可動式ガイドレールを有する真空搬送装置
【課題】真空チャンバーを通って基材を運搬するための基材キャリアーを有するコーティングマシンであって、真空チャンバーの汚染の減少を達成する可動式ガイドレールを有する真空搬送装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバーを通って基材を運搬するための装置、特にその上またはそこに基材が配置される基材キャリアー1を有するコーティングマシンに関するものであり、基材キャリアーが、少なくとも一方の側面に沿って延びる少なくとも1本のガイドレール7を有し、また、ガイドレールが1つまたは、数個の離間ベアリング6によって基材キャリアーから距離を保たれている。
【解決手段】真空チャンバーを通って基材を運搬するための装置、特にその上またはそこに基材が配置される基材キャリアー1を有するコーティングマシンに関するものであり、基材キャリアーが、少なくとも一方の側面に沿って延びる少なくとも1本のガイドレール7を有し、また、ガイドレールが1つまたは、数個の離間ベアリング6によって基材キャリアーから距離を保たれている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、真空チャンバーを通って基材を運搬するための装置、特にその上またはそこに基材が配置される基材キャリアーを有するコーティングマシンであって、基材キャリアーが、この基材キャリアーの少なくとも一方の面に沿って延びる少なくとも1本のガイドレールを有する装置に関する。
【背景技術】
【0002】
相応する平板状、円盤状、またはフレーム状の基材キャリアー上の特に窓ガラスのような平らで大きな面の基材のための基材キャリアーであって、その基材キャリアーがその上側に永久磁石を有して、やはり磁石を持った磁気的にソフトなU形のホルダーと相互作用して基材キャリアーがその上側で接触することなく運搬されるような基材キャリアーがその中に設けられている、加工部材を真空機械内で運搬する装置は、CH 691 680 A5および DE 297 15 535 U1 から知られている。これらの文献の開示内容は、それを参照したことにより、本願の開示内容に完全に含まれる。
【0003】
この解決法はすでに非常に良い結果を生じてはいるが、磁気レールを残りの基材キャリアー、例えばキャリアープレートやフレーム構造に設けることが、ある寸法の基材キャリアーを持った大きな面の基材の場合に、各部分、すなわち一方の磁気ガイドレールと他方のキャリアーが、特にコーティングマシンでよくあるような周期的な繰り返し加熱の場合に、異なって熱せられるために、基材キャリアーの部品が互いにこすられるという問題を引き起こす。さらに、運搬中、大きな面の基材や基材キャリアーの応力や歪を通じてキャリアー全体のねじれやプレートの曲がりなどの不確定な変形が誘引され、これらは磁気ガイドレールおよび基材キャリアーそれぞれのさらなる相対的な動きを生じ、通常は磁気ガイドレールを有する基材キャリアーが装置の中で接触せずに案内される磁気ホルダー部分で摩擦接触したりうねったり飛び跳ねたりし、ある状況下では重大な磨耗が生じ、そこで実施されるコーティングの品質に不都合な影響を与える可能性がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
したがって、本発明の目的は、この問題を救済し、特に基材キャリアーをその上側で案内することによって真空チャンバーの汚染の減少を達成することである。同時に、提供される解決法は、簡単に実現でき、信頼性もあり使用上のコスト効率もよい。
【発明の効果】
【0005】
この目的は、請求項1の構成を有する装置で達成される。有利な実施例は従属項の目的である。
【0006】
本発明によれば、上記の目的は、基材キャリアー部のガイドレールを、1つまたは数個のベアリングによって基材キャリアーから離間して配置し、温度やプロセスの影響の結果ガイドレールと基材キャリアーの残り部分が異なった変形を起こした場合にも、互いの面の摩擦が無く、または単に僅かなあるいは限定された摩擦面のみを有し、磨砕が削減されるか防止されるようにすることによって達成される。さらにそのような解決法は基材キャリアーのねじれ、または変形、または一般的な動きを許す可能性を提供し、一方、同時に、運搬システムの磁気ホルダー内のガイドレールは変形しないで移動し、基材キャリアーまたはガイドレールと他の機械部品が衝突を起こすことなく、特に磁気的な運搬または支持システム内のガイドレールは対向レールと摩滅を生じることが無い。このように、磨砕は相当程度減少または全く防止される。さらに、この解決法は製造上の不正確さを相殺するか、または製造上の大きな許容誤差を可能にする。
【0007】
大きな面の平面基材、特にディスプレー製品や建築用のガラス張りのような大きな面のガラス基材がその上、またはそこに設置される、好ましくは平らな、プレート状の、および/またはフレーム状の基材キャリアーにおいて、ガイドレールは、好ましくは基材キャリアーの一方の長手側面に沿って長手方向に配置され、ここが優位な点であるが、ガイドレールが好ましくは1個の中央のベアリングを介して基材キャリアーの中央部に取り付けられる。このことは、それ以上のベアリングの動きを心配することも、考慮する必要もないという利点を有する。
