原盤露光装置
【課題】トラックピッチ及び溝形状が異なる複数の記録領域を有する情報記録媒体において、安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボを実現する。
【解決手段】凹凸パターンにより形成された記録トラックが、第一及び第二の記録領域Ｒ１，Ｒ２と、この領域間に配置された記録領域遷移区間Ｓｘとを備え、Ｒ１におけるトラックピッチｔｐ１、溝幅ｗ１、及び溝深さｄ１並びにＲ２におけるトラックピッチｔｐ２、溝幅ｗ２、及び溝深さｄ２が式（１）と式（２）及び／又は式（３）とを満たし、０＜｜ｔｐ1−ｔｐ２｜（１）、０＜｜ｗ１−ｗ２｜（２）、０＜｜ｄ１−ｄ２｜（３）、Ｓｘが、トラックピッチがｔｐ１からｔｐ２へと遷移するトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐと、溝幅がｗ１からｗ２へと、及び／又は、溝深さがｄ１からｄ２へと遷移する溝形状遷移区間Ｓｇとを備え、ＳｔｐとＳｇとが少なくとも一部の領域ＳＬを共有する。
【解決手段】凹凸パターンにより形成された記録トラックが、第一及び第二の記録領域Ｒ１，Ｒ２と、この領域間に配置された記録領域遷移区間Ｓｘとを備え、Ｒ１におけるトラックピッチｔｐ１、溝幅ｗ１、及び溝深さｄ１並びにＲ２におけるトラックピッチｔｐ２、溝幅ｗ２、及び溝深さｄ２が式（１）と式（２）及び／又は式（３）とを満たし、０＜｜ｔｐ1−ｔｐ２｜（１）、０＜｜ｗ１−ｗ２｜（２）、０＜｜ｄ１−ｄ２｜（３）、Ｓｘが、トラックピッチがｔｐ１からｔｐ２へと遷移するトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐと、溝幅がｗ１からｗ２へと、及び／又は、溝深さがｄ１からｄ２へと遷移する溝形状遷移区間Ｓｇとを備え、ＳｔｐとＳｇとが少なくとも一部の領域ＳＬを共有する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばＢｌｕ−ｒａｙディスク等の情報記録媒体と、その情報記録媒体を製造するための原盤露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｂｌｕ−ｒａｙディスク等の情報記録媒体では、基板上に記録層が形成され、レーザー光を記録層に集光させることでデータの書き込みあるいは読み取りができるようになっている。
また、媒体上にはトラックが螺旋状に形成されてなり、データの読み書きは、情報記録媒体をスピンドルモーターなどに載置回転させつつ、トラックに沿ってレーザー光を集光することによって実行される。
【０００３】
トラックは、基板上に物理的に刻設された溝やピットによって具現化されている。例えば記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクにおいては、トラックは溝によって具現化されている。また、例えば再生専用型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクにおいては、トラックはピットによって具現化されている。
【０００４】
ここで、溝とは、情報記録媒体の周方向に物理的に連続して形成された凹凸パターンのことである。また、ピットとは、情報記録媒体の周方向に断続して形成された凹凸パターンのことであり、多数個のピットが情報記録媒体の周方向に並ぶことにより、一つのトラックを構成している。
【０００５】
なお、情報記録媒体の種類によっては、同一の情報記録媒体上に溝及びピットの両方が、それぞれ所定の領域内で刻設されてなるものもある。すなわち、例えば溝のみが刻設された領域を記録可能な領域として用い、ピットのみが刻設された領域を再生専用領域として用いる等の場合がある。
【０００６】
一方、記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクの場合、情報記録媒体の最適記録パワーやメディア製造者情報等が、コントロールデータとして予め情報記録媒体上に記録されている（コントロールデータが記録された領域を「コントロールデータ領域」という。後述するように「ＰＩＣ領域」という場合もある。）。コントロールデータの記録は、ユーザーデータ領域とは異なる変調方式によって溝を蛇行させることによりなされている。
【０００７】
ここで、蛇行とは、溝を所定の振幅及びパターンで情報記録媒体の半径方向に微小に変位させることによって実現されるものである。また、変調方式とは、予め記録しておきたいデータを所定の蛇行パターンに変換するための変換方式のことである。なお、以下の記載では、簡便のため、「溝の蛇行に用いられる変調方法」のことを、単に「ウォブル変調方式」と記述することとする。
【０００８】
更に、記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクにおいては、ドライブによるコントロールデータの読み取りをより確実なものとするため、コントロールデータ領域のトラックピッチを、ユーザーデータ領域のトラックピッチよりも大きくするように形成されている。
【０００９】
ここでトラックピッチとは、情報記録媒体を半径方向に見たときの隣接する二つのトラックの中心間距離のことである。上述したように、記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクにおいては、溝が情報記録媒体の半径方向に微小量蛇行させられているが、トラックピッチの値を議論する際には、溝の蛇行は考慮に入れない。従って、トラックピッチは、情報記録媒体を半径方向に見たときの溝間の平均的な距離に等しい。
一方、情報記録媒体に照射されたレーザー光については、その一部が反射され、反射光は、例えば二分割フォトディテクターなどで受光される。
【００１０】
図１５（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ、規格化プッシュプル信号振幅（トラックに沿った方向に検出面が分割された二分割フォトディテクターの各々の出力の差を、各々の出力の和で除算した信号の振幅）と、トラックピッチ、溝幅、及び溝深さとの相関関係を表わすグラフである。
【００１１】
図１５（ａ）〜（ｃ）のグラフから分かるように、例えば記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクの場合、コントロールデータ領域のトラックピッチは、ユーザーデータ領域のトラックピッチよりも広いので、コントロールデータ領域とユーザーデータ領域の溝形状が略同一の場合、コントロールデータ領域から得られる規格化プッシュプル信号振幅は、ユーザーデータ領域から得られる規格化プッシュプル信号振幅よりも大きくなる。また、規格化プッシュプル信号振幅の大きさが、溝幅及び溝深さによって変化することも知られている。
【００１２】
一方、レーザー光を集光するための対物レンズを搭載したピックアップは、規格化プッシュプル信号を基にしてトラックに追随していく（以下、トラックに追随して動作することを「トラッキング」と呼び、トラッキングを実行する制御のことを「トラッキングサーボ」と呼ぶ。）。ピックアップは、通常、規格化プッシュプル信号振幅がある所定の範囲内であることを前提として設計される。言い換えると、規格化プッシュプル信号振幅が所定の範囲内である時に、初めて安定したトラッキングサーボを実現できることになる。
【００１３】
例えば、規格化プッシュプル信号振幅が所定の範囲内の値よりも小さい場合、安定したトラッキングサーボを実現するための十分な信号振幅が得られず、トラッキングサーボ不良を引き起こすという悪影響が出る。
また、例えば、規格化プッシュプル信号振幅が所定の範囲内の値よりも大きい場合、必要以上の信号振幅がトラッキングサーボ回路に入力され、その結果サーボ系が発振する、といった悪影響が出る。
【００１４】
更に、規格化プッシュプル信号振幅が相対的に大き過ぎる場合、フォーカスサーボを行なう上で用いられるフォーカスエラー信号にプッシュプル信号（トラックに沿った方向に検出面が分割された二分割フォトディテクターの各々の出力の差信号）がノイズとして重畳してしまい、フォーカスが外れる等の課題を引き起こす可能性がある。
【００１５】
なお、ピックアップの種類によっては、規格化プッシュプル信号以外の信号を用いてトラッキングを実行する場合も考えられるが、トラッキングの実行に用いられる信号振幅が所定の範囲内にあるときに初めて安定したトラッキングサーボを実現できるという点では同様に考えてよい。
【００１６】
また、たとえ規格化プッシュプル信号振幅が所定の範囲内であっても、急激な規格化プッシュプル信号振幅の変化に対してはサーボ系のゲインコントロール回路が追従できず、トラッキングサーボ不良を引き起こすといったケースも起こり得る。従って、規格化プッシュプル信号振幅の変化をできるだけ小さくした方が、トラッキングサーボに関する不具合を起こす可能性が低くなる。
【００１７】
上記のように、規格化プッシュプル信号振幅の急激な変化はトラッキングサーボ或いはフォーカスサーボに悪影響を及ぼすので、例えばコントロールデータ領域とユーザーデータ領域との溝形状を異ならせることによって、コントロールデータ領域とユーザーデータ領域との規格化プッシュプル信号振幅の差を小さくすればよいことが知られている。
【００１８】
なお、一般的な情報記録媒体の製造方法によれば、原盤露光装置における露光パワーを領域毎に変化させることによって、領域毎に溝形状を変化させることができる。
また、上記トラックピッチの異なる領域に対して安定したトラッキングサーボを実現するための提案として、トラックピッチの異なる領域同士を一つの螺旋状のトラックとして形成し、かつトラックピッチを徐々に変化させる遷移区間を設ける提案もなされている（特許文献１）。
【００１９】
上記トラックピッチを徐々に変化させる遷移区間を設けるという技術は、例えば記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクにおいて採用されている。この技術によれば、コントロールデータ領域とユーザーデータ領域とは連続した螺旋状のトラックとされ、両領域はトラックピッチを徐々に変化させたトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐを設けることによって接続されている。
【００２０】
記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクにおける、コントロールデータ領域、ユーザーデータ領域、及びトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐの配置について、図１６を用いて説明する。なお、図１６は、一般的な記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクにおけるコントロールデータ領域、ユーザーデータ領域、及びトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐの配置を説明するための図である。
【００２１】
図１６に示すように、記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクでは、コントロールデータ領域はユーザーデータ領域よりも内周側に設置され、コントロールデータ領域におけるトラックピッチは約０．３５μｍに、ユーザーデータ領域のトラックピッチは約０．３２μｍに、それぞれ設定される。
【００２２】
更に、ユーザーデータ領域とコントロールデータ領域との間には、保護領域（Ｐｒｏｔｅｃｔｉｏｎ ｚｏｎｅ）が設けられており、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐは、保護領域に完全に包含されるように形成される。
トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐよりも内周側に存在する保護領域（図１６における内周側保護領域）のトラックピッチは、コントロールデータ領域のトラックピッチと同じ値に設定される。
一方、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐよりも外周側に存在する保護領域（図１６における外周側保護領域）のトラックピッチは、ユーザーデータ領域のトラックピッチと同じ値に設定される。
【００２３】
更に、ウォブル変調方式は、コントロールデータ領域とユーザー領域とで異なった方式とされ、保護領域のウォブル変調方式はユーザーデータ領域のウォブル変調方式と同じものとされる。つまり、ウォブル変調方式は、保護領域とコントロールデータ領域との境界部において変化するように形成されている（特許文献２）。
【００２４】
すなわち、保護領域とは、ウォブル変調方法及びトラックピッチが相異なる二領域の間に設けられ、一つの螺旋状のトラックとして形成された二領域を接続するために設けられた領域である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２５】
【特許文献１】特開２００３−３４６３８４号公報
【特許文献２】特開２００６−１２３５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２６】
本発明が解決しようとする課題について、Ｂｌｕ−ｒａｙディスクを例に挙げて説明する。
上述したように、Ｂｌｕ−ｒａｙディスクにおいては、コントロールデータ領域が、相対的に広いトラックピッチでユーザーデータ領域の内周側に設けられている。両者は連続したトラック上に設けられ、両者の間にはトラックピッチを徐々に変化させたトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐが設けられている。
また、コントロールデータ領域とユーザーデータ領域との規格化プッシュプル信号振幅の差を小さくするために、原盤露光装置において両領域の露光パワーをそれぞれ異ならせることによって、両記録領域の溝形状を互いに異ならせることができる。
【００２７】
しかし、両記録領域の溝形状を異ならせると、異なった溝形状の接続部分において規格化プッシュプル信号振幅の不連続が発生し、ドライブの動作に必要なだけの大きさの規格化プッシュプル信号振幅が得られない、或いはトラッキングサーボやフォーカスサーボに支障をきたすほどの大きな規格化プッシュプル信号振幅が得られてしまう、等の不具合があった。
更に、規格化プッシュプル信号振幅が不連続であることにより、トラッキングサーボ系のゲインコントロール回路が追従しきれず、トラッキングサーボ不良を引き起こすという不具合もあった。
【００２８】
このような不具合は、特に、記録層に有機色素材料を含んだ、イングルーブ型のＬｏｗ−Ｔｏ−Ｈｉｇｈ記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクにおいて顕著であった。ここで、イングルーブ型とは、凹凸パターンのうち、記録再生光が入射する側の記録媒体表面から遠い側の溝底部を記録トラックとするタイプのＢｌｕ−ｒａｙディスクのことである。また、Ｌｏｗ−Ｔｏ−Ｈｉｇｈ記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクとは、記録マーク部分の反射率が未記録部分の反射率よりも高い構成とされたＢｌｕ−ｒａｙディスクのことである。
【００２９】
イングルーブ型のＬｏｗ−Ｔｏ−Ｈｉｇｈ記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクにおいては、ユーザーデータ領域において実用上十分な記録再生特性を得るために、記録前の規格化プッシュプル信号振幅をある程度大きくすることが望まれる。このため、記録前の状態においては、コントロールデータ領域とユーザーデータ領域における規格化プッシュプル信号振幅との差が大きくなり、両領域の接続部分における規格化プッシュプル信号振幅の不連続に起因するトラッキングサーボ不良等の不具合が出易くなるものと考えられる。
【００３０】
本発明は、上記の課題を解決するべくなされたものである。即ち、本発明の目的は、トラックピッチ及び溝形状が異なる複数の記録領域を有する情報記録媒体であって、安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボを実現することが可能な情報記録媒体と、この情報記録媒体を製造することが可能な原盤露光装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００３１】
本発明者らは、上記課題に鑑み鋭意検討した結果、トラックピッチ及び溝形状が異なる複数の記録領域を有する情報記録媒体において、これらの記録領域間に、トラックピッチが遷移する区間と溝形状が遷移する区間とを有する遷移区間を設けるとともに、これらの区間が少なくとも一部領域を共有するようにすることにより、安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボを実現することが可能となることを見出した。また、原盤露光装置に、記録光の強度を単調増加又は単調減少でスイープさせる機構、或いは、記録光強度を補間して調節する動作を１００ｍｓｅｃ以下のサイクルで繰り返し行なう機構を設けることにより、このような情報記録媒体を製造することが可能となることを見出し、本発明者らは本発明を完成させた。
【００３２】
即ち、本発明の要旨は、凹凸パターンにより形成された記録トラックを有する情報記録媒体において、該記録トラックが、第一の記録領域Ｒ１と、第二の記録領域Ｒ２と、第一の記録領域Ｒ１及び第二の記録領域Ｒ２の間に配置された記録領域遷移区間Ｓｘとを少なくとも備え、第一の記録領域Ｒ１におけるトラックピッチｔｐ１、溝幅ｗ１、及び溝深さｄ１、並びに第二の記録領域Ｒ２におけるトラックピッチｔｐ２、溝幅ｗ２、及び溝深さｄ２が、下記式（１）と、下記の式（２）及び／又は式（３）とを満たし、
０ ＜ ｜ｔｐ１−ｔｐ２｜ （１）
０ ＜ ｜ｗ１−ｗ２｜ （２）
０ ＜ ｜ｄ１−ｄ２｜ （３）
記録領域遷移区間Ｓｘが、トラックピッチがｔｐ１からｔｐ２へと遷移するトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐと、溝幅がｗ１からｗ２へと遷移し、及び／又は、溝深さがｄ１からｄ２へと遷移する溝形状遷移区間Ｓｇとを備え、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐと溝形状遷移区間Ｓｇとは、少なくとも一部の領域ＳＬを共有していることを特徴とする、情報記録媒体に存する（請求項１）。
【００３３】
ここで、第一の記録領域Ｒ１と、第二の記録領域Ｒ２と、記録領域遷移区間Ｓｘとが、物理的に連続した溝によって形成されていることが好ましい（請求項２）。
【００３４】
また、前記情報記録媒体が、有機色素を含む記録層を有することが好ましい（請求項３）。
【００３５】
また、記録マーク部分における反射率が、未記録部分の反射率よりも高い構成とされることが好ましい（請求項４）。
【００３６】
また、凹凸パターンのうち、記録再生光入射側の情報記録媒体の表面から遠い側の溝底部を記録トラックとすることが好ましい（請求項５）
【００３７】
また、記録層の組成及び膜厚が、少なくとも、第一の記録領域Ｒ１と、第二の記録領域Ｒ２と、記録領域遷移区間Ｓｘと、において同一であることが好ましい（請求項６）。
【００３８】
また、ディスク状の情報記録媒体であって、溝形状遷移区間Ｓｇのトラックに沿った長さＬｇが、ディスク状の情報記録媒体におけるトラック一周分以上であることが好ましい（請求項７）。
【００３９】
また、溝形状遷移区間Ｓｇにおける溝幅及び／又は溝深さが、トラックに沿って単調増加又は単調減少で変化していることが好ましい（請求項８）。
【００４０】
また、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐのトラックに沿った長さＬｔｐと、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐと溝形状遷移区間Ｓｇとが共有する領域ＳＬのトラックに沿った長さＬＬとが、下記の式（４）及び式（５）を満たすことが好ましい（請求項９）。
０．２ ≦ Ｌｇ／Ｌｔｐ ≦ ２．５ （４）
０．１ ≦ ＬＬ／Ｌｔｐ ≦ １．０ （５）
【００４１】
また、第一の記録領域Ｒ１及び第二の記録領域Ｒ２における、未記録状態での規格化プッシュプル信号振幅の最大値をＮＰＰmaxとし、最小値をＮＰＰminとした場合に、記録領域遷移区間Ｓｘ内の全領域において、規格化プッシュプル信号振幅ＮＰＰが以下の式を満たすことが好ましい（請求項１０）。
ＮＰＰmin ≦ ＮＰＰ ≦ ＮＰＰmax （６）
【００４２】
また、第一の記録領域Ｒ１及び第二の記録領域Ｒ２における、未記録状態での溝部反射率の最大値をＲｇｖmaxとし、最小値をＲｇｖminとした場合に、記録領域遷移区間Ｓｘ内の全領域において、未記録状態での溝部反射率Ｒｇｖが以下の式を満たすことが好ましい（請求項１１）。
Ｒｇｖmin ≦ Ｒｇｖ ≦ Ｒｇｖmax （７）
【００４３】
また、第一の記録領域Ｒ１が、第二の記録領域Ｒ２よりも内周側に配置され、かつ、第一の記録領域Ｒ１の内周側に、第一の記録領域Ｒ１におけるトラックピッチｔｐ１及び第二の記録領域Ｒ２におけるトラックピッチｔｐ２よりも広いトラックピッチｔｐ３を有した第三の記録領域Ｒ３が配置される構成とすることが好ましい（請求項１２）。
【００４４】
また、第三の記録領域Ｒ３においては、溝の蛇行による情報の記録がなされていないことが好ましい（請求項１３）。
【００４５】
また、第三の記録領域Ｒ３と第一の記録領域Ｒ１の間に、トラックピッチがｔｐ３からｔｐ１へと遷移するトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐ’が配置されることが好ましい（請求項１４）。
【００４６】
また、第一の記録領域Ｒ１が、所定の情報を格納した読取専用領域であり、第二の記録領域Ｒ２が、ユーザーデータを書き込み可能な読み書き可能領域であることが好ましい（請求項１５）。
【００４７】
また、読み取り専用領域におけるトラックピッチが０．３５μｍであり、読み書き可能領域におけるトラックピッチが０．３２μｍであることが好ましい（請求項１６）。
【００４８】
また、読み取り専用領域における規格化プッシュプル信号振幅をＮＰＰ１とし、読み書き可能領域における未記録状態での規格化プッシュプル信号振幅をＮＰＰ２とし、読み書き可能領域における記録後の規格化プッシュプル信号振幅をＮＰＰ２ａとし、さらに、
各々の最大値の中で最も大きい値をＮＰＰＡＬmaxとし、各々の最小値の中で最も小さい値をＮＰＰＡＬminとしたとき、
ＮＰＰＡＬmax／ＮＰＰＡＬmin ≦ ３
であることが好ましい（請求項１７）。
【００４９】
また、
ＮＰＰＡＬmax／ＮＰＰＡＬmin ≦ ２
であることがさらに好ましい（請求項１８）。
【００５０】
また、読み取り専用領域に対しては第一のウォブル変調方式が適用され、読み書き可能領域に対しては第一のウォブル変調方式とは異なった第二のウォブル変調方式が適用され、かつ、記録領域遷移区間Ｓｘにおいては読み書き可能領域と同じウォブル変調方式が適用されていることが好ましい（請求項１９）
【００５１】
また、本発明の別の要旨は、記録光源と、所定のフォーマットに基づいた所定の偏向信号を発生させる偏向信号生成機構と、上記偏向信号生成機構が生成した偏向信号に基づいて、上記記録光源が発生する記録光を偏向させる記録光偏向機構と、上記記録光を原盤上に集光させる集光機構と、上記原盤を載置し回転させるための回転機構と、上記集光機構を上記原盤の半径方向に相対的に移動させる半径移動機構と、トラックピッチの異なる複数の記録領域を生成できるように、予め設定した値に基づいて、上記回転機構の回転速度と、上記半径移動機構の移動速度と、上記集光機構の位置とを制御する制御機構と、上記記録光の強度を調節する記録光強度調節機構と、予め設定した値に基づいて、上記記録光の強度を単調増加又は単調減少でスイープさせる、記録光強度スイープ機構とを備えたことを特徴とする、原盤露光装置に存する（請求項２０）。
【００５２】
ここで、予め設定した特定の半径位置に集光機構が達したことを検出して、上記記録光強度スイープ機構による記録光強度のスイープを開始及び／又は終了する機構を備えることが好ましい（請求項２１）。
【００５３】
また、予め設定した特定のアドレスを上記偏向信号生成機構が出力したことを検出して、上記記録光強度スイープ機構による記録光強度のスイープを開始及び／又は終了する機構を備えることが好ましい（請求項２２）。
【００５４】
また、予め設定した特定の半径位置に集光機構が達したことを検出して、上記記録光強度スイープ機構による記録光強度のスイープを開始し、かつ、予め設定した所定の時間経過後に上記スイープを終了する機構を備えることが好ましい（請求項２３）。
【００５５】
また、予め設定した特定のアドレスを上記偏向信号生成機構が出力したことを検出して、上記記録光強度スイープ機構による記録光強度のスイープを開始し、かつ、予め設定した所定の時間経過後に上記スイープを終了する機構を備えることが好ましい（請求項２４）。
【００５６】
また、本発明の別の要旨は、記録光源と、所定のフォーマットに基づいた所定の偏向信号を発生させる偏向信号生成機構と、上記偏向信号生成機構が生成した偏向信号に基づいて上記記録光源が発生する記録光を偏向させる記録光偏向機構と、上記記録光を原盤上に集光させる集光機構と、上記原盤を載置し回転させるための回転機構と、上記集光機構を上記原盤の半径方向に相対的に移動させる半径移動機構と、トラックピッチの異なる複数の記録領域を生成できるように、予め設定した値に基づいて、上記回転機構の回転速度と、上記半径移動機構の移動速度と、上記集光機構の位置とを制御する制御機構と、上記集光機構の位置と、予め設定した特定の半径値における記録光強度設定値とに基づいて、記録光強度を補間して調節する記録光強度調節機構と、上記記録光強度調節動作を繰り返し行なう繰り返し動作機構とを少なくとも備え、上記繰り返し動作機構の１サイクルに要する動作時間が、１００ｍｓｅｃ以下であることを特徴とする、原盤露光装置に存する（請求項２５）。
【発明の効果】
【００５７】
本発明の情報記録媒体は、トラックピッチ及び溝形状が異なる複数の記録領域を有するとともに、安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボを実現することができる。
また、本発明の原盤露光装置によれば、上記の情報記録媒体を効率的に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】（ａ），（ｂ）は何れも、本発明の情報記録媒体が有する層構成の例を示す、模式的な部分断面図である。
【図２】本発明の情報記録媒体における第一の記録領域Ｒ１、第二の記録領域Ｒ２、及び記録領域遷移区間Ｓｘの関係を説明するための図であり、第一の記録領域Ｒ１、第二の記録領域Ｒ２、及び記録領域遷移区間Ｓｘの各々における、隣接する二つの溝の断面形状の例を、模式的に示している。
【図３】本発明の情報記録媒体の一例である記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクにおける記録領域の配置を説明するための模式的上方視図である。
【図４】（ａ）〜（ｉ）は、本発明の情報記録媒体を製造するためのスタンパの製造手順の一例を説明するための図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る原盤露光装置の基本構成の例を模式的に示す機能ブロック図である。
【図６】本発明の一実施形態に係る原盤露光装置の第２の態様において、連続的な補間により得られる理論的な露光強度と集光機構の半径値との関係を表わすグラフである。
【図７】本発明の一実施形態に係る原盤露光装置の第２の態様において、補間動作の繰り返しによって得られる実際の露光強度と集光機構の半径値との関係を表わすグラフである。
【図８】（ａ）は、各実施例及び各比較例の情報記録媒体の評価に用いた情報再生装置（以下「評価用情報再生装置」という。）の要部の構成を示す機能ブロック図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す評価用情報再生装置が有する４分割フォトダイオードの構成を説明するための図である。
【図９】実施例１の情報記録媒体における規格化プッシュプル信号振幅ＮＰＰ及び和信号ＳＵＭの、情報記録媒体約２分の一周分の波形を示す図である。
【図１０】実施例２の情報記録媒体における規格化プッシュプル信号振幅ＮＰＰ及び和信号ＳＵＭの、情報記録媒体約２分の一周分の波形を示す図である。
【図１１】実施例３の情報記録媒体における規格化プッシュプル信号振幅ＮＰＰ及び和信号ＳＵＭの、情報記録媒体約２分の一周分の波形を示す図である。
【図１２】比較例１の情報記録媒体における規格化プッシュプル信号振幅ＮＰＰ及び和信号ＳＵＭの、情報記録媒体約２分の一周分の波形を示す図である。
【図１３】比較例２の情報記録媒体における規格化プッシュプル信号振幅ＮＰＰ及び和信号ＳＵＭの、情報記録媒体約２分の一周分の波形を示す図である。
【図１４】実施例１〜７及び比較例１，２の情報記録媒体について得られたＬｇ／ＬｔｐとＬＬ／Ｌｔｐとの関係をプロットした図である。
【図１５】（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ、規格化プッシュプル信号振幅（グルーブトラックに沿った方向に検出面が分割された二分割フォトディテクターの各々の出力の差信号）と、トラックピッチ、溝幅及び溝深さとの相関関係を表わすグラフである。
【図１６】一般的な記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクにおけるコントロールデータ領域、ユーザーデータ領域、及びトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐの配置を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００５９】
以下、本発明を実施するための最良の形態（以下「発明の実施の形態」という。）について、図面を参照して説明する。
【００６０】
但し、本発明は以下の発明の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内において種々変形して実施することができる。
なお、本発明は、イングルーブ型のＬｏｗ−Ｔｏ−Ｈｉｇｈ記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクに対して適用することが好ましいので、以下の発明の実施の形態の説明では、情報記録媒体として適宜、イングルーブ型のＬｏｗ−Ｔｏ−Ｈｉｇｈ記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクを例にとって説明する。但し、本発明は特定の情報記録媒体にのみ適用されるものではなく、種々の情報記録媒体（例えば、オングルーブ型等の記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクや、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ Ｄｉｓｃ）等のＢｌｕ−ｒａｙディスク以外の情報記録媒体等）にも適用可能である。
【００６１】
［Ｉ．情報記録媒体］
〔Ｉ−１．基本構成〕
本発明の情報記録媒体は、凹凸パターンにより形成された記録トラックを有する情報記録媒体であって、通常は円盤状（ディスク状）の基板と、基板上に形成された記録層とを少なくとも備えてなる。
【００６２】
基板は、従来公知の材料を適宜使用することができるが、情報記録媒体がある程度の剛性を有するよう、形状安定性を備えることが望ましい。即ち、機械的安定性が高く、剛性が大きいことが好ましい。
このような材料としては、例えばアクリル系樹脂、メタクリル系樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリオレフィン系樹脂（特に非晶質ポリオレフィン）、ポリエステル系樹脂、ポリスチレン樹脂、エポキシ樹脂等の樹脂や、ガラス等を用いることができる。これらの材料は何れか一種を単独で用いてもよく、二種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。中でも、成形性などの高生産性、コスト、低吸湿性、形状安定性などの点からは、基板の材料としてはポリカーボネート樹脂が好ましい。
基板の厚みとしては、通常０．５ｍｍ以上、また、通常１．２ｍｍ以下とするのが好ましい。
【００６３】
記録層は、レーザー光の照射によりその物理特性あるいは形状等が変化し、反射率等の光学特性の変化による情報の記録再生が可能な従来公知の材料を適宜使用することができる。このような材料としては、有機色素材料、相変化材料を始めとする無機材料等が挙げられる。
