有機エレクトロルミネッセンス装置及びその製造方法
【課題】有機ＥＬ装置の画素部の画素領域をインクジェットにより形成する場合に、インクジェットによる画素部の画素領域の製造品質を簡易かつ短時間にて評価することが可能であり、この評価結果をインクジェットによる画素部の製造工程に速やかにフィードバックすることで製造工程における歩留まり及びスループットを向上させることが可能な有機ＥＬ装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の有機ＥＬ装置は、素子基板２上に、複数個の画素領域３をインクジェットによりマトリックス状に形成した実表示領域４を備え、素子基板２上かつ実表示領域４の外側には、これに隣接しかつ独立して形成された複数の画素領域４１と、各画素領域４１にスイッチング用ＴＦＴ４４及び配線４５を介して接続され画素領域４１を定電圧駆動または定電流駆動可能な端子４２、４３とを備えた検査用画素領域１１が形成されている。
【解決手段】本発明の有機ＥＬ装置は、素子基板２上に、複数個の画素領域３をインクジェットによりマトリックス状に形成した実表示領域４を備え、素子基板２上かつ実表示領域４の外側には、これに隣接しかつ独立して形成された複数の画素領域４１と、各画素領域４１にスイッチング用ＴＦＴ４４及び配線４５を介して接続され画素領域４１を定電圧駆動または定電流駆動可能な端子４２、４３とを備えた検査用画素領域１１が形成されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機エレクトロルミネッセンス装置及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、自発光型の平面表示型電気光学装置として、有機薄膜により発光層（電気光学層）等を構成した多層構造の有機エレクトロルミネッセンス（Electroluminescence：ＥＬ）装置が開発され、これまでにも様々な提案がなされている（例えば、特許文献１等参照）。
この有機ＥＬ装置には、トップエミッション型と、ボトムエミッション型の２種類のものがあり、薄型、軽量、フレキシブル等の優れた特徴を有することから、ディスプレイパネル、電子ペーパー等、様々な分野への応用が進められている。
【０００３】
この有機ＥＬ装置を作製する方法としては、例えば、インクジェット法が挙げられる（例えば、特許文献２参照）。
インクジェット法を用いて有機ＥＬ装置を作製するには、基板上に設けられた発光領域となるバンク内の被塗布領域に、インクジェットを用いて有機半導体発光材料またはカラーフィルタ材料を含む液滴を吐出して充填し、この充填した液滴に加熱処理、減圧処理のいずれか一方または双方を施して液滴に含まれる溶媒を除去する。これにより、被塗布領域に発光層またはカラーフィルタ層となる薄膜が形成される。
有機半導体発光材料としては、例えば、赤、緑、青から選択され電界の印加によりエレクトロルミネッセンスを発生する発光材料が用いられ、また、カラーフィルタ材料としては、例えば、赤、緑、青から選択された着色材料が用いられる。
【０００４】
この有機ＥＬ装置では、発光層またはカラーフィルタ層をインクジェットにより形成する場合、複数のヘッドを用い、これらのヘッドの走査方向をある一定方向に固定して複数の走査または改行を行っている。
このインクジェットによるインクの液滴の吐出量は厳密に制御されているので、通常は液滴の吐出量がばらつくことは無い。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−８５４８８号公報
【特許文献２】特許第３３２８２９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の有機ＥＬ装置では、インクジェットによるインクの液滴の吐出量を厳密に制御しているにもかかわらず、製造工程終了後の発光層またはカラーフィルタ層にばらつきが生じることがある。この場合、事前に吐出量を確認しているにも関わらず、製造工程終了後の検査工程で発光層やカラーフィルタ層のばらつきを知ることとなり、その間、発光バラツキを有する有機ＥＬ装置が生産し続けられることとなり、製品歩留まりに影響を及ぼす虞があるという問題点があった。
特に、連続製造プロセスの場合、予想外の外乱等でインクの液滴の吐出量がばらつく虞があり、このばらつきが原因で発光バラツキが生じた場合、製品歩留まりに大きな影響を与えることとなる。
【０００７】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、有機ＥＬ装置の画素部の画素領域をインクジェットにより形成する場合に、インクジェットによる画素部の画素領域の製造品質を簡易かつ短時間にて評価することが可能であり、この評価結果をインクジェットによる画素部の製造工程に速やかにフィードバックすることで製造工程における歩留まり及びスループットを向上させることが可能な有機エレクトロルミネッセンス装置及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するために、本発明は以下の有機エレクトロルミネッセンス装置及びその製造方法を採用した。
すなわち、本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置は、基板上に、複数個の画素領域をインクジェットによりマトリックス状に形成してなる表示領域を備えた画素部と、この画素部を駆動する駆動回路とを備えてなる有機エレクトロルミネッセンス装置であって、