【0008】
中央のベアリングを配置するに当って、他の要請事項に適合させるために広い範囲の中から対称中心軸の回りの配置領域を選択することが出来る。しかし、大きな中央の配置範囲が、ガイドレールの均一な、対称的な取り付けを可能にするので有利である。
【0009】
中央のベアリングは固定または可動のベアリング、特にピボットベアリングでも良い。
固定ベアリングの場合、ガイドレールと基材キャリアーの残り部分とは堅固で剛直な結合がなされ、ガイドレールと基材キャリアーの残り部分の異なった動きまたは変形が、それらの部品の中で実質的に生じて消えるようになされる。この点に関して、固定ベアリングに結合している基材キャリアー部分、特には対応するフレーム部分が、上記の異なった変形が容易になるように弾性物質で出来ている場合に優位性を証明した。特に、板バネのように作用する厚さ約12mmのアルミ板のような“ソフトで”薄い金属板を設けることが優位性を証明した。
【0010】
代替的に、中央のベアリングは可動式のベアリング、特にピボットベアリングでも良く、それはそのベアリングの特性のお陰で、基材キャリアーの残りの部分に対してガイドレールのある程度の動きを容易にする。そのような可動式のベアリングは好ましくはピボットベアリングであって、その回転軸は基材キャリアーの面内および/または基本的に基材キャリアーの側面、特に上の側面に直角に合わせられる。したがって、ガイドレールの端は基材キャリアーの残り部分の端、または基材キャリアープレートの端に対して回転可能である。
【0011】
そのようなピボットベアリングは好ましくはプラスチック材、特にPEEKベアリングブロックの形に作られ、回転軸としてステンレス鋼の軸を有する。
好ましくは、中央のベアリングは唯一のベアリングである。明らかに、基材キャリアーの与えられる相応の寸法次第では、1つまたはそれ以上の側方のベアリング、特には可動式の形態のベアリングが必要になるかもしれない。
【0012】
好ましくは、そのような側方の可動式ベアリングはボールベアリングまたはローラーベアリングとして形成され、ガイドレール端の動きが基材キャリアー面に直角、つまり回転軸が基材キャリアーの長手方向側面に平行に合わせられる。
【0013】
好ましくは、ガイドレールと基材キャリアーの間に回転または動きを制限する装置が設けられ、その装置はガイドレールと基材キャリアーの相対の動きの制限を容易にする。このように、真空機械の中で基材キャリアーの運搬中に、個々の部材の過度な動きや変形が衝突に至らしめるのを防止する。
【0014】
対応する回転または動きの制限装置は、別体部品として設計されるか、または対応するベアリング、特に側方の可動式ベアリングに一体化される。
本発明のさらなる優位点、特徴、構成は、以下の望ましい実施例の詳細な説明から明らかである。なお、図は純粋に概略的な形で示されている。
【発明を実施するための最良の形態】
【0015】
図1は、本発明による基材キャリアー1の部分側面図で、いくつかのフレーム部分2〜4で組み立てられており、中央に基材を載せることができる。
図1の上部で長い板の形をしたフレーム部分3は、その中央に固定ベアリング6を有し、その上方、基材キャリアー1の上の長手方向側面にガイドレール7が設けられ、ガイドレール7は1つまたはそれ以上の磁石(図示せず)を有している。ガイドレール7は固定ベアリング6によって上方のフレーム部分3から離間しているという事実によって、ガイドレール7と基材キャリアー1、または上方のフレーム部分3との間に隙間8が生じる。このことは、ガイドレール7と上方のフレーム部分3の間で磨砕が生じることなくガイドレール7の自由端が基材キャリアー1または上方のフレーム部分3に対して動くことが出来ることを意味する。特に、例えばアルミニウム板の形状をした上方のフレーム部分3の“ソフトな”設計が、真空チャンバーの負荷となったり、電気または機械装置や、そこで行われるコーティングプロセス、またはそこで行われるコーティングなどを邪魔する可能性のある粒状の磨砕を生じる可能性もなく、基材キャリアー1がガイドレール7に対してねじれることを可能にする。
【0016】
固定ベアリング6の詳細を図2〜5に示す。
図2は、固定ベアリングの3次元図を示し、図3は平面図、および図4は図3の断面線A−Aに沿った断面図である。図5は固定ベアリング6の狭い側の側面図である。
【0017】
図2〜5で判るように、固定ベアリング6はベアリング本体9を有し、そこには上方のフレーム部分3またはガイドレール7の対応するねじ穴または穴にねじ込まれるねじ11および10を収める穴または座繰りが設けられている。結果として、基材キャリアー1の上方のフレーム部分3とガイドレール7の間は、隙間を有しながら同時に固定された剛直な結合が達成される。
【0018】
図6は本発明による基材キャリアー100の別な実施例を示し、それは同じくフレーム部分102〜104で組み立てられ、基材105を載せることができる。
