説明

弾性表面波コンボルバ素子

【課題】従来の平坦な弾性表面波コンボルバ素子に比べ、遥かに長い全面電極の長さを設定出来、より高い性能を発揮できる、弾性表面波コンボルバ素子を提供することである。
【解決手段】弾性表面波コンボルバ素子10は:弾性表面波ASWが励起可能であり、球面の一部により円環状に規定され励起された弾性表面波が周回可能な少なくとも1つの弾性表面波周回路12aを含む弾性表面波周回基体12と;弾性表面波周回路に弾性表面波周回路に沿った相互に正反対の方向に伝搬する2つの弾性表面波を励起させる弾性表面波励起手段14と;そして、弾性表面波周回路に配置され、弾性表面波周回路を相互に正反対の方向に伝搬した2つの弾性表面波が重畳され畳み込み積分出力を生じさせる全面電極16と;を備えている、ことを特徴としている。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
この発明は、コンボリューション(convolution:畳み込み積分)の演算機能を有する弾性表面波コンボルバ素子に関係している。
【背景技術】
【0002】
平坦な基材上に配置された平坦な圧電体上に弾性表面波励起検知手段の1種であるすだれ状電極(又は、櫛歯状電極ともいう)が相互に離間して1対が設けられている弾性表面波素子は従来から良く知られている。
【0003】
ここで、弾性表面波とは、通常のバルク波と呼ばれる縦波や横波と異なり物質表面にそのエネルギーの多くを集中して伝搬する弾性波であり、レーリー波,セザワ波,擬セザワ波,ラブ波等を例示することができ、異方性材料の表面にも存在しえる。
【0004】
このような従来の弾性表面波素子では、一方のすだれ状電極に高周波電流が供給されることにより基材上の圧電体に一方のすだれ状電極の複数の電極枝が並んでいる方向に向かう弾性表面波が励起される。他方の櫛形電極は、基材上の圧電体において一方のすだれ状電極により励起され伝搬された弾性表面波の伝搬方向に位置しており、一方のすだれ状電極から伝搬されてきた弾性表面波を受け取る。
【0005】
このような従来の弾性表面波素子は、遅延線,発信機の為の発振素子及び共振素子,周波数を選択する為のフィルター,化学センサー,バイオセンサー,またはリモートタグ等に使用されている。
【0006】
上述した如き従来の弾性表面波素子においては、一方のすだれ状電極から他方のすだれ状電極に向かい圧電体の表面に沿い伝搬される弾性表面波は、伝搬する間にその伝搬方向に対し圧電体の表面に沿い直交する方向に拡散しエネルギーを減衰させてしまう。
【0007】
従って、上述した如き従来の弾性表面波素子においては、平坦な圧電体上で1対のすだれ状電極の相互間の距離を大きく設定することが出来ず、上述した如き従来の弾性表面波素子を上述した如き種々の機能を達成する為に使用する場合には、その性能向上が困難である。
【0008】
一方のすだれ状電極に供給する高周波電流のエネルギーを増加させ平坦な基材の表面積を拡大すれば、上記距離を長くすることができるが、弾性表面波素子の駆動に要する電力が増大し、また弾性表面波素子の外形寸法が大型化する。
【0009】
1対のすだれ状電極の間に全面電極を配置し、1対のすだれ状電極から夫々が対応するすだれ状電極に向かい弾性表面波を伝搬させ、1対のすだれ状電極の間の全面電極において1対のすだれ状電極からの弾性表面波を畳み込み積分(convolution)させる弾性表面波コンボルバ素子が知られている。
【0010】
弾性表面波コンボルバ素子においては1対のすだれ状電極の相互間の全面電極の長さは、全面電極を弾性表面波が伝搬する長さが弾性表面波入力信号の入力時間長さよりも長くなくてはならない。そして、1対のすだれ状電極の相互間の距離が短いと1対のすだれ状電極の相互間の全面電極の長さも短くなるので、弾性表面波入力信号の入力時間長さが限定されている。
【0011】
