５に記載の装置。
【請求項２７】
前記第１及び第２の隔壁部材は、絶縁性物質からなることを特徴とする請求項２１に記載の装置
【請求項２８】
前記絶縁性物質は、ガラスまたはセラミックを含むことを特徴とする請求項２７に記載の装置。
【請求項２９】
前記蛍光体は、前記上部基板及び下部基板のうちの少なくとも１つの上に形成されることを特徴とする請求項２５に記載の装置。
【請求項３０】
前記第１の隔壁部材に、溝が形成されていることを特徴とする請求項１９に記載の装置
【請求項３１】
前記第１の隔壁部材と該第１の隔壁部材に含まれた電極との間のスペースは、空気または誘電体で満たされることを特徴とする請求項１９に記載の装置。
【請求項３２】
前記第１の隔壁部材上には、誘電体層が形成されることを特徴とする請求項１９に記載の装置。
【請求項３３】
前記電極は、前記第１の隔壁部材の内部に挿入される金属棒であることを特徴とする請求項１９に記載の装置。
【請求項３４】
少なくとも１つの単位放電セルを含むフラットパネルディスプレイ装置であって、
前記単位放電セルの放電スペースを形成する上部基板及び下部基板と、
前記上部基板と前記下部基板とを支持しかつ互いに離間させつつ前記放電スペース内に電界を発生させる第１の隔壁部材とを含み、
前記第１の隔壁部材には、前記放電スペース内に放電ガスを円滑に供給するための溝が形成されていることを特徴とする装置。
【請求項３５】
前記上部基板と前記下部基板とを支持しかつ互いに離間させておくための、前記第１の隔壁部材に垂直に配列された１若しくは複数の第２の隔壁部材をさらに含むことを特徴とする請求項３４に記載の装置。
【請求項３６】
第２の隔壁部材は、連続した棒または点の形状であることを特徴とする請求項３５に記載の装置。
【請求項３７】
前記連続した棒の断面形状は、四角形、円形または環状のうちの少なくとも１つを含み、前記連続した点の形状は、球形、多角面体のうちの少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項３６に記載の装置。
【請求項３８】
前記第２の隔壁部材には、電極が形成されることを特徴とする請求項３５に記載の装置。
【請求項３９】
前記第１の隔壁部材の材質は導電性材質の被膜層を含み、前記第２の隔壁部材の材質は絶縁性材質を含むことを特徴とする請求項３５に記載の装置。
【請求項４０】
前記導電性材質は、金属、合金、金属化合物、炭素のうちの少なくとも１つを含み、前記絶縁性材質は、ガラス、セラミックのうちの少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項３９に記載の装置。
【請求項４１】
前記電界により形成されたプラズマによって励起されて可視光線を放出する蛍光体を、さらに含むことを特徴とする請求項３４に記載の装置。
【請求項４２】
前記蛍光体は、前記上部基板及び下部基板のうちの少なくとも１つ上に形成されることを特徴とする請求項４１に記載の装置。
【請求項４３】
前記上部基板と前記下部基板とを支持しかつ互いに離間させておくための、前記第１の隔壁部材に垂直に配列された１若しくは複数の第２の隔壁部材をさらに含み、
前記蛍光体は、前記第１の隔壁部材及び前記第２の隔壁部材のうちの少なくとも１つに形成されることを特徴とする請求項４１に記載の装置。
【請求項４４】
前記第１の隔壁部材上には、誘電体層が形成されることを特徴とする請求項３４に記載の装置。
【請求項４５】
少なくとも１つの単位放電セルを含み、該単位放電セルの放電スペースは上部基板と下部基板との間に位置するような、フラットパネルディスプレイ装置を製造する方法であって、
（ａ）標準基板上に複数の電極を形成するステップと、
（ｂ）前記電極を含むように前記標準基板をカットするステップと、
（ｃ）前記カットされた電極を前記下部基板と前記上部基板の間に挿入するステップとを含むことを特徴とするフラットパネルディスプレイ装置の製造方法。
【請求項４６】
前記ステップ（ａ）において、前記電極は、前記標準基板の両側または片側に形成されることを特徴とする請求項４５に記載の装置の製造方法。
【請求項４７】
前記ステップ（ａ）において、前記標準基板の両側または片側に形成された電極上に、誘電体層が形成されることを特徴とする請求項４６に記載の装置の製造方法。
【請求項４８】
前記ステップ（ａ）において、前記標準基板の両側または片側上の前記誘電体層上に、保護膜層が形成されることを特徴とする請求項４７に記載の装置の製造方法。
【請求項４９】
前記ステップ（ｂ）において、
