【課題】樹脂フィルムに形状変化が生じた場合であっても、樹脂フィルムの凹凸パターンを基板の所望とする位置に合わせることができるアライメント方法を提供すること。
【解決手段】表面に微細な凹凸パターンが形成された樹脂フィルム１１と、前記凹凸パターンが転写されるべき光硬化性樹脂層１６を有する基板１５とを貼り合わせる際に、前記樹脂フィルム１１と前記基板１５とを位置合わせするアライメント方法であって、前記樹脂フィルム１１はその平面形状が多角形であり、前記樹脂フィルム１１の頂点部分は保持せずに辺の縁部を保持して平面方向に伸長する工程を含むことを特徴とするアライメント方法。 （もっと読む）

【課題】樹脂スタンパの変形が生じた場合であっても、樹脂スタンパと基板との位置合わせを精確に行うことができるアライメント方法を提供すること。
【解決手段】一方の表面に微細な凹凸パターンが形成された樹脂スタンパ１６の該微細な凹凸パターンを基板１８上に形成された光硬化性樹脂層２０に転写する際に、前記樹脂スタンパ１６と前記基板１８とを位置合わせするアライメント方法であって、以下の工程：前記基板１８に対向するように配置されたステージ１２に、前記凹凸パターン形成面１６ａとは反対側の面が接するように前記樹脂スタンパ１６を載置し、該樹脂スタンパ１６を前記反対側の面側から固定する固定工程；前記樹脂スタンパ１６の変形部位を検出する検出工程；及び前記変形部位の検出結果に基づいて、前記固定した状態で前記樹脂スタンパ１６をその平面方向に伸縮する伸縮工程；を含むことを特徴とするアライメント方法。 （もっと読む）

【課題】熱や周囲環境の変化により伸縮して形状変化が生じた樹脂スタンパの形状を調整することができる樹脂スタンパ用ステージを提供すること。
【解決手段】一方の表面に微細な凹凸パターンが形成された樹脂スタンパ１６を、その凹凸パターン形成面とは反対側の面が接するように載置するための載置台１２を有し、該載置台１２は、前記樹脂スタンパの反対側の面を吸引する複数の吸引孔１５を有する吸引機構１４と、前記複数の吸引孔１５を、前記樹脂スタンパが載置される載置面１２ａの平面方向にそれぞれ独立して移動させる移動機構と、を備えていることを特徴とする樹脂スタンパ用形状調整ステージ。 （もっと読む）

【課題】基板の裏面に凹部を有する場合においても、ドライエッチング加工における面内のエッチングレートを制御し、パターン精度に優れたテンプレートの製造装置及びテンプレートの製造方法を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、真空容器と、電極と、調整体と、を含むテンプレートの製造装置が提供される。前記真空容器は、大気圧よりも減圧された雰囲気を維持可能とされている。前記真空容器は、反応性ガスの導入口と排気口とを有する。前記電極は、前記真空容器の内部に設けられ、高周波電圧が印加される。前記調整体は、絶縁体を主成分とする。前記調整体は、前記電極の上に載置される基板の前記電極の側の面に設けられた凹部に挿入される。 （もっと読む）

【課題】液滴が衝突する基板内の衝突位置での膜厚のばらつきを低減することにより、処理の均一性を向上させること。
【解決手段】洗浄ノズル５は、複数の噴射口３１が形成された噴射部６と、吐出口３６が形成された吐出部７とを含む。複数の噴射口３１は、複数の液滴がそれぞれ基板Ｗ内の複数の衝突位置Ｐ１に衝突するように形成されている。吐出口３６は、各衝突位置Ｐ１からの距離Ｄが等しい基板Ｗ内の着液位置Ｐ２に保護液が着液するように形成されている。洗浄ノズル５は、吐出口３６から吐出された保護液の液膜によって覆われている基板Ｗに複数の噴射口３１から噴射された複数の液滴を衝突させる。 （もっと読む）

【課題】トラックピッチ及び溝形状が異なる複数の記録領域を有する情報記録媒体において、安定したフォーカスサーボ及びトラッキングサーボを実現する。
【解決手段】凹凸パターンにより形成された記録トラックが、第一及び第二の記録領域Ｒ１，Ｒ２と、この領域間に配置された記録領域遷移区間Ｓｘとを備え、Ｒ１におけるトラックピッチｔｐ１、溝幅ｗ１、及び溝深さｄ１並びにＲ２におけるトラックピッチｔｐ２、溝幅ｗ２、及び溝深さｄ２が式（１）と式（２）及び／又は式（３）とを満たし、０＜｜ｔｐ1−ｔｐ２｜（１）、０＜｜ｗ１−ｗ２｜（２）、０＜｜ｄ１−ｄ２｜（３）、Ｓｘが、トラックピッチがｔｐ１からｔｐ２へと遷移するトラックピッチ遷移区間Ｓｔｐと、溝幅がｗ１からｗ２へと、及び／又は、溝深さがｄ１からｄ２へと遷移する溝形状遷移区間Ｓｇとを備え、ＳｔｐとＳｇとが少なくとも一部の領域ＳＬを共有する。 （もっと読む）

