情報記録媒体、記録再生装置およびスタンパー
【課題】内周側から外周側までの全域において磁気的信号の確実な読み取りが可能なサーボパターンを有する情報記録媒体を提供する。
【解決手段】基材の少なくとも一面側に凹凸パターンによってサーボパターン（凹凸パターン２０ｓａ）が形成されると共に、同心円状または螺旋状のデータ記録トラックが一面側に設けられてデータトラックパターン（凹凸パターン２０ｔ）が形成され、サーボパターンを構成する凹凸パターン２０ｓａは、データトラックパターンと同心の複数の環状領域Ａ１ａ，Ａ２ａ・・（環状領域Ａａ）に区分けされると共に、基材の回転方向（矢印Ｒ）に沿った単位凹部長の各環状領域Ａａ内における平均長をデータトラックパターンの中心から各環状領域Ａａまでの距離で除した値が内周側の環状領域Ａａよりも外周側の環状領域Ａａほど小さくなるように各環状領域Ａａ毎に単位凹部長が規定されている。
【解決手段】基材の少なくとも一面側に凹凸パターンによってサーボパターン（凹凸パターン２０ｓａ）が形成されると共に、同心円状または螺旋状のデータ記録トラックが一面側に設けられてデータトラックパターン（凹凸パターン２０ｔ）が形成され、サーボパターンを構成する凹凸パターン２０ｓａは、データトラックパターンと同心の複数の環状領域Ａ１ａ，Ａ２ａ・・（環状領域Ａａ）に区分けされると共に、基材の回転方向（矢印Ｒ）に沿った単位凹部長の各環状領域Ａａ内における平均長をデータトラックパターンの中心から各環状領域Ａａまでの距離で除した値が内周側の環状領域Ａａよりも外周側の環状領域Ａａほど小さくなるように各環状領域Ａａ毎に単位凹部長が規定されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、凹凸パターンによってサーボパターンが形成された情報記録媒体、その情報記録媒体を備えた記録再生装置、およびその情報記録媒体を製造するためのスタンパーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子や情報記録媒体などを製造する工程において、ナノメートルサイズの凹凸パターンを形成したスタンパーを基材上の樹脂層に押し付けてスタンパーの凹凸形状を樹脂層に転写することで基材の上にナノメートルサイズの凹凸パターンを形成するナノインプリントリソグラフィ法（ナノメートルサイズの凹凸パターンを形成するインプリント方法：以下、「インプリント方法」ともいう）が米国特許５７７２９０５号明細書に開示されている。このインプリント方法では、まず、その転写面にナノメートルサイズ（一例として、最小幅が２５ｎｍ程度）の凹凸パターンが形成されたスタンパー（mold）を製造する。具体的には、シリコン基板（silicon substrate ）の表面に形成された酸化シリコン等の薄膜（molding layer ）を覆うようにして形成された樹脂層に電子ビームリソグラフィ装置を用いて所望のパターンを描画した後に、反応性イオンエッチング装置によって樹脂層をマスクとして薄膜をエッチング処理することによって複数の凸部（features）を有する凹凸パターンを薄膜の厚み内に形成する。これにより、スタンパーが製造される。
【０００３】
次いで、例えば、シリコン製の基材（substrate ）の表面にポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ：樹脂材料）をスピンコートして厚み５５ｎｍ程度の樹脂層（薄膜：thin film layer ）を形成する。続いて、基材および樹脂層の積層体、並びにスタンパーの双方を加熱した後に、基材上の樹脂層にスタンパーの各凸部を押し付ける。この際には、スタンパーの凸部が押し込まれた部位の樹脂材料がスタンパーの凹部に向けて移動することにより、凸部が押し込まれた部位に凹部（regions ）が形成（転写）される。次いで、スタンパーを押し付けた状態の積層体を室温となるまで放置した後に（冷却処理した後に）、樹脂層からスタンパーを剥離する。これにより、スタンパーの凹凸パターンにおける各凸部が樹脂層に転写されて、基材の上（樹脂層）にナノメートルサイズの凹凸パターンが形成される。この後、凹凸パターンが形成された樹脂層をマスクとして用いて基材をエッチング処理することにより、基材に複数の凹部が形成される。したがって、上記のような技術（インプリント方法）によって情報記録媒体用基材上の樹脂層に凹部を形成することにより、その樹脂層をマスクとして用いたエッチング処理によってナノメートルサイズの凹凸パターンを有する情報記録媒体を製造することが可能となる。
【特許文献１】米国特許５７７２９０５号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、従来のインプリント方法（製造方法）に従って製造された情報記録媒体には、以下の問題点がある。すなわち、従来の製造方法では、基材上に形成した樹脂層にスタンパーの凸部を押し込むことによって樹脂層に凹部を設けて凹凸パターンを形成し、凹凸パターンが形成された樹脂層をマスクとして用いて基材をエッチング処理することによって基材に凹凸パターンを形成している。しかし、この製造方法に従って例えばディスクリートトラック型の磁気記録媒体（情報記録媒体）を製造したときには、磁気記録媒体の外周側となる領域において樹脂層に対する凸部（スタンパーの凸部）の押し込み量が不足して、樹脂層に形成される（転写される）凹凸パターンにおける凹部の底部に大量の樹脂材料が残存するおそれがある。この結果、従来の製造方法に従って磁気記録媒体を製造したときには、凹部の底部に残存する樹脂材料の取り除き処理時に凹部が過剰に拡がることに起因して磁気記録媒体に凹凸パターンを高精度で形成するのが困難となるおそれがある。なお、以下の説明では、スタンパーの押し付けによって樹脂層に形成される凹部の底面と基材との間に取り残された樹脂材料を「残渣」ともいう。
【０００５】
具体的には、例えば、図２２に示すように、上記の製造方法に従って製造した磁気ディスク１０ｘは、同心円状の複数の記録トラックで構成された凹凸パターン２０ｔが形成されたトラックパターン領域Ａｔと、トラッキングサーボ用の凹凸パターン２０ｓｘが形成されたサーボパターン領域Ａｓｘとが磁気ディスク１０ｘの回転方向（同図に示す矢印Ｒの向き）で交互に並ぶように規定されて製造されている。この場合、この種の磁気記録媒体を搭載した記録再生装置では、記録再生時に磁気記録媒体を角速度一定で回転させるのが一般的となっている。したがって、この磁気ディスク１０ｘでは、単位時間当たりに磁気ヘッド（図示せず）の下方を通過させられる磁気ディスク１０ｘ上の長さに比例して、磁気ディスク１０ｘの回転方向に沿ったサーボパターン領域Ａｓｘの長さが内周側から外周側に向かうほど長くなるように（サーボパターン領域Ａｓｘが外周側ほど幅広となるように）規定されている。具体的には、図２３，２４に示すように、凹凸パターン２０ｔの中心Ｏ（図２２参照）からの距離に比例して、内周側サーボパターン領域Ａｓｘｉの回転方向に沿った長さよりも、外周側サーボパターン領域Ａｓｘｏの回転方向に沿った長さの方が長くなっている。
【０００６】
また、この種の磁気ディスクでは、サーボパターン領域Ａｓｘ（凹凸パターン２０ｓｘ）における凸部２１ｓｘｉ，２１ｓｘｏ（以下、区別しないときは「凸部２１ｓｘ」ともいう）の回転方向に沿った単位凸部長（磁気信号の読み取りに際して「１つの凸部有り」と検出される基準の長さ：図２３，２４におけるＬ１ｘｉ，Ｌ１ｘｏ）と、凹部２２ｓｘｉ，２２ｓｘｏ（以下、区別しないときは「凹部２２ｓｘ」ともいう）の回転方向に沿った単位凹部長（磁気信号の読み取りに際して「１つの凹部有り」と検出される基準の長さ：図２３，２４におけるＬ２ｘｉ，Ｌ２ｘｏ）とが磁気ディスク１０ｘの内周側領域Ａｘｉから外周側領域Ａｘｏまでの全域において１：１の比（単位凸部長に対する単位凹部長の比が１）となるように規定されている。したがって、この磁気ディスク１０ｘでは、内周側サーボパターン領域Ａｓｘｉにおける凹部２２ｓｘｉの長さＬ２ｘｉよりも、外周側サーボパターン領域Ａｓｘｏにおける凹部２２ｓｘｏの長さＬ２ｘｏの方が凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して長くなっている。
【０００７】
一方、上記の磁気ディスク１０ｘを製造するためのスタンパー（図２５，２６参照）には、磁気ディスク１０ｘに形成すべき凹凸パターン２０ｔ，２０ｓｘとは凹凸位置関係が反転している凹凸パターン３９ｘが形成されている。したがって、図２５，２６に示すように、磁気ディスク１０ｘを製造するためのスタンパーでは、内周側サーボパターン領域Ａｓｘｉにおける凹部２２ｓｘｉに対応する凸部（図２５に示す凸部３９ａｘ）の回転方向に沿った長さＬＳｘｉよりも、外周側サーボパターン領域Ａｓｘｏにおける凹部２２ｓｘｏに対応する凸部（図２６に示す凸部３９ａｘ）の回転方向に沿った長さＬＳｘｏの方が長くなっている。
【０００８】
この場合、従来の製造方法では、スタンパーの全域に亘ってほぼ均一な押圧力で凹凸パターン３９ｘを樹脂層に押し付けている。したがって、図２５に示すように、回転方向に沿った長さＬＳｘｉが比較的短い凸部３９ａｘが形成されている部位（内周側サーボパターン領域Ａｓｘｉの凹凸パターン２０ｓｘが形成される部位）では、凸部３９ａｘが押し込まれた部位の樹脂材料がスタンパーの凹部３９ｂｘ，３９ｂｘ内に向けてスムーズに移動する結果、凸部３９ａｘを十分に奥深くまで樹脂層に押し込むことができる。この結果、凸部３９ａｘの先端と基材との間（凹部４１ｂｘの底部）の樹脂層の厚みＴ１が十分に薄い凹凸パターン４１ｘを基材の上に形成することができる。これに対して、図２６に示すように、回転方向に沿った長さＬＳｘｏが比較的長い凸部３９ａｘが形成されている部位（外周側サーボパターン領域Ａｓｘｏの凹凸パターン２０ｓｘが形成される部位）では、凸部３９ａｘが押し込まれた部位の樹脂材料がスタンパーの凹部３９ｂｘ，３９ｂｘ内に向けて移動するのが困難となる結果、凸部３９ａｘを樹脂層に奥深くまで十分に押し込むのが困難となる。この結果、凸部３９ａｘの先端と基材との間（凹部４１ｂｘの底部）に厚みＴ２の残渣が生じることとなる。
【０００９】
一方、凹凸パターン４１ｘが形成された樹脂層をマスクとして用いて基材をエッチング処理する際には、凹凸パターン４１ｘにおける凹部４１ｂｘの底面の残渣をエッチング処理等によって除去する必要がある（前述した取り除き処理）。この場合、前述したように、回転方向に沿ったＬＳｘｉが短い凸部３９ａｘ，３９ａｘ・・を押し込んだ部位の残渣の厚みＴ１は、回転方向に沿ったＬＳｘｏが長い凸部３９ａｘ，３９ａｘ・・を押し込んだ部位の残渣の厚みＴ２よりも十分に薄くなっている。したがって、後に外周側サーボパターン領域Ａｓｘｏとなる外周側の領域において厚みＴ２の残渣を確実に取り除くことができるように十分な時間のエッチング処理（取り除き処理）を実行したときには、厚みＴ２の残渣の取り除きが完了するのに先立ち、内周側の領域において厚みＴ１の残渣の取り除きが完了する。この結果、厚みＴ１の残渣が取り除かれた部位（回転方向に沿った長さが短い凹部４１ｂｘの部位）では、厚みＴ２の残渣の取り除きが完了するまでエッチングされ続けることによって凹部４１ｂｘの内側壁（凸部４１ａｘの側面）が浸食されて凹部４１ｂｘが過剰に拡がってしまう。このため、従来の製造方法に従って製造した磁気ディスク１０ｘには、所望する広さの凹部４１ｂｘを形成するのが困難であることに起因して、内周側サーボパターン領域Ａｓｘｉにおいて凹部２２ｓｘｉが過剰に拡がり、これに起因して磁気的信号の確実な読み取りが困難となるおそれがある。
【００１０】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その内周側から外周側までの全域において磁気的信号の確実な読み取りが可能なサーボパターンを有する情報記録媒体および記録再生装置、並びに、このような情報記録媒体を製造し得るスタンパーを提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成すべく本発明に係る情報記録媒体は、基材の少なくとも一面側に凹凸パターンによってサーボパターンが形成されると共に、同心円状または螺旋状のデータ記録トラックが当該一面側に設けられてデータトラックパターンが形成され、前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記データトラックパターンと同心の複数の環状領域に区分けされると共に、前記基材の回転方向に沿った単位凹部長の当該各環状領域内における平均長を当該データトラックパターンの中心から当該環状領域までの距離で除した値が内周側の当該環状領域よりも外周側の当該環状領域ほど小さくなるように当該各環状領域毎に当該単位凹部長が規定されている。
【００１２】
なお、本明細書における「同心円状または螺旋状のデータ記録トラック」には、凹凸パターンの凹部によって情報記録媒体における半径方向および回転方向の双方に対して分離された凸部（単位記録要素）が同心円状または螺旋状に配列させられたパターンド媒体のデータトラックパターンにおけるトラック状のデータ記録部が含まれる。また、本明細書における「単位凹部長」とは、情報記録媒体からの磁気信号の読み取りに際して「１つの凹部有り」と検出するための基準の長さをいう。したがって、実際の情報記録媒体では、サーボデータの内容に応じて、単位凹部長の整数倍の長さの凹部が形成されてサーボパターンが構成される。この場合、「１つの凹部有り」と検出するための基準の長さについては、サーボパターン全体において１つの共通する長さに規定してもよいし、サーボパターンを構成する各種パターンの種類（プリアンブルパターン、アドレスパターンおよびバーストパターン等）に応じて各パターン毎に相違する長さに規定することもできる。また、一般的には、凹部の形成部位は「検出信号の出力なし」または「信号レベルがLow の検出信号」として検出される。さらに、本明細書における「データトラックパターンの中心から環状領域までの距離」とは、例えば、「データトラックパターンの中心から、環状領域の最内周部位までの距離」や、「データトラックパターンの中心から、環状領域の最外周部位までの距離」のみならず、「データトラックパターンの中心から、環状領域の半径方向における中央部位などの任意の部位までの距離」などがこれに含まれる。ただし、この距離を規定する部位はすべての環状領域において同じ部位とする。
【００１３】
また、本発明に係る情報記録媒体は、前記基材の回転方向に沿った単位凸部長に対する前記単位凹部長の比が前記環状領域内において当該環状領域の内周側から当該環状領域の外周側に向かうほど小さくなるように当該単位凸部長および当該単位凹部長が規定されて前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンが形成されている。なお、本明細書における「単位凸部長」とは、情報記録媒体からの磁気信号の読み取りに際して「１つの凸部有り」と検出するための基準の長さをいう。したがって、実際の情報記録媒体では、サーボデータの内容に応じて、単位凸部長の整数倍の長さの凸部が形成されてサーボパターンが構成される。この場合、「１つの凸部有り」と検出するための基準の長さについては、サーボパターン全体において１つの共通する長さに規定してもよいし、サーボパターンを構成する各種パターンの種類（プリアンブルパターン、アドレスパターンおよびバーストパターン等）に応じて各パターン毎に相違する長さに規定することもできる。また、一般的には、凸部の形成部位は「検出信号の出力有り」または「信号レベルがHighの検出信号」として検出される。
【００１４】
さらに、本発明に係る情報記録媒体は、前記単位凸部長が前記環状領域内において当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど長くなるように規定されて前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンが形成されている。
【００１５】
また、本発明に係る情報記録媒体は、前記単位凹部長が前記環状領域内における当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側までの全域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定されて前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンが形成されている。なお、本発明では、極く僅かな程度の製造誤差が生じて、凹凸パターンにおける単位凹部長が各環状領域内において僅かにばらついた状態になったとしても、それらの長さは等しい長さの範疇に含まれるものとする。また、本明細書における「ほぼ等しい長さ」には、製造目標としての所定の長さを中心として、製造誤差とは別に当初から規定した僅かな幅の許容範囲内の長さが含まれるものとする。
【００１６】
さらに、本発明に係る情報記録媒体は、前記単位凸部長および前記単位凹部長の合計長が前記環状領域内において前記データトラックパターンの中心からの距離に比例して当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど長くなるように規定されて前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンが形成されている。なお、本発明では、極く僅かな程度の製造誤差が生じて、凹凸パターンにおける単位凸部長と単位凹部長との合計長が環状領域内においてデータトラックパターンの中心からの距離に対して比例する長さとは僅かに相違する長さになったとしても、その凹凸パターンにおける単位凸部長と単位凹部長との合計長は、中心からの距離に比例している長さの範疇に含まれるものとする。
【００１７】
また、本発明に係る情報記録媒体は、前記単位凹部長が前記環状領域内において前記データトラックパターンの中心からの距離に比例して当該環状領域の内周側から当該環状領域の外周側に向かうほど長くなるように規定されると共に、前記基材の回転方向に沿った前記単位凹部長と単位凸部長の合計長が当該環状領域内において前記データトラックパターンの中心からの距離に比例して当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど長くなるように当該単位凸部長および当該単位凹部長が規定されて前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンが形成されている。なお、本発明では、極く僅かな程度の製造誤差が生じて、凹凸パターンにおける単位凹部長が環状領域内においてデータトラックパターンの中心からの距離に対して比例する長さとは僅かに相違する長さになったとしても、その凹凸パターンにおける単位凹部長は、中心からの距離に比例している長さの範疇に含まれるものとする。
【００１８】
さらに、本発明に係る情報記録媒体は、前記単位凹部長の前記環状領域内における前記平均長が前記内周側の環状領域から前記外周側の環状領域までの全環状領域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定されて前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンが形成されている。なお、本発明では、極く僅かな程度の製造誤差が生じて、各環状領域毎の単位凹部長の平均長が僅かに相違する状態になったとしても、それらの平均長は等しい長さの範疇に含まれるものとする。
【００１９】
また、本発明に係る情報記録媒体は、前記単位凹部長を前記データトラックパターンの中心からの距離で除した値が前記環状領域内において当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど小さくなるように当該単位凹部長が規定されて前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンが形成されている。
【００２０】
さらに、本発明に係る情報記録媒体は、前記基材の回転方向に沿った単位凸部長を前記データトラックパターンの中心からの距離で除した値が前記環状領域内において当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど小さくなるように当該単位凸部長が規定されて前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンが形成されている。
【００２１】
また、本発明に係る情報記録媒体は、前記単位凹部長が前記環状領域内における当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側までの全域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定されて前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンが形成されている。なお、本発明では、極く僅かな程度の製造誤差が生じて、凹凸パターンにおける単位凹部長が各環状領域内において僅かにばらついた状態になったとしても、それらの長さは等しい長さの範疇に含まれるものとする。
【００２２】
さらに、本発明に係る情報記録媒体は、前記単位凸部長が前記環状領域内における当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側までの全域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定されて前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンが形成されている。なお、本発明では、極く僅かな程度の製造誤差が生じて、凹凸パターンにおける単位凸部長が各環状領域内において僅かにばらついた状態になったとしても、それらの長さは等しい長さの範疇に含まれるものとする。
【００２３】
また、本発明に係る記録再生装置は、上記のいずれかの情報記録媒体と、前記サーボパターンに対応付けられているサーボデータに基づいてサーボ制御を実行する制御部とを備えている。
【００２４】
また、本発明に係る記録再生装置は、上記のいずれかの情報記録媒体と、前記各環状領域毎に予め規定された読み出し周波数情報に基づいて前記情報記録媒体から前記サーボパターンに対応付けられているサーボデータを読み出してサーボ制御する制御部とを備えている。
【００２５】
また、本発明に係る記録再生装置は、上記のいずれかの情報記録媒体と、前記データトラックパターンの中心からの距離に応じて予め規定された読み出し周波数情報に基づいて前記情報記録媒体から前記サーボパターンに対応付けられているサーボデータを読み出してサーボ制御する制御部とを備えている。
【００２６】
また、本発明に係るスタンパーは、情報記録媒体製造用のスタンパーであって、上記のいずれかの情報記録媒体における前記凹凸パターンの凹部に対応して形成された凸部と、前記情報記録媒体における前記凹凸パターンの凸部に対応して形成された凹部とを有する凹凸パターンが形成されている。
【発明の効果】
【００２７】
本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、各環状領域内における単位凹部長の平均長をデータトラックパターンの中心から環状領域までの距離で除した値が内周側の環状領域よりも外周側の環状領域ほど小さくなるように各環状領域毎に単位凹部長を規定してサーボパターンを構成する凹凸パターンを構成したことにより、単位凹部長がその内周側から外周側に向けて徐々に長くなるように凹凸パターンが形成されている従来の磁気ディスク１０ｘと比較して、外周側の環状領域における単位凹部長を十分に短くすることができる。したがって、この情報記録媒体を製造するためのスタンパーにおいて情報記録媒体の各凹部に対応する各凸部の回転方向に沿った長さを十分に短くすることができるため、インプリント処理時に厚手の残渣を生じさせることなく、スタンパーの各凸部を十分に奥深くまで樹脂層に押し込むことができる。この結果、残渣の厚みが内周側の環状領域に対応する部位と外周側の環状領域に対応する部位とで大きく相違することなくほぼ同様の厚みとなるため、残渣の取り除き処理時に内周側の環状領域に対応する部位の各凹部が過剰に拡がる事態が回避される。したがって、樹脂層における各凹部の部位に最終的に形成される凹部（サーボパターン用の凹部）が過剰に拡がる事態が回避されてサーボパターン用の凹凸パターンを高精度で形成することができる。このため、サーボパターン形成領域の全域において磁気的信号の確実な読み取りが可能なサーボパターンを有する情報記録媒体、およびその情報記録媒体を備えた記録再生装置を提供することができる。
【００２８】
この場合、単位凹部長の平均長をデータトラックパターンの中心から環状領域までの距離で除した値が外周側の環状領域よりも内周側の環状領域ほど大きくなるように各環状領域毎に単位凹部長が規定されているため、内周側の環状領域においても単位凹部長が過度に短くなる事態が回避されている。したがって、インプリント法以外の各種製造方法によって情報記録媒体を製造する際にも凹部の形成処理（レジスト層に対する現像処理や、磁性層などに対するエッチング処理等）が困難となる事態を回避することができる結果、サーボパターン形成領域の全域において凹部を高精度で形成することができる。
【００２９】
また、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凸部長に対する単位凹部長の比が各環状領域内において環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど小さくなるように単位凸部長および単位凹部長を規定したことにより、各環状領域内における外周側の単位凹部長を十分に短くすることができる。したがって、この情報記録媒体を製造するためのスタンパーにおいて各環状領域の外周側に対応する部位に過剰に長い凸部が存在しないため、インプリント処理時に、スタンパーにおける各凸部を一層スムーズに樹脂層に押し込むことができる。また、単位凸部長に対する単位凹部長の比が環状領域の外周側から内周側に向かうほど大きくなるように単位凸部長および単位凹部長が規定されているため、環状領域の内周側においても単位凹部長が過度に短くなる事態が回避されている。したがって、インプリント法以外の各種製造方法によって情報記録媒体を製造する際にも凹部の形成処理（レジスト層に対する現像処理や、磁性層などに対するエッチング処理等）が困難となる事態を回避することができる結果、サーボパターン形成領域の全域において凹部を高精度で形成することができる。
【００３０】
さらに、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凸部長が環状領域内において環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど長くなるように規定したことにより、例えば単位凸部長を環状領域内における環状領域の内周側から環状領域の外周側までの全域に亘って等しい長さに規定して単位凹部長を変化させることで単位凸部長に対する単位凹部長の比を環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど小さくする構成とは異なり、環状領域における外周側において単位凹部長が過度に短くなる事態を回避することができる。したがって、この情報記録媒体に対する記録再生時に各環状領域における外周側の凹部を確実に検出することができる結果、サーボデータの読み出しエラーの発生を確実に回避することができる。
【００３１】
また、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凹部長が環状領域における環状領域の内周側から環状領域の外周側までの全域において等しい長さとなるように規定したことにより、例えばインプリント法によってこの情報記録媒体を製造する際にサーボパターン用の凹部に対応する部位に形成される残渣の厚みを各環状領域の内周側から外周側の全域において均一にすることができる。したがって、同一の環状領域内における各凹部の長さ（単位凹部長）にばらつきが生じる事態を回避して均一にすることができる。また、各環状領域内における内周側から外周側までの全域において単位凹部長を等しい長さ、または、ほぼ等しい長さに規定したことにより、インプリント法以外の各種製造方法によって情報記録媒体を製造する場合にも、凹部の形成処理（レジスト層に対する現像処理や、磁性層などに対するエッチング処理等）が容易となる結果、サーボパターン形成領域の全域において凹部を高精度で形成することができる。
【００３２】
さらに、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凸部長および単位凹部長の合計長（すなわち、凸部および凹部の形成ピッチ）がデータトラックパターンの中心からの距離に比例して環状領域内において環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど長くなるように規定したことにより、情報記録媒体を角速度一定の条件で回転させつつサーボパターン領域からサーボデータを読み出す際に使用されるクロックの基準となる周波数情報（読み出し周波数情報）を一つの環状領域内において変化させることなく、その環状領域における環状領域の内周側から環状領域の外周側までのサーボパターン領域からサーボデータを確実に読み出す（検出する）ことができる。したがって、例えば、環状領域の内周側から外周側まで磁気ヘッドをシーク動作させる際における読み出し周波数情報の周波数切替え処理を不要とすることができる結果、シーク動作を短時間で実行することができる。このため、データアクセスを高速に行うことができる。また、読み出し周波数情報として環状領域の数に対応する種類の周波数情報を出力できればよいため、簡易な構成の制御部によってトラッキングサーボを行うことができる。
【００３３】
また、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凹部長が環状領域内においてデータトラックパターンの中心からの距離に比例して環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど長くなり、かつ単位凸部長と単位凹部長の合計長が環状領域内においてデータトラックパターンの中心からの距離に比例して環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど長くなるように単位凸部長および単位凹部長を規定したことにより、外周側の環状領域において単位凹部長が長くなる事態を回避しつつ、１つの環状領域内において読み出し周波数情報の周波数を変化させることなく、サーボデータの読み取りができるため、例えば、環状領域の内周側から外周側まで磁気ヘッドをシーク動作させる際における読み出し周波数情報の周波数切替え処理を不要とすることができる。したがって、シーク動作を短時間で実行することができるため、データアクセスを高速に行うことができる。また、読み出し周波数情報として環状領域の数に対応する種類の周波数情報を出力できればよいため、簡易な構成の制御部によってトラッキングサーボを行うことができる。また、この情報記録媒体および記録再生装置によれば、磁気ヘッドの下方を単位凸部長の凸部および単位凹部長の凹部が通過させられる時間が１つの環状領域内における内周側と外周側とで等しくすることができる。したがって、磁気ヘッドが検出するサーボデータの単位凸部長および単位凹部長の信号形状を１つの環状領域内における内周側から外周側までの全域において等しくすることができる。このため、より一層確実にサーボデータを読み出す（検出する）ことができる。
