分子ポンプ
【課題】 ロータに近接して排気の吸入口を配置した構造の分子ポンプにおいて、異物の流入を阻止する目的で前記吸入口に設ける保護金網が、温度勾配による熱膨張に伴う座屈によりロータや動翼と接触事故を起こさないようにする。
【解決手段】 多数の長方形の網目６ｃからなり、各長方形の長辺の線素６ａの中央部に、隣接する長方形の長辺の線素６ａの先端部をＴ字状に直交させると共に、これら長方形を交互に連設して稲妻形の網目模様を有する保護金網６を形成し、該保護金網６をターボ分子ポンプ１の吸入口部５ａに設置した。
【解決手段】 多数の長方形の網目６ｃからなり、各長方形の長辺の線素６ａの中央部に、隣接する長方形の長辺の線素６ａの先端部をＴ字状に直交させると共に、これら長方形を交互に連設して稲妻形の網目模様を有する保護金網６を形成し、該保護金網６をターボ分子ポンプ１の吸入口部５ａに設置した。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高速で回転するロータを有して中真空から超高真空にわたる圧力範囲で使用されるターボ分子ポンプや複合分子ポンプ等の分子ポンプの吸気口部に保護金網を設置した分子ポンプの構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の複合分子ポンプの一例の縦断面図を図９に示した。
【０００３】
図９において、複合分子ポンプａはターボ分子ポンプ部ｂとねじ溝真空ポンプ部ｃとからなり、ｄが吸入口、ｅが排気出口である。
【０００４】
即ち、排気される装置側に吸入口ｄを接続し、ロータｆが高速回転を行って吸入口ｄから排気ガスを吸入し、排気出口ｅから該排気ガスを排出する。
【０００５】
吸入口ｄの部分には、異物の流入を阻止するための保護金網ｇを設置することがある。
【０００６】
これは、高速で回転するロータｂの動翼部にボルト、ナットや金属片等の異物が飛来して衝突し、これら動翼部やロータｂが破損するのを防止するためである。
【０００７】
従来のこの種の保護金網ｇは、厚さが０．３ｍｍ乃至１ｍｍ程度で、一辺の長さが１ｍｍ乃至５ｍｍ程度の角孔を多数有する図１０に示す如き網目のものが用いられていた。
【０００８】
尚、この網目の形成方法としては、ワイヤーの平織りによるもの、金属板にパンチングやエッチングによって孔を開けたもの等があり、平板状に形成されていた。
【０００９】
このような保護金網を用いた例として、例えば特許文献１や特許文献２がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開平１１−３３００８７号公報（第２図）
【特許文献２】特開平１１−２４７７９０号公報（第３図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
最近ではポンプのダウンサイジングの要求から分子ポンプの高さ寸法を小さくする必要がある。
【００１２】
このため、分子ポンプの吸入口がロータの先端部に近接して配置されるようになり、保護金網がロータの前端部に近接して設置されるようになった。
【００１３】
前記分子ポンプが取付けられる装置は、しばしば高温状態でプロセスを行なうため、高温ガスの流入や輻射熱の影響により、前記保護金網自体が高温になることがあった。
【００１４】
この時、保護金網に伝わる熱は均一ではなく、特にプロセス開始直後は保護金網に温度勾配が発生して、この温度勾配による熱膨張の差により、前記保護金網に局所的な伸びを生じるが、保護金網は上下方向にたわむことによりこの伸びを逃がすので、この結果、保護金網に座屈を生ずることがあった。この保護金網の座屈が該保護金網の下方へ向かって発生した場合には、該保護金網と前記ロータの前端部との距離が近いため、該保護金網と前記ロータの前端部とが接触事故を起こすことがあるという問題点があった。
【００１５】
前記ロータは高速で回転しているため、一瞬でも接触事故が起こると、保護金網の破損やロータの破損につながった。
【００１６】
