【課題】 洗浄対象物を分解せずに超音波洗浄を行う際に、洗浄時間を最適化することができる超音波洗浄装置及び方法を提供する。
【解決手段】実施形態の超音波洗浄装置は、内部に液体を保持している構造体３０に、所定の洗浄用周波数で洗浄用超音波を入射する洗浄用振動子１１ｂと、洗浄用周波数と異なる周波数である測定用超音波Ｐを入射する測定用送信振動子２１ｂと、反射波Ｐ１、Ｐ２を受信する測定用受信振動子２１ｂと、内面付着物３１の厚みを算出する制御部２３と、を備える。また、その洗浄方法は、洗浄用周波数帯で洗浄用超音波が前記構造体３０に入射される洗浄ステップ４１と、洗浄ステップ４１の最中に、測定用超音波が構造体３０に入射される測定用超音波入射ステップ４２と、測定用超音波の反射波が受信される反射波受信ステップ４３と、内面付着物３１の厚みが算出される算出ステップ４４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】超音波の放射面積を十分に確保し、超音波を均一に放射することができる超音波放射体を提供すること。
【解決手段】超音波放射体１５は、径方向に軸対称振動をする複数の振動体２１を備える。各振動体２１は、中心部に貫通孔２３を有し、その軸方向から見た平面視で正八角形状に形成されている。超音波放射体１５において、振動体２１の外面が接続された状態で該各振動体２１が複数行及び複数列からなるマトリクス状に規則正しく配列されている。超音波放射体１５は、行方向及び列方向において隣り合う振動体２１が交互に伸縮を繰り返すことにより各振動体２１から超音波を放射する。 （もっと読む）

【課題】従来の超音波洗浄装置において、微細気泡を含有する洗浄液を供給して、被洗浄物を洗浄する場合、洗浄液の微細気泡によって、超音波が減衰し、被洗浄物の表面に超音波が伝達せず、洗浄力が落ちてしまうという課題があった。
【解決手段】被洗浄物の一面に微細気泡を含有する第一の洗浄液を供給する第一の洗浄液供給経路と、前記被洗浄物の他面に微細気泡を含有しない第二の洗浄液を供給する第二の洗浄液供給経路と、前記被洗浄物の他面側から前記被洗浄物を通して前記第一の洗浄液と接する前記被洗浄物の一面に超音波を付与する超音波振動子とを有することを特徴とする超音波洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】被洗浄基板へのダメージの発生を抑えることができ、また、エレクトロニクス産業等で使用される高精密度の基板等に対して高清浄度の洗浄を行うことが可能な超音波洗浄装置及び超音波洗浄方法を提供すること。
【解決手段】被洗浄物を超音波振動子の振動面から延びた垂線の液面までの成す領域（超音波照射領域）外の洗浄液の液面下の近傍に位置するように保持して、超音波によって洗浄液の表面に表面張力波を励起させ、被洗浄物に超音波を直接照射することなしに、表面張力波による音圧によって被洗浄物の微粒子汚染物を剥離するようにして、被洗浄基板へのダメージの発生を抑える。 （もっと読む）

【課題】画像を表示する領域の表面を好適に洗浄することが可能な携帯電子機器を提供することを目的とする。
【解決手段】筐体を備えた携帯電子機器であって、筐体に配置された表示部と、表示部に重畳して配置されたタッチセンサとを備えるタッチパネルと、タッチパネルの動作を制御し、タッチパネルの操作を検出する操作検出モードとタッチパネルを洗浄する洗浄モードとを切り換える制御部と、を有し、タッチセンサは、対向して配置された２枚の板状の板状導電体を備える接触検出部と、接触検出部に電圧を印加し接触検出部に入力される操作を検出するセンサ制御部と、を備え、制御部は、洗浄モードを選択した場合、センサ制御部で接触検出部を超音波周波数で駆動し、２枚の板状導電体を振動させることにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】光学部品の洗浄装置において、超音波洗浄による光学部品の洗浄ムラの発生を抑制することができるようにする。
【解決手段】洗浄装置１を、被洗浄物Ｗを洗浄する洗浄液３が貯留された洗浄槽２と、超音波振動子４ａおよび超音波振動子４ａによる超音波振動を伝達してホーン先端面４ｃから放射するホーン４ｂを有し、洗浄液３に挿入されたホーン先端面４ｃの前方に超音波振動によるキャビテーションを生成するキャビテーション生成部４と、を備え、キャビテーション生成部４によって生成されたキャビテーションを被洗浄物Ｗに当てて洗浄を行う構成とする。 （もっと読む）