国際公開 WO 01/45255 号公報(特許文献1)は、弾性表面波を励起させ伝搬させることが出来る球形状の基体の表面に対し弾性表面波励起検知手段としてのすだれ状電極を載置し、基体の半径とすだれ状電極により基体の表面に励起させる弾性表面波の周波数及び幅(基体の表面を弾性表面波が伝搬する方向に対し基体の表面に沿い直交する方向における弾性表面波の寸法)とを所定の条件に設定することにより、すだれ状電極により基体の表面に励起された弾性表面波を、基体の表面に沿い伝搬する方向に対し基体の表面に沿い直交する方向に無限に拡散させることなく、伝搬させることが出来、ひいては繰り返し周回させることが出来ることが明らかにされている。
【0012】
そして、すだれ状電極(櫛歯状電極)により基体の表面に励起される弾性表面波の周波数及び幅は、すだれ状電極(櫛歯状電極)を構成している1対の櫛状部において交互に配置された複数の電極枝の相互間の隙間及び相互に対向している長さに対応している。
【0013】
球形状の基体の表面を弾性表面波が周回する軌跡は、球形状の基体の表面において球形状の基体の最大外周線を含んでいる球の一部が円環状に連続している領域内にあり、この領域を弾性表面波周回路と呼んでいる。そして、球形状の基体を使用したこのような従来の弾性表面波素子は、弾性表面波周回路に沿い弾性表面波周回路の延出方向と交差する方向に拡散することなく弾性表面波を多数回周回させることが出来る(即ち、すだれ状電極が弾性表面波を励起させてから弾性表面波周回路を周回する弾性表面波をすだれ状電極が正確に検知することが出来なくなるまでに弾性表面が周回する回数が多い)ので、周回数の増大に伴う弾性表面波の伝搬速度の減速の程度や弾性表面波の位相の遅れの程度や弾性表面波の強度の減少の程度を精密に測定することが出来る。
【0014】
基体の外表面において球形状の一部で構成された円環状の弾性表面波周回路を周回する弾性表面波はその伝搬に伴いエネルギーの減衰が非常に小さい。しかも、円環状の弾性表面波周回路の1周の長さは弾性表面波周回路の直径の略3.14倍になる。即ち、円環状の弾性表面波周回路の外径の大きさに比し略3.14倍の長さの弾性表面波周回路の1周の長さを得ることが出来、弾性表面波周回路を1周する弾性表面波はその伝搬に伴いエネルギーを殆ど減衰させない。
【特許文献1】国際公開 WO 01/45255 号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0015】
この発明は上記事情の下でなされ、この発明の目的は、従来の平坦な弾性表面波コンボルバ素子に比べ、遥かに長い全面電極の長さを設定することが出来、ひいてはより高い性能を発揮することができる、弾性表面波コンボルバ素子を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0016】
上述したこの発明の目的を達成するために、この発明に従った弾性表面波コンボルバ素子は:弾性表面波が励起可能であり、球面の一部により円環状に規定され励起された弾性表面波が周回可能な少なくとも1つの弾性表面波周回路を含む弾性表面波周回基体と;弾性表面波周回路に弾性表面波周回路に沿った相互に正反対の方向に伝搬する2つの弾性表面波を励起させる弾性表面波励起手段と;そして、弾性表面波周回路に配置され、弾性表面波周回路を相互に正反対の方向に伝搬した2つの弾性表面波が重畳され畳み込み積分出力を生じさせる全面電極と;を備えている、ことを特徴としている。
【発明の効果】
【0017】
上述した如く構成されたことを特徴とするこの発明に従った弾性表面波コンボルバ素子においては、弾性表面波が励起可能であり、球面の一部により円環状に規定され励起された弾性表面波が周回可能な少なくとも1つの弾性表面波周回路を含む弾性表面波周回基体において、弾性表面波周回路に弾性表面波励起手段により弾性表面波周回路に沿った相互に正反対の方向に伝搬する2つの弾性表面波を励起させ、弾性表面波周回路を相互に正反対の方向に伝搬した2つの弾性表面波は弾性表面波周回路に配置された全面電極において重畳され畳み込み積分出力を生じさせる。
【0018】
前述したように、基体の外表面において球形状の一部で構成された円環状の弾性表面波周回路を周回する弾性表面波はその伝搬に伴いエネルギーの減衰が非常に小さい。しかも、円環状の弾性表面波周回路の1周の長さは弾性表面波周回路の直径の略3.14倍になる。
