出力調整回路、超音波振動装置用部品及び超音波振動装置
【課題】発振器本体の内部の調整又は発振器本体を交換することなく、同一周波数の振動子又は異なる周波数の振動子に交換できる超音波振動装置用部品を提供する。
【解決手段】本発明に係る超音波振動装置用部品は、被洗浄物を洗浄する洗浄液に超音波振動を与える際に用いられ、超音波振動用信号を発振させる発振器本体２４に接続するための接続ユニット２５と、前記接続ユニットに接続される振動子２６と、を具備し、前記接続ユニットは、前記超音波振動用信号の出力を調整するための出力トランス３３と、前記出力トランスに電気的に接続されたコイル・コンデンサ３４と、前記コイル・コンデンサに電気的に接続された電流検出器３５と、を有することを特徴とする。
【解決手段】本発明に係る超音波振動装置用部品は、被洗浄物を洗浄する洗浄液に超音波振動を与える際に用いられ、超音波振動用信号を発振させる発振器本体２４に接続するための接続ユニット２５と、前記接続ユニットに接続される振動子２６と、を具備し、前記接続ユニットは、前記超音波振動用信号の出力を調整するための出力トランス３３と、前記出力トランスに電気的に接続されたコイル・コンデンサ３４と、前記コイル・コンデンサに電気的に接続された電流検出器３５と、を有することを特徴とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被洗浄物を洗浄する洗浄液に超音波振動を与える超音波振動装置等に係わり、特に、発振器本体の内部の調整又は発振器本体を交換することなく、同一周波数の振動子又は異なる周波数の振動子に交換できる出力調整回路、超音波振動装置用部品及び超音波振動装置等に関する。
【背景技術】
【０００２】
図８は、従来の超音波振動装置の構成を示す模式図である。この超音波振動装置は、超音波洗浄機の一部を構成するものであり、被洗浄物（図示せず）を洗浄液（図示せず）により洗浄する際に前記洗浄液に超音波振動を与えるための装置である。この装置は、発振器本体３８と、この発振器本体３８にコネクタ４８，４９によって接続される振動子３９とを有している。
【０００３】
前記超音波洗浄機は、発振器本体３８から超音波振動用信号が発振され、その超音波振動用信号が振動子３９に伝達され、その振動子３９によって発生させた超音波振動が前記洗浄液に与えられることで被洗浄物を洗浄する装置である。
【０００４】
発振器本体３８は信号発生器４１を有しており、この信号発生器４１はドライバ４２に電気的に接続されている。ドライバ４２はアンプ４３に電気的に接続されており、アンプ４３は出力トランス４４に電気的に接続されている。出力トランス４４はコイル・コンデンサ４５に電気的に接続されており、コイル・コンデンサ４５は電流検出器４６に電気的に接続されている。電流検出器４６及びコイル・コンデンサ４５それぞれは電圧検出器４７に電気的に接続されており、電圧検出器４７はコネクタ４８に電気的に接続されている。また、信号発生器４１、ドライバ４２、アンプ４３、電流検出器４６及び電圧検出器４７それぞれは制御部４０に電気的に接続されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、振動子３９は、その形状や周波数により電気的な特性が大きく異なっている。そのため、振動子３９の種類毎に発振器本体３８の駆動回路を大幅に変更する必要がある。また、振動子３９の種類が同一であっても、その個体差による電気的特性のバラツキが存在するため、振動子３９を取り替える際には発振器本体３８の内部に調整が必要な箇所が発生する。
【０００６】
このようなことから、上記従来の超音波振動装置では、振動子が故障した場合に、故障した振動子を同一周波数の他の振動子に交換するだけでは修理することができず、振動子３９の交換とともに発振器本体３８の内部の調整が必要となる。また、例えば洗浄レシピの変更により超音波の周波数を変更する場合に、使用している振動子をそれと異なる周波数の振動子に交換するだけでは周波数を変更できず、振動子３９の交換とともに発振器本体３８も交換することが必要となる。
【０００７】
本発明は上記のような事情を考慮してなされたものであり、その目的は、発振器本体の内部の調整又は発振器本体を交換することなく、同一周波数の振動子又は異なる周波数の振動子に交換できる出力調整回路、超音波振動装置用部品及び超音波振動装置等を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明に係る出力調整回路は、被洗浄物を洗浄する洗浄液に振動子から超音波振動を与える際に用いられ、前記振動子に超音波振動用信号を発振させる発振器本体に着脱可能に形成されることを特徴とする。
【０００９】
また、前記出力調整回路は、前記超音波振動用信号の出力を調整するための出力トランスと、
前記出力トランスに電気的に接続されたコイル・コンデンサと、
前記コイル・コンデンサに電気的に接続された電流検出器と、
を有することも可能である。
【００１０】
本発明に係る超音波振動装置用部品は、被洗浄物を洗浄する洗浄液に超音波振動を与える際に用いられ、超音波振動用信号を発振させる発振器本体に接続するための接続ユニットと、
前記接続ユニットに接続される振動子と、
を具備し、
前記接続ユニットは、
前記超音波振動用信号の出力を調整するための出力トランスと、
前記出力トランスに電気的に接続されたコイル・コンデンサと、
前記コイル・コンデンサに電気的に接続された電流検出器と、
を有することを特徴とする。
【００１１】
本発明に係る超音波振動装置は、被洗浄物を洗浄する洗浄液に超音波振動を与えるための超音波振動装置において、
超音波振動用信号を発振させる発振器本体と、
前記発振器本体に着脱可能に接続される接続ユニットと、
前記接続ユニットに接続される振動子と、
を具備し、
前記接続ユニットは、
前記超音波振動用信号の出力を調整するための出力トランスと、
前記出力トランスに電気的に接続されたコイル・コンデンサと、
前記コイル・コンデンサに電気的に接続された電流検出器と、
を有することを特徴とする。
【００１２】
本発明に係る超音波振動装置は、被洗浄物を洗浄する洗浄液に超音波振動を与えるための超音波振動装置において、
第１乃至第３のモードのいずれかのモードで超音波振動用信号を発振させる発振器本体と、
前記発振器本体に着脱可能に接続される第１乃至第３の接続ユニットのいずれかの接続ユニットと、
前記いずれかの接続ユニットに接続される振動子と、
を具備し、
前記第１乃至第３の接続ユニットそれぞれは、
前記超音波振動用信号の出力を調整するための出力トランスと、
前記出力トランスに電気的に接続されたコイル・コンデンサと、
前記コイル・コンデンサに電気的に接続された電流検出器と、
を有し、
前記第１のモードで超音波振動用信号を前記発振器本体によって発振させる場合は前記発振器本体に前記第１の接続ユニットが接続され、
前記第２のモードで超音波振動用信号を前記発振器本体によって発振させる場合は前記発振器本体に前記第２の接続ユニットが接続され、
前記第３のモードで超音波振動用信号を前記発振器本体によって発振させる場合は前記発振器本体に前記第３の接続ユニットが接続されることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明に係る超音波振動装置において、前記接続ユニットは電圧検出器を有し、前記電圧検出器は前記電流検出器及び前記コイル・コンデンサに電気的に接続されることも可能である。
【００１４】
本発明に係る超音波振動装置は、被洗浄物を洗浄する洗浄液に超音波振動を与えるための超音波振動装置において、
第１乃至第３のモードのいずれかのモードで超音波振動用信号を発振させる発振器本体と、
前記発振器本体に電気的に接続された切換スイッチと、
前記切換スイッチに電気的に接続された第１乃至第３の接続回路と、
前記第１乃至第３の接続回路及び前記切換スイッチに電気的に接続された振動子と、
前記切換スイッチを制御する制御部と、
を具備し、
前記第１乃至第３の接続回路それぞれは、
前記超音波振動用信号の出力を調整するための出力トランスと、
前記出力トランスに電気的に接続されたコイル・コンデンサと、
前記コイル・コンデンサに電気的に接続された電流検出器と、
を有し、
前記制御部は、前記第１のモードで超音波振動用信号を前記発振器本体によって発振させる場合は前記発振器本体に前記第１の接続回路が接続され且つ前記第１の接続回路が前記振動子に接続されるように前記切換スイッチを制御し、前記第２のモードで超音波振動用信号を前記発振器本体によって発振させる場合は前記発振器本体に前記第２の接続回路が接続され且つ前記第２の接続回路が前記振動子に接続されるように前記切換スイッチを制御し、前記第３のモードで超音波振動用信号を前記発振器本体によって発振させる場合は前記発振器本体に前記第３の接続回路が接続され且つ前記第３の接続回路が前記振動子に接続されるように前記切換スイッチを制御することを特徴とする。