本発明は前記の問題点を解消し、保護金網自体に温度勾配が生じても、該保護金網とロータとが接触事故を起こさないような構造の保護金網を有する分子ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明は上記の目的を達成すべく、第１発明としてロータに近接して排気の吸入口を配置した構造の分子ポンプにおいて、外周の丸いつば部と該つば部の内側の多数の小孔を有する網目部とからなり、前記つば部の内周を絞り加工により少許上方へ折り曲げて前記金網部に上向きのストレスを有する保護金網を形成し、該網目部は該網目部の膨張により上方に凸状に変形可能に形成され、前記保護金網を前記分子ポンプの吸入口部に設置したことを特徴としており、又第２発明としてロータに近接して排気の吸入口を配置した構造の分子ポンプにおいて、線膨張率の大きい金属からなる薄板の下面に線膨張率の小さい金属からなる薄板を重ねて張り合わせた複合板に多数のパンチ孔を設けて保護金網を形成し、該保護金網は該保護金網の熱膨張により上方に凸状に変形可能に形成され、該保護金網を前記分子ポンプの吸入口部に設置したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、分子ポンプの吸入口部に設置した保護金網が直近にあるロータ側に向かって曲がったり又は座屈して突出したりすることがないので、異物がロータ側に流入するのを防止すると共に該保護金網とロータとが接触するのを防止できる効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】実施例１のターボ分子ポンプの縦断面図である。
【図２】前記実施例１の一部保護金網の平面図である。
【図３】前記実施例１の保護金網の作用の説明図である。
【図４】実施例２のターボ分子ポンプの一部保護金網の一部斜視図である。
【図５】前記実施例２の保護金網の作用の説明図である。
【図６】実施例３のターボ分子ポンプの一部保護金網の平面図である。
【図７】前記実施例３の保護金網の前記図６におけるＡ−Ａ線截断面図である。
【図８】実施例４の保護金網の１部縦断面図である。
【図９】従来の複合分子ポンプの一例の縦断面図である。
【図１０】従来の保護金網の一例の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明の実施例を以下に示す。
【実施例１】
【００２１】
図１は第１発明の実施例のターボ分子ポンプ１の縦断面図であり、４はロータで、該ロータ４の外周部には多数の動翼４ａが放射状に且つ多段に設置されている。
【００２２】
５はケーシングで、該ケーシング５の上端部には排気の吸入口５ａがあり、該吸入口５ａにおいて排気が行なわれる側の装置と接続するようになっている。
【００２３】
本実施例では、該吸入口５ａを前記ロータ４の１段目の動翼４ａに近接して配置して、分子ポンプ１の全長が短くなるようにしている。
【００２４】
６は保護金網で、該保護金網６は、ボルト、ナットや金属片等の異物が飛び込んできてロータ４や動翼４ａを破損するのを防止する役割を有して、前記吸入口５ａの部分に嵌入設置されている。
【００２５】
尚、５ｂは排気出口で、該排気出口５ｂは前記ケーシング５の下方部に設置されている。
【００２６】
前記保護金網６の構造を示す平面図を図２に示した。
【００２７】
即ち、保護金網６は短い針金の線素６ａの組み合せからなる長方形の網目６ｃを交互に縦向き、横向きに連接して稲妻形の網目模様を形成しており、各網目６ｃの長方形の長辺の中央部には、隣接する網目６ｃの長方形の長辺の先端部がＴ字状に直交している。
【００２８】
該保護金網６は、外周のつば部６ｄを前記吸入口部５ａに嵌入して係止されている。
【００２９】
次に本実施例の保護金網６の作用及び効果について説明する。
【００３０】
該保護金網６はターボ分子ポンプ１の吸入口５ｄ部にあって、異物がロータ４側に飛び込んでくるのを防止する役目をしている。
【００３１】
該保護金網６は、網目６ｃを構成する縦横の線素６ａの長さが短いため、各線素での熱膨張の絶対量が小さく、また熱膨張による伸びは、各線素６ａがＴ字形に交叉する部位において、網目の長辺側が図３に示す如く「く」の字形に変形して逃げることができるので、保護金網６全体としては上下方向の変形を殆んど生じない。
【００３２】
このように保護金網６がロータ４や動翼４ａと接触するような膨出をすることがないので、安全である。
【実施例２】
【００３３】
図４は第２発明の実施例のターボ分子ポンプの吸入口部に設置されている保護金網７の一部の斜視図である。