有機色素材料としては、例えば大環状アザアヌレン系色素（フタロシアニン色素、ナフタロシアニン色素、ポルフィリン色素等）、ピロメテン系色素、ポリメチン系色素（シアニン色素、メロシアニン色素、スクワリリウム色素等）、アントラキノン系色素、アズレニウム系色素、含金属アゾ系色素、含金属インドアニリン系色素等が挙げられる。
無機材料としては、例えばＧｅＴｅ、ＧｅＳｂＴｅ等のカルコゲン系合金膜、Ｓｉ／Ｇｅ、Ａｌ／Ｓｂ等の２層膜、ＢｉＧｅＮ、ＳｎＮｂＮ等の（部分）窒化膜、ＴｅＯx、ＢｉＦＯx等の（部分）酸化膜等が用いられる。これらの材料は何れか一種を単独で用いてもよく、二種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。
記録層の膜厚は、通常１ｎｍ以上、好ましくは１０ｎｍ以上、また、通常１００ｎｍ以下、好ましくは９０ｎｍ以下である。
【００６４】
ここで、記録層の組成及び膜厚は、少なくとも第一の記録領域Ｒ１と、第二の記録領域Ｒ２と、記録領域遷移区間Ｓｘと、において同一であることが好ましいが、製造プロセスや溝形状に起因した不可避的な記録層の組成及び膜厚の分布の不均一を禁止するものではない。すなわち、例えば記録層として有機色素材料を一般的なスピンコート法を用いて塗布する場合、溝形状の相違する領域あるいはディスクの内外周において記録層膜厚が若干異なる場合が生じるが、安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボが実現出来る範囲であれば許容される。
【００６５】
また、本発明は、イングルーブ型のＬｏｗ−Ｔｏ−Ｈｉｇｈ記録型のＢｌｕ−ｒａｙディスクに対して適用されることが好ましく、従って記録層の組成や膜厚は、記録マーク部分における反射率が、未記録部分の反射率よりも高い構成とされることが好ましい。なぜなら、前述の通り、イングルーブ型のＬｏｗ−ＴｏＨｉｇｈ記録型のＢｌｕ−ｒａｙディスクは、規格化プッシュプル信号振幅の不連続に起因するトラッキングサーボ不良等の不具合が出易いからである。しかし、いわゆるＨｉｇｈ−Ｔｏ−Ｌｏｗ記録型のＢｌｕ−ｒａｙディスクなどに適用してもよく、記録層の組成や膜厚は任意に選択可能である。
【００６６】
そして、本発明の情報記録媒体は、公知の記録及び／又は再生装置を用いて、記録又は再生のためのレーザー光を記録層に対して照射することにより、記録層にデータを記録し、或いは記録層に記録されたデータを再生することができる。
【００６７】
なお、本発明の情報記録媒体は、その他の層を有していてもよい。その他の層の例としては、反射層、カバー層、中間層、界面層等が挙げられる。
【００６８】
反射層は、記録再生に使用されるレーザー光に対する一定以上の反射率を有することが必要とされ、従来公知の材料を適宜使用することができる。このような材料としては、例えばＡｌ、Ａｇ、Ａｕ等の金属又は合金が用いられる。これらの材料は何れか一種を単独で用いてもよく、二種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。
反射層の膜厚は、通常３ｎｍ以上、好ましくは５０ｎｍ以上、また、通常４００ｎｍ以下、好ましくは３００ｎｍ以下である。
【００６９】
カバー層は、記録再生に使用されるレーザー光に対して透明で複屈折の少ない材料が選ばれ、通常は、プラスチック板（シートと呼ぶ）を接着剤で貼り合せるか、塗布後、光、放射線、または熱等で硬化して形成する。これらの材料は何れか一種を単独で用いてもよく、二種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。
カバー層の膜厚は、通常１０μｍ以上、好ましくは５０μｍ以上、また、通常３００μｍ以下、好ましくは１５０μｍ以下であるが、Ｂｌｕ−ｒａｙディスクにおいては、通常１００μｍ程度であり、好ましくは９７μｍ以上、また、好ましくは１０３μｍ以下である。
【００７０】
中間層は、主に記録層を複数有する積層型情報記録媒体において用いられる。記録再生に使用されるレーザー光に対してある程度の光透過性を有する必要があるほか、凹凸により溝やピットが形成可能である必要がある。
中間層の材料としては、例えば、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、電子線硬化性樹脂、紫外線硬化性樹脂（遅延硬化型を含む）等の樹脂材料を挙げることができる。これらの材料は何れか一種を単独で用いてもよく、二種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。
中間層の膜厚は、通常５μｍ以上、好ましくは１０μｍ以上、また、通常１００μｍ以下、好ましくは７０μｍ以下である。
【００７１】
界面層は、記録層とカバー層との界面、記録層と反射層との界面等に設けられ、相互の層の拡散防止や光学特性の調整等の機能を有する。
界面層の膜厚は、通常１ｎｍ以上、好ましくは３ｎｍ以上、また、通常５０ｎｍ以下、好ましくは１５ｎｍ以下である。
【００７２】
本発明の情報記録媒体における、これらの層の数や組み合わせ、積層順等に制限はなく、任意である。
【００７３】
本発明の情報記録媒体が有する具体的な層構成の例について、図１（ａ），（ｂ）を用いて説明する。ここで、図１（ａ），（ｂ）は何れも、本発明の情報記録媒体が有する層構成の例を示す、模式的な部分断面図である。
【００７４】
具体的に、図１（ａ）に示す情報記録媒体１００は、単層型の情報記録媒体の一例であり、基板１０１、反射層１０２、記録層１０３、カバー層１０４が、この順に積層されてなる。そして、記録又は再生のためのレーザー光１０５を、カバー層１０４側から記録層１０３に照射することにより、記録層１０３にデータを記録し、或いは記録層１０３に記録されたデータを再生することができる。
【００７５】
また、図１（ｂ）に示す情報記録媒体２００は、二層型の情報記録媒体であり、基板２０１、第１の反射層２０２、第１の記録層２０３、中間層２０４、第２の反射層２０５、第２の記録層２０６、カバー層２０７が、この順に積層されてなる。そして、記録又は再生のためのレーザー光２０８を、カバー層２０７側から第１の記録層２０３又は第２の記録層２０６に照射することにより、第１の記録層２０３又は第２の記録層２０６にデータを記録し、或いは第１の記録層２０３又は第２の記録層２０６に記録されたデータを再生することができる。
【００７６】
以下、図１（ａ），（ｂ）に示す層構成を例として説明を行なう場合があるが、これら図１（ａ），（ｂ）に示す層構成は、あくまでも本発明の情報記録媒体の層構成の一例である。本発明の情報記録媒体はこれらの層構成に制限されるものではなく、その他の層構成を有していてもよい。例えば、図１（ａ），（ｂ）に示す層構成のうち一部の層を削除したり、他の層を追加したり、二以上の層を一層として形成したり、積層順を変更したり、三層以上の記録層を設けたり、その他任意の変更を加えることが可能である。
【００７７】
また、本発明の情報記録媒体は、その何れかの層（通常は基板や中間層等）に、凹凸パターンにより具現化された螺旋状のトラックを有する。
そして、このトラックを基準として、記録のためのレーザー光を記録層に照射することにより、トラックに沿ってデータが記録される。
また、このトラックを基準として、再生のためのレーザー光を記録層に照射することにより、トラックに沿って記録されたデータを再生することができる。
【００７８】
具体的に、図１（ａ）に示す一層型の情報記録媒体においては、基板１０１上にトラック（グルーブトラック）ＧＴ１が形成され、反射層１０２、記録層１０３、カバー層１０４がその上に積層形成されている。
【００７９】
また、図１（ｂ）に示す二層型の情報記録媒体においては、基板２０１上にトラック（グルーブトラック）ＧＴ２１が形成され、第１の反射層２０２、第１の記録層２０３、中間層２０４がその上に積層されている。また、中間層２０４の第１の記録層２０３とは反対側の面にトラック（グルーブトラック）ＧＴ２２が形成され、第２の反射層２０５、第２の記録層２０６、カバー層２０７がその上に積層されている。
【００８０】
以下の記載では原則として、図１（ａ），（ｂ）に示すように、基板又は中間層にトラックが形成される場合を例として説明を行なうが、本発明の情報記録媒体においてトラックが形成される層は、基板又は中間層に制限されるものではない。
【００８１】
また、トラックは情報記録媒体のレーザー光入射側から見た場合における凹凸パターンの凹部によって形成されてもよく、凸部によって形成されてもよく、凸部と凹部の双方によって形成されてもよい。但し、特に有機色素材料を記録層として有する膜面入射方式の情報記録媒体においては、レーザー光入射側から見た場合における凹凸パターンの凹部によってトラックが形成されることが好ましい。この様な、レーザー光入射側から見た場合における凹凸パターンの凹部によって形成されるトラックを、以下の記載では「グルーブトラック」と呼ぶ。図１（ａ），（ｂ）に示すトラックＧＴ１、ＧＴ２１、ＧＴ２２は、何れもグルーブトラックの例である。
【００８２】
以下の記載では特に断り書きのない限り、図１（ａ），（ｂ）に示すように、基板や中間層等の溝（凹部）によって形成されるグルーブトラックを前提として説明を行なうが、本発明の情報記録媒体が有するトラックはグルーブトラックに制限されるものではない。
【００８３】
また、トラックが溝によって形成される場合、その溝の断面形状（情報記録媒体の厚み方向における断面形状）は制限されず、任意である。例としては、矩形、台形、半円形、半楕円形等が挙げられる。
【００８４】
なお、本発明では、トラックを形成する溝の幅を「溝幅」と定義する。なお、トラックを形成する溝の幅が情報記録媒体の厚み方向の位置によって異なる場合、例えば、トラックの断面形状が台形の場合等には、溝の最大深さの２分の１の位置における幅をもって「溝幅」とすることができる。
【００８５】
また、本発明では、トラックを形成する溝の深さを、「溝深さ」と定義する。なお、トラックを形成する溝の深さが情報記録媒体の半径方向の位置によって異なる場合（例えば、溝の断面形状が半円の場合等）には、その深さの最大値をもって「溝深さ」とすることができる。
【００８６】
なお、トラックを形成する溝の形状は、主にこれらの「溝幅」及び「溝深さ」によって規定される。よって以下の記載では、情報記録媒体の溝幅及び／又は溝深さを、「溝形状」として総称する場合がある。
【００８７】
〔Ｉ−２．記録領域及び記録領域遷移区間Ｓｘ〕
次いで、本発明の情報記録媒体の記録トラックが有する第一の記録領域Ｒ１、第二の記録領域Ｒ２、及び記録領域遷移区間Ｓｘの関係について、図２を参照しながら説明する。なお、図２は、本発明の情報記録媒体における第一の記録領域Ｒ１、第二の記録領域Ｒ２、及び記録領域遷移区間Ｓｘの関係を説明するための図であり、第一の記録領域Ｒ１、第二の記録領域Ｒ２、及び記録領域遷移区間Ｓｘの各々における、隣接する二つの溝の断面形状の例を、模式的に示している。
【００８８】
本発明の情報記録媒体の記録トラックは、図２に示すように、第一の記録領域Ｒ１と、第二の記録領域Ｒ２とを少なくとも備える。
そして、第一の記録領域Ｒ１におけるトラックピッチｔｐ１、溝幅ｗ１、及び溝深さｄ１、並びに第二の記録領域Ｒ２におけるトラックピッチｔｐ２、溝幅ｗ２、及び溝深さｄ２が、下記式（１）と、下記の式（２）及び／又は式（３）とを満たす。
０ ＜ ｜ｔｐ１−ｔｐ２｜ （１）
０ ＜ ｜ｗ１−ｗ２｜ （２）
０ ＜ ｜ｄ１−ｄ２｜ （３）
【００８９】
換言すれば、式（１）は、第一の記録領域Ｒ１におけるトラックピッチｔｐ１と、第二の記録領域Ｒ２におけるトラックピッチｔｐ２とが、互いに異なった値を有することを表わしている。
また、式（２）は、第一の記録領域Ｒ１における溝幅ｗ１と、第二の記録領域Ｒ２における溝幅ｗ２とが、互いに異なった値を有することを表わしている。
また、式（３）は、第一の記録領域Ｒ１における溝深さｄ１と、第二の記録領域Ｒ２における溝深さｄ２とが、互いに異なった値を有することを表わしている。
【００９０】
なお、式（２）及び式（３）は、何れか一方のみを満たしていてもよく、両方を満たしていてもよい。
即ち、第一の記録領域Ｒ１の溝幅ｗ１と第二の記録領域Ｒ２の溝幅ｗ２とが異なると共に、第一の記録領域Ｒ１の溝深さｄ１と第二の記録領域Ｒ２の溝深さｄ２とが異なっていてもよく、第一の記録領域Ｒ１の溝幅ｗ１と第二の記録領域Ｒ２の溝幅ｗ２とが異なる一方で、第一の記録領域Ｒ１の溝深さｄ１と第二の記録領域Ｒ２の溝深さｄ２とが同一であってもよく、第一の記録領域Ｒ１の溝幅ｗ１と第二の記録領域Ｒ２の溝幅ｗ２とが同一である一方で、第一の記録領域Ｒ１の溝深さｄ１と第二の記録領域Ｒ２の溝深さｄ２とが異なっていてもよい。
図２では、第一の記録領域Ｒ１の溝幅ｗ１と第二の記録領域Ｒ２の溝幅ｗ２とが異なると共に、第一の記録領域Ｒ１の溝深さｄ１と第二の記録領域Ｒ２の溝深さｄ２とが異なる場合を示しているが、本発明はこれに制限されるものではない。
【００９１】
なお、第一の記録領域Ｒ１におけるトラックピッチｔｐ１、溝幅ｗ１、及び溝深さｄ１、並びに第二の記録領域Ｒ２におけるトラックピッチｔｐ２、溝幅ｗ２、及び溝深さｄ２は、何れも通常は各記録領域Ｒ１，Ｒ２の全体に亘って略同一である。
【００９２】
更に、本発明の情報記録媒体は、図２に示すように、上述の第一の記録領域Ｒ１及び第二の記録領域Ｒ２の間に配置された記録領域遷移区間Ｓｘを備える。即ち、第一の記録領域Ｒ１と第二の記録領域Ｒ２とは物理的に分離しており、これら第一の記録領域Ｒ１と第二の記録領域Ｒ２との間に記録領域遷移区間Ｓｘが配置される。
そして、この記録領域遷移区間Ｓｘは、トラックピッチがｔｐ１からｔｐ２へと遷移するトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐと、溝幅がｗ１からｗ２へと遷移し、及び／又は、溝深さがｄ１からｄ２へと遷移する溝形状遷移区間Ｓｇとを備えている。
【００９３】
ここで、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐとは、記録領域Ｒ１とＲ２との間に存在し、トラックに沿って情報記録媒体を見た場合に、トラックピッチがｔｐ１からｔｐ２に徐々に変化している領域を指す。
また、溝形状遷移区間Ｓｇとは、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐと同様、記録領域Ｒ１とＲ２との間に存在し、トラックに沿って情報記録媒体を見た場合に、溝幅がｗ１からｗ２へと徐々に変化している、及び／又は、溝深さがｄ１からｄ２へと徐々に変化している領域を指す。
【００９４】
即ち、第一の記録領域Ｒ１の溝幅ｗ１と第二の記録領域Ｒ２の溝幅ｗ２とが同一である場合には、溝形状遷移区間Ｓｇの溝幅は変化せず、ｗ１及びｗ２と同一であって、溝深さのみがｄ１からｄ２へと徐々に変化していることになる。また、第一の記録領域Ｒ１の溝深さｄ１と第二の記録領域Ｒ２の溝深さｄ２とが同一である場合には、溝形状遷移区間Ｓｇの溝深さは変化せず、ｄ１及びｄ２と同一であって、溝幅のみがｗ１からｗ２へと徐々に変化していることになる。
【００９５】
更に、これらのトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐと溝形状遷移区間Ｓｇとは、少なくとも一部の領域ＳＬを共有している。
ここで、記録領域遷移区間Ｓｘとトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐ、溝形状遷移区間Ｓｇの関係については、例えば以下の１）〜３）の態様が考えられる。
【００９６】
１）トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐ及び溝形状遷移区間Ｓｇが完全に一致し、互いに全領域ＳＬを共有している場合、記録領域遷移区間Ｓｘも両者に一致する。
２）トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐ及び溝形状遷移区間Ｓｇが一部領域ＳＬを共有し、それぞれ単独で存在する領域を有する場合、記録領域遷移区間Ｓｘは前記共有領域ＳＬ及びそれぞれの単独領域をあわせた領域を指す。
３）トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐ及び溝形状遷移区間Ｓｇのうち、何れか一方の（広い方の）記録領域に他方の（狭い方の）記録領域が完全に含まれる場合、狭い方の記録領域の全てとなるＳＬが共有されることとなる一方、記録領域遷移区間Ｓｘは両者の領域のうち広い方の領域と一致する。
【００９７】
ここで重要な点は、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐと溝形状遷移区間Ｓｇが少なくとも一部領域ＳＬを共有していることである。即ち、両領域が完全に分離した態様は、本発明の対象には含まれない。
【００９８】
なお、図２では、明確化のために、記録領域遷移区間Ｓｘの溝断面形状として、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐと溝形状遷移区間Ｓｇとが共有する領域ＳＬの溝断面形状を示している。即ち、トラックピッチがｔｐ１とｔｐ２との間であり、溝幅がｗ１とｗ２との間であり、溝深さがｄ１とｄ２との間である場合を模式的に示したものである。上述のように、記録領域遷移区間Ｓｘの溝断面形状はこれに限られるものではない。
【００９９】
ここで、溝形状とは、溝幅や溝形状に代表されるように記録媒体に垂直な断面における個々の溝の幾何学的な形状を指すのであって、ウォブル変調方法によって変化する溝自体の半径方向への蛇行のことを指すのではない。従って、溝形状の遷移とは、溝自体の半径方向への蛇行量の遷移を意味するものではなく、両者は独立して制御可能である。ただし、溝形状遷移区間Ｓｇ内におけるウォブル変調方法の変化や、溝自体の半径方向への蛇行量の変化を禁止するものではなく、媒体の特性上問題がないのであれば、例えば溝形状遷移区間Ｓｇ内でウォブル変調方法が変化していても差し支えない。
【０１００】
また、溝形状の急激な変化を抑えるためには、溝形状遷移区間Ｓｇのトラックに沿った長さＬｇが、ディスク状の情報記録媒体におけるトラック一周分以上であることが好ましい。
【０１０１】
また、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐにおけるトラックピッチの変化の状態は、トラックに沿って単調に増加或いは減少することが、規格化プッシュプル信号振幅の急激な変動を抑える上で好ましい。
また、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐにおいて、トラックピッチは連続的に変化していることが好ましい。但し、実用上差し支えない程度に規格化プッシュプル信号振幅の変動が抑えられていれば、トラックピッチの変化が不連続であってもよい。
【０１０２】
また、溝形状遷移区間Ｓｇにおける溝形状の変化の状態は、溝幅及び／又は溝深さがトラックに沿って単調に増加或いは減少することが、規格化プッシュプル信号振幅の急激な変動を抑える上で好ましい。
また、溝形状遷移区間Ｓｇにおいて、溝形状は連続的に変化していることが好ましい。但し、実用上差し支えない程度に規格化プッシュプル信号振幅の変動が抑えられていれば、溝形状の変化が不連続であってもよい。
【０１０３】
すなわち、上記のように溝形状の変化をトラックに沿って単調に増加あるいは減少させることにより、記録領域Ｒ１と記録領域Ｒ２における未記録状態での溝部反射率の最大値をＲｇｖmaxとし、最小値をＲｇｖminとした場合に、記録領域遷移区間Ｓｘ内の全領域において、未記録状態での溝部反射率Ｒｇｖが
Ｒｇｖmin ≦ Ｒｇｖ ≦ Ｒｇｖmax
を満たす可能性が高まる。遷移領域遷移区間Ｓｘ内の全領域において未記録状態での溝部反射率Ｒｇｖが上記式を満たせば、規格化プッシュプル信号振幅の変動を抑えることをより確実なものとすることが出来る。
【０１０４】
また、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐのトラックに沿った長さＬｔｐと、溝形状遷移区間Ｓｇのトラックに沿った長さＬｇとの比Ｌｇ／Ｌｔｐが、通常０．２以上、中でも０．４以上、更には０．６以上、また、通常２．５以下という関係を満たすように、Ｌｔｐ及びＬｇの値を設定することが好ましい。
【０１０５】
更に、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐと溝形状遷移区間Ｓｇとが共有する領域ＳＬのトラックに沿った長さをＬＬとした時、ＬＬとＬｔｐとの比ＬＬ／Ｌｔｐが、通常０．１以上、中でも０．２以上、また、通常１．０以下という関係を満たすように、ＬＬ及びＬｔｐの値を設定することが好ましい。
【０１０６】
Ｌｇ、Ｌｔｐ、ＬＬの値を上記範囲内に設定することで、急激な規格化プッシュプル信号振幅の変化を抑えることができる上、記録領域Ｒ１，Ｒ２間に存在する記録領域遷移区間Ｓｘの全領域において、規格化プッシュプル信号振幅を所定の範囲に収めることが可能となり、安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態を実現することができる。
ここで、所定の範囲とは、必要に応じてフォーカスサーボ回路およびトラッキングサーボ回路に微調整を加えるだけで、十分に良好なフォーカスサーボ特性およびトラッキングサーボ特性が実現できる範囲のことである。
【０１０７】
即ち、Ｌｇ、Ｌｔｐ、ＬＬの値を上記範囲内に設定することで、記録領域Ｒ１と記録領域Ｒ２における未記録状態での規格化プッシュプル信号振幅の最大値をＮＰＰmaxとし、規格化プッシュプル信号振幅の最小値をＮＰＰminとしたとき、記録領域遷移区間Ｓｘ内の全領域において、規格化プッシュプル信号振幅ＮＰＰが常に以下の式（６）を満たす可能性が高まる。
ＮＰＰmin ≦ ＮＰＰ ≦ ＮＰＰmax （６）
【０１０８】
すなわち、記録領域遷移区間Ｓｘ内の規格化プッシュプル信号振幅値が、記録領域Ｒ１及び記録領域Ｒ２における規格化プッシュプル信号振幅の範囲に常に収めることができるので、フォーカスサーボ回路及びトラッキングサーボ回路を特に調整することなく、安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態を実現することができるので、好ましい。
【０１０９】
本発明者は、本発明の情報記録媒体によって、安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態を実現できる理由を、以下のように推定している。
【０１１０】
即ち、トラックピッチの異なる２つの記録領域Ｒ１，Ｒ２の境界部において、トラックピッチを徐々に変化させることにより、即ち、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐを設けることにより、トラックピッチの相違に由来する規格化プッシュプル信号振幅の急峻な変化を抑制することができる。
【０１１１】
また、トラックピッチの異なる２つの記録領域Ｒ１，Ｒ２における溝形状を適宜変更することにより、両記録領域Ｒ１，Ｒ２での規格化プッシュプル信号振幅の差を小さくすることが可能となり、安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態を実現することができる。
【０１１２】
しかしながら、溝形状の異なる２つの記録領域Ｒ１，Ｒ２の境界部において、溝形状が急激に変化すると、規格化プッシュプル信号振幅も急峻に変化してしまい、フォーカスサーボ及びトラッキングサーボに悪影響を与えてしまう。
【０１１３】
そこで、本発明では、溝形状遷移区間Ｓｇを少なくともトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐと一部領域を共有するように設けることにより、上記溝形状の変化に伴う規格化プッシュプル信号振幅の急峻な変化を抑制することが可能となるのである。
【０１１４】
なお、本発明の情報記録媒体は、上述の第一の記録領域Ｒ１、第二の記録領域Ｒ２及び記録領域遷移区間Ｓｘの組み合わせを、少なくとも一組有していればよいが、二組以上有していてもよい。このように、第一の記録領域Ｒ１、第二の記録領域Ｒ２及び記録領域遷移区間Ｓｘの組み合わせが二組以上存在する場合には、一の組み合わせにおける第一の記録領域Ｒ１と、他の組み合わせにおける第二の記録領域Ｒ２とが、同一の記録領域であってもよい。
【０１１５】
また、本発明の情報記録媒体においては、第一の記録領域Ｒ１、第二の記録領域Ｒ２及び記録領域遷移区間Ｓｘの全てが、物理的に連続した溝によって形成されることが好ましい。物理的に連続した溝とは、内周から外周に渡ってトラックに沿って溝を見た場合、いずれの場所においても溝が断裂されていないということである。但し、規格化プッシュプル信号振幅及び記録再生特性に影響を与えない程度であれば、溝が断続的である場合を排除するものではなく、その構成は任意に選択できる。
【０１１６】
また、本発明の情報記録媒体がディスク状の場合、第一の記録領域Ｒ１及び第二の記録領域Ｒ２は、何れがディスクの内周側に存在し、何れがディスクの外周側に存在してもよいが、通常は、上述の第一の記録領域Ｒ１及び第二の記録領域Ｒ２の関係を満たす二つの記録領域のうち、ディスクの内周側に存在する記録領域を第一の記録領域Ｒ１とし、ディスクの外周側に存在する記録領域を第二の記録領域Ｒ２とするものとする。
【０１１７】
ここで、第一の記録領域の内周側に、第一の記録領域Ｒ１におけるトラックピッチｔｐ１及び第二の記録領域Ｒ２におけるトラックピッチｔｐ２のいずれよりも広いトラックピッチｔｐ３を有した第三の記録領域Ｒ３が配置された態様をとってもよい。
この場合、第三の記録領域Ｒ３においては、溝の蛇行による情報の記録がなされていなくてもよい。
【０１１８】
また、第三の記録領域Ｒ３と第一の記録領域Ｒ１の間に、トラックピッチがｔｐ３からｔｐ１へと遷移するトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐ’が配置されていてもよい。
これらの態様を記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクに適用した場合の例に関しては、以下で詳細に述べる。
【０１１９】
〔Ｉ−３．記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクに適用した例〕
次に、本発明の情報記録媒体を記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクに適用した場合の構成について、図３を用いて説明する。なお、図３は本発明の情報記録媒体の一例である記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクにおける記録領域の配置を説明するための模式的な上方視図である。
【０１２０】
図３に示す記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスク３００は、トラックピッチの異なる三つの記録領域を有している。
【０１２１】
まず、ディスクの最内周には、ＢＣＡ（Ｂｕｒｓｔ Ｃｕｔｔｉｎｇ Ａｒｅａ）領域３０１が形成されている。ＢＣＡ領域３０１のトラックピッチは略２．０μｍであり、ディスク中心からの半径値が約２１ｍｍから約２２．２ｍｍまでの区間に亘って形成される。ＢＣＡ領域３０１にはバーコード状の低密度の記録がなされ、情報記録媒体の各種属性情報が格納される。ＢＣＡ領域には、通常、溝の蛇行による情報の記録がなされていない。
【０１２２】
ＢＣＡ領域３０１の外側には、ＰＩＣ（Ｐｅｒｍａｎｅｎｔ Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ ａｎｄ Ｃｏｎｔｒｏｌ ｄａｔａ）領域（これを「コントロールデータ領域」と呼ぶ場合もある。）３０２が形成されている。ＰＩＣ領域３０２は、トラックピッチが略０．３５μｍであり、ディスク中心からの半径値が約２２．２ｍｍから約２３．２ｍｍまでの区間に亘って形成される。ＰＩＣ領域３０２には、例えば最適記録パワーやメディア製造者情報等が格納され、読取専用とされる。
【０１２３】
ＰＩＣ領域３０２の外側には、ユーザーデータ領域３０３が形成されている。ユーザーデータ領域３０３は、トラックピッチが略０．３２μｍであり、ディスク中心からの半径値が約２３．２ｍｍから約５８．５ｍｍまでの区間に亘って形成される。ユーザーデータ領域３０３にはデータの書き込みが可能であり、書き込まれたデータは読み取り可能とされる。
【０１２４】
なお、ＰＩＣ領域３０２及びユーザーデータ領域３０３は、それぞれ所定の規格化プッシュプル信号振幅が得られるように、その溝形状が調整されている。
ＰＩＣ領域３０２における溝幅は０．０１μｍ以上が好ましく、更に好ましくは０．０７μｍ以上である。また、０．２５μｍ以下が好ましく、更に好ましくは０．１３μｍ以下である。ＰＩＣ領域３０２における溝深さは１０ｎｍ以上が好ましく、更に好ましくは２０ｎｍ以上である。また、５０ｎｍ以下が好ましく、更に好ましくは４０ｎｍ以下である。
ユーザーデータ領域３０３における溝幅は０．１０μｍ以上が好ましく、更に好ましくは０．１７μｍ以上である。また、０．２８μｍ以下が好ましく、更に好ましくは０．２１μｍ以下である。ユーザーデータ領域３０３における溝深さは２０ｎｍ以上が好ましく、更に好ましくは３０ｎｍ以上である。また、７０ｎｍ以下が好ましく、更に好ましくは６０ｎｍ以下である。
【０１２５】
なお、ＰＩＣ領域３０２とユーザーデータ領域３０３とを接続するために、両領域３０２，３０３の間に保護領域を設けることが好ましい（図示せず）。
【０１２６】
ここで、第一の記録領域Ｒ１が、所定の情報を格納した読取専用領域であるＰＩＣ領域を含み、第二の記録領域Ｒ２が、ユーザーデータを書き込み可能な読み書き可能領域であるユーザーデータ領域を含むようにすることが好ましい。これは、記録領域遷移区間Ｓｘが、保護領域に完全に包含される態様である。すなわち、ＰＩＣ領域のトラックピッチ及び溝形状が、保護領域内において、ユーザーデータ領域のトラックピッチ及び溝形状に遷移することを意味している。
第一の記録領域Ｒ１と第二の記録領域Ｒ２との溝形状、すなわち溝幅ｗ１及びｗ２と、溝深さｄ１及びｄ２は、情報記録媒体に求められる記録再生特性や情報記録媒体の製造プロセスなどによって、上述の通りそれぞれ適当な値が選択される。ここで、例えばＢｌｕ−ｒａｙディスクにおいては、ＰＩＣ領域とユーザーデータ領域のトラックピッチが異なった値とされており、両領域のトラックピッチの差に起因する規格化プッシュプル信号振幅の差を両領域間で小さくする場合、溝幅を異なった値とするだけでなく、溝深さについても異なった値とすることが、製造プロセス上好ましい。なぜなら、例えばＰＩＣ領域における規格化プッシュプル信号振幅をユーザーデータ領域における規格化プッシュプル信号振幅と同等程度にするためには、ＰＩＣ領域の溝幅をユーザーデータ領域の溝幅よりも狭くしなければならないが、ＰＩＣ領域の溝幅を狭くすることのみで対応しようとすると、場合によってはＰＩＣ領域の溝幅が狭くなりすぎて原盤露光装置の分解能の限界を超えてしまい、溝が正しく形成されない場合が発生する可能性があるからである。この場合は、溝幅の変更とともに、ＰＩＣ領域の溝深さをユーザーデータ領域の溝深さよりも浅くすることが効果的である。
従って、第一の記録領域Ｒ１と第二の記録領域Ｒ２との溝幅のみを異なった値として媒体を製造するよりも、溝幅と同時に溝深さについても異なった値とした方が、情報記録媒体の製造上好ましい。
【０１２７】
また、第三の記録領域Ｒ３を、ＢＣＡ領域を含む領域とすることが好ましい。
ここで、ＰＩＣ領域における規格化プッシュプル信号振幅をＮＰＰ１とし、ユーザーデータ領域における未記録状態での規格化プッシュプル信号振幅をＮＰＰ２とし、ユーザーデータ領域における記録後の規格化プッシュプル信号振幅をＮＰＰ２ａとし、さらに、各々の最大値の中で最も大きい値をＮＰＰＡＬmaxとし、各々の最小値の中で最も小さい値をＮＰＰＡＬminとしたとき、
ＮＰＰＡＬmax／ＮＰＰＡＬmin ≦ ３
を満たすように溝形状及び記録層等の組成や膜厚を調整することが好ましい。こうすることにより、記録前後のいずれにおいても、ＰＩＣ領域及びユーザーデータ領域の両領域での規格化プッシュプル信号振幅の値を一定の範囲に収めることが出来るので、安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態を実現することが出来る。
【０１２８】
中でも、
ＮＰＰＡＬmax／ＮＰＰＡＬmin ≦ ２
を満たすように溝形状及び記録層等の組成や膜厚を調整することが、さらに好ましい。こうすることにより、より安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態を実現することが出来る。
【０１２９】
