光導波路構造体
【課題】パターン形状の設計の自由度が広く、寸法精度の高いコア部（光路）を簡単な方法で形成することができる光導波路を備えた光導波路構造体を提供すること。
【解決手段】本発明の光導波路構造体９は、コア部９４と、該コア部９４より屈折率が低いクラッド部９５とを備えるコア層９３とを有する光導波路９０と、該光導波路９０の両面に設けられた導体層とを有する。コア部９４は、第１のノルボルネン系材料を主材料として構成され、クラッド部９５は、第１のノルボルネン系材料より低い屈折率を有する第２のノルボルネン系材料を主材料として構成されている。第１のノルボルネン系材料と第２のノルボルネン系材料とは、いずれも、同一のノルボルネン系ポリマーを含有し、かつ、ノルボルネン系ポリマーと異なる屈折率を有するノルボルネン系モノマーの反応物の含有量が異なることにより、それらの屈折率が異なっていることが好ましい。
【解決手段】本発明の光導波路構造体９は、コア部９４と、該コア部９４より屈折率が低いクラッド部９５とを備えるコア層９３とを有する光導波路９０と、該光導波路９０の両面に設けられた導体層とを有する。コア部９４は、第１のノルボルネン系材料を主材料として構成され、クラッド部９５は、第１のノルボルネン系材料より低い屈折率を有する第２のノルボルネン系材料を主材料として構成されている。第１のノルボルネン系材料と第２のノルボルネン系材料とは、いずれも、同一のノルボルネン系ポリマーを含有し、かつ、ノルボルネン系ポリマーと異なる屈折率を有するノルボルネン系モノマーの反応物の含有量が異なることにより、それらの屈折率が異なっていることが好ましい。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光導波路構造体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年注目されている光通信の分野における光部品として、光分岐結合器（光カプラ）、光合分波器等が挙げられ、これらに用いる光導波路型素子が有望視されている。
【０００３】
この光導波路型素子としては、従来の石英系光導波路の他、製造（パターニング）が容易で汎用性に富むポリマー系光導波路があり、近年では後者の開発が盛んに行われている。
【０００４】
このような光導波路型素子を形成し得る基板（光導波路構造体）として、コア部およびクラッド部で構成される光導波路と、この光導波路に金属配線を設けたものが開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１に記載の光導波路構造体では、次のような問題点がある。
【０００６】
１．光導波路の形成工程が複雑であり、伝送光の光路を構成するコア部のパターン形状の設計、選択の自由度が狭い。
２．コア部のパターン形状の精度や寸法精度が悪い。
３．配線パターンと組み合わせた場合に、該配線パターンの設計における自由度が狭い。
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−１２６３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の目的は、パターン形状の設計の自由度が広く、寸法精度の高いコア部（光路）を簡単な方法で形成することができる光導波路を備えた光導波路構造体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
このような目的は、下記（１）〜（３１）の本発明により達成される。
（１） コア部と、該コア部より屈折率が低いクラッド部とを備えるコア層を有する光導波路と、該光導波路の少なくとも一方の面側に設けられた導体層とを有する光導波路構造体であって、
前記コア層は、ポリマーと、該ポリマーと相溶し、かつ、該ポリマーと異なる屈折率を有するモノマーと、活性放射線の照射により活性化する第１の物質と、前記モノマーの反応を開始させ得る第２の物質であって、活性化した前記第１の物質の作用により、活性化温度が変化する第２の物質とを含む層を形成し、
その後、前記層に対して前記活性放射線を選択的に照射することにより、前記活性放射線が照射された照射領域において、前記第１の物質を活性化させるとともに、前記第２の物質の活性化温度を変化させ、
次いで、前記層に対して加熱処理を施すことにより、前記第２の物質または活性化温度が変化した前記第２の物質のいずれか活性化温度の低い方を活性化させ、前記照射領域または前記活性放射線の未照射領域のいずれかにおいて前記モノマーを反応させて、前記照射領域と前記未照射領域との間に屈折率差を生じさせることにより、前記照射領域および前記未照射領域のいずれか一方を前記コア部とし、他方を前記クラッド部として得られたものであることを特徴とする光導波路構造体。
【００１０】
（２） 前記コア層は、前記層の前記照射領域または前記未照射領域のいずれか一方の領域において前記モノマーの反応が進むにつれて、他方の領域から未反応の前記モノマーが集まることにより得られたものである上記（１）に記載の光導波路構造体。
【００１１】
（３） 前記第１の物質は、前記活性放射線の照射に伴って、カチオンと弱配位アニオンとを生じる化合物を含むものであり、前記第２の物質は、前記弱配位アニオンの作用により活性化温度が変化するものである上記（１）または（２）に記載の光導波路構造体。
【００１２】
（４） 前記第２の物質は、活性化した前記第１の物質の作用により活性化温度が低下し、前記加熱処理の温度よりも高い温度での加熱により、前記活性放射線の照射を伴うことなく活性化するものである上記（１）ないし（３）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００１３】
（５） 前記第２の物質は、下記式Ｉａで表される化合物を含む上記（４）に記載の光導波路構造体。
【００１４】
（Ｅ（Ｒ）３）２Ｐｄ（Ｑ）２ ・・・ （Ｉａ）
［式中、Ｅ（Ｒ）３は、第１５族の中性電子ドナー配位子を表し、Ｅは、周期律表の第１５族から選択される元素を表し、Ｒは、水素原子（またはその同位体の１つ）または炭化水素基を含む部位を表し、Ｑは、カルボキシレート、チオカルボキシレートおよびジチオカルボキシレートから選択されるアニオン配位子を表す。］
【００１５】
（６） 前記第２の物質は、下記式Ｉｂで表される化合物を含む上記（４）または（５）に記載の光導波路構造体。
【００１６】
［（Ｅ（Ｒ）３）ａＰｄ（Ｑ）（ＬＢ）ｂ］ｐ［ＷＣＡ］ｒ ・・・ （Ｉｂ）
［式中、Ｅ（Ｒ）３は、第１５族の中性電子ドナー配位子を表し、Ｅは、周期律表の第１５族から選択される元素を表し、Ｒは、水素原子（またはその同位体の１つ）または炭化水素基を含む部位を表し、Ｑは、カルボキシレート、チオカルボキシレートおよびジチオカルボキシレートから選択されるアニオン配位子を表し、ＬＢは、ルイス塩基を表し、ＷＣＡは、弱配位アニオンを表し、ａは、１〜３の整数を表し、ｂは、０〜２の整数を表し、ａとｂとの合計は、１〜３であり、ｐおよびｒは、パラジウムカチオンと弱配位アニオンとの電荷のバランスをとる数を表す。］
【００１７】
（７） ｐおよびｒは、それぞれ、１または２の整数から選択される上記（６）に記載の光導波路構造体。
【００１８】
（８） 前記コア層は、前記加熱処理の後、前記層を前記加熱処理の温度よりも高い第２の温度で加熱処理することにより得られたものである上記（１）ないし（７）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００１９】
（９） 前記コア層は、前記第２の温度での加熱処理の後、前記層を前記第２の温度よりも高い第３の温度で加熱処理することにより得られたものである上記（８）に記載の光導波路構造体。
【００２０】
（１０） 前記第３の温度は、前記第２の温度より２０℃以上高い上記（９）に記載の光導波路構造体。
【００２１】
（１１） 前記活性放射線は、２００〜４５０ｎｍの範囲にピーク波長を有するものである上記（１）ないし（１０）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００２２】
（１２） 前記活性放射線の照射量は、０．１〜９Ｊ／ｃｍ２である上記（１）ないし（１１）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００２３】
（１３） 前記活性放射線は、マスクを介して前記層に照射される上記（１）ないし（１２）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００２４】
（１４） 前記層は、さらに、酸化防止剤を含む上記（１）ないし（１３）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００２５】
（１５） 前記層は、さらに、増感剤を含む上記（１）ないし（１４）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００２６】
（１６） 前記モノマーは、架橋性モノマーを含む上記（１）ないし（１５）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００２７】
（１７） 前記モノマーは、ノルボルネン系モノマーを主とするものである上記（１）ないし（１６）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００２８】
（１８） 前記モノマーは、ノルボルネン系モノマーを主とするものであり、前記架橋性モノマーとして、ジメチルビス（ノルボルネンメトキシ）シランを含むものである上記（１６）に記載の光導波路構造体。
【００２９】
（１９） 前記ポリマーは、ノルボルネン系ポリマーを主とするものである上記（１）ないし（１８）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００３０】
（２０） コア部と、該コア部より屈折率が低いクラッド部とを備えるコア層とを有する光導波路と、該光導波路の少なくとも一方の面側に設けられた導体層とを有する光導波路構造体であって、
前記コア部は、第１のノルボルネン系材料を主材料として構成され、前記クラッド部は、前記第１のノルボルネン系材料より低い屈折率を有する第２のノルボルネン系材料を主材料として構成されていることを特徴とする光導波路構造体。
【００３１】
（２１） 前記第１のノルボルネン系材料と前記第２のノルボルネン系材料とは、いずれも、同一のノルボルネン系ポリマーを含有し、かつ、前記ノルボルネン系ポリマーと異なる屈折率を有するノルボルネン系モノマーの反応物の含有量が異なることにより、それらの屈折率が異なっている上記（２０）に記載の光導波路構造体。
【００３２】
（２２） 前記反応物は、前記ノルボルネン系モノマーの重合体、前記ノルボルネン系ポリマー同士を架橋する架橋構造、および、前記ノルボルネン系ポリマーから分岐する分岐構造のうちの少なくとも１つである上記（２１）に記載の光導波路構造体。
【００３３】
（２３） 前記ノルボルネン系ポリマーは、アラルキルノルボルネンの繰り返し単位を含むものである上記（１９）、（２１）または（２２）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００３４】
（２４） 前記ノルボルネン系ポリマーは、ベンジルノルボルネンの繰り返し単位を含むものである上記（１９）、（２１）または（２２）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００３５】
（２５） 前記ノルボルネン系ポリマーは、フェニルエチルノルボルネンの繰り返し単位を含むものである上記（１９）、（２１）または（２２）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００３６】
（２６） 前記ノルボルネン系ポリマーは、アルキルノルボルネンの繰り返し単位を含むものである上記（１９）、（２１）ないし（２５）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００３７】
（２７） 前記ノルボルネン系ポリマーは、ヘキシルノルボルネンの繰り返し単位を含むものである上記（１９）、（２１）ないし（２５）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００３８】
（２８） 前記ノルボルネン系ポリマーは、付加重合体である上記（１９）、（２１）ないし（２７）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００３９】
（２９） 前記光導波路は、前記コア層の少なくとも一方の面に接触して設けられ、前記コア部より屈折率が低いクラッド層を有する上記（１）ないし（２８）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００４０】
（３０） 前記導体層の平均厚さは、前記光導波路の平均厚さの１０〜９０％である上記（１）ないし（２９）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００４１】
（３１） 前記導体層は、乾式メッキ法、湿式メッキ法および導電性シート材の接合のうちの少なくとも１つの方法により形成されたものである上記（１）ないし（３０）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【発明の効果】
【００４２】
本発明によれば、予め導体層が形成されているため、素子への配線（電気回路の形成）が容易であるとともに、素子の種類（端子の設置箇所）等に係わらずそれに適した配線が可能であり、配線回路の構成の自由度（例えば、端子の設置箇所の選択の自由度）が広く、汎用性に富む。
【００４３】
そして、本発明によれば、活性放射線の照射という簡単な方法でコア部のパターニングをすることができ、コア部（光回路）のパターン形状の設計の自由度が広く、しかも寸法精度の高いコア部が得られる。
【００４４】
また、本発明によれば、配線（電気回路）およびコア部（光回路）の双方を高い配設密度で形成することができるため、光および電気の混成回路において、効率の良い回路設計が可能となるとともに、さらなる回路の集積化が可能となる。
【００４５】
また、本発明によれば、かかる光導波路構造体を容易に製造することができる。
また、コア層をノルボルネン系ポリマーを含む材料で構成することにより、コア部に高い光伝送性能を付与することができる。
【００４６】
また、この場合、光導波路構造体が湾曲変形した場合でも、コア部内にマイクロクラックが発生すること等の欠陥が生じ難いことから、耐久性の向上を図ることもできる。
【００４７】
さらに、この場合、コア部とクラッド部との屈折率の差をより大きくすることができ、また、耐熱性にも優れ、その結果、高性能な光導波路が得られる。
【００４８】
このような本発明の光導波路構造体は、光回路（光導波路のパターン）や電気回路の設計の幅が広く、歩留まりが良く、光伝送性能を高く維持し、信頼性、耐久性に優れ、汎用性に富む。そのため、本発明は、種々の電子部品、電子機器等に対し用いることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４９】
以下、本発明の光導波路構造体について添付図面に示す好適実施形態に基づき詳細に説明する。
【００５０】
図１は、本発明の光導波路構造体の実施形態を示す斜視図（一部切り欠いて示す）である。
【００５１】
なお、以下の説明では、図１中の上側を「上」または「上方」とし、下側を「下」または「下方」とする（以下の図において同様である。）。
また、各図は、層の厚さ方向（各図の上下方向）が誇張して描かれている。
【００５２】
図１に示す光導波路構造体９は、光導波路９０と、その上面および下面に、それぞれ設けられた導体層９０１、９０２とを有し、これら各層が接合されたものである。
【００５３】
導体層９０１、９０２の構成材料としては、それぞれ、例えば、銅、銅系合金、アルミニウム、アルミニウム系合金のような各種金属材料、インジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）、フッ素含有インジウムスズ酸化物（ＦＴＯ）のような各種酸化物材料等が挙げられる。
【００５４】
導体層９０１、９０２の平均厚さは、それぞれ、光導波路９０の平均厚さの１０〜９０％程度であるのが好ましく、２０〜８０％程度であるのがより好ましい。具体的には、導体層９０１、９０２の平均厚さは、特に限定されないが、それぞれ、通常、３〜１００μｍ程度が好ましく、５〜７０μｍ程度がより好ましい。これにより、光導波路構造体９の可撓性が低下するのを防止しつつ、導体層９０１、９０２を導電性に優れたものとすることができる。
【００５５】
また、図１に示す構成では、導体層９０１、９０２は、いずれも、平板状（シート状）をなしている。この場合、導体層９０１、９０２の所定のパターンに加工した後、所望の箇所に、光学素子（発光素子、受光素子等）を実装することにより、光学回路と電気回路とを備える複合装置を製造することができる。
【００５６】
なお、導体層９０１、９０２は、それぞれ、予めパターニングされたもの（配線）であってもよい。また、必要に応じて、導体層９０１および９０２のいずれか一方を省略してもよい。
【００５７】
また、導体層９０１、９０２と光導波路９０との間には、任意の目的（例えば、密着性を向上させる目的等）の層が１層または２層以上設けられていてもよい。
【００５８】
光導波路９０は、図１中下側からクラッド層（下部クラッド層）９１、コア層９３およびクラッド層（上部クラッド層）９２をこの順に積層してなるものであり、コア層９３には、所定パターンのコア部９４と、このコア部（導波路チャンネル）９４に隣接するクラッド部９５とが形成されている。
【００５９】
コア部９４とクラッド部９５との屈折率の差は、特に限定されないが、０．３〜５．５％程度が好ましく、特に０．８〜２．２％程度が好ましい。屈折率の差が前記下限値未満であると光を伝達する効果が低下する場合があり、前記上限値を超えても、光の伝送効率のそれ以上の増大は期待できない。
【００６０】
なお、前記屈折率差とは、コア部９４の屈折率をＡ、クラッド部９５の屈折率をＢとしたとき、次式で表される。
屈折率差（％）＝｜Ａ／Ｂ−１｜×１００
【００６１】
また、図１に示す構成では、コア部９４は、平面視で直線状に形成されているが、途中で湾曲、分岐等してもよく、その形状は任意である。なお、後述するような光導波路構造体９の製造方法を用いれば、複雑かつ任意の形状のコア部９４を容易にかつ寸法精度よく形成することができる。
【００６２】
また、コア部９４は、その横断面形状が正方形または矩形（長方形）のような四角形をなしている。
【００６３】
コア部９４の幅および高さは、特に限定されないが、それぞれ、1〜２００μｍ程度であるのが好ましく、５〜１００μｍ程度であるのがより好ましく、１０〜６０μｍ程度であるのがさらに好ましい。
【００６４】
このコア部９４は、クラッド部９５に比べて屈折率が高い材料で構成され、また、クラッド層９１、９２に対しても屈折率が高い材料で構成されている。
【００６５】
クラッド層９１および９２は、それぞれ、コア部９４の下部および上部に位置するクラッド部を構成するものである。このような構成により、コア部９４は、その外周をクラッド部に囲まれた導光路として機能する。
【００６６】
クラッド層９１、９２の平均厚さは、特に限定されないが、1〜２００μｍ程度であるのが好ましく、５〜１００μｍ程度であるのがより好ましく、１０〜６０μｍ程度であるのがさらに好ましい。
【００６７】
なお、クラッド層９１、クラッド部９５およびクラッド層９２の構成材料は、それぞれ、同一（同種）のものでも異なるものでもよいが、これらは、屈折率が同じかまたは近似しているものであるのが好ましい。クラッド層９１、９２およびコア層９３の構成材料の詳細については、後に説明する。
【００６８】
本発明の光導波路構造体９は、コア部９４の材料の光学特性等によっても若干異なり、特に限定されないが、例えば、６００〜１５５０ｎｍ程度の波長領域の光を使用したデータ通信において好適に使用される。
【００６９】
次に、光導波路構造体９の製造方法の一例について説明する。
＜第１の製造方法＞
まず、光導波路構造体９の第１の製造方法について説明する。
【００７０】
図２〜図７は、それぞれ、本発明の光導波路構造体の第１の製造方法の工程例を模式的に示す断面図である。
【００７１】
［１Ａ］ まず、支持基板９５１上に、層９１０を形成する（図２参照）。
層９１０は、コア層形成用材料（ワニス）９００を塗布し硬化（固化）させる方法により形成される。
【００７２】
具体的には、層９１０は、支持基板９５１上にコア層形成用材料９００を塗布して液状被膜を形成した後、この支持基板９５１を換気されたレベルテーブルに置いて、液状被膜表面の不均一な部分を水平化するとともに、溶媒を蒸発（脱溶媒）することにより形成する。
【００７３】
層９１０を塗布法で形成する場合、例えば、ドクターブレード法、スピンコート法、ディッピング法、テーブルコート法、スプレー法、アプリケーター法、カーテンコート法、ダイコート法等の方法が挙げられるが、これらに限定されるわけではない。
【００７４】
支持基板９５１には、例えば、シリコン基板、二酸化ケイ素基板、ガラス基板、石英基板、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム等が用いられる。
【００７５】
コア層形成用材料９００は、ポリマー９１５と、添加剤９２０（本実施形態では、少なくともモノマー、助触媒および触媒前駆体を含む）とで構成される光誘発熱現像性材料（ＰＩＴＤＭ）を含有し、活性放射線の照射および加熱により、ポリマー９１５中において、モノマーの反応が生じる材料である。
【００７６】
そして、得られた層９１０中では、ポリマー（マトリックス）９１５は、いずれも、実質的に一様かつランダムに分配され、添加剤９２０は、ポリマー９１５内に実質的に一様かつランダムに分散されている。これにより、層９１０中には、添加剤９２０が実質的に一様かつ任意に分散されている。
【００７７】
このような層９１０の平均厚さは、形成すべきコア層９３の厚さに応じて適宜設定され、特に限定されないが、５〜２００μｍ程度であるのが好ましく、１０〜１００μｍ程度であるのがより好ましく、１５〜６５μｍ程度であるのがさらに好ましい。
【００７８】
ポリマー９１５には、透明性が十分に高く（無色透明であり）、かつ、後述するモノマーと相溶性を有するもの、さらに、その中で後述するようにモノマーが反応（重合反応や架橋反応）可能であり、モノマーが重合した後においても、十分な透明性を有するものが好適に用いられる。
【００７９】
ここで、「相溶性を有する」とは、モノマーが少なくとも混和して、コア層形成用材料９００中や層９１０中においてポリマー９１５と相分離を起こさないことを言う。
【００８０】
このようなポリマー９１５としては、例えば、ノルボルネン系樹脂やベンゾシクロブテン系樹脂等の環状オレフィン系樹脂、アクリル系樹脂、メタクリル系樹脂、ポリカーボネート、ポリスチレン、エポキシ樹脂、ポリアミド、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて（ポリマーアロイ、ポリマーブレンド（混合物）、共重合体など）用いることができる。
【００８１】
これらの中でも、特に、ノルボルネン系樹脂（ノルボルネン系ポリマー）を主とするものが好ましい。ポリマー９１５としてノルボルネン系ポリマーを用いることにより、優れた光伝送性能や耐熱性を有するコア層９３を得ることができる。
【００８２】
また、ノルボルネン系ポリマーは、高い疎水性を有するため、吸水による寸法変化等を生じ難いコア層９３を得ることができる。
【００８３】
ノルボルネン系ポリマーとしては、単独の繰り返し単位を有するもの（ホモポリマー）、２つ以上のノルボルネン系繰り返し単位を有するもの（コポリマー）のいずれであってもよい。
【００８４】
このようなノルボルネン系ポリマーとしては、例えば、（１）ノルボルネン型モノマーを付加（共）重合して得られるノルボルネン型モノマーの付加（共）重合体、（２）ノルボルネン型モノマーとエチレンやα−オレフィン類との付加共重合体、（３）ノルボルネン型モノマーと非共役ジエン、および必要に応じて他のモノマーとの付加共重合体のような付加重合体、（４）ノルボルネン型モノマーの開環（共）重合体、および必要に応じて該（共）重合体を水素添加した樹脂、（５）ノルボルネン型モノマーとエチレンやα−オレフィン類との開環共重合体、および必要に応じて該（共）重合体を水素添加した樹脂、（６）ノルボルネン型モノマーと非共役ジエン、または他のモノマーとの開環共重合体、および必要に応じて該（共）重合体を水素添加したポリマーのような開環重合体が挙げられる。これらの重合体としては、ランダム共重合体、ブロック共重合体、交互共重合体等が挙げられる。
【００８５】
これらのノルボルネン系ポリマーは、例えば、開環メタセシス重合（ＲＯＭＰ）、ＲＯＭＰと水素化反応との組み合わせ、ラジカルまたはカチオンによる重合、カチオン性パラジウム重合開始剤を用いた重合、これ以外の重合開始剤（例えば、ニッケルや他の遷移金属の重合開始剤）を用いた重合等、公知のすべての重合方法で得ることができる。
【００８６】
これらの中でも、ノルボルネン系ポリマーとしては、下記化１（構造式Ｂ）で表される少なくとも１個の繰り返し単位を有するもの、すなわち、付加（共）重合体が好ましい。このものは、透明性、耐熱性および可撓性に富むことからも好ましい。
【００８７】
【化１】
【００８８】
かかるノルボルネン系ポリマーは、例えば、後述するノルボルネン系モノマー（後述する化３で表されるノルボルネン系モノマーや、架橋性ノルボルネン系モノマー）を用いることにより好適に合成される。
【００８９】
なお、比較的高い屈折率を有するポリマー９１５を得るためには、分子構造中に、芳香族環（芳香族基）、窒素原子、臭素原子や塩素原子を有するモノマーを一般的に選択して、ポリマー９１５が合成（重合）される。一方、比較的低い屈折率を有するポリマー９１５を得るためには、分子構造中に、アルキル基、フッ素原子やエーテル構造（エーテル基）を有するモノマーを一般的に選択して、ポリマー９１５が合成（重合）される。
【００９０】
比較的高い屈折率を有するノルボルネン系ポリマーとしては、アラルキルノルボルネンの繰り返し単位を含むものが好ましい。かかるノルボルネン系ポリマーは、特に高い屈折率を有する。
【００９１】
アラルキルノルボルネンの繰り返し単位が有するアラルキル基（アリールアルキル基）としては、例えば、ベンジル基、フェニルエチル基、フェニルプロピル基、フェニルブチル基、ナフチルエチル基、ナフチルプロピル基、フルオレニルエチル基、フルオレニルプロピル基等が挙げられるが、ベンジル基やフェニルエチル基が特に好ましい。
【００９２】
かかる繰り返し単位を有するノルボルネン系ポリマーは、極めて高い屈折率を有するものであることから好ましい。
【００９３】
また、ノルボルネン系ポリマーは、アルキルノルボルネンの繰り返し単位を含むものが好ましい。アルキルノルボルネンの繰り返し単位を含むノルボルネン系ポリマーは、柔軟性が高いため、かかるノルボルネン系ポリマーを用いることにより、光導波路９０に高いフレキシビリティ（可撓性）を付与することができる。
【００９４】
アルキルノルボルネンの繰り返し単位が有するアルキル基としては、例えば、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基等が挙げられるが、ヘキシル基が特に好ましい。なお、これらのアルキル基は、直鎖状または分岐状のいずれであってもよい。
【００９５】
ヘキシルノルボルネンの繰り返し単位を含むことにより、ノルボルネン系ポリマー全体の屈折率が低下するのを防止し、かつ、高い柔軟性を保持することができる。また、かかるノルボルネン系ポリマーは、前述したような波長領域（特に、８５０ｎｍ付近の波長領域）の光に対する透過率が優れることから好ましい。
【００９６】
このようなノルボルネン系ポリマーの好ましい具体例としては、ヘキシルノルボルネンのホモポリマー、フェニルエチルノルボルネンのホモポリマー、ベンジルノルボルネンのホモポリマー、ヘキシルノルボルネンとフェニルエチルノルボルネンとのコポリマー、ヘキシルノルボルネンとベンジルノルボルネンとのコポリマー等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【００９７】
本実施形態のコア層形成用材料９００は、添加剤９２０として、モノマー、助触媒（第１の物質）および触媒前駆体（第２の物質）を含んでいる。
【００９８】
モノマーは、後述する活性放射線に照射により、活性放射線の照射領域において反応して反応物を形成し、この反応物の存在により、層９１０において照射領域と、活性放射線の未照射領域とにおいて、屈折率差を生じさせ得るような化合物である。
【００９９】
ここで、この反応物としては、モノマーがポリマー（マトリックス）９１５中で重合して形成されたポリマー（重合体）、ポリマー９１５同士を架橋する架橋構造、および、ポリマー９１５に重合してポリマー９１５から分岐した分岐構造（ブランチポリマーや側鎖（ペンダントグループ））のうちの少なくとも１つが挙げられる。
【０１００】
ここで、層９１０において、照射領域の屈折率が高くなることが望まれる場合には、比較的低い屈折率を有するポリマー９１５と、このポリマー９１５に対して高い屈折率を有するモノマーとが組み合わせて使用され、照射領域の屈折率が低くなることが望まれる場合には、比較的高い屈折率を有するポリマー９１５と、このポリマー９１５に対して低い屈折率を有するモノマーとが組み合わせて使用される。
【０１０１】
なお、屈折率が「高い」または「低い」とは、屈折率の絶対値を意味するものではなく、ある材料同士の相対的な関係を意味する。
【０１０２】
そして、モノマーの反応（反応物の生成）により、層９１０において照射領域の屈折率が低下する場合、当該部分がクラッド部９５となり、照射領域の屈折率が上昇する場合、当該部分がコア部９４となる。
【０１０３】
このようなモノマーとしては、重合可能な部位を有する化合物であればよく、特に限定されないが、例えば、ノルボルネン系モノマー、アクリル酸（メタクリル酸）系モノマー、エポキシ系モノマー、スチレン系モノマー等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【０１０４】
これらの中でも、モノマーとしては、ノルボルネン系モノマーを用いるのが好ましい。ノルボルネン系モノマーを用いることにより、光伝送性能に優れ、かつ、耐熱性および柔軟性に優れるコア層９３（光導波路９０）が得られる。
【０１０５】
ここで、ノルボルネン系モノマーとは、下記化２（構造式Ａ）で示されるノルボルネン骨格を少なくとも１つ含むモノマーを総称し、例えば、下記化３（構造式Ｃ）で表される化合物が挙げられる。
【０１０６】
【化２】
【０１０７】
【化３】
［式中、ａは、単結合または二重結合を表し、Ｒ１〜Ｒ４は、それぞれ独立して、水素原子、置換もしくは無置換の炭化水素基、または官能置換基を表し、ｍは、０〜５の整数を表す。ただし、ａが二重結合の場合、Ｒ１およびＲ２のいずれか一方、Ｒ３およびＲ４のいずれか一方は存在しない。］
【０１０８】
無置換の炭化水素基（ハイドロカルビル基）としては、例えば、直鎖状または分岐状の炭素数１〜１０（Ｃ１〜Ｃ１０）のアルキル基、直鎖状または分岐状の炭素数２〜１０（Ｃ２〜Ｃ１０のアルケニル基、直鎖状または分岐状の炭素数２〜１０（Ｃ２〜Ｃ１０）のアルキニル基、炭素数４〜１２（Ｃ４〜Ｃ１２）のシクロアルキル基、炭素数４〜１２（Ｃ４〜Ｃ１２）のシクロアルケニル基、炭素数６〜１２（Ｃ６〜Ｃ１２）のアリール基、炭素数７〜２４（Ｃ７〜Ｃ２４）のアラルキル基（アリールアルキル基）等が挙げられ、その他、Ｒ１およびＲ２、Ｒ３およびＲ４が、それぞれ炭素数１〜１０（Ｃ１〜Ｃ１０）のアルキリデニル基であってもよい。
【０１０９】
アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ペンチル基、ネオペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基およびデシル基が挙げられるが、これらに限定されるわけではない。
【０１１０】
アルケニル基の具体例としては、ビニル基、アリル基、ブテニル基およびシクロヘキセニル基が挙げられるが、これらに限定されるわけではない。
【０１１１】
アルキニル基の具体例としては、エチニル基、１−プロピニル基、２−プロピニル基、１−ブチニル基および２−ブチニル基が挙げられるが、これらに限定されるわけではない。
【０１１２】
シクロアルキル基の具体例としては、シクロペンチル基、シクロヘキシル基およびシクロオクチル基が挙げられるが、これらに限定されるわけではない。
【０１１３】
アリール基の具体例としては、フェニル基、ナフチル基およびアントラセニル（ａｎｔｈｒａｃｅｎｙｌ）基が挙げられるが、これらに限定されるわけではない。
【０１１４】
アラルキル（ａｒａｌｋｙｌ）基の具体例としては、ベンジル基およびフェニルエチル（フェネチル：ｐｈｅｎｅｔｈｙｌ）基が挙げられるが、これらに限定されるわけではない。
【０１１５】
また、アルキリデニル（ａｌｋｙｌｉｄｅｎｙｌ）基の具体例としては、メチリデニル（ｍｅｔｈｙｌｉｄｅｎｙｌ）基およびエチリデニル（ｅｔｈｙｌｉｄｅｎｙｌ）基が挙げられるが、これらに限定されるわけではない。
【０１１６】
置換された炭化水素基としては、前記の炭化水素基が有する水素原子の一部または全部がハロゲン原子で置換されたもの、すなわち、ハロハイドロカルビル（ｈａｌｏｈｙｄｒｏｃａｒｂｙｌ）基、パーハロハイドロカルビル（ｐｅｒｈａｌｏｈｙｄｒｏｃａｒｂｙｌ）基であるか、パーハロカルビル（ｐｅｒｈａｌｏｃａｒｂｙｌ）基のようなハロゲン化炭化水素基が挙げられる。
【０１１７】
これらのハロゲン化炭化水素基において、水素原子に置換するハロゲン原子としては、塩素原子、フッ素および臭素から選択される少なくとも１種が好ましく、フッ素原子がより好ましい。
【０１１８】
このうち、パーハロゲン化された炭化水素基（パーハロハイドロカルビル基、パーハロカルビル基）の具体例としては、例えば、パーフルオロフェニル基、パーフルオロメチル基（トリフルオロメチル基）、パーフルオロエチル基、パーフルオロプロピル基、パーフルオロブチル基、パーフルオロヘキシル基等が挙げられる。
【０１１９】
なお、ハロゲン化アルキル基には、炭素数１〜１０のもの以外に、炭素数１１〜２０のものも好適に用いることができる。すなわち、ハロゲン化アルキル基には、部分的または完全にハロゲン化され、直鎖状または分岐状をなし、一般式：−ＣＺＸ’’２Ｚ＋１で表される基を選択することができる。ここで、Ｘ’’は、それぞれ独立して、ハロゲン原子または水素原子を表し、Ｚは、１〜２０の整数を表す。
【０１２０】
また、置換された炭化水素基としては、ハロゲン原子の他、直鎖状または分岐状の炭素数１〜５（Ｃ１〜Ｃ５）のアルキル基またはハロアルキル基、アリール基およびシクロアルキル基で更に置換された、シクロアルキル基、アリール基およびアラルキル基（アラアルキル基）等が挙げられる。
【０１２１】
また、官能置換基としては、例えば、−（ＣＨ２）ｎ−ＣＨ（ＣＦ２）２−Ｏ−Ｓｉ（Ｍｅ）３、−（ＣＨ２）ｎ−ＣＨ（ＣＦ３）２−Ｏ−ＣＨ２−Ｏ−ＣＨ３、−（ＣＨ２）ｎ−ＣＨ（ＣＦ３）２−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−Ｏ−Ｃ（ＣＨ３）３、−（ＣＨ２）ｎ−Ｃ（ＣＦ３）２−ＯＨ、−（ＣＨ２）ｎ−Ｃ（Ｏ）−ＮＨ２、−（ＣＨ２）ｎ−Ｃ（Ｏ）−Ｃｌ、−（ＣＨ２）ｎ−Ｃ（Ｏ）−Ｏ−Ｒ５、−（ＣＨ２）ｎ−Ｏ−Ｒ５、−（ＣＨ２）ｎ−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−Ｒ５、−（ＣＨ２）ｎ−Ｃ（Ｏ）−Ｒ５、−（ＣＨ２）ｎ−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−ＯＲ５、−（ＣＨ２）ｎ−Ｓｉ（Ｒ５）３、−（ＣＨ２）ｎ−Ｓｉ（ＯＲ５）３、−（ＣＨ２）ｎ−Ｏ−Ｓｉ（Ｒ５）３および−（ＣＨ２）ｎ−Ｃ（Ｏ）−ＯＲ６等が挙げられる。
【０１２２】
ここで、前記各式において、それぞれ、ｎは、０〜１０の整数を示し、Ｒ５は、それぞれ独立して、水素原子、直鎖状または分岐状の炭素数１〜２０（Ｃ１〜Ｃ２０）アルキル基、直鎖状または分岐状の炭素数１〜２０（Ｃ１〜Ｃ２０）のハロゲン化もしくはパーハロゲン化アルキル基、直鎖状または分岐状の炭素数２〜１０（Ｃ２〜Ｃ１０）のアルケニル基、直鎖状または分岐状の炭素数２〜１０（Ｃ２〜Ｃ１０）のアルキニル基、炭素数５〜１２（Ｃ５〜Ｃ１２）のシクロアルキル基、炭素数６〜１４（Ｃ６〜Ｃ１４）のアリール基、炭素数６〜１４（Ｃ６〜Ｃ１４）のハロゲン化もしくはパーハロゲン化アリール基または炭素数７〜２４（Ｃ７〜Ｃ２４）のアラルキル基を表す。
【０１２３】
なお、Ｒ５で示される炭化水素基は、Ｒ１〜Ｒ４で示されるものと同一の炭化水素基を示す。Ｒ１〜Ｒ４で示すように、Ｒ５で示される炭化水素基は、ハロゲン化またはパーハロゲン化されていてもよい。
【０１２４】
例えば、Ｒ５が炭素数１〜２０（Ｃ１〜Ｃ２０）のハロゲン化またはパーハロゲン化アルキル基である場合、Ｒ５は、一般式：−ＣＺＸ’’２Ｚ＋１で表される。ここで、ｚおよびＸ’’は、それぞれ、上記の定義と同じであり、Ｘ’’の少なくとも１つは、ハロゲン原子（例えば、臭素原子、塩素原子またはフッ素原子）である。
【０１２５】
ここで、パーハロゲン化アルキル基とは、前記一般式において、すべてのＸ’’がハロゲン原子である基であり、その具体例としては、トリフルオロメチル基、トリクロロメチル基、−Ｃ７Ｆ１５、−Ｃ１１Ｆ２３が挙げられるが、これらに限定されるわけではない。
【０１２６】
パーハロゲン化アリール基の具体例としては、ペンタクロロフェニル基、ペンタフルオロフェニル基が挙げられるが、これらに限定されるわけではない。
【０１２７】
また、Ｒ６としては、例えば、−Ｃ（ＣＨ３）３、−Ｓｉ（ＣＨ３）３、−ＣＨ（Ｒ７）−Ｏ−ＣＨ２ＣＨ３、−ＣＨ（Ｒ７）ＯＣ（ＣＨ３）３および下記化４の環状基等が挙げられる。
【０１２８】
【化４】
【０１２９】
ここで、Ｒ７は、水素原子、あるいは直鎖状または分岐状の炭素数１〜５（Ｃ１〜Ｃ５）のアルキル基を表す。
【０１３０】
アルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ｉ−プロピル基、ブチル基、ｉ−ブチル基、ｔ−ブチル、ペンチル基、ｔ−ペンチル基、ネオペンチル基が挙げられる。
【０１３１】
なお、上記化４で表される環状基では、環構造から延びる単結合と酸置換基との間でエステル結合が形成される。
【０１３２】
Ｒ６の具体例としては、例えば、１−メチル−１−シクロヘキシル基、イソボルニル（ｉｓｏｂｏｒｎｙｌ）基、２−メチル−２−イソボルニル基、２−メチル−２−アダマンチル基、テトラヒドロフラニル（ｔｅｔｒａｈｙｄｒｏｆｕｒａｎｙｌ）基、テトラヒドロピラノイル（ｔｅｔｒａｈｙｄｒｏｐｙｒａｎｏｙｌ）基、３−オクソシクロヘキサノイル（３−ｏｘｏｃｙｃｌｏｈｅｘａｎｏｎｙｌ）基、メバロンラクトニル（ｍｅｖａｌｏｎｉｃ ｌａｃｔｏｎｙｌ）基、１−エトキシエチル基、１−ｔ−ブトキシエチル基等が挙げられる。
【０１３３】
また、他のＲ６としては、例えば、下記化５で表されるジシクロプロピルメチル基（Ｄｃｐｍ）、ジメチルシクロプロピルメチル基（Ｄｍｃｐ）等が挙げられる。
【０１３４】
【化５】
【０１３５】
また、モノマーには、上記のモノマーに代えて、または、上記のモノマーとともに架橋性モノマー（架橋剤）を用いることもできる。この架橋性モノマーは、後述する触媒前駆体の存在下で、架橋反応を生じ得る化合物である。
【０１３６】
架橋性モノマーを用いることにより、次のような利点がある。すなわち、架橋性モノマーは、より速く重合するので、コア層９３（光導波路９０）の形成（プロセス）に要する時間を短縮することができる。また、架橋性モノマーは、加熱しても蒸発し難くいので、蒸気圧の上昇を抑えることができる。さらに、架橋性モノマーは、耐熱性に優れるため、コア層９３の耐熱性を向上させることができる。
【０１３７】
このうち、架橋性ノルボルネン系モノマーは、前記化２（構造式Ａ）で表されるノルボルネン系部位（ノルボルネン系二重結合）を含む化合物である。
【０１３８】
架橋性ノルボルネン系モノマーとしては、連続多環環系（ｆｕｓｅｄ ｍｕｌｔｉｃｙｃｌｉｃ ｒｉｎｇ ｓｙｓｔｅｍｓ）の化合物と、連結多環環系（ｌｉｎｋｅｄ ｍｕｌｔｉｃｙｃｌｉｃ ｒｉｎｇ ｓｙｓｔｅｍｓ）の化合物とがある。
【０１３９】
連続多環環系の化合物（連続多環環系の架橋性ノルボルネン系モノマー）としては、下記化６で表される化合物が挙げられる。
【０１４０】
【化６】
［式中、Ｙは、メチレン（−ＣＨ２−）基を表し、ｍは、０〜５の整数を表わす。ただし、ｍが０である場合、Ｙは、単結合である。］
【０１４１】
なお、簡略化のため、ノルボルナジエン（ｎｏｒｂｏｒｎａｄｉｅｎｅ）は、連続多環環系に含まれ、重合性ノルボルネン系二重結合を含むものと考えることとする。
【０１４２】
この連続多環環系の化合物の具体例としては、下記化７で表される化合物が挙げられるが、これらに限定されるわけではない。
【０１４３】
【化７】
【０１４４】
一方、連結多環環系の化合物（連結多環環系の架橋性ノルボルネン系モノマー）としては、下記化８で表される化合物が挙げられる。
【０１４５】
【化８】
［式中、ａは、それぞれ独立して、単結合または二重結合を表し、ｍは、それぞれ独立して、０〜５の整数を表し、Ｒ９は、それぞれ独立して二価の炭化水素基、二価のエーテル基または二価のシリル基を表す。また、ｎは、０または１である。］
【０１４６】
ここで、二価の置換基とは、端部にノルボルネン構造に結合し得る結合手を２つ有する基のことを言う。
【０１４７】
二価の炭化水素基（ハイドロカルビル基）の具体例としては、一般式：−（ＣｄＨ２ｄ）−で表されるアルキレン基（ｄは、好ましくは１〜１０の整数を表す。）と、二価の芳香族基（アリール基）とが挙げられる。
【０１４８】
二価のアルキレン基としては、直鎖状または分岐状の炭素数１〜１０（Ｃ１〜Ｃ１０）のアルキレン基が好ましく、例えば、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、ペンチレン基、へキシレン基、ヘプチレン基、オクチレン基、ノニレン基、デシレン基が挙げられる。
【０１４９】
なお、分岐アルキレン基は、主鎖の水素原子が、直鎖状または分岐状のアルキル基で置換されたものである。
【０１５０】
一方、二価の芳香族基としては、二価のフェニル基、二価のナフチル基が好ましい。
また、二価のエーテル基は、−Ｒ１０−Ｏ−Ｒ１０−で表される基である。
ここで、Ｒ１０は、それぞれ独立して、Ｒ９と同じものを表す。
【０１５１】
この連結多環環系の化合物の具体例としては、下記化９、化１０、化１１、化１２で表される化合物の他、化１３、化１４で表されるフッ素含有化合物（フッ素含有架橋性ノルボルネン系モノマー）が挙げられるが、これらに限定されるわけではない。
【０１５２】
【化９】
【０１５３】
【化１０】
【０１５４】
この化１０で表される化合物は、ジメチルビス［ビシクロ［２．２．１］へプト−２−エン−５−メトキシ］シランであり、またの命名では、ジメチルビス（ノルボルネンメトキシ）シラン（「ＳｉＸ」と略される。）と呼ばれる。
【０１５５】
【化１１】
［式中、ｎは、０〜４の整数を表す。］
【０１５６】
【化１２】
【０１５７】
【化１３】
［式中、ｍおよびｎは、それぞれ、１〜４の整数を表す。］
【０１５８】
【化１４】
【０１５９】
【化１５】
【０１６０】
各種の架橋性ノルボルネン系モノマーの中でも、特に、ジメチルビス（ノルボルネンメトキシ）シラン（ＳｉＸ）が好ましい。ＳｉＸは、アルキルノルボルネンの繰り返し単位および／またはアラルキルノルボルネンの繰り返し単位を含むノルボルネン系ポリマーに対して十分に低い屈折率を有する。このため、後述する活性放射線を照射する照射領域の屈折率を確実に低くして、クラッド部９５とすることができる。また、コア部９４とクラッド部９５との間における屈折率差を大きくすることができ、コア層９３（光導波路９０）の特性（光伝送性能）の向上を図ることができる。
【０１６１】
なお、以上のようなモノマーは、単独または任意に組み合わせて用いるようにしてもよい。
【０１６２】
触媒前駆体（第２の物質）は、前記のモノマーの反応（重合反応、架橋反応等）を開始させ得る物質であり、後述する活性放射線の照射により活性化した助触媒（第１の物質）の作用により、活性化温度が変化する物質である。
【０１６３】
この触媒前駆体（プロカタリスト：ｐｒｏｃａｔａｌｙｓｔ）としては、活性放射線の照射に伴って活性化温度が変化（上昇または低下）するものであれば、いかなる化合物を用いてもよいが、特に、活性放射線の照射に伴って活性化温度が低下するものが好ましい。これにより、比較的低温による加熱処理でコア層９３（光導波路９０）を形成することができ、他の層に不要な熱が加わって、光導波路９０の特性（光伝送性能）が低下するのを防止することができる。
【０１６４】
このような触媒前駆体としては、下記式（Ｉａ）および（Ｉｂ）で表わされる化合物の少なくとも一方を含む（主とする）ものが好適に用いられる。
【０１６５】
【化１６】
［式Ｉａ、Ｉｂ中、それぞれ、Ｅ（Ｒ）３は、第１５族の中性電子ドナー配位子を表し、Ｅは、周期律表の第１５族から選択される元素を表し、Ｒは、水素原子（またはその同位体の１つ）または炭化水素基を含む部位を表し、Ｑは、カルボキシレート、チオカルボキシレートおよびジチオカルボキシレートから選択されるアニオン配位子を表す。また、式Ｉｂ中、ＬＢは、ルイス塩基を表し、ＷＣＡは、弱配位アニオンを表し、ａは、１〜３の整数を表し、ｂは、０〜２の整数を表し、ａとｂとの合計は、１〜３であり、ｐおよびｒは、パラジウムカチオンと弱配位アニオンとの電荷のバランスをとる数を表す。］
【０１６６】
式Ｉａに従う典型的な触媒前駆体としては、Ｐｄ（ＯＡｃ）２（Ｐ（ｉ−Ｐｒ）３）２、Ｐｄ（ＯＡｃ）２（Ｐ（Ｃｙ）３）２、Ｐｄ（Ｏ２ＣＣＭｅ３）２（Ｐ（Ｃｙ）３）２、Ｐｄ（ＯＡｃ）２（Ｐ（Ｃｐ）３）２、Ｐｄ（Ｏ２ＣＣＦ３）２（Ｐ（Ｃｙ）３）２、Ｐｄ（Ｏ２ＣＣ６Ｈ５）３（Ｐ（Ｃｙ）３）２が挙げられるが、これらに限定されるわけではない。ここで、Ｃｐは、シクロペンチル（ｃｙｃｌｏｐｅｎｔｙｌ）基を表し、Ｃｙは、シクロヘキシル基を表す。
【０１６７】
また、式Ｉｂで表される触媒前駆体としては、ｐおよびｒが、それぞれ１および２の整数から選択される化合物が好ましい。
【０１６８】
このような式Ｉｂに従う典型的な触媒前駆体としては、Ｐｄ（ＯＡｃ）２（Ｐ（Ｃｙ）３）２が挙げられる。ここで、Ｃｙは、シクロヘキシル基を表し、Ａｃは、アセチル基を表す。
【０１６９】
これらの触媒前駆体は、モノマーを効率よく反応（ノルボルネン系モノマーの場合、付加重合反応によって効率よく重合反応や架橋反応等）することができる。
【０１７０】
また、活性化温度が低下した状態（活性潜在状態）において、触媒前駆体としては、その活性化温度が本来の活性化温度よりも１０〜８０℃程度（好ましくは、１０〜５０℃程度）低くなるものが好ましい。これにより、コア部９４とクラッド部９５との間の屈折率差を確実に生じさせることができる。
【０１７１】
かかる触媒前駆体としては、Ｐｄ（ＯＡｃ）２（Ｐ（ｉ−Ｐｒ）３）２およびＰｄ（ＯＡｃ）２（Ｐ（Ｃｙ）３）２のうちの少なくとも一方を含む（主とする）ものが好適である。
【０１７２】
なお、以下では、Ｐｄ（ＯＡｃ）２（Ｐ（ｉ−Ｐｒ）３）２を「Ｐｄ５４５」と、また、Ｐｄ（ＯＡｃ）２（Ｐ（Ｃｙ）３）２を「Ｐｄ７８５」と略すことがある。
【０１７３】
助触媒（第１の物質）は、活性放射線の照射によって活性化して、前記の触媒前駆体（プロカタリスト）の活性化温度（モノマーに反応を生じさせる温度）を変化させ得る物質である。
【０１７４】
この助触媒（コカタリスト：ｃｏｃａｔａｌｙｓｔ）としては、活性放射線の照射により、その分子構造が変化（反応または分解）して活性化する化合物であれば、いかなるものでも用いることができるが、特定波長の活性放射線の照射によって分解し、プロトンや他の陽イオン等のカチオンと、触媒前駆体の脱離基に置換し得る弱配位アニオン（ＷＣＡ）とを発生する化合物（光開始剤）を含む（主とする）ものが好適に用いられる。
【０１７５】
弱配位アニオンとしては、例えば、テトラキス（ペンタフルオロフェニル）ホウ酸イオン（ＦＡＢＡ−）、ヘキサフルオロアンチモン酸イオン（ＳｂＦ６−）等が挙げられる。
【０１７６】
この助触媒（光酸発生剤または光塩基発生剤）としては、例えば、下記化１７で表されるテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ホウ酸塩やヘキサフルオロアンチモン酸塩の他、テトラキス（ペンタフルオロフェニル）ガリウム酸塩、アルミン酸塩類、アンチモン酸塩類、他のホウ酸塩類、ガリウム酸塩類、カルボラン類、ハロカルボラン類等が挙げられる。
【０１７７】
【化１７】
【０１７８】
このような助触媒の市販品としては、例えば、ニュージャージ州クランベリーのＲｈｏｄｉａ ＵＳＡ社から入手可能な「ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ（登録商標、以下同様である。） ＰＨＯＴＯＩＮＩＴＩＡＴＯＲ ２０７４（ＣＡＳ番号第１７８２３３−７２−２番）」、日本国東京の東洋インキ製造株式会社から入手可能な「ＴＡＧ−３７２Ｒ（（ジメチル（２−（２−ナフチル）−２−オキソエチル）スルフォニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート：ＣＡＳ番号第１９３９５７−５４−９番））、日本国東京のみどり化学株式会社から入手可能な「ＭＰＩ−１０３（ＣＡＳ番号第８７７０９−４１−９番）」、日本国東京の東洋インキ製造株式会社から入手可能な「ＴＡＧ−３７１（ＣＡＳ番号第１９３９５７−５３−８番）」、日本国東京の東洋合成工業株式会社から入手可能な「ＴＴＢＰＳ−ＴＰＦＰＢ（トリス（４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）スルフォニウムテトラキス（ペンタペンタフルオロフェニル）ボレート）」、日本国東京のみどり化学工業株式会社より入手可能な「ＮＡＩ−１０５（ＣＡＳ番号第８５３４２−６２−７番）」等が挙げられる。
【０１７９】
なお、助触媒（第１の物質）として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ＰＨＯＴＯＩＮＩＴＩＡＴＯＲ ２０７４を用いる場合、後述する活性放射線（化学線）としては、紫外線（ＵＶ光）が好適に用いられ、紫外線の照射手段としては、水銀灯（高圧水銀ランプ）が好適に用いられる。これにより、層９１０に対して、３００ｎｍ未満の十分なエネルギーの紫外線（活性放射線）を供給することができ、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ＰＨＯＴＯＩＮＩＴＩＡＴＯＲ ２０７４を効率よく分解して、上記のカチオンおよびＷＣＡを発生させることができる。
【０１８０】
また、コア層形成用材料（ワニス）９００中には、必要に応じて、増感剤を添加するようにしてもよい。
【０１８１】
増感剤は、活性放射線に対する助触媒の感度を増大して、助触媒の活性化（反応または分解）に要する時間やエネルギーを減少させる機能や、助触媒の活性化に適する波長に活性放射線の波長を変化させる機能を有するものである。
【０１８２】
このような増感剤としては、助触媒の感度や増感剤の吸収のピーク波長等に応じて適宜選択され、特に限定されないが、例えば、９，１０−ジブトキシアントラセン（ＣＡＳ番号第７６２７５−１４−４番）のようなアントラセン類、キサントン類、アントラキノン類、フェナントレン類、クリセン類、ベンツピレン類、フルオラセン類（ｆｌｕｏｒａｎｔｈｅｎｅｓ）、ルブレン類、ピレン類、インダンスリーン類、チオキサンテン−９−オン類（ｔｈｉｏｘａｎｔｈｅｎ−９−ｏｎｅｓ）等が挙げられ、これらを単独または混合物として用いられる。
【０１８３】
増感剤の具体例としては、２−イソプロピル−９Ｈ−チオキサンテン−９−オン、４−イソプロピル−９Ｈ−チオキサンテン−９−オン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントン、フェノチアジン（ｐｈｅｎｏｔｈｉａｚｉｎｅ）またはこれらの混合物が挙げられる。
【０１８４】
なお、９，１０−ジブトキシアントラセン（ＤＢＡ）は、日本国神奈川県の川崎化成工業株式会社から入手が可能である。
【０１８５】
コア層形成用材料９００中の増感剤の含有量は、特に限定されないが、０．０１重量％以上であるのが好ましく、０．５重量％以上であるのがより好ましく、１重量％以上であるのがさらに好ましい。なお、上限値は、５重量％以下であるのが好ましい。
【０１８６】
さらに、コア層形成用材料９００中には、酸化防止剤を添加することができる。これにより、望ましくないフリーラジカルの発生や、ポリマー９１５の自然酸化を防止することができる。その結果、得られたコア層９３（光導波路９０）の特性の向上を図ることができる。
【０１８７】
この酸化防止剤としては、ニューヨーク州タリータウンのＣｉｂａ Ｓｐｅｃｉａｌｔｙ Ｃｈｅｍｉｃａｌｓ社から入手可能なＣｉｂａ（登録商標、以下同様である。） ＩＲＧＡＮＯＸ（登録商標、以下同様である。） １０７６およびＣｉｂａ ＩＲＧＡＦＯＳ（登録商標、以下同様である。） １６８が好適に用いられる。
【０１８８】
また、他の酸化防止剤としては、例えば、Ｃｉｂａ Ｉｒｇａｎｏｘ（登録商標、以下同様である。） １２９、Ｃｉｂａ Ｉｒｇａｎｏｘ １３３０、Ｃｉｂａ Ｉｒｇａｎｏｘ １０１０、Ｃｉｂａ Ｃｙａｎｏｘ（登録商標、以下同様である。） １７９０、Ｃｉｂａ Ｉｒｇａｎｏｘ（登録商標） ３１１４、Ｃｉｂａ Ｉｒｇａｎｏｘ ３１２５等を用いることもできる。
【０１８９】
なお、このような酸化防止剤は、例えば、層９１０が酸化条件に曝されない場合や、曝される期間が極めて短い場合等には、省略することもできる。
【０１９０】
コア層形成用材料（ワニス）９００の調製に用いる溶媒としては、例えば、ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、１，２−ジメトキシエタン（ＤＭＥ）、１，４−ジオキサン、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）、テトラヒドロピラン（ＴＨＰ）、アニソール、ジエチレングリコールジメチルエーテル（ジグリム）、ジエチレングリコールエチルエーテル（カルビトール）等のエーテル系溶媒、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、フェニルセロソルブ等のセロソルブ系溶媒、ヘキサン、ペンタン、ヘプタン、シクロヘキサン等の脂肪族炭化水素系溶媒、トルエン、キシレン、ベンゼン、メシチレン等の芳香族炭化水素系溶媒、ピリジン、ピラジン、フラン、ピロール、チオフェン、メチルピロリドン等の芳香族複素環化合物系溶媒、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド（ＤＭＡ）等のアミド系溶媒、ジクロロメタン、クロロホルム、１，２−ジクロロエタン等のハロゲン化合物系溶媒、酢酸エチル、酢酸メチル、ギ酸エチル等のエステル系溶媒、ジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）、スルホラン等の硫黄化合物系溶媒等の各種有機溶媒、または、これらを含む混合溶媒等が挙げられる。
【０１９１】
さて、支持基板９５１上に形成された液状被膜中から溶媒を除去（脱溶媒）する方法としては、例えば、自然乾燥、加熱、減圧下での放置、不活性ガスの吹付け（ブロー）などによる強制乾燥等の方法が挙げられる。
【０１９２】
以上のようにして、支持基板９５１上には、コア層形成用材料９００のフィルム状の固化物（または硬化物）である層９１０が形成される。
【０１９３】
このとき、層（ＰＩＴＤＭの乾燥フィルム）９１０は、第１の屈折率（ＲＩ）を有している。この第１の屈折率は、層９１０中に一様に分散（分布）するポリマー９１５およびモノマーの作用による。
【０１９４】
［２Ａ］ 次に、開口（窓）９３５１が形成されたマスク（マスキング）９３５を用意し、このマスク９３５を介して、層９１０に対して活性放射線（活性エネルギー光線）９３０を照射する（図３参照）。
【０１９５】
以下では、モノマーとして、ポリマー９１５より低い屈折率を有するものを用い、また、触媒前駆体として、活性放射線９３０の照射に伴って活性化温度が低下するものを用いる場合を一例に説明する。
【０１９６】