【００３４】
尚、該複合分子ポンプは、前記実施例１における複合分子ポンプ１の保護金網６の代りに保護金網７を用いるようにした以外は、前記複合分子ポンプ１と同様の構造である。
【００３５】
該保護金網７は、互いに交差する板状の囲壁７ａを所定ピッチで連設して、該囲壁７ａの壁厚７ａ１よりも高い囲壁の高さ７ａ２で形成した四角形の升目７ｂからなる構造とし、その外周部を丸いつば部７ｃで囲んで、円形に形成した。
【００３６】
このように保護金網７は升目７ｂの高さ方向に強い剛性を持つ構造としたので、高さ方向への座屈は起き難く、囲壁７ａの熱膨張による伸びは図５に示す如く囲壁７ａがくの字状に変形して逃げることができる。
【００３７】
このように、本実施例の保護金網７がロータ４や動翼４ａと接触するような膨出をすることがないので、安全である。
【実施例３】
【００３８】
第３発明の実施例を図６及び図７により説明する。
【００３９】
図６は実施例３の保護金網８の平面図であり、該保護金網８のＡ−Ａ線截断面図を図７に示した。
【００４０】
前記保護金網８は、外周の丸いつば部８ａと該つば部８ａの内側の網目部８ｂとをエッチング等で一体形成した後、前記つば部８ａの内周８ｃを絞り加工により図７に示すように少許上方へ折り曲げて、前記網目部８ｂに上向きのストレスを発生させて膨出させ、中心部が少許上方へ円弧状に膨らんだ形状に形成されている。
【００４１】
前記保護金網８も、前記実施例１におけるターボ分子ポンプ１の保護金網６の代りに用いることができる。
【００４２】
前記保護金網８の網目部８ｂには、常に上方へのストレスがかかっているため、該網目部８ｂに熱膨張量の差により発生する座屈は上方へのストレスに促されて常に上方に凸の方向に起きることになる。
【００４３】
かくて、前記保護金網８は前記ロータ４や動翼４ａに接近することがなく、安全である。
【実施例４】
【００４４】
第４発明の実施例について図８により説明する。
【００４５】
本実施例の保護金網９は、線膨張率の大きい金属からなる薄板９ａの下面に線膨張率の小さい金属からなる薄板９ｂを重ねて貼り合わせた複合板に、多数のパンチ孔９ｃを設けて形成されている。
【００４６】
保護金網９の形状は、例えば図６に示す如き角孔を有するものであってもよい。
【００４７】
保護金網９を前記ターボ分子ポンプ１に使用した場合、加熱による膨張は、常に線膨張率の大きな上面側金属の方へ凸に膨張するので、該保護金網９が前記ロータ４や動翼４ａと接近することがなく、安全である。
【００４８】
尚、前記実施例はいずれもターボ分子ポンプの場合を示したが、これは複合分子ポンプであってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
本発明はターボ分子ポンプや複合分子ポンプ等の分子ポンプにおいて、特にダウンサイジングの要求から、ロータに近接して排気の吸入口を配置した構造の分子ポンプに有効である。
【符号の説明】
【００５０】
１ ターボ分子ポンプ
４ ロータ
５ａ 吸入口
６、７、８、９ 保護金網
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高速で回転するロータを有して中真空から超高真空にわたる圧力範囲で使用されるターボ分子ポンプや複合分子ポンプ等の分子ポンプの吸気口部に保護金網を設置した分子ポンプの構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の複合分子ポンプの一例の縦断面図を図９に示した。
【０００３】
図９において、複合分子ポンプａはターボ分子ポンプ部ｂとねじ溝真空ポンプ部ｃとからなり、ｄが吸入口、ｅが排気出口である。
【０００４】
即ち、排気される装置側に吸入口ｄを接続し、ロータｆが高速回転を行って吸入口ｄから排気ガスを吸入し、排気出口ｅから該排気ガスを排出する。
【０００５】
吸入口ｄの部分には、異物の流入を阻止するための保護金網ｇを設置することがある。
【０００６】
これは、高速で回転するロータｂの動翼部にボルト、ナットや金属片等の異物が飛来して衝突し、これら動翼部やロータｂが破損するのを防止するためである。
【０００７】
