半導体ウエハの取り扱い方法
【課題】 着用者に接する防塵服の内側では塵埃が多く捕獲され、防塵服の外側では塵埃が付着し難く、かつ、強度にも優れた防塵服を提供することが本発明の目的である。
【解決手段】 防塵服の外表面では内表面に比べて塵埃を捕える空間が少なく、内表面では外表面に比べて塵埃を捕える空間が多くなるように、内表面には曲線状の繊維１２１乃至１２３が直線状の繊維１１１乃至１１５及び繊維１２４及び１２５より多く露出し、外表面には直線状の繊維１１１乃至１１５及び繊維１２４及び１２５が曲線状の繊維１２１乃至１２３より多く露出する構成とした防塵服である。
【解決手段】 防塵服の外表面では内表面に比べて塵埃を捕える空間が少なく、内表面では外表面に比べて塵埃を捕える空間が多くなるように、内表面には曲線状の繊維１２１乃至１２３が直線状の繊維１１１乃至１１５及び繊維１２４及び１２５より多く露出し、外表面には直線状の繊維１１１乃至１１５及び繊維１２４及び１２５が曲線状の繊維１２１乃至１２３より多く露出する構成とした防塵服である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、品質及び衛生的な観点から種々の塵埃を抑制する必要のあるクリーンルーム内で半導体ウエハを取り扱う方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
現在、クリーンルームは、様々な分野において利用されている。このクリーンルーム内で作業に従事する者は、ルーム内のクリーン度を維持する為に通常、防塵服と呼ばれる特殊な作業服を着用して作業を行う。このクリーンルームのクリーン度に対する要求は近年、様々な分野において非常に高まっている。
【０００３】
例えば、半導体分野におけるクリーンルームについては、半導体装置の微細化等に伴い米国連邦規格の「クラス１」程度のクリーン度が求められている。この「クラス１」とは、１立方フィート内に０．５μｍ以下の埃が１個以内しか存在しないことを示す。
【０００４】
このような高いレベルのクリーン度を維持する為、クリーンルームに関する提案、防塵服に関する提案等、種々の提案が様々な分野から行われている。例えば、防塵服に関する提案として、日本国特許公開公報である特開平３ー２６５３５号に示されたものがある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
これまでに提案された防塵服は、非常に高いレベルのクリーン度を要求されるクリーンルーム内で着用するには満足できるものではなかった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の目的は、着用者に接する防塵服の内側では塵埃が多く捕獲され、防塵服の外側では塵埃が付着し難く、かつ、強度にも優れた防塵服を提供することにある。
【０００７】
この目的を達成するために本願に示される種々の発明の内、代表的な発明が以下に示される。
【０００８】
本願の代表的な発明は、内表面には曲線状の繊維が直線状の繊維より多く露出し、外表面には直線状の繊維が曲線状の繊維より多く露出する構成とした防塵服である。
【０００９】
この構成により外表面では内表面に比べて塵埃を捕える空間が少なく、内表面では外表面に比べて塵埃を捕える空間が多くなる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、防塵服の外表面では内表面に比べて塵埃を捕える空間が少なく、内表面では外表面に比べて塵埃を捕える空間が多くなるので、着用者に接する防塵服の内側では塵埃が多く捕獲され、防塵服の外側では塵埃が付着し難く、かつ、強度にも優れた防塵服を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下に図面を参照しながら本発明の実施の形態が説明される。図１は第１の実施の形態を説明するための平面図であり、図２は第１の実施の形態を説明するための断面図である。図２は、図１中のＸーＸ’線、ＹーＹ’線における断面図である。これらの図面は防塵服を構成する生地の要部が拡大されて模式的に表されたものである。図１において図面の手前が防塵服の外側、図面の奥側が防塵服の内側である。図２において図面の上方向が防塵服の外側、図面の下側が防塵服の内側である。防塵服の内側とは、防塵服を着用する着用者の人体の側であり、外側とはその反対側の周囲の雰囲気に接する側である。より具体的には、内側は服の内表面（或は裏面）側であり、外側は服の外表面側である。
【００１２】
第１の実施の形態では、防塵服の生地１００は、第１の方向に延在する複数の繊維群１１０とその第１の方向と交わる第２の方向に延在する複数の繊維群１２０とが互いに織り込まれた構造である。図面の中では便宜的に繊維群と繊維群との間に一様な隙間が設けられているが、実際の生地においてこの隙間が必ずしも一様でないことは理解されるであろう。繊維群と繊維群とが完全に密着していることが理想であるが、ある部分では小さな隙間が存在していることも考えられる。以下の本実施の形態及び他の実施の形態においても一様の隙間が設けられた図を参照しながら説明が示される。
【００１３】
ここでは、第１の方向は図面の縦方向を意味し、第２の方向は第１の方向と実質的に直交する横方向を意味する。繊維同士の交わりは紙面上では直交するが、実際の生地の上では繊維同士が必ずしも直交するとは言い難い状況が想定されるので、ここでは第１方向及び第２方向という定義が用いられる。
【００１４】
複数の繊維群１１０は繊維群１１１乃至１１５から構成される。複数の繊維群１２０は繊維群１２１乃至１２５から構成される。
【００１５】
繊維群１１１乃至１１５及び繊維群１２１乃至１２５は、それぞれ複数の微小な繊維が束ねられた繊維群である。通常、この繊維群は糸と呼ばれることが多い。
【００１６】
繊維群１１１乃至１１５はそれぞれ直径１５〜２０μｍの直線状のポリエステル繊維が数本束ねられた集合体であり、各繊維群は直径５０〜１００μｍ程度の太さを有する。ここではポリエステル繊維が用いられたが、ナイロン等の他の材質の繊維を用いることも可能である。以下に示される繊維に関しても同様に他の材質を適宜選択できることは言うまでもない。
【００１７】
繊維群１２１乃至１２３はそれぞれ直径５〜１０μｍの曲線状のポリエステル繊維が数本束ねられた集合体であり、各繊維群は直径５０〜８０μｍ程度の太さを有する。ここで曲線状のポリエステル繊維とは、ウェーブ状あるいは波状に加工されたポリエステル繊維のことを示す。
【００１８】
この繊維群１２１乃至１２３の直径は、繊維群１１１乃至１１５の直径より細いことが望ましい。それぞれの繊維及び繊維群のサイズは材質等により異なることが予想されるが、縦方向の繊維群と横方向の繊維群との相対関係は上述のような関係になるように設計者が適宜選択できるであろう。
【００１９】
繊維群１２１と繊維群１２２との間には繊維群１２４が、繊維群１２２と繊維群１２３との間には繊維群１２５がそれぞれ配置されている。この繊維群１２４及び１２５は、上述の繊維群１１１乃至１１５と同様に、それぞれ直径１５〜２０μｍの直線状のポリエステル繊維が数本束ねられた集合体であり、各繊維群は直径５０〜１００μｍ程度の太さを有する。
【００２０】
次に、図１中のＸーＸ’線、ＹーＹ’線における断面図が示される図２を参照しながら、縦方向の繊維群と横方向の繊維群とが互いに織り込まれた構造が具体的に説明される。
【００２１】
繊維群１２１乃至１２３は防塵服の外側において１本の繊維群１１１を越えて防塵服の内側へと延在する。さらに、繊維群１２１乃至１２３は防塵服の内側において２本の繊維群１１２及び１１３を越えて外側へと延在する。さらに、繊維群１２１乃至１２３は防塵服の外側において１本の繊維群１１４を越えて防塵服の内側へと延在する。
【００２２】
繊維群１２４及び１２５は、防塵服の内側において繊維群１１１を越えて防塵服の外側へと延在する。さらに、繊維群１２４乃至１２５は防塵服の外側において２本の繊維群１１２及び１１３を越えて内側へと延在する。さらに、繊維群１２１乃至１２３は防塵服の内側において１本の繊維群１１４を越えて防塵服の外側へと延在する。
【００２３】
複数の繊維群１１０と複数の繊維群１２０とが以上のようなパターンを繰り返して織り込まれることにより、防塵服の生地１００が構成される。
【００２４】
図１及び図２より理解できるように、ＸーＸ’断面には直線状の繊維群（１１１乃至１１５及び１２４）のみが現われる。
【００２５】