【００１５】
本発明に係る超音波振動装置は、被洗浄物を洗浄する洗浄液に超音波振動を与えるための超音波振動装置において、
第１乃至第３の周波数のいずれかで超音波振動用信号を発振させる発振器本体と、
前記発振器本体に電気的に接続された切換スイッチと、
前記切換スイッチに電気的に接続された第１乃至第３の接続回路と、
前記第１の接続回路に電気的に接続された第１の振動子と、
前記第２の接続回路に電気的に接続された第２の振動子と、
前記第３の接続回路に電気的に接続された第３の振動子と、
前記切換スイッチを制御する制御部と、
を具備し、
前記第１乃至第３の接続回路それぞれは、
前記超音波振動用信号の出力を調整するための出力トランスと、
前記出力トランスに電気的に接続されたコイル・コンデンサと、
前記コイル・コンデンサに電気的に接続された電流検出器と、
を有し、
前記制御部は、前記第１の周波数で前記第１の振動子を振動させる場合は前記発振器本体に前記第１の接続回路が接続されるように前記切換スイッチを制御し、前記第２の周波数で前記第２の振動子を振動させる場合は前記発振器本体に前記第２の接続回路が接続されるように前記切換スイッチを制御し、前記第３の周波数で前記第３の振動子を振動させる場合は前記発振器本体に前記第３の接続回路が接続されるように前記切換スイッチを制御することを特徴とする。
【００１６】
また、本発明に係る超音波振動装置において、前記発振器本体は、
信号発生器と、
前記信号発生器に電気的に接続されたドライバと、
前記ドライバに電気的に接続されたアンプと、
前記信号発生器、前記ドライバ及び前記アンプそれぞれに電気的に接続された制御部と、
を有することも可能である。
【発明の効果】
【００１７】
以上説明したように本発明によれば、発振器本体の内部の調整又は発振器本体を交換することなく、同一周波数の振動子又は異なる周波数の振動子に交換できる超音波振動装置用部品及び超音波振動装置等を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態による超音波振動装置の構成を示す概略図である。
【００１９】
図１に示す超音波振動装置は、超音波洗浄機の一部を構成するものであり、被洗浄物（図示せず）を洗浄液（図示せず）により洗浄する際に前記洗浄液に超音波振動を与えるための装置である。この装置は、発振器本体１と、この発振器本体１に着脱可能に取り付けられる第２の出力調整回路７と、第２の出力調整回路７に接続される振動子８とを有している。
【００２０】
前記超音波洗浄機は、発振器本体１から第２の出力調整回路７を通して超音波振動用信号が発振され、その超音波振動用信号が振動子８に伝達され、その振動子８によって発生させた超音波振動が前記洗浄液に与えられることで被洗浄物を洗浄する装置である。
【００２１】
発振器本体１は信号発生器（可変）１を有しており、この信号発生器１は複数の周波数の振動子に対応する信号を発生する発生器である。信号発生器１はドライバ３に電気的に接続されている。ドライバ３はアンプ４に電気的に接続されており、アンプ４は第１の出力調整回路５に電気的に接続されている。第１の出力調整回路５は振動子８の周波数に依存しない部分（共通部分）の回路を有している。また、信号発生器２、ドライバ３及びアンプ４それぞれは制御部６に電気的に接続されている。
【００２２】
第２の出力調整回路７が発振器本体１に取り付けられることにより、第２の出力調整回路７は第１の出力調整回路５及び制御部６それぞれに電気的に接続される。第２の出力調整回路７は振動子８の周波数に依存する部分の回路を有している。また、発振器本体１は、振動子８の周波数に依存しない部分の回路などによって構成されている。
【００２３】
前記超音波振動装置は、信号発生器２によって発生させた信号が、ドライバ３によって駆動され、アンプ４によって増幅され、第１及び第２の出力調整回路５，７によって出力調整され、それによって超音波振動用信号が振動子８に出力されるように構成されており、制御部６が信号発生器２、ドライバ３、アンプ４及び第２の出力調整回路７それぞれを制御するように構成されている。
【００２４】
上記超音波振動装置によれば、発振器本体１から第２の出力調整回路７及び振動子８を取り外すことが可能に構成している。これにより、洗浄レシピの変更により超音波の周波数を変更する場合に、使用している振動子をそれと異なる周波数の振動子に交換する際に、第２の出力調整回路７及び振動子８だけを交換することで周波数を変更することが可能となる。従って、洗浄工程の複雑化・精密化により、頻繁に洗浄レシピを変更することに容易に対応することが可能となる。
【００２５】
詳細には、振動子８の周波数により電気的な特性が大きく異なるために異なる周波数の振動子に交換する際に大幅に変更する必要がある回路を、第２の出力調整回路７として形成し、この第２の出力調整回路７を振動子８とともに取り外し可能としている。従って、周波数の異なる振動子に交換する際に、発振器本体１を交換することなく、第２の出力調整回路７及び振動子８だけを交換することで周波数を変更することが可能となる。
【００２６】
また、振動子８が故障した場合に、故障した振動子を同一周波数の他の振動子に交換する際に、第２の出力調整回路７及び振動子８だけを交換することで修理することが可能となる。
【００２７】
詳細には、振動子の種類が同一であっても、その個体差による電気的特性のバラツキが存在するために振動子を交換する際に調整が必要とされる回路は、第２の出力調整回路（周波数依存部分）７に含まれている。従って、第２の出力調整回路７を振動子８とともに取り外し可能とすることにより、故障した振動子を他の振動子に交換する際に、発振器本体１を交換することなく、第２の出力調整回路７及び振動子８だけを交換することで修理することが可能となる。
【００２８】
なお、上記第１の実施形態では、第２の出力調整回路７に振動子８が接続されており、発振器本体１から第２の出力調整回路７及び振動子８を取り外すことが可能な構成としているが、発振器本体１に振動子８が着脱可能に取り付けられており、発振器本体１から第２の出力調整回路７だけを取り外すことが可能な構成としても良い。この場合は、第２の出力調整回路７を発振器本体１に取り付けることにより、第２の出力調整回路７は第１の出力調整回路５、制御部６及び振動子８それぞれと電気的に接続されることになる。
【００２９】
（第２の実施形態）
図２は、本発明の第２の実施形態による超音波振動装置の構成を示す模式図である。この超音波振動装置は、超音波洗浄機の一部を構成するものであり、被洗浄物（図示せず）を洗浄液（図示せず）により洗浄する際に前記洗浄液に超音波振動を与えるための装置である。この装置は、発振器本体２４と、この発振器本体２４に着脱可能に取り付けられる接続ユニット２５と、この接続ユニット２５に着脱可能に接続される振動子２６とを有している。
【００３０】
前記超音波洗浄機は、発振器本体２４から接続ユニット２５を通して超音波振動用信号が発振され、その超音波振動用信号が振動子２６に伝達され、その振動子２６によって発生させた超音波振動が前記洗浄液に与えられることで被洗浄物を洗浄する装置である。
【００３１】
発振器本体２４は信号発生器２８を有しており、この信号発生器２８は複数の周波数の振動子に対応する信号を発生する発生器である。信号発生器２８はドライバ２９に電気的に接続されている。ドライバ２９はアンプ３０に電気的に接続されており、アンプ３０はコネクタ３１に電気的に接続されている。また、信号発生器２８、ドライバ２９、アンプ３０及びコネクタ３１それぞれは制御部２７に電気的に接続されている。
【００３２】
接続ユニット２５はコネクタ３２を有しており、このコネクタ３２は出力トランス３３及び電流検出器３５に電気的に接続されている。出力トランス３３はコイル・コンデンサ３４に電気的に接続されており、コイル・コンデンサ３４は電流検出器３５及びコネクタ３６それぞれに電気的に接続されている。
【００３３】
発振器本体２４と接続ユニット２５はコネクタ３１，３２によって電気的に接続されるように構成されており、接続ユニット２５と振動子２６はコネクタ３６，３７によって電気的に接続されるように構成されている。
【００３４】
接続ユニット２５は振動子２６の周波数に依存する部分の回路を有している。また、発振器本体２４は、振動子２６の周波数に依存しない部分の回路などによって構成されている。
【００３５】
前記超音波振動装置は、信号発生器２８によって発生させた信号が、ドライバ２９によって駆動され、アンプ３０によって増幅され、出力トランス３３及びコイル・コンデンサ３４によって出力調整され、それによって超音波振動用信号が振動子２６に出力されるように構成されており、電流検出器３５によって検出された電流値を参照しつつ制御部２７が信号発生器２８、ドライバ２９及びアンプ３０それぞれを制御するように構成されている。
