吸着水分測定方法
【課題】ガラス基板の表面に吸着した水分量を簡便に測定することができる吸着水分測定方法を提供すること。
【解決手段】ガラス基板の表面に吸着した水分量を測定するための方法であって、通過する赤外光の空気中行程長が略同一となる態様で、異なる枚数毎および／または異なる厚さ毎にガラス基板を設置して複数の検査用ケースを構成する設置工程と、検査用ケースのそれぞれについて異なる２つの湿度条件下での通過する赤外光の吸収を測定する測定工程と、検査用ケースから少なくとも２つ以上を選択し、選択したものについて測定工程を通じて測定されたそれぞれの湿度条件下での赤外光吸収の差を算出する第１算出工程と、第１算出工程で算出した赤外光吸収の差に基づき、異なる湿度条件下における赤外光吸収の差を算出する第２算出工程とを含むものである。
【解決手段】ガラス基板の表面に吸着した水分量を測定するための方法であって、通過する赤外光の空気中行程長が略同一となる態様で、異なる枚数毎および／または異なる厚さ毎にガラス基板を設置して複数の検査用ケースを構成する設置工程と、検査用ケースのそれぞれについて異なる２つの湿度条件下での通過する赤外光の吸収を測定する測定工程と、検査用ケースから少なくとも２つ以上を選択し、選択したものについて測定工程を通じて測定されたそれぞれの湿度条件下での赤外光吸収の差を算出する第１算出工程と、第１算出工程で算出した赤外光吸収の差に基づき、異なる湿度条件下における赤外光吸収の差を算出する第２算出工程とを含むものである。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着水分測定方法に関し、より詳細には、赤外光を透過してガラス基板の表面に付着した水分を測定する吸着水分測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、生産現場や商品保管庫等における空気中の化学物質がガラス基板の表面に吸着すると、かかる吸着物質が製造工程のプロセスに作用し、品質に悪影響を与える虞れがある。ところで、ガラス基板の表面における化学物質の吸着においては、ガラス基板の表面における水分吸着量が大きく影響することが知られている。つまり、ガラス基板の表面に水分が吸着することで、表面の物理的・化学的特性が変化し、これにより吸着する化学物質の種類や量が変化する。このようにガラス基板の表面に吸着する水分は、ガラス基板の表面に吸着する汚染物質（化学物質）の挙動に影響する重要なファクターである。
【０００３】
一方、水分子は、赤外領域の特定波長（約１．２マイクロメートル、約１．４５マイクロメートル、約１．９４マイクロメートル）を吸収する性質を有していることが知られている。そこで、かかる性質を利用する赤外線水分計が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開平６−２８８９０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、上述したような赤外線水分計は、測定対象物のいわゆるパーセントオーダー（１００分の１単位）の水分濃度を測定対象としており、ガラス基板に吸着した水分量の測定には感度が十分でなかった。またガラス基板の表面の吸着水分量を測定する場合、空気中の水分（水蒸気）も同時に測定してしまうために、ガラス基板の表面に吸着した水分と空気中の水分との切り分けができず、これによりガラス基板の表面に吸着した水分量を測定するには十分ではなかった。これにより、ガラス基板の表面に吸着する水分量を測定するための簡便な方法が求められている。
【０００６】
本発明は、上記実情に鑑みて、ガラス基板の表面に吸着した水分量を簡便に測定することができる吸着水分測定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の請求項１に係る吸着水分測定方法は、ガラス基板の表面に吸着した水分量を測定するための方法であって、通過する赤外光の空気中行程長が略同一となる態様で、異なる枚数毎および／または異なる厚さ毎にガラス基板を設置して複数の検査用ケースを構成する設置工程と、前記設置工程で構成した検査用ケースのそれぞれについて異なる２つの湿度条件下での通過する赤外光の吸収を測定する測定工程と、前記設置工程で構成した検査用ケースから少なくとも２つ以上を選択し、選択した検査用ケースについて前記測定工程を通じて測定されたそれぞれの湿度条件下での赤外光吸収の差を算出する第１算出工程と、前記第１算出工程で算出した赤外光吸収の差に基づき、異なる湿度条件下における赤外光吸収の差を算出する第２算出工程とを含むことを特徴とする。
【０００８】
また、本発明の請求項２に係る吸着水分測定方法は、上述した請求項１において、前記測定工程における異なる２つの湿度条件下のうち一方は、十分に低い水分含有濃度を有する乾燥条件下にしたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の吸着水分測定方法によれば、設置工程において通過する赤外光の空気中行程長が略同一となる態様で、異なる枚数毎および／または異なる厚さ毎にガラス基板を設置して複数の検査用ケースを構成し、測定工程において設置工程で構成した検査用ケースのそれぞれについて異なる２つの湿度条件下での通過する赤外光の吸収を測定し、第１算出工程において設置工程で構成した検査用ケースから少なくとも２つ以上を選択し、選択した検査用ケースについて測定工程を通じて測定されたそれぞれの湿度条件下での赤外光吸収の差を算出し、第２算出工程において第１算出工程で算出した赤外光吸収の差に基づき、異なる湿度条件下における赤外光吸収の差を算出するので、赤外光吸収の差を数倍に増幅して検出することができ、これによりガラス基板の表面に吸着した水分量を良好な感度で、かつ空気中の水分の影響を除して測定することができる。従って、ガラス基板の表面に吸着した水分量を簡便に測定することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に添付図面を参照して、本発明に係る吸着水分測定方法の好適な実施の形態について詳細に説明する。
【００１１】
＜実施の形態１＞
本発明の実施の形態１における吸着水分測定方法においては、反射光式赤外線水分計を用いた場合について説明する。ここで、反射光式赤外線水分計は、赤外光の発光部と受光部とが一体になったものと、それぞれが別になったものとがある。いずれの場合でも測定可能であるが、本実施の形態１では発光部と受光部とが一体になったものを例示して説明する。
【００１２】
本実施の形態１における吸着水分測定方法は、設置工程と、測定工程と、第１算出工程と、第２算出工程とを含むものである。
【００１３】
設置工程は、通過する赤外光の空気中行程長が略同一となる態様で、異なる枚数毎および／または異なる厚さ毎にガラス基板を設置して複数の検査用ケースを構成するものである。図１〜図４のそれぞれには、設置工程により構成される検査用ケースＡ〜Ｄを示している。
【００１４】