【0019】
従って、上述した如く構成されたことを特徴とするこの発明に従った弾性表面波コンボルバ素子は、従来の平坦な弾性表面波コンボルバ素子に比べ、遥かに長い全面電極の長さを設定することが出来、ひいてはより高い性能を発揮することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0020】
以下、この発明の種々の実施の形態に従った弾性表面波コンボルバ素子について添付の図面を参照しながら詳細に説明する。
【0021】
[第1実施形態]
図1は、この発明の第1実施形態に従った弾性表面波コンボルバ素子10の構成を概略的に示している。
【0022】
弾性表面波コンボルバ素子10は:弾性表面波が励起可能であり、球面の一部により円環状に規定され励起された弾性表面波が周回可能な少なくとも1つの弾性表面波周回路12aを含む弾性表面波周回基体12と;弾性表面波周回路12aに弾性表面波周回路12aに沿った相互に正反対の方向に伝搬する2つの弾性表面波ASWを励起させる弾性表面波励起手段14と;そして、弾性表面波周回路12aに配置され、弾性表面波周回路12aを相互に正反対の方向に伝搬した2つの弾性表面波ASWが重畳され畳み込み積分出力を生じさせる全面電極16と;を備えている。
【0023】
弾性表面波が励起可能な弾性表面波周回基体12は、弾性表面波が励起可能でない球形状の基材の表面を弾性表面波が励起可能な材料により被覆させることにより構成することができるし圧電性結晶材料により構成することもできる。
【0024】
弾性表面波が励起可能な圧電性結晶材料としては、水晶,ランガサイト,リチウムナイオベート(ニオブ酸リチウム:LiNbO3),そしてリチウムタンタレート(タンタル酸リチウム:LiTaO3)などを例示することが出来る。これらの結晶材料は、夫々の球形状の外表面において夫々が有している結晶面が球形状の外表面と交差する交線12bに沿い弾性表面波ASWを励起させると励起された弾性表面波ASWは上記交線12bに沿い伝搬することが判っている。そして、国際公開 WO 01/45255 号公報(特許文献1)によれば、弾性表面波ASWを励起させ伝搬させることが出来る球形状の弾性表面波周回基体12の半径と弾性表面波周回基体12の外表面に励起させる弾性表面波ASWの周波数及び幅(弾性表面波周回基体12の表面を弾性表面波ASWが伝搬する方向に対し弾性表面波周回基体12の表面に沿い直交する方向における弾性表面波の寸法)とを所定の条件に設定することにより、弾性表面波周回基体12の表面に励起された弾性表面波ASWを、弾性表面波周回基体12の表面に沿い伝搬する方向に対し弾性表面波周回基体12の表面に沿い直交する方向に無限に拡散させることなく、伝搬させることが出来、ひいては繰り返し周回させることが出来ることが明らかにされている。
【0025】
上記交線12bは、弾性表面波周回基体12の外表面において最大の径の外周となる線であり、上記交線12bに沿って励起された弾性表面波ASWが伝搬する球面の一部により円環状に規定される領域が弾性表面波周回路12aである。
【0026】
水晶及びランガサイトの夫々は3つの結晶面を有していることが知られている。従って水晶及びランガサイトの夫々を弾性表面波周回基体14の為の圧電結晶性材料として使用した場合には、その球形状の外表面に3個の弾性表面波周回路12aが設定可能であることになる。
【0027】
リチウムナイオベート及びリチウムタンタレートの夫々は10個の結晶面を有していることが知られている。従ってリチウムナイオベート及びリチウムタンタレートの夫々を弾性表面波周回基体12の為の圧電結晶性材料として使用した場合には、その球形状の外表面に10個の弾性表面波周回路12aが設定可能であることになる。
【0028】