この場合、繊維群１２４が防塵服の外側と内側に現われる割合は、外側が”２（繊維群１１２及び１１３上に延在する繊維群１２４）”であるのに対して、内側は”１（繊維群１１１上に延在する繊維群１２４）”である。繊維群１１１乃至１１３が防塵服の外側と内側に現われる割合は、外側が”１（繊維群１２４上に延在する繊維群１１１）”であるのに対して、内側は”２（繊維群１２４上に延在する繊維群１１２及び１１３）”である。
【００２６】
一方、ＹーＹ’断面には直線状の繊維群（１１１乃至１１５）及び曲線上の繊維群１２２が現われる。
【００２７】
この場合、繊維群１２２が防塵服の外側と内側に現われる割合は、外側が”１（繊維群１１１上に延在する繊維群１２２）”であるのに対して、内側は”２（繊維群１１２及び１１３上に延在する繊維群１２２）”である。繊維群１１１乃至１１３が防塵服の外側と内側に現われる割合は、外側が”２（繊維群１２２上に延在する繊維群１１２及び１１３）”であるのに対して、内側は”１（繊維群１２２上に延在する繊維群１１１）”である。
【００２８】
本実施の形態の生地１００は図１及び図２のようなパターンの繰り返しであるので、繊維群１１０が防塵服の外側と内側に現われる割合は３対３、すなわち、１対１になる。また、防塵服の外側に現われる曲線上の繊維群１２１乃至１２３と直線状の繊維群１２４及び１２５との割合は２対１であり、防塵服の内側に現われる曲線上の繊維群１２１乃至１２３と直線状の繊維群１２４及び１２５との割合は１対２である。
【００２９】
つまり、防塵服の外側には曲線状の繊維群より直線状の繊維群がより多く露出され、防塵服の内側には直線状の繊維群より曲線状の繊維群がより多く露出される。この実施の形態では、直線状の繊維群は曲線状の繊維群よりも径が大きいので、径の大きな繊維群が外側に多く露出され、径の小さな繊維群が内側に多く露出されると言うこともできる。また、外側に直線状の太い糸が多く露出され、内側に曲線状の細い糸が露出されると言うこともできる。
【００３０】
このように構成された生地を用いて防塵服が作成された場合、以下のような効果が期待できる。
【００３１】
着用者に接する防塵服の内側には、径が細く曲線状の繊維が直線状の繊維よりも多く露出されているので、着用者から発生する塵埃（着用者が着用している衣類からの塵埃、着用者または衣類に付着している塵埃等）が多く捕獲される。これは繊維と繊維と間の「繊維ポケット」と呼ばれる空間部分に塵埃が取り込まれることによるものである。この繊維ポケットは、繊維と繊維との間、繊維群と繊維群との間に存在している。このような場所に繊維ポケットは存在するので、直線状の繊維間より曲線状の繊維間の方により多くの空間が形成される。すなわち、曲線状の繊維は直線状の繊維より多くの繊維ポケットを有している。さらに、径が細くなれば、その繊維ポケットの数も増えると考えられる。
【００３２】
また、防塵服の外側には、径が太く直線状の繊維が曲線状の繊維より多く露出されているので、周囲の塵埃が捕獲される確率は曲線状の繊維に比べて非常に低い。すなわち、塵埃の多い環境に防塵服が晒されたとしても、この直線状の繊維は塵埃を取り込み難い。従って、防塵服に取り込まれた塵埃がクリーンルーム内に放出されることが防止される。このような塵埃の再放出を防止することは、上述したようなクリーン度の高いクリーンルームを実現する上で非常に重要な要素である。上述の塵埃の多い環境とは、着用者が防塵服を脱いだ後に防塵服が保管される環境、防塵服を着用した着用者が作業する環境の内、装置、治具、取り扱い物質等から塵埃を浴びるような環境等である。
【００３３】
さらに、曲線状の繊維は直線状の繊維に比べて毛玉を発生し易く、また周囲の装置等に引っ掛かり易いので、防塵服の外側に径が太く直線状の繊維が曲線状の繊維より多く露出されていることにより、装置等の防塵服への引っ掛かりの発生が抑制される。このことは防塵服の破損を防ぐことであり、それは防塵服の耐久性の向上を意味する。
【００３４】
このように本発明の第１の実施の形態によれば、着用者からの発塵が捕獲され易く、外部の塵埃は捕獲され難い防塵服が実現できる。
【００３５】
次に本発明の第２の実施の形態が説明される。
【００３６】
図３は第２の実施の形態を説明するための平面図であり、図４は第２の実施の形態を説明するための断面図である。図４は、図２中のＸーＸ’線、ＹーＹ’線、ＺーＺ’線における断面図である。前出の図面と同様にこれらの図面は防塵服を構成する生地の要部が拡大されて模式的に表されたものである。図３において図面の手前が防塵服の外側、図面の奥側が防塵服の内側である。図４において図面の上方向が防塵服の外側、図面の下側が防塵服の内側である。
【００３７】
第２の実施の形態では、防塵服の生地２００は、第１の方向に延在する複数の繊維群２１０とその第１の方向と交わる第２の方向に延在する複数の繊維群２２０とが互いに織り込まれた構造である。
【００３８】
ここでは、第１の方向は図面の縦方向を意味し、第２の方向は第１の方向と実質的に直交する横方向を意味する。繊維同士の交わりは紙面上では直交するが、実際の生地の上では繊維同士が必ずしも直交するとは言い難い状況が想定されるので、ここでは第１方向及び第２方向という定義が用いられる。
【００３９】
複数の繊維群２１０は繊維群２１１乃至２１６から構成される。複数の繊維群２２０は繊維群２２１乃至２２７から構成される。
【００４０】
繊維群２１１乃至２１６及び繊維群２２１乃至２２６は、それぞれ複数の微小な繊維が束ねられた繊維群である。通常、この繊維群は糸と呼ばれることが多い。
【００４１】
繊維群２１１乃至２１６はそれぞれ直径１５〜２０μｍの直線状のポリエステル繊維が数本束ねられた集合体であり、各繊維群は直径５０〜１００μｍ程度の太さを有する。ここではポリエステル繊維が用いられたが、上述した通りナイロン等の他の材質の繊維を用いることも可能である。
【００４２】
繊維群２２１乃至２２５はそれぞれ直径５〜１０μｍの曲線状のポリエステル繊維が数本束ねられた集合体であり、各繊維群は直径５０〜８０μｍ程度の太さを有する。ここで曲線状のポリエステル繊維とは、第１の実施の形態と同様にウェーブ状あるいは波状に加工されたポリエステル繊維のことを示す。
【００４３】
この繊維群２２１乃至２２５の直径は、繊維群２１１乃至２１６の直径より細いことが望ましい。それぞれの繊維及び繊維群のサイズは材質等により異なることが予想されるが、縦方向の繊維群と横方向の繊維群との相対関係は上述のような関係になるように設計者が適宜選択できるであろう。
【００４４】
繊維群２２２と繊維群２２３との間には繊維群２２６が、繊維群２２４と繊維群２２５との間には繊維群２２７がそれぞれ配置されている。この繊維群２２６及び２２７は、上述の繊維群２１１乃至２１６と同様に、それぞれ直径１５〜２０μｍの直線状のポリエステル繊維が数本束ねられた集合体であり、各繊維群は直径５０〜１００μｍ程度の太さを有する。
【００４５】
次に、図３中のＸーＸ’線、ＹーＹ’線、ＺーＺ’線における断面図が示される図４を参照しながら、縦方向の繊維群と横方向の繊維群とが互いに織り込まれた構造が具体的に説明される。
【００４６】
繊維群２２１乃至２２５は防塵服の内側において２本の繊維群２１１及び２１２を越えて防塵服の外側へと延在する。さらに、繊維群２２１乃至２２５は防塵服の外側において１本の繊維群２１３を越えて内側へと延在する。さらに、繊維群２２１乃至２２５は防塵服の内側において２本の繊維群２１４及び２１５を越えて防塵服の外側へと延在する。
【００４７】
繊維群２２６及び２２７は、防塵服の外側において２本の繊維群２１１及び２１２を越えて防塵服の内側へと延在する。さらに、繊維群２２６及び２２７は防塵服の内側において１本の繊維群２１３を越えて外側へと延在する。さらに、繊維群２２６及び２２７は防塵服の外側において２本の繊維群２１４及び２１５を越えて防塵服の内側へと延在する。
【００４８】
複数の繊維群２１０と複数の繊維群２２０とが以上のようなパターンを繰り返して織り込まれることにより、防塵服の生地２００が構成される。
【００４９】
図３及び図４より理解できるように、ＸーＸ’断面には直線状の繊維群（２１１乃至２１６及び２２６）のみが現われる。
【００５０】
この場合、繊維群２２６が防塵服の外側と内側に現われる割合は、外側が”２（繊維群２１１及び２１２上に延在する繊維群２２６）”であるのに対して、内側は”１（繊維群２１３上に延在する繊維群２２６）である。繊維群２１１乃至２１３が防塵服の外側と内側に現われる割合は、外側が”１（繊維群２２６上に延在する繊維群２１３）”であるのに対して、内側は”２（繊維群２２６上に延在する繊維群２１１及び２１２）である。
【００５１】
ＹーＹ’断面には直線状の繊維群（２１１乃至２１６）及び曲線上の繊維群２２３が現われる。