図１の例では、反射光式赤外線水分計を構成する発光・受光部１から距離Ｌａが空気層となるように厚みがＬｇのガラス基板１０を１枚設置して検査用ケースＡを構成してある。このガラス基板１０の表面、すなわち発光・受光部１に対向する面には水分が吸着して厚みがＬｗの吸着水分層１１が形成されるものとする。一方、ガラス基板１０の裏面、すなわち発光・受光部１を設置した側とは反対側の面には、例えばアルミ蒸着等を施すことにより反射層１２が形成してある。ここで、反射層１２は、必ずしもガラス基板１０の裏面に形成する必要はないが、ガラス基板１０と反射層１２との材質の違いによる水分吸着挙動の誤差を生じさせないためには反射層１２をガラス基板１０の裏面に直接形成することが望ましい。つまり、図１では、通過する赤外光の空気中行程長が２×Ｌａとなる態様で、１枚のガラス基板１０を設置して構成された検査用ケースＡを示している。
【００１５】
図２の例では、反射光式赤外線水分計を構成する発光・受光部１から距離Ｌ１が空気層となるように厚みがＬｇのガラス基板１３を１枚設置するとともに、このガラス基板１３から距離Ｌ２が空気層となるように厚みがＬｇのガラス基板１４を１枚設置して検査用ケースＢを構成してある。ガラス基板１４の表面および裏面、並びにガラス基板１４の表面には水分が吸着して厚みがＬｗの吸着水分層１５，１６，１７が形成されるものとする。一方、ガラス基板１４の裏面には、例えばアルミ蒸着等を施すことにより反射層１８が形成してある。ここで、反射層１８は、必ずしもガラス基板１４の裏面に形成する必要はないが、ガラス基板１４と反射層１８との材質の違いによる水分吸着挙動の誤差を生じさせないためには反射層１８をガラス基板１４の裏面に直接形成することが望ましい。また、距離Ｌ１と距離Ｌ２とは、互いに加算すると距離Ｌａになるような大きさである。つまり、図２では、通過する赤外光の空気中行程長が２×Ｌａとなる態様で、２枚のガラス基板１３，１４を設置して構成された検査用ケースＢを示している。
【００１６】
図３の例では、反射光式赤外線水分計を構成する発光・受光部１から距離Ｌ３が空気層となるように厚みがＬｇのガラス基板１９を１枚設置するとともに、このガラス基板１９から距離Ｌ４が空気層となるように厚みがＬｇのガラス基板２０を１枚設置し、更にこのガラス基板２０から距離Ｌ５が空気層となるように厚みがＬｇのガラス基板２１を１枚設置して検査用ケースＣを構成してある。ガラス基板１９，２０の表面および裏面、並びにガラス基板２１の表面には水分が吸着して厚みがＬｗの吸着水分層２２，２３，２４，２５，２６が形成されるものとする。一方、ガラス基板２１の裏面には、例えばアルミ蒸着等を施すことにより反射層２７が形成してある。ここで、反射層２７は、必ずしもガラス基板２１の裏面に形成する必要はないが、ガラス基板２１と反射層２７との材質の違いによる水分吸着挙動の誤差を生じさせないためには反射層２７をガラス基板２１の裏面に直接形成することが望ましい。また、距離Ｌ３と距離Ｌ４と距離Ｌ５とは、加算すると距離Ｌａになるような大きさである。つまり、図３では、通過する赤外光の空気中行程長が２×Ｌａとなる態様で、３枚のガラス基板１９，２０，２１を設置して構成された検査用ケースＣを示している。
【００１７】
図４の例では、反射光式赤外線水分計を構成する発光・受光部１から距離Ｌａが空気層となるように厚みが３×Ｌｇのガラス基板２８を１枚設置して検査用ケースＤを構成してある。このガラス基板２８の表面、すなわち発光・受光部１に対向する面には水分が吸着して厚みがＬｗの吸着水分層２９が形成されるものとする。一方、ガラス基板２８の裏面、すなわち発光・受光部１を設置した側とは反対側の面には、例えばアルミ蒸着等を施すことにより反射層３０が形成してある。ここで、反射層３０は、必ずしもガラス基板２８の裏面に形成する必要はないが、ガラス基板２８と反射層３０との材質の違いによる水分吸着挙動の誤差を生じさせないためには反射層３０をガラス基板２８の裏面に直接形成することが望ましい。つまり、図４では、通過する赤外光の空気中行程長が２×Ｌａとなる態様で、厚みが図１〜図３に例示のものよりも大きい１枚のガラス基板２８を設置して構成された検査用ケースＤを示している。
【００１８】
以上説明したような設置工程で構成した検査用ケースＡ〜Ｄに対して発光・受光部１から照射した赤外光は、反射層１２，１８，２７，３０で反射されて再び発光・受光部１に戻るまでに空気中の水分、ガラス表面に吸着した水分、ガラス基板２８の内部により吸収・減衰されることになる。図１〜図４のそれぞれにおいて、発光・受光部１から照射され、反射層１２，１８，２７，３０で反射して再び発光・受光部１に戻るまでの間における空気中、ガラス基板１０，１３，１４，１９〜２１，２８の吸着水分層１１，１５〜１７，２２〜２６，２９、ガラス基板１０，１３，１４，１９〜２１，２８の内部のそれぞれの行程は図５に示す通りである。
【００１９】
測定行程は、設置工程で構成した検査用ケースＡ〜Ｄのそれぞれについて異なる２つの湿度条件下での通過する赤外光の吸収を測定するものである。ここで、異なる２つの湿度条件として「湿度条件１」および「湿度条件２」とする。かかる湿度条件のうち一方は、十分に低い水分含有濃度を有する乾燥条件下であることが好ましい。
【００２０】
湿度条件１での検査用ケースＡ〜Ｄの赤外光の吸収の測定結果は、図６のようになる。ここで、Ａa1は湿度条件１における空気層の赤外光の吸収、Ａw1は湿度条件１における吸着水分層の赤外光の吸収を示し、Ａｇは湿度条件１におけるガラス基板１０，１３，１４，１９〜２１，２８の内部の赤外光の吸収を示している。尚、ガラス基板１０，１３，１４，１９〜２１，２８の内部の赤外光の吸収は湿度に依存しないため、Ａｇとしている。
【００２１】
湿度条件２での検査用ケースＡ〜Ｄの赤外光の吸収の測定結果は、図７のようになる。ここで、Ａa2は湿度条件２における空気層の赤外光の吸収、Ａw2は湿度条件２における吸着水分層の赤外光の吸収を示し、Ａｇは湿度条件２におけるガラス基板１０，１３，１４，１９〜２１，２８の内部の赤外光の吸収を示している。尚、ガラス基板１０，１３，１４，１９〜２１，２８の内部の赤外光の吸収は湿度に依存しないため、Ａｇとしている。
【００２２】
第１測定工程は、設置工程で構成した検査用ケースＡ〜Ｄから少なくとも２つ以上を選択し、選択した検査用ケースＡ〜Ｄについて測定工程を通じて測定されたそれぞれの湿度条件下での赤外光吸収の差を算出するものである。本実施の形態１における第１測定工程では、検査用ケースＡと検査用ケースＢとを選択し、選択した検査用ケースＡ，Ｂについて測定工程を通じて測定された湿度条件１および湿度条件２での赤外光吸収の差を算出するものとする。湿度条件１および湿度条件２における検査用ケースＡと検査用ケースＢとの赤外光吸収の差はそれぞれ下記式（１）および（２）のようになる。
【００２３】
式（１） 湿度条件１での差：（４×Ａw1）＋（２×Ａｇ）
【００２４】
式（２） 湿度条件２での差：（４×Ａw2）＋（２×Ａｇ）
【００２５】
第２算出工程は、第１算出工程で算出した赤外光吸収の差に基づき、異なる湿度条件下における赤外光吸収の差を算出するものである。すなわち、式（２）と式（１）との差を算出するものである。式（２）と式（１）との差は、下記式（３）のようになる。