弾性表面波励起手段14としては、弾性表面波周回基体12の弾性表面波周回路12aに励起した弾性表面波ASWをその伝搬方向に対し弾性表面波周回基体12の表面に沿い直交する方向に無限に拡散させることなく伝搬させ繰り返し周回させることを可能にする前述した所定の条件を満たす波長と幅とを容易に設定可能にする為に、すだれ状電極(又は、櫛歯状電極)と言われている公知の電気音響変換素子が通常使用される。
【0029】
すだれ状電極(櫛歯状電極)は、夫々が複数の櫛歯状電極枝14aを有した1対の櫛歯状電極部14b,14cを、一方の櫛歯状電極部14bの複数の櫛歯状電極枝14aの複数の隙間の夫々の中央に他方の櫛歯状電極部14cの複数の櫛歯状電極枝14aの夫々を配置することにより構成されている。このような構成のすだれ状電極(櫛歯状電極)は、弾性表面波周回基体12の弾性表面波周回路12aの所望の位置に公知の形成方法(例えば、フォトリソグラフィー法)により容易に精密に形成することが可能である。弾性表面波周回基体12の弾性表面波周回路12aに複数の櫛歯状電極枝14aを前記交線12bと交差する方向に向けた状態ですだれ状電極又は櫛歯状電極を形成し、1対の櫛歯状電極部14b,14cに対し相互に対向している2つの櫛歯状電極枝14aの相互間の離間距離に対応した周波数の高周波電流を供給すると、すだれ状電極又は櫛歯状電極は相互に対向している2つの櫛歯状電極枝14aの相互間の離間距離に対応した周波数を有しているとともに相互に対向している2つの櫛歯状電極枝14aの夫々の相互に対向している部分の長さの幅を有している弾性表面波ASWを弾性表面波周回基体12の弾性表面波周回路12aの上記所望の位置に励起させ、励起した弾性表面波ASWを1対の櫛歯状電極部の複数の櫛歯状電極枝が並んでいる方向に進行(即ち、伝搬させ)させる。
【0030】
通常のすだれ状電極(櫛歯状電極)は、相互に正反対の方向に2つの弾性表面波ASWを伝搬させる。
【0031】
なおここで、弾性表面波ASWとは、通常のバルク波と呼ばれる縦波や横波と異なり、物質表面にそのエネルギーの多くを集中して伝搬する弾性波であり、レーリー波,セザワ波,擬セザワ波,ラブ波等を例示することができる。
【0032】
弾性表面波励起手段14を構成しているすだれ状電極又は櫛歯状電極の1対の櫛歯状電極部14b,14cの一方には、弾性表面波周回基体12の弾性表面波周回路12aに対し所望のタイミングで弾性表面波励起手段14に弾性表面波ASWをバースト状に励起させ伝搬させる高周波信号発生部18が接続されている。弾性表面波励起手段14を構成しているすだれ状電極又は櫛歯状電極の1対の櫛歯状電極部14b,14cの他方は接地されている。
【0033】
全面電極16は、アンプ20を介して検出・出力部22に接続されている。
【0034】
高周波信号発生部18が所望のタイミングでバースト状の高周波信号を弾性表面波励起手段14に供給すると、弾性表面波励起手段14は弾性表面波周回路12a中にバースト上に弾性表面波ASWを励起させ、励起されたバースト状の弾性表面波ASWは弾性表面波励起手段14から弾性表面波周回路12a中を前述した交線12bに沿い相互に正反対の方向に伝搬する。弾性表面波周回路12a中を交線12bに沿い相互に正反対の方向に伝搬したバースト状の弾性表面波ASWは全面電極16において重ね合わされ弾性表面波ASWの非線形効果により波長が無限長になる(即ち、伝搬方向に一様な振幅で2倍の周波数となる)畳み込み積分演算出力を生じさせる。なおこの畳み込み積分は数学的に定義されている畳み込み積分と比較して時間軸が1/2に短縮されている。この出力は、弾性表面波励起手段14からアンプ20を介し検出・出力部22に送られ、検出・出力部22から例えば公知の表示手段や記憶手段に送られる。
【0035】
正反対の方向に伝搬した2つの弾性表面波ASW同士の畳み込み積分は自己相関関数となる。弾性表面波ASWを異なるタイミングで2回励起し、異なるタイミングで励起された弾性表面波ASW同士が全面電極16で重なり合うタイミングで全面電極16の出力を検出する事で、異なるタイミングで励起された弾性表面波ASW同士の畳み込み積分を求めることも出来る。
【0036】
[第2実施形態]
次に、この発明の第2実施形態に従った弾性表面波コンボルバ素子30について添付の図面中の図2を参照しながら説明する。