【００５２】
この場合、繊維群２２３が防塵服の外側と内側に現われる割合は、外側が”１（繊維群２１３上に延在する繊維群２２３）”であるのに対して、内側は”２（繊維群２１１及び２１２上に延在する繊維群２２３）である。繊維群２１１乃至２１３が防塵服の外側と内側に現われる割合は、外側が”２（繊維群２２３上に延在する繊維群２１１及び２１２）”であるのに対して、内側は”１（繊維群２２３上に延在する繊維群２１３）”である。
【００５３】
ＺーＺ’断面は、上述のＹーＹ’断面と同様である。従って、繊維群２２４が防塵服の外側と内側に現われる割合は、外側が”１”であるのに対して、内側は”２”である。繊維群２１１乃至２１３が防塵服の外側と内側に現われる割合は、外側が”２”であるのに対して、内側は”１”である。
【００５４】
本実施の形態の生地２００は図３及び図４のようなパターンの繰り返しであるので、繊維群２１０が防塵服の外側と内側に現われる割合は５対４になる。また、防塵服の外側に現われる曲線上の繊維群２２１乃至２２５と直線状の繊維群２２６及び２２７との割合は２対２であり、防塵服の内側に現われる曲線上の繊維群２２１乃至２２５と直線状の繊維群２２６及び２２７との割合は１対４である。
【００５５】
本実施の形態では、第１の実施の形態と比較すると、防塵服の外側には曲線状の繊維群より直線状の繊維群が第１の実施の形態よりもさらに多く露出され、防塵服の内側には直線状の繊維群より曲線状の繊維群が第１の実施の形態よりもさらに多く露出される。
【００５６】
この実施の形態では、第１の実施の形態と同様に直線状の繊維群は曲線状の繊維群よりも径が大きいので、径の大きな繊維群が外側に第１の実施の形態よりもさらに多く露出され、径の小さな繊維群が内側に第１の実施の形態よりもさらに多く露出されると言うこともできる。また、外側に直線状の太い糸が第１の実施の形態よりもさらに多く露出され、内側に曲線状の細い糸が第１の実施の形態よりもさらに多く露出されると言うこともできる。
【００５７】
このように構成された生地を用いて防塵服が作成された場合、上述の第１の実施の形態による効果に加え以下の効果が期待できる。
【００５８】
防塵服の外側には曲線状の繊維群より直線状の繊維群が第１の実施の形態よりもさらに多く露出され、防塵服の内側には直線状の繊維群より曲線状の繊維群が第１の実施の形態よりもさらに多く露出される。従って、防塵服の外側では第１の実施の形態の防塵服よりさらに塵埃が取り込まれ難くなり、防塵服に取り込まれた塵埃がクリーンルーム内に放出されることがより防止される。また、防塵服の内側では第１の実施の形態の防塵服よりさらに多くの塵埃が捕獲される。
【００５９】
このように本発明の第２の実施の形態によれば、第１の実施の形態の防塵服よりもさらに着用者からの発塵が捕獲され易く、外部の塵埃は捕獲され難い防塵服が実現できる。
【００６０】
次に本発明の第３の実施の形態が説明される。
【００６１】
図５は第３の実施の形態を説明するための平面図であり、図６は第３の実施の形態を説明するための断面図である。図６は、図５中のＸーＸ’線、ＹーＹ’線、ＺーＺ’線における断面図である。前出の図面と同様にこれらの図面は防塵服を構成する生地の要部が拡大されて模式的に表されたものである。図５において図面の手前が防塵服の外側、図面の奥側が防塵服の内側である。図６において図面の上方向が防塵服の外側、図面の下側が防塵服の内側である。
【００６２】
第３の実施の形態では、防塵服の生地３００は、第１の方向に延在する複数の繊維群３１０とその第１の方向と交わる第２の方向に延在する複数の繊維群３２０とが互いに織り込まれた構造である。
【００６３】
ここでは、第１の方向は図面の縦方向を意味し、第２の方向は第１の方向と実質的に直交する横方向を意味する。繊維同士の交わりは紙面上では直交するが、実際の生地の上では繊維同士が必ずしも直交するとは言い難い状況が想定されるので、ここでは第１方向及び第２方向という定義が用いられる。
【００６４】
複数の繊維群３１０は繊維群３１１乃至３１６から構成される。複数の繊維群３２０は繊維群３２１乃至３２７から構成される。
【００６５】
繊維群３１１乃至３１６及び繊維群３２１乃至３２６は、それぞれ複数の微小な繊維が束ねられた繊維群である。通常、この繊維群は糸と呼ばれることが多い。
【００６６】
繊維群３１１乃至３１６はそれぞれ直径１５〜２０μｍの直線状のポリエステル繊維が数本束ねられた集合体であり、各繊維群は直径５０〜１００μｍ程度の太さを有する。ここではポリエステル繊維が用いられたが、上述した通りナイロン等の他の材質の繊維を用いることも可能である。
【００６７】
繊維群３２１乃至３２５はそれぞれ直径５〜１０μｍの曲線状のポリエステル繊維が数本束ねられた集合体であり、各繊維群は直径５０〜８０μｍ程度の太さを有する。ここで曲線状のポリエステル繊維とは、第２の実施の形態と同様にウェーブ状あるいは波状に加工されたポリエステル繊維のことを示す。
【００６８】
この繊維群３２１乃至３２５の直径は、繊維群３１１乃至３１６の直径より細いことが望ましい。それぞれの繊維及び繊維群のサイズは材質等により異なることが予想されるが、縦方向の繊維群と横方向の繊維群との相対関係は上述のような関係になるように設計者が適宜選択できるであろう。
【００６９】
繊維群３２２と繊維群３２３との間には繊維群３２６が、繊維群３２４と繊維群３２５との間には繊維群３２７がそれぞれ配置されている。この繊維群３２６及び３２７は、上述の繊維群３１１乃至３１６と同様に、それぞれ直径１５〜２０μｍの直線状のポリエステル繊維が数本束ねられた集合体であり、各繊維群は直径５０〜１００μｍ程度の太さを有する。
【００７０】
次に、図５中のＸーＸ’線、ＹーＹ’線、ＺーＺ’線における断面図が示される図６を参照しながら、縦方向の繊維群と横方向の繊維群とが互いに織り込まれた構造が具体的に説明される。
【００７１】
繊維群３２１は防塵服の内側において１本の繊維群３１１を越えて防塵服の外側へと延在する。さらに、繊維群３２１は防塵服の外側において１本の繊維群３１２を越えて内側へと延在する。さらに、繊維群３２１は防塵服の内側において２本の繊維群３１３及び３１４を越えて防塵服の外側へと延在する。
【００７２】
この繊維群３２１に隣接する繊維群３２２は防塵服の内側において２本の繊維群３１１及び３１２を越えて防塵服の外側へと延在する。さらに、繊維群３２２は防塵服の外側において１本の繊維群３１３を越えて内側へと延在する。さらに、繊維群３２２は防塵服の内側において２本の繊維群３１４及び３１５を越えて防塵服の外側へと延在する。この２つの繊維群３２１及び３２２の繊維群の対と繊維群３１１乃至３１６との関係と同様に、他の繊維群対（３２３及び３２４、３２５及び図示されていない３２５に隣接する繊維群）も配置される。
【００７３】
繊維群３２６及び３２７は、防塵服の外側において１本の繊維群３１１を越えて防塵服の内側へと延在する。さらに、繊維群３２６及び３２７は防塵服の内側において１本の繊維群３１２を越えて外側へと延在する。さらに、繊維群３２６及び３２７は防塵服の外側において２本の繊維群３１３及び３１４を越えて防塵服の内側へと延在する。
【００７４】
複数の繊維群３１０と複数の繊維群３２０とが以上のようなパターンを繰り返して織り込まれることにより、防塵服の生地３００が構成される。
【００７５】
図５及び図６より理解できるように、ＸーＸ’断面には直線状の繊維群（３１１乃至３１６及び３２６）のみが現われる。
【００７６】
この場合、繊維群３２６が防塵服の外側と内側に現われる割合は、外側が”２（繊維群３１３及び２１４上に延在する繊維群３２６）”であるのに対して、内側は”１（繊維群３１２上に延在する繊維群３２６）である。繊維群３１１乃至３１６が防塵服の外側と内側に現われる割合は、外側が”１（繊維群３２６上に延在する繊維群３１２）”であるのに対して、内側は”２（繊維群３２６上に延在する繊維群３１３及び３１４）である。
【００７７】
ＹーＹ’断面には直線状の繊維群（３１１乃至３１６）及び曲線上の繊維群３２３が現われる。
【００７８】
この場合、繊維群３２３が防塵服の外側と内側に現われる割合は、外側が”１（繊維群３１２上に延在する繊維群３２３）”であるのに対して、内側は”２（繊維群３１３及び３１４上に延在する繊維群３２３）である。繊維群３１１乃至２１６が防塵服の外側と内側に現われる割合は、外側が”２（繊維群３２３上に延在する繊維群３１３及び３１４）”であるのに対して、内側は”１（繊維群３２３上に延在する繊維群３１２）”である。
【００７９】