【００２６】
式（３） 式（２）−式（１）：４×（Ａw2−Ａw1）
【００２７】
上記式（３）により、湿度条件２と湿度条件１との異なる湿度条件における吸着水分層の赤外光吸収差（Ａw2−Ａw1）が４倍に増幅されて検出できることが理解される。
【００２８】
以上説明したように、本発明の実施の形態１における吸着水分測定方法によれば、設置工程において通過する赤外光の空気中行程長が略同一となる態様で、異なる枚数毎および／または異なる厚さ毎にガラス基板１０，１３，１４，１９〜２１，２８を設置して複数の検査用ケースＡ〜Ｄを構成し、測定工程において設置工程で構成した検査用ケースＡ〜Ｄのそれぞれについて異なる２つの湿度条件下での通過する赤外光の吸収を測定し、第１算出工程において設置工程で構成した検査用ケースＡ〜Ｄから少なくとも２つ以上を選択し、選択した検査用ケースについて測定工程を通じて測定されたそれぞれの湿度条件下での赤外光吸収の差を算出し、第２算出工程において第１算出工程で算出した赤外光吸収の差に基づき、異なる湿度条件下における赤外光吸収の差を算出するので、赤外光吸収の差を数倍に増幅して検出することができ、これによりガラス基板１０，１３，１４，１９〜２１，２８の表面に吸着した水分量を良好な感度で、かつ空気中の水分の影響を除して測定することができる。従って、ガラス基板１０，１３，１４，１９〜２１，２８の表面に吸着した水分量を簡便に測定することができる。
【００２９】
上記吸着水分測定方法において、測定工程における異なる２つの湿度条件下のうち一方は、十分に低い水分含有濃度を有する乾燥条件下にしたので、測定精度の向上を図ることができる。
【００３０】
＜実施の形態２＞
本発明の実施の形態２における吸着水分測定方法においては、透過光式赤外線水分計を用いた場合について説明する。ここで、透過光式赤外線水分計は、赤外光の発光部と受光部とを対象物（ガラス基板）を介して反対側に設置したものである。
【００３１】
本実施の形態２における吸着水分測定方法は、設置工程と、測定工程と、第１算出工程と、第２算出工程とを含むものである。
【００３２】
設置工程は、通過する赤外光の空気中行程長が略同一となる態様で、異なる枚数毎および／または異なる厚さ毎にガラス基板を設置して複数の検査用ケースを構成するものである。図８〜図１１のそれぞれには、設置工程により構成される検査用ケースＥ〜Ｈを示している。
【００３３】
図８の例では、透過光式赤外線水分計を構成する発光部２および受光部３から距離Ｌ１および距離Ｌ２が空気層となるように厚みがＬｇのガラス基板４０を１枚設置して検査用ケースＥを構成してある。このガラス基板４０の表面および裏面には水分が吸着して厚みがＬｗの吸着水分層４１，４２が形成されるものとする。また、距離Ｌ１と距離Ｌ２とは、互いに加算すると距離Ｌａになるような大きさである。つまり、図８では、通過する赤外光の空気中行程長がＬａとなる態様で、１枚のガラス基板４０を設置して構成された検査用ケースＥを示している。
【００３４】
図９の例では、透過光式赤外線水分計を構成する発光部２から距離Ｌ３が空気層となるように厚みがＬｇのガラス基板４３を１枚設置するとともに、このガラス基板４３から距離Ｌ４が空気層で、しかも受光部３から距離Ｌ５が空気層となるように厚みがＬｇのガラス基板４４を１枚設置して検査用ケースＦを構成してある。ガラス基板４３，４４の表面および裏面には水分が吸着して厚みがＬｗの吸着水分層４５〜４８が形成されるものとする。また、距離Ｌ３と距離Ｌ４と距離Ｌ５は、互いに加算すると距離Ｌａになるような大きさである。つまり、図９では、通過する赤外光の空気中行程長がＬａとなる態様で、２枚のガラス基板４３，４４を設置して構成された検査用ケースＦを示している。
【００３５】
図１０の例では、透過光式赤外線水分計を構成する発光部２から距離Ｌ６が空気層となるように厚みがＬｇのガラス基板４９を１枚設置するとともに、このガラス基板４９から距離Ｌ７が空気層となるように厚みがＬｇのガラス基板５０を１枚設置し、更にこのガラス基板５０から距離Ｌ８が空気層で、しかも受光部３から距離Ｌ９が空気層となるように厚みがＬｇのガラス基板５１を１枚設置して検査用ケースＧを構成してある。ガラス基板４９〜５１の表面および裏面には水分が吸着して厚みがＬｗの吸着水分層５２〜５７が形成されるものとする。また、距離Ｌ６、距離Ｌ７、距離Ｌ８および距離Ｌ９は、互いに加算すると距離Ｌａになるような大きさである。つまり、図１０では、通過する赤外光の空気中行程長がＬａとなる態様で、３枚のガラス基板４９〜５１を設置して構成された検査用ケースＧを示している。
【００３６】
図１１の例では、透過光式赤外線水分計を構成する発光部２および受光部３から距離Ｌ１０および距離Ｌ１１が空気層となるように厚みが３×Ｌｇのガラス基板５８を１枚設置して検査用ケースＨを構成してある。このガラス基板５８の表面および裏面には水分が吸着して厚みがＬｗの吸着水分層５９，６０が形成されるものとする。また、距離Ｌ１０と距離Ｌ１１とは、互いに加算すると距離Ｌａになるような大きさである。つまり、図１１では、通過する赤外光の空気中行程長がＬａとなる態様で、厚みが図８〜図１０に例示のものよりも大きい１枚のガラス基板５８を設置して構成された検査用ケースＨを示している。
【００３７】
以上説明したような設置工程で構成した検査用ケースＥ〜Ｈに対して発光部２から照射した赤外光は対象物である空気層、吸着水分層４１，４２，４５〜４８，５２〜５７，５９，６０およびガラス基板４０，４３，４４，４９〜５１，５８を透過して受光部３に到達するまでに空気中の水分、ガラス表面に吸着した水分、ガラス基板４０，４３，４４，４９〜５１，５８の内部により吸収・減衰されることになる。図８〜図１１のそれぞれにおいて、発光部２から照射され受光部３に到達するまでの間における空気中、ガラス基板４０，４３，４４，４９〜５１，５８の表面の吸着水分層４１，４２，４５〜４８，５２〜５７，５９，６０、ガラス基板４０，４３，４４，４９〜５１，５８の内部のそれぞれの行程は図１２に示す通りである。
【００３８】
測定行程は、設置工程で構成した検査用ケースＥ〜Ｈのそれぞれについて異なる２つの湿度条件下での通過する赤外光の吸収を測定するものである。ここで、異なる２つの湿度条件として「湿度条件１」および「湿度条件２」とする。かかる湿度条件のうち一方は、十分に低い水分含有濃度を有する乾燥条件下であることが好ましい。
【００３９】
湿度条件１での検査用ケースＥ〜Ｈの赤外光の吸収の測定結果は、図１３のようになる。ここで、Ａa1は湿度条件１における空気層の赤外光の吸収、Ａw1は湿度条件１における吸着水分層４１，４２，４５〜４８，５２〜５７，５９，６０の赤外光の吸収を示し、Ａｇは湿度条件１におけるガラス基板４０，４３，４４，４９〜５１，５８の内部の赤外光の吸収を示している。尚、ガラス基板４０，４３，４４，４９〜５１，５８の内部の赤外光の吸収は湿度に依存しないため、Ａｇとしている。
【００４０】