ガイドレール107は、今度は上方のフレーム部分103にガイドレール107の端に設けたさらなるベアリング109(側方の可動ベアリング)とともに、中央のベアリング106を介して、締結される。この実施例においてもガイドレール107はフレーム部分103から離間され、隙間108がこれらの部分間に形成され、ガイドレール107とフレーム部分103が互いに向かい合う方向へ動いたときの磨砕を充分に防止する。
【0019】
基材キャリアー100の実施例において、図7〜9の3次元図、平面図、および断面図に示すように、2つの対向回転可能なベアリング本体112および115を有するピボットベアリング106が中央のベアリングとして設けられる。
【0020】
2つの回転可能なベアリング本体112および115は、例えばプラスチック、特にこの場合、選択される可能性のあるPEETのような、高真空条件に適したプラスチックで作られる。例えばステンレスで作られる軸114がベアリング本体112と115を回転結合するために設けられる。
【0021】
2つのベアリング本体112および115は各々ねじ110または111を介してガイドレール107または基材キャリアー100の上方のフレーム部分103に固定される。
特に図9から明らかなように、軸114には、例えば対応する横切る突起またはボルトねじとの相互作用で上部のベアリング部分に軸回転取り付け、または固定として機能する領域113を設けることが出来る。残りの部分に対しては、しかし、フレーム部分103から離間したガイドレール107のピボットベアリングが基材キャリアー100に対するガイドレール107の低摩擦の回転またはねじれを容易にする。
【0022】
図6から明らかなように、軸回転または中央のベアリング106に加えて、ガイドレール107の端がローラーベアリング109を介して取り付けられ、ガイドレール107の端の基材キャリアーの面に直角な動きを容易にしている。これに対応して、ローラーベアリング109の回転軸もまたガイドレール107、または基材キャリアー100の長手方向側面と平行に配置される。
【0023】
図10は、ローラーベアリング109の3次元図で、ベアリングは2つのベアリング本体116および117を有し、各々はねじ結合部119および118を介して各々の部分、すなわち基材キャリアー100のガイドレール107および上部のフレーム部分103に結合されている。ベアリング本体116と117の間には、回転可能なローラー120が設けられ、それは、特に図12から明らかなように、心棒軸121の周囲に回転可能で、上部のベアリング本体117の下部のベアリング本体116に対する動きを容易にする。
【0024】
図10〜13に示すように、下部のベアリング本体116は上部のベアリング本体117よりも幅が広く、バー122が下部のベアリング本体116にその長手方向側面に沿って設けられ、そのバーが上部のベアリング本体117の動きを制限している。
【0025】
ローラーベアリングの代わりに、ボールベアリング等のような他のベアリングを設けても良い。
図14は部分側面図で、図1および6の図に匹敵する、本発明の基材キャリアー200の第3の実施例を示し、キャリアーはやはりフレーム部分202,203,204で構成され、それらの間に基材205を収容する。この実施例においても上部フレーム部分203の中央に図6の実施例と全く同じピボットベアリング206が設けられ、ガイドレール207が上部フレーム部分203から離れて回転可能に取り付けられることを容易にし、ここでもガイドレール207と基材キャリアー200の上部フレーム部分203の間に隙間208が形成される。
【0026】
基材キャリアー100の実施例においてガイドレール107の端に設けられたローラーベアリング109の代わりに、図14における基材キャリアー200の実施例に示したガイドレール207端は、図15〜17に詳細に示す移動制限装置209が設けられている。図15は移動制限装置209の3次元図であり、図16および17は平面図(図16)および図16の断面線A−Aに沿った断面図(図17)である。
【0027】
移動制限装置209は、互いに離れている2つの制限体212および213を有し、各々はねじ結合部210および211を介してガイドレール207および上部フレーム部分203に配置される。基材キャリアー構成要素での配置条件において、2つの制限体212および213は、お互いに対して接触すること不可能なように2つの制限体212および213の間に隙間を形成する。
【0028】
特に図17から明らかなように、制限体213の中には円筒の切り抜き215が設けられ、上部の制限体212を通して、ねじ切りされたピンを有するねじ214が突出する。そのようなねじ構造の代わりに、他のねじ設計、例えば制限体212に一体のねじ設計で設けられても良いし、または対応するようなボルトまたは同様のものが考慮されても良い。基本的な観点は、単にねじピンが切り抜き215によってその自由移動が制限されることであって、ねじ214はある程度の移動の後、下部の制限体213に当たり、ガイドレール207と上部フレーム部分203の相対的な動きを制限する。
【図面の簡単な説明】
【0029】
【図1】第1の基材キャリアーの側面図である。
【図2】図1の基材キャリアーのガイドレールのベアリングの3次元図である。
【図3】図2のベアリングの平面図である。