前記基板上に、前記表示領域の外側に隣接しかつ該表示領域から独立した複数個の画素領域からなる検査用画素領域を設け、この検査用画素領域の各画素領域に、定電圧駆動または定電流駆動可能な端子を、前記駆動回路に対して独立して接続してなることを特徴とする。
【０００９】
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置では、前記基板上に、前記表示領域の外側に隣接しかつ該表示領域から独立した複数個の画素領域からなる検査用画素領域を設け、この検査用画素領域の各画素領域に、定電圧駆動または定電流駆動可能な端子を、前記駆動回路に対して独立して接続したので、端子を用いて検査用画素領域の各画素領域を定電圧駆動または定電流駆動することにより、インクジェットによる表示領域の仕上がり状態を、表示領域を全面点灯することなく、簡易かつ短時間にて推定することができる。
【００１０】
また、検査用画素領域の各画素領域を定電圧駆動または定電流駆動させながら発光輝度を測定することで、検査用画素領域の各画素領域の電流−電圧−輝度評価（ＩＶＬ評価）を定量的に行うことができる。その結果、表示領域における画素領域各々の発光特性バラツキを速やかに把握することができ、インクジェットによる表示領域の製造工程に速やかにフィードバックすることができ、製造工程における歩留まり及びスループットを向上させることができる。したがって、発光特性のバラツキが無く、高画質で、均一な明るさの有機エレクトロルミネッセンス装置を提供することができる。
また、検査用画素領域は表示領域と完全に分離しているので、検査用画素領域と表示領域とが互いに影響を及ぼし合う虞が無く、したがって、検査用画素領域における定電圧駆動または定電流駆動が表示領域の各画素領域に対して影響を及ぼす虞もなく、表示領域の各画素領域における点灯表示品位を良好に保持することができる。
【００１１】
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置は、前記基板上に、前記画素部を複数個配列し、これらの画素部の外側に前記検査用画素領域を設けてなることを特徴とする。
【００１２】
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置では、基板上に設けられた複数個の画素部の外側に前記検査用画素領域を設けたので、端子を用いて検査用画素領域の各画素領域を定電圧駆動または定電流駆動することにより、インクジェットによる画素部の表示領域における仕上がり状態を、これらの画素部それぞれの画素領域を全面点灯することなく、簡易かつ短時間にて評価することができる。
また、検査用画素領域を複数個の画素部それぞれに対して設ける必要が無いので、インクジェットによる表示領域の仕上がり状態を、複数個の画素部それぞれに対して一括して評価することができる。
【００１３】
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置は、前記検査用画素領域の複数個の画素領域を、前記インクジェットの描画方向に対して垂直方向に配列してなることを特徴とする。
【００１４】
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置では、検査用画素領域の複数個の画素領域を、インクジェットの描画方向に対して垂直方向に配列したので、検査用画素領域の各画素領域の電流−電圧−輝度評価（ＩＶＬ評価）を行うことにより、インクジェットの走査方向に対して垂直方向に発生するインクジェットヘッドのノズル間の吐出量バラツキに起因する発光ムラを定量評価することができる。
【００１５】
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法は、基板上に、複数個の画素領域をインクジェットによりマトリックス状に形成してなる表示領域を備えた画素部と、この画素部を駆動する駆動回路とを備えてなる有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法であって、
前記基板上に、前記表示領域の外側に隣接しかつ該表示領域から独立した複数個の画素領域からなる検査用画素領域を形成するとともに、この検査用画素領域の各画素領域に、定電圧駆動または定電流駆動可能な端子を、前記駆動回路に対して独立して接続し、次いで、前記端子により前記検査用画素領域の各画素領域を定電圧駆動または定電流駆動させて前記検査用画素領域の発光特性を測定し、次いで、この測定結果に基づき前記表示領域における画素領域の発光特性を推定することを特徴とする。
【００１６】
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法では、基板上に、表示領域の外側に隣接しかつ表示領域から独立した複数個の画素領域からなる検査用画素領域を形成するとともに、この検査用画素領域の各画素領域に、定電圧駆動または定電流駆動可能な端子を、駆動回路に対して独立して接続し、次いで、端子により検査用画素領域の各画素領域を定電圧駆動または定電流駆動させて検査用画素領域の発光特性を測定し、次いで、この測定結果に基づき前記表示領域における画素領域の発光特性を推定するので、インクジェットによる表示領域の仕上がり状態を、表示領域の各画素領域を全面点灯することなく、簡易かつ短時間にて評価することができる。