【００３４】
さらに、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凹部長の環状領域内における平均長が内周側の環状領域から外周側の環状領域までの全環状領域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定したことにより、例えば、インプリント法によって情報記録媒体を製造する際に、サーボパターン用の凹部に対応する部位に生じる残渣の厚みを内周側の環状領域から外周側の環状領域までほぼ均一にすることができる。したがって、各環状領域毎の凹部の拡がり度合いを大きくばらつかせることなく、すべての環状領域（すなわち、情報記録媒体の内周側から外周側までの全域）に亘って所望の長さの凹部を高精度で形成することができる。また、インプリント法以外の各種製造方法によって情報記録媒体を製造する場合にも、凹部の形成処理（レジスト層に対する現像処理や、磁性層などに対するエッチング処理等）が容易となる結果、サーボパターン形成領域の全域において凹部を高精度で形成することができる。
【００３５】
また、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凹部長をデータトラックパターンの中心からの距離で除した値が環状領域内において環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど小さくなるように単位凹部長を規定したことにより、各環状領域内における外周側の単位凹部長を十分に短くすることができる。したがって、この情報記録媒体を製造するためのスタンパーにおいて各環状領域の外周側に対応する部位に過剰に長い凸部が存在しないため、インプリント処理時に、スタンパーの各凸部を一層スムーズに樹脂層に押し込むことができる。また、単位凹部長をデータトラックパターンの中心からの距離で除した値が環状領域の外周側から環状領域の内周側に向かうほど大きくなるように単位凹部長が規定されているため、各環状領域の内周側においても単位凹部長が過度に短くなる事態が回避されている。したがって、インプリント法以外の各種製造方法によって情報記録媒体を製造する際にも凹部の形成処理（レジスト層に対する現像処理や、磁性層などに対するエッチング処理等）が困難となる事態を回避することができる。
【００３６】
さらに、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凸部長をデータトラックパターンの中心からの距離で除した値が環状領域内において環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど小さくなるように単位凸部長を規定してサーボパターンを構成する凹凸パターンを形成したことにより、基材の回転方向に沿った単位凸部長がデータトラックパターンの中心からの距離に比例して長くなるように（単位凸部長を中心からの距離で除した値が内周側から外周側までの全域に亘って等しくなるように）凹凸パターンが形成されている従来の情報記録媒体（磁気ディスク１０ｘ）と比較して、環状領域内における外周側の単位凸部長を十分に短くすることができる。したがって、この情報記録媒体を製造するためのスタンパーにおいて環状領域内に対応する領域の外周側に形成された各凹部の回転方向に沿った長さを十分に短くすることができるため、インプリント処理時に、スタンパーにおける凸部の押し込みによってその凸部に隣接する凹部内に移動させられた樹脂材料によって十分な高さの凸部（十分な厚みのマスク）を形成することができる。この結果、十分な厚みのマスク（十分な高さの凸部）を用いてサーボパターン用の凹部を高精度で形成することができる。
【００３７】
また、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凹部長が環状領域における環状領域の内周側から環状領域の外周側までの全域において等しい長さとなるように規定してサーボパターンを構成する凹凸パターンを形成したことにより、例えばインプリント法によってこの情報記録媒体を製造する際にサーボパターン用の凹部に対応する部位に形成される残渣の厚みを各環状領域の内周側から外周側の全域において均一にすることができる。したがって、同一の環状領域内における各凹部の長さ（単位凹部長）にばらつきが生じる事態を回避して均一にすることができる。また、各環状領域内における内周側から外周側までの全域において単位凹部長を等しい長さ、または、ほぼ等しい長さに規定したことにより、インプリント法以外の各種製造方法によって情報記録媒体を製造する場合にも、凹部の形成処理（レジスト層に対する現像処理や、磁性層などに対するエッチング処理等）が容易となる結果、サーボパターン形成領域の全域において凹部を高精度で形成することができる。
【００３８】
さらに、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凸部長が環状領域内における環状領域の内周側から環状領域の外周側までの全域において等しい長さとなるように規定してサーボパターンを構成する凹凸パターンを形成したことにより、この情報記録媒体を製造するためのスタンパーにおいて情報記録媒体の各凸部に対応する各凹部の回転方向に沿った長さを各環状領域における内周側に対応する部位から外周側に対応する部位まで均一にすることができるため、インプリント処理時に、スタンパーにおける各凸部の押し込みによって各凹部内に移動させられた樹脂材料によって形成される凸部（マスクとして機能する樹脂材料）の高さを環状領域内における内周側から外周側まで均一にすることができる。この結果、均一な厚みのマスク（均一な高さの凸部）を用いてサーボパターン用の凹部を高精度で形成することができる。
【００３９】
また、本発明に係る記録再生装置によれば、サーボパターンに対応付けられているサーボデータに基づいてサーボ制御を実行する制御部を備え、各環状領域毎に予め規定された読み出し周波数情報に基づいて制御部が情報記録媒体からサーボパターンに対応付けられているサーボデータを読み出すように構成したことにより、例えば、情報記録媒体の内周側の環状領域内から外周側の環状領域内まで磁気ヘッドをシーク動作させる際における検出用クロックの周波数切替え処理の回数を少なくすることができる。したがって、シーク動作を短時間で実行することができるため、データアクセスを高速に行うことができる。
【００４０】
また、本発明に係る記録再生装置によれば、サーボパターンに対応付けられているサーボデータに基づいてサーボ制御を実行する制御部を備え、データトラックパターンの中心からの距離に応じて予め規定された読み出し周波数情報に基づいて制御部が情報記録媒体からサーボパターンに対応付けられているサーボデータを読み出すように構成したことにより、情報記録媒体を角速度一定の条件で回転させつつサーボパターン（サーボデータ）を確実に読み出すことができる。
【００４１】
また、本発明に係るスタンパーによれば、上記の情報記録媒体における凹凸パターンの凹部に対応して形成した凸部と、情報記録媒体における凹凸パターンの凸部に対応して形成した凹部とを有する凹凸パターンを備えたことにより、スタンパーの外周側に回転方向に沿った長さが過剰に長い凸部が存在しないため、凹凸パターンを形成するためのインプリント処理時（情報記録媒体製造用の中間体における樹脂層にスタンパーの凹凸パターンを転写する処理時）に、樹脂層に対してスタンパーの凹凸パターン（各凸部）をスムーズに押し込むことができる。したがって、各凸部の押し込み量の不足に起因する不都合（厚手の残渣が生じることに起因して各凹部が過剰に拡がる事態）が生じる事態を回避することができる。これにより、サーボデータの確実な読み取りが可能な情報記録媒体を製造することができる。また、回転方向に沿った長さが過剰に長い凹部がスタンパーに存在しないため、インプリント処理時にこのスタンパーの凸部の押し込みによってスタンパーの凹部内に移動させられる樹脂材料によって、十分に高い凸部を樹脂層に形成する（十分に厚い樹脂マスクを形成する）ことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４２】
以下、本発明に係る情報記録媒体、記録再生装置およびスタンパーの最良の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００４３】
図１に示すハードディスクドライブ１は、本発明に係る記録再生装置の一例としての磁気記録再生装置であって、スピンドルモータ２、磁気ヘッド３、信号変換部４、検出用クロック出力部５、サーボデータ検出部６、ドライバ７、制御部８、ＲＯＭ９および磁気ディスク１０ａを備えて構成されている。この場合、磁気ディスク１０ａは、一例として、垂直記録方式で記録データを記録可能なディスクリートトラック型の磁気ディスク（パターンド媒体）であって、本発明における情報記録媒体に相当する。具体的には、図２に示すように、この磁気ディスク１０ａは、軟磁性層１２、中間層１３および磁性層１４がガラス基材１１の上にこの順で形成されている。この場合、中間層１３の上に形成されている磁性層１４は、磁性材料で形成された凸部２１，２１・・と凹部２２，２２・・とが交互に形成されることによって所定の凹凸パターン２０を構成する。また、凹部２２，２２・・には、ＳｉＯ２等の非磁性材料１５が埋め込まれている。さらに、凹部２２に埋め込まれた非磁性材料１５、および凸部２１の上には、一例としてダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）の薄膜がＣＶＤ法によって成膜されて厚みが２ｎｍ程度の保護層（ＤＬＣ膜）１６が形成されている。また、この磁気ディスク１０ａでは、保護層１６の表面に潤滑剤（一例として、フッ素系の潤滑剤）が塗布されている。
【００４４】
ガラス基材１１は、本発明における基材に相当し、直径２．５インチのガラス板を表面研磨して厚みが０．６ｍｍ程度となるように形成されている。なお、本発明における基材は、ガラス材料に限定されるものではなく、アルミニウムやセラミックなどの各種非磁性材料で形成することができる。軟磁性層１２は、ＣｏＺｒＮｂ合金などの軟磁性材料をスパッタリングすることによって厚みが１００ｎｍ〜２００ｎｍ程度となるように形成されている。中間層１３は、磁性層１４を形成するための下地層として機能する層であって、ＣｒやＣｏＣｒ非磁性合金などの中間層形成用材料をスパッタリングすることによって厚みが４０ｎｍ程度となるように形成されている。磁性層１４は、磁性材料で形成された凸部２１，２１・・で構成された層であって、例えばＣｏＣｒＰｔ合金をスパッタリングする処理と、レジストパターン等をマスクとして用いてエッチング処理して凹部２２，２２・・を形成する処理とがこの順で実行されることによって、凸部２１，２１・・（凹凸パターン２０）が形成されて構成されている。
【００４５】
この場合、図３に示すように、この磁気ディスク１０ａでは、凹凸パターン２０（凹凸パターン２０ｔ）の中心Ｏを中心とする同心円状の（すなわち、凹凸パターン２０ｔと同心の）４つの環状領域Ａ１ａ〜Ａ４ａ（本発明における複数の環状領域の一例：以下、区別しないときには、環状領域Ａａともいう）に区分けされて凹凸パターン２０（凹凸パターン２０ｔ、凹凸パターン２０ｓａ）が形成されている。なお、本発明における「複数の環状領域」の数は上記の４つに限定されず、磁気ディスク１０ａの内周側から外周側までを２つ以上の任意の数に区分けすることができる。また、この磁気ディスク１０ａでは、トラックパターン領域Ａｔ，Ａｔの間にサーボパターン領域Ａｓａが設けられてトラックパターン領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓａが磁気ディスク１０ａの回転方向（矢印Ｒの向き）において交互に並ぶように形成されている。
【００４６】
また、図５，６に示すように、トラックパターン領域Ａｔ（各環状領域Ａａにおける内周側の内周側トラックパターン領域Ａｔｉ、および各環状領域Ａａにおける外周側の外周側トラックパターン領域Ａｔｏ）には、データトラックパターンとしての凹凸パターン２０ｔが形成されている。この場合、凹凸パターン２０ｔは、磁気ディスク１０ａの回転中心を中心Ｏ（図３参照）とする同心円状の多数の凸部２１ｔ，２１ｔ・・（データ記録用トラック）と、各凸部２１ｔ，２１ｔ・・の間の凹部２２ｔ，２２ｔ・・とで構成されている。なお、磁気ディスク１０ａの回転中心と凹凸パターン２０ｔの中心Ｏとが一致しているのが好ましいが、実際には、製造誤差に起因する３０〜５０μｍ程度の極く小さなずれが生じることがある。しかし、この程度のずれ量であれば磁気ヘッド３に対するトラッキングサーボ制御が十分に可能であるため、回転中心と中心Ｏとは、実質的には同様であるといえる。また、凹凸パターン２０ｔの凹部２２ｔ，２２ｔ・・には、非磁性材料１５が埋め込まれてトラックパターン領域Ａｔの表面が平坦化されている。
【００４７】
また、図４〜６に示すように、サーボパターン領域Ａｓａ（各環状領域Ａａにおける内周側の内周側サーボパターン領域Ａｓａｉ、および各環状領域Ａａにおける外周側の外周側サーボパターン領域Ａｓａｏ）には、サーボパターンとしての凹凸パターン２０ｓａが形成されている。この場合、図５，６に示すように、凹凸パターン２０ｓａは、プリアンブルパターン、アドレスパターンおよびバーストパターンなどの各種サーボパターンを構成する凸部２１ｓ，２１ｓ・・（凸部２１ｓｉおよび凸部２１ｓｏ）並びに凹部２２ｓ，２２ｓ・・（凹部２２ｓｉおよび凹部２２ｓｏ）で構成されている。また、この磁気ディスク１０ａでは、回転方向（各図における矢印Ｒの向き）に沿った凸部２１ｓの長さと凹部２２ｓの長さとの合計長（すなわち、凸部２１ｓおよび凹部２２ｓの形成ピッチ）が各環状領域Ａａ内において凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例してその内周側からその外周側に向けて徐々に長くなるように規定されている。したがって、図４に示すように、各環状領域Ａａは、回転方向に沿った長さが環状領域Ａａにおける内周側の長さＬ４ｉよりも、外周側の長さＬ４ｏの方が僅かに長くなっている。
【００４８】
また、この磁気ディスク１０ａでは、回転方向に沿った凹部２２ｓの長さが環状領域Ａａにおける内周側から外周側までの全域において等しい長さとなるように（本発明における「単位凹部長が等しい長さ、または、ほぼ等しい長さ」となるように規定した一例）各凹部２２ｓ，２２ｓ・・が形成されると共に、回転方向に沿った凸部２１ｓの長さが各環状領域Ａａの内周側から外周側に向けて徐々に長くなるように各凸部２１ｓ，２１ｓ・・が形成されている。したがって、この磁気ディスク１０ａでは、回転方向に沿った凸部２１ｓの長さに対する凹部２２ｓの長さの比が各環状領域Ａａにおいてその内周側からその外周側に向けて徐々に小さくなるように規定されている。さらに、このこの磁気ディスク１０ａでは、凹部２２ｓの長さがすべての環状領域Ａａに亘って等しい長さとなるように規定されている。この結果、この磁気ディスク１０ａでは、各環状領域Ａａ内の凹部２２ｓの平均長がすべての環状領域Ａａにおいて等しくなると共に、各環状領域Ａａ内の凹部２２ｓの平均長を凹凸パターン２０ｔの中心Ｏから環状領域Ａａまでの距離（一例として、環状領域Ａａにおける最内周の部位とする）で除した値が内周側の環状領域Ａ１ａから外周側の環状領域Ａ４ａに向かうほど小さくなっている。また、図４に示すように、この磁気ディスク１０ａでは、各環状領域Ａａの内周側の長さＬ４ｉ，Ｌ４ｉ・・が互いに等しくなるように規定され、各環状領域Ａａの外周側の長さＬ４ｏ，Ｌ４ｏ・・が互いに等しくなるように規定されている。
【００４９】
具体的には、図５に示すように、各環状領域Ａａにおける内周側領域Ａｉａ（一例として、環状領域Ａ１ａ内における中心Ｏからの距離が１１ｍｍの部位におけるプリアンブルパターンの形成領域）では、凸部２１ｓｉの長さＬ１ｉ（一例として、２２０ｎｍ）と凹部２２ｓｉの長さＬ２ｉ（一例として、２２０ｎｍ）との合計長である長さＬ３ｉが４４０ｎｍとなるように規定されている。これに対して、図６に示すように、各環状領域Ａａにおける外周側領域Ａｏａ（一例として、環状領域Ａ１ａ内における中心Ｏからの距離が１６ｍｍの部位におけるプリアンブルパターンの形成領域）では、凸部２１ｓｏの長さＬ１ｏ（一例として、４２０ｎｍ）と凹部２２ｓｏの長さＬ２ｏ（一例として、凹部２２ｓｉの長さＬ２ｉと等しい２２０ｎｍ）との合計長である長さＬ３ｏが６４０ｎｍとなっている。この結果、図５に示すように、この磁気ディスク１０ａでは、各環状領域Ａａにおいて、その内周側領域Ａｉａにおける凹凸パターン２０ｓａの凸部２１ｓｉの長さＬ１ｉに対する凹部２２ｓｉの長さＬ２ｉの比が１であるのに対して、図６に示すように、外周側領域Ａｏａにおける凸部２１ｓｏの長さＬ１ｏに対する凹部２２ｓｏの長さＬ２ｏの比が１１／２１となっている。
【００５０】
この場合、各環状領域Ａａ毎の凸部２１ｓの長さ（単位凸部長）に対する凹部２２ｓの長さ（単位凹部長）の比については、上記のプリアンブルパターンのみならず、アドレスパターンやバーストパターンを構成する凹凸パターン２０ｓａについても同様に規定されている。また、バーストパターンについては、磁気ディスク１０ａの回転方向に沿って複数の矩形状の凹部２２ｓ，２２ｓ・・が凸部２１ｓを挟んで並んでいる領域において、単位凸部長に対する単位凹部長の比が上記の条件を満たすように規定されている。なお、図５，６では、本発明についての理解を容易とするために、凸部２１ｓｏの長さＬ１ｏに対する凹部２２ｓｏの長さＬ２ｏの比を誇張して小さくした状態（凸部の長さを誇張して長くした状態）を図示している。また、両図では、サーボパターンにおけるプリアンブルパターンおよびバーストパターンを模式的に図示しており、理解を容易にすべく、回転方向に沿った各凸部２１ｓ，２１ｓ・・や各凹部２２ｓ，２２ｓ・・の長さをサーボパターンの単位凸部長および単位凹部長のみで図示している。したがって、実際の磁気ディスク１０ａでは、凸部２１ｓ，２１ｓ・・や凹部２２ｓ，２２ｓ・・の数、形成位置および長さが各図に示す状態とは異なり、トラッキングサーボ制御に必要なトラックアドレスおよびセクターアドレス等の情報（パターン）を含む各種の制御用データに対応して、凸部２１ｓや凹部２２ｓのそれぞれの数、形成位置および長さが規定されて凹凸パターン２０ｓａが形成されている。この場合、凸部２１ｓや凹部２２ｓの実際の長さは、凸部２１ｓや凹部２２ｓの長さ（単位凸部長および単位凹部長）の整数倍の長さとなる。
【００５１】
一方、スピンドルモータ２は、制御部８の制御下で磁気ディスク１０ａを一例として４２００ｒｐｍの回転数で定速回転させる。磁気ヘッド３は、図１に示すように、スイングアーム３ａを介してアクチュエータ３ｂに取り付けられて磁気ディスク１０ａに対する記録データの記録再生時において磁気ディスク１０ａ上を移動させられる。また、磁気ヘッド３は、磁気ディスク１０ａの各環状領域Ａａにおけるサーボパターン領域Ａｓａからのサーボデータの読み出しと、各環状領域Ａａにおけるトラックパターン領域Ａｔ（凸部２１ｔ，２１ｔ・・）に対する記録データの磁気的な書き込みと、各環状領域Ａａにおけるトラックパターン領域Ａｔに磁気的に書き込まれている記録データの読み出しとを実行する。なお、磁気ヘッド３は、実際には磁気ディスク１０ａに対して磁気ヘッド３を浮上させるためのスライダの底面（エアベアリング面）に形成されているが、このスライダについての説明および図示を省略する。アクチュエータ３ｂは、制御部８の制御下でドライバ７から供給される駆動電流によってスイングアーム３ａをスイングさせることにより、磁気ヘッド３を磁気ディスク１０ａ上の任意の記録再生位置に移動させる。
【００５２】
信号変換部４は、アンプ、ＬＰＦ（Ｌｏｗ Ｐａｓｓ Ｆｉｌｔｅｒ）およびＡ／Ｄ変換器等（図示せず）を備え、磁気ヘッド３によって磁気ディスク１０ａから取得された各種信号を増幅してノイズを除去した後にＡ／Ｄ変換して出力する。ＲＯＭ９は、制御部８が出力すべき読み出し周波数情報についてのクロックデータＤｃｌを各環状領域Ａａ毎に記憶している。この場合、制御部８は、後述するように、クロックデータＤｃｌに基づき、一例として、同一の環状領域Ａａ内では周波数を変化させず、かつ、凹凸パターン２０ｔの中心Ｏから離れている環状領域Ａａ内の記録トラックにオントラックさせるときほど周波数が高くなるように読み出し周波数情報の周波数を変化させて検出用クロック出力部５に出力する。検出用クロック出力部５は、制御部８がクロックデータＤｃｌに基づいて出力する読み出し周波数情報を取得すると共に、信号変換部４から出力されたデジタルデータのうちから、磁気ヘッド３を介して各環状領域Ａａのサーボパターン領域Ａｓａから読み出されたプリアンブル用のデータ（プリアンブル用の信号）を取得（検出）する。また、検出用クロック出力部５は、読み出し周波数情報とプリアンブル用のデータとに基づいて位相や周波数等の調整を行うことにより、実際のサーボデータ検出時に使用される検出用クロックＣｌｓを生成してサーボデータ検出部６に出力する。
【００５３】
この場合、この磁気ディスク１０ａでは、前述したように、各環状領域Ａａにおける長さＬ４ｉ，Ｌ４ｉ・・が互いに等しく、かつ長さＬ４ｏ，Ｌ４ｏ・・が互いに等しくなるように凹凸パターン２０ｓａが形成されている。このため、磁気ディスク１０ａを角速度一定の回転速度で定速回転させたときには、磁気ヘッド３の下方をサーボパターン領域Ａｓａが通過させられる時間が外周側の環状領域Ａａほど短時間となる。したがって、制御部８は、一例として、磁気ディスク１０ａが４２００ｒｐｍで定速回転させられている状態において、磁気ヘッド３が環状領域Ａ１ａ内の記録トラック（凸部２１ｔ）にオントラックさせられているときには、２２ＭＨｚの読み出し周波数情報を出力し、磁気ヘッド３が環状領域Ａ２ａ内の記録トラックにオントラックさせられているときには、３２ＭＨｚの読み出し周波数情報を出力し、環状領域Ａ３ａ内の記録トラックにオントラックさせられているときには、４２ＭＨｚの読み出し周波数情報を出力し、環状領域Ａ４ａ内の記録トラックにオントラックさせられているときには、５２ＭＨｚの読み出し周波数情報を出力する。
【００５４】
サーボデータ検出部６は、検出用クロック出力部５から出力された検出用クロックＣｌｓに同期して読み込むことにより、信号変換部４から出力されたデジタルデータからサーボデータＤｓを取得（検出）して制御部８に出力する。ドライバ７は、制御部８からの制御信号に従ってアクチュエータ３ｂを制御して磁気ヘッド３を所望の記録トラック（凸部２１ｔ）にオントラックさせる。制御部８は、ハードディスクドライブ１を総括的に制御する。また、制御部８は、サーボデータ検出部６から出力されるヘッド位置情報に基づいて磁気ヘッド３が磁気ディスク１０ａ上の内周側の各環状領域Ａａから外周側の各環状領域Ａａまでの間のいずれの環状領域Ａａ内の記録トラックにオントラックしているかを特定すると共に、所望の磁気ヘッド３の位置（磁気ヘッド３を移動させようとする環状領域Ａａおよび記録トラックの位置）に応じて、環状領域Ａａ毎に予め規定されてＲＯＭ９に記憶させられているクロックデータＤｃｌ（周波数変更条件についてのデータ）に応じて前述したように読み出し周波数情報の周波数を変化させて検出用クロック出力部５に出力する。さらに、制御部８は、サーボデータ検出部６から出力されたサーボデータＤｓに基づいてドライバ７を制御する。
【００５５】
次に、磁気ディスク１０ａの製造方法、および使用方法について説明する。
【００５６】
上記の磁気ディスク１０ａの製造に際しては、図７に示す中間体３０と図８に示すスタンパー３５ａとを使用する。この場合、図７に示すように、中間体３０は、軟磁性層１２、中間層１３、および磁性層１４がガラス基材１１の上にこの順で形成されると共に、磁性層１４の上に、マスク層１７と、厚み８０ｎｍ程度の樹脂層（レジスト層）１８とが形成されて構成されている。一方、スタンパー３５ａは、本発明に係る情報記録媒体製造用のスタンパーの一例であって、図８に示すように、磁気ディスク１０ａにおける凹凸パターン２０（凹凸パターン２０ｔ，２０ｓａ）とは凹凸位置関係が反転している凹凸パターン３９が形成されて、インプリント法による磁気ディスク１０ａの製造が可能に構成されている。この場合、スタンパー３５ａの凹凸パターン３９は、凸部３９ａ，３９ａ・・が磁気ディスク１０ａの凹凸パターン２０における凹部２２，２２・・に対応し、凹部３９ｂ，３９ｂ・・が凹凸パターン２０における凸部２１，２１・・に対応して形成されている。したがって、このスタンパー３５ａでは、凸部３９ａの回転方向に沿った長さが凹凸パターン２０における凹部２２の回転方向に沿った長さとほぼ等しく、かつ凹部３９ｂの回転方向に沿った長さが凹凸パターン２０における凸部２１の回転方向に沿った長さとほぼ等しくなっている。なお、中間体３０およびスタンパー３５ａの製造方法については、特に限定されず、公知の各種製造方法によって製造することができる。
【００５７】
この中間体３０およびスタンパー３５ａを用いた磁気ディスク１０ａの製造に際しては、図９に示すように、まず、中間体３０の樹脂層１８にスタンパー３５ａの凹凸パターン３９をインプリント法によって転写する。具体的には、スタンパー３５ａにおける凹凸パターン３９の形成面を中間体３０の樹脂層１８に押し付けることにより、凹凸パターン３９の凸部３９ａ，３９ａ・・を中間体３０の樹脂層１８に押し込む。
【００５８】
この場合、このスタンパー３５ａを用いて製造する磁気ディスク１０ａは、前述したように、各環状領域Ａａ内における内周側の凹部２２ｓｉ，２２ｓｉ・・の長さＬ２ｉと、環状領域Ａａ内における外周側の凹部２２ｓｏ，２２ｓｏ・・の長さＬ２ｏとが等しい長さ（この例では、２２０ｎｍ）となるように形成されている。また、磁気ディスク１０ａでは、環状領域Ａ１ａ〜Ａ４ａのすべて（すなわち、磁気ディスク１０ａの全域）の凹部２２ｓｉ，２２ｓｉ・・の長さＬ２ｉと、外周側の凹部２２ｓｏ，２２ｓｏ・・の長さＬ２ｏとが等しい長さとなるように形成されている。この結果、各凸部２１ｓ，２１ｓ・・の長さ（単位凸部長）に対する各凹部２２ｓ，２２ｓ・・の長さ（単位凹部長）の比が各環状領域Ａａ内において内周側から外周側に向かうほど小さくなるように規定されて凹凸パターン２０が形成されている。したがって、磁気ディスク１０ａを製造するためのスタンパー３５ａには、磁気ディスク１０ａにおけるサーボパターン領域Ａｓａに対応する全域において、回転方向に沿った長さが長さＬ２ｉ，Ｌ２ｏを大きく超える凸部３９ａが存在しないように（凸部３９ａの長さが長さＬ２ｉ，Ｌ２ｏとほぼ等しくなるように）凹部３９ｂ，３９ｂ・・が形成されている。この結果、凸部３９ａ，３９ａ・・が樹脂層１８にスムーズに押し込まれる。これにより、スタンパー３５ａにおける凸部３９ａの先端部と中間体３０のマスク層１７との間に厚手の残渣が生じることなく、スタンパー３５ａの凸部３９ａ，３９ａ・・が十分に奥深くまで中間体３０の樹脂層１８に押し込まれる。
【００５９】
次いで、中間体３０からスタンパー３５ａを剥離し、さらに、凹部４１ｂの底面に残存する樹脂（残渣：図示せず）を酸素プラズマ処理によって除去することにより、図１０に示すように、中間体３０におけるマスク層１７の上に樹脂層１８からなる凹凸パターン４１が形成される。この場合、前述したように中間体３０の樹脂層１８に対してスタンパー３５ａにおける内周側の凸部３９ａ，３９ａ・・（内周側の環状領域Ａａに対応して形成された凸部）から外周側の凸部３９ａ，３９ａ・・（外周側の環状領域Ａａに対応して形成された凸部）までがほぼ均等に押し込まれてマスク層１７上の残渣の厚みが全域においてほぼ均等となっているため、いずれかの環状領域Ａａにおける内周側の各凹部２２ｓｉ，２２ｓｉ・・において残渣の取り除きが完了した時点で、他の部位においてもほぼ同時に残渣の取り除きが完了する。次いで、残渣の取り除きが完了した凹凸パターン４１（樹脂層１８）をマスクとして用いてエッチング処理を実行することにより、凹凸パターン４１における凹部４１ｂ，４１ｂ・・の底部においてマスク（凸部４１ａ，４１ａ・・）から露出しているマスク層１７をエッチングする。
【００６０】
この場合、マスクとして用いる凹凸パターン４１を形成するのに使用したスタンパー３５ａは、その凹凸パターン３９が磁気ディスク１０ａの凹凸パターン２０とは凹凸位置関係が反転しているため、凹凸パターン３９の単位凹部長（凹部３９ｂの単位凹部長に対応する長さ）に対する単位凸部長（凸部３９ａの単位凸部長に対応する長さ）の比が各環状領域Ａａ内においてその内周側から外周側に向かうほど小さくなっている。言い換えれば、スタンパー３５ａの凹凸パターン３９は、単位凹部長に対する単位凸部長の比が各環状領域Ａａ毎に外周側から内周側に向かうほど大きくなっている。したがって、この凹凸パターン３９を転写して形成した凹凸パターン４１では、単位凸部長（凸部４１ａの単位凸部長に対応する長さ）に対する単位凹部長（凹部４１ｂの単位凹部長に対応する長さ）の比が各環状領域Ａａ内においてその外周側から内周側に向かうほど大きくなっており、これにより、各環状領域Ａａにおける内周側の凹部４１ｂにおける回転方向に沿った長さが過度に短くなる事態が回避されている。したがって、凹部４１ｂが過度に狭いことに起因するエッチング不良を招くことなく、十分に広い凹部４１ｂから露出しているマスク層１７を確実にエッチングすることが可能となっている。これにより、図１１に示すように、凸部４２ａおよび凹部４２ｂを有する凹凸パターン４２が中間体３０のマスク層１７に形成される。
【００６１】
次いで、凹凸パターン４２（マスク層１７）をマスクとして用いてエッチング処理を実行することにより、凹凸パターン４２における凹部４２ｂ，４２ｂ・・の底部においてマスク（凸部４２ａ，４２ａ・・）から露出している磁性層１４をエッチングする。これにより、図１２に示すように、その回転方向に沿った長さがスタンパー３５ａにおける凹部３９ｂの回転方向に沿った長さとほぼ等しい凸部２１と、その回転方向に沿った長さがスタンパー３５ａにおける凸部３９ａの回転方向に沿った長さとほぼ等しい凹部２２とを有する凹凸パターン２０（凹凸パターン２０ｔ，２０ｓａ）が中間体３０の磁性層１４に形成される。次いで、凸部２１，２１・・の上に残存しているマスク層１７に対して選択的にエッチング処理を行うことにより、残存しているマスク層１７を完全に除去して凸部２１，２１・・の突端面を露出させる。
【００６２】