すなわち、ここで示す例では、活性放射線９３０の照射領域９２５がクラッド部９５となる。
【０１９７】
したがって、ここで示す例では、マスク９３５には、形成すべきクラッド部９５のパターンと等価な開口（窓）９３５１が形成される。この開口９３５１は、照射する活性放射線９３０が透過する透過部を形成するものである。
【０１９８】
マスク９３５は、予め形成（別途形成）されたもの（例えばプレート状のもの）でも、層９１０上に例えば気相成膜法や塗布法により形成されたものでもよい。
【０１９９】
マスク９３５として好ましいものの例としては、石英ガラスやＰＥＴ基材等で作製されたフォトマスク、ステンシルマスク、気相成膜法（蒸着、スパッタリング等）により形成された金属薄膜等が挙げられるが、これらの中でもフォトマスクやステンシルマスクを用いるのが特に好ましい。微細なパターンを精度良く形成することができるとともに、ハンドリングがし易く、生産性の向上に有利であるからである。
【０２００】
また、図３においては、形成すべきクラッド部９５のパターンと等価な開口（窓）９３５１は、活性放射線９３０の未照射領域９４０のパターンに沿ってマスクを部分的に除去したものを示したが、前記石英ガラスやＰＥＴ基材等で作製されたフォトマスクを用いる場合、該フォトマスク上に例えばクロム等の金属による遮蔽材で構成された活性放射線９３０の遮蔽部を設けたものを用いることもできる。このマスクでは、遮蔽部以外の部分が前記窓（透過部）となる。
【０２０１】
用いる活性放射線９３０は、助触媒に対して、光化学的な反応（変化）を生じさせ得るものであればよく、例えば、可視光、紫外光、赤外光、レーザ光の他、電子線やＸ線等を用いることもできる。
【０２０２】
これらの中でも、活性放射線９３０は、助触媒の種類、増感剤を含有する場合には、増感剤の種類等によって適宜選択され、特に限定されないが、波長２００〜４５０ｎｍの範囲にピーク波長を有するものであるのが好ましい。これにより、助触媒を比較的容易に活性化させることができる。
【０２０３】
また、活性放射線９３０の照射量は、０．１〜９Ｊ／ｃｍ２程度であるのが好ましく、０．２〜６Ｊ／ｃｍ２程度であるのがより好ましく、０．２〜３Ｊ／ｃｍ２程度であるのがさらに好ましい。これにより、助触媒を確実に活性化させることができる。
【０２０４】
マスク９３５を介して、活性放射線９３０を層９１０に照射すると、活性放射線９３０が照射された照射領域９２５内に存在する助触媒（第１の物質：コカタリスト）は、活性放射線９３０の作用により反応（結合）または分解して、カチオン（プロトンまたは他の陽イオン）と、弱配位アニオン（ＷＣＡ）とを遊離（発生）する。
【０２０５】
そして、これらのカチオンや弱配位アニオンは、照射領域９２５内に存在する触媒前駆体（第２の物質：プロカタリスト）の分子構造に変化（分解）を生じさせ、これを活性潜在状態（潜在的活性状態）に変化させる。
【０２０６】
ここで、活性潜在状態（または潜在的活性状態）の触媒前駆体とは、本来の活性化温度より活性化温度が低下しているが、温度上昇がないと、すなわち、室温程度では、照射領域９２５内においてモノマーの反応を生じさせることができない状態にある触媒前駆体のことを言う。
【０２０７】
したがって、活性放射線９３０照射後においても、例えば−４０℃程度で、層９１０を保管すれば、モノマーの反応を生じさせることなく、その状態を維持することができる。このため、活性放射線９３０照射後の層９１０を複数用意しておき、これらに一括して加熱処理を施すことにより、コア層９３を得ることができ、利便性が高い。
【０２０８】
なお、活性放射線９３０として、レーザ光のように指向性の高い光を用いる場合には、マスク９３５の使用を省略してもよい。
【０２０９】
［３Ａ］ 次に、層９１０に対して加熱処理（第１の加熱処理）を施す。
これにより、照射領域９２５内では、活性潜在状態の触媒前駆体が活性化して（活性状態となって）、モノマーの反応（重合反応や架橋反応）が生じる。
【０２１０】
そして、モノマーの反応が進行すると、照射領域９２５内におけるモノマー濃度が徐々に低下する。これにより、照射領域９２５と未照射領域９４０との間には、モノマー濃度に差が生じ、これを解消すべく、未照射領域９４０からモノマーが拡散（モノマーディフュージョン）して照射領域９２５に集まってくる。
【０２１１】
その結果、照射領域９２５では、モノマーやその反応物（重合体、架橋構造や分岐構造）が増加し、当該領域の屈折率にモノマー由来の構造が大きく影響を及ぼすようになり、第１の屈折率より低い第２の屈折率へと低下する。なお、モノマーの重合体としては、主に付加（共）重合体が生成する。
【０２１２】
一方、未照射領域９４０では、当該領域から照射領域９２５にモノマーが拡散することにより、モノマー量が減少するため、当該領域の屈折率にポリマー９１５の影響が大きく現れるようになり、第１の屈折率より高い第３の屈折率へと上昇する。
【０２１３】
このようにして、照射領域９２５と未照射領域９４０との間に屈折率差（第２の屈折率＜第３の屈折率）が生じて、コア部９４（未照射領域９４０）とクラッド部９５（照射領域９２５）とが形成される（図４参照）。
【０２１４】
この加熱処理における加熱温度は、特に限定されないが、３０〜８０℃程度であるのが好ましく、４０〜６０℃程度であるのがより好ましい。
【０２１５】
また、加熱時間は、照射領域９２５内におけるモノマーの反応がほぼ完了するように設定するのが好ましく、具体的には、０．１〜２時間程度であるのが好ましく、０．１〜１時間程度であるのがより好ましい。
【０２１６】
［４Ａ］ 次に、層９１０に対して第２の加熱処理を施す。
これにより、未照射領域９４０および／または照射領域９２５に残存する触媒前駆体を、直接または助触媒の活性化を伴って、活性化させる（活性状態とする）ことにより、各領域９２５、９４０に残存するモノマーを反応させる。
【０２１７】
このように、各領域９２５、９４０に残存するモノマーを反応させることにより、得られるコア部９４およびクラッド部９５の安定化を図ることができる。
【０２１８】
この第２の加熱処理における加熱温度は、触媒前駆体または助触媒を活性化し得る温度であればよく、特に限定されないが、７０〜１００℃程度であるのが好ましく、８０〜９０℃程度であるのがより好ましい。
【０２１９】
また、加熱時間は、０．５〜２時間程度であるのが好ましく、０．５〜１時間程度であるのがより好ましい。
【０２２０】
［５Ａ］ 次に、層９１０に対して第３の加熱処理を施す。
これにより、得られるコア層９３に生じる内部応力の低減や、コア部９４およびクラッド部９５の更なる安定化を図ることができる。
【０２２１】
この第３の加熱処理における加熱温度は、第２の加熱処理における加熱温度より２０℃以上高く設定するのが好ましく、具体的には、９０〜１８０℃程度であるのが好ましく、１２０〜１６０℃程度であるのがより好ましい。
【０２２２】
また、加熱時間は、０．５〜２時間程度であるのが好ましく、０．５〜１時間程度であるのがより好ましい。
【０２２３】
以上の工程を経て、コア層９３が得られる。
なお、例えば、第２の加熱処理や第３の加熱処理を施す前の状態で、コア部９４とクラッド部９５との間に十分な屈折率差が得られている場合等には、本工程［５Ａ］や前記工程［４Ａ］を省略してもよい。
【０２２４】
［６Ａ］ 次に、支持基板９５２上に、クラッド層９１（９２）を形成する（図５参照）。
【０２２５】
クラッド層９１（９２）の形成方法としては、クラッド材を含むワニス（クラッド層形成用材料）を塗布し硬化（固化）させる方法、硬化性を有するモノマー組成物を塗布し硬化（固化）させる方法等、いかなる方法でもよい。
【０２２６】
クラッド層９１（９２）を塗布法で形成する場合、例えば、スピンコート法、ディッピング法、テーブルコート法、スプレー法、アプリケーター法、カーテンコート法、ダイコート法等の方法が挙げられる。
支持基板９５２には、支持基板９５１と同様のものを用いることができる。
【０２２７】
クラッド層９１（９２）の構成材料としては、例えば、アクリル系樹脂、メタクリル系樹脂、ポリカーボネート、ポリスチレン、エポキシ樹脂、ポリアミド、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ベンゾシクロブテン系樹脂やノルボルネン系樹脂等の環状オレフィン系樹脂等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて（ポリマーアロイ、ポリマーブレンド（混合物）、共重合体、複合体（積層体）など）用いることができる。
【０２２８】
これらのうち、特に耐熱性に優れるという点で、エポキシ樹脂、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ベンゾシクロブテン系樹脂やノルボルネン系樹脂等の環状オレフィン系樹脂、またはそれらを含むもの（主とするもの）を用いるのが好ましい。
【０２２９】
クラッド層９１（９２）の材料として、環状オレフィン系樹脂、特にノルボルネン系樹脂（ノルボルネン系ポリマー）を含む（主とする）樹脂材料を用いた場合には、コア層９３の構成材料として好適に用いられる材料と同種となるため、コア層９３との密着性がさらに高いものとなり、クラッド層９１（９２）とコア層９３との間での層間剥離を防止することができる。このようなことから、耐久性に優れた光導波路９０が得られる。
【０２３０】
このようなノルボルネン系ポリマーとしては、例えば、（１）ノルボルネン型モノマーを付加（共）重合して得られるノルボルネン型モノマーの付加（共）重合体、（２）ノルボルネン型モノマーとエチレンやα−オレフィン類との付加共重合体、（３）ノルボルネン型モノマーと非共役ジエン、および必要に応じて他のモノマーとの付加共重合体のような付加重合体、（４）ノルボルネン型モノマーの開環（共）重合体、および必要に応じて該（共）重合体を水素添加した樹脂、（５）ノルボルネン型モノマーとエチレンやα−オレフィン類との開環共重合体、および必要に応じて該（共）重合体を水素添加した樹脂、（６）ノルボルネン型モノマーと非共役ジエン、または他のモノマーとの開環共重合体、および必要に応じて該（共）重合体を水素添加したポリマーのような開環重合体が挙げられる。これらの重合体としては、ランダム共重合体、ブロック共重合体、交互共重合体等が挙げられる。
【０２３１】
これらのノルボルネン系ポリマーは、例えば、開環メタセシス重合（ＲＯＭＰ）、ＲＯＭＰと水素化反応との組み合わせ、ラジカルまたはカチオンによる重合、カチオン性パラジウム重合開始剤を用いた重合、これ以外の重合開始剤（例えば、ニッケルや他の遷移金属の重合開始剤）を用いた重合等、公知のすべての重合方法で得ることができる。
【０２３２】
これらの中でも、ノルボルネン系ポリマーとしては、付加（共）重合体が好ましい。このものは、透明性、耐熱性および可撓性に富むことからも好ましい。
【０２３３】
クラッド層９１、９２に用いるノルボルネン系ポリマーは、比較的屈折率の低いものが好ましい。
【０２３４】
比較的低い屈折率を有するノルボルネン系ポリマーとしては、末端にエポキシ構造を含む置換基を有するノルボルネンの繰り返し単位を含むものが好ましい。かかるノルボルネン系ポリマーは、特に低い屈折率を有する。
【０２３５】
また、ノルボルネン系ポリマーは、アルキルノルボルネンの繰り返し単位を含むものが好ましい。アルキルノルボルネンの繰り返し単位を含むノルボルネン系ポリマーは、柔軟性が高いため、かかるノルボルネン系ポリマーを用いることにより、光導波路９０に高いフレキシビリティ（可撓性）を付与することができる。
【０２３６】
アルキルノルボルネンの繰り返し単位が有するアルキル基としては、例えば、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基等が挙げられるが、ヘキシル基が特に好ましい。なお、これらのアルキル基は、直鎖状または分岐状のいずれであってもよい。
【０２３７】
ヘキシルノルボルネンの繰り返し単位を含むことにより、ノルボルネン系ポリマー全体の屈折率が上昇するのを防止することができる。また、ヘキシルノルボルネンの繰り返し単位を有するノルボルネン系ポリマーは、前述したような波長領域（特に、８５０ｎｍ付近の波長領域）の光に対する透過率が優れることから好ましい。
なお、クラッド層９１（９２）は、コア層９３のコア部９４の屈折率より低いものであればよく、前述したようなコア層形成用材料を用いるようにしてもよい。
以上のようにして、支持基板９５２上に、クラッド層９１（９２）が形成される。
【０２３８】
［７Ａ］ 次に、支持基板９５１からコア層９３を剥離し、このコア層９３を、クラッド層９１が形成された支持基板９５２と、クラッド層９２が形成された支持基板９５２とで挟持する（図６参照）。
【０２３９】
そして、図６中の矢印で示すように、クラッド層９２が形成された支持基板９５２の上面側から加圧し、クラッド層９１、９２とコア層９３とを圧着する。
これにより、クラッド層９１、９２とコア層９３とが接合、一体化される。
【０２４０】
また、この圧着作業は、加熱下で行われるのが好ましい。加熱温度は、クラッド層９１、９２やコア層９３の構成材料等により適宜決定されるが、通常は、８０〜２００℃程度が好ましく、１２０〜１８０℃程度がより好ましい。
【０２４１】
次いで、クラッド層９１、９２から、それぞれ、支持基板９５２を剥離、除去する。これにより、光導波路９０が得られる。
【０２４２】
［８Ａ］ 次に、光導波路９０の上面および下面に、それぞれ導体層９０１、９０２を形成する（図７参照）。
【０２４３】
各導体層９０１、９０２の形成方法としては、それぞれ、例えば、プラズマＣＶＤ法、熱ＣＶＤ法、レーザーＣＶＤ法のような化学的気相成膜法（ＣＶＤ法）、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法のような物理的気相成膜法（ＰＶＤ法）等の乾式メッキ法、電解メッキ、浸漬メッキ、無電解メッキ等の湿式メッキ法や、ラミネート法による導電性シート材の接合のうちの少なくとも１つを用いることができる。これにより、各導体層９０１、９０２と光導波路９０との高い密着性が得られる。
以上のようにして、本発明の光導波路構造体９が完成する。
【０２４４】
このような光導波路構造体９の好ましい例では、コア層９３において、コア部９４が第１のノルボルネン系材料を主材料として構成され、クラッド部９５が第１のノルボルネン系材料より低い屈折率を有する第２のノルボルネン系材料を主材料として構成され、クラッド層９１、９２が、それぞれ、第１のノルボルネン系材料より屈折率が低く、ノルボルネン系ポリマーを含有する第３のノルボルネン系材料を主材料として構成される。
【０２４５】
そして、第１のノルボルネン系材料と前記第２のノルボルネン系材料とは、いずれも、同一のノルボルネン系ポリマーを含有するが、このノルボルネン系ポリマーと異なる屈折率を有するノルボルネン系モノマーの反応物の含有量が異なることにより、互いに屈折率が異なっている。
【０２４６】
ノルボルネン系ポリマーは、透明性が高いため、かかる構成の光導波路構造体９では、光導波路９０の高い光伝送性能が得られる。
【０２４７】
また、このような構成により、コア部９４とクラッド部９５との間の高い密着性のみならず、コア層９３とクラッド層９１およびクラッド層９２との間の高い密着性が得られ、光導波路構造体９に曲げ等の変形が生じた場合でも、コア部９４とクラッド部９５との剥離や、コア層９３とクラッド層９１、９２との層間剥離が生じ難く、コア部９４内やクラッド部９５内にマイクロクラックが発生することも防止される。その結果、光導波路９０の光伝送性能が維持される。
【０２４８】
さらに、ノルボルネン系ポリマーは、高い耐熱性、高い疎水性を有するため、かかる構成の光導波路９０（光導波路構造体９）では、耐久性に優れたものとなる。
【０２４９】
また、光導波路９０に高い耐熱性や高い疎水性を付与することができるため、その特性の低下（劣化）を防止しつつ、前述したような各種の方法を採用して導体層９０１、９０２を確実に形成することができる。特に、光の伝送に重要なコア部９４と重なるように、導体層９０１、９０２を形成した場合でも、コア部９４の変質・劣化を防止することができる。
【０２５０】
また、以上のような製造方法によれば、簡単な処理で、しかも短時間に、所望の形状を有し、かつ、寸法精度の高いコア部９４を有する光導波路構造体９を得ることができる。
【０２５１】
＜第２の製造方法＞
次に、光導波路構造体９の第２の製造方法について説明する。
【０２５２】
以下、第２の製造方法について説明するが、前記第１の製造方法との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０２５３】
第２の製造方法では、コア層形成用材料９００の組成が異なり、それ以外は、前記第１の製造方法と同様である。
【０２５４】
すなわち、第２の製造方法で用いられるコア層形成用材料９００は、活性放射線の照射により活性化する離脱剤（物質）と、主鎖と該主鎖から分岐し、活性化した離脱剤の作用により、分子構造の少なくとも一部が主鎖から離脱し得る離脱性基（離脱性ぺンダントグループ）とを有するポリマー９１５とを含有している。
離脱剤には、前記第１の製造方法で挙げた助触媒と同様のものを用いることができる。
【０２５５】
第２の製造方法において用いられるポリマー９１５としては、前記第１の製造方法で挙げたポリマー９１５が有する置換基を離脱性基で置換したものや、前記第１の製造方法で挙げたポリマー９１５に離脱性基を導入したもの等が挙げられる。
【０２５６】
かかるポリマー９１５は、離脱性基の離脱（切断）により、その屈折率が変化（上昇または低下）する。
【０２５７】
離脱性基は、カチオン、アニオンまたはフリーラジカルの作用により離脱するもの、すなわち、酸（カチオン）脱離性基、塩基（アニオン）脱離性基、フリーラジカル脱離性基のいずれであってもよいが、好ましくはカチオン（プロトン）の作用により離脱するもの（酸基離脱性基）である。
【０２５８】
酸離脱性基としては、その分子構造中に、−Ｏ−構造、−Ｓｉ−アリール構造および−Ｏ−Ｓｉ−構造のうちの少なくとも１つを有するものが好ましい。かかる酸離脱性基は、カチオンの作用により比較的容易に離脱する。
【０２５９】
このうち、離脱によりポリマー９１５の屈折率に低下を生じさせる酸離脱性基としては、−Ｓｉ−ジフェニル構造および−Ｏ−Ｓｉ−ジフェニル構造の少なくとも一方が好ましい。
【０２６０】
なお、フリーラジカルの作用により離脱するフリーラジカル脱離性基としては、例えば、末端にアセトフェノン構造を有する置換基等が挙げられる。
【０２６１】
また、ポリマー９１５は、前記第１の製造方法で説明したのと同様の理由から、ノルボルネン系ポリマーを用いるのが好ましく、アルキル（特にヘキシル）ノルボルネンの繰り返し単位を含むノルボルネン系ポリマーを用いるのがより好ましい。
【０２６２】
以上のことを考慮した場合、離脱性基の離脱により屈折率が低下するポリマー９１５としては、ジフェニルメチルノルボルネンメトキシシランのホモポリマーや、ヘキシルノルボルネンとジフェニルメチルノルボルネンメトキシシランとのコポリマーが好適に用いられる。
【０２６３】
以下では、ポリマー９１５として、離脱性基（特に酸離脱性基）の離脱により屈折率が低下するものを用いる場合を一例に説明する。
【０２６４】
すなわち、ここで示す例では、活性放射線９３０の照射領域９２５がクラッド部９５となる。
【０２６５】
［１Ｂ］ 前記工程［１Ａ］と同様の工程を行う。
このとき、層（ＰＩＴＤＭの乾燥フィルム）１０は、第１の屈折率（ＲＩ）を有している。この第１の屈折率は、層９１０中に一様に分散（分布）するポリマー９１５の作用による。
【０２６６】
［２Ｂ］ 前記工程［２Ａ］と同様の工程を行う。
マスク９３５を介して、活性放射線９３０を層９１０に照射すると、活性放射線９３０が照射された照射領域９２５内に存在する離脱剤は、活性放射線９３０の作用により反応（結合）または分解して、カチオン（プロトンまたは他の陽イオン）と、弱配位アニオン（ＷＣＡ）とを遊離（発生）する。
【０２６７】
そして、カチオンは、離脱性基そのものを主鎖から離脱させるか、または、離脱性基の分子構造の途中から切断する（フォトブリーチ）。
【０２６８】
これにより、照射領域９２５では、未照射領域９４０よりも完全な状態の離脱性基の数が減少し、第１の屈折率より低い第２の屈折率へと低下する。なお、このとき、未照射領域９４０の屈折率は、第１の屈折率が維持される。
【０２６９】
このようにして、照射領域９２５と未照射領域９４０との間に屈折率差（第２の屈折率＜第１の屈折率）が生じて、コア部９４（未照射領域９４０）とクラッド部９５（照射領域９２５）とが形成される。
【０２７０】
なお、この場合、活性放射線９３０の照射量は、０．１〜９Ｊ／ｃｍ２程度であるのが好ましく、０．３〜６Ｊ／ｃｍ２程度であるのがより好ましく、０．６〜６Ｊ／ｃｍ２程度であるのがさらに好ましい。これにより、離脱剤を確実に活性化させることができる。
【０２７１】
［３Ｂ］ 次に、層９１０に対して加熱処理を施す。
これにより、ポリマー９１５から離脱（切断）された離脱性基が、例えば、照射領域９２５から除去されたり、ポリマー９１５内において再配列または架橋する。
【０２７２】
さらに、このとき、クラッド部９５（照射領域９２５）に残存する離脱性基の一部がさらに離脱（切断）すると考えられる。
【０２７３】
したがって、このような加熱処理を施すことにより、コア部９４とクラッド部９５との間の屈折率差をより大きくすることができる。
【０２７４】
この加熱処理における加熱温度は、特に限定されないが、７０〜１９５℃程度であるのが好ましく、８５〜１５０℃程度であるのがより好ましい。
【０２７５】
また、加熱時間は、照射領域９２５から離脱（切断）された離脱性基を十分に除去し得るに設定され、特に限定されないが、０．５〜３時間程度であるのが好ましく、０．５〜２時間程度であるのがより好ましい。
【０２７６】
なお、例えば、加熱処理を施す前の状態で、コア部９４とクラッド部９５との間に十分な屈折率差が得られている場合等には、本工程［３Ｂ］を省略してもよい。
【０２７７】
また、必要に応じて、１回または複数回の加熱処理（例えば、１５０〜２００℃×１〜８時間程度）の工程を追加することもできる。
以上の工程を経て、コア層９３が得られる。
【０２７８】
［４Ｂ］ 前記工程［６Ａ］と同様の工程を行う。
［５Ｂ］ 前記工程［７Ａ］と同様の工程を行う。
［６Ｂ］ 前記工程［８Ａ］と同様の工程を行う。
【０２７９】
以上のようにして、本発明の光導波路構造体９が完成する。
このような光導波路構造体９の好ましい例では、コア層９３がノルボルネン系材料を主材料として構成され、クラッド層９１、９２が、それぞれ、コア層９３のコア部９４より屈折率が低く、ノルボルネン系ポリマーを含有するノルボルネン系材料を主材料として構成される。
【０２８０】
そして、コア部９４とクラッド部９５とは、主鎖と主鎖から分岐し、分子構造の少なくとも一部が主鎖から離脱し得る離脱性基とを有するノルボルネン系ポリマーを主材料として構成され、コア部９４とクラッド部９５とは、主鎖に結合した状態の離脱性基の数が異なることにより、それらの屈折率が異なっている。
【０２８１】
ノルボルネン系ポリマーは、透明性が高いため、かかる構成の光導波路構造体９では、光導波路９０の高い光伝送性能が得られる。
【０２８２】
また、このような構成により、コア部９４とクラッド部９５との間の高い密着性のみならず、コア層９３とクラッド層９１およびクラッド層９２との間の高い密着性が得られ、光導波路構造体９に曲げ等の変形が生じた場合でも、コア部９４とクラッド部９５との剥離や、コア層９３とクラッド層９１、９２との層間剥離が生じ難く、コア部９４内やクラッド部９５内にマイクロクラックが発生することも防止される。その結果、光導波路９０の光伝送性能が維持される。
【０２８３】
さらに、ノルボルネン系ポリマーは、高い耐熱性、高い疎水性を有するため、かかる構成の光導波路９０（光導波路構造体９）では、耐久性に優れたものとなる。
【０２８４】
また、光導波路９０に高い耐熱性や高い疎水性を付与することができるため、その特性の低下（劣化）を防止しつつ、前述したような各種の方法を採用して導体層９０１、９０２を確実に形成することができる。特に、光の伝送に重要なコア部９４と重なるように、導体層９０１、９０２を形成した場合でも、コア部９４の変質・劣化を防止することができる。
【０２８５】
また、以上のような製造方法によれば、簡単な処理で、しかも短時間に、所望の形状を有し、かつ、寸法精度の高いコア部９４を有する光導波路構造体９を得ることができる。
【０２８６】
特に、第２の製造方法によれば、少なくとも活性放射線をすればよく、極めて簡単な処理で、コア層９３を形成することができる。
【０２８７】
＜第３の製造方法＞
次に、光導波路構造体９の第３の製造方法について説明する。
【０２８８】
以下、第３の製造方法について説明するが、前記第１および第２の製造方法との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０２８９】
第３の製造方法では、コア層形成用材料９００として、第１および第２の製造方法で用いたコア層形成用材料を組み合わせたものを用い、それ以外は、前記第１または第２の製造方法と同様である。
【０２９０】
すなわち、第３の製造方法で用いられるコア層形成用材料９００は、前述したような離脱性基を有するポリマー９１５と、モノマーと、助触媒（第１の物質）と、触媒前駆体（第２の物質）とを含有している。また、助触媒は、前記第２の製造方法における離脱剤と同じものであり、離脱剤を離脱させる機能も有する。
【０２９１】
このようなコア層形成用材料９００では、選択する離脱性基と、選択するモノマーとの組み合わせにより、得られるコア層９３において、コア部９４とクラッド部９５との間の屈折率差をより多段階に調整することが可能となる。
【０２９２】
なお、前述したように、モノマーとして、ポリマー９１５より低い屈折率を有するものを用い、また、触媒前駆体として、活性放射線９３０の照射に伴って活性化温度が低下するものを用い、ポリマー９１５として、離脱性基の離脱により屈折率が低下するものを用いると、照射領域９２５をクラッド部９５とし、コア部９４との屈折率差が極めて大きいコア層９３を得ることができる。
【０２９３】
以下では、このような組み合わせのポリマー９１５、モノマーおよび触媒前駆体を用いる場合を一例に説明する。
【０２９４】
すなわち、ここで示す例では、活性放射線９３０の照射領域９２５がクラッド部９５となる。
【０２９５】
［１Ｃ］ 前記工程［１Ａ］と同様の工程を行う。
このとき、層（ＰＩＴＤＭの乾燥フィルム）９１０は、第１の屈折率（ＲＩ）を有している。この第１の屈折率は、層９１０中に一様に分散（分布）するポリマー９１５およびモノマーの作用による。
【０２９６】
［２Ｃ］ 前記工程［２Ａ］と同様の工程を行う。
マスク９３５を介して、活性放射線９３０を層９１０に照射すると、活性放射線９３０が照射された照射領域９２５内に存在する助触媒（第１の物質：コカタリスト）は、活性放射線９３０の作用により反応または分解して、カチオン（プロトンまたは他の陽イオン）と、弱配位アニオン（ＷＣＡ）とを遊離（発生）する。
【０２９７】
そして、これらのカチオンや弱配位アニオンは、照射領域９２５内に存在する触媒前駆体（第２の物質：プロカタリスト）の分子構造に変化（分解）を生じさせ、これを活性潜在状態（潜在的活性状態）に変化させる。
【０２９８】
また、カチオンは、離脱性基そのものを主鎖から離脱させるか、または、離脱性基の分子構造の途中から切断する。
【０２９９】
これにより、照射領域９２５では、未照射領域９４０よりも完全な状態の離脱性基の数が減少し、屈折率が低下して第１の屈折率より低くなる。なお、このとき、未照射領域９４０の屈折率は、第１の屈折率が維持される。
【０３００】
なお、この場合、活性放射線９３０の照射量は、０．１〜９Ｊ／ｃｍ２程度であるのが好ましく、０．２〜５Ｊ／ｃｍ２程度であるのがより好ましく、０．２〜４Ｊ／ｃｍ２程度であるのがさらに好ましい。これにより、助触媒を確実に活性化させることができる。
【０３０１】
［３Ｃ］ 前記工程［３Ａ］と同様の工程を行う。
これにより、照射領域９２５内では、活性潜在状態の触媒前駆体が活性化して（活性状態となって）、モノマーの反応（重合反応や架橋反応）が生じる。
【０３０２】
そして、モノマーの反応が進行すると、照射領域９２５内におけるモノマー濃度が徐々に低下する。これにより、照射領域９２５と未照射領域９４０との間には、モノマー濃度に差が生じ、これを解消すべく、未照射領域９４０からモノマーが拡散して照射領域９２５に集まってくる。
【０３０３】
また、この加熱処理により、ポリマー９１５から離脱（切断）された離脱性基が、例えば、照射領域９２５から除去されたり、ポリマー９１５内において再配列または架橋する。
【０３０４】
その結果、照射領域９２５では、モノマーやその反応物（重合体、架橋構造や分岐構造）が増加し、当該領域の屈折率にモノマー由来の構造が大きく影響を及ぼすようになること、ポリマー９１５から離脱（切断）された離脱性基が減少すること等により、さらに屈折率が低下して第２の屈折率となる。
【０３０５】
一方、未照射領域９４０では、当該領域から照射領域９２５にモノマーが拡散することにより、モノマー量が減少するため、当該領域の屈折率にポリマー９１５の影響が大きく現れるようになり、第１の屈折率より高い第３の屈折率へと上昇する。
【０３０６】
このようにして、照射領域９２５と未照射領域９４０との間に屈折率差（第２の屈折率＜第３の屈折率）が生じて、コア部９４（未照射領域９４０）とクラッド部９５（照射領域９２５）とが形成される。
【０３０７】
［４Ｃ］ 前記工程［４Ａ］と同様の工程を行う。
［５Ｃ］ 前記工程［５Ａ］と同様の工程を行う。
［６Ｃ］ 前記工程［６Ａ］と同様の工程を行う。
［７Ｃ］ 前記工程［７Ａ］と同様の工程を行う。
［８Ｃ］ 前記工程［８Ａ］と同様の工程を行う。
【０３０８】
以上のようにして、本発明の光導波路構造体９が完成する。
このような光導波路構造体９の好ましい例では、コア層９３は、主鎖とこの主鎖から分岐し、分子構造の少なくとも一部が主鎖から離脱し得る離脱性基とを有するノルボルネン系ポリマーを含有しており、コア部９４とクラッド部９５とは、主鎖に結合した状態の離脱性基の数が異なること、および、ノルボルネン系ポリマーと異なる屈折率を有するノルボルネン系モノマーの反応物の含有量が異なることにより、それらの屈折率が異なっており、また、クラッド層９１、９２が、それぞれ、ノルボルネン系ポリマーを含有するノルボルネン系材料を主材料として構成される。
【０３０９】
ノルボルネン系ポリマーは、透明性が高いため、かかる構成の光導波路構造体９では、光導波路９０の高い光伝送性能が得られる。
【０３１０】
また、このような構成により、コア部９４とクラッド部９５との間の高い密着性のみならず、コア層９３とクラッド層９１およびクラッド層９２との間の高い密着性が得られ、光導波路構造体９に曲げ等の変形が生じた場合でも、コア部９４とクラッド部９５との剥離や、コア層９３とクラッド層９１、９２との層間剥離が生じ難く、コア部９４内やクラッド部９５内にマイクロクラックが発生することも防止される。その結果、光導波路９０の光伝送性能が維持される。
【０３１１】
さらに、ノルボルネン系ポリマーは、高い耐熱性、高い疎水性を有するため、かかる構成の光導波路９０（光導波路構造体９）では、耐久性に優れたものとなる。
【０３１２】
また、光導波路９０に高い耐熱性や高い疎水性を付与することができるため、その特性の低下（劣化）を防止しつつ、前述したような各種の方法を採用して導体層９０１、９０２を確実に形成することができる。特に、光の伝送に重要なコア部９４と重なるように、導体層９０１、９０２を形成した場合でも、コア部９４の変質・劣化を防止することができる。
【０３１３】
また、以上のような製造方法によれば、簡単な処理で、しかも短時間に、所望の形状を有し、かつ、寸法精度の高いコア部９４を有する光導波路構造体９を得ることができる。
【０３１４】
特に、第３の製造方法によれば、コア部９４とクラッド部９５との間の屈折率差を多段階に設定することが可能となる。
【０３１５】
＜第４の製造方法＞
次に、光導波路構造体９の第４の製造方法について説明する。
【０３１６】
図８〜図１３は、それぞれ、本発明の光導波路構造体の第４の製造方法の工程例を模式的に示す断面図である。
【０３１７】
以下、第４の製造方法について説明するが、前記第１〜第３の製造方法との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０３１８】
第４の製造方法では、光導波路９０の形成工程が異なり、それ以外は、前記第１〜第３の製造方法と同様である。
【０３１９】
すなわち、コア層形成用材料９００やクラッド層形成用材料には、前記第１〜第３の製造方法で説明したのと同様のものを用いることができる。
【０３２０】
なお、以下では、コア層形成用材料として、前記第１の製造方法で挙げたものを用いる場合を代表に説明する。
【０３２１】
［１Ｄ］ まず、支持基板１０００上に、クラッド層形成用材料（第１のワニス）を前述したのと同様の方法を用いて塗布して、第１の層１１１０を形成する（図８参照）。
【０３２２】
支持基板１０００には、支持基板９５１と同様のものを用いることができる。
第１の層１１１０の平均厚さは、特に限定されないが、５〜２００μｍ程度であるのが好ましく、１０〜１００μｍ程度であるのがより好ましく、１５〜６５μｍ程度であるのがさらに好ましい。
【０３２３】
［２Ｄ］ 次に、第１の層１１１０上に、コア層形成用材料（第２のワニス）を前述したのと同様の方法を用いて塗布して、第２の層１１２０を形成する（図９参照）。
【０３２４】
コア層形成用材料は、第１の層１１１０をほぼ完全に乾燥させた後に塗布するようにしてもよいし、第１の層１１１０が乾燥する前に塗布するようにしてもよい。
【０３２５】
後者の場合、第１の層１１１０と第２の層１１２０とは、それらの界面において相互に混ざり合った状態となる。この場合、得られた光導波路９０において、クラッド層９１とコア層９３との密着性の向上を図ることができる。
【０３２６】
また、この場合、第１のワニスおよび第２のワニスは、それぞれ、粘度（常温）が好ましくは１００〜１００００ｃＰ程度、より好ましくは１５０〜５０００ｃＰ程度、さらに好ましくは２００〜３５００ｃＰ程度に調製される。これにより、第１の層１１１０と第２の層１１２０とが、それらの界面において必要以上に混ざり合うのを防止することができるとともに、第１の層１１１０および第２の層１１２０の厚さが不均一となるのを防止することができる。
【０３２７】
なお、第２のワニスの粘度は、第１のワニスの粘度より高くするのが好ましい。これにより、第１の層１１１０と第２の層１１２０とが、それらの界面において必要以上に混ざり合うのを確実に防止することができる。
【０３２８】
第２の層１１２０の平均厚さは、特に限定されないが、５〜２００μｍ程度であるのが好ましく、１５〜１２５μｍ程度であるのがより好ましく、２５〜１００μｍ程度であるのがさらに好ましい。
【０３２９】
［３Ｄ］ 次に、第２の層１１２０上に、クラッド層形成用材料（第３のワニス）を前述したのと同様の方法を用いて塗布して、第３の層１１３０を形成する（図１０参照）。
【０３３０】
第３の層１１３０は、前記第２の層１１２０と同様にして形成することができる。
第３の層１１３０の平均厚さは、特に限定されないが、５〜２００μｍ程度であるのが好ましく、１０〜１００μｍ程度であるのがより好ましく、１５〜６５μｍ程度であるのがさらに好ましい。
これにより、積層体２０００が得られる。
【０３３１】
［４Ｄ］ 次に、積層体２０００中の溶媒を除去（脱溶媒）する。
脱溶媒の方法としては、例えば、加熱、大気圧または減圧下での放置、不活性ガス等の噴き付け（ブロー）等の方法が挙げられるが、加熱による方法が好ましい。これにより、比較的容易かつ短時間での脱溶媒が可能である。
【０３３２】
この加熱の温度は、２５〜６０℃程度であるのが好ましく、３０〜４５℃程度であるのがより好ましい。
【０３３３】
また、加熱の時間は、１５〜６０分程度であるのが好ましく、１５〜３０分程度であるのがより好ましい。
【０３３４】
［５Ｄ］ 次に、開口（窓）９３５１が形成されたマスク（マスキング）９３５を用意し、このマスク９３５を介して、積層体２０００に対して活性放射線（活性エネルギー光線）９３０を照射する（図１１参照）。
【０３３５】
マスク９３５を介して、活性放射線９３０を積層体２０００に照射すると、第２の層１１２０の活性放射線９３０が照射された照射領域９２５内に存在する助触媒（第１の物質：コカタリスト）は、活性放射線９３０の作用により反応または分解して、カチオン（プロトンまたは他の陽イオン）と、弱配位アニオン（ＷＣＡ）とを遊離（発生）する。
【０３３６】
そして、これらのカチオンや弱配位アニオンは、照射領域９２５内に存在する触媒前駆体（第２の物質：プロカタリスト）の分子構造に変化（分解）を生じさせ、これを活性潜在状態（潜在的活性状態）に変化させる。
【０３３７】
［６Ｄ］ 次に、積層体２０００に対して加熱処理（第１の加熱処理）を施す。
これにより、照射領域９２５内では、活性潜在状態の触媒前駆体が活性化して（活性状態となって）、モノマーの反応（重合反応や架橋反応）が生じる。
【０３３８】
そして、モノマーの反応が進行すると、照射領域９２５内におけるモノマー濃度が徐々に低下する。これにより、照射領域９２５と未照射領域９４０との間には、モノマー濃度に差が生じ、これを解消すべく、未照射領域９４０からモノマーが拡散して照射領域９２５に集まってくる。
【０３３９】
その結果、照射領域９２５では、モノマーやその反応物（重合体、架橋構造や分岐構造）が増加し、当該領域の屈折率にモノマー由来の構造が大きく影響を及ぼすようになり、第１の屈折率より低い第２の屈折率へと低下する。
【０３４０】
一方、未照射領域９４０では、当該領域から照射領域９２５にモノマーが拡散することにより、モノマー量が減少するため、当該領域の屈折率にポリマー９１５の影響が大きく現れるようになり、第１の屈折率より高い第３の屈折率へと上昇する。
【０３４１】
このようにして、照射領域９２５と未照射領域９４０との間に屈折率差（第２の屈折率＜第３の屈折率）が生じて、コア部９４（未照射領域９４０）とクラッド部９５（照射領域９２５）とが形成される（図１２参照）。
【０３４２】
［７Ｄ］ 次に、積層体２０００に対して第２の加熱処理を施す。
これにより、未照射領域９４０および／または照射領域９２５に残存する触媒前駆体を、直接または助触媒の活性化を伴って、活性化させる（活性状態とする）ことにより、各領域９２５、９４０に残存するモノマーを反応させる。
【０３４３】
このように、各領域９２５、９４０に残存するモノマーを反応させることにより、得られるコア部９４およびクラッド部９５の安定化を図ることができる。
【０３４４】
［８Ｄ］ 次に、積層体２０００に対して第３の加熱処理を施す。
これにより、得られるコア層９３に生じる内部応力の低減や、コア部９４およびクラッド部９５の更なる安定化を図ることができる。
以上の工程を経て、光導波路９０が得られる。
【０３４５】
［９Ｄ］ 次に、光導波路９０の上面および下面に、それぞれ導体層９０１、９０２を形成する（図１３参照）。
【０３４６】
これは、前記工程［８Ａ］と同様にして行うことができる。
以上のようにして、本発明の光導波路構造体９が完成する。
【０３４７】
かかる方法では、第１の加熱処理の後、積層体２０００内にコア部９４が目視で確認することができるようになる。
【０３４８】
また、第１のワニスおよび第３のワニスとして、第２のワニスと同様の組成、すなわち、ポリマー９１５、モノマー、助触媒および触媒前駆体を含有するものを用いるようにしてもよい。これにより、モノマーの反応が、第１の層１１１０および第３の層１１３０と、第２の層１１２０の界面、および／または、かかる界面を越えて第１の層１１１０および第３の層１１３０内で生じて、クラッド層９１、９２とコア層９３との剥離をより確実に防止することができる。
【０３４９】
また、この場合、例えば、Ｉ：第１の層１１１０および第３の層１１３０のポリマー９１５として、第２の層１１２０のポリマー９１５の屈折率より相対的に低い屈折率（ＲＩ）のものを選択したり、II：第１の層１１１０および第３の層１１３０のモノマーとして、第２の層１１２０のモノマーと同じものを用いるが、第１の層１１１０および第３の層１１３０における触媒前駆体およびモノマーの比率を、第２の層１１２０のそれより低くなるように調節するようにしたりすればよい。
【０３５０】
これにより、活性放射線９３０を照射しても、クラッド層９１、９２内に、コア層９３のコア部９４より高い屈折率を有する領域が形成されるのを防止することができる。
【０３５１】
なお、コア層形成用材料（第２のワニス）として、離脱性基を有するポリマー９１５を含有するものを用いる場合、クラッド層形成用材料（第１のワニス、第３のワニス）としては、脱離性基を有しないポリマー９１５を用いて調製したものを用いるか、離脱性基を有するポリマー９１５を用いるが、離脱剤を含有しないものを用いるようにすればよい。
【０３５２】
これにより、第１の層１１１０および第３の層１１３０において、ポリマー９１５から離脱性基が離脱（分解）することを防止することができる。
また、第４の製造方法では、第１のワニスおよび第３のワニスには、末端にエポキシ構造を含む置換基を有するノルボルネン系ポリマーと、助触媒とを含むものを用いるのが好ましい。これにより、コア部９４およびクラッド部９５を形成する際に、エポキシ構造が開裂し、コア層９３のポリマー９１５との反応（重合）を生じるようになる。その結果、クラッド層９１、９２のコア層９３に対する密着性の向上を図ることができる。
【０３５３】
このようなノルボルネン系ポリマーとしては、例えば、ヘキシルノルボルネン（ＨｘＮＢ）とノルボルネンメチルグリシジルエーテル（ＡＧＥＮＢ）との共重合体等が挙げられる。
【０３５４】
また、この場合、助触媒には、コア層９３を形成する際には、活性化しないものを選択するようにしてもよい。例えば、第２のワニスが含有する助触媒の活性化に適した活性放射線を吸収しないか、または、活性放射線に代わって熱の作用により活性化される助触媒を選択するようにすればよい。
【０３５５】
このような助触媒としては、例えば、非吸収性光塩基発生剤（ＰＢＧ）や熱塩基発生剤（ＴＢＧ）等が挙げられる。
【０３５６】
また、前記第１〜第４の製造方法では、いずれも、支持基板９５１、９５２、１０００を除去するものとして説明したが、これらを導電性材料で構成し、除去することなく、そのまま導体層９０１、９０２として用いるようにしてもよい。
【０３５７】
また、必要に応じて、クラッド層９１、９２のうちのいずれか一方または双方を省略してもよい。
【０３５８】
また、光導波路９０は、図示の構成に限定されず、例えば、２つのクラッド層の間に、複数層のコア層が積層して設けられるような構成であってもよく、クラッド層とコア層とを順に積層して構成したものであってもよく、２つのクラッド層の間に１つのコア層が設けられた積層体を、複数層積層して構成したもの等であってもよい。
【０３５９】
また、コア部９４の途中には、その光路、すなわち、コア部９４の長手方向に対しほぼ４５°傾斜する傾斜面（反射面）を形成してもよい。これにより、コア部９４を伝播する光（伝送光）を、この傾斜面において、ほぼ９０°屈曲させることができる。
【０３６０】
そして、この傾斜面の方向を適宜設定することにより、伝送光の光路を、コア層９０内（２次元方向）のみならず、光導波路９０の厚さ方向も含めた３次元方向に変更することが可能となる。
【０３６１】
この傾斜面は、コア部９４を、例えば切断、除去（欠損）等することにより形成することができる。なお、傾斜面には、例えば多層光学薄膜や金属薄膜（例えばアルミ蒸着膜）のような反射膜あるいは反射増加膜を形成するようにしてもよい。
【０３６２】
以上、本発明の導波路構造体を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を発揮し得る任意の構成と置換することができ、また、任意の構成が付加されていてもよい。
【実施例】
【０３６３】
以下、本発明の具体的実施例について説明する。
１．触媒前駆体の合成
＜＜触媒前駆体Ｃ１：Ｐｄ（ＯＡｃ）２（Ｐ（ｉ−Ｐｒ）３）２の合成＞＞
漏斗を装備した窒素充填フラスコに、Ｐ（ｉ−Ｐｒ）３（８．５１ｍＬ（４４．６ｍｍｏｌ））のＣＨ２Ｃｌ２溶液（２０ｍＬ）を、Ｐｄ（ＯＡｃ）２（５．００ｇ、２２．３ｍｍｏｌ）とＣＨ２Ｃｌ２（３０ｍＬ）からなる−７８℃の攪拌した赤茶色懸濁液に滴下した。
【０３６４】
この懸濁液は、徐々に黄緑色の溶液に透き通り、その後、室温に暖め、２時間攪拌した。その後、０．４５μｍのフィルターでろ過した。
【０３６５】
ろ液を１０ｍＬに濃縮し、そしてヘキサン（２０ｍＬ）を加えると黄色の固体が得られた。
これをろ過し（空気中）、ヘキサンで洗浄し（５×５ｍＬ）、真空乾燥させた。
【０３６６】
収率は、１０．９３７ｇ（８９％）であった。ＮＭＲデータは次のようになった。１Ｈ−ＮＭＲ（δ，ＣＤ２Ｃｌ２）:１．３７（ｄｄ，３６Ｈ，ＣＨＣＨ３），１．７７（ｓ，６Ｈ，ＣＣＨ３），２．１２（ｍ，６Ｈ，ＣＨ），３１Ｐ−ＮＭＲ（δ，ＣＤ２Ｃｌ２）：３２．９（ｓ）。
【０３６７】
＜＜触媒前駆体Ｃ２：Ｐｄ（ＯＡｃ）２（Ｐ（Ｃｙ）３）２の合成＞＞
漏斗を装備した２口丸底フラスコで、Ｐｄ（ＯＡｃ）２（５．００ｇ、２２．３ｍｍｏｌ）とＣＨ２Ｃｌ２（３０ｍＬ）からなる赤茶色懸濁液を−７８℃で攪拌した。
【０３６８】
漏斗に、Ｐ（Ｃｙ）３（１３．１２ｍＬ（４４．６ｍｍｏｌ））のＣＨ２Ｃｌ２溶液（３０ｍＬ）を入れ、そして、１５分かけて上記攪拌懸濁液に滴下した。その結果、徐々に赤褐色から黄色に変化した。
【０３６９】
−７８℃で１時間攪拌した後、懸濁液を室温に温め、さらに２時間攪拌して、ヘキサン（２０ｍＬ）で希釈した。
【０３７０】
次に、この黄色の固体を空気中でろ過し、ペンタンで洗浄し（５×１０ｍＬ）、真空乾燥させた。
２次収集物は、ろ液を０℃に冷却して分離し、上記と同様に洗浄して乾燥させた。
【０３７１】
収率は、１５．４２ｇ（８８％）であった。ＮＭＲのデータは次のようになった。１Ｈ−ＮＭＲ（δ，ＣＤ２Ｃｌ２）：１．１８−１．３２（ｂｒ ｍ，１８Ｈ，Ｃｙ），１．６９（ｂｒ ｍ，１８Ｈ，Ｃｙ），１．８０（ｂｒ ｍ，１８Ｈ，Ｃｙ），１．８４（ｓ，６Ｈ，ＣＨ３），２．００（ｂｒ ｄ，１２Ｈ，Ｃｙ），３１Ｐ−ＮＭＲ（δ，ＣＤ２Ｃｌ２）：２１．２（ｓ）。
【０３７２】
＜＜触媒前駆体Ｃ３：ｔｒａｎｓ−Ｐｄ（Ｏ２Ｃ−ｔ−Ｂｕ）２（Ｐ（Ｃｙ）３）２の合成＞＞
【０３７３】
Ｐｄ（Ｏ２Ｃ−ｔ−Ｂｕ）２（１．３０８８ｇ，４．２４０４ｍｍｏｌ）をシュレンカーフラスコ中でＣＨ２Ｃｌ２（１０ｍＬ）に分散させ、フラスコの内容物を−７８℃に冷却し攪拌させた。
【０３７４】
この溶液にＰ（Ｃｙ）３（２．６７４９ｇ，９．５３８２ｍｍｏｌ）のＣＨ２Ｃｌ２（１５ｍＬ）溶液を注射器で加え、−７８℃で１時間そして室温で２時間、攪拌した。
【０３７５】
ヘキサン（２０ｍＬ）を反応混合液に加え、表題の黄色の固体の複合体を得た（１．３９１ｇ）。
その固体をろ過し、ヘキサン（１０ｍＬ）で洗浄し、減圧下で乾燥させた。
【０３７６】
ろ液から溶媒を除去し、オレンジ色の固体を得、これを次にＣＨＣｌ３／へキサン混合液（１／１：ｖ／ｖ）に溶解し、得られた溶液をドラフト内で蒸発させて表記の複合体をさらに得た（６４８ｍｇ）。
【０３７７】
全収率は、２．０３９ｇ（２．３４５ｍｍｏｌ、５５．３％）であった。
Ｃ４６Ｈ８４Ｏ４Ｐ２Ｐｄとして計算すると、Ｃは６３．５４％でＨは９．７４％である。
【０３７８】
＜＜触媒前駆体Ｃ４：Ｐｄ（ＯＡｃ）２（Ｐ（Ｃｐ）３）２の合成＞＞
窒素充填フラスコに、Ｐｄ（ＯＡｃ）２（２．００ｇ，８．９１ｍｍｏｌ）のＣＨ２Ｃｌ２（〜２５ｍＬ）の赤褐色懸濁液を−７８℃で攪拌した。
【０３７９】
カニューレで、Ｐ（Ｃｐ）３（４．２５ｇ，１７．８３ｍｍｏｌ）をＣＨ２Ｃｌ２（〜２０ｍＬ）に溶解して、上記懸濁液に１０分かけて滴下した。その結果、徐々に赤褐色から黄色に変化した。
【０３８０】
懸濁液を室温に温め、さらに１時間攪拌した。溶媒を濃縮して（〜５ｍＬ）、ヘキサン（〜１５ｍＬ）を加えると、黄色の固体が得られた。
【０３８１】
それを空気中でろ過し、ヘキサンで洗浄し（５×１０ｍＬ）、真空乾燥させた。２次収集物は、ろ液を０℃に冷却して分離し、触媒前駆体Ｃ３と同様に、ろ過し、洗浄し、乾燥させた。
【０３８２】
収率は、４．８８ｇ（８５％）であった。ＮＭＲのデータは次のようになった。１Ｈ−ＮＭＲ（δ，ＣＤ２Ｃｌ２）：１．５２−１．５６（ｂｒ ｍ，１２Ｈ，Ｃｐ３），１．６７−１．７２（ｂｒ ｍ，１２Ｈ，Ｃｐ３），１．７４（ｓ，６Ｈ，ＣＨ３），１．８５−１．８９（ｂｒ ｍ，１２Ｈ，Ｃｐ３），１．９６−１．９９（ｂｒ ｄ，６Ｈ，Ｃｐ３），２．０３−２．０９（ｂｒ ｍ，１２Ｈ，Ｃｐ３）．３１Ｐ−ＮＭＲ（δ，ＣＤ２Ｃｌ２）：２２．４（ｓ）。
【０３８３】
２．ポリマー（ポリマーマトリックス）の合成
以下に示すようにして、各ポリマーＰ１〜Ｐ６、Ｐ８、Ｐ９およびＰ１１〜Ｐ３４を、それぞれ合成した。
【０３８４】
なお、以下では、ヘキシルノルボルネン（ＣＡＳ番号第２２０９４−８３−３番）を「ＨｘＮＢ」と、ジフェニルメチルノルボルネンメトキシシラン（ＣＡＳ番号第３７６６３４−３４−３番）を「ｄｉＰｈＮＢ」と、フェニルエチルノルボルネン（ＣＡＳ番号第２９４１５−０９−６番）を「ＰＥＮＢ」と、ブチルノルボルネン（ＣＡＳ番号第２２０９４−８１−１番）を「ＢｕＮＢ」と、デシルノルボルネン（ＣＡＳ番号第２２０９４−８５−５番）を「ＤｅＮＢ」と、ベンジルノルボルネン（ＣＡＳ番号第２６５９８９−７３−９番）を「ＢｚＮＢ」と、メチルグリシジルエーテルノルボルネン（ＣＡＳ番号第３１８８−７５−８番）を「ＡＧＥＮＢ」と、ノルボルネニルエチルトリメトキシシラン（ＣＡＳ番号第６８２４５−１９−２番）を「ＴＭＳＥＮＢ」と、トリエトキシシリルノルボルネン（ＣＡＳ番号第１８４０１−４３−９番）を「ＴＥＳＮＢ」と、トリメトキシシリルノルボルネン（ＣＡＳ番号第７５３８−４６−７番）を「ＴＭＳＮＢ」と、それぞれ略すことがある。
【０３８５】
＜＜ポリマーＰ１：ヘキシルノルボルネン（ＨｘＮＢ）／ジフェニルメチルノルボルネンメトキシシラン（ｄｉＰｈＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０３８６】
ＨｘＮＢ（８．９４ｇ，０．０５ｍｏｌ）、ｄｉＰｈＮＢ（１６．１ｇ，０．０５ｍｏｌ）、１−ヘキセン（４．２g，０．０５ｍｏｌ）およびトルエン（１４２．０ｇ）を、２５０ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで１２０℃に加熱して溶液を形成した。
【０３８７】
この溶液に、［Ｐｄ（ＰＣｙ３）２（Ｏ２ＣＣＨ３）（ＮＣＣＨ３）］テトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート（以下、「Ｐｄ１４４６」と略す。）（５．８×１０−３ｇ，４．０×１０−６ｍｏｌ）およびＮ，Ｎ−ジメルアニリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート（以下、「ＤＡＮＦＡＢＡ」と略す。）（３．２×１０−３ｇ，４．０×１０−６ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０３８８】
添加後、得られた溶液を１２０℃で６時間維持した。勢いよく攪拌された混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０３８９】
沈殿した共重合体をろ過して集め、８０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、１２．０ｇであった（収率：４８％）。
【０３９０】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法（ゲル浸透クロマトグラフィー法）で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝１６，１９６およびＭｎ＝８，４４８であった。
【０３９１】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：５４／４６＝ＨｘＮＢ／ｄｉＰｈＮＢコポリマーであった。
【０３９２】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５５６９であり、ＴＭモードで１．５５５５であった。
【０３９３】
＜＜ポリマーＰ２：ヘキシルノルボルネン（ＨｘＮＢ）／フェニルエチルノルボルネン（ＰＥＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０３９４】
ＨｘＮＢ（２．７８ｇ，０．０１５６ｍｏｌ）、ＰＥＮＢ（７．２２ｇ，０．０３６ｍｏｌ）、１−ヘキセン（２．１８ｇ，０．０２６ｍｏｌ）およびトルエン（５７．０ｇ）を、２５０ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで１２０℃に加熱して溶液を形成した。
【０３９５】
この溶液にＰｄ１４４６（３．０×１０−３ｇ，２．１×１０−６ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（６．７×１０−３ｇ，８．４×１０−６ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０３９６】
添加後、得られた溶液を１２０℃で１時間維持した。室温に冷却した後、反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０３９７】
沈殿した共重合体をろ過して集め、８０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、８．０ｇであった（収率：８０％）。
【０３９８】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝１２７，３３２およびＭｎ＝３９，２０６であった。
【０３９９】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：２２／７８＝ＨｘＮＢ／ＰＥＮＢコポリマーであった。
【０４００】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５６０１であり、ＴＭモードで１．５５８５であった。
【０４０１】
＜＜ポリマーＰ３：ヘキシルノルボルネン（ＨｘＮＢ）／ジフェニルメチルノルボルネンメトキシシラン（ｄｉＰｈＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０４０２】
ＨｘＮＢ（８．９４ｇ，０．０５０ｍｏｌ）、ｄｉＰｈＮＢ（１６．１ｇ，０．０５０ｍｏｌ）、１−ヘキセン（２．９５ｇ，０．０３５ｍｏｌ）およびトルエン（１４２ｇ）を秤量し、２５０ｍＬのシーラムボトルに入れて、オイルバスで８０℃に加熱した。
【０４０３】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（５．８×１０−３ｇ，４．０×１０−６ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（３．２×１０−３ｇ，４．０×１０−６ｍｏｌ）を添加した。ノルボルネンモノマー／Ｐｄ１４４６／ＤＡＮＦＡＢＡの比率は、２５Ｋ／１／１であった。
【０４０４】
混合物を８０℃で７時間維持し、その後、２０ｍＬのアセトニトリルを加えてＰｄ触媒の活性を消失させた。その後、反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０４０５】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６５℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、１９．８ｇであった（収率：７９％）。
【０４０６】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝８６，１８６およびＭｎ＝２１，６０２であった。
【０４０７】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：４６／５４＝ＨｘＮＢ／ｄｉＰｈＮＢコポリマーであった。
【０４０８】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定すると、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５５６９であり、ＴＭモードで１．５５５６であった。
共重合体の熱機械分析（ＴＭＡ）に基づくＴｇは、２０３℃であった。