【0037】
なおこの実施形態に従った弾性表面波コンボルバ素子30の構成の大部分は、図1を参照しながら前述した第1実施形態に従った弾性表面波コンボルバ素子10の構成の大部分と同じである。従って、この実施形態に従った弾性表面波コンボルバ素子30において第1実施形態に従った弾性表面波コンボルバ素子10の構成部材と同じ構成部材には第1実施形態に従った弾性表面波コンボルバ素子10の対応する構成部材に付されていた参照符号を記して詳細な説明は省略する。
【0038】
この実施形態に従った弾性表面波コンボルバ素子30の構成が図1を参照しながら前述した第1実施形態に従った弾性表面波コンボルバ素子10の構成と異なっているのは、弾性表面波励起手段14が、弾性表面波周回路12aの少なくとも2ケ所の夫々に配置され励起された弾性表面波ASWを弾性表面波周回路12aに沿い一方向にのみ伝搬させる一方向伝搬電気音響変換素子30a,30bを含んでいることである。一方向伝搬電気音響変換素子30a,30bの夫々は、励起された弾性表面波ASWを弾性表面波周回路12aに沿い一方向にのみ伝搬させるよう構成された公知の一方向伝搬はしご状電極(一方向伝搬櫛歯状電極)により構成されている。
【0039】
上記少なくとも2ケ所の少なくとも2つの一方向伝搬電気音響変換素子30a,30bの夫々は、高周波信号発生部18から同時に同じ周波数の高周波をバースト状に供給されることにより夫々から弾性表面波周回路12aに沿い相互に正反対の一方向にのみ伝搬される弾性表面波ASWを励起する。
【0040】
2つの一方向伝搬電気音響変換素子30a,30bは、夫々から弾性表面波周回路12aに沿い一方向にのみ伝搬される弾性表面波ASWが全面電極16に到達できるまでにできる限り長い距離を伝搬できるよう弾性表面波周回路12aにおいて全面電極16とは弾性表面波周回路12aの径方向における反対側に配置される。2つの一方向伝搬電気音響変換素子30a,30bの夫々から弾性表面波周回路12aに沿い一方向にのみ伝搬される弾性表面波ASWは弾性表面波周回路12aに沿い全面電極16に向かい相互に接近する方向に伝搬し、全面電極16において重ね合わされ弾性表面波ASWの非線形効果により波長が無限長になる(即ち、伝搬方向に一様な振幅で2倍の周波数となる)畳み込み積分演算出力を生じさせる。
【0041】
[第3実施形態]
次に、この発明の第3実施形態に従った弾性表面波コンボルバ素子40について添付の図面中の図3を参照しながら説明する。
【0042】
なおこの実施形態に従った弾性表面波コンボルバ素子40の構成の大部分は、図1を参照しながら前述した第1実施形態に従った弾性表面波コンボルバ素子10の構成の大部分と同じである。従って、この実施形態に従った弾性表面波コンボルバ素子40において第1実施形態に従った弾性表面波コンボルバ素子10の構成部材と同じ構成部材には第1実施形態に従った弾性表面波コンボルバ素子10の対応する構成部材に付されていた参照符号を記して詳細な説明は省略する。
【0043】
この実施形態に従った弾性表面波コンボルバ素子40の構成が図1を参照しながら前述した第1実施形態に従った弾性表面波コンボルバ素子10の構成と異なっているのは、弾性表面波励起手段14が、弾性表面波周回路12aの少なくとも2ケ所に配置された電気音響変換素子40a,40bを含んでおり、上記2ケ所の相互間で全面電極16とは反対側に弾性表面波吸収手段42が配置されていることである。弾性表面波吸収手段42は、例えばエラストマーや粘弾性体により構成することができる。
【0044】
電気音響変換素子40a,40bの夫々は公知のはしご状電極(櫛歯状電極)により構成されている。
【0045】
2つの電気音響変換素子40a,40bの夫々は、高周波信号発生部18から同時に同じ周波数の高周波をバースト状に供給されることにより夫々から弾性表面波周回路12aに沿い正反対の2つの方向に伝搬される弾性表面波ASWを励起する。
【0046】