次いで、非磁性材料１５としてのＳｉＯ２をスパッタリングする。この際には、非磁性材料１５によって凹部２２，２２・・が完全に埋め尽くされ、かつ、凸部２１，２１・・の上に例えば厚みが６０ｎｍ程度の非磁性材料１５の層が形成されるように、非磁性材料１５を十分にスパッタリングする。続いて、磁性層１４の上（凸部２１，２１・・の上および凹部２２，２２・・の上）の非磁性材料１５の層に対してイオンビームエッチング処理を実行する。この際には、各凸部２１，２１・・の突端面が非磁性材料１５から露出するまでイオンビームエッチング処理を継続する。これにより、中間体３０の表面が平坦化される。続いて、中間体３０の表面を覆うようにしてＣＶＤ法によってダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）の薄膜を成膜することによって保護層１６形成した後に、保護層１６の表面にフッ素系の潤滑剤を平均厚さが例えば２ｎｍ程度となるように塗布する。これにより、図２に示すように、磁気ディスク１０ａが完成する。
【００６３】
この磁気ディスク１０ａでは、前述したように、各環状領域Ａａにおける長さＬ４ｉ，Ｌ４ｉ・・が互いに等しく、かつ長さＬ４ｏ，Ｌ４ｏ・・が互いに等しくなるように凹凸パターン２０ｓａが形成されている。このため、磁気ディスク１０ａを角速度一定の回転速度で定速回転させたときに、磁気ヘッド３の下方をサーボパターン領域Ａｓａが通過させられる時間が外周側の環状領域Ａａほど短時間となっている。したがって、制御部８は、外周側の環状領域Ａａに磁気ヘッド３を位置させるときほど短い波長の読み出し周波数情報を出力する。また、この磁気ディスク１０ａでは、凸部２１ｓの長さと凹部２２ｓの長さとの合計長（長さＬ３ｉ，Ｌ３ｏ）が各環状領域Ａａ内において凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して内周側から外周側に向かうほど長くなるように規定されて凹凸パターン２０ｓａが形成されている。したがって、制御部８は、同一の環状領域Ａａ内においては、上記の読み出し周波数情報のクロック周波数を変化させることなく出力する。これにより、各環状領域Ａ１ａ〜Ａ４ａ内のサーボパターン領域Ａｓａから読み出されたサーボデータＤｓに基づき、制御部８がドライバ７を制御してアクチュエータ３ｂを駆動させ、磁気ヘッド３を所望の環状領域Ａａ内におけるいずれかのトラックにオントラックさせる。これにより、トラックパターン領域Ａｔ内の凸部２１ｔ，２１ｔ・・（データ記録トラック）にオントラックさせた磁気ヘッド３を介して記録データの記録再生が行われる。
【００６４】
このように、この磁気ディスク１０ａおよびハードディスクドライブ１によれば、各環状領域Ａａ内における単位凹部長の平均長を中心Ｏから環状領域Ａａまでの距離で除した値が内周側の環状領域Ａａよりも外周側の環状領域Ａａほど小さくなるように各環状領域Ａａ毎に単位凹部長を規定してサーボパターンを構成する凹凸パターン２０ｓａを構成したことにより、単位凹部長が内周側から外周側に向けて徐々に長くなるように凹凸パターンが形成されている従来の磁気ディスク１０ｘと比較して、外周側の環状領域Ａａにおける単位凹部長を十分に短くすることができる。したがって、この磁気ディスク１０ａを製造するためのスタンパー３５ａにおいて磁気ディスク１０ａの各凹部２２ｓ，２２ｓ・・に対応する凸部３９ａ，３９ａ・・の回転方向に沿った長さを十分に短くすることができるため、インプリント処理時に、スタンパー３５ａにおける凸部３９ａの先端部と中間体３０のマスク層１７との間に厚手の残渣を生じさせることなく、スタンパー３５ａの凸部３９ａ，３９ａ・・を十分に奥深くまで中間体３０の樹脂層１８に押し込むことができる。この結果、残渣の厚みが内周側の環状領域Ａａに対応する部位と外周側の環状領域Ａａに対応する部位とで大きく相違することなくほぼ同様の厚みとなるため、残渣の取り除き処理時に内周側の環状領域Ａａに対応する部位の凹部４１ｂ，４１ｂ・・が過剰に拡がる事態が回避される。したがって、凹凸パターン４１における凹部４１ｂ，４１ｂ・・の部位に最終的に形成される凹部２２ｓｉ，２２ｓｉ・・が過剰に拡がる事態が回避されて凹凸パターン２０ｓａを高精度で形成することができる。このため、サーボパターン領域Ａｓａの全域において磁気的信号の確実な読み取りが可能なサーボパターン（凹凸パターン２０ｓａ）を有する磁気ディスク１０ａ、およびその磁気ディスク１０ａを備えたハードディスクドライブ１を提供することができる。
【００６５】
この場合、単位凹部長の平均長を凹凸パターン２０ｔの中心Ｏから環状領域Ａａまでの距離で除した値が外周側の環状領域Ａａよりも内周側の環状領域Ａａほど大きくなるように各環状領域Ａａ毎に単位凹部長が規定されているため、内周側の環状領域Ａａにおいても単位凹部長が過度に短くなる事態が回避されている。したがって、凹部の形成処理（マスク層１７や磁性層１４に対するエッチング処理等）が困難となる事態を回避することができる結果、サーボパターン領域Ａｓａの全域において凹部２２ｓ，２２ｓ・・を高精度で形成することができる。
【００６６】
また、この磁気ディスク１０ａおよびハードディスクドライブ１によれば、単位凸部長に対する単位凹部長の比が各環状領域Ａａ内においてその内周側からその外周側に向かうほど小さくなるように単位凸部長および単位凹部長を規定して凹凸パターン２０ｓａ（サーボパターン）を形成したことにより、各環状領域Ａａ内における外周側の単位凹部長を十分に短くすることができる。したがって、この磁気ディスク１０ａを製造するためのスタンパー３５ａにおいて各環状領域Ａａの外周側に対応する部位に過剰に長い凸部が存在しないため、インプリント処理時に、スタンパー３５ａにおける凸部３９ａを一層スムーズに樹脂層１８に押し込むことができる。また、単位凸部長に対する単位凹部長の比が環状領域Ａａの外周側から内周側に向かうほど大きくなるように単位凸部長および単位凹部長が規定されているため、環状領域Ａａの内周側においても単位凹部長が過度に短くなる事態が回避されている。したがって、凹部の形成処理（マスク層１７や磁性層１４に対するエッチング処理等）が困難となる事態を回避することができる結果、サーボパターン領域Ａｓａの全域において凹部２２ｓ，２２ｓ・・を高精度で形成することができる。
【００６７】
さらに、この磁気ディスク１０ａおよびハードディスクドライブ１によれば、単位凸部長が環状領域Ａａ内においてその内周側からその外周側に向かうほど長くなるように規定して凹凸パターン２０ｓａ（サーボパターン）を形成したことにより、例えば単位凸部長を環状領域Ａａ内における内周側から外周側までの全域に亘って等しい長さに規定して単位凹部長を変化させることで単位凸部長に対する単位凹部長の比を環状領域Ａａの内周側から外周側に向かうほど小さくする構成とは異なり、環状領域Ａａにおける外周側において単位凹部長が過度に短くなる事態を回避することができる。したがって、この磁気ディスク１０ａに対する記録再生時に環状領域Ａａにおける外周側の凹部を確実に検出することができる結果、サーボデータＤｓの読み出しエラーの発生を確実に回避することができる。
【００６８】
また、この磁気ディスク１０ａおよびハードディスクドライブ１によれば、単位凹部長が環状領域Ａａにおける内周側から外周側までの全域において等しい長さとなるように規定して凹凸パターン２０ｓａ（サーボパターン）を形成したことにより、インプリント処理時に凹部２２ｓに対応する部位に形成される残渣の厚みを各環状領域Ａａの内周側から外周側の全域において均一にすることができる。したがって、同一の環状領域Ａａ内における各凹部２２ｓ，２２ｓ・・の長さ（単位凹部長）にばらつきが生じる事態を回避して均一にすることができる。また、各環状領域Ａａ内の内周側から外周側までの全域において単位凹部長が等しくなるように規定したことにより、製造時における凹部の形成処理（マスク層１７や磁性層１４に対するエッチング処理等）が容易となる結果、サーボパターン領域Ａｓａの全域において凹部２２ｓ，２２ｓ・・を高精度で形成することができる。
【００６９】
さらに、この磁気ディスク１０ａおよびハードディスクドライブ１によれば、単位凸部長および単位凹部長の合計長（すなわち、凸部２１ｓおよび凹部２２ｓの形成ピッチ）が凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して環状領域Ａａ内においてその内周側からその外周側に向かうほど長くなるように規定して凹凸パターン２０ｓａ（サーボパターン）を形成したことにより、磁気ディスク１０ａを角速度一定の条件で回転させつつサーボパターン領域ＡｓａからサーボデータＤｓを読み出す際に使用されるクロックの基準となる周波数情報（読み出し周波数情報）を一つの環状領域Ａａ内において変化させることなく、環状領域Ａａにおける内周側から外周側までのサーボパターン領域ＡｓａからサーボデータＤｓを確実に読み出す（検出する）ことができる。
【００７０】
また、この磁気ディスク１０ａおよびハードディスクドライブ１によれば、各環状領域Ａａ内における単位凹部長の平均長が内周側の環状領域Ａ１ａから外周側の環状領域Ａ４ａまでの全環状領域Ａａにおいて等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定してサーボパターンを構成する凹凸パターン２０ｓａを構成したことにより、サーボパターン用の凹部２２ｓ，２２ｓ・・・に対応する部位に生じる残渣の厚みを内周側の環状領域Ａ１ａから外周側の環状領域Ａ４ａまでほぼ均一にすることができる。したがって、残渣の取り除き処理時に生じる各環状領域Ａａ毎の凹部４１ｂ，４１ｂ・・の拡がり度合いを大きくばらつかせることなく、内周側の環状領域Ａ１ａから外周側の環状領域Ａ４ａまでのすべての環状領域Ａａ（すなわち、磁気ディスク１０ａの内周側から外周側までの全域）に亘って所望の長さの凹部２２ｓ，２２ｓ・・を高精度で形成することができる。また、凹部の形成処理（マスク層１７や磁性層１４に対するエッチング処理等）が容易となる結果、サーボパターン領域Ａｓａの全域において凹部２２ｓ，２２ｓ・・を高精度で形成することができる。
【００７１】
さらに、この磁気ディスク１０ａを搭載したハードディスクドライブ１によれば、サーボパターンに対応付けられているサーボデータＤｓに基づいてサーボ制御を実行する制御部８を備え、各環状領域Ａａ毎に予め規定された読み出し周波数情報に基づいて制御部８がサーボデータ検出部６を制御して磁気ディスク１０ａからサーボパターンに対応付けられているサーボデータＤｓを読み出すように構成したことにより、例えば、磁気ディスク１０ａの内周側の環状領域Ａ１ａから外周側の環状領域Ａ４ａまで磁気ヘッド３をシーク動作させる際における読み出し周波数情報の周波数切替え処理の回数を３回だけに止めることができる。したがって、シーク動作を短時間で実行することができるため、データアクセスを高速に行うことができる。また、読み出し周波数情報として環状領域の数（この例では４つ）に対応する種類の周波数情報を出力できればよいため、簡易な構成の制御部（検出用クロック出力部５および制御部８）によってトラッキングサーボを行うことができる。
【００７２】
また、この磁気ディスク１０ａを製造するためのスタンパー３５ａによれば、磁気ディスク１０ａにおける凹凸パターン２０（凹凸パターン２０ｔ，２０ｓａ）の凹部２２，２２・・に対応して形成された凸部３９ａ，３９ａ・・と、磁気ディスク１０ａにおける凹凸パターン２０の凸部２１，２１・・に対応して形成された凹部３９ｂ，３９ｂ・・とを有する凹凸パターン３９を形成したことにより、磁気ディスク１０ａの外周側に対応するスタンパー３５ａの外周側に回転方向に沿った長さが過剰に長い凸部３９ａが存在しないため、中間体３０の樹脂層１８に対してスタンパー３５ａの凹凸パターン３９（各凸部３９ａ，３９ａ・・）をスムーズに押し込むことができる。したがって、各凸部３９ａ，３９ａ・・の押し込み量の不足に起因する不都合（マスク層１７上に厚手の残渣が生じることに起因して各凹部４１ｂ，４１ｂ・・が過剰に拡がる事態）が生じる事態を回避することができる。これにより、サーボデータＤｓの確実な読み取りが可能な磁気ディスク１０ａを製造することができる。また、回転方向に沿った長さが過剰に長い凹部３９ｂがスタンパー３５ａに存在しないため、インプリント処理時に凸部３９ａ，３９ａ・・の押し込みによって凹部３９ｂ，３９ｂ・・内に移動させられる樹脂材料によって、十分に高い凸部４１ａ，４１ａ・・を樹脂層１８に形成する（十分に厚い樹脂マスクを形成する）ことができる。
【００７３】
次いで、本発明における情報記録媒体の他の一例である磁気ディスク１０ｂ、および磁気ディスク１０ｂを搭載したハードディスクドライブ１ｂ（本発明における記録再生装置の他の一例）について、図面を参照して説明する。なお、磁気ディスク１０ａおよびハードディスクドライブ１と共通の構成要素については、共通の符号を付して重複する説明を省略する。また、この磁気ディスク１０ｂの製造方法については、前述した磁気ディスク１０ａの製造方法と同様であるため、重複する製造工程についての説明を省略する。
【００７４】
図１３に示す磁気ディスク１０ｂでは、磁気ディスク１０ｂの内周側から外周側までが凹凸パターン２０ｔの中心Ｏを中心とする同心円状の（すなわち、凹凸パターン２０ｔと同心の）４つの環状領域Ａ１ｂ〜Ａ４ｂ（本発明における複数の環状領域の一例：以下、区別しないときには、環状領域Ａｂともいう）に区分けされて凹凸パターン２０が形成されている。また、この磁気ディスク１０ｂでは、磁気ディスク１０ａにおけるサーボパターン領域Ａｓａに代えて、トラックパターン領域Ａｔ，Ａｔ・・の間にサーボパターン領域Ａｓｂ，Ａｓｂ・・が設けられてトラックパターン領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓｂが磁気ディスク１０ｂの回転方向（矢印Ｒの向き）において交互に並ぶように規定されている。
【００７５】
また、図１４〜１６に示すように、サーボパターン領域Ａｓｂ（環状領域Ａｂ内における内周側の内周側サーボパターン領域Ａｓｂｉ、および環状領域Ａｂ内における外周側の外周側サーボパターン領域Ａｓｂｏ）には、磁気ディスク１０ａにおける凹凸パターン２０ｓａに代えてサーボパターンとしての凹凸パターン２０ｓｂが形成されている。この場合、凹凸パターン２０ｓｂは、凹凸パターン２０ｓａと同様にして、プリアンブルパターン、アドレスパターンおよびバーストパターンなどの各種サーボパターンを構成する凸部２１ｓ，２１ｓ（凸部２１ｓｉおよび凸部２１ｓｏ）・・並びに凹部２２ｓ，２２ｓ・・（凹部２２ｓｉおよび凹部２２ｓｏ）で構成されている。また、この磁気ディスク１０ｂでは、回転方向（各図における矢印Ｒの向き）に沿った凹部２２ｓの長さを凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例させずに（外周側ほど長くせずに）、各環状領域Ａｂ内における内周側から外周側までの全域において等しくなるように（単位凹部長をデータトラックパターンの中心からの距離で除した値を環状領域内において環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど小さく規定した一例であって、本発明における「単位凹部長が等しい長さ、または、ほぼ等しい長さ」となるように規定した一例）、各凹部２２ｓ，２２ｓ・・が形成されている。
【００７６】
同様にして、回転方向に沿った凸部２１ｓの長さについても、凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例させずに（外周側ほど長くせずに）、環状領域Ａｂ内における内周側から外周側までの全域において等しくなるように（単位凸部長をデータトラックパターンの中心からの距離で除した値を環状領域内において環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど小さく規定した一例であって、本発明における「単位凸部長が等しい長さ、または、ほぼ等しい長さ」となるように規定した一例）各凸部２１ｓ，２１ｓ・・が形成されている。このため、この磁気ディスク１０ｂでは、回転方向に沿った凸部２１ｓの長さと凹部２２ｓの長さとの合計長（すなわち、凸部２１ｓおよび凹部２２ｓの形成ピッチ）が凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例せずに（外周側ほど長くせずに）、各環状領域Ａｂ内における内周側から外周側までの全域において等しくなるように規定されている。したがって、図１４に示すように、例えば、環状領域Ａ２ｂでは、環状領域Ａ２ｂの内周側における回転方向に沿った長さＬ５２と、環状領域Ａ２ｂの外周側における回転方向に沿った長さＬ５２とが等しくなっている。この場合、この磁気ディスク１０ｂでは、環状領域Ａ１ｂ〜Ａ４ｂのそれぞれの回転方向に沿った長さＬ５１〜Ｌ５４が、一例として、外周側の環状領域Ａｂほど徐々に長くなるように規定されている。また、図１５，１６に示すように、回転方向に沿った凸部２１ｓの長さに対する凹部２２ｓの長さの比が各環状領域Ａｂ内における内周側から外周側までの全域において等しくなるように凹凸パターン２０ｓｂが形成されている。
【００７７】
具体的には、図１５に示すように、環状領域Ａｂにおける内周側の内周側領域Ａｉｂ（一例として、環状領域Ａ１ｂにおける中心Ｏからの距離が１１ｍｍの部位におけるプリアンブルパターンの形成領域）では、凸部２１ｓｉの長さＬ６ｉ（一例として、２２０ｎｍ）と凹部２２ｓｉの長さＬ７ｉ（一例として、２２０ｎｍ）との合計長である長さＬ８ｉが４４０ｎｍとなるように規定されている。また、図１６に示すように、環状領域Ａｂにおける外周側の外周側領域Ａｏｂ（一例として、環状領域Ａ１ｂにおける中心Ｏからの距離が１６ｍｍの部位におけるプリアンブルパターンの形成領域）においても、凸部２１ｓｏの長さＬ６ｏ（一例として、凸部２１ｓｉの長さＬ６ｉと等しい２２０ｎｍ）と凹部２２ｓｏの長さＬ７ｏ（一例として、凹部２２ｓｉの長さＬ７ｉと等しい２２０ｎｍ）との合計長である長さＬ８ｏが４４０ｎｍとなっている。この結果、図１５，１６に示すように、この磁気ディスク１０ｂでは、環状領域Ａｂ内の内周側領域Ａｉｂにおける凹凸パターン２０ｓｂの凸部２１ｓｉの長さＬ６ｉに対する凹部２２ｓｉの長さＬ７ｉの比と、環状領域Ａｂ内の外周側領域Ａｏｂにおける凸部２１ｓｏの長さＬ６ｏに対する凹部２２ｓｏの長さＬ７ｏの比とが各環状領域Ａｂ内においてそれぞれ１となっている。また、この磁気ディスク１０ｂでは、各環状領域Ａｂ内の凹部２２ｓの平均長が内周側の環状領域Ａ１ｂから外周側の環状領域Ａ４ｂに向かうほど僅かに長くなっている。一方、この磁気ディスク１０ｂでは、各環状領域Ａｂ内の凹部２２ｓの平均長を凹凸パターン２０ｔの中心Ｏから環状領域Ａｂまでの距離（一例として、環状領域Ａｂにおける最内周の部位とする）で除した値は内周側の環状領域Ａ１ｂから外周側の環状領域Ａ４ｂに向かうほど小さくなっている。
【００７８】
この場合、凸部２１ｓの長さ（単位凸部長）に対する凹部２２ｓの長さ（単位凹部長）の比については、上記のプリアンブルパターンのみならず、アドレスパターンやバーストパターンを構成する凹凸パターン２０ｓｂについても同様に規定されている。また、バーストパターンについては、磁気ディスク１０ｂの回転方向に沿って複数の矩形状の凹部２２ｓ，２２ｓ・・が凸部２１ｓを挟んで並んでいる領域において、単位凸部長に対する単位凹部長の比が上記の条件を満たすように規定されている。なお、図１５，１６では、サーボパターンにおけるプリアンブルパターンおよびバーストパターンを模式的に図示しており、理解を容易にすべく、回転方向に沿った各凸部２１ｓ，２１ｓ・・や各凹部２２ｓ，２２ｓ・・の長さをサーボパターンの単位凸部長および単位凹部長のみで図示している。したがって、実際の磁気ディスク１０ｂでは、凸部２１ｓ，２１ｓ・・や凹部２２ｓ，２２ｓ・・の数、形成位置および長さが各図に示す状態とは異なり、トラッキングサーボ制御に必要なトラックアドレスおよびセクターアドレス等の情報（パターン）を含む各種の制御用データに対応して、凸部２１ｓや凹部２２ｓのそれぞれの数、形成位置および長さが規定されて凹凸パターン２０ｓｂが形成されている。この場合、凸部２１ｓや凹部２２ｓの実際の長さは、凸部２１ｓや凹部２２ｓの長さ（単位凸部長および単位凹部長）の整数倍の長さとなる。
【００７９】
この磁気ディスク１０ｂの製造に際しては、前述した中間体３０と、スタンパー３５ｂ（図８参照）とを使用する。この場合、スタンパー３５ｂは、本発明に係る情報記録媒体製造用のスタンパーの他の一例であって、磁気ディスク１０ｂにおける凹凸パターン２０（凹凸パターン２０ｔ，２０ｓｂ）とは凹凸位置関係が反転している凹凸パターン３９が形成されて、インプリント法による磁気ディスク１０ｂの製造が可能に構成されている。具体的には、スタンパー３５ｂの凹凸パターン３９は、凸部３９ａ，３９ａ・・が磁気ディスク１０ｂの凹凸パターン２０における凹部２２，２２・・に対応し、凹部３９ｂ，３９ｂ・・が凹凸パターン２０における凸部２１，２１・・に対応して形成されている。したがって、このスタンパー３５ｂでは、凸部３９ａの回転方向に沿った長さが磁気ディスク１０ｂの凹凸パターン２０における凹部２２の回転方向に沿った長さとほぼ等しく、かつ凹部３９ｂの回転方向に沿った長さが凹凸パターン２０における凸部２１の回転方向に沿った長さとほぼ等しくなっている。
【００８０】
また、このスタンパー３５ｂを用いて製造する磁気ディスク１０ｂでは、環状領域Ａｂにおける内周側の凹部２２ｓｉ，２２ｓｉ・・の長さＬ７ｉと、環状領域Ａｂにおける外周側の凹部２２ｓｏ，２２ｓｏ・・の長さＬ７ｏとが等しい長さ（例えば、環状領域Ａ１ｂでは、２２０ｎｍ）となるように形成されている。したがって、このスタンパー３５ｂには、磁気ディスク１０ｂにおけるサーボパターン領域Ａｓｂに対応する全域において、回転方向に沿った長さが長さＬ７ｉ，Ｌ７ｏを大きく超える凸部３９ａが存在しないように（凸部３９ａの長さが長さＬ７ｉ，Ｌ７ｏとほぼ等しくなるように）凹部３９ｂ，３９ｂ・・が形成されている。この結果、磁気ディスク１０ｂの製造時に凸部３９ａ，３９ａ・・が中間体３０の樹脂層１８にスムーズに押し込まれる。したがって、スタンパー３５ｂにおける凸部３９ａの先端部と中間体３０のマスク層１７との間に厚手の残渣が生じることなく、スタンパー３５ｂの凸部３９ａ，３９ａ・・が十分に奥深くまで中間体３０の樹脂層１８に押し込まれる。これにより、中間体３０における各環状領域Ａｂに対応する領域内においてマスク層１７の上に生じるの残渣の厚みがほぼ均一となる。この結果、前述した磁気ディスク１０ａと同様にして、樹脂層１８に転写された凹凸パターン４１における凹部４１ｂ，４１ｂ・・が過剰に拡がる事態が回避されて、凹凸パターン２０ｓｂを高精度で形成することが可能となっている。
【００８１】
さらに、このスタンパー３５ｂでは、各凸部３９ａ，３９ａ・・の回転方向に沿った長さが各環状領域Ａｂに対応する領域内において等しい長さとなっているため、凸部３９ａ，３９ａ・・の押し込みによって凹部３９ｂ，３９ｂ・・内に向けて移動する樹脂材料（中間体３０の樹脂層１８を構成する材料）の移動量が各環状領域Ａｂに対応する領域内において均一となる。また、このスタンパー３５ｂを用いて製造する磁気ディスク１０ｂでは、凸部２１ｓ（凸部２１ｓｉ，２１ｓｏ）の長さが各環状領域Ａｂ内において等しい長さとなるように規定されている。したがって、このスタンパー３５ｂでは、磁気ディスク１０ｂにおける各環状領域Ａｂに対応する領域毎に回転方向に沿った長さが長さＬ６ｉ，Ｌ６ｏを大きく超える凹部３９ｂが存在しないように（凹部３９ｂの長さが長さＬ６ｉ，Ｌ６ｏとほぼ等しくなるように）凸部３９ａ，３９ａ・・が形成されている。この結果、凸部３９ａの押し込みによって凹部３９ｂ内に移動させられた樹脂材料の高さ、すなわち、凸部４１ａの高さが各環状領域Ａｂに対応する領域毎にそれぞれ均一となる。これにより、凹凸パターン２０ｓｂを高精度で形成することが可能となっている。
【００８２】
一方、この磁気ディスク１０ｂでは、前述したように、サーボパターン領域Ａｓｂの凹凸パターン２０ｓｂにおける回転方向に沿った凸部２１ｓの長さと凹部２２ｓの長さとの合計長（長さＬ８ｉ，Ｌ８ｏ）が環状領域Ａｂにおける環状領域Ａｂの内周側から外周側までの全域に亘って等しくなるように各凸部２１ｓ，２１ｓ・・および各凹部２２ｓ，２２ｓ・・が形成されている。したがって、図１４に示すように、例えば環状領域Ａ２ｂにおける内周側サーボパターン領域Ａｓｂｉ（内周側の凹凸パターン２０ｓｂ）の回転方向に沿った長さＬ５２と、外周側サーボパターン領域Ａｓｂｏ（外周側の凹凸パターン２０ｓｂ）の回転方向に沿った長さＬ５２とが等しくなっている。このため、この磁気ディスク１０ｂでは、トラックパターン領域Ａｔの回転方向に沿った長さが環状領域Ａｂの内周側から外周側に向けて徐々に長くなっている。具体的には、内周側トラックパターン領域Ａｔｉ（内周側の凹凸パターン２０ｔ）の回転方向に沿った長さよりも、外周側トラックパターン領域Ａｔｏ（外周側の凹凸パターン２０ｔ）の回転方向に沿った長さの方が長くなっている。したがって、従来の磁気ディスク１０ｘと比較して、環状領域Ａｂの外周側において凸部２１ｔの長さが長くなっている分だけ、記録データの記録可能容量が増加している。
【００８３】
この場合、この磁気ディスク１０ｂでは、回転方向に沿ったサーボパターン領域Ａｓｂの長さが各環状領域Ａｂ内における内周側から外周側までの全域において等しくなるように凹凸パターン２０ｓｂが形成されている。このため、磁気ディスク１０ｂを角速度一定の回転速度で定速回転させたときには、磁気ヘッド３の下方をサーボパターン領域Ａｓｂが通過させられる時間が環状領域Ａｂの内周側よりも環状領域Ａｂの外周側ほど短時間となる。したがって、この磁気ディスク１０ｂを搭載したハードディスクドライブ１ｂ（図１参照）では、前述した磁気ディスク１０ａを搭載したハードディスクドライブ１とは異なり、ＲＯＭ９が、読み出し周波数情報についてのクロックデータＤｃｌを各環状領域Ａｂ内における磁気ヘッド３の移動位置（環状領域Ａｂ内における中心Ｏからの距離）に関連付けて記憶している。また、制御部８は、クロックデータＤｃｌに基づき、一例として、各環状領域Ａｂ内において、凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して環状領域Ａｂの内周側よりも環状領域Ａｂの外周側ほど波長が短くなるように読み出し周波数情報の周波数を直線的に変化させて検出用クロック出力部５に出力する。したがって、磁気ディスク１０ｂを角速度一定の条件で回転させつつサーボパターン領域Ａｓｂからサーボパターン（サーボデータ）を確実に読み出すことができる。
【００８４】
このように、この磁気ディスク１０ｂおよびハードディスクドライブ１ｂによれば、各環状領域Ａｂ内における単位凹部長の平均長を中心Ｏから環状領域Ａｂまでの距離で除した値が内周側の環状領域Ａｂよりも外周側の環状領域Ａｂほど小さくなるように各環状領域Ａｂ毎に単位凹部長を規定してサーボパターンを構成する凹凸パターン２０ｓｂを構成したことにより、単位凹部長が内周側から外周側に向けて徐々に長くなるように凹凸パターンが形成されている従来の磁気ディスク１０ｘと比較して、外周側の環状領域Ａｂにおける単位凹部長を十分に短くすることができる。したがって、この磁気ディスク１０ｂを製造するためのスタンパー３５ｂにおいて磁気ディスク１０ｂの各凹部２２ｓ，２２ｓ・・に対応する凸部３９ａ，３９ａ・・の回転方向に沿った長さを十分に短くすることができるため、インプリント処理時に、スタンパー３５ｂにおける凸部３９ａの先端部と中間体３０のマスク層１７との間に厚手の残渣を生じさせることなく、スタンパー３５ｂの凸部３９ａ，３９ａ・・を十分に奥深くまで中間体３０の樹脂層１８に押し込むことができる。この結果、残渣の厚みが内周側の環状領域Ａｂに対応する部位と外周側の環状領域Ａｂに対応する部位とで大きく相違することなくほぼ同様の厚みとなるため、残渣の取り除き処理時に内周側の環状領域Ａｂに対応する部位の凹部４１ｂ，４１ｂ・・が過剰に拡がる事態が回避される。したがって、凹凸パターン４１における凹部４１ｂ，４１ｂ・・の部位に最終的に形成される凹部２２ｓｉ，２２ｓｉ・・が過剰に拡がる事態が回避されて凹凸パターン２０ｓｂを高精度で形成することができる。このため、サーボパターン領域Ａｓｂの全域において磁気的信号の確実な読み取りが可能なサーボパターン（凹凸パターン２０ｓｂ）を有する磁気ディスク１０ｂ、およびその磁気ディスク１０ｂを備えたハードディスクドライブ１ｂを提供することができる。
【００８５】
この場合、単位凹部長の平均長を凹凸パターン２０ｔの中心Ｏから環状領域Ａｂまでの距離で除した値が外周側の環状領域Ａｂよりも内周側の環状領域Ａｂほど大きくなるように各環状領域Ａｂ毎に単位凹部長が規定されているため、内周側の環状領域Ａｂにおいても単位凹部長が過度に短くなる事態が回避されている。したがって、凹部の形成処理（マスク層１７や磁性層１４に対するエッチング処理等）が困難となる事態を回避することができる結果、サーボパターン領域Ａｓｂの全域において凹部２２ｓ，２２ｓ・・を高精度で形成することができる。
【００８６】
また、この磁気ディスク１０ｂおよびハードディスクドライブ１ｂによれば、単位凹部長を凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離で除した値が環状領域Ａｂ内においてその内周側からその外周側に向かうほど小さくなるように単位凹部長を規定して凹凸パターン２０ｓｂ（サーボパターン）を形成したことにより、各環状領域Ａｂ内における外周側の単位凹部長を十分に短くすることができる。したがって、この磁気ディスク１０ｂを製造するためのスタンパー３５ｂにおいて各環状領域Ａｂの外周側に対応する部位に過剰に長い凸部３９ａ，３９ａ・・が存在しないため、スタンパー３５ｂの凸部３９ａ，３９ａ・・を中間体３０の樹脂層１８に一層スムーズに押し込むことができる。また、単位凹部長を凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離で除した値が各環状領域Ａｂの外周側から各環状領域Ａｂの内周側に向かうほど大きくなるように単位凹部長が規定されているため、環状領域Ａｂの内周側においても単位凹部長が過度に短くなる事態が回避されている。したがって、製造時における凹部の形成処理（マスク層１７や磁性層１４に対するエッチング処理等）が困難となる事態を回避することがきる。
【００８７】
さらに、この磁気ディスク１０ｂおよびハードディスクドライブ１ｂによれば、単位凸部長を凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離で除した値が環状領域Ａｂ内においてその内周側からその外周側に向かうほど小さくなるように単位凸部長を規定して凹凸パターン２０ｓｂ（サーボパターン）を形成したことにより、回転方向に沿った単位凸部長が中心Ｏからの距離に比例して長くなるように（単位凸部長を中心Ｏからの距離で除した値が内周側から外周側までの全域に亘って等しくなるように）凹凸パターンが形成されている従来の磁気ディスク１０ｘと比較して、環状領域Ａｂ内における外周側の単位凸部長を十分に短くすることができる。したがって、この磁気ディスク１０ｂを製造するためのスタンパー３５ｂにおいて環状領域Ａｂ内における外周側の各凸部２１ｓ，２１ｓ・・に対応する各凹部３９ｂ，３９ｂ・・の回転方向に沿った長さを十分に短くすることができるため、インプリント処理時に、スタンパー３５ｂにおける凸部３９ａの押し込みによって凹部３９ｂ内に移動させられた樹脂材料によって十分な高さの凸部４１ａ（十分な厚みのマスク）を形成することができる。この結果、十分な厚みのマスク（十分な高さの凸部４１ａ）を用いて凹部２２ｓ，２２ｓ・・を高精度で形成することができる。