また、記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスク３００においては、ＢＣＡ領域３０１、ＰＩＣ領域３０２、ユーザーデータ領域３０３の全てのトラックが連続したトラックとして形成されるとともに、ＢＣＡ領域３０１とＰＩＣ領域３０２との境界部、及び、ＰＩＣ領域３０２とユーザーデータ領域３０３との境界部には各々、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐが設けられる（図３では図示を省略している。）。これらのトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐでは、上述のように、トラックピッチが連続的に変化されてなる。
【０１３０】
ここで、上述の記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスク３００を本発明の情報記録媒体として構成する場合、ＢＣＡ領域３０１とＰＩＣ領域３０２との境界部、及び／又は、ＰＩＣ領域３０２とユーザーデータ領域３０３との境界部に、上述の溝形状遷移区間Ｓｇを、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐと少なくとも一部の領域を共有するように形成する（即ち、上述した記録領域遷移区間Ｓｘを設ける）。これにより、急激な規格化プッシュプル信号振幅の変化を抑えることができ、安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態を実現することができる。
【０１３１】
なお、記録領域遷移区間Ｓｘ及び溝形状遷移区間Ｓｇは、ＢＣＡ領域３０１とＰＩＣ領域３０２との境界部、及び、ＰＩＣ領域３０２とユーザーデータ領域３０３との境界部のうち、何れか一方のみに設けてもよく、双方に設けてもよい。但し、少なくともＰＩＣ領域３０２とユーザーデータ領域３０３との境界部に記録領域遷移区間Ｓｘ及び溝形状遷移区間Ｓｇを設けることにより、上述の効果を顕著に得ることができるので好ましい。
【０１３２】
なお、ウォブル変調方法は、コントロールデータ領域とユーザーデータ領域とで通常異なった方法とされる。ここで、保護領域内部においては、ウォブル変調方法は同一であり、かつユーザーデータ領域と同じウォブル変調方式が適用されることが好ましい。
【０１３３】
一方、前述の通り、本発明の記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクにおいては、記録領域遷移区間Ｓｘは保護領域に完全に包含されることが好ましい。すなわち、記録領域遷移区間Ｓｘ内の全領域においては、ウォブル変調方法が同一であることが好ましい。
【０１３４】
〔Ｉ−４．測定方法〕
なお、情報記録媒体が有する溝形状（溝幅及び溝深さ）は、以下の手順により測定することができる。
例えば、記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスク等の、グルーブトラックに相当する凹凸パターンが形成された基板上に記録層が積層され、更にその上に紫外線硬化樹脂等よりなるカバー層が形成されている情報記録媒体の場合には、例えば、記録層の積層前の基板をＡＦＭ（Ａｔｏｍｉｃ Ｆｏｒｃｅ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：原子間力顕微鏡）で測定することにより、溝の深さや幅を直接測定することができる。
また、記録層上にカバー層が形成されてなる情報記録媒体の場合は、例えば、カッターナイフなどでカバー層を剥離して、グルーブトラックに相当する基板上の凹凸パターンを表面に露出させることにより、ＡＦＭを用いて溝形状を測定することが可能となる。
【０１３５】
また、情報記録媒体が有する溝形状遷移区間Ｓｇのトラックに沿った長さＬｇも、ＡＦＭを用いて以下の手順により求めることができる。
具体的には、まず、溝形状遷移区間Ｓｇ内及びその近傍の複数個所の溝形状を測定し、更に、当該測定箇所の情報記録媒体上における半径値を測定することにより、溝形状遷移区間Ｓｇの内周端半径値及び外周端半径値を求める。次に、溝形状遷移区間Ｓｇ内に存在するトラックの本数をカウントし、溝形状遷移区間Ｓｇが存在する半径値における円周長さとの積を取ることにより、溝形状遷移区間Ｓｇのトラックに沿った長さＬｇを求めることができる。
【０１３６】
但し、上述の方法で溝形状遷移区間Ｓｇのトラックに沿った長さＬｇを求める為には、複数個所の溝形状について精度良い測定が求められる上、当該測定箇所の半径値の測定が求められる等、煩雑な場合がある。そのような場合は、情報記録媒体を適当な再生装置で以って再生し、溝形状遷移区間Ｓｇにおける反射光の光量の変化の様子を調べることによって溝形状遷移区間Ｓｇ情報のトラックに沿った長さＬｇを求めてもよい。
すなわち、当該情報記録媒体をスピンドルモーターに載置回転させつつ、対物レンズにてレーザー光をトラック上に集光させると、溝形状に応じた光量の反射光が得られる。溝形状遷移区間Ｓｇにおいては溝形状が変化させられているので、レーザー光を集光した箇所の情報記録媒体上における半径値と、反射光の光量の変化との対応の様子を調べることによって、溝形状遷移区間Ｓｇのトラックに沿った長さＬｇを知ることができる。
【０１３７】
また、情報記録媒体が有するトラックピッチ及びトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐの長さＬｔｐについては、以下の手順で測定することができる。
まず、上述の溝形状の場合と同様、ＡＦＭにより、情報記録媒体が有するトラックピッチ及びトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐの長さＬｔｐを直接測定することができる。
【０１３８】
あるいは、第一の記録領域Ｒ１及び第二の記録領域Ｒ２のトラックピッチを光学的に測定することもできる。
本発明の情報記録媒体が有する第一の記録領域Ｒ１及び第二の記録領域Ｒ２においては、グルーブトラックが等間隔で多数並んでいる。この場合、レーザー光などのコヒーレントな光をこれらの記録領域Ｒ１，Ｒ２に照射することにより、多数並んだグルーブトラックが回折格子の役割を果たし、トラックピッチに応じた角度で回折光が現れることが一般的に知られている。また、この原理を応用した形状測定装置も考案されている（特開昭５７−１８７６０４公報等参照）。この原理を利用すれば、回折光の現れる角度を測定することにより、トラックピッチを知ることができる。
【０１３９】
また、この原理を利用して、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐのトラックに沿った長さを求めることもできる。すなわち、例えばレーザー光を情報記録媒体の半径方向に走査し、回折光の現れる位置を、レーザー光が照射されている半径値とともに記録しておくことにより、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐの半径方向の大きさを知ることができる。更に、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐの半径方向の大きさと、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐの前後におけるトラックピッチから求めた平均トラックピッチとに基づいて、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐのトラックに沿った長さを見積もることができる。
【０１４０】
また、上記回折光の強度は、溝形状に応じて変化するということも一般的に知られているので、レーザー光を情報記録媒体の半径方向に走査し、回折光の現れる位置及び強度を同時に測定することにより、溝形状遷移区間Ｓｇ及びトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐの存在の様子を同時に測定することも可能である。
【０１４１】
なお、上述の各測定は、ＡＦＭの他に、例えばＳＥＭ（Ｓｃａｎｎｉｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：走査型電子顕微鏡）等を用いて行なうことも可能である。
【０１４２】
［II．情報記録媒体の製造方法］
本発明の情報記録媒体は、制限されるものではないが、例えば以下に説明する方法により製造される。
情報記録媒体の一般的な製造手順においては、基板や中間層に形成されるトラックの凹凸パターンの形状と相補的な形状の凹凸パターンを有するスタンパを用意し、このスタンパを用いて基板や中間層に凹凸パターンのトラックを形成する。
従って、上述の溝形状遷移区間Ｓｇを有する本発明の情報記録媒体を製造するためには、このスタンパが有する凹凸パターンの形状を所望の形状となるようにすればよい。
【０１４３】
スタンパが有する凹凸パターンの形状は、通常、スタンパの製造手順における原盤の露光時に決定される。ここで、本発明で規定する特定の形状の凹凸パターンを形成するためには、特定の原盤露光装置を使用することが有効である。
よって、以下の記載では、まずスタンパの製造手順について説明した上で、次いでそのスタンパを用いた情報記録媒体の製造手順について説明し、続いて章を改めて、所望の形状の凹凸パターンを有するスタンパを得るための原盤露光装置（本発明の原盤露光装置）について説明することにする。
【０１４４】
［II−１．スタンパの製造］
まず、本発明の情報記録媒体を製造するためのスタンパの製造手順の一例について、図４を用いて詳細に説明する。なお、図４（ａ）〜（ｉ）は、本発明の情報記録媒体を製造するためのスタンパの製造手順の一例を説明するための図である。但し、以下の製造手順はあくまでも一例であり、本発明の情報記録媒体を製造するためのスタンパの製造手順は、以下の例に限定されるものではない。
【０１４５】
まず、原盤用基板５０１上にフォトレジスト５０２を塗布してなる原盤５０３を用意する（図４（ａ）参照）。
原盤用基板５０１の材質は制限されないが、通常はガラス板が用いられる。
フォトレジスト５０２としては、いわゆるノボラック・ジアゾナフトキノン系レジストや化学増幅型レジストなど、一般的なフォトレジストを使用することができる。また、ポジ型レジストを用いてもよく、ネガ型レジストを用いてもよい。更にこれらは何れか一種を単独で用いてもよく、二種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。なお、ポジ型レジスト及びネガ型レジストの定義については後述する。
フォトレジスト５０２は通常、いわゆるスピンコート法で原盤用基板５０１上に塗布され、その膜厚は原盤用基板５０１の面内で略均一とされる。具体的なフォトレジスト５０２の膜厚は、目的とするスタンパの凹凸パターンの形状に応じて設定すればよいが、通常１０ｎｍ以上、また、通常１００ｎｍ以下の範囲とする。
【０１４６】
次に、原盤露光装置を用いて原盤５０３を露光処理し、原盤用基板５０１上のフォトレジスト５０２に、目的とするトラックに相当する凹凸パターンに対応する所定のパターン５０４を潜像として形成する（図４（ｂ）参照）。本工程で使用する原盤露光装置の構成及び動作については、次章［III．原盤露光装置］で詳しく説明する。
【０１４７】
続いて、原盤５０３に現像処理を施し、潜像として形成されたパターン５０４を、物理的な凹凸パターンとして顕在化させる（図４（ｃ）参照）。
一般的には、原盤５０３を現像機のターンテーブルに載置し、ターンテーブルを回転させながら現像液を滴下させる方法が取られるが、例えばガラス板を静止した状態で現像液を液盛りする方法（いわゆるパドル現像法）等を用いることもできる。
このとき、フォトレジスト５０２の種類を選択することによって、潜像として形成されたパターン５０４側を凹にすることもできるし、逆に潜像として形成されたパターン５０４を凸にすることもできるが、一般的にはパターン５０４側が凹になるようなフォトレジスト（これを「ポジ型レジスト」と呼ぶ。）を用いる場合が多い。
本明細書では、図４を含め、主にポジ型レジストを用いた場合について説明するが、パターン５０４側が凸となるようなフォトレジスト（これを「ネガ型レジスト」と呼ぶ。）を用いてもよく、その選択は任意である。
【０１４８】
以上の手順により、物理的な凹凸パターンを有する原盤（これを「凹凸原盤」という。）５０３’が得られる。
次いで、この凹凸原盤５０３’を用いて、以下の手順によりスタンパを作製する。
【０１４９】
まず、上述の凹凸原盤５０３’上に、スパッタ法や無電解メッキ法等を用いて、スタンパの材料を成膜し、導電層５０５を形成する（図４（ｄ）参照）。
スタンパの材料としては、通常は金属材料が用いられる。金属材料としては、例えばニッケルが挙げられる。スタンパの材料は何れか一種を単独で用いてもよく、二種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。
導電層５０５の厚さは特に制限されないが、後述する電気めっきにおいて支障をきたさない厚さであれば、任意に選択できる。
【０１５０】
次に、導電層５０５が形成された凹凸原盤５０３’を電鋳装置に取り付け、電気めっき法等により、導電層５０５上に更にスタンパの材料を積層することにより、ファザー層５０６を形成する（図４（ｅ）参照）。ファザー層５０６は導電層５０５と一体に形成され、その厚さは特に制限されないが、通常１００μｍ以上、通常５００μｍ以下である。
【０１５１】
次いで、ファザー層５０６を凹凸原盤５０３’より剥離し、必要に応じて、ファザー層５０６上に付着したフォトレジストを、フォトレジスト除去液等を用いて除去する（図４（ｆ）参照）。フォトレジスト除去液は、フォトレジスト５０２の種類に応じて適宜選択すればよいが、例えば、アセトンや、ナガセケムテックス株式会社製Ｎ−３０３Ｃを用いることができる。これらは何れか一種を単独で用いてもよく、二種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。
こうして得られたファザー層５０６を、ファザースタンパと呼ぶ（以下「ファザー」と称する。）。このファザー５０６上には凹凸パターンが写し取られているが、その凹凸パターンは凹凸原盤５０３’上の凹凸パターンとは逆転したものとなっている。
【０１５２】
次いで、このファザー５０６の凹凸パターン表面を、酸化処理等の手法で処理することにより、剥離層５０７を形成する（図４（ｇ）参照）。剥離層５０７の厚さは特に制限されないが、通常０．１ｎｍ以上、通常１００ｎｍ以下である。
【０１５３】
更に、この剥離層５０７上に、電気めっき法等によりスタンパの材料を積層し、マザー層５０８を形成する（図４（ｈ）参照）。マザー層５０８の厚さは特に制限されないが、通常１００μｍ以上、通常５００μｍ以下である。
【０１５４】
次いで、このマザー層５０８を剥離させる（図４（ｉ）参照）。
こうして得られたマザー層５０８を、マザースタンパと呼ぶ（以下「マザー」と称する。）。このマザー５０８上にも凹凸パターンが写し取られており、その凹凸パターンは凹凸原盤５０３’上での凹凸パターンと同じものとなっている。
【０１５５】
以上の手順により得られたファザー５０６又はマザー５０８を、何れもスタンパとして使用することが可能である。
【０１５６】
また、これらのスタンパ５０６，５０８を型として、更に別の材料に凹凸パターンを写し取ることにより、新たなスタンパを作製することも可能である。例えばファザースタンパ５０６から、複数枚のマザースタンパ５０８を写し取っていくこともできるし、マザースタンパ５０８から更にサンスタンパ（図示せず）を写し取っていくこともできる。こうして得られるサンスタンパ上の凹凸パターンは、ファザースタンパ５０６上での凹凸パターンと同じものとなっている（以下、サンスタンパのことを単に「サン」と称する場合がある）。
【０１５７】
また、樹脂材料からなるスタンパ（樹脂製スタンパ）を製造する場合には、上述の手順により金属材料からなるスタンパ（金属製スタンパ）を作製し、この金属製スタンパを型として樹脂材料を射出成形することにより、金属製スタンパの凹凸パターンが写し取られた樹脂製スタンパを得るという手法が有効である。
【０１５８】
［II−２．情報記録媒体の製造］
次に、上記の手順で作製されたスタンパを型として、基板や中間層等に凹凸パターンを形成し、本発明の情報記録媒体を製造する。
【０１５９】
例として、図１（ａ）に示す一層型の情報記録媒体１００を製造する場合には、まず、上述のスタンパを用いて、トラックに相当する凹凸パターンが形成された基板１０１を作製する。具体的には、例えば、上述のスタンパを型として、基板１０１の材料を射出成形することにより、スタンパの凹凸パターンが写し取られた基板１０１を形成し、得られた基板１０１をスタンパから剥離して使用すればよい。基板１０１の材料や厚さ等は、上述の通りである。また、スタンパとしては、通常は金属材料からなるスタンパ（金属スタンパ）を用いる。
【０１６０】
なお、スタンパから基板１０１上に写し取られた凹凸パターンは、スタンパの凹凸パターンとは逆転したものとなる。よって、例えばいわゆるイングルーブ型の記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクを製造する場合、記録トラックはレーザー光入射側から見て凹側であるので、ファザースタンパあるいはサンスタンパを型として用いればよい。一方、例えばレーザー光入射側から見て凸側を記録トラックとして用いるオングルーブ型の記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクを製造する場合、記録トラックはレーザー光入射側から見て凸側であるので、マザースタンパを型として用いればよい。なお、記録層に有機色素を用いる情報記録媒体においては、イングルーブ型を採用することが、製造方法及び記録特性の面から好ましい。
【０１６１】
続いて、基板１０１の凹凸パターン上に、反射層１０２を形成する。反射層１０２の材料や厚さ等は、上述の通りである。反射層１０２の形成方法としては、例えばスパッタリング法等が挙げられる。
【０１６２】
次に、反射層１０２上に、記録層１０３を形成する。記録層１０３の材料や厚さ等は、上述の通りである。記録層１０３の形成方法としては、例えば記録層１０３が有機色素材料である場合はスピンコート等の塗布法等、無機材料の場合はスパッタリング法等が挙げられる。
【０１６３】
続いて、記録層１０３上に、カバー層１０４を形成する。カバー層１０４の材料や厚さ等は、上述の通りである。カバー層１０４の形成方法としては、例えばスピンコート法等が挙げられる。また、別に用意したカバー層１０４を、接着層等を介して記録層１０３上に接着してもよい。
【０１６４】
また、別の例として、図１（ｂ）に示す二層型の情報記録媒体２００を製造する場合には、まず、スタンパを用いて、トラックの凹凸パターンが形成された基板２０１を作製する。その形成手順は、図１（ａ）の基板１０１の場合と同様である。
続いて、基板２０１の凹凸パターン上に第１の反射層２０２、第１の記録層２０３を順に積層形成する。これらの層の材料や厚さ、形成手順等は、図１（ａ）の反射層１０２及び記録層１０３の場合と同様である。
【０１６５】
次いで、第１の記録層２０３上に、中間層２０４を形成する。中間層２０４の材料や厚さ等は、上述の通りである。中間層２０４の形成方法としては、例えば塗布法等が挙げられる。
【０１６６】
この中間層２０４の形成時に、スタンパを用いて凹凸パターンを形成する。凹凸パターンの形成手順は制限されないが、中間層２０４上にスタンパの凹凸パターンを押し当てることにより、スタンパの凹凸パターンを中間層２０４上に写し取ればよい。
【０１６７】
中でも好ましい手法としては、中間層２０４の材料として紫外線硬化性樹脂や可視光硬化性樹脂等の光硬化性樹脂を用い、この光硬化性樹脂を第１の記録層２０３上に所望の厚みに成膜し、その上に更にスタンパを載置した状態で、光硬化性樹脂を硬化させることが可能な紫外線や可視光等の光を、スタンパを通じて光硬化性樹脂に照射し、光硬化性樹脂を硬化させる。これにより、スタンパの凹凸パターンが写し取られた中間層２０４を形成することが可能となる。なお、この場合、スタンパとしては、光硬化性樹脂を硬化させることが可能な紫外線や可視光等の光を透過させることが可能な材料からなるスタンパ（通常は樹脂製スタンパ）を用いることになる。
【０１６８】
なお、スタンパから中間層２０４上に写し取られる凹凸パターンは、スタンパの凹凸パターンとは逆転したものとなるので、上述のように、所望の情報記録媒体の形式に応じてマザー、ファザー或いはサンを選択すればよい。
【０１６９】
続いて、中間層２０４の凹凸パターン上に、第２の反射層２０５、第２の記録層２０６を順に積層形成する。これらの層の材料や厚さ、形成手順等は、図１（ａ）の反射層１０２及び記録層１０３の場合と同様である。
次いで、第２の記録層２０６上に、カバー層２０７を形成する。カバー層２０７の材料や厚さ、形成手順等は、図１（ａ）のカバー層１０４の場合と同様である。
【０１７０】
なお、図１（ｂ）に示す二層型の情報記録媒体２００の場合、基板２０１が有するトラックの凹凸パターンの形状と、中間層２０４が有するトラックの凹凸パターンの形状とは同一であってもよく、互いに異なっていてもよい。基板２０１及び中間層２０４の凹凸パターンの形状が互いに異なる場合には、基板２０１及び中間層２０４のうち少なくとも一方が本発明の規定を満たしていればよい（即ち、本発明で規定する第１の記録領域Ｒ１と、第２の記録領域Ｒ２と、記録領域遷移区間Ｓｘとを有していればよい）が、基板２０１及び中間層２０４の双方が本発明の規定を満たしていてもよい。
【０１７１】
また、トラックが三層以上に存在する情報記録媒体（即ち、三層以上の記録層を有する情報記録媒体）の場合も、それらの少なくとも何れか一層が本発明の規定を満たしていればよいが、それらの全ての層が本発明の規定を満たしていてもよい。
【０１７２】
以上の手順により、本発明の情報記録媒体が製造される。
なお、以上の説明では、記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクを例として説明したが、その他の情報記録媒体についても、上述の手順に適宜変更を加えることにより製造することができる。例えば、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ Ｄｉｓｃ）を製造する場合、厚さ０．６ｍｍの基板を貼り合せた構成とすればよい。
【０１７３】
［III．原盤露光装置］
本発明の情報記録媒体は、上述のように、トラックピッチ及び溝形状が異なる二つの記録領域の間に、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐに加えて、所定の溝形状遷移区間Ｓｇを有するものであるが、この溝形状遷移区間Ｓｇは、情報記録媒体の製造時に使用されるスタンパの凹凸パターン形状に応じて形成される。そして、スタンパの凹凸パターン形状は、スタンパの製造手順における原盤の露光工程（上述の図４（ｂ）参照）において、原盤露光装置によって具現化されることになる。
以下、本発明の情報記録媒体を製造するために使用される原盤露光装置（本発明の原盤露光装置）について、実施形態を挙げて説明する。
【０１７４】
［III−１．基本構成］
まず、本発明の一実施形態に係る原盤露光装置の基本構成について、図５を参照しながら説明する。なお、図５は、本発明の一実施形態に係る原盤露光装置の基本構成の例を模式的に示す機能ブロック図である。
【０１７５】
図５に示す原盤露光装置６００は、所定の偏向信号を発生させるフォーマッター（偏向信号生成機構）６０１と、記録光を発生させるためのレーザー光源（記録光源）６０２と、記録光を所定の出力に設定させるパワー調整素子（記録光強度調節機構）６０３と、フォーマッター６０１の出力信号に基づいてレーザー光を偏向させるためのＥＯＤ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｄｅｆｌｅｃｔｏｒ）素子（記録光偏向機構）６０４と、レーザー光を原盤５０３上に絞り込むための対物レンズ（集光機構）６０５と、原盤５０３を載置し、回転させるためのターンテーブル（回転機構）６０６と、対物レンズ６０５を原盤５０３の半径方向に相対的に移動させるためのスライダー（半径移動機構）６０７と、レーザー光の方向を制御するための一又は複数のミラー６０８とを備える。更に、これらの構成要素６０１〜６０８のうち一部又は全部を協調制御するためのコントローラー（制御機構）６０９を備えてなる。特に、コントローラー６０９は、予め設定した値に基づいて、ターンテーブル６０６の回転速度と、スライダー６０７の移動速度と、対物レンズ６０５の位置とを制御する機能を有してなる。
【０１７６】
レーザー光源６０２から出射された記録光は、まずパワー調整素子６０３を通る。パワー調整素子６０３は、予め設定した値に基づいて記録光強度を変化させることができる。
【０１７７】
パワー調整素子６０３で強度を調整された記録光は、次いで記録光を偏向させる為にＥＯＤ素子６０４に導かれる。なお、本実施形態ではＥＯＤ素子６０４を用いているが、記録光を偏向させる機能を持った素子であれば特にＥＯＤ素子６０４に限定されるものではなく、例えばＡＯＤ（Ａｃｏｕｓｔｉｃ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｄｅｆｌｅｃｔｏｒ）素子を用いてもよい。ＥＯＤ素子６０４にはフォーマッター６０１が接続され、フォーマッター６０１が発生する信号に基づいて記録光を角度方向に偏向させることができる。
【０１７８】
なお、製造する情報記録媒体の種類によっては、記録光を変調させるためのＡＯＭ（Ａｃｏｕｓｔｉｃ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｍｏｄｕｌａｔｏｒ）素子やＥＯＭ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｍｏｄｕｌａｔｏｒ）素子（図５では図示省略）を設けてもよい。
更に、記録光を変調させる機能と偏向させる機能を一つの素子にまとめて受け持たせてもよく、その構成は、製造する情報記録媒体の種類によって任意に変更できる。
【０１７９】
次に、ＥＯＤ素子６０４から出た記録光は、原盤５０３上に集光させるための対物レンズ６０５に導かれる。なお、対物レンズ６０５に記録光を入射させる前に、ビーム形状を整形するためのビームエキスパンダー（図５では図示省略）を通してもよい。
【０１８０】
また、対物レンズ６０５はフォーカスアクチュエータ（図５では図示省略）に取り付けられ、原盤５０３面と対物レンズ６０５との間の距離を常に一定に保つようにフォーカスサーボがかけられている。フォーカスサーボをかけることによって、原盤５０３面と対物レンズ６０５との間の距離を一定に保つことができるので、原盤５０３面上に集光された記録光のスポットサイズは常に同一となり、幅が均一なパターンを露光することができる。
【０１８１】
なお、螺旋状のトラックに相当するパターンを原盤５０３上に形成するためには、原盤５０３を載置したターンテーブル６０６を所定の回転数で回転させながら、スライダー６０７を所定の送り速度で送ればよい。
【０１８２】
次に、上記構成を有する原盤露光装置６００の動作に関して説明する。
まず、予め設定した線速及びトラックピッチに基づいて、ターンテーブル６０６を回転させ、且つスライダー６０７を所定の速度で移動させる。こうすることにより、第一のトラックピッチを持つ第一の記録領域Ｒ１のトラックに相当するパターンを形成する。
なお、ターンテーブル６０６の回転方向や回転数、スライダー６０７の移動速度や移動方向等の条件は、作製したいスタンパ及び情報記録媒体のフォーマットに基づいて任意に選ぶことができ、適切な動作条件を選択すればよい。
また、記録光の強度も、各々の製造プロセスや、形成したい溝形状により、任意に設定することができる。
【０１８３】
本発明の情報記録媒体が記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクである場合、その溝は媒体の半径方向に所定の振幅で蛇行するように形成される。蛇行パターンとしては数種類が予め規定されており、複数種類の蛇行パターンの組み合わせによって、アドレス情報やディスク製造者情報などの情報を記録するという方法が取られる。ここで、蛇行パターンによる情報の記録とは、蛇行の振幅や周期等、ディスク面内の溝の蛇行形状自体を変更することにより情報を記録していることを指しているのであり、溝深さや溝幅、平均的なトラックピッチを変更する訳ではない。このような溝の蛇行は、原盤露光装置６００において、記録光を原盤５０３の半径方向に所定の分量だけその都度偏向させることにより形成することができる。記録光を偏向させるための偏向信号はフォーマッター６０１によって発生され、記録光の偏向はＥＯＤ素子６０４によってなされる。なお、蛇行パターンはフォーマッター６０１の内部構成を変更することにより任意とすることができる。よって、本発明の情報記録媒体として記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスク以外の情報記録媒体を作製する場合には、その都度適切な蛇行パターンを形成するようにフォーマッターの内部構成を変更すればよい。
【０１８４】
以上の手順により、第一の記録領域Ｒ１のトラックに相当するパターンの形成が完了すると、次に第二のトラックピッチを持つ第二の記録領域Ｒ２のトラックに相当するパターンの形成に移行する。この段階で、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐ及び溝形状遷移区間Ｓｇの形成を行なうことになるので、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐ及び溝形状遷移区間Ｓｇの形成方法に関して述べる。
【０１８５】
トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐは、スライダー６０７の移動速度を変化させることによって形成することができる。例えば、予めトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐの形成を開始したい半径値を原盤露光装置６００内部に記憶させるなどしておき、スライダー６０７が当該半径値を通過したことを検出してスライダー６０７の移動速度を変化させればよい。移動速度を変化させる方法としては、例えばスライダー６０７を駆動させる為のパルス列の周波数を変化させるなどする。このとき、例えばスライダー６０７を駆動させるためのパルス列の周波数のスイープ時間を変えることによって、任意の長さのトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐとすることができる。長めのトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐとしたい場合は周波数のスイープ時間を長くすれば良いし、短めのトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐとしたい場合は周波数のスイープ時間を短くすればよい。このとき、スライダー６０７の移動速度を段階的に変化させてもよいが、トラックピッチの変化の仕方を滑らかなものとするためには、スライダー６０７の移動速度を連続的に変化させることが好ましい。
【０１８６】
一方、溝形状遷移区間Ｓｇの形成方法としては、二つの態様が考えられ、それに応じて、原盤露光装置６００の構成も異なる。以下、これら二つの態様について、節を改めて説明する。
【０１８７】
［III−２．第１の態様］
第１の態様では、上述の原盤露光装置６００に、予め設定した値に基づいて、記録光の強度を単調増加又は単調減少でスイープさせる機構（記録光強度スイープ機構）を設ける。そして、溝形状遷移区間Ｓｇに相当する凹凸パターンの形成時に、記録光の強度を単調増加又は単調減少でスイープさせることにより、溝幅がｗ１からｗ２へと徐々に変化する、及び／又は、溝深さがｄ１からｄ２へと徐々に変化するパターン（即ち、溝形状遷移区間Ｓｇに相当する凹凸パターン）を形成することができる。
この態様によれば、急激な記録光強度の変化に起因する急激な溝形状変化を抑制することができるので、最終的に得られる情報記録媒体での急激な規格化プッシュプル信号振幅の変化を抑制することができ、ひいては、安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態を実現することが可能な情報記録媒体を得ることが可能となる。
【０１８８】
ここで、記録光強度スイープ機構が、予め設定した特定の半径位置に集光機構が達したことを検出して、記録光強度のスイープを開始及び／又は終了する機能を有することが好ましい。
また、記録光強度スイープ機構が、予め設定した特定のアドレスを上記偏向信号生成機構が出力したことを検出して、記録光強度のスイープを開始及び／又は終了する機能を有することも好ましい。