【０４０９】
＜＜ポリマーＰ４：ヘキシルノルボルネン（ＨｘＮＢ）／ジフェニルメチルノルボルネンメトキシシラン（ｄｉＰｈＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０４１０】
ＨｘＮＢ（８．９４ｇ，０．０５０ｍｏｌ）、ｄｉＰｈＮＢ（１６．１ｇ，０．０５０ｍｏｌ）、１−ヘキセン（２０．０ｇ，０．２３９ｍｏｌ）およびトルエン（１４２ｇ）を２５０ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで８０℃に加熱して溶液を形成した。
【０４１１】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（５．８０×１０−３ｇ，４．０×１０−６ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（３．２１×１０−３ｇ，４．０１×１０−６ｍｏｌ）を添加した。
【０４１２】
添加後、得られた溶液を８０℃で６時間維持した。その後、２０ｍＬのアセトニトリルを加えてＰｄ触媒の活性を消失させた。その後、反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
沈殿した共重合体をろ過して集め、６５℃のオーブンで真空で乾燥させた。
【０４１３】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝２０，５８６およびＭｎ＝１１，６１３であった。
【０４１４】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：６０／４０＝ＨｘＮＢ／ｄｉＰｈＮＢコポリマーであった。
【０４１５】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５５４７であり、ＴＭモードで１．５５４０であった。
【０４１６】
＜＜ポリマーＰ５：ヘキシルノルボルネン（ＨｘＮＢ）／ジフェニルメチルノルボルネンメトキシシランコポリマー（ｄｉＰｈＮＢ）の合成＞＞
【０４１７】
ＨｘＮＢ（８．９４ｇ，０．０５０ｍｏｌ）、ｄｉＰｈＮＢ（１６．０６ｇ，０．０５０ｍｏｌ）、１−ヘキセン（５．０ｇ，０．０６０ｍｏｌ）およびトルエン（１４２ｇ）を５００ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで８０℃に加熱して溶液を形成した。
【０４１８】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（２．９０×１０−３ｇ，２．００×１０−６ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（３．２×１０−３ｇ，４．０１×１０−６ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で添加した。
【０４１９】
添加後、得られた溶液を８０℃で６時間維持した。勢いよく攪拌された混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０４２０】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、１９．３ｇであった（収率：７７％）。
【０４２１】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン基準）、Ｍｗ＝５８，７４９およびＭｎ＝１８，１７７であった。
【０４２２】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：５３／４７＝ＨｘＮＢ／ｄｉＰｈＮＢコポリマーであった。
【０４２３】
この共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５５７２であり、ＴＭモードで１．５５５８であった。
【０４２４】
＜＜ポリマーＰ６：ブチルノルボルネン（ＢｕＮＢ）／ジフェニルメチルノルボルネンメトキシシラン（ｄｉＰｈＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０４２５】
ＢｕＮＢ（２．６２ｇ，０．０１７ｍｏｌ）、ｄｉＰｈＮＢ（２２．３８ｇ，０．０７ｍｏｌ）、１−ヘキセン（８．８３ｇ，０．０１１ｍｏｌ）およびトルエン（１４１．４ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで８０℃に加熱して溶液を形成した。
【０４２６】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（５．０５×１０−３ｇ，３．４９×１０−６ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（１．１２×１０−２ｇ，１．４０×１０−５ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で添加した。
【０４２７】
添加後、得られた溶液を８０℃で２時間維持した。勢いよく攪拌した混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０４２８】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、７．５ｇであった（収率：３０％）。
【０４２９】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン基準）、Ｍｗ＝３２，６６５およびＭｎ＝１９，７０５であった。
【０４３０】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：２８／７２＝ＢｕＮＢ／ｄｉＰｈＮＢコポリマーであった。
【０４３１】
この共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５７８５であり、ＴＭモードで１．５７７１であった。
【０４３２】
＜＜ポリマーＰ８：ヘキシルノルボルネン（ＨｘＮＢ）ホモポリマーの合成＞＞
ＨｘＮＢ（１０．０ｇ，０．０５６ｍｏｌ）、１−ヘキセン（４．７１ｇ，０．０５６ｍｏｌ）およびトルエン（５６．７ｇ）を、２５０ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで８０℃に加熱して溶液を形成した。
【０４３３】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（４．１０×１０−４ｇ，２．８０×１０−７ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（２．２０×１０−４ｇ，２．８０×１０−７ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で添加した。
【０４３４】
添加後、得られた溶液を８０℃で４０分間維持した。勢いよく攪拌した混合物にメタノールを滴下すると重合体が沈殿した。
【０４３５】
沈殿した重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、５．８ｇであった（収率：５８％）。
【０４３６】
重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン基準）、Ｍｗ＝１２１，５４１およびＭｎ＝５９，２１３であった。
【０４３７】
この重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５１４６であり、ＴＭモードで１．５１２９であった。
重合体の熱機械分析（ＴＭＡ）に基づくＴｇは、２０８℃であった。
【０４３８】
＜＜ポリマーＰ９：ヘキシルノルボルネン（ＨｘＮＢ）／ジフェニルメチルノルボルネンメトキシシラン（ｄｉＰｈＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０４３９】
ＨｘＮＢ（９．６３ｇ，０．０５４ｍｏｌ）、ｄｉＰｈＮＢ（４０．３７ｇ，０．１２６ｍｏｌ）、１−ヘキセン（４．５４ｇ，０．０５４ｍｏｌ）およびトルエン（３３３ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで８０℃に加熱して溶液を形成した。
【０４４０】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（１．０４×１０−２ｇ，７．２０×１０−６ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（２．３０×１０−２ｇ，２．８８×１０−５ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で添加した。
【０４４１】
添加後、得られた溶液を８０℃で２時間維持した。勢いよく攪拌した混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０４４２】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、１９．０ｇであった（収率：３８％）。
【０４４３】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝１１８，０００およびＭｎ＝６０，０００であった。
【０４４４】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：３２／６８＝ＨｘＮＢ／ｄｉＰｈＮＢコポリマーであった。
【０４４５】
この共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５６９５であり、ＴＭモードで１．５６８１であった。
【０４４６】
＜＜ポリマーＰ１１：ジフェニルメチルノルボルネンメトキシシラン（ｄｉＰｈＮＢ）ホモポリマーの合成＞＞
【０４４７】
ｄｉＰｈＮＢ（３０ｇ，０．０９４ｍｏｌ）、１−ヘキセン（１．５７ｇ，０．０１９ｍｏｌ）およびトルエン（１７０．０ｇ）を、２５０ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで８０℃に加熱して溶液を形成した。
【０４４８】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（１．４×１０−２ｇ，９．４×１０−６ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（３．０×１０−２ｇ，３．７×１０−５ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０４４９】
添加後、得られた溶液を８０℃で４時間維持した。勢いよく攪拌した混合物にメタノールを滴下すると重合体が沈殿した。
【０４５０】
沈殿した重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、１５．０ｇであった（収率：５０％）。
【０４５１】
重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝９１，０００およびＭｎ＝４４，０００であった。
【０４５２】
＜＜ポリマーＰ１２：ヘキシルノルボルネン（ＨｘＮＢ）／ジフェニルメチルノルボルネンメトキシシラン（ｄｉＰｈＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０４５３】
ＨｘＮＢ（１０．７２ｇ，０．０６ｍｏｌ）、ｄｉＰｈＮＢ（１９．２８ｇ，０．０６ｍｏｌ）、１−ヘキセン（３．５ｇ，０．０４ｍｏｌ）およびトルエン（１７０．０ｇ）を、２５０ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで８０℃に加熱して溶液を形成した。
【０４５４】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（７．０×１０−３ｇ，４．８×１０−６ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（３．９×１０−３ｇ，４．８×１０−６ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０４５５】
添加後、得られた溶液を８０℃で３．５時間維持した。勢いよく攪拌した混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０４５６】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、１８．６ｇであった（収率：６２％）。
【０４５７】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝１０２，０００およびＭｎ＝３８，０００であった。
【０４５８】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：５４／４６＝ＨｘＮＢ／ｄｉＰｈＮＢコポリマーであった。
【０４５９】
＜＜ポリマーＰ１３：ブチルノルボルネン（ＢｕＮＢ）／ジフェニルメチルノルボルネンメトキシシラン（ｄｉＰｈＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０４６０】
ＢｕＮＢ（２．６２ｇ，０．０３８ｍｏｌ）、ｄｉＰｈＮＢ（２２．３８ｇ，０．０５７ｍｏｌ）、１−ヘキセン（８．８３ｇ，０．０１１ｍｏｌ）およびトルエン（１４１．４ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで８０℃に加熱して溶液を形成した。
【０４６１】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（５．０５×１０−３ｇ，３．４９×１０−６ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（１．１２×１０−２ｇ，１．４０×１０−５ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０４６２】
添加後、得られた溶液を８０℃で２時間維持した。勢いよく攪拌した混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０４６３】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空乾燥させた。乾燥後の重量は、７．５ｇであった（収率：３０％）。
【０４６４】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝３２，６６５およびＭｎ＝１９，７０５であった。
【０４６５】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：２８／７２＝ＢｕＮＢ／ｄｉＰｈＮＢコポリマーであった。
【０４６６】
この共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５７８５であり、ＴＭモードで１．５７７１であった。
【０４６７】
＜＜ポリマー１４：ヘキシルノルボルネン（ＨｘＮＢ）／ジフェニルメチルノルボルネンメトキシシラン（ｄｉＰｈＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０４６８】
ＨｘＮＢ（９．６３ｇ，０．０５４ｍｏｌ）、ｄｉＰｈＮＢ（１．９２ｇ，０．００６ｍｏｌ）、１−ヘキセン（５．０４ｇ，０．０６０ｍｏｌ）およびトルエン（５６．７ｇ）を、２５０ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで８０℃に加熱して溶液を形成した。
【０４６９】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（４．３０×１０−４g，３．００×１０−７ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（２．４０×１０−４ｇ，３．００×１０−７ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０４７０】
添加後、得られた溶液を８０℃で２時間維持した。勢いよく攪拌した混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０４７１】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空乾燥させた。乾燥後の重量は、７．７ｇであった（収率：６７％）。
【０４７２】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝８２，０００およびＭｎ＝４０，０００であった。
【０４７３】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：８９／１１＝ＨｘＮＢ／ｄｉＰｈＮＢコポリマーであった。
【０４７４】
この共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５２３８であり、ＴＭモードで１．５２２５であった。
【０４７５】
＜＜ポリマーＰ１５：ジフェニルメチルノルボルネンメトキシシラン（ｄｉＰｈＮＢ）ホモポリマーの合成＞＞
【０４７６】
ｄｉＰｈＮＢ（３０ｇ，０．０９４ｍｏｌ）、１−ヘキセン（２．３６ｇ，０．０２８ｍｏｌ）およびトルエン（１７０．０ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで８０℃に加熱して溶液を形成した。
【０４７７】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（０．０１３５ｇ，９．３６×１０−６ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（０．０３０ｇ，３，７４×１０−５ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０４７８】
添加後、得られた溶液を８０℃で４時間維持した。勢いよく攪拌した混合物にメタノールを滴下すると重合体が沈殿した。
【０４７９】
沈殿した重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、２５．１８ｇであった（収率：２１％）。
【０４８０】
重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝５４，０００およびＭｎ＝２９，０００であった。
重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、ｄｉＰｈＮＢホモポリマーであった。
【０４８１】
この重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５９２６であり、ＴＭモードで１．５９１０であった。
【０４８２】
＜＜ポリマーＰ１６：ブチルノルボルネン（ＢｕＮＢ）／フェニルエチルノルボルネン（ＰＥＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０４８３】
ＢｕＮＢ（４．７８ｇ，０．０３２ｍｏｌ）、ＰＥＮＢ（２５．２２ｇ，０．１２７ｍｏｌ）、１−ヘキセン（１３．３６ｇ，０．１６ｍｏｌ）およびトルエン（１７０．０ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで８０℃に加熱して溶液を形成した。
【０４８４】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（０．００９２ｇ，６．３６×１０−６ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（０．０２０ｇ，２．５４×１０−５ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０４８５】
添加後、得られた溶液を８０℃で５０分維持した。勢いよく攪拌された混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０４８６】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、２３．６０ｇであった（収率：７９％）。
【０４８７】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝７３，０００およびＭｎ＝２８，０００であった。
【０４８８】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：１５／８５＝ＢｕＮＢ／ＰＥＮＢコポリマーであった。
【０４８９】
この共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５６８４であり、ＴＭモードで１．５６５７であった。
【０４９０】
＜＜ポリマーＰ１７：ヘキシルノルボルネン（ＨｘＮＢ）／フェニルエチルノルボルネン（ＰＥＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０４９１】
ＨｘＮＢ（６．００ｇ，０．０３４ｍｏｌ）、ＰＥＮＢ（２６．６９ｇ，０．１３５ｍｏｌ）、１−ヘキセン（１１．３１ｇ，０．１３５ｍｏｌ）およびトルエン（１８５．３５ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで８０℃に加熱して溶液を形成した。
【０４９２】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（０．００９７ｇ，６．７３×１０−６ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（０．０２２ｇ，２．６９×１０−５ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０４９３】
添加後、得られた溶液を８０℃で５０分維持した。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０４９４】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、２２．２１ｇであった（収率：６８％）。
【０４９５】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝９５，０００およびＭｎ＝２６，０００であった。
【０４９６】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：１７／８３＝ＨｘＮＢ／ＰＥＮＢコポリマーであった。
【０４９７】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５４７７であり、ＴＭモードで１．５４５４であった。
【０４９８】
＜＜ポリマーＰ１８：デシルノルボルネン（ＤｅＮＢ）／フェニルエチルノルボルネン（ＰＥＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０４９９】
ＤｅＮＢ（６．８４ｇ，０．０２９ｍｏｌ）、ＰＥＮＢ（２３．１６ｇ，０．１１７ｍｏｌ）、１−ヘキセン（１２．２６ｇ，０．１４６ｍｏｌ）およびトルエン（１７０．０ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで８０℃に加熱して溶液を形成した。
【０５００】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（０．００８４ｇ，５．８４×１０−６ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（０．０１９ｇ，２．３３×１０−５ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０５０１】
添加後、得られた溶液を８０℃で５０分維持した。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０５０２】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、１９．７４ｇであった（収率：６６％）。
【０５０３】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝７８，０００およびＭｎ＝３６，０００であった。
【０５０４】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：１９／８１＝ＤｅＮＢ／ＰＥＮＢコポリマーであった。
【０５０５】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５６４０であり、ＴＭモードで１．５６２２であった。
【０５０６】
＜＜ポリマーＰ１９：ベンジルノルボルネン（ＢｚＮＢ）ホモポリマーの合成＞＞
ＢｚＮＢ（３０．００ｇ，０．１６３ｍｏｌ）、トリエチルシラン（０．２２７ｇ，１．９５×１０−３ｍｏｌ）、エタノール（０．３６０ｇ，７．８１×１０−３ｍｏｌ）およびトルエン（１７０．０ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで８０℃に加熱して溶液を形成した。
【０５０７】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（０．０１８８ｇ，１．３０×１０−５ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（０．０４２ｇ，５．２１×１０−５ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０５０８】
添加後、得られた溶液を８０℃で１．５時間維持した。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると重合体が沈殿した。
【０５０９】
沈殿した重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、１５．０７ｇであった（収率：５０％）。
【０５１０】
重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝４６，０００およびＭｎ＝２８，０００であった。
重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、ＢｚＮＢホモポリマーであった。
【０５１１】
重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５７７８であり、ＴＭモードで１．５７５７であった。
【０５１２】
＜＜ポリマーＰ２０：ヘキシルノルボルネン（ＨｘＮＢ）／ベンジルノルボルネン（ＢｚＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０５１３】
ＨｘＮＢ（８．７９ｇ，０．０４９ｍｏｌ）、ＢｚＮＢ（２１．２１ｇ，０．１１５ｍｏｌ）、トリエチルシラン（０．２３ｇ，１．９７×１０−３ｍｏｌ）、エタノール（０．３６ｇ，７．８９×１０−３ｍｏｌ）およびトルエン（１７０．０ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで８０℃に加熱して溶液を形成した。
【０５１４】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（０．０１９ｇ，１．３２×１０−５ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（０．０４２ｇ，５．２６×１０−５ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０５１５】
添加後、得られた溶液を８０℃で１．５時間維持した。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０５１６】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、１８．５９ｇであった（収率：６２％）。
【０５１７】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝５２，０００およびＭｎ＝３０，０００であった。
【０５１８】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：３５／６５＝ＨｘＮＢ／ＢｚＮＢコポリマーであった。
【０５１９】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５５９７であり、ＴＭモードで１．５５７９であった。
【０５２０】
＜＜ポリマーＰ２１：デシルノルボルネン（ＤｅＮＢ）／ベンジルノルボルネン（ＢｚＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０５２１】
ＤｅＮＢ（６．８４ｇ，０．０２９ｍｏｌ）、ＢｚＮＢ（２１．５６ｇ，０．１１７ｍｏｌ）、１−ヘキセン（１２．２６ｇ，０．１４６ｍｏｌ）およびトルエン（１７０．０ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで８０℃に加熱して溶液を形成した。
【０５２２】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（０．００８４ｇ，５．８４×１０−６ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（０．０１９ｇ，２．３３×１０−５ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０５２３】
添加後、得られた溶液を８０℃で１．５時間維持した。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０５２４】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、２０．７３ｇであった（収率：７３％）。
【０５２５】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝６４，０００およびＭｎ＝３１，０００であった。
【０５２６】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：２７／７３＝ＤｅＮＢ／ＢｚＮＢコポリマーであった。
【０５２７】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５６８０であり、ＴＭモードで１．５６６２であった。
【０５２８】
＜＜ポリマーＰ２２：ブチルノルボルネン（ＢｕＮＢ）／メチルグリシジルエーテルノルボルネン（ＡＧＥＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０５２９】
ＢｕＮＢ（１０．５２ｇ，０．０７ｍｏｌ）、ＡＧＥＮＢ（５．４１ｇ，０．０３ｍｏｌ）およびトルエン（５８．０ｇ）を、シーラムボトルで混合し、オイルバスで８０℃に加熱して溶液を形成した。
【０５３０】
この溶液に、（η６−トルエン）Ｎｉ（Ｃ６Ｆ５）２（０．６９ｇ，０．００１４ｍｏｌ）のトルエン溶液（５ｇ）を加えた。
【０５３１】
添加後、得られた溶液を室温で４時間維持した。トルエン溶液（８７．０ｇ）を反応溶液に加えた。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０５３２】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、１２．７４ｇであった（収率：８０％）。
【０５３３】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝７５，０００およびＭｎ＝３０，０００であった。
【０５３４】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：７８／２２＝ＢｕＮＢ／ＡＧＥＮＢコポリマーであった。
【０５３５】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５１６２であり、ＴＭモードで１．５１５７であった。
【０５３６】
＜＜ポリマーＰ２３：ヘキシルノルボルネン（ＨｘＮＢ）／メチルグリシジルエーテルノルボルネン（ＡＧＥＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０５３７】
ＨｘＮＢ（１２．４８ｇ，０．０７ｍｏｌ）、ＡＧＥＮＢ（５．４１ｇ，０．０３ｍｏｌ）、トルエン（５８．０ｇ）を、ドライボックス内のシーラムボトルに加えた。この溶液を８０℃のオイルバス中で攪拌した。
【０５３８】
この溶液に、（η６−トルエン）Ｎｉ（Ｃ６Ｆ５）２（０．６９ｇ，０．００１４ｍｏｌ）のトルエン溶液（５ｇ）を加えた。
【０５３９】
添加後、得られた混合物を室温で４時間維持した。トルエン溶液（８７．０ｇ）を反応溶液に加えた。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０５４０】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、１３．７８ｇであった（収率：７７％）。
【０５４１】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝７８，０００およびＭｎ＝３３，０００であった。
【０５４２】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：７９／２１＝ＨｘＮＢ／ＡＧＥＮＢコポリマーであった。
【０５４３】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５１５９であり、ＴＭモードで１．５１５３であった。
【０５４４】
＜＜ポリマーＰ２４：デシルノルボルネン（ＤｅＮＢ）／メチルグリシジルエーテルノルボルネン（ＡＧＥＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０５４５】
ＤｅＮＢ（１６．４ｇ，０．０７ｍｏｌ）、ＡＧＥＮＢ（５．４１ｇ，０．０３ｍｏｌ）およびトルエン（５８．０ｇ）を、ドライボックス内のシーラムボトルに加えた。この溶液を８０℃のオイルバス中で攪拌した。
【０５４６】
この溶液に、（η６−トルエン）Ｎｉ（Ｃ６Ｆ５）２（０．６９ｇ，０．００１４ｍｏｌ）のトルエン溶液（５ｇ）を加えた。
【０５４７】
添加後、得られた混合物を室温で４時間維持した。トルエン溶液（８７．０ｇ）を反応溶液に加えた。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０５４８】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、１７．００ｇであった（収率：８７％）。
【０５４９】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝７５，０００およびＭｎ＝３０，０００であった。
【０５５０】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：７７／２３＝ＤｅＮＢ／ＡＧＥＮＢコポリマーであった。
【０５５１】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５１５３であり、ＴＭモードで１．５１５１であった。
【０５５２】
＜＜ポリマーＰ２５：ブチルノルボルネン（ＢｕＮＢ）／ノルボルネニルエチルトリメトキシシラン（ＴＭＳＥＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０５５３】
ＢｕＮＢ（２５．４４ｇ，０．１６９ｍｏｌ）、ＴＭＳＥＮＢ（４．５６ｇ，０．０１９ｍｏｌ）、トリエチルシラン（０．１１ｇ，９．４１×１０−４ｍｏｌ）、エタノール（０．１０ｇ，２．２６×１０−３ｍｏｌ）およびトルエン（１７０．０ｇ）を、３００ｍＬのシーラムボトル内で混合し、オイルバスで８０℃で加熱して溶液を形成した。
【０５５４】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（０．０２２ｇ，１．５０×１０−５ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（０．０３６ｇ，４．５１×１０−５ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０５５５】
添加後、得られた混合物を８０℃で４時間維持した。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０５５６】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、２２．６０ｇであった（収率：６９％）。
【０５５７】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝２０，０００およびＭｎ＝１３，０００であった。
【０５５８】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：９１／９＝ＢｕＮＢ／ＴＭＳＥＮＢコポリマーであった。
【０５５９】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５１０６であり、ＴＭモードで１．５１０５であった。
【０５６０】
＜＜ポリマーＰ２６：ヘキシルノルボルネン（ＨｘＮＢ）／ノルボルネニルエチルトリメトキシシラン（ＴＭＳＥＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０５６１】
ＨｘＮＢ（１３．０３ｇ，０．０７３ｍｏｌ）、ＴＭＳＥＮＢ（１．９７ｇ，０．００８１ｍｏｌ）、トリエチルシラン（０．０１９ｇ，１．６２×１０−４ｍｏｌ）、エタノール（０．０３０ｇ，６．５０×１０−４ｍｏｌ）およびトルエン（８５．０ｇ）を、３００ｍＬのシーラムボトル内で混合し、オイルバスで８０℃で加熱して溶液を形成した。
【０５６２】
この溶液に、［Ｐｄ（Ｐ（ｉＰｒ）３）２（ＯＣＯＣＨ３）（ＮＣＣＨ３）］テトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート（以下、「Ｐｄ１２０６」と略す。）（０．００７８ｇ，６．５０×１０−６ｍｏｌ）を、濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０５６３】
添加後、得られた混合物を８０℃で４時間維持した。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０５６４】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、３．３０ｇであった（収率：２２％）。
【０５６５】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝５３，０００およびＭｎ＝３３，０００であった。
【０５６６】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：９３／７＝ＨｘＮＢ／ＴＭＳＥＮＢコポリマーであった。
【０５６７】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５１２６であり、ＴＭモードで１．５１１４であった。
【０５６８】
＜＜ポリマーＰ２７：デシルノルボルネン（ＤｅＮＢ）／ノルボルネニルエチルトリメトキシシラン（ＴＭＳＥＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０５６９】
ＤｅＮＢ（２２．３１ｇ，０．０９５ｍｏｌ）、ＴＭＳＥＮＢ（７．６９ｇ，０．０３２ｍｏｌ）、トリエチルシラン（０．４４ｇ，３．８１×１０−４ｍｏｌ）、エタノール（０．７０ｇ，１．５２×１０−３ｍｏｌ）およびトルエン（１７０．０ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトル内で混合し、オイルバスで８０℃で加熱して溶液を形成した。
【０５７０】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（０．０１５ｇ，１．０２×１０−５ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（０．０２４ｇ，３．０５×１０−５ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０５７１】
添加後、得られた混合物を８０℃で４時間維持した。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０５７２】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、１２．２gであった（収率：４０．７％）。
【０５７３】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝３４，０００およびＭｎ＝２４，０００であった。
【０５７４】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：７７／２３＝ＤｅＮＢ／ＴＭＳＥＮＢコポリマーであった。
【０５７５】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３nmで、ＴＥモードで１．５０６３であり、ＴＭモードで１．５０６２であった。
【０５７６】
＜＜ポリマーＰ２８：ブチルノルボルネン（ＢｕＮＢ）／トリエトキシシリルノルボルネン（ＴＥＳＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０５７７】
ＢｕＮＢ（２５．２２ｇ，０．１６８ｍｏｌ）、ＴＥＳＮＢ（４．７８ｇ，０．０１９ｍｏｌ）、トリエチルシラン（０．０１１ｇ，９．３２×１０−５ｍｏｌ）、エタノール（０．１０ｇ，２．２４×１０−３ｍｏｌ）およびトルエン（１７０．０ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトル内で混合し、オイルバスで８０℃で加熱して溶液を形成した。
【０５７８】
この溶液に、Ｐｄ１２０６（０．０１８ｇ，１．４９×１０−５ｍｏｌ）を、濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０５７９】
添加後、得られた混合物を８０℃で９時間維持した。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０５８０】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、２０．５８ｇであった（収率：６９％）。
【０５８１】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝２３８，０００およびＭｎ＝９６，０００であった。
【０５８２】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：８５／１５＝ＢｕＮＢ／ＴＥＳＮＢコポリマーであった。
【０５８３】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５０６１であり、ＴＭモードで１．５０４１であった。
共重合体の熱機械分析（ＴＭＡ）に基づくＴｇは、２７６℃であった。
【０５８４】
＜＜ポリマーＰ２９：ヘキシルノルボルネン（ＨｘＮＢ）／トリエトキシシリルノルボルネン（ＴＥＳＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０５８５】
ＨｘＮＢ（２０．３３ｇ，０．１１４ｍｏｌ）、ＴＥＳＮＢ（３．２６ｇ，０．０１３ｍｏｌ）、トリエチルシラン（０．０３０ｇ，２．５４×１０−３ｍｏｌ）、エタノール（０．０７ｇ，１．５２×１０−３ｍｏｌ）およびトルエン（１７０．０ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトル内で混合し、オイルバスで８０℃で加熱して溶液を形成した。
【０５８６】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（０．０１５ｇ，１．０１×１０−５ｍｏｌ）を、濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０５８７】
添加後、得られた混合物を８０℃で９時間維持した。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０５８８】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、７．３１ｇであった（収率：３１％）。
【０５８９】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝２３４，０００およびＭｎ＝１１０，０００であった。
【０５９０】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：８３／１７＝ＨｘＮＢ／ＴＥＳＮＢコポリマーであった。
【０５９１】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５０５３であり、ＴＭモードで１．５０４２であった。
【０５９２】
＜＜ポリマーＰ３０：デシルノルボルネン（ＤｅＮＢ）／トリエトキシシリルノルボルネン（ＴＥＳＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０５９３】
ＤｅＮＢ（２６．７７ｇ，０．１１４ｍｏｌ）、ＴＥＳＮＢ（３．２６ｇ，０．０１３ｍｏｌ）、トリエチルシラン（０．０３０ｇ，２．５４×１０−３ｍｏｌ）、エタノール（０．０７ｇ，１．５２×１０−３ｍｏｌ）およびトルエン（１７０．０ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトル内で混合し、オイルバスで８０℃で加熱して溶液を形成した。
【０５９４】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（０．０１５ｇ，１．０１×１０−５ｍｏｌ）を、濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０５９５】
添加後、得られた混合物を８０℃で９時間維持した。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０５９６】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、１８．０１ｇであった（収率：６０％）。
【０５９７】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝２８３，０００およびＭｎ＝１１８，０００であった。
【０５９８】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：８４／１６＝ＤｅＮＢ／ＴＥＳＮＢコポリマーであった。
【０５９９】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５０３４であり、ＴＭモードで１．５０１８であった。
【０６００】
＜＜ポリマーＰ３１：ブチルノルボルネン（ＢｕＮＢ）／トリメトキシシリルノルボルネン（ＴＭＳＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０６０１】
ＢｕＮＢ（１０．９７ｇ，０．０７３ｍｏｌ）、ＴＭＳＮＢ（１２．９５ｇ，０．０７３ｍｏｌ）、トリエチルシラン（０．３４ｇ，２．９１×１０−４ｍｏｌ）、エタノール（０．８０ｇ，１．７５×１０−３ｍｏｌ）およびトルエン（１７０．０ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトル内で混合し、オイルバスで８０℃で加熱して溶液を形成した。
【０６０２】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（０．０１７ｇ，１．１６×１０−５ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（０．０２８ｇ，３．４９×１０−５ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０６０３】
添加後、得られた混合物を８０℃で４時間維持した。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０６０４】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、１５．５ｇであった（収率：６５％）。
【０６０５】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝４８，０００およびＭｎ＝２７，０００であった。
【０６０６】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：４７／５３＝ＢｕＮＢすらＴＭＳＮＢコポリマーであった。
【０６０７】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５０９３であり、ＴＭモードで１．５０８９であった。
【０６０８】
＜＜ポリマーＰ３２：ヘキシルノルボルネン（ＨｘＮＢ）／トリメトキシシリルノルボルネン（ＴＭＳＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０６０９】
ＨｘＮＢ（１３．０２ｇ，０．０７３ｍｏｌ）、ＴＭＳＮＢ（１２．９５ｇ，０．０７３ｍｏｌ）、トリエチルシラン（０．３４ｇ，２．９１×１０−４ｍｏｌ）、エタノール（０．８０ｇ，１．７５×１０−３ｍｏｌ）およびトルエン（１７０．０ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトル内で混合し、オイルバスで８０℃で加熱して溶液を形成した。
【０６１０】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（０．０１７ｇ，１．１６×１０−５ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（０．０２８ｇ，３．４９×１０−５ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０６１１】
添加後、得られた混合物を８０℃で４時間維持した。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０６１２】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、１７．７ｇであった（収率：６８％）。
【０６１３】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝５５，０００およびＭｎ＝２７，０００であった。
【０６１４】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：４６／５４＝ＨｘＮＢ／ＴＭＳＮＢコポリマーであった。
【０６１５】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５０８１であり、ＴＭモードで１．５０７８であった。
【０６１６】
＜＜ポリマーＰ３３：デシルノルボルネン（ＤｅＮＢ）／トリメトキシシリルノルボルネン（ＴＭＳＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０６１７】
ＤｅＮＢ（１７．０５ｇ，０．０７３ｍｏｌ）、ＴＭＳＮＢ（１２．９５ｇ，０．０７３ｍｏｌ）、トリエチルシラン（０．３４ｇ，２．９１×１０−４ｍｏｌ）、エタノール（０．８０ｇ，１．７５×１０−３ｍｏｌ）およびトルエン（１７０．０ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトル内で混合し、オイルバスで８０℃で加熱して溶液を形成した。
【０６１８】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（０．０１７ｇ，１．１６×１０−５ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（０．０２８ｇ，３．４９×１０−５ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０６１９】
添加後、得られた混合物を８０℃で４時間維持した。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０６２０】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、２１．０ｇであった（収率：７０％）。
【０６２１】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝８２，０００およびＭｎ＝３１，０００であった。
【０６２２】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：４６／５４＝ＤｅＮＢ／ＴＭＳＮＢコポリマーであった。
【０６２３】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５０２９であり、ＴＭモードで１．５０１６であった。
【０６２４】
＜＜ポリマーＰ３４：ヘキシルノルボルネン（ＨｘＮＢ）／ジフェニルメチルノルボルネンメトキシシラン（ｄｉＰｈＮＢ）／ノルボルネニルエチルトリメトキシシラン（ＴＭＳＥＮＢ）ターポリマーの合成＞＞
【０６２５】
ＨｘＮＢ（５．９４ｇ，０．０３３ｍｏｌ）、ｄｉＰｈＮＢ（２１．３６ｇ，０．０６７ｍｏｌ）、ＴＭＳＥＮＢ（２．６９ｇ，０．０１１ｍｏｌ）、１−ヘキセン（３．７３ｇ，０．０４４ｍｏｌ）およびトルエン（１７０．０ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトル内で混合し、オイルバスで８０℃で加熱して溶液を形成した。
【０６２６】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（０．００６４ｇ，４．４４×１０−６ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（０．００３６ｇ，４．４４×１０−６ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０６２７】
添加後、得られた混合物を８０℃で３．５時間維持した。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０６２８】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、１０．２６ｇであった（収率：３４％）。
【０６２９】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝１０５，０００およびＭｎ＝５４，０００であった。
【０６３０】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：３８／５４／８＝ＨｘＮＢ／ｄｉＰｈＮＢ／ＴＭＳＥＮＢコポリマーであった。
【０６３１】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５５８６であり、ＴＭモードで１．５５７２であった。
以上合成した各ポリマーを、下記表１に要約する。
【０６３２】
【表１】
【０６３３】
３．ワニスの調製
以下に示すようにして、各ワニスＶ１〜Ｖ１３、Ｖ３８〜Ｖ４８およびＶ６３〜Ｖ６６を、それぞれ調製した。なお、各ワニスの調製は、いずれも、感光性材料を含むため、イエローライトの下で行った。
【０６３４】
なお、以下では、ジメチルビス（ノルボルネンメトキシ）シラン（ＣＡＳ番号第３７６６０９−８７−９番）を「ＳｉＸ」と略すことがある。
【０６３５】
＜＜ワニスＶ１の調製＞＞
ＨｘＮＢ（４２．０３ｇ，０．２４ｍｏｌ）およびＳｉＸ（７．９７ｇ，０．０２６ｍｏｌ）を秤量し、ガラス瓶にいれた。