【００８８】
また、この磁気ディスク１０ｂおよびハードディスクドライブ１ｂによれば、単位凹部長が環状領域Ａｂにおける内周側から外周側までの全域において等しい長さとなるように規定して凹凸パターン２０ｓｂ（サーボパターン）を形成したことにより、インプリント処理時に凹部２２ｓに対応する部位に形成される残渣の厚みを各環状領域Ａｂの内周側から外周側の全域において均一にすることができる。したがって、同一の環状領域Ａｂ内における各凹部２２ｓ，２２ｓ・・の長さ（単位凹部長）にばらつきが生じる事態を回避して均一にすることができる。また、各環状領域Ａｂ内の内周側から外周側までの全域において単位凹部長が等しくなるように規定したことにより、製造時における凹部の形成処理（マスク層１７や磁性層１４に対するエッチング処理等）が容易となる結果、サーボパターン領域Ａｓｂの全域において凹部２２ｓ，２２ｓ・・を高精度で形成することができる。
【００８９】
さらに、この磁気ディスク１０ｂおよびハードディスクドライブ１ｂによれば、単位凸部長が環状領域Ａｂ内における内周側から外周側までの全域において等しい長さとなるように規定して凹凸パターン２０ｓｂ（サーボパターン）を形成したことにより、この磁気ディスク１０ｂを製造するためのスタンパー３５ｂにおいて磁気ディスク１０ｂの各凸部２１ｓ，２１ｓ・・に対応する凹部３９ｂ，３９ｂ・・の回転方向に沿った長さを各環状領域Ａｂ内の内周側に対応する部位から外周側に対応する部位まで均一にすることができるため、インプリント処理時に、スタンパー３５ｂにおける凸部３９ａの押し込みによって凹部３９ｂ内に移動させられた樹脂材料によって形成される凸部４１ａ（マスクとして機能する樹脂材料）の高さを各環状領域Ａｂに対応する領域毎に内周側から外周側まで均一にすることができる。この結果、均一な厚みのマスク（均一な高さの凸部４１ａ）を用いて凹部２２ｓ，２２ｓ・・を高精度で形成することができる。
【００９０】
また、この磁気ディスク１０ｂを搭載したハードディスクドライブ１ｂによれば、凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に応じて予め規定された読み出し周波数情報に基づいて制御部８がサーボデータ検出部６を制御して磁気ディスク１０ｂからサーボパターンに対応付けられているサーボデータを読み出すことにより、磁気ディスク１０ｂを角速度一定の条件で回転させつつサーボパターン（サーボデータ）を確実に読み出すことができる。
【００９１】
また、この磁気ディスク１０ｂを製造するためのスタンパー３５ｂによれば、磁気ディスク１０ｂにおける凹凸パターン２０（凹凸パターン２０ｔ，２０ｓｂ）の凹部２２，２２・・に対応して形成された凸部３９ａ，３９ａ・・と、磁気ディスク１０ｂにおける凹凸パターン２０の凸部２１，２１・・に対応して形成された凹部３９ｂ，３９ｂ・・とを有する凹凸パターン３９を形成したことにより、磁気ディスク１０ｂの外周側に対応するスタンパー３５ｂの外周側領域に回転方向に沿った長さが過剰に長い凸部３９ａが存在しないため、中間体３０の樹脂層１８に対してスタンパー３５ｂの凹凸パターン３９（各凸部３９ａ，３９ａ・・）をスムーズに押し込むことができる。したがって、各凸部３９ａ，３９ａ・・の押し込み量の不足に起因する不都合（マスク層１７上に厚手の残渣が生じることに起因して各凹部４１ｂ，４１ｂ・・が過剰に拡がる事態）が生じる事態を回避することができる。これにより、サーボデータＤｓの確実な読み取りが可能な磁気ディスク１０ｂを製造することができる。また、回転方向に沿った長さが過剰に長い凹部３９ｂがスタンパー３５ｂに存在しないため、インプリント処理時に凸部３９ａ，３９ａ・・の押し込みによって凹部３９ｂ，３９ｂ・・内に移動させられる樹脂材料によって、十分に高い凸部４１ａ，４１ａ・・を樹脂層１８に形成する（十分に厚い樹脂マスクを形成する）ことができる。
【００９２】
続いて、本発明における情報記録媒体のさらに他の一例である磁気ディスク１０ｃについて、図面を参照して説明する。なお、磁気ディスク１０ａ，１０ｂと共通の構成要素、およびハードディスクドライブ１における磁気ディスク１０ａを除く構成要素については、共通の符号を付して重複する説明を省略する。また、この磁気ディスク１０ｃの製造方法については、前述した磁気ディスク１０ａ，１０ｂの製造方法と同様であるため、重複する製造工程についての説明を省略する。
【００９３】
図１７に示す磁気ディスク１０ｃでは、前述した磁気ディスク１０ａ，１０ｂと同様にして、磁気ディスク１０ｃの内周側から外周側までが凹凸パターン２０ｔの中心Ｏ（図示せず）を中心とする同心円状の（すなわち、凹凸パターン２０ｔと同心の）４つの環状領域Ａ１ｃ〜Ａ４ｃ（本発明における複数の環状領域の一例：以下、区別しないときには、環状領域Ａｃともいう）に区分けされて凹凸パターン２０（凹凸パターン２０ｔ，２０ｓｃ）が形成されている。なお、同図では環状領域Ａ２ｃを中心として環状領域Ａ１ｃ〜Ａ３ｃの３つの領域のみを図示している。また、この磁気ディスク１０ｃでは、磁気ディスク１０ａにおけるサーボパターン領域Ａｓａに代えて、トラックパターン領域Ａｔ，Ａｔ・・の間にサーボパターン領域Ａｓｃ，Ａｓｃ・・が設けられてトラックパターン領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓｃが磁気ディスク１０ｃの回転方向（矢印Ｒの向き）において交互に並ぶように規定されている。
【００９４】
また、図１８，１９に示すように、サーボパターン領域Ａｓｃ（環状領域Ａｃ内における内周側の内周側サーボパターン領域Ａｓｃｉ、および環状領域Ａｃ内における外周側の外周側サーボパターン領域Ａｓｃｏ）には、磁気ディスク１０ａにおける凹凸パターン２０ｓａに代えてサーボパターンとしての凹凸パターン２０ｓｃが形成されている。この場合、凹凸パターン２０ｓｃは、凹凸パターン２０ｓａ，２０ｓｂと同様にして、プリアンブルパターン、アドレスパターンおよびバーストパターンなどの各種サーボパターンを構成する凸部２１ｓ，２１ｓ（凸部２１ｓｉおよび凸部２１ｓｏ）・・並びに凹部２２ｓ，２２ｓ・・（凹部２２ｓｉおよび凹部２２ｓｏ）で構成されている。また、この磁気ディスク１０ｃでは、回転方向（各図における矢印Ｒの向き）に沿った凹部２２ｓの長さが凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して環状領域Ａｃ内においてその内周側からその外周側に向かうほど長くなるように規定されて各凹部２２ｓ，２２ｓ・・が形成されている。同様にして、回転方向に沿った凸部２１ｓの長さについても、凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して環状領域Ａｃ内においてその内周側からその外周側に向かうほど長くなるように規定されて各凸部２１ｓ，２１ｓ・・が形成されている。このため、この磁気ディスク１０ｃでは、回転方向に沿った凸部２１ｓの長さと凹部２２ｓの長さとの合計長（すなわち、凸部２１ｓおよび凹部２２ｓの形成ピッチ）が凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して環状領域Ａｃ内においてその内周側からその外周側に向かうほど長くなるように規定されている。
【００９５】
具体的には、図１８に示すように、環状領域Ａｃにおける内周側の内周側領域Ａｉｃ（一例として、環状領域Ａ１ｃにおける中心Ｏからの距離が１１ｍｍの部位におけるプリアンブルパターンの形成領域）では、凸部２１ｓｉの長さＬ１１ｉ（一例として、２２０ｎｍ）と凹部２２ｓｉの長さＬ１２ｉ（一例として、２２０ｎｍ）との合計長である長さＬ１３ｉが４４０ｎｍとなるように規定されている。また、図１９に示すように、環状領域Ａｃにおける外周側の外周側領域Ａｏｃ（一例として、環状領域Ａ１ｃにおける中心Ｏからの距離が１６ｍｍの部位におけるプリアンブルパターンの形成領域）では、凸部２１ｓｏの長さＬ１１ｏ（一例として、３２０ｎｍ）と凹部２２ｓｏの長さＬ１２ｏ（一例として、３２０ｎｍ）との合計長である長さＬ１３ｏが６４０ｎｍとなるように規定されている。この結果、図１８，１９に示すように、この磁気ディスク１０ｃでは、環状領域Ａｃ内の内周側領域Ａｉｃにおける凹凸パターン２０ｓｃの凸部２１ｓｉの長さＬ１１ｉに対する凹部２２ｓｉの長さＬ１２ｉの比と、環状領域Ａｃ内の外周側領域Ａｏｃにおける凸部２１ｓｏの長さＬ１１ｏに対する凹部２２ｓｏの長さＬ１２ｏの比とが各環状領域Ａｃ内においてそれぞれ１となっている。
【００９６】
この場合、各環状領域Ａｃ毎の凸部２１ｓの長さ（単位凸部長）に対する凹部２２ｓの長さ（単位凹部長）の比については、上記のプリアンブルパターンのみならず、アドレスパターンやバーストパターンを構成する凹凸パターン２０ｓｃについても同様に規定されている。また、バーストパターンについては、磁気ディスク１０ｃの回転方向に沿って複数の矩形状の凹部２２ｓ，２２ｓ・・が凸部２１ｓを挟んで並んでいる領域において、単位凸部長に対する単位凹部長の比が上記の条件を満たすように規定されている。なお、図１８，１９では、サーボパターンにおけるプリアンブルパターンおよびバーストパターンを模式的に図示しており、理解を容易にすべく、回転方向に沿った各凸部２１ｓ，２１ｓ・・や各凹部２２ｓ，２２ｓ・・の長さをサーボパターンの単位凸部長および単位凹部長のみで図示している。したがって、実際の磁気ディスク１０ｃでは、凸部２１ｓ，２１ｓ・・や凹部２２ｓ，２２ｓ・・の数、形成位置および長さが各図に示す状態とは異なり、トラッキングサーボ制御に必要なトラックアドレスおよびセクターアドレス等の情報（パターン）を含む各種の制御用データに対応して、凸部２１ｓや凹部２２ｓのそれぞれの数、形成位置および長さが規定されて凹凸パターン２０ｓｃが形成されている。この場合、凸部２１ｓや凹部２２ｓの実際の長さは、凸部２１ｓや凹部２２ｓの長さ（単位凸部長および単位凹部長）の整数倍の長さとなる。
【００９７】
また、この磁気ディスク１０ｃでは、各環状領域Ａｃ内における凹部２２ｓの平均長が各環状領域Ａ１ｃ〜Ａ４ｃの全領域において等しくなるように規定されている。したがって、各環状領域Ａｃ内の凹部２２ｓの平均長を凹凸パターン２０ｔの中心Ｏから環状領域Ａｃまでの距離（一例として、環状領域Ａｃにおける最内周の部位とする）で除した値が内周側の環状領域Ａ１ｃから外周側の環状領域Ａ４ｃに向かうほど小さくなっている。この場合、各環状領域Ａｃにおける回転方向に沿った内周側の長さについては、磁気ディスク１０ｃにおける外周側の環状領域Ａｃほど僅かに長くなっている。具体的には、例えば、環状領域Ａ２ｃにおける回転方向に沿った内周側の長さＬ９２ｉよりも、環状領域Ａ３ｃにおける回転方向に沿った内周側の長さＬ９３ｉの方が僅かに長くなっている。また、各環状領域Ａｃにおける回転方向に沿った外周側の長さについては、磁気ディスク１０ｃにおける外周側の環状領域Ａｃほど僅かに短くなっている。具体的には、例えば、環状領域Ａ２ｃにおける回転方向に沿った外周側の長さよりも、環状領域Ａ３ｃにおける回転方向に沿った外周側の長さの方が僅かに短くなっている。
【００９８】
この磁気ディスク１０ｃの製造に際しては、前述した中間体３０と、スタンパー３５ｃ（図８参照）とを使用する。この場合、スタンパー３５ｃは、本発明に係る情報記録媒体製造用のスタンパーのさらに他の一例であって、磁気ディスク１０ｃにおける凹凸パターン２０（凹凸パターン２０ｔ，２０ｓｃ）とは凹凸位置関係が反転している凹凸パターン３９が形成されて、インプリント法による磁気ディスク１０ｃの製造が可能に構成されている。具体的には、スタンパー３５ｃの凹凸パターン３９は、凸部３９ａ，３９ａ・・が磁気ディスク１０ｃの凹凸パターン２０における凹部２２，２２・・に対応し、凹部３９ｂ，３９ｂ・・が凹凸パターン２０における凸部２１，２１・・に対応して形成されている。したがって、このスタンパー３５ｃでは、凸部３９ａの回転方向に沿った長さが磁気ディスク１０ｃの凹凸パターン２０における凹部２２の回転方向に沿った長さとほぼ等しく、かつ凹部３９ｂの回転方向に沿った長さが凹凸パターン２０における凸部２１の回転方向に沿った長さとほぼ等しくなっている。
【００９９】
また、このスタンパー３５ｃを用いて製造する磁気ディスク１０ｃでは、上記のように各環状領域Ａｃ内における凹部２２ｓの平均長が各環状領域Ａ１ｃ〜Ａ４ｃの全領域において等しくなるように規定されている。したがって、このスタンパー３５ｃでは、各環状領域Ａｃに対応する領域内において各凹部２２ｓに対応する凸部３９ａ，３９ａ・・の平均長がスタンパー３５ｃの全域において等しくなっている。これにより、インプリント処理時にスタンパー３５ｃの全域に亘って凸部３９ａ，３９ａ・・を中間体３０の樹脂層１８に均一に押し込むことが可能となっている。この結果、マスク層１７上に生じる残渣の厚みを全域において均一にすることができるためため、凸部３９ａ，３９ａ・・を押し込んだ部位に最終的に形成される凹部２２ｓ，２２ｓ・・を各環状領域Ａ１ｃ〜Ａ４ｃの全領域に亘って高精度で形成することが可能となっている。
【０１００】
一方、この磁気ディスク１０ｃでは、前述したように、回転方向に沿った凸部２１ｓの長さと凹部２２ｓの長さとの合計長（すなわち、凸部２１ｓおよび凹部２２ｓの形成ピッチ）が環状領域Ａｃ内において凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例してその内周側からその外周側に向かうほど長くなるように規定して凹凸パターン２０ｓｃ（サーボパターン）を形成したことにより、磁気ディスク１０ｃを角速度一定の条件で回転させつつサーボパターン領域ＡｓｃからサーボデータＤｓを読み出す際に使用されるクロックの基準となる周波数情報（読み出し周波数情報）を一つの環状領域Ａｃ内において変化させることなく、環境領域Ａｃにおける内周側から外周側までのサーボパターン領域ＡｓｃからサーボデータＤｓを確実に読み出す（検出する）ことができる。また、回転方向に沿った単位凸部長および単位凹部長が環状領域Ａｃ内において凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例してその内周側から外周側に向かうほど長くなるように規定して凹凸パターン２０ｓｃ（サーボパターン）が形成されているため、磁気ヘッド３の下方を単位凸部長の凸部２１ｓおよび単位凹部長の凹部２２ｓが通過させられる時間が環状領域Ａｃ内における内周側と外周側とで等しくなる。したがって、磁気ヘッド３が検出するサーボデータの単位凸部長および単位凹部長の信号形状を環状領域Ａｃ内における内周側から外周側までの全域において等しくすることができる。このため、より一層確実にサーボデータＤｓを読み出す（検出する）ことができる。
【０１０１】
このように、この磁気ディスク１０ｃでは、単位凹部長が環状領域Ａｃ内において凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して環状領域Ａｃの内周側から外周側に向かうほど長くなり、かつ単位凸部長と単位凹部長の合計長が環状領域Ａｃ内において凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して環状領域Ａｃの内周側から外周側に向かうほど長くなるように単位凸部長および単位凹部長を規定して凹凸パターン２０ｓｃ（サーボパターン）が形成されている。したがって、この磁気ディスク１０ｃおよびハードディスクドライブ１によれば、外周側の環状領域Ａｃにおいて凹部２２ｓの回転方向に沿った長さが過剰に長くなる事態を回避しつつ、１つの環状領域Ａｃ内において読み出し周波数情報の周波数を変化させることなく、サーボデータの読み取りができるため、例えば、環状領域Ａｃの内周側から外周側まで磁気ヘッド３をシーク動作させる際における読み出し周波数情報の周波数切替え処理を不要とすることができる。したがって、シーク動作を短時間で実行することができるため、データアクセスを高速に行うことができる。また、読み出し周波数情報として環状領域の数（この例では４つ）に対応する種類の周波数情報を出力できればよいため、簡易な構成の検出用クロック出力部５および制御部８によってトラッキングサーボを行うことができる。
【０１０２】
なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、環状領域Ａａ，Ａｂ内における内周側から外周側までの全域において回転方向に沿った各凹部２２ｓ，２２ｓ・・の長さ（長さＬ２ｉ，Ｌ２ｏ，Ｌ７ｉ，Ｌ７ｏ）が等しくなるように凹凸パターン２０ｓａ，２０ｓｂを形成する磁気ディスク１０ａ，１０ｂについて上記したが、各凹部２２ｓ，２２ｓ・・の長さが環状領域の内周側から外周側までの各部において僅かに異なるように凹凸パターンを形成することもできる。具体的には、環状領域の内周側の凹部２２ｓｉよりも環状領域の外周側の凹部２２ｓｏの方が回転方向に沿った長さが僅かに長くなるように形成することができる。このように各凹部２２ｓ，２２ｓ・・の長さを異ならしめる構成であったとしても、外周側の凹部２２ｓｏの長さを、従来の磁気ディスク１０ｘにおける凹部２２ｓｘｏの長さＬ２ｘｏよりも短くして単位凹部長を規定して凹凸パターンを形成することで、外周側の凹部２２ｓｏが形成される部位における残渣の厚みを十分に薄く形成することができる。
【０１０３】
また、環状領域Ａｂ内における内周側から外周側までの全域において回転方向に沿った各凸部２１ｓ，２１ｓ・・の長さ（長さＬ６ｉ，Ｌ６ｏ）が等しくなるように凹凸パターン２０ｓｂを形成する磁気ディスク１０ｂについて上記したが、各凸部２１ｓ，２１ｓ・・の長さが環状領域Ａｂの内周側から外周側までの各部において僅かに異なるように凹凸パターンを形成することもできる。具体的には、環状領域の内周側の凸部２１ｓｉよりも環状領域の外周側の凸部２１ｓｏの方が回転方向に沿った長さが僅かに長くなるように形成することができる。このように各凸部２１ｓ，２１ｓ・・の長さを異ならしめる構成であったとしても、外周側の凸部２１ｓｏの長さを、従来の磁気ディスク１０ｘにおける凸部２１ｓｘｏの長さＬ１ｘｏよりも短くして単位凸部長を規定することで、その磁気ディスクを製造するためのスタンパーにおける対応する凹部の長さを外周側においても十分に短くすることができる。したがって、インプリント時に凸部３９ａ，３９ａ・・の押し込みによって凹部３９ｂ，３９ｂ・・内に移動させられる樹脂材料によって、十分に高い凸部４１ａ，４１ａ・・を樹脂層１８に形成する（十分に厚い樹脂マスクを形成する）ことができる。
【０１０４】
さらに、本発明におけるサーボパターンは上記の例に限定されず、磁気ディスク１０ａ〜１０ｃのサーボパターン領域Ａｓａ〜Ａｓｃにおける凹凸パターン２０ｓａ〜２０ｓｃの凹凸形状を反転させると共に本発明における各種条件を満たすように単位凸部長および単位凹部長を規定してサーボパターンを形成することもできる。また、上記の磁気ディスク１０ａ〜１０ｃでは、凹凸パターン２０における各凸部２１，２１・・が基端部から突端部まで磁性材料で形成されているが、本発明はこれに限定されず、図２０に示す磁気ディスク１０ｄのように、基材１１ａに形成した凹凸パターンを覆うようにして磁性層１４ａを形成することにより、その表面が磁性層１４ａで形成された凸部２１ａ，２１ａ・・と底面が磁性層１４ａで形成された凹部２２ａ，２２ａ・・とによって凹凸パターン２０ａを構成することもできる。この場合、基材１１ａの凹凸パターンについては、前述した磁気ディスク１０ａ〜１０ｃにおける凹凸パターン２０の形成方法と同様にして、例えば磁性層１４のエッチングに際してマスクとして使用した凹凸パターン４２を用いて基材１１ａをエッチングすることで形成することができる。また、例えばスタンパー３５ａ〜３５ｃと同様のスタンパーを用いたプレス成形や射出成形によって基材１１ａに凹凸パターンを形成することもできる。このように、インプリント法以外の各種製造方法によって凹凸パターンを形成する場合であっても、凹凸パターン２０ａを高精度で形成することができる。
【０１０５】
さらに、図２１に示す磁気ディスク１０ｅのように、各凸部２１ｂ，２１ｂ・・を構成する磁性層１４ｂと各凸部２１ｂ，２１ｂ・・間の凹部２２ｂ，２２ｂ・・の底面を構成する磁性層１４ｂとを連続させて凹凸パターン２０ｂを構成することもできる。また、上記の磁気ディスク１０ａ〜１０ｅでは、各凹部２２に非磁性材料１５を埋め込んでその表面を平坦化しているが、磁気ヘッド３の十分な浮上安定性が得られる場合には、凹部２２に対する非磁性材料１５を不要とすることができる。さらに、本発明に係る情報記録媒体は、磁気ディスク１０ａ〜１０ｅのような垂直記録方式の磁気ディスクのみならず、面内記録方式の磁気ディスクが本発明に含まれる。
【図面の簡単な説明】
【０１０６】
【図１】ハードディスクドライブ１，１ｂの構成を示すブロック図である。
【図２】磁気ディスク１０ａ〜１０ｅの層構造を示す断面図である。
【図３】磁気ディスク１０ａの平面図である。
【図４】磁気ディスク１０ａにおけるサーボパターン領域Ａｓａの平面図である。
【図５】環状領域Ａａ内における内周側領域Ａｉａの平面図である。
【図６】環状領域Ａａ内における外周側領域Ａｏａの平面図である。
【図７】磁気ディスク１０ａ（１０ｂ，１０ｃ）を製造するための中間体３０の断面図である。
【図８】磁気ディスク１０ａ（１０ｂ，１０ｃ）を製造するためのスタンパー３５ａ（３５ｂ，３５ｃ）の断面図である。
【図９】中間体３０の樹脂層１８にスタンパー３５ａ（３５ｂ，３５ｃ）の凹凸パターン３９を押し付けた状態の断面図である。
【図１０】図９に示す状態の樹脂層１８からスタンパー３５ａ（３５ｂ，３５ｃ）を剥離してマスク層１７の上に凹凸パターン４１（樹脂マスク）を形成した状態の断面図である。
【図１１】凹凸パターン４１をマスクとしてマスク層１７をエッチング処理して磁性層１４の上に凹凸パターン４２（マスク）を形成した状態の断面図である。
【図１２】凹凸パターン４２をマスクとして磁性層１４をエッチング処理して中間層１３の上に凹凸パターン２０を形成した状態の断面図である。
【図１３】磁気ディスク１０ｂの平面図である。
【図１４】磁気ディスク１０ｂにおけるサーボパターン領域Ａｓｂの平面図である。
【図１５】環状領域Ａｂ内における内周側領域Ａｉｂの平面図である。
【図１６】環状領域Ａｂ内における外周側領域Ａｏｂの平面図である。
【図１７】磁気ディスク１０ｃにおけるサーボパターン領域Ａｓｃの平面図である。
【図１８】環状領域Ａｃ内における内周側領域Ａｉｃの平面図である。
【図１９】環状領域Ａｃ内における外周側領域Ａｏｃの平面図である。
【図２０】磁気ディスク１０ｄの層構造を示す断面図である。
【図２１】磁気ディスク１０ｅの層構造を示す断面図である。
【図２２】従来の磁気ディスク１０ｘの平面図である。
【図２３】磁気ディスク１０ｘにおける内周側領域Ａｘｉの平面図である。
【図２４】磁気ディスク１０ｘにおける外周側領域Ａｘｏの平面図である。
【図２５】磁気ディスク１０ｘの製造工程において、スタンパーの凸部３９ａｘ，３９ａｘ・・（回転方向に沿った長さが短い凸部３９ａｘ，３９ａｘ・・）が押し込まれた状態の樹脂層の断面図である。
【図２６】磁気ディスク１０ｘの製造工程において、スタンパーの凸部３９ａｘ，３９ａｘ・・（回転方向に沿った長さが長い凸部３９ａｘ，３９ａｘ・・）が押し込まれた状態の樹脂層の断面図である。
【符号の説明】
【０１０７】
１，１ｂ ハードディスクドライブ
３ 磁気ヘッド
６ サーボデータ検出部
８ 制御部
１０ａ〜１０ｅ 磁気ディスク
１１ ガラス基材
１１ａ 基材
１４，１４ａ，１４ｂ 磁性層
１５ 非磁性材料
１８ 樹脂層
２０，２０ａ，２０ｂ，２０ｓａ〜２０ｓｃ，２０ｔ 凹凸パターン
２１，２１ａ，２１ｂ，２１ｓ，２１ｓｉ，２１ｓｏ，２１ｔ 凸部
２２，２２ａ，２２ｂ，２２ｓ，２２ｓｉ，２２ｓｏ，２２ｔ 凹部
３０ 中間体
３５ａ〜３５ｃ スタンパー
Ａ１ａ〜Ａ４ａ，Ａ１ｂ〜Ａ４ｂ，Ａ１ｃ〜Ａ４ｃ 環状領域
Ａｉａ，Ａｉｂ，Ａｉｃ 内周側領域
Ａｏａ，Ａｏｂ，Ａｏｃ 外周側領域
Ａｓａ，Ａｓｂ，Ａｓｃ サーボパターン領域
Ａｓａｉ，Ａｓｂｉ，Ａｓｃｉ内周側サーボパターン領域
Ａｓａｏ，Ａｓｂｏ，Ａｓｃｏ 外周側サーボパターン領域
Ａｔ トラックパターン領域
Ｃｌｓ 検出用クロック
Ｄｃｌ クロックデータ
Ｄｓ サーボデータ
Ｌ１ｉ〜Ｌ４ｉ，Ｌ６ｉ〜Ｌ８ｉ，Ｌ１１ｉ〜Ｌ１３ｉ，Ｌ９２ｉ，Ｌ９３ｉ，Ｌ１ｏ〜Ｌ４ｏ，Ｌ６ｏ〜Ｌ８ｏ，Ｌ１１ｏ〜Ｌ１３ｏ，Ｌ５１〜Ｌ５４ 長さ
Ｏ 中心
Ｒ 矢印
【技術分野】
【０００１】
本発明は、凹凸パターンによってサーボパターンが形成された情報記録媒体、その情報記録媒体を備えた記録再生装置、およびその情報記録媒体を製造するためのスタンパーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子や情報記録媒体などを製造する工程において、ナノメートルサイズの凹凸パターンを形成したスタンパーを基材上の樹脂層に押し付けてスタンパーの凹凸形状を樹脂層に転写することで基材の上にナノメートルサイズの凹凸パターンを形成するナノインプリントリソグラフィ法（ナノメートルサイズの凹凸パターンを形成するインプリント方法：以下、「インプリント方法」ともいう）が米国特許５７７２９０５号明細書に開示されている。このインプリント方法では、まず、その転写面にナノメートルサイズ（一例として、最小幅が２５ｎｍ程度）の凹凸パターンが形成されたスタンパー（mold）を製造する。具体的には、シリコン基板（silicon substrate ）の表面に形成された酸化シリコン等の薄膜（molding layer ）を覆うようにして形成された樹脂層に電子ビームリソグラフィ装置を用いて所望のパターンを描画した後に、反応性イオンエッチング装置によって樹脂層をマスクとして薄膜をエッチング処理することによって複数の凸部（features）を有する凹凸パターンを薄膜の厚み内に形成する。これにより、スタンパーが製造される。
【０００３】
次いで、例えば、シリコン製の基材（substrate ）の表面にポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ：樹脂材料）をスピンコートして厚み５５ｎｍ程度の樹脂層（薄膜：thin film layer ）を形成する。続いて、基材および樹脂層の積層体、並びにスタンパーの双方を加熱した後に、基材上の樹脂層にスタンパーの各凸部を押し付ける。この際には、スタンパーの凸部が押し込まれた部位の樹脂材料がスタンパーの凹部に向けて移動することにより、凸部が押し込まれた部位に凹部（regions ）が形成（転写）される。次いで、スタンパーを押し付けた状態の積層体を室温となるまで放置した後に（冷却処理した後に）、樹脂層からスタンパーを剥離する。これにより、スタンパーの凹凸パターンにおける各凸部が樹脂層に転写されて、基材の上（樹脂層）にナノメートルサイズの凹凸パターンが形成される。この後、凹凸パターンが形成された樹脂層をマスクとして用いて基材をエッチング処理することにより、基材に複数の凹部が形成される。したがって、上記のような技術（インプリント方法）によって情報記録媒体用基材上の樹脂層に凹部を形成することにより、その樹脂層をマスクとして用いたエッチング処理によってナノメートルサイズの凹凸パターンを有する情報記録媒体を製造することが可能となる。
【特許文献１】米国特許５７７２９０５号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、従来のインプリント方法（製造方法）に従って製造された情報記録媒体には、以下の問題点がある。すなわち、従来の製造方法では、基材上に形成した樹脂層にスタンパーの凸部を押し込むことによって樹脂層に凹部を設けて凹凸パターンを形成し、凹凸パターンが形成された樹脂層をマスクとして用いて基材をエッチング処理することによって基材に凹凸パターンを形成している。しかし、この製造方法に従って例えばディスクリートトラック型の磁気記録媒体（情報記録媒体）を製造したときには、磁気記録媒体の外周側となる領域において樹脂層に対する凸部（スタンパーの凸部）の押し込み量が不足して、樹脂層に形成される（転写される）凹凸パターンにおける凹部の底部に大量の樹脂材料が残存するおそれがある。この結果、従来の製造方法に従って磁気記録媒体を製造したときには、凹部の底部に残存する樹脂材料の取り除き処理時に凹部が過剰に拡がることに起因して磁気記録媒体に凹凸パターンを高精度で形成するのが困難となるおそれがある。なお、以下の説明では、スタンパーの押し付けによって樹脂層に形成される凹部の底面と基材との間に取り残された樹脂材料を「残渣」ともいう。
【０００５】
具体的には、例えば、図２２に示すように、上記の製造方法に従って製造した磁気ディスク１０ｘは、同心円状の複数の記録トラックで構成された凹凸パターン２０ｔが形成されたトラックパターン領域Ａｔと、トラッキングサーボ用の凹凸パターン２０ｓｘが形成されたサーボパターン領域Ａｓｘとが磁気ディスク１０ｘの回転方向（同図に示す矢印Ｒの向き）で交互に並ぶように規定されて製造されている。この場合、この種の磁気記録媒体を搭載した記録再生装置では、記録再生時に磁気記録媒体を角速度一定で回転させるのが一般的となっている。したがって、この磁気ディスク１０ｘでは、単位時間当たりに磁気ヘッド（図示せず）の下方を通過させられる磁気ディスク１０ｘ上の長さに比例して、磁気ディスク１０ｘの回転方向に沿ったサーボパターン領域Ａｓｘの長さが内周側から外周側に向かうほど長くなるように（サーボパターン領域Ａｓｘが外周側ほど幅広となるように）規定されている。具体的には、図２３，２４に示すように、凹凸パターン２０ｔの中心Ｏ（図２２参照）からの距離に比例して、内周側サーボパターン領域Ａｓｘｉの回転方向に沿った長さよりも、外周側サーボパターン領域Ａｓｘｏの回転方向に沿った長さの方が長くなっている。
【０００６】
また、この種の磁気ディスクでは、サーボパターン領域Ａｓｘ（凹凸パターン２０ｓｘ）における凸部２１ｓｘｉ，２１ｓｘｏ（以下、区別しないときは「凸部２１ｓｘ」ともいう）の回転方向に沿った単位凸部長（磁気信号の読み取りに際して「１つの凸部有り」と検出される基準の長さ：図２３，２４におけるＬ１ｘｉ，Ｌ１ｘｏ）と、凹部２２ｓｘｉ，２２ｓｘｏ（以下、区別しないときは「凹部２２ｓｘ」ともいう）の回転方向に沿った単位凹部長（磁気信号の読み取りに際して「１つの凹部有り」と検出される基準の長さ：図２３，２４におけるＬ２ｘｉ，Ｌ２ｘｏ）とが磁気ディスク１０ｘの内周側領域Ａｘｉから外周側領域Ａｘｏまでの全域において１：１の比（単位凸部長に対する単位凹部長の比が１）となるように規定されている。したがって、この磁気ディスク１０ｘでは、内周側サーボパターン領域Ａｓｘｉにおける凹部２２ｓｘｉの長さＬ２ｘｉよりも、外周側サーボパターン領域Ａｓｘｏにおける凹部２２ｓｘｏの長さＬ２ｘｏの方が凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して長くなっている。