湿度条件２での検査用ケースＥ〜Ｈの赤外光の吸収の測定結果は、図１４のようになる。ここで、Ａa2は湿度条件２における空気層の赤外光の吸収、Ａw2は湿度条件２における吸着水分層４１，４２，４５〜４８，５２〜５７，５９，６０の赤外光の吸収を示し、Ａｇは湿度条件２におけるガラス基板４０，４３，４４，４９〜５１，５８の内部の赤外光の吸収を示している。尚、ガラス基板４０，４３，４４，４９〜５１，５８の内部の赤外光の吸収は湿度に依存しないため、Ａｇとしている。
【００４１】
第１測定工程は、設置工程で構成した検査用ケースＥ〜Ｈから少なくとも２つ以上を選択し、選択した検査用ケースＥ〜Ｈについて測定工程を通じて測定されたそれぞれの湿度条件下での赤外光吸収の差を算出するものである。本実施の形態２における第１測定工程では、検査用ケースＥと検査用ケースＦとを選択し、選択した検査用ケースＥ，Ｆについて測定工程を通じて測定された湿度条件１および湿度条件２での赤外光吸収の差を算出するものとする。湿度条件１および湿度条件２における検査用ケースＥと検査用ケースＦとの赤外光吸収の差はそれぞれ下記式（４）および（５）のようになる。
【００４２】
式（４） 湿度条件１での差：（２×Ａw1）＋Ａｇ
【００４３】
式（５） 湿度条件２での差：（２×Ａw2）＋Ａｇ
【００４４】
第２算出工程は、第１算出工程で算出した赤外光吸収の差に基づき、異なる湿度条件下における赤外光吸収の差を算出するものである。すなわち、式（５）と式（４）との差を算出するものである。式（５）と式（４）との差は、下記式（６）のようになる。
【００４５】
式（６） 式（５）−式（４）：２×（Ａw2−Ａw1）
【００４６】
上記式（６）により、湿度条件２と湿度条件１との異なる湿度条件における吸着水分層４１，４２，４５〜４８，５２〜５７，５９，６０の赤外光吸収差（Ａw2−Ａw1）が２倍に増幅されて検出できることが理解される。
【００４７】
以上説明したように、本発明の実施の形態２における吸着水分測定方法によれば、設置工程において通過する赤外光の空気中行程長が略同一となる態様で、異なる枚数毎および／または異なる厚さ毎にガラス基板４０，４３，４４，４９〜５１，５８を設置して複数の検査用ケースＥ〜Ｈを構成し、測定工程において設置工程で構成した検査用ケースＥ〜Ｈのそれぞれについて異なる２つの湿度条件下での通過する赤外光の吸収を測定し、第１算出工程において設置工程で構成した検査用ケースＥ〜Ｈから少なくとも２つ以上を選択し、選択した検査用ケースについて測定工程を通じて測定されたそれぞれの湿度条件下での赤外光吸収の差を算出し、第２算出工程において第１算出工程で算出した赤外光吸収の差に基づき、異なる湿度条件下における赤外光吸収の差を算出するので、赤外光吸収の差を数倍に増幅して検出することができ、これによりガラス基板４０，４３，４４，４９〜５１，５８の表面に吸着した水分量を良好な感度で、かつ空気中の水分の影響を除して測定することができる。従って、ガラス基板４０，４３，４４，４９〜５１，５８の表面に吸着した水分量を簡便に測定することができる。
【００４８】
上記吸着水分測定方法において、測定工程における異なる２つの湿度条件下のうち一方は、十分に低い水分含有濃度を有する乾燥条件下にしたので、測定精度の向上を図ることができる。
【００４９】
以上、本発明の好適な実施の形態１および実施の形態２について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。すなわち、反射光式赤外線水分計または透過光式赤外線水分計を用いる場合の説明に用いた図（図１〜図４、図８〜図１１）では、ガラス基板は１〜３枚まで、厚さの大きいガラス基板は、３倍の厚さの場合について説明したが、本発明では、これら以上の枚数や厚さのガラス基板を用いても構わない。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
以上のように、本発明に係る吸着水分測定方法は、ガラス基板の表面に付着した水分を測定するのに有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】図１は、本発明の実施の形態１における吸着水分測定方法の設置工程により構成される検査用ケースを示した説明図である。
【図２】図２は、本発明の実施の形態１における吸着水分測定方法の設置工程により構成される検査用ケースを示した説明図である。
【図３】図３は、本発明の実施の形態１における吸着水分測定方法の設置工程により構成される検査用ケースを示した説明図である。
【図４】図４は、本発明の実施の形態１における吸着水分測定方法の設置工程により構成される検査用ケースを示した説明図である。
【図５】図５は、本発明の実施の形態１における反射光式赤外線水分計の赤外光の行程結果を示す図表である。
【図６】図６は、本発明の実施の形態１における吸着水分測定方法の測定行程による湿度条件１での検査用ケースの赤外光の吸収の測定結果を示す図表である。
【図７】図７は、本発明の実施の形態１における吸着水分測定方法の測定行程による湿度条件２での検査用ケースの赤外光の吸収の測定結果を示す図表である。
【図８】図８は、本発明の実施の形態２における吸着水分測定方法の設置工程により構成される検査用ケースを示した説明図である。
【図９】図９は、本発明の実施の形態２における吸着水分測定方法の設置工程により構成される検査用ケースを示した説明図である。
【図１０】図１０は、本発明の実施の形態２における吸着水分測定方法の設置工程により構成される検査用ケースを示した説明図である。
【図１１】図１１は、本発明の実施の形態２における吸着水分測定方法の設置工程により構成される検査用ケースを示した説明図である。
【図１２】図１２は、本発明の実施の形態２における透過光式赤外線水分計の赤外光の行程結果を示す図表である。
【図１３】図１３は、本発明の実施の形態２における吸着水分測定方法の測定行程による湿度条件１での検査用ケースの赤外光の吸収の測定結果を示す図表である。
【図１４】図１４は、本発明の実施の形態２における吸着水分測定方法の測定行程による湿度条件２での検査用ケースの赤外光の吸収の測定結果を示す図表である。
【符号の説明】
【００５２】
１ 発光・受光部
２ 発光部
３ 受光部
１０，１３，１４，１９〜２１，２８，４０，４３，４４，４９〜５１，５８ ガラス基板
１１，１２，１５〜１７，２２〜２６，２９，３０，４１，４２，４５〜４８，５２〜５７，５９，６０ 吸着水分層
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着水分測定方法に関し、より詳細には、赤外光を透過してガラス基板の表面に付着した水分を測定する吸着水分測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、生産現場や商品保管庫等における空気中の化学物質がガラス基板の表面に吸着すると、かかる吸着物質が製造工程のプロセスに作用し、品質に悪影響を与える虞れがある。ところで、ガラス基板の表面における化学物質の吸着においては、ガラス基板の表面における水分吸着量が大きく影響することが知られている。つまり、ガラス基板の表面に水分が吸着することで、表面の物理的・化学的特性が変化し、これにより吸着する化学物質の種類や量が変化する。このようにガラス基板の表面に吸着する水分は、ガラス基板の表面に吸着する汚染物質（化学物質）の挙動に影響する重要なファクターである。