【００３６】
上記超音波振動装置によれば、発振器本体２４から接続ユニット２５及び振動子２６を取り外すことが可能に構成している。これにより、洗浄レシピの変更により超音波の周波数を変更する場合に、使用している振動子をそれと異なる周波数の振動子に交換する際に、接続ユニット２５及び振動子２６だけを交換することで周波数を変更することが可能となる。従って、洗浄工程の複雑化・精密化により、頻繁に洗浄レシピを変更することに容易に対応することが可能となる。
【００３７】
詳細には、振動子２６の周波数により電気的な特性が大きく異なるために異なる周波数の振動子に交換する際に大幅に変更する必要がある回路は、出力トランス３３及びコイル・コンデンサ３４である。これら出力トランス３３及びコイル・コンデンサ３４を有する接続ユニット２５を振動子２６とともに発振器本体２４から取り外し可能としている。従って、周波数の異なる振動子に交換する際に、発振器本体２４を交換することなく、接続ユニット２５及び振動子２６だけを交換することで周波数を変更することが可能となる。
【００３８】
また、振動子２６が故障した場合に、故障した振動子を同一周波数の他の振動子に交換する際に、接続ユニット２５及び振動子２６だけを交換することで修理することが可能となる。
【００３９】
詳細には、振動子の種類が同一であっても、その個体差による電気的特性のバラツキが存在するために振動子を交換する際に調整が必要とされる回路は、出力トランス３３及びコイル・コンデンサ３４である。これら出力トランス３３及びコイル・コンデンサ３４を有する接続ユニット２５を振動子２６とともに発振器本体２４から取り外し可能としている。従って、故障した振動子を他の振動子に交換する際に、発振器本体２４を交換することなく、接続ユニット２５及び振動子２６だけを交換することで修理することが可能となる。
【００４０】
（第３の実施形態）
図３は、本発明の第３の実施形態による超音波振動装置の構成を示す模式図であり、図２と同一部分には同一符号を付し、異なる部分についてのみ説明する。
【００４１】
接続ユニット２５は電圧検出器２０を有しており、この電圧検出器２０はコネクタ３２に電気的に接続されている。
【００４２】
前記超音波振動装置は、電流検出器３５及び電圧検出器２０それぞれによって検出された電流値及び電圧値を参照しつつ制御部２７が信号発生器２８、ドライバ２９及びアンプ３０それぞれを制御するように構成されている。
【００４３】
上記超音波振動装置においても第２の実施形態と同様の効果を得ることができる。
また、接続ユニット２５が電圧検出器２０を有することにより、制御部２７によって信号発生器２８、ドライバ２９及びアンプ３０をより精度良く制御することが可能となる。
【００４４】
（第４の実施形態）
図４は、本発明の第４の実施形態による超音波振動装置の構成を示す模式図であり、図２及び図３と同一部分には同一符号を付し、異なる部分についてのみ説明する。
【００４５】
第１の周波数で振動する第１の振動子（振動子Ａ）２６ａと、第２の周波数で振動する第２の振動子（振動子Ｂ）２６ｂと、第３の周波数で振動する第３の振動子（振動子Ｃ）２６ｃを用意する。第１乃至第３の周波数は互いに異なる周波数である。第１の振動子２６ａには第１の接続ユニット（接続ユニットＡ）２５ａが接続されている。第２の振動子２６ｂには第２の接続ユニット（接続ユニットＢ）２５ｂが接続されている。第３の振動子２６ｃには第３の接続ユニット（接続ユニットＣ）２５ｃが接続されている。
【００４６】
上記第４の実施形態においても第２及び第３の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００４７】
さらに、本実施形態では、第１の周波数の超音波振動を洗浄液に与える際は第１の接続ユニット２５ａを発振器本体２４に接続し、第２の周波数の超音波振動を洗浄液に与える際は第２の接続ユニット２５ｂを発振器本体２４に接続し、第３の周波数の超音波振動を洗浄液に与える際は第３の接続ユニット２５ｃを発振器本体２４に接続する。これにより、超音波の周波数を変更する場合に、従来技術では発振器本体も交換しなければならなかったのに対し、本実施形態では、発振器本体を交換することなく、接続ユニット及び振動子だけを交換することで実現することができる。
【００４８】
（第５の実施形態）
図５は、本発明の第５の実施形態による超音波振動装置の構成を示す模式図であり、図４と同一部分には同一符号を付し、異なる部分についてのみ説明する。
【００４９】
図５に示す超音波振動装置は、一つの振動子６１で３つの周波数による駆動を行うものである。このような振動子の高次駆動を行う概念を図６に示す。
【００５０】
図５に示す第１の接続ユニット（接続ユニットＡ）５８は、図６に示す１次モードで超音波振動用信号を発振させるための接続ユニットであり、図５に示す第２の接続ユニット（接続ユニットＢ）５９は、図６に示す３次モード（３倍波）で超音波振動用信号を発振させるための接続ユニットであり、図５に示す第３の接続ユニット（接続ユニットＣ）６０は、図６に示す５次モード（５倍波）で超音波振動用信号を発振させるための接続ユニットである。
【００５１】
第１乃至第３の接続ユニット５８〜６０それぞれは振動子６１に着脱可能且つ接続可能に構成されている。
【００５２】
上記第５の実施形態においても第２及び第３の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００５３】
さらに、本実施形態では、１次モードの周波数（例えば３０ｋＨｚ）の超音波振動を洗浄液に与える際は第１の接続ユニット５８を発振器本体２４に接続し、３次モードの周波数（例えば９０ｋＨｚ）の超音波振動を洗浄液に与える際は第２の接続ユニット５９を発振器本体２４に接続し、５次モードの周波数（例えば１５０ｋＨｚ）の超音波振動を洗浄液に与える際は第３の接続ユニット６０を発振器本体２４に接続する。これにより、超音波の周波数を１次モード、３次モード及び５次モードのいずれかに変更する場合に、従来技術では発振器本体も交換しなければならなかったのに対し、本実施形態では、発振器本体を交換することなく、接続ユニットだけを交換することで実現することができる。
【００５４】
なお、上記第５の実施形態では、１次モード、３次モード及び５次モードそれぞれの周波数で振動させる際の振動子６１を共通にしているが、１次モード、３次モード及び５次モードそれぞれの周波数で振動させる際の振動子をそれぞれ別々に用意しても良い。
【００５５】
また、上記第５の実施形態では、１次モード、３次モード及び５次モードの３つの周波数で振動させるように構成しているが、１次モード、３次モード、５次モード、７次モード・・・の４つ以上の周波数で振動させるように構成することも可能である。
【００５６】
（第６の実施形態）
図７は、本発明の第６の実施形態による超音波振動装置の構成を示す模式図であり、図５と同一部分には同一符号を付し、異なる部分についてのみ説明する。
【００５７】
接続ユニット６４は発振器本体２４に電気的に接続されている。接続ユニット６４は、第１の接続回路（接続回路Ａ）６８、第２の接続回路（接続回路Ｂ）６９、第３の接続回路（接続回路Ｃ）７０、第１及び第２の切換スイッチ６７，７１からなる切換スイッチを有している。
【００５８】
第１及び第２の切換スイッチ６７，７１それぞれは、発振器本体２４に電気的に接続されており、発振器本体２４の制御部から制御信号６６によってスイッチの切換が制御されている。第２の切換スイッチ７１は振動子６１に電気的に接続されている。
【００５９】
第１の切換スイッチ６７は第１乃至第３の接続回路６８〜７０それぞれに電気的に接続されており、第１乃至第３の接続回路６８〜７０それぞれは第２の切換スイッチ７１に電気的に接続されている。つまり、第１及び第２の切換スイッチ６７，７１によって発振器本体２４及び振動子６１それぞれを第１乃至第３の接続回路６８〜７０のいずれに接続するかを制御している。
【００６０】
第１乃至第３の接続回路６８〜７０それぞれは、第５の実施形態のように互いに異なる周波数で振動子６１を振動させる回路である。詳細には、第１の接続回路６８は、図６に示す１次モードで超音波振動用信号を発振させるための回路であり、第２の接続回路６９は、図６に示す３次モード（３倍波）で超音波振動用信号を発振させるための回路であり、第３の接続回路７０は、図６に示す５次モード（５倍波）で超音波振動用信号を発振させるための回路である。
【００６１】
上記第６の実施形態においても第５の実施形態と同様の効果を得ることができる。