記録光強度スイープ機構がこれらの機能を有することによって、記録光強度の変化開始点を正確に一定の値に保った原盤を常に作製することができるので、最終的に得られる情報記録媒体での規格化プッシュプル信号振幅の変化の仕方を常に一定にすることができ、ひいては、安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態を実現することが可能な情報記録媒体を得ることができる。
【０１８９】
また、記録光強度スイープ機構が、予め設定した特定の半径位置に集光機構が達したことを検出して記録光強度のスイープを開始し、かつ、予め設定した所定の時間経過後に上記スイープを終了する機能を有することも好ましい。
また、記録光強度スイープ機構が、予め設定した特定のアドレスを上記偏向信号生成機構が出力したことを検出して、上記記録光強度スイープ機構による記録光強度のスイープを開始し、かつ、予め設定した所定の時間経過後に上記スイープを終了する機能を有することも好ましい。
記録光強度スイープ機構がこれらの機能を有する場合、記録光強度スイープ機構はスイープ開始トリガーの監視及びスイープ時間の管理のみを行なっていればよいので、原盤露光装置の構成を簡便なものとすることができる。
【０１９０】
なお、以上説明した記録光強度スイープ機構の各種機能は、例えばソフトウェア等を用いてコントローラー６０９に所望の動作をさせることにより、コントローラー６０９の機能として実現することが可能である。
【０１９１】
［III−３．第２の態様］
本発明では、トラックピッチの異なる二つの記録領域の境界部における急激な規格化プッシュプル信号振幅の変動を抑えることを意図している。よって、実用上問題ない程度にまで規格化プッシュプル信号振幅の変動が抑えられるのであれば、必ずしも溝形状が連続的に変化する必要は無く、断続的な変化であっても構わない。このような着眼点に立つと、上述の第１の態様よりも簡素な構成で、メンテナンスが容易な態様の原盤露光装置も考えられる。
【０１９２】
すなわち、第２の態様では、上述の原盤露光装置６００に、対物レンズ（集光機構）６０５の位置と、予め設定した特定の半径値における記録光強度の設定値とに基づいて、記録光強度を補間して調節する記録光強度調節機構と、上記記録光強度調節動作を繰り返し行なう繰り返し動作機構とを設ける。そして、上記繰り返し動作機構の１サイクルに要する動作時間を、１００ｍｓｅｃ以下とする。
【０１９３】
本態様に係る原盤露光装置の基本的な動作に関して、図６及び図７を参照して、以下に詳細に説明する。なお、図６は、本態様に係る原盤露光装置において、連続的な補間によって得られる理論的な露光強度と集光機構の半径値との関係を表わすグラフであり、図７は、本態様に係る原盤露光装置において、補間動作の繰り返しによって得られる実際の露光強度と集光機構の半径値との関係を表わすグラフである。
【０１９４】
また、以下の記載では、
（１）第一の記録領域Ｒ１が第二の記録領域Ｒ２よりも内周側に存在する記録情報媒体のトラックに相当するパターンを露光する場合であって、
（２）第一の記録領域Ｒ１のトラックに対応するパターンは露光強度Ｐ１にて露光し、
（３）第二の記録領域Ｒ２のトラックに対応するパターンは露光強度Ｐ２にて露光し、
（４）溝形状遷移区間Ｓｇのトラックに対応するパターンは半径値ＲｉからＲｏに亘って形成し、
（５）半径値Ｒｉでの露光パワーはＰ１に等しく、
（６）半径値Ｒｏでの露光パワーはＰ２に等しく、
（７）露光動作は内周から外周に向かって行なう、
という条件の下で説明を行なう。
【０１９５】
但し、露光パワーや半径値の設定等の詳細に関しては、種々のケースが考えられるため、上記（１）〜（７）の条件下に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々変形して実施することができる。
【０１９６】
また、本態様に係る原盤露光装置では、例えば、第一の記録領域Ｒ１のトラックに対応するパターンを形成する際の露光パワーＰ１、第二の記録領域Ｒ２のトラックに対応するパターンを形成する際の露光パワーＰ２、溝形状遷移区間Ｓｇの内側半径値Ｒｉ、外側半径値Ｒｏ等のパラメータを、予め原盤露光装置内部に記憶させる等しておくものとする。
【０１９７】
本態様によれば、予め設定した線速及びトラックピッチに基づいてターンテーブル６０６を回転させ、且つスライダー６０７を所定の速度で移動させつつ、記録光強度調節機構が対物レンズ６０５の原盤上での半径位置を読み取り、対物レンズ６０５がどの領域を露光中であるのかをまず判断する。次いで、その判断の結果を元に、露光強度を然るべき値へと設定する。一方、スライダー６０７は所定の速度で常に移動しているので、露光光強度を然るべき値とさせた瞬間には、対物レンズ６０５は、当初読み取った半径位置とは異なった半径位置に移動している。そこで再び対物レンズ６０５の半径位置を読み取り、対物レンズ６０５がどの領域を露光中であるのかを再度判断し、判断結果を基に、露光強度をしかるべき値へと変化させる。このようにして、半径位置読み取りから露光強度設定までを１サイクルとし、このサイクル動作を所望の半径位置まで順次繰り返して行なうことにより、所望の露光強度での露光を原盤全面に関して行なうことができる。
【０１９８】
この補間動作について、以下、より具体的に説明する。なお、簡便のため、半径位置読み取りから露光強度設定までの１サイクルに要する動作時間をＴｕと記載することにする。なお、Ｔｕは原盤露光装置の性能により左右される値である。
【０１９９】
すなわち、対物レンズ６０５が第一の記録領域Ｒ１を露光中であれば露光強度をＰ１とするように記録光強度調整機構が作動し、第二の記録領域Ｒ２を露光中であれば露光強度をＰ２とするように記録光強度調整機構が作動する。対物レンズ６０５が溝形状遷移区間Ｓｇを露光中であると判断された場合は、例えば図６に示すように、ＲｉとＲｏの間を適当な形態の関数で補間するような露光強度となるように記録光強度調整機構が作動する。つまり、第一の記録領域Ｒ１が第二の記録領域Ｒ２よりも内周側に位置し、更にＲｉとＲｏの間を一次関数的に補間する場合には、対物レンズ６０５が半径位置Ｒｃ（ここで、Ｒｉ≦Ｒｃ≦Ｒｏとする。）に位置する場合の露光パワーＰｃは、下記式により算出される。
Ｐｃ ＝ （Ｐ２−Ｐ１）×（Ｒｃ−Ｒｉ）／（Ｒｏ−Ｒｉ）＋Ｐ１
【０２００】
なお、上記説明では一次関数的に露光強度を補間しているが、関数の形態は一次関数に限定されるものではなく、例えば二次関数的に露光強度が増減されてもよい。つまり、計算によって補間して露光強度を設定するという点が重要なのである。
【０２０１】
ところが、先にも述べたように、原盤露光装置には繰り返し動作時間Ｔｕが必要であるため、溝形状遷移区間Ｓｇ内での実際の露光強度は、図６に示すように平滑とはならず、図７に示すように階段状となる。ここで、階段の１ステップに相当するトラック長さＳｕは、Ｔｕに露光時の線速ＬＶを乗じたものに相当し、下記式で表わされる。
Ｓｕ ＝ ＬＶ×Ｔｕ
【０２０２】
以上が、本態様に係る原盤露光装置の基本的な動作である。
すなわち、第一の記録領域Ｒ１の形成を完了した後、溝形状遷移区間Ｓｇを形成する際に、対物レンズ６０５の半径位置を順次読み込んで記録光強度を階段状に、即ち段階的に変えるので、結果として溝形状遷移区間Ｓｇにおける溝形状を段階的に変化させることができる。ここで、規格化プッシュプル信号振幅の変動をある程度にまで抑えることが望ましいので、段階的に変化された溝形状の１ステップに相当するトラック長さＳｕをある程度にまで短くすることが望まれる。
【０２０３】
ここで、Ｓｕを短くするためには次のようにする。すなわち、１ステップの長さＳｕは、露光時の線速ＬＶとＴｕとの積であるので、Ｓｕを小さくするためには、ＬＶを小さくするかＴｕを小さくすればよい。
しかし、ＬＶを小さくしてしまうと、露光に要する時間が長くなるという課題が発生してしまう。露光に要する時間が長くなると生産量が落ちてしまうだけでなく、長時間に亘る原盤露光装置の安定性の確保が困難となってしまうという課題が発生する。
【０２０４】
すなわち、Ｓｕを小さくするためには、Ｔｕを小さくする方法がより適切であり、現実的な露光時の線速ＬＶを確保するためには、Ｔｕを少なくとも１００ｍｓｅｃ以下とすることが望まれる。Ｔｕが長過ぎる場合、現実的な速さの露光線速で露光すると、溝形状遷移区間Ｓｇ内の溝形状変化が極めて粗い状態となってしまい、規格化プッシュプル信号振幅の急激な変化を抑え切れなくなってしまう場合がある。
【実施例】
【０２０５】
以下、実施例を用いて本発明を更に詳細に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り以下の実施例により限定されるものではない。
以下の各実施例及び各比較例では、情報記録媒体として、溝形状遷移区間Ｓｇ及びトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐの形成条件を変えた記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクを作製し、得られた情報記録媒体を情報再生装置にて再生することにより評価を行なった。
【０２０６】
［スタンパの製造］
所望の溝形状遷移区間Ｓｇ及びトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐを有する、各実施例及び各比較例の情報記録媒体を製造するために、まず、目的とする溝形状遷移区間Ｓｇ及びトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐに相当する凹凸パターンを有するスタンパ（ファザー）を製造した。
スタンパの製造は、前述の［II−１．スタンパの製造］の欄で説明した方法に従い行なった。具体的な条件としては、厚さ６ｍｍのガラス板を原盤用基板５０１として、その上にフォトレジスト５０２を厚さ６０ｎｍとなるように形成した原盤５０３を用い、これを後述の条件に基づいて露光した後、現像し、凹凸原盤５０３’を得た。この凹凸原盤５０３’上に、スパッタ法を用いてニッケルを厚さ２０ｎｍとなるように成膜し（導電層５０５）、更に電気めっき法でニッケルを積層することにより、厚さ２９０μｍのファザー層５０６を形成した。このファザー層５０６を剥離して、ファザースタンパ５０６とした。
【０２０７】
なお、原盤の露光は、以下の条件により行なった。
記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクにおいては、ＰＩＣ領域がディスクの内周側、ユーザーデータ領域がディスクの外周側に相当する。トラックはＰＩＣ領域からユーザーデータ領域へと進む方向であり、原盤露光もＰＩＣ領域からユーザーデータ領域へと進む方向で行なった。
【０２０８】
また、何れの実施例及び比較例においても、第一の記録領域Ｒ１をＰＩＣ領域とし、第二の記録領域Ｒ２をユーザーデータ領域とし、第一の記録領域Ｒ１におけるトラックピッチｔｐ１を０．３５μｍ、第二の記録領域Ｒ２におけるトラックピッチｔｐ２を０．３２μｍとした。
【０２０９】
また、後に説明する規格化プッシュプル信号振幅ＮＰＰが後述の管理範囲を満足するように、ＰＩＣ領域及びユーザーデータ領域の溝形状を調整した。具体的な数値としては、ＰＩＣ領域の溝深さを３０ｎｍ、溝幅を０．１０μｍとし、ユーザーデータ領域の溝深さを６０ｎｍ、溝幅を０．１９μｍとした。
【０２１０】
また、原盤露光時の露光光強度の調節は、実施例３のみ、上述の第２の態様に係る原盤露光装置（記録光強度調節機構及び繰り返し動作機構を備えた原盤露光装置）を用い、それ以外の実施例及び比較例については、上述の第１の態様に係る原盤露光装置（記録光強度スイープ機構を備えた原盤露光装置）を用いて行なった。
【０２１１】
［情報記録媒体の製造］
各実施例及び各比較例の情報記録媒体は、上述のスタンパを用いて基板を作製し、その基板上に反射層、記録層、界面層及びカバー層をこの順に積層して形成することにより、行なった。
【０２１２】
具体的には、まず、基板の材料としてポリカーボネートを使用し、上述のスタンパを型として射出成形することにより、スタンパの凹凸パターンが写し取られた基板を形成した。なお、基板の厚みは１．１ｍｍとした。
【０２１３】
次いで、この基板上に、ＡｇＮｄＣｕ合金からなる反射層を、スパッタ法にて７０ｎｍの厚さに形成した。
【０２１４】
続いて、この反射層上に、含金属アゾ系色素をオクタフルオロペンタノール（ＯＦＰ）で希釈後、スピンコート法にて成膜することにより、記録層を形成した。スピンコート法の条件は次の通りである。すなわち、有機色素を１．０重量％の濃度でＯＦＰに溶解させた溶液を、基板の中央付近に１．５ｇ環状に塗布し、基板を１２００ｒｐｍで７秒間回転させ色素を延伸し、その後、９２００ｒｐｍで３秒間回転させ色素を振り切ることによって塗布を行なった。なお、塗布後には媒体を１００℃の環境下で１時間保持することで、溶媒であるＯＦＰを蒸発させて除去した。記録層の厚みは３０ｎｍ程度を目標とした。
【０２１５】
次に、この記録層上に、スパッタ法により、ＺｎＳ：ＳｉＯ2からなる界面層を、１６ｎｍの厚さに形成した。
【０２１６】
続いて、この界面層上に、厚さ７５μｍのポリカーボネート樹脂のシートと厚さ２５μｍの感圧接着剤層とからなる、合計の厚さ１００μｍの透明なカバー層を貼り合わせた。
【０２１７】
［評価用情報再生装置］
各実施例及び各比較例の情報記録媒体の評価には、図８に示す構成の情報再生装置（以下「評価用情報再生装置」という。）を用いた。なお、図８（ａ）は、各実施例及び各比較例の情報記録媒体の評価に用いた評価用情報再生装置の要部の構成を示す機能ブロック図であり、図８（ｂ）は、図８（ａ）に示す評価用情報再生装置が有する４分割フォトダイオードの構成を説明するための図である。
【０２１８】
図８（ａ）に示す評価用情報再生装置９００は、４分割フォトダイオード９０１、プッシュプル信号生成回路９０２、和信号生成回路９０３、規格化プッシュプル信号生成回路９０４、合成回路９０５、スピンドルモーター（図示省略）、半導体レーザー等の光源（図示省略）、対物レンズ（図示省略）、増幅回路（図示せず）等を具備する。また、スピンドルモーターに、評価対象となる情報記録媒体９０６を装着できるようになっている。
【０２１９】
半導体レーザー等から出射されたレーザー光は、スピンドルモーターに固定された情報記録媒体９０６上に、対物レンズにて集光される。情報記録媒体９０６上で反射されたレーザー光は４分割フォトダイオード９０１へと導かれる。４分割フォトダイオード９０１は、図８（ｂ）に示すように、４つに分割されたディテクタからなり、各ディテクタへと入射するレーザー光の強度に応じた電気信号が、各々のディテクタより出力される。
【０２２０】
各々のディテクタより出力された電気信号は、必要に応じて増幅回路（図示せず）などを通過された後、プッシュプル信号生成回路９０２及び和信号生成回路９０３へと導かれる。プッシュプル信号生成回路９０２は、（Ａ＋Ｂ）−（Ｃ＋Ｄ）を計算してプッシュプル信号ＰＰを生成する。また、和信号生成回路９０３は、（Ａ＋Ｂ）＋（Ｃ＋Ｄ）を計算して和信号ＳＵＭを生成する。更に、規格化プッシュプル信号生成回路９０４は、ＰＰ及びＳＵＭをもとにＰＰ／ＳＵＭを計算して、規格化プッシュプル信号を生成する。そして、規格化プッシュプル信号に基づいて、サーボユニット（図示せず）がトラッキング制御を実行する。
【０２２１】
［情報記録媒体の評価手順］
各実施例及び各比較例の情報記録媒体の評価は、上述の評価用情報再生装置９００を用いて、以下の手順により行なった。
【０２２２】
評価にあたっては、ＰＩＣ領域とユーザーデータ領域との境界近傍での未記録状態でのプッシュプル信号ＰＰ及び和信号ＳＵＭを、トラッキングサーボを行なわない状態でオシロスコープにて測定し、規格化プッシュプル信号振幅ＮＰＰを算出した。そして、ＰＩＣ領域とユーザーデータ領域との境界近傍におけるＮＰＰの変動の様子を調べることで、ＮＰＰの特性を評価した。
なお、下記の実施例１〜３及び比較例１，２については、以上の手順により測定された規格化プッシュプル信号振幅ＮＰＰ及び和信号ＳＵＭのオシロスコープによる波形を、図９〜１３として掲げているが、これらは何れも、情報記録媒体のトラック約２分の１周分の波形を示している。即ち、これらの図の横軸は、何れもトラック約２分の１周分に相当する。
【０２２３】
また、何れの実施例及び比較例においても、ＰＩＣ領域におけるＮＰＰの管理範囲を０．２６〜０．５２とした。ＰＩＣ領域におけるＮＰＰをこの範囲に入れておけば、ＰＩＣ領域において安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態が実現できる。
【０２２４】
また、何れの実施例及び比較例においても、ユーザーデータ領域における未記録状態でのＮＰＰとしては０．６程度を目標とし、ユーザーデータ領域における未記録状態でのＮＰＰの上限を０．８と設定した。また、ユーザーデータ領域における未記録状態でのＮＰＰの下限は０．２１と設定した。ユーザーデータ領域における未記録状態でのＮＰＰをこの範囲に入れておけば、ユーザーデータ領域において安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態が実現できる。
【０２２５】
また、何れの実施例及び比較例においても、記録領域遷移区間Ｓｘにおける未記録状態でのＮＰＰの管理範囲は、上記ＰＩＣ領域及びユーザーデータ領域の管理範囲のうち、より範囲の広いユーザーデータ領域と同様とした。すなわち、記録領域遷移区間Ｓｘにおける未記録状態でのＮＰＰの管理範囲を、０．２１〜０．８とした。
【０２２６】
なお、上記ＮＰＰの管理範囲は、サーボ系の性能により左右される流動的な数値であり、使用するサーボ系により適宜決定される。
今回設定した値は、通常のサーボ装置の性能よりもやや低い装置でも安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態が実現できると考えられる範囲とした。
すなわち、情報記録媒体全面におけるＮＰＰが上記の範囲内である情報記録媒体が提供できれば、様々な記録再生装置において安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態が実現できると考えられる。
なお、以下の実施例及び比較例におけるＮＰＰとは、全て未記録状態でのＮＰＰのことを指す。
【０２２７】
［実施例１］
原盤露光時に、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐのトラックに沿った長さＬｔｐを３．２ｍとし、溝形状遷移区間Ｓｇのトラックに沿った長さＬｇを４．５ｍとした。トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐの開始点は溝形状遷移区間Ｓｇの開始点よりも時間的に早くし、ＳｔｐとＳｇの重なり部分のトラックに沿った長さＬＬを２．９ｍとした。ここで、Ｌｇ／Ｌｔｐの値は１．４１、ＬＬ／Ｌｔｐの値は０．９１となる。
以上の条件で情報記録媒体を作製した。これを実施例１の情報記録媒体とする。
【０２２８】
実施例１の情報記録媒体について、上述の手順で評価を行なった。その結果として得られた、ＰＩＣ領域とユーザーデータ領域の境界近傍での規格化プッシュプル信号振幅ＮＰＰ及び和信号ＳＵＭの様子を、図９に示す。
【０２２９】
実施例１の情報記録媒体では、ＰＩＣ領域でのＮＰＰは０．３であり、ユーザーデータ領域でのＮＰＰは０．６３であった。
【０２３０】
更に、ＰＩＣ領域及びユーザーデータ領域の境界近傍では、ＮＰＰが滑らかに変化しており、記録領域遷移区間Ｓｘにおいても所定のＮＰＰの管理範囲の下限及び上限を外れることがなかった。
【０２３１】
また、記録領域遷移区間Ｓｘ内のＮＰＰが、ＰＩＣ領域のＮＰＰよりも常に大きく、ユーザーデータ領域のＮＰＰよりも常に小さくなっていた。
【０２３２】
以上の結果から、本実施例では、十分に安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態の実現可能な情報記録媒体が得られたことが分かる。
【０２３３】
［実施例２］
原盤露光時に、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐのトラックに沿った長さＬｔｐを３．２ｍとし、溝形状遷移区間Ｓｇのトラックに沿った長さＬｇを２．５ｍとした。トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐの開始点と溝形状遷移区間Ｓｇの開始点とを略同一箇所とし、ＳｔｐとＳｇの重なり部分のトラックに沿った長さＬＬを２．５ｍとした。ここで、Ｌｇ／Ｌｔｐの値は０．７８、ＬＬ／Ｌｔｐの値は０．７８となる。
以上の条件で情報記録媒体を作製した。これを実施例２の情報記録媒体とする。
【０２３４】
実施例２の情報記録媒体について、上述の手順で評価を行なった。その結果として得られた、ＰＩＣ領域とユーザーデータ領域の境界近傍での規格化プッシュプル信号振幅ＮＰＰ及び和信号ＳＵＭの様子を、図１０に示す。
【０２３５】
実施例２の情報記録媒体では、ＰＩＣ領域でのＮＰＰは０．３９であり、ユーザーデータ領域でのＮＰＰは０．６３であった。
【０２３６】
ここで、記録領域遷移区間ＳｘでのＮＰＰが一部領域においてやや増大しているが、増大部分におけるＮＰＰの最大値は０．７７であり、所定のＮＰＰの管理範囲の上限を上回ることはなかった。
【０２３７】
以上の結果から、本実施例では、安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態の実現可能な情報記録媒体が得られたことが分かる。
【０２３８】
［実施例３］
原盤露光時に、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐのトラックに沿った長さＬｔｐを１．６ｍとし、溝形状遷移区間Ｓｇのトラックに沿った長さＬｇを３．９ｍとした。トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐの開始点は溝形状遷移区間Ｓｇの開始点よりも時間的に早くし、ＳｔｐとＳｇの重なり部分のトラックに沿った長さＬＬを０．４ｍとした。ここで、Ｌｇ／Ｌｔｐの値は２．４４、ＬＬ／Ｌｔｐの値は０．２５となる。
【０２３９】
また、原盤露光時には、上述の第２の態様に係る原盤露光装置（記録光強度調節機構及び繰り返し動作機構を備えた原盤露光装置）を用い、ＰＩＣ領域とユーザーデータ領域の遷移部において露光光強度スイープを行なわず、記録領域遷移区間Ｓｘにおいて、記録光強度調節機構により記録光強度を調整するという動作を９０ｍｓｅｃ毎に繰り返した。
以上の条件で情報記録媒体を作製した。これを実施例３の情報記録媒体とする。
【０２４０】
実施例３の情報記録媒体について、上述の手順で評価を行なった。その結果として得られた、ＰＩＣ領域とユーザーデータ領域の境界近傍での規格化プッシュプル信号振幅ＮＰＰ及び和信号ＳＵＭの様子を、図１１に示す。
【０２４１】
実施例３の情報記録媒体では、ＰＩＣ領域でのＮＰＰは０．３４であり、ユーザーデータ領域でのＮＰＰは０．６６であった。
【０２４２】
また、ＰＩＣ領域及びユーザーデータ領域の境界近傍では、一部ＮＰＰが小さい箇所があるが、当該箇所のＮＰＰは０．２６であり、所定のＮＰＰの管理範囲の下限値を下回ることはなかった。
【０２４３】
つまり、この構成の情報記録媒体では、上記原盤露光装置の繰り返し動作が１００ｍｓｅｃ以下となっているので、記録領域遷移区間ＳｘにおいてＮＰＰが急激に変化している様子は見られなかった。また、ＮＰＰが極端に大きい箇所或いは極端に小さい箇所が存在せず、所定のＮＰＰの管理範囲の下限及び上限を外れることがなかった。
【０２４４】
以上の結果から、本実施例では、フォーカスサーボ回路及びトラッキングサーボ回路の微調整により十分に安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態が実現可能な情報記録媒体が得られたことが分かる。
【０２４５】
［実施例４〜７］
Ｌｔｐ、Ｌｇ、ＬＬの値を各々、以下の表１に示す値とした以外は、実施例１と同様の手順により情報記録媒体を作製した。これらを実施例４〜７の情報記録媒体とする。
【０２４６】
実施例４〜７について、実施例１〜３と同様にＮＰＰを測定したところ、何れも所定の範囲の数値に納まっており、安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態の実現可能な情報記録媒体が提供できた。
【０２４７】
［比較例１］
原盤露光時に、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐのトラックに沿った長さＬｔｐを３．２ｍとし、溝形状遷移区間Ｓｇのトラックに沿った長さＬｇを０．５ｍとした。トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐの終了点と溝形状遷移区間Ｓｇの開始点とを略同一箇所とし、ＳｔｐとＳｇの重なり部分のトラックに沿った長さＬＬを０ｍ（つまり、ＳｔｐとＳｇの重なり部分が無い状態）とした。ここで、Ｌｇ／Ｌｔｐの値は０．１６、ＬＬ／Ｌｔｐの値は０となる。
以上の条件で情報記録媒体を作製した。これを比較例１の情報記録媒体とする。
【０２４８】
比較例１の情報記録媒体における、ＰＩＣ領域とユーザーデータ領域の境界近傍での規格化プッシュプル信号振幅ＮＰＰ及び和信号ＳＵＭの様子を、図１２に示す。
【０２４９】
比較例１の情報記録媒体では、ＰＩＣ領域でのＮＰＰは０．４１であり、ユーザーデータ領域でのＮＰＰは０．６７であった。
また、記録領域遷移区間ＳｘにおけるＮＰＰの最大値は０．９であり、最小値は０．０７であった。
【０２５０】
即ち、ＮＰＰが一部領域において管理範囲の上限を上回っており、更に別の領域においては下限を下回ってしまっている。この程度にまでＮＰＰが管理範囲を超えていると、安定してトラッキングサーボを実行することは困難である。
【０２５１】
また、ＮＰＰの変化が比較的急激であり、不連続に変化してしまっている。このような情報記録媒体は、当該箇所においてトラッキングサーボに障害が生じる可能性がある。
【０２５２】
［比較例２］
原盤露光時に、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐのトラックに沿った長さＬｔｐを３．２ｍとし、溝形状遷移区間Ｓｇのトラックに沿った長さＬｇを０ｍ、すなわち、Ｓｔｐの開始点を境に溝形状を一気に変更し、溝形状遷移区間Ｓｇを全く設けない状態とした。
以上の条件で情報記録媒体を作製した。これを比較例２の情報記録媒体とする。
【０２５３】
比較例２の情報記録媒体における、ＰＩＣ領域とユーザーデータ領域の境界近傍での規格化プッシュプル信号振幅ＮＰＰ及び和信号ＳＵＭの様子を、図１３に示す。
【０２５４】
比較例２の情報記録媒体では、ＰＩＣ領域でのＮＰＰは０．３であり、ユーザーデータ領域でのＮＰＰは０．６１であった。
また、記録領域遷移区間ＳｘにおけるＮＰＰの最大値が１．２であり、最小値が０．２であった。
【０２５５】
即ち、ＮＰＰが管理範囲の上限を超えてしまっている箇所と、下限を下回っている箇所が存在した。この程度にまでＮＰＰが管理範囲を超えていると、安定してトラッキングサーボを実行することは困難である。
【０２５６】
また、ＮＰＰの変化が比較的急激であり、不連続に変化してしまっている。このような情報記録媒体は、当該箇所においてトラッキングサーボに障害が生じる可能性がある。
【０２５７】
［評価］
各実施例及び各比較例における、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐのトラックに沿った長さＬｔｐ、溝形状遷移区間Ｓｇのトラックに沿った長さＬｇ、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐと溝形状遷移区間Ｓｇとの重なり部分のトラックに沿った長さＬＬ、Ｌｇ／Ｌｔｐ及びＬＬ／Ｌｔｐの各数値を、以下の表１に示す。
【表１】
【０２５８】
図１４は、実施例１〜７及び比較例１，２の情報記録媒体について得られたＬｇ／ＬｔｐとＬＬ／Ｌｔｐとの関係をプロットした図である。グラフ中の太線の枠は、本発明において好適なＬｇ／Ｌｔｐ及びＬＬ／Ｌｔｐの値の範囲（０．２≦Ｌｇ／Ｌｔｐ≦２．５、０．１≦ＬＬ／Ｌｔｐ≦１．０）を示している。
【０２５９】
以上の結果より、本発明において、Ｌｇ／Ｌｔｐ及びＬＬ／Ｌｔｐの上述の好適な範囲内に設定することが、安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態を実現する上で好ましいことが判る。
【産業上の利用可能性】
【０２６０】
本発明の情報記録媒体及び原盤露光装置は、例えばＢｌｕ−ｒａｙディスク等の情報記録媒体の分野に好適に用いられる。
【符号の説明】
【０２６１】
１００，２００ 情報記録媒体
１０１，２０１ 基板
１０２ 反射層
１０３ 記録層
１０４，２０７ カバー層
１０５，２０８ レーザー光
２０２ 第１の反射層
２０３ 第１の記録層
２０４ 中間層
２０５ 第２の反射層
２０６ 第２の記録層
３００ 記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスク
３０１ ＢＣＡ領域
３０２ ＰＩＣ領域
３０３ ユーザーデータ領域
５０１ 原盤用基板
５０２ フォトレジスト
５０３ 原盤
５０３’ 凹凸原盤
５０４ パターン
５０５ 導電層
５０６ ファザー層（ファザースタンパ、ファザー）
５０７ 剥離層
５０８ マザー層（マザースタンパ、マザー）
６００ 原盤露光装置
６０１ フォーマッター（偏向信号生成機構）
６０２ レーザー光源（記録光源）
６０３ パワー調整素子（記録光強度調節機構）
６０４ ＥＯＤ素子（記録光偏向機構）
６０５ 対物レンズ（集光機構）
６０６ ターンテーブル（回転機構）
６０７ スライダー（半径移動機構）
６０８ ミラー
６０９ コントローラー（制御機構）
９００ 評価用情報再生装置
９０１ ４分割フォトダイオード
９０２ プッシュプル信号生成回路
９０３ 和信号生成回路
９０４ 規格化プッシュプル信号生成回路
９０５ 合成回路
９０６ 評価対象の情報記録媒体
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばＢｌｕ−ｒａｙディスク等の情報記録媒体と、その情報記録媒体を製造するための原盤露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｂｌｕ−ｒａｙディスク等の情報記録媒体では、基板上に記録層が形成され、レーザー光を記録層に集光させることでデータの書き込みあるいは読み取りができるようになっている。
また、媒体上にはトラックが螺旋状に形成されてなり、データの読み書きは、情報記録媒体をスピンドルモーターなどに載置回転させつつ、トラックに沿ってレーザー光を集光することによって実行される。
【０００３】
トラックは、基板上に物理的に刻設された溝やピットによって具現化されている。例えば記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクにおいては、トラックは溝によって具現化されている。また、例えば再生専用型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクにおいては、トラックはピットによって具現化されている。
【０００４】
ここで、溝とは、情報記録媒体の周方向に物理的に連続して形成された凹凸パターンのことである。また、ピットとは、情報記録媒体の周方向に断続して形成された凹凸パターンのことであり、多数個のピットが情報記録媒体の周方向に並ぶことにより、一つのトラックを構成している。
【０００５】
なお、情報記録媒体の種類によっては、同一の情報記録媒体上に溝及びピットの両方が、それぞれ所定の領域内で刻設されてなるものもある。すなわち、例えば溝のみが刻設された領域を記録可能な領域として用い、ピットのみが刻設された領域を再生専用領域として用いる等の場合がある。
【０００６】
一方、記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクの場合、情報記録媒体の最適記録パワーやメディア製造者情報等が、コントロールデータとして予め情報記録媒体上に記録されている（コントロールデータが記録された領域を「コントロールデータ領域」という。後述するように「ＰＩＣ領域」という場合もある。）。コントロールデータの記録は、ユーザーデータ領域とは異なる変調方式によって溝を蛇行させることによりなされている。
【０００７】
ここで、蛇行とは、溝を所定の振幅及びパターンで情報記録媒体の半径方向に微小に変位させることによって実現されるものである。また、変調方式とは、予め記録しておきたいデータを所定の蛇行パターンに変換するための変換方式のことである。なお、以下の記載では、簡便のため、「溝の蛇行に用いられる変調方法」のことを、単に「ウォブル変調方式」と記述することとする。