【図4】図3の断面線A−Aに沿った断面図である。
【図5】図2〜4のベアリングの側面図である。
【図6】別の基材キャリアーの部分側面図である。
【図7】図6の基材キャリアーのピボットベアリングの3次元図である。
【図8】図7のピボットベアリングの平面図である。
【図9】図8の断面線A−Aに沿った断面図である。
【図10】図6の基材キャリアーのローラーベアリングの3次元図である。
【図11】図10のベアリングの平面図である。
【図12】図11のローラーベアリングの断面線A−Aに沿った断面図である。
【図13】図10〜12のローラーベアリングの側面図である。
【図14】別の基材キャリアーの部分側面図である。
【図15】図14の基材キャリアーの動き制限装置の3次元図である。
【図16】図15の動き制限装置の平面図である。
【図17】図16の動き制限装置の断面線A−Aに沿った断面図である。
【技術分野】
【0001】
本発明は、真空チャンバーを通って基材を運搬するための装置、特にその上またはそこに基材が配置される基材キャリアーを有するコーティングマシンであって、基材キャリアーが、この基材キャリアーの少なくとも一方の面に沿って延びる少なくとも1本のガイドレールを有する装置に関する。
【背景技術】
【0002】
相応する平板状、円盤状、またはフレーム状の基材キャリアー上の特に窓ガラスのような平らで大きな面の基材のための基材キャリアーであって、その基材キャリアーがその上側に永久磁石を有して、やはり磁石を持った磁気的にソフトなU形のホルダーと相互作用して基材キャリアーがその上側で接触することなく運搬されるような基材キャリアーがその中に設けられている、加工部材を真空機械内で運搬する装置は、CH 691 680 A5および DE 297 15 535 U1 から知られている。これらの文献の開示内容は、それを参照したことにより、本願の開示内容に完全に含まれる。
【0003】
この解決法はすでに非常に良い結果を生じてはいるが、磁気レールを残りの基材キャリアー、例えばキャリアープレートやフレーム構造に設けることが、ある寸法の基材キャリアーを持った大きな面の基材の場合に、各部分、すなわち一方の磁気ガイドレールと他方のキャリアーが、特にコーティングマシンでよくあるような周期的な繰り返し加熱の場合に、異なって熱せられるために、基材キャリアーの部品が互いにこすられるという問題を引き起こす。さらに、運搬中、大きな面の基材や基材キャリアーの応力や歪を通じてキャリアー全体のねじれやプレートの曲がりなどの不確定な変形が誘引され、これらは磁気ガイドレールおよび基材キャリアーそれぞれのさらなる相対的な動きを生じ、通常は磁気ガイドレールを有する基材キャリアーが装置の中で接触せずに案内される磁気ホルダー部分で摩擦接触したりうねったり飛び跳ねたりし、ある状況下では重大な磨耗が生じ、そこで実施されるコーティングの品質に不都合な影響を与える可能性がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
したがって、本発明の目的は、この問題を救済し、特に基材キャリアーをその上側で案内することによって真空チャンバーの汚染の減少を達成することである。同時に、提供される解決法は、簡単に実現でき、信頼性もあり使用上のコスト効率もよい。
【発明の効果】
【0005】
この目的は、請求項1の構成を有する装置で達成される。有利な実施例は従属項の目的である。
【0006】
本発明によれば、上記の目的は、基材キャリアー部のガイドレールを、1つまたは数個のベアリングによって基材キャリアーから離間して配置し、温度やプロセスの影響の結果ガイドレールと基材キャリアーの残り部分が異なった変形を起こした場合にも、互いの面の摩擦が無く、または単に僅かなあるいは限定された摩擦面のみを有し、磨砕が削減されるか防止されるようにすることによって達成される。さらにそのような解決法は基材キャリアーのねじれ、または変形、または一般的な動きを許す可能性を提供し、一方、同時に、運搬システムの磁気ホルダー内のガイドレールは変形しないで移動し、基材キャリアーまたはガイドレールと他の機械部品が衝突を起こすことなく、特に磁気的な運搬または支持システム内のガイドレールは対向レールと摩滅を生じることが無い。このように、磨砕は相当程度減少または全く防止される。さらに、この解決法は製造上の不正確さを相殺するか、または製造上の大きな許容誤差を可能にする。
【0007】
大きな面の平面基材、特にディスプレー製品や建築用のガラス張りのような大きな面のガラス基材がその上、またはそこに設置される、好ましくは平らな、プレート状の、および/またはフレーム状の基材キャリアーにおいて、ガイドレールは、好ましくは基材キャリアーの一方の長手側面に沿って長手方向に配置され、ここが優位な点であるが、ガイドレールが好ましくは1個の中央のベアリングを介して基材キャリアーの中央部に取り付けられる。このことは、それ以上のベアリングの動きを心配することも、考慮する必要もないという利点を有する。
【0008】
中央のベアリングを配置するに当って、他の要請事項に適合させるために広い範囲の中から対称中心軸の回りの配置領域を選択することが出来る。しかし、大きな中央の配置範囲が、ガイドレールの均一な、対称的な取り付けを可能にするので有利である。