前記電極をカットすることによって前記標準基板の片側に形成された電極が得られる場合には、前記電極がカットされた電極は、垂直方向に前記標準基板層、前記電極層の順に積層された第１の積層構造を有し、
前記電極をカットすることによって前記標準基板の両側に形成された電極が得られる場合には、前記電極がカットされた電極は、垂直方向に前記電極層、前記標準基板層、前記電極層の順に積層された第２の積層構造を有することを特徴とする請求項４５に記載の装置の製造方法。
【請求項５０】
前記第１の積層構造は、垂直方向に前記標準基板層、前記電極層、誘電体層の順に積層された構造であり、
前記第２の積層構造は、垂直方向に誘電体層、前記電極層、前記標準基板層、前記電極層、誘電体層の順に積層された構造であることを特徴とする請求項４９に記載の装置の製造方法。
【請求項５１】
前記第１の積層構造は、垂直方向に前記標準基板層、前記電極層、前記誘電体層、保護膜層の順に積層された構造であり、
前記第２の積層構造は、垂直方向に保護膜層、前記誘電体層、前記電極層、前記標準基板層、前記電極層、前記誘電体層、保護膜層の順に積層された構造であることを特徴とする請求項５０に記載の装置の製造方法。
【請求項５２】
前記ステップ（ｂ）は、ダイヤモンドまたはタングステン合金でできた鋸刃、高圧ウォータージェットカッティング法、またはレ一ザカッティング法によって行われることを特徴とする請求項５１に記載の製造方法。
【請求項５３】
前記ステップ（ｃ）において、前記第１及び第２の積層構造内に含まれる前記標準基板層が、前記下部基板と前記上部基板との間で支持体として機能することを特徴とする請求項５１に記載の装置の製造方法。
【請求項５４】
前記ステップ（ｃ）において、前記第１及び第２の積層構造が、前記下部基板と上部基板の間に挿入されることを特徴とする請求項５１に記載の装置の製造方法。
【請求項５５】
前記ステップ（ｃ）において、前記第１及び第２の積層構造を、水平方向に倒して前記下部基板と上部基板の間に挿入することを特徴とする請求項５４に記載の装置の製造方法。
【請求項５６】
前記ステップ（ｃ）において、前記第１の積層構造構造は、前記第１の積層構造の片側のみが前記単位放電セルに接している第１の位置で、前記単位放電セルの第１の支持体として機能し、前記第２の積層構造は、前記第２の積層構造の両側が前記単位放電セルに接している第２の位置で、前記単位放電セルの第２の支持体として機能することを特徴とする請求項５５に記載の装置の製造方法。
【請求項５７】
前記ステップ（ｃ）において、前記各カットされた電極は棒形状であることを特徴とする請求項４５に記載の装置の製造方法。
【請求項５８】
前記カットされた電極に垂直になるように、隔壁部材を前記下部基板と前記上部基板の間に挿入するステップをさらに含むことを特徴とする請求項５７に記載の装置の製造方法。
【請求項５９】
前記下部基板と前記上部基板とを封止材で封止するステップをさらに含むことを特徴とする請求項５８に記載の装置の製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【公表番号】特表２０１０−５２６４１１（Ｐ２０１０−５２６４１１Ａ）
【公表日】平成２２年７月２９日（２０１０．７．２９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−５０６０７９（Ｐ２０１０−５０６０７９）
【出願日】平成２０年４月３０日（２００８．４．３０）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＫＲ２００８／００２４７５
【国際公開番号】ＷＯ２００８／１３６５９４
【国際公開日】平成２０年１１月１３日（２００８．１１．１３）
【出願人】（５０９３０２５６０）エスエスシーピーカンパニーリミテッド (1)
【Ｆターム（参考）】
【公表日】平成２２年７月２９日（２０１０．７．２９）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年４月３０日（２００８．４．３０）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＫＲ２００８／００２４７５
【国際公開番号】ＷＯ２００８／１３６５９４
【国際公開日】平成２０年１１月１３日（２００８．１１．１３）
【出願人】（５０９３０２５６０）エスエスシーピーカンパニーリミテッド (1)
【Ｆターム（参考）】
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