【０００８】
更に、記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクにおいては、ドライブによるコントロールデータの読み取りをより確実なものとするため、コントロールデータ領域のトラックピッチを、ユーザーデータ領域のトラックピッチよりも大きくするように形成されている。
【０００９】
ここでトラックピッチとは、情報記録媒体を半径方向に見たときの隣接する二つのトラックの中心間距離のことである。上述したように、記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクにおいては、溝が情報記録媒体の半径方向に微小量蛇行させられているが、トラックピッチの値を議論する際には、溝の蛇行は考慮に入れない。従って、トラックピッチは、情報記録媒体を半径方向に見たときの溝間の平均的な距離に等しい。
一方、情報記録媒体に照射されたレーザー光については、その一部が反射され、反射光は、例えば二分割フォトディテクターなどで受光される。
【００１０】
図１５（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ、規格化プッシュプル信号振幅（トラックに沿った方向に検出面が分割された二分割フォトディテクターの各々の出力の差を、各々の出力の和で除算した信号の振幅）と、トラックピッチ、溝幅、及び溝深さとの相関関係を表わすグラフである。
【００１１】
図１５（ａ）〜（ｃ）のグラフから分かるように、例えば記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクの場合、コントロールデータ領域のトラックピッチは、ユーザーデータ領域のトラックピッチよりも広いので、コントロールデータ領域とユーザーデータ領域の溝形状が略同一の場合、コントロールデータ領域から得られる規格化プッシュプル信号振幅は、ユーザーデータ領域から得られる規格化プッシュプル信号振幅よりも大きくなる。また、規格化プッシュプル信号振幅の大きさが、溝幅及び溝深さによって変化することも知られている。
【００１２】
一方、レーザー光を集光するための対物レンズを搭載したピックアップは、規格化プッシュプル信号を基にしてトラックに追随していく（以下、トラックに追随して動作することを「トラッキング」と呼び、トラッキングを実行する制御のことを「トラッキングサーボ」と呼ぶ。）。ピックアップは、通常、規格化プッシュプル信号振幅がある所定の範囲内であることを前提として設計される。言い換えると、規格化プッシュプル信号振幅が所定の範囲内である時に、初めて安定したトラッキングサーボを実現できることになる。
【００１３】
例えば、規格化プッシュプル信号振幅が所定の範囲内の値よりも小さい場合、安定したトラッキングサーボを実現するための十分な信号振幅が得られず、トラッキングサーボ不良を引き起こすという悪影響が出る。
また、例えば、規格化プッシュプル信号振幅が所定の範囲内の値よりも大きい場合、必要以上の信号振幅がトラッキングサーボ回路に入力され、その結果サーボ系が発振する、といった悪影響が出る。
【００１４】
更に、規格化プッシュプル信号振幅が相対的に大き過ぎる場合、フォーカスサーボを行なう上で用いられるフォーカスエラー信号にプッシュプル信号（トラックに沿った方向に検出面が分割された二分割フォトディテクターの各々の出力の差信号）がノイズとして重畳してしまい、フォーカスが外れる等の課題を引き起こす可能性がある。
【００１５】
なお、ピックアップの種類によっては、規格化プッシュプル信号以外の信号を用いてトラッキングを実行する場合も考えられるが、トラッキングの実行に用いられる信号振幅が所定の範囲内にあるときに初めて安定したトラッキングサーボを実現できるという点では同様に考えてよい。
【００１６】
また、たとえ規格化プッシュプル信号振幅が所定の範囲内であっても、急激な規格化プッシュプル信号振幅の変化に対してはサーボ系のゲインコントロール回路が追従できず、トラッキングサーボ不良を引き起こすといったケースも起こり得る。従って、規格化プッシュプル信号振幅の変化をできるだけ小さくした方が、トラッキングサーボに関する不具合を起こす可能性が低くなる。
【００１７】
上記のように、規格化プッシュプル信号振幅の急激な変化はトラッキングサーボ或いはフォーカスサーボに悪影響を及ぼすので、例えばコントロールデータ領域とユーザーデータ領域との溝形状を異ならせることによって、コントロールデータ領域とユーザーデータ領域との規格化プッシュプル信号振幅の差を小さくすればよいことが知られている。
【００１８】
なお、一般的な情報記録媒体の製造方法によれば、原盤露光装置における露光パワーを領域毎に変化させることによって、領域毎に溝形状を変化させることができる。
また、上記トラックピッチの異なる領域に対して安定したトラッキングサーボを実現するための提案として、トラックピッチの異なる領域同士を一つの螺旋状のトラックとして形成し、かつトラックピッチを徐々に変化させる遷移区間を設ける提案もなされている（特許文献１）。
【００１９】
上記トラックピッチを徐々に変化させる遷移区間を設けるという技術は、例えば記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクにおいて採用されている。この技術によれば、コントロールデータ領域とユーザーデータ領域とは連続した螺旋状のトラックとされ、両領域はトラックピッチを徐々に変化させたトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐを設けることによって接続されている。
【００２０】
記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクにおける、コントロールデータ領域、ユーザーデータ領域、及びトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐの配置について、図１６を用いて説明する。なお、図１６は、一般的な記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクにおけるコントロールデータ領域、ユーザーデータ領域、及びトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐの配置を説明するための図である。
【００２１】
図１６に示すように、記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクでは、コントロールデータ領域はユーザーデータ領域よりも内周側に設置され、コントロールデータ領域におけるトラックピッチは約０．３５μｍに、ユーザーデータ領域のトラックピッチは約０．３２μｍに、それぞれ設定される。
【００２２】
更に、ユーザーデータ領域とコントロールデータ領域との間には、保護領域（Ｐｒｏｔｅｃｔｉｏｎ ｚｏｎｅ）が設けられており、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐは、保護領域に完全に包含されるように形成される。
トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐよりも内周側に存在する保護領域（図１６における内周側保護領域）のトラックピッチは、コントロールデータ領域のトラックピッチと同じ値に設定される。
一方、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐよりも外周側に存在する保護領域（図１６における外周側保護領域）のトラックピッチは、ユーザーデータ領域のトラックピッチと同じ値に設定される。
【００２３】
更に、ウォブル変調方式は、コントロールデータ領域とユーザー領域とで異なった方式とされ、保護領域のウォブル変調方式はユーザーデータ領域のウォブル変調方式と同じものとされる。つまり、ウォブル変調方式は、保護領域とコントロールデータ領域との境界部において変化するように形成されている（特許文献２）。
【００２４】
すなわち、保護領域とは、ウォブル変調方法及びトラックピッチが相異なる二領域の間に設けられ、一つの螺旋状のトラックとして形成された二領域を接続するために設けられた領域である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２５】
【特許文献１】特開２００３−３４６３８４号公報
【特許文献２】特開２００６−１２３５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２６】
本発明が解決しようとする課題について、Ｂｌｕ−ｒａｙディスクを例に挙げて説明する。
上述したように、Ｂｌｕ−ｒａｙディスクにおいては、コントロールデータ領域が、相対的に広いトラックピッチでユーザーデータ領域の内周側に設けられている。両者は連続したトラック上に設けられ、両者の間にはトラックピッチを徐々に変化させたトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐが設けられている。
また、コントロールデータ領域とユーザーデータ領域との規格化プッシュプル信号振幅の差を小さくするために、原盤露光装置において両領域の露光パワーをそれぞれ異ならせることによって、両記録領域の溝形状を互いに異ならせることができる。
【００２７】
しかし、両記録領域の溝形状を異ならせると、異なった溝形状の接続部分において規格化プッシュプル信号振幅の不連続が発生し、ドライブの動作に必要なだけの大きさの規格化プッシュプル信号振幅が得られない、或いはトラッキングサーボやフォーカスサーボに支障をきたすほどの大きな規格化プッシュプル信号振幅が得られてしまう、等の不具合があった。
更に、規格化プッシュプル信号振幅が不連続であることにより、トラッキングサーボ系のゲインコントロール回路が追従しきれず、トラッキングサーボ不良を引き起こすという不具合もあった。
【００２８】
このような不具合は、特に、記録層に有機色素材料を含んだ、イングルーブ型のＬｏｗ−Ｔｏ−Ｈｉｇｈ記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクにおいて顕著であった。ここで、イングルーブ型とは、凹凸パターンのうち、記録再生光が入射する側の記録媒体表面から遠い側の溝底部を記録トラックとするタイプのＢｌｕ−ｒａｙディスクのことである。また、Ｌｏｗ−Ｔｏ−Ｈｉｇｈ記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクとは、記録マーク部分の反射率が未記録部分の反射率よりも高い構成とされたＢｌｕ−ｒａｙディスクのことである。
【００２９】
イングルーブ型のＬｏｗ−Ｔｏ−Ｈｉｇｈ記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクにおいては、ユーザーデータ領域において実用上十分な記録再生特性を得るために、記録前の規格化プッシュプル信号振幅をある程度大きくすることが望まれる。このため、記録前の状態においては、コントロールデータ領域とユーザーデータ領域における規格化プッシュプル信号振幅との差が大きくなり、両領域の接続部分における規格化プッシュプル信号振幅の不連続に起因するトラッキングサーボ不良等の不具合が出易くなるものと考えられる。
【００３０】
本発明は、上記の課題を解決するべくなされたものである。即ち、本発明の目的は、トラックピッチ及び溝形状が異なる複数の記録領域を有する情報記録媒体であって、安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボを実現することが可能な情報記録媒体と、この情報記録媒体を製造することが可能な原盤露光装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００３１】
本発明者らは、上記課題に鑑み鋭意検討した結果、トラックピッチ及び溝形状が異なる複数の記録領域を有する情報記録媒体において、これらの記録領域間に、トラックピッチが遷移する区間と溝形状が遷移する区間とを有する遷移区間を設けるとともに、これらの区間が少なくとも一部領域を共有するようにすることにより、安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボを実現することが可能となることを見出した。また、原盤露光装置に、記録光の強度を単調増加又は単調減少でスイープさせる機構、或いは、記録光強度を補間して調節する動作を１００ｍｓｅｃ以下のサイクルで繰り返し行なう機構を設けることにより、このような情報記録媒体を製造することが可能となることを見出し、本発明者らは本発明を完成させた。
【００３２】
即ち、本発明の要旨は、凹凸パターンにより形成された記録トラックを有する情報記録媒体において、該記録トラックが、第一の記録領域Ｒ１と、第二の記録領域Ｒ２と、第一の記録領域Ｒ１及び第二の記録領域Ｒ２の間に配置された記録領域遷移区間Ｓｘとを少なくとも備え、第一の記録領域Ｒ１におけるトラックピッチｔｐ１、溝幅ｗ１、及び溝深さｄ１、並びに第二の記録領域Ｒ２におけるトラックピッチｔｐ２、溝幅ｗ２、及び溝深さｄ２が、下記式（１）と、下記の式（２）及び／又は式（３）とを満たし、
０ ＜ ｜ｔｐ１−ｔｐ２｜ （１）
０ ＜ ｜ｗ１−ｗ２｜ （２）
０ ＜ ｜ｄ１−ｄ２｜ （３）
記録領域遷移区間Ｓｘが、トラックピッチがｔｐ１からｔｐ２へと遷移するトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐと、溝幅がｗ１からｗ２へと遷移し、及び／又は、溝深さがｄ１からｄ２へと遷移する溝形状遷移区間Ｓｇとを備え、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐと溝形状遷移区間Ｓｇとは、少なくとも一部の領域ＳＬを共有していることを特徴とする、情報記録媒体に存する（請求項１）。
【００３３】
ここで、第一の記録領域Ｒ１と、第二の記録領域Ｒ２と、記録領域遷移区間Ｓｘとが、物理的に連続した溝によって形成されていることが好ましい（請求項２）。
【００３４】
また、前記情報記録媒体が、有機色素を含む記録層を有することが好ましい（請求項３）。
【００３５】
また、記録マーク部分における反射率が、未記録部分の反射率よりも高い構成とされることが好ましい（請求項４）。
【００３６】
また、凹凸パターンのうち、記録再生光入射側の情報記録媒体の表面から遠い側の溝底部を記録トラックとすることが好ましい（請求項５）
【００３７】
また、記録層の組成及び膜厚が、少なくとも、第一の記録領域Ｒ１と、第二の記録領域Ｒ２と、記録領域遷移区間Ｓｘと、において同一であることが好ましい（請求項６）。
【００３８】
また、ディスク状の情報記録媒体であって、溝形状遷移区間Ｓｇのトラックに沿った長さＬｇが、ディスク状の情報記録媒体におけるトラック一周分以上であることが好ましい（請求項７）。
【００３９】
また、溝形状遷移区間Ｓｇにおける溝幅及び／又は溝深さが、トラックに沿って単調増加又は単調減少で変化していることが好ましい（請求項８）。
【００４０】
また、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐのトラックに沿った長さＬｔｐと、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐと溝形状遷移区間Ｓｇとが共有する領域ＳＬのトラックに沿った長さＬＬとが、下記の式（４）及び式（５）を満たすことが好ましい（請求項９）。
０．２ ≦ Ｌｇ／Ｌｔｐ ≦ ２．５ （４）
０．１ ≦ ＬＬ／Ｌｔｐ ≦ １．０ （５）
【００４１】
また、第一の記録領域Ｒ１及び第二の記録領域Ｒ２における、未記録状態での規格化プッシュプル信号振幅の最大値をＮＰＰmaxとし、最小値をＮＰＰminとした場合に、記録領域遷移区間Ｓｘ内の全領域において、規格化プッシュプル信号振幅ＮＰＰが以下の式を満たすことが好ましい（請求項１０）。
ＮＰＰmin ≦ ＮＰＰ ≦ ＮＰＰmax （６）
【００４２】
また、第一の記録領域Ｒ１及び第二の記録領域Ｒ２における、未記録状態での溝部反射率の最大値をＲｇｖmaxとし、最小値をＲｇｖminとした場合に、記録領域遷移区間Ｓｘ内の全領域において、未記録状態での溝部反射率Ｒｇｖが以下の式を満たすことが好ましい（請求項１１）。
Ｒｇｖmin ≦ Ｒｇｖ ≦ Ｒｇｖmax （７）
【００４３】
また、第一の記録領域Ｒ１が、第二の記録領域Ｒ２よりも内周側に配置され、かつ、第一の記録領域Ｒ１の内周側に、第一の記録領域Ｒ１におけるトラックピッチｔｐ１及び第二の記録領域Ｒ２におけるトラックピッチｔｐ２よりも広いトラックピッチｔｐ３を有した第三の記録領域Ｒ３が配置される構成とすることが好ましい（請求項１２）。
【００４４】
また、第三の記録領域Ｒ３においては、溝の蛇行による情報の記録がなされていないことが好ましい（請求項１３）。
【００４５】
また、第三の記録領域Ｒ３と第一の記録領域Ｒ１の間に、トラックピッチがｔｐ３からｔｐ１へと遷移するトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐ’が配置されることが好ましい（請求項１４）。
【００４６】
また、第一の記録領域Ｒ１が、所定の情報を格納した読取専用領域であり、第二の記録領域Ｒ２が、ユーザーデータを書き込み可能な読み書き可能領域であることが好ましい（請求項１５）。
【００４７】
また、読み取り専用領域におけるトラックピッチが０．３５μｍであり、読み書き可能領域におけるトラックピッチが０．３２μｍであることが好ましい（請求項１６）。
【００４８】
また、読み取り専用領域における規格化プッシュプル信号振幅をＮＰＰ１とし、読み書き可能領域における未記録状態での規格化プッシュプル信号振幅をＮＰＰ２とし、読み書き可能領域における記録後の規格化プッシュプル信号振幅をＮＰＰ２ａとし、さらに、
各々の最大値の中で最も大きい値をＮＰＰＡＬmaxとし、各々の最小値の中で最も小さい値をＮＰＰＡＬminとしたとき、
ＮＰＰＡＬmax／ＮＰＰＡＬmin ≦ ３
であることが好ましい（請求項１７）。
【００４９】
また、
ＮＰＰＡＬmax／ＮＰＰＡＬmin ≦ ２
であることがさらに好ましい（請求項１８）。
【００５０】
また、読み取り専用領域に対しては第一のウォブル変調方式が適用され、読み書き可能領域に対しては第一のウォブル変調方式とは異なった第二のウォブル変調方式が適用され、かつ、記録領域遷移区間Ｓｘにおいては読み書き可能領域と同じウォブル変調方式が適用されていることが好ましい（請求項１９）
【００５１】
また、本発明の別の要旨は、記録光源と、所定のフォーマットに基づいた所定の偏向信号を発生させる偏向信号生成機構と、上記偏向信号生成機構が生成した偏向信号に基づいて、上記記録光源が発生する記録光を偏向させる記録光偏向機構と、上記記録光を原盤上に集光させる集光機構と、上記原盤を載置し回転させるための回転機構と、上記集光機構を上記原盤の半径方向に相対的に移動させる半径移動機構と、トラックピッチの異なる複数の記録領域を生成できるように、予め設定した値に基づいて、上記回転機構の回転速度と、上記半径移動機構の移動速度と、上記集光機構の位置とを制御する制御機構と、上記記録光の強度を調節する記録光強度調節機構と、予め設定した値に基づいて、上記記録光の強度を単調増加又は単調減少でスイープさせる、記録光強度スイープ機構とを備えたことを特徴とする、原盤露光装置に存する（請求項２０）。
【００５２】
ここで、予め設定した特定の半径位置に集光機構が達したことを検出して、上記記録光強度スイープ機構による記録光強度のスイープを開始及び／又は終了する機構を備えることが好ましい（請求項２１）。
【００５３】
また、予め設定した特定のアドレスを上記偏向信号生成機構が出力したことを検出して、上記記録光強度スイープ機構による記録光強度のスイープを開始及び／又は終了する機構を備えることが好ましい（請求項２２）。
【００５４】
また、予め設定した特定の半径位置に集光機構が達したことを検出して、上記記録光強度スイープ機構による記録光強度のスイープを開始し、かつ、予め設定した所定の時間経過後に上記スイープを終了する機構を備えることが好ましい（請求項２３）。
【００５５】
また、予め設定した特定のアドレスを上記偏向信号生成機構が出力したことを検出して、上記記録光強度スイープ機構による記録光強度のスイープを開始し、かつ、予め設定した所定の時間経過後に上記スイープを終了する機構を備えることが好ましい（請求項２４）。
【００５６】
また、本発明の別の要旨は、記録光源と、所定のフォーマットに基づいた所定の偏向信号を発生させる偏向信号生成機構と、上記偏向信号生成機構が生成した偏向信号に基づいて上記記録光源が発生する記録光を偏向させる記録光偏向機構と、上記記録光を原盤上に集光させる集光機構と、上記原盤を載置し回転させるための回転機構と、上記集光機構を上記原盤の半径方向に相対的に移動させる半径移動機構と、トラックピッチの異なる複数の記録領域を生成できるように、予め設定した値に基づいて、上記回転機構の回転速度と、上記半径移動機構の移動速度と、上記集光機構の位置とを制御する制御機構と、上記集光機構の位置と、予め設定した特定の半径値における記録光強度設定値とに基づいて、記録光強度を補間して調節する記録光強度調節機構と、上記記録光強度調節動作を繰り返し行なう繰り返し動作機構とを少なくとも備え、上記繰り返し動作機構の１サイクルに要する動作時間が、１００ｍｓｅｃ以下であることを特徴とする、原盤露光装置に存する（請求項２５）。
【発明の効果】
【００５７】
本発明の情報記録媒体は、トラックピッチ及び溝形状が異なる複数の記録領域を有するとともに、安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボを実現することができる。
また、本発明の原盤露光装置によれば、上記の情報記録媒体を効率的に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】（ａ），（ｂ）は何れも、本発明の情報記録媒体が有する層構成の例を示す、模式的な部分断面図である。
【図２】本発明の情報記録媒体における第一の記録領域Ｒ１、第二の記録領域Ｒ２、及び記録領域遷移区間Ｓｘの関係を説明するための図であり、第一の記録領域Ｒ１、第二の記録領域Ｒ２、及び記録領域遷移区間Ｓｘの各々における、隣接する二つの溝の断面形状の例を、模式的に示している。
【図３】本発明の情報記録媒体の一例である記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクにおける記録領域の配置を説明するための模式的上方視図である。
【図４】（ａ）〜（ｉ）は、本発明の情報記録媒体を製造するためのスタンパの製造手順の一例を説明するための図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る原盤露光装置の基本構成の例を模式的に示す機能ブロック図である。
【図６】本発明の一実施形態に係る原盤露光装置の第２の態様において、連続的な補間により得られる理論的な露光強度と集光機構の半径値との関係を表わすグラフである。
【図７】本発明の一実施形態に係る原盤露光装置の第２の態様において、補間動作の繰り返しによって得られる実際の露光強度と集光機構の半径値との関係を表わすグラフである。
【図８】（ａ）は、各実施例及び各比較例の情報記録媒体の評価に用いた情報再生装置（以下「評価用情報再生装置」という。）の要部の構成を示す機能ブロック図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す評価用情報再生装置が有する４分割フォトダイオードの構成を説明するための図である。
【図９】実施例１の情報記録媒体における規格化プッシュプル信号振幅ＮＰＰ及び和信号ＳＵＭの、情報記録媒体約２分の一周分の波形を示す図である。
【図１０】実施例２の情報記録媒体における規格化プッシュプル信号振幅ＮＰＰ及び和信号ＳＵＭの、情報記録媒体約２分の一周分の波形を示す図である。
【図１１】実施例３の情報記録媒体における規格化プッシュプル信号振幅ＮＰＰ及び和信号ＳＵＭの、情報記録媒体約２分の一周分の波形を示す図である。
【図１２】比較例１の情報記録媒体における規格化プッシュプル信号振幅ＮＰＰ及び和信号ＳＵＭの、情報記録媒体約２分の一周分の波形を示す図である。
【図１３】比較例２の情報記録媒体における規格化プッシュプル信号振幅ＮＰＰ及び和信号ＳＵＭの、情報記録媒体約２分の一周分の波形を示す図である。
【図１４】実施例１〜７及び比較例１，２の情報記録媒体について得られたＬｇ／ＬｔｐとＬＬ／Ｌｔｐとの関係をプロットした図である。
【図１５】（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ、規格化プッシュプル信号振幅（グルーブトラックに沿った方向に検出面が分割された二分割フォトディテクターの各々の出力の差信号）と、トラックピッチ、溝幅及び溝深さとの相関関係を表わすグラフである。
【図１６】一般的な記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクにおけるコントロールデータ領域、ユーザーデータ領域、及びトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐの配置を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００５９】
以下、本発明を実施するための最良の形態（以下「発明の実施の形態」という。）について、図面を参照して説明する。
【００６０】
但し、本発明は以下の発明の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内において種々変形して実施することができる。
なお、本発明は、イングルーブ型のＬｏｗ−Ｔｏ−Ｈｉｇｈ記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクに対して適用することが好ましいので、以下の発明の実施の形態の説明では、情報記録媒体として適宜、イングルーブ型のＬｏｗ−Ｔｏ−Ｈｉｇｈ記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクを例にとって説明する。但し、本発明は特定の情報記録媒体にのみ適用されるものではなく、種々の情報記録媒体（例えば、オングルーブ型等の記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクや、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ Ｄｉｓｃ）等のＢｌｕ−ｒａｙディスク以外の情報記録媒体等）にも適用可能である。
【００６１】
［Ｉ．情報記録媒体］
〔Ｉ−１．基本構成〕
本発明の情報記録媒体は、凹凸パターンにより形成された記録トラックを有する情報記録媒体であって、通常は円盤状（ディスク状）の基板と、基板上に形成された記録層とを少なくとも備えてなる。
【００６２】
基板は、従来公知の材料を適宜使用することができるが、情報記録媒体がある程度の剛性を有するよう、形状安定性を備えることが望ましい。即ち、機械的安定性が高く、剛性が大きいことが好ましい。
このような材料としては、例えばアクリル系樹脂、メタクリル系樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリオレフィン系樹脂（特に非晶質ポリオレフィン）、ポリエステル系樹脂、ポリスチレン樹脂、エポキシ樹脂等の樹脂や、ガラス等を用いることができる。これらの材料は何れか一種を単独で用いてもよく、二種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。中でも、成形性などの高生産性、コスト、低吸湿性、形状安定性などの点からは、基板の材料としてはポリカーボネート樹脂が好ましい。
基板の厚みとしては、通常０．５ｍｍ以上、また、通常１．２ｍｍ以下とするのが好ましい。
【００６３】
記録層は、レーザー光の照射によりその物理特性あるいは形状等が変化し、反射率等の光学特性の変化による情報の記録再生が可能な従来公知の材料を適宜使用することができる。このような材料としては、有機色素材料、相変化材料を始めとする無機材料等が挙げられる。
有機色素材料としては、例えば大環状アザアヌレン系色素（フタロシアニン色素、ナフタロシアニン色素、ポルフィリン色素等）、ピロメテン系色素、ポリメチン系色素（シアニン色素、メロシアニン色素、スクワリリウム色素等）、アントラキノン系色素、アズレニウム系色素、含金属アゾ系色素、含金属インドアニリン系色素等が挙げられる。
無機材料としては、例えばＧｅＴｅ、ＧｅＳｂＴｅ等のカルコゲン系合金膜、Ｓｉ／Ｇｅ、Ａｌ／Ｓｂ等の２層膜、ＢｉＧｅＮ、ＳｎＮｂＮ等の（部分）窒化膜、ＴｅＯx、ＢｉＦＯx等の（部分）酸化膜等が用いられる。これらの材料は何れか一種を単独で用いてもよく、二種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。
記録層の膜厚は、通常１ｎｍ以上、好ましくは１０ｎｍ以上、また、通常１００ｎｍ以下、好ましくは９０ｎｍ以下である。
【００６４】
ここで、記録層の組成及び膜厚は、少なくとも第一の記録領域Ｒ１と、第二の記録領域Ｒ２と、記録領域遷移区間Ｓｘと、において同一であることが好ましいが、製造プロセスや溝形状に起因した不可避的な記録層の組成及び膜厚の分布の不均一を禁止するものではない。すなわち、例えば記録層として有機色素材料を一般的なスピンコート法を用いて塗布する場合、溝形状の相違する領域あるいはディスクの内外周において記録層膜厚が若干異なる場合が生じるが、安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボが実現出来る範囲であれば許容される。
【００６５】
また、本発明は、イングルーブ型のＬｏｗ−Ｔｏ−Ｈｉｇｈ記録型のＢｌｕ−ｒａｙディスクに対して適用されることが好ましく、従って記録層の組成や膜厚は、記録マーク部分における反射率が、未記録部分の反射率よりも高い構成とされることが好ましい。なぜなら、前述の通り、イングルーブ型のＬｏｗ−ＴｏＨｉｇｈ記録型のＢｌｕ−ｒａｙディスクは、規格化プッシュプル信号振幅の不連続に起因するトラッキングサーボ不良等の不具合が出易いからである。しかし、いわゆるＨｉｇｈ−Ｔｏ−Ｌｏｗ記録型のＢｌｕ−ｒａｙディスクなどに適用してもよく、記録層の組成や膜厚は任意に選択可能である。
【００６６】
そして、本発明の情報記録媒体は、公知の記録及び／又は再生装置を用いて、記録又は再生のためのレーザー光を記録層に対して照射することにより、記録層にデータを記録し、或いは記録層に記録されたデータを再生することができる。
【００６７】
なお、本発明の情報記録媒体は、その他の層を有していてもよい。その他の層の例としては、反射層、カバー層、中間層、界面層等が挙げられる。
【００６８】
反射層は、記録再生に使用されるレーザー光に対する一定以上の反射率を有することが必要とされ、従来公知の材料を適宜使用することができる。このような材料としては、例えばＡｌ、Ａｇ、Ａｕ等の金属又は合金が用いられる。これらの材料は何れか一種を単独で用いてもよく、二種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。
反射層の膜厚は、通常３ｎｍ以上、好ましくは５０ｎｍ以上、また、通常４００ｎｍ以下、好ましくは３００ｎｍ以下である。
【００６９】
カバー層は、記録再生に使用されるレーザー光に対して透明で複屈折の少ない材料が選ばれ、通常は、プラスチック板（シートと呼ぶ）を接着剤で貼り合せるか、塗布後、光、放射線、または熱等で硬化して形成する。これらの材料は何れか一種を単独で用いてもよく、二種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。
カバー層の膜厚は、通常１０μｍ以上、好ましくは５０μｍ以上、また、通常３００μｍ以下、好ましくは１５０μｍ以下であるが、Ｂｌｕ−ｒａｙディスクにおいては、通常１００μｍ程度であり、好ましくは９７μｍ以上、また、好ましくは１０３μｍ以下である。
【００７０】
中間層は、主に記録層を複数有する積層型情報記録媒体において用いられる。記録再生に使用されるレーザー光に対してある程度の光透過性を有する必要があるほか、凹凸により溝やピットが形成可能である必要がある。
中間層の材料としては、例えば、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、電子線硬化性樹脂、紫外線硬化性樹脂（遅延硬化型を含む）等の樹脂材料を挙げることができる。これらの材料は何れか一種を単独で用いてもよく、二種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。