【０６３６】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、Ｃｉｂａ ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＣｉｂａ ＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６３７】
上記のポリマーＰ１を１０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（３０．０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（３．０ｇ）、上記の触媒前駆体Ｃ２（以下、「Ｐｄ７８５」と略す。）（４．９４×１０−４ｇ，６．２９×１０−７ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、光酸発生剤（助触媒）として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ＰＨＯＴＯＩＮＩＴＩＡＴＯＲ ２０７４（２．５５×１０−３ｇ，２．５１×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）を加えて、ワニスＶ１を調製した。
このワニスＶ１を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６３８】
なお、以下では、Ｃｉｂａ ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６を「ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６」と、Ｃｉｂａ ＩＲＧＡＦＯＳ １６８を「ＩＲＧＡＦＯＳ １６８」と、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ＰＨＯＴＯＩＮＩＴＩＡＴＯＲ ２０７４を「ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４」と略す。
【０６３９】
＜＜ワニスＶ２の調製＞＞
ＳｉＸ（５ｇ，０．０１６４ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０６４０】
このＳｉＸに、酸化防止剤として、Ｉｒｇａｎｏｘ １０７６（０．０５ｇ）およびＩｒｇａｆｏｓ １６８（０．０１３ｇ）を加え、ＳｉＸ溶液（モノマー酸化防止剤溶液）を得た。
【０６４１】
ＳｉＸ溶液（３ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（３．１０×１０−４ｇ，３．９４×１０−７ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（１．６０×１０−３ｇ，１．５８×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）および上記のポリマーＰ２を１０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（３０ｇ）を混合して、ワニスＶ２を調製した。
【０６４２】
ポリマーＰ２（コポリマー）／ＳｉＸ（モノマー）の重量比は、１／１であり、ＳｉＸ（モノマー）／Ｐｄ７８５（Ｐｄ触媒）／ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（光酸発生剤：ＰＡＧ）のモル比は、２５Ｋ／１／４であった。
このワニスＶ２を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６４３】
＜＜ワニスＶ３の調製＞＞
ＨｘＮＢ（４２．０３ｇ，０．２４ｍｏｌ）およびＳｉＸ（７．９７ｇ，０．０２６ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０６４４】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６４５】
また、ポリマー溶液として、上記のポリマーＰ３を１０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（１０ｇ）と、上記のポリマーＰ４を１０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（２０ｇ）とを混合した混合液を調製した。
【０６４６】
そして、このポリマー溶液（３０．０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（３．０ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（４．９３×１０−４ｇ，６．２８×１０−７ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（２．５５×１０−３ｇ，２．５１×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）を加えて、ワニスＶ３を調製した。
このワニスＶ３を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６４７】
＜＜ワニスＶ４の調製＞＞
ポリマー溶液として、上記のポリマーＰ３を１０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（１５ｇ）と、上記のポリマーＰ４を１０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（１５ｇ）とを混合した混合液を用いた以外は、前記ワニスＶ３と同様にしてワニスＶ４を調製した。
このワニスＶ４を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６４８】
＜＜ワニスＶ５の調製＞＞
ポリマー溶液として、上記のポリマーＰ３を１０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（２０ｇ）と、上記のポリマーＰ４を１０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（１０ｇ）とを混合した混合液を用いた以外は、前記ワニスＶ３と同様にしてワニスＶ５を調製した。
このワニスＶ５を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６４９】
＜＜ワニスＶ６の調製＞＞
ポリマー溶液として、上記のポリマーＰ３を１０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（３０ｇ）を用いた以外は、前記ワニスＶ３と同様にしてワニスＶ６を調製した。
このワニスＶ６を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６５０】
＜＜ワニスＶ７の調製＞＞
ＨｘＮＢ（４０．３３ｇ，０．２３ｍｏｌ）およびＴＭＳＥＮＢ（９．６７ｇ，０．０３９ｍｏｌ）を秤量し、ガラス瓶にいれた。
【０６５１】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６５２】
また、ポリマー溶液として、上記のポリマーＰ３を１０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（１５ｇ）と、上記のポリマーＰ４を１０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（１５ｇ）とを混合した混合液を調製した。
【０６５３】
そして、このポリマー溶液（３０．０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（３．０ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（５．０２×１０−４ｇ，６．３９×１０−７ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（２．５９×１０−３ｇ，２．５５×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）を加えて、ワニスＶ７を調製した。
このワニスＶ７を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６５４】
＜＜ワニスＶ８の調製＞＞
ＨｘＮＢ（４２．０３ｇ，０．２４ｍｏｌ）およびＳｉＸ（７．９７ｇ，０．０２６ｍｏｌ）を秤量し、ガラス瓶にいれた。
【０６５５】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６５６】
上記のポリマーＰ５を１０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（１８．３ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（３．０６ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（３．８５×１０−４ｇ，４．９１×１０−７ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（１．９９×１０−３ｇ，１．９６×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）およびメシチレン（１．３０ｇ）を加えてワニスＶ８を調製した。
このワニスＶ８を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６５７】
＜＜ワニスＶ９の調製＞＞
ＨｘＮＢ（４２．０３ｇ，０．２４ｍｏｌ）およびＳｉＸ（７．９７ｇ，０．０２６ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０６５８】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６５９】
上記のポリマーＰ６を１０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（９．１５ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（１．５３ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（２．５２×１０−４ｇ，３．２１×１０−７ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（１．３０×１０−３ｇ，１．２８×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）およびメシチレン（０．６４５ｇ）を加えてワニスＶ９を調製した。
このワニスＶ９を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６６０】
＜＜ワニスＶ１０の調製＞＞
ＨｘＮＢ（４２．０３ｇ，０．２４ｍｏｌ）およびＳｉＸ（７．９７ｇ，０．０２６ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０６６１】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６６２】
上記のポリマーＰ３を１０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（２０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（２．４ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（３．９５×１０−４ｇ，５．０３×１０−７ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（２．５５×１０−３ｇ，２．５１×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）およびトルエン（２．５ｇ）を加えてワニスＶ１０を得た。
このワニスＶ１０を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６６３】
＜＜ワニスＶ１１の調製＞＞
ＨｘＮＢ（４２．０３ｇ，０．２４ｍｏｌ）およびＳｉＸ（７．９７ｇ，０．０２６ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０６６４】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６６５】
上記のポリマーＰ８を１０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（２０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（２．４ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（３．９５×１０−４ｇ，５．０３×１０−７ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（２．５５×１０−３ｇ，２．５１×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）およびトルエン（６．１２ｇ）を加えてワニスＶ１１を調製した。
このワニスＶ１１を５μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６６６】
＜＜ワニスＶ１２の調製＞＞
ＨｘＮＢ（４２．０３ｇ，０．２４ｍｏｌ）およびＳｉＸ（７．９７ｇ，０．０２６ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０６６７】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６６８】
上記のポリマーＰ９を１０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（３０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（１．０ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（１．６５×１０−４ｇ，２．１０×１０−７ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（８．５１×１０−４ｇ，８．３８×１０−７ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）およびトルエン（５．０ｇ）を加えてワニスＶ１２を調製した。
このワニスＶ１２を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６６９】
＜＜ワニスＶ１３の調製＞＞
ＨｘＮＢ（４２．０３ｇ，０．２４ｍｏｌ）およびＳｉＸ（７．９７ｇ，０．０２６ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０６７０】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６７１】
上記のポリマーＰ１４を３０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（３０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（２．０ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（３．２９×１０−４ｇ，４．１９×１０−７ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、光酸発生剤として、ＴＡＧ−３７２Ｒ（７．６３×１０−４ｇ，８．３８×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）およびトルエン（１０．０ｇ）を加えてワニスＶ１３を調製した。
このワニスＶ１３を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６７２】
なお、このワニスＶ１３をＳｉＯ２コーティング板に注ぎ、乾燥フィルムを形成した。この乾燥フィルムは、ポリマーの熱機械分析（ＴＭＡ）に基づくＴｇが２５１℃であった。
【０６７３】
＜＜ワニスＶ３８の調製＞＞
ＨｘＮＢ（１６．６４ｇ，０．０９３ｍｏｌ）およびＳｉＸ（３３．３６ｇ，０．１１０ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０６７４】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６７５】
上記のポリマーＰ３を１０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（３０．０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（２．１６ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（１．４７×１０−３ｇ，１．８８×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、および、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（７．６７×１０−３ｇ，７．５４×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）を加えてワニスＶ３８を調製した。
このワニスＶ３８を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６７６】
＜＜ワニスＶ３９の調製＞＞
ＨｘＮＢ（１６．６４ｇ，０．０９３ｍｏｌ）およびＳｉＸ（３３．３６ｇ，０．１１０ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０６７７】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６７８】
上記のポリマーＰ３４を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（３０．０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（２．１６ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（１．４７×１０−３ｇ，１．８８×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、および、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（７．６７×１０−３ｇ，７．５４×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）を加えてワニスＶ３９を調製した。
このワニスＶ３９を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６７９】
＜＜ワニスＶ４０の調製＞＞
ＨｘＮＢ（１６．６４ｇ，０．０９３ｍｏｌ）およびＳｉＸ（３３．３６ｇ，０．１１０ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０６８０】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６８１】
上記のポリマーＰ１２を３０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（３０．０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（２．１６ｇ）、Ｐｄ７８５（１．４７×１０−３ｇ，１．８８×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、増感剤として、９，１０−ジブトキシアントラセン（４．８６×１０−２ｇ，１．５１×１０−４ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、および、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（７．６７×１０−３ｇ，７．５４×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）を加えてワニスＶ４０を調製した。
このワニスＶ４０を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６８２】
＜＜ワニスＶ４１の調製＞＞
ＨｘＮＢ（１６．６４ｇ，０．０９３ｍｏｌ）およびＳｉＸ（３３．３６ｇ，０．１１０ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０６８３】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６８４】
上記のポリマーＰ１６を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（３０．０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（２．１６ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（１．４７×１０−３ｇ，１．８８×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、および、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（７．６７×１０−３ｇ，７．５４×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）を加えてワニスＶ４１を調製した。
このワニスＶ４１を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６８５】
＜＜ワニスＶ４２の調製＞＞
ＨｘＮＢ（１６．６４ｇ，０．０９３ｍｏｌ）およびＳｉＸ（３３．３６ｇ，０．１１０ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０６８６】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６８７】
上記のポリマーＰ１７を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（３０．０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（２．１６ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（１．４７×１０−３ｇ，１．８８×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、および、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（７．６７×１０−３ｇ，７．５４×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）を加えてワニスＶ４２を調製した。
このワニスＶ４２を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６８８】
＜＜ワニスＶ４３の調製＞＞
ＨｘＮＢ（１６．６４ｇ，０．０９３ｍｏｌ）およびＳｉＸ（３３．３６ｇ，０．１１０ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０６８９】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６９０】
上記のポリマーＰ１８を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（３０．０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（２．１６ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（１．４７×１０−３ｇ，１．８８×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、および、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（７．６７×１０−３ｇ，７．５４×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）を加えてワニスＶ４３を得た。
このワニスＶ４３を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６９１】
＜＜ワニスＶ４４の調製＞＞
ＳｉＸ（５０．０ｇ，０．１６４ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０６９２】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６９３】
上記のポリマーＰ１９を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（３０．０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（１．４４ｇ）、上記の触媒前駆体Ｃ１（以下、「Ｐｄ５４５」と略す。）（１．０２×１０−３ｇ，１．８８×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、および、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（７．６７×１０−３ｇ，７．５４×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）を加えてワニスＶ４４を調製した。
このワニスを０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６９４】
＜＜ワニスＶ４５の調製＞＞
ＳｉＸ（５０．０ｇ，０．１６４ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０６９５】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６９６】
上記のポリマーＰ２０を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（３０．０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（１．４４ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ５４５（１．０２×１０−３ｇ、１．８８×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、および、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（７．６７×１０−３ｇ，７．５４×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）を加えてワニスＶ４５を調製した。
このワニスＶ４５を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６９７】
＜＜ワニスＶ４６の調製＞＞
ＳｉＸ（５０．０ｇ，０．１６４ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０６９８】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６９９】
上記のポリマーＰ２１を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（３０．０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（１．４４ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ５４５（１．０２×１０−３ｇ、１．８８×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、および、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（７．６７×１０−３ｇ，７．５４×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）を加えてワニスＶ４６を調製した。
このワニスＶ４６を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０７００】
＜＜ワニスＶ４７の調製＞＞
ＨｘＮＢ（１６．６４ｇ，０．０９３ｍｏｌ）およびＳｉＸ（３３．３６ｇ，０．１１０ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０７０１】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０７０２】
上記のポリマーＰ１７を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（３０．０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（２．１６ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（１．４７×１０−３ｇ，１．８８×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、および、光酸発生剤として、ＴＡＧ−３７２Ｒ（６．８６×１０−３ｇ，７．５４×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）を加えてワニスＶ４７を調製した。
このワニスＶ４７を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０７０３】
＜＜ワニスＶ４８の調製＞＞
ＳｉＸ（５０．０ｇ，０．１６４ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０７０４】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０７０５】
上記のポリマーＰ２０を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（３０．０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（１．４４ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ５４５（１．０２×１０−３ｇ，１．８８×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、および、光酸発生剤として、ＴＡＧ−３７２Ｒ（６．８６×１０−３ｇ、７．５４×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）を加えてワニスＶ４８を調製した。
このワニスＶ４８を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０７０６】
＜＜ワニスＶ６３の調製＞＞
ＳｉＸ（５０．０ｇ，０．１６４ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０７０７】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０７０８】
上記のポリマーＰ２４を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（３０．０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（１．４４ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（１．４７×１０−３ｇ，１．８８×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、および、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（７．６７×１０−３ｇ，７．５４×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）を加えてワニスＶ６３を調製した。
このワニスＶ６３を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０７０９】
＜＜ワニスＶ６４の調製＞＞
ＴＭＳＥＮＢ（２０．２ｇ，０．０８３４ｍｏｌ）およびＳｉＸ（２９．８０ｇ，０．０９７９ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０７１０】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０７１１】
上記のポリマーＰ２６を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（３０．０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（２．１６ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（１．４７×１０−３ｇ，１．８８×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、および、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（７．６７×１０−３ｇ，７．５４×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）を加えてワニスＶ６４を調製した。
このワニスＶ６４を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０７１２】
＜＜ワニスＶ６５の調製＞＞
ＴＭＳＥＮＢ（２０．２ｇ，０．０８３４ｍｏｌ）およびＳｉＸ（２９．８０ｇ，０．０９７９ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０７１３】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０７１４】
上記のポリマーＰ１４を３０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（３０．０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（２．１６ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（１．４７×１０−３ｇ，１．８８×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、および、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（７．６７×１０−３ｇ，７．５４×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）を加えてワニスＶ６５を調製した。
このワニスＶ６５を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０７１５】
＜＜ワニスＶ６６の調製＞＞
上記のポリマーＰ１４（５ｇ）に、メシチレン（２０ｇ）と、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．０５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（１．２５×１０−２ｇ）と、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（４．０×１０−３ｇ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）とを加えてワニスＶ６６を調製した。
このワニスＶ６６を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
以上調製した各ワニスの組成を、下記表２〜表４に要約する。
【０７１６】
【表２】
【０７１７】
【表３】
【０７１８】
【表４】
【０７１９】
また、以下に示すようにして、各ワニスＶ２１〜Ｖ３１、Ｖ５１〜Ｖ５５、Ｖ６１およびＶ６２を、それぞれ調製した。なお、各ワニスの調製は、いずれも、感光性材料を含むため、イエローライトの下で行った。
【０７２０】
＜＜ワニスＶ２１の調製＞＞
上記のポリマーＰ１２（５ｇ）に、メシチレン（２０ｇ）、酸化防止剤として、Ｉｒｇａｎｏｘ １０７６（０．０５ｇ）およびＩｒｇａｆｏｓ １６８（０．０１２５ｇ）、および、光酸発生剤（離脱剤）として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（４．０×１０−３ｇ、０．１ｍＬのメチレンクロライド中）を加えてワニスＶ２１を調製した。
このワニスＶ２１を０．２μｍの細孔のフィルターに通して使用に供した。
【０７２１】
＜＜ワニスＶ２２の調製＞＞
上記のポリマーＰ１３（５ｇ）に、メシチレン（２０ｇ）、酸化防止剤として、Ｉｒｇａｎｏｘ １０７６（０．０５ｇ）およびＩｒｇａｆｏｓ １６８（０．０１２５ｇ）、および、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（４．０×１０−３ｇ、０．１ｍＬのメチレンクロライド中）を加えてワニスＶ２２を調製した。
このワニスＶ２２を０．２μｍの細孔のフィルターに通して使用に供した。
【０７２２】
＜＜ワニスＶ２３の調製＞＞
上記のポリマーＰ１４（５ｇ）に、メシチレン（２０ｇ）、酸化防止剤として、Ｉｒｇａｎｏｘ １０７６（０．０５ｇ）およびＩｒｇａｆｏｓ １６８（０．０１２５ｇ）を加えてワニスＶ２３を調製した。
このワニスＶ２３を０．２μｍの細孔のフィルターに通して使用に供した。
【０７２３】
＜＜ワニスＶ２４の調製＞＞
上記のポリマーＰ１１（０．９ｇ）に、メシチレン（３．６ｇ）、酸化防止剤として、Ｉｒｇａｎｏｘ １０７６（９．０×１０−３ｇ）およびＩｒｇａｆｏｓ １６８（２．３×１０−３ｇ）、および、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（１．１×１０−３ｇ、０．１ｍＬのメチレンクロライド中）を加えてワニスＶ２４を調製した。
このワニスＶ２４を０．２μｍの細孔のフィルターに通して使用に供した。
【０７２４】
＜＜ワニスＶ２５の調製＞＞
上記のポリマーＰ１１（０．９ｇ）に、メシチレン（３．６ｇ）、酸化防止剤として、Ｉｒｇａｎｏｘ １０７６（９．０×１０−３ｇ）およびＩｒｇａｆｏｓ １６８（２．３×１０−３ｇ）、および、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（７．５×１０−４ｇ、０．１ｍＬのメチレンクロライド中）を加えてワニスＶ２５を調製した。
このワニスＶ２５を０．２μｍの細孔のフィルターに通して使用に供した。
【０７２５】
＜＜ワニスＶ２６の調製＞＞
上記のポリマーＰ１１（０．９ｇ）に、メシチレン（３．６ｇ）、酸化防止剤として、Ｉｒｇａｎｏｘ １０７６（９．０×１０−３ｇ）およびＩｒｇａｆｏｓ １６８（２．３×１０−３ｇ）、および、光酸発生剤として、ＴＡＧ−３７２Ｒ（７．５×１０−４ｇ、０．１ｍＬのメチレンクロライド中）を加えてワニスＶ２６を調製した。
このワニスＶ２６を０．２μｍの細孔のフィルターに通して使用に供した。
【０７２６】
＜＜ワニスＶ２７の調製＞＞
上記のポリマーＰ１１（０．９ｇ）に、メシチレン（３．６ｇ）、酸化防止剤として、Ｉｒｇａｎｏｘ １０７６（９．０×１０−３ｇ）およびＩｒｇａｆｏｓ １６８（２．３×１０−３ｇ）、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（１．１×１０−３ｇ、０．１ｍＬのメチレンクロライド中）を加えてワニスＶ２７を調製した。
このワニスＶ２７を０．２μｍの細孔のフィルターに通して使用に供した。
【０７２７】
＜＜ワニスＶ２８の調整＞＞
上記のポリマーＰ１１（０．９ｇ）に、メシチレン（３．６ｇ）、酸化防止剤として、Ｉｒｇａｎｏｘ １０７６（９．０×１０−３ｇ）およびＩｒｇａｆｏｓ １６８（２．３×１０−３ｇ）、および、光酸発生剤として、ＴＡＧ−３７２Ｒ（７．５×１０−４ｇ、０．１ｍＬのメチレンクロライド中）を加えてワニスＶ２７を調製した。
このワニスＶ２８を０．２μｍの細孔のフィルターに通して使用に供した
【０７２８】
＜＜ワニスＶ２９の調製＞＞
上記のポリマーＰ１１（０．９ｇ）に、メシチレン（３．６ｇ）、酸化防止剤として、Ｉｒｇａｎｏｘ １０７６（９．０×１０−３ｇ）およびＩｒｇａｆｏｓ １６８（２．３×１０−３ｇ）、および、光酸発生剤として、ＴＡＧ−３７２Ｒ（１．１×１０−３ｇ、０．１ｍＬのメチレンクロライド中）を加えてワニスＶ２９を調製した。
このワニスＶ２９を０．２μｍの細孔のフィルターに通して使用に供した。
【０７２９】
＜＜ワニスＶ３０の調製＞＞
上記のポリマーＰ１１（０．９ｇ）に、メシチレン（３．６ｇ）、酸化防止剤として、Ｉｒｇａｎｏｘ １０７６（９．０×１０−３ｇ）およびＩｒｇａｆｏｓ １６８（２．３×１０−３ｇ）、および、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（７．５×１０−４ｇ、０．１ｍＬのメチレンクロライド中）を加えてワニスＶ３０を調製した。
このワニスＶ３０を０．２μｍの細孔のフィルターに通して使用に供した。
【０７３０】
＜＜ワニスＶ３１の調製＞＞
上記のポリマーＰ１１（０．９ｇ）に、メシチレン（３．６ｇ）、酸化防止剤として、Ｉｒｇａｎｏｘ １０７６（９．０×１０−３ｇ）およびＩｒｇａｆｏｓ １６８（２．３×１０−３ｇ）、および、光酸発生剤として、ＴＡＧ−３７２Ｒ（１．１×１０−３ｇ、０．１ｍＬのメチレンクロライド中）を加えてワニスＶ３１を調製した。
このワニスＶ３１を０．２μｍの細孔のフィルターに通して使用に供した。
【０７３１】
＜＜ワニスＶ５１の調製＞＞
上記のポリマーＰ１５を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（４．０ｇ）に、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（１．５６×１０−３ｇ，１．５４×１０−６ｍｏｌ、０．１ｍＬのメチレンクロライド中）を加えてワニスＶ５１を調製した。
このワニスＶ５１を０．２μｍの細孔のフィルターに通して使用に供した。
【０７３２】
＜＜ワニスＶ５２の調整＞＞
上記のポリマーＰ１５を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（４．０ｇ）に、光酸発生剤として、ＴＡＧ−３７２Ｒ（１．５６×１０−３ｇ，１．５４×１０−６ｍｏｌ、０．１ｍＬのメチレンクロライド中）を加えてワニスＶ５２を調製した。
このワニスＶ５２を０．２μｍの細孔のフィルターに通して使用に供した。
【０７３３】
＜＜ワニスＶ５３の調製＞＞
上記のポリマーＰ１５を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（４．０ｇ）に、光酸発生剤として、ＴＡＧ−３７１（１．５６×１０−３ｇ，１．５４×１０−６ｍｏｌ、０．１ｍＬのメチレンクロライド中）を加えてワニスＶ５３を調製した。
このワニスＶ５３を０．２μｍの細孔のフィルターに通して使用に供した。
【０７３４】
＜＜ワニスＶ５４の調製＞＞
上記のポリマーＰ１５を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（４．０ｇ）に、光酸発生剤として、ＴＴＢＰＳ−ＴＰＦＰＢ（１．５６×１０−３ｇ，１．５４×１０−６ｍｏｌ、０．１ｍＬのメチレンクロライド中）を加えてワニスＶ５４を調製した。
このワニスＶ５４を０．２μｍの細孔のフィルターに通して使用に供した。
【０７３５】
＜＜ワニスＶ５５の調製＞＞
上記のポリマーＰ１５を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（４．０ｇ）に、光酸発生剤として、ＮＡＩ−１０５（１．５６×１０−３ｇ，１．５４×１０−６ｍｏｌ、０．１ｍＬのメチレンクロライド中）を加えてワニスＶ５５を調製した。
このワニスＶ５５を０．２μｍの細孔のフィルターに通して使用に供した。
【０７３６】
＜＜ワニスＶ６１の調製＞＞
上記のポリマーＰ２４を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（１６．７ｇ）に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．０５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（１．２５×１０−２ｇ）、および、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（０．１ｇ、メチレンクロライド０．５ｍＬ中）を加えて、ワニスＶ６１を調製した。
このワニスＶ６１を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０７３７】
＜＜ワニスＶ６２の調製＞＞
上記のポリマーＰ２４を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（１６．７ｇ）に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．０５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（１．２５×１０−２ｇ）、および、光酸発生剤として、ＴＡＧ−３７２Ｒ（０．１ｇ、０．５ｍＬのメチレンクロライド中）を加えて、ワニスＶ６２を調製した。
このワニスＶ６２を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
以上調製した各ワニスの組成を、下記表５に要約する。
【０７３８】
【表５】
【０７３９】
４．コア層（単層光導波路）の作製および光伝播損失の測定
＜サンプルＷＧ２４〜３１＞
【０７４０】
４−１．作製
以下に示すようにして、サンプルＷＧ２４〜３１を作製した。
【０７４１】
＜＜サンプルＷＧ２４＞＞
コア層形成用材料として、ろ過したワニスＶ４１を、石英ガラス板の上に注ぎ、ドクターブレードで実質的に一定の厚さに広げた。
【０７４２】
その後、この石英ガラス板を換気されたレベルテーブルに一夜置いて溶剤を蒸発させ、実質的に乾燥した固体フィルムを形成した。
【０７４３】
フィルムにフォトマスクを通してＵＶ光（波長：３６５ｎｍ）を照射し（照射量＝３０００ｍＪ／ｃｍ２）、次に、オーブン中で４５℃で３０分間加熱し、次に、８５℃で３０分間加熱し、さらに１５０℃で６０分加熱した。これにより、コア層（単層光導波路）を得た。
なお、コア部のパターンは、第１回目の加熱後、目視で確認することができた。
【０７４４】
＜＜サンプルＷＧ２５〜３１＞＞
コア層形成用材料として用いるワニスおよびＵＶ光の照射量を、表６に示すように変更した以外は、前記サンプルＷＧ２４と同様にして、コア層（単層光導波路）を作製した。
【０７４５】
４−２．光伝播損失の測定
各サンプルＷＧ２４〜３１における光の伝播損失は、「カットバック法」を使用して測定した。
【０７４６】
これは、レーザダイオードから発生させた光（波長：８３０ｎｍ）を、光ファイバーを通して、コア部の一端から入力し、他端からの出力を測定し、コア部の長さを数段階の長さにカットして、各長さについて光出力を測定することにより行った。
各長さのコア部での総光損失は、下記式で表される。
【０７４７】
総光損失（ｄＢ） ＝ −１０ｌｏｇ（Ｐｎ／Ｐｏ）
式中、Ｐｎは、Ｐ１、Ｐ２、…Ｐｎの各長さのコア部の他端での測定された出力であり、Ｐｏは、光ファイバーをコア部の一端に結合する前の光ファイバーの端部における光源の測定出力である。
【０７４８】
次に、総光損失は、図１４（チャート１）のようにプロットされる。このデータの回帰直線は、下記式によって表わされる。
【０７４９】
ｙ＝ｍｘ＋ｂ
式中、ｍは、光伝播損失を示し、ｂは、結合損失（ｃｏｕｐｌｉｎｇ ｌｏｓｓ）を示す。
各サンプルＷＧ２４〜３１の結果を、下記表６に示す。
【０７５０】
【表６】
【０７５１】
また、各サンプルＷＧ２４〜３１のコア層は、いずれも、コア部のパターンがマスクパターンに対応して、高い寸法精度で形成されていた。
【０７５２】
５．光導波路構造体の作製および評価
５−１．光導波路構造体の作製
【０７５３】
（実施例１）
前記サンプルＷＧ２４と同様にして、平均厚さ５０μｍのコア層（コア部の幅５０μｍ）を形成した。
【０７５４】
また、クラッド層形成用材料として、ワニスＶ２３を用いて、平均厚さ５０μｍのクラッド層を２つ形成した。
【０７５５】
そして、コア層を、上記の２つのクラッド層の間に挟み、１０ＭＰａの圧力を掛けながらオーブン内で１５０℃で１時間加熱した。これにより、光導波路を得た。
なお、光導波路は、幅０．５ｃｍ、長さ１０ｃｍの直線状とした。
【０７５６】
次に、この光導波路の両面に、それぞれ、低温プラズマＣＶＤ法により、平均厚さ４５μｍの銅層（導体層）を形成して、光導波路構造体を作製した。
【０７５７】
（実施例２）
前記サンプルＷＧ２５と同様にして、平均厚さ５０μｍのコア層（コア部の幅５０μｍ）を形成した。
【０７５８】
また、クラッド層形成用材料として、ワニスＶ２３を用いて、平均厚さ５０μｍのクラッド層を２つ形成した。
【０７５９】
そして、コア層を、上記の２つのクラッド層の間に挟み、１０ＭＰａの圧力を掛けながらオーブン内で１５０℃で１時間加熱した。これにより、光導波路を得た。
なお、光導波路は、幅０．５ｃｍ、長さ１０ｃｍの直線状とした。
【０７６０】
次に、この光導波路の両面に、それぞれ、無電解メッキ法により、平均厚さ４５μｍの銅層（導体層）を形成して、光導波路構造体を作製した。
【０７６１】
（実施例３）
前記サンプルＷＧ３０と同様にして、平均厚さ５０μｍのコア層（コア部の幅５０μｍ）を形成した。
【０７６２】
また、クラッド層形成用材料として、ワニスＶ２３を用いて、平均厚さ５０μｍのクラッド層を２つ形成した。
【０７６３】
そして、コア層を、上記の２つのクラッド層の間に挟み、１０ＭＰａの圧力を掛けながらオーブン内で１５０℃で１時間加熱した。これにより、光導波路を得た。
なお、光導波路は、幅０．５ｃｍ、長さ１０ｃｍの直線状とした。
【０７６４】
次に、この光導波路の両面に、それぞれ、ロールラミネート法により、平均厚さ４５μｍの銅層（導体層）を接合して、光導波路構造体を作製した。
【０７６５】
（比較例１）
クラッド層形成材料として、脂肪族炭化水素基を持った分岐型ポリシランを含有するワニスを、離型処理済みのガラス基板の上に塗布し、８０℃、２０分乾燥させて、平均厚さ５０μｍのクラッド層を形成した。
【０７６６】
次に、その上に、コア層形成用材料として、前記分岐型ポリシランよりも屈折率の高い芳香族炭化水素基を持った分岐型ポリフェニルシランを含有するワニスを塗布し、８０℃、２０分乾燥させた。
【０７６７】
その後、コア部となるところに遮蔽部が設けられたフォトマスクを介し、超高圧水銀ランプにて露光し、２５０℃で熱処理して、コア部（幅：５０μｍ）を有する平均厚さ５０μｍのコア層を形成した。
【０７６８】
その上に、クラッド層形成用材料として、前記と同じポリシランワニスを塗布し、３００℃で熱処理して、平均厚さ５０μｍのクラッド層を形成した。
【０７６９】
以上のようにして、光導波路を作製した。なお、光導波路は、幅０．５ｃｍ、長さ１０ｃｍの直線状とした。
【０７７０】
次に、この光導波路の両面に、それぞれ、ロールラミネート法により、平均厚さ４５μｍの銅層（導体層）を接合して、光導波路構造体を作製した。
【０７７１】
（比較例２）
クラッド層形成用材料として、ＵＶ硬化型エポキシ樹脂ワニス（ＮＴＴ−ＡＴ製Ｅ３１２９）を、離型処理したガラス基板上にスピンコートし、次いでＵＶ照射して硬化して、平均厚さ５０μｍのクラッド層を形成した。
【０７７２】
次に、その上に、コア層形成用材料として、前記ＵＶ硬化型エポキシ樹脂よりも屈折率の高いＵＶ硬化型エポキシ樹脂（ＮＴＴ−ＡＴ製Ｅ３１３５）をスピンコートし、フォトリソグラフィー法により、直接コア部（幅５０μｍ×厚さ５０μｍ）をパターニングした。
【０７７３】
その後、クラッド層形成用材料として、前記と同じＵＶ硬化型エポキシ樹脂ワニスをスピンコートし、次いでＵＶ照射して硬化して、平均厚さ５０μｍのクラッド層を形成した。
【０７７４】
以上のようにして、光導波路を作製した。なお、光導波路は、幅０．５ｃｍ、長さ１０ｃｍの直線状とした。
【０７７５】
次に、この光導波路の両面に、それぞれ、ロールラミネート法により、平均厚さ４５μｍの銅層（導体層）を接合して、光導波路構造体を作製した。
【０７７６】
５−２．評価
各実施例および各比較例で作製した光導波路構造体の導体層を、それぞれ、パターニングして配線を形成し、所定の箇所に、発光素子および受光素子を実装して、複合装置を作製した。
【０７７７】
そして、これらの複合装置を動作させたところ、各実施例の光導波路構造体を用いた複合装置は、いずれも、各比較例の光導波路構造体を用いた複合装置に対して、より高速での動作が可能なことが確認された。
【図面の簡単な説明】
【０７７８】
【図１】本発明の光導波路構造体の実施形態を示す斜視図（一部切り欠いて示す）である。
【図２】本発明の光導波路構造体の第１の製造方法の工程例を模式的に示す断面図である。
【図３】本発明の光導波路構造体の第１の製造方法の工程例を模式的に示す断面図である。
【図４】本発明の光導波路構造体の第１の製造方法の工程例を模式的に示す断面図である。
【図５】本発明の光導波路構造体の第１の製造方法の工程例を模式的に示す断面図である。
【図６】本発明の光導波路構造体の第１の製造方法の工程例を模式的に示す断面図である。
【図７】本発明の光導波路構造体の第１の製造方法の工程例を模式的に示す断面図である。
【図８】本発明の光導波路構造体の第４の製造方法の工程例を模式的に示す断面図である。
【図９】本発明の光導波路構造体の第４の製造方法の工程例を模式的に示す断面図である。
【図１０】本発明の光導波路構造体の第４の製造方法の工程例を模式的に示す断面図である。
【図１１】本発明の光導波路構造体の第４の製造方法の工程例を模式的に示す断面図である。
【図１２】本発明の光導波路構造体の第４の製造方法の工程例を模式的に示す断面図である。
【図１３】本発明の光導波路構造体の第４の製造方法の工程例を模式的に示す断面図である。
【図１４】コア部の長さの変化に伴う総光損失の変化を示すチャートである。
【符号の説明】
【０７７９】
９ 光導波路構造体
９０ 光導波路
９１、９２ クラッド層
９３ コア層
９４ コア部
９５ クラッド部
９０１、９０２ 導体層
９００ コア層形成用材料
９１０ 層
９１５ ポリマー
９２０ 添加剤
９２５ 照射領域
９３０ 活性放射線
９３５ マスク
９３５１ 開口
９４０ 未照射領域
９５１、９５２ 支持基板
１０００ 支持基板
１１１０ 第１の層
１１２０ 第２の層
１１３０ 第３の層
２０００ 積層体
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光導波路構造体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年注目されている光通信の分野における光部品として、光分岐結合器（光カプラ）、光合分波器等が挙げられ、これらに用いる光導波路型素子が有望視されている。
【０００３】
この光導波路型素子としては、従来の石英系光導波路の他、製造（パターニング）が容易で汎用性に富むポリマー系光導波路があり、近年では後者の開発が盛んに行われている。