【００１７】
また、検査用画素領域の各画素領域を定電圧駆動または定電流駆動させながら発光輝度を測定することで、検査用画素領域の各画素領域の電流−電圧−輝度評価（ＩＶＬ評価）を定量的に行うことができる。その結果、表示領域における画素領域各々の特性バラツキを速やかに把握することができ、インクジェットによる表示領域の製造工程に速やかにフィードバックすることができ、製造工程における歩留まり及びスループットを向上させることができる。
【００１８】
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法は、前記推定結果に基づき前記表示領域における画素領域の形成条件を最適化することを特徴とする。
【００１９】
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法では、前記推定結果に基づき前記表示領域における画素領域の形成条件を最適化するので、インクジェットによる表示領域の仕上がり状態を、簡易かつ短時間にて最適化することができる。したがって、製造工程における歩留まり及びスループットを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１の実施形態の有機ＥＬ表示装置を示す平面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態の有機ＥＬ表示装置の要部を示す部分拡大平面図である。
【図３】本発明の第１の実施形態の有機ＥＬ表示装置の配線構造を示す図である。
【図４】インクジェット法を用いた液滴吐出装置を示す斜視図である。
【図５】本発明の第１の実施形態の有機ＥＬ表示装置の製造方法を示す過程図である。
【図６】本発明の第２の実施形態の有機ＥＬ表示装置を示す平面図である。
【図７】本発明の第１の実施形態の有機ＥＬ表示装置を備えた電子機器の一例である映像モニタを示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明の有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）装置及びその製造方法を実施するための形態について説明する。
【００２２】
「第１の実施形態」
図１は、本実施形態の有機ＥＬ表示装置を示す平面図、図２は、この有機ＥＬ表示装置の配線構造を示す図、図３は、この有機ＥＬ表示装置の要部を示す部分拡大平面図であり、この有機ＥＬ表示装置１は、スイッチング素子として薄膜トランジスタ（ Thin Film Transistor：ＴＦＴ）を用いたアクティブマトリクス型の有機ＥＬ表示装置である。
【００２３】
この有機ＥＬ表示装置１は、図１に示すように、平面視略矩形状の素子基板２の中央部分に、複数の画素領域３がマトリクス状に配置されて実表示領域４が形成され、この素子基板２上の実表示領域４の外側には、この実表示領域４を囲むように信号線駆動回路５及び一対の走査線駆動回路６が設けられ、これら信号線駆動回路５及び走査線駆動回路６を含む領域がダミー領域７とされ、この素子基板２上のダミー領域７の外側には、陰極用配線８が設けられ、この実表示領域４及びダミー領域７により画素部９が構成されている。
【００２４】
この素子基板２上かつ実表示領域４の外側には、この実表示領域４に隣接しかつ独立した検査用画素領域１１が設けられ、さらに、この検査用画素領域１１の外側には、この検査用画素領域１１に隣接しかつ独立したダミー画素領域１２が設けられている。そして、素子基板２の端部には、配線基板１３が電気的に接続されている。
【００２５】
この有機ＥＬ表示装置１の配線構造は、図２に示すように、複数（図示では５本）の走査線２１と、これらの走査線２１に直交して延びる複数（図示では４本）の信号線２２及び電源線２３とが設けられており、走査線２１及び信号線２２に囲まれた領域が画素領域３に対応している。
これらの画素領域３それぞれには、画素電極となる陽極層３１と、陰極層３２と、これら陽極層３１及び陰極層３２により挟まれた発光層３３とにより有機ＥＬ素子が構成されている。
また、これらの画素領域３それぞれには、陽極層３１をスイッチング制御するためのスイッチング用ＴＦＴ３４、３５と保持容量３６とが設けられている。
【００２６】
この有機ＥＬ表示装置１における画素領域３の配列は、図３に示すＹ軸方向ではＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）各々が同一色となるように配列され、Ｘ軸方向ではＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）がこの順で繰り返されるように配列されている。すなわち、この画素領域３の配列は、一方向（Ｙ軸方向）に直線状に配列された同一色の画素領域３が、他方向（Ｘ軸方向）に所定の間隔をおいて平行に配列されたストライプ型となっている。