従来のこの種の保護金網ｇは、厚さが０．３ｍｍ乃至１ｍｍ程度で、一辺の長さが１ｍｍ乃至５ｍｍ程度の角孔を多数有する図１０に示す如き網目のものが用いられていた。
【０００８】
尚、この網目の形成方法としては、ワイヤーの平織りによるもの、金属板にパンチングやエッチングによって孔を開けたもの等があり、平板状に形成されていた。
【０００９】
このような保護金網を用いた例として、例えば特許文献１や特許文献２がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開平１１−３３００８７号公報（第２図）
【特許文献２】特開平１１−２４７７９０号公報（第３図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
最近ではポンプのダウンサイジングの要求から分子ポンプの高さ寸法を小さくする必要がある。
【００１２】
このため、分子ポンプの吸入口がロータの先端部に近接して配置されるようになり、保護金網がロータの前端部に近接して設置されるようになった。
【００１３】
前記分子ポンプが取付けられる装置は、しばしば高温状態でプロセスを行なうため、高温ガスの流入や輻射熱の影響により、前記保護金網自体が高温になることがあった。
【００１４】
この時、保護金網に伝わる熱は均一ではなく、特にプロセス開始直後は保護金網に温度勾配が発生して、この温度勾配による熱膨張の差により、前記保護金網に局所的な伸びを生じるが、保護金網は上下方向にたわむことによりこの伸びを逃がすので、この結果、保護金網に座屈を生ずることがあった。この保護金網の座屈が該保護金網の下方へ向かって発生した場合には、該保護金網と前記ロータの前端部との距離が近いため、該保護金網と前記ロータの前端部とが接触事故を起こすことがあるという問題点があった。
【００１５】
前記ロータは高速で回転しているため、一瞬でも接触事故が起こると、保護金網の破損やロータの破損につながった。
【００１６】
本発明は前記の問題点を解消し、保護金網自体に温度勾配が生じても、該保護金網とロータとが接触事故を起こさないような構造の保護金網を有する分子ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明は上記の目的を達成すべく、第１発明としてロータに近接して排気の吸入口を配置した構造の分子ポンプにおいて、外周の丸いつば部と該つば部の内側の多数の小孔を有する網目部とからなり、前記つば部の内周を絞り加工により少許上方へ折り曲げて前記金網部に上向きのストレスを有する保護金網を形成し、該網目部は該網目部の膨張により上方に凸状に変形可能に形成され、前記保護金網を前記分子ポンプの吸入口部に設置したことを特徴としており、又第２発明としてロータに近接して排気の吸入口を配置した構造の分子ポンプにおいて、線膨張率の大きい金属からなる薄板の下面に線膨張率の小さい金属からなる薄板を重ねて張り合わせた複合板に多数のパンチ孔を設けて保護金網を形成し、該保護金網は該保護金網の熱膨張により上方に凸状に変形可能に形成され、該保護金網を前記分子ポンプの吸入口部に設置したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、分子ポンプの吸入口部に設置した保護金網が直近にあるロータ側に向かって曲がったり又は座屈して突出したりすることがないので、異物がロータ側に流入するのを防止すると共に該保護金網とロータとが接触するのを防止できる効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】実施例１のターボ分子ポンプの縦断面図である。
【図２】前記実施例１の一部保護金網の平面図である。
【図３】前記実施例１の保護金網の作用の説明図である。
【図４】実施例２のターボ分子ポンプの一部保護金網の一部斜視図である。
【図５】前記実施例２の保護金網の作用の説明図である。
【図６】実施例３のターボ分子ポンプの一部保護金網の平面図である。
【図７】前記実施例３の保護金網の前記図６におけるＡ−Ａ線截断面図である。
【図８】実施例４の保護金網の１部縦断面図である。
【図９】従来の複合分子ポンプの一例の縦断面図である。
【図１０】従来の保護金網の一例の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明の実施例を以下に示す。