【０００７】
一方、上記の磁気ディスク１０ｘを製造するためのスタンパー（図２５，２６参照）には、磁気ディスク１０ｘに形成すべき凹凸パターン２０ｔ，２０ｓｘとは凹凸位置関係が反転している凹凸パターン３９ｘが形成されている。したがって、図２５，２６に示すように、磁気ディスク１０ｘを製造するためのスタンパーでは、内周側サーボパターン領域Ａｓｘｉにおける凹部２２ｓｘｉに対応する凸部（図２５に示す凸部３９ａｘ）の回転方向に沿った長さＬＳｘｉよりも、外周側サーボパターン領域Ａｓｘｏにおける凹部２２ｓｘｏに対応する凸部（図２６に示す凸部３９ａｘ）の回転方向に沿った長さＬＳｘｏの方が長くなっている。
【０００８】
この場合、従来の製造方法では、スタンパーの全域に亘ってほぼ均一な押圧力で凹凸パターン３９ｘを樹脂層に押し付けている。したがって、図２５に示すように、回転方向に沿った長さＬＳｘｉが比較的短い凸部３９ａｘが形成されている部位（内周側サーボパターン領域Ａｓｘｉの凹凸パターン２０ｓｘが形成される部位）では、凸部３９ａｘが押し込まれた部位の樹脂材料がスタンパーの凹部３９ｂｘ，３９ｂｘ内に向けてスムーズに移動する結果、凸部３９ａｘを十分に奥深くまで樹脂層に押し込むことができる。この結果、凸部３９ａｘの先端と基材との間（凹部４１ｂｘの底部）の樹脂層の厚みＴ１が十分に薄い凹凸パターン４１ｘを基材の上に形成することができる。これに対して、図２６に示すように、回転方向に沿った長さＬＳｘｏが比較的長い凸部３９ａｘが形成されている部位（外周側サーボパターン領域Ａｓｘｏの凹凸パターン２０ｓｘが形成される部位）では、凸部３９ａｘが押し込まれた部位の樹脂材料がスタンパーの凹部３９ｂｘ，３９ｂｘ内に向けて移動するのが困難となる結果、凸部３９ａｘを樹脂層に奥深くまで十分に押し込むのが困難となる。この結果、凸部３９ａｘの先端と基材との間（凹部４１ｂｘの底部）に厚みＴ２の残渣が生じることとなる。
【０００９】
一方、凹凸パターン４１ｘが形成された樹脂層をマスクとして用いて基材をエッチング処理する際には、凹凸パターン４１ｘにおける凹部４１ｂｘの底面の残渣をエッチング処理等によって除去する必要がある（前述した取り除き処理）。この場合、前述したように、回転方向に沿ったＬＳｘｉが短い凸部３９ａｘ，３９ａｘ・・を押し込んだ部位の残渣の厚みＴ１は、回転方向に沿ったＬＳｘｏが長い凸部３９ａｘ，３９ａｘ・・を押し込んだ部位の残渣の厚みＴ２よりも十分に薄くなっている。したがって、後に外周側サーボパターン領域Ａｓｘｏとなる外周側の領域において厚みＴ２の残渣を確実に取り除くことができるように十分な時間のエッチング処理（取り除き処理）を実行したときには、厚みＴ２の残渣の取り除きが完了するのに先立ち、内周側の領域において厚みＴ１の残渣の取り除きが完了する。この結果、厚みＴ１の残渣が取り除かれた部位（回転方向に沿った長さが短い凹部４１ｂｘの部位）では、厚みＴ２の残渣の取り除きが完了するまでエッチングされ続けることによって凹部４１ｂｘの内側壁（凸部４１ａｘの側面）が浸食されて凹部４１ｂｘが過剰に拡がってしまう。このため、従来の製造方法に従って製造した磁気ディスク１０ｘには、所望する広さの凹部４１ｂｘを形成するのが困難であることに起因して、内周側サーボパターン領域Ａｓｘｉにおいて凹部２２ｓｘｉが過剰に拡がり、これに起因して磁気的信号の確実な読み取りが困難となるおそれがある。
【００１０】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その内周側から外周側までの全域において磁気的信号の確実な読み取りが可能なサーボパターンを有する情報記録媒体および記録再生装置、並びに、このような情報記録媒体を製造し得るスタンパーを提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成すべく本発明に係る情報記録媒体は、基材の少なくとも一面側に凹凸パターンによってサーボパターンが形成されると共に、同心円状または螺旋状のデータ記録トラックが当該一面側に設けられてデータトラックパターンが形成され、前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記データトラックパターンと同心の複数の環状領域に区分けされると共に、前記基材の回転方向に沿った単位凹部長の当該各環状領域内における平均長を当該データトラックパターンの中心から当該環状領域までの距離で除した値が内周側の当該環状領域よりも外周側の当該環状領域ほど小さくなるように当該各環状領域毎に当該単位凹部長が規定されている。
【００１２】
なお、本明細書における「同心円状または螺旋状のデータ記録トラック」には、凹凸パターンの凹部によって情報記録媒体における半径方向および回転方向の双方に対して分離された凸部（単位記録要素）が同心円状または螺旋状に配列させられたパターンド媒体のデータトラックパターンにおけるトラック状のデータ記録部が含まれる。また、本明細書における「単位凹部長」とは、情報記録媒体からの磁気信号の読み取りに際して「１つの凹部有り」と検出するための基準の長さをいう。したがって、実際の情報記録媒体では、サーボデータの内容に応じて、単位凹部長の整数倍の長さの凹部が形成されてサーボパターンが構成される。この場合、「１つの凹部有り」と検出するための基準の長さについては、サーボパターン全体において１つの共通する長さに規定してもよいし、サーボパターンを構成する各種パターンの種類（プリアンブルパターン、アドレスパターンおよびバーストパターン等）に応じて各パターン毎に相違する長さに規定することもできる。また、一般的には、凹部の形成部位は「検出信号の出力なし」または「信号レベルがLow の検出信号」として検出される。さらに、本明細書における「データトラックパターンの中心から環状領域までの距離」とは、例えば、「データトラックパターンの中心から、環状領域の最内周部位までの距離」や、「データトラックパターンの中心から、環状領域の最外周部位までの距離」のみならず、「データトラックパターンの中心から、環状領域の半径方向における中央部位などの任意の部位までの距離」などがこれに含まれる。ただし、この距離を規定する部位はすべての環状領域において同じ部位とする。
【００１３】
また、本発明に係る情報記録媒体は、前記基材の回転方向に沿った単位凸部長に対する前記単位凹部長の比が前記環状領域内において当該環状領域の内周側から当該環状領域の外周側に向かうほど小さくなるように当該単位凸部長および当該単位凹部長が規定されて前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンが形成されている。なお、本明細書における「単位凸部長」とは、情報記録媒体からの磁気信号の読み取りに際して「１つの凸部有り」と検出するための基準の長さをいう。したがって、実際の情報記録媒体では、サーボデータの内容に応じて、単位凸部長の整数倍の長さの凸部が形成されてサーボパターンが構成される。この場合、「１つの凸部有り」と検出するための基準の長さについては、サーボパターン全体において１つの共通する長さに規定してもよいし、サーボパターンを構成する各種パターンの種類（プリアンブルパターン、アドレスパターンおよびバーストパターン等）に応じて各パターン毎に相違する長さに規定することもできる。また、一般的には、凸部の形成部位は「検出信号の出力有り」または「信号レベルがHighの検出信号」として検出される。
【００１４】
さらに、本発明に係る情報記録媒体は、前記単位凸部長が前記環状領域内において当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど長くなるように規定されて前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンが形成されている。
【００１５】
また、本発明に係る情報記録媒体は、前記単位凹部長が前記環状領域内における当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側までの全域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定されて前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンが形成されている。なお、本発明では、極く僅かな程度の製造誤差が生じて、凹凸パターンにおける単位凹部長が各環状領域内において僅かにばらついた状態になったとしても、それらの長さは等しい長さの範疇に含まれるものとする。また、本明細書における「ほぼ等しい長さ」には、製造目標としての所定の長さを中心として、製造誤差とは別に当初から規定した僅かな幅の許容範囲内の長さが含まれるものとする。
【００１６】
さらに、本発明に係る情報記録媒体は、前記単位凸部長および前記単位凹部長の合計長が前記環状領域内において前記データトラックパターンの中心からの距離に比例して当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど長くなるように規定されて前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンが形成されている。なお、本発明では、極く僅かな程度の製造誤差が生じて、凹凸パターンにおける単位凸部長と単位凹部長との合計長が環状領域内においてデータトラックパターンの中心からの距離に対して比例する長さとは僅かに相違する長さになったとしても、その凹凸パターンにおける単位凸部長と単位凹部長との合計長は、中心からの距離に比例している長さの範疇に含まれるものとする。
【００１７】
また、本発明に係る情報記録媒体は、前記単位凹部長が前記環状領域内において前記データトラックパターンの中心からの距離に比例して当該環状領域の内周側から当該環状領域の外周側に向かうほど長くなるように規定されると共に、前記基材の回転方向に沿った前記単位凹部長と単位凸部長の合計長が当該環状領域内において前記データトラックパターンの中心からの距離に比例して当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど長くなるように当該単位凸部長および当該単位凹部長が規定されて前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンが形成されている。なお、本発明では、極く僅かな程度の製造誤差が生じて、凹凸パターンにおける単位凹部長が環状領域内においてデータトラックパターンの中心からの距離に対して比例する長さとは僅かに相違する長さになったとしても、その凹凸パターンにおける単位凹部長は、中心からの距離に比例している長さの範疇に含まれるものとする。
【００１８】
さらに、本発明に係る情報記録媒体は、前記単位凹部長の前記環状領域内における前記平均長が前記内周側の環状領域から前記外周側の環状領域までの全環状領域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定されて前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンが形成されている。なお、本発明では、極く僅かな程度の製造誤差が生じて、各環状領域毎の単位凹部長の平均長が僅かに相違する状態になったとしても、それらの平均長は等しい長さの範疇に含まれるものとする。
【００１９】
また、本発明に係る情報記録媒体は、前記単位凹部長を前記データトラックパターンの中心からの距離で除した値が前記環状領域内において当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど小さくなるように当該単位凹部長が規定されて前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンが形成されている。
【００２０】
さらに、本発明に係る情報記録媒体は、前記基材の回転方向に沿った単位凸部長を前記データトラックパターンの中心からの距離で除した値が前記環状領域内において当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど小さくなるように当該単位凸部長が規定されて前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンが形成されている。
【００２１】
また、本発明に係る情報記録媒体は、前記単位凹部長が前記環状領域内における当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側までの全域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定されて前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンが形成されている。なお、本発明では、極く僅かな程度の製造誤差が生じて、凹凸パターンにおける単位凹部長が各環状領域内において僅かにばらついた状態になったとしても、それらの長さは等しい長さの範疇に含まれるものとする。
【００２２】
さらに、本発明に係る情報記録媒体は、前記単位凸部長が前記環状領域内における当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側までの全域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定されて前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンが形成されている。なお、本発明では、極く僅かな程度の製造誤差が生じて、凹凸パターンにおける単位凸部長が各環状領域内において僅かにばらついた状態になったとしても、それらの長さは等しい長さの範疇に含まれるものとする。
【００２３】
また、本発明に係る記録再生装置は、上記のいずれかの情報記録媒体と、前記サーボパターンに対応付けられているサーボデータに基づいてサーボ制御を実行する制御部とを備えている。
【００２４】
また、本発明に係る記録再生装置は、上記のいずれかの情報記録媒体と、前記各環状領域毎に予め規定された読み出し周波数情報に基づいて前記情報記録媒体から前記サーボパターンに対応付けられているサーボデータを読み出してサーボ制御する制御部とを備えている。
【００２５】
また、本発明に係る記録再生装置は、上記のいずれかの情報記録媒体と、前記データトラックパターンの中心からの距離に応じて予め規定された読み出し周波数情報に基づいて前記情報記録媒体から前記サーボパターンに対応付けられているサーボデータを読み出してサーボ制御する制御部とを備えている。
【００２６】
また、本発明に係るスタンパーは、情報記録媒体製造用のスタンパーであって、上記のいずれかの情報記録媒体における前記凹凸パターンの凹部に対応して形成された凸部と、前記情報記録媒体における前記凹凸パターンの凸部に対応して形成された凹部とを有する凹凸パターンが形成されている。
【発明の効果】
【００２７】
本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、各環状領域内における単位凹部長の平均長をデータトラックパターンの中心から環状領域までの距離で除した値が内周側の環状領域よりも外周側の環状領域ほど小さくなるように各環状領域毎に単位凹部長を規定してサーボパターンを構成する凹凸パターンを構成したことにより、単位凹部長がその内周側から外周側に向けて徐々に長くなるように凹凸パターンが形成されている従来の磁気ディスク１０ｘと比較して、外周側の環状領域における単位凹部長を十分に短くすることができる。したがって、この情報記録媒体を製造するためのスタンパーにおいて情報記録媒体の各凹部に対応する各凸部の回転方向に沿った長さを十分に短くすることができるため、インプリント処理時に厚手の残渣を生じさせることなく、スタンパーの各凸部を十分に奥深くまで樹脂層に押し込むことができる。この結果、残渣の厚みが内周側の環状領域に対応する部位と外周側の環状領域に対応する部位とで大きく相違することなくほぼ同様の厚みとなるため、残渣の取り除き処理時に内周側の環状領域に対応する部位の各凹部が過剰に拡がる事態が回避される。したがって、樹脂層における各凹部の部位に最終的に形成される凹部（サーボパターン用の凹部）が過剰に拡がる事態が回避されてサーボパターン用の凹凸パターンを高精度で形成することができる。このため、サーボパターン形成領域の全域において磁気的信号の確実な読み取りが可能なサーボパターンを有する情報記録媒体、およびその情報記録媒体を備えた記録再生装置を提供することができる。
【００２８】
この場合、単位凹部長の平均長をデータトラックパターンの中心から環状領域までの距離で除した値が外周側の環状領域よりも内周側の環状領域ほど大きくなるように各環状領域毎に単位凹部長が規定されているため、内周側の環状領域においても単位凹部長が過度に短くなる事態が回避されている。したがって、インプリント法以外の各種製造方法によって情報記録媒体を製造する際にも凹部の形成処理（レジスト層に対する現像処理や、磁性層などに対するエッチング処理等）が困難となる事態を回避することができる結果、サーボパターン形成領域の全域において凹部を高精度で形成することができる。
【００２９】
また、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凸部長に対する単位凹部長の比が各環状領域内において環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど小さくなるように単位凸部長および単位凹部長を規定したことにより、各環状領域内における外周側の単位凹部長を十分に短くすることができる。したがって、この情報記録媒体を製造するためのスタンパーにおいて各環状領域の外周側に対応する部位に過剰に長い凸部が存在しないため、インプリント処理時に、スタンパーにおける各凸部を一層スムーズに樹脂層に押し込むことができる。また、単位凸部長に対する単位凹部長の比が環状領域の外周側から内周側に向かうほど大きくなるように単位凸部長および単位凹部長が規定されているため、環状領域の内周側においても単位凹部長が過度に短くなる事態が回避されている。したがって、インプリント法以外の各種製造方法によって情報記録媒体を製造する際にも凹部の形成処理（レジスト層に対する現像処理や、磁性層などに対するエッチング処理等）が困難となる事態を回避することができる結果、サーボパターン形成領域の全域において凹部を高精度で形成することができる。
【００３０】
さらに、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凸部長が環状領域内において環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど長くなるように規定したことにより、例えば単位凸部長を環状領域内における環状領域の内周側から環状領域の外周側までの全域に亘って等しい長さに規定して単位凹部長を変化させることで単位凸部長に対する単位凹部長の比を環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど小さくする構成とは異なり、環状領域における外周側において単位凹部長が過度に短くなる事態を回避することができる。したがって、この情報記録媒体に対する記録再生時に各環状領域における外周側の凹部を確実に検出することができる結果、サーボデータの読み出しエラーの発生を確実に回避することができる。
【００３１】
また、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凹部長が環状領域における環状領域の内周側から環状領域の外周側までの全域において等しい長さとなるように規定したことにより、例えばインプリント法によってこの情報記録媒体を製造する際にサーボパターン用の凹部に対応する部位に形成される残渣の厚みを各環状領域の内周側から外周側の全域において均一にすることができる。したがって、同一の環状領域内における各凹部の長さ（単位凹部長）にばらつきが生じる事態を回避して均一にすることができる。また、各環状領域内における内周側から外周側までの全域において単位凹部長を等しい長さ、または、ほぼ等しい長さに規定したことにより、インプリント法以外の各種製造方法によって情報記録媒体を製造する場合にも、凹部の形成処理（レジスト層に対する現像処理や、磁性層などに対するエッチング処理等）が容易となる結果、サーボパターン形成領域の全域において凹部を高精度で形成することができる。
【００３２】
さらに、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凸部長および単位凹部長の合計長（すなわち、凸部および凹部の形成ピッチ）がデータトラックパターンの中心からの距離に比例して環状領域内において環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど長くなるように規定したことにより、情報記録媒体を角速度一定の条件で回転させつつサーボパターン領域からサーボデータを読み出す際に使用されるクロックの基準となる周波数情報（読み出し周波数情報）を一つの環状領域内において変化させることなく、その環状領域における環状領域の内周側から環状領域の外周側までのサーボパターン領域からサーボデータを確実に読み出す（検出する）ことができる。したがって、例えば、環状領域の内周側から外周側まで磁気ヘッドをシーク動作させる際における読み出し周波数情報の周波数切替え処理を不要とすることができる結果、シーク動作を短時間で実行することができる。このため、データアクセスを高速に行うことができる。また、読み出し周波数情報として環状領域の数に対応する種類の周波数情報を出力できればよいため、簡易な構成の制御部によってトラッキングサーボを行うことができる。
【００３３】
また、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凹部長が環状領域内においてデータトラックパターンの中心からの距離に比例して環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど長くなり、かつ単位凸部長と単位凹部長の合計長が環状領域内においてデータトラックパターンの中心からの距離に比例して環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど長くなるように単位凸部長および単位凹部長を規定したことにより、外周側の環状領域において単位凹部長が長くなる事態を回避しつつ、１つの環状領域内において読み出し周波数情報の周波数を変化させることなく、サーボデータの読み取りができるため、例えば、環状領域の内周側から外周側まで磁気ヘッドをシーク動作させる際における読み出し周波数情報の周波数切替え処理を不要とすることができる。したがって、シーク動作を短時間で実行することができるため、データアクセスを高速に行うことができる。また、読み出し周波数情報として環状領域の数に対応する種類の周波数情報を出力できればよいため、簡易な構成の制御部によってトラッキングサーボを行うことができる。また、この情報記録媒体および記録再生装置によれば、磁気ヘッドの下方を単位凸部長の凸部および単位凹部長の凹部が通過させられる時間が１つの環状領域内における内周側と外周側とで等しくすることができる。したがって、磁気ヘッドが検出するサーボデータの単位凸部長および単位凹部長の信号形状を１つの環状領域内における内周側から外周側までの全域において等しくすることができる。このため、より一層確実にサーボデータを読み出す（検出する）ことができる。
【００３４】
さらに、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凹部長の環状領域内における平均長が内周側の環状領域から外周側の環状領域までの全環状領域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定したことにより、例えば、インプリント法によって情報記録媒体を製造する際に、サーボパターン用の凹部に対応する部位に生じる残渣の厚みを内周側の環状領域から外周側の環状領域までほぼ均一にすることができる。したがって、各環状領域毎の凹部の拡がり度合いを大きくばらつかせることなく、すべての環状領域（すなわち、情報記録媒体の内周側から外周側までの全域）に亘って所望の長さの凹部を高精度で形成することができる。また、インプリント法以外の各種製造方法によって情報記録媒体を製造する場合にも、凹部の形成処理（レジスト層に対する現像処理や、磁性層などに対するエッチング処理等）が容易となる結果、サーボパターン形成領域の全域において凹部を高精度で形成することができる。
【００３５】
また、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凹部長をデータトラックパターンの中心からの距離で除した値が環状領域内において環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど小さくなるように単位凹部長を規定したことにより、各環状領域内における外周側の単位凹部長を十分に短くすることができる。したがって、この情報記録媒体を製造するためのスタンパーにおいて各環状領域の外周側に対応する部位に過剰に長い凸部が存在しないため、インプリント処理時に、スタンパーの各凸部を一層スムーズに樹脂層に押し込むことができる。また、単位凹部長をデータトラックパターンの中心からの距離で除した値が環状領域の外周側から環状領域の内周側に向かうほど大きくなるように単位凹部長が規定されているため、各環状領域の内周側においても単位凹部長が過度に短くなる事態が回避されている。したがって、インプリント法以外の各種製造方法によって情報記録媒体を製造する際にも凹部の形成処理（レジスト層に対する現像処理や、磁性層などに対するエッチング処理等）が困難となる事態を回避することができる。
【００３６】
さらに、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凸部長をデータトラックパターンの中心からの距離で除した値が環状領域内において環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど小さくなるように単位凸部長を規定してサーボパターンを構成する凹凸パターンを形成したことにより、基材の回転方向に沿った単位凸部長がデータトラックパターンの中心からの距離に比例して長くなるように（単位凸部長を中心からの距離で除した値が内周側から外周側までの全域に亘って等しくなるように）凹凸パターンが形成されている従来の情報記録媒体（磁気ディスク１０ｘ）と比較して、環状領域内における外周側の単位凸部長を十分に短くすることができる。したがって、この情報記録媒体を製造するためのスタンパーにおいて環状領域内に対応する領域の外周側に形成された各凹部の回転方向に沿った長さを十分に短くすることができるため、インプリント処理時に、スタンパーにおける凸部の押し込みによってその凸部に隣接する凹部内に移動させられた樹脂材料によって十分な高さの凸部（十分な厚みのマスク）を形成することができる。この結果、十分な厚みのマスク（十分な高さの凸部）を用いてサーボパターン用の凹部を高精度で形成することができる。
【００３７】
また、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凹部長が環状領域における環状領域の内周側から環状領域の外周側までの全域において等しい長さとなるように規定してサーボパターンを構成する凹凸パターンを形成したことにより、例えばインプリント法によってこの情報記録媒体を製造する際にサーボパターン用の凹部に対応する部位に形成される残渣の厚みを各環状領域の内周側から外周側の全域において均一にすることができる。したがって、同一の環状領域内における各凹部の長さ（単位凹部長）にばらつきが生じる事態を回避して均一にすることができる。また、各環状領域内における内周側から外周側までの全域において単位凹部長を等しい長さ、または、ほぼ等しい長さに規定したことにより、インプリント法以外の各種製造方法によって情報記録媒体を製造する場合にも、凹部の形成処理（レジスト層に対する現像処理や、磁性層などに対するエッチング処理等）が容易となる結果、サーボパターン形成領域の全域において凹部を高精度で形成することができる。
【００３８】
さらに、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凸部長が環状領域内における環状領域の内周側から環状領域の外周側までの全域において等しい長さとなるように規定してサーボパターンを構成する凹凸パターンを形成したことにより、この情報記録媒体を製造するためのスタンパーにおいて情報記録媒体の各凸部に対応する各凹部の回転方向に沿った長さを各環状領域における内周側に対応する部位から外周側に対応する部位まで均一にすることができるため、インプリント処理時に、スタンパーにおける各凸部の押し込みによって各凹部内に移動させられた樹脂材料によって形成される凸部（マスクとして機能する樹脂材料）の高さを環状領域内における内周側から外周側まで均一にすることができる。この結果、均一な厚みのマスク（均一な高さの凸部）を用いてサーボパターン用の凹部を高精度で形成することができる。
【００３９】
また、本発明に係る記録再生装置によれば、サーボパターンに対応付けられているサーボデータに基づいてサーボ制御を実行する制御部を備え、各環状領域毎に予め規定された読み出し周波数情報に基づいて制御部が情報記録媒体からサーボパターンに対応付けられているサーボデータを読み出すように構成したことにより、例えば、情報記録媒体の内周側の環状領域内から外周側の環状領域内まで磁気ヘッドをシーク動作させる際における検出用クロックの周波数切替え処理の回数を少なくすることができる。したがって、シーク動作を短時間で実行することができるため、データアクセスを高速に行うことができる。
【００４０】
また、本発明に係る記録再生装置によれば、サーボパターンに対応付けられているサーボデータに基づいてサーボ制御を実行する制御部を備え、データトラックパターンの中心からの距離に応じて予め規定された読み出し周波数情報に基づいて制御部が情報記録媒体からサーボパターンに対応付けられているサーボデータを読み出すように構成したことにより、情報記録媒体を角速度一定の条件で回転させつつサーボパターン（サーボデータ）を確実に読み出すことができる。
【００４１】
また、本発明に係るスタンパーによれば、上記の情報記録媒体における凹凸パターンの凹部に対応して形成した凸部と、情報記録媒体における凹凸パターンの凸部に対応して形成した凹部とを有する凹凸パターンを備えたことにより、スタンパーの外周側に回転方向に沿った長さが過剰に長い凸部が存在しないため、凹凸パターンを形成するためのインプリント処理時（情報記録媒体製造用の中間体における樹脂層にスタンパーの凹凸パターンを転写する処理時）に、樹脂層に対してスタンパーの凹凸パターン（各凸部）をスムーズに押し込むことができる。したがって、各凸部の押し込み量の不足に起因する不都合（厚手の残渣が生じることに起因して各凹部が過剰に拡がる事態）が生じる事態を回避することができる。これにより、サーボデータの確実な読み取りが可能な情報記録媒体を製造することができる。また、回転方向に沿った長さが過剰に長い凹部がスタンパーに存在しないため、インプリント処理時にこのスタンパーの凸部の押し込みによってスタンパーの凹部内に移動させられる樹脂材料によって、十分に高い凸部を樹脂層に形成する（十分に厚い樹脂マスクを形成する）ことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４２】
