光学ガラス
【課題】紫外域において、高屈折率、高透過率を有する光学ガラスを提供する。
【解決手段】Ｓｉ、Ａｌ、ＣａおよびＯを含有するガラスであって、Ｓｉを陽イオン％で７％以上９３％以下、Ａｌを陽イオン％で２％以上５７％以下、Ｃａを陽イオン％で２％以上５２％以下含有し、Ｓｉ、Ａｌ、Ｃａの合計の陽イオン％が、９９．５％以上であり、ＦｅおよびＮａの含有量がそれぞれ０．０１ｗｔｐｐｍ以下であり、かつ波長２４８ｎｍの光に対する透過率が厚さ５ｍｍで１６．９％以上である光学ガラス。
【解決手段】Ｓｉ、Ａｌ、ＣａおよびＯを含有するガラスであって、Ｓｉを陽イオン％で７％以上９３％以下、Ａｌを陽イオン％で２％以上５７％以下、Ｃａを陽イオン％で２％以上５２％以下含有し、Ｓｉ、Ａｌ、Ｃａの合計の陽イオン％が、９９．５％以上であり、ＦｅおよびＮａの含有量がそれぞれ０．０１ｗｔｐｐｍ以下であり、かつ波長２４８ｎｍの光に対する透過率が厚さ５ｍｍで１６．９％以上である光学ガラス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、紫外線および真空紫外線を光源とする装置に用いられる光学ガラスに関する。特にＫｒＦエキシマレーザ（波長２４８ｎｍ）などの紫外線から真空紫外線までに用いるレンズ、プリズム、窓材などの光学部品として用いられる光学ガラスに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＬＳＩの高集積化に伴い、集積回路をウェハー上に、より微細に描画する光リソグラフィ技術の開発が求められている。この手段としては、より短波長の光源を用いるか、投影レンズのＮ．Ａ．を大きくすることが考えられる。短波長の光源としては、Ｆ2レーザー（波長１５７ｎｍ）やＥＵＶ（波長１３ｎｍ）が挙げられる。また、現行のＡｒＦエキシマレーザを用い、投影レンズとウェハーの間に超純水などを満たす、液浸露光技術も有力で注目されている。
【０００３】
従来、紫外線から真空紫外線を用いる装置に使用されるレンズ、プリズム、窓材などの光学部品には、高透過性、高均質性、高耐光性、低光分散および低熱膨張係数などの特性を併せ持つ、合成石英ガラスや蛍石（ＣａＦ2）が主に用いられてきた。
【０００４】
合成石英ガラスは、近赤外域から真空紫外域にわたる広範囲な波長域で透明であり、波長１５７ｎｍにおいて、厚さ１ｃｍで９５％の透過率を有する。
蛍石は合成石英ガラスよりも短波長まで透過し、波長１５７ｎｍにおいて、厚さ１０ｍｍで９９％より大きな透過率を有する。
【０００５】
また、特許文献１には、ＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3、Ｂ2Ｏ3、ＣａＯを含有し、鉄分の含有量がＦｅとして５０ｐｐｍ以下としたガラス材が開示されている。このガラス材の主な目的は、光触媒フィルタなどに使用される光触媒の担持用であり、波長３６５ｎｍでの紫外線透過特性の向上を求めたものである。高純度原料を用いるとともに、ガラス材の製造工程における不純物の混入を避け、さらに還元剤を用いることで、波長３１０から４１０ｎｍ付近の透過率を向上させている。還元剤の作用は、波長３６５ｎｍ付近に吸収を持つＦｅ3+イオンを、波長８５０ｎｍ付近に吸収を持つＦｅ2+イオンに還元させることである。
【０００６】
しかしながら、波長２４８ｎｍにおける屈折率は、従来の露光装置に使用されている合成石英ガラスで１．５１、蛍石で１．４７である。さらに、結晶である蛍石には、真性複屈折の問題が存在する。
【０００７】
これらの問題点を鑑み、例えば非特許文献１では、液浸露光用の高屈折率光学部材として単結晶のＭｇＯ、単結晶および多結晶のＭｇＡｌ2Ｏ4の評価が行われている。
【特許文献１】特開２００１−６４０３８号公報
【非特許文献１】Ｊｏｈｎ Ｈ．Ｂｕｒｎｅｔｔ，Ｓｉｍｏｎ Ｇ．Ｋａｐｌａｎ，Ｅｒｉｃ Ｌ．Ｓｈｉｒｌｅｙ，Ｐａｕｌ Ｊ．Ｔｏｍｐｋｉｎｓ，ａｎｄ ＪａｍｅｓＥ．Ｗｅｂｂ，”Ｈｉｇｈ−Ｉｎｄｅｘ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ ｆｏｒ １９３ ｎｍＩｍｍｅｒｓｉｏｎ Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ，”Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ ＳＰＩＥ５７５４−５７ （２００５年）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
非特許文献１での評価では、波長２４８ｎｍでの単結晶のＭｇＯの屈折率は約１．８２であり、また、単結晶のＭｇＡｌ2Ｏ4では約１．７７であり、紫外線波長域用の光学部材として充分な屈折率を有している。また、波長２４８ｎｍでの透過率は、単結晶のＭｇＯでは厚さ９ｍｍで約１８％、単結晶のＭｇＡｌ2Ｏ4では厚さ３．４ｍｍで約８０％、多結晶のＭｇＡｌ2Ｏ4では厚さ２．７ｍｍで約７２％である。
【０００９】
しかしながら、波長２５３．７ｎｍでの真性複屈折は、単結晶のＭｇＯで１６．０±０．５ｎｍ／ｃｍ（外挿値）、単結晶のＭｇＡｌ2Ｏ4で１４．６±０．１ｎｍ／ｃｍ（外挿値）であり、ＣａＦ2の−０．５５±０．０７ｎｍ／ｃｍよりもはるかに大きな値である。
【００１０】
特許文献１では、波長３６５ｎｍの紫外線透過性の向上のために、ガラス材中の鉄分の含有量を５０ｐｐｍ以下としている。ガラス中のＦｅ含有量を１．０ｐｐｍとし、還元剤として不純物を０．１ｐｐｍ含有するＳｉを０．０１重量％使用した場合において、波長２４８ｎｍ付近における厚さ１ｍｍの透過率は約５０％である。しかしながら、屈折率の点で十分ではない。
【００１１】