【課題】振動面の振動モードを均一化させて洗浄力を向上させる超音波振動子ユニットを提供する。
【解決手段】本発明の超音波振動子ユニットは、振動面１ａと、互いに隣り合い且つ振動面１ａに超音波振動を加える第１乃至第３の振動子５ａとを具備し、板状振動体１０の他方面は、第１乃至第３の第１領域３と、第１領域３それぞれを覆う第２領域４とを有し、第１乃至第３の振動子それぞれは第１領域３に配置され、第１乃至第３の振動子によって他方面内に作られる三角形の内側に位置し且つ第２領域４に位置する板状振動体１０の厚さは、第１乃至第３の第１領域３に位置する板状振動体の厚さより厚く形成され、第１乃至第３の振動子の相互の間隔はλ／２以上であり、第１領域３それぞれの外周は第１乃至第３の振動子それぞれからλ／４以上離れている。λは板状振動体の横波の波長である。 （もっと読む）

【課題】従来の超音波発振器に比べて部品数が低減され、それによって小型化され、またコストが安価となった超音波発振器及びそれを備えた超音波振動装置を提供する。
【解決手段】超音波振動子に高周波電力を出力する超音波発振器であって、少なくとも、高周波信号を発振する主発振ユニットと、該主発振ユニットの発振する高周波信号を入力し、高周波電力として出力する出力ユニットと、該高周波電力を変圧する出力トランスと、該変圧した高周波電力の周波数を調整して超音波振動子に出力するマッチング調整回路と、交流電源から入力した電力を直流として前記出力ユニットに供給する電源ユニットとを具備し、前記出力トランスとマッチング調整回路が一体となっているものであることを特徴とする超音波発振器。 （もっと読む）

【課題】超音波エネルギが調整可能な超音波洗浄ユニットを有する洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄装置は、被洗浄基板を回動させる保持台と、前記被洗浄基板表面に洗浄液を供給し、前記洗浄液の膜を形成する洗浄液ノズルと、前記洗浄液の膜中に超音波を照射する超音波照射ユニットと、を含み、前記超音波照射ユニットは、超音波発生源と、前記超音波発生源で発生された超音波エネルギを伝達する媒体と、前記洗浄液の膜中に挿入され、前記洗浄液の膜中に、前記媒体を伝達された超音波エネルギを放射する放射部材と、を含み、前記媒体は、前記超音波エネルギの伝搬経路に配置された一または複数の振動伝達ブロックよりなる超音波伝達部を含み、前記一または複数の振動伝達ブロックは、前記超音波エネルギの伝搬経路上に、保持手段により保持されて配置され、前記保持手段は、前記一又は複数の振動伝達ブロックの各々を、個別に着脱自在に保持し、前記超音波発生源と前記放射部材との間の距離が可変である。 （もっと読む）

本発明は、圧電素子の中心部で音圧が集中することなく広い面積に渡って均一な音圧が発生するようにし、被洗浄物に損傷を与えずに洗浄効率を高めることができる超音波精密洗浄装置に関する。本発明の超音波精密洗浄装置は、被洗浄物に洗浄液を供給する洗浄液供給装置と、セラミック体およびセラミック体の上部および下部にそれぞれ蒸着した上部電極、下部電極を備えて超音波を発生させる圧電素子と、圧電素子の端部に結合して被洗浄物と対向するように備えられ、圧電素子で発生する超音波を被洗浄物に伝達する超音波伝達体と、ハウジングと、電源線と、を含む超音波洗浄装置であって、圧電素子または超音波伝達体の中心には垂直ホールが形成される。
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工業部品を洗浄するための装置は、洗浄液を収容するための液体囲壁を定める液体容器と、洗浄液内の動作周波数及び波長を有し且つ２〜１０波長の間隔で液体容器の少なくとも一部に固定される超音波変換器とを有する。動作中、超音波変換器は、液体容器の構成部品受取り領域内で、液体容器の平均出力密度よりも大きい出力密度を生成する。
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【課題】超音波振動面を被洗浄物表面に近づけて処理する超音波洗浄装置で、被洗浄物に照射される超音波強度の均一性を上げ、かつ被洗浄物からの反射波の影響による発振器の不安定動作を防止し、さらに振動面−被洗浄物間での定在波の発生を抑えることで、被洗浄物のダメージを抑制し、安定かつ高い洗浄性能を得る。
【解決手段】超音波洗浄装置において、振動素子１２０と、超音波発振器１１０と、振動伝達材１３０と、洗浄液供給配管１４０とを備える。特に、振動伝達材１３０は、一端に振動素子１２０を配置し、他端に被洗浄物Ｗに対向する振動面１３１を配置し、かつ振動面１３１は被洗浄物Ｗに向かって少なくとも２個以上の微小突起１３２などの凹凸部を備える。そして、洗浄液１４１に凹凸部を有する振動面１３１を接触させて超音波を発生させる。 （もっと読む）