以下、本発明に係る情報記録媒体、記録再生装置およびスタンパーの最良の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００４３】
図１に示すハードディスクドライブ１は、本発明に係る記録再生装置の一例としての磁気記録再生装置であって、スピンドルモータ２、磁気ヘッド３、信号変換部４、検出用クロック出力部５、サーボデータ検出部６、ドライバ７、制御部８、ＲＯＭ９および磁気ディスク１０ａを備えて構成されている。この場合、磁気ディスク１０ａは、一例として、垂直記録方式で記録データを記録可能なディスクリートトラック型の磁気ディスク（パターンド媒体）であって、本発明における情報記録媒体に相当する。具体的には、図２に示すように、この磁気ディスク１０ａは、軟磁性層１２、中間層１３および磁性層１４がガラス基材１１の上にこの順で形成されている。この場合、中間層１３の上に形成されている磁性層１４は、磁性材料で形成された凸部２１，２１・・と凹部２２，２２・・とが交互に形成されることによって所定の凹凸パターン２０を構成する。また、凹部２２，２２・・には、ＳｉＯ２等の非磁性材料１５が埋め込まれている。さらに、凹部２２に埋め込まれた非磁性材料１５、および凸部２１の上には、一例としてダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）の薄膜がＣＶＤ法によって成膜されて厚みが２ｎｍ程度の保護層（ＤＬＣ膜）１６が形成されている。また、この磁気ディスク１０ａでは、保護層１６の表面に潤滑剤（一例として、フッ素系の潤滑剤）が塗布されている。
【００４４】
ガラス基材１１は、本発明における基材に相当し、直径２．５インチのガラス板を表面研磨して厚みが０．６ｍｍ程度となるように形成されている。なお、本発明における基材は、ガラス材料に限定されるものではなく、アルミニウムやセラミックなどの各種非磁性材料で形成することができる。軟磁性層１２は、ＣｏＺｒＮｂ合金などの軟磁性材料をスパッタリングすることによって厚みが１００ｎｍ〜２００ｎｍ程度となるように形成されている。中間層１３は、磁性層１４を形成するための下地層として機能する層であって、ＣｒやＣｏＣｒ非磁性合金などの中間層形成用材料をスパッタリングすることによって厚みが４０ｎｍ程度となるように形成されている。磁性層１４は、磁性材料で形成された凸部２１，２１・・で構成された層であって、例えばＣｏＣｒＰｔ合金をスパッタリングする処理と、レジストパターン等をマスクとして用いてエッチング処理して凹部２２，２２・・を形成する処理とがこの順で実行されることによって、凸部２１，２１・・（凹凸パターン２０）が形成されて構成されている。
【００４５】
この場合、図３に示すように、この磁気ディスク１０ａでは、凹凸パターン２０（凹凸パターン２０ｔ）の中心Ｏを中心とする同心円状の（すなわち、凹凸パターン２０ｔと同心の）４つの環状領域Ａ１ａ〜Ａ４ａ（本発明における複数の環状領域の一例：以下、区別しないときには、環状領域Ａａともいう）に区分けされて凹凸パターン２０（凹凸パターン２０ｔ、凹凸パターン２０ｓａ）が形成されている。なお、本発明における「複数の環状領域」の数は上記の４つに限定されず、磁気ディスク１０ａの内周側から外周側までを２つ以上の任意の数に区分けすることができる。また、この磁気ディスク１０ａでは、トラックパターン領域Ａｔ，Ａｔの間にサーボパターン領域Ａｓａが設けられてトラックパターン領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓａが磁気ディスク１０ａの回転方向（矢印Ｒの向き）において交互に並ぶように形成されている。
【００４６】
また、図５，６に示すように、トラックパターン領域Ａｔ（各環状領域Ａａにおける内周側の内周側トラックパターン領域Ａｔｉ、および各環状領域Ａａにおける外周側の外周側トラックパターン領域Ａｔｏ）には、データトラックパターンとしての凹凸パターン２０ｔが形成されている。この場合、凹凸パターン２０ｔは、磁気ディスク１０ａの回転中心を中心Ｏ（図３参照）とする同心円状の多数の凸部２１ｔ，２１ｔ・・（データ記録用トラック）と、各凸部２１ｔ，２１ｔ・・の間の凹部２２ｔ，２２ｔ・・とで構成されている。なお、磁気ディスク１０ａの回転中心と凹凸パターン２０ｔの中心Ｏとが一致しているのが好ましいが、実際には、製造誤差に起因する３０〜５０μｍ程度の極く小さなずれが生じることがある。しかし、この程度のずれ量であれば磁気ヘッド３に対するトラッキングサーボ制御が十分に可能であるため、回転中心と中心Ｏとは、実質的には同様であるといえる。また、凹凸パターン２０ｔの凹部２２ｔ，２２ｔ・・には、非磁性材料１５が埋め込まれてトラックパターン領域Ａｔの表面が平坦化されている。
【００４７】
また、図４〜６に示すように、サーボパターン領域Ａｓａ（各環状領域Ａａにおける内周側の内周側サーボパターン領域Ａｓａｉ、および各環状領域Ａａにおける外周側の外周側サーボパターン領域Ａｓａｏ）には、サーボパターンとしての凹凸パターン２０ｓａが形成されている。この場合、図５，６に示すように、凹凸パターン２０ｓａは、プリアンブルパターン、アドレスパターンおよびバーストパターンなどの各種サーボパターンを構成する凸部２１ｓ，２１ｓ・・（凸部２１ｓｉおよび凸部２１ｓｏ）並びに凹部２２ｓ，２２ｓ・・（凹部２２ｓｉおよび凹部２２ｓｏ）で構成されている。また、この磁気ディスク１０ａでは、回転方向（各図における矢印Ｒの向き）に沿った凸部２１ｓの長さと凹部２２ｓの長さとの合計長（すなわち、凸部２１ｓおよび凹部２２ｓの形成ピッチ）が各環状領域Ａａ内において凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例してその内周側からその外周側に向けて徐々に長くなるように規定されている。したがって、図４に示すように、各環状領域Ａａは、回転方向に沿った長さが環状領域Ａａにおける内周側の長さＬ４ｉよりも、外周側の長さＬ４ｏの方が僅かに長くなっている。
【００４８】
また、この磁気ディスク１０ａでは、回転方向に沿った凹部２２ｓの長さが環状領域Ａａにおける内周側から外周側までの全域において等しい長さとなるように（本発明における「単位凹部長が等しい長さ、または、ほぼ等しい長さ」となるように規定した一例）各凹部２２ｓ，２２ｓ・・が形成されると共に、回転方向に沿った凸部２１ｓの長さが各環状領域Ａａの内周側から外周側に向けて徐々に長くなるように各凸部２１ｓ，２１ｓ・・が形成されている。したがって、この磁気ディスク１０ａでは、回転方向に沿った凸部２１ｓの長さに対する凹部２２ｓの長さの比が各環状領域Ａａにおいてその内周側からその外周側に向けて徐々に小さくなるように規定されている。さらに、このこの磁気ディスク１０ａでは、凹部２２ｓの長さがすべての環状領域Ａａに亘って等しい長さとなるように規定されている。この結果、この磁気ディスク１０ａでは、各環状領域Ａａ内の凹部２２ｓの平均長がすべての環状領域Ａａにおいて等しくなると共に、各環状領域Ａａ内の凹部２２ｓの平均長を凹凸パターン２０ｔの中心Ｏから環状領域Ａａまでの距離（一例として、環状領域Ａａにおける最内周の部位とする）で除した値が内周側の環状領域Ａ１ａから外周側の環状領域Ａ４ａに向かうほど小さくなっている。また、図４に示すように、この磁気ディスク１０ａでは、各環状領域Ａａの内周側の長さＬ４ｉ，Ｌ４ｉ・・が互いに等しくなるように規定され、各環状領域Ａａの外周側の長さＬ４ｏ，Ｌ４ｏ・・が互いに等しくなるように規定されている。
【００４９】
具体的には、図５に示すように、各環状領域Ａａにおける内周側領域Ａｉａ（一例として、環状領域Ａ１ａ内における中心Ｏからの距離が１１ｍｍの部位におけるプリアンブルパターンの形成領域）では、凸部２１ｓｉの長さＬ１ｉ（一例として、２２０ｎｍ）と凹部２２ｓｉの長さＬ２ｉ（一例として、２２０ｎｍ）との合計長である長さＬ３ｉが４４０ｎｍとなるように規定されている。これに対して、図６に示すように、各環状領域Ａａにおける外周側領域Ａｏａ（一例として、環状領域Ａ１ａ内における中心Ｏからの距離が１６ｍｍの部位におけるプリアンブルパターンの形成領域）では、凸部２１ｓｏの長さＬ１ｏ（一例として、４２０ｎｍ）と凹部２２ｓｏの長さＬ２ｏ（一例として、凹部２２ｓｉの長さＬ２ｉと等しい２２０ｎｍ）との合計長である長さＬ３ｏが６４０ｎｍとなっている。この結果、図５に示すように、この磁気ディスク１０ａでは、各環状領域Ａａにおいて、その内周側領域Ａｉａにおける凹凸パターン２０ｓａの凸部２１ｓｉの長さＬ１ｉに対する凹部２２ｓｉの長さＬ２ｉの比が１であるのに対して、図６に示すように、外周側領域Ａｏａにおける凸部２１ｓｏの長さＬ１ｏに対する凹部２２ｓｏの長さＬ２ｏの比が１１／２１となっている。
【００５０】
この場合、各環状領域Ａａ毎の凸部２１ｓの長さ（単位凸部長）に対する凹部２２ｓの長さ（単位凹部長）の比については、上記のプリアンブルパターンのみならず、アドレスパターンやバーストパターンを構成する凹凸パターン２０ｓａについても同様に規定されている。また、バーストパターンについては、磁気ディスク１０ａの回転方向に沿って複数の矩形状の凹部２２ｓ，２２ｓ・・が凸部２１ｓを挟んで並んでいる領域において、単位凸部長に対する単位凹部長の比が上記の条件を満たすように規定されている。なお、図５，６では、本発明についての理解を容易とするために、凸部２１ｓｏの長さＬ１ｏに対する凹部２２ｓｏの長さＬ２ｏの比を誇張して小さくした状態（凸部の長さを誇張して長くした状態）を図示している。また、両図では、サーボパターンにおけるプリアンブルパターンおよびバーストパターンを模式的に図示しており、理解を容易にすべく、回転方向に沿った各凸部２１ｓ，２１ｓ・・や各凹部２２ｓ，２２ｓ・・の長さをサーボパターンの単位凸部長および単位凹部長のみで図示している。したがって、実際の磁気ディスク１０ａでは、凸部２１ｓ，２１ｓ・・や凹部２２ｓ，２２ｓ・・の数、形成位置および長さが各図に示す状態とは異なり、トラッキングサーボ制御に必要なトラックアドレスおよびセクターアドレス等の情報（パターン）を含む各種の制御用データに対応して、凸部２１ｓや凹部２２ｓのそれぞれの数、形成位置および長さが規定されて凹凸パターン２０ｓａが形成されている。この場合、凸部２１ｓや凹部２２ｓの実際の長さは、凸部２１ｓや凹部２２ｓの長さ（単位凸部長および単位凹部長）の整数倍の長さとなる。
【００５１】
一方、スピンドルモータ２は、制御部８の制御下で磁気ディスク１０ａを一例として４２００ｒｐｍの回転数で定速回転させる。磁気ヘッド３は、図１に示すように、スイングアーム３ａを介してアクチュエータ３ｂに取り付けられて磁気ディスク１０ａに対する記録データの記録再生時において磁気ディスク１０ａ上を移動させられる。また、磁気ヘッド３は、磁気ディスク１０ａの各環状領域Ａａにおけるサーボパターン領域Ａｓａからのサーボデータの読み出しと、各環状領域Ａａにおけるトラックパターン領域Ａｔ（凸部２１ｔ，２１ｔ・・）に対する記録データの磁気的な書き込みと、各環状領域Ａａにおけるトラックパターン領域Ａｔに磁気的に書き込まれている記録データの読み出しとを実行する。なお、磁気ヘッド３は、実際には磁気ディスク１０ａに対して磁気ヘッド３を浮上させるためのスライダの底面（エアベアリング面）に形成されているが、このスライダについての説明および図示を省略する。アクチュエータ３ｂは、制御部８の制御下でドライバ７から供給される駆動電流によってスイングアーム３ａをスイングさせることにより、磁気ヘッド３を磁気ディスク１０ａ上の任意の記録再生位置に移動させる。
【００５２】
信号変換部４は、アンプ、ＬＰＦ（Ｌｏｗ Ｐａｓｓ Ｆｉｌｔｅｒ）およびＡ／Ｄ変換器等（図示せず）を備え、磁気ヘッド３によって磁気ディスク１０ａから取得された各種信号を増幅してノイズを除去した後にＡ／Ｄ変換して出力する。ＲＯＭ９は、制御部８が出力すべき読み出し周波数情報についてのクロックデータＤｃｌを各環状領域Ａａ毎に記憶している。この場合、制御部８は、後述するように、クロックデータＤｃｌに基づき、一例として、同一の環状領域Ａａ内では周波数を変化させず、かつ、凹凸パターン２０ｔの中心Ｏから離れている環状領域Ａａ内の記録トラックにオントラックさせるときほど周波数が高くなるように読み出し周波数情報の周波数を変化させて検出用クロック出力部５に出力する。検出用クロック出力部５は、制御部８がクロックデータＤｃｌに基づいて出力する読み出し周波数情報を取得すると共に、信号変換部４から出力されたデジタルデータのうちから、磁気ヘッド３を介して各環状領域Ａａのサーボパターン領域Ａｓａから読み出されたプリアンブル用のデータ（プリアンブル用の信号）を取得（検出）する。また、検出用クロック出力部５は、読み出し周波数情報とプリアンブル用のデータとに基づいて位相や周波数等の調整を行うことにより、実際のサーボデータ検出時に使用される検出用クロックＣｌｓを生成してサーボデータ検出部６に出力する。
【００５３】
この場合、この磁気ディスク１０ａでは、前述したように、各環状領域Ａａにおける長さＬ４ｉ，Ｌ４ｉ・・が互いに等しく、かつ長さＬ４ｏ，Ｌ４ｏ・・が互いに等しくなるように凹凸パターン２０ｓａが形成されている。このため、磁気ディスク１０ａを角速度一定の回転速度で定速回転させたときには、磁気ヘッド３の下方をサーボパターン領域Ａｓａが通過させられる時間が外周側の環状領域Ａａほど短時間となる。したがって、制御部８は、一例として、磁気ディスク１０ａが４２００ｒｐｍで定速回転させられている状態において、磁気ヘッド３が環状領域Ａ１ａ内の記録トラック（凸部２１ｔ）にオントラックさせられているときには、２２ＭＨｚの読み出し周波数情報を出力し、磁気ヘッド３が環状領域Ａ２ａ内の記録トラックにオントラックさせられているときには、３２ＭＨｚの読み出し周波数情報を出力し、環状領域Ａ３ａ内の記録トラックにオントラックさせられているときには、４２ＭＨｚの読み出し周波数情報を出力し、環状領域Ａ４ａ内の記録トラックにオントラックさせられているときには、５２ＭＨｚの読み出し周波数情報を出力する。
【００５４】
サーボデータ検出部６は、検出用クロック出力部５から出力された検出用クロックＣｌｓに同期して読み込むことにより、信号変換部４から出力されたデジタルデータからサーボデータＤｓを取得（検出）して制御部８に出力する。ドライバ７は、制御部８からの制御信号に従ってアクチュエータ３ｂを制御して磁気ヘッド３を所望の記録トラック（凸部２１ｔ）にオントラックさせる。制御部８は、ハードディスクドライブ１を総括的に制御する。また、制御部８は、サーボデータ検出部６から出力されるヘッド位置情報に基づいて磁気ヘッド３が磁気ディスク１０ａ上の内周側の各環状領域Ａａから外周側の各環状領域Ａａまでの間のいずれの環状領域Ａａ内の記録トラックにオントラックしているかを特定すると共に、所望の磁気ヘッド３の位置（磁気ヘッド３を移動させようとする環状領域Ａａおよび記録トラックの位置）に応じて、環状領域Ａａ毎に予め規定されてＲＯＭ９に記憶させられているクロックデータＤｃｌ（周波数変更条件についてのデータ）に応じて前述したように読み出し周波数情報の周波数を変化させて検出用クロック出力部５に出力する。さらに、制御部８は、サーボデータ検出部６から出力されたサーボデータＤｓに基づいてドライバ７を制御する。
【００５５】
次に、磁気ディスク１０ａの製造方法、および使用方法について説明する。
【００５６】
上記の磁気ディスク１０ａの製造に際しては、図７に示す中間体３０と図８に示すスタンパー３５ａとを使用する。この場合、図７に示すように、中間体３０は、軟磁性層１２、中間層１３、および磁性層１４がガラス基材１１の上にこの順で形成されると共に、磁性層１４の上に、マスク層１７と、厚み８０ｎｍ程度の樹脂層（レジスト層）１８とが形成されて構成されている。一方、スタンパー３５ａは、本発明に係る情報記録媒体製造用のスタンパーの一例であって、図８に示すように、磁気ディスク１０ａにおける凹凸パターン２０（凹凸パターン２０ｔ，２０ｓａ）とは凹凸位置関係が反転している凹凸パターン３９が形成されて、インプリント法による磁気ディスク１０ａの製造が可能に構成されている。この場合、スタンパー３５ａの凹凸パターン３９は、凸部３９ａ，３９ａ・・が磁気ディスク１０ａの凹凸パターン２０における凹部２２，２２・・に対応し、凹部３９ｂ，３９ｂ・・が凹凸パターン２０における凸部２１，２１・・に対応して形成されている。したがって、このスタンパー３５ａでは、凸部３９ａの回転方向に沿った長さが凹凸パターン２０における凹部２２の回転方向に沿った長さとほぼ等しく、かつ凹部３９ｂの回転方向に沿った長さが凹凸パターン２０における凸部２１の回転方向に沿った長さとほぼ等しくなっている。なお、中間体３０およびスタンパー３５ａの製造方法については、特に限定されず、公知の各種製造方法によって製造することができる。
【００５７】
この中間体３０およびスタンパー３５ａを用いた磁気ディスク１０ａの製造に際しては、図９に示すように、まず、中間体３０の樹脂層１８にスタンパー３５ａの凹凸パターン３９をインプリント法によって転写する。具体的には、スタンパー３５ａにおける凹凸パターン３９の形成面を中間体３０の樹脂層１８に押し付けることにより、凹凸パターン３９の凸部３９ａ，３９ａ・・を中間体３０の樹脂層１８に押し込む。
【００５８】
この場合、このスタンパー３５ａを用いて製造する磁気ディスク１０ａは、前述したように、各環状領域Ａａ内における内周側の凹部２２ｓｉ，２２ｓｉ・・の長さＬ２ｉと、環状領域Ａａ内における外周側の凹部２２ｓｏ，２２ｓｏ・・の長さＬ２ｏとが等しい長さ（この例では、２２０ｎｍ）となるように形成されている。また、磁気ディスク１０ａでは、環状領域Ａ１ａ〜Ａ４ａのすべて（すなわち、磁気ディスク１０ａの全域）の凹部２２ｓｉ，２２ｓｉ・・の長さＬ２ｉと、外周側の凹部２２ｓｏ，２２ｓｏ・・の長さＬ２ｏとが等しい長さとなるように形成されている。この結果、各凸部２１ｓ，２１ｓ・・の長さ（単位凸部長）に対する各凹部２２ｓ，２２ｓ・・の長さ（単位凹部長）の比が各環状領域Ａａ内において内周側から外周側に向かうほど小さくなるように規定されて凹凸パターン２０が形成されている。したがって、磁気ディスク１０ａを製造するためのスタンパー３５ａには、磁気ディスク１０ａにおけるサーボパターン領域Ａｓａに対応する全域において、回転方向に沿った長さが長さＬ２ｉ，Ｌ２ｏを大きく超える凸部３９ａが存在しないように（凸部３９ａの長さが長さＬ２ｉ，Ｌ２ｏとほぼ等しくなるように）凹部３９ｂ，３９ｂ・・が形成されている。この結果、凸部３９ａ，３９ａ・・が樹脂層１８にスムーズに押し込まれる。これにより、スタンパー３５ａにおける凸部３９ａの先端部と中間体３０のマスク層１７との間に厚手の残渣が生じることなく、スタンパー３５ａの凸部３９ａ，３９ａ・・が十分に奥深くまで中間体３０の樹脂層１８に押し込まれる。
【００５９】
次いで、中間体３０からスタンパー３５ａを剥離し、さらに、凹部４１ｂの底面に残存する樹脂（残渣：図示せず）を酸素プラズマ処理によって除去することにより、図１０に示すように、中間体３０におけるマスク層１７の上に樹脂層１８からなる凹凸パターン４１が形成される。この場合、前述したように中間体３０の樹脂層１８に対してスタンパー３５ａにおける内周側の凸部３９ａ，３９ａ・・（内周側の環状領域Ａａに対応して形成された凸部）から外周側の凸部３９ａ，３９ａ・・（外周側の環状領域Ａａに対応して形成された凸部）までがほぼ均等に押し込まれてマスク層１７上の残渣の厚みが全域においてほぼ均等となっているため、いずれかの環状領域Ａａにおける内周側の各凹部２２ｓｉ，２２ｓｉ・・において残渣の取り除きが完了した時点で、他の部位においてもほぼ同時に残渣の取り除きが完了する。次いで、残渣の取り除きが完了した凹凸パターン４１（樹脂層１８）をマスクとして用いてエッチング処理を実行することにより、凹凸パターン４１における凹部４１ｂ，４１ｂ・・の底部においてマスク（凸部４１ａ，４１ａ・・）から露出しているマスク層１７をエッチングする。
【００６０】
この場合、マスクとして用いる凹凸パターン４１を形成するのに使用したスタンパー３５ａは、その凹凸パターン３９が磁気ディスク１０ａの凹凸パターン２０とは凹凸位置関係が反転しているため、凹凸パターン３９の単位凹部長（凹部３９ｂの単位凹部長に対応する長さ）に対する単位凸部長（凸部３９ａの単位凸部長に対応する長さ）の比が各環状領域Ａａ内においてその内周側から外周側に向かうほど小さくなっている。言い換えれば、スタンパー３５ａの凹凸パターン３９は、単位凹部長に対する単位凸部長の比が各環状領域Ａａ毎に外周側から内周側に向かうほど大きくなっている。したがって、この凹凸パターン３９を転写して形成した凹凸パターン４１では、単位凸部長（凸部４１ａの単位凸部長に対応する長さ）に対する単位凹部長（凹部４１ｂの単位凹部長に対応する長さ）の比が各環状領域Ａａ内においてその外周側から内周側に向かうほど大きくなっており、これにより、各環状領域Ａａにおける内周側の凹部４１ｂにおける回転方向に沿った長さが過度に短くなる事態が回避されている。したがって、凹部４１ｂが過度に狭いことに起因するエッチング不良を招くことなく、十分に広い凹部４１ｂから露出しているマスク層１７を確実にエッチングすることが可能となっている。これにより、図１１に示すように、凸部４２ａおよび凹部４２ｂを有する凹凸パターン４２が中間体３０のマスク層１７に形成される。
【００６１】
次いで、凹凸パターン４２（マスク層１７）をマスクとして用いてエッチング処理を実行することにより、凹凸パターン４２における凹部４２ｂ，４２ｂ・・の底部においてマスク（凸部４２ａ，４２ａ・・）から露出している磁性層１４をエッチングする。これにより、図１２に示すように、その回転方向に沿った長さがスタンパー３５ａにおける凹部３９ｂの回転方向に沿った長さとほぼ等しい凸部２１と、その回転方向に沿った長さがスタンパー３５ａにおける凸部３９ａの回転方向に沿った長さとほぼ等しい凹部２２とを有する凹凸パターン２０（凹凸パターン２０ｔ，２０ｓａ）が中間体３０の磁性層１４に形成される。次いで、凸部２１，２１・・の上に残存しているマスク層１７に対して選択的にエッチング処理を行うことにより、残存しているマスク層１７を完全に除去して凸部２１，２１・・の突端面を露出させる。
【００６２】
次いで、非磁性材料１５としてのＳｉＯ２をスパッタリングする。この際には、非磁性材料１５によって凹部２２，２２・・が完全に埋め尽くされ、かつ、凸部２１，２１・・の上に例えば厚みが６０ｎｍ程度の非磁性材料１５の層が形成されるように、非磁性材料１５を十分にスパッタリングする。続いて、磁性層１４の上（凸部２１，２１・・の上および凹部２２，２２・・の上）の非磁性材料１５の層に対してイオンビームエッチング処理を実行する。この際には、各凸部２１，２１・・の突端面が非磁性材料１５から露出するまでイオンビームエッチング処理を継続する。これにより、中間体３０の表面が平坦化される。続いて、中間体３０の表面を覆うようにしてＣＶＤ法によってダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）の薄膜を成膜することによって保護層１６形成した後に、保護層１６の表面にフッ素系の潤滑剤を平均厚さが例えば２ｎｍ程度となるように塗布する。これにより、図２に示すように、磁気ディスク１０ａが完成する。
【００６３】
この磁気ディスク１０ａでは、前述したように、各環状領域Ａａにおける長さＬ４ｉ，Ｌ４ｉ・・が互いに等しく、かつ長さＬ４ｏ，Ｌ４ｏ・・が互いに等しくなるように凹凸パターン２０ｓａが形成されている。このため、磁気ディスク１０ａを角速度一定の回転速度で定速回転させたときに、磁気ヘッド３の下方をサーボパターン領域Ａｓａが通過させられる時間が外周側の環状領域Ａａほど短時間となっている。したがって、制御部８は、外周側の環状領域Ａａに磁気ヘッド３を位置させるときほど短い波長の読み出し周波数情報を出力する。また、この磁気ディスク１０ａでは、凸部２１ｓの長さと凹部２２ｓの長さとの合計長（長さＬ３ｉ，Ｌ３ｏ）が各環状領域Ａａ内において凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して内周側から外周側に向かうほど長くなるように規定されて凹凸パターン２０ｓａが形成されている。したがって、制御部８は、同一の環状領域Ａａ内においては、上記の読み出し周波数情報のクロック周波数を変化させることなく出力する。これにより、各環状領域Ａ１ａ〜Ａ４ａ内のサーボパターン領域Ａｓａから読み出されたサーボデータＤｓに基づき、制御部８がドライバ７を制御してアクチュエータ３ｂを駆動させ、磁気ヘッド３を所望の環状領域Ａａ内におけるいずれかのトラックにオントラックさせる。これにより、トラックパターン領域Ａｔ内の凸部２１ｔ，２１ｔ・・（データ記録トラック）にオントラックさせた磁気ヘッド３を介して記録データの記録再生が行われる。
【００６４】
このように、この磁気ディスク１０ａおよびハードディスクドライブ１によれば、各環状領域Ａａ内における単位凹部長の平均長を中心Ｏから環状領域Ａａまでの距離で除した値が内周側の環状領域Ａａよりも外周側の環状領域Ａａほど小さくなるように各環状領域Ａａ毎に単位凹部長を規定してサーボパターンを構成する凹凸パターン２０ｓａを構成したことにより、単位凹部長が内周側から外周側に向けて徐々に長くなるように凹凸パターンが形成されている従来の磁気ディスク１０ｘと比較して、外周側の環状領域Ａａにおける単位凹部長を十分に短くすることができる。したがって、この磁気ディスク１０ａを製造するためのスタンパー３５ａにおいて磁気ディスク１０ａの各凹部２２ｓ，２２ｓ・・に対応する凸部３９ａ，３９ａ・・の回転方向に沿った長さを十分に短くすることができるため、インプリント処理時に、スタンパー３５ａにおける凸部３９ａの先端部と中間体３０のマスク層１７との間に厚手の残渣を生じさせることなく、スタンパー３５ａの凸部３９ａ，３９ａ・・を十分に奥深くまで中間体３０の樹脂層１８に押し込むことができる。この結果、残渣の厚みが内周側の環状領域Ａａに対応する部位と外周側の環状領域Ａａに対応する部位とで大きく相違することなくほぼ同様の厚みとなるため、残渣の取り除き処理時に内周側の環状領域Ａａに対応する部位の凹部４１ｂ，４１ｂ・・が過剰に拡がる事態が回避される。したがって、凹凸パターン４１における凹部４１ｂ，４１ｂ・・の部位に最終的に形成される凹部２２ｓｉ，２２ｓｉ・・が過剰に拡がる事態が回避されて凹凸パターン２０ｓａを高精度で形成することができる。このため、サーボパターン領域Ａｓａの全域において磁気的信号の確実な読み取りが可能なサーボパターン（凹凸パターン２０ｓａ）を有する磁気ディスク１０ａ、およびその磁気ディスク１０ａを備えたハードディスクドライブ１を提供することができる。
【００６５】
この場合、単位凹部長の平均長を凹凸パターン２０ｔの中心Ｏから環状領域Ａａまでの距離で除した値が外周側の環状領域Ａａよりも内周側の環状領域Ａａほど大きくなるように各環状領域Ａａ毎に単位凹部長が規定されているため、内周側の環状領域Ａａにおいても単位凹部長が過度に短くなる事態が回避されている。したがって、凹部の形成処理（マスク層１７や磁性層１４に対するエッチング処理等）が困難となる事態を回避することができる結果、サーボパターン領域Ａｓａの全域において凹部２２ｓ，２２ｓ・・を高精度で形成することができる。
【００６６】
また、この磁気ディスク１０ａおよびハードディスクドライブ１によれば、単位凸部長に対する単位凹部長の比が各環状領域Ａａ内においてその内周側からその外周側に向かうほど小さくなるように単位凸部長および単位凹部長を規定して凹凸パターン２０ｓａ（サーボパターン）を形成したことにより、各環状領域Ａａ内における外周側の単位凹部長を十分に短くすることができる。したがって、この磁気ディスク１０ａを製造するためのスタンパー３５ａにおいて各環状領域Ａａの外周側に対応する部位に過剰に長い凸部が存在しないため、インプリント処理時に、スタンパー３５ａにおける凸部３９ａを一層スムーズに樹脂層１８に押し込むことができる。また、単位凸部長に対する単位凹部長の比が環状領域Ａａの外周側から内周側に向かうほど大きくなるように単位凸部長および単位凹部長が規定されているため、環状領域Ａａの内周側においても単位凹部長が過度に短くなる事態が回避されている。したがって、凹部の形成処理（マスク層１７や磁性層１４に対するエッチング処理等）が困難となる事態を回避することができる結果、サーボパターン領域Ａｓａの全域において凹部２２ｓ，２２ｓ・・を高精度で形成することができる。
【００６７】
さらに、この磁気ディスク１０ａおよびハードディスクドライブ１によれば、単位凸部長が環状領域Ａａ内においてその内周側からその外周側に向かうほど長くなるように規定して凹凸パターン２０ｓａ（サーボパターン）を形成したことにより、例えば単位凸部長を環状領域Ａａ内における内周側から外周側までの全域に亘って等しい長さに規定して単位凹部長を変化させることで単位凸部長に対する単位凹部長の比を環状領域Ａａの内周側から外周側に向かうほど小さくする構成とは異なり、環状領域Ａａにおける外周側において単位凹部長が過度に短くなる事態を回避することができる。したがって、この磁気ディスク１０ａに対する記録再生時に環状領域Ａａにおける外周側の凹部を確実に検出することができる結果、サーボデータＤｓの読み出しエラーの発生を確実に回避することができる。
【００６８】
また、この磁気ディスク１０ａおよびハードディスクドライブ１によれば、単位凹部長が環状領域Ａａにおける内周側から外周側までの全域において等しい長さとなるように規定して凹凸パターン２０ｓａ（サーボパターン）を形成したことにより、インプリント処理時に凹部２２ｓに対応する部位に形成される残渣の厚みを各環状領域Ａａの内周側から外周側の全域において均一にすることができる。したがって、同一の環状領域Ａａ内における各凹部２２ｓ，２２ｓ・・の長さ（単位凹部長）にばらつきが生じる事態を回避して均一にすることができる。また、各環状領域Ａａ内の内周側から外周側までの全域において単位凹部長が等しくなるように規定したことにより、製造時における凹部の形成処理（マスク層１７や磁性層１４に対するエッチング処理等）が容易となる結果、サーボパターン領域Ａｓａの全域において凹部２２ｓ，２２ｓ・・を高精度で形成することができる。
【００６９】