中間層の膜厚は、通常５μｍ以上、好ましくは１０μｍ以上、また、通常１００μｍ以下、好ましくは７０μｍ以下である。
【００７１】
界面層は、記録層とカバー層との界面、記録層と反射層との界面等に設けられ、相互の層の拡散防止や光学特性の調整等の機能を有する。
界面層の膜厚は、通常１ｎｍ以上、好ましくは３ｎｍ以上、また、通常５０ｎｍ以下、好ましくは１５ｎｍ以下である。
【００７２】
本発明の情報記録媒体における、これらの層の数や組み合わせ、積層順等に制限はなく、任意である。
【００７３】
本発明の情報記録媒体が有する具体的な層構成の例について、図１（ａ），（ｂ）を用いて説明する。ここで、図１（ａ），（ｂ）は何れも、本発明の情報記録媒体が有する層構成の例を示す、模式的な部分断面図である。
【００７４】
具体的に、図１（ａ）に示す情報記録媒体１００は、単層型の情報記録媒体の一例であり、基板１０１、反射層１０２、記録層１０３、カバー層１０４が、この順に積層されてなる。そして、記録又は再生のためのレーザー光１０５を、カバー層１０４側から記録層１０３に照射することにより、記録層１０３にデータを記録し、或いは記録層１０３に記録されたデータを再生することができる。
【００７５】
また、図１（ｂ）に示す情報記録媒体２００は、二層型の情報記録媒体であり、基板２０１、第１の反射層２０２、第１の記録層２０３、中間層２０４、第２の反射層２０５、第２の記録層２０６、カバー層２０７が、この順に積層されてなる。そして、記録又は再生のためのレーザー光２０８を、カバー層２０７側から第１の記録層２０３又は第２の記録層２０６に照射することにより、第１の記録層２０３又は第２の記録層２０６にデータを記録し、或いは第１の記録層２０３又は第２の記録層２０６に記録されたデータを再生することができる。
【００７６】
以下、図１（ａ），（ｂ）に示す層構成を例として説明を行なう場合があるが、これら図１（ａ），（ｂ）に示す層構成は、あくまでも本発明の情報記録媒体の層構成の一例である。本発明の情報記録媒体はこれらの層構成に制限されるものではなく、その他の層構成を有していてもよい。例えば、図１（ａ），（ｂ）に示す層構成のうち一部の層を削除したり、他の層を追加したり、二以上の層を一層として形成したり、積層順を変更したり、三層以上の記録層を設けたり、その他任意の変更を加えることが可能である。
【００７７】
また、本発明の情報記録媒体は、その何れかの層（通常は基板や中間層等）に、凹凸パターンにより具現化された螺旋状のトラックを有する。
そして、このトラックを基準として、記録のためのレーザー光を記録層に照射することにより、トラックに沿ってデータが記録される。
また、このトラックを基準として、再生のためのレーザー光を記録層に照射することにより、トラックに沿って記録されたデータを再生することができる。
【００７８】
具体的に、図１（ａ）に示す一層型の情報記録媒体においては、基板１０１上にトラック（グルーブトラック）ＧＴ１が形成され、反射層１０２、記録層１０３、カバー層１０４がその上に積層形成されている。
【００７９】
また、図１（ｂ）に示す二層型の情報記録媒体においては、基板２０１上にトラック（グルーブトラック）ＧＴ２１が形成され、第１の反射層２０２、第１の記録層２０３、中間層２０４がその上に積層されている。また、中間層２０４の第１の記録層２０３とは反対側の面にトラック（グルーブトラック）ＧＴ２２が形成され、第２の反射層２０５、第２の記録層２０６、カバー層２０７がその上に積層されている。
【００８０】
以下の記載では原則として、図１（ａ），（ｂ）に示すように、基板又は中間層にトラックが形成される場合を例として説明を行なうが、本発明の情報記録媒体においてトラックが形成される層は、基板又は中間層に制限されるものではない。
【００８１】
また、トラックは情報記録媒体のレーザー光入射側から見た場合における凹凸パターンの凹部によって形成されてもよく、凸部によって形成されてもよく、凸部と凹部の双方によって形成されてもよい。但し、特に有機色素材料を記録層として有する膜面入射方式の情報記録媒体においては、レーザー光入射側から見た場合における凹凸パターンの凹部によってトラックが形成されることが好ましい。この様な、レーザー光入射側から見た場合における凹凸パターンの凹部によって形成されるトラックを、以下の記載では「グルーブトラック」と呼ぶ。図１（ａ），（ｂ）に示すトラックＧＴ１、ＧＴ２１、ＧＴ２２は、何れもグルーブトラックの例である。
【００８２】
以下の記載では特に断り書きのない限り、図１（ａ），（ｂ）に示すように、基板や中間層等の溝（凹部）によって形成されるグルーブトラックを前提として説明を行なうが、本発明の情報記録媒体が有するトラックはグルーブトラックに制限されるものではない。
【００８３】
また、トラックが溝によって形成される場合、その溝の断面形状（情報記録媒体の厚み方向における断面形状）は制限されず、任意である。例としては、矩形、台形、半円形、半楕円形等が挙げられる。
【００８４】
なお、本発明では、トラックを形成する溝の幅を「溝幅」と定義する。なお、トラックを形成する溝の幅が情報記録媒体の厚み方向の位置によって異なる場合、例えば、トラックの断面形状が台形の場合等には、溝の最大深さの２分の１の位置における幅をもって「溝幅」とすることができる。
【００８５】
また、本発明では、トラックを形成する溝の深さを、「溝深さ」と定義する。なお、トラックを形成する溝の深さが情報記録媒体の半径方向の位置によって異なる場合（例えば、溝の断面形状が半円の場合等）には、その深さの最大値をもって「溝深さ」とすることができる。
【００８６】
なお、トラックを形成する溝の形状は、主にこれらの「溝幅」及び「溝深さ」によって規定される。よって以下の記載では、情報記録媒体の溝幅及び／又は溝深さを、「溝形状」として総称する場合がある。
【００８７】
〔Ｉ−２．記録領域及び記録領域遷移区間Ｓｘ〕
次いで、本発明の情報記録媒体の記録トラックが有する第一の記録領域Ｒ１、第二の記録領域Ｒ２、及び記録領域遷移区間Ｓｘの関係について、図２を参照しながら説明する。なお、図２は、本発明の情報記録媒体における第一の記録領域Ｒ１、第二の記録領域Ｒ２、及び記録領域遷移区間Ｓｘの関係を説明するための図であり、第一の記録領域Ｒ１、第二の記録領域Ｒ２、及び記録領域遷移区間Ｓｘの各々における、隣接する二つの溝の断面形状の例を、模式的に示している。
【００８８】
本発明の情報記録媒体の記録トラックは、図２に示すように、第一の記録領域Ｒ１と、第二の記録領域Ｒ２とを少なくとも備える。
そして、第一の記録領域Ｒ１におけるトラックピッチｔｐ１、溝幅ｗ１、及び溝深さｄ１、並びに第二の記録領域Ｒ２におけるトラックピッチｔｐ２、溝幅ｗ２、及び溝深さｄ２が、下記式（１）と、下記の式（２）及び／又は式（３）とを満たす。
０ ＜ ｜ｔｐ１−ｔｐ２｜ （１）
０ ＜ ｜ｗ１−ｗ２｜ （２）
０ ＜ ｜ｄ１−ｄ２｜ （３）
【００８９】
換言すれば、式（１）は、第一の記録領域Ｒ１におけるトラックピッチｔｐ１と、第二の記録領域Ｒ２におけるトラックピッチｔｐ２とが、互いに異なった値を有することを表わしている。
また、式（２）は、第一の記録領域Ｒ１における溝幅ｗ１と、第二の記録領域Ｒ２における溝幅ｗ２とが、互いに異なった値を有することを表わしている。
また、式（３）は、第一の記録領域Ｒ１における溝深さｄ１と、第二の記録領域Ｒ２における溝深さｄ２とが、互いに異なった値を有することを表わしている。
【００９０】
なお、式（２）及び式（３）は、何れか一方のみを満たしていてもよく、両方を満たしていてもよい。
即ち、第一の記録領域Ｒ１の溝幅ｗ１と第二の記録領域Ｒ２の溝幅ｗ２とが異なると共に、第一の記録領域Ｒ１の溝深さｄ１と第二の記録領域Ｒ２の溝深さｄ２とが異なっていてもよく、第一の記録領域Ｒ１の溝幅ｗ１と第二の記録領域Ｒ２の溝幅ｗ２とが異なる一方で、第一の記録領域Ｒ１の溝深さｄ１と第二の記録領域Ｒ２の溝深さｄ２とが同一であってもよく、第一の記録領域Ｒ１の溝幅ｗ１と第二の記録領域Ｒ２の溝幅ｗ２とが同一である一方で、第一の記録領域Ｒ１の溝深さｄ１と第二の記録領域Ｒ２の溝深さｄ２とが異なっていてもよい。
図２では、第一の記録領域Ｒ１の溝幅ｗ１と第二の記録領域Ｒ２の溝幅ｗ２とが異なると共に、第一の記録領域Ｒ１の溝深さｄ１と第二の記録領域Ｒ２の溝深さｄ２とが異なる場合を示しているが、本発明はこれに制限されるものではない。
【００９１】
なお、第一の記録領域Ｒ１におけるトラックピッチｔｐ１、溝幅ｗ１、及び溝深さｄ１、並びに第二の記録領域Ｒ２におけるトラックピッチｔｐ２、溝幅ｗ２、及び溝深さｄ２は、何れも通常は各記録領域Ｒ１，Ｒ２の全体に亘って略同一である。
【００９２】
更に、本発明の情報記録媒体は、図２に示すように、上述の第一の記録領域Ｒ１及び第二の記録領域Ｒ２の間に配置された記録領域遷移区間Ｓｘを備える。即ち、第一の記録領域Ｒ１と第二の記録領域Ｒ２とは物理的に分離しており、これら第一の記録領域Ｒ１と第二の記録領域Ｒ２との間に記録領域遷移区間Ｓｘが配置される。
そして、この記録領域遷移区間Ｓｘは、トラックピッチがｔｐ１からｔｐ２へと遷移するトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐと、溝幅がｗ１からｗ２へと遷移し、及び／又は、溝深さがｄ１からｄ２へと遷移する溝形状遷移区間Ｓｇとを備えている。
【００９３】
ここで、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐとは、記録領域Ｒ１とＲ２との間に存在し、トラックに沿って情報記録媒体を見た場合に、トラックピッチがｔｐ１からｔｐ２に徐々に変化している領域を指す。
また、溝形状遷移区間Ｓｇとは、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐと同様、記録領域Ｒ１とＲ２との間に存在し、トラックに沿って情報記録媒体を見た場合に、溝幅がｗ１からｗ２へと徐々に変化している、及び／又は、溝深さがｄ１からｄ２へと徐々に変化している領域を指す。
【００９４】
即ち、第一の記録領域Ｒ１の溝幅ｗ１と第二の記録領域Ｒ２の溝幅ｗ２とが同一である場合には、溝形状遷移区間Ｓｇの溝幅は変化せず、ｗ１及びｗ２と同一であって、溝深さのみがｄ１からｄ２へと徐々に変化していることになる。また、第一の記録領域Ｒ１の溝深さｄ１と第二の記録領域Ｒ２の溝深さｄ２とが同一である場合には、溝形状遷移区間Ｓｇの溝深さは変化せず、ｄ１及びｄ２と同一であって、溝幅のみがｗ１からｗ２へと徐々に変化していることになる。
【００９５】
更に、これらのトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐと溝形状遷移区間Ｓｇとは、少なくとも一部の領域ＳＬを共有している。
ここで、記録領域遷移区間Ｓｘとトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐ、溝形状遷移区間Ｓｇの関係については、例えば以下の１）〜３）の態様が考えられる。
【００９６】
１）トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐ及び溝形状遷移区間Ｓｇが完全に一致し、互いに全領域ＳＬを共有している場合、記録領域遷移区間Ｓｘも両者に一致する。
２）トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐ及び溝形状遷移区間Ｓｇが一部領域ＳＬを共有し、それぞれ単独で存在する領域を有する場合、記録領域遷移区間Ｓｘは前記共有領域ＳＬ及びそれぞれの単独領域をあわせた領域を指す。
３）トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐ及び溝形状遷移区間Ｓｇのうち、何れか一方の（広い方の）記録領域に他方の（狭い方の）記録領域が完全に含まれる場合、狭い方の記録領域の全てとなるＳＬが共有されることとなる一方、記録領域遷移区間Ｓｘは両者の領域のうち広い方の領域と一致する。
【００９７】
ここで重要な点は、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐと溝形状遷移区間Ｓｇが少なくとも一部領域ＳＬを共有していることである。即ち、両領域が完全に分離した態様は、本発明の対象には含まれない。
【００９８】
なお、図２では、明確化のために、記録領域遷移区間Ｓｘの溝断面形状として、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐと溝形状遷移区間Ｓｇとが共有する領域ＳＬの溝断面形状を示している。即ち、トラックピッチがｔｐ１とｔｐ２との間であり、溝幅がｗ１とｗ２との間であり、溝深さがｄ１とｄ２との間である場合を模式的に示したものである。上述のように、記録領域遷移区間Ｓｘの溝断面形状はこれに限られるものではない。
【００９９】
ここで、溝形状とは、溝幅や溝形状に代表されるように記録媒体に垂直な断面における個々の溝の幾何学的な形状を指すのであって、ウォブル変調方法によって変化する溝自体の半径方向への蛇行のことを指すのではない。従って、溝形状の遷移とは、溝自体の半径方向への蛇行量の遷移を意味するものではなく、両者は独立して制御可能である。ただし、溝形状遷移区間Ｓｇ内におけるウォブル変調方法の変化や、溝自体の半径方向への蛇行量の変化を禁止するものではなく、媒体の特性上問題がないのであれば、例えば溝形状遷移区間Ｓｇ内でウォブル変調方法が変化していても差し支えない。
【０１００】
また、溝形状の急激な変化を抑えるためには、溝形状遷移区間Ｓｇのトラックに沿った長さＬｇが、ディスク状の情報記録媒体におけるトラック一周分以上であることが好ましい。
【０１０１】
また、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐにおけるトラックピッチの変化の状態は、トラックに沿って単調に増加或いは減少することが、規格化プッシュプル信号振幅の急激な変動を抑える上で好ましい。
また、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐにおいて、トラックピッチは連続的に変化していることが好ましい。但し、実用上差し支えない程度に規格化プッシュプル信号振幅の変動が抑えられていれば、トラックピッチの変化が不連続であってもよい。
【０１０２】
また、溝形状遷移区間Ｓｇにおける溝形状の変化の状態は、溝幅及び／又は溝深さがトラックに沿って単調に増加或いは減少することが、規格化プッシュプル信号振幅の急激な変動を抑える上で好ましい。
また、溝形状遷移区間Ｓｇにおいて、溝形状は連続的に変化していることが好ましい。但し、実用上差し支えない程度に規格化プッシュプル信号振幅の変動が抑えられていれば、溝形状の変化が不連続であってもよい。
【０１０３】
すなわち、上記のように溝形状の変化をトラックに沿って単調に増加あるいは減少させることにより、記録領域Ｒ１と記録領域Ｒ２における未記録状態での溝部反射率の最大値をＲｇｖmaxとし、最小値をＲｇｖminとした場合に、記録領域遷移区間Ｓｘ内の全領域において、未記録状態での溝部反射率Ｒｇｖが
Ｒｇｖmin ≦ Ｒｇｖ ≦ Ｒｇｖmax
を満たす可能性が高まる。遷移領域遷移区間Ｓｘ内の全領域において未記録状態での溝部反射率Ｒｇｖが上記式を満たせば、規格化プッシュプル信号振幅の変動を抑えることをより確実なものとすることが出来る。
【０１０４】
また、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐのトラックに沿った長さＬｔｐと、溝形状遷移区間Ｓｇのトラックに沿った長さＬｇとの比Ｌｇ／Ｌｔｐが、通常０．２以上、中でも０．４以上、更には０．６以上、また、通常２．５以下という関係を満たすように、Ｌｔｐ及びＬｇの値を設定することが好ましい。
【０１０５】
更に、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐと溝形状遷移区間Ｓｇとが共有する領域ＳＬのトラックに沿った長さをＬＬとした時、ＬＬとＬｔｐとの比ＬＬ／Ｌｔｐが、通常０．１以上、中でも０．２以上、また、通常１．０以下という関係を満たすように、ＬＬ及びＬｔｐの値を設定することが好ましい。
【０１０６】
Ｌｇ、Ｌｔｐ、ＬＬの値を上記範囲内に設定することで、急激な規格化プッシュプル信号振幅の変化を抑えることができる上、記録領域Ｒ１，Ｒ２間に存在する記録領域遷移区間Ｓｘの全領域において、規格化プッシュプル信号振幅を所定の範囲に収めることが可能となり、安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態を実現することができる。
ここで、所定の範囲とは、必要に応じてフォーカスサーボ回路およびトラッキングサーボ回路に微調整を加えるだけで、十分に良好なフォーカスサーボ特性およびトラッキングサーボ特性が実現できる範囲のことである。
【０１０７】
即ち、Ｌｇ、Ｌｔｐ、ＬＬの値を上記範囲内に設定することで、記録領域Ｒ１と記録領域Ｒ２における未記録状態での規格化プッシュプル信号振幅の最大値をＮＰＰmaxとし、規格化プッシュプル信号振幅の最小値をＮＰＰminとしたとき、記録領域遷移区間Ｓｘ内の全領域において、規格化プッシュプル信号振幅ＮＰＰが常に以下の式（６）を満たす可能性が高まる。
ＮＰＰmin ≦ ＮＰＰ ≦ ＮＰＰmax （６）
【０１０８】
すなわち、記録領域遷移区間Ｓｘ内の規格化プッシュプル信号振幅値が、記録領域Ｒ１及び記録領域Ｒ２における規格化プッシュプル信号振幅の範囲に常に収めることができるので、フォーカスサーボ回路及びトラッキングサーボ回路を特に調整することなく、安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態を実現することができるので、好ましい。
【０１０９】
本発明者は、本発明の情報記録媒体によって、安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態を実現できる理由を、以下のように推定している。
【０１１０】
即ち、トラックピッチの異なる２つの記録領域Ｒ１，Ｒ２の境界部において、トラックピッチを徐々に変化させることにより、即ち、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐを設けることにより、トラックピッチの相違に由来する規格化プッシュプル信号振幅の急峻な変化を抑制することができる。
【０１１１】
また、トラックピッチの異なる２つの記録領域Ｒ１，Ｒ２における溝形状を適宜変更することにより、両記録領域Ｒ１，Ｒ２での規格化プッシュプル信号振幅の差を小さくすることが可能となり、安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態を実現することができる。
【０１１２】
しかしながら、溝形状の異なる２つの記録領域Ｒ１，Ｒ２の境界部において、溝形状が急激に変化すると、規格化プッシュプル信号振幅も急峻に変化してしまい、フォーカスサーボ及びトラッキングサーボに悪影響を与えてしまう。
【０１１３】
そこで、本発明では、溝形状遷移区間Ｓｇを少なくともトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐと一部領域を共有するように設けることにより、上記溝形状の変化に伴う規格化プッシュプル信号振幅の急峻な変化を抑制することが可能となるのである。
【０１１４】
なお、本発明の情報記録媒体は、上述の第一の記録領域Ｒ１、第二の記録領域Ｒ２及び記録領域遷移区間Ｓｘの組み合わせを、少なくとも一組有していればよいが、二組以上有していてもよい。このように、第一の記録領域Ｒ１、第二の記録領域Ｒ２及び記録領域遷移区間Ｓｘの組み合わせが二組以上存在する場合には、一の組み合わせにおける第一の記録領域Ｒ１と、他の組み合わせにおける第二の記録領域Ｒ２とが、同一の記録領域であってもよい。
【０１１５】
また、本発明の情報記録媒体においては、第一の記録領域Ｒ１、第二の記録領域Ｒ２及び記録領域遷移区間Ｓｘの全てが、物理的に連続した溝によって形成されることが好ましい。物理的に連続した溝とは、内周から外周に渡ってトラックに沿って溝を見た場合、いずれの場所においても溝が断裂されていないということである。但し、規格化プッシュプル信号振幅及び記録再生特性に影響を与えない程度であれば、溝が断続的である場合を排除するものではなく、その構成は任意に選択できる。
【０１１６】
また、本発明の情報記録媒体がディスク状の場合、第一の記録領域Ｒ１及び第二の記録領域Ｒ２は、何れがディスクの内周側に存在し、何れがディスクの外周側に存在してもよいが、通常は、上述の第一の記録領域Ｒ１及び第二の記録領域Ｒ２の関係を満たす二つの記録領域のうち、ディスクの内周側に存在する記録領域を第一の記録領域Ｒ１とし、ディスクの外周側に存在する記録領域を第二の記録領域Ｒ２とするものとする。
【０１１７】
ここで、第一の記録領域の内周側に、第一の記録領域Ｒ１におけるトラックピッチｔｐ１及び第二の記録領域Ｒ２におけるトラックピッチｔｐ２のいずれよりも広いトラックピッチｔｐ３を有した第三の記録領域Ｒ３が配置された態様をとってもよい。
この場合、第三の記録領域Ｒ３においては、溝の蛇行による情報の記録がなされていなくてもよい。
【０１１８】
また、第三の記録領域Ｒ３と第一の記録領域Ｒ１の間に、トラックピッチがｔｐ３からｔｐ１へと遷移するトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐ’が配置されていてもよい。
これらの態様を記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクに適用した場合の例に関しては、以下で詳細に述べる。
【０１１９】
〔Ｉ−３．記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクに適用した例〕
次に、本発明の情報記録媒体を記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクに適用した場合の構成について、図３を用いて説明する。なお、図３は本発明の情報記録媒体の一例である記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクにおける記録領域の配置を説明するための模式的な上方視図である。
【０１２０】
図３に示す記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスク３００は、トラックピッチの異なる三つの記録領域を有している。
【０１２１】
まず、ディスクの最内周には、ＢＣＡ（Ｂｕｒｓｔ Ｃｕｔｔｉｎｇ Ａｒｅａ）領域３０１が形成されている。ＢＣＡ領域３０１のトラックピッチは略２．０μｍであり、ディスク中心からの半径値が約２１ｍｍから約２２．２ｍｍまでの区間に亘って形成される。ＢＣＡ領域３０１にはバーコード状の低密度の記録がなされ、情報記録媒体の各種属性情報が格納される。ＢＣＡ領域には、通常、溝の蛇行による情報の記録がなされていない。
【０１２２】
ＢＣＡ領域３０１の外側には、ＰＩＣ（Ｐｅｒｍａｎｅｎｔ Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ ａｎｄ Ｃｏｎｔｒｏｌ ｄａｔａ）領域（これを「コントロールデータ領域」と呼ぶ場合もある。）３０２が形成されている。ＰＩＣ領域３０２は、トラックピッチが略０．３５μｍであり、ディスク中心からの半径値が約２２．２ｍｍから約２３．２ｍｍまでの区間に亘って形成される。ＰＩＣ領域３０２には、例えば最適記録パワーやメディア製造者情報等が格納され、読取専用とされる。
【０１２３】
ＰＩＣ領域３０２の外側には、ユーザーデータ領域３０３が形成されている。ユーザーデータ領域３０３は、トラックピッチが略０．３２μｍであり、ディスク中心からの半径値が約２３．２ｍｍから約５８．５ｍｍまでの区間に亘って形成される。ユーザーデータ領域３０３にはデータの書き込みが可能であり、書き込まれたデータは読み取り可能とされる。
【０１２４】
なお、ＰＩＣ領域３０２及びユーザーデータ領域３０３は、それぞれ所定の規格化プッシュプル信号振幅が得られるように、その溝形状が調整されている。
ＰＩＣ領域３０２における溝幅は０．０１μｍ以上が好ましく、更に好ましくは０．０７μｍ以上である。また、０．２５μｍ以下が好ましく、更に好ましくは０．１３μｍ以下である。ＰＩＣ領域３０２における溝深さは１０ｎｍ以上が好ましく、更に好ましくは２０ｎｍ以上である。また、５０ｎｍ以下が好ましく、更に好ましくは４０ｎｍ以下である。
ユーザーデータ領域３０３における溝幅は０．１０μｍ以上が好ましく、更に好ましくは０．１７μｍ以上である。また、０．２８μｍ以下が好ましく、更に好ましくは０．２１μｍ以下である。ユーザーデータ領域３０３における溝深さは２０ｎｍ以上が好ましく、更に好ましくは３０ｎｍ以上である。また、７０ｎｍ以下が好ましく、更に好ましくは６０ｎｍ以下である。
【０１２５】
なお、ＰＩＣ領域３０２とユーザーデータ領域３０３とを接続するために、両領域３０２，３０３の間に保護領域を設けることが好ましい（図示せず）。
【０１２６】
ここで、第一の記録領域Ｒ１が、所定の情報を格納した読取専用領域であるＰＩＣ領域を含み、第二の記録領域Ｒ２が、ユーザーデータを書き込み可能な読み書き可能領域であるユーザーデータ領域を含むようにすることが好ましい。これは、記録領域遷移区間Ｓｘが、保護領域に完全に包含される態様である。すなわち、ＰＩＣ領域のトラックピッチ及び溝形状が、保護領域内において、ユーザーデータ領域のトラックピッチ及び溝形状に遷移することを意味している。
第一の記録領域Ｒ１と第二の記録領域Ｒ２との溝形状、すなわち溝幅ｗ１及びｗ２と、溝深さｄ１及びｄ２は、情報記録媒体に求められる記録再生特性や情報記録媒体の製造プロセスなどによって、上述の通りそれぞれ適当な値が選択される。ここで、例えばＢｌｕ−ｒａｙディスクにおいては、ＰＩＣ領域とユーザーデータ領域のトラックピッチが異なった値とされており、両領域のトラックピッチの差に起因する規格化プッシュプル信号振幅の差を両領域間で小さくする場合、溝幅を異なった値とするだけでなく、溝深さについても異なった値とすることが、製造プロセス上好ましい。なぜなら、例えばＰＩＣ領域における規格化プッシュプル信号振幅をユーザーデータ領域における規格化プッシュプル信号振幅と同等程度にするためには、ＰＩＣ領域の溝幅をユーザーデータ領域の溝幅よりも狭くしなければならないが、ＰＩＣ領域の溝幅を狭くすることのみで対応しようとすると、場合によってはＰＩＣ領域の溝幅が狭くなりすぎて原盤露光装置の分解能の限界を超えてしまい、溝が正しく形成されない場合が発生する可能性があるからである。この場合は、溝幅の変更とともに、ＰＩＣ領域の溝深さをユーザーデータ領域の溝深さよりも浅くすることが効果的である。
従って、第一の記録領域Ｒ１と第二の記録領域Ｒ２との溝幅のみを異なった値として媒体を製造するよりも、溝幅と同時に溝深さについても異なった値とした方が、情報記録媒体の製造上好ましい。
【０１２７】
また、第三の記録領域Ｒ３を、ＢＣＡ領域を含む領域とすることが好ましい。
ここで、ＰＩＣ領域における規格化プッシュプル信号振幅をＮＰＰ１とし、ユーザーデータ領域における未記録状態での規格化プッシュプル信号振幅をＮＰＰ２とし、ユーザーデータ領域における記録後の規格化プッシュプル信号振幅をＮＰＰ２ａとし、さらに、各々の最大値の中で最も大きい値をＮＰＰＡＬmaxとし、各々の最小値の中で最も小さい値をＮＰＰＡＬminとしたとき、
ＮＰＰＡＬmax／ＮＰＰＡＬmin ≦ ３
を満たすように溝形状及び記録層等の組成や膜厚を調整することが好ましい。こうすることにより、記録前後のいずれにおいても、ＰＩＣ領域及びユーザーデータ領域の両領域での規格化プッシュプル信号振幅の値を一定の範囲に収めることが出来るので、安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態を実現することが出来る。
【０１２８】
中でも、
ＮＰＰＡＬmax／ＮＰＰＡＬmin ≦ ２
を満たすように溝形状及び記録層等の組成や膜厚を調整することが、さらに好ましい。こうすることにより、より安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態を実現することが出来る。
【０１２９】
また、記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスク３００においては、ＢＣＡ領域３０１、ＰＩＣ領域３０２、ユーザーデータ領域３０３の全てのトラックが連続したトラックとして形成されるとともに、ＢＣＡ領域３０１とＰＩＣ領域３０２との境界部、及び、ＰＩＣ領域３０２とユーザーデータ領域３０３との境界部には各々、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐが設けられる（図３では図示を省略している。）。これらのトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐでは、上述のように、トラックピッチが連続的に変化されてなる。
【０１３０】
ここで、上述の記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスク３００を本発明の情報記録媒体として構成する場合、ＢＣＡ領域３０１とＰＩＣ領域３０２との境界部、及び／又は、ＰＩＣ領域３０２とユーザーデータ領域３０３との境界部に、上述の溝形状遷移区間Ｓｇを、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐと少なくとも一部の領域を共有するように形成する（即ち、上述した記録領域遷移区間Ｓｘを設ける）。これにより、急激な規格化プッシュプル信号振幅の変化を抑えることができ、安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態を実現することができる。
【０１３１】
なお、記録領域遷移区間Ｓｘ及び溝形状遷移区間Ｓｇは、ＢＣＡ領域３０１とＰＩＣ領域３０２との境界部、及び、ＰＩＣ領域３０２とユーザーデータ領域３０３との境界部のうち、何れか一方のみに設けてもよく、双方に設けてもよい。但し、少なくともＰＩＣ領域３０２とユーザーデータ領域３０３との境界部に記録領域遷移区間Ｓｘ及び溝形状遷移区間Ｓｇを設けることにより、上述の効果を顕著に得ることができるので好ましい。
【０１３２】
なお、ウォブル変調方法は、コントロールデータ領域とユーザーデータ領域とで通常異なった方法とされる。ここで、保護領域内部においては、ウォブル変調方法は同一であり、かつユーザーデータ領域と同じウォブル変調方式が適用されることが好ましい。
【０１３３】
一方、前述の通り、本発明の記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクにおいては、記録領域遷移区間Ｓｘは保護領域に完全に包含されることが好ましい。すなわち、記録領域遷移区間Ｓｘ内の全領域においては、ウォブル変調方法が同一であることが好ましい。
【０１３４】
〔Ｉ−４．測定方法〕
なお、情報記録媒体が有する溝形状（溝幅及び溝深さ）は、以下の手順により測定することができる。
例えば、記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスク等の、グルーブトラックに相当する凹凸パターンが形成された基板上に記録層が積層され、更にその上に紫外線硬化樹脂等よりなるカバー層が形成されている情報記録媒体の場合には、例えば、記録層の積層前の基板をＡＦＭ（Ａｔｏｍｉｃ Ｆｏｒｃｅ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：原子間力顕微鏡）で測定することにより、溝の深さや幅を直接測定することができる。
また、記録層上にカバー層が形成されてなる情報記録媒体の場合は、例えば、カッターナイフなどでカバー層を剥離して、グルーブトラックに相当する基板上の凹凸パターンを表面に露出させることにより、ＡＦＭを用いて溝形状を測定することが可能となる。
【０１３５】
また、情報記録媒体が有する溝形状遷移区間Ｓｇのトラックに沿った長さＬｇも、ＡＦＭを用いて以下の手順により求めることができる。
具体的には、まず、溝形状遷移区間Ｓｇ内及びその近傍の複数個所の溝形状を測定し、更に、当該測定箇所の情報記録媒体上における半径値を測定することにより、溝形状遷移区間Ｓｇの内周端半径値及び外周端半径値を求める。次に、溝形状遷移区間Ｓｇ内に存在するトラックの本数をカウントし、溝形状遷移区間Ｓｇが存在する半径値における円周長さとの積を取ることにより、溝形状遷移区間Ｓｇのトラックに沿った長さＬｇを求めることができる。
【０１３６】