詳細には、１次モードの周波数（例えば３０ｋＨｚ）の超音波振動を洗浄液に与える際は第１の接続回路６８を発振器本体２４に接続するように切換スイッチを制御し、３次モードの周波数（例えば９０ｋＨｚ）の超音波振動を洗浄液に与える際は第２の接続回路６９を発振器本体２４に接続するように切換スイッチを制御し、５次モードの周波数（例えば１５０ｋＨｚ）の超音波振動を洗浄液に与える際は第３の接続回路７０を発振器本体２４に接続するように切換スイッチを制御する。これにより、超音波の周波数を１次モード、３次モード及び５次モードのいずれかに変更する場合に、従来技術では発振器本体も交換しなければならなかったのに対し、本実施形態では、切換スイッチを制御信号６６によって制御するだけで実現することができる。
【００６２】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することが可能である。例えば、第６の実施形態における切換スイッチをリレーに変更して実施することも可能である。
【００６３】
上記実施形態を互いに組み合わせて実施することも可能であり、例えば、第４の実施形態と第６の実施形態を組み合わせて実施することも可能である。詳細には、第４の実施形態における発振器本体２４に第１乃至第３の接続ユニットのいずれかを接続するところを切換スイッチによって切換えることで実施することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の第１の実施形態による超音波振動装置の構成を示す概略図である。
【図２】本発明の第２の実施形態による超音波振動装置の構成を示す模式図である。
【図３】本発明の第３の実施形態による超音波振動装置の構成を示す模式図である。
【図４】本発明の第４の実施形態による超音波振動装置の構成を示す模式図である。
【図５】本発明の第５の実施形態による超音波振動装置の構成を示す模式図である。
【図６】振動子の高次駆動を行う概念図である。
【図７】本発明の第６の実施形態による超音波振動装置の構成を示す模式図である。
【図８】従来の超音波振動装置の構成を示す模式図である。
【符号の説明】
【００６５】
１，２４…発振器本体
２，２８…信号発生器
３，２９…ドライバ
４，３０…アンプ
５…第１の出力調整回路
６，２７…制御部
７…第２の出力調整回路
８，２６，６１…振動子
２０…電圧検出器
２５，６４…接続ユニット
２５ａ〜２５ｃ，５８〜６０…第１〜第３の接続ユニット（接続ユニットＡ〜Ｃ）
２６ａ〜２６ｃ…第１〜第３の振動子（振動子Ａ〜Ｃ）
３１，３２，３６，３７…コネクタ
３３…出力トランス
３４…コイル・コンデンサ
３５…電流検出器
６６…制御信号
６７…第１の切換スイッチ
６８〜７０…第１〜第３の接続回路（接続回路Ａ〜Ｃ）
７１…第２の切換スイッチ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被洗浄物を洗浄する洗浄液に超音波振動を与える超音波振動装置等に係わり、特に、発振器本体の内部の調整又は発振器本体を交換することなく、同一周波数の振動子又は異なる周波数の振動子に交換できる出力調整回路、超音波振動装置用部品及び超音波振動装置等に関する。
【背景技術】
【０００２】
図８は、従来の超音波振動装置の構成を示す模式図である。この超音波振動装置は、超音波洗浄機の一部を構成するものであり、被洗浄物（図示せず）を洗浄液（図示せず）により洗浄する際に前記洗浄液に超音波振動を与えるための装置である。この装置は、発振器本体３８と、この発振器本体３８にコネクタ４８，４９によって接続される振動子３９とを有している。
【０００３】
前記超音波洗浄機は、発振器本体３８から超音波振動用信号が発振され、その超音波振動用信号が振動子３９に伝達され、その振動子３９によって発生させた超音波振動が前記洗浄液に与えられることで被洗浄物を洗浄する装置である。
【０００４】
発振器本体３８は信号発生器４１を有しており、この信号発生器４１はドライバ４２に電気的に接続されている。ドライバ４２はアンプ４３に電気的に接続されており、アンプ４３は出力トランス４４に電気的に接続されている。出力トランス４４はコイル・コンデンサ４５に電気的に接続されており、コイル・コンデンサ４５は電流検出器４６に電気的に接続されている。電流検出器４６及びコイル・コンデンサ４５それぞれは電圧検出器４７に電気的に接続されており、電圧検出器４７はコネクタ４８に電気的に接続されている。また、信号発生器４１、ドライバ４２、アンプ４３、電流検出器４６及び電圧検出器４７それぞれは制御部４０に電気的に接続されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、振動子３９は、その形状や周波数により電気的な特性が大きく異なっている。そのため、振動子３９の種類毎に発振器本体３８の駆動回路を大幅に変更する必要がある。また、振動子３９の種類が同一であっても、その個体差による電気的特性のバラツキが存在するため、振動子３９を取り替える際には発振器本体３８の内部に調整が必要な箇所が発生する。
【０００６】
このようなことから、上記従来の超音波振動装置では、振動子が故障した場合に、故障した振動子を同一周波数の他の振動子に交換するだけでは修理することができず、振動子３９の交換とともに発振器本体３８の内部の調整が必要となる。また、例えば洗浄レシピの変更により超音波の周波数を変更する場合に、使用している振動子をそれと異なる周波数の振動子に交換するだけでは周波数を変更できず、振動子３９の交換とともに発振器本体３８も交換することが必要となる。
【０００７】
本発明は上記のような事情を考慮してなされたものであり、その目的は、発振器本体の内部の調整又は発振器本体を交換することなく、同一周波数の振動子又は異なる周波数の振動子に交換できる出力調整回路、超音波振動装置用部品及び超音波振動装置等を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明に係る出力調整回路は、被洗浄物を洗浄する洗浄液に振動子から超音波振動を与える際に用いられ、前記振動子に超音波振動用信号を発振させる発振器本体に着脱可能に形成されることを特徴とする。
【０００９】
また、前記出力調整回路は、前記超音波振動用信号の出力を調整するための出力トランスと、
前記出力トランスに電気的に接続されたコイル・コンデンサと、
前記コイル・コンデンサに電気的に接続された電流検出器と、
を有することも可能である。
【００１０】
本発明に係る超音波振動装置用部品は、被洗浄物を洗浄する洗浄液に超音波振動を与える際に用いられ、超音波振動用信号を発振させる発振器本体に接続するための接続ユニットと、
前記接続ユニットに接続される振動子と、
を具備し、
前記接続ユニットは、
前記超音波振動用信号の出力を調整するための出力トランスと、
前記出力トランスに電気的に接続されたコイル・コンデンサと、
前記コイル・コンデンサに電気的に接続された電流検出器と、
を有することを特徴とする。
【００１１】
本発明に係る超音波振動装置は、被洗浄物を洗浄する洗浄液に超音波振動を与えるための超音波振動装置において、
超音波振動用信号を発振させる発振器本体と、
前記発振器本体に着脱可能に接続される接続ユニットと、
前記接続ユニットに接続される振動子と、
を具備し、
前記接続ユニットは、
前記超音波振動用信号の出力を調整するための出力トランスと、
前記出力トランスに電気的に接続されたコイル・コンデンサと、
前記コイル・コンデンサに電気的に接続された電流検出器と、
を有することを特徴とする。
【００１２】
本発明に係る超音波振動装置は、被洗浄物を洗浄する洗浄液に超音波振動を与えるための超音波振動装置において、
第１乃至第３のモードのいずれかのモードで超音波振動用信号を発振させる発振器本体と、
前記発振器本体に着脱可能に接続される第１乃至第３の接続ユニットのいずれかの接続ユニットと、
前記いずれかの接続ユニットに接続される振動子と、
を具備し、
前記第１乃至第３の接続ユニットそれぞれは、
前記超音波振動用信号の出力を調整するための出力トランスと、
前記出力トランスに電気的に接続されたコイル・コンデンサと、
前記コイル・コンデンサに電気的に接続された電流検出器と、
を有し、
前記第１のモードで超音波振動用信号を前記発振器本体によって発振させる場合は前記発振器本体に前記第１の接続ユニットが接続され、
前記第２のモードで超音波振動用信号を前記発振器本体によって発振させる場合は前記発振器本体に前記第２の接続ユニットが接続され、
前記第３のモードで超音波振動用信号を前記発振器本体によって発振させる場合は前記発振器本体に前記第３の接続ユニットが接続されることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明に係る超音波振動装置において、前記接続ユニットは電圧検出器を有し、前記電圧検出器は前記電流検出器及び前記コイル・コンデンサに電気的に接続されることも可能である。