ＺーＺ’断面は、上述のＹーＹ’断面を横方向に繊維群１列分だけシフトしたものと同様である。従って、繊維群３２４が防塵服の外側と内側に現われる割合は、外側が”１”であるのに対して、内側は”２”である。繊維群３１１乃至３１６が防塵服の外側と内側に現われる割合は、外側が”２”であるのに対して、内側は”１”である。
【００８０】
本実施の形態の生地３００は図５及び図６のようなパターンの繰り返しであるので、繊維群３１０が防塵服の外側と内側に現われる割合は５対４になる。また、防塵服の外側に現われる曲線上の繊維群３２１乃至３２５と直線状の繊維群３２６及び３２７との割合は２対２であり、防塵服の内側に現われる曲線上の繊維群３２１乃至３２５と直線状の繊維群３２６及び３２７との割合は１対４である。
【００８１】
本実施の形態では、第１の実施の形態と比較すると、防塵服の外側には曲線状の繊維群より直線状の繊維群が第１の実施の形態よりもさらに多く露出され、防塵服の内側には直線状の繊維群より曲線状の繊維群が第１の実施の形態よりもさらに多く露出される。
【００８２】
この実施の形態では、第１の実施の形態と同様に直線状の繊維群は曲線状の繊維群よりも径が大きいので、径の大きな繊維群が外側に第１の実施の形態よりもさらに多く露出され、径の小さな繊維群が内側に第１の実施の形態よりもさらに多く露出されると言うこともできる。また、外側に直線状の太い糸が第１の実施の形態よりもさらに多く露出され、内側に曲線状の細い糸が第１の実施の形態よりもさらに多く露出されると言うこともできる。
【００８３】
このように構成された生地を用いて防塵服が作成された場合、上述の第１の実施の形態による効果に加え以下の効果が期待できる。
【００８４】
防塵服の外側には曲線状の繊維群より直線状の繊維群が第１の実施の形態よりもさらに多く露出され、防塵服の内側には直線状の繊維群より曲線状の繊維群が第１の実施の形態よりもさらに多く露出される。従って、防塵服の外側では第１の実施の形態の防塵服よりさらに塵埃が取り込まれ難くなり、防塵服に取り込まれた塵埃がクリーンルーム内に放出されることがより防止される。また、防塵服の内側では第１の実施の形態の防塵服よりさらに多くの塵埃が捕獲される。
【００８５】
このように本発明の第３の実施の形態によれば、第１の実施の形態の防塵服よりもさらに着用者からの発塵が捕獲され易く、外部の塵埃は捕獲され難い防塵服が実現できる。
【００８６】
以上のように本発明によれば、防塵服の外表面では内表面に比べて塵埃を捕える空間が少なく、内表面では外表面に比べて塵埃を捕える空間が多くなるので、着用者に接する防塵服の内側では塵埃が多く捕獲され、防塵服の外側では塵埃が付着し難く、かつ、強度にも優れた防塵服を提供することができる。
【００８７】
本発明は、品質及び衛生的な観点から種々の塵埃を抑制する必要のあるクリーンルーム内で着用される防塵服、特に半導体分野、精密機器分野、医療・薬品分野、食品加工分野等のクリーンルームで着用される防塵服に適用される。
【００８８】
例えば、図７に示されるような半導体分野におけるクリーンルーム７００内では、作業者７０１は上述の防塵服を着用して作業に従事する。作業者７０１は、半導体ウエハを処理する装置７０２及び７０３の内部及び周囲で半導体ウエハを取り扱う。また、作業者７０１は装置７０２及び７０３を制御する。
【００８９】
このような場所では、あるレベル以上の塵埃による半導体ウエハに与える影響は非常に大きい。塵埃が存在することにより、半導体ウエハに形成される予定の微細なパターンが予定通りに形成できなくなる場合等が想定される。このようなことは、不良品の増加、すなわち、歩留り（良品が得られる割合）の低下を意味する。また、製品の信頼性の観点からも予期せぬ事象を齎らすような塵埃は極力排除されることが望ましい。
【００９０】
上述の実施の形態では、縦方向の繊維群と横方向の繊維群とが織り込まれた単層の生地が示されたが、本発明を多層構造の生地に適用することも可能である。例えば、防塵服の内表面が上述のような曲線状の繊維のみにより形成され、外表面が上述のような直線状の繊維のみにより形成され、内表面と外表面とが張り合わされたような多層構造にも適用できる。この場合、着用した際の動き易さ、通気性、着心地、コスト等を考慮して、単層または多層構造のいずれかが採用されるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００９１】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す部分拡大平面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態を示す部分拡大断面図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態を示す部分拡大平面図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態を示す部分拡大断面図である。
【図５】本発明の第３の実施の形態を示す部分拡大平面図である。
【図６】本発明の第３の実施の形態を示す部分拡大断面図である。
【図７】クリーンルームの部分拡大断面図である。
【符号の説明】
【００９２】
１００ 防塵服の生地
１１０、１２０ 繊維群
１１１、１２４ 直線状の繊維群
１２１、１２２ 曲線状の繊維群
【技術分野】
【０００１】
本発明は、品質及び衛生的な観点から種々の塵埃を抑制する必要のあるクリーンルーム内で半導体ウエハを取り扱う方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
現在、クリーンルームは、様々な分野において利用されている。このクリーンルーム内で作業に従事する者は、ルーム内のクリーン度を維持する為に通常、防塵服と呼ばれる特殊な作業服を着用して作業を行う。このクリーンルームのクリーン度に対する要求は近年、様々な分野において非常に高まっている。
【０００３】
例えば、半導体分野におけるクリーンルームについては、半導体装置の微細化等に伴い米国連邦規格の「クラス１」程度のクリーン度が求められている。この「クラス１」とは、１立方フィート内に０．５μｍ以下の埃が１個以内しか存在しないことを示す。
【０００４】
このような高いレベルのクリーン度を維持する為、クリーンルームに関する提案、防塵服に関する提案等、種々の提案が様々な分野から行われている。例えば、防塵服に関する提案として、日本国特許公開公報である特開平３ー２６５３５号に示されたものがある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
これまでに提案された防塵服は、非常に高いレベルのクリーン度を要求されるクリーンルーム内で着用するには満足できるものではなかった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の目的は、着用者に接する防塵服の内側では塵埃が多く捕獲され、防塵服の外側では塵埃が付着し難く、かつ、強度にも優れた防塵服を提供することにある。
【０００７】
この目的を達成するために本願に示される種々の発明の内、代表的な発明が以下に示される。
【０００８】
本願の代表的な発明は、内表面には曲線状の繊維が直線状の繊維より多く露出し、外表面には直線状の繊維が曲線状の繊維より多く露出する構成とした防塵服である。
【０００９】
この構成により外表面では内表面に比べて塵埃を捕える空間が少なく、内表面では外表面に比べて塵埃を捕える空間が多くなる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、防塵服の外表面では内表面に比べて塵埃を捕える空間が少なく、内表面では外表面に比べて塵埃を捕える空間が多くなるので、着用者に接する防塵服の内側では塵埃が多く捕獲され、防塵服の外側では塵埃が付着し難く、かつ、強度にも優れた防塵服を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下に図面を参照しながら本発明の実施の形態が説明される。図１は第１の実施の形態を説明するための平面図であり、図２は第１の実施の形態を説明するための断面図である。図２は、図１中のＸーＸ’線、ＹーＹ’線における断面図である。これらの図面は防塵服を構成する生地の要部が拡大されて模式的に表されたものである。図１において図面の手前が防塵服の外側、図面の奥側が防塵服の内側である。図２において図面の上方向が防塵服の外側、図面の下側が防塵服の内側である。防塵服の内側とは、防塵服を着用する着用者の人体の側であり、外側とはその反対側の周囲の雰囲気に接する側である。より具体的には、内側は服の内表面（或は裏面）側であり、外側は服の外表面側である。