但し、上述の方法で溝形状遷移区間Ｓｇのトラックに沿った長さＬｇを求める為には、複数個所の溝形状について精度良い測定が求められる上、当該測定箇所の半径値の測定が求められる等、煩雑な場合がある。そのような場合は、情報記録媒体を適当な再生装置で以って再生し、溝形状遷移区間Ｓｇにおける反射光の光量の変化の様子を調べることによって溝形状遷移区間Ｓｇ情報のトラックに沿った長さＬｇを求めてもよい。
すなわち、当該情報記録媒体をスピンドルモーターに載置回転させつつ、対物レンズにてレーザー光をトラック上に集光させると、溝形状に応じた光量の反射光が得られる。溝形状遷移区間Ｓｇにおいては溝形状が変化させられているので、レーザー光を集光した箇所の情報記録媒体上における半径値と、反射光の光量の変化との対応の様子を調べることによって、溝形状遷移区間Ｓｇのトラックに沿った長さＬｇを知ることができる。
【０１３７】
また、情報記録媒体が有するトラックピッチ及びトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐの長さＬｔｐについては、以下の手順で測定することができる。
まず、上述の溝形状の場合と同様、ＡＦＭにより、情報記録媒体が有するトラックピッチ及びトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐの長さＬｔｐを直接測定することができる。
【０１３８】
あるいは、第一の記録領域Ｒ１及び第二の記録領域Ｒ２のトラックピッチを光学的に測定することもできる。
本発明の情報記録媒体が有する第一の記録領域Ｒ１及び第二の記録領域Ｒ２においては、グルーブトラックが等間隔で多数並んでいる。この場合、レーザー光などのコヒーレントな光をこれらの記録領域Ｒ１，Ｒ２に照射することにより、多数並んだグルーブトラックが回折格子の役割を果たし、トラックピッチに応じた角度で回折光が現れることが一般的に知られている。また、この原理を応用した形状測定装置も考案されている（特開昭５７−１８７６０４公報等参照）。この原理を利用すれば、回折光の現れる角度を測定することにより、トラックピッチを知ることができる。
【０１３９】
また、この原理を利用して、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐのトラックに沿った長さを求めることもできる。すなわち、例えばレーザー光を情報記録媒体の半径方向に走査し、回折光の現れる位置を、レーザー光が照射されている半径値とともに記録しておくことにより、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐの半径方向の大きさを知ることができる。更に、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐの半径方向の大きさと、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐの前後におけるトラックピッチから求めた平均トラックピッチとに基づいて、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐのトラックに沿った長さを見積もることができる。
【０１４０】
また、上記回折光の強度は、溝形状に応じて変化するということも一般的に知られているので、レーザー光を情報記録媒体の半径方向に走査し、回折光の現れる位置及び強度を同時に測定することにより、溝形状遷移区間Ｓｇ及びトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐの存在の様子を同時に測定することも可能である。
【０１４１】
なお、上述の各測定は、ＡＦＭの他に、例えばＳＥＭ（Ｓｃａｎｎｉｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：走査型電子顕微鏡）等を用いて行なうことも可能である。
【０１４２】
［II．情報記録媒体の製造方法］
本発明の情報記録媒体は、制限されるものではないが、例えば以下に説明する方法により製造される。
情報記録媒体の一般的な製造手順においては、基板や中間層に形成されるトラックの凹凸パターンの形状と相補的な形状の凹凸パターンを有するスタンパを用意し、このスタンパを用いて基板や中間層に凹凸パターンのトラックを形成する。
従って、上述の溝形状遷移区間Ｓｇを有する本発明の情報記録媒体を製造するためには、このスタンパが有する凹凸パターンの形状を所望の形状となるようにすればよい。
【０１４３】
スタンパが有する凹凸パターンの形状は、通常、スタンパの製造手順における原盤の露光時に決定される。ここで、本発明で規定する特定の形状の凹凸パターンを形成するためには、特定の原盤露光装置を使用することが有効である。
よって、以下の記載では、まずスタンパの製造手順について説明した上で、次いでそのスタンパを用いた情報記録媒体の製造手順について説明し、続いて章を改めて、所望の形状の凹凸パターンを有するスタンパを得るための原盤露光装置（本発明の原盤露光装置）について説明することにする。
【０１４４】
［II−１．スタンパの製造］
まず、本発明の情報記録媒体を製造するためのスタンパの製造手順の一例について、図４を用いて詳細に説明する。なお、図４（ａ）〜（ｉ）は、本発明の情報記録媒体を製造するためのスタンパの製造手順の一例を説明するための図である。但し、以下の製造手順はあくまでも一例であり、本発明の情報記録媒体を製造するためのスタンパの製造手順は、以下の例に限定されるものではない。
【０１４５】
まず、原盤用基板５０１上にフォトレジスト５０２を塗布してなる原盤５０３を用意する（図４（ａ）参照）。
原盤用基板５０１の材質は制限されないが、通常はガラス板が用いられる。
フォトレジスト５０２としては、いわゆるノボラック・ジアゾナフトキノン系レジストや化学増幅型レジストなど、一般的なフォトレジストを使用することができる。また、ポジ型レジストを用いてもよく、ネガ型レジストを用いてもよい。更にこれらは何れか一種を単独で用いてもよく、二種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。なお、ポジ型レジスト及びネガ型レジストの定義については後述する。
フォトレジスト５０２は通常、いわゆるスピンコート法で原盤用基板５０１上に塗布され、その膜厚は原盤用基板５０１の面内で略均一とされる。具体的なフォトレジスト５０２の膜厚は、目的とするスタンパの凹凸パターンの形状に応じて設定すればよいが、通常１０ｎｍ以上、また、通常１００ｎｍ以下の範囲とする。
【０１４６】
次に、原盤露光装置を用いて原盤５０３を露光処理し、原盤用基板５０１上のフォトレジスト５０２に、目的とするトラックに相当する凹凸パターンに対応する所定のパターン５０４を潜像として形成する（図４（ｂ）参照）。本工程で使用する原盤露光装置の構成及び動作については、次章［III．原盤露光装置］で詳しく説明する。
【０１４７】
続いて、原盤５０３に現像処理を施し、潜像として形成されたパターン５０４を、物理的な凹凸パターンとして顕在化させる（図４（ｃ）参照）。
一般的には、原盤５０３を現像機のターンテーブルに載置し、ターンテーブルを回転させながら現像液を滴下させる方法が取られるが、例えばガラス板を静止した状態で現像液を液盛りする方法（いわゆるパドル現像法）等を用いることもできる。
このとき、フォトレジスト５０２の種類を選択することによって、潜像として形成されたパターン５０４側を凹にすることもできるし、逆に潜像として形成されたパターン５０４を凸にすることもできるが、一般的にはパターン５０４側が凹になるようなフォトレジスト（これを「ポジ型レジスト」と呼ぶ。）を用いる場合が多い。
本明細書では、図４を含め、主にポジ型レジストを用いた場合について説明するが、パターン５０４側が凸となるようなフォトレジスト（これを「ネガ型レジスト」と呼ぶ。）を用いてもよく、その選択は任意である。
【０１４８】
以上の手順により、物理的な凹凸パターンを有する原盤（これを「凹凸原盤」という。）５０３’が得られる。
次いで、この凹凸原盤５０３’を用いて、以下の手順によりスタンパを作製する。
【０１４９】
まず、上述の凹凸原盤５０３’上に、スパッタ法や無電解メッキ法等を用いて、スタンパの材料を成膜し、導電層５０５を形成する（図４（ｄ）参照）。
スタンパの材料としては、通常は金属材料が用いられる。金属材料としては、例えばニッケルが挙げられる。スタンパの材料は何れか一種を単独で用いてもよく、二種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。
導電層５０５の厚さは特に制限されないが、後述する電気めっきにおいて支障をきたさない厚さであれば、任意に選択できる。
【０１５０】
次に、導電層５０５が形成された凹凸原盤５０３’を電鋳装置に取り付け、電気めっき法等により、導電層５０５上に更にスタンパの材料を積層することにより、ファザー層５０６を形成する（図４（ｅ）参照）。ファザー層５０６は導電層５０５と一体に形成され、その厚さは特に制限されないが、通常１００μｍ以上、通常５００μｍ以下である。
【０１５１】
次いで、ファザー層５０６を凹凸原盤５０３’より剥離し、必要に応じて、ファザー層５０６上に付着したフォトレジストを、フォトレジスト除去液等を用いて除去する（図４（ｆ）参照）。フォトレジスト除去液は、フォトレジスト５０２の種類に応じて適宜選択すればよいが、例えば、アセトンや、ナガセケムテックス株式会社製Ｎ−３０３Ｃを用いることができる。これらは何れか一種を単独で用いてもよく、二種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。
こうして得られたファザー層５０６を、ファザースタンパと呼ぶ（以下「ファザー」と称する。）。このファザー５０６上には凹凸パターンが写し取られているが、その凹凸パターンは凹凸原盤５０３’上の凹凸パターンとは逆転したものとなっている。
【０１５２】
次いで、このファザー５０６の凹凸パターン表面を、酸化処理等の手法で処理することにより、剥離層５０７を形成する（図４（ｇ）参照）。剥離層５０７の厚さは特に制限されないが、通常０．１ｎｍ以上、通常１００ｎｍ以下である。
【０１５３】
更に、この剥離層５０７上に、電気めっき法等によりスタンパの材料を積層し、マザー層５０８を形成する（図４（ｈ）参照）。マザー層５０８の厚さは特に制限されないが、通常１００μｍ以上、通常５００μｍ以下である。
【０１５４】
次いで、このマザー層５０８を剥離させる（図４（ｉ）参照）。
こうして得られたマザー層５０８を、マザースタンパと呼ぶ（以下「マザー」と称する。）。このマザー５０８上にも凹凸パターンが写し取られており、その凹凸パターンは凹凸原盤５０３’上での凹凸パターンと同じものとなっている。
【０１５５】
以上の手順により得られたファザー５０６又はマザー５０８を、何れもスタンパとして使用することが可能である。
【０１５６】
また、これらのスタンパ５０６，５０８を型として、更に別の材料に凹凸パターンを写し取ることにより、新たなスタンパを作製することも可能である。例えばファザースタンパ５０６から、複数枚のマザースタンパ５０８を写し取っていくこともできるし、マザースタンパ５０８から更にサンスタンパ（図示せず）を写し取っていくこともできる。こうして得られるサンスタンパ上の凹凸パターンは、ファザースタンパ５０６上での凹凸パターンと同じものとなっている（以下、サンスタンパのことを単に「サン」と称する場合がある）。
【０１５７】
また、樹脂材料からなるスタンパ（樹脂製スタンパ）を製造する場合には、上述の手順により金属材料からなるスタンパ（金属製スタンパ）を作製し、この金属製スタンパを型として樹脂材料を射出成形することにより、金属製スタンパの凹凸パターンが写し取られた樹脂製スタンパを得るという手法が有効である。
【０１５８】
［II−２．情報記録媒体の製造］
次に、上記の手順で作製されたスタンパを型として、基板や中間層等に凹凸パターンを形成し、本発明の情報記録媒体を製造する。
【０１５９】
例として、図１（ａ）に示す一層型の情報記録媒体１００を製造する場合には、まず、上述のスタンパを用いて、トラックに相当する凹凸パターンが形成された基板１０１を作製する。具体的には、例えば、上述のスタンパを型として、基板１０１の材料を射出成形することにより、スタンパの凹凸パターンが写し取られた基板１０１を形成し、得られた基板１０１をスタンパから剥離して使用すればよい。基板１０１の材料や厚さ等は、上述の通りである。また、スタンパとしては、通常は金属材料からなるスタンパ（金属スタンパ）を用いる。
【０１６０】
なお、スタンパから基板１０１上に写し取られた凹凸パターンは、スタンパの凹凸パターンとは逆転したものとなる。よって、例えばいわゆるイングルーブ型の記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクを製造する場合、記録トラックはレーザー光入射側から見て凹側であるので、ファザースタンパあるいはサンスタンパを型として用いればよい。一方、例えばレーザー光入射側から見て凸側を記録トラックとして用いるオングルーブ型の記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクを製造する場合、記録トラックはレーザー光入射側から見て凸側であるので、マザースタンパを型として用いればよい。なお、記録層に有機色素を用いる情報記録媒体においては、イングルーブ型を採用することが、製造方法及び記録特性の面から好ましい。
【０１６１】
続いて、基板１０１の凹凸パターン上に、反射層１０２を形成する。反射層１０２の材料や厚さ等は、上述の通りである。反射層１０２の形成方法としては、例えばスパッタリング法等が挙げられる。
【０１６２】
次に、反射層１０２上に、記録層１０３を形成する。記録層１０３の材料や厚さ等は、上述の通りである。記録層１０３の形成方法としては、例えば記録層１０３が有機色素材料である場合はスピンコート等の塗布法等、無機材料の場合はスパッタリング法等が挙げられる。
【０１６３】
続いて、記録層１０３上に、カバー層１０４を形成する。カバー層１０４の材料や厚さ等は、上述の通りである。カバー層１０４の形成方法としては、例えばスピンコート法等が挙げられる。また、別に用意したカバー層１０４を、接着層等を介して記録層１０３上に接着してもよい。
【０１６４】
また、別の例として、図１（ｂ）に示す二層型の情報記録媒体２００を製造する場合には、まず、スタンパを用いて、トラックの凹凸パターンが形成された基板２０１を作製する。その形成手順は、図１（ａ）の基板１０１の場合と同様である。
続いて、基板２０１の凹凸パターン上に第１の反射層２０２、第１の記録層２０３を順に積層形成する。これらの層の材料や厚さ、形成手順等は、図１（ａ）の反射層１０２及び記録層１０３の場合と同様である。
【０１６５】
次いで、第１の記録層２０３上に、中間層２０４を形成する。中間層２０４の材料や厚さ等は、上述の通りである。中間層２０４の形成方法としては、例えば塗布法等が挙げられる。
【０１６６】
この中間層２０４の形成時に、スタンパを用いて凹凸パターンを形成する。凹凸パターンの形成手順は制限されないが、中間層２０４上にスタンパの凹凸パターンを押し当てることにより、スタンパの凹凸パターンを中間層２０４上に写し取ればよい。
【０１６７】
中でも好ましい手法としては、中間層２０４の材料として紫外線硬化性樹脂や可視光硬化性樹脂等の光硬化性樹脂を用い、この光硬化性樹脂を第１の記録層２０３上に所望の厚みに成膜し、その上に更にスタンパを載置した状態で、光硬化性樹脂を硬化させることが可能な紫外線や可視光等の光を、スタンパを通じて光硬化性樹脂に照射し、光硬化性樹脂を硬化させる。これにより、スタンパの凹凸パターンが写し取られた中間層２０４を形成することが可能となる。なお、この場合、スタンパとしては、光硬化性樹脂を硬化させることが可能な紫外線や可視光等の光を透過させることが可能な材料からなるスタンパ（通常は樹脂製スタンパ）を用いることになる。
【０１６８】
なお、スタンパから中間層２０４上に写し取られる凹凸パターンは、スタンパの凹凸パターンとは逆転したものとなるので、上述のように、所望の情報記録媒体の形式に応じてマザー、ファザー或いはサンを選択すればよい。
【０１６９】
続いて、中間層２０４の凹凸パターン上に、第２の反射層２０５、第２の記録層２０６を順に積層形成する。これらの層の材料や厚さ、形成手順等は、図１（ａ）の反射層１０２及び記録層１０３の場合と同様である。
次いで、第２の記録層２０６上に、カバー層２０７を形成する。カバー層２０７の材料や厚さ、形成手順等は、図１（ａ）のカバー層１０４の場合と同様である。
【０１７０】
なお、図１（ｂ）に示す二層型の情報記録媒体２００の場合、基板２０１が有するトラックの凹凸パターンの形状と、中間層２０４が有するトラックの凹凸パターンの形状とは同一であってもよく、互いに異なっていてもよい。基板２０１及び中間層２０４の凹凸パターンの形状が互いに異なる場合には、基板２０１及び中間層２０４のうち少なくとも一方が本発明の規定を満たしていればよい（即ち、本発明で規定する第１の記録領域Ｒ１と、第２の記録領域Ｒ２と、記録領域遷移区間Ｓｘとを有していればよい）が、基板２０１及び中間層２０４の双方が本発明の規定を満たしていてもよい。
【０１７１】
また、トラックが三層以上に存在する情報記録媒体（即ち、三層以上の記録層を有する情報記録媒体）の場合も、それらの少なくとも何れか一層が本発明の規定を満たしていればよいが、それらの全ての層が本発明の規定を満たしていてもよい。
【０１７２】
以上の手順により、本発明の情報記録媒体が製造される。
なお、以上の説明では、記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクを例として説明したが、その他の情報記録媒体についても、上述の手順に適宜変更を加えることにより製造することができる。例えば、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ Ｄｉｓｃ）を製造する場合、厚さ０．６ｍｍの基板を貼り合せた構成とすればよい。
【０１７３】
［III．原盤露光装置］
本発明の情報記録媒体は、上述のように、トラックピッチ及び溝形状が異なる二つの記録領域の間に、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐに加えて、所定の溝形状遷移区間Ｓｇを有するものであるが、この溝形状遷移区間Ｓｇは、情報記録媒体の製造時に使用されるスタンパの凹凸パターン形状に応じて形成される。そして、スタンパの凹凸パターン形状は、スタンパの製造手順における原盤の露光工程（上述の図４（ｂ）参照）において、原盤露光装置によって具現化されることになる。
以下、本発明の情報記録媒体を製造するために使用される原盤露光装置（本発明の原盤露光装置）について、実施形態を挙げて説明する。
【０１７４】
［III−１．基本構成］
まず、本発明の一実施形態に係る原盤露光装置の基本構成について、図５を参照しながら説明する。なお、図５は、本発明の一実施形態に係る原盤露光装置の基本構成の例を模式的に示す機能ブロック図である。
【０１７５】
図５に示す原盤露光装置６００は、所定の偏向信号を発生させるフォーマッター（偏向信号生成機構）６０１と、記録光を発生させるためのレーザー光源（記録光源）６０２と、記録光を所定の出力に設定させるパワー調整素子（記録光強度調節機構）６０３と、フォーマッター６０１の出力信号に基づいてレーザー光を偏向させるためのＥＯＤ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｄｅｆｌｅｃｔｏｒ）素子（記録光偏向機構）６０４と、レーザー光を原盤５０３上に絞り込むための対物レンズ（集光機構）６０５と、原盤５０３を載置し、回転させるためのターンテーブル（回転機構）６０６と、対物レンズ６０５を原盤５０３の半径方向に相対的に移動させるためのスライダー（半径移動機構）６０７と、レーザー光の方向を制御するための一又は複数のミラー６０８とを備える。更に、これらの構成要素６０１〜６０８のうち一部又は全部を協調制御するためのコントローラー（制御機構）６０９を備えてなる。特に、コントローラー６０９は、予め設定した値に基づいて、ターンテーブル６０６の回転速度と、スライダー６０７の移動速度と、対物レンズ６０５の位置とを制御する機能を有してなる。
【０１７６】
レーザー光源６０２から出射された記録光は、まずパワー調整素子６０３を通る。パワー調整素子６０３は、予め設定した値に基づいて記録光強度を変化させることができる。
【０１７７】
パワー調整素子６０３で強度を調整された記録光は、次いで記録光を偏向させる為にＥＯＤ素子６０４に導かれる。なお、本実施形態ではＥＯＤ素子６０４を用いているが、記録光を偏向させる機能を持った素子であれば特にＥＯＤ素子６０４に限定されるものではなく、例えばＡＯＤ（Ａｃｏｕｓｔｉｃ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｄｅｆｌｅｃｔｏｒ）素子を用いてもよい。ＥＯＤ素子６０４にはフォーマッター６０１が接続され、フォーマッター６０１が発生する信号に基づいて記録光を角度方向に偏向させることができる。
【０１７８】
なお、製造する情報記録媒体の種類によっては、記録光を変調させるためのＡＯＭ（Ａｃｏｕｓｔｉｃ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｍｏｄｕｌａｔｏｒ）素子やＥＯＭ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｍｏｄｕｌａｔｏｒ）素子（図５では図示省略）を設けてもよい。
更に、記録光を変調させる機能と偏向させる機能を一つの素子にまとめて受け持たせてもよく、その構成は、製造する情報記録媒体の種類によって任意に変更できる。
【０１７９】
次に、ＥＯＤ素子６０４から出た記録光は、原盤５０３上に集光させるための対物レンズ６０５に導かれる。なお、対物レンズ６０５に記録光を入射させる前に、ビーム形状を整形するためのビームエキスパンダー（図５では図示省略）を通してもよい。
【０１８０】
また、対物レンズ６０５はフォーカスアクチュエータ（図５では図示省略）に取り付けられ、原盤５０３面と対物レンズ６０５との間の距離を常に一定に保つようにフォーカスサーボがかけられている。フォーカスサーボをかけることによって、原盤５０３面と対物レンズ６０５との間の距離を一定に保つことができるので、原盤５０３面上に集光された記録光のスポットサイズは常に同一となり、幅が均一なパターンを露光することができる。
【０１８１】
なお、螺旋状のトラックに相当するパターンを原盤５０３上に形成するためには、原盤５０３を載置したターンテーブル６０６を所定の回転数で回転させながら、スライダー６０７を所定の送り速度で送ればよい。
【０１８２】
次に、上記構成を有する原盤露光装置６００の動作に関して説明する。
まず、予め設定した線速及びトラックピッチに基づいて、ターンテーブル６０６を回転させ、且つスライダー６０７を所定の速度で移動させる。こうすることにより、第一のトラックピッチを持つ第一の記録領域Ｒ１のトラックに相当するパターンを形成する。
なお、ターンテーブル６０６の回転方向や回転数、スライダー６０７の移動速度や移動方向等の条件は、作製したいスタンパ及び情報記録媒体のフォーマットに基づいて任意に選ぶことができ、適切な動作条件を選択すればよい。
また、記録光の強度も、各々の製造プロセスや、形成したい溝形状により、任意に設定することができる。
【０１８３】
本発明の情報記録媒体が記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクである場合、その溝は媒体の半径方向に所定の振幅で蛇行するように形成される。蛇行パターンとしては数種類が予め規定されており、複数種類の蛇行パターンの組み合わせによって、アドレス情報やディスク製造者情報などの情報を記録するという方法が取られる。ここで、蛇行パターンによる情報の記録とは、蛇行の振幅や周期等、ディスク面内の溝の蛇行形状自体を変更することにより情報を記録していることを指しているのであり、溝深さや溝幅、平均的なトラックピッチを変更する訳ではない。このような溝の蛇行は、原盤露光装置６００において、記録光を原盤５０３の半径方向に所定の分量だけその都度偏向させることにより形成することができる。記録光を偏向させるための偏向信号はフォーマッター６０１によって発生され、記録光の偏向はＥＯＤ素子６０４によってなされる。なお、蛇行パターンはフォーマッター６０１の内部構成を変更することにより任意とすることができる。よって、本発明の情報記録媒体として記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスク以外の情報記録媒体を作製する場合には、その都度適切な蛇行パターンを形成するようにフォーマッターの内部構成を変更すればよい。
【０１８４】
以上の手順により、第一の記録領域Ｒ１のトラックに相当するパターンの形成が完了すると、次に第二のトラックピッチを持つ第二の記録領域Ｒ２のトラックに相当するパターンの形成に移行する。この段階で、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐ及び溝形状遷移区間Ｓｇの形成を行なうことになるので、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐ及び溝形状遷移区間Ｓｇの形成方法に関して述べる。
【０１８５】
トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐは、スライダー６０７の移動速度を変化させることによって形成することができる。例えば、予めトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐの形成を開始したい半径値を原盤露光装置６００内部に記憶させるなどしておき、スライダー６０７が当該半径値を通過したことを検出してスライダー６０７の移動速度を変化させればよい。移動速度を変化させる方法としては、例えばスライダー６０７を駆動させる為のパルス列の周波数を変化させるなどする。このとき、例えばスライダー６０７を駆動させるためのパルス列の周波数のスイープ時間を変えることによって、任意の長さのトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐとすることができる。長めのトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐとしたい場合は周波数のスイープ時間を長くすれば良いし、短めのトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐとしたい場合は周波数のスイープ時間を短くすればよい。このとき、スライダー６０７の移動速度を段階的に変化させてもよいが、トラックピッチの変化の仕方を滑らかなものとするためには、スライダー６０７の移動速度を連続的に変化させることが好ましい。
【０１８６】
一方、溝形状遷移区間Ｓｇの形成方法としては、二つの態様が考えられ、それに応じて、原盤露光装置６００の構成も異なる。以下、これら二つの態様について、節を改めて説明する。
【０１８７】
［III−２．第１の態様］
第１の態様では、上述の原盤露光装置６００に、予め設定した値に基づいて、記録光の強度を単調増加又は単調減少でスイープさせる機構（記録光強度スイープ機構）を設ける。そして、溝形状遷移区間Ｓｇに相当する凹凸パターンの形成時に、記録光の強度を単調増加又は単調減少でスイープさせることにより、溝幅がｗ１からｗ２へと徐々に変化する、及び／又は、溝深さがｄ１からｄ２へと徐々に変化するパターン（即ち、溝形状遷移区間Ｓｇに相当する凹凸パターン）を形成することができる。
この態様によれば、急激な記録光強度の変化に起因する急激な溝形状変化を抑制することができるので、最終的に得られる情報記録媒体での急激な規格化プッシュプル信号振幅の変化を抑制することができ、ひいては、安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態を実現することが可能な情報記録媒体を得ることが可能となる。
【０１８８】
ここで、記録光強度スイープ機構が、予め設定した特定の半径位置に集光機構が達したことを検出して、記録光強度のスイープを開始及び／又は終了する機能を有することが好ましい。
また、記録光強度スイープ機構が、予め設定した特定のアドレスを上記偏向信号生成機構が出力したことを検出して、記録光強度のスイープを開始及び／又は終了する機能を有することも好ましい。
記録光強度スイープ機構がこれらの機能を有することによって、記録光強度の変化開始点を正確に一定の値に保った原盤を常に作製することができるので、最終的に得られる情報記録媒体での規格化プッシュプル信号振幅の変化の仕方を常に一定にすることができ、ひいては、安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態を実現することが可能な情報記録媒体を得ることができる。
【０１８９】
また、記録光強度スイープ機構が、予め設定した特定の半径位置に集光機構が達したことを検出して記録光強度のスイープを開始し、かつ、予め設定した所定の時間経過後に上記スイープを終了する機能を有することも好ましい。
また、記録光強度スイープ機構が、予め設定した特定のアドレスを上記偏向信号生成機構が出力したことを検出して、上記記録光強度スイープ機構による記録光強度のスイープを開始し、かつ、予め設定した所定の時間経過後に上記スイープを終了する機能を有することも好ましい。
記録光強度スイープ機構がこれらの機能を有する場合、記録光強度スイープ機構はスイープ開始トリガーの監視及びスイープ時間の管理のみを行なっていればよいので、原盤露光装置の構成を簡便なものとすることができる。
【０１９０】
なお、以上説明した記録光強度スイープ機構の各種機能は、例えばソフトウェア等を用いてコントローラー６０９に所望の動作をさせることにより、コントローラー６０９の機能として実現することが可能である。
【０１９１】
［III−３．第２の態様］
本発明では、トラックピッチの異なる二つの記録領域の境界部における急激な規格化プッシュプル信号振幅の変動を抑えることを意図している。よって、実用上問題ない程度にまで規格化プッシュプル信号振幅の変動が抑えられるのであれば、必ずしも溝形状が連続的に変化する必要は無く、断続的な変化であっても構わない。このような着眼点に立つと、上述の第１の態様よりも簡素な構成で、メンテナンスが容易な態様の原盤露光装置も考えられる。
【０１９２】
すなわち、第２の態様では、上述の原盤露光装置６００に、対物レンズ（集光機構）６０５の位置と、予め設定した特定の半径値における記録光強度の設定値とに基づいて、記録光強度を補間して調節する記録光強度調節機構と、上記記録光強度調節動作を繰り返し行なう繰り返し動作機構とを設ける。そして、上記繰り返し動作機構の１サイクルに要する動作時間を、１００ｍｓｅｃ以下とする。
【０１９３】
本態様に係る原盤露光装置の基本的な動作に関して、図６及び図７を参照して、以下に詳細に説明する。なお、図６は、本態様に係る原盤露光装置において、連続的な補間によって得られる理論的な露光強度と集光機構の半径値との関係を表わすグラフであり、図７は、本態様に係る原盤露光装置において、補間動作の繰り返しによって得られる実際の露光強度と集光機構の半径値との関係を表わすグラフである。
【０１９４】
また、以下の記載では、
（１）第一の記録領域Ｒ１が第二の記録領域Ｒ２よりも内周側に存在する記録情報媒体のトラックに相当するパターンを露光する場合であって、
（２）第一の記録領域Ｒ１のトラックに対応するパターンは露光強度Ｐ１にて露光し、
（３）第二の記録領域Ｒ２のトラックに対応するパターンは露光強度Ｐ２にて露光し、
（４）溝形状遷移区間Ｓｇのトラックに対応するパターンは半径値ＲｉからＲｏに亘って形成し、
（５）半径値Ｒｉでの露光パワーはＰ１に等しく、
（６）半径値Ｒｏでの露光パワーはＰ２に等しく、
（７）露光動作は内周から外周に向かって行なう、
という条件の下で説明を行なう。
【０１９５】
但し、露光パワーや半径値の設定等の詳細に関しては、種々のケースが考えられるため、上記（１）〜（７）の条件下に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々変形して実施することができる。
【０１９６】
また、本態様に係る原盤露光装置では、例えば、第一の記録領域Ｒ１のトラックに対応するパターンを形成する際の露光パワーＰ１、第二の記録領域Ｒ２のトラックに対応するパターンを形成する際の露光パワーＰ２、溝形状遷移区間Ｓｇの内側半径値Ｒｉ、外側半径値Ｒｏ等のパラメータを、予め原盤露光装置内部に記憶させる等しておくものとする。
【０１９７】