【０００４】
このような光導波路型素子を形成し得る基板（光導波路構造体）として、コア部およびクラッド部で構成される光導波路と、この光導波路に金属配線を設けたものが開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１に記載の光導波路構造体では、次のような問題点がある。
【０００６】
１．光導波路の形成工程が複雑であり、伝送光の光路を構成するコア部のパターン形状の設計、選択の自由度が狭い。
２．コア部のパターン形状の精度や寸法精度が悪い。
３．配線パターンと組み合わせた場合に、該配線パターンの設計における自由度が狭い。
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−１２６３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の目的は、パターン形状の設計の自由度が広く、寸法精度の高いコア部（光路）を簡単な方法で形成することができる光導波路を備えた光導波路構造体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
このような目的は、下記（１）〜（３１）の本発明により達成される。
（１） コア部と、該コア部より屈折率が低いクラッド部とを備えるコア層を有する光導波路と、該光導波路の少なくとも一方の面側に設けられた導体層とを有する光導波路構造体であって、
前記コア層は、ポリマーと、該ポリマーと相溶し、かつ、該ポリマーと異なる屈折率を有するモノマーと、活性放射線の照射により活性化する第１の物質と、前記モノマーの反応を開始させ得る第２の物質であって、活性化した前記第１の物質の作用により、活性化温度が変化する第２の物質とを含む層を形成し、
その後、前記層に対して前記活性放射線を選択的に照射することにより、前記活性放射線が照射された照射領域において、前記第１の物質を活性化させるとともに、前記第２の物質の活性化温度を変化させ、
次いで、前記層に対して加熱処理を施すことにより、前記第２の物質または活性化温度が変化した前記第２の物質のいずれか活性化温度の低い方を活性化させ、前記照射領域または前記活性放射線の未照射領域のいずれかにおいて前記モノマーを反応させて、前記照射領域と前記未照射領域との間に屈折率差を生じさせることにより、前記照射領域および前記未照射領域のいずれか一方を前記コア部とし、他方を前記クラッド部として得られたものであることを特徴とする光導波路構造体。
【００１０】
（２） 前記コア層は、前記層の前記照射領域または前記未照射領域のいずれか一方の領域において前記モノマーの反応が進むにつれて、他方の領域から未反応の前記モノマーが集まることにより得られたものである上記（１）に記載の光導波路構造体。
【００１１】
（３） 前記第１の物質は、前記活性放射線の照射に伴って、カチオンと弱配位アニオンとを生じる化合物を含むものであり、前記第２の物質は、前記弱配位アニオンの作用により活性化温度が変化するものである上記（１）または（２）に記載の光導波路構造体。
【００１２】
（４） 前記第２の物質は、活性化した前記第１の物質の作用により活性化温度が低下し、前記加熱処理の温度よりも高い温度での加熱により、前記活性放射線の照射を伴うことなく活性化するものである上記（１）ないし（３）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００１３】
（５） 前記第２の物質は、下記式Ｉａで表される化合物を含む上記（４）に記載の光導波路構造体。
【００１４】
（Ｅ（Ｒ）３）２Ｐｄ（Ｑ）２ ・・・ （Ｉａ）
［式中、Ｅ（Ｒ）３は、第１５族の中性電子ドナー配位子を表し、Ｅは、周期律表の第１５族から選択される元素を表し、Ｒは、水素原子（またはその同位体の１つ）または炭化水素基を含む部位を表し、Ｑは、カルボキシレート、チオカルボキシレートおよびジチオカルボキシレートから選択されるアニオン配位子を表す。］
【００１５】
（６） 前記第２の物質は、下記式Ｉｂで表される化合物を含む上記（４）または（５）に記載の光導波路構造体。
【００１６】
［（Ｅ（Ｒ）３）ａＰｄ（Ｑ）（ＬＢ）ｂ］ｐ［ＷＣＡ］ｒ ・・・ （Ｉｂ）
［式中、Ｅ（Ｒ）３は、第１５族の中性電子ドナー配位子を表し、Ｅは、周期律表の第１５族から選択される元素を表し、Ｒは、水素原子（またはその同位体の１つ）または炭化水素基を含む部位を表し、Ｑは、カルボキシレート、チオカルボキシレートおよびジチオカルボキシレートから選択されるアニオン配位子を表し、ＬＢは、ルイス塩基を表し、ＷＣＡは、弱配位アニオンを表し、ａは、１〜３の整数を表し、ｂは、０〜２の整数を表し、ａとｂとの合計は、１〜３であり、ｐおよびｒは、パラジウムカチオンと弱配位アニオンとの電荷のバランスをとる数を表す。］
【００１７】
（７） ｐおよびｒは、それぞれ、１または２の整数から選択される上記（６）に記載の光導波路構造体。
【００１８】
（８） 前記コア層は、前記加熱処理の後、前記層を前記加熱処理の温度よりも高い第２の温度で加熱処理することにより得られたものである上記（１）ないし（７）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００１９】
（９） 前記コア層は、前記第２の温度での加熱処理の後、前記層を前記第２の温度よりも高い第３の温度で加熱処理することにより得られたものである上記（８）に記載の光導波路構造体。
【００２０】
（１０） 前記第３の温度は、前記第２の温度より２０℃以上高い上記（９）に記載の光導波路構造体。
【００２１】
（１１） 前記活性放射線は、２００〜４５０ｎｍの範囲にピーク波長を有するものである上記（１）ないし（１０）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００２２】
（１２） 前記活性放射線の照射量は、０．１〜９Ｊ／ｃｍ２である上記（１）ないし（１１）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００２３】
（１３） 前記活性放射線は、マスクを介して前記層に照射される上記（１）ないし（１２）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００２４】
（１４） 前記層は、さらに、酸化防止剤を含む上記（１）ないし（１３）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００２５】
（１５） 前記層は、さらに、増感剤を含む上記（１）ないし（１４）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００２６】
（１６） 前記モノマーは、架橋性モノマーを含む上記（１）ないし（１５）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００２７】
（１７） 前記モノマーは、ノルボルネン系モノマーを主とするものである上記（１）ないし（１６）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００２８】
（１８） 前記モノマーは、ノルボルネン系モノマーを主とするものであり、前記架橋性モノマーとして、ジメチルビス（ノルボルネンメトキシ）シランを含むものである上記（１６）に記載の光導波路構造体。
【００２９】
（１９） 前記ポリマーは、ノルボルネン系ポリマーを主とするものである上記（１）ないし（１８）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００３０】
（２０） コア部と、該コア部より屈折率が低いクラッド部とを備えるコア層とを有する光導波路と、該光導波路の少なくとも一方の面側に設けられた導体層とを有する光導波路構造体であって、
前記コア部は、第１のノルボルネン系材料を主材料として構成され、前記クラッド部は、前記第１のノルボルネン系材料より低い屈折率を有する第２のノルボルネン系材料を主材料として構成されていることを特徴とする光導波路構造体。
【００３１】
（２１） 前記第１のノルボルネン系材料と前記第２のノルボルネン系材料とは、いずれも、同一のノルボルネン系ポリマーを含有し、かつ、前記ノルボルネン系ポリマーと異なる屈折率を有するノルボルネン系モノマーの反応物の含有量が異なることにより、それらの屈折率が異なっている上記（２０）に記載の光導波路構造体。
【００３２】
（２２） 前記反応物は、前記ノルボルネン系モノマーの重合体、前記ノルボルネン系ポリマー同士を架橋する架橋構造、および、前記ノルボルネン系ポリマーから分岐する分岐構造のうちの少なくとも１つである上記（２１）に記載の光導波路構造体。
【００３３】
（２３） 前記ノルボルネン系ポリマーは、アラルキルノルボルネンの繰り返し単位を含むものである上記（１９）、（２１）または（２２）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００３４】
（２４） 前記ノルボルネン系ポリマーは、ベンジルノルボルネンの繰り返し単位を含むものである上記（１９）、（２１）または（２２）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００３５】
（２５） 前記ノルボルネン系ポリマーは、フェニルエチルノルボルネンの繰り返し単位を含むものである上記（１９）、（２１）または（２２）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００３６】
（２６） 前記ノルボルネン系ポリマーは、アルキルノルボルネンの繰り返し単位を含むものである上記（１９）、（２１）ないし（２５）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００３７】
（２７） 前記ノルボルネン系ポリマーは、ヘキシルノルボルネンの繰り返し単位を含むものである上記（１９）、（２１）ないし（２５）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００３８】
（２８） 前記ノルボルネン系ポリマーは、付加重合体である上記（１９）、（２１）ないし（２７）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００３９】
（２９） 前記光導波路は、前記コア層の少なくとも一方の面に接触して設けられ、前記コア部より屈折率が低いクラッド層を有する上記（１）ないし（２８）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００４０】
（３０） 前記導体層の平均厚さは、前記光導波路の平均厚さの１０〜９０％である上記（１）ないし（２９）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【００４１】
（３１） 前記導体層は、乾式メッキ法、湿式メッキ法および導電性シート材の接合のうちの少なくとも１つの方法により形成されたものである上記（１）ないし（３０）のいずれかに記載の光導波路構造体。
【発明の効果】
【００４２】
本発明によれば、予め導体層が形成されているため、素子への配線（電気回路の形成）が容易であるとともに、素子の種類（端子の設置箇所）等に係わらずそれに適した配線が可能であり、配線回路の構成の自由度（例えば、端子の設置箇所の選択の自由度）が広く、汎用性に富む。
【００４３】
そして、本発明によれば、活性放射線の照射という簡単な方法でコア部のパターニングをすることができ、コア部（光回路）のパターン形状の設計の自由度が広く、しかも寸法精度の高いコア部が得られる。
【００４４】
また、本発明によれば、配線（電気回路）およびコア部（光回路）の双方を高い配設密度で形成することができるため、光および電気の混成回路において、効率の良い回路設計が可能となるとともに、さらなる回路の集積化が可能となる。
【００４５】
また、本発明によれば、かかる光導波路構造体を容易に製造することができる。
また、コア層をノルボルネン系ポリマーを含む材料で構成することにより、コア部に高い光伝送性能を付与することができる。
【００４６】
また、この場合、光導波路構造体が湾曲変形した場合でも、コア部内にマイクロクラックが発生すること等の欠陥が生じ難いことから、耐久性の向上を図ることもできる。
【００４７】
さらに、この場合、コア部とクラッド部との屈折率の差をより大きくすることができ、また、耐熱性にも優れ、その結果、高性能な光導波路が得られる。
【００４８】
このような本発明の光導波路構造体は、光回路（光導波路のパターン）や電気回路の設計の幅が広く、歩留まりが良く、光伝送性能を高く維持し、信頼性、耐久性に優れ、汎用性に富む。そのため、本発明は、種々の電子部品、電子機器等に対し用いることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４９】
以下、本発明の光導波路構造体について添付図面に示す好適実施形態に基づき詳細に説明する。
【００５０】
図１は、本発明の光導波路構造体の実施形態を示す斜視図（一部切り欠いて示す）である。
【００５１】
なお、以下の説明では、図１中の上側を「上」または「上方」とし、下側を「下」または「下方」とする（以下の図において同様である。）。
また、各図は、層の厚さ方向（各図の上下方向）が誇張して描かれている。
【００５２】
図１に示す光導波路構造体９は、光導波路９０と、その上面および下面に、それぞれ設けられた導体層９０１、９０２とを有し、これら各層が接合されたものである。
【００５３】
導体層９０１、９０２の構成材料としては、それぞれ、例えば、銅、銅系合金、アルミニウム、アルミニウム系合金のような各種金属材料、インジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）、フッ素含有インジウムスズ酸化物（ＦＴＯ）のような各種酸化物材料等が挙げられる。
【００５４】
導体層９０１、９０２の平均厚さは、それぞれ、光導波路９０の平均厚さの１０〜９０％程度であるのが好ましく、２０〜８０％程度であるのがより好ましい。具体的には、導体層９０１、９０２の平均厚さは、特に限定されないが、それぞれ、通常、３〜１００μｍ程度が好ましく、５〜７０μｍ程度がより好ましい。これにより、光導波路構造体９の可撓性が低下するのを防止しつつ、導体層９０１、９０２を導電性に優れたものとすることができる。
【００５５】
また、図１に示す構成では、導体層９０１、９０２は、いずれも、平板状（シート状）をなしている。この場合、導体層９０１、９０２の所定のパターンに加工した後、所望の箇所に、光学素子（発光素子、受光素子等）を実装することにより、光学回路と電気回路とを備える複合装置を製造することができる。
【００５６】
なお、導体層９０１、９０２は、それぞれ、予めパターニングされたもの（配線）であってもよい。また、必要に応じて、導体層９０１および９０２のいずれか一方を省略してもよい。
【００５７】
また、導体層９０１、９０２と光導波路９０との間には、任意の目的（例えば、密着性を向上させる目的等）の層が１層または２層以上設けられていてもよい。
【００５８】
光導波路９０は、図１中下側からクラッド層（下部クラッド層）９１、コア層９３およびクラッド層（上部クラッド層）９２をこの順に積層してなるものであり、コア層９３には、所定パターンのコア部９４と、このコア部（導波路チャンネル）９４に隣接するクラッド部９５とが形成されている。
【００５９】
コア部９４とクラッド部９５との屈折率の差は、特に限定されないが、０．３〜５．５％程度が好ましく、特に０．８〜２．２％程度が好ましい。屈折率の差が前記下限値未満であると光を伝達する効果が低下する場合があり、前記上限値を超えても、光の伝送効率のそれ以上の増大は期待できない。
【００６０】
なお、前記屈折率差とは、コア部９４の屈折率をＡ、クラッド部９５の屈折率をＢとしたとき、次式で表される。
屈折率差（％）＝｜Ａ／Ｂ−１｜×１００
【００６１】
また、図１に示す構成では、コア部９４は、平面視で直線状に形成されているが、途中で湾曲、分岐等してもよく、その形状は任意である。なお、後述するような光導波路構造体９の製造方法を用いれば、複雑かつ任意の形状のコア部９４を容易にかつ寸法精度よく形成することができる。
【００６２】
また、コア部９４は、その横断面形状が正方形または矩形（長方形）のような四角形をなしている。
【００６３】
コア部９４の幅および高さは、特に限定されないが、それぞれ、1〜２００μｍ程度であるのが好ましく、５〜１００μｍ程度であるのがより好ましく、１０〜６０μｍ程度であるのがさらに好ましい。
【００６４】
このコア部９４は、クラッド部９５に比べて屈折率が高い材料で構成され、また、クラッド層９１、９２に対しても屈折率が高い材料で構成されている。
【００６５】
クラッド層９１および９２は、それぞれ、コア部９４の下部および上部に位置するクラッド部を構成するものである。このような構成により、コア部９４は、その外周をクラッド部に囲まれた導光路として機能する。
【００６６】
クラッド層９１、９２の平均厚さは、特に限定されないが、1〜２００μｍ程度であるのが好ましく、５〜１００μｍ程度であるのがより好ましく、１０〜６０μｍ程度であるのがさらに好ましい。
【００６７】
なお、クラッド層９１、クラッド部９５およびクラッド層９２の構成材料は、それぞれ、同一（同種）のものでも異なるものでもよいが、これらは、屈折率が同じかまたは近似しているものであるのが好ましい。クラッド層９１、９２およびコア層９３の構成材料の詳細については、後に説明する。
【００６８】
本発明の光導波路構造体９は、コア部９４の材料の光学特性等によっても若干異なり、特に限定されないが、例えば、６００〜１５５０ｎｍ程度の波長領域の光を使用したデータ通信において好適に使用される。
【００６９】
次に、光導波路構造体９の製造方法の一例について説明する。
＜第１の製造方法＞
まず、光導波路構造体９の第１の製造方法について説明する。
【００７０】
図２〜図７は、それぞれ、本発明の光導波路構造体の第１の製造方法の工程例を模式的に示す断面図である。
【００７１】
［１Ａ］ まず、支持基板９５１上に、層９１０を形成する（図２参照）。
層９１０は、コア層形成用材料（ワニス）９００を塗布し硬化（固化）させる方法により形成される。
【００７２】
具体的には、層９１０は、支持基板９５１上にコア層形成用材料９００を塗布して液状被膜を形成した後、この支持基板９５１を換気されたレベルテーブルに置いて、液状被膜表面の不均一な部分を水平化するとともに、溶媒を蒸発（脱溶媒）することにより形成する。
【００７３】
層９１０を塗布法で形成する場合、例えば、ドクターブレード法、スピンコート法、ディッピング法、テーブルコート法、スプレー法、アプリケーター法、カーテンコート法、ダイコート法等の方法が挙げられるが、これらに限定されるわけではない。
【００７４】
支持基板９５１には、例えば、シリコン基板、二酸化ケイ素基板、ガラス基板、石英基板、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム等が用いられる。
【００７５】
コア層形成用材料９００は、ポリマー９１５と、添加剤９２０（本実施形態では、少なくともモノマー、助触媒および触媒前駆体を含む）とで構成される光誘発熱現像性材料（ＰＩＴＤＭ）を含有し、活性放射線の照射および加熱により、ポリマー９１５中において、モノマーの反応が生じる材料である。
【００７６】
そして、得られた層９１０中では、ポリマー（マトリックス）９１５は、いずれも、実質的に一様かつランダムに分配され、添加剤９２０は、ポリマー９１５内に実質的に一様かつランダムに分散されている。これにより、層９１０中には、添加剤９２０が実質的に一様かつ任意に分散されている。
【００７７】
このような層９１０の平均厚さは、形成すべきコア層９３の厚さに応じて適宜設定され、特に限定されないが、５〜２００μｍ程度であるのが好ましく、１０〜１００μｍ程度であるのがより好ましく、１５〜６５μｍ程度であるのがさらに好ましい。
【００７８】
ポリマー９１５には、透明性が十分に高く（無色透明であり）、かつ、後述するモノマーと相溶性を有するもの、さらに、その中で後述するようにモノマーが反応（重合反応や架橋反応）可能であり、モノマーが重合した後においても、十分な透明性を有するものが好適に用いられる。
【００７９】
ここで、「相溶性を有する」とは、モノマーが少なくとも混和して、コア層形成用材料９００中や層９１０中においてポリマー９１５と相分離を起こさないことを言う。
【００８０】
このようなポリマー９１５としては、例えば、ノルボルネン系樹脂やベンゾシクロブテン系樹脂等の環状オレフィン系樹脂、アクリル系樹脂、メタクリル系樹脂、ポリカーボネート、ポリスチレン、エポキシ樹脂、ポリアミド、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて（ポリマーアロイ、ポリマーブレンド（混合物）、共重合体など）用いることができる。
【００８１】
これらの中でも、特に、ノルボルネン系樹脂（ノルボルネン系ポリマー）を主とするものが好ましい。ポリマー９１５としてノルボルネン系ポリマーを用いることにより、優れた光伝送性能や耐熱性を有するコア層９３を得ることができる。
【００８２】
また、ノルボルネン系ポリマーは、高い疎水性を有するため、吸水による寸法変化等を生じ難いコア層９３を得ることができる。
【００８３】
ノルボルネン系ポリマーとしては、単独の繰り返し単位を有するもの（ホモポリマー）、２つ以上のノルボルネン系繰り返し単位を有するもの（コポリマー）のいずれであってもよい。
【００８４】
このようなノルボルネン系ポリマーとしては、例えば、（１）ノルボルネン型モノマーを付加（共）重合して得られるノルボルネン型モノマーの付加（共）重合体、（２）ノルボルネン型モノマーとエチレンやα−オレフィン類との付加共重合体、（３）ノルボルネン型モノマーと非共役ジエン、および必要に応じて他のモノマーとの付加共重合体のような付加重合体、（４）ノルボルネン型モノマーの開環（共）重合体、および必要に応じて該（共）重合体を水素添加した樹脂、（５）ノルボルネン型モノマーとエチレンやα−オレフィン類との開環共重合体、および必要に応じて該（共）重合体を水素添加した樹脂、（６）ノルボルネン型モノマーと非共役ジエン、または他のモノマーとの開環共重合体、および必要に応じて該（共）重合体を水素添加したポリマーのような開環重合体が挙げられる。これらの重合体としては、ランダム共重合体、ブロック共重合体、交互共重合体等が挙げられる。
【００８５】
これらのノルボルネン系ポリマーは、例えば、開環メタセシス重合（ＲＯＭＰ）、ＲＯＭＰと水素化反応との組み合わせ、ラジカルまたはカチオンによる重合、カチオン性パラジウム重合開始剤を用いた重合、これ以外の重合開始剤（例えば、ニッケルや他の遷移金属の重合開始剤）を用いた重合等、公知のすべての重合方法で得ることができる。
【００８６】
これらの中でも、ノルボルネン系ポリマーとしては、下記化１（構造式Ｂ）で表される少なくとも１個の繰り返し単位を有するもの、すなわち、付加（共）重合体が好ましい。このものは、透明性、耐熱性および可撓性に富むことからも好ましい。
【００８７】
【化１】
【００８８】
かかるノルボルネン系ポリマーは、例えば、後述するノルボルネン系モノマー（後述する化３で表されるノルボルネン系モノマーや、架橋性ノルボルネン系モノマー）を用いることにより好適に合成される。
【００８９】
なお、比較的高い屈折率を有するポリマー９１５を得るためには、分子構造中に、芳香族環（芳香族基）、窒素原子、臭素原子や塩素原子を有するモノマーを一般的に選択して、ポリマー９１５が合成（重合）される。一方、比較的低い屈折率を有するポリマー９１５を得るためには、分子構造中に、アルキル基、フッ素原子やエーテル構造（エーテル基）を有するモノマーを一般的に選択して、ポリマー９１５が合成（重合）される。
【００９０】
比較的高い屈折率を有するノルボルネン系ポリマーとしては、アラルキルノルボルネンの繰り返し単位を含むものが好ましい。かかるノルボルネン系ポリマーは、特に高い屈折率を有する。
【００９１】
アラルキルノルボルネンの繰り返し単位が有するアラルキル基（アリールアルキル基）としては、例えば、ベンジル基、フェニルエチル基、フェニルプロピル基、フェニルブチル基、ナフチルエチル基、ナフチルプロピル基、フルオレニルエチル基、フルオレニルプロピル基等が挙げられるが、ベンジル基やフェニルエチル基が特に好ましい。
【００９２】
かかる繰り返し単位を有するノルボルネン系ポリマーは、極めて高い屈折率を有するものであることから好ましい。
【００９３】
また、ノルボルネン系ポリマーは、アルキルノルボルネンの繰り返し単位を含むものが好ましい。アルキルノルボルネンの繰り返し単位を含むノルボルネン系ポリマーは、柔軟性が高いため、かかるノルボルネン系ポリマーを用いることにより、光導波路９０に高いフレキシビリティ（可撓性）を付与することができる。
【００９４】
アルキルノルボルネンの繰り返し単位が有するアルキル基としては、例えば、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基等が挙げられるが、ヘキシル基が特に好ましい。なお、これらのアルキル基は、直鎖状または分岐状のいずれであってもよい。
【００９５】
ヘキシルノルボルネンの繰り返し単位を含むことにより、ノルボルネン系ポリマー全体の屈折率が低下するのを防止し、かつ、高い柔軟性を保持することができる。また、かかるノルボルネン系ポリマーは、前述したような波長領域（特に、８５０ｎｍ付近の波長領域）の光に対する透過率が優れることから好ましい。
【００９６】
このようなノルボルネン系ポリマーの好ましい具体例としては、ヘキシルノルボルネンのホモポリマー、フェニルエチルノルボルネンのホモポリマー、ベンジルノルボルネンのホモポリマー、ヘキシルノルボルネンとフェニルエチルノルボルネンとのコポリマー、ヘキシルノルボルネンとベンジルノルボルネンとのコポリマー等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【００９７】
本実施形態のコア層形成用材料９００は、添加剤９２０として、モノマー、助触媒（第１の物質）および触媒前駆体（第２の物質）を含んでいる。
【００９８】
モノマーは、後述する活性放射線に照射により、活性放射線の照射領域において反応して反応物を形成し、この反応物の存在により、層９１０において照射領域と、活性放射線の未照射領域とにおいて、屈折率差を生じさせ得るような化合物である。
【００９９】
ここで、この反応物としては、モノマーがポリマー（マトリックス）９１５中で重合して形成されたポリマー（重合体）、ポリマー９１５同士を架橋する架橋構造、および、ポリマー９１５に重合してポリマー９１５から分岐した分岐構造（ブランチポリマーや側鎖（ペンダントグループ））のうちの少なくとも１つが挙げられる。
【０１００】
ここで、層９１０において、照射領域の屈折率が高くなることが望まれる場合には、比較的低い屈折率を有するポリマー９１５と、このポリマー９１５に対して高い屈折率を有するモノマーとが組み合わせて使用され、照射領域の屈折率が低くなることが望まれる場合には、比較的高い屈折率を有するポリマー９１５と、このポリマー９１５に対して低い屈折率を有するモノマーとが組み合わせて使用される。
【０１０１】
なお、屈折率が「高い」または「低い」とは、屈折率の絶対値を意味するものではなく、ある材料同士の相対的な関係を意味する。
【０１０２】
そして、モノマーの反応（反応物の生成）により、層９１０において照射領域の屈折率が低下する場合、当該部分がクラッド部９５となり、照射領域の屈折率が上昇する場合、当該部分がコア部９４となる。
【０１０３】
このようなモノマーとしては、重合可能な部位を有する化合物であればよく、特に限定されないが、例えば、ノルボルネン系モノマー、アクリル酸（メタクリル酸）系モノマー、エポキシ系モノマー、スチレン系モノマー等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【０１０４】
これらの中でも、モノマーとしては、ノルボルネン系モノマーを用いるのが好ましい。ノルボルネン系モノマーを用いることにより、光伝送性能に優れ、かつ、耐熱性および柔軟性に優れるコア層９３（光導波路９０）が得られる。
【０１０５】
ここで、ノルボルネン系モノマーとは、下記化２（構造式Ａ）で示されるノルボルネン骨格を少なくとも１つ含むモノマーを総称し、例えば、下記化３（構造式Ｃ）で表される化合物が挙げられる。
【０１０６】
【化２】
【０１０７】
【化３】
［式中、ａは、単結合または二重結合を表し、Ｒ１〜Ｒ４は、それぞれ独立して、水素原子、置換もしくは無置換の炭化水素基、または官能置換基を表し、ｍは、０〜５の整数を表す。ただし、ａが二重結合の場合、Ｒ１およびＲ２のいずれか一方、Ｒ３およびＲ４のいずれか一方は存在しない。］
【０１０８】
無置換の炭化水素基（ハイドロカルビル基）としては、例えば、直鎖状または分岐状の炭素数１〜１０（Ｃ１〜Ｃ１０）のアルキル基、直鎖状または分岐状の炭素数２〜１０（Ｃ２〜Ｃ１０のアルケニル基、直鎖状または分岐状の炭素数２〜１０（Ｃ２〜Ｃ１０）のアルキニル基、炭素数４〜１２（Ｃ４〜Ｃ１２）のシクロアルキル基、炭素数４〜１２（Ｃ４〜Ｃ１２）のシクロアルケニル基、炭素数６〜１２（Ｃ６〜Ｃ１２）のアリール基、炭素数７〜２４（Ｃ７〜Ｃ２４）のアラルキル基（アリールアルキル基）等が挙げられ、その他、Ｒ１およびＲ２、Ｒ３およびＲ４が、それぞれ炭素数１〜１０（Ｃ１〜Ｃ１０）のアルキリデニル基であってもよい。
【０１０９】
アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ペンチル基、ネオペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基およびデシル基が挙げられるが、これらに限定されるわけではない。
【０１１０】
アルケニル基の具体例としては、ビニル基、アリル基、ブテニル基およびシクロヘキセニル基が挙げられるが、これらに限定されるわけではない。
【０１１１】
アルキニル基の具体例としては、エチニル基、１−プロピニル基、２−プロピニル基、１−ブチニル基および２−ブチニル基が挙げられるが、これらに限定されるわけではない。
【０１１２】
シクロアルキル基の具体例としては、シクロペンチル基、シクロヘキシル基およびシクロオクチル基が挙げられるが、これらに限定されるわけではない。
【０１１３】
アリール基の具体例としては、フェニル基、ナフチル基およびアントラセニル（ａｎｔｈｒａｃｅｎｙｌ）基が挙げられるが、これらに限定されるわけではない。
【０１１４】
アラルキル（ａｒａｌｋｙｌ）基の具体例としては、ベンジル基およびフェニルエチル（フェネチル：ｐｈｅｎｅｔｈｙｌ）基が挙げられるが、これらに限定されるわけではない。
【０１１５】
また、アルキリデニル（ａｌｋｙｌｉｄｅｎｙｌ）基の具体例としては、メチリデニル（ｍｅｔｈｙｌｉｄｅｎｙｌ）基およびエチリデニル（ｅｔｈｙｌｉｄｅｎｙｌ）基が挙げられるが、これらに限定されるわけではない。
【０１１６】
置換された炭化水素基としては、前記の炭化水素基が有する水素原子の一部または全部がハロゲン原子で置換されたもの、すなわち、ハロハイドロカルビル（ｈａｌｏｈｙｄｒｏｃａｒｂｙｌ）基、パーハロハイドロカルビル（ｐｅｒｈａｌｏｈｙｄｒｏｃａｒｂｙｌ）基であるか、パーハロカルビル（ｐｅｒｈａｌｏｃａｒｂｙｌ）基のようなハロゲン化炭化水素基が挙げられる。
【０１１７】
これらのハロゲン化炭化水素基において、水素原子に置換するハロゲン原子としては、塩素原子、フッ素および臭素から選択される少なくとも１種が好ましく、フッ素原子がより好ましい。
【０１１８】
このうち、パーハロゲン化された炭化水素基（パーハロハイドロカルビル基、パーハロカルビル基）の具体例としては、例えば、パーフルオロフェニル基、パーフルオロメチル基（トリフルオロメチル基）、パーフルオロエチル基、パーフルオロプロピル基、パーフルオロブチル基、パーフルオロヘキシル基等が挙げられる。
【０１１９】
なお、ハロゲン化アルキル基には、炭素数１〜１０のもの以外に、炭素数１１〜２０のものも好適に用いることができる。すなわち、ハロゲン化アルキル基には、部分的または完全にハロゲン化され、直鎖状または分岐状をなし、一般式：−ＣＺＸ’’２Ｚ＋１で表される基を選択することができる。ここで、Ｘ’’は、それぞれ独立して、ハロゲン原子または水素原子を表し、Ｚは、１〜２０の整数を表す。
【０１２０】
また、置換された炭化水素基としては、ハロゲン原子の他、直鎖状または分岐状の炭素数１〜５（Ｃ１〜Ｃ５）のアルキル基またはハロアルキル基、アリール基およびシクロアルキル基で更に置換された、シクロアルキル基、アリール基およびアラルキル基（アラアルキル基）等が挙げられる。
【０１２１】
また、官能置換基としては、例えば、−（ＣＨ２）ｎ−ＣＨ（ＣＦ２）２−Ｏ−Ｓｉ（Ｍｅ）３、−（ＣＨ２）ｎ−ＣＨ（ＣＦ３）２−Ｏ−ＣＨ２−Ｏ−ＣＨ３、−（ＣＨ２）ｎ−ＣＨ（ＣＦ３）２−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−Ｏ−Ｃ（ＣＨ３）３、−（ＣＨ２）ｎ−Ｃ（ＣＦ３）２−ＯＨ、−（ＣＨ２）ｎ−Ｃ（Ｏ）−ＮＨ２、−（ＣＨ２）ｎ−Ｃ（Ｏ）−Ｃｌ、−（ＣＨ２）ｎ−Ｃ（Ｏ）−Ｏ−Ｒ５、−（ＣＨ２）ｎ−Ｏ−Ｒ５、−（ＣＨ２）ｎ−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−Ｒ５、−（ＣＨ２）ｎ−Ｃ（Ｏ）−Ｒ５、−（ＣＨ２）ｎ−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−ＯＲ５、−（ＣＨ２）ｎ−Ｓｉ（Ｒ５）３、−（ＣＨ２）ｎ−Ｓｉ（ＯＲ５）３、−（ＣＨ２）ｎ−Ｏ−Ｓｉ（Ｒ５）３および−（ＣＨ２）ｎ−Ｃ（Ｏ）−ＯＲ６等が挙げられる。
【０１２２】
ここで、前記各式において、それぞれ、ｎは、０〜１０の整数を示し、Ｒ５は、それぞれ独立して、水素原子、直鎖状または分岐状の炭素数１〜２０（Ｃ１〜Ｃ２０）アルキル基、直鎖状または分岐状の炭素数１〜２０（Ｃ１〜Ｃ２０）のハロゲン化もしくはパーハロゲン化アルキル基、直鎖状または分岐状の炭素数２〜１０（Ｃ２〜Ｃ１０）のアルケニル基、直鎖状または分岐状の炭素数２〜１０（Ｃ２〜Ｃ１０）のアルキニル基、炭素数５〜１２（Ｃ５〜Ｃ１２）のシクロアルキル基、炭素数６〜１４（Ｃ６〜Ｃ１４）のアリール基、炭素数６〜１４（Ｃ６〜Ｃ１４）のハロゲン化もしくはパーハロゲン化アリール基または炭素数７〜２４（Ｃ７〜Ｃ２４）のアラルキル基を表す。
【０１２３】
なお、Ｒ５で示される炭化水素基は、Ｒ１〜Ｒ４で示されるものと同一の炭化水素基を示す。Ｒ１〜Ｒ４で示すように、Ｒ５で示される炭化水素基は、ハロゲン化またはパーハロゲン化されていてもよい。
【０１２４】
例えば、Ｒ５が炭素数１〜２０（Ｃ１〜Ｃ２０）のハロゲン化またはパーハロゲン化アルキル基である場合、Ｒ５は、一般式：−ＣＺＸ’’２Ｚ＋１で表される。ここで、ｚおよびＸ’’は、それぞれ、上記の定義と同じであり、Ｘ’’の少なくとも１つは、ハロゲン原子（例えば、臭素原子、塩素原子またはフッ素原子）である。
【０１２５】
ここで、パーハロゲン化アルキル基とは、前記一般式において、すべてのＸ’’がハロゲン原子である基であり、その具体例としては、トリフルオロメチル基、トリクロロメチル基、−Ｃ７Ｆ１５、−Ｃ１１Ｆ２３が挙げられるが、これらに限定されるわけではない。
【０１２６】
パーハロゲン化アリール基の具体例としては、ペンタクロロフェニル基、ペンタフルオロフェニル基が挙げられるが、これらに限定されるわけではない。
【０１２７】
また、Ｒ６としては、例えば、−Ｃ（ＣＨ３）３、−Ｓｉ（ＣＨ３）３、−ＣＨ（Ｒ７）−Ｏ−ＣＨ２ＣＨ３、−ＣＨ（Ｒ７）ＯＣ（ＣＨ３）３および下記化４の環状基等が挙げられる。
【０１２８】
【化４】
【０１２９】
ここで、Ｒ７は、水素原子、あるいは直鎖状または分岐状の炭素数１〜５（Ｃ１〜Ｃ５）のアルキル基を表す。
【０１３０】
アルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ｉ−プロピル基、ブチル基、ｉ−ブチル基、ｔ−ブチル、ペンチル基、ｔ−ペンチル基、ネオペンチル基が挙げられる。
【０１３１】
なお、上記化４で表される環状基では、環構造から延びる単結合と酸置換基との間でエステル結合が形成される。
【０１３２】
Ｒ６の具体例としては、例えば、１−メチル−１−シクロヘキシル基、イソボルニル（ｉｓｏｂｏｒｎｙｌ）基、２−メチル−２−イソボルニル基、２−メチル−２−アダマンチル基、テトラヒドロフラニル（ｔｅｔｒａｈｙｄｒｏｆｕｒａｎｙｌ）基、テトラヒドロピラノイル（ｔｅｔｒａｈｙｄｒｏｐｙｒａｎｏｙｌ）基、３−オクソシクロヘキサノイル（３−ｏｘｏｃｙｃｌｏｈｅｘａｎｏｎｙｌ）基、メバロンラクトニル（ｍｅｖａｌｏｎｉｃ ｌａｃｔｏｎｙｌ）基、１−エトキシエチル基、１−ｔ−ブトキシエチル基等が挙げられる。
【０１３３】
また、他のＲ６としては、例えば、下記化５で表されるジシクロプロピルメチル基（Ｄｃｐｍ）、ジメチルシクロプロピルメチル基（Ｄｍｃｐ）等が挙げられる。
【０１３４】
【化５】
【０１３５】
また、モノマーには、上記のモノマーに代えて、または、上記のモノマーとともに架橋性モノマー（架橋剤）を用いることもできる。この架橋性モノマーは、後述する触媒前駆体の存在下で、架橋反応を生じ得る化合物である。
【０１３６】
架橋性モノマーを用いることにより、次のような利点がある。すなわち、架橋性モノマーは、より速く重合するので、コア層９３（光導波路９０）の形成（プロセス）に要する時間を短縮することができる。また、架橋性モノマーは、加熱しても蒸発し難くいので、蒸気圧の上昇を抑えることができる。さらに、架橋性モノマーは、耐熱性に優れるため、コア層９３の耐熱性を向上させることができる。
【０１３７】
このうち、架橋性ノルボルネン系モノマーは、前記化２（構造式Ａ）で表されるノルボルネン系部位（ノルボルネン系二重結合）を含む化合物である。
【０１３８】
架橋性ノルボルネン系モノマーとしては、連続多環環系（ｆｕｓｅｄ ｍｕｌｔｉｃｙｃｌｉｃ ｒｉｎｇ ｓｙｓｔｅｍｓ）の化合物と、連結多環環系（ｌｉｎｋｅｄ ｍｕｌｔｉｃｙｃｌｉｃ ｒｉｎｇ ｓｙｓｔｅｍｓ）の化合物とがある。
【０１３９】
連続多環環系の化合物（連続多環環系の架橋性ノルボルネン系モノマー）としては、下記化６で表される化合物が挙げられる。
【０１４０】
【化６】
［式中、Ｙは、メチレン（−ＣＨ２−）基を表し、ｍは、０〜５の整数を表わす。ただし、ｍが０である場合、Ｙは、単結合である。］
【０１４１】
なお、簡略化のため、ノルボルナジエン（ｎｏｒｂｏｒｎａｄｉｅｎｅ）は、連続多環環系に含まれ、重合性ノルボルネン系二重結合を含むものと考えることとする。
【０１４２】
この連続多環環系の化合物の具体例としては、下記化７で表される化合物が挙げられるが、これらに限定されるわけではない。
【０１４３】
【化７】
【０１４４】
一方、連結多環環系の化合物（連結多環環系の架橋性ノルボルネン系モノマー）としては、下記化８で表される化合物が挙げられる。
【０１４５】
【化８】
［式中、ａは、それぞれ独立して、単結合または二重結合を表し、ｍは、それぞれ独立して、０〜５の整数を表し、Ｒ９は、それぞれ独立して二価の炭化水素基、二価のエーテル基または二価のシリル基を表す。また、ｎは、０または１である。］
【０１４６】
ここで、二価の置換基とは、端部にノルボルネン構造に結合し得る結合手を２つ有する基のことを言う。
【０１４７】
二価の炭化水素基（ハイドロカルビル基）の具体例としては、一般式：−（ＣｄＨ２ｄ）−で表されるアルキレン基（ｄは、好ましくは１〜１０の整数を表す。）と、二価の芳香族基（アリール基）とが挙げられる。
【０１４８】
二価のアルキレン基としては、直鎖状または分岐状の炭素数１〜１０（Ｃ１〜Ｃ１０）のアルキレン基が好ましく、例えば、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、ペンチレン基、へキシレン基、ヘプチレン基、オクチレン基、ノニレン基、デシレン基が挙げられる。
【０１４９】
なお、分岐アルキレン基は、主鎖の水素原子が、直鎖状または分岐状のアルキル基で置換されたものである。
【０１５０】
一方、二価の芳香族基としては、二価のフェニル基、二価のナフチル基が好ましい。
また、二価のエーテル基は、−Ｒ１０−Ｏ−Ｒ１０−で表される基である。
ここで、Ｒ１０は、それぞれ独立して、Ｒ９と同じものを表す。
【０１５１】
この連結多環環系の化合物の具体例としては、下記化９、化１０、化１１、化１２で表される化合物の他、化１３、化１４で表されるフッ素含有化合物（フッ素含有架橋性ノルボルネン系モノマー）が挙げられるが、これらに限定されるわけではない。
【０１５２】
【化９】
【０１５３】
【化１０】
【０１５４】
この化１０で表される化合物は、ジメチルビス［ビシクロ［２．２．１］へプト−２−エン−５−メトキシ］シランであり、またの命名では、ジメチルビス（ノルボルネンメトキシ）シラン（「ＳｉＸ」と略される。）と呼ばれる。
【０１５５】
【化１１】
［式中、ｎは、０〜４の整数を表す。］
【０１５６】
【化１２】
【０１５７】
【化１３】
［式中、ｍおよびｎは、それぞれ、１〜４の整数を表す。］
【０１５８】
【化１４】
【０１５９】
【化１５】
【０１６０】
各種の架橋性ノルボルネン系モノマーの中でも、特に、ジメチルビス（ノルボルネンメトキシ）シラン（ＳｉＸ）が好ましい。ＳｉＸは、アルキルノルボルネンの繰り返し単位および／またはアラルキルノルボルネンの繰り返し単位を含むノルボルネン系ポリマーに対して十分に低い屈折率を有する。このため、後述する活性放射線を照射する照射領域の屈折率を確実に低くして、クラッド部９５とすることができる。また、コア部９４とクラッド部９５との間における屈折率差を大きくすることができ、コア層９３（光導波路９０）の特性（光伝送性能）の向上を図ることができる。
【０１６１】
なお、以上のようなモノマーは、単独または任意に組み合わせて用いるようにしてもよい。
【０１６２】
触媒前駆体（第２の物質）は、前記のモノマーの反応（重合反応、架橋反応等）を開始させ得る物質であり、後述する活性放射線の照射により活性化した助触媒（第１の物質）の作用により、活性化温度が変化する物質である。
【０１６３】
この触媒前駆体（プロカタリスト：ｐｒｏｃａｔａｌｙｓｔ）としては、活性放射線の照射に伴って活性化温度が変化（上昇または低下）するものであれば、いかなる化合物を用いてもよいが、特に、活性放射線の照射に伴って活性化温度が低下するものが好ましい。これにより、比較的低温による加熱処理でコア層９３（光導波路９０）を形成することができ、他の層に不要な熱が加わって、光導波路９０の特性（光伝送性能）が低下するのを防止することができる。
【０１６４】
このような触媒前駆体としては、下記式（Ｉａ）および（Ｉｂ）で表わされる化合物の少なくとも一方を含む（主とする）ものが好適に用いられる。
【０１６５】
【化１６】
［式Ｉａ、Ｉｂ中、それぞれ、Ｅ（Ｒ）３は、第１５族の中性電子ドナー配位子を表し、Ｅは、周期律表の第１５族から選択される元素を表し、Ｒは、水素原子（またはその同位体の１つ）または炭化水素基を含む部位を表し、Ｑは、カルボキシレート、チオカルボキシレートおよびジチオカルボキシレートから選択されるアニオン配位子を表す。また、式Ｉｂ中、ＬＢは、ルイス塩基を表し、ＷＣＡは、弱配位アニオンを表し、ａは、１〜３の整数を表し、ｂは、０〜２の整数を表し、ａとｂとの合計は、１〜３であり、ｐおよびｒは、パラジウムカチオンと弱配位アニオンとの電荷のバランスをとる数を表す。］
【０１６６】
式Ｉａに従う典型的な触媒前駆体としては、Ｐｄ（ＯＡｃ）２（Ｐ（ｉ−Ｐｒ）３）２、Ｐｄ（ＯＡｃ）２（Ｐ（Ｃｙ）３）２、Ｐｄ（Ｏ２ＣＣＭｅ３）２（Ｐ（Ｃｙ）３）２、Ｐｄ（ＯＡｃ）２（Ｐ（Ｃｐ）３）２、Ｐｄ（Ｏ２ＣＣＦ３）２（Ｐ（Ｃｙ）３）２、Ｐｄ（Ｏ２ＣＣ６Ｈ５）３（Ｐ（Ｃｙ）３）２が挙げられるが、これらに限定されるわけではない。ここで、Ｃｐは、シクロペンチル（ｃｙｃｌｏｐｅｎｔｙｌ）基を表し、Ｃｙは、シクロヘキシル基を表す。
【０１６７】
また、式Ｉｂで表される触媒前駆体としては、ｐおよびｒが、それぞれ１および２の整数から選択される化合物が好ましい。
【０１６８】
このような式Ｉｂに従う典型的な触媒前駆体としては、Ｐｄ（ＯＡｃ）２（Ｐ（Ｃｙ）３）２が挙げられる。ここで、Ｃｙは、シクロヘキシル基を表し、Ａｃは、アセチル基を表す。
【０１６９】
これらの触媒前駆体は、モノマーを効率よく反応（ノルボルネン系モノマーの場合、付加重合反応によって効率よく重合反応や架橋反応等）することができる。
【０１７０】
また、活性化温度が低下した状態（活性潜在状態）において、触媒前駆体としては、その活性化温度が本来の活性化温度よりも１０〜８０℃程度（好ましくは、１０〜５０℃程度）低くなるものが好ましい。これにより、コア部９４とクラッド部９５との間の屈折率差を確実に生じさせることができる。
【０１７１】
かかる触媒前駆体としては、Ｐｄ（ＯＡｃ）２（Ｐ（ｉ−Ｐｒ）３）２およびＰｄ（ＯＡｃ）２（Ｐ（Ｃｙ）３）２のうちの少なくとも一方を含む（主とする）ものが好適である。
【０１７２】
なお、以下では、Ｐｄ（ＯＡｃ）２（Ｐ（ｉ−Ｐｒ）３）２を「Ｐｄ５４５」と、また、Ｐｄ（ＯＡｃ）２（Ｐ（Ｃｙ）３）２を「Ｐｄ７８５」と略すことがある。
【０１７３】
助触媒（第１の物質）は、活性放射線の照射によって活性化して、前記の触媒前駆体（プロカタリスト）の活性化温度（モノマーに反応を生じさせる温度）を変化させ得る物質である。
【０１７４】
この助触媒（コカタリスト：ｃｏｃａｔａｌｙｓｔ）としては、活性放射線の照射により、その分子構造が変化（反応または分解）して活性化する化合物であれば、いかなるものでも用いることができるが、特定波長の活性放射線の照射によって分解し、プロトンや他の陽イオン等のカチオンと、触媒前駆体の脱離基に置換し得る弱配位アニオン（ＷＣＡ）とを発生する化合物（光開始剤）を含む（主とする）ものが好適に用いられる。
【０１７５】
弱配位アニオンとしては、例えば、テトラキス（ペンタフルオロフェニル）ホウ酸イオン（ＦＡＢＡ−）、ヘキサフルオロアンチモン酸イオン（ＳｂＦ６−）等が挙げられる。
【０１７６】
この助触媒（光酸発生剤または光塩基発生剤）としては、例えば、下記化１７で表されるテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ホウ酸塩やヘキサフルオロアンチモン酸塩の他、テトラキス（ペンタフルオロフェニル）ガリウム酸塩、アルミン酸塩類、アンチモン酸塩類、他のホウ酸塩類、ガリウム酸塩類、カルボラン類、ハロカルボラン類等が挙げられる。
【０１７７】
【化１７】
【０１７８】
このような助触媒の市販品としては、例えば、ニュージャージ州クランベリーのＲｈｏｄｉａ ＵＳＡ社から入手可能な「ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ（登録商標、以下同様である。） ＰＨＯＴＯＩＮＩＴＩＡＴＯＲ ２０７４（ＣＡＳ番号第１７８２３３−７２−２番）」、日本国東京の東洋インキ製造株式会社から入手可能な「ＴＡＧ−３７２Ｒ（（ジメチル（２−（２−ナフチル）−２−オキソエチル）スルフォニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート：ＣＡＳ番号第１９３９５７−５４−９番））、日本国東京のみどり化学株式会社から入手可能な「ＭＰＩ−１０３（ＣＡＳ番号第８７７０９−４１−９番）」、日本国東京の東洋インキ製造株式会社から入手可能な「ＴＡＧ−３７１（ＣＡＳ番号第１９３９５７−５３−８番）」、日本国東京の東洋合成工業株式会社から入手可能な「ＴＴＢＰＳ−ＴＰＦＰＢ（トリス（４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）スルフォニウムテトラキス（ペンタペンタフルオロフェニル）ボレート）」、日本国東京のみどり化学工業株式会社より入手可能な「ＮＡＩ−１０５（ＣＡＳ番号第８５３４２−６２−７番）」等が挙げられる。
【０１７９】
なお、助触媒（第１の物質）として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ＰＨＯＴＯＩＮＩＴＩＡＴＯＲ ２０７４を用いる場合、後述する活性放射線（化学線）としては、紫外線（ＵＶ光）が好適に用いられ、紫外線の照射手段としては、水銀灯（高圧水銀ランプ）が好適に用いられる。これにより、層９１０に対して、３００ｎｍ未満の十分なエネルギーの紫外線（活性放射線）を供給することができ、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ＰＨＯＴＯＩＮＩＴＩＡＴＯＲ ２０７４を効率よく分解して、上記のカチオンおよびＷＣＡを発生させることができる。
【０１８０】
また、コア層形成用材料（ワニス）９００中には、必要に応じて、増感剤を添加するようにしてもよい。
【０１８１】
増感剤は、活性放射線に対する助触媒の感度を増大して、助触媒の活性化（反応または分解）に要する時間やエネルギーを減少させる機能や、助触媒の活性化に適する波長に活性放射線の波長を変化させる機能を有するものである。
【０１８２】
このような増感剤としては、助触媒の感度や増感剤の吸収のピーク波長等に応じて適宜選択され、特に限定されないが、例えば、９，１０−ジブトキシアントラセン（ＣＡＳ番号第７６２７５−１４−４番）のようなアントラセン類、キサントン類、アントラキノン類、フェナントレン類、クリセン類、ベンツピレン類、フルオラセン類（ｆｌｕｏｒａｎｔｈｅｎｅｓ）、ルブレン類、ピレン類、インダンスリーン類、チオキサンテン−９−オン類（ｔｈｉｏｘａｎｔｈｅｎ−９−ｏｎｅｓ）等が挙げられ、これらを単独または混合物として用いられる。
【０１８３】
増感剤の具体例としては、２−イソプロピル−９Ｈ−チオキサンテン−９−オン、４−イソプロピル−９Ｈ−チオキサンテン−９−オン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントン、フェノチアジン（ｐｈｅｎｏｔｈｉａｚｉｎｅ）またはこれらの混合物が挙げられる。
【０１８４】
なお、９，１０−ジブトキシアントラセン（ＤＢＡ）は、日本国神奈川県の川崎化成工業株式会社から入手が可能である。
【０１８５】
コア層形成用材料９００中の増感剤の含有量は、特に限定されないが、０．０１重量％以上であるのが好ましく、０．５重量％以上であるのがより好ましく、１重量％以上であるのがさらに好ましい。なお、上限値は、５重量％以下であるのが好ましい。
【０１８６】
さらに、コア層形成用材料９００中には、酸化防止剤を添加することができる。これにより、望ましくないフリーラジカルの発生や、ポリマー９１５の自然酸化を防止することができる。その結果、得られたコア層９３（光導波路９０）の特性の向上を図ることができる。
【０１８７】
この酸化防止剤としては、ニューヨーク州タリータウンのＣｉｂａ Ｓｐｅｃｉａｌｔｙ Ｃｈｅｍｉｃａｌｓ社から入手可能なＣｉｂａ（登録商標、以下同様である。） ＩＲＧＡＮＯＸ（登録商標、以下同様である。） １０７６およびＣｉｂａ ＩＲＧＡＦＯＳ（登録商標、以下同様である。） １６８が好適に用いられる。
【０１８８】
また、他の酸化防止剤としては、例えば、Ｃｉｂａ Ｉｒｇａｎｏｘ（登録商標、以下同様である。） １２９、Ｃｉｂａ Ｉｒｇａｎｏｘ １３３０、Ｃｉｂａ Ｉｒｇａｎｏｘ １０１０、Ｃｉｂａ Ｃｙａｎｏｘ（登録商標、以下同様である。） １７９０、Ｃｉｂａ Ｉｒｇａｎｏｘ（登録商標） ３１１４、Ｃｉｂａ Ｉｒｇａｎｏｘ ３１２５等を用いることもできる。
【０１８９】
なお、このような酸化防止剤は、例えば、層９１０が酸化条件に曝されない場合や、曝される期間が極めて短い場合等には、省略することもできる。
【０１９０】
コア層形成用材料（ワニス）９００の調製に用いる溶媒としては、例えば、ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、１，２−ジメトキシエタン（ＤＭＥ）、１，４−ジオキサン、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）、テトラヒドロピラン（ＴＨＰ）、アニソール、ジエチレングリコールジメチルエーテル（ジグリム）、ジエチレングリコールエチルエーテル（カルビトール）等のエーテル系溶媒、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、フェニルセロソルブ等のセロソルブ系溶媒、ヘキサン、ペンタン、ヘプタン、シクロヘキサン等の脂肪族炭化水素系溶媒、トルエン、キシレン、ベンゼン、メシチレン等の芳香族炭化水素系溶媒、ピリジン、ピラジン、フラン、ピロール、チオフェン、メチルピロリドン等の芳香族複素環化合物系溶媒、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド（ＤＭＡ）等のアミド系溶媒、ジクロロメタン、クロロホルム、１，２−ジクロロエタン等のハロゲン化合物系溶媒、酢酸エチル、酢酸メチル、ギ酸エチル等のエステル系溶媒、ジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）、スルホラン等の硫黄化合物系溶媒等の各種有機溶媒、または、これらを含む混合溶媒等が挙げられる。
【０１９１】
さて、支持基板９５１上に形成された液状被膜中から溶媒を除去（脱溶媒）する方法としては、例えば、自然乾燥、加熱、減圧下での放置、不活性ガスの吹付け（ブロー）などによる強制乾燥等の方法が挙げられる。
【０１９２】
以上のようにして、支持基板９５１上には、コア層形成用材料９００のフィルム状の固化物（または硬化物）である層９１０が形成される。
【０１９３】
このとき、層（ＰＩＴＤＭの乾燥フィルム）９１０は、第１の屈折率（ＲＩ）を有している。この第１の屈折率は、層９１０中に一様に分散（分布）するポリマー９１５およびモノマーの作用による。
【０１９４】
［２Ａ］ 次に、開口（窓）９３５１が形成されたマスク（マスキング）９３５を用意し、このマスク９３５を介して、層９１０に対して活性放射線（活性エネルギー光線）９３０を照射する（図３参照）。
【０１９５】
以下では、モノマーとして、ポリマー９１５より低い屈折率を有するものを用い、また、触媒前駆体として、活性放射線９３０の照射に伴って活性化温度が低下するものを用いる場合を一例に説明する。
【０１９６】
すなわち、ここで示す例では、活性放射線９３０の照射領域９２５がクラッド部９５となる。
【０１９７】
したがって、ここで示す例では、マスク９３５には、形成すべきクラッド部９５のパターンと等価な開口（窓）９３５１が形成される。この開口９３５１は、照射する活性放射線９３０が透過する透過部を形成するものである。
【０１９８】
マスク９３５は、予め形成（別途形成）されたもの（例えばプレート状のもの）でも、層９１０上に例えば気相成膜法や塗布法により形成されたものでもよい。
【０１９９】
マスク９３５として好ましいものの例としては、石英ガラスやＰＥＴ基材等で作製されたフォトマスク、ステンシルマスク、気相成膜法（蒸着、スパッタリング等）により形成された金属薄膜等が挙げられるが、これらの中でもフォトマスクやステンシルマスクを用いるのが特に好ましい。微細なパターンを精度良く形成することができるとともに、ハンドリングがし易く、生産性の向上に有利であるからである。
【０２００】
また、図３においては、形成すべきクラッド部９５のパターンと等価な開口（窓）９３５１は、活性放射線９３０の未照射領域９４０のパターンに沿ってマスクを部分的に除去したものを示したが、前記石英ガラスやＰＥＴ基材等で作製されたフォトマスクを用いる場合、該フォトマスク上に例えばクロム等の金属による遮蔽材で構成された活性放射線９３０の遮蔽部を設けたものを用いることもできる。このマスクでは、遮蔽部以外の部分が前記窓（透過部）となる。
【０２０１】
用いる活性放射線９３０は、助触媒に対して、光化学的な反応（変化）を生じさせ得るものであればよく、例えば、可視光、紫外光、赤外光、レーザ光の他、電子線やＸ線等を用いることもできる。
【０２０２】
これらの中でも、活性放射線９３０は、助触媒の種類、増感剤を含有する場合には、増感剤の種類等によって適宜選択され、特に限定されないが、波長２００〜４５０ｎｍの範囲にピーク波長を有するものであるのが好ましい。これにより、助触媒を比較的容易に活性化させることができる。
【０２０３】
また、活性放射線９３０の照射量は、０．１〜９Ｊ／ｃｍ２程度であるのが好ましく、０．２〜６Ｊ／ｃｍ２程度であるのがより好ましく、０．２〜３Ｊ／ｃｍ２程度であるのがさらに好ましい。これにより、助触媒を確実に活性化させることができる。