さらに、この磁気ディスク１０ａおよびハードディスクドライブ１によれば、単位凸部長および単位凹部長の合計長（すなわち、凸部２１ｓおよび凹部２２ｓの形成ピッチ）が凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して環状領域Ａａ内においてその内周側からその外周側に向かうほど長くなるように規定して凹凸パターン２０ｓａ（サーボパターン）を形成したことにより、磁気ディスク１０ａを角速度一定の条件で回転させつつサーボパターン領域ＡｓａからサーボデータＤｓを読み出す際に使用されるクロックの基準となる周波数情報（読み出し周波数情報）を一つの環状領域Ａａ内において変化させることなく、環状領域Ａａにおける内周側から外周側までのサーボパターン領域ＡｓａからサーボデータＤｓを確実に読み出す（検出する）ことができる。
【００７０】
また、この磁気ディスク１０ａおよびハードディスクドライブ１によれば、各環状領域Ａａ内における単位凹部長の平均長が内周側の環状領域Ａ１ａから外周側の環状領域Ａ４ａまでの全環状領域Ａａにおいて等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定してサーボパターンを構成する凹凸パターン２０ｓａを構成したことにより、サーボパターン用の凹部２２ｓ，２２ｓ・・・に対応する部位に生じる残渣の厚みを内周側の環状領域Ａ１ａから外周側の環状領域Ａ４ａまでほぼ均一にすることができる。したがって、残渣の取り除き処理時に生じる各環状領域Ａａ毎の凹部４１ｂ，４１ｂ・・の拡がり度合いを大きくばらつかせることなく、内周側の環状領域Ａ１ａから外周側の環状領域Ａ４ａまでのすべての環状領域Ａａ（すなわち、磁気ディスク１０ａの内周側から外周側までの全域）に亘って所望の長さの凹部２２ｓ，２２ｓ・・を高精度で形成することができる。また、凹部の形成処理（マスク層１７や磁性層１４に対するエッチング処理等）が容易となる結果、サーボパターン領域Ａｓａの全域において凹部２２ｓ，２２ｓ・・を高精度で形成することができる。
【００７１】
さらに、この磁気ディスク１０ａを搭載したハードディスクドライブ１によれば、サーボパターンに対応付けられているサーボデータＤｓに基づいてサーボ制御を実行する制御部８を備え、各環状領域Ａａ毎に予め規定された読み出し周波数情報に基づいて制御部８がサーボデータ検出部６を制御して磁気ディスク１０ａからサーボパターンに対応付けられているサーボデータＤｓを読み出すように構成したことにより、例えば、磁気ディスク１０ａの内周側の環状領域Ａ１ａから外周側の環状領域Ａ４ａまで磁気ヘッド３をシーク動作させる際における読み出し周波数情報の周波数切替え処理の回数を３回だけに止めることができる。したがって、シーク動作を短時間で実行することができるため、データアクセスを高速に行うことができる。また、読み出し周波数情報として環状領域の数（この例では４つ）に対応する種類の周波数情報を出力できればよいため、簡易な構成の制御部（検出用クロック出力部５および制御部８）によってトラッキングサーボを行うことができる。
【００７２】
また、この磁気ディスク１０ａを製造するためのスタンパー３５ａによれば、磁気ディスク１０ａにおける凹凸パターン２０（凹凸パターン２０ｔ，２０ｓａ）の凹部２２，２２・・に対応して形成された凸部３９ａ，３９ａ・・と、磁気ディスク１０ａにおける凹凸パターン２０の凸部２１，２１・・に対応して形成された凹部３９ｂ，３９ｂ・・とを有する凹凸パターン３９を形成したことにより、磁気ディスク１０ａの外周側に対応するスタンパー３５ａの外周側に回転方向に沿った長さが過剰に長い凸部３９ａが存在しないため、中間体３０の樹脂層１８に対してスタンパー３５ａの凹凸パターン３９（各凸部３９ａ，３９ａ・・）をスムーズに押し込むことができる。したがって、各凸部３９ａ，３９ａ・・の押し込み量の不足に起因する不都合（マスク層１７上に厚手の残渣が生じることに起因して各凹部４１ｂ，４１ｂ・・が過剰に拡がる事態）が生じる事態を回避することができる。これにより、サーボデータＤｓの確実な読み取りが可能な磁気ディスク１０ａを製造することができる。また、回転方向に沿った長さが過剰に長い凹部３９ｂがスタンパー３５ａに存在しないため、インプリント処理時に凸部３９ａ，３９ａ・・の押し込みによって凹部３９ｂ，３９ｂ・・内に移動させられる樹脂材料によって、十分に高い凸部４１ａ，４１ａ・・を樹脂層１８に形成する（十分に厚い樹脂マスクを形成する）ことができる。
【００７３】
次いで、本発明における情報記録媒体の他の一例である磁気ディスク１０ｂ、および磁気ディスク１０ｂを搭載したハードディスクドライブ１ｂ（本発明における記録再生装置の他の一例）について、図面を参照して説明する。なお、磁気ディスク１０ａおよびハードディスクドライブ１と共通の構成要素については、共通の符号を付して重複する説明を省略する。また、この磁気ディスク１０ｂの製造方法については、前述した磁気ディスク１０ａの製造方法と同様であるため、重複する製造工程についての説明を省略する。
【００７４】
図１３に示す磁気ディスク１０ｂでは、磁気ディスク１０ｂの内周側から外周側までが凹凸パターン２０ｔの中心Ｏを中心とする同心円状の（すなわち、凹凸パターン２０ｔと同心の）４つの環状領域Ａ１ｂ〜Ａ４ｂ（本発明における複数の環状領域の一例：以下、区別しないときには、環状領域Ａｂともいう）に区分けされて凹凸パターン２０が形成されている。また、この磁気ディスク１０ｂでは、磁気ディスク１０ａにおけるサーボパターン領域Ａｓａに代えて、トラックパターン領域Ａｔ，Ａｔ・・の間にサーボパターン領域Ａｓｂ，Ａｓｂ・・が設けられてトラックパターン領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓｂが磁気ディスク１０ｂの回転方向（矢印Ｒの向き）において交互に並ぶように規定されている。
【００７５】
また、図１４〜１６に示すように、サーボパターン領域Ａｓｂ（環状領域Ａｂ内における内周側の内周側サーボパターン領域Ａｓｂｉ、および環状領域Ａｂ内における外周側の外周側サーボパターン領域Ａｓｂｏ）には、磁気ディスク１０ａにおける凹凸パターン２０ｓａに代えてサーボパターンとしての凹凸パターン２０ｓｂが形成されている。この場合、凹凸パターン２０ｓｂは、凹凸パターン２０ｓａと同様にして、プリアンブルパターン、アドレスパターンおよびバーストパターンなどの各種サーボパターンを構成する凸部２１ｓ，２１ｓ（凸部２１ｓｉおよび凸部２１ｓｏ）・・並びに凹部２２ｓ，２２ｓ・・（凹部２２ｓｉおよび凹部２２ｓｏ）で構成されている。また、この磁気ディスク１０ｂでは、回転方向（各図における矢印Ｒの向き）に沿った凹部２２ｓの長さを凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例させずに（外周側ほど長くせずに）、各環状領域Ａｂ内における内周側から外周側までの全域において等しくなるように（単位凹部長をデータトラックパターンの中心からの距離で除した値を環状領域内において環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど小さく規定した一例であって、本発明における「単位凹部長が等しい長さ、または、ほぼ等しい長さ」となるように規定した一例）、各凹部２２ｓ，２２ｓ・・が形成されている。
【００７６】
同様にして、回転方向に沿った凸部２１ｓの長さについても、凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例させずに（外周側ほど長くせずに）、環状領域Ａｂ内における内周側から外周側までの全域において等しくなるように（単位凸部長をデータトラックパターンの中心からの距離で除した値を環状領域内において環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど小さく規定した一例であって、本発明における「単位凸部長が等しい長さ、または、ほぼ等しい長さ」となるように規定した一例）各凸部２１ｓ，２１ｓ・・が形成されている。このため、この磁気ディスク１０ｂでは、回転方向に沿った凸部２１ｓの長さと凹部２２ｓの長さとの合計長（すなわち、凸部２１ｓおよび凹部２２ｓの形成ピッチ）が凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例せずに（外周側ほど長くせずに）、各環状領域Ａｂ内における内周側から外周側までの全域において等しくなるように規定されている。したがって、図１４に示すように、例えば、環状領域Ａ２ｂでは、環状領域Ａ２ｂの内周側における回転方向に沿った長さＬ５２と、環状領域Ａ２ｂの外周側における回転方向に沿った長さＬ５２とが等しくなっている。この場合、この磁気ディスク１０ｂでは、環状領域Ａ１ｂ〜Ａ４ｂのそれぞれの回転方向に沿った長さＬ５１〜Ｌ５４が、一例として、外周側の環状領域Ａｂほど徐々に長くなるように規定されている。また、図１５，１６に示すように、回転方向に沿った凸部２１ｓの長さに対する凹部２２ｓの長さの比が各環状領域Ａｂ内における内周側から外周側までの全域において等しくなるように凹凸パターン２０ｓｂが形成されている。
【００７７】
具体的には、図１５に示すように、環状領域Ａｂにおける内周側の内周側領域Ａｉｂ（一例として、環状領域Ａ１ｂにおける中心Ｏからの距離が１１ｍｍの部位におけるプリアンブルパターンの形成領域）では、凸部２１ｓｉの長さＬ６ｉ（一例として、２２０ｎｍ）と凹部２２ｓｉの長さＬ７ｉ（一例として、２２０ｎｍ）との合計長である長さＬ８ｉが４４０ｎｍとなるように規定されている。また、図１６に示すように、環状領域Ａｂにおける外周側の外周側領域Ａｏｂ（一例として、環状領域Ａ１ｂにおける中心Ｏからの距離が１６ｍｍの部位におけるプリアンブルパターンの形成領域）においても、凸部２１ｓｏの長さＬ６ｏ（一例として、凸部２１ｓｉの長さＬ６ｉと等しい２２０ｎｍ）と凹部２２ｓｏの長さＬ７ｏ（一例として、凹部２２ｓｉの長さＬ７ｉと等しい２２０ｎｍ）との合計長である長さＬ８ｏが４４０ｎｍとなっている。この結果、図１５，１６に示すように、この磁気ディスク１０ｂでは、環状領域Ａｂ内の内周側領域Ａｉｂにおける凹凸パターン２０ｓｂの凸部２１ｓｉの長さＬ６ｉに対する凹部２２ｓｉの長さＬ７ｉの比と、環状領域Ａｂ内の外周側領域Ａｏｂにおける凸部２１ｓｏの長さＬ６ｏに対する凹部２２ｓｏの長さＬ７ｏの比とが各環状領域Ａｂ内においてそれぞれ１となっている。また、この磁気ディスク１０ｂでは、各環状領域Ａｂ内の凹部２２ｓの平均長が内周側の環状領域Ａ１ｂから外周側の環状領域Ａ４ｂに向かうほど僅かに長くなっている。一方、この磁気ディスク１０ｂでは、各環状領域Ａｂ内の凹部２２ｓの平均長を凹凸パターン２０ｔの中心Ｏから環状領域Ａｂまでの距離（一例として、環状領域Ａｂにおける最内周の部位とする）で除した値は内周側の環状領域Ａ１ｂから外周側の環状領域Ａ４ｂに向かうほど小さくなっている。
【００７８】
この場合、凸部２１ｓの長さ（単位凸部長）に対する凹部２２ｓの長さ（単位凹部長）の比については、上記のプリアンブルパターンのみならず、アドレスパターンやバーストパターンを構成する凹凸パターン２０ｓｂについても同様に規定されている。また、バーストパターンについては、磁気ディスク１０ｂの回転方向に沿って複数の矩形状の凹部２２ｓ，２２ｓ・・が凸部２１ｓを挟んで並んでいる領域において、単位凸部長に対する単位凹部長の比が上記の条件を満たすように規定されている。なお、図１５，１６では、サーボパターンにおけるプリアンブルパターンおよびバーストパターンを模式的に図示しており、理解を容易にすべく、回転方向に沿った各凸部２１ｓ，２１ｓ・・や各凹部２２ｓ，２２ｓ・・の長さをサーボパターンの単位凸部長および単位凹部長のみで図示している。したがって、実際の磁気ディスク１０ｂでは、凸部２１ｓ，２１ｓ・・や凹部２２ｓ，２２ｓ・・の数、形成位置および長さが各図に示す状態とは異なり、トラッキングサーボ制御に必要なトラックアドレスおよびセクターアドレス等の情報（パターン）を含む各種の制御用データに対応して、凸部２１ｓや凹部２２ｓのそれぞれの数、形成位置および長さが規定されて凹凸パターン２０ｓｂが形成されている。この場合、凸部２１ｓや凹部２２ｓの実際の長さは、凸部２１ｓや凹部２２ｓの長さ（単位凸部長および単位凹部長）の整数倍の長さとなる。
【００７９】
この磁気ディスク１０ｂの製造に際しては、前述した中間体３０と、スタンパー３５ｂ（図８参照）とを使用する。この場合、スタンパー３５ｂは、本発明に係る情報記録媒体製造用のスタンパーの他の一例であって、磁気ディスク１０ｂにおける凹凸パターン２０（凹凸パターン２０ｔ，２０ｓｂ）とは凹凸位置関係が反転している凹凸パターン３９が形成されて、インプリント法による磁気ディスク１０ｂの製造が可能に構成されている。具体的には、スタンパー３５ｂの凹凸パターン３９は、凸部３９ａ，３９ａ・・が磁気ディスク１０ｂの凹凸パターン２０における凹部２２，２２・・に対応し、凹部３９ｂ，３９ｂ・・が凹凸パターン２０における凸部２１，２１・・に対応して形成されている。したがって、このスタンパー３５ｂでは、凸部３９ａの回転方向に沿った長さが磁気ディスク１０ｂの凹凸パターン２０における凹部２２の回転方向に沿った長さとほぼ等しく、かつ凹部３９ｂの回転方向に沿った長さが凹凸パターン２０における凸部２１の回転方向に沿った長さとほぼ等しくなっている。
【００８０】
また、このスタンパー３５ｂを用いて製造する磁気ディスク１０ｂでは、環状領域Ａｂにおける内周側の凹部２２ｓｉ，２２ｓｉ・・の長さＬ７ｉと、環状領域Ａｂにおける外周側の凹部２２ｓｏ，２２ｓｏ・・の長さＬ７ｏとが等しい長さ（例えば、環状領域Ａ１ｂでは、２２０ｎｍ）となるように形成されている。したがって、このスタンパー３５ｂには、磁気ディスク１０ｂにおけるサーボパターン領域Ａｓｂに対応する全域において、回転方向に沿った長さが長さＬ７ｉ，Ｌ７ｏを大きく超える凸部３９ａが存在しないように（凸部３９ａの長さが長さＬ７ｉ，Ｌ７ｏとほぼ等しくなるように）凹部３９ｂ，３９ｂ・・が形成されている。この結果、磁気ディスク１０ｂの製造時に凸部３９ａ，３９ａ・・が中間体３０の樹脂層１８にスムーズに押し込まれる。したがって、スタンパー３５ｂにおける凸部３９ａの先端部と中間体３０のマスク層１７との間に厚手の残渣が生じることなく、スタンパー３５ｂの凸部３９ａ，３９ａ・・が十分に奥深くまで中間体３０の樹脂層１８に押し込まれる。これにより、中間体３０における各環状領域Ａｂに対応する領域内においてマスク層１７の上に生じるの残渣の厚みがほぼ均一となる。この結果、前述した磁気ディスク１０ａと同様にして、樹脂層１８に転写された凹凸パターン４１における凹部４１ｂ，４１ｂ・・が過剰に拡がる事態が回避されて、凹凸パターン２０ｓｂを高精度で形成することが可能となっている。
【００８１】
さらに、このスタンパー３５ｂでは、各凸部３９ａ，３９ａ・・の回転方向に沿った長さが各環状領域Ａｂに対応する領域内において等しい長さとなっているため、凸部３９ａ，３９ａ・・の押し込みによって凹部３９ｂ，３９ｂ・・内に向けて移動する樹脂材料（中間体３０の樹脂層１８を構成する材料）の移動量が各環状領域Ａｂに対応する領域内において均一となる。また、このスタンパー３５ｂを用いて製造する磁気ディスク１０ｂでは、凸部２１ｓ（凸部２１ｓｉ，２１ｓｏ）の長さが各環状領域Ａｂ内において等しい長さとなるように規定されている。したがって、このスタンパー３５ｂでは、磁気ディスク１０ｂにおける各環状領域Ａｂに対応する領域毎に回転方向に沿った長さが長さＬ６ｉ，Ｌ６ｏを大きく超える凹部３９ｂが存在しないように（凹部３９ｂの長さが長さＬ６ｉ，Ｌ６ｏとほぼ等しくなるように）凸部３９ａ，３９ａ・・が形成されている。この結果、凸部３９ａの押し込みによって凹部３９ｂ内に移動させられた樹脂材料の高さ、すなわち、凸部４１ａの高さが各環状領域Ａｂに対応する領域毎にそれぞれ均一となる。これにより、凹凸パターン２０ｓｂを高精度で形成することが可能となっている。
【００８２】
一方、この磁気ディスク１０ｂでは、前述したように、サーボパターン領域Ａｓｂの凹凸パターン２０ｓｂにおける回転方向に沿った凸部２１ｓの長さと凹部２２ｓの長さとの合計長（長さＬ８ｉ，Ｌ８ｏ）が環状領域Ａｂにおける環状領域Ａｂの内周側から外周側までの全域に亘って等しくなるように各凸部２１ｓ，２１ｓ・・および各凹部２２ｓ，２２ｓ・・が形成されている。したがって、図１４に示すように、例えば環状領域Ａ２ｂにおける内周側サーボパターン領域Ａｓｂｉ（内周側の凹凸パターン２０ｓｂ）の回転方向に沿った長さＬ５２と、外周側サーボパターン領域Ａｓｂｏ（外周側の凹凸パターン２０ｓｂ）の回転方向に沿った長さＬ５２とが等しくなっている。このため、この磁気ディスク１０ｂでは、トラックパターン領域Ａｔの回転方向に沿った長さが環状領域Ａｂの内周側から外周側に向けて徐々に長くなっている。具体的には、内周側トラックパターン領域Ａｔｉ（内周側の凹凸パターン２０ｔ）の回転方向に沿った長さよりも、外周側トラックパターン領域Ａｔｏ（外周側の凹凸パターン２０ｔ）の回転方向に沿った長さの方が長くなっている。したがって、従来の磁気ディスク１０ｘと比較して、環状領域Ａｂの外周側において凸部２１ｔの長さが長くなっている分だけ、記録データの記録可能容量が増加している。
【００８３】
この場合、この磁気ディスク１０ｂでは、回転方向に沿ったサーボパターン領域Ａｓｂの長さが各環状領域Ａｂ内における内周側から外周側までの全域において等しくなるように凹凸パターン２０ｓｂが形成されている。このため、磁気ディスク１０ｂを角速度一定の回転速度で定速回転させたときには、磁気ヘッド３の下方をサーボパターン領域Ａｓｂが通過させられる時間が環状領域Ａｂの内周側よりも環状領域Ａｂの外周側ほど短時間となる。したがって、この磁気ディスク１０ｂを搭載したハードディスクドライブ１ｂ（図１参照）では、前述した磁気ディスク１０ａを搭載したハードディスクドライブ１とは異なり、ＲＯＭ９が、読み出し周波数情報についてのクロックデータＤｃｌを各環状領域Ａｂ内における磁気ヘッド３の移動位置（環状領域Ａｂ内における中心Ｏからの距離）に関連付けて記憶している。また、制御部８は、クロックデータＤｃｌに基づき、一例として、各環状領域Ａｂ内において、凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して環状領域Ａｂの内周側よりも環状領域Ａｂの外周側ほど波長が短くなるように読み出し周波数情報の周波数を直線的に変化させて検出用クロック出力部５に出力する。したがって、磁気ディスク１０ｂを角速度一定の条件で回転させつつサーボパターン領域Ａｓｂからサーボパターン（サーボデータ）を確実に読み出すことができる。
【００８４】
このように、この磁気ディスク１０ｂおよびハードディスクドライブ１ｂによれば、各環状領域Ａｂ内における単位凹部長の平均長を中心Ｏから環状領域Ａｂまでの距離で除した値が内周側の環状領域Ａｂよりも外周側の環状領域Ａｂほど小さくなるように各環状領域Ａｂ毎に単位凹部長を規定してサーボパターンを構成する凹凸パターン２０ｓｂを構成したことにより、単位凹部長が内周側から外周側に向けて徐々に長くなるように凹凸パターンが形成されている従来の磁気ディスク１０ｘと比較して、外周側の環状領域Ａｂにおける単位凹部長を十分に短くすることができる。したがって、この磁気ディスク１０ｂを製造するためのスタンパー３５ｂにおいて磁気ディスク１０ｂの各凹部２２ｓ，２２ｓ・・に対応する凸部３９ａ，３９ａ・・の回転方向に沿った長さを十分に短くすることができるため、インプリント処理時に、スタンパー３５ｂにおける凸部３９ａの先端部と中間体３０のマスク層１７との間に厚手の残渣を生じさせることなく、スタンパー３５ｂの凸部３９ａ，３９ａ・・を十分に奥深くまで中間体３０の樹脂層１８に押し込むことができる。この結果、残渣の厚みが内周側の環状領域Ａｂに対応する部位と外周側の環状領域Ａｂに対応する部位とで大きく相違することなくほぼ同様の厚みとなるため、残渣の取り除き処理時に内周側の環状領域Ａｂに対応する部位の凹部４１ｂ，４１ｂ・・が過剰に拡がる事態が回避される。したがって、凹凸パターン４１における凹部４１ｂ，４１ｂ・・の部位に最終的に形成される凹部２２ｓｉ，２２ｓｉ・・が過剰に拡がる事態が回避されて凹凸パターン２０ｓｂを高精度で形成することができる。このため、サーボパターン領域Ａｓｂの全域において磁気的信号の確実な読み取りが可能なサーボパターン（凹凸パターン２０ｓｂ）を有する磁気ディスク１０ｂ、およびその磁気ディスク１０ｂを備えたハードディスクドライブ１ｂを提供することができる。
【００８５】
この場合、単位凹部長の平均長を凹凸パターン２０ｔの中心Ｏから環状領域Ａｂまでの距離で除した値が外周側の環状領域Ａｂよりも内周側の環状領域Ａｂほど大きくなるように各環状領域Ａｂ毎に単位凹部長が規定されているため、内周側の環状領域Ａｂにおいても単位凹部長が過度に短くなる事態が回避されている。したがって、凹部の形成処理（マスク層１７や磁性層１４に対するエッチング処理等）が困難となる事態を回避することができる結果、サーボパターン領域Ａｓｂの全域において凹部２２ｓ，２２ｓ・・を高精度で形成することができる。
【００８６】
また、この磁気ディスク１０ｂおよびハードディスクドライブ１ｂによれば、単位凹部長を凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離で除した値が環状領域Ａｂ内においてその内周側からその外周側に向かうほど小さくなるように単位凹部長を規定して凹凸パターン２０ｓｂ（サーボパターン）を形成したことにより、各環状領域Ａｂ内における外周側の単位凹部長を十分に短くすることができる。したがって、この磁気ディスク１０ｂを製造するためのスタンパー３５ｂにおいて各環状領域Ａｂの外周側に対応する部位に過剰に長い凸部３９ａ，３９ａ・・が存在しないため、スタンパー３５ｂの凸部３９ａ，３９ａ・・を中間体３０の樹脂層１８に一層スムーズに押し込むことができる。また、単位凹部長を凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離で除した値が各環状領域Ａｂの外周側から各環状領域Ａｂの内周側に向かうほど大きくなるように単位凹部長が規定されているため、環状領域Ａｂの内周側においても単位凹部長が過度に短くなる事態が回避されている。したがって、製造時における凹部の形成処理（マスク層１７や磁性層１４に対するエッチング処理等）が困難となる事態を回避することがきる。
【００８７】
さらに、この磁気ディスク１０ｂおよびハードディスクドライブ１ｂによれば、単位凸部長を凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離で除した値が環状領域Ａｂ内においてその内周側からその外周側に向かうほど小さくなるように単位凸部長を規定して凹凸パターン２０ｓｂ（サーボパターン）を形成したことにより、回転方向に沿った単位凸部長が中心Ｏからの距離に比例して長くなるように（単位凸部長を中心Ｏからの距離で除した値が内周側から外周側までの全域に亘って等しくなるように）凹凸パターンが形成されている従来の磁気ディスク１０ｘと比較して、環状領域Ａｂ内における外周側の単位凸部長を十分に短くすることができる。したがって、この磁気ディスク１０ｂを製造するためのスタンパー３５ｂにおいて環状領域Ａｂ内における外周側の各凸部２１ｓ，２１ｓ・・に対応する各凹部３９ｂ，３９ｂ・・の回転方向に沿った長さを十分に短くすることができるため、インプリント処理時に、スタンパー３５ｂにおける凸部３９ａの押し込みによって凹部３９ｂ内に移動させられた樹脂材料によって十分な高さの凸部４１ａ（十分な厚みのマスク）を形成することができる。この結果、十分な厚みのマスク（十分な高さの凸部４１ａ）を用いて凹部２２ｓ，２２ｓ・・を高精度で形成することができる。
【００８８】
また、この磁気ディスク１０ｂおよびハードディスクドライブ１ｂによれば、単位凹部長が環状領域Ａｂにおける内周側から外周側までの全域において等しい長さとなるように規定して凹凸パターン２０ｓｂ（サーボパターン）を形成したことにより、インプリント処理時に凹部２２ｓに対応する部位に形成される残渣の厚みを各環状領域Ａｂの内周側から外周側の全域において均一にすることができる。したがって、同一の環状領域Ａｂ内における各凹部２２ｓ，２２ｓ・・の長さ（単位凹部長）にばらつきが生じる事態を回避して均一にすることができる。また、各環状領域Ａｂ内の内周側から外周側までの全域において単位凹部長が等しくなるように規定したことにより、製造時における凹部の形成処理（マスク層１７や磁性層１４に対するエッチング処理等）が容易となる結果、サーボパターン領域Ａｓｂの全域において凹部２２ｓ，２２ｓ・・を高精度で形成することができる。
【００８９】
さらに、この磁気ディスク１０ｂおよびハードディスクドライブ１ｂによれば、単位凸部長が環状領域Ａｂ内における内周側から外周側までの全域において等しい長さとなるように規定して凹凸パターン２０ｓｂ（サーボパターン）を形成したことにより、この磁気ディスク１０ｂを製造するためのスタンパー３５ｂにおいて磁気ディスク１０ｂの各凸部２１ｓ，２１ｓ・・に対応する凹部３９ｂ，３９ｂ・・の回転方向に沿った長さを各環状領域Ａｂ内の内周側に対応する部位から外周側に対応する部位まで均一にすることができるため、インプリント処理時に、スタンパー３５ｂにおける凸部３９ａの押し込みによって凹部３９ｂ内に移動させられた樹脂材料によって形成される凸部４１ａ（マスクとして機能する樹脂材料）の高さを各環状領域Ａｂに対応する領域毎に内周側から外周側まで均一にすることができる。この結果、均一な厚みのマスク（均一な高さの凸部４１ａ）を用いて凹部２２ｓ，２２ｓ・・を高精度で形成することができる。
【００９０】
また、この磁気ディスク１０ｂを搭載したハードディスクドライブ１ｂによれば、凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に応じて予め規定された読み出し周波数情報に基づいて制御部８がサーボデータ検出部６を制御して磁気ディスク１０ｂからサーボパターンに対応付けられているサーボデータを読み出すことにより、磁気ディスク１０ｂを角速度一定の条件で回転させつつサーボパターン（サーボデータ）を確実に読み出すことができる。
【００９１】
また、この磁気ディスク１０ｂを製造するためのスタンパー３５ｂによれば、磁気ディスク１０ｂにおける凹凸パターン２０（凹凸パターン２０ｔ，２０ｓｂ）の凹部２２，２２・・に対応して形成された凸部３９ａ，３９ａ・・と、磁気ディスク１０ｂにおける凹凸パターン２０の凸部２１，２１・・に対応して形成された凹部３９ｂ，３９ｂ・・とを有する凹凸パターン３９を形成したことにより、磁気ディスク１０ｂの外周側に対応するスタンパー３５ｂの外周側領域に回転方向に沿った長さが過剰に長い凸部３９ａが存在しないため、中間体３０の樹脂層１８に対してスタンパー３５ｂの凹凸パターン３９（各凸部３９ａ，３９ａ・・）をスムーズに押し込むことができる。したがって、各凸部３９ａ，３９ａ・・の押し込み量の不足に起因する不都合（マスク層１７上に厚手の残渣が生じることに起因して各凹部４１ｂ，４１ｂ・・が過剰に拡がる事態）が生じる事態を回避することができる。これにより、サーボデータＤｓの確実な読み取りが可能な磁気ディスク１０ｂを製造することができる。また、回転方向に沿った長さが過剰に長い凹部３９ｂがスタンパー３５ｂに存在しないため、インプリント処理時に凸部３９ａ，３９ａ・・の押し込みによって凹部３９ｂ，３９ｂ・・内に移動させられる樹脂材料によって、十分に高い凸部４１ａ，４１ａ・・を樹脂層１８に形成する（十分に厚い樹脂マスクを形成する）ことができる。
【００９２】
続いて、本発明における情報記録媒体のさらに他の一例である磁気ディスク１０ｃについて、図面を参照して説明する。なお、磁気ディスク１０ａ，１０ｂと共通の構成要素、およびハードディスクドライブ１における磁気ディスク１０ａを除く構成要素については、共通の符号を付して重複する説明を省略する。また、この磁気ディスク１０ｃの製造方法については、前述した磁気ディスク１０ａ，１０ｂの製造方法と同様であるため、重複する製造工程についての説明を省略する。
【００９３】
図１７に示す磁気ディスク１０ｃでは、前述した磁気ディスク１０ａ，１０ｂと同様にして、磁気ディスク１０ｃの内周側から外周側までが凹凸パターン２０ｔの中心Ｏ（図示せず）を中心とする同心円状の（すなわち、凹凸パターン２０ｔと同心の）４つの環状領域Ａ１ｃ〜Ａ４ｃ（本発明における複数の環状領域の一例：以下、区別しないときには、環状領域Ａｃともいう）に区分けされて凹凸パターン２０（凹凸パターン２０ｔ，２０ｓｃ）が形成されている。なお、同図では環状領域Ａ２ｃを中心として環状領域Ａ１ｃ〜Ａ３ｃの３つの領域のみを図示している。また、この磁気ディスク１０ｃでは、磁気ディスク１０ａにおけるサーボパターン領域Ａｓａに代えて、トラックパターン領域Ａｔ，Ａｔ・・の間にサーボパターン領域Ａｓｃ，Ａｓｃ・・が設けられてトラックパターン領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓｃが磁気ディスク１０ｃの回転方向（矢印Ｒの向き）において交互に並ぶように規定されている。
【００９４】
また、図１８，１９に示すように、サーボパターン領域Ａｓｃ（環状領域Ａｃ内における内周側の内周側サーボパターン領域Ａｓｃｉ、および環状領域Ａｃ内における外周側の外周側サーボパターン領域Ａｓｃｏ）には、磁気ディスク１０ａにおける凹凸パターン２０ｓａに代えてサーボパターンとしての凹凸パターン２０ｓｃが形成されている。この場合、凹凸パターン２０ｓｃは、凹凸パターン２０ｓａ，２０ｓｂと同様にして、プリアンブルパターン、アドレスパターンおよびバーストパターンなどの各種サーボパターンを構成する凸部２１ｓ，２１ｓ（凸部２１ｓｉおよび凸部２１ｓｏ）・・並びに凹部２２ｓ，２２ｓ・・（凹部２２ｓｉおよび凹部２２ｓｏ）で構成されている。また、この磁気ディスク１０ｃでは、回転方向（各図における矢印Ｒの向き）に沿った凹部２２ｓの長さが凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して環状領域Ａｃ内においてその内周側からその外周側に向かうほど長くなるように規定されて各凹部２２ｓ，２２ｓ・・が形成されている。同様にして、回転方向に沿った凸部２１ｓの長さについても、凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して環状領域Ａｃ内においてその内周側からその外周側に向かうほど長くなるように規定されて各凸部２１ｓ，２１ｓ・・が形成されている。このため、この磁気ディスク１０ｃでは、回転方向に沿った凸部２１ｓの長さと凹部２２ｓの長さとの合計長（すなわち、凸部２１ｓおよび凹部２２ｓの形成ピッチ）が凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して環状領域Ａｃ内においてその内周側からその外周側に向かうほど長くなるように規定されている。
【００９５】