2つの電気音響変換素子40a,40bは、夫々から弾性表面波周回路12aに沿い弾性表面波吸収手段42とは反対側の一方向にのみ伝搬される弾性表面波ASWが全面電極16に到達できるまでにできる限り長い距離を伝搬できるよう弾性表面波周回路12aにおいて全面電極16とは弾性表面波周回路12aの径方向における反対側に配置される。
【0047】
2つの電気音響変換素子40a,40bの夫々から弾性表面波周回路12aに沿い弾性表面波吸収手段42に向かう他方向に伝播する弾性表面波ASWは弾性表面波吸収手段42に吸収され一方の電気音響変換素子40aから他方の電気音響変換素子40bには、及びこの逆には、上記他方向に向かう弾性表面波ASWは到達しない。
【0048】
2つの電気音響変換素子40a,40bの夫々から弾性表面波周回路12aに沿い弾性表面波吸収手段42とは反対側の一方向に伝搬される弾性表面波ASWは弾性表面波周回路12aに沿い全面電極16に向かい相互に接近するよう伝搬し、全面電極16において重ね合わされ弾性表面波ASWの非線形効果により波長が無限長になる(即ち、伝搬方向に一様な振幅で2倍の周波数となる)畳み込み積分演算出力を生じさせる。
【図面の簡単な説明】
【0049】
【図1】この発明の第1実施形態に従った弾性表面波コンボルバ素子の構成を概略的に示す概略図である。
【図2】この発明の第2実施形態に従った弾性表面波コンボルバ素子の構成を概略的に示す概略図である。
【図3】この発明の第3実施形態に従った弾性表面波コンボルバ素子の構成を概略的に示す概略図である。
【符号の説明】
【0050】
10…弾性表面波コンボルバ素子、12…弾性表面波周回基体、12a…弾性表面波周回路、12b…交線、ASW…弾性表面波、14…弾性表面波励起手段、14a…櫛歯状電極枝、14b,14c…櫛歯状電極部、16…全面電極、18…高周波信号発生部、20…アンプ、22…検出・出力部、30…弾性表面波コンボルバ素子、30a,30b…一方向伝搬電気音響変換素子、40…弾性表面波コンボルバ素子、40a,40b…電気音響変換素子。

【特許請求の範囲】
【請求項1】
弾性表面波が励起可能であり、球面の一部により円環状に規定され励起された弾性表面波が周回可能な少なくとも1つの弾性表面波周回路を含む弾性表面波周回基体と;
弾性表面波周回路に弾性表面波周回路に沿った相互に正反対の方向に伝搬する2つの弾性表面波を励起させる弾性表面波励起手段と;そして、
弾性表面波周回路に配置され、弾性表面波周回路を相互に正反対の方向に伝搬した2つの弾性表面波が重畳され畳み込み積分出力を生じさせる全面電極と;
を備えている、
ことを特徴とする弾性表面波コンボルバ素子。
【請求項2】
弾性表面波励起手段は、弾性表面波周回路に配置された少なくとも1つの電気音響変換素子を含む、
ことを特徴とする請求項1に記載の弾性表面波コンボルバ素子。
【請求項3】
弾性表面波励起手段は、弾性表面波周回路の少なくとも2ケ所の夫々に配置され励起された弾性表面波を弾性表面波周回路に沿い一方向にのみ伝搬させる一方向伝搬電気音響変換素子を含んでいて、
上記少なくとも2ケ所の少なくとも2つの一方向伝搬電気音響変換素子は励起した弾性表面波を弾性表面波周回路に沿い相互に接近する方向に伝搬させ、
上記全面電極には弾性表面波周回路において2つの一方向伝搬電気音響変換素子からの2つの弾性表面波が入力される、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の弾性表面波コンボルバ素子。
【請求項4】
弾性表面波励起手段は、弾性表面波周回路の少なくとも2ケ所の夫々に配置され励起された弾性表面波を弾性表面波周回路に沿い相互に正反対の方向に伝搬させる電気音響変換素子を含んでいて、
弾性表面波周回基体の弾性表面波周回路において上記2ケ所の相互間で全面電極とは反対側に弾性表面波吸収手段が配置されている、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の弾性表面波コンボルバ素子。

【図1】
image rotate

【図2】
image rotate

【図3】
image rotate