【0009】
中央のベアリングは固定または可動のベアリング、特にピボットベアリングでも良い。
固定ベアリングの場合、ガイドレールと基材キャリアーの残り部分とは堅固で剛直な結合がなされ、ガイドレールと基材キャリアーの残り部分の異なった動きまたは変形が、それらの部品の中で実質的に生じて消えるようになされる。この点に関して、固定ベアリングに結合している基材キャリアー部分、特には対応するフレーム部分が、上記の異なった変形が容易になるように弾性物質で出来ている場合に優位性を証明した。特に、板バネのように作用する厚さ約12mmのアルミ板のような“ソフトで”薄い金属板を設けることが優位性を証明した。
【0010】
代替的に、中央のベアリングは可動式のベアリング、特にピボットベアリングでも良く、それはそのベアリングの特性のお陰で、基材キャリアーの残りの部分に対してガイドレールのある程度の動きを容易にする。そのような可動式のベアリングは好ましくはピボットベアリングであって、その回転軸は基材キャリアーの面内および/または基本的に基材キャリアーの側面、特に上の側面に直角に合わせられる。したがって、ガイドレールの端は基材キャリアーの残り部分の端、または基材キャリアープレートの端に対して回転可能である。
【0011】
そのようなピボットベアリングは好ましくはプラスチック材、特にPEEKベアリングブロックの形に作られ、回転軸としてステンレス鋼の軸を有する。
好ましくは、中央のベアリングは唯一のベアリングである。明らかに、基材キャリアーの与えられる相応の寸法次第では、1つまたはそれ以上の側方のベアリング、特には可動式の形態のベアリングが必要になるかもしれない。
【0012】
好ましくは、そのような側方の可動式ベアリングはボールベアリングまたはローラーベアリングとして形成され、ガイドレール端の動きが基材キャリアー面に直角、つまり回転軸が基材キャリアーの長手方向側面に平行に合わせられる。
【0013】
好ましくは、ガイドレールと基材キャリアーの間に回転または動きを制限する装置が設けられ、その装置はガイドレールと基材キャリアーの相対の動きの制限を容易にする。このように、真空機械の中で基材キャリアーの運搬中に、個々の部材の過度な動きや変形が衝突に至らしめるのを防止する。
【0014】
対応する回転または動きの制限装置は、別体部品として設計されるか、または対応するベアリング、特に側方の可動式ベアリングに一体化される。
本発明のさらなる優位点、特徴、構成は、以下の望ましい実施例の詳細な説明から明らかである。なお、図は純粋に概略的な形で示されている。
【発明を実施するための最良の形態】
【0015】
図1は、本発明による基材キャリアー1の部分側面図で、いくつかのフレーム部分2〜4で組み立てられており、中央に基材を載せることができる。
図1の上部で長い板の形をしたフレーム部分3は、その中央に固定ベアリング6を有し、その上方、基材キャリアー1の上の長手方向側面にガイドレール7が設けられ、ガイドレール7は1つまたはそれ以上の磁石(図示せず)を有している。ガイドレール7は固定ベアリング6によって上方のフレーム部分3から離間しているという事実によって、ガイドレール7と基材キャリアー1、または上方のフレーム部分3との間に隙間8が生じる。このことは、ガイドレール7と上方のフレーム部分3の間で磨砕が生じることなくガイドレール7の自由端が基材キャリアー1または上方のフレーム部分3に対して動くことが出来ることを意味する。特に、例えばアルミニウム板の形状をした上方のフレーム部分3の“ソフトな”設計が、真空チャンバーの負荷となったり、電気または機械装置や、そこで行われるコーティングプロセス、またはそこで行われるコーティングなどを邪魔する可能性のある粒状の磨砕を生じる可能性もなく、基材キャリアー1がガイドレール7に対してねじれることを可能にする。
【0016】
固定ベアリング6の詳細を図2〜5に示す。
図2は、固定ベアリングの3次元図を示し、図3は平面図、および図4は図3の断面線A−Aに沿った断面図である。図5は固定ベアリング6の狭い側の側面図である。
【0017】
図2〜5で判るように、固定ベアリング6はベアリング本体9を有し、そこには上方のフレーム部分3またはガイドレール7の対応するねじ穴または穴にねじ込まれるねじ11および10を収める穴または座繰りが設けられている。結果として、基材キャリアー1の上方のフレーム部分3とガイドレール7の間は、隙間を有しながら同時に固定された剛直な結合が達成される。
【0018】
図6は本発明による基材キャリアー100の別な実施例を示し、それは同じくフレーム部分102〜104で組み立てられ、基材105を載せることができる。
ガイドレール107は、今度は上方のフレーム部分103にガイドレール107の端に設けたさらなるベアリング109(側方の可動ベアリング)とともに、中央のベアリング106を介して、締結される。この実施例においてもガイドレール107はフレーム部分103から離間され、隙間108がこれらの部分間に形成され、ガイドレール107とフレーム部分103が互いに向かい合う方向へ動いたときの磨砕を充分に防止する。
【0019】