具体的には、図１８に示すように、環状領域Ａｃにおける内周側の内周側領域Ａｉｃ（一例として、環状領域Ａ１ｃにおける中心Ｏからの距離が１１ｍｍの部位におけるプリアンブルパターンの形成領域）では、凸部２１ｓｉの長さＬ１１ｉ（一例として、２２０ｎｍ）と凹部２２ｓｉの長さＬ１２ｉ（一例として、２２０ｎｍ）との合計長である長さＬ１３ｉが４４０ｎｍとなるように規定されている。また、図１９に示すように、環状領域Ａｃにおける外周側の外周側領域Ａｏｃ（一例として、環状領域Ａ１ｃにおける中心Ｏからの距離が１６ｍｍの部位におけるプリアンブルパターンの形成領域）では、凸部２１ｓｏの長さＬ１１ｏ（一例として、３２０ｎｍ）と凹部２２ｓｏの長さＬ１２ｏ（一例として、３２０ｎｍ）との合計長である長さＬ１３ｏが６４０ｎｍとなるように規定されている。この結果、図１８，１９に示すように、この磁気ディスク１０ｃでは、環状領域Ａｃ内の内周側領域Ａｉｃにおける凹凸パターン２０ｓｃの凸部２１ｓｉの長さＬ１１ｉに対する凹部２２ｓｉの長さＬ１２ｉの比と、環状領域Ａｃ内の外周側領域Ａｏｃにおける凸部２１ｓｏの長さＬ１１ｏに対する凹部２２ｓｏの長さＬ１２ｏの比とが各環状領域Ａｃ内においてそれぞれ１となっている。
【００９６】
この場合、各環状領域Ａｃ毎の凸部２１ｓの長さ（単位凸部長）に対する凹部２２ｓの長さ（単位凹部長）の比については、上記のプリアンブルパターンのみならず、アドレスパターンやバーストパターンを構成する凹凸パターン２０ｓｃについても同様に規定されている。また、バーストパターンについては、磁気ディスク１０ｃの回転方向に沿って複数の矩形状の凹部２２ｓ，２２ｓ・・が凸部２１ｓを挟んで並んでいる領域において、単位凸部長に対する単位凹部長の比が上記の条件を満たすように規定されている。なお、図１８，１９では、サーボパターンにおけるプリアンブルパターンおよびバーストパターンを模式的に図示しており、理解を容易にすべく、回転方向に沿った各凸部２１ｓ，２１ｓ・・や各凹部２２ｓ，２２ｓ・・の長さをサーボパターンの単位凸部長および単位凹部長のみで図示している。したがって、実際の磁気ディスク１０ｃでは、凸部２１ｓ，２１ｓ・・や凹部２２ｓ，２２ｓ・・の数、形成位置および長さが各図に示す状態とは異なり、トラッキングサーボ制御に必要なトラックアドレスおよびセクターアドレス等の情報（パターン）を含む各種の制御用データに対応して、凸部２１ｓや凹部２２ｓのそれぞれの数、形成位置および長さが規定されて凹凸パターン２０ｓｃが形成されている。この場合、凸部２１ｓや凹部２２ｓの実際の長さは、凸部２１ｓや凹部２２ｓの長さ（単位凸部長および単位凹部長）の整数倍の長さとなる。
【００９７】
また、この磁気ディスク１０ｃでは、各環状領域Ａｃ内における凹部２２ｓの平均長が各環状領域Ａ１ｃ〜Ａ４ｃの全領域において等しくなるように規定されている。したがって、各環状領域Ａｃ内の凹部２２ｓの平均長を凹凸パターン２０ｔの中心Ｏから環状領域Ａｃまでの距離（一例として、環状領域Ａｃにおける最内周の部位とする）で除した値が内周側の環状領域Ａ１ｃから外周側の環状領域Ａ４ｃに向かうほど小さくなっている。この場合、各環状領域Ａｃにおける回転方向に沿った内周側の長さについては、磁気ディスク１０ｃにおける外周側の環状領域Ａｃほど僅かに長くなっている。具体的には、例えば、環状領域Ａ２ｃにおける回転方向に沿った内周側の長さＬ９２ｉよりも、環状領域Ａ３ｃにおける回転方向に沿った内周側の長さＬ９３ｉの方が僅かに長くなっている。また、各環状領域Ａｃにおける回転方向に沿った外周側の長さについては、磁気ディスク１０ｃにおける外周側の環状領域Ａｃほど僅かに短くなっている。具体的には、例えば、環状領域Ａ２ｃにおける回転方向に沿った外周側の長さよりも、環状領域Ａ３ｃにおける回転方向に沿った外周側の長さの方が僅かに短くなっている。
【００９８】
この磁気ディスク１０ｃの製造に際しては、前述した中間体３０と、スタンパー３５ｃ（図８参照）とを使用する。この場合、スタンパー３５ｃは、本発明に係る情報記録媒体製造用のスタンパーのさらに他の一例であって、磁気ディスク１０ｃにおける凹凸パターン２０（凹凸パターン２０ｔ，２０ｓｃ）とは凹凸位置関係が反転している凹凸パターン３９が形成されて、インプリント法による磁気ディスク１０ｃの製造が可能に構成されている。具体的には、スタンパー３５ｃの凹凸パターン３９は、凸部３９ａ，３９ａ・・が磁気ディスク１０ｃの凹凸パターン２０における凹部２２，２２・・に対応し、凹部３９ｂ，３９ｂ・・が凹凸パターン２０における凸部２１，２１・・に対応して形成されている。したがって、このスタンパー３５ｃでは、凸部３９ａの回転方向に沿った長さが磁気ディスク１０ｃの凹凸パターン２０における凹部２２の回転方向に沿った長さとほぼ等しく、かつ凹部３９ｂの回転方向に沿った長さが凹凸パターン２０における凸部２１の回転方向に沿った長さとほぼ等しくなっている。
【００９９】
また、このスタンパー３５ｃを用いて製造する磁気ディスク１０ｃでは、上記のように各環状領域Ａｃ内における凹部２２ｓの平均長が各環状領域Ａ１ｃ〜Ａ４ｃの全領域において等しくなるように規定されている。したがって、このスタンパー３５ｃでは、各環状領域Ａｃに対応する領域内において各凹部２２ｓに対応する凸部３９ａ，３９ａ・・の平均長がスタンパー３５ｃの全域において等しくなっている。これにより、インプリント処理時にスタンパー３５ｃの全域に亘って凸部３９ａ，３９ａ・・を中間体３０の樹脂層１８に均一に押し込むことが可能となっている。この結果、マスク層１７上に生じる残渣の厚みを全域において均一にすることができるためため、凸部３９ａ，３９ａ・・を押し込んだ部位に最終的に形成される凹部２２ｓ，２２ｓ・・を各環状領域Ａ１ｃ〜Ａ４ｃの全領域に亘って高精度で形成することが可能となっている。
【０１００】
一方、この磁気ディスク１０ｃでは、前述したように、回転方向に沿った凸部２１ｓの長さと凹部２２ｓの長さとの合計長（すなわち、凸部２１ｓおよび凹部２２ｓの形成ピッチ）が環状領域Ａｃ内において凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例してその内周側からその外周側に向かうほど長くなるように規定して凹凸パターン２０ｓｃ（サーボパターン）を形成したことにより、磁気ディスク１０ｃを角速度一定の条件で回転させつつサーボパターン領域ＡｓｃからサーボデータＤｓを読み出す際に使用されるクロックの基準となる周波数情報（読み出し周波数情報）を一つの環状領域Ａｃ内において変化させることなく、環境領域Ａｃにおける内周側から外周側までのサーボパターン領域ＡｓｃからサーボデータＤｓを確実に読み出す（検出する）ことができる。また、回転方向に沿った単位凸部長および単位凹部長が環状領域Ａｃ内において凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例してその内周側から外周側に向かうほど長くなるように規定して凹凸パターン２０ｓｃ（サーボパターン）が形成されているため、磁気ヘッド３の下方を単位凸部長の凸部２１ｓおよび単位凹部長の凹部２２ｓが通過させられる時間が環状領域Ａｃ内における内周側と外周側とで等しくなる。したがって、磁気ヘッド３が検出するサーボデータの単位凸部長および単位凹部長の信号形状を環状領域Ａｃ内における内周側から外周側までの全域において等しくすることができる。このため、より一層確実にサーボデータＤｓを読み出す（検出する）ことができる。
【０１０１】
このように、この磁気ディスク１０ｃでは、単位凹部長が環状領域Ａｃ内において凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して環状領域Ａｃの内周側から外周側に向かうほど長くなり、かつ単位凸部長と単位凹部長の合計長が環状領域Ａｃ内において凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して環状領域Ａｃの内周側から外周側に向かうほど長くなるように単位凸部長および単位凹部長を規定して凹凸パターン２０ｓｃ（サーボパターン）が形成されている。したがって、この磁気ディスク１０ｃおよびハードディスクドライブ１によれば、外周側の環状領域Ａｃにおいて凹部２２ｓの回転方向に沿った長さが過剰に長くなる事態を回避しつつ、１つの環状領域Ａｃ内において読み出し周波数情報の周波数を変化させることなく、サーボデータの読み取りができるため、例えば、環状領域Ａｃの内周側から外周側まで磁気ヘッド３をシーク動作させる際における読み出し周波数情報の周波数切替え処理を不要とすることができる。したがって、シーク動作を短時間で実行することができるため、データアクセスを高速に行うことができる。また、読み出し周波数情報として環状領域の数（この例では４つ）に対応する種類の周波数情報を出力できればよいため、簡易な構成の検出用クロック出力部５および制御部８によってトラッキングサーボを行うことができる。
【０１０２】
なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、環状領域Ａａ，Ａｂ内における内周側から外周側までの全域において回転方向に沿った各凹部２２ｓ，２２ｓ・・の長さ（長さＬ２ｉ，Ｌ２ｏ，Ｌ７ｉ，Ｌ７ｏ）が等しくなるように凹凸パターン２０ｓａ，２０ｓｂを形成する磁気ディスク１０ａ，１０ｂについて上記したが、各凹部２２ｓ，２２ｓ・・の長さが環状領域の内周側から外周側までの各部において僅かに異なるように凹凸パターンを形成することもできる。具体的には、環状領域の内周側の凹部２２ｓｉよりも環状領域の外周側の凹部２２ｓｏの方が回転方向に沿った長さが僅かに長くなるように形成することができる。このように各凹部２２ｓ，２２ｓ・・の長さを異ならしめる構成であったとしても、外周側の凹部２２ｓｏの長さを、従来の磁気ディスク１０ｘにおける凹部２２ｓｘｏの長さＬ２ｘｏよりも短くして単位凹部長を規定して凹凸パターンを形成することで、外周側の凹部２２ｓｏが形成される部位における残渣の厚みを十分に薄く形成することができる。
【０１０３】
また、環状領域Ａｂ内における内周側から外周側までの全域において回転方向に沿った各凸部２１ｓ，２１ｓ・・の長さ（長さＬ６ｉ，Ｌ６ｏ）が等しくなるように凹凸パターン２０ｓｂを形成する磁気ディスク１０ｂについて上記したが、各凸部２１ｓ，２１ｓ・・の長さが環状領域Ａｂの内周側から外周側までの各部において僅かに異なるように凹凸パターンを形成することもできる。具体的には、環状領域の内周側の凸部２１ｓｉよりも環状領域の外周側の凸部２１ｓｏの方が回転方向に沿った長さが僅かに長くなるように形成することができる。このように各凸部２１ｓ，２１ｓ・・の長さを異ならしめる構成であったとしても、外周側の凸部２１ｓｏの長さを、従来の磁気ディスク１０ｘにおける凸部２１ｓｘｏの長さＬ１ｘｏよりも短くして単位凸部長を規定することで、その磁気ディスクを製造するためのスタンパーにおける対応する凹部の長さを外周側においても十分に短くすることができる。したがって、インプリント時に凸部３９ａ，３９ａ・・の押し込みによって凹部３９ｂ，３９ｂ・・内に移動させられる樹脂材料によって、十分に高い凸部４１ａ，４１ａ・・を樹脂層１８に形成する（十分に厚い樹脂マスクを形成する）ことができる。
【０１０４】
さらに、本発明におけるサーボパターンは上記の例に限定されず、磁気ディスク１０ａ〜１０ｃのサーボパターン領域Ａｓａ〜Ａｓｃにおける凹凸パターン２０ｓａ〜２０ｓｃの凹凸形状を反転させると共に本発明における各種条件を満たすように単位凸部長および単位凹部長を規定してサーボパターンを形成することもできる。また、上記の磁気ディスク１０ａ〜１０ｃでは、凹凸パターン２０における各凸部２１，２１・・が基端部から突端部まで磁性材料で形成されているが、本発明はこれに限定されず、図２０に示す磁気ディスク１０ｄのように、基材１１ａに形成した凹凸パターンを覆うようにして磁性層１４ａを形成することにより、その表面が磁性層１４ａで形成された凸部２１ａ，２１ａ・・と底面が磁性層１４ａで形成された凹部２２ａ，２２ａ・・とによって凹凸パターン２０ａを構成することもできる。この場合、基材１１ａの凹凸パターンについては、前述した磁気ディスク１０ａ〜１０ｃにおける凹凸パターン２０の形成方法と同様にして、例えば磁性層１４のエッチングに際してマスクとして使用した凹凸パターン４２を用いて基材１１ａをエッチングすることで形成することができる。また、例えばスタンパー３５ａ〜３５ｃと同様のスタンパーを用いたプレス成形や射出成形によって基材１１ａに凹凸パターンを形成することもできる。このように、インプリント法以外の各種製造方法によって凹凸パターンを形成する場合であっても、凹凸パターン２０ａを高精度で形成することができる。
【０１０５】
さらに、図２１に示す磁気ディスク１０ｅのように、各凸部２１ｂ，２１ｂ・・を構成する磁性層１４ｂと各凸部２１ｂ，２１ｂ・・間の凹部２２ｂ，２２ｂ・・の底面を構成する磁性層１４ｂとを連続させて凹凸パターン２０ｂを構成することもできる。また、上記の磁気ディスク１０ａ〜１０ｅでは、各凹部２２に非磁性材料１５を埋め込んでその表面を平坦化しているが、磁気ヘッド３の十分な浮上安定性が得られる場合には、凹部２２に対する非磁性材料１５を不要とすることができる。さらに、本発明に係る情報記録媒体は、磁気ディスク１０ａ〜１０ｅのような垂直記録方式の磁気ディスクのみならず、面内記録方式の磁気ディスクが本発明に含まれる。
【図面の簡単な説明】
【０１０６】
【図１】ハードディスクドライブ１，１ｂの構成を示すブロック図である。
【図２】磁気ディスク１０ａ〜１０ｅの層構造を示す断面図である。
【図３】磁気ディスク１０ａの平面図である。
【図４】磁気ディスク１０ａにおけるサーボパターン領域Ａｓａの平面図である。
【図５】環状領域Ａａ内における内周側領域Ａｉａの平面図である。
【図６】環状領域Ａａ内における外周側領域Ａｏａの平面図である。
【図７】磁気ディスク１０ａ（１０ｂ，１０ｃ）を製造するための中間体３０の断面図である。
【図８】磁気ディスク１０ａ（１０ｂ，１０ｃ）を製造するためのスタンパー３５ａ（３５ｂ，３５ｃ）の断面図である。
【図９】中間体３０の樹脂層１８にスタンパー３５ａ（３５ｂ，３５ｃ）の凹凸パターン３９を押し付けた状態の断面図である。
【図１０】図９に示す状態の樹脂層１８からスタンパー３５ａ（３５ｂ，３５ｃ）を剥離してマスク層１７の上に凹凸パターン４１（樹脂マスク）を形成した状態の断面図である。
【図１１】凹凸パターン４１をマスクとしてマスク層１７をエッチング処理して磁性層１４の上に凹凸パターン４２（マスク）を形成した状態の断面図である。
【図１２】凹凸パターン４２をマスクとして磁性層１４をエッチング処理して中間層１３の上に凹凸パターン２０を形成した状態の断面図である。
【図１３】磁気ディスク１０ｂの平面図である。
【図１４】磁気ディスク１０ｂにおけるサーボパターン領域Ａｓｂの平面図である。
【図１５】環状領域Ａｂ内における内周側領域Ａｉｂの平面図である。
【図１６】環状領域Ａｂ内における外周側領域Ａｏｂの平面図である。
【図１７】磁気ディスク１０ｃにおけるサーボパターン領域Ａｓｃの平面図である。
【図１８】環状領域Ａｃ内における内周側領域Ａｉｃの平面図である。
【図１９】環状領域Ａｃ内における外周側領域Ａｏｃの平面図である。
【図２０】磁気ディスク１０ｄの層構造を示す断面図である。
【図２１】磁気ディスク１０ｅの層構造を示す断面図である。
【図２２】従来の磁気ディスク１０ｘの平面図である。
【図２３】磁気ディスク１０ｘにおける内周側領域Ａｘｉの平面図である。
【図２４】磁気ディスク１０ｘにおける外周側領域Ａｘｏの平面図である。
【図２５】磁気ディスク１０ｘの製造工程において、スタンパーの凸部３９ａｘ，３９ａｘ・・（回転方向に沿った長さが短い凸部３９ａｘ，３９ａｘ・・）が押し込まれた状態の樹脂層の断面図である。
【図２６】磁気ディスク１０ｘの製造工程において、スタンパーの凸部３９ａｘ，３９ａｘ・・（回転方向に沿った長さが長い凸部３９ａｘ，３９ａｘ・・）が押し込まれた状態の樹脂層の断面図である。
【符号の説明】
【０１０７】
１，１ｂ ハードディスクドライブ
３ 磁気ヘッド
６ サーボデータ検出部
８ 制御部
１０ａ〜１０ｅ 磁気ディスク
１１ ガラス基材
１１ａ 基材
１４，１４ａ，１４ｂ 磁性層
１５ 非磁性材料
１８ 樹脂層
２０，２０ａ，２０ｂ，２０ｓａ〜２０ｓｃ，２０ｔ 凹凸パターン
２１，２１ａ，２１ｂ，２１ｓ，２１ｓｉ，２１ｓｏ，２１ｔ 凸部
２２，２２ａ，２２ｂ，２２ｓ，２２ｓｉ，２２ｓｏ，２２ｔ 凹部
３０ 中間体
３５ａ〜３５ｃ スタンパー
Ａ１ａ〜Ａ４ａ，Ａ１ｂ〜Ａ４ｂ，Ａ１ｃ〜Ａ４ｃ 環状領域
Ａｉａ，Ａｉｂ，Ａｉｃ 内周側領域
Ａｏａ，Ａｏｂ，Ａｏｃ 外周側領域
Ａｓａ，Ａｓｂ，Ａｓｃ サーボパターン領域
Ａｓａｉ，Ａｓｂｉ，Ａｓｃｉ内周側サーボパターン領域
Ａｓａｏ，Ａｓｂｏ，Ａｓｃｏ 外周側サーボパターン領域
Ａｔ トラックパターン領域
Ｃｌｓ 検出用クロック
Ｄｃｌ クロックデータ
Ｄｓ サーボデータ
Ｌ１ｉ〜Ｌ４ｉ，Ｌ６ｉ〜Ｌ８ｉ，Ｌ１１ｉ〜Ｌ１３ｉ，Ｌ９２ｉ，Ｌ９３ｉ，Ｌ１ｏ〜Ｌ４ｏ，Ｌ６ｏ〜Ｌ８ｏ，Ｌ１１ｏ〜Ｌ１３ｏ，Ｌ５１〜Ｌ５４ 長さ
Ｏ 中心
Ｒ 矢印
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材の少なくとも一面側に凹凸パターンによってサーボパターンが形成されると共に、同心円状または螺旋状のデータ記録トラックが当該一面側に設けられてデータトラックパターンが形成され、
前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記データトラックパターンと同心の複数の環状領域に区分けされると共に、前記基材の回転方向に沿った単位凹部長の当該各環状領域内における平均長を当該データトラックパターンの中心から当該環状領域までの距離で除した値が内周側の当該環状領域よりも外周側の当該環状領域ほど小さくなるように当該各環状領域毎に当該単位凹部長が規定されている情報記録媒体。
【請求項２】
前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記基材の回転方向に沿った単位凸部長に対する前記単位凹部長の比が前記環状領域内において当該環状領域の内周側から当該環状領域の外周側に向かうほど小さくなるように当該単位凸部長および当該単位凹部長が規定されている請求項１記載の情報記録媒体。
【請求項３】
前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記単位凸部長が前記環状領域内において当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど長くなるように規定されている請求項２記載の情報記録媒体。
【請求項４】
前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記単位凹部長が前記環状領域内における当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側までの全域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定されている請求項２または３記載の情報記録媒体。
【請求項５】
前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記単位凸部長および前記単位凹部長の合計長が前記環状領域内において前記データトラックパターンの中心からの距離に比例して当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど長くなるように規定されている請求項２から４のいずれかに記載の情報記録媒体。
【請求項６】
前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記単位凹部長が前記環状領域内において前記データトラックパターンの中心からの距離に比例して当該環状領域の内周側から当該環状領域の外周側に向かうほど長くなるように規定されると共に、前記基材の回転方向に沿った前記単位凹部長と単位凸部長の合計長が当該環状領域内において前記データトラックパターンの中心からの距離に比例して当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど長くなるように当該単位凸部長および当該単位凹部長が規定されている請求項１記載の情報記録媒体。
【請求項７】
前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記単位凹部長の前記環状領域内における前記平均長が前記内周側の環状領域から前記外周側の環状領域までの全環状領域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定されている請求項２から６のいずれかに記載の情報記録媒体。
【請求項８】
前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記単位凹部長を前記データトラックパターンの中心からの距離で除した値が前記環状領域内において当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど小さくなるように当該単位凹部長が規定されている請求項１記載の情報記録媒体。
【請求項９】
前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記基材の回転方向に沿った単位凸部長を前記データトラックパターンの中心からの距離で除した値が前記環状領域内において当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど小さくなるように当該単位凸部長が規定されている請求項８記載の情報記録媒体。
【請求項１０】
前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記単位凹部長が前記環状領域内における当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側までの全域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定されている請求項８または９記載の情報記録媒体。
【請求項１１】
前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記単位凸部長が前記環状領域内における当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側までの全域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定されている請求項８から１０のいずれかに記載の情報記録媒体。
【請求項１２】
請求項１から１１のいずれかに記載の情報記録媒体と、前記サーボパターンに対応付けられているサーボデータに基づいてサーボ制御を実行する制御部とを備えている記録再生装置。
【請求項１３】
請求項１から７のいずれかに記載の情報記録媒体と、前記各環状領域毎に予め規定された読み出し周波数情報に基づいて前記情報記録媒体から前記サーボパターンに対応付けられているサーボデータを読み出してサーボ制御する制御部とを備えている記録再生装置。
【請求項１４】
請求項１、および８から１１のいずれかに記載の情報記録媒体と、前記データトラックパターンの中心からの距離に応じて予め規定された読み出し周波数情報に基づいて前記情報記録媒体から前記サーボパターンに対応付けられているサーボデータを読み出してサーボ制御する制御部とを備えている記録再生装置。
【請求項１５】
請求項１から１１のいずれかに記載の情報記録媒体における前記凹凸パターンの凹部に対応して形成された凸部と、前記情報記録媒体における前記凹凸パターンの凸部に対応して形成された凹部とを有する凹凸パターンが形成された情報記録媒体製造用のスタンパー。
【請求項１】
基材の少なくとも一面側に凹凸パターンによってサーボパターンが形成されると共に、同心円状または螺旋状のデータ記録トラックが当該一面側に設けられてデータトラックパターンが形成され、
前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記データトラックパターンと同心の複数の環状領域に区分けされると共に、前記基材の回転方向に沿った単位凹部長の当該各環状領域内における平均長を当該データトラックパターンの中心から当該環状領域までの距離で除した値が内周側の当該環状領域よりも外周側の当該環状領域ほど小さくなるように当該各環状領域毎に当該単位凹部長が規定されている情報記録媒体。
【請求項２】
前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記基材の回転方向に沿った単位凸部長に対する前記単位凹部長の比が前記環状領域内において当該環状領域の内周側から当該環状領域の外周側に向かうほど小さくなるように当該単位凸部長および当該単位凹部長が規定されている請求項１記載の情報記録媒体。
【請求項３】
前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記単位凸部長が前記環状領域内において当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど長くなるように規定されている請求項２記載の情報記録媒体。
【請求項４】
前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記単位凹部長が前記環状領域内における当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側までの全域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定されている請求項２または３記載の情報記録媒体。
【請求項５】
前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記単位凸部長および前記単位凹部長の合計長が前記環状領域内において前記データトラックパターンの中心からの距離に比例して当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど長くなるように規定されている請求項２から４のいずれかに記載の情報記録媒体。
【請求項６】
前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記単位凹部長が前記環状領域内において前記データトラックパターンの中心からの距離に比例して当該環状領域の内周側から当該環状領域の外周側に向かうほど長くなるように規定されると共に、前記基材の回転方向に沿った前記単位凹部長と単位凸部長の合計長が当該環状領域内において前記データトラックパターンの中心からの距離に比例して当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど長くなるように当該単位凸部長および当該単位凹部長が規定されている請求項１記載の情報記録媒体。
【請求項７】
前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記単位凹部長の前記環状領域内における前記平均長が前記内周側の環状領域から前記外周側の環状領域までの全環状領域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定されている請求項２から６のいずれかに記載の情報記録媒体。
【請求項８】
前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記単位凹部長を前記データトラックパターンの中心からの距離で除した値が前記環状領域内において当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど小さくなるように当該単位凹部長が規定されている請求項１記載の情報記録媒体。
【請求項９】
前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記基材の回転方向に沿った単位凸部長を前記データトラックパターンの中心からの距離で除した値が前記環状領域内において当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど小さくなるように当該単位凸部長が規定されている請求項８記載の情報記録媒体。
【請求項１０】
前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記単位凹部長が前記環状領域内における当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側までの全域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定されている請求項８または９記載の情報記録媒体。
【請求項１１】
前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記単位凸部長が前記環状領域内における当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側までの全域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定されている請求項８から１０のいずれかに記載の情報記録媒体。
【請求項１２】
請求項１から１１のいずれかに記載の情報記録媒体と、前記サーボパターンに対応付けられているサーボデータに基づいてサーボ制御を実行する制御部とを備えている記録再生装置。
【請求項１３】
請求項１から７のいずれかに記載の情報記録媒体と、前記各環状領域毎に予め規定された読み出し周波数情報に基づいて前記情報記録媒体から前記サーボパターンに対応付けられているサーボデータを読み出してサーボ制御する制御部とを備えている記録再生装置。
【請求項１４】
請求項１、および８から１１のいずれかに記載の情報記録媒体と、前記データトラックパターンの中心からの距離に応じて予め規定された読み出し周波数情報に基づいて前記情報記録媒体から前記サーボパターンに対応付けられているサーボデータを読み出してサーボ制御する制御部とを備えている記録再生装置。
【請求項１５】
請求項１から１１のいずれかに記載の情報記録媒体における前記凹凸パターンの凹部に対応して形成された凸部と、前記情報記録媒体における前記凹凸パターンの凸部に対応して形成された凹部とを有する凹凸パターンが形成された情報記録媒体製造用のスタンパー。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【公開番号】特開２００６−３１８５８１（Ｐ２００６−３１８５８１Ａ）
【公開日】平成１８年１１月２４日（２００６．１１．２４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−１４１１０９（Ｐ２００５−１４１１０９）
【出願日】平成１７年５月１３日（２００５．５．１３）
【出願人】（０００００３０６７）ＴＤＫ株式会社 (7,238)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年１１月２４日（２００６．１１．２４）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年５月１３日（２００５．５．１３）
【出願人】（０００００３０６７）ＴＤＫ株式会社 (7,238)
【Ｆターム（参考）】
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