この画素領域３におけるＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）各々の色は、画素領域３の発光層に発光材料を、または、画素領域３のエレクトロルミネッセンスを発生する発光層上にカラーフィルタを設けることにより可能である。例えば、発光材料としては、電界の印加によりエレクトロルミネッセンスを発生するＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）各々の有機半導体発光材料が挙げられ、また、エレクトロルミネッセンスを発生する発光層上に設けられるカラーフィルタ材料としては、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）各々の着色材料が挙げられる。
【００２７】
検査用画素領域１１は、図３に示すように、実表示領域４の外側に、この実表示領域４に隣接しかつ実表示領域４から独立した画素領域４１が複数個、この実表示領域４の一つの辺に沿って複数列に配列されている。そして、各画素領域４１には、各画素領域４１を定電圧駆動または定電流駆動可能な端子４２、４３が、スイッチング用ＴＦＴ４４及び配線４５を介して、信号線駆動回路５及び走査線駆動回路６に対して独立に、接続されている。
【００２８】
この画素領域４１の配列は、画素領域３の配列と同様、図３に示すＹ軸方向ではＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）各々が同一色となるように配列され、Ｘ軸方向ではＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）がこの順に配列されている。すなわち、この画素領域４１の配列は、一方向（Ｙ軸方向）に直線状に配列された同一色の画素領域４１が、他方向（Ｘ軸方向）に所定の間隔をおいて平行に配列されたストライプ型となっている。
この画素領域４１におけるＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）各々の色についても、画素領域３と同様、画素領域４１の発光層に発光材料を、または、画素領域４１のエレクトロルミネッセンスを発生する発光層上にカラーフィルタを設けることにより可能である。
【００２９】
この検査用画素領域１１では、画素領域４１の配列方向を、後述する液滴吐出装置６１の液滴吐出ヘッド６６の描画方向（走査方向）（図３中、矢印方向）に対して垂直方向としている。
これにより、検査用画素領域１１の各画素領域４１の電流−電圧−輝度評価（ＩＶＬ評価）を行うことで、液滴吐出ヘッド６６の描画方向に対して垂直方向に発生する液滴吐出ヘッド６６のノズル間の吐出量バラツキに起因する発光ムラを定量評価することが可能である。
【００３０】
ダミー画素領域１２は、検査用画素領域１１の外側に、この検査用画素領域１１に隣接しかつ検査用画素領域１１から独立した画素領域５１が複数個、この検査用画素領域１１の一つの辺に沿って複数列に配列されている。
この画素領域５１の配列も、画素領域４１の配列と同様、図３に示すＹ軸方向ではＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）各々が同一色となるように配列され、Ｘ軸方向ではＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）がこの順に配列されている。すなわち、この画素領域５１の配列においても、画素領域４１の配列と同様、一方向（Ｙ軸方向）に直線状に配列された同一色の画素領域５１が、他方向（Ｘ軸方向）に所定の間隔をおいて平行に配列されたストライプ型となっている。
【００３１】
次に、この有機ＥＬ表示装置１を、インクジェット法により製造する方法について説明する。
ここでは、まず、画素領域３、４１、５１の製造に用いられるインクジェット法を用いた液滴吐出装置について、図４に基づき説明する。
この液滴吐出装置６１は、インクジェット法により素子基板２上の所定領域に液滴を吐出して複数の画素領域３、４１、５１を形成する装置であり、装置架台６２と、ワークステージ６３と、ステージ移動装置６４と、キャリッジ６５と、液滴吐出ヘッド６６と、キャリッジ移動装置６７と、チューブ６８と、第１〜第３タンク６９〜７１と、制御装置７２と、を備えている。
【００３２】
装置架台６２は、ワークステージ６３及びステージ移動装置６４の支持台である。ワークステージ６３は、装置架台６２上においてステージ移動装置６４により主走査方向であるＸ軸方向に移動可能に設置されており、上流側の搬送装置（図示略）から搬送される素子基板２を真空吸着機構によりＸＹ平面上に保持する。
ステージ移動装置６４は、リニアガイド及びボールネジ等の直動機構を備えており、制御装置７２から出力されるワークステージ６３の移動先のＸ座標を示すステージ位置制御信号に基づいて、ワークステージ６３をＸ軸方向に移動させる。
【００３３】
キャリッジ６５は、液滴吐出ヘッド６６を保持しており、キャリッジ移動装置６７により副走査方向であるＹ軸方向及びＺ軸方向に移動可能に設けられている。
液滴吐出ヘッド６６は、複数のノズル（図示略）を備えており、制御装置７２から出力される描画データ信号や駆動信号に基づいて液滴を吐出する。
この液滴吐出ヘッド６６は、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の各液滴に対応した数だけヘッド（図示略）が設けられており、それぞれキャリッジ６５を介してチューブ６８と接続されている。