【００１２】
第１の実施の形態では、防塵服の生地１００は、第１の方向に延在する複数の繊維群１１０とその第１の方向と交わる第２の方向に延在する複数の繊維群１２０とが互いに織り込まれた構造である。図面の中では便宜的に繊維群と繊維群との間に一様な隙間が設けられているが、実際の生地においてこの隙間が必ずしも一様でないことは理解されるであろう。繊維群と繊維群とが完全に密着していることが理想であるが、ある部分では小さな隙間が存在していることも考えられる。以下の本実施の形態及び他の実施の形態においても一様の隙間が設けられた図を参照しながら説明が示される。
【００１３】
ここでは、第１の方向は図面の縦方向を意味し、第２の方向は第１の方向と実質的に直交する横方向を意味する。繊維同士の交わりは紙面上では直交するが、実際の生地の上では繊維同士が必ずしも直交するとは言い難い状況が想定されるので、ここでは第１方向及び第２方向という定義が用いられる。
【００１４】
複数の繊維群１１０は繊維群１１１乃至１１５から構成される。複数の繊維群１２０は繊維群１２１乃至１２５から構成される。
【００１５】
繊維群１１１乃至１１５及び繊維群１２１乃至１２５は、それぞれ複数の微小な繊維が束ねられた繊維群である。通常、この繊維群は糸と呼ばれることが多い。
【００１６】
繊維群１１１乃至１１５はそれぞれ直径１５〜２０μｍの直線状のポリエステル繊維が数本束ねられた集合体であり、各繊維群は直径５０〜１００μｍ程度の太さを有する。ここではポリエステル繊維が用いられたが、ナイロン等の他の材質の繊維を用いることも可能である。以下に示される繊維に関しても同様に他の材質を適宜選択できることは言うまでもない。
【００１７】
繊維群１２１乃至１２３はそれぞれ直径５〜１０μｍの曲線状のポリエステル繊維が数本束ねられた集合体であり、各繊維群は直径５０〜８０μｍ程度の太さを有する。ここで曲線状のポリエステル繊維とは、ウェーブ状あるいは波状に加工されたポリエステル繊維のことを示す。
【００１８】
この繊維群１２１乃至１２３の直径は、繊維群１１１乃至１１５の直径より細いことが望ましい。それぞれの繊維及び繊維群のサイズは材質等により異なることが予想されるが、縦方向の繊維群と横方向の繊維群との相対関係は上述のような関係になるように設計者が適宜選択できるであろう。
【００１９】
繊維群１２１と繊維群１２２との間には繊維群１２４が、繊維群１２２と繊維群１２３との間には繊維群１２５がそれぞれ配置されている。この繊維群１２４及び１２５は、上述の繊維群１１１乃至１１５と同様に、それぞれ直径１５〜２０μｍの直線状のポリエステル繊維が数本束ねられた集合体であり、各繊維群は直径５０〜１００μｍ程度の太さを有する。
【００２０】
次に、図１中のＸーＸ’線、ＹーＹ’線における断面図が示される図２を参照しながら、縦方向の繊維群と横方向の繊維群とが互いに織り込まれた構造が具体的に説明される。
【００２１】
繊維群１２１乃至１２３は防塵服の外側において１本の繊維群１１１を越えて防塵服の内側へと延在する。さらに、繊維群１２１乃至１２３は防塵服の内側において２本の繊維群１１２及び１１３を越えて外側へと延在する。さらに、繊維群１２１乃至１２３は防塵服の外側において１本の繊維群１１４を越えて防塵服の内側へと延在する。
【００２２】
繊維群１２４及び１２５は、防塵服の内側において繊維群１１１を越えて防塵服の外側へと延在する。さらに、繊維群１２４乃至１２５は防塵服の外側において２本の繊維群１１２及び１１３を越えて内側へと延在する。さらに、繊維群１２１乃至１２３は防塵服の内側において１本の繊維群１１４を越えて防塵服の外側へと延在する。
【００２３】
複数の繊維群１１０と複数の繊維群１２０とが以上のようなパターンを繰り返して織り込まれることにより、防塵服の生地１００が構成される。
【００２４】
図１及び図２より理解できるように、ＸーＸ’断面には直線状の繊維群（１１１乃至１１５及び１２４）のみが現われる。
【００２５】
この場合、繊維群１２４が防塵服の外側と内側に現われる割合は、外側が”２（繊維群１１２及び１１３上に延在する繊維群１２４）”であるのに対して、内側は”１（繊維群１１１上に延在する繊維群１２４）”である。繊維群１１１乃至１１３が防塵服の外側と内側に現われる割合は、外側が”１（繊維群１２４上に延在する繊維群１１１）”であるのに対して、内側は”２（繊維群１２４上に延在する繊維群１１２及び１１３）”である。
【００２６】
一方、ＹーＹ’断面には直線状の繊維群（１１１乃至１１５）及び曲線上の繊維群１２２が現われる。
【００２７】
この場合、繊維群１２２が防塵服の外側と内側に現われる割合は、外側が”１（繊維群１１１上に延在する繊維群１２２）”であるのに対して、内側は”２（繊維群１１２及び１１３上に延在する繊維群１２２）”である。繊維群１１１乃至１１３が防塵服の外側と内側に現われる割合は、外側が”２（繊維群１２２上に延在する繊維群１１２及び１１３）”であるのに対して、内側は”１（繊維群１２２上に延在する繊維群１１１）”である。
【００２８】
本実施の形態の生地１００は図１及び図２のようなパターンの繰り返しであるので、繊維群１１０が防塵服の外側と内側に現われる割合は３対３、すなわち、１対１になる。また、防塵服の外側に現われる曲線上の繊維群１２１乃至１２３と直線状の繊維群１２４及び１２５との割合は２対１であり、防塵服の内側に現われる曲線上の繊維群１２１乃至１２３と直線状の繊維群１２４及び１２５との割合は１対２である。
【００２９】
つまり、防塵服の外側には曲線状の繊維群より直線状の繊維群がより多く露出され、防塵服の内側には直線状の繊維群より曲線状の繊維群がより多く露出される。この実施の形態では、直線状の繊維群は曲線状の繊維群よりも径が大きいので、径の大きな繊維群が外側に多く露出され、径の小さな繊維群が内側に多く露出されると言うこともできる。また、外側に直線状の太い糸が多く露出され、内側に曲線状の細い糸が露出されると言うこともできる。
【００３０】
このように構成された生地を用いて防塵服が作成された場合、以下のような効果が期待できる。
【００３１】
着用者に接する防塵服の内側には、径が細く曲線状の繊維が直線状の繊維よりも多く露出されているので、着用者から発生する塵埃（着用者が着用している衣類からの塵埃、着用者または衣類に付着している塵埃等）が多く捕獲される。これは繊維と繊維と間の「繊維ポケット」と呼ばれる空間部分に塵埃が取り込まれることによるものである。この繊維ポケットは、繊維と繊維との間、繊維群と繊維群との間に存在している。このような場所に繊維ポケットは存在するので、直線状の繊維間より曲線状の繊維間の方により多くの空間が形成される。すなわち、曲線状の繊維は直線状の繊維より多くの繊維ポケットを有している。さらに、径が細くなれば、その繊維ポケットの数も増えると考えられる。
【００３２】
また、防塵服の外側には、径が太く直線状の繊維が曲線状の繊維より多く露出されているので、周囲の塵埃が捕獲される確率は曲線状の繊維に比べて非常に低い。すなわち、塵埃の多い環境に防塵服が晒されたとしても、この直線状の繊維は塵埃を取り込み難い。従って、防塵服に取り込まれた塵埃がクリーンルーム内に放出されることが防止される。このような塵埃の再放出を防止することは、上述したようなクリーン度の高いクリーンルームを実現する上で非常に重要な要素である。上述の塵埃の多い環境とは、着用者が防塵服を脱いだ後に防塵服が保管される環境、防塵服を着用した着用者が作業する環境の内、装置、治具、取り扱い物質等から塵埃を浴びるような環境等である。
【００３３】
さらに、曲線状の繊維は直線状の繊維に比べて毛玉を発生し易く、また周囲の装置等に引っ掛かり易いので、防塵服の外側に径が太く直線状の繊維が曲線状の繊維より多く露出されていることにより、装置等の防塵服への引っ掛かりの発生が抑制される。このことは防塵服の破損を防ぐことであり、それは防塵服の耐久性の向上を意味する。
【００３４】
このように本発明の第１の実施の形態によれば、着用者からの発塵が捕獲され易く、外部の塵埃は捕獲され難い防塵服が実現できる。
【００３５】
次に本発明の第２の実施の形態が説明される。
【００３６】
図３は第２の実施の形態を説明するための平面図であり、図４は第２の実施の形態を説明するための断面図である。図４は、図２中のＸーＸ’線、ＹーＹ’線、ＺーＺ’線における断面図である。前出の図面と同様にこれらの図面は防塵服を構成する生地の要部が拡大されて模式的に表されたものである。図３において図面の手前が防塵服の外側、図面の奥側が防塵服の内側である。図４において図面の上方向が防塵服の外側、図面の下側が防塵服の内側である。