【０００３】
一方、水分子は、赤外領域の特定波長（約１．２マイクロメートル、約１．４５マイクロメートル、約１．９４マイクロメートル）を吸収する性質を有していることが知られている。そこで、かかる性質を利用する赤外線水分計が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開平６−２８８９０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、上述したような赤外線水分計は、測定対象物のいわゆるパーセントオーダー（１００分の１単位）の水分濃度を測定対象としており、ガラス基板に吸着した水分量の測定には感度が十分でなかった。またガラス基板の表面の吸着水分量を測定する場合、空気中の水分（水蒸気）も同時に測定してしまうために、ガラス基板の表面に吸着した水分と空気中の水分との切り分けができず、これによりガラス基板の表面に吸着した水分量を測定するには十分ではなかった。これにより、ガラス基板の表面に吸着する水分量を測定するための簡便な方法が求められている。
【０００６】
本発明は、上記実情に鑑みて、ガラス基板の表面に吸着した水分量を簡便に測定することができる吸着水分測定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の請求項１に係る吸着水分測定方法は、ガラス基板の表面に吸着した水分量を測定するための方法であって、通過する赤外光の空気中行程長が略同一となる態様で、異なる枚数毎および／または異なる厚さ毎にガラス基板を設置して複数の検査用ケースを構成する設置工程と、前記設置工程で構成した検査用ケースのそれぞれについて異なる２つの湿度条件下での通過する赤外光の吸収を測定する測定工程と、前記設置工程で構成した検査用ケースから少なくとも２つ以上を選択し、選択した検査用ケースについて前記測定工程を通じて測定されたそれぞれの湿度条件下での赤外光吸収の差を算出する第１算出工程と、前記第１算出工程で算出した赤外光吸収の差に基づき、異なる湿度条件下における赤外光吸収の差を算出する第２算出工程とを含むことを特徴とする。
【０００８】
また、本発明の請求項２に係る吸着水分測定方法は、上述した請求項１において、前記測定工程における異なる２つの湿度条件下のうち一方は、十分に低い水分含有濃度を有する乾燥条件下にしたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の吸着水分測定方法によれば、設置工程において通過する赤外光の空気中行程長が略同一となる態様で、異なる枚数毎および／または異なる厚さ毎にガラス基板を設置して複数の検査用ケースを構成し、測定工程において設置工程で構成した検査用ケースのそれぞれについて異なる２つの湿度条件下での通過する赤外光の吸収を測定し、第１算出工程において設置工程で構成した検査用ケースから少なくとも２つ以上を選択し、選択した検査用ケースについて測定工程を通じて測定されたそれぞれの湿度条件下での赤外光吸収の差を算出し、第２算出工程において第１算出工程で算出した赤外光吸収の差に基づき、異なる湿度条件下における赤外光吸収の差を算出するので、赤外光吸収の差を数倍に増幅して検出することができ、これによりガラス基板の表面に吸着した水分量を良好な感度で、かつ空気中の水分の影響を除して測定することができる。従って、ガラス基板の表面に吸着した水分量を簡便に測定することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に添付図面を参照して、本発明に係る吸着水分測定方法の好適な実施の形態について詳細に説明する。
【００１１】
＜実施の形態１＞
本発明の実施の形態１における吸着水分測定方法においては、反射光式赤外線水分計を用いた場合について説明する。ここで、反射光式赤外線水分計は、赤外光の発光部と受光部とが一体になったものと、それぞれが別になったものとがある。いずれの場合でも測定可能であるが、本実施の形態１では発光部と受光部とが一体になったものを例示して説明する。
【００１２】
本実施の形態１における吸着水分測定方法は、設置工程と、測定工程と、第１算出工程と、第２算出工程とを含むものである。
【００１３】
設置工程は、通過する赤外光の空気中行程長が略同一となる態様で、異なる枚数毎および／または異なる厚さ毎にガラス基板を設置して複数の検査用ケースを構成するものである。図１〜図４のそれぞれには、設置工程により構成される検査用ケースＡ〜Ｄを示している。
【００１４】
図１の例では、反射光式赤外線水分計を構成する発光・受光部１から距離Ｌａが空気層となるように厚みがＬｇのガラス基板１０を１枚設置して検査用ケースＡを構成してある。このガラス基板１０の表面、すなわち発光・受光部１に対向する面には水分が吸着して厚みがＬｗの吸着水分層１１が形成されるものとする。一方、ガラス基板１０の裏面、すなわち発光・受光部１を設置した側とは反対側の面には、例えばアルミ蒸着等を施すことにより反射層１２が形成してある。ここで、反射層１２は、必ずしもガラス基板１０の裏面に形成する必要はないが、ガラス基板１０と反射層１２との材質の違いによる水分吸着挙動の誤差を生じさせないためには反射層１２をガラス基板１０の裏面に直接形成することが望ましい。つまり、図１では、通過する赤外光の空気中行程長が２×Ｌａとなる態様で、１枚のガラス基板１０を設置して構成された検査用ケースＡを示している。
【００１５】
図２の例では、反射光式赤外線水分計を構成する発光・受光部１から距離Ｌ１が空気層となるように厚みがＬｇのガラス基板１３を１枚設置するとともに、このガラス基板１３から距離Ｌ２が空気層となるように厚みがＬｇのガラス基板１４を１枚設置して検査用ケースＢを構成してある。ガラス基板１４の表面および裏面、並びにガラス基板１４の表面には水分が吸着して厚みがＬｗの吸着水分層１５，１６，１７が形成されるものとする。一方、ガラス基板１４の裏面には、例えばアルミ蒸着等を施すことにより反射層１８が形成してある。ここで、反射層１８は、必ずしもガラス基板１４の裏面に形成する必要はないが、ガラス基板１４と反射層１８との材質の違いによる水分吸着挙動の誤差を生じさせないためには反射層１８をガラス基板１４の裏面に直接形成することが望ましい。また、距離Ｌ１と距離Ｌ２とは、互いに加算すると距離Ｌａになるような大きさである。つまり、図２では、通過する赤外光の空気中行程長が２×Ｌａとなる態様で、２枚のガラス基板１３，１４を設置して構成された検査用ケースＢを示している。
【００１６】