そして、Ｒ（赤）に対応するヘッドには、チューブ６８を介して第１タンク６９からＲ（赤）のインク（液体）が供給され、Ｇ（緑）に対応するヘッドには、チューブ６８を介して第２タンク７０からＧ（緑）のインク（液体）が供給され、Ｂ（青）に対応するヘッドには、チューブ６８を介して第３タンク７１からＢ（青）のインク（液体）が供給される。
【００３４】
キャリッジ移動装置６７は、装置架台６２をＹ軸方向に沿って跨ぐように設けられた橋梁構造のものであり、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に沿ってリニアガイド及びボールネジ等の直動機構を備え、制御装置７２から出力されるキャリッジ６５の移動先のＹ座標及びＺ座標を示すキャリッジ位置制御信号に基づいてキャリッジ６５をＹ軸方向及びＺ軸方向に移動させる。
【００３５】
チューブ６８は、第１〜第３タンク６９〜７１からキャリッジ６５にＲ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の各インクを供給するための供給用チューブである。
第１タンク６９は、Ｒ（赤）のインクを貯留すると共にチューブ６８を介して液滴吐出ヘッド６６のＲ（赤）に対応するヘッドにＲ（赤）のインクを供給する。また、第２タンク７０は、Ｇ（緑）のインクを貯留すると共にチューブ６８を介して液滴吐出ヘッド６６のＧ（緑）に対応するヘッドにＧ（緑）のインクを供給する。また、第３タンク７１は、Ｂ（青）のインクを貯留すると共にチューブ６８を介して液滴吐出ヘッド６６のＢ（青）に対応するヘッドにＢ（青）のインクを供給する。
【００３６】
制御装置７２は、ワークステージ６３の移動による素子基板２の位置決め動作と、キャリッジ６５の移動による液滴吐出ヘッド６６の位置決め動作と、液滴吐出ヘッド６６による素子基板２上の所定位置にインクを吐出する液滴吐出動作と、を制御する装置である。この制御装置７２では、ステージ移動装置６４にステージ位置制御信号を出力し、キャリッジ移動装置６７にキャリッジ位置制御信号を出力し、液滴吐出ヘッド６６に描画データ及び駆動信号を出力する。
【００３７】
次に、この液滴吐出装置６１を用いて素子基板２上に画素領域３を形成する方法について、図３〜図５に基づき説明する。
ここでは、液滴吐出ヘッド６６から吐出する液滴として、電界の印加によりエレクトロルミネッセンスを発生するＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）各々の有機半導体発光材料を含むインクを用いる。
【００３８】
ここでは、ワークステージ６２上に素子基板２を載置し、この素子基板２の上面と液滴吐出ヘッド６６とを対向させ、素子基板２上の、ダミー画素領域１２の各画素領域５１それぞれに対応する領域に、上述した液滴吐出装置６１を用いてインク８１を吐出し、その後乾燥させ、ダミー画素領域１２の各画素領域５１を形成する。
【００３９】
次いで、図５（ａ）に示すように、素子基板２上の、検査用画素領域１１のＲ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の画素領域４１それぞれに対応する被塗布領域８１ａ〜８１ｃに、上述した液滴吐出装置６１を用いてＲ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）のインクをそれぞれ吐出し、被塗布領域８１ａ〜８１ｃに、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の塗膜８２（Ｒ）、８２（Ｇ）及び８２（Ｂ）を形成する。
【００４０】
次いで、この塗膜８２（Ｒ）、８２（Ｇ）及び８２（Ｂ）を乾燥させる。
これにより、図５（ｂ）に示すように、素子基板２上に、それぞれの被塗布領域８１ａ〜８１ｃにＲ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の画素領域４１（Ｒ）、４１（Ｇ）及び４１（Ｂ）が形成される。よって、画素領域４１（Ｒ）、４１（Ｇ）及び４１（Ｂ）を有する検査用画素領域１１を備えた素子基板８３が得られる。
【００４１】
次いで、この素子基板８３の画素領域４１（Ｒ）、４１（Ｇ）及び４１（Ｂ）の評価を行う。
例えば、検査用画素領域１１の画素領域４１（Ｒ）、４１（Ｇ）及び４１（Ｂ）各々の電流−電圧−輝度評価（ＩＶＬ評価）を行う場合、端子４２、４３間に駆動用電圧を印加してスイッチング用ＴＦＴ４４を「ＯＮ」状態とし、画素領域４１（Ｒ）、４１（Ｇ）及び４１（Ｂ）各々に閾値を超える定電流を流すと、この定電流による再結合により画素領域４１（Ｒ）、４１（Ｇ）及び４１（Ｂ）各々が発光する。この発光における画素領域４１（Ｒ）、４１（Ｇ）及び４１（Ｂ）各々の電流−電圧と発光輝度との関係を求め、この発光輝度の値に基づき画素領域４１（Ｒ）、４１（Ｇ）及び４１（Ｂ）各々の発光特性を評価する。
【００４２】
この発光特性評価は、画素領域４１（Ｒ）、４１（Ｇ）及び４１（Ｂ）各々に対して定量的に行うことができるので、検査用画素領域１１の画素領域４１（Ｒ）、４１（Ｇ）及び４１（Ｂ）各々の電流−電圧−輝度評価（ＩＶＬ評価）を定量的に行うことができる。
これにより、検査用画素領域１１の画素領域４１（Ｒ）、４１（Ｇ）及び４１（Ｂ）各々の定量的な発光特性評価を基に、この液滴吐出装置６１を用いて形成する実表示領域４の複数の画素領域３各々の特性バラツキを速やかに推定し、把握することができる。したがって、インクジェットによる実表示領域４の複数の画素領域３各々の仕上がり状態を、実表示領域４の各画素領域３を全面点灯することなく、簡易かつ短時間にて推定することができる。