【００３７】
第２の実施の形態では、防塵服の生地２００は、第１の方向に延在する複数の繊維群２１０とその第１の方向と交わる第２の方向に延在する複数の繊維群２２０とが互いに織り込まれた構造である。
【００３８】
ここでは、第１の方向は図面の縦方向を意味し、第２の方向は第１の方向と実質的に直交する横方向を意味する。繊維同士の交わりは紙面上では直交するが、実際の生地の上では繊維同士が必ずしも直交するとは言い難い状況が想定されるので、ここでは第１方向及び第２方向という定義が用いられる。
【００３９】
複数の繊維群２１０は繊維群２１１乃至２１６から構成される。複数の繊維群２２０は繊維群２２１乃至２２７から構成される。
【００４０】
繊維群２１１乃至２１６及び繊維群２２１乃至２２６は、それぞれ複数の微小な繊維が束ねられた繊維群である。通常、この繊維群は糸と呼ばれることが多い。
【００４１】
繊維群２１１乃至２１６はそれぞれ直径１５〜２０μｍの直線状のポリエステル繊維が数本束ねられた集合体であり、各繊維群は直径５０〜１００μｍ程度の太さを有する。ここではポリエステル繊維が用いられたが、上述した通りナイロン等の他の材質の繊維を用いることも可能である。
【００４２】
繊維群２２１乃至２２５はそれぞれ直径５〜１０μｍの曲線状のポリエステル繊維が数本束ねられた集合体であり、各繊維群は直径５０〜８０μｍ程度の太さを有する。ここで曲線状のポリエステル繊維とは、第１の実施の形態と同様にウェーブ状あるいは波状に加工されたポリエステル繊維のことを示す。
【００４３】
この繊維群２２１乃至２２５の直径は、繊維群２１１乃至２１６の直径より細いことが望ましい。それぞれの繊維及び繊維群のサイズは材質等により異なることが予想されるが、縦方向の繊維群と横方向の繊維群との相対関係は上述のような関係になるように設計者が適宜選択できるであろう。
【００４４】
繊維群２２２と繊維群２２３との間には繊維群２２６が、繊維群２２４と繊維群２２５との間には繊維群２２７がそれぞれ配置されている。この繊維群２２６及び２２７は、上述の繊維群２１１乃至２１６と同様に、それぞれ直径１５〜２０μｍの直線状のポリエステル繊維が数本束ねられた集合体であり、各繊維群は直径５０〜１００μｍ程度の太さを有する。
【００４５】
次に、図３中のＸーＸ’線、ＹーＹ’線、ＺーＺ’線における断面図が示される図４を参照しながら、縦方向の繊維群と横方向の繊維群とが互いに織り込まれた構造が具体的に説明される。
【００４６】
繊維群２２１乃至２２５は防塵服の内側において２本の繊維群２１１及び２１２を越えて防塵服の外側へと延在する。さらに、繊維群２２１乃至２２５は防塵服の外側において１本の繊維群２１３を越えて内側へと延在する。さらに、繊維群２２１乃至２２５は防塵服の内側において２本の繊維群２１４及び２１５を越えて防塵服の外側へと延在する。
【００４７】
繊維群２２６及び２２７は、防塵服の外側において２本の繊維群２１１及び２１２を越えて防塵服の内側へと延在する。さらに、繊維群２２６及び２２７は防塵服の内側において１本の繊維群２１３を越えて外側へと延在する。さらに、繊維群２２６及び２２７は防塵服の外側において２本の繊維群２１４及び２１５を越えて防塵服の内側へと延在する。
【００４８】
複数の繊維群２１０と複数の繊維群２２０とが以上のようなパターンを繰り返して織り込まれることにより、防塵服の生地２００が構成される。
【００４９】
図３及び図４より理解できるように、ＸーＸ’断面には直線状の繊維群（２１１乃至２１６及び２２６）のみが現われる。
【００５０】
この場合、繊維群２２６が防塵服の外側と内側に現われる割合は、外側が”２（繊維群２１１及び２１２上に延在する繊維群２２６）”であるのに対して、内側は”１（繊維群２１３上に延在する繊維群２２６）である。繊維群２１１乃至２１３が防塵服の外側と内側に現われる割合は、外側が”１（繊維群２２６上に延在する繊維群２１３）”であるのに対して、内側は”２（繊維群２２６上に延在する繊維群２１１及び２１２）である。
【００５１】
ＹーＹ’断面には直線状の繊維群（２１１乃至２１６）及び曲線上の繊維群２２３が現われる。
【００５２】
この場合、繊維群２２３が防塵服の外側と内側に現われる割合は、外側が”１（繊維群２１３上に延在する繊維群２２３）”であるのに対して、内側は”２（繊維群２１１及び２１２上に延在する繊維群２２３）である。繊維群２１１乃至２１３が防塵服の外側と内側に現われる割合は、外側が”２（繊維群２２３上に延在する繊維群２１１及び２１２）”であるのに対して、内側は”１（繊維群２２３上に延在する繊維群２１３）”である。
【００５３】
ＺーＺ’断面は、上述のＹーＹ’断面と同様である。従って、繊維群２２４が防塵服の外側と内側に現われる割合は、外側が”１”であるのに対して、内側は”２”である。繊維群２１１乃至２１３が防塵服の外側と内側に現われる割合は、外側が”２”であるのに対して、内側は”１”である。
【００５４】
本実施の形態の生地２００は図３及び図４のようなパターンの繰り返しであるので、繊維群２１０が防塵服の外側と内側に現われる割合は５対４になる。また、防塵服の外側に現われる曲線上の繊維群２２１乃至２２５と直線状の繊維群２２６及び２２７との割合は２対２であり、防塵服の内側に現われる曲線上の繊維群２２１乃至２２５と直線状の繊維群２２６及び２２７との割合は１対４である。
【００５５】
本実施の形態では、第１の実施の形態と比較すると、防塵服の外側には曲線状の繊維群より直線状の繊維群が第１の実施の形態よりもさらに多く露出され、防塵服の内側には直線状の繊維群より曲線状の繊維群が第１の実施の形態よりもさらに多く露出される。
【００５６】
この実施の形態では、第１の実施の形態と同様に直線状の繊維群は曲線状の繊維群よりも径が大きいので、径の大きな繊維群が外側に第１の実施の形態よりもさらに多く露出され、径の小さな繊維群が内側に第１の実施の形態よりもさらに多く露出されると言うこともできる。また、外側に直線状の太い糸が第１の実施の形態よりもさらに多く露出され、内側に曲線状の細い糸が第１の実施の形態よりもさらに多く露出されると言うこともできる。
【００５７】
このように構成された生地を用いて防塵服が作成された場合、上述の第１の実施の形態による効果に加え以下の効果が期待できる。
【００５８】
防塵服の外側には曲線状の繊維群より直線状の繊維群が第１の実施の形態よりもさらに多く露出され、防塵服の内側には直線状の繊維群より曲線状の繊維群が第１の実施の形態よりもさらに多く露出される。従って、防塵服の外側では第１の実施の形態の防塵服よりさらに塵埃が取り込まれ難くなり、防塵服に取り込まれた塵埃がクリーンルーム内に放出されることがより防止される。また、防塵服の内側では第１の実施の形態の防塵服よりさらに多くの塵埃が捕獲される。
【００５９】
このように本発明の第２の実施の形態によれば、第１の実施の形態の防塵服よりもさらに着用者からの発塵が捕獲され易く、外部の塵埃は捕獲され難い防塵服が実現できる。
【００６０】
次に本発明の第３の実施の形態が説明される。
【００６１】
図５は第３の実施の形態を説明するための平面図であり、図６は第３の実施の形態を説明するための断面図である。図６は、図５中のＸーＸ’線、ＹーＹ’線、ＺーＺ’線における断面図である。前出の図面と同様にこれらの図面は防塵服を構成する生地の要部が拡大されて模式的に表されたものである。図５において図面の手前が防塵服の外側、図面の奥側が防塵服の内側である。図６において図面の上方向が防塵服の外側、図面の下側が防塵服の内側である。
【００６２】
第３の実施の形態では、防塵服の生地３００は、第１の方向に延在する複数の繊維群３１０とその第１の方向と交わる第２の方向に延在する複数の繊維群３２０とが互いに織り込まれた構造である。
【００６３】
ここでは、第１の方向は図面の縦方向を意味し、第２の方向は第１の方向と実質的に直交する横方向を意味する。繊維同士の交わりは紙面上では直交するが、実際の生地の上では繊維同士が必ずしも直交するとは言い難い状況が想定されるので、ここでは第１方向及び第２方向という定義が用いられる。
【００６４】
複数の繊維群３１０は繊維群３１１乃至３１６から構成される。複数の繊維群３２０は繊維群３２１乃至３２７から構成される。
【００６５】
繊維群３１１乃至３１６及び繊維群３２１乃至３２６は、それぞれ複数の微小な繊維が束ねられた繊維群である。通常、この繊維群は糸と呼ばれることが多い。
【００６６】
繊維群３１１乃至３１６はそれぞれ直径１５〜２０μｍの直線状のポリエステル繊維が数本束ねられた集合体であり、各繊維群は直径５０〜１００μｍ程度の太さを有する。ここではポリエステル繊維が用いられたが、上述した通りナイロン等の他の材質の繊維を用いることも可能である。