本発明は、この様な背景技術に鑑みてなされたものであり、紫外域において、高屈折率、高透過率を有し、かつ真性複屈折を示さない光学ガラスを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明者らは、紫外域において、高屈折率、高透過率および高均質性を有し、且つ真性複屈折が問題とならない光学部材を新規に探索し、その結果、ＳｉＯ2およびＡｌ2Ｏ3を含有し、これらにＣａＯまたはＣａＯとＭｇＯを添加した光学ガラスが有効であることを見出した。
【００１３】
本発明の第一の光学ガラスは、Ｓｉ、Ａｌ、ＣａおよびＯを含有するガラスであって、Ｓｉを陽イオン％で７％以上９３％以下、Ａｌを陽イオン％で２％以上５７％以下、Ｃａを陽イオン％で２％以上５２％以下含有し、Ｓｉ、Ａｌ、Ｃａの合計の陽イオン％が、９９．５％以上であり、ＦｅおよびＮａの含有量がそれぞれ０．０１ｗｔｐｐｍ以下であり、かつ波長２４８ｎｍの光に対する透過率が厚さ５ｍｍで１６．９％以上であることを特徴とする。
【００１４】
本発明の第２の光学ガラスは、Ｓｉ、Ａｌ、Ｃａ、ＭｇおよびＯを含有するガラスであって、Ｓｉを陽イオン％で４０％以上６０％以下、Ａｌを陽イオン％で１０％以上３５％以下、ＣａとＭｇを合わせて陽イオン％で２０％以上３５％以下含有し、Ｓｉ、Ａｌ、Ｃａ、Ｍｇの合計の陽イオン％が、９９．５％以上であり、ＦｅおよびＮａの含有量がそれぞれ０．０１ｗｔｐｐｍ以下であり、かつ波長２４８ｎｍの光に対する透過率が厚さ５ｍｍで６２％以上であることを特徴とする。
【００１５】
前記光学ガラスは、ＯＨ基の含有量が５０００ｗｔｐｐｍ以下であることが好ましい。前記光学ガラスは、波長２４８ｎｍの光に対する屈折率が１．７以上であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明は、紫外域において、高屈折率、高透過率を有し、かつ真性複屈折を示さない光学ガラスを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明を詳細に説明する。
本発明の光学ガラスは、紫外線の波長領域において、合成石英ガラスおよび蛍石に比較して高屈折率であるとともに高透過性を有している。
【００１８】
酸化物について、バンドギャップと可視光領域の屈折率の間に相関があることが知られている。具体的には、屈折率ｎとバンドギャップＥg（ｅＶ）の間に、
【００１９】
【数１】
【００２０】
なる関係があることが、経験的に知られている（Ｓ．Ｈ．Ｗｅｍｐｌｅ ａｎｄ Ｍ．ＤｉＤｏｍｅｎｉｃｏ，Ｊｒ．，“Ｏｘｙｇｅｎ−ｏｃｔａｈｅｄｒａ ｆｅｒｒｏｅｌｅｃｔｒｉｃｓ： ＩＩ Ｅｌｅｃｔｒｏ−ｏｐｔｉｃａｌ ａｎｄ ｎｏｎｌｉｎｅａｒ−ｏｐｔｉｃａｌ ｄｅｖｉｃｅ ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ，” Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．，ｖｏｌ．４０，ｐｐ．７３５−７５２，１９６９年２月参照）。
【００２１】
紫外線から真空紫外線領域においても同様な相関関係が存在すると仮定する。この場合、合成石英ガラス（Ｅg＝９ｅＶ程度，仮想温度により変動）よりもバンドギャップが狭く、且つ、波長２４８ｎｍのエネルギーに当たる５．０ｅＶよりもバンドギャップが広い酸化物材料を用いる。すると、高屈折率と高透過率の両特性を有するガラス材料を得ることができると考えられる。例えば、前述のように、ＭｇＯのバンドギャップは７．６ｅＶ、ＭｇＡｌ2Ｏ4で７．７５ｅＶであり、この条件に当てはまっている。
【００２２】
蛍石のようなフッ化物系の材料はバンドギャップが広いため、短波長まで良好に透過する。しかし、フッ化物イオンの電子分極率（１．０４×１０-24ｃｍ3）が酸化物イオンの電子分極率（３．８８×１０-24ｃｍ3）よりも小さいために、高屈折率化の上では望ましくない。
【００２３】
このような仮定を元に、本発明者らが鋭意検討を行った。その結果、ＳｉＯ2にＡｌ2Ｏ3（Ｅg＝８．７ｅＶ）、ＣａＯ（Ｅg＝６．８ｅＶ）およびＭｇＯ（Ｅg＝７．６ｅＶ）を添加した、上記ＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3−ＣａＯ系およびＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3−ＣａＯ−ＭｇＯ系ガラスが見出された。これらのガラス系では高純度化の検討が不十分であった。
【００２４】
前述したように、波長２４８ｎｍにおける屈折率は、合成石英ガラスで１．５１、蛍石で１．４７であるが、上記ＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3−ＣａＯ系ガラスは、波長２４８ｎｍにおける屈折率が１．６である。
【００２５】
本発明の第一の光学ガラスは、Ｓｉ、Ａｌ、ＣａおよびＯを含有するガラスであって、Ｓｉを陽イオン％で７％以上９３％以下、Ａｌを陽イオン％で２％以上５７％以下、Ｃａを陽イオン％で２％以上５２％以下含有し、Ｓｉ、Ａｌ、Ｃａの陽イオン％が９９．５％以上であり、ＦｅおよびＮａの含有量がそれぞれ０．０１ｗｔｐｐｍ以下であり、かつ波長２４８ｎｍの光に対する透過率が厚さ５ｍｍで１５％以上であることが好ましい。
【００２６】
本発明の第二の光学ガラスは、Ｓｉ、Ａｌ、Ｃａ、ＭｇおよびＯを含有するガラスであって、Ｓｉを陽イオン％で４０％以上６０％以下、Ａｌを陽イオン％で１０％以上３５％以下、ＣａとＭｇを合わせて陽イオン％で２０％以上３５％以下含有し、Ｓｉ、Ａｌ、Ｃａ、Ｍｇの陽イオン％が９９．５％以上であり、ＦｅおよびＮａの含有量がそれぞれ０．０１ｗｔｐｐｍ以下であり、かつ波長２４８ｎｍの光に対する透過率が厚さ５ｍｍで６０％以上であることことが好ましい。
【００２７】
光学ガラスには、Ｓｉを含有する。