本態様によれば、予め設定した線速及びトラックピッチに基づいてターンテーブル６０６を回転させ、且つスライダー６０７を所定の速度で移動させつつ、記録光強度調節機構が対物レンズ６０５の原盤上での半径位置を読み取り、対物レンズ６０５がどの領域を露光中であるのかをまず判断する。次いで、その判断の結果を元に、露光強度を然るべき値へと設定する。一方、スライダー６０７は所定の速度で常に移動しているので、露光光強度を然るべき値とさせた瞬間には、対物レンズ６０５は、当初読み取った半径位置とは異なった半径位置に移動している。そこで再び対物レンズ６０５の半径位置を読み取り、対物レンズ６０５がどの領域を露光中であるのかを再度判断し、判断結果を基に、露光強度をしかるべき値へと変化させる。このようにして、半径位置読み取りから露光強度設定までを１サイクルとし、このサイクル動作を所望の半径位置まで順次繰り返して行なうことにより、所望の露光強度での露光を原盤全面に関して行なうことができる。
【０１９８】
この補間動作について、以下、より具体的に説明する。なお、簡便のため、半径位置読み取りから露光強度設定までの１サイクルに要する動作時間をＴｕと記載することにする。なお、Ｔｕは原盤露光装置の性能により左右される値である。
【０１９９】
すなわち、対物レンズ６０５が第一の記録領域Ｒ１を露光中であれば露光強度をＰ１とするように記録光強度調整機構が作動し、第二の記録領域Ｒ２を露光中であれば露光強度をＰ２とするように記録光強度調整機構が作動する。対物レンズ６０５が溝形状遷移区間Ｓｇを露光中であると判断された場合は、例えば図６に示すように、ＲｉとＲｏの間を適当な形態の関数で補間するような露光強度となるように記録光強度調整機構が作動する。つまり、第一の記録領域Ｒ１が第二の記録領域Ｒ２よりも内周側に位置し、更にＲｉとＲｏの間を一次関数的に補間する場合には、対物レンズ６０５が半径位置Ｒｃ（ここで、Ｒｉ≦Ｒｃ≦Ｒｏとする。）に位置する場合の露光パワーＰｃは、下記式により算出される。
Ｐｃ ＝ （Ｐ２−Ｐ１）×（Ｒｃ−Ｒｉ）／（Ｒｏ−Ｒｉ）＋Ｐ１
【０２００】
なお、上記説明では一次関数的に露光強度を補間しているが、関数の形態は一次関数に限定されるものではなく、例えば二次関数的に露光強度が増減されてもよい。つまり、計算によって補間して露光強度を設定するという点が重要なのである。
【０２０１】
ところが、先にも述べたように、原盤露光装置には繰り返し動作時間Ｔｕが必要であるため、溝形状遷移区間Ｓｇ内での実際の露光強度は、図６に示すように平滑とはならず、図７に示すように階段状となる。ここで、階段の１ステップに相当するトラック長さＳｕは、Ｔｕに露光時の線速ＬＶを乗じたものに相当し、下記式で表わされる。
Ｓｕ ＝ ＬＶ×Ｔｕ
【０２０２】
以上が、本態様に係る原盤露光装置の基本的な動作である。
すなわち、第一の記録領域Ｒ１の形成を完了した後、溝形状遷移区間Ｓｇを形成する際に、対物レンズ６０５の半径位置を順次読み込んで記録光強度を階段状に、即ち段階的に変えるので、結果として溝形状遷移区間Ｓｇにおける溝形状を段階的に変化させることができる。ここで、規格化プッシュプル信号振幅の変動をある程度にまで抑えることが望ましいので、段階的に変化された溝形状の１ステップに相当するトラック長さＳｕをある程度にまで短くすることが望まれる。
【０２０３】
ここで、Ｓｕを短くするためには次のようにする。すなわち、１ステップの長さＳｕは、露光時の線速ＬＶとＴｕとの積であるので、Ｓｕを小さくするためには、ＬＶを小さくするかＴｕを小さくすればよい。
しかし、ＬＶを小さくしてしまうと、露光に要する時間が長くなるという課題が発生してしまう。露光に要する時間が長くなると生産量が落ちてしまうだけでなく、長時間に亘る原盤露光装置の安定性の確保が困難となってしまうという課題が発生する。
【０２０４】
すなわち、Ｓｕを小さくするためには、Ｔｕを小さくする方法がより適切であり、現実的な露光時の線速ＬＶを確保するためには、Ｔｕを少なくとも１００ｍｓｅｃ以下とすることが望まれる。Ｔｕが長過ぎる場合、現実的な速さの露光線速で露光すると、溝形状遷移区間Ｓｇ内の溝形状変化が極めて粗い状態となってしまい、規格化プッシュプル信号振幅の急激な変化を抑え切れなくなってしまう場合がある。
【実施例】
【０２０５】
以下、実施例を用いて本発明を更に詳細に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り以下の実施例により限定されるものではない。
以下の各実施例及び各比較例では、情報記録媒体として、溝形状遷移区間Ｓｇ及びトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐの形成条件を変えた記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクを作製し、得られた情報記録媒体を情報再生装置にて再生することにより評価を行なった。
【０２０６】
［スタンパの製造］
所望の溝形状遷移区間Ｓｇ及びトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐを有する、各実施例及び各比較例の情報記録媒体を製造するために、まず、目的とする溝形状遷移区間Ｓｇ及びトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐに相当する凹凸パターンを有するスタンパ（ファザー）を製造した。
スタンパの製造は、前述の［II−１．スタンパの製造］の欄で説明した方法に従い行なった。具体的な条件としては、厚さ６ｍｍのガラス板を原盤用基板５０１として、その上にフォトレジスト５０２を厚さ６０ｎｍとなるように形成した原盤５０３を用い、これを後述の条件に基づいて露光した後、現像し、凹凸原盤５０３’を得た。この凹凸原盤５０３’上に、スパッタ法を用いてニッケルを厚さ２０ｎｍとなるように成膜し（導電層５０５）、更に電気めっき法でニッケルを積層することにより、厚さ２９０μｍのファザー層５０６を形成した。このファザー層５０６を剥離して、ファザースタンパ５０６とした。
【０２０７】
なお、原盤の露光は、以下の条件により行なった。
記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスクにおいては、ＰＩＣ領域がディスクの内周側、ユーザーデータ領域がディスクの外周側に相当する。トラックはＰＩＣ領域からユーザーデータ領域へと進む方向であり、原盤露光もＰＩＣ領域からユーザーデータ領域へと進む方向で行なった。
【０２０８】
また、何れの実施例及び比較例においても、第一の記録領域Ｒ１をＰＩＣ領域とし、第二の記録領域Ｒ２をユーザーデータ領域とし、第一の記録領域Ｒ１におけるトラックピッチｔｐ１を０．３５μｍ、第二の記録領域Ｒ２におけるトラックピッチｔｐ２を０．３２μｍとした。
【０２０９】
また、後に説明する規格化プッシュプル信号振幅ＮＰＰが後述の管理範囲を満足するように、ＰＩＣ領域及びユーザーデータ領域の溝形状を調整した。具体的な数値としては、ＰＩＣ領域の溝深さを３０ｎｍ、溝幅を０．１０μｍとし、ユーザーデータ領域の溝深さを６０ｎｍ、溝幅を０．１９μｍとした。
【０２１０】
また、原盤露光時の露光光強度の調節は、実施例３のみ、上述の第２の態様に係る原盤露光装置（記録光強度調節機構及び繰り返し動作機構を備えた原盤露光装置）を用い、それ以外の実施例及び比較例については、上述の第１の態様に係る原盤露光装置（記録光強度スイープ機構を備えた原盤露光装置）を用いて行なった。
【０２１１】
［情報記録媒体の製造］
各実施例及び各比較例の情報記録媒体は、上述のスタンパを用いて基板を作製し、その基板上に反射層、記録層、界面層及びカバー層をこの順に積層して形成することにより、行なった。
【０２１２】
具体的には、まず、基板の材料としてポリカーボネートを使用し、上述のスタンパを型として射出成形することにより、スタンパの凹凸パターンが写し取られた基板を形成した。なお、基板の厚みは１．１ｍｍとした。
【０２１３】
次いで、この基板上に、ＡｇＮｄＣｕ合金からなる反射層を、スパッタ法にて７０ｎｍの厚さに形成した。
【０２１４】
続いて、この反射層上に、含金属アゾ系色素をオクタフルオロペンタノール（ＯＦＰ）で希釈後、スピンコート法にて成膜することにより、記録層を形成した。スピンコート法の条件は次の通りである。すなわち、有機色素を１．０重量％の濃度でＯＦＰに溶解させた溶液を、基板の中央付近に１．５ｇ環状に塗布し、基板を１２００ｒｐｍで７秒間回転させ色素を延伸し、その後、９２００ｒｐｍで３秒間回転させ色素を振り切ることによって塗布を行なった。なお、塗布後には媒体を１００℃の環境下で１時間保持することで、溶媒であるＯＦＰを蒸発させて除去した。記録層の厚みは３０ｎｍ程度を目標とした。
【０２１５】
次に、この記録層上に、スパッタ法により、ＺｎＳ：ＳｉＯ2からなる界面層を、１６ｎｍの厚さに形成した。
【０２１６】
続いて、この界面層上に、厚さ７５μｍのポリカーボネート樹脂のシートと厚さ２５μｍの感圧接着剤層とからなる、合計の厚さ１００μｍの透明なカバー層を貼り合わせた。
【０２１７】
［評価用情報再生装置］
各実施例及び各比較例の情報記録媒体の評価には、図８に示す構成の情報再生装置（以下「評価用情報再生装置」という。）を用いた。なお、図８（ａ）は、各実施例及び各比較例の情報記録媒体の評価に用いた評価用情報再生装置の要部の構成を示す機能ブロック図であり、図８（ｂ）は、図８（ａ）に示す評価用情報再生装置が有する４分割フォトダイオードの構成を説明するための図である。
【０２１８】
図８（ａ）に示す評価用情報再生装置９００は、４分割フォトダイオード９０１、プッシュプル信号生成回路９０２、和信号生成回路９０３、規格化プッシュプル信号生成回路９０４、合成回路９０５、スピンドルモーター（図示省略）、半導体レーザー等の光源（図示省略）、対物レンズ（図示省略）、増幅回路（図示せず）等を具備する。また、スピンドルモーターに、評価対象となる情報記録媒体９０６を装着できるようになっている。
【０２１９】
半導体レーザー等から出射されたレーザー光は、スピンドルモーターに固定された情報記録媒体９０６上に、対物レンズにて集光される。情報記録媒体９０６上で反射されたレーザー光は４分割フォトダイオード９０１へと導かれる。４分割フォトダイオード９０１は、図８（ｂ）に示すように、４つに分割されたディテクタからなり、各ディテクタへと入射するレーザー光の強度に応じた電気信号が、各々のディテクタより出力される。
【０２２０】
各々のディテクタより出力された電気信号は、必要に応じて増幅回路（図示せず）などを通過された後、プッシュプル信号生成回路９０２及び和信号生成回路９０３へと導かれる。プッシュプル信号生成回路９０２は、（Ａ＋Ｂ）−（Ｃ＋Ｄ）を計算してプッシュプル信号ＰＰを生成する。また、和信号生成回路９０３は、（Ａ＋Ｂ）＋（Ｃ＋Ｄ）を計算して和信号ＳＵＭを生成する。更に、規格化プッシュプル信号生成回路９０４は、ＰＰ及びＳＵＭをもとにＰＰ／ＳＵＭを計算して、規格化プッシュプル信号を生成する。そして、規格化プッシュプル信号に基づいて、サーボユニット（図示せず）がトラッキング制御を実行する。
【０２２１】
［情報記録媒体の評価手順］
各実施例及び各比較例の情報記録媒体の評価は、上述の評価用情報再生装置９００を用いて、以下の手順により行なった。
【０２２２】
評価にあたっては、ＰＩＣ領域とユーザーデータ領域との境界近傍での未記録状態でのプッシュプル信号ＰＰ及び和信号ＳＵＭを、トラッキングサーボを行なわない状態でオシロスコープにて測定し、規格化プッシュプル信号振幅ＮＰＰを算出した。そして、ＰＩＣ領域とユーザーデータ領域との境界近傍におけるＮＰＰの変動の様子を調べることで、ＮＰＰの特性を評価した。
なお、下記の実施例１〜３及び比較例１，２については、以上の手順により測定された規格化プッシュプル信号振幅ＮＰＰ及び和信号ＳＵＭのオシロスコープによる波形を、図９〜１３として掲げているが、これらは何れも、情報記録媒体のトラック約２分の１周分の波形を示している。即ち、これらの図の横軸は、何れもトラック約２分の１周分に相当する。
【０２２３】
また、何れの実施例及び比較例においても、ＰＩＣ領域におけるＮＰＰの管理範囲を０．２６〜０．５２とした。ＰＩＣ領域におけるＮＰＰをこの範囲に入れておけば、ＰＩＣ領域において安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態が実現できる。
【０２２４】
また、何れの実施例及び比較例においても、ユーザーデータ領域における未記録状態でのＮＰＰとしては０．６程度を目標とし、ユーザーデータ領域における未記録状態でのＮＰＰの上限を０．８と設定した。また、ユーザーデータ領域における未記録状態でのＮＰＰの下限は０．２１と設定した。ユーザーデータ領域における未記録状態でのＮＰＰをこの範囲に入れておけば、ユーザーデータ領域において安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態が実現できる。
【０２２５】
また、何れの実施例及び比較例においても、記録領域遷移区間Ｓｘにおける未記録状態でのＮＰＰの管理範囲は、上記ＰＩＣ領域及びユーザーデータ領域の管理範囲のうち、より範囲の広いユーザーデータ領域と同様とした。すなわち、記録領域遷移区間Ｓｘにおける未記録状態でのＮＰＰの管理範囲を、０．２１〜０．８とした。
【０２２６】
なお、上記ＮＰＰの管理範囲は、サーボ系の性能により左右される流動的な数値であり、使用するサーボ系により適宜決定される。
今回設定した値は、通常のサーボ装置の性能よりもやや低い装置でも安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態が実現できると考えられる範囲とした。
すなわち、情報記録媒体全面におけるＮＰＰが上記の範囲内である情報記録媒体が提供できれば、様々な記録再生装置において安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態が実現できると考えられる。
なお、以下の実施例及び比較例におけるＮＰＰとは、全て未記録状態でのＮＰＰのことを指す。
【０２２７】
［実施例１］
原盤露光時に、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐのトラックに沿った長さＬｔｐを３．２ｍとし、溝形状遷移区間Ｓｇのトラックに沿った長さＬｇを４．５ｍとした。トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐの開始点は溝形状遷移区間Ｓｇの開始点よりも時間的に早くし、ＳｔｐとＳｇの重なり部分のトラックに沿った長さＬＬを２．９ｍとした。ここで、Ｌｇ／Ｌｔｐの値は１．４１、ＬＬ／Ｌｔｐの値は０．９１となる。
以上の条件で情報記録媒体を作製した。これを実施例１の情報記録媒体とする。
【０２２８】
実施例１の情報記録媒体について、上述の手順で評価を行なった。その結果として得られた、ＰＩＣ領域とユーザーデータ領域の境界近傍での規格化プッシュプル信号振幅ＮＰＰ及び和信号ＳＵＭの様子を、図９に示す。
【０２２９】
実施例１の情報記録媒体では、ＰＩＣ領域でのＮＰＰは０．３であり、ユーザーデータ領域でのＮＰＰは０．６３であった。
【０２３０】
更に、ＰＩＣ領域及びユーザーデータ領域の境界近傍では、ＮＰＰが滑らかに変化しており、記録領域遷移区間Ｓｘにおいても所定のＮＰＰの管理範囲の下限及び上限を外れることがなかった。
【０２３１】
また、記録領域遷移区間Ｓｘ内のＮＰＰが、ＰＩＣ領域のＮＰＰよりも常に大きく、ユーザーデータ領域のＮＰＰよりも常に小さくなっていた。
【０２３２】
以上の結果から、本実施例では、十分に安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態の実現可能な情報記録媒体が得られたことが分かる。
【０２３３】
［実施例２］
原盤露光時に、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐのトラックに沿った長さＬｔｐを３．２ｍとし、溝形状遷移区間Ｓｇのトラックに沿った長さＬｇを２．５ｍとした。トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐの開始点と溝形状遷移区間Ｓｇの開始点とを略同一箇所とし、ＳｔｐとＳｇの重なり部分のトラックに沿った長さＬＬを２．５ｍとした。ここで、Ｌｇ／Ｌｔｐの値は０．７８、ＬＬ／Ｌｔｐの値は０．７８となる。
以上の条件で情報記録媒体を作製した。これを実施例２の情報記録媒体とする。
【０２３４】
実施例２の情報記録媒体について、上述の手順で評価を行なった。その結果として得られた、ＰＩＣ領域とユーザーデータ領域の境界近傍での規格化プッシュプル信号振幅ＮＰＰ及び和信号ＳＵＭの様子を、図１０に示す。
【０２３５】
実施例２の情報記録媒体では、ＰＩＣ領域でのＮＰＰは０．３９であり、ユーザーデータ領域でのＮＰＰは０．６３であった。
【０２３６】
ここで、記録領域遷移区間ＳｘでのＮＰＰが一部領域においてやや増大しているが、増大部分におけるＮＰＰの最大値は０．７７であり、所定のＮＰＰの管理範囲の上限を上回ることはなかった。
【０２３７】
以上の結果から、本実施例では、安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態の実現可能な情報記録媒体が得られたことが分かる。
【０２３８】
［実施例３］
原盤露光時に、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐのトラックに沿った長さＬｔｐを１．６ｍとし、溝形状遷移区間Ｓｇのトラックに沿った長さＬｇを３．９ｍとした。トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐの開始点は溝形状遷移区間Ｓｇの開始点よりも時間的に早くし、ＳｔｐとＳｇの重なり部分のトラックに沿った長さＬＬを０．４ｍとした。ここで、Ｌｇ／Ｌｔｐの値は２．４４、ＬＬ／Ｌｔｐの値は０．２５となる。
【０２３９】
また、原盤露光時には、上述の第２の態様に係る原盤露光装置（記録光強度調節機構及び繰り返し動作機構を備えた原盤露光装置）を用い、ＰＩＣ領域とユーザーデータ領域の遷移部において露光光強度スイープを行なわず、記録領域遷移区間Ｓｘにおいて、記録光強度調節機構により記録光強度を調整するという動作を９０ｍｓｅｃ毎に繰り返した。
以上の条件で情報記録媒体を作製した。これを実施例３の情報記録媒体とする。
【０２４０】
実施例３の情報記録媒体について、上述の手順で評価を行なった。その結果として得られた、ＰＩＣ領域とユーザーデータ領域の境界近傍での規格化プッシュプル信号振幅ＮＰＰ及び和信号ＳＵＭの様子を、図１１に示す。
【０２４１】
実施例３の情報記録媒体では、ＰＩＣ領域でのＮＰＰは０．３４であり、ユーザーデータ領域でのＮＰＰは０．６６であった。
【０２４２】
また、ＰＩＣ領域及びユーザーデータ領域の境界近傍では、一部ＮＰＰが小さい箇所があるが、当該箇所のＮＰＰは０．２６であり、所定のＮＰＰの管理範囲の下限値を下回ることはなかった。
【０２４３】
つまり、この構成の情報記録媒体では、上記原盤露光装置の繰り返し動作が１００ｍｓｅｃ以下となっているので、記録領域遷移区間ＳｘにおいてＮＰＰが急激に変化している様子は見られなかった。また、ＮＰＰが極端に大きい箇所或いは極端に小さい箇所が存在せず、所定のＮＰＰの管理範囲の下限及び上限を外れることがなかった。
【０２４４】
以上の結果から、本実施例では、フォーカスサーボ回路及びトラッキングサーボ回路の微調整により十分に安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態が実現可能な情報記録媒体が得られたことが分かる。
【０２４５】
［実施例４〜７］
Ｌｔｐ、Ｌｇ、ＬＬの値を各々、以下の表１に示す値とした以外は、実施例１と同様の手順により情報記録媒体を作製した。これらを実施例４〜７の情報記録媒体とする。
【０２４６】
実施例４〜７について、実施例１〜３と同様にＮＰＰを測定したところ、何れも所定の範囲の数値に納まっており、安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態の実現可能な情報記録媒体が提供できた。
【０２４７】
［比較例１］
原盤露光時に、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐのトラックに沿った長さＬｔｐを３．２ｍとし、溝形状遷移区間Ｓｇのトラックに沿った長さＬｇを０．５ｍとした。トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐの終了点と溝形状遷移区間Ｓｇの開始点とを略同一箇所とし、ＳｔｐとＳｇの重なり部分のトラックに沿った長さＬＬを０ｍ（つまり、ＳｔｐとＳｇの重なり部分が無い状態）とした。ここで、Ｌｇ／Ｌｔｐの値は０．１６、ＬＬ／Ｌｔｐの値は０となる。
以上の条件で情報記録媒体を作製した。これを比較例１の情報記録媒体とする。
【０２４８】
比較例１の情報記録媒体における、ＰＩＣ領域とユーザーデータ領域の境界近傍での規格化プッシュプル信号振幅ＮＰＰ及び和信号ＳＵＭの様子を、図１２に示す。
【０２４９】
比較例１の情報記録媒体では、ＰＩＣ領域でのＮＰＰは０．４１であり、ユーザーデータ領域でのＮＰＰは０．６７であった。
また、記録領域遷移区間ＳｘにおけるＮＰＰの最大値は０．９であり、最小値は０．０７であった。
【０２５０】
即ち、ＮＰＰが一部領域において管理範囲の上限を上回っており、更に別の領域においては下限を下回ってしまっている。この程度にまでＮＰＰが管理範囲を超えていると、安定してトラッキングサーボを実行することは困難である。
【０２５１】
また、ＮＰＰの変化が比較的急激であり、不連続に変化してしまっている。このような情報記録媒体は、当該箇所においてトラッキングサーボに障害が生じる可能性がある。
【０２５２】
［比較例２］
原盤露光時に、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐのトラックに沿った長さＬｔｐを３．２ｍとし、溝形状遷移区間Ｓｇのトラックに沿った長さＬｇを０ｍ、すなわち、Ｓｔｐの開始点を境に溝形状を一気に変更し、溝形状遷移区間Ｓｇを全く設けない状態とした。
以上の条件で情報記録媒体を作製した。これを比較例２の情報記録媒体とする。
【０２５３】
比較例２の情報記録媒体における、ＰＩＣ領域とユーザーデータ領域の境界近傍での規格化プッシュプル信号振幅ＮＰＰ及び和信号ＳＵＭの様子を、図１３に示す。
【０２５４】
比較例２の情報記録媒体では、ＰＩＣ領域でのＮＰＰは０．３であり、ユーザーデータ領域でのＮＰＰは０．６１であった。
また、記録領域遷移区間ＳｘにおけるＮＰＰの最大値が１．２であり、最小値が０．２であった。
【０２５５】
即ち、ＮＰＰが管理範囲の上限を超えてしまっている箇所と、下限を下回っている箇所が存在した。この程度にまでＮＰＰが管理範囲を超えていると、安定してトラッキングサーボを実行することは困難である。
【０２５６】
また、ＮＰＰの変化が比較的急激であり、不連続に変化してしまっている。このような情報記録媒体は、当該箇所においてトラッキングサーボに障害が生じる可能性がある。
【０２５７】
［評価］
各実施例及び各比較例における、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐのトラックに沿った長さＬｔｐ、溝形状遷移区間Ｓｇのトラックに沿った長さＬｇ、トラックピッチ遷移区間Ｓｔｐと溝形状遷移区間Ｓｇとの重なり部分のトラックに沿った長さＬＬ、Ｌｇ／Ｌｔｐ及びＬＬ／Ｌｔｐの各数値を、以下の表１に示す。
【表１】
【０２５８】
図１４は、実施例１〜７及び比較例１，２の情報記録媒体について得られたＬｇ／ＬｔｐとＬＬ／Ｌｔｐとの関係をプロットした図である。グラフ中の太線の枠は、本発明において好適なＬｇ／Ｌｔｐ及びＬＬ／Ｌｔｐの値の範囲（０．２≦Ｌｇ／Ｌｔｐ≦２．５、０．１≦ＬＬ／Ｌｔｐ≦１．０）を示している。
【０２５９】
以上の結果より、本発明において、Ｌｇ／Ｌｔｐ及びＬＬ／Ｌｔｐの上述の好適な範囲内に設定することが、安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボ状態を実現する上で好ましいことが判る。
【産業上の利用可能性】
【０２６０】
本発明の情報記録媒体及び原盤露光装置は、例えばＢｌｕ−ｒａｙディスク等の情報記録媒体の分野に好適に用いられる。
【符号の説明】
【０２６１】
１００，２００ 情報記録媒体
１０１，２０１ 基板
１０２ 反射層
１０３ 記録層
１０４，２０７ カバー層
１０５，２０８ レーザー光
２０２ 第１の反射層
２０３ 第１の記録層
２０４ 中間層
２０５ 第２の反射層
２０６ 第２の記録層
３００ 記録型Ｂｌｕ−ｒａｙディスク
３０１ ＢＣＡ領域
３０２ ＰＩＣ領域
３０３ ユーザーデータ領域
５０１ 原盤用基板
５０２ フォトレジスト
５０３ 原盤
５０３’ 凹凸原盤
５０４ パターン
５０５ 導電層
５０６ ファザー層（ファザースタンパ、ファザー）
５０７ 剥離層
５０８ マザー層（マザースタンパ、マザー）
６００ 原盤露光装置
６０１ フォーマッター（偏向信号生成機構）
６０２ レーザー光源（記録光源）
６０３ パワー調整素子（記録光強度調節機構）
６０４ ＥＯＤ素子（記録光偏向機構）
６０５ 対物レンズ（集光機構）
６０６ ターンテーブル（回転機構）
６０７ スライダー（半径移動機構）
６０８ ミラー
６０９ コントローラー（制御機構）
９００ 評価用情報再生装置
９０１ ４分割フォトダイオード
９０２ プッシュプル信号生成回路
９０３ 和信号生成回路
９０４ 規格化プッシュプル信号生成回路
９０５ 合成回路
９０６ 評価対象の情報記録媒体
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録光源と、
所定のフォーマットに基づいた所定の偏向信号を発生させる偏向信号生成機構と、
上記偏向信号生成機構が生成した偏向信号に基づいて、上記記録光源が発生する記録光を偏向させる記録光偏向機構と、
上記記録光を原盤上に集光させる集光機構と、
上記原盤を載置し回転させるための回転機構と、
上記集光機構を上記原盤の半径方向に相対的に移動させる半径移動機構と、
トラックピッチの異なる複数の記録領域を生成できるように、予め設定した値に基づいて、上記回転機構の回転速度と、上記半径移動機構の移動速度と、上記集光機構の位置とを制御する制御機構と、
上記記録光の強度を調節する記録光強度調節機構と、
予め設定した値に基づいて、上記記録光の強度を単調増加又は単調減少でスイープさせる、記録光強度スイープ機構とを備えた
ことを特徴とする、原盤露光装置。
【請求項２】
予め設定した特定の半径位置に集光機構が達したことを検出して、上記記録光強度スイープ機構による記録光強度のスイープを開始及び／又は終了する機構を備えた
ことを特徴とする、請求項１記載の原盤露光装置。
【請求項３】
予め設定した特定のアドレスを上記偏向信号生成機構が出力したことを検出して、上記記録光強度スイープ機構による記録光強度のスイープを開始及び／又は終了する機構を備えた
ことを特徴とする、請求項１記載の原盤露光装置。
【請求項４】
予め設定した特定の半径位置に集光機構が達したことを検出して、上記記録光強度スイープ機構による記録光強度のスイープを開始し、かつ、予め設定した所定の時間経過後に上記スイープを終了する機構を備えた
ことを特徴とする、請求項１記載の原盤露光装置。
【請求項５】
予め設定した特定のアドレスを上記偏向信号生成機構が出力したことを検出して、上記記録光強度スイープ機構による記録光強度のスイープを開始し、かつ、予め設定した所定の時間経過後に上記スイープを終了する機構を備えた
ことを特徴とする、請求項１記載の原盤露光装置。
【請求項６】
記録光源と、
所定のフォーマットに基づいた所定の偏向信号を発生させる偏向信号生成機構と、
上記偏向信号生成機構が生成した偏向信号に基づいて上記記録光源が発生する記録光を偏向させる記録光偏向機構と、
上記記録光を原盤上に集光させる集光機構と、
上記原盤を載置し回転させるための回転機構と、
上記集光機構を上記原盤の半径方向に相対的に移動させる半径移動機構と、
トラックピッチの異なる複数の記録領域を生成できるように、予め設定した値に基づいて、上記回転機構の回転速度と、上記半径移動機構の移動速度と、上記集光機構の位置とを制御する制御機構と、
上記集光機構の位置と、予め設定した特定の半径値における記録光強度設定値とに基づいて、記録光強度を補間して調節する記録光強度調節機構と、
上記記録光強度調節動作を繰り返し行なう繰り返し動作機構とを少なくとも備え、
上記繰り返し動作機構の１サイクルに要する動作時間が、１００ｍｓｅｃ以下であることを特徴とする、原盤露光装置。
【請求項１】
記録光源と、
所定のフォーマットに基づいた所定の偏向信号を発生させる偏向信号生成機構と、
上記偏向信号生成機構が生成した偏向信号に基づいて、上記記録光源が発生する記録光を偏向させる記録光偏向機構と、
上記記録光を原盤上に集光させる集光機構と、
上記原盤を載置し回転させるための回転機構と、
上記集光機構を上記原盤の半径方向に相対的に移動させる半径移動機構と、
トラックピッチの異なる複数の記録領域を生成できるように、予め設定した値に基づいて、上記回転機構の回転速度と、上記半径移動機構の移動速度と、上記集光機構の位置とを制御する制御機構と、
上記記録光の強度を調節する記録光強度調節機構と、
予め設定した値に基づいて、上記記録光の強度を単調増加又は単調減少でスイープさせる、記録光強度スイープ機構とを備えた
ことを特徴とする、原盤露光装置。
【請求項２】
予め設定した特定の半径位置に集光機構が達したことを検出して、上記記録光強度スイープ機構による記録光強度のスイープを開始及び／又は終了する機構を備えた
ことを特徴とする、請求項１記載の原盤露光装置。
【請求項３】
予め設定した特定のアドレスを上記偏向信号生成機構が出力したことを検出して、上記記録光強度スイープ機構による記録光強度のスイープを開始及び／又は終了する機構を備えた
ことを特徴とする、請求項１記載の原盤露光装置。
【請求項４】
予め設定した特定の半径位置に集光機構が達したことを検出して、上記記録光強度スイープ機構による記録光強度のスイープを開始し、かつ、予め設定した所定の時間経過後に上記スイープを終了する機構を備えた
ことを特徴とする、請求項１記載の原盤露光装置。
【請求項５】
予め設定した特定のアドレスを上記偏向信号生成機構が出力したことを検出して、上記記録光強度スイープ機構による記録光強度のスイープを開始し、かつ、予め設定した所定の時間経過後に上記スイープを終了する機構を備えた
ことを特徴とする、請求項１記載の原盤露光装置。
【請求項６】
記録光源と、
所定のフォーマットに基づいた所定の偏向信号を発生させる偏向信号生成機構と、
上記偏向信号生成機構が生成した偏向信号に基づいて上記記録光源が発生する記録光を偏向させる記録光偏向機構と、
上記記録光を原盤上に集光させる集光機構と、
上記原盤を載置し回転させるための回転機構と、
上記集光機構を上記原盤の半径方向に相対的に移動させる半径移動機構と、
トラックピッチの異なる複数の記録領域を生成できるように、予め設定した値に基づいて、上記回転機構の回転速度と、上記半径移動機構の移動速度と、上記集光機構の位置とを制御する制御機構と、
上記集光機構の位置と、予め設定した特定の半径値における記録光強度設定値とに基づいて、記録光強度を補間して調節する記録光強度調節機構と、
上記記録光強度調節動作を繰り返し行なう繰り返し動作機構とを少なくとも備え、
上記繰り返し動作機構の１サイクルに要する動作時間が、１００ｍｓｅｃ以下であることを特徴とする、原盤露光装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【公開番号】特開２０１３−４８０１１（Ｐ２０１３−４８０１１Ａ）
【公開日】平成２５年３月７日（２０１３．３．７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１２−２４２１０１（Ｐ２０１２−２４２１０１）
【出願日】平成２４年１１月１日（２０１２．１１．１）
【分割の表示】特願２００７−３０８２４６（Ｐ２００７−３０８２４６）の分割
【原出願日】平成１９年１１月２９日（２００７．１１．２９）
【公序良俗違反の表示】
（特許庁注：以下のものは登録商標）
１．Ｂｌｕ−ｒａｙ
【出願人】（５０１４９５２３７）三菱化学メディア株式会社 (105)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年３月７日（２０１３．３．７）
【国際特許分類】
【出願日】平成２４年１１月１日（２０１２．１１．１）
【分割の表示】特願２００７−３０８２４６（Ｐ２００７−３０８２４６）の分割
【原出願日】平成１９年１１月２９日（２００７．１１．２９）
【公序良俗違反の表示】
（特許庁注：以下のものは登録商標）
１．Ｂｌｕ−ｒａｙ
【出願人】（５０１４９５２３７）三菱化学メディア株式会社 (105)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]