【実施例１】
【００２１】
図１は第１発明の実施例のターボ分子ポンプ１の縦断面図であり、４はロータで、該ロータ４の外周部には多数の動翼４ａが放射状に且つ多段に設置されている。
【００２２】
５はケーシングで、該ケーシング５の上端部には排気の吸入口５ａがあり、該吸入口５ａにおいて排気が行なわれる側の装置と接続するようになっている。
【００２３】
本実施例では、該吸入口５ａを前記ロータ４の１段目の動翼４ａに近接して配置して、分子ポンプ１の全長が短くなるようにしている。
【００２４】
６は保護金網で、該保護金網６は、ボルト、ナットや金属片等の異物が飛び込んできてロータ４や動翼４ａを破損するのを防止する役割を有して、前記吸入口５ａの部分に嵌入設置されている。
【００２５】
尚、５ｂは排気出口で、該排気出口５ｂは前記ケーシング５の下方部に設置されている。
【００２６】
前記保護金網６の構造を示す平面図を図２に示した。
【００２７】
即ち、保護金網６は短い針金の線素６ａの組み合せからなる長方形の網目６ｃを交互に縦向き、横向きに連接して稲妻形の網目模様を形成しており、各網目６ｃの長方形の長辺の中央部には、隣接する網目６ｃの長方形の長辺の先端部がＴ字状に直交している。
【００２８】
該保護金網６は、外周のつば部６ｄを前記吸入口部５ａに嵌入して係止されている。
【００２９】
次に本実施例の保護金網６の作用及び効果について説明する。
【００３０】
該保護金網６はターボ分子ポンプ１の吸入口５ｄ部にあって、異物がロータ４側に飛び込んでくるのを防止する役目をしている。
【００３１】
該保護金網６は、網目６ｃを構成する縦横の線素６ａの長さが短いため、各線素での熱膨張の絶対量が小さく、また熱膨張による伸びは、各線素６ａがＴ字形に交叉する部位において、網目の長辺側が図３に示す如く「く」の字形に変形して逃げることができるので、保護金網６全体としては上下方向の変形を殆んど生じない。
【００３２】
このように保護金網６がロータ４や動翼４ａと接触するような膨出をすることがないので、安全である。
【実施例２】
【００３３】
図４は第２発明の実施例のターボ分子ポンプの吸入口部に設置されている保護金網７の一部の斜視図である。
【００３４】
尚、該複合分子ポンプは、前記実施例１における複合分子ポンプ１の保護金網６の代りに保護金網７を用いるようにした以外は、前記複合分子ポンプ１と同様の構造である。
【００３５】
該保護金網７は、互いに交差する板状の囲壁７ａを所定ピッチで連設して、該囲壁７ａの壁厚７ａ１よりも高い囲壁の高さ７ａ２で形成した四角形の升目７ｂからなる構造とし、その外周部を丸いつば部７ｃで囲んで、円形に形成した。
【００３６】
このように保護金網７は升目７ｂの高さ方向に強い剛性を持つ構造としたので、高さ方向への座屈は起き難く、囲壁７ａの熱膨張による伸びは図５に示す如く囲壁７ａがくの字状に変形して逃げることができる。
【００３７】
このように、本実施例の保護金網７がロータ４や動翼４ａと接触するような膨出をすることがないので、安全である。
【実施例３】
【００３８】
第３発明の実施例を図６及び図７により説明する。
【００３９】
図６は実施例３の保護金網８の平面図であり、該保護金網８のＡ−Ａ線截断面図を図７に示した。
【００４０】
前記保護金網８は、外周の丸いつば部８ａと該つば部８ａの内側の網目部８ｂとをエッチング等で一体形成した後、前記つば部８ａの内周８ｃを絞り加工により図７に示すように少許上方へ折り曲げて、前記網目部８ｂに上向きのストレスを発生させて膨出させ、中心部が少許上方へ円弧状に膨らんだ形状に形成されている。
【００４１】
前記保護金網８も、前記実施例１におけるターボ分子ポンプ１の保護金網６の代りに用いることができる。
【００４２】
前記保護金網８の網目部８ｂには、常に上方へのストレスがかかっているため、該網目部８ｂに熱膨張量の差により発生する座屈は上方へのストレスに促されて常に上方に凸の方向に起きることになる。
【００４３】
かくて、前記保護金網８は前記ロータ４や動翼４ａに接近することがなく、安全である。
【実施例４】
【００４４】
第４発明の実施例について図８により説明する。
【００４５】