第一の光学ガラスに含有されるＳｉの含有量は、陽イオン％で７％以上９３％以下、好ましくは１０％以上９０％以下が望ましい。なお、第一の光学ガラスでいう、Ｓｉの陽イオン％とは、Ｓｉの陽イオンと、Ａｌの陽イオン、Ｃａの陽イオンの数の合計に対するＳｉの陽イオンのイオン数である。同様に、Ａｌの陽イオン％とは、Ｓｉの陽イオンと、Ａｌの陽イオン、Ｃａの陽イオンの数の合計に対するＡｌの陽イオンのイオン数である。また同様に、Ｃａの陽イオン％とは、Ｓｉの陽イオンと、Ａｌの陽イオン、Ｃａの陽イオンの数の合計に対するＣａの陽イオンのイオン数である。
【００２８】
第二の光学ガラスに含有されるＳｉの含有量は、陽イオン％で４０％以上６０％以下、好ましくは４５％以上５５％以下が望ましい。
なお、第二の光学ガラスでいう、Ｓｉの陽イオン％とは、Ｓｉの陽イオンと、Ａｌの陽イオン、Ｃａの陽イオン、Ｍｇの陽イオンの数の合計に対するＳｉの陽イオンのイオン数である。
【００２９】
同様に、Ａｌの陽イオン％とは、Ｓｉの陽イオンと、Ａｌの陽イオン、Ｃａの陽イオン，Ｍｇの陽イオンの数の合計に対するＡｌの陽イオンのイオン数である。
また同様に、Ｃａの陽イオン％とは、Ｓｉの陽イオンと、Ａｌの陽イオン、Ｃａの陽イオン，Ｍｇの陽イオンの数の合計に対するＣａの陽イオンのイオン数である。
【００３０】
加えて、Ｍｇの陽イオン％とは、Ｓｉの陽イオンと、Ａｌの陽イオン、Ｃａの陽イオン，Ｍｇの陽イオンの数の合計に対するＭｇの陽イオンのイオン数である。
ＳｉＯ2は、単独でもガラスを形成することができ、一般的に最も良く用いられるガラス成分である。前述したように、Ｅgが約９ｅＶであり、紫外線および真空紫外線に対して非常に優れた透過性および耐光性を示す。一方で屈折率は波長２４８ｎｍにおいて１．５１であり、小さい。したがって、より短波長の光を透過させるためには、含有量を増加させることが好ましいが、屈折率向上の上では不利となる。また、一般的に含有量が多いほどガラス化し易く、熱膨張係数が小さくなり、ガラスとしての安定性が向上するが、粘性が高くなるとともに融点も高くなる。このことは、溶融の際のエネルギー代が高くなることを意味するとともに、るつぼ等の容器の材質が限られ、コスト高の原因となる。したがって、Ｓｉの含有量は上記の範囲が適当である。
【００３１】
光学ガラスには、Ａｌを含有する。
第一の光学ガラスに含有されるＡｌの含有量は、陽イオン％で２％以上５７％以下、好ましくは２６％以上５２％以下が望ましい。
【００３２】
第二の光学ガラスに含有されるＡｌの含有量は、陽イオン％で１０％以上３５％以下、好ましくは１５％以上３０％以下が望ましい。
Ａｌ2Ｏ3は、単独でガラスを形成することは困難であるが、ＳｉＯ2等のいわゆるガラス形成酸化物に添加することで、化学的耐久性を向上させるガラス成分である。前述したように、Ｅgが８．７ｅＶであり、紫外線および真空紫外線の透過性が高く、また、ＳｉＯ2よりも屈折率を向上させる効果が高いため、上記の範囲の含有量とすることが好ましい。
【００３３】
光学ガラスには、ＣａまたはＣａとＭｇを含有する。
第一の光学ガラスに含有されるＣａの含有量は、陽イオン％で２％以上５２％以下、好ましくは７％以上４５％以下が望ましい。
【００３４】
第二の光学ガラスに含有されるＣａとＭｇの含有量は、ＣａとＭｇを合わせて陽イオン％で２０％以上３５％以下、好ましくは２２％以上３２％以下が望ましい。
第二の光学ガラスに含有されるＣａとＭｇの割合は、陽イオン数の比でＣａ：Ｍｇ＝３以上４以下：１以上２以下が好ましい。
【００３５】
ＣａＯおよびＭｇＯは、ガラス形成における、いわゆる修飾酸化物であり、粘性を下げる成分として使用されている。前述したように、ＣａＯのＥgが６．８ｅＶ、ＭｇＯのＥgが７．６ｅＶであり、ＫｒＦエキシマレーザー（波長２４８ｎｍ）のエネルギー５．０ｅＶよりも大きいが、合成石英ガラスにおいては、いずれも紫外線透過性を低減させる不純物として扱われている。Ｃａ−ＯおよびＭｇ−Ｏの結合エネルギーは、それぞれ、９１ｋｃａｌ／ｍｏｌおよび８８ｋｃａｌ／ｍｏｌであり、ＳｉＯ2（１５０ｋｃａｌ／ｍｏｌ）やＡｌ2Ｏ3（１１５ｋｃａｌ／ｍｏｌ）に比較して結合強度が小さくなっている。したがって、屈折率を向上させる上ではＣａ−ＯやＭｇ−Ｏの含有量を増加させることが好ましいが、逆に紫外線および真空紫外線の透過性および耐光性を高める上では、含有量を低減させることが好ましい。屈折率を向上させる効果はＣａＯの方が高いが、ＭｇＯの方が紫外線透過性は高い。したがって、ＣａまたはＣａとＭｇの含有量は上記の範囲が適当である。
【００３６】
また、第一および第二の光学ガラスに含有される不純物として、ＦｅおよびＮａの含有量がそれぞれ０．０１ｗｔｐｐｍ以下、好ましくは０．００１ｗｔｐｐｍ以下が望ましい。ｗｔｐｐｍとは光学ガラスの全重量に対するＦｅ又はＮａの重量割合である。
【００３７】
本発明の光学ガラスは、紫外線を光源とする装置に用いられるガラス製光学部材であり、同用途の合成石英ガラスおよび蛍石と同様に、紫外線領域に吸収を持つ不純物量を可能な限り少なくすることが好ましい。すなわち、高純度の原料を用い、製造工程における不純物の混入もできる限り排除することが必要である。
【００３８】
紫外線および真空紫外線透過材料の主な不純物としては、金属元素酸化物が挙げられる。
具体的な金属元素酸化物としては、例えば、ＴｉやＦｅなどの遷移金属や、ＮａやＫなどのアルカリ金属の酸化物が挙げられ、実質的に含まないことが望ましい。また、この他の金属酸化物で、バンドギャップが使用したい紫外線および真空紫外線のエネルギーに近いか、またはそれ以下の物質は、言うまでも無く、実質的に含まないことが望ましい。
【００３９】
また、第一および第二の光学ガラスに含有されるＯＨ基の含有量が５０００ｗｔｐｐｍ以下、好ましくは２０００ｗｔｐｐｍ以下が望ましい。
ＯＨ基はＣａやＭｇの周辺に存在し、ガラスの網目構造の不安定化を促進する効果がある。このことは、紫外線や真空紫外線に対する耐光性の低減につながる。したがって、その含有量は少ない方が良い。