【００６７】
繊維群３２１乃至３２５はそれぞれ直径５〜１０μｍの曲線状のポリエステル繊維が数本束ねられた集合体であり、各繊維群は直径５０〜８０μｍ程度の太さを有する。ここで曲線状のポリエステル繊維とは、第２の実施の形態と同様にウェーブ状あるいは波状に加工されたポリエステル繊維のことを示す。
【００６８】
この繊維群３２１乃至３２５の直径は、繊維群３１１乃至３１６の直径より細いことが望ましい。それぞれの繊維及び繊維群のサイズは材質等により異なることが予想されるが、縦方向の繊維群と横方向の繊維群との相対関係は上述のような関係になるように設計者が適宜選択できるであろう。
【００６９】
繊維群３２２と繊維群３２３との間には繊維群３２６が、繊維群３２４と繊維群３２５との間には繊維群３２７がそれぞれ配置されている。この繊維群３２６及び３２７は、上述の繊維群３１１乃至３１６と同様に、それぞれ直径１５〜２０μｍの直線状のポリエステル繊維が数本束ねられた集合体であり、各繊維群は直径５０〜１００μｍ程度の太さを有する。
【００７０】
次に、図５中のＸーＸ’線、ＹーＹ’線、ＺーＺ’線における断面図が示される図６を参照しながら、縦方向の繊維群と横方向の繊維群とが互いに織り込まれた構造が具体的に説明される。
【００７１】
繊維群３２１は防塵服の内側において１本の繊維群３１１を越えて防塵服の外側へと延在する。さらに、繊維群３２１は防塵服の外側において１本の繊維群３１２を越えて内側へと延在する。さらに、繊維群３２１は防塵服の内側において２本の繊維群３１３及び３１４を越えて防塵服の外側へと延在する。
【００７２】
この繊維群３２１に隣接する繊維群３２２は防塵服の内側において２本の繊維群３１１及び３１２を越えて防塵服の外側へと延在する。さらに、繊維群３２２は防塵服の外側において１本の繊維群３１３を越えて内側へと延在する。さらに、繊維群３２２は防塵服の内側において２本の繊維群３１４及び３１５を越えて防塵服の外側へと延在する。この２つの繊維群３２１及び３２２の繊維群の対と繊維群３１１乃至３１６との関係と同様に、他の繊維群対（３２３及び３２４、３２５及び図示されていない３２５に隣接する繊維群）も配置される。
【００７３】
繊維群３２６及び３２７は、防塵服の外側において１本の繊維群３１１を越えて防塵服の内側へと延在する。さらに、繊維群３２６及び３２７は防塵服の内側において１本の繊維群３１２を越えて外側へと延在する。さらに、繊維群３２６及び３２７は防塵服の外側において２本の繊維群３１３及び３１４を越えて防塵服の内側へと延在する。
【００７４】
複数の繊維群３１０と複数の繊維群３２０とが以上のようなパターンを繰り返して織り込まれることにより、防塵服の生地３００が構成される。
【００７５】
図５及び図６より理解できるように、ＸーＸ’断面には直線状の繊維群（３１１乃至３１６及び３２６）のみが現われる。
【００７６】
この場合、繊維群３２６が防塵服の外側と内側に現われる割合は、外側が”２（繊維群３１３及び２１４上に延在する繊維群３２６）”であるのに対して、内側は”１（繊維群３１２上に延在する繊維群３２６）である。繊維群３１１乃至３１６が防塵服の外側と内側に現われる割合は、外側が”１（繊維群３２６上に延在する繊維群３１２）”であるのに対して、内側は”２（繊維群３２６上に延在する繊維群３１３及び３１４）である。
【００７７】
ＹーＹ’断面には直線状の繊維群（３１１乃至３１６）及び曲線上の繊維群３２３が現われる。
【００７８】
この場合、繊維群３２３が防塵服の外側と内側に現われる割合は、外側が”１（繊維群３１２上に延在する繊維群３２３）”であるのに対して、内側は”２（繊維群３１３及び３１４上に延在する繊維群３２３）である。繊維群３１１乃至２１６が防塵服の外側と内側に現われる割合は、外側が”２（繊維群３２３上に延在する繊維群３１３及び３１４）”であるのに対して、内側は”１（繊維群３２３上に延在する繊維群３１２）”である。
【００７９】
ＺーＺ’断面は、上述のＹーＹ’断面を横方向に繊維群１列分だけシフトしたものと同様である。従って、繊維群３２４が防塵服の外側と内側に現われる割合は、外側が”１”であるのに対して、内側は”２”である。繊維群３１１乃至３１６が防塵服の外側と内側に現われる割合は、外側が”２”であるのに対して、内側は”１”である。
【００８０】
本実施の形態の生地３００は図５及び図６のようなパターンの繰り返しであるので、繊維群３１０が防塵服の外側と内側に現われる割合は５対４になる。また、防塵服の外側に現われる曲線上の繊維群３２１乃至３２５と直線状の繊維群３２６及び３２７との割合は２対２であり、防塵服の内側に現われる曲線上の繊維群３２１乃至３２５と直線状の繊維群３２６及び３２７との割合は１対４である。
【００８１】
本実施の形態では、第１の実施の形態と比較すると、防塵服の外側には曲線状の繊維群より直線状の繊維群が第１の実施の形態よりもさらに多く露出され、防塵服の内側には直線状の繊維群より曲線状の繊維群が第１の実施の形態よりもさらに多く露出される。
【００８２】
この実施の形態では、第１の実施の形態と同様に直線状の繊維群は曲線状の繊維群よりも径が大きいので、径の大きな繊維群が外側に第１の実施の形態よりもさらに多く露出され、径の小さな繊維群が内側に第１の実施の形態よりもさらに多く露出されると言うこともできる。また、外側に直線状の太い糸が第１の実施の形態よりもさらに多く露出され、内側に曲線状の細い糸が第１の実施の形態よりもさらに多く露出されると言うこともできる。
【００８３】
このように構成された生地を用いて防塵服が作成された場合、上述の第１の実施の形態による効果に加え以下の効果が期待できる。
【００８４】
防塵服の外側には曲線状の繊維群より直線状の繊維群が第１の実施の形態よりもさらに多く露出され、防塵服の内側には直線状の繊維群より曲線状の繊維群が第１の実施の形態よりもさらに多く露出される。従って、防塵服の外側では第１の実施の形態の防塵服よりさらに塵埃が取り込まれ難くなり、防塵服に取り込まれた塵埃がクリーンルーム内に放出されることがより防止される。また、防塵服の内側では第１の実施の形態の防塵服よりさらに多くの塵埃が捕獲される。
【００８５】
このように本発明の第３の実施の形態によれば、第１の実施の形態の防塵服よりもさらに着用者からの発塵が捕獲され易く、外部の塵埃は捕獲され難い防塵服が実現できる。
【００８６】
以上のように本発明によれば、防塵服の外表面では内表面に比べて塵埃を捕える空間が少なく、内表面では外表面に比べて塵埃を捕える空間が多くなるので、着用者に接する防塵服の内側では塵埃が多く捕獲され、防塵服の外側では塵埃が付着し難く、かつ、強度にも優れた防塵服を提供することができる。
【００８７】
本発明は、品質及び衛生的な観点から種々の塵埃を抑制する必要のあるクリーンルーム内で着用される防塵服、特に半導体分野、精密機器分野、医療・薬品分野、食品加工分野等のクリーンルームで着用される防塵服に適用される。
【００８８】
例えば、図７に示されるような半導体分野におけるクリーンルーム７００内では、作業者７０１は上述の防塵服を着用して作業に従事する。作業者７０１は、半導体ウエハを処理する装置７０２及び７０３の内部及び周囲で半導体ウエハを取り扱う。また、作業者７０１は装置７０２及び７０３を制御する。
【００８９】
このような場所では、あるレベル以上の塵埃による半導体ウエハに与える影響は非常に大きい。塵埃が存在することにより、半導体ウエハに形成される予定の微細なパターンが予定通りに形成できなくなる場合等が想定される。このようなことは、不良品の増加、すなわち、歩留り（良品が得られる割合）の低下を意味する。また、製品の信頼性の観点からも予期せぬ事象を齎らすような塵埃は極力排除されることが望ましい。
【００９０】
上述の実施の形態では、縦方向の繊維群と横方向の繊維群とが織り込まれた単層の生地が示されたが、本発明を多層構造の生地に適用することも可能である。例えば、防塵服の内表面が上述のような曲線状の繊維のみにより形成され、外表面が上述のような直線状の繊維のみにより形成され、内表面と外表面とが張り合わされたような多層構造にも適用できる。この場合、着用した際の動き易さ、通気性、着心地、コスト等を考慮して、単層または多層構造のいずれかが採用されるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００９１】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す部分拡大平面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態を示す部分拡大断面図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態を示す部分拡大平面図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態を示す部分拡大断面図である。