図３の例では、反射光式赤外線水分計を構成する発光・受光部１から距離Ｌ３が空気層となるように厚みがＬｇのガラス基板１９を１枚設置するとともに、このガラス基板１９から距離Ｌ４が空気層となるように厚みがＬｇのガラス基板２０を１枚設置し、更にこのガラス基板２０から距離Ｌ５が空気層となるように厚みがＬｇのガラス基板２１を１枚設置して検査用ケースＣを構成してある。ガラス基板１９，２０の表面および裏面、並びにガラス基板２１の表面には水分が吸着して厚みがＬｗの吸着水分層２２，２３，２４，２５，２６が形成されるものとする。一方、ガラス基板２１の裏面には、例えばアルミ蒸着等を施すことにより反射層２７が形成してある。ここで、反射層２７は、必ずしもガラス基板２１の裏面に形成する必要はないが、ガラス基板２１と反射層２７との材質の違いによる水分吸着挙動の誤差を生じさせないためには反射層２７をガラス基板２１の裏面に直接形成することが望ましい。また、距離Ｌ３と距離Ｌ４と距離Ｌ５とは、加算すると距離Ｌａになるような大きさである。つまり、図３では、通過する赤外光の空気中行程長が２×Ｌａとなる態様で、３枚のガラス基板１９，２０，２１を設置して構成された検査用ケースＣを示している。
【００１７】
図４の例では、反射光式赤外線水分計を構成する発光・受光部１から距離Ｌａが空気層となるように厚みが３×Ｌｇのガラス基板２８を１枚設置して検査用ケースＤを構成してある。このガラス基板２８の表面、すなわち発光・受光部１に対向する面には水分が吸着して厚みがＬｗの吸着水分層２９が形成されるものとする。一方、ガラス基板２８の裏面、すなわち発光・受光部１を設置した側とは反対側の面には、例えばアルミ蒸着等を施すことにより反射層３０が形成してある。ここで、反射層３０は、必ずしもガラス基板２８の裏面に形成する必要はないが、ガラス基板２８と反射層３０との材質の違いによる水分吸着挙動の誤差を生じさせないためには反射層３０をガラス基板２８の裏面に直接形成することが望ましい。つまり、図４では、通過する赤外光の空気中行程長が２×Ｌａとなる態様で、厚みが図１〜図３に例示のものよりも大きい１枚のガラス基板２８を設置して構成された検査用ケースＤを示している。
【００１８】
以上説明したような設置工程で構成した検査用ケースＡ〜Ｄに対して発光・受光部１から照射した赤外光は、反射層１２，１８，２７，３０で反射されて再び発光・受光部１に戻るまでに空気中の水分、ガラス表面に吸着した水分、ガラス基板２８の内部により吸収・減衰されることになる。図１〜図４のそれぞれにおいて、発光・受光部１から照射され、反射層１２，１８，２７，３０で反射して再び発光・受光部１に戻るまでの間における空気中、ガラス基板１０，１３，１４，１９〜２１，２８の吸着水分層１１，１５〜１７，２２〜２６，２９、ガラス基板１０，１３，１４，１９〜２１，２８の内部のそれぞれの行程は図５に示す通りである。
【００１９】
測定行程は、設置工程で構成した検査用ケースＡ〜Ｄのそれぞれについて異なる２つの湿度条件下での通過する赤外光の吸収を測定するものである。ここで、異なる２つの湿度条件として「湿度条件１」および「湿度条件２」とする。かかる湿度条件のうち一方は、十分に低い水分含有濃度を有する乾燥条件下であることが好ましい。
【００２０】
湿度条件１での検査用ケースＡ〜Ｄの赤外光の吸収の測定結果は、図６のようになる。ここで、Ａa1は湿度条件１における空気層の赤外光の吸収、Ａw1は湿度条件１における吸着水分層の赤外光の吸収を示し、Ａｇは湿度条件１におけるガラス基板１０，１３，１４，１９〜２１，２８の内部の赤外光の吸収を示している。尚、ガラス基板１０，１３，１４，１９〜２１，２８の内部の赤外光の吸収は湿度に依存しないため、Ａｇとしている。
【００２１】
湿度条件２での検査用ケースＡ〜Ｄの赤外光の吸収の測定結果は、図７のようになる。ここで、Ａa2は湿度条件２における空気層の赤外光の吸収、Ａw2は湿度条件２における吸着水分層の赤外光の吸収を示し、Ａｇは湿度条件２におけるガラス基板１０，１３，１４，１９〜２１，２８の内部の赤外光の吸収を示している。尚、ガラス基板１０，１３，１４，１９〜２１，２８の内部の赤外光の吸収は湿度に依存しないため、Ａｇとしている。
【００２２】
第１測定工程は、設置工程で構成した検査用ケースＡ〜Ｄから少なくとも２つ以上を選択し、選択した検査用ケースＡ〜Ｄについて測定工程を通じて測定されたそれぞれの湿度条件下での赤外光吸収の差を算出するものである。本実施の形態１における第１測定工程では、検査用ケースＡと検査用ケースＢとを選択し、選択した検査用ケースＡ，Ｂについて測定工程を通じて測定された湿度条件１および湿度条件２での赤外光吸収の差を算出するものとする。湿度条件１および湿度条件２における検査用ケースＡと検査用ケースＢとの赤外光吸収の差はそれぞれ下記式（１）および（２）のようになる。
【００２３】
式（１） 湿度条件１での差：（４×Ａw1）＋（２×Ａｇ）
【００２４】
式（２） 湿度条件２での差：（４×Ａw2）＋（２×Ａｇ）
【００２５】
第２算出工程は、第１算出工程で算出した赤外光吸収の差に基づき、異なる湿度条件下における赤外光吸収の差を算出するものである。すなわち、式（２）と式（１）との差を算出するものである。式（２）と式（１）との差は、下記式（３）のようになる。
【００２６】
式（３） 式（２）−式（１）：４×（Ａw2−Ａw1）
【００２７】
上記式（３）により、湿度条件２と湿度条件１との異なる湿度条件における吸着水分層の赤外光吸収差（Ａw2−Ａw1）が４倍に増幅されて検出できることが理解される。
【００２８】
以上説明したように、本発明の実施の形態１における吸着水分測定方法によれば、設置工程において通過する赤外光の空気中行程長が略同一となる態様で、異なる枚数毎および／または異なる厚さ毎にガラス基板１０，１３，１４，１９〜２１，２８を設置して複数の検査用ケースＡ〜Ｄを構成し、測定工程において設置工程で構成した検査用ケースＡ〜Ｄのそれぞれについて異なる２つの湿度条件下での通過する赤外光の吸収を測定し、第１算出工程において設置工程で構成した検査用ケースＡ〜Ｄから少なくとも２つ以上を選択し、選択した検査用ケースについて測定工程を通じて測定されたそれぞれの湿度条件下での赤外光吸収の差を算出し、第２算出工程において第１算出工程で算出した赤外光吸収の差に基づき、異なる湿度条件下における赤外光吸収の差を算出するので、赤外光吸収の差を数倍に増幅して検出することができ、これによりガラス基板１０，１３，１４，１９〜２１，２８の表面に吸着した水分量を良好な感度で、かつ空気中の水分の影響を除して測定することができる。従って、ガラス基板１０，１３，１４，１９〜２１，２８の表面に吸着した水分量を簡便に測定することができる。
【００２９】
上記吸着水分測定方法において、測定工程における異なる２つの湿度条件下のうち一方は、十分に低い水分含有濃度を有する乾燥条件下にしたので、測定精度の向上を図ることができる。
【００３０】
＜実施の形態２＞
本発明の実施の形態２における吸着水分測定方法においては、透過光式赤外線水分計を用いた場合について説明する。ここで、透過光式赤外線水分計は、赤外光の発光部と受光部とを対象物（ガラス基板）を介して反対側に設置したものである。
【００３１】
本実施の形態２における吸着水分測定方法は、設置工程と、測定工程と、第１算出工程と、第２算出工程とを含むものである。
【００３２】
設置工程は、通過する赤外光の空気中行程長が略同一となる態様で、異なる枚数毎および／または異なる厚さ毎にガラス基板を設置して複数の検査用ケースを構成するものである。図８〜図１１のそれぞれには、設置工程により構成される検査用ケースＥ〜Ｈを示している。