【００４０】
上記のようなそれぞれの成分の特性から、目的とする波長や、その波長での透過率および屈折率に応じて含有量を調節することが必要である。
第一の光学ガラスは、波長２４８ｎｍの光に対する透過率が厚さ５ｍｍで１６．９％以上であることが望ましい。第二の光学ガラスは、波長２４８ｎｍの光に対する透過率が厚さ５ｍｍで６２％以上であることが望ましい。
【００４１】
また、第一および第二の光学ガラスは、波長２４８ｎｍの光に対する屈折率が１．７以上であることが望ましい。
光学ガラスの製造方法としては、前述のように、不純物の混入をできる限り排除できる方法が好ましい。具体的には、例えば、電気、アークプラズマまたは火炎により原料を溶融する方法、火炎加水分解法、直接法、ＶＡＤ法およびＭＣＶＤ法等のスート再溶融法、プラズマＣＶＤ法、ゾルゲル法等が挙げられる。言うまでもなく、いずれも高純度の原料を用いることが好ましい。
【実施例】
【００４２】
以下に本発明を実施するための最良の形態を説明するが、本発明はこれらによって何ら限定されるものではない。
実施例１
出発材料としてＣａＯ（純度９９．９９５重量％）、Ａｌ2Ｏ3（純度９９．９９８重量％）、ＳｉＯ2（純度９９．９９９重量％）の粉末を用い、それぞれを重量比で３７：２３：４０で秤量し、メノウ乳鉢のなかで十分に混合した。
【００４３】
この粉末を直径約１０ｍｍ高さ約３０ｍｍの白金製容器に充填した後、電気炉を用いて１５００℃で融解しその状態で２時間保持した後に、電気炉のヒータ出力を落として室温まで自然放冷することにより、厚さ６ｍｍ程度のガラスを得た。このガラスを研磨することにより、厚さ５ｍｍのガラスを得た。
【００４４】
蛍光Ｘ線分析法を用いて組成分析を行った結果、陽イオン％でＳｉ：Ａｌ：Ｃａ＝３７：２３：４０であった。また、Ｆｅ含有量およびＮａ含有量はそれぞれ０．０１ｗｔｐｐｍ以下であった。
【００４５】
図１は、実施例１による光学ガラスの透過率の波長依存性を示す図である。図２は、実施例１による光学ガラスの屈折率の波長依存性を示す図である。
可視紫外分光光度計を用いて、波長２４８ｎｍにおける厚さ５ｍｍのガラスの透過率を測定した結果、１６．９％であった。
【００４６】
Ｊ．Ａ．Ｗｏｏｌｌａｍ製、高速分光エリプソメーター、Ｍ−２０００Ｄを用いて、波長２４８ｎｍにおけるガラスの屈折率を測定した結果、屈折率は１．７０であった。
【００４７】
実施例２
実施例１と同様の手順でＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3−ＣａＯ−ＭｇＯ系のガラスを作製した。Ｍｇの原料としては純度９９．９９９重量％のＭｇＯを使用した。それぞれの粉末を重量比でＳｉＯ2：Ａｌ2Ｏ3：ＣａＯ：ＭｇＯ＝４２：２４：２０：１４で秤量し、メノウ乳鉢のなかで十分に混合した。電気炉で融解する際の温度は１６００℃であった。
【００４８】
蛍光Ｘ線分析法を用いて組成分析を行った結果、陽イオン％でＳｉ：Ａｌ：Ｃａ：Ｍｇ＝４２：２４：２０：１４であった。また、Ｆｅ含有量およびＮａ含有量はそれぞれ０．０１ｗｔｐｐｍ以下であった。
【００４９】
ＯＨ基濃度を測定した結果、約１４００ｗｔｐｐｍであった。
図３は、実施例２による光学ガラスの透過率の波長依存性を示す図である。図４は、実施例２による光学ガラスの屈折率の波長依存性を示す図である。
【００５０】
可視紫外分光光度計を用いて、波長２４８ｎｍにおける厚さ５ｍｍのガラスの透過率を測定した結果、６２％であった。
Ｊ．Ａ．Ｗｏｏｌｌａｍ製、高速分光エリプソメーター、Ｍ−２０００Ｄを用いて、波長２４８ｎｍにおけるガラスの屈折率を測定した結果、屈折率は１．７０であった。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明の光学ガラスは、紫外域において、高屈折率、高透過率を有するので、紫外線から真空紫外線までに用いるレンズ、プリズム、窓材などの光学部品として利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の実施例１による光学ガラスの透過率の波長依存性を示す図である。
【図２】本発明の実施例１による光学ガラスの屈折率の波長依存性を示す図である。
【図３】本発明の実施例２による光学ガラスの透過率の波長依存性を示す図である。
【図４】本発明の実施例２による光学ガラスの屈折率の波長依存性を示す図である。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、紫外線および真空紫外線を光源とする装置に用いられる光学ガラスに関する。特にＫｒＦエキシマレーザ（波長２４８ｎｍ）などの紫外線から真空紫外線までに用いるレンズ、プリズム、窓材などの光学部品として用いられる光学ガラスに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＬＳＩの高集積化に伴い、集積回路をウェハー上に、より微細に描画する光リソグラフィ技術の開発が求められている。この手段としては、より短波長の光源を用いるか、投影レンズのＮ．Ａ．を大きくすることが考えられる。短波長の光源としては、Ｆ2レーザー（波長１５７ｎｍ）やＥＵＶ（波長１３ｎｍ）が挙げられる。また、現行のＡｒＦエキシマレーザを用い、投影レンズとウェハーの間に超純水などを満たす、液浸露光技術も有力で注目されている。
【０００３】
従来、紫外線から真空紫外線を用いる装置に使用されるレンズ、プリズム、窓材などの光学部品には、高透過性、高均質性、高耐光性、低光分散および低熱膨張係数などの特性を併せ持つ、合成石英ガラスや蛍石（ＣａＦ2）が主に用いられてきた。
【０００４】
合成石英ガラスは、近赤外域から真空紫外域にわたる広範囲な波長域で透明であり、波長１５７ｎｍにおいて、厚さ１ｃｍで９５％の透過率を有する。