【０２０４】
マスク９３５を介して、活性放射線９３０を層９１０に照射すると、活性放射線９３０が照射された照射領域９２５内に存在する助触媒（第１の物質：コカタリスト）は、活性放射線９３０の作用により反応（結合）または分解して、カチオン（プロトンまたは他の陽イオン）と、弱配位アニオン（ＷＣＡ）とを遊離（発生）する。
【０２０５】
そして、これらのカチオンや弱配位アニオンは、照射領域９２５内に存在する触媒前駆体（第２の物質：プロカタリスト）の分子構造に変化（分解）を生じさせ、これを活性潜在状態（潜在的活性状態）に変化させる。
【０２０６】
ここで、活性潜在状態（または潜在的活性状態）の触媒前駆体とは、本来の活性化温度より活性化温度が低下しているが、温度上昇がないと、すなわち、室温程度では、照射領域９２５内においてモノマーの反応を生じさせることができない状態にある触媒前駆体のことを言う。
【０２０７】
したがって、活性放射線９３０照射後においても、例えば−４０℃程度で、層９１０を保管すれば、モノマーの反応を生じさせることなく、その状態を維持することができる。このため、活性放射線９３０照射後の層９１０を複数用意しておき、これらに一括して加熱処理を施すことにより、コア層９３を得ることができ、利便性が高い。
【０２０８】
なお、活性放射線９３０として、レーザ光のように指向性の高い光を用いる場合には、マスク９３５の使用を省略してもよい。
【０２０９】
［３Ａ］ 次に、層９１０に対して加熱処理（第１の加熱処理）を施す。
これにより、照射領域９２５内では、活性潜在状態の触媒前駆体が活性化して（活性状態となって）、モノマーの反応（重合反応や架橋反応）が生じる。
【０２１０】
そして、モノマーの反応が進行すると、照射領域９２５内におけるモノマー濃度が徐々に低下する。これにより、照射領域９２５と未照射領域９４０との間には、モノマー濃度に差が生じ、これを解消すべく、未照射領域９４０からモノマーが拡散（モノマーディフュージョン）して照射領域９２５に集まってくる。
【０２１１】
その結果、照射領域９２５では、モノマーやその反応物（重合体、架橋構造や分岐構造）が増加し、当該領域の屈折率にモノマー由来の構造が大きく影響を及ぼすようになり、第１の屈折率より低い第２の屈折率へと低下する。なお、モノマーの重合体としては、主に付加（共）重合体が生成する。
【０２１２】
一方、未照射領域９４０では、当該領域から照射領域９２５にモノマーが拡散することにより、モノマー量が減少するため、当該領域の屈折率にポリマー９１５の影響が大きく現れるようになり、第１の屈折率より高い第３の屈折率へと上昇する。
【０２１３】
このようにして、照射領域９２５と未照射領域９４０との間に屈折率差（第２の屈折率＜第３の屈折率）が生じて、コア部９４（未照射領域９４０）とクラッド部９５（照射領域９２５）とが形成される（図４参照）。
【０２１４】
この加熱処理における加熱温度は、特に限定されないが、３０〜８０℃程度であるのが好ましく、４０〜６０℃程度であるのがより好ましい。
【０２１５】
また、加熱時間は、照射領域９２５内におけるモノマーの反応がほぼ完了するように設定するのが好ましく、具体的には、０．１〜２時間程度であるのが好ましく、０．１〜１時間程度であるのがより好ましい。
【０２１６】
［４Ａ］ 次に、層９１０に対して第２の加熱処理を施す。
これにより、未照射領域９４０および／または照射領域９２５に残存する触媒前駆体を、直接または助触媒の活性化を伴って、活性化させる（活性状態とする）ことにより、各領域９２５、９４０に残存するモノマーを反応させる。
【０２１７】
このように、各領域９２５、９４０に残存するモノマーを反応させることにより、得られるコア部９４およびクラッド部９５の安定化を図ることができる。
【０２１８】
この第２の加熱処理における加熱温度は、触媒前駆体または助触媒を活性化し得る温度であればよく、特に限定されないが、７０〜１００℃程度であるのが好ましく、８０〜９０℃程度であるのがより好ましい。
【０２１９】
また、加熱時間は、０．５〜２時間程度であるのが好ましく、０．５〜１時間程度であるのがより好ましい。
【０２２０】
［５Ａ］ 次に、層９１０に対して第３の加熱処理を施す。
これにより、得られるコア層９３に生じる内部応力の低減や、コア部９４およびクラッド部９５の更なる安定化を図ることができる。
【０２２１】
この第３の加熱処理における加熱温度は、第２の加熱処理における加熱温度より２０℃以上高く設定するのが好ましく、具体的には、９０〜１８０℃程度であるのが好ましく、１２０〜１６０℃程度であるのがより好ましい。
【０２２２】
また、加熱時間は、０．５〜２時間程度であるのが好ましく、０．５〜１時間程度であるのがより好ましい。
【０２２３】
以上の工程を経て、コア層９３が得られる。
なお、例えば、第２の加熱処理や第３の加熱処理を施す前の状態で、コア部９４とクラッド部９５との間に十分な屈折率差が得られている場合等には、本工程［５Ａ］や前記工程［４Ａ］を省略してもよい。
【０２２４】
［６Ａ］ 次に、支持基板９５２上に、クラッド層９１（９２）を形成する（図５参照）。
【０２２５】
クラッド層９１（９２）の形成方法としては、クラッド材を含むワニス（クラッド層形成用材料）を塗布し硬化（固化）させる方法、硬化性を有するモノマー組成物を塗布し硬化（固化）させる方法等、いかなる方法でもよい。
【０２２６】
クラッド層９１（９２）を塗布法で形成する場合、例えば、スピンコート法、ディッピング法、テーブルコート法、スプレー法、アプリケーター法、カーテンコート法、ダイコート法等の方法が挙げられる。
支持基板９５２には、支持基板９５１と同様のものを用いることができる。
【０２２７】
クラッド層９１（９２）の構成材料としては、例えば、アクリル系樹脂、メタクリル系樹脂、ポリカーボネート、ポリスチレン、エポキシ樹脂、ポリアミド、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ベンゾシクロブテン系樹脂やノルボルネン系樹脂等の環状オレフィン系樹脂等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて（ポリマーアロイ、ポリマーブレンド（混合物）、共重合体、複合体（積層体）など）用いることができる。
【０２２８】
これらのうち、特に耐熱性に優れるという点で、エポキシ樹脂、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ベンゾシクロブテン系樹脂やノルボルネン系樹脂等の環状オレフィン系樹脂、またはそれらを含むもの（主とするもの）を用いるのが好ましい。
【０２２９】
クラッド層９１（９２）の材料として、環状オレフィン系樹脂、特にノルボルネン系樹脂（ノルボルネン系ポリマー）を含む（主とする）樹脂材料を用いた場合には、コア層９３の構成材料として好適に用いられる材料と同種となるため、コア層９３との密着性がさらに高いものとなり、クラッド層９１（９２）とコア層９３との間での層間剥離を防止することができる。このようなことから、耐久性に優れた光導波路９０が得られる。
【０２３０】
このようなノルボルネン系ポリマーとしては、例えば、（１）ノルボルネン型モノマーを付加（共）重合して得られるノルボルネン型モノマーの付加（共）重合体、（２）ノルボルネン型モノマーとエチレンやα−オレフィン類との付加共重合体、（３）ノルボルネン型モノマーと非共役ジエン、および必要に応じて他のモノマーとの付加共重合体のような付加重合体、（４）ノルボルネン型モノマーの開環（共）重合体、および必要に応じて該（共）重合体を水素添加した樹脂、（５）ノルボルネン型モノマーとエチレンやα−オレフィン類との開環共重合体、および必要に応じて該（共）重合体を水素添加した樹脂、（６）ノルボルネン型モノマーと非共役ジエン、または他のモノマーとの開環共重合体、および必要に応じて該（共）重合体を水素添加したポリマーのような開環重合体が挙げられる。これらの重合体としては、ランダム共重合体、ブロック共重合体、交互共重合体等が挙げられる。
【０２３１】
これらのノルボルネン系ポリマーは、例えば、開環メタセシス重合（ＲＯＭＰ）、ＲＯＭＰと水素化反応との組み合わせ、ラジカルまたはカチオンによる重合、カチオン性パラジウム重合開始剤を用いた重合、これ以外の重合開始剤（例えば、ニッケルや他の遷移金属の重合開始剤）を用いた重合等、公知のすべての重合方法で得ることができる。
【０２３２】
これらの中でも、ノルボルネン系ポリマーとしては、付加（共）重合体が好ましい。このものは、透明性、耐熱性および可撓性に富むことからも好ましい。
【０２３３】
クラッド層９１、９２に用いるノルボルネン系ポリマーは、比較的屈折率の低いものが好ましい。
【０２３４】
比較的低い屈折率を有するノルボルネン系ポリマーとしては、末端にエポキシ構造を含む置換基を有するノルボルネンの繰り返し単位を含むものが好ましい。かかるノルボルネン系ポリマーは、特に低い屈折率を有する。
【０２３５】
また、ノルボルネン系ポリマーは、アルキルノルボルネンの繰り返し単位を含むものが好ましい。アルキルノルボルネンの繰り返し単位を含むノルボルネン系ポリマーは、柔軟性が高いため、かかるノルボルネン系ポリマーを用いることにより、光導波路９０に高いフレキシビリティ（可撓性）を付与することができる。
【０２３６】
アルキルノルボルネンの繰り返し単位が有するアルキル基としては、例えば、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基等が挙げられるが、ヘキシル基が特に好ましい。なお、これらのアルキル基は、直鎖状または分岐状のいずれであってもよい。
【０２３７】
ヘキシルノルボルネンの繰り返し単位を含むことにより、ノルボルネン系ポリマー全体の屈折率が上昇するのを防止することができる。また、ヘキシルノルボルネンの繰り返し単位を有するノルボルネン系ポリマーは、前述したような波長領域（特に、８５０ｎｍ付近の波長領域）の光に対する透過率が優れることから好ましい。
なお、クラッド層９１（９２）は、コア層９３のコア部９４の屈折率より低いものであればよく、前述したようなコア層形成用材料を用いるようにしてもよい。
以上のようにして、支持基板９５２上に、クラッド層９１（９２）が形成される。
【０２３８】
［７Ａ］ 次に、支持基板９５１からコア層９３を剥離し、このコア層９３を、クラッド層９１が形成された支持基板９５２と、クラッド層９２が形成された支持基板９５２とで挟持する（図６参照）。
【０２３９】
そして、図６中の矢印で示すように、クラッド層９２が形成された支持基板９５２の上面側から加圧し、クラッド層９１、９２とコア層９３とを圧着する。
これにより、クラッド層９１、９２とコア層９３とが接合、一体化される。
【０２４０】
また、この圧着作業は、加熱下で行われるのが好ましい。加熱温度は、クラッド層９１、９２やコア層９３の構成材料等により適宜決定されるが、通常は、８０〜２００℃程度が好ましく、１２０〜１８０℃程度がより好ましい。
【０２４１】
次いで、クラッド層９１、９２から、それぞれ、支持基板９５２を剥離、除去する。これにより、光導波路９０が得られる。
【０２４２】
［８Ａ］ 次に、光導波路９０の上面および下面に、それぞれ導体層９０１、９０２を形成する（図７参照）。
【０２４３】
各導体層９０１、９０２の形成方法としては、それぞれ、例えば、プラズマＣＶＤ法、熱ＣＶＤ法、レーザーＣＶＤ法のような化学的気相成膜法（ＣＶＤ法）、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法のような物理的気相成膜法（ＰＶＤ法）等の乾式メッキ法、電解メッキ、浸漬メッキ、無電解メッキ等の湿式メッキ法や、ラミネート法による導電性シート材の接合のうちの少なくとも１つを用いることができる。これにより、各導体層９０１、９０２と光導波路９０との高い密着性が得られる。
以上のようにして、本発明の光導波路構造体９が完成する。
【０２４４】
このような光導波路構造体９の好ましい例では、コア層９３において、コア部９４が第１のノルボルネン系材料を主材料として構成され、クラッド部９５が第１のノルボルネン系材料より低い屈折率を有する第２のノルボルネン系材料を主材料として構成され、クラッド層９１、９２が、それぞれ、第１のノルボルネン系材料より屈折率が低く、ノルボルネン系ポリマーを含有する第３のノルボルネン系材料を主材料として構成される。
【０２４５】
そして、第１のノルボルネン系材料と前記第２のノルボルネン系材料とは、いずれも、同一のノルボルネン系ポリマーを含有するが、このノルボルネン系ポリマーと異なる屈折率を有するノルボルネン系モノマーの反応物の含有量が異なることにより、互いに屈折率が異なっている。
【０２４６】
ノルボルネン系ポリマーは、透明性が高いため、かかる構成の光導波路構造体９では、光導波路９０の高い光伝送性能が得られる。
【０２４７】
また、このような構成により、コア部９４とクラッド部９５との間の高い密着性のみならず、コア層９３とクラッド層９１およびクラッド層９２との間の高い密着性が得られ、光導波路構造体９に曲げ等の変形が生じた場合でも、コア部９４とクラッド部９５との剥離や、コア層９３とクラッド層９１、９２との層間剥離が生じ難く、コア部９４内やクラッド部９５内にマイクロクラックが発生することも防止される。その結果、光導波路９０の光伝送性能が維持される。
【０２４８】
さらに、ノルボルネン系ポリマーは、高い耐熱性、高い疎水性を有するため、かかる構成の光導波路９０（光導波路構造体９）では、耐久性に優れたものとなる。
【０２４９】
また、光導波路９０に高い耐熱性や高い疎水性を付与することができるため、その特性の低下（劣化）を防止しつつ、前述したような各種の方法を採用して導体層９０１、９０２を確実に形成することができる。特に、光の伝送に重要なコア部９４と重なるように、導体層９０１、９０２を形成した場合でも、コア部９４の変質・劣化を防止することができる。
【０２５０】
また、以上のような製造方法によれば、簡単な処理で、しかも短時間に、所望の形状を有し、かつ、寸法精度の高いコア部９４を有する光導波路構造体９を得ることができる。
【０２５１】
＜第２の製造方法＞
次に、光導波路構造体９の第２の製造方法について説明する。
【０２５２】
以下、第２の製造方法について説明するが、前記第１の製造方法との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０２５３】
第２の製造方法では、コア層形成用材料９００の組成が異なり、それ以外は、前記第１の製造方法と同様である。
【０２５４】
すなわち、第２の製造方法で用いられるコア層形成用材料９００は、活性放射線の照射により活性化する離脱剤（物質）と、主鎖と該主鎖から分岐し、活性化した離脱剤の作用により、分子構造の少なくとも一部が主鎖から離脱し得る離脱性基（離脱性ぺンダントグループ）とを有するポリマー９１５とを含有している。
離脱剤には、前記第１の製造方法で挙げた助触媒と同様のものを用いることができる。
【０２５５】
第２の製造方法において用いられるポリマー９１５としては、前記第１の製造方法で挙げたポリマー９１５が有する置換基を離脱性基で置換したものや、前記第１の製造方法で挙げたポリマー９１５に離脱性基を導入したもの等が挙げられる。
【０２５６】
かかるポリマー９１５は、離脱性基の離脱（切断）により、その屈折率が変化（上昇または低下）する。
【０２５７】
離脱性基は、カチオン、アニオンまたはフリーラジカルの作用により離脱するもの、すなわち、酸（カチオン）脱離性基、塩基（アニオン）脱離性基、フリーラジカル脱離性基のいずれであってもよいが、好ましくはカチオン（プロトン）の作用により離脱するもの（酸基離脱性基）である。
【０２５８】
酸離脱性基としては、その分子構造中に、−Ｏ−構造、−Ｓｉ−アリール構造および−Ｏ−Ｓｉ−構造のうちの少なくとも１つを有するものが好ましい。かかる酸離脱性基は、カチオンの作用により比較的容易に離脱する。
【０２５９】
このうち、離脱によりポリマー９１５の屈折率に低下を生じさせる酸離脱性基としては、−Ｓｉ−ジフェニル構造および−Ｏ−Ｓｉ−ジフェニル構造の少なくとも一方が好ましい。
【０２６０】
なお、フリーラジカルの作用により離脱するフリーラジカル脱離性基としては、例えば、末端にアセトフェノン構造を有する置換基等が挙げられる。
【０２６１】
また、ポリマー９１５は、前記第１の製造方法で説明したのと同様の理由から、ノルボルネン系ポリマーを用いるのが好ましく、アルキル（特にヘキシル）ノルボルネンの繰り返し単位を含むノルボルネン系ポリマーを用いるのがより好ましい。
【０２６２】
以上のことを考慮した場合、離脱性基の離脱により屈折率が低下するポリマー９１５としては、ジフェニルメチルノルボルネンメトキシシランのホモポリマーや、ヘキシルノルボルネンとジフェニルメチルノルボルネンメトキシシランとのコポリマーが好適に用いられる。
【０２６３】
以下では、ポリマー９１５として、離脱性基（特に酸離脱性基）の離脱により屈折率が低下するものを用いる場合を一例に説明する。
【０２６４】
すなわち、ここで示す例では、活性放射線９３０の照射領域９２５がクラッド部９５となる。
【０２６５】
［１Ｂ］ 前記工程［１Ａ］と同様の工程を行う。
このとき、層（ＰＩＴＤＭの乾燥フィルム）１０は、第１の屈折率（ＲＩ）を有している。この第１の屈折率は、層９１０中に一様に分散（分布）するポリマー９１５の作用による。
【０２６６】
［２Ｂ］ 前記工程［２Ａ］と同様の工程を行う。
マスク９３５を介して、活性放射線９３０を層９１０に照射すると、活性放射線９３０が照射された照射領域９２５内に存在する離脱剤は、活性放射線９３０の作用により反応（結合）または分解して、カチオン（プロトンまたは他の陽イオン）と、弱配位アニオン（ＷＣＡ）とを遊離（発生）する。
【０２６７】
そして、カチオンは、離脱性基そのものを主鎖から離脱させるか、または、離脱性基の分子構造の途中から切断する（フォトブリーチ）。
【０２６８】
これにより、照射領域９２５では、未照射領域９４０よりも完全な状態の離脱性基の数が減少し、第１の屈折率より低い第２の屈折率へと低下する。なお、このとき、未照射領域９４０の屈折率は、第１の屈折率が維持される。
【０２６９】
このようにして、照射領域９２５と未照射領域９４０との間に屈折率差（第２の屈折率＜第１の屈折率）が生じて、コア部９４（未照射領域９４０）とクラッド部９５（照射領域９２５）とが形成される。
【０２７０】
なお、この場合、活性放射線９３０の照射量は、０．１〜９Ｊ／ｃｍ２程度であるのが好ましく、０．３〜６Ｊ／ｃｍ２程度であるのがより好ましく、０．６〜６Ｊ／ｃｍ２程度であるのがさらに好ましい。これにより、離脱剤を確実に活性化させることができる。
【０２７１】
［３Ｂ］ 次に、層９１０に対して加熱処理を施す。
これにより、ポリマー９１５から離脱（切断）された離脱性基が、例えば、照射領域９２５から除去されたり、ポリマー９１５内において再配列または架橋する。
【０２７２】
さらに、このとき、クラッド部９５（照射領域９２５）に残存する離脱性基の一部がさらに離脱（切断）すると考えられる。
【０２７３】
したがって、このような加熱処理を施すことにより、コア部９４とクラッド部９５との間の屈折率差をより大きくすることができる。
【０２７４】
この加熱処理における加熱温度は、特に限定されないが、７０〜１９５℃程度であるのが好ましく、８５〜１５０℃程度であるのがより好ましい。
【０２７５】
また、加熱時間は、照射領域９２５から離脱（切断）された離脱性基を十分に除去し得るに設定され、特に限定されないが、０．５〜３時間程度であるのが好ましく、０．５〜２時間程度であるのがより好ましい。
【０２７６】
なお、例えば、加熱処理を施す前の状態で、コア部９４とクラッド部９５との間に十分な屈折率差が得られている場合等には、本工程［３Ｂ］を省略してもよい。
【０２７７】
また、必要に応じて、１回または複数回の加熱処理（例えば、１５０〜２００℃×１〜８時間程度）の工程を追加することもできる。
以上の工程を経て、コア層９３が得られる。
【０２７８】
［４Ｂ］ 前記工程［６Ａ］と同様の工程を行う。
［５Ｂ］ 前記工程［７Ａ］と同様の工程を行う。
［６Ｂ］ 前記工程［８Ａ］と同様の工程を行う。
【０２７９】
以上のようにして、本発明の光導波路構造体９が完成する。
このような光導波路構造体９の好ましい例では、コア層９３がノルボルネン系材料を主材料として構成され、クラッド層９１、９２が、それぞれ、コア層９３のコア部９４より屈折率が低く、ノルボルネン系ポリマーを含有するノルボルネン系材料を主材料として構成される。
【０２８０】
そして、コア部９４とクラッド部９５とは、主鎖と主鎖から分岐し、分子構造の少なくとも一部が主鎖から離脱し得る離脱性基とを有するノルボルネン系ポリマーを主材料として構成され、コア部９４とクラッド部９５とは、主鎖に結合した状態の離脱性基の数が異なることにより、それらの屈折率が異なっている。
【０２８１】
ノルボルネン系ポリマーは、透明性が高いため、かかる構成の光導波路構造体９では、光導波路９０の高い光伝送性能が得られる。
【０２８２】
また、このような構成により、コア部９４とクラッド部９５との間の高い密着性のみならず、コア層９３とクラッド層９１およびクラッド層９２との間の高い密着性が得られ、光導波路構造体９に曲げ等の変形が生じた場合でも、コア部９４とクラッド部９５との剥離や、コア層９３とクラッド層９１、９２との層間剥離が生じ難く、コア部９４内やクラッド部９５内にマイクロクラックが発生することも防止される。その結果、光導波路９０の光伝送性能が維持される。
【０２８３】
さらに、ノルボルネン系ポリマーは、高い耐熱性、高い疎水性を有するため、かかる構成の光導波路９０（光導波路構造体９）では、耐久性に優れたものとなる。
【０２８４】
また、光導波路９０に高い耐熱性や高い疎水性を付与することができるため、その特性の低下（劣化）を防止しつつ、前述したような各種の方法を採用して導体層９０１、９０２を確実に形成することができる。特に、光の伝送に重要なコア部９４と重なるように、導体層９０１、９０２を形成した場合でも、コア部９４の変質・劣化を防止することができる。
【０２８５】
また、以上のような製造方法によれば、簡単な処理で、しかも短時間に、所望の形状を有し、かつ、寸法精度の高いコア部９４を有する光導波路構造体９を得ることができる。
【０２８６】
特に、第２の製造方法によれば、少なくとも活性放射線をすればよく、極めて簡単な処理で、コア層９３を形成することができる。
【０２８７】
＜第３の製造方法＞
次に、光導波路構造体９の第３の製造方法について説明する。
【０２８８】
以下、第３の製造方法について説明するが、前記第１および第２の製造方法との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０２８９】
第３の製造方法では、コア層形成用材料９００として、第１および第２の製造方法で用いたコア層形成用材料を組み合わせたものを用い、それ以外は、前記第１または第２の製造方法と同様である。
【０２９０】
すなわち、第３の製造方法で用いられるコア層形成用材料９００は、前述したような離脱性基を有するポリマー９１５と、モノマーと、助触媒（第１の物質）と、触媒前駆体（第２の物質）とを含有している。また、助触媒は、前記第２の製造方法における離脱剤と同じものであり、離脱剤を離脱させる機能も有する。
【０２９１】
このようなコア層形成用材料９００では、選択する離脱性基と、選択するモノマーとの組み合わせにより、得られるコア層９３において、コア部９４とクラッド部９５との間の屈折率差をより多段階に調整することが可能となる。
【０２９２】
なお、前述したように、モノマーとして、ポリマー９１５より低い屈折率を有するものを用い、また、触媒前駆体として、活性放射線９３０の照射に伴って活性化温度が低下するものを用い、ポリマー９１５として、離脱性基の離脱により屈折率が低下するものを用いると、照射領域９２５をクラッド部９５とし、コア部９４との屈折率差が極めて大きいコア層９３を得ることができる。
【０２９３】
以下では、このような組み合わせのポリマー９１５、モノマーおよび触媒前駆体を用いる場合を一例に説明する。
【０２９４】
すなわち、ここで示す例では、活性放射線９３０の照射領域９２５がクラッド部９５となる。
【０２９５】
［１Ｃ］ 前記工程［１Ａ］と同様の工程を行う。
このとき、層（ＰＩＴＤＭの乾燥フィルム）９１０は、第１の屈折率（ＲＩ）を有している。この第１の屈折率は、層９１０中に一様に分散（分布）するポリマー９１５およびモノマーの作用による。
【０２９６】
［２Ｃ］ 前記工程［２Ａ］と同様の工程を行う。
マスク９３５を介して、活性放射線９３０を層９１０に照射すると、活性放射線９３０が照射された照射領域９２５内に存在する助触媒（第１の物質：コカタリスト）は、活性放射線９３０の作用により反応または分解して、カチオン（プロトンまたは他の陽イオン）と、弱配位アニオン（ＷＣＡ）とを遊離（発生）する。
【０２９７】
そして、これらのカチオンや弱配位アニオンは、照射領域９２５内に存在する触媒前駆体（第２の物質：プロカタリスト）の分子構造に変化（分解）を生じさせ、これを活性潜在状態（潜在的活性状態）に変化させる。
【０２９８】
また、カチオンは、離脱性基そのものを主鎖から離脱させるか、または、離脱性基の分子構造の途中から切断する。
【０２９９】
これにより、照射領域９２５では、未照射領域９４０よりも完全な状態の離脱性基の数が減少し、屈折率が低下して第１の屈折率より低くなる。なお、このとき、未照射領域９４０の屈折率は、第１の屈折率が維持される。
【０３００】
なお、この場合、活性放射線９３０の照射量は、０．１〜９Ｊ／ｃｍ２程度であるのが好ましく、０．２〜５Ｊ／ｃｍ２程度であるのがより好ましく、０．２〜４Ｊ／ｃｍ２程度であるのがさらに好ましい。これにより、助触媒を確実に活性化させることができる。
【０３０１】
［３Ｃ］ 前記工程［３Ａ］と同様の工程を行う。
これにより、照射領域９２５内では、活性潜在状態の触媒前駆体が活性化して（活性状態となって）、モノマーの反応（重合反応や架橋反応）が生じる。
【０３０２】
そして、モノマーの反応が進行すると、照射領域９２５内におけるモノマー濃度が徐々に低下する。これにより、照射領域９２５と未照射領域９４０との間には、モノマー濃度に差が生じ、これを解消すべく、未照射領域９４０からモノマーが拡散して照射領域９２５に集まってくる。
【０３０３】
また、この加熱処理により、ポリマー９１５から離脱（切断）された離脱性基が、例えば、照射領域９２５から除去されたり、ポリマー９１５内において再配列または架橋する。
【０３０４】
その結果、照射領域９２５では、モノマーやその反応物（重合体、架橋構造や分岐構造）が増加し、当該領域の屈折率にモノマー由来の構造が大きく影響を及ぼすようになること、ポリマー９１５から離脱（切断）された離脱性基が減少すること等により、さらに屈折率が低下して第２の屈折率となる。
【０３０５】
一方、未照射領域９４０では、当該領域から照射領域９２５にモノマーが拡散することにより、モノマー量が減少するため、当該領域の屈折率にポリマー９１５の影響が大きく現れるようになり、第１の屈折率より高い第３の屈折率へと上昇する。
【０３０６】
このようにして、照射領域９２５と未照射領域９４０との間に屈折率差（第２の屈折率＜第３の屈折率）が生じて、コア部９４（未照射領域９４０）とクラッド部９５（照射領域９２５）とが形成される。
【０３０７】
［４Ｃ］ 前記工程［４Ａ］と同様の工程を行う。
［５Ｃ］ 前記工程［５Ａ］と同様の工程を行う。
［６Ｃ］ 前記工程［６Ａ］と同様の工程を行う。
［７Ｃ］ 前記工程［７Ａ］と同様の工程を行う。
［８Ｃ］ 前記工程［８Ａ］と同様の工程を行う。
【０３０８】
以上のようにして、本発明の光導波路構造体９が完成する。
このような光導波路構造体９の好ましい例では、コア層９３は、主鎖とこの主鎖から分岐し、分子構造の少なくとも一部が主鎖から離脱し得る離脱性基とを有するノルボルネン系ポリマーを含有しており、コア部９４とクラッド部９５とは、主鎖に結合した状態の離脱性基の数が異なること、および、ノルボルネン系ポリマーと異なる屈折率を有するノルボルネン系モノマーの反応物の含有量が異なることにより、それらの屈折率が異なっており、また、クラッド層９１、９２が、それぞれ、ノルボルネン系ポリマーを含有するノルボルネン系材料を主材料として構成される。
【０３０９】
ノルボルネン系ポリマーは、透明性が高いため、かかる構成の光導波路構造体９では、光導波路９０の高い光伝送性能が得られる。
【０３１０】
また、このような構成により、コア部９４とクラッド部９５との間の高い密着性のみならず、コア層９３とクラッド層９１およびクラッド層９２との間の高い密着性が得られ、光導波路構造体９に曲げ等の変形が生じた場合でも、コア部９４とクラッド部９５との剥離や、コア層９３とクラッド層９１、９２との層間剥離が生じ難く、コア部９４内やクラッド部９５内にマイクロクラックが発生することも防止される。その結果、光導波路９０の光伝送性能が維持される。
【０３１１】
さらに、ノルボルネン系ポリマーは、高い耐熱性、高い疎水性を有するため、かかる構成の光導波路９０（光導波路構造体９）では、耐久性に優れたものとなる。
【０３１２】
また、光導波路９０に高い耐熱性や高い疎水性を付与することができるため、その特性の低下（劣化）を防止しつつ、前述したような各種の方法を採用して導体層９０１、９０２を確実に形成することができる。特に、光の伝送に重要なコア部９４と重なるように、導体層９０１、９０２を形成した場合でも、コア部９４の変質・劣化を防止することができる。
【０３１３】
また、以上のような製造方法によれば、簡単な処理で、しかも短時間に、所望の形状を有し、かつ、寸法精度の高いコア部９４を有する光導波路構造体９を得ることができる。
【０３１４】
特に、第３の製造方法によれば、コア部９４とクラッド部９５との間の屈折率差を多段階に設定することが可能となる。
【０３１５】
＜第４の製造方法＞
次に、光導波路構造体９の第４の製造方法について説明する。
【０３１６】
図８〜図１３は、それぞれ、本発明の光導波路構造体の第４の製造方法の工程例を模式的に示す断面図である。
【０３１７】
以下、第４の製造方法について説明するが、前記第１〜第３の製造方法との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０３１８】
第４の製造方法では、光導波路９０の形成工程が異なり、それ以外は、前記第１〜第３の製造方法と同様である。
【０３１９】
すなわち、コア層形成用材料９００やクラッド層形成用材料には、前記第１〜第３の製造方法で説明したのと同様のものを用いることができる。
【０３２０】
なお、以下では、コア層形成用材料として、前記第１の製造方法で挙げたものを用いる場合を代表に説明する。
【０３２１】
［１Ｄ］ まず、支持基板１０００上に、クラッド層形成用材料（第１のワニス）を前述したのと同様の方法を用いて塗布して、第１の層１１１０を形成する（図８参照）。
【０３２２】
支持基板１０００には、支持基板９５１と同様のものを用いることができる。
第１の層１１１０の平均厚さは、特に限定されないが、５〜２００μｍ程度であるのが好ましく、１０〜１００μｍ程度であるのがより好ましく、１５〜６５μｍ程度であるのがさらに好ましい。
【０３２３】
［２Ｄ］ 次に、第１の層１１１０上に、コア層形成用材料（第２のワニス）を前述したのと同様の方法を用いて塗布して、第２の層１１２０を形成する（図９参照）。
【０３２４】
コア層形成用材料は、第１の層１１１０をほぼ完全に乾燥させた後に塗布するようにしてもよいし、第１の層１１１０が乾燥する前に塗布するようにしてもよい。
【０３２５】
後者の場合、第１の層１１１０と第２の層１１２０とは、それらの界面において相互に混ざり合った状態となる。この場合、得られた光導波路９０において、クラッド層９１とコア層９３との密着性の向上を図ることができる。
【０３２６】
また、この場合、第１のワニスおよび第２のワニスは、それぞれ、粘度（常温）が好ましくは１００〜１００００ｃＰ程度、より好ましくは１５０〜５０００ｃＰ程度、さらに好ましくは２００〜３５００ｃＰ程度に調製される。これにより、第１の層１１１０と第２の層１１２０とが、それらの界面において必要以上に混ざり合うのを防止することができるとともに、第１の層１１１０および第２の層１１２０の厚さが不均一となるのを防止することができる。
【０３２７】
なお、第２のワニスの粘度は、第１のワニスの粘度より高くするのが好ましい。これにより、第１の層１１１０と第２の層１１２０とが、それらの界面において必要以上に混ざり合うのを確実に防止することができる。
【０３２８】
第２の層１１２０の平均厚さは、特に限定されないが、５〜２００μｍ程度であるのが好ましく、１５〜１２５μｍ程度であるのがより好ましく、２５〜１００μｍ程度であるのがさらに好ましい。
【０３２９】
［３Ｄ］ 次に、第２の層１１２０上に、クラッド層形成用材料（第３のワニス）を前述したのと同様の方法を用いて塗布して、第３の層１１３０を形成する（図１０参照）。
【０３３０】
第３の層１１３０は、前記第２の層１１２０と同様にして形成することができる。
第３の層１１３０の平均厚さは、特に限定されないが、５〜２００μｍ程度であるのが好ましく、１０〜１００μｍ程度であるのがより好ましく、１５〜６５μｍ程度であるのがさらに好ましい。
これにより、積層体２０００が得られる。
【０３３１】
［４Ｄ］ 次に、積層体２０００中の溶媒を除去（脱溶媒）する。
脱溶媒の方法としては、例えば、加熱、大気圧または減圧下での放置、不活性ガス等の噴き付け（ブロー）等の方法が挙げられるが、加熱による方法が好ましい。これにより、比較的容易かつ短時間での脱溶媒が可能である。
【０３３２】
この加熱の温度は、２５〜６０℃程度であるのが好ましく、３０〜４５℃程度であるのがより好ましい。
【０３３３】
また、加熱の時間は、１５〜６０分程度であるのが好ましく、１５〜３０分程度であるのがより好ましい。
【０３３４】
［５Ｄ］ 次に、開口（窓）９３５１が形成されたマスク（マスキング）９３５を用意し、このマスク９３５を介して、積層体２０００に対して活性放射線（活性エネルギー光線）９３０を照射する（図１１参照）。
【０３３５】
マスク９３５を介して、活性放射線９３０を積層体２０００に照射すると、第２の層１１２０の活性放射線９３０が照射された照射領域９２５内に存在する助触媒（第１の物質：コカタリスト）は、活性放射線９３０の作用により反応または分解して、カチオン（プロトンまたは他の陽イオン）と、弱配位アニオン（ＷＣＡ）とを遊離（発生）する。
【０３３６】
そして、これらのカチオンや弱配位アニオンは、照射領域９２５内に存在する触媒前駆体（第２の物質：プロカタリスト）の分子構造に変化（分解）を生じさせ、これを活性潜在状態（潜在的活性状態）に変化させる。
【０３３７】
［６Ｄ］ 次に、積層体２０００に対して加熱処理（第１の加熱処理）を施す。
これにより、照射領域９２５内では、活性潜在状態の触媒前駆体が活性化して（活性状態となって）、モノマーの反応（重合反応や架橋反応）が生じる。
【０３３８】
そして、モノマーの反応が進行すると、照射領域９２５内におけるモノマー濃度が徐々に低下する。これにより、照射領域９２５と未照射領域９４０との間には、モノマー濃度に差が生じ、これを解消すべく、未照射領域９４０からモノマーが拡散して照射領域９２５に集まってくる。
【０３３９】
その結果、照射領域９２５では、モノマーやその反応物（重合体、架橋構造や分岐構造）が増加し、当該領域の屈折率にモノマー由来の構造が大きく影響を及ぼすようになり、第１の屈折率より低い第２の屈折率へと低下する。
【０３４０】
一方、未照射領域９４０では、当該領域から照射領域９２５にモノマーが拡散することにより、モノマー量が減少するため、当該領域の屈折率にポリマー９１５の影響が大きく現れるようになり、第１の屈折率より高い第３の屈折率へと上昇する。
【０３４１】
このようにして、照射領域９２５と未照射領域９４０との間に屈折率差（第２の屈折率＜第３の屈折率）が生じて、コア部９４（未照射領域９４０）とクラッド部９５（照射領域９２５）とが形成される（図１２参照）。
【０３４２】
［７Ｄ］ 次に、積層体２０００に対して第２の加熱処理を施す。
これにより、未照射領域９４０および／または照射領域９２５に残存する触媒前駆体を、直接または助触媒の活性化を伴って、活性化させる（活性状態とする）ことにより、各領域９２５、９４０に残存するモノマーを反応させる。
【０３４３】
このように、各領域９２５、９４０に残存するモノマーを反応させることにより、得られるコア部９４およびクラッド部９５の安定化を図ることができる。
【０３４４】
［８Ｄ］ 次に、積層体２０００に対して第３の加熱処理を施す。
これにより、得られるコア層９３に生じる内部応力の低減や、コア部９４およびクラッド部９５の更なる安定化を図ることができる。
以上の工程を経て、光導波路９０が得られる。
【０３４５】
［９Ｄ］ 次に、光導波路９０の上面および下面に、それぞれ導体層９０１、９０２を形成する（図１３参照）。
【０３４６】
これは、前記工程［８Ａ］と同様にして行うことができる。
以上のようにして、本発明の光導波路構造体９が完成する。
【０３４７】
かかる方法では、第１の加熱処理の後、積層体２０００内にコア部９４が目視で確認することができるようになる。
【０３４８】
また、第１のワニスおよび第３のワニスとして、第２のワニスと同様の組成、すなわち、ポリマー９１５、モノマー、助触媒および触媒前駆体を含有するものを用いるようにしてもよい。これにより、モノマーの反応が、第１の層１１１０および第３の層１１３０と、第２の層１１２０の界面、および／または、かかる界面を越えて第１の層１１１０および第３の層１１３０内で生じて、クラッド層９１、９２とコア層９３との剥離をより確実に防止することができる。
【０３４９】
また、この場合、例えば、Ｉ：第１の層１１１０および第３の層１１３０のポリマー９１５として、第２の層１１２０のポリマー９１５の屈折率より相対的に低い屈折率（ＲＩ）のものを選択したり、II：第１の層１１１０および第３の層１１３０のモノマーとして、第２の層１１２０のモノマーと同じものを用いるが、第１の層１１１０および第３の層１１３０における触媒前駆体およびモノマーの比率を、第２の層１１２０のそれより低くなるように調節するようにしたりすればよい。
【０３５０】
これにより、活性放射線９３０を照射しても、クラッド層９１、９２内に、コア層９３のコア部９４より高い屈折率を有する領域が形成されるのを防止することができる。
【０３５１】
なお、コア層形成用材料（第２のワニス）として、離脱性基を有するポリマー９１５を含有するものを用いる場合、クラッド層形成用材料（第１のワニス、第３のワニス）としては、脱離性基を有しないポリマー９１５を用いて調製したものを用いるか、離脱性基を有するポリマー９１５を用いるが、離脱剤を含有しないものを用いるようにすればよい。
【０３５２】
これにより、第１の層１１１０および第３の層１１３０において、ポリマー９１５から離脱性基が離脱（分解）することを防止することができる。
また、第４の製造方法では、第１のワニスおよび第３のワニスには、末端にエポキシ構造を含む置換基を有するノルボルネン系ポリマーと、助触媒とを含むものを用いるのが好ましい。これにより、コア部９４およびクラッド部９５を形成する際に、エポキシ構造が開裂し、コア層９３のポリマー９１５との反応（重合）を生じるようになる。その結果、クラッド層９１、９２のコア層９３に対する密着性の向上を図ることができる。
【０３５３】
このようなノルボルネン系ポリマーとしては、例えば、ヘキシルノルボルネン（ＨｘＮＢ）とノルボルネンメチルグリシジルエーテル（ＡＧＥＮＢ）との共重合体等が挙げられる。
【０３５４】
また、この場合、助触媒には、コア層９３を形成する際には、活性化しないものを選択するようにしてもよい。例えば、第２のワニスが含有する助触媒の活性化に適した活性放射線を吸収しないか、または、活性放射線に代わって熱の作用により活性化される助触媒を選択するようにすればよい。
【０３５５】
このような助触媒としては、例えば、非吸収性光塩基発生剤（ＰＢＧ）や熱塩基発生剤（ＴＢＧ）等が挙げられる。
【０３５６】
また、前記第１〜第４の製造方法では、いずれも、支持基板９５１、９５２、１０００を除去するものとして説明したが、これらを導電性材料で構成し、除去することなく、そのまま導体層９０１、９０２として用いるようにしてもよい。
【０３５７】
また、必要に応じて、クラッド層９１、９２のうちのいずれか一方または双方を省略してもよい。
【０３５８】
また、光導波路９０は、図示の構成に限定されず、例えば、２つのクラッド層の間に、複数層のコア層が積層して設けられるような構成であってもよく、クラッド層とコア層とを順に積層して構成したものであってもよく、２つのクラッド層の間に１つのコア層が設けられた積層体を、複数層積層して構成したもの等であってもよい。
【０３５９】
また、コア部９４の途中には、その光路、すなわち、コア部９４の長手方向に対しほぼ４５°傾斜する傾斜面（反射面）を形成してもよい。これにより、コア部９４を伝播する光（伝送光）を、この傾斜面において、ほぼ９０°屈曲させることができる。
【０３６０】
そして、この傾斜面の方向を適宜設定することにより、伝送光の光路を、コア層９０内（２次元方向）のみならず、光導波路９０の厚さ方向も含めた３次元方向に変更することが可能となる。
【０３６１】
この傾斜面は、コア部９４を、例えば切断、除去（欠損）等することにより形成することができる。なお、傾斜面には、例えば多層光学薄膜や金属薄膜（例えばアルミ蒸着膜）のような反射膜あるいは反射増加膜を形成するようにしてもよい。
【０３６２】
以上、本発明の導波路構造体を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を発揮し得る任意の構成と置換することができ、また、任意の構成が付加されていてもよい。
【実施例】
【０３６３】
以下、本発明の具体的実施例について説明する。
１．触媒前駆体の合成
＜＜触媒前駆体Ｃ１：Ｐｄ（ＯＡｃ）２（Ｐ（ｉ−Ｐｒ）３）２の合成＞＞
漏斗を装備した窒素充填フラスコに、Ｐ（ｉ−Ｐｒ）３（８．５１ｍＬ（４４．６ｍｍｏｌ））のＣＨ２Ｃｌ２溶液（２０ｍＬ）を、Ｐｄ（ＯＡｃ）２（５．００ｇ、２２．３ｍｍｏｌ）とＣＨ２Ｃｌ２（３０ｍＬ）からなる−７８℃の攪拌した赤茶色懸濁液に滴下した。
【０３６４】
この懸濁液は、徐々に黄緑色の溶液に透き通り、その後、室温に暖め、２時間攪拌した。その後、０．４５μｍのフィルターでろ過した。
【０３６５】
ろ液を１０ｍＬに濃縮し、そしてヘキサン（２０ｍＬ）を加えると黄色の固体が得られた。
これをろ過し（空気中）、ヘキサンで洗浄し（５×５ｍＬ）、真空乾燥させた。
【０３６６】
収率は、１０．９３７ｇ（８９％）であった。ＮＭＲデータは次のようになった。１Ｈ−ＮＭＲ（δ，ＣＤ２Ｃｌ２）:１．３７（ｄｄ，３６Ｈ，ＣＨＣＨ３），１．７７（ｓ，６Ｈ，ＣＣＨ３），２．１２（ｍ，６Ｈ，ＣＨ），３１Ｐ−ＮＭＲ（δ，ＣＤ２Ｃｌ２）：３２．９（ｓ）。
【０３６７】
＜＜触媒前駆体Ｃ２：Ｐｄ（ＯＡｃ）２（Ｐ（Ｃｙ）３）２の合成＞＞
漏斗を装備した２口丸底フラスコで、Ｐｄ（ＯＡｃ）２（５．００ｇ、２２．３ｍｍｏｌ）とＣＨ２Ｃｌ２（３０ｍＬ）からなる赤茶色懸濁液を−７８℃で攪拌した。
【０３６８】
漏斗に、Ｐ（Ｃｙ）３（１３．１２ｍＬ（４４．６ｍｍｏｌ））のＣＨ２Ｃｌ２溶液（３０ｍＬ）を入れ、そして、１５分かけて上記攪拌懸濁液に滴下した。その結果、徐々に赤褐色から黄色に変化した。
【０３６９】
−７８℃で１時間攪拌した後、懸濁液を室温に温め、さらに２時間攪拌して、ヘキサン（２０ｍＬ）で希釈した。
【０３７０】
次に、この黄色の固体を空気中でろ過し、ペンタンで洗浄し（５×１０ｍＬ）、真空乾燥させた。
２次収集物は、ろ液を０℃に冷却して分離し、上記と同様に洗浄して乾燥させた。
【０３７１】
収率は、１５．４２ｇ（８８％）であった。ＮＭＲのデータは次のようになった。１Ｈ−ＮＭＲ（δ，ＣＤ２Ｃｌ２）：１．１８−１．３２（ｂｒ ｍ，１８Ｈ，Ｃｙ），１．６９（ｂｒ ｍ，１８Ｈ，Ｃｙ），１．８０（ｂｒ ｍ，１８Ｈ，Ｃｙ），１．８４（ｓ，６Ｈ，ＣＨ３），２．００（ｂｒ ｄ，１２Ｈ，Ｃｙ），３１Ｐ−ＮＭＲ（δ，ＣＤ２Ｃｌ２）：２１．２（ｓ）。
【０３７２】
＜＜触媒前駆体Ｃ３：ｔｒａｎｓ−Ｐｄ（Ｏ２Ｃ−ｔ−Ｂｕ）２（Ｐ（Ｃｙ）３）２の合成＞＞
【０３７３】
Ｐｄ（Ｏ２Ｃ−ｔ−Ｂｕ）２（１．３０８８ｇ，４．２４０４ｍｍｏｌ）をシュレンカーフラスコ中でＣＨ２Ｃｌ２（１０ｍＬ）に分散させ、フラスコの内容物を−７８℃に冷却し攪拌させた。
【０３７４】
この溶液にＰ（Ｃｙ）３（２．６７４９ｇ，９．５３８２ｍｍｏｌ）のＣＨ２Ｃｌ２（１５ｍＬ）溶液を注射器で加え、−７８℃で１時間そして室温で２時間、攪拌した。
【０３７５】
ヘキサン（２０ｍＬ）を反応混合液に加え、表題の黄色の固体の複合体を得た（１．３９１ｇ）。
その固体をろ過し、ヘキサン（１０ｍＬ）で洗浄し、減圧下で乾燥させた。
【０３７６】
ろ液から溶媒を除去し、オレンジ色の固体を得、これを次にＣＨＣｌ３／へキサン混合液（１／１：ｖ／ｖ）に溶解し、得られた溶液をドラフト内で蒸発させて表記の複合体をさらに得た（６４８ｍｇ）。
【０３７７】
全収率は、２．０３９ｇ（２．３４５ｍｍｏｌ、５５．３％）であった。
Ｃ４６Ｈ８４Ｏ４Ｐ２Ｐｄとして計算すると、Ｃは６３．５４％でＨは９．７４％である。
【０３７８】
＜＜触媒前駆体Ｃ４：Ｐｄ（ＯＡｃ）２（Ｐ（Ｃｐ）３）２の合成＞＞
窒素充填フラスコに、Ｐｄ（ＯＡｃ）２（２．００ｇ，８．９１ｍｍｏｌ）のＣＨ２Ｃｌ２（〜２５ｍＬ）の赤褐色懸濁液を−７８℃で攪拌した。
【０３７９】
カニューレで、Ｐ（Ｃｐ）３（４．２５ｇ，１７．８３ｍｍｏｌ）をＣＨ２Ｃｌ２（〜２０ｍＬ）に溶解して、上記懸濁液に１０分かけて滴下した。その結果、徐々に赤褐色から黄色に変化した。
【０３８０】
懸濁液を室温に温め、さらに１時間攪拌した。溶媒を濃縮して（〜５ｍＬ）、ヘキサン（〜１５ｍＬ）を加えると、黄色の固体が得られた。
【０３８１】
それを空気中でろ過し、ヘキサンで洗浄し（５×１０ｍＬ）、真空乾燥させた。２次収集物は、ろ液を０℃に冷却して分離し、触媒前駆体Ｃ３と同様に、ろ過し、洗浄し、乾燥させた。
【０３８２】
収率は、４．８８ｇ（８５％）であった。ＮＭＲのデータは次のようになった。１Ｈ−ＮＭＲ（δ，ＣＤ２Ｃｌ２）：１．５２−１．５６（ｂｒ ｍ，１２Ｈ，Ｃｐ３），１．６７−１．７２（ｂｒ ｍ，１２Ｈ，Ｃｐ３），１．７４（ｓ，６Ｈ，ＣＨ３），１．８５−１．８９（ｂｒ ｍ，１２Ｈ，Ｃｐ３），１．９６−１．９９（ｂｒ ｄ，６Ｈ，Ｃｐ３），２．０３−２．０９（ｂｒ ｍ，１２Ｈ，Ｃｐ３）．３１Ｐ−ＮＭＲ（δ，ＣＤ２Ｃｌ２）：２２．４（ｓ）。
【０３８３】
２．ポリマー（ポリマーマトリックス）の合成
以下に示すようにして、各ポリマーＰ１〜Ｐ６、Ｐ８、Ｐ９およびＰ１１〜Ｐ３４を、それぞれ合成した。
【０３８４】
なお、以下では、ヘキシルノルボルネン（ＣＡＳ番号第２２０９４−８３−３番）を「ＨｘＮＢ」と、ジフェニルメチルノルボルネンメトキシシラン（ＣＡＳ番号第３７６６３４−３４−３番）を「ｄｉＰｈＮＢ」と、フェニルエチルノルボルネン（ＣＡＳ番号第２９４１５−０９−６番）を「ＰＥＮＢ」と、ブチルノルボルネン（ＣＡＳ番号第２２０９４−８１−１番）を「ＢｕＮＢ」と、デシルノルボルネン（ＣＡＳ番号第２２０９４−８５−５番）を「ＤｅＮＢ」と、ベンジルノルボルネン（ＣＡＳ番号第２６５９８９−７３−９番）を「ＢｚＮＢ」と、メチルグリシジルエーテルノルボルネン（ＣＡＳ番号第３１８８−７５−８番）を「ＡＧＥＮＢ」と、ノルボルネニルエチルトリメトキシシラン（ＣＡＳ番号第６８２４５−１９−２番）を「ＴＭＳＥＮＢ」と、トリエトキシシリルノルボルネン（ＣＡＳ番号第１８４０１−４３−９番）を「ＴＥＳＮＢ」と、トリメトキシシリルノルボルネン（ＣＡＳ番号第７５３８−４６−７番）を「ＴＭＳＮＢ」と、それぞれ略すことがある。
【０３８５】
＜＜ポリマーＰ１：ヘキシルノルボルネン（ＨｘＮＢ）／ジフェニルメチルノルボルネンメトキシシラン（ｄｉＰｈＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０３８６】
ＨｘＮＢ（８．９４ｇ，０．０５ｍｏｌ）、ｄｉＰｈＮＢ（１６．１ｇ，０．０５ｍｏｌ）、１−ヘキセン（４．２g，０．０５ｍｏｌ）およびトルエン（１４２．０ｇ）を、２５０ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで１２０℃に加熱して溶液を形成した。
【０３８７】
この溶液に、［Ｐｄ（ＰＣｙ３）２（Ｏ２ＣＣＨ３）（ＮＣＣＨ３）］テトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート（以下、「Ｐｄ１４４６」と略す。）（５．８×１０−３ｇ，４．０×１０−６ｍｏｌ）およびＮ，Ｎ−ジメルアニリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート（以下、「ＤＡＮＦＡＢＡ」と略す。）（３．２×１０−３ｇ，４．０×１０−６ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０３８８】
添加後、得られた溶液を１２０℃で６時間維持した。勢いよく攪拌された混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０３８９】
沈殿した共重合体をろ過して集め、８０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、１２．０ｇであった（収率：４８％）。
【０３９０】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法（ゲル浸透クロマトグラフィー法）で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝１６，１９６およびＭｎ＝８，４４８であった。
【０３９１】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：５４／４６＝ＨｘＮＢ／ｄｉＰｈＮＢコポリマーであった。
【０３９２】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５５６９であり、ＴＭモードで１．５５５５であった。
【０３９３】
＜＜ポリマーＰ２：ヘキシルノルボルネン（ＨｘＮＢ）／フェニルエチルノルボルネン（ＰＥＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０３９４】
ＨｘＮＢ（２．７８ｇ，０．０１５６ｍｏｌ）、ＰＥＮＢ（７．２２ｇ，０．０３６ｍｏｌ）、１−ヘキセン（２．１８ｇ，０．０２６ｍｏｌ）およびトルエン（５７．０ｇ）を、２５０ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで１２０℃に加熱して溶液を形成した。
【０３９５】
この溶液にＰｄ１４４６（３．０×１０−３ｇ，２．１×１０−６ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（６．７×１０−３ｇ，８．４×１０−６ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０３９６】
添加後、得られた溶液を１２０℃で１時間維持した。室温に冷却した後、反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０３９７】
沈殿した共重合体をろ過して集め、８０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、８．０ｇであった（収率：８０％）。
【０３９８】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝１２７，３３２およびＭｎ＝３９，２０６であった。
【０３９９】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：２２／７８＝ＨｘＮＢ／ＰＥＮＢコポリマーであった。
【０４００】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５６０１であり、ＴＭモードで１．５５８５であった。
【０４０１】
＜＜ポリマーＰ３：ヘキシルノルボルネン（ＨｘＮＢ）／ジフェニルメチルノルボルネンメトキシシラン（ｄｉＰｈＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０４０２】
ＨｘＮＢ（８．９４ｇ，０．０５０ｍｏｌ）、ｄｉＰｈＮＢ（１６．１ｇ，０．０５０ｍｏｌ）、１−ヘキセン（２．９５ｇ，０．０３５ｍｏｌ）およびトルエン（１４２ｇ）を秤量し、２５０ｍＬのシーラムボトルに入れて、オイルバスで８０℃に加熱した。
【０４０３】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（５．８×１０−３ｇ，４．０×１０−６ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（３．２×１０−３ｇ，４．０×１０−６ｍｏｌ）を添加した。ノルボルネンモノマー／Ｐｄ１４４６／ＤＡＮＦＡＢＡの比率は、２５Ｋ／１／１であった。
【０４０４】
混合物を８０℃で７時間維持し、その後、２０ｍＬのアセトニトリルを加えてＰｄ触媒の活性を消失させた。その後、反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０４０５】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６５℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、１９．８ｇであった（収率：７９％）。
【０４０６】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝８６，１８６およびＭｎ＝２１，６０２であった。
【０４０７】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：４６／５４＝ＨｘＮＢ／ｄｉＰｈＮＢコポリマーであった。
【０４０８】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定すると、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５５６９であり、ＴＭモードで１．５５５６であった。
共重合体の熱機械分析（ＴＭＡ）に基づくＴｇは、２０３℃であった。
【０４０９】
＜＜ポリマーＰ４：ヘキシルノルボルネン（ＨｘＮＢ）／ジフェニルメチルノルボルネンメトキシシラン（ｄｉＰｈＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０４１０】
ＨｘＮＢ（８．９４ｇ，０．０５０ｍｏｌ）、ｄｉＰｈＮＢ（１６．１ｇ，０．０５０ｍｏｌ）、１−ヘキセン（２０．０ｇ，０．２３９ｍｏｌ）およびトルエン（１４２ｇ）を２５０ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで８０℃に加熱して溶液を形成した。
【０４１１】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（５．８０×１０−３ｇ，４．０×１０−６ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（３．２１×１０−３ｇ，４．０１×１０−６ｍｏｌ）を添加した。
【０４１２】
添加後、得られた溶液を８０℃で６時間維持した。その後、２０ｍＬのアセトニトリルを加えてＰｄ触媒の活性を消失させた。その後、反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
沈殿した共重合体をろ過して集め、６５℃のオーブンで真空で乾燥させた。
【０４１３】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝２０，５８６およびＭｎ＝１１，６１３であった。
【０４１４】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：６０／４０＝ＨｘＮＢ／ｄｉＰｈＮＢコポリマーであった。
【０４１５】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５５４７であり、ＴＭモードで１．５５４０であった。
【０４１６】
＜＜ポリマーＰ５：ヘキシルノルボルネン（ＨｘＮＢ）／ジフェニルメチルノルボルネンメトキシシランコポリマー（ｄｉＰｈＮＢ）の合成＞＞
【０４１７】