【図５】本発明の第３の実施の形態を示す部分拡大平面図である。
【図６】本発明の第３の実施の形態を示す部分拡大断面図である。
【図７】クリーンルームの部分拡大断面図である。
【符号の説明】
【００９２】
１００ 防塵服の生地
１１０、１２０ 繊維群
１１１、１２４ 直線状の繊維群
１２１、１２２ 曲線状の繊維群
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の方向に延在する複数の第１の繊維群と、前記第１の方向と交わる第２の方向に延在する複数の第２の繊維群と、前記第２の繊維群に挟まれ前記第２の方向に延在する第３の繊維群とが互いに織り込まれて形成された生地の構造であって、
前記第１の繊維群は直線状の繊維により、前記第２の繊維群は曲線状の繊維により、前記第３の繊維群は直線状の繊維によりそれぞれ構成されてなり、前記第２の繊維群は前記防塵服の着用者に接する側である前記生地の内側に前記生地の内側と反対側の外側よりも多く露出し、前記第３の繊維群は前記生地の外側に前記生地の内側よりも多く露出する前記生地の構造を有するクリーンルーム用防塵服を着用してクリーンルーム内で半導体ウエハを取り扱うことを特徴とする半導体ウエハの取り扱い方法。
【請求項２】
前記生地の構造における前記第２の繊維群の各繊維は前記外側において前記第１の繊維群の１つを越えて前記内側に延在し前記内側において前記第１の繊維群の２つを越えて前記外側へ延在し、前記第３の繊維群の各繊維は前記外側において前記第１の繊維群の２つを越えて前記内側へ延在し前記内側において前記第１の繊維群の１つを越えて前記外側へ延在することを特徴とする前記生地の構造を有するクリーンルーム用防塵服を着用してクリーンルーム内で半導体ウエハを取り扱うことを特徴とする請求項１記載の半導体ウエハの取り扱い方法。
【請求項３】
前記生地の構造における前記複数の第２の繊維群は隣接する２つの繊維群により繊維群対を構成し、前記第３の繊維群はそれぞれの前記繊維群対間にそれぞれ配置され、前記繊維群対は前記外側において前記第１の繊維群の１つを越えて前記内側へ延在し前記内側において前記第１の繊維群の２つを越えて前記外側へ延在し、前記第３の繊維群の各繊維は前記外側において前記第１の繊維群の２つを越えて前記内側へ延在し前記内側において前記第１の繊維群の１つを越えて前記外側へ延在する前記生地の構造を有するクリーンルーム用防塵服を着用してクリーンルーム内で半導体ウエハを取り扱うことを特徴とする請求項１記載の半導体ウエハの取り扱い方法。
【請求項４】
前記生地の構造における前記第１の繊維群の１つに対し前記繊維群対の一方が前記外側に露出し、他方が前記内側に露出する前記生地の構造を有するクリーンルーム用防塵服を着用してクリーンルーム内で半導体ウエハを取り扱うことを特徴とする請求項３記載の半導体ウエハの取り扱い方法。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の半導体ウエハの取り扱い方法において、
前記第１の繊維群の径が前記第２の繊維群の径より大きい前記生地の構造を有するクリーンルーム用防塵服を着用してクリーンルーム内で半導体ウエハを取り扱うことを特徴とする半導体ウエハの取り扱い方法。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５記載のいずれかに記載の半導体ウエハの取り扱い方法において、
前記第１の繊維群の径が５０μｍ乃至１００μｍであり、前記第２の繊維群の径が５０μｍ乃至８０μｍである前記生地の構造を有するクリーンルーム用防塵服を着用してクリーンルーム内で半導体ウエハを取り扱うことを特徴とする半導体ウエハの取り扱い方法。
【請求項１】
第１の方向に延在する複数の第１の繊維群と、前記第１の方向と交わる第２の方向に延在する複数の第２の繊維群と、前記第２の繊維群に挟まれ前記第２の方向に延在する第３の繊維群とが互いに織り込まれて形成された生地の構造であって、
前記第１の繊維群は直線状の繊維により、前記第２の繊維群は曲線状の繊維により、前記第３の繊維群は直線状の繊維によりそれぞれ構成されてなり、前記第２の繊維群は前記防塵服の着用者に接する側である前記生地の内側に前記生地の内側と反対側の外側よりも多く露出し、前記第３の繊維群は前記生地の外側に前記生地の内側よりも多く露出する前記生地の構造を有するクリーンルーム用防塵服を着用してクリーンルーム内で半導体ウエハを取り扱うことを特徴とする半導体ウエハの取り扱い方法。
【請求項２】
前記生地の構造における前記第２の繊維群の各繊維は前記外側において前記第１の繊維群の１つを越えて前記内側に延在し前記内側において前記第１の繊維群の２つを越えて前記外側へ延在し、前記第３の繊維群の各繊維は前記外側において前記第１の繊維群の２つを越えて前記内側へ延在し前記内側において前記第１の繊維群の１つを越えて前記外側へ延在することを特徴とする前記生地の構造を有するクリーンルーム用防塵服を着用してクリーンルーム内で半導体ウエハを取り扱うことを特徴とする請求項１記載の半導体ウエハの取り扱い方法。
【請求項３】
前記生地の構造における前記複数の第２の繊維群は隣接する２つの繊維群により繊維群対を構成し、前記第３の繊維群はそれぞれの前記繊維群対間にそれぞれ配置され、前記繊維群対は前記外側において前記第１の繊維群の１つを越えて前記内側へ延在し前記内側において前記第１の繊維群の２つを越えて前記外側へ延在し、前記第３の繊維群の各繊維は前記外側において前記第１の繊維群の２つを越えて前記内側へ延在し前記内側において前記第１の繊維群の１つを越えて前記外側へ延在する前記生地の構造を有するクリーンルーム用防塵服を着用してクリーンルーム内で半導体ウエハを取り扱うことを特徴とする請求項１記載の半導体ウエハの取り扱い方法。
【請求項４】
前記生地の構造における前記第１の繊維群の１つに対し前記繊維群対の一方が前記外側に露出し、他方が前記内側に露出する前記生地の構造を有するクリーンルーム用防塵服を着用してクリーンルーム内で半導体ウエハを取り扱うことを特徴とする請求項３記載の半導体ウエハの取り扱い方法。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の半導体ウエハの取り扱い方法において、
前記第１の繊維群の径が前記第２の繊維群の径より大きい前記生地の構造を有するクリーンルーム用防塵服を着用してクリーンルーム内で半導体ウエハを取り扱うことを特徴とする半導体ウエハの取り扱い方法。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５記載のいずれかに記載の半導体ウエハの取り扱い方法において、
前記第１の繊維群の径が５０μｍ乃至１００μｍであり、前記第２の繊維群の径が５０μｍ乃至８０μｍである前記生地の構造を有するクリーンルーム用防塵服を着用してクリーンルーム内で半導体ウエハを取り扱うことを特徴とする半導体ウエハの取り扱い方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２００６−７０４２７（Ｐ２００６−７０４２７Ａ）
【公開日】平成１８年３月１６日（２００６．３．１６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−２５７３２８（Ｐ２００５−２５７３２８）
【出願日】平成１７年９月６日（２００５．９．６）
【分割の表示】特願平１０−１１０６２０の分割
【原出願日】平成１０年４月２１日（１９９８．４．２１）
【出願人】（００００００２９５）沖電気工業株式会社 (6,645)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年３月１６日（２００６．３．１６）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年９月６日（２００５．９．６）
【分割の表示】特願平１０−１１０６２０の分割
【原出願日】平成１０年４月２１日（１９９８．４．２１）
【出願人】（００００００２９５）沖電気工業株式会社 (6,645)
【Ｆターム（参考）】
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