【課題】転写成形された微細構造を損傷させることなく迅速にスタンパから剥離することができる微細構造体の剥離方法及び剥離装置を提供する。
【解決手段】微細構造が転写成形されスタンパ1に付着した微細構造体2をそのスタンパ1から剥離するにさいして、微細構造体2の隅部2aからその微細構造体2とスタンパ1との間に冷却用の気体が入り込む方向に気体を噴出させ、その微細構造体2が中心部分を残してスタンパ1から剥離されつつあるときに、微細構造体1の上面から吸引力を作用させてその微細構造体2をスタンパ1から完全に剥離させる。 （もっと読む）

【課題】多層光ディスク記録媒体の製造効率の向上を図ることでコスト削減を図る。
【解決手段】巻き取り芯部によってフィルムを複数回巻き取り、これを打ち抜くことによってフィルム積層体（多層記録可能構造体）を作成する。このように巻き取り・打ち抜きの手法によって多層記録可能構造体を作成するものとしたことで、上記巻き取り芯部に形成された平面（打ち抜き面）の数ｎに応じて、一度にｎ個の多層記録可能構造体を作成でき、その分、従来の製造方法と比較して多層光ディスク記録媒体の製造効率の向上が図られる。 （もっと読む）

【課題】光ディスク検査工程において、すべてのディスクに対して実施出来ない検査を実施する場合は製造されたディスクに対し、オフライン検査装置で抜き取り検査が実施され記録異常等を検査しているが、多くの時間が必要になるとともに、製造工程へのフィードバックが遅れる。
【解決手段】ポリカーボネイト基板を成形する成形工程と金属膜を形成する成膜工程、その上に光透過層を形成する光透過膜形成工程と基板が大気中の湿気を吸水することを防ぐ防湿膜を形成する防湿膜形成工程とＣＣＤカメラを用いて行なう外観検査工程と電気特性を検査する電気特性検査工程を備え、電気特性検査工程は記録再生機能を有し、一定間隔で抜き取り検査を実施し、その測定データの判定と、データ推移を統計的に処理し信号特性劣化予測や共通欠陥を検出し、製造工程へフィードバックする。 （もっと読む）

【課題】型が光を透過しない材質で構成され、また、被成型品にアライメントマークが設けられていなくても、被成型品の正確な位置に微細な転写パターンを転写できる転写装置を提供する。
【解決手段】型Ｍを保持し、被成型品Ｗに接近・離反する方向に移動位置決め自在な型保持体９と；被成型品Ｗを保持し、型保持体９の接近・離反方向に交差する方向に移動位置決め自在な被成型品保持体５と；型Ｍと被成型品Ｗとの間に挿入される第１の位置と、型Ｍと被成型品Ｗとから離れた第２の位置との間を移動自在な検出子１５で被成型品Ｗの縁の位置を検出して、型Ｍに対する被成型品Ｗの位置ずれ量を検出する位置ずれ量検出手段１１と；第１の位置に検出子１５を位置させて被成型品Ｗの位置ずれ量を検出し、この位置ずれ量を、型保持体９を移動することによって補正し、型Ｍを被成型品Ｗに接触させて転写を行うように制御する制御手段５１とを有する。 （もっと読む）

【課題】紫外線硬化性樹脂を利用したナノインプリント工法において、ひとつの原盤から、複数の凹凸パターンを複写する場合に、原盤に紫外線硬化性樹脂が付着すると、とりにくい。
【解決手段】紫外線硬化性樹脂を３００ｎｍ以下の厚みで基板上に塗布し、原盤と貼り合わせを行い、紫外線で照射せずに、原盤との剥離を行う。このあと、紫外線硬化性樹脂を紫外線で固化させることで、パターンを転写するナノインプリント工法。 （もっと読む）

【課題】記録特性等の特性を向上できる、光情報記録媒体の製造方法および光情報記録媒体を提供する。
【解決手段】基板１の一主面上に順次積層された第１情報信号層２、第１中間層３、第２情報信号層４（Ｌ１層）、第２中間層５、第３情報信号層６（Ｌ２層）、第３中間層７、第４情報信号層８（Ｌ３層）、カバー層９と、基板１の他の主面上に積層されたバリア層５１とを備える。バリア層５１は、基板１の裏面のＢＣＡを除いた領域に形成される。 （もっと読む）

