【課題】球状弾性表面波素子の表面に形成する感応膜形成プロセスにおいて、複数の周回経路の表面に選択的に感応膜を形成することで、独立して働く多機能素子を製造する方法を提供する。
【解決手段】弾性表面波が周回可能な円環状経路を複数有し、各経路に独自に受信電極を有する球形状表面を有する３次元基材の表面に、前記弾性表面波を励起検出する電気音響変換素子を有し、環境変化に従って伝搬状態が変化する感応膜を有する球状弾性表面波素子であって、経路毎に感応膜のパターンが異なっていることを特徴とする球状弾性表面波素子を提供するものである。 （もっと読む）

【課題】
高速に駆動周波数を変更することおよび、複数の周波数を同時に出力することを可能とする。
【解決手段】
球状表面弾性波素子に複数の周波数で駆動信号を印加するための駆動系回路と、
前記球状表面弾性波素子から出力される複数の周波数の周回受信信号を計測するため計測系回路と、
で構成される球状表面弾性波素子の複数周波数駆動計測装置であって、
前記駆動系回路および前記計測系回路から前記球状表面弾性波素子の間に、前記複数の周波数でそれぞれ共振する複数個の直列共振回路および、複数個の並列共振回路を備えたことを特徴とする球状表面弾性波素子の複数周波数駆動計測装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 溶液を受容体に容易に接触させることができるようにする。
【解決手段】 弾性表面波センサ１０は、圧電基板１２の表面に、圧電基板１２に弾性表面波を生成するすだれ状電極からなる励振用ＩＤＴ１４を有する。また、圧電基板１２の表面には、励振用ＩＤＴ１４が励振した弾性表面波を受信するすだれ状電極からなる受信用ＩＤＴ１６が設けてある。表面弾性波の伝搬領域である励振用ＩＤＴ１４と受信用ＩＤＴ１６との間には、受容体２２が露出して設けてある。励振用ＩＤＴ１４と受信用ＩＤＴ１６とは、電極封止部材２４によって覆ってある。電極封止部材２４は、すだれ状電極の周囲に密閉空間を形成する。 （もっと読む）

【課題】 位相誤差及び振幅誤差が小さい移相器を半導体基板上に弾性表面波素子で形成し、半導体装置と１チップ化された弾性表面波素子を搭載する小型で、転送効率が高い無線通信装置を提供する。
【解決手段】 弾性表面波素子１は、半導体基板１０に形成される弾性表面波素子１であって、半導体基板１０の上面に形成される圧電薄膜４５と、圧電薄膜４５の上面に形成される入力側ＩＤＴと出力側ＩＤＴと、を備え、前記入力側ＩＤＴに対して、出力側ＩＤＴを選択的に（１／８）ｎλ（λは弾性波の波長、ｎは整数）で求められる位置にずらして形成し、入力信号に対して位相差０°と位相差（１／４）ｎπ（ｒａｄ）の二つの信号を出力する移相器を構成する。また、半導体装置と１チップ化された弾性表面波素子を搭載する小型で、転送効率が高い無線通信装置３００を提供する。 （もっと読む）

【課題】 平面型ジャイロのようなエネルギーの漏洩を防ぎつつ、弾性表面波を利用した小型のジャイロを実現する。
【解決手段】 球状部材１１の表面に弾性表面波を励起し、球状部材１１の回転運動に応じて伝搬方向を変化させた弾性表面波を検出する構成により、従来の平面型の弾性表面波ジャイロとは異なり、反射器を備える必要が無いので、弾性表面波を利用した小型のジャイロを実現できる。また、球状弾性表面波素子により実現するので、平面型ジャイロのようなエネルギーの漏洩を防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】 ある周波数ｆ₀ において、ある電力Ｐｓｈ以下の入力信号に対して、周波数ｆ₀ を中心として出力信号が３ｄＢ以上抑圧された範囲の帯域幅Ｂａの狭い静磁波素子を得る。
【解決手段】 静磁波素子１０は、ＧＧＧ基板などの非磁性基板１２を含む。非磁性基板１２上に、ＹＩＧ単結晶膜のような磁性ガーネット単結晶膜１４を形成する。磁性ガーネット単結晶膜１４については、不純物としてのＰｂの含有量が５重量ｐｐｍ以下となるようにする。磁性ガーネット単結晶膜１４上に、間隔を隔ててマイクロストリップライン１６，１８を形成する。マイクロストリップライン１６，１８に平行な向きに磁界Ｈを印加する。そして、マイクロストリップライン１６に信号を入力し、マイクロストリップライン１８から信号を出力する。 （もっと読む）