【００４３】
次いで、検査用画素領域１１の画素領域４１（Ｒ）、４１（Ｇ）及び４１（Ｂ）各々の定量的な発光特性評価を基に、この液滴吐出装置６１の液滴吐出ヘッド６６の走査速度、液滴吐出ヘッド６６から吐出されるＲ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）のそれぞれのインクの吐出量、塗膜の乾燥条件等を最適化する。
次いで、この最適化された条件の下で、この液滴吐出装置６１を用いて実表示領域４の複数の画素領域３各々を形成する。
これにより、検査用画素領域１１の定量的な発光特性評価を、インクジェットによる実表示領域４の製造工程に速やかにフィードバックすることができ、製造工程における実表示領域４の歩留まり及びスループットを向上させることができる。
【００４４】
また、検査用画素領域１１は実表示領域４と完全に分離しているので、検査用画素領域１１と実表示領域４とが互いに影響を及ぼし合う虞が無く、したがって、検査用画素領域１１における定電圧駆動または定電流駆動が実表示領域４の各画素領域３に対して影響を及ぼす虞もなく、実表示領域４の各画素領域３における点灯表示品位を良好に保持することができる。
【００４５】
以上説明したように、本実施形態の有機ＥＬ表示装置１によれば、素子基板２上に、実表示領域４の外側に隣接しかつ実表示領域４から独立した複数個の画素領域４１からなる検査用画素領域１１を設け、この検査用画素領域１１の各画素領域４１に、定電圧駆動または定電流駆動可能な端子４２、４３を接続したので、検査用画素領域１１の画素領域４１（Ｒ）、４１（Ｇ）及び４１（Ｂ）各々の電流−電圧−輝度評価（ＩＶＬ評価）を定量的に行うことができる。したがって、この評価に基づき、インクジェットによる実表示領域４の各画素領域３の仕上がり状態を、実表示領域４を全面点灯することなく、簡易かつ短時間にて推定することができる。
【００４６】
また、検査用画素領域１１の各画素領域４１を定電圧駆動または定電流駆動させながら発光輝度を測定することで、検査用画素領域１１の各画素領域４１の電流−電圧−輝度評価（ＩＶＬ評価）を定量的に行うことができる。その結果、実表示領域４における画素領域３各々の特性バラツキを速やかに把握することができ、インクジェットによる実表示領域４の製造工程に速やかにフィードバックすることができ、製造工程における実表示領域４の特性バラツキを歩留まり及びスループットを向上させることができる。したがって、発光特性のバラツキが無く、高画質で、均一な明るさの有機ＥＬ表示装置を提供することができる。
【００４７】
また、本実施形態の有機ＥＬ表示装置１の製造方法によれば、インクジェットによる実表示領域４の仕上がり状態を、実表示領域４の各画素領域３を全面点灯することなく、簡易かつ短時間にて推定することができる。
また、検査用画素領域１１の各画素領域４１の電流−電圧−輝度評価（ＩＶＬ評価）を定量的に行うことができ、その結果、インクジェットによる実表示領域４の画素領域３各々の特性バラツキを速やかに把握することができる。したがって、インクジェットによる実表示領域４の製造工程に速やかにフィードバックすることで、発光特性にバラツキの無い実表示領域４を作製することができ、製造工程における実表示領域４の歩留まり及びスループットを向上させることができる。
【００４８】
また、推定結果に基づき実表示領域４における画素領域３の形成条件を最適化するので、インクジェットによる表示領域の仕上がり状態を、簡易かつ短時間にて最適化することができる。したがって、製造工程における歩留まり及びスループットを向上させることができる。
【００４９】
また、検査用画素領域１１の画素領域４１の配列方向を、液滴吐出装置６１の液滴吐出ヘッド６６の描画方向（走査方向）に対して垂直方向としたので、検査用画素領域１１の各画素領域４１の電流−電圧−輝度評価（ＩＶＬ評価）を行うことで、液滴吐出ヘッド６６の描画方向（走査方向）に対して垂直方向に発生する液滴吐出ヘッド６６のノズル間の吐出量バラツキに起因する実表示領域４における画素領域３の発光ムラを定量評価することができる。
【００５０】
なお、本実施形態の有機ＥＬ表示装置１では、インクジェットにより実表示領域４の画素領域３各々を作製する場合について説明したが、インクジェットに限ることなく、例えば、低分子材料を用いた蒸着プロセスに対しても適用可能である。この場合においても、検査用画素領域１１の各画素領域４１の発光特性を定量的に評価することで、低分子材料を用いた蒸着プロセスにおける実表示領域４の画素領域３の形成条件を最適化することができる。
【００５１】
「第２の実施形態」
図６は、本発明の第２の実施形態の有機ＥＬ表示装置を示す平面図であり、本実施形態の有機ＥＬ表示装置９１が第１の実施形態の有機ＥＬ表示装置１と異なる点は、大型の素子基板９２上に、実表示領域４及び、信号線駆動回路５及び走査線駆動回路６を含むダミー領域７により構成された画素部９が複数（図６では２個）配列され、この大型の素子基板９２上かつ画素部９、９の外側に、これらの画素部９、９に隣接しかつ独立した検査用画素領域１１が設けられた点であり、これ以外の点については第１の実施形態の有機ＥＬ表示装置１と全く同様である。