ＨｘＮＢ（８．９４ｇ，０．０５０ｍｏｌ）、ｄｉＰｈＮＢ（１６．０６ｇ，０．０５０ｍｏｌ）、１−ヘキセン（５．０ｇ，０．０６０ｍｏｌ）およびトルエン（１４２ｇ）を５００ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで８０℃に加熱して溶液を形成した。
【０４１８】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（２．９０×１０−３ｇ，２．００×１０−６ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（３．２×１０−３ｇ，４．０１×１０−６ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で添加した。
【０４１９】
添加後、得られた溶液を８０℃で６時間維持した。勢いよく攪拌された混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０４２０】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、１９．３ｇであった（収率：７７％）。
【０４２１】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン基準）、Ｍｗ＝５８，７４９およびＭｎ＝１８，１７７であった。
【０４２２】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：５３／４７＝ＨｘＮＢ／ｄｉＰｈＮＢコポリマーであった。
【０４２３】
この共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５５７２であり、ＴＭモードで１．５５５８であった。
【０４２４】
＜＜ポリマーＰ６：ブチルノルボルネン（ＢｕＮＢ）／ジフェニルメチルノルボルネンメトキシシラン（ｄｉＰｈＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０４２５】
ＢｕＮＢ（２．６２ｇ，０．０１７ｍｏｌ）、ｄｉＰｈＮＢ（２２．３８ｇ，０．０７ｍｏｌ）、１−ヘキセン（８．８３ｇ，０．０１１ｍｏｌ）およびトルエン（１４１．４ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで８０℃に加熱して溶液を形成した。
【０４２６】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（５．０５×１０−３ｇ，３．４９×１０−６ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（１．１２×１０−２ｇ，１．４０×１０−５ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で添加した。
【０４２７】
添加後、得られた溶液を８０℃で２時間維持した。勢いよく攪拌した混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０４２８】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、７．５ｇであった（収率：３０％）。
【０４２９】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン基準）、Ｍｗ＝３２，６６５およびＭｎ＝１９，７０５であった。
【０４３０】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：２８／７２＝ＢｕＮＢ／ｄｉＰｈＮＢコポリマーであった。
【０４３１】
この共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５７８５であり、ＴＭモードで１．５７７１であった。
【０４３２】
＜＜ポリマーＰ８：ヘキシルノルボルネン（ＨｘＮＢ）ホモポリマーの合成＞＞
ＨｘＮＢ（１０．０ｇ，０．０５６ｍｏｌ）、１−ヘキセン（４．７１ｇ，０．０５６ｍｏｌ）およびトルエン（５６．７ｇ）を、２５０ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで８０℃に加熱して溶液を形成した。
【０４３３】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（４．１０×１０−４ｇ，２．８０×１０−７ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（２．２０×１０−４ｇ，２．８０×１０−７ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で添加した。
【０４３４】
添加後、得られた溶液を８０℃で４０分間維持した。勢いよく攪拌した混合物にメタノールを滴下すると重合体が沈殿した。
【０４３５】
沈殿した重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、５．８ｇであった（収率：５８％）。
【０４３６】
重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン基準）、Ｍｗ＝１２１，５４１およびＭｎ＝５９，２１３であった。
【０４３７】
この重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５１４６であり、ＴＭモードで１．５１２９であった。
重合体の熱機械分析（ＴＭＡ）に基づくＴｇは、２０８℃であった。
【０４３８】
＜＜ポリマーＰ９：ヘキシルノルボルネン（ＨｘＮＢ）／ジフェニルメチルノルボルネンメトキシシラン（ｄｉＰｈＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０４３９】
ＨｘＮＢ（９．６３ｇ，０．０５４ｍｏｌ）、ｄｉＰｈＮＢ（４０．３７ｇ，０．１２６ｍｏｌ）、１−ヘキセン（４．５４ｇ，０．０５４ｍｏｌ）およびトルエン（３３３ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで８０℃に加熱して溶液を形成した。
【０４４０】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（１．０４×１０−２ｇ，７．２０×１０−６ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（２．３０×１０−２ｇ，２．８８×１０−５ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で添加した。
【０４４１】
添加後、得られた溶液を８０℃で２時間維持した。勢いよく攪拌した混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０４４２】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、１９．０ｇであった（収率：３８％）。
【０４４３】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝１１８，０００およびＭｎ＝６０，０００であった。
【０４４４】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：３２／６８＝ＨｘＮＢ／ｄｉＰｈＮＢコポリマーであった。
【０４４５】
この共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５６９５であり、ＴＭモードで１．５６８１であった。
【０４４６】
＜＜ポリマーＰ１１：ジフェニルメチルノルボルネンメトキシシラン（ｄｉＰｈＮＢ）ホモポリマーの合成＞＞
【０４４７】
ｄｉＰｈＮＢ（３０ｇ，０．０９４ｍｏｌ）、１−ヘキセン（１．５７ｇ，０．０１９ｍｏｌ）およびトルエン（１７０．０ｇ）を、２５０ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで８０℃に加熱して溶液を形成した。
【０４４８】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（１．４×１０−２ｇ，９．４×１０−６ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（３．０×１０−２ｇ，３．７×１０−５ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０４４９】
添加後、得られた溶液を８０℃で４時間維持した。勢いよく攪拌した混合物にメタノールを滴下すると重合体が沈殿した。
【０４５０】
沈殿した重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、１５．０ｇであった（収率：５０％）。
【０４５１】
重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝９１，０００およびＭｎ＝４４，０００であった。
【０４５２】
＜＜ポリマーＰ１２：ヘキシルノルボルネン（ＨｘＮＢ）／ジフェニルメチルノルボルネンメトキシシラン（ｄｉＰｈＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０４５３】
ＨｘＮＢ（１０．７２ｇ，０．０６ｍｏｌ）、ｄｉＰｈＮＢ（１９．２８ｇ，０．０６ｍｏｌ）、１−ヘキセン（３．５ｇ，０．０４ｍｏｌ）およびトルエン（１７０．０ｇ）を、２５０ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで８０℃に加熱して溶液を形成した。
【０４５４】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（７．０×１０−３ｇ，４．８×１０−６ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（３．９×１０−３ｇ，４．８×１０−６ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０４５５】
添加後、得られた溶液を８０℃で３．５時間維持した。勢いよく攪拌した混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０４５６】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、１８．６ｇであった（収率：６２％）。
【０４５７】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝１０２，０００およびＭｎ＝３８，０００であった。
【０４５８】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：５４／４６＝ＨｘＮＢ／ｄｉＰｈＮＢコポリマーであった。
【０４５９】
＜＜ポリマーＰ１３：ブチルノルボルネン（ＢｕＮＢ）／ジフェニルメチルノルボルネンメトキシシラン（ｄｉＰｈＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０４６０】
ＢｕＮＢ（２．６２ｇ，０．０３８ｍｏｌ）、ｄｉＰｈＮＢ（２２．３８ｇ，０．０５７ｍｏｌ）、１−ヘキセン（８．８３ｇ，０．０１１ｍｏｌ）およびトルエン（１４１．４ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで８０℃に加熱して溶液を形成した。
【０４６１】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（５．０５×１０−３ｇ，３．４９×１０−６ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（１．１２×１０−２ｇ，１．４０×１０−５ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０４６２】
添加後、得られた溶液を８０℃で２時間維持した。勢いよく攪拌した混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０４６３】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空乾燥させた。乾燥後の重量は、７．５ｇであった（収率：３０％）。
【０４６４】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝３２，６６５およびＭｎ＝１９，７０５であった。
【０４６５】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：２８／７２＝ＢｕＮＢ／ｄｉＰｈＮＢコポリマーであった。
【０４６６】
この共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５７８５であり、ＴＭモードで１．５７７１であった。
【０４６７】
＜＜ポリマー１４：ヘキシルノルボルネン（ＨｘＮＢ）／ジフェニルメチルノルボルネンメトキシシラン（ｄｉＰｈＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０４６８】
ＨｘＮＢ（９．６３ｇ，０．０５４ｍｏｌ）、ｄｉＰｈＮＢ（１．９２ｇ，０．００６ｍｏｌ）、１−ヘキセン（５．０４ｇ，０．０６０ｍｏｌ）およびトルエン（５６．７ｇ）を、２５０ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで８０℃に加熱して溶液を形成した。
【０４６９】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（４．３０×１０−４g，３．００×１０−７ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（２．４０×１０−４ｇ，３．００×１０−７ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０４７０】
添加後、得られた溶液を８０℃で２時間維持した。勢いよく攪拌した混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０４７１】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空乾燥させた。乾燥後の重量は、７．７ｇであった（収率：６７％）。
【０４７２】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝８２，０００およびＭｎ＝４０，０００であった。
【０４７３】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：８９／１１＝ＨｘＮＢ／ｄｉＰｈＮＢコポリマーであった。
【０４７４】
この共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５２３８であり、ＴＭモードで１．５２２５であった。
【０４７５】
＜＜ポリマーＰ１５：ジフェニルメチルノルボルネンメトキシシラン（ｄｉＰｈＮＢ）ホモポリマーの合成＞＞
【０４７６】
ｄｉＰｈＮＢ（３０ｇ，０．０９４ｍｏｌ）、１−ヘキセン（２．３６ｇ，０．０２８ｍｏｌ）およびトルエン（１７０．０ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで８０℃に加熱して溶液を形成した。
【０４７７】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（０．０１３５ｇ，９．３６×１０−６ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（０．０３０ｇ，３，７４×１０−５ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０４７８】
添加後、得られた溶液を８０℃で４時間維持した。勢いよく攪拌した混合物にメタノールを滴下すると重合体が沈殿した。
【０４７９】
沈殿した重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、２５．１８ｇであった（収率：２１％）。
【０４８０】
重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝５４，０００およびＭｎ＝２９，０００であった。
重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、ｄｉＰｈＮＢホモポリマーであった。
【０４８１】
この重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５９２６であり、ＴＭモードで１．５９１０であった。
【０４８２】
＜＜ポリマーＰ１６：ブチルノルボルネン（ＢｕＮＢ）／フェニルエチルノルボルネン（ＰＥＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０４８３】
ＢｕＮＢ（４．７８ｇ，０．０３２ｍｏｌ）、ＰＥＮＢ（２５．２２ｇ，０．１２７ｍｏｌ）、１−ヘキセン（１３．３６ｇ，０．１６ｍｏｌ）およびトルエン（１７０．０ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで８０℃に加熱して溶液を形成した。
【０４８４】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（０．００９２ｇ，６．３６×１０−６ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（０．０２０ｇ，２．５４×１０−５ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０４８５】
添加後、得られた溶液を８０℃で５０分維持した。勢いよく攪拌された混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０４８６】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、２３．６０ｇであった（収率：７９％）。
【０４８７】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝７３，０００およびＭｎ＝２８，０００であった。
【０４８８】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：１５／８５＝ＢｕＮＢ／ＰＥＮＢコポリマーであった。
【０４８９】
この共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５６８４であり、ＴＭモードで１．５６５７であった。
【０４９０】
＜＜ポリマーＰ１７：ヘキシルノルボルネン（ＨｘＮＢ）／フェニルエチルノルボルネン（ＰＥＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０４９１】
ＨｘＮＢ（６．００ｇ，０．０３４ｍｏｌ）、ＰＥＮＢ（２６．６９ｇ，０．１３５ｍｏｌ）、１−ヘキセン（１１．３１ｇ，０．１３５ｍｏｌ）およびトルエン（１８５．３５ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで８０℃に加熱して溶液を形成した。
【０４９２】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（０．００９７ｇ，６．７３×１０−６ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（０．０２２ｇ，２．６９×１０−５ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０４９３】
添加後、得られた溶液を８０℃で５０分維持した。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０４９４】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、２２．２１ｇであった（収率：６８％）。
【０４９５】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝９５，０００およびＭｎ＝２６，０００であった。
【０４９６】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：１７／８３＝ＨｘＮＢ／ＰＥＮＢコポリマーであった。
【０４９７】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５４７７であり、ＴＭモードで１．５４５４であった。
【０４９８】
＜＜ポリマーＰ１８：デシルノルボルネン（ＤｅＮＢ）／フェニルエチルノルボルネン（ＰＥＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０４９９】
ＤｅＮＢ（６．８４ｇ，０．０２９ｍｏｌ）、ＰＥＮＢ（２３．１６ｇ，０．１１７ｍｏｌ）、１−ヘキセン（１２．２６ｇ，０．１４６ｍｏｌ）およびトルエン（１７０．０ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで８０℃に加熱して溶液を形成した。
【０５００】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（０．００８４ｇ，５．８４×１０−６ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（０．０１９ｇ，２．３３×１０−５ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０５０１】
添加後、得られた溶液を８０℃で５０分維持した。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０５０２】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、１９．７４ｇであった（収率：６６％）。
【０５０３】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝７８，０００およびＭｎ＝３６，０００であった。
【０５０４】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：１９／８１＝ＤｅＮＢ／ＰＥＮＢコポリマーであった。
【０５０５】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５６４０であり、ＴＭモードで１．５６２２であった。
【０５０６】
＜＜ポリマーＰ１９：ベンジルノルボルネン（ＢｚＮＢ）ホモポリマーの合成＞＞
ＢｚＮＢ（３０．００ｇ，０．１６３ｍｏｌ）、トリエチルシラン（０．２２７ｇ，１．９５×１０−３ｍｏｌ）、エタノール（０．３６０ｇ，７．８１×１０−３ｍｏｌ）およびトルエン（１７０．０ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで８０℃に加熱して溶液を形成した。
【０５０７】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（０．０１８８ｇ，１．３０×１０−５ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（０．０４２ｇ，５．２１×１０−５ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０５０８】
添加後、得られた溶液を８０℃で１．５時間維持した。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると重合体が沈殿した。
【０５０９】
沈殿した重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、１５．０７ｇであった（収率：５０％）。
【０５１０】
重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝４６，０００およびＭｎ＝２８，０００であった。
重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、ＢｚＮＢホモポリマーであった。
【０５１１】
重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５７７８であり、ＴＭモードで１．５７５７であった。
【０５１２】
＜＜ポリマーＰ２０：ヘキシルノルボルネン（ＨｘＮＢ）／ベンジルノルボルネン（ＢｚＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０５１３】
ＨｘＮＢ（８．７９ｇ，０．０４９ｍｏｌ）、ＢｚＮＢ（２１．２１ｇ，０．１１５ｍｏｌ）、トリエチルシラン（０．２３ｇ，１．９７×１０−３ｍｏｌ）、エタノール（０．３６ｇ，７．８９×１０−３ｍｏｌ）およびトルエン（１７０．０ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで８０℃に加熱して溶液を形成した。
【０５１４】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（０．０１９ｇ，１．３２×１０−５ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（０．０４２ｇ，５．２６×１０−５ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０５１５】
添加後、得られた溶液を８０℃で１．５時間維持した。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０５１６】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、１８．５９ｇであった（収率：６２％）。
【０５１７】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝５２，０００およびＭｎ＝３０，０００であった。
【０５１８】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：３５／６５＝ＨｘＮＢ／ＢｚＮＢコポリマーであった。
【０５１９】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５５９７であり、ＴＭモードで１．５５７９であった。
【０５２０】
＜＜ポリマーＰ２１：デシルノルボルネン（ＤｅＮＢ）／ベンジルノルボルネン（ＢｚＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０５２１】
ＤｅＮＢ（６．８４ｇ，０．０２９ｍｏｌ）、ＢｚＮＢ（２１．５６ｇ，０．１１７ｍｏｌ）、１−ヘキセン（１２．２６ｇ，０．１４６ｍｏｌ）およびトルエン（１７０．０ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトルで混合し、オイルバスで８０℃に加熱して溶液を形成した。
【０５２２】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（０．００８４ｇ，５．８４×１０−６ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（０．０１９ｇ，２．３３×１０−５ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０５２３】
添加後、得られた溶液を８０℃で１．５時間維持した。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０５２４】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、２０．７３ｇであった（収率：７３％）。
【０５２５】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝６４，０００およびＭｎ＝３１，０００であった。
【０５２６】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：２７／７３＝ＤｅＮＢ／ＢｚＮＢコポリマーであった。
【０５２７】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５６８０であり、ＴＭモードで１．５６６２であった。
【０５２８】
＜＜ポリマーＰ２２：ブチルノルボルネン（ＢｕＮＢ）／メチルグリシジルエーテルノルボルネン（ＡＧＥＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０５２９】
ＢｕＮＢ（１０．５２ｇ，０．０７ｍｏｌ）、ＡＧＥＮＢ（５．４１ｇ，０．０３ｍｏｌ）およびトルエン（５８．０ｇ）を、シーラムボトルで混合し、オイルバスで８０℃に加熱して溶液を形成した。
【０５３０】
この溶液に、（η６−トルエン）Ｎｉ（Ｃ６Ｆ５）２（０．６９ｇ，０．００１４ｍｏｌ）のトルエン溶液（５ｇ）を加えた。
【０５３１】
添加後、得られた溶液を室温で４時間維持した。トルエン溶液（８７．０ｇ）を反応溶液に加えた。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０５３２】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、１２．７４ｇであった（収率：８０％）。
【０５３３】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝７５，０００およびＭｎ＝３０，０００であった。
【０５３４】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：７８／２２＝ＢｕＮＢ／ＡＧＥＮＢコポリマーであった。
【０５３５】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５１６２であり、ＴＭモードで１．５１５７であった。
【０５３６】
＜＜ポリマーＰ２３：ヘキシルノルボルネン（ＨｘＮＢ）／メチルグリシジルエーテルノルボルネン（ＡＧＥＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０５３７】
ＨｘＮＢ（１２．４８ｇ，０．０７ｍｏｌ）、ＡＧＥＮＢ（５．４１ｇ，０．０３ｍｏｌ）、トルエン（５８．０ｇ）を、ドライボックス内のシーラムボトルに加えた。この溶液を８０℃のオイルバス中で攪拌した。
【０５３８】
この溶液に、（η６−トルエン）Ｎｉ（Ｃ６Ｆ５）２（０．６９ｇ，０．００１４ｍｏｌ）のトルエン溶液（５ｇ）を加えた。
【０５３９】
添加後、得られた混合物を室温で４時間維持した。トルエン溶液（８７．０ｇ）を反応溶液に加えた。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０５４０】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、１３．７８ｇであった（収率：７７％）。
【０５４１】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝７８，０００およびＭｎ＝３３，０００であった。
【０５４２】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：７９／２１＝ＨｘＮＢ／ＡＧＥＮＢコポリマーであった。
【０５４３】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５１５９であり、ＴＭモードで１．５１５３であった。
【０５４４】
＜＜ポリマーＰ２４：デシルノルボルネン（ＤｅＮＢ）／メチルグリシジルエーテルノルボルネン（ＡＧＥＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０５４５】
ＤｅＮＢ（１６．４ｇ，０．０７ｍｏｌ）、ＡＧＥＮＢ（５．４１ｇ，０．０３ｍｏｌ）およびトルエン（５８．０ｇ）を、ドライボックス内のシーラムボトルに加えた。この溶液を８０℃のオイルバス中で攪拌した。
【０５４６】
この溶液に、（η６−トルエン）Ｎｉ（Ｃ６Ｆ５）２（０．６９ｇ，０．００１４ｍｏｌ）のトルエン溶液（５ｇ）を加えた。
【０５４７】
添加後、得られた混合物を室温で４時間維持した。トルエン溶液（８７．０ｇ）を反応溶液に加えた。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０５４８】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、１７．００ｇであった（収率：８７％）。
【０５４９】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝７５，０００およびＭｎ＝３０，０００であった。
【０５５０】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：７７／２３＝ＤｅＮＢ／ＡＧＥＮＢコポリマーであった。
【０５５１】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５１５３であり、ＴＭモードで１．５１５１であった。
【０５５２】
＜＜ポリマーＰ２５：ブチルノルボルネン（ＢｕＮＢ）／ノルボルネニルエチルトリメトキシシラン（ＴＭＳＥＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０５５３】
ＢｕＮＢ（２５．４４ｇ，０．１６９ｍｏｌ）、ＴＭＳＥＮＢ（４．５６ｇ，０．０１９ｍｏｌ）、トリエチルシラン（０．１１ｇ，９．４１×１０−４ｍｏｌ）、エタノール（０．１０ｇ，２．２６×１０−３ｍｏｌ）およびトルエン（１７０．０ｇ）を、３００ｍＬのシーラムボトル内で混合し、オイルバスで８０℃で加熱して溶液を形成した。
【０５５４】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（０．０２２ｇ，１．５０×１０−５ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（０．０３６ｇ，４．５１×１０−５ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０５５５】
添加後、得られた混合物を８０℃で４時間維持した。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０５５６】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、２２．６０ｇであった（収率：６９％）。
【０５５７】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝２０，０００およびＭｎ＝１３，０００であった。
【０５５８】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：９１／９＝ＢｕＮＢ／ＴＭＳＥＮＢコポリマーであった。
【０５５９】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５１０６であり、ＴＭモードで１．５１０５であった。
【０５６０】
＜＜ポリマーＰ２６：ヘキシルノルボルネン（ＨｘＮＢ）／ノルボルネニルエチルトリメトキシシラン（ＴＭＳＥＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０５６１】
ＨｘＮＢ（１３．０３ｇ，０．０７３ｍｏｌ）、ＴＭＳＥＮＢ（１．９７ｇ，０．００８１ｍｏｌ）、トリエチルシラン（０．０１９ｇ，１．６２×１０−４ｍｏｌ）、エタノール（０．０３０ｇ，６．５０×１０−４ｍｏｌ）およびトルエン（８５．０ｇ）を、３００ｍＬのシーラムボトル内で混合し、オイルバスで８０℃で加熱して溶液を形成した。
【０５６２】
この溶液に、［Ｐｄ（Ｐ（ｉＰｒ）３）２（ＯＣＯＣＨ３）（ＮＣＣＨ３）］テトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート（以下、「Ｐｄ１２０６」と略す。）（０．００７８ｇ，６．５０×１０−６ｍｏｌ）を、濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０５６３】
添加後、得られた混合物を８０℃で４時間維持した。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０５６４】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、３．３０ｇであった（収率：２２％）。
【０５６５】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝５３，０００およびＭｎ＝３３，０００であった。
【０５６６】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：９３／７＝ＨｘＮＢ／ＴＭＳＥＮＢコポリマーであった。
【０５６７】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５１２６であり、ＴＭモードで１．５１１４であった。
【０５６８】
＜＜ポリマーＰ２７：デシルノルボルネン（ＤｅＮＢ）／ノルボルネニルエチルトリメトキシシラン（ＴＭＳＥＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０５６９】
ＤｅＮＢ（２２．３１ｇ，０．０９５ｍｏｌ）、ＴＭＳＥＮＢ（７．６９ｇ，０．０３２ｍｏｌ）、トリエチルシラン（０．４４ｇ，３．８１×１０−４ｍｏｌ）、エタノール（０．７０ｇ，１．５２×１０−３ｍｏｌ）およびトルエン（１７０．０ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトル内で混合し、オイルバスで８０℃で加熱して溶液を形成した。
【０５７０】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（０．０１５ｇ，１．０２×１０−５ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（０．０２４ｇ，３．０５×１０−５ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０５７１】
添加後、得られた混合物を８０℃で４時間維持した。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０５７２】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、１２．２gであった（収率：４０．７％）。
【０５７３】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝３４，０００およびＭｎ＝２４，０００であった。
【０５７４】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：７７／２３＝ＤｅＮＢ／ＴＭＳＥＮＢコポリマーであった。
【０５７５】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３nmで、ＴＥモードで１．５０６３であり、ＴＭモードで１．５０６２であった。
【０５７６】
＜＜ポリマーＰ２８：ブチルノルボルネン（ＢｕＮＢ）／トリエトキシシリルノルボルネン（ＴＥＳＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０５７７】
ＢｕＮＢ（２５．２２ｇ，０．１６８ｍｏｌ）、ＴＥＳＮＢ（４．７８ｇ，０．０１９ｍｏｌ）、トリエチルシラン（０．０１１ｇ，９．３２×１０−５ｍｏｌ）、エタノール（０．１０ｇ，２．２４×１０−３ｍｏｌ）およびトルエン（１７０．０ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトル内で混合し、オイルバスで８０℃で加熱して溶液を形成した。
【０５７８】
この溶液に、Ｐｄ１２０６（０．０１８ｇ，１．４９×１０−５ｍｏｌ）を、濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０５７９】
添加後、得られた混合物を８０℃で９時間維持した。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０５８０】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、２０．５８ｇであった（収率：６９％）。
【０５８１】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝２３８，０００およびＭｎ＝９６，０００であった。
【０５８２】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：８５／１５＝ＢｕＮＢ／ＴＥＳＮＢコポリマーであった。
【０５８３】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５０６１であり、ＴＭモードで１．５０４１であった。
共重合体の熱機械分析（ＴＭＡ）に基づくＴｇは、２７６℃であった。
【０５８４】
＜＜ポリマーＰ２９：ヘキシルノルボルネン（ＨｘＮＢ）／トリエトキシシリルノルボルネン（ＴＥＳＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０５８５】
ＨｘＮＢ（２０．３３ｇ，０．１１４ｍｏｌ）、ＴＥＳＮＢ（３．２６ｇ，０．０１３ｍｏｌ）、トリエチルシラン（０．０３０ｇ，２．５４×１０−３ｍｏｌ）、エタノール（０．０７ｇ，１．５２×１０−３ｍｏｌ）およびトルエン（１７０．０ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトル内で混合し、オイルバスで８０℃で加熱して溶液を形成した。
【０５８６】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（０．０１５ｇ，１．０１×１０−５ｍｏｌ）を、濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０５８７】
添加後、得られた混合物を８０℃で９時間維持した。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０５８８】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、７．３１ｇであった（収率：３１％）。
【０５８９】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝２３４，０００およびＭｎ＝１１０，０００であった。
【０５９０】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：８３／１７＝ＨｘＮＢ／ＴＥＳＮＢコポリマーであった。
【０５９１】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５０５３であり、ＴＭモードで１．５０４２であった。
【０５９２】
＜＜ポリマーＰ３０：デシルノルボルネン（ＤｅＮＢ）／トリエトキシシリルノルボルネン（ＴＥＳＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０５９３】
ＤｅＮＢ（２６．７７ｇ，０．１１４ｍｏｌ）、ＴＥＳＮＢ（３．２６ｇ，０．０１３ｍｏｌ）、トリエチルシラン（０．０３０ｇ，２．５４×１０−３ｍｏｌ）、エタノール（０．０７ｇ，１．５２×１０−３ｍｏｌ）およびトルエン（１７０．０ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトル内で混合し、オイルバスで８０℃で加熱して溶液を形成した。
【０５９４】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（０．０１５ｇ，１．０１×１０−５ｍｏｌ）を、濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０５９５】
添加後、得られた混合物を８０℃で９時間維持した。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０５９６】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、１８．０１ｇであった（収率：６０％）。
【０５９７】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝２８３，０００およびＭｎ＝１１８，０００であった。
【０５９８】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：８４／１６＝ＤｅＮＢ／ＴＥＳＮＢコポリマーであった。
【０５９９】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５０３４であり、ＴＭモードで１．５０１８であった。
【０６００】
＜＜ポリマーＰ３１：ブチルノルボルネン（ＢｕＮＢ）／トリメトキシシリルノルボルネン（ＴＭＳＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０６０１】
ＢｕＮＢ（１０．９７ｇ，０．０７３ｍｏｌ）、ＴＭＳＮＢ（１２．９５ｇ，０．０７３ｍｏｌ）、トリエチルシラン（０．３４ｇ，２．９１×１０−４ｍｏｌ）、エタノール（０．８０ｇ，１．７５×１０−３ｍｏｌ）およびトルエン（１７０．０ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトル内で混合し、オイルバスで８０℃で加熱して溶液を形成した。
【０６０２】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（０．０１７ｇ，１．１６×１０−５ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（０．０２８ｇ，３．４９×１０−５ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０６０３】
添加後、得られた混合物を８０℃で４時間維持した。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０６０４】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、１５．５ｇであった（収率：６５％）。
【０６０５】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝４８，０００およびＭｎ＝２７，０００であった。
【０６０６】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：４７／５３＝ＢｕＮＢすらＴＭＳＮＢコポリマーであった。
【０６０７】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５０９３であり、ＴＭモードで１．５０８９であった。
【０６０８】
＜＜ポリマーＰ３２：ヘキシルノルボルネン（ＨｘＮＢ）／トリメトキシシリルノルボルネン（ＴＭＳＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０６０９】
ＨｘＮＢ（１３．０２ｇ，０．０７３ｍｏｌ）、ＴＭＳＮＢ（１２．９５ｇ，０．０７３ｍｏｌ）、トリエチルシラン（０．３４ｇ，２．９１×１０−４ｍｏｌ）、エタノール（０．８０ｇ，１．７５×１０−３ｍｏｌ）およびトルエン（１７０．０ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトル内で混合し、オイルバスで８０℃で加熱して溶液を形成した。
【０６１０】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（０．０１７ｇ，１．１６×１０−５ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（０．０２８ｇ，３．４９×１０−５ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０６１１】
添加後、得られた混合物を８０℃で４時間維持した。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０６１２】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、１７．７ｇであった（収率：６８％）。
【０６１３】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝５５，０００およびＭｎ＝２７，０００であった。
【０６１４】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：４６／５４＝ＨｘＮＢ／ＴＭＳＮＢコポリマーであった。
【０６１５】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５０８１であり、ＴＭモードで１．５０７８であった。
【０６１６】
＜＜ポリマーＰ３３：デシルノルボルネン（ＤｅＮＢ）／トリメトキシシリルノルボルネン（ＴＭＳＮＢ）コポリマーの合成＞＞
【０６１７】
ＤｅＮＢ（１７．０５ｇ，０．０７３ｍｏｌ）、ＴＭＳＮＢ（１２．９５ｇ，０．０７３ｍｏｌ）、トリエチルシラン（０．３４ｇ，２．９１×１０−４ｍｏｌ）、エタノール（０．８０ｇ，１．７５×１０−３ｍｏｌ）およびトルエン（１７０．０ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトル内で混合し、オイルバスで８０℃で加熱して溶液を形成した。
【０６１８】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（０．０１７ｇ，１．１６×１０−５ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（０．０２８ｇ，３．４９×１０−５ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０６１９】
添加後、得られた混合物を８０℃で４時間維持した。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０６２０】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、２１．０ｇであった（収率：７０％）。
【０６２１】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝８２，０００およびＭｎ＝３１，０００であった。
【０６２２】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：４６／５４＝ＤｅＮＢ／ＴＭＳＮＢコポリマーであった。
【０６２３】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５０２９であり、ＴＭモードで１．５０１６であった。
【０６２４】
＜＜ポリマーＰ３４：ヘキシルノルボルネン（ＨｘＮＢ）／ジフェニルメチルノルボルネンメトキシシラン（ｄｉＰｈＮＢ）／ノルボルネニルエチルトリメトキシシラン（ＴＭＳＥＮＢ）ターポリマーの合成＞＞
【０６２５】
ＨｘＮＢ（５．９４ｇ，０．０３３ｍｏｌ）、ｄｉＰｈＮＢ（２１．３６ｇ，０．０６７ｍｏｌ）、ＴＭＳＥＮＢ（２．６９ｇ，０．０１１ｍｏｌ）、１−ヘキセン（３．７３ｇ，０．０４４ｍｏｌ）およびトルエン（１７０．０ｇ）を、５００ｍＬのシーラムボトル内で混合し、オイルバスで８０℃で加熱して溶液を形成した。
【０６２６】
この溶液に、Ｐｄ１４４６（０．００６４ｇ，４．４４×１０−６ｍｏｌ）およびＤＡＮＦＡＢＡ（０．００３６ｇ，４．４４×１０−６ｍｏｌ）を、それぞれ濃縮ジクロロメタン溶液の形態で加えた。
【０６２７】
添加後、得られた混合物を８０℃で３．５時間維持した。勢いよく攪拌した反応混合物にメタノールを滴下すると共重合体が沈殿した。
【０６２８】
沈殿した共重合体をろ過して集め、６０℃のオーブンで真空で乾燥させた。乾燥後の重量は、１０．２６ｇであった（収率：３４％）。
【０６２９】
共重合体の分子量を、ＴＨＦを溶媒としてＧＰＣ法で測定すると（ポリスチレン換算）、Ｍｗ＝１０５，０００およびＭｎ＝５４，０００であった。
【０６３０】
共重合体の組成を、１Ｈ−ＮＭＲで測定すると、１Ｈ−ＮＭＲ：３８／５４／８＝ＨｘＮＢ／ｄｉＰｈＮＢ／ＴＭＳＥＮＢコポリマーであった。
【０６３１】
共重合体の屈折率を、プリズムカップリング法で測定したところ、波長６３３ｎｍで、ＴＥモードで１．５５８６であり、ＴＭモードで１．５５７２であった。
以上合成した各ポリマーを、下記表１に要約する。
【０６３２】
【表１】
【０６３３】
３．ワニスの調製
以下に示すようにして、各ワニスＶ１〜Ｖ１３、Ｖ３８〜Ｖ４８およびＶ６３〜Ｖ６６を、それぞれ調製した。なお、各ワニスの調製は、いずれも、感光性材料を含むため、イエローライトの下で行った。
【０６３４】
なお、以下では、ジメチルビス（ノルボルネンメトキシ）シラン（ＣＡＳ番号第３７６６０９−８７−９番）を「ＳｉＸ」と略すことがある。
【０６３５】
＜＜ワニスＶ１の調製＞＞
ＨｘＮＢ（４２．０３ｇ，０．２４ｍｏｌ）およびＳｉＸ（７．９７ｇ，０．０２６ｍｏｌ）を秤量し、ガラス瓶にいれた。
【０６３６】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、Ｃｉｂａ ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＣｉｂａ ＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６３７】
上記のポリマーＰ１を１０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（３０．０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（３．０ｇ）、上記の触媒前駆体Ｃ２（以下、「Ｐｄ７８５」と略す。）（４．９４×１０−４ｇ，６．２９×１０−７ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、光酸発生剤（助触媒）として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ＰＨＯＴＯＩＮＩＴＩＡＴＯＲ ２０７４（２．５５×１０−３ｇ，２．５１×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）を加えて、ワニスＶ１を調製した。
このワニスＶ１を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６３８】
なお、以下では、Ｃｉｂａ ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６を「ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６」と、Ｃｉｂａ ＩＲＧＡＦＯＳ １６８を「ＩＲＧＡＦＯＳ １６８」と、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ＰＨＯＴＯＩＮＩＴＩＡＴＯＲ ２０７４を「ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４」と略す。
【０６３９】
＜＜ワニスＶ２の調製＞＞
ＳｉＸ（５ｇ，０．０１６４ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０６４０】
このＳｉＸに、酸化防止剤として、Ｉｒｇａｎｏｘ １０７６（０．０５ｇ）およびＩｒｇａｆｏｓ １６８（０．０１３ｇ）を加え、ＳｉＸ溶液（モノマー酸化防止剤溶液）を得た。
【０６４１】