【００１４】
本発明に係る超音波振動装置は、被洗浄物を洗浄する洗浄液に超音波振動を与えるための超音波振動装置において、
第１乃至第３のモードのいずれかのモードで超音波振動用信号を発振させる発振器本体と、
前記発振器本体に電気的に接続された切換スイッチと、
前記切換スイッチに電気的に接続された第１乃至第３の接続回路と、
前記第１乃至第３の接続回路及び前記切換スイッチに電気的に接続された振動子と、
前記切換スイッチを制御する制御部と、
を具備し、
前記第１乃至第３の接続回路それぞれは、
前記超音波振動用信号の出力を調整するための出力トランスと、
前記出力トランスに電気的に接続されたコイル・コンデンサと、
前記コイル・コンデンサに電気的に接続された電流検出器と、
を有し、
前記制御部は、前記第１のモードで超音波振動用信号を前記発振器本体によって発振させる場合は前記発振器本体に前記第１の接続回路が接続され且つ前記第１の接続回路が前記振動子に接続されるように前記切換スイッチを制御し、前記第２のモードで超音波振動用信号を前記発振器本体によって発振させる場合は前記発振器本体に前記第２の接続回路が接続され且つ前記第２の接続回路が前記振動子に接続されるように前記切換スイッチを制御し、前記第３のモードで超音波振動用信号を前記発振器本体によって発振させる場合は前記発振器本体に前記第３の接続回路が接続され且つ前記第３の接続回路が前記振動子に接続されるように前記切換スイッチを制御することを特徴とする。
【００１５】
本発明に係る超音波振動装置は、被洗浄物を洗浄する洗浄液に超音波振動を与えるための超音波振動装置において、
第１乃至第３の周波数のいずれかで超音波振動用信号を発振させる発振器本体と、
前記発振器本体に電気的に接続された切換スイッチと、
前記切換スイッチに電気的に接続された第１乃至第３の接続回路と、
前記第１の接続回路に電気的に接続された第１の振動子と、
前記第２の接続回路に電気的に接続された第２の振動子と、
前記第３の接続回路に電気的に接続された第３の振動子と、
前記切換スイッチを制御する制御部と、
を具備し、
前記第１乃至第３の接続回路それぞれは、
前記超音波振動用信号の出力を調整するための出力トランスと、
前記出力トランスに電気的に接続されたコイル・コンデンサと、
前記コイル・コンデンサに電気的に接続された電流検出器と、
を有し、
前記制御部は、前記第１の周波数で前記第１の振動子を振動させる場合は前記発振器本体に前記第１の接続回路が接続されるように前記切換スイッチを制御し、前記第２の周波数で前記第２の振動子を振動させる場合は前記発振器本体に前記第２の接続回路が接続されるように前記切換スイッチを制御し、前記第３の周波数で前記第３の振動子を振動させる場合は前記発振器本体に前記第３の接続回路が接続されるように前記切換スイッチを制御することを特徴とする。
【００１６】
また、本発明に係る超音波振動装置において、前記発振器本体は、
信号発生器と、
前記信号発生器に電気的に接続されたドライバと、
前記ドライバに電気的に接続されたアンプと、
前記信号発生器、前記ドライバ及び前記アンプそれぞれに電気的に接続された制御部と、
を有することも可能である。
【発明の効果】
【００１７】
以上説明したように本発明によれば、発振器本体の内部の調整又は発振器本体を交換することなく、同一周波数の振動子又は異なる周波数の振動子に交換できる超音波振動装置用部品及び超音波振動装置等を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態による超音波振動装置の構成を示す概略図である。
【００１９】
図１に示す超音波振動装置は、超音波洗浄機の一部を構成するものであり、被洗浄物（図示せず）を洗浄液（図示せず）により洗浄する際に前記洗浄液に超音波振動を与えるための装置である。この装置は、発振器本体１と、この発振器本体１に着脱可能に取り付けられる第２の出力調整回路７と、第２の出力調整回路７に接続される振動子８とを有している。
【００２０】
前記超音波洗浄機は、発振器本体１から第２の出力調整回路７を通して超音波振動用信号が発振され、その超音波振動用信号が振動子８に伝達され、その振動子８によって発生させた超音波振動が前記洗浄液に与えられることで被洗浄物を洗浄する装置である。
【００２１】
発振器本体１は信号発生器（可変）１を有しており、この信号発生器１は複数の周波数の振動子に対応する信号を発生する発生器である。信号発生器１はドライバ３に電気的に接続されている。ドライバ３はアンプ４に電気的に接続されており、アンプ４は第１の出力調整回路５に電気的に接続されている。第１の出力調整回路５は振動子８の周波数に依存しない部分（共通部分）の回路を有している。また、信号発生器２、ドライバ３及びアンプ４それぞれは制御部６に電気的に接続されている。
【００２２】
第２の出力調整回路７が発振器本体１に取り付けられることにより、第２の出力調整回路７は第１の出力調整回路５及び制御部６それぞれに電気的に接続される。第２の出力調整回路７は振動子８の周波数に依存する部分の回路を有している。また、発振器本体１は、振動子８の周波数に依存しない部分の回路などによって構成されている。
【００２３】
前記超音波振動装置は、信号発生器２によって発生させた信号が、ドライバ３によって駆動され、アンプ４によって増幅され、第１及び第２の出力調整回路５，７によって出力調整され、それによって超音波振動用信号が振動子８に出力されるように構成されており、制御部６が信号発生器２、ドライバ３、アンプ４及び第２の出力調整回路７それぞれを制御するように構成されている。
【００２４】
上記超音波振動装置によれば、発振器本体１から第２の出力調整回路７及び振動子８を取り外すことが可能に構成している。これにより、洗浄レシピの変更により超音波の周波数を変更する場合に、使用している振動子をそれと異なる周波数の振動子に交換する際に、第２の出力調整回路７及び振動子８だけを交換することで周波数を変更することが可能となる。従って、洗浄工程の複雑化・精密化により、頻繁に洗浄レシピを変更することに容易に対応することが可能となる。
【００２５】
詳細には、振動子８の周波数により電気的な特性が大きく異なるために異なる周波数の振動子に交換する際に大幅に変更する必要がある回路を、第２の出力調整回路７として形成し、この第２の出力調整回路７を振動子８とともに取り外し可能としている。従って、周波数の異なる振動子に交換する際に、発振器本体１を交換することなく、第２の出力調整回路７及び振動子８だけを交換することで周波数を変更することが可能となる。
【００２６】
また、振動子８が故障した場合に、故障した振動子を同一周波数の他の振動子に交換する際に、第２の出力調整回路７及び振動子８だけを交換することで修理することが可能となる。
【００２７】
詳細には、振動子の種類が同一であっても、その個体差による電気的特性のバラツキが存在するために振動子を交換する際に調整が必要とされる回路は、第２の出力調整回路（周波数依存部分）７に含まれている。従って、第２の出力調整回路７を振動子８とともに取り外し可能とすることにより、故障した振動子を他の振動子に交換する際に、発振器本体１を交換することなく、第２の出力調整回路７及び振動子８だけを交換することで修理することが可能となる。
【００２８】
なお、上記第１の実施形態では、第２の出力調整回路７に振動子８が接続されており、発振器本体１から第２の出力調整回路７及び振動子８を取り外すことが可能な構成としているが、発振器本体１に振動子８が着脱可能に取り付けられており、発振器本体１から第２の出力調整回路７だけを取り外すことが可能な構成としても良い。この場合は、第２の出力調整回路７を発振器本体１に取り付けることにより、第２の出力調整回路７は第１の出力調整回路５、制御部６及び振動子８それぞれと電気的に接続されることになる。
【００２９】
（第２の実施形態）
図２は、本発明の第２の実施形態による超音波振動装置の構成を示す模式図である。この超音波振動装置は、超音波洗浄機の一部を構成するものであり、被洗浄物（図示せず）を洗浄液（図示せず）により洗浄する際に前記洗浄液に超音波振動を与えるための装置である。この装置は、発振器本体２４と、この発振器本体２４に着脱可能に取り付けられる接続ユニット２５と、この接続ユニット２５に着脱可能に接続される振動子２６とを有している。
【００３０】
前記超音波洗浄機は、発振器本体２４から接続ユニット２５を通して超音波振動用信号が発振され、その超音波振動用信号が振動子２６に伝達され、その振動子２６によって発生させた超音波振動が前記洗浄液に与えられることで被洗浄物を洗浄する装置である。
【００３１】