蛍石は合成石英ガラスよりも短波長まで透過し、波長１５７ｎｍにおいて、厚さ１０ｍｍで９９％より大きな透過率を有する。
【０００５】
また、特許文献１には、ＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3、Ｂ2Ｏ3、ＣａＯを含有し、鉄分の含有量がＦｅとして５０ｐｐｍ以下としたガラス材が開示されている。このガラス材の主な目的は、光触媒フィルタなどに使用される光触媒の担持用であり、波長３６５ｎｍでの紫外線透過特性の向上を求めたものである。高純度原料を用いるとともに、ガラス材の製造工程における不純物の混入を避け、さらに還元剤を用いることで、波長３１０から４１０ｎｍ付近の透過率を向上させている。還元剤の作用は、波長３６５ｎｍ付近に吸収を持つＦｅ3+イオンを、波長８５０ｎｍ付近に吸収を持つＦｅ2+イオンに還元させることである。
【０００６】
しかしながら、波長２４８ｎｍにおける屈折率は、従来の露光装置に使用されている合成石英ガラスで１．５１、蛍石で１．４７である。さらに、結晶である蛍石には、真性複屈折の問題が存在する。
【０００７】
これらの問題点を鑑み、例えば非特許文献１では、液浸露光用の高屈折率光学部材として単結晶のＭｇＯ、単結晶および多結晶のＭｇＡｌ2Ｏ4の評価が行われている。
【特許文献１】特開２００１−６４０３８号公報
【非特許文献１】Ｊｏｈｎ Ｈ．Ｂｕｒｎｅｔｔ，Ｓｉｍｏｎ Ｇ．Ｋａｐｌａｎ，Ｅｒｉｃ Ｌ．Ｓｈｉｒｌｅｙ，Ｐａｕｌ Ｊ．Ｔｏｍｐｋｉｎｓ，ａｎｄ ＪａｍｅｓＥ．Ｗｅｂｂ，”Ｈｉｇｈ−Ｉｎｄｅｘ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ ｆｏｒ １９３ ｎｍＩｍｍｅｒｓｉｏｎ Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ，”Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ ＳＰＩＥ５７５４−５７ （２００５年）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
非特許文献１での評価では、波長２４８ｎｍでの単結晶のＭｇＯの屈折率は約１．８２であり、また、単結晶のＭｇＡｌ2Ｏ4では約１．７７であり、紫外線波長域用の光学部材として充分な屈折率を有している。また、波長２４８ｎｍでの透過率は、単結晶のＭｇＯでは厚さ９ｍｍで約１８％、単結晶のＭｇＡｌ2Ｏ4では厚さ３．４ｍｍで約８０％、多結晶のＭｇＡｌ2Ｏ4では厚さ２．７ｍｍで約７２％である。
【０００９】
しかしながら、波長２５３．７ｎｍでの真性複屈折は、単結晶のＭｇＯで１６．０±０．５ｎｍ／ｃｍ（外挿値）、単結晶のＭｇＡｌ2Ｏ4で１４．６±０．１ｎｍ／ｃｍ（外挿値）であり、ＣａＦ2の−０．５５±０．０７ｎｍ／ｃｍよりもはるかに大きな値である。
【００１０】
特許文献１では、波長３６５ｎｍの紫外線透過性の向上のために、ガラス材中の鉄分の含有量を５０ｐｐｍ以下としている。ガラス中のＦｅ含有量を１．０ｐｐｍとし、還元剤として不純物を０．１ｐｐｍ含有するＳｉを０．０１重量％使用した場合において、波長２４８ｎｍ付近における厚さ１ｍｍの透過率は約５０％である。しかしながら、屈折率の点で十分ではない。
【００１１】
本発明は、この様な背景技術に鑑みてなされたものであり、紫外域において、高屈折率、高透過率を有し、かつ真性複屈折を示さない光学ガラスを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明者らは、紫外域において、高屈折率、高透過率および高均質性を有し、且つ真性複屈折が問題とならない光学部材を新規に探索し、その結果、ＳｉＯ2およびＡｌ2Ｏ3を含有し、これらにＣａＯまたはＣａＯとＭｇＯを添加した光学ガラスが有効であることを見出した。
【００１３】
本発明の第一の光学ガラスは、Ｓｉ、Ａｌ、ＣａおよびＯを含有するガラスであって、Ｓｉを陽イオン％で７％以上９３％以下、Ａｌを陽イオン％で２％以上５７％以下、Ｃａを陽イオン％で２％以上５２％以下含有し、Ｓｉ、Ａｌ、Ｃａの合計の陽イオン％が、９９．５％以上であり、ＦｅおよびＮａの含有量がそれぞれ０．０１ｗｔｐｐｍ以下であり、かつ波長２４８ｎｍの光に対する透過率が厚さ５ｍｍで１６．９％以上であることを特徴とする。
【００１４】
本発明の第２の光学ガラスは、Ｓｉ、Ａｌ、Ｃａ、ＭｇおよびＯを含有するガラスであって、Ｓｉを陽イオン％で４０％以上６０％以下、Ａｌを陽イオン％で１０％以上３５％以下、ＣａとＭｇを合わせて陽イオン％で２０％以上３５％以下含有し、Ｓｉ、Ａｌ、Ｃａ、Ｍｇの合計の陽イオン％が、９９．５％以上であり、ＦｅおよびＮａの含有量がそれぞれ０．０１ｗｔｐｐｍ以下であり、かつ波長２４８ｎｍの光に対する透過率が厚さ５ｍｍで６２％以上であることを特徴とする。
【００１５】
前記光学ガラスは、ＯＨ基の含有量が５０００ｗｔｐｐｍ以下であることが好ましい。前記光学ガラスは、波長２４８ｎｍの光に対する屈折率が１．７以上であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明は、紫外域において、高屈折率、高透過率を有し、かつ真性複屈折を示さない光学ガラスを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明を詳細に説明する。
本発明の光学ガラスは、紫外線の波長領域において、合成石英ガラスおよび蛍石に比較して高屈折率であるとともに高透過性を有している。
【００１８】
酸化物について、バンドギャップと可視光領域の屈折率の間に相関があることが知られている。具体的には、屈折率ｎとバンドギャップＥg（ｅＶ）の間に、
【００１９】
【数１】
【００２０】