【００３３】
図８の例では、透過光式赤外線水分計を構成する発光部２および受光部３から距離Ｌ１および距離Ｌ２が空気層となるように厚みがＬｇのガラス基板４０を１枚設置して検査用ケースＥを構成してある。このガラス基板４０の表面および裏面には水分が吸着して厚みがＬｗの吸着水分層４１，４２が形成されるものとする。また、距離Ｌ１と距離Ｌ２とは、互いに加算すると距離Ｌａになるような大きさである。つまり、図８では、通過する赤外光の空気中行程長がＬａとなる態様で、１枚のガラス基板４０を設置して構成された検査用ケースＥを示している。
【００３４】
図９の例では、透過光式赤外線水分計を構成する発光部２から距離Ｌ３が空気層となるように厚みがＬｇのガラス基板４３を１枚設置するとともに、このガラス基板４３から距離Ｌ４が空気層で、しかも受光部３から距離Ｌ５が空気層となるように厚みがＬｇのガラス基板４４を１枚設置して検査用ケースＦを構成してある。ガラス基板４３，４４の表面および裏面には水分が吸着して厚みがＬｗの吸着水分層４５〜４８が形成されるものとする。また、距離Ｌ３と距離Ｌ４と距離Ｌ５は、互いに加算すると距離Ｌａになるような大きさである。つまり、図９では、通過する赤外光の空気中行程長がＬａとなる態様で、２枚のガラス基板４３，４４を設置して構成された検査用ケースＦを示している。
【００３５】
図１０の例では、透過光式赤外線水分計を構成する発光部２から距離Ｌ６が空気層となるように厚みがＬｇのガラス基板４９を１枚設置するとともに、このガラス基板４９から距離Ｌ７が空気層となるように厚みがＬｇのガラス基板５０を１枚設置し、更にこのガラス基板５０から距離Ｌ８が空気層で、しかも受光部３から距離Ｌ９が空気層となるように厚みがＬｇのガラス基板５１を１枚設置して検査用ケースＧを構成してある。ガラス基板４９〜５１の表面および裏面には水分が吸着して厚みがＬｗの吸着水分層５２〜５７が形成されるものとする。また、距離Ｌ６、距離Ｌ７、距離Ｌ８および距離Ｌ９は、互いに加算すると距離Ｌａになるような大きさである。つまり、図１０では、通過する赤外光の空気中行程長がＬａとなる態様で、３枚のガラス基板４９〜５１を設置して構成された検査用ケースＧを示している。
【００３６】
図１１の例では、透過光式赤外線水分計を構成する発光部２および受光部３から距離Ｌ１０および距離Ｌ１１が空気層となるように厚みが３×Ｌｇのガラス基板５８を１枚設置して検査用ケースＨを構成してある。このガラス基板５８の表面および裏面には水分が吸着して厚みがＬｗの吸着水分層５９，６０が形成されるものとする。また、距離Ｌ１０と距離Ｌ１１とは、互いに加算すると距離Ｌａになるような大きさである。つまり、図１１では、通過する赤外光の空気中行程長がＬａとなる態様で、厚みが図８〜図１０に例示のものよりも大きい１枚のガラス基板５８を設置して構成された検査用ケースＨを示している。
【００３７】
以上説明したような設置工程で構成した検査用ケースＥ〜Ｈに対して発光部２から照射した赤外光は対象物である空気層、吸着水分層４１，４２，４５〜４８，５２〜５７，５９，６０およびガラス基板４０，４３，４４，４９〜５１，５８を透過して受光部３に到達するまでに空気中の水分、ガラス表面に吸着した水分、ガラス基板４０，４３，４４，４９〜５１，５８の内部により吸収・減衰されることになる。図８〜図１１のそれぞれにおいて、発光部２から照射され受光部３に到達するまでの間における空気中、ガラス基板４０，４３，４４，４９〜５１，５８の表面の吸着水分層４１，４２，４５〜４８，５２〜５７，５９，６０、ガラス基板４０，４３，４４，４９〜５１，５８の内部のそれぞれの行程は図１２に示す通りである。
【００３８】
測定行程は、設置工程で構成した検査用ケースＥ〜Ｈのそれぞれについて異なる２つの湿度条件下での通過する赤外光の吸収を測定するものである。ここで、異なる２つの湿度条件として「湿度条件１」および「湿度条件２」とする。かかる湿度条件のうち一方は、十分に低い水分含有濃度を有する乾燥条件下であることが好ましい。
【００３９】
湿度条件１での検査用ケースＥ〜Ｈの赤外光の吸収の測定結果は、図１３のようになる。ここで、Ａa1は湿度条件１における空気層の赤外光の吸収、Ａw1は湿度条件１における吸着水分層４１，４２，４５〜４８，５２〜５７，５９，６０の赤外光の吸収を示し、Ａｇは湿度条件１におけるガラス基板４０，４３，４４，４９〜５１，５８の内部の赤外光の吸収を示している。尚、ガラス基板４０，４３，４４，４９〜５１，５８の内部の赤外光の吸収は湿度に依存しないため、Ａｇとしている。
【００４０】
湿度条件２での検査用ケースＥ〜Ｈの赤外光の吸収の測定結果は、図１４のようになる。ここで、Ａa2は湿度条件２における空気層の赤外光の吸収、Ａw2は湿度条件２における吸着水分層４１，４２，４５〜４８，５２〜５７，５９，６０の赤外光の吸収を示し、Ａｇは湿度条件２におけるガラス基板４０，４３，４４，４９〜５１，５８の内部の赤外光の吸収を示している。尚、ガラス基板４０，４３，４４，４９〜５１，５８の内部の赤外光の吸収は湿度に依存しないため、Ａｇとしている。
【００４１】
第１測定工程は、設置工程で構成した検査用ケースＥ〜Ｈから少なくとも２つ以上を選択し、選択した検査用ケースＥ〜Ｈについて測定工程を通じて測定されたそれぞれの湿度条件下での赤外光吸収の差を算出するものである。本実施の形態２における第１測定工程では、検査用ケースＥと検査用ケースＦとを選択し、選択した検査用ケースＥ，Ｆについて測定工程を通じて測定された湿度条件１および湿度条件２での赤外光吸収の差を算出するものとする。湿度条件１および湿度条件２における検査用ケースＥと検査用ケースＦとの赤外光吸収の差はそれぞれ下記式（４）および（５）のようになる。
【００４２】
式（４） 湿度条件１での差：（２×Ａw1）＋Ａｇ
【００４３】
式（５） 湿度条件２での差：（２×Ａw2）＋Ａｇ
【００４４】
第２算出工程は、第１算出工程で算出した赤外光吸収の差に基づき、異なる湿度条件下における赤外光吸収の差を算出するものである。すなわち、式（５）と式（４）との差を算出するものである。式（５）と式（４）との差は、下記式（６）のようになる。
【００４５】
式（６） 式（５）−式（４）：２×（Ａw2−Ａw1）
【００４６】
上記式（６）により、湿度条件２と湿度条件１との異なる湿度条件における吸着水分層４１，４２，４５〜４８，５２〜５７，５９，６０の赤外光吸収差（Ａw2−Ａw1）が２倍に増幅されて検出できることが理解される。
【００４７】
以上説明したように、本発明の実施の形態２における吸着水分測定方法によれば、設置工程において通過する赤外光の空気中行程長が略同一となる態様で、異なる枚数毎および／または異なる厚さ毎にガラス基板４０，４３，４４，４９〜５１，５８を設置して複数の検査用ケースＥ〜Ｈを構成し、測定工程において設置工程で構成した検査用ケースＥ〜Ｈのそれぞれについて異なる２つの湿度条件下での通過する赤外光の吸収を測定し、第１算出工程において設置工程で構成した検査用ケースＥ〜Ｈから少なくとも２つ以上を選択し、選択した検査用ケースについて測定工程を通じて測定されたそれぞれの湿度条件下での赤外光吸収の差を算出し、第２算出工程において第１算出工程で算出した赤外光吸収の差に基づき、異なる湿度条件下における赤外光吸収の差を算出するので、赤外光吸収の差を数倍に増幅して検出することができ、これによりガラス基板４０，４３，４４，４９〜５１，５８の表面に吸着した水分量を良好な感度で、かつ空気中の水分の影響を除して測定することができる。従って、ガラス基板４０，４３，４４，４９〜５１，５８の表面に吸着した水分量を簡便に測定することができる。