基材キャリアー100の実施例において、図7〜9の3次元図、平面図、および断面図に示すように、2つの対向回転可能なベアリング本体112および115を有するピボットベアリング106が中央のベアリングとして設けられる。
【0020】
2つの回転可能なベアリング本体112および115は、例えばプラスチック、特にこの場合、選択される可能性のあるPEETのような、高真空条件に適したプラスチックで作られる。例えばステンレスで作られる軸114がベアリング本体112と115を回転結合するために設けられる。
【0021】
2つのベアリング本体112および115は各々ねじ110または111を介してガイドレール107または基材キャリアー100の上方のフレーム部分103に固定される。
特に図9から明らかなように、軸114には、例えば対応する横切る突起またはボルトねじとの相互作用で上部のベアリング部分に軸回転取り付け、または固定として機能する領域113を設けることが出来る。残りの部分に対しては、しかし、フレーム部分103から離間したガイドレール107のピボットベアリングが基材キャリアー100に対するガイドレール107の低摩擦の回転またはねじれを容易にする。
【0022】
図6から明らかなように、軸回転または中央のベアリング106に加えて、ガイドレール107の端がローラーベアリング109を介して取り付けられ、ガイドレール107の端の基材キャリアーの面に直角な動きを容易にしている。これに対応して、ローラーベアリング109の回転軸もまたガイドレール107、または基材キャリアー100の長手方向側面と平行に配置される。
【0023】
図10は、ローラーベアリング109の3次元図で、ベアリングは2つのベアリング本体116および117を有し、各々はねじ結合部119および118を介して各々の部分、すなわち基材キャリアー100のガイドレール107および上部のフレーム部分103に結合されている。ベアリング本体116と117の間には、回転可能なローラー120が設けられ、それは、特に図12から明らかなように、心棒軸121の周囲に回転可能で、上部のベアリング本体117の下部のベアリング本体116に対する動きを容易にする。
【0024】
図10〜13に示すように、下部のベアリング本体116は上部のベアリング本体117よりも幅が広く、バー122が下部のベアリング本体116にその長手方向側面に沿って設けられ、そのバーが上部のベアリング本体117の動きを制限している。
【0025】
ローラーベアリングの代わりに、ボールベアリング等のような他のベアリングを設けても良い。
図14は部分側面図で、図1および6の図に匹敵する、本発明の基材キャリアー200の第3の実施例を示し、キャリアーはやはりフレーム部分202,203,204で構成され、それらの間に基材205を収容する。この実施例においても上部フレーム部分203の中央に図6の実施例と全く同じピボットベアリング206が設けられ、ガイドレール207が上部フレーム部分203から離れて回転可能に取り付けられることを容易にし、ここでもガイドレール207と基材キャリアー200の上部フレーム部分203の間に隙間208が形成される。
【0026】
基材キャリアー100の実施例においてガイドレール107の端に設けられたローラーベアリング109の代わりに、図14における基材キャリアー200の実施例に示したガイドレール207端は、図15〜17に詳細に示す移動制限装置209が設けられている。図15は移動制限装置209の3次元図であり、図16および17は平面図(図16)および図16の断面線A−Aに沿った断面図(図17)である。
【0027】
移動制限装置209は、互いに離れている2つの制限体212および213を有し、各々はねじ結合部210および211を介してガイドレール207および上部フレーム部分203に配置される。基材キャリアー構成要素での配置条件において、2つの制限体212および213は、お互いに対して接触すること不可能なように2つの制限体212および213の間に隙間を形成する。
【0028】
特に図17から明らかなように、制限体213の中には円筒の切り抜き215が設けられ、上部の制限体212を通して、ねじ切りされたピンを有するねじ214が突出する。そのようなねじ構造の代わりに、他のねじ設計、例えば制限体212に一体のねじ設計で設けられても良いし、または対応するようなボルトまたは同様のものが考慮されても良い。基本的な観点は、単にねじピンが切り抜き215によってその自由移動が制限されることであって、ねじ214はある程度の移動の後、下部の制限体213に当たり、ガイドレール207と上部フレーム部分203の相対的な動きを制限する。
【図面の簡単な説明】
【0029】
【図1】第1の基材キャリアーの側面図である。
【図2】図1の基材キャリアーのガイドレールのベアリングの3次元図である。
【図3】図2のベアリングの平面図である。
【図4】図3の断面線A−Aに沿った断面図である。
【図5】図2〜4のベアリングの側面図である。
【図6】別の基材キャリアーの部分側面図である。
【図7】図6の基材キャリアーのピボットベアリングの3次元図である。
【図8】図7のピボットベアリングの平面図である。