発振器本体２４は信号発生器２８を有しており、この信号発生器２８は複数の周波数の振動子に対応する信号を発生する発生器である。信号発生器２８はドライバ２９に電気的に接続されている。ドライバ２９はアンプ３０に電気的に接続されており、アンプ３０はコネクタ３１に電気的に接続されている。また、信号発生器２８、ドライバ２９、アンプ３０及びコネクタ３１それぞれは制御部２７に電気的に接続されている。
【００３２】
接続ユニット２５はコネクタ３２を有しており、このコネクタ３２は出力トランス３３及び電流検出器３５に電気的に接続されている。出力トランス３３はコイル・コンデンサ３４に電気的に接続されており、コイル・コンデンサ３４は電流検出器３５及びコネクタ３６それぞれに電気的に接続されている。
【００３３】
発振器本体２４と接続ユニット２５はコネクタ３１，３２によって電気的に接続されるように構成されており、接続ユニット２５と振動子２６はコネクタ３６，３７によって電気的に接続されるように構成されている。
【００３４】
接続ユニット２５は振動子２６の周波数に依存する部分の回路を有している。また、発振器本体２４は、振動子２６の周波数に依存しない部分の回路などによって構成されている。
【００３５】
前記超音波振動装置は、信号発生器２８によって発生させた信号が、ドライバ２９によって駆動され、アンプ３０によって増幅され、出力トランス３３及びコイル・コンデンサ３４によって出力調整され、それによって超音波振動用信号が振動子２６に出力されるように構成されており、電流検出器３５によって検出された電流値を参照しつつ制御部２７が信号発生器２８、ドライバ２９及びアンプ３０それぞれを制御するように構成されている。
【００３６】
上記超音波振動装置によれば、発振器本体２４から接続ユニット２５及び振動子２６を取り外すことが可能に構成している。これにより、洗浄レシピの変更により超音波の周波数を変更する場合に、使用している振動子をそれと異なる周波数の振動子に交換する際に、接続ユニット２５及び振動子２６だけを交換することで周波数を変更することが可能となる。従って、洗浄工程の複雑化・精密化により、頻繁に洗浄レシピを変更することに容易に対応することが可能となる。
【００３７】
詳細には、振動子２６の周波数により電気的な特性が大きく異なるために異なる周波数の振動子に交換する際に大幅に変更する必要がある回路は、出力トランス３３及びコイル・コンデンサ３４である。これら出力トランス３３及びコイル・コンデンサ３４を有する接続ユニット２５を振動子２６とともに発振器本体２４から取り外し可能としている。従って、周波数の異なる振動子に交換する際に、発振器本体２４を交換することなく、接続ユニット２５及び振動子２６だけを交換することで周波数を変更することが可能となる。
【００３８】
また、振動子２６が故障した場合に、故障した振動子を同一周波数の他の振動子に交換する際に、接続ユニット２５及び振動子２６だけを交換することで修理することが可能となる。
【００３９】
詳細には、振動子の種類が同一であっても、その個体差による電気的特性のバラツキが存在するために振動子を交換する際に調整が必要とされる回路は、出力トランス３３及びコイル・コンデンサ３４である。これら出力トランス３３及びコイル・コンデンサ３４を有する接続ユニット２５を振動子２６とともに発振器本体２４から取り外し可能としている。従って、故障した振動子を他の振動子に交換する際に、発振器本体２４を交換することなく、接続ユニット２５及び振動子２６だけを交換することで修理することが可能となる。
【００４０】
（第３の実施形態）
図３は、本発明の第３の実施形態による超音波振動装置の構成を示す模式図であり、図２と同一部分には同一符号を付し、異なる部分についてのみ説明する。
【００４１】
接続ユニット２５は電圧検出器２０を有しており、この電圧検出器２０はコネクタ３２に電気的に接続されている。
【００４２】
前記超音波振動装置は、電流検出器３５及び電圧検出器２０それぞれによって検出された電流値及び電圧値を参照しつつ制御部２７が信号発生器２８、ドライバ２９及びアンプ３０それぞれを制御するように構成されている。
【００４３】
上記超音波振動装置においても第２の実施形態と同様の効果を得ることができる。
また、接続ユニット２５が電圧検出器２０を有することにより、制御部２７によって信号発生器２８、ドライバ２９及びアンプ３０をより精度良く制御することが可能となる。
【００４４】
（第４の実施形態）
図４は、本発明の第４の実施形態による超音波振動装置の構成を示す模式図であり、図２及び図３と同一部分には同一符号を付し、異なる部分についてのみ説明する。
【００４５】
第１の周波数で振動する第１の振動子（振動子Ａ）２６ａと、第２の周波数で振動する第２の振動子（振動子Ｂ）２６ｂと、第３の周波数で振動する第３の振動子（振動子Ｃ）２６ｃを用意する。第１乃至第３の周波数は互いに異なる周波数である。第１の振動子２６ａには第１の接続ユニット（接続ユニットＡ）２５ａが接続されている。第２の振動子２６ｂには第２の接続ユニット（接続ユニットＢ）２５ｂが接続されている。第３の振動子２６ｃには第３の接続ユニット（接続ユニットＣ）２５ｃが接続されている。
【００４６】
上記第４の実施形態においても第２及び第３の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００４７】
さらに、本実施形態では、第１の周波数の超音波振動を洗浄液に与える際は第１の接続ユニット２５ａを発振器本体２４に接続し、第２の周波数の超音波振動を洗浄液に与える際は第２の接続ユニット２５ｂを発振器本体２４に接続し、第３の周波数の超音波振動を洗浄液に与える際は第３の接続ユニット２５ｃを発振器本体２４に接続する。これにより、超音波の周波数を変更する場合に、従来技術では発振器本体も交換しなければならなかったのに対し、本実施形態では、発振器本体を交換することなく、接続ユニット及び振動子だけを交換することで実現することができる。
【００４８】
（第５の実施形態）
図５は、本発明の第５の実施形態による超音波振動装置の構成を示す模式図であり、図４と同一部分には同一符号を付し、異なる部分についてのみ説明する。
【００４９】
図５に示す超音波振動装置は、一つの振動子６１で３つの周波数による駆動を行うものである。このような振動子の高次駆動を行う概念を図６に示す。
【００５０】
図５に示す第１の接続ユニット（接続ユニットＡ）５８は、図６に示す１次モードで超音波振動用信号を発振させるための接続ユニットであり、図５に示す第２の接続ユニット（接続ユニットＢ）５９は、図６に示す３次モード（３倍波）で超音波振動用信号を発振させるための接続ユニットであり、図５に示す第３の接続ユニット（接続ユニットＣ）６０は、図６に示す５次モード（５倍波）で超音波振動用信号を発振させるための接続ユニットである。
【００５１】
第１乃至第３の接続ユニット５８〜６０それぞれは振動子６１に着脱可能且つ接続可能に構成されている。
【００５２】
上記第５の実施形態においても第２及び第３の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００５３】
さらに、本実施形態では、１次モードの周波数（例えば３０ｋＨｚ）の超音波振動を洗浄液に与える際は第１の接続ユニット５８を発振器本体２４に接続し、３次モードの周波数（例えば９０ｋＨｚ）の超音波振動を洗浄液に与える際は第２の接続ユニット５９を発振器本体２４に接続し、５次モードの周波数（例えば１５０ｋＨｚ）の超音波振動を洗浄液に与える際は第３の接続ユニット６０を発振器本体２４に接続する。これにより、超音波の周波数を１次モード、３次モード及び５次モードのいずれかに変更する場合に、従来技術では発振器本体も交換しなければならなかったのに対し、本実施形態では、発振器本体を交換することなく、接続ユニットだけを交換することで実現することができる。
【００５４】
なお、上記第５の実施形態では、１次モード、３次モード及び５次モードそれぞれの周波数で振動させる際の振動子６１を共通にしているが、１次モード、３次モード及び５次モードそれぞれの周波数で振動させる際の振動子をそれぞれ別々に用意しても良い。
【００５５】
また、上記第５の実施形態では、１次モード、３次モード及び５次モードの３つの周波数で振動させるように構成しているが、１次モード、３次モード、５次モード、７次モード・・・の４つ以上の周波数で振動させるように構成することも可能である。
【００５６】
（第６の実施形態）
図７は、本発明の第６の実施形態による超音波振動装置の構成を示す模式図であり、図５と同一部分には同一符号を付し、異なる部分についてのみ説明する。
【００５７】
接続ユニット６４は発振器本体２４に電気的に接続されている。接続ユニット６４は、第１の接続回路（接続回路Ａ）６８、第２の接続回路（接続回路Ｂ）６９、第３の接続回路（接続回路Ｃ）７０、第１及び第２の切換スイッチ６７，７１からなる切換スイッチを有している。