なる関係があることが、経験的に知られている（Ｓ．Ｈ．Ｗｅｍｐｌｅ ａｎｄ Ｍ．ＤｉＤｏｍｅｎｉｃｏ，Ｊｒ．，“Ｏｘｙｇｅｎ−ｏｃｔａｈｅｄｒａ ｆｅｒｒｏｅｌｅｃｔｒｉｃｓ： ＩＩ Ｅｌｅｃｔｒｏ−ｏｐｔｉｃａｌ ａｎｄ ｎｏｎｌｉｎｅａｒ−ｏｐｔｉｃａｌ ｄｅｖｉｃｅ ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ，” Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．，ｖｏｌ．４０，ｐｐ．７３５−７５２，１９６９年２月参照）。
【００２１】
紫外線から真空紫外線領域においても同様な相関関係が存在すると仮定する。この場合、合成石英ガラス（Ｅg＝９ｅＶ程度，仮想温度により変動）よりもバンドギャップが狭く、且つ、波長２４８ｎｍのエネルギーに当たる５．０ｅＶよりもバンドギャップが広い酸化物材料を用いる。すると、高屈折率と高透過率の両特性を有するガラス材料を得ることができると考えられる。例えば、前述のように、ＭｇＯのバンドギャップは７．６ｅＶ、ＭｇＡｌ2Ｏ4で７．７５ｅＶであり、この条件に当てはまっている。
【００２２】
蛍石のようなフッ化物系の材料はバンドギャップが広いため、短波長まで良好に透過する。しかし、フッ化物イオンの電子分極率（１．０４×１０-24ｃｍ3）が酸化物イオンの電子分極率（３．８８×１０-24ｃｍ3）よりも小さいために、高屈折率化の上では望ましくない。
【００２３】
このような仮定を元に、本発明者らが鋭意検討を行った。その結果、ＳｉＯ2にＡｌ2Ｏ3（Ｅg＝８．７ｅＶ）、ＣａＯ（Ｅg＝６．８ｅＶ）およびＭｇＯ（Ｅg＝７．６ｅＶ）を添加した、上記ＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3−ＣａＯ系およびＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3−ＣａＯ−ＭｇＯ系ガラスが見出された。これらのガラス系では高純度化の検討が不十分であった。
【００２４】
前述したように、波長２４８ｎｍにおける屈折率は、合成石英ガラスで１．５１、蛍石で１．４７であるが、上記ＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3−ＣａＯ系ガラスは、波長２４８ｎｍにおける屈折率が１．６である。
【００２５】
本発明の第一の光学ガラスは、Ｓｉ、Ａｌ、ＣａおよびＯを含有するガラスであって、Ｓｉを陽イオン％で７％以上９３％以下、Ａｌを陽イオン％で２％以上５７％以下、Ｃａを陽イオン％で２％以上５２％以下含有し、Ｓｉ、Ａｌ、Ｃａの陽イオン％が９９．５％以上であり、ＦｅおよびＮａの含有量がそれぞれ０．０１ｗｔｐｐｍ以下であり、かつ波長２４８ｎｍの光に対する透過率が厚さ５ｍｍで１５％以上であることが好ましい。
【００２６】
本発明の第二の光学ガラスは、Ｓｉ、Ａｌ、Ｃａ、ＭｇおよびＯを含有するガラスであって、Ｓｉを陽イオン％で４０％以上６０％以下、Ａｌを陽イオン％で１０％以上３５％以下、ＣａとＭｇを合わせて陽イオン％で２０％以上３５％以下含有し、Ｓｉ、Ａｌ、Ｃａ、Ｍｇの陽イオン％が９９．５％以上であり、ＦｅおよびＮａの含有量がそれぞれ０．０１ｗｔｐｐｍ以下であり、かつ波長２４８ｎｍの光に対する透過率が厚さ５ｍｍで６０％以上であることことが好ましい。
【００２７】
光学ガラスには、Ｓｉを含有する。
第一の光学ガラスに含有されるＳｉの含有量は、陽イオン％で７％以上９３％以下、好ましくは１０％以上９０％以下が望ましい。なお、第一の光学ガラスでいう、Ｓｉの陽イオン％とは、Ｓｉの陽イオンと、Ａｌの陽イオン、Ｃａの陽イオンの数の合計に対するＳｉの陽イオンのイオン数である。同様に、Ａｌの陽イオン％とは、Ｓｉの陽イオンと、Ａｌの陽イオン、Ｃａの陽イオンの数の合計に対するＡｌの陽イオンのイオン数である。また同様に、Ｃａの陽イオン％とは、Ｓｉの陽イオンと、Ａｌの陽イオン、Ｃａの陽イオンの数の合計に対するＣａの陽イオンのイオン数である。
【００２８】
第二の光学ガラスに含有されるＳｉの含有量は、陽イオン％で４０％以上６０％以下、好ましくは４５％以上５５％以下が望ましい。
なお、第二の光学ガラスでいう、Ｓｉの陽イオン％とは、Ｓｉの陽イオンと、Ａｌの陽イオン、Ｃａの陽イオン、Ｍｇの陽イオンの数の合計に対するＳｉの陽イオンのイオン数である。
【００２９】
同様に、Ａｌの陽イオン％とは、Ｓｉの陽イオンと、Ａｌの陽イオン、Ｃａの陽イオン，Ｍｇの陽イオンの数の合計に対するＡｌの陽イオンのイオン数である。
また同様に、Ｃａの陽イオン％とは、Ｓｉの陽イオンと、Ａｌの陽イオン、Ｃａの陽イオン，Ｍｇの陽イオンの数の合計に対するＣａの陽イオンのイオン数である。
【００３０】
加えて、Ｍｇの陽イオン％とは、Ｓｉの陽イオンと、Ａｌの陽イオン、Ｃａの陽イオン，Ｍｇの陽イオンの数の合計に対するＭｇの陽イオンのイオン数である。
ＳｉＯ2は、単独でもガラスを形成することができ、一般的に最も良く用いられるガラス成分である。前述したように、Ｅgが約９ｅＶであり、紫外線および真空紫外線に対して非常に優れた透過性および耐光性を示す。一方で屈折率は波長２４８ｎｍにおいて１．５１であり、小さい。したがって、より短波長の光を透過させるためには、含有量を増加させることが好ましいが、屈折率向上の上では不利となる。また、一般的に含有量が多いほどガラス化し易く、熱膨張係数が小さくなり、ガラスとしての安定性が向上するが、粘性が高くなるとともに融点も高くなる。このことは、溶融の際のエネルギー代が高くなることを意味するとともに、るつぼ等の容器の材質が限られ、コスト高の原因となる。したがって、Ｓｉの含有量は上記の範囲が適当である。
【００３１】
光学ガラスには、Ａｌを含有する。
第一の光学ガラスに含有されるＡｌの含有量は、陽イオン％で２％以上５７％以下、好ましくは２６％以上５２％以下が望ましい。
【００３２】
第二の光学ガラスに含有されるＡｌの含有量は、陽イオン％で１０％以上３５％以下、好ましくは１５％以上３０％以下が望ましい。