【図9】図8の断面線A−Aに沿った断面図である。
【図10】図6の基材キャリアーのローラーベアリングの3次元図である。
【図11】図10のベアリングの平面図である。
【図12】図11のローラーベアリングの断面線A−Aに沿った断面図である。
【図13】図10〜12のローラーベアリングの側面図である。
【図14】別の基材キャリアーの部分側面図である。
【図15】図14の基材キャリアーの動き制限装置の3次元図である。
【図16】図15の動き制限装置の平面図である。
【図17】図16の動き制限装置の断面線A−Aに沿った断面図である。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
基材をその上またはそこに配置することが出来る基材キャリアー(1,100,200)を有する、真空チャンバーを通して前記基材を搬送する装置、特にコーティングマシンであって、
前記基材キャリアーは、該基材キャリアーの少なくとも片側に沿って延びる少なくとも1つのガイドレール(7,107,207)を有し、
前記ガイドレールは1つまたはほんの数個の離間ベアリングによって前記基材キャリアーから距離を保たれていることを特徴とする装置。
【請求項2】
前記ガイドレール(7,107,207)は長手方向に長手方向側面に沿って配置されている、請求項1記載の装置。
【請求項3】
前記基材キャリアー(1,100,200)は、平らで、板状、円盤状、またはフレーム状の形状を有し、その上またはそこに大きな面の平らな基材、特にガラス基材を取り付け可能である、請求項1または2記載の装置。
【請求項4】
前記ガイドレール(7,107,207)は、前記基材キャリアーの中央または中央付近に取り付けられている、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の装置。
【請求項5】
前記軸のまたは中央のベアリング(6,106)は、固定または可動のベアリング、特にピボットベアリングである、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の装置。
【請求項6】
前記ピボットベアリング(106)の回転軸は、前記基材キャリアーの面内に設けられ、および/または前記基材キャリアーの側面に実質直角に軸合わせされている、請求項5に記載の装置。
【請求項7】
前記ピボットベアリング(106)は、少なくとも1つ、好ましくは2つの回転可能なプラスチック製のベアリングブロック(112、115)、特にはPEEK製のブロック、および/または軸(114)、好ましくはステンレス鋼製の軸を含む、請求項5または6記載の装置。
【請求項8】
前記固定ベアリング(6)は、ねじ結合部(10,11)および/または中間ブロック(9)によって実現される、請求項5記載の装置。
【請求項9】
前記軸のまたは中央のベアリング(6,106)は、唯一のベアリングである、請求項1乃至8のいずれか1項に記載の装置。
【請求項10】
前記軸のまたは中央のベアリング(6,106)の他に1つまたはそれ以上の側方のベアリング(109)、特に可動ベアリングが設けられている、請求項1乃至8のいずれか1項に記載の装置。
【請求項11】
前記可動ベアリング(109)はボールまたはローラーベアリングであって、特に前記基材キャリアーの長手方向側面に平行な回転軸を有し、該ベアリングは、好ましくは前記軸のまたは中央のピボットベアリングと連携して動作する、請求項10記載の装置。
【請求項12】
その側面に前記ガイドレールが配置される前記基材キャリアーは、特に前記軸のまたは中央の固定ベアリングと共に板バネのように動作する弾性材、特に弾性金属板(103)を有する、請求項1乃至11のいずれか1項に記載の装置。
【請求項13】
前記ガイドレールおよび/または基材キャリアーは、特に前記基材キャリアーに対する前記ガイドレール端の相互の動きを制限する、回転または移動の制限装置(122,209)を有する、請求項1乃至12のいずれか1項に記載の装置。
【請求項14】
前記回転または移動の制限装置は、別体部品(209)として設計され、または前記ベアリング(109)と一体化された、請求項13記載の装置。
【請求項15】
前記回転または移動の制限装置は、前記基材キャリアーまたは前記ガイドレールに設けられたピン(214)と、該ピンと対向してそれを囲むように前記ガイドレールまたは前記基材キャリアーに設けられた切り抜き(215)または窪みを有する本体とを有し、前記ピンが前記切り抜きまたは窪みの中で制限された移動を実行可能である、請求項13または14記載の装置。
【請求項16】
前記回転または移動の制限装置は、ベアリング部分の動きを制限する2つの要素(122)で構成されている、請求項13または14記載の装置。
【請求項17】
前記ガイドレール(7,107,207)は、磁石であるか、または1つまたはそれ以上の磁石を含む、請求項1乃至16のいずれか1項に記載の装置。
【請求項1】
基材をその上またはそこに配置することが出来る基材キャリアー(1,100,200)を有する、真空チャンバーを通して前記基材を搬送する装置、特にコーティングマシンであって、