【００５８】
第１及び第２の切換スイッチ６７，７１それぞれは、発振器本体２４に電気的に接続されており、発振器本体２４の制御部から制御信号６６によってスイッチの切換が制御されている。第２の切換スイッチ７１は振動子６１に電気的に接続されている。
【００５９】
第１の切換スイッチ６７は第１乃至第３の接続回路６８〜７０それぞれに電気的に接続されており、第１乃至第３の接続回路６８〜７０それぞれは第２の切換スイッチ７１に電気的に接続されている。つまり、第１及び第２の切換スイッチ６７，７１によって発振器本体２４及び振動子６１それぞれを第１乃至第３の接続回路６８〜７０のいずれに接続するかを制御している。
【００６０】
第１乃至第３の接続回路６８〜７０それぞれは、第５の実施形態のように互いに異なる周波数で振動子６１を振動させる回路である。詳細には、第１の接続回路６８は、図６に示す１次モードで超音波振動用信号を発振させるための回路であり、第２の接続回路６９は、図６に示す３次モード（３倍波）で超音波振動用信号を発振させるための回路であり、第３の接続回路７０は、図６に示す５次モード（５倍波）で超音波振動用信号を発振させるための回路である。
【００６１】
上記第６の実施形態においても第５の実施形態と同様の効果を得ることができる。
詳細には、１次モードの周波数（例えば３０ｋＨｚ）の超音波振動を洗浄液に与える際は第１の接続回路６８を発振器本体２４に接続するように切換スイッチを制御し、３次モードの周波数（例えば９０ｋＨｚ）の超音波振動を洗浄液に与える際は第２の接続回路６９を発振器本体２４に接続するように切換スイッチを制御し、５次モードの周波数（例えば１５０ｋＨｚ）の超音波振動を洗浄液に与える際は第３の接続回路７０を発振器本体２４に接続するように切換スイッチを制御する。これにより、超音波の周波数を１次モード、３次モード及び５次モードのいずれかに変更する場合に、従来技術では発振器本体も交換しなければならなかったのに対し、本実施形態では、切換スイッチを制御信号６６によって制御するだけで実現することができる。
【００６２】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することが可能である。例えば、第６の実施形態における切換スイッチをリレーに変更して実施することも可能である。
【００６３】
上記実施形態を互いに組み合わせて実施することも可能であり、例えば、第４の実施形態と第６の実施形態を組み合わせて実施することも可能である。詳細には、第４の実施形態における発振器本体２４に第１乃至第３の接続ユニットのいずれかを接続するところを切換スイッチによって切換えることで実施することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の第１の実施形態による超音波振動装置の構成を示す概略図である。
【図２】本発明の第２の実施形態による超音波振動装置の構成を示す模式図である。
【図３】本発明の第３の実施形態による超音波振動装置の構成を示す模式図である。
【図４】本発明の第４の実施形態による超音波振動装置の構成を示す模式図である。
【図５】本発明の第５の実施形態による超音波振動装置の構成を示す模式図である。
【図６】振動子の高次駆動を行う概念図である。
【図７】本発明の第６の実施形態による超音波振動装置の構成を示す模式図である。
【図８】従来の超音波振動装置の構成を示す模式図である。
【符号の説明】
【００６５】
１，２４…発振器本体
２，２８…信号発生器
３，２９…ドライバ
４，３０…アンプ
５…第１の出力調整回路
６，２７…制御部
７…第２の出力調整回路
８，２６，６１…振動子
２０…電圧検出器
２５，６４…接続ユニット
２５ａ〜２５ｃ，５８〜６０…第１〜第３の接続ユニット（接続ユニットＡ〜Ｃ）
２６ａ〜２６ｃ…第１〜第３の振動子（振動子Ａ〜Ｃ）
３１，３２，３６，３７…コネクタ
３３…出力トランス
３４…コイル・コンデンサ
３５…電流検出器
６６…制御信号
６７…第１の切換スイッチ
６８〜７０…第１〜第３の接続回路（接続回路Ａ〜Ｃ）
７１…第２の切換スイッチ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄物を洗浄する洗浄液に振動子から超音波振動を与える際に用いられ、前記振動子に超音波振動用信号を発振させる発振器本体に着脱可能に形成されることを特徴とする出力調整回路。
【請求項２】
請求項１に記載の出力調整回路は、前記超音波振動用信号の出力を調整するための出力トランスと、
前記出力トランスに電気的に接続されたコイル・コンデンサと、
前記コイル・コンデンサに電気的に接続された電流検出器と、
を有することを特徴とする超音波振動装置用部品。
【請求項３】
被洗浄物を洗浄する洗浄液に超音波振動を与える際に用いられ、超音波振動用信号を発振させる発振器本体に接続するための接続ユニットと、
前記接続ユニットに接続される振動子と、
を具備し、
前記接続ユニットは、
前記超音波振動用信号の出力を調整するための出力トランスと、
前記出力トランスに電気的に接続されたコイル・コンデンサと、
前記コイル・コンデンサに電気的に接続された電流検出器と、
を有することを特徴とする超音波振動装置用部品。
【請求項４】
被洗浄物を洗浄する洗浄液に超音波振動を与えるための超音波振動装置において、
超音波振動用信号を発振させる発振器本体と、
前記発振器本体に着脱可能に接続される接続ユニットと、
前記接続ユニットに接続される振動子と、
を具備し、
前記接続ユニットは、
前記超音波振動用信号の出力を調整するための出力トランスと、
前記出力トランスに電気的に接続されたコイル・コンデンサと、
前記コイル・コンデンサに電気的に接続された電流検出器と、
を有することを特徴とする超音波振動装置。
【請求項５】
被洗浄物を洗浄する洗浄液に超音波振動を与えるための超音波振動装置において、
第１乃至第３のモードのいずれかのモードで超音波振動用信号を発振させる発振器本体と、
前記発振器本体に着脱可能に接続される第１乃至第３の接続ユニットのいずれかの接続ユニットと、
前記いずれかの接続ユニットに接続される振動子と、
を具備し、
前記第１乃至第３の接続ユニットそれぞれは、
前記超音波振動用信号の出力を調整するための出力トランスと、
前記出力トランスに電気的に接続されたコイル・コンデンサと、
前記コイル・コンデンサに電気的に接続された電流検出器と、
を有し、
前記第１のモードで超音波振動用信号を前記発振器本体によって発振させる場合は前記発振器本体に前記第１の接続ユニットが接続され、
前記第２のモードで超音波振動用信号を前記発振器本体によって発振させる場合は前記発振器本体に前記第２の接続ユニットが接続され、
前記第３のモードで超音波振動用信号を前記発振器本体によって発振させる場合は前記発振器本体に前記第３の接続ユニットが接続されることを特徴とする超音波振動装置。
【請求項６】
請求項４又は５において、前記接続ユニットは電圧検出器を有し、前記電圧検出器は前記電流検出器及び前記コイル・コンデンサに電気的に接続されることを特徴とする超音波振動装置。
【請求項７】
被洗浄物を洗浄する洗浄液に超音波振動を与えるための超音波振動装置において、
第１乃至第３のモードのいずれかのモードで超音波振動用信号を発振させる発振器本体と、
前記発振器本体に電気的に接続された切換スイッチと、
前記切換スイッチに電気的に接続された第１乃至第３の接続回路と、
前記第１乃至第３の接続回路及び前記切換スイッチに電気的に接続された振動子と、
前記切換スイッチを制御する制御部と、
を具備し、
前記第１乃至第３の接続回路それぞれは、
前記超音波振動用信号の出力を調整するための出力トランスと、
前記出力トランスに電気的に接続されたコイル・コンデンサと、
前記コイル・コンデンサに電気的に接続された電流検出器と、
を有し、
前記制御部は、前記第１のモードで超音波振動用信号を前記発振器本体によって発振させる場合は前記発振器本体に前記第１の接続回路が接続され且つ前記第１の接続回路が前記振動子に接続されるように前記切換スイッチを制御し、前記第２のモードで超音波振動用信号を前記発振器本体によって発振させる場合は前記発振器本体に前記第２の接続回路が接続され且つ前記第２の接続回路が前記振動子に接続されるように前記切換スイッチを制御し、前記第３のモードで超音波振動用信号を前記発振器本体によって発振させる場合は前記発振器本体に前記第３の接続回路が接続され且つ前記第３の接続回路が前記振動子に接続されるように前記切換スイッチを制御することを特徴とする超音波振動装置。
【請求項８】
被洗浄物を洗浄する洗浄液に超音波振動を与えるための超音波振動装置において、
第１乃至第３の周波数のいずれかで超音波振動用信号を発振させる発振器本体と、
前記発振器本体に電気的に接続された切換スイッチと、