【００５２】
本実施形態の有機ＥＬ表示装置９１においても、第１の実施形態の有機ＥＬ表示装置１と同様の作用、効果を奏することができる。
また、検査用画素領域１１の画素領域４１の配列方向を、液滴吐出装置６１の液滴吐出ヘッド６６の描画方向（走査方向）に対して垂直方向としたので、検査用画素領域１１の各画素領域４１の電流−電圧−輝度評価（ＩＶＬ評価）を行うことで、液滴吐出ヘッド６６の描画方向（走査方向）に対して垂直方向に発生する液滴吐出ヘッド６６のノズル間の吐出量バラツキに起因する各画素部９の実表示領域４における画素領域３の発光ムラを定量評価することができる。
【００５３】
また、この大型の素子基板９２上かつ画素部９、９の外側に、これらの画素部９、９に隣接しかつ独立した検査用画素領域１１を設けたので、インクジェットによる画素部９、９各々の画素領域３の仕上がり状態を、画素部９、９それぞれの画素領域３を全面点灯することなく、簡易かつ短時間にて推定することができる。
また、検査用画素領域１１を画素部９、９それぞれに対して設ける必要が無いので、インクジェットによる画素部９、９各々の実表示領域４の仕上がり状態を、一括して評価することができる。
【００５４】
「電子機器」
図７は、本発明の第１の実施形態の有機ＥＬ表示装置を備えた電子機器の一例である映像モニタを示す斜視図である。
この映像モニタ１２００は、有機ＥＬ表示装置１を備えた表示部１２０１と、筐体１２０２と、スピーカ１２０３等を備えている。
この映像モニタ１２００は、表示部１２０１に有機ＥＬ表示装置１を備えているので、表示部１２０１の発光特性のバラツキが無く、したがって、高画質で、均一な明るさの表示が可能である。
【符号の説明】
【００５５】
１…有機ＥＬ表示装置、２…素子基板、３…画素領域、４…実表示領域、５…信号線駆動回路、６…走査線駆動回路、９…画素部、１１…検査用画素領域、４１、４１（Ｒ）、４１（Ｇ）、４１（Ｂ）…画素領域、４２、４３…端子、６１…液滴吐出装置、６６…液滴
吐出ヘッド、８３…素子基板、９１…有機ＥＬ表示装置、９２…大型の素子基板。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機エレクトロルミネッセンス装置及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、自発光型の平面表示型電気光学装置として、有機薄膜により発光層（電気光学層）等を構成した多層構造の有機エレクトロルミネッセンス（Electroluminescence：ＥＬ）装置が開発され、これまでにも様々な提案がなされている（例えば、特許文献１等参照）。
この有機ＥＬ装置には、トップエミッション型と、ボトムエミッション型の２種類のものがあり、薄型、軽量、フレキシブル等の優れた特徴を有することから、ディスプレイパネル、電子ペーパー等、様々な分野への応用が進められている。
【０００３】
この有機ＥＬ装置を作製する方法としては、例えば、インクジェット法が挙げられる（例えば、特許文献２参照）。
インクジェット法を用いて有機ＥＬ装置を作製するには、基板上に設けられた発光領域となるバンク内の被塗布領域に、インクジェットを用いて有機半導体発光材料またはカラーフィルタ材料を含む液滴を吐出して充填し、この充填した液滴に加熱処理、減圧処理のいずれか一方または双方を施して液滴に含まれる溶媒を除去する。これにより、被塗布領域に発光層またはカラーフィルタ層となる薄膜が形成される。
有機半導体発光材料としては、例えば、赤、緑、青から選択され電界の印加によりエレクトロルミネッセンスを発生する発光材料が用いられ、また、カラーフィルタ材料としては、例えば、赤、緑、青から選択された着色材料が用いられる。
【０００４】
この有機ＥＬ装置では、発光層またはカラーフィルタ層をインクジェットにより形成する場合、複数のヘッドを用い、これらのヘッドの走査方向をある一定方向に固定して複数の走査または改行を行っている。
このインクジェットによるインクの液滴の吐出量は厳密に制御されているので、通常は液滴の吐出量がばらつくことは無い。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−８５４８８号公報
【特許文献２】特許第３３２８２９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の有機ＥＬ装置では、インクジェットによるインクの液滴の吐出量を厳密に制御しているにもかかわらず、製造工程終了後の発光層またはカラーフィルタ層にばらつきが生じることがある。この場合、事前に吐出量を確認しているにも関わらず、製造工程終了後の検査工程で発光層やカラーフィルタ層のばらつきを知ることとなり、その間、発光バラツキを有する有機ＥＬ装置が生産し続けられることとなり、製品歩留まりに影響を及ぼす虞があるという問題点があった。
特に、連続製造プロセスの場合、予想外の外乱等でインクの液滴の吐出量がばらつく虞があり、このばらつきが原因で発光バラツキが生じた場合、製品歩留まりに大きな影響を与えることとなる。