【００４８】
上記吸着水分測定方法において、測定工程における異なる２つの湿度条件下のうち一方は、十分に低い水分含有濃度を有する乾燥条件下にしたので、測定精度の向上を図ることができる。
【００４９】
以上、本発明の好適な実施の形態１および実施の形態２について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。すなわち、反射光式赤外線水分計または透過光式赤外線水分計を用いる場合の説明に用いた図（図１〜図４、図８〜図１１）では、ガラス基板は１〜３枚まで、厚さの大きいガラス基板は、３倍の厚さの場合について説明したが、本発明では、これら以上の枚数や厚さのガラス基板を用いても構わない。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
以上のように、本発明に係る吸着水分測定方法は、ガラス基板の表面に付着した水分を測定するのに有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】図１は、本発明の実施の形態１における吸着水分測定方法の設置工程により構成される検査用ケースを示した説明図である。
【図２】図２は、本発明の実施の形態１における吸着水分測定方法の設置工程により構成される検査用ケースを示した説明図である。
【図３】図３は、本発明の実施の形態１における吸着水分測定方法の設置工程により構成される検査用ケースを示した説明図である。
【図４】図４は、本発明の実施の形態１における吸着水分測定方法の設置工程により構成される検査用ケースを示した説明図である。
【図５】図５は、本発明の実施の形態１における反射光式赤外線水分計の赤外光の行程結果を示す図表である。
【図６】図６は、本発明の実施の形態１における吸着水分測定方法の測定行程による湿度条件１での検査用ケースの赤外光の吸収の測定結果を示す図表である。
【図７】図７は、本発明の実施の形態１における吸着水分測定方法の測定行程による湿度条件２での検査用ケースの赤外光の吸収の測定結果を示す図表である。
【図８】図８は、本発明の実施の形態２における吸着水分測定方法の設置工程により構成される検査用ケースを示した説明図である。
【図９】図９は、本発明の実施の形態２における吸着水分測定方法の設置工程により構成される検査用ケースを示した説明図である。
【図１０】図１０は、本発明の実施の形態２における吸着水分測定方法の設置工程により構成される検査用ケースを示した説明図である。
【図１１】図１１は、本発明の実施の形態２における吸着水分測定方法の設置工程により構成される検査用ケースを示した説明図である。
【図１２】図１２は、本発明の実施の形態２における透過光式赤外線水分計の赤外光の行程結果を示す図表である。
【図１３】図１３は、本発明の実施の形態２における吸着水分測定方法の測定行程による湿度条件１での検査用ケースの赤外光の吸収の測定結果を示す図表である。
【図１４】図１４は、本発明の実施の形態２における吸着水分測定方法の測定行程による湿度条件２での検査用ケースの赤外光の吸収の測定結果を示す図表である。
【符号の説明】
【００５２】
１ 発光・受光部
２ 発光部
３ 受光部
１０，１３，１４，１９〜２１，２８，４０，４３，４４，４９〜５１，５８ ガラス基板
１１，１２，１５〜１７，２２〜２６，２９，３０，４１，４２，４５〜４８，５２〜５７，５９，６０ 吸着水分層
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板の表面に吸着した水分量を測定するための方法であって、
通過する赤外光の空気中行程長が略同一となる態様で、異なる枚数毎および／または異なる厚さ毎にガラス基板を設置して複数の検査用ケースを構成する設置工程と、
前記設置工程で構成した検査用ケースのそれぞれについて異なる２つの湿度条件下での通過する赤外光の吸収を測定する測定工程と、
前記設置工程で構成した検査用ケースから少なくとも２つ以上を選択し、選択した検査用ケースについて前記測定工程を通じて測定されたそれぞれの湿度条件下での赤外光吸収の差を算出する第１算出工程と、
前記第１算出工程で算出した赤外光吸収の差に基づき、異なる湿度条件下における赤外光吸収の差を算出する第２算出工程と
を含むことを特徴とする吸着水分測定方法。
【請求項２】
前記測定工程における異なる２つの湿度条件下のうち一方は、十分に低い水分含有濃度を有する乾燥条件下にしたことを特徴とする請求項１に記載の吸着水分測定方法。
【請求項１】
ガラス基板の表面に吸着した水分量を測定するための方法であって、
通過する赤外光の空気中行程長が略同一となる態様で、異なる枚数毎および／または異なる厚さ毎にガラス基板を設置して複数の検査用ケースを構成する設置工程と、
前記設置工程で構成した検査用ケースのそれぞれについて異なる２つの湿度条件下での通過する赤外光の吸収を測定する測定工程と、
前記設置工程で構成した検査用ケースから少なくとも２つ以上を選択し、選択した検査用ケースについて前記測定工程を通じて測定されたそれぞれの湿度条件下での赤外光吸収の差を算出する第１算出工程と、
前記第１算出工程で算出した赤外光吸収の差に基づき、異なる湿度条件下における赤外光吸収の差を算出する第２算出工程と
を含むことを特徴とする吸着水分測定方法。
【請求項２】
前記測定工程における異なる２つの湿度条件下のうち一方は、十分に低い水分含有濃度を有する乾燥条件下にしたことを特徴とする請求項１に記載の吸着水分測定方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【公開番号】特開２００８−２６１６５９（Ｐ２００８−２６１６５９Ａ）
【公開日】平成２０年１０月３０日（２００８．１０．３０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−１０２８５０（Ｐ２００７−１０２８５０）
【出願日】平成１９年４月１０日（２００７．４．１０）
【出願人】（０００００２２９９）清水建設株式会社 (2,433)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年１０月３０日（２００８．１０．３０）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年４月１０日（２００７．４．１０）
【出願人】（０００００２２９９）清水建設株式会社 (2,433)
【Ｆターム（参考）】
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