前記切換スイッチに電気的に接続された第１乃至第３の接続回路と、
前記第１の接続回路に電気的に接続された第１の振動子と、
前記第２の接続回路に電気的に接続された第２の振動子と、
前記第３の接続回路に電気的に接続された第３の振動子と、
前記切換スイッチを制御する制御部と、
を具備し、
前記第１乃至第３の接続回路それぞれは、
前記超音波振動用信号の出力を調整するための出力トランスと、
前記出力トランスに電気的に接続されたコイル・コンデンサと、
前記コイル・コンデンサに電気的に接続された電流検出器と、
を有し、
前記制御部は、前記第１の周波数で前記第１の振動子を振動させる場合は前記発振器本体に前記第１の接続回路が接続されるように前記切換スイッチを制御し、前記第２の周波数で前記第２の振動子を振動させる場合は前記発振器本体に前記第２の接続回路が接続されるように前記切換スイッチを制御し、前記第３の周波数で前記第３の振動子を振動させる場合は前記発振器本体に前記第３の接続回路が接続されるように前記切換スイッチを制御することを特徴とする超音波振動装置。
【請求項９】
請求項４乃至８のいずれか一項において、前記発振器本体は、
信号発生器と、
前記信号発生器に電気的に接続されたドライバと、
前記ドライバに電気的に接続されたアンプと、
前記信号発生器、前記ドライバ及び前記アンプそれぞれに電気的に接続された制御部と、
を有することを特徴とする超音波振動装置。
【請求項１】
被洗浄物を洗浄する洗浄液に振動子から超音波振動を与える際に用いられ、前記振動子に超音波振動用信号を発振させる発振器本体に着脱可能に形成されることを特徴とする出力調整回路。
【請求項２】
請求項１に記載の出力調整回路は、前記超音波振動用信号の出力を調整するための出力トランスと、
前記出力トランスに電気的に接続されたコイル・コンデンサと、
前記コイル・コンデンサに電気的に接続された電流検出器と、
を有することを特徴とする超音波振動装置用部品。
【請求項３】
被洗浄物を洗浄する洗浄液に超音波振動を与える際に用いられ、超音波振動用信号を発振させる発振器本体に接続するための接続ユニットと、
前記接続ユニットに接続される振動子と、
を具備し、
前記接続ユニットは、
前記超音波振動用信号の出力を調整するための出力トランスと、
前記出力トランスに電気的に接続されたコイル・コンデンサと、
前記コイル・コンデンサに電気的に接続された電流検出器と、
を有することを特徴とする超音波振動装置用部品。
【請求項４】
被洗浄物を洗浄する洗浄液に超音波振動を与えるための超音波振動装置において、
超音波振動用信号を発振させる発振器本体と、
前記発振器本体に着脱可能に接続される接続ユニットと、
前記接続ユニットに接続される振動子と、
を具備し、
前記接続ユニットは、
前記超音波振動用信号の出力を調整するための出力トランスと、
前記出力トランスに電気的に接続されたコイル・コンデンサと、
前記コイル・コンデンサに電気的に接続された電流検出器と、
を有することを特徴とする超音波振動装置。
【請求項５】
被洗浄物を洗浄する洗浄液に超音波振動を与えるための超音波振動装置において、
第１乃至第３のモードのいずれかのモードで超音波振動用信号を発振させる発振器本体と、
前記発振器本体に着脱可能に接続される第１乃至第３の接続ユニットのいずれかの接続ユニットと、
前記いずれかの接続ユニットに接続される振動子と、
を具備し、
前記第１乃至第３の接続ユニットそれぞれは、
前記超音波振動用信号の出力を調整するための出力トランスと、
前記出力トランスに電気的に接続されたコイル・コンデンサと、
前記コイル・コンデンサに電気的に接続された電流検出器と、
を有し、
前記第１のモードで超音波振動用信号を前記発振器本体によって発振させる場合は前記発振器本体に前記第１の接続ユニットが接続され、
前記第２のモードで超音波振動用信号を前記発振器本体によって発振させる場合は前記発振器本体に前記第２の接続ユニットが接続され、
前記第３のモードで超音波振動用信号を前記発振器本体によって発振させる場合は前記発振器本体に前記第３の接続ユニットが接続されることを特徴とする超音波振動装置。
【請求項６】
請求項４又は５において、前記接続ユニットは電圧検出器を有し、前記電圧検出器は前記電流検出器及び前記コイル・コンデンサに電気的に接続されることを特徴とする超音波振動装置。
【請求項７】
被洗浄物を洗浄する洗浄液に超音波振動を与えるための超音波振動装置において、
第１乃至第３のモードのいずれかのモードで超音波振動用信号を発振させる発振器本体と、
前記発振器本体に電気的に接続された切換スイッチと、
前記切換スイッチに電気的に接続された第１乃至第３の接続回路と、
前記第１乃至第３の接続回路及び前記切換スイッチに電気的に接続された振動子と、
前記切換スイッチを制御する制御部と、
を具備し、
前記第１乃至第３の接続回路それぞれは、
前記超音波振動用信号の出力を調整するための出力トランスと、
前記出力トランスに電気的に接続されたコイル・コンデンサと、
前記コイル・コンデンサに電気的に接続された電流検出器と、
を有し、
前記制御部は、前記第１のモードで超音波振動用信号を前記発振器本体によって発振させる場合は前記発振器本体に前記第１の接続回路が接続され且つ前記第１の接続回路が前記振動子に接続されるように前記切換スイッチを制御し、前記第２のモードで超音波振動用信号を前記発振器本体によって発振させる場合は前記発振器本体に前記第２の接続回路が接続され且つ前記第２の接続回路が前記振動子に接続されるように前記切換スイッチを制御し、前記第３のモードで超音波振動用信号を前記発振器本体によって発振させる場合は前記発振器本体に前記第３の接続回路が接続され且つ前記第３の接続回路が前記振動子に接続されるように前記切換スイッチを制御することを特徴とする超音波振動装置。
【請求項８】
被洗浄物を洗浄する洗浄液に超音波振動を与えるための超音波振動装置において、
第１乃至第３の周波数のいずれかで超音波振動用信号を発振させる発振器本体と、
前記発振器本体に電気的に接続された切換スイッチと、
前記切換スイッチに電気的に接続された第１乃至第３の接続回路と、
前記第１の接続回路に電気的に接続された第１の振動子と、
前記第２の接続回路に電気的に接続された第２の振動子と、
前記第３の接続回路に電気的に接続された第３の振動子と、
前記切換スイッチを制御する制御部と、
を具備し、
前記第１乃至第３の接続回路それぞれは、
前記超音波振動用信号の出力を調整するための出力トランスと、
前記出力トランスに電気的に接続されたコイル・コンデンサと、
前記コイル・コンデンサに電気的に接続された電流検出器と、
を有し、
前記制御部は、前記第１の周波数で前記第１の振動子を振動させる場合は前記発振器本体に前記第１の接続回路が接続されるように前記切換スイッチを制御し、前記第２の周波数で前記第２の振動子を振動させる場合は前記発振器本体に前記第２の接続回路が接続されるように前記切換スイッチを制御し、前記第３の周波数で前記第３の振動子を振動させる場合は前記発振器本体に前記第３の接続回路が接続されるように前記切換スイッチを制御することを特徴とする超音波振動装置。
【請求項９】
請求項４乃至８のいずれか一項において、前記発振器本体は、
信号発生器と、
前記信号発生器に電気的に接続されたドライバと、
前記ドライバに電気的に接続されたアンプと、
前記信号発生器、前記ドライバ及び前記アンプそれぞれに電気的に接続された制御部と、
を有することを特徴とする超音波振動装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２０１０−７５８６７（Ｐ２０１０−７５８６７Ａ）
【公開日】平成２２年４月８日（２０１０．４．８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−２４７９７１（Ｐ２００８−２４７９７１）
【出願日】平成２０年９月２６日（２００８．９．２６）
【特許番号】特許第４４２１６６４号（Ｐ４４２１６６４）
【特許公報発行日】平成２２年２月２４日（２０１０．２．２４）
【出願人】（０００１２４９５９）株式会社カイジョー (83)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年４月８日（２０１０．４．８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年９月２６日（２００８．９．２６）
【特許番号】特許第４４２１６６４号（Ｐ４４２１６６４）
【特許公報発行日】平成２２年２月２４日（２０１０．２．２４）
【出願人】（０００１２４９５９）株式会社カイジョー (83)
【Ｆターム（参考）】
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