【課題】レーベル面表示を鏡面部と粗面部により実現する際に、適切な視認性を得ると共に、高密度ディスク等において悪影響が生じないようにする。
【解決手段】記録媒体は、基板の一方の面がレーベル面とされ、基板の他方の面側に情報の記録再生のための記録層が形成される。ここで基板のレーベル面は、鏡面部と、該鏡面部の平面より段差を有して形成された粗面部が形成され、鏡面部と粗面部により視認可能なレーベル面表示が形成されているようにする。特に段差は１０μｍ以下、粗面部の粗さは平均粗さＲａ＝１０〜２μｍとする。 （もっと読む）

【課題】データが記録されるデータ層を介して、視認可能なパターンを表示する光ディスク、その製造方法及び再生装置を提供する。
【解決手段】データ層は、データ層基板１１、及び、データ層基板１１の上面側に積層される半透過膜であるデータ層反射膜１２を備える。表示層は、視認可能な表示パターン２４が形成された表示層基板２１、及び、表示層基板２１の下面側に積層された表示層反射膜２２を備える。中間層３０は、データ層の上面と前記表示層の下面とを接着する。 （もっと読む）

【課題】記憶媒体への信頼性の高いＢＣＡデータの記録方法および記憶媒体、ならびにその記憶媒体からのＢＣＡデータの再生方法、および記憶媒体製造装置を、提供する。
【解決手段】この発明は、ＢＣＡデータ向けあるいはその近傍の記憶媒体の内周寄りの記録層に用いられる膜材料の厚みが、互いに隣接する２つを一体化するように、円弧状とした吸着機構７１，７２により吸引されて形成された記憶媒体の基材を用いることにより均一な厚みに形成される。従って、ＢＣＡ（バーストカッティング領域）あるいはその近傍の記憶媒体の内周寄りに記録される情報が、正確、かつ安定に記録可能となる。 （もっと読む）

【課題】シートを圧着する場合に、シート間に隙間が発生しにくいシート圧着方法及びシート圧着装置を提供する。
【解決手段】第１工程にて、容器１１内にて第１のシートと第２のシート９とを積層し、弾性部材内部空間１９（ゴム部材５１内）と容器内部空間とを真空状態とする。その後、第２工程にて、弾性部材内部空間１９の真空度を容器内部空間の真空度よりも低下させることにより、ゴム部材５１の中央部を下降させて、両シートの中央部の表面に接触させる。その後、第３工程にて、ゴム部材５１内に加圧空気を供給する。これにより、ゴム部材５１が第２のシート９の表面を押圧する面積が増加し、第２のシート９の表面全体を押圧して両シートを圧着する。 （もっと読む）

【課題】記憶媒体への信頼性の高いＢＣＡデータの記録方法および記憶媒体、ならびにその記憶媒体からのＢＣＡデータの再生方法、および記憶媒体製造装置を、提供する。
【解決手段】この発明は、ＢＣＡデータ向けあるいはその近傍の記憶媒体の内周寄りの記録層に用いられる膜材料の厚みが、互いに隣接する２つを一体化するように、円弧状とした吸着機構７１，７２により吸引されて形成された記憶媒体の基材を用いることにより均一な厚みに形成される。従って、ＢＣＡ（バーストカッティング領域）あるいはその近傍の記憶媒体の内周寄りに記録される情報が、正確、かつ安定に記録可能となる。 （もっと読む）

【課題】 両面インプリント装置においてディスクを選択的に剥離できる光インプリント方法を提供する。
【解決手段】 前記方法は、両面インプリント装置において、下面側スタンパ装置を上面側スタンパ装置に対峙させた後、下面側スタンパ装置に載置された、両面にレジストが塗布された被転写体に上面側スタンパ装置を押圧しながら、前記被転写体のレジストに下面側スタンパ装置のＵＶ光源及び上面側スタンパ装置のＵＶ光源から紫外線を照射して前記レジストを硬化させ、硬化レジストに前記スタンパのパターンを転写する際に、下面側スタンパ装置に配設されたＵＶ光源の照射時間を上面側スタンパ装置に配設されたＵＶ光源の照射時間よりも短くすることにより、転写済みディスクを下面側スタンパ装置から選択的に剥離させることができる。 （もっと読む）

【課題】バルク型の光記録媒体の製品コストの増加を抑えつつ、バルク層に対し録再用レーザ光がほぼロス無く到達されるようにする。
【解決手段】第１の光（録再光）の照射によって深さ方向において選択的にマークの記録が行われ上記マークが多層状に形成される記録層の下層側に対し、上記第１の光とは波長の異なる第２の光（サーボ光）を反射するための反射膜を形成した光記録媒体とする。これにより、上記記録層に対して録再光がほぼロス無く照射されるようにできる。また同時に、上記のように反射膜を上記記録層の下層側に設けた構造とすれば、当該反射膜としては、サーボ光のみを選択反射する必要性はないものとできるので、従来用いられていた誘電体多層膜は不要とでき、例えば金属材料の単層構造による比較的低コストな反射膜を用いることができる。 （もっと読む）