Ａｌ2Ｏ3は、単独でガラスを形成することは困難であるが、ＳｉＯ2等のいわゆるガラス形成酸化物に添加することで、化学的耐久性を向上させるガラス成分である。前述したように、Ｅgが８．７ｅＶであり、紫外線および真空紫外線の透過性が高く、また、ＳｉＯ2よりも屈折率を向上させる効果が高いため、上記の範囲の含有量とすることが好ましい。
【００３３】
光学ガラスには、ＣａまたはＣａとＭｇを含有する。
第一の光学ガラスに含有されるＣａの含有量は、陽イオン％で２％以上５２％以下、好ましくは７％以上４５％以下が望ましい。
【００３４】
第二の光学ガラスに含有されるＣａとＭｇの含有量は、ＣａとＭｇを合わせて陽イオン％で２０％以上３５％以下、好ましくは２２％以上３２％以下が望ましい。
第二の光学ガラスに含有されるＣａとＭｇの割合は、陽イオン数の比でＣａ：Ｍｇ＝３以上４以下：１以上２以下が好ましい。
【００３５】
ＣａＯおよびＭｇＯは、ガラス形成における、いわゆる修飾酸化物であり、粘性を下げる成分として使用されている。前述したように、ＣａＯのＥgが６．８ｅＶ、ＭｇＯのＥgが７．６ｅＶであり、ＫｒＦエキシマレーザー（波長２４８ｎｍ）のエネルギー５．０ｅＶよりも大きいが、合成石英ガラスにおいては、いずれも紫外線透過性を低減させる不純物として扱われている。Ｃａ−ＯおよびＭｇ−Ｏの結合エネルギーは、それぞれ、９１ｋｃａｌ／ｍｏｌおよび８８ｋｃａｌ／ｍｏｌであり、ＳｉＯ2（１５０ｋｃａｌ／ｍｏｌ）やＡｌ2Ｏ3（１１５ｋｃａｌ／ｍｏｌ）に比較して結合強度が小さくなっている。したがって、屈折率を向上させる上ではＣａ−ＯやＭｇ−Ｏの含有量を増加させることが好ましいが、逆に紫外線および真空紫外線の透過性および耐光性を高める上では、含有量を低減させることが好ましい。屈折率を向上させる効果はＣａＯの方が高いが、ＭｇＯの方が紫外線透過性は高い。したがって、ＣａまたはＣａとＭｇの含有量は上記の範囲が適当である。
【００３６】
また、第一および第二の光学ガラスに含有される不純物として、ＦｅおよびＮａの含有量がそれぞれ０．０１ｗｔｐｐｍ以下、好ましくは０．００１ｗｔｐｐｍ以下が望ましい。ｗｔｐｐｍとは光学ガラスの全重量に対するＦｅ又はＮａの重量割合である。
【００３７】
本発明の光学ガラスは、紫外線を光源とする装置に用いられるガラス製光学部材であり、同用途の合成石英ガラスおよび蛍石と同様に、紫外線領域に吸収を持つ不純物量を可能な限り少なくすることが好ましい。すなわち、高純度の原料を用い、製造工程における不純物の混入もできる限り排除することが必要である。
【００３８】
紫外線および真空紫外線透過材料の主な不純物としては、金属元素酸化物が挙げられる。
具体的な金属元素酸化物としては、例えば、ＴｉやＦｅなどの遷移金属や、ＮａやＫなどのアルカリ金属の酸化物が挙げられ、実質的に含まないことが望ましい。また、この他の金属酸化物で、バンドギャップが使用したい紫外線および真空紫外線のエネルギーに近いか、またはそれ以下の物質は、言うまでも無く、実質的に含まないことが望ましい。
【００３９】
また、第一および第二の光学ガラスに含有されるＯＨ基の含有量が５０００ｗｔｐｐｍ以下、好ましくは２０００ｗｔｐｐｍ以下が望ましい。
ＯＨ基はＣａやＭｇの周辺に存在し、ガラスの網目構造の不安定化を促進する効果がある。このことは、紫外線や真空紫外線に対する耐光性の低減につながる。したがって、その含有量は少ない方が良い。
【００４０】
上記のようなそれぞれの成分の特性から、目的とする波長や、その波長での透過率および屈折率に応じて含有量を調節することが必要である。
第一の光学ガラスは、波長２４８ｎｍの光に対する透過率が厚さ５ｍｍで１６．９％以上であることが望ましい。第二の光学ガラスは、波長２４８ｎｍの光に対する透過率が厚さ５ｍｍで６２％以上であることが望ましい。
【００４１】
また、第一および第二の光学ガラスは、波長２４８ｎｍの光に対する屈折率が１．７以上であることが望ましい。
光学ガラスの製造方法としては、前述のように、不純物の混入をできる限り排除できる方法が好ましい。具体的には、例えば、電気、アークプラズマまたは火炎により原料を溶融する方法、火炎加水分解法、直接法、ＶＡＤ法およびＭＣＶＤ法等のスート再溶融法、プラズマＣＶＤ法、ゾルゲル法等が挙げられる。言うまでもなく、いずれも高純度の原料を用いることが好ましい。
【実施例】
【００４２】
以下に本発明を実施するための最良の形態を説明するが、本発明はこれらによって何ら限定されるものではない。
実施例１
出発材料としてＣａＯ（純度９９．９９５重量％）、Ａｌ2Ｏ3（純度９９．９９８重量％）、ＳｉＯ2（純度９９．９９９重量％）の粉末を用い、それぞれを重量比で３７：２３：４０で秤量し、メノウ乳鉢のなかで十分に混合した。
【００４３】
この粉末を直径約１０ｍｍ高さ約３０ｍｍの白金製容器に充填した後、電気炉を用いて１５００℃で融解しその状態で２時間保持した後に、電気炉のヒータ出力を落として室温まで自然放冷することにより、厚さ６ｍｍ程度のガラスを得た。このガラスを研磨することにより、厚さ５ｍｍのガラスを得た。
【００４４】
蛍光Ｘ線分析法を用いて組成分析を行った結果、陽イオン％でＳｉ：Ａｌ：Ｃａ＝３７：２３：４０であった。また、Ｆｅ含有量およびＮａ含有量はそれぞれ０．０１ｗｔｐｐｍ以下であった。
【００４５】
図１は、実施例１による光学ガラスの透過率の波長依存性を示す図である。図２は、実施例１による光学ガラスの屈折率の波長依存性を示す図である。
可視紫外分光光度計を用いて、波長２４８ｎｍにおける厚さ５ｍｍのガラスの透過率を測定した結果、１６．９％であった。
【００４６】
Ｊ．Ａ．Ｗｏｏｌｌａｍ製、高速分光エリプソメーター、Ｍ−２０００Ｄを用いて、波長２４８ｎｍにおけるガラスの屈折率を測定した結果、屈折率は１．７０であった。
【００４７】
実施例２