前記基材キャリアーは、該基材キャリアーの少なくとも片側に沿って延びる少なくとも1つのガイドレール(7,107,207)を有し、
前記ガイドレールは1つまたはほんの数個の離間ベアリングによって前記基材キャリアーから距離を保たれていることを特徴とする装置。
【請求項2】
前記ガイドレール(7,107,207)は長手方向に長手方向側面に沿って配置されている、請求項1記載の装置。
【請求項3】
前記基材キャリアー(1,100,200)は、平らで、板状、円盤状、またはフレーム状の形状を有し、その上またはそこに大きな面の平らな基材、特にガラス基材を取り付け可能である、請求項1または2記載の装置。
【請求項4】
前記ガイドレール(7,107,207)は、前記基材キャリアーの中央または中央付近に取り付けられている、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の装置。
【請求項5】
前記軸のまたは中央のベアリング(6,106)は、固定または可動のベアリング、特にピボットベアリングである、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の装置。
【請求項6】
前記ピボットベアリング(106)の回転軸は、前記基材キャリアーの面内に設けられ、および/または前記基材キャリアーの側面に実質直角に軸合わせされている、請求項5に記載の装置。
【請求項7】
前記ピボットベアリング(106)は、少なくとも1つ、好ましくは2つの回転可能なプラスチック製のベアリングブロック(112、115)、特にはPEEK製のブロック、および/または軸(114)、好ましくはステンレス鋼製の軸を含む、請求項5または6記載の装置。
【請求項8】
前記固定ベアリング(6)は、ねじ結合部(10,11)および/または中間ブロック(9)によって実現される、請求項5記載の装置。
【請求項9】
前記軸のまたは中央のベアリング(6,106)は、唯一のベアリングである、請求項1乃至8のいずれか1項に記載の装置。
【請求項10】
前記軸のまたは中央のベアリング(6,106)の他に1つまたはそれ以上の側方のベアリング(109)、特に可動ベアリングが設けられている、請求項1乃至8のいずれか1項に記載の装置。
【請求項11】
前記可動ベアリング(109)はボールまたはローラーベアリングであって、特に前記基材キャリアーの長手方向側面に平行な回転軸を有し、該ベアリングは、好ましくは前記軸のまたは中央のピボットベアリングと連携して動作する、請求項10記載の装置。
【請求項12】
その側面に前記ガイドレールが配置される前記基材キャリアーは、特に前記軸のまたは中央の固定ベアリングと共に板バネのように動作する弾性材、特に弾性金属板(103)を有する、請求項1乃至11のいずれか1項に記載の装置。
【請求項13】
前記ガイドレールおよび/または基材キャリアーは、特に前記基材キャリアーに対する前記ガイドレール端の相互の動きを制限する、回転または移動の制限装置(122,209)を有する、請求項1乃至12のいずれか1項に記載の装置。
【請求項14】
前記回転または移動の制限装置は、別体部品(209)として設計され、または前記ベアリング(109)と一体化された、請求項13記載の装置。
【請求項15】
前記回転または移動の制限装置は、前記基材キャリアーまたは前記ガイドレールに設けられたピン(214)と、該ピンと対向してそれを囲むように前記ガイドレールまたは前記基材キャリアーに設けられた切り抜き(215)または窪みを有する本体とを有し、前記ピンが前記切り抜きまたは窪みの中で制限された移動を実行可能である、請求項13または14記載の装置。
【請求項16】
前記回転または移動の制限装置は、ベアリング部分の動きを制限する2つの要素(122)で構成されている、請求項13または14記載の装置。
【請求項17】
前記ガイドレール(7,107,207)は、磁石であるか、または1つまたはそれ以上の磁石を含む、請求項1乃至16のいずれか1項に記載の装置。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【公開番号】特開2007−261814(P2007−261814A)
【公開日】平成19年10月11日(2007.10.11)
【国際特許分類】
【外国語出願】
【出願番号】特願2007−68640(P2007−68640)
【出願日】平成19年3月16日(2007.3.16)
【出願人】(506136287)アプリート マテリアールス ゲーエムベーハー ウント コー. カーゲー (5)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成19年10月11日(2007.10.11)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2007−68640(P2007−68640)
【出願日】平成19年3月16日(2007.3.16)
【出願人】(506136287)アプリート マテリアールス ゲーエムベーハー ウント コー. カーゲー (5)
【Fターム(参考)】
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