ＳｉＸ溶液（３ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（３．１０×１０−４ｇ，３．９４×１０−７ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（１．６０×１０−３ｇ，１．５８×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）および上記のポリマーＰ２を１０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（３０ｇ）を混合して、ワニスＶ２を調製した。
【０６４２】
ポリマーＰ２（コポリマー）／ＳｉＸ（モノマー）の重量比は、１／１であり、ＳｉＸ（モノマー）／Ｐｄ７８５（Ｐｄ触媒）／ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（光酸発生剤：ＰＡＧ）のモル比は、２５Ｋ／１／４であった。
このワニスＶ２を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６４３】
＜＜ワニスＶ３の調製＞＞
ＨｘＮＢ（４２．０３ｇ，０．２４ｍｏｌ）およびＳｉＸ（７．９７ｇ，０．０２６ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０６４４】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６４５】
また、ポリマー溶液として、上記のポリマーＰ３を１０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（１０ｇ）と、上記のポリマーＰ４を１０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（２０ｇ）とを混合した混合液を調製した。
【０６４６】
そして、このポリマー溶液（３０．０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（３．０ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（４．９３×１０−４ｇ，６．２８×１０−７ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（２．５５×１０−３ｇ，２．５１×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）を加えて、ワニスＶ３を調製した。
このワニスＶ３を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６４７】
＜＜ワニスＶ４の調製＞＞
ポリマー溶液として、上記のポリマーＰ３を１０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（１５ｇ）と、上記のポリマーＰ４を１０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（１５ｇ）とを混合した混合液を用いた以外は、前記ワニスＶ３と同様にしてワニスＶ４を調製した。
このワニスＶ４を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６４８】
＜＜ワニスＶ５の調製＞＞
ポリマー溶液として、上記のポリマーＰ３を１０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（２０ｇ）と、上記のポリマーＰ４を１０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（１０ｇ）とを混合した混合液を用いた以外は、前記ワニスＶ３と同様にしてワニスＶ５を調製した。
このワニスＶ５を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６４９】
＜＜ワニスＶ６の調製＞＞
ポリマー溶液として、上記のポリマーＰ３を１０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（３０ｇ）を用いた以外は、前記ワニスＶ３と同様にしてワニスＶ６を調製した。
このワニスＶ６を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６５０】
＜＜ワニスＶ７の調製＞＞
ＨｘＮＢ（４０．３３ｇ，０．２３ｍｏｌ）およびＴＭＳＥＮＢ（９．６７ｇ，０．０３９ｍｏｌ）を秤量し、ガラス瓶にいれた。
【０６５１】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６５２】
また、ポリマー溶液として、上記のポリマーＰ３を１０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（１５ｇ）と、上記のポリマーＰ４を１０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（１５ｇ）とを混合した混合液を調製した。
【０６５３】
そして、このポリマー溶液（３０．０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（３．０ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（５．０２×１０−４ｇ，６．３９×１０−７ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（２．５９×１０−３ｇ，２．５５×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）を加えて、ワニスＶ７を調製した。
このワニスＶ７を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６５４】
＜＜ワニスＶ８の調製＞＞
ＨｘＮＢ（４２．０３ｇ，０．２４ｍｏｌ）およびＳｉＸ（７．９７ｇ，０．０２６ｍｏｌ）を秤量し、ガラス瓶にいれた。
【０６５５】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６５６】
上記のポリマーＰ５を１０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（１８．３ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（３．０６ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（３．８５×１０−４ｇ，４．９１×１０−７ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（１．９９×１０−３ｇ，１．９６×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）およびメシチレン（１．３０ｇ）を加えてワニスＶ８を調製した。
このワニスＶ８を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６５７】
＜＜ワニスＶ９の調製＞＞
ＨｘＮＢ（４２．０３ｇ，０．２４ｍｏｌ）およびＳｉＸ（７．９７ｇ，０．０２６ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０６５８】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６５９】
上記のポリマーＰ６を１０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（９．１５ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（１．５３ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（２．５２×１０−４ｇ，３．２１×１０−７ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（１．３０×１０−３ｇ，１．２８×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）およびメシチレン（０．６４５ｇ）を加えてワニスＶ９を調製した。
このワニスＶ９を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６６０】
＜＜ワニスＶ１０の調製＞＞
ＨｘＮＢ（４２．０３ｇ，０．２４ｍｏｌ）およびＳｉＸ（７．９７ｇ，０．０２６ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０６６１】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６６２】
上記のポリマーＰ３を１０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（２０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（２．４ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（３．９５×１０−４ｇ，５．０３×１０−７ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（２．５５×１０−３ｇ，２．５１×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）およびトルエン（２．５ｇ）を加えてワニスＶ１０を得た。
このワニスＶ１０を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６６３】
＜＜ワニスＶ１１の調製＞＞
ＨｘＮＢ（４２．０３ｇ，０．２４ｍｏｌ）およびＳｉＸ（７．９７ｇ，０．０２６ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０６６４】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６６５】
上記のポリマーＰ８を１０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（２０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（２．４ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（３．９５×１０−４ｇ，５．０３×１０−７ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（２．５５×１０−３ｇ，２．５１×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）およびトルエン（６．１２ｇ）を加えてワニスＶ１１を調製した。
このワニスＶ１１を５μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６６６】
＜＜ワニスＶ１２の調製＞＞
ＨｘＮＢ（４２．０３ｇ，０．２４ｍｏｌ）およびＳｉＸ（７．９７ｇ，０．０２６ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０６６７】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６６８】
上記のポリマーＰ９を１０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（３０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（１．０ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（１．６５×１０−４ｇ，２．１０×１０−７ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（８．５１×１０−４ｇ，８．３８×１０−７ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）およびトルエン（５．０ｇ）を加えてワニスＶ１２を調製した。
このワニスＶ１２を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６６９】
＜＜ワニスＶ１３の調製＞＞
ＨｘＮＢ（４２．０３ｇ，０．２４ｍｏｌ）およびＳｉＸ（７．９７ｇ，０．０２６ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０６７０】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６７１】
上記のポリマーＰ１４を３０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（３０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（２．０ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（３．２９×１０−４ｇ，４．１９×１０−７ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、光酸発生剤として、ＴＡＧ−３７２Ｒ（７．６３×１０−４ｇ，８．３８×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）およびトルエン（１０．０ｇ）を加えてワニスＶ１３を調製した。
このワニスＶ１３を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６７２】
なお、このワニスＶ１３をＳｉＯ２コーティング板に注ぎ、乾燥フィルムを形成した。この乾燥フィルムは、ポリマーの熱機械分析（ＴＭＡ）に基づくＴｇが２５１℃であった。
【０６７３】
＜＜ワニスＶ３８の調製＞＞
ＨｘＮＢ（１６．６４ｇ，０．０９３ｍｏｌ）およびＳｉＸ（３３．３６ｇ，０．１１０ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０６７４】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６７５】
上記のポリマーＰ３を１０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（３０．０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（２．１６ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（１．４７×１０−３ｇ，１．８８×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、および、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（７．６７×１０−３ｇ，７．５４×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）を加えてワニスＶ３８を調製した。
このワニスＶ３８を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６７６】
＜＜ワニスＶ３９の調製＞＞
ＨｘＮＢ（１６．６４ｇ，０．０９３ｍｏｌ）およびＳｉＸ（３３．３６ｇ，０．１１０ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０６７７】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６７８】
上記のポリマーＰ３４を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（３０．０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（２．１６ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（１．４７×１０−３ｇ，１．８８×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、および、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（７．６７×１０−３ｇ，７．５４×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）を加えてワニスＶ３９を調製した。
このワニスＶ３９を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６７９】
＜＜ワニスＶ４０の調製＞＞
ＨｘＮＢ（１６．６４ｇ，０．０９３ｍｏｌ）およびＳｉＸ（３３．３６ｇ，０．１１０ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０６８０】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６８１】
上記のポリマーＰ１２を３０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（３０．０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（２．１６ｇ）、Ｐｄ７８５（１．４７×１０−３ｇ，１．８８×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、増感剤として、９，１０−ジブトキシアントラセン（４．８６×１０−２ｇ，１．５１×１０−４ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、および、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（７．６７×１０−３ｇ，７．５４×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）を加えてワニスＶ４０を調製した。
このワニスＶ４０を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６８２】
＜＜ワニスＶ４１の調製＞＞
ＨｘＮＢ（１６．６４ｇ，０．０９３ｍｏｌ）およびＳｉＸ（３３．３６ｇ，０．１１０ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０６８３】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６８４】
上記のポリマーＰ１６を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（３０．０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（２．１６ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（１．４７×１０−３ｇ，１．８８×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、および、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（７．６７×１０−３ｇ，７．５４×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）を加えてワニスＶ４１を調製した。
このワニスＶ４１を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６８５】
＜＜ワニスＶ４２の調製＞＞
ＨｘＮＢ（１６．６４ｇ，０．０９３ｍｏｌ）およびＳｉＸ（３３．３６ｇ，０．１１０ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０６８６】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６８７】
上記のポリマーＰ１７を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（３０．０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（２．１６ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（１．４７×１０−３ｇ，１．８８×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、および、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（７．６７×１０−３ｇ，７．５４×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）を加えてワニスＶ４２を調製した。
このワニスＶ４２を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６８８】
＜＜ワニスＶ４３の調製＞＞
ＨｘＮＢ（１６．６４ｇ，０．０９３ｍｏｌ）およびＳｉＸ（３３．３６ｇ，０．１１０ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０６８９】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６９０】
上記のポリマーＰ１８を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（３０．０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（２．１６ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（１．４７×１０−３ｇ，１．８８×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、および、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（７．６７×１０−３ｇ，７．５４×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）を加えてワニスＶ４３を得た。
このワニスＶ４３を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６９１】
＜＜ワニスＶ４４の調製＞＞
ＳｉＸ（５０．０ｇ，０．１６４ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０６９２】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６９３】
上記のポリマーＰ１９を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（３０．０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（１．４４ｇ）、上記の触媒前駆体Ｃ１（以下、「Ｐｄ５４５」と略す。）（１．０２×１０−３ｇ，１．８８×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、および、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（７．６７×１０−３ｇ，７．５４×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）を加えてワニスＶ４４を調製した。
このワニスを０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６９４】
＜＜ワニスＶ４５の調製＞＞
ＳｉＸ（５０．０ｇ，０．１６４ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０６９５】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６９６】
上記のポリマーＰ２０を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（３０．０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（１．４４ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ５４５（１．０２×１０−３ｇ、１．８８×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、および、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（７．６７×１０−３ｇ，７．５４×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）を加えてワニスＶ４５を調製した。
このワニスＶ４５を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０６９７】
＜＜ワニスＶ４６の調製＞＞
ＳｉＸ（５０．０ｇ，０．１６４ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０６９８】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０６９９】
上記のポリマーＰ２１を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（３０．０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（１．４４ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ５４５（１．０２×１０−３ｇ、１．８８×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、および、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（７．６７×１０−３ｇ，７．５４×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）を加えてワニスＶ４６を調製した。
このワニスＶ４６を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０７００】
＜＜ワニスＶ４７の調製＞＞
ＨｘＮＢ（１６．６４ｇ，０．０９３ｍｏｌ）およびＳｉＸ（３３．３６ｇ，０．１１０ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０７０１】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０７０２】
上記のポリマーＰ１７を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（３０．０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（２．１６ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（１．４７×１０−３ｇ，１．８８×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、および、光酸発生剤として、ＴＡＧ−３７２Ｒ（６．８６×１０−３ｇ，７．５４×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）を加えてワニスＶ４７を調製した。
このワニスＶ４７を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０７０３】
＜＜ワニスＶ４８の調製＞＞
ＳｉＸ（５０．０ｇ，０．１６４ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０７０４】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０７０５】
上記のポリマーＰ２０を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（３０．０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（１．４４ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ５４５（１．０２×１０−３ｇ，１．８８×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、および、光酸発生剤として、ＴＡＧ−３７２Ｒ（６．８６×１０−３ｇ、７．５４×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）を加えてワニスＶ４８を調製した。
このワニスＶ４８を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０７０６】
＜＜ワニスＶ６３の調製＞＞
ＳｉＸ（５０．０ｇ，０．１６４ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０７０７】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０７０８】
上記のポリマーＰ２４を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（３０．０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（１．４４ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（１．４７×１０−３ｇ，１．８８×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、および、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（７．６７×１０−３ｇ，７．５４×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）を加えてワニスＶ６３を調製した。
このワニスＶ６３を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０７０９】
＜＜ワニスＶ６４の調製＞＞
ＴＭＳＥＮＢ（２０．２ｇ，０．０８３４ｍｏｌ）およびＳｉＸ（２９．８０ｇ，０．０９７９ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０７１０】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０７１１】
上記のポリマーＰ２６を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（３０．０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（２．１６ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（１．４７×１０−３ｇ，１．８８×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、および、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（７．６７×１０−３ｇ，７．５４×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）を加えてワニスＶ６４を調製した。
このワニスＶ６４を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０７１２】
＜＜ワニスＶ６５の調製＞＞
ＴＭＳＥＮＢ（２０．２ｇ，０．０８３４ｍｏｌ）およびＳｉＸ（２９．８０ｇ，０．０９７９ｍｏｌ）を秤量しガラス瓶にいれた。
【０７１３】
このモノマー溶液に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（０．１２５ｇ）を加え、モノマー酸化防止剤溶液を得た。
【０７１４】
上記のポリマーＰ１４を３０ｗｔ％となるようにメシチレンに溶解した溶液（３０．０ｇ）に、モノマー酸化防止剤溶液（２．１６ｇ）、触媒前駆体として、Ｐｄ７８５（１．４７×１０−３ｇ，１．８８×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）、および、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（７．６７×１０−３ｇ，７．５４×１０−６ｍｏｌ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）を加えてワニスＶ６５を調製した。
このワニスＶ６５を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０７１５】
＜＜ワニスＶ６６の調製＞＞
上記のポリマーＰ１４（５ｇ）に、メシチレン（２０ｇ）と、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．０５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（１．２５×１０−２ｇ）と、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（４．０×１０−３ｇ、メチレンクロライド０．１ｍＬ中）とを加えてワニスＶ６６を調製した。
このワニスＶ６６を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
以上調製した各ワニスの組成を、下記表２〜表４に要約する。
【０７１６】
【表２】
【０７１７】
【表３】
【０７１８】
【表４】
【０７１９】
また、以下に示すようにして、各ワニスＶ２１〜Ｖ３１、Ｖ５１〜Ｖ５５、Ｖ６１およびＶ６２を、それぞれ調製した。なお、各ワニスの調製は、いずれも、感光性材料を含むため、イエローライトの下で行った。
【０７２０】
＜＜ワニスＶ２１の調製＞＞
上記のポリマーＰ１２（５ｇ）に、メシチレン（２０ｇ）、酸化防止剤として、Ｉｒｇａｎｏｘ １０７６（０．０５ｇ）およびＩｒｇａｆｏｓ １６８（０．０１２５ｇ）、および、光酸発生剤（離脱剤）として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（４．０×１０−３ｇ、０．１ｍＬのメチレンクロライド中）を加えてワニスＶ２１を調製した。
このワニスＶ２１を０．２μｍの細孔のフィルターに通して使用に供した。
【０７２１】
＜＜ワニスＶ２２の調製＞＞
上記のポリマーＰ１３（５ｇ）に、メシチレン（２０ｇ）、酸化防止剤として、Ｉｒｇａｎｏｘ １０７６（０．０５ｇ）およびＩｒｇａｆｏｓ １６８（０．０１２５ｇ）、および、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（４．０×１０−３ｇ、０．１ｍＬのメチレンクロライド中）を加えてワニスＶ２２を調製した。
このワニスＶ２２を０．２μｍの細孔のフィルターに通して使用に供した。
【０７２２】
＜＜ワニスＶ２３の調製＞＞
上記のポリマーＰ１４（５ｇ）に、メシチレン（２０ｇ）、酸化防止剤として、Ｉｒｇａｎｏｘ １０７６（０．０５ｇ）およびＩｒｇａｆｏｓ １６８（０．０１２５ｇ）を加えてワニスＶ２３を調製した。
このワニスＶ２３を０．２μｍの細孔のフィルターに通して使用に供した。
【０７２３】
＜＜ワニスＶ２４の調製＞＞
上記のポリマーＰ１１（０．９ｇ）に、メシチレン（３．６ｇ）、酸化防止剤として、Ｉｒｇａｎｏｘ １０７６（９．０×１０−３ｇ）およびＩｒｇａｆｏｓ １６８（２．３×１０−３ｇ）、および、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（１．１×１０−３ｇ、０．１ｍＬのメチレンクロライド中）を加えてワニスＶ２４を調製した。
このワニスＶ２４を０．２μｍの細孔のフィルターに通して使用に供した。
【０７２４】
＜＜ワニスＶ２５の調製＞＞
上記のポリマーＰ１１（０．９ｇ）に、メシチレン（３．６ｇ）、酸化防止剤として、Ｉｒｇａｎｏｘ １０７６（９．０×１０−３ｇ）およびＩｒｇａｆｏｓ １６８（２．３×１０−３ｇ）、および、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（７．５×１０−４ｇ、０．１ｍＬのメチレンクロライド中）を加えてワニスＶ２５を調製した。
このワニスＶ２５を０．２μｍの細孔のフィルターに通して使用に供した。
【０７２５】
＜＜ワニスＶ２６の調製＞＞
上記のポリマーＰ１１（０．９ｇ）に、メシチレン（３．６ｇ）、酸化防止剤として、Ｉｒｇａｎｏｘ １０７６（９．０×１０−３ｇ）およびＩｒｇａｆｏｓ １６８（２．３×１０−３ｇ）、および、光酸発生剤として、ＴＡＧ−３７２Ｒ（７．５×１０−４ｇ、０．１ｍＬのメチレンクロライド中）を加えてワニスＶ２６を調製した。
このワニスＶ２６を０．２μｍの細孔のフィルターに通して使用に供した。
【０７２６】
＜＜ワニスＶ２７の調製＞＞
上記のポリマーＰ１１（０．９ｇ）に、メシチレン（３．６ｇ）、酸化防止剤として、Ｉｒｇａｎｏｘ １０７６（９．０×１０−３ｇ）およびＩｒｇａｆｏｓ １６８（２．３×１０−３ｇ）、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（１．１×１０−３ｇ、０．１ｍＬのメチレンクロライド中）を加えてワニスＶ２７を調製した。
このワニスＶ２７を０．２μｍの細孔のフィルターに通して使用に供した。
【０７２７】
＜＜ワニスＶ２８の調整＞＞
上記のポリマーＰ１１（０．９ｇ）に、メシチレン（３．６ｇ）、酸化防止剤として、Ｉｒｇａｎｏｘ １０７６（９．０×１０−３ｇ）およびＩｒｇａｆｏｓ １６８（２．３×１０−３ｇ）、および、光酸発生剤として、ＴＡＧ−３７２Ｒ（７．５×１０−４ｇ、０．１ｍＬのメチレンクロライド中）を加えてワニスＶ２７を調製した。
このワニスＶ２８を０．２μｍの細孔のフィルターに通して使用に供した
【０７２８】
＜＜ワニスＶ２９の調製＞＞
上記のポリマーＰ１１（０．９ｇ）に、メシチレン（３．６ｇ）、酸化防止剤として、Ｉｒｇａｎｏｘ １０７６（９．０×１０−３ｇ）およびＩｒｇａｆｏｓ １６８（２．３×１０−３ｇ）、および、光酸発生剤として、ＴＡＧ−３７２Ｒ（１．１×１０−３ｇ、０．１ｍＬのメチレンクロライド中）を加えてワニスＶ２９を調製した。
このワニスＶ２９を０．２μｍの細孔のフィルターに通して使用に供した。
【０７２９】
＜＜ワニスＶ３０の調製＞＞
上記のポリマーＰ１１（０．９ｇ）に、メシチレン（３．６ｇ）、酸化防止剤として、Ｉｒｇａｎｏｘ １０７６（９．０×１０−３ｇ）およびＩｒｇａｆｏｓ １６８（２．３×１０−３ｇ）、および、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（７．５×１０−４ｇ、０．１ｍＬのメチレンクロライド中）を加えてワニスＶ３０を調製した。
このワニスＶ３０を０．２μｍの細孔のフィルターに通して使用に供した。
【０７３０】
＜＜ワニスＶ３１の調製＞＞
上記のポリマーＰ１１（０．９ｇ）に、メシチレン（３．６ｇ）、酸化防止剤として、Ｉｒｇａｎｏｘ １０７６（９．０×１０−３ｇ）およびＩｒｇａｆｏｓ １６８（２．３×１０−３ｇ）、および、光酸発生剤として、ＴＡＧ−３７２Ｒ（１．１×１０−３ｇ、０．１ｍＬのメチレンクロライド中）を加えてワニスＶ３１を調製した。
このワニスＶ３１を０．２μｍの細孔のフィルターに通して使用に供した。
【０７３１】
＜＜ワニスＶ５１の調製＞＞
上記のポリマーＰ１５を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（４．０ｇ）に、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（１．５６×１０−３ｇ，１．５４×１０−６ｍｏｌ、０．１ｍＬのメチレンクロライド中）を加えてワニスＶ５１を調製した。
このワニスＶ５１を０．２μｍの細孔のフィルターに通して使用に供した。
【０７３２】
＜＜ワニスＶ５２の調整＞＞
上記のポリマーＰ１５を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（４．０ｇ）に、光酸発生剤として、ＴＡＧ−３７２Ｒ（１．５６×１０−３ｇ，１．５４×１０−６ｍｏｌ、０．１ｍＬのメチレンクロライド中）を加えてワニスＶ５２を調製した。
このワニスＶ５２を０．２μｍの細孔のフィルターに通して使用に供した。
【０７３３】
＜＜ワニスＶ５３の調製＞＞
上記のポリマーＰ１５を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（４．０ｇ）に、光酸発生剤として、ＴＡＧ−３７１（１．５６×１０−３ｇ，１．５４×１０−６ｍｏｌ、０．１ｍＬのメチレンクロライド中）を加えてワニスＶ５３を調製した。
このワニスＶ５３を０．２μｍの細孔のフィルターに通して使用に供した。
【０７３４】
＜＜ワニスＶ５４の調製＞＞
上記のポリマーＰ１５を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（４．０ｇ）に、光酸発生剤として、ＴＴＢＰＳ−ＴＰＦＰＢ（１．５６×１０−３ｇ，１．５４×１０−６ｍｏｌ、０．１ｍＬのメチレンクロライド中）を加えてワニスＶ５４を調製した。
このワニスＶ５４を０．２μｍの細孔のフィルターに通して使用に供した。
【０７３５】
＜＜ワニスＶ５５の調製＞＞
上記のポリマーＰ１５を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（４．０ｇ）に、光酸発生剤として、ＮＡＩ−１０５（１．５６×１０−３ｇ，１．５４×１０−６ｍｏｌ、０．１ｍＬのメチレンクロライド中）を加えてワニスＶ５５を調製した。
このワニスＶ５５を０．２μｍの細孔のフィルターに通して使用に供した。
【０７３６】
＜＜ワニスＶ６１の調製＞＞
上記のポリマーＰ２４を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（１６．７ｇ）に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．０５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（１．２５×１０−２ｇ）、および、光酸発生剤として、ＲＨＯＤＯＲＳＩＬ ２０７４（０．１ｇ、メチレンクロライド０．５ｍＬ中）を加えて、ワニスＶ６１を調製した。
このワニスＶ６１を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
【０７３７】
＜＜ワニスＶ６２の調製＞＞
上記のポリマーＰ２４を３０ｗｔ％となるようにトルエンに溶解した溶液（１６．７ｇ）に、酸化防止剤として、ＩＲＧＡＮＯＸ １０７６（０．０５ｇ）およびＩＲＧＡＦＯＳ １６８（１．２５×１０−２ｇ）、および、光酸発生剤として、ＴＡＧ−３７２Ｒ（０．１ｇ、０．５ｍＬのメチレンクロライド中）を加えて、ワニスＶ６２を調製した。
このワニスＶ６２を０．２μｍの細孔のフィルターでろ過して使用した。
以上調製した各ワニスの組成を、下記表５に要約する。
【０７３８】
【表５】
【０７３９】
４．コア層（単層光導波路）の作製および光伝播損失の測定
＜サンプルＷＧ２４〜３１＞
【０７４０】
４−１．作製
以下に示すようにして、サンプルＷＧ２４〜３１を作製した。
【０７４１】
＜＜サンプルＷＧ２４＞＞
コア層形成用材料として、ろ過したワニスＶ４１を、石英ガラス板の上に注ぎ、ドクターブレードで実質的に一定の厚さに広げた。
【０７４２】
その後、この石英ガラス板を換気されたレベルテーブルに一夜置いて溶剤を蒸発させ、実質的に乾燥した固体フィルムを形成した。
【０７４３】
フィルムにフォトマスクを通してＵＶ光（波長：３６５ｎｍ）を照射し（照射量＝３０００ｍＪ／ｃｍ２）、次に、オーブン中で４５℃で３０分間加熱し、次に、８５℃で３０分間加熱し、さらに１５０℃で６０分加熱した。これにより、コア層（単層光導波路）を得た。
なお、コア部のパターンは、第１回目の加熱後、目視で確認することができた。
【０７４４】
＜＜サンプルＷＧ２５〜３１＞＞
コア層形成用材料として用いるワニスおよびＵＶ光の照射量を、表６に示すように変更した以外は、前記サンプルＷＧ２４と同様にして、コア層（単層光導波路）を作製した。
【０７４５】
４−２．光伝播損失の測定
各サンプルＷＧ２４〜３１における光の伝播損失は、「カットバック法」を使用して測定した。
【０７４６】
これは、レーザダイオードから発生させた光（波長：８３０ｎｍ）を、光ファイバーを通して、コア部の一端から入力し、他端からの出力を測定し、コア部の長さを数段階の長さにカットして、各長さについて光出力を測定することにより行った。
各長さのコア部での総光損失は、下記式で表される。
【０７４７】
総光損失（ｄＢ） ＝ −１０ｌｏｇ（Ｐｎ／Ｐｏ）
式中、Ｐｎは、Ｐ１、Ｐ２、…Ｐｎの各長さのコア部の他端での測定された出力であり、Ｐｏは、光ファイバーをコア部の一端に結合する前の光ファイバーの端部における光源の測定出力である。
【０７４８】
次に、総光損失は、図１４（チャート１）のようにプロットされる。このデータの回帰直線は、下記式によって表わされる。
【０７４９】
ｙ＝ｍｘ＋ｂ
式中、ｍは、光伝播損失を示し、ｂは、結合損失（ｃｏｕｐｌｉｎｇ ｌｏｓｓ）を示す。
各サンプルＷＧ２４〜３１の結果を、下記表６に示す。
【０７５０】
【表６】
【０７５１】
また、各サンプルＷＧ２４〜３１のコア層は、いずれも、コア部のパターンがマスクパターンに対応して、高い寸法精度で形成されていた。
【０７５２】
５．光導波路構造体の作製および評価
５−１．光導波路構造体の作製
【０７５３】
（実施例１）
前記サンプルＷＧ２４と同様にして、平均厚さ５０μｍのコア層（コア部の幅５０μｍ）を形成した。
【０７５４】
また、クラッド層形成用材料として、ワニスＶ２３を用いて、平均厚さ５０μｍのクラッド層を２つ形成した。
【０７５５】
そして、コア層を、上記の２つのクラッド層の間に挟み、１０ＭＰａの圧力を掛けながらオーブン内で１５０℃で１時間加熱した。これにより、光導波路を得た。
なお、光導波路は、幅０．５ｃｍ、長さ１０ｃｍの直線状とした。
【０７５６】
次に、この光導波路の両面に、それぞれ、低温プラズマＣＶＤ法により、平均厚さ４５μｍの銅層（導体層）を形成して、光導波路構造体を作製した。
【０７５７】
（実施例２）
前記サンプルＷＧ２５と同様にして、平均厚さ５０μｍのコア層（コア部の幅５０μｍ）を形成した。
【０７５８】
また、クラッド層形成用材料として、ワニスＶ２３を用いて、平均厚さ５０μｍのクラッド層を２つ形成した。
【０７５９】
そして、コア層を、上記の２つのクラッド層の間に挟み、１０ＭＰａの圧力を掛けながらオーブン内で１５０℃で１時間加熱した。これにより、光導波路を得た。
なお、光導波路は、幅０．５ｃｍ、長さ１０ｃｍの直線状とした。
【０７６０】
次に、この光導波路の両面に、それぞれ、無電解メッキ法により、平均厚さ４５μｍの銅層（導体層）を形成して、光導波路構造体を作製した。
【０７６１】
（実施例３）
前記サンプルＷＧ３０と同様にして、平均厚さ５０μｍのコア層（コア部の幅５０μｍ）を形成した。
【０７６２】
また、クラッド層形成用材料として、ワニスＶ２３を用いて、平均厚さ５０μｍのクラッド層を２つ形成した。
【０７６３】
そして、コア層を、上記の２つのクラッド層の間に挟み、１０ＭＰａの圧力を掛けながらオーブン内で１５０℃で１時間加熱した。これにより、光導波路を得た。
なお、光導波路は、幅０．５ｃｍ、長さ１０ｃｍの直線状とした。
【０７６４】
次に、この光導波路の両面に、それぞれ、ロールラミネート法により、平均厚さ４５μｍの銅層（導体層）を接合して、光導波路構造体を作製した。
【０７６５】
（比較例１）
クラッド層形成材料として、脂肪族炭化水素基を持った分岐型ポリシランを含有するワニスを、離型処理済みのガラス基板の上に塗布し、８０℃、２０分乾燥させて、平均厚さ５０μｍのクラッド層を形成した。
【０７６６】
次に、その上に、コア層形成用材料として、前記分岐型ポリシランよりも屈折率の高い芳香族炭化水素基を持った分岐型ポリフェニルシランを含有するワニスを塗布し、８０℃、２０分乾燥させた。
【０７６７】
その後、コア部となるところに遮蔽部が設けられたフォトマスクを介し、超高圧水銀ランプにて露光し、２５０℃で熱処理して、コア部（幅：５０μｍ）を有する平均厚さ５０μｍのコア層を形成した。
【０７６８】
その上に、クラッド層形成用材料として、前記と同じポリシランワニスを塗布し、３００℃で熱処理して、平均厚さ５０μｍのクラッド層を形成した。
【０７６９】
以上のようにして、光導波路を作製した。なお、光導波路は、幅０．５ｃｍ、長さ１０ｃｍの直線状とした。
【０７７０】
次に、この光導波路の両面に、それぞれ、ロールラミネート法により、平均厚さ４５μｍの銅層（導体層）を接合して、光導波路構造体を作製した。
【０７７１】
（比較例２）
クラッド層形成用材料として、ＵＶ硬化型エポキシ樹脂ワニス（ＮＴＴ−ＡＴ製Ｅ３１２９）を、離型処理したガラス基板上にスピンコートし、次いでＵＶ照射して硬化して、平均厚さ５０μｍのクラッド層を形成した。
【０７７２】
次に、その上に、コア層形成用材料として、前記ＵＶ硬化型エポキシ樹脂よりも屈折率の高いＵＶ硬化型エポキシ樹脂（ＮＴＴ−ＡＴ製Ｅ３１３５）をスピンコートし、フォトリソグラフィー法により、直接コア部（幅５０μｍ×厚さ５０μｍ）をパターニングした。
【０７７３】
その後、クラッド層形成用材料として、前記と同じＵＶ硬化型エポキシ樹脂ワニスをスピンコートし、次いでＵＶ照射して硬化して、平均厚さ５０μｍのクラッド層を形成した。
【０７７４】
以上のようにして、光導波路を作製した。なお、光導波路は、幅０．５ｃｍ、長さ１０ｃｍの直線状とした。
【０７７５】
次に、この光導波路の両面に、それぞれ、ロールラミネート法により、平均厚さ４５μｍの銅層（導体層）を接合して、光導波路構造体を作製した。
【０７７６】
５−２．評価
各実施例および各比較例で作製した光導波路構造体の導体層を、それぞれ、パターニングして配線を形成し、所定の箇所に、発光素子および受光素子を実装して、複合装置を作製した。
【０７７７】
そして、これらの複合装置を動作させたところ、各実施例の光導波路構造体を用いた複合装置は、いずれも、各比較例の光導波路構造体を用いた複合装置に対して、より高速での動作が可能なことが確認された。
【図面の簡単な説明】
【０７７８】
【図１】本発明の光導波路構造体の実施形態を示す斜視図（一部切り欠いて示す）である。
【図２】本発明の光導波路構造体の第１の製造方法の工程例を模式的に示す断面図である。
【図３】本発明の光導波路構造体の第１の製造方法の工程例を模式的に示す断面図である。
【図４】本発明の光導波路構造体の第１の製造方法の工程例を模式的に示す断面図である。
【図５】本発明の光導波路構造体の第１の製造方法の工程例を模式的に示す断面図である。
【図６】本発明の光導波路構造体の第１の製造方法の工程例を模式的に示す断面図である。
【図７】本発明の光導波路構造体の第１の製造方法の工程例を模式的に示す断面図である。
【図８】本発明の光導波路構造体の第４の製造方法の工程例を模式的に示す断面図である。
【図９】本発明の光導波路構造体の第４の製造方法の工程例を模式的に示す断面図である。
【図１０】本発明の光導波路構造体の第４の製造方法の工程例を模式的に示す断面図である。
【図１１】本発明の光導波路構造体の第４の製造方法の工程例を模式的に示す断面図である。
【図１２】本発明の光導波路構造体の第４の製造方法の工程例を模式的に示す断面図である。
【図１３】本発明の光導波路構造体の第４の製造方法の工程例を模式的に示す断面図である。
【図１４】コア部の長さの変化に伴う総光損失の変化を示すチャートである。
【符号の説明】
【０７７９】
９ 光導波路構造体
９０ 光導波路
９１、９２ クラッド層
９３ コア層
９４ コア部
９５ クラッド部
９０１、９０２ 導体層
９００ コア層形成用材料
９１０ 層
９１５ ポリマー
９２０ 添加剤
９２５ 照射領域
９３０ 活性放射線
９３５ マスク
９３５１ 開口
９４０ 未照射領域
９５１、９５２ 支持基板
１０００ 支持基板
１１１０ 第１の層
１１２０ 第２の層
１１３０ 第３の層
２０００ 積層体
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コア部と、該コア部より屈折率が低いクラッド部とを備えるコア層を有する光導波路と、該光導波路の少なくとも一方の面側に設けられた導体層とを有する光導波路構造体であって、
前記コア層は、ポリマーと、該ポリマーと相溶し、かつ、該ポリマーと異なる屈折率を有するモノマーと、活性放射線の照射により活性化する第１の物質と、前記モノマーの反応を開始させ得る第２の物質であって、活性化した前記第１の物質の作用により、活性化温度が変化する第２の物質とを含む層を形成し、
その後、前記層に対して前記活性放射線を選択的に照射することにより、前記活性放射線が照射された照射領域において、前記第１の物質を活性化させるとともに、前記第２の物質の活性化温度を変化させ、
次いで、前記層に対して加熱処理を施すことにより、前記第２の物質または活性化温度が変化した前記第２の物質のいずれか活性化温度の低い方を活性化させ、前記照射領域または前記活性放射線の未照射領域のいずれかにおいて前記モノマーを反応させて、前記照射領域と前記未照射領域との間に屈折率差を生じさせることにより、前記照射領域および前記未照射領域のいずれか一方を前記コア部とし、他方を前記クラッド部として得られたものであることを特徴とする光導波路構造体。
【請求項１】
コア部と、該コア部より屈折率が低いクラッド部とを備えるコア層を有する光導波路と、該光導波路の少なくとも一方の面側に設けられた導体層とを有する光導波路構造体であって、
前記コア層は、ポリマーと、該ポリマーと相溶し、かつ、該ポリマーと異なる屈折率を有するモノマーと、活性放射線の照射により活性化する第１の物質と、前記モノマーの反応を開始させ得る第２の物質であって、活性化した前記第１の物質の作用により、活性化温度が変化する第２の物質とを含む層を形成し、
その後、前記層に対して前記活性放射線を選択的に照射することにより、前記活性放射線が照射された照射領域において、前記第１の物質を活性化させるとともに、前記第２の物質の活性化温度を変化させ、
次いで、前記層に対して加熱処理を施すことにより、前記第２の物質または活性化温度が変化した前記第２の物質のいずれか活性化温度の低い方を活性化させ、前記照射領域または前記活性放射線の未照射領域のいずれかにおいて前記モノマーを反応させて、前記照射領域と前記未照射領域との間に屈折率差を生じさせることにより、前記照射領域および前記未照射領域のいずれか一方を前記コア部とし、他方を前記クラッド部として得られたものであることを特徴とする光導波路構造体。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【公開番号】特開２００９−２５８２９（Ｐ２００９−２５８２９Ａ）
【公開日】平成２１年２月５日（２００９．２．５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−２３９１６６（Ｐ２００８−２３９１６６）
【出願日】平成２０年９月１８日（２００８．９．１８）
【分割の表示】特願２００５−１４７４１９（Ｐ２００５−１４７４１９）の分割
【原出願日】平成１７年５月１９日（２００５．５．１９）
【出願人】（０００００２１４１）住友ベークライト株式会社 (2,927)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年２月５日（２００９．２．５）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年９月１８日（２００８．９．１８）
【分割の表示】特願２００５−１４７４１９（Ｐ２００５−１４７４１９）の分割
【原出願日】平成１７年５月１９日（２００５．５．１９）
【出願人】（０００００２１４１）住友ベークライト株式会社 (2,927)
【Ｆターム（参考）】
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