実施例１と同様の手順でＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3−ＣａＯ−ＭｇＯ系のガラスを作製した。Ｍｇの原料としては純度９９．９９９重量％のＭｇＯを使用した。それぞれの粉末を重量比でＳｉＯ2：Ａｌ2Ｏ3：ＣａＯ：ＭｇＯ＝４２：２４：２０：１４で秤量し、メノウ乳鉢のなかで十分に混合した。電気炉で融解する際の温度は１６００℃であった。
【００４８】
蛍光Ｘ線分析法を用いて組成分析を行った結果、陽イオン％でＳｉ：Ａｌ：Ｃａ：Ｍｇ＝４２：２４：２０：１４であった。また、Ｆｅ含有量およびＮａ含有量はそれぞれ０．０１ｗｔｐｐｍ以下であった。
【００４９】
ＯＨ基濃度を測定した結果、約１４００ｗｔｐｐｍであった。
図３は、実施例２による光学ガラスの透過率の波長依存性を示す図である。図４は、実施例２による光学ガラスの屈折率の波長依存性を示す図である。
【００５０】
可視紫外分光光度計を用いて、波長２４８ｎｍにおける厚さ５ｍｍのガラスの透過率を測定した結果、６２％であった。
Ｊ．Ａ．Ｗｏｏｌｌａｍ製、高速分光エリプソメーター、Ｍ−２０００Ｄを用いて、波長２４８ｎｍにおけるガラスの屈折率を測定した結果、屈折率は１．７０であった。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明の光学ガラスは、紫外域において、高屈折率、高透過率を有するので、紫外線から真空紫外線までに用いるレンズ、プリズム、窓材などの光学部品として利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の実施例１による光学ガラスの透過率の波長依存性を示す図である。
【図２】本発明の実施例１による光学ガラスの屈折率の波長依存性を示す図である。
【図３】本発明の実施例２による光学ガラスの透過率の波長依存性を示す図である。
【図４】本発明の実施例２による光学ガラスの屈折率の波長依存性を示す図である。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｓｉ、Ａｌ、ＣａおよびＯを含有するガラスであって、Ｓｉを陽イオン％で７％以上９３％以下、Ａｌを陽イオン％で２％以上５７％以下、Ｃａを陽イオン％で２％以上５２％以下含有し、Ｓｉ、Ａｌ、Ｃａの合計の陽イオン％が、９９．５％以上であり、ＦｅおよびＮａの含有量がそれぞれ０．０１ｗｔｐｐｍ以下であり、かつ波長２４８ｎｍの光に対する透過率が厚さ５ｍｍで１６．９％以上であることを特徴とする光学ガラス。
【請求項２】
波長２４８ｎｍの光に対する屈折率が１．７以上であることを特徴とする請求項１に記載の光学ガラス。
【請求項３】
Ｓｉ、Ａｌ、Ｃａ、ＭｇおよびＯを含有するガラスであって、Ｓｉを陽イオン％で４０％以上６０％以下、Ａｌを陽イオン％で１０％以上３５％以下、ＣａとＭｇを合わせて陽イオン％で２０％以上３５％以下含有し、Ｓｉ、Ａｌ、Ｃａ、Ｍｇの合計の陽イオン％が、９９．５％以上であり、ＦｅおよびＮａの含有量がそれぞれ０．０１ｗｔｐｐｍ以下であり、かつ波長２４８ｎｍの光に対する透過率が厚さ５ｍｍで６２％以上であることを特徴とする光学ガラス。
【請求項４】
ＯＨ基の含有量が５０００ｗｔｐｐｍ以下であることを特徴とする請求項３に記載の光学ガラス。
【請求項５】
波長２４８ｎｍの光に対する屈折率が１．７以上であることを特徴とする請求項３または４に記載の光学ガラス。
【請求項１】
Ｓｉ、Ａｌ、ＣａおよびＯを含有するガラスであって、Ｓｉを陽イオン％で７％以上９３％以下、Ａｌを陽イオン％で２％以上５７％以下、Ｃａを陽イオン％で２％以上５２％以下含有し、Ｓｉ、Ａｌ、Ｃａの合計の陽イオン％が、９９．５％以上であり、ＦｅおよびＮａの含有量がそれぞれ０．０１ｗｔｐｐｍ以下であり、かつ波長２４８ｎｍの光に対する透過率が厚さ５ｍｍで１６．９％以上であることを特徴とする光学ガラス。
【請求項２】
波長２４８ｎｍの光に対する屈折率が１．７以上であることを特徴とする請求項１に記載の光学ガラス。
【請求項３】
Ｓｉ、Ａｌ、Ｃａ、ＭｇおよびＯを含有するガラスであって、Ｓｉを陽イオン％で４０％以上６０％以下、Ａｌを陽イオン％で１０％以上３５％以下、ＣａとＭｇを合わせて陽イオン％で２０％以上３５％以下含有し、Ｓｉ、Ａｌ、Ｃａ、Ｍｇの合計の陽イオン％が、９９．５％以上であり、ＦｅおよびＮａの含有量がそれぞれ０．０１ｗｔｐｐｍ以下であり、かつ波長２４８ｎｍの光に対する透過率が厚さ５ｍｍで６２％以上であることを特徴とする光学ガラス。
【請求項４】
ＯＨ基の含有量が５０００ｗｔｐｐｍ以下であることを特徴とする請求項３に記載の光学ガラス。
【請求項５】
波長２４８ｎｍの光に対する屈折率が１．７以上であることを特徴とする請求項３または４に記載の光学ガラス。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図２】
【図３】
【図４】
【公開番号】特開２００８−１４３７１９（Ｐ２００８−１４３７１９Ａ）
【公開日】平成２０年６月２６日（２００８．６．２６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−３２８７４６（Ｐ２００６−３２８７４６）
【出願日】平成１８年１２月５日（２００６．１２．５）
【出願人】（０００００１００７）キヤノン株式会社 (59,756)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年６月２６日（２００８．６．２６）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年１２月５日（２００６．１２．５）
【出願人】（０００００１００７）キヤノン株式会社 (59,756)
【Ｆターム（参考）】
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