本実施例の保護金網９は、線膨張率の大きい金属からなる薄板９ａの下面に線膨張率の小さい金属からなる薄板９ｂを重ねて貼り合わせた複合板に、多数のパンチ孔９ｃを設けて形成されている。
【００４６】
保護金網９の形状は、例えば図６に示す如き角孔を有するものであってもよい。
【００４７】
保護金網９を前記ターボ分子ポンプ１に使用した場合、加熱による膨張は、常に線膨張率の大きな上面側金属の方へ凸に膨張するので、該保護金網９が前記ロータ４や動翼４ａと接近することがなく、安全である。
【００４８】
尚、前記実施例はいずれもターボ分子ポンプの場合を示したが、これは複合分子ポンプであってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
本発明はターボ分子ポンプや複合分子ポンプ等の分子ポンプにおいて、特にダウンサイジングの要求から、ロータに近接して排気の吸入口を配置した構造の分子ポンプに有効である。
【符号の説明】
【００５０】
１ ターボ分子ポンプ
４ ロータ
５ａ 吸入口
６、７、８、９ 保護金網
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロータに近接して排気の吸入口を配置した構造の分子ポンプにおいて、外周の丸いつば部と該つば部の内側の多数の小孔を有する網目部とからなり、前記つば部の内周を絞り加工により少許上方へ折り曲げて前記金網部に上向きのストレスを有する保護金網を形成し、該網目部は該網目部の膨張により上方に凸状に変形可能に形成され、前記保護金網を前記分子ポンプの吸入口部に設置したことを特徴とする分子ポンプ。
【請求項２】
ロータに近接して排気の吸入口を配置した構造の分子ポンプにおいて、線膨張率の大きい金属からなる薄板の下面に線膨張率の小さい金属からなる薄板を重ねて張り合わせた複合板に多数のパンチ孔を設けて保護金網を形成し、該保護金網は該保護金網の熱膨張により上方に凸状に変形可能に形成され、該保護金網を前記分子ポンプの吸入口部に設置したことを特徴とする分子ポンプ。
【請求項１】
ロータに近接して排気の吸入口を配置した構造の分子ポンプにおいて、外周の丸いつば部と該つば部の内側の多数の小孔を有する網目部とからなり、前記つば部の内周を絞り加工により少許上方へ折り曲げて前記金網部に上向きのストレスを有する保護金網を形成し、該網目部は該網目部の膨張により上方に凸状に変形可能に形成され、前記保護金網を前記分子ポンプの吸入口部に設置したことを特徴とする分子ポンプ。
【請求項２】
ロータに近接して排気の吸入口を配置した構造の分子ポンプにおいて、線膨張率の大きい金属からなる薄板の下面に線膨張率の小さい金属からなる薄板を重ねて張り合わせた複合板に多数のパンチ孔を設けて保護金網を形成し、該保護金網は該保護金網の熱膨張により上方に凸状に変形可能に形成され、該保護金網を前記分子ポンプの吸入口部に設置したことを特徴とする分子ポンプ。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公開番号】特開２０１０−１１６９２６（Ｐ２０１０−１１６９２６Ａ）
【公開日】平成２２年５月２７日（２０１０．５．２７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−４６２４７（Ｐ２０１０−４６２４７）
【出願日】平成２２年３月３日（２０１０．３．３）
【分割の表示】特願２００４−１６１４８４（Ｐ２００４−１６１４８４）の分割
【原出願日】平成１６年５月３１日（２００４．５．３１）
【出願人】（０００１４９１７０）株式会社大阪真空機器製作所 (38)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年５月２７日（２０１０．５．２７）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年３月３日（２０１０．３．３）
【分割の表示】特願２００４−１６１４８４（Ｐ２００４−１６１４８４）の分割
【原出願日】平成１６年５月３１日（２００４．５．３１）
【出願人】（０００１４９１７０）株式会社大阪真空機器製作所 (38)
【Ｆターム（参考）】
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