【課題】洗浄中での洗浄液の量を制御する洗浄システム及び洗浄方法を提供することを課題とする。
【解決手段】本実施例の洗浄システムは、洗浄の対象物の所定箇所に洗浄液を供給する供給部と、前記対象物に供給された前記洗浄液に接触して振動させる振動体と、前記洗浄液の量を監視する監視部と、前記監視部の監視結果に基づいて前記洗浄液の減少を検出し、前記洗浄液の減少を検出した場合には前記洗浄液に新たな洗浄液を補給するように前記供給部を制御する制御部と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 角型振動面と接合面との接合強度を向上させ、超音波振動子と振動板との接合強度を向上させることができる超音波洗浄装置を提供すること。
【解決手段】 超音波洗浄装置１００は、角型振動面１１１ａを有する超音波振動子１１０と、この角型振動面１１１ａが接合された接合領域１３０ｂｇを含む接合面１３０ｂを有する振動板１３０とを備える。超音波振動子１１０の角型振動面１１１ａと振動板１３０の接合領域１３０ｂｇとは、スタッドボルトを用いることなく、接着剤１４０により接合されており、角型振動面１１１ａ及び接合領域１３０ｂｇに、それぞれ所定パターンの凹溝１１１ａｖ，１３０ｂｖが形成されている。 （もっと読む）

【課題】超音波洗浄機に用いられている超音波振動子の出力にバラツキがある場合でも、洗浄対象物を適正に洗浄可能にする。
【解決手段】洗浄液に超音波振動を付与するための超音波振動子３０と、超音波振動子３０を駆動する駆動回路３４とを備える超音波洗浄機において、超音波振動子３０に流れる電流値を検出する電流検出回路４６と、所定のタイミングにおいて電流検出手段４６により検出された電流値に基づいて、洗浄時の超音波発生量を所定量とするべく、洗浄時における超音波振動子３０の駆動時間を変化させるように駆動回路３４を制御する上位基板３２とを設ける。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、１つのプログラムで複数の振動子タイプに対応することにより、コストを削減すると共に容易に振動子切換えを行うことができる超音波発振器を提供することにある。
【解決手段】本発明は、タイプの異なる複数種類の振動子１２と、前記振動子１２の種類に対応して設定するディップスイッチ１４と、前記振動子１２の種類別のパラメータが保存された保存部１６_１，１６_２，…，１６_ｎと、前記ディップスイッチ１４で設定された振動子１２の種類をプログラムで判定し、当該振動子用パラメータを前記保存部１６_１，１６_２，…，１６_ｎからプログラムで読み込んで処理して超音波を発振出力する制御部１５とを具備することを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】従来の超音波洗浄器の機能は、洗浄槽内の負荷条件が変化するとそれに伴い出力電力が変化するため、洗浄斑が発生していた。これを解決する手段として出力電力を一定に保つためにマニアルで周波数のチューニングを行っていた。このため自動装置に連動した超音波洗浄器で洗浄する場合の対応が困難であった。
【解決手段】洗浄層内の負荷条件が変化しても負荷条件に適合した周波数チューニングを自動的に行う機能を備え、かつ出力の高周波電流と電圧の位相を一致させる機能と一定の供給電流が得られるための定電流制御機能を備えることにより、安定した出力電力が供給出来ることにより、洗浄斑を防止できることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】基板のフォトリソグラフィー処理前に、基板の周縁部に付着した付着物を適切に除去する。
【解決手段】洗浄装置１は、ウェハＷを保持して回転させるスピンチャック２０を有している。洗浄装置１には、内部に常温より高い温度の純水を貯留する浸漬容器３０が設けられている。浸漬容器３０のウェハＷ側の側面には、ウェハＷの周縁部Ｂを挿入するための側面開口部３３が形成されている。浸漬容器３０は、高温の純水でウェハＷの周縁部Ｂを浸すことができる。洗浄装置１には、ウェハＷの周縁部Ｂに常温より高い温度の洗浄液を所定の圧力で吹き付ける第１の洗浄液ノズル５０と第２の洗浄液ノズル５１が設けられている。これらノズル５０、５１から供給される洗浄液は、洗浄液供給部７０で純水と不活性ガスが混合された洗浄液である。 （もっと読む）

【課題】複数の超音波振動子をそれよりも少ない数のドライブ回路で駆動する場合に、すべての超音波振動子について効率良く動作するタイミングを作り、かつ時間をかけずに洗浄する。
【解決手段】洗浄液に超音波振動を付与するための複数の超音波振動子と、前記超音波振動子を駆動する前記超音波振動子よりも少ない数のドライブ回路とを有して構成され、前記ドライブ回路は、前記複数の超音波振動子ごとに最も効率良く駆動できる周波数のばらつきの上限と下限との間の任意の周波数を設定可能であり、さらに該設定した周波数と前記ばらつきの中心の周波数を切り換えることができることを特徴とする超音波洗浄機における超音波振動子の駆動装置を提供することにより前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】プラスチックフィルムの表面に付着した数μｍという非常に微細な埃、フィルム片、汚れまでも連続的に除去することができるフィルムの洗浄システムを提供する。
【解決手段】走行するフィルム１２に、洗浄液を用いて洗浄を行う洗浄部３６と、洗浄した前記走行するフィルムの乾燥を行う乾燥部３８と、を備え、洗浄部３６は、フィルム１２を走行させながら該フィルム表裏面の少なくとも一方の面側に洗浄液を供給することにより、少なくとも一方の面に沿った水流で洗浄する構造であるようにする。 （もっと読む）