【０００７】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、有機ＥＬ装置の画素部の画素領域をインクジェットにより形成する場合に、インクジェットによる画素部の画素領域の製造品質を簡易かつ短時間にて評価することが可能であり、この評価結果をインクジェットによる画素部の製造工程に速やかにフィードバックすることで製造工程における歩留まり及びスループットを向上させることが可能な有機エレクトロルミネッセンス装置及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するために、本発明は以下の有機エレクトロルミネッセンス装置及びその製造方法を採用した。
すなわち、本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置は、基板上に、複数個の画素領域をインクジェットによりマトリックス状に形成してなる表示領域を備えた画素部と、この画素部を駆動する駆動回路とを備えてなる有機エレクトロルミネッセンス装置であって、
前記基板上に、前記表示領域の外側に隣接しかつ該表示領域から独立した複数個の画素領域からなる検査用画素領域を設け、この検査用画素領域の各画素領域に、定電圧駆動または定電流駆動可能な端子を、前記駆動回路に対して独立して接続してなることを特徴とする。
【０００９】
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置では、前記基板上に、前記表示領域の外側に隣接しかつ該表示領域から独立した複数個の画素領域からなる検査用画素領域を設け、この検査用画素領域の各画素領域に、定電圧駆動または定電流駆動可能な端子を、前記駆動回路に対して独立して接続したので、端子を用いて検査用画素領域の各画素領域を定電圧駆動または定電流駆動することにより、インクジェットによる表示領域の仕上がり状態を、表示領域を全面点灯することなく、簡易かつ短時間にて推定することができる。
【００１０】
また、検査用画素領域の各画素領域を定電圧駆動または定電流駆動させながら発光輝度を測定することで、検査用画素領域の各画素領域の電流−電圧−輝度評価（ＩＶＬ評価）を定量的に行うことができる。その結果、表示領域における画素領域各々の発光特性バラツキを速やかに把握することができ、インクジェットによる表示領域の製造工程に速やかにフィードバックすることができ、製造工程における歩留まり及びスループットを向上させることができる。したがって、発光特性のバラツキが無く、高画質で、均一な明るさの有機エレクトロルミネッセンス装置を提供することができる。
また、検査用画素領域は表示領域と完全に分離しているので、検査用画素領域と表示領域とが互いに影響を及ぼし合う虞が無く、したがって、検査用画素領域における定電圧駆動または定電流駆動が表示領域の各画素領域に対して影響を及ぼす虞もなく、表示領域の各画素領域における点灯表示品位を良好に保持することができる。
【００１１】
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置は、前記基板上に、前記画素部を複数個配列し、これらの画素部の外側に前記検査用画素領域を設けてなることを特徴とする。
【００１２】
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置では、基板上に設けられた複数個の画素部の外側に前記検査用画素領域を設けたので、端子を用いて検査用画素領域の各画素領域を定電圧駆動または定電流駆動することにより、インクジェットによる画素部の表示領域における仕上がり状態を、これらの画素部それぞれの画素領域を全面点灯することなく、簡易かつ短時間にて評価することができる。
また、検査用画素領域を複数個の画素部それぞれに対して設ける必要が無いので、インクジェットによる表示領域の仕上がり状態を、複数個の画素部それぞれに対して一括して評価することができる。
【００１３】
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置は、前記検査用画素領域の複数個の画素領域を、前記インクジェットの描画方向に対して垂直方向に配列してなることを特徴とする。
【００１４】
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置では、検査用画素領域の複数個の画素領域を、インクジェットの描画方向に対して垂直方向に配列したので、検査用画素領域の各画素領域の電流−電圧−輝度評価（ＩＶＬ評価）を行うことにより、インクジェットの走査方向に対して垂直方向に発生するインクジェットヘッドのノズル間の吐出量バラツキに起因する発光ムラを定量評価することができる。
【００１５】
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法は、基板上に、複数個の画素領域をインクジェットによりマトリックス状に形成してなる表示領域を備えた画素部と、この画素部を駆動する駆動回路とを備えてなる有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法であって、
前記基板上に、前記表示領域の外側に隣接しかつ該表示領域から独立した複数個の画素領域からなる検査用画素領域を形成するとともに、この検査用画素領域の各画素領域に、定電圧駆動または定電流駆動可能な端子を、前記駆動回路に対して独立して接続し、次いで、前記端子により前記検査用画素領域の各画素領域を定電圧駆動または定電流駆動させて前記検査用画素領域の発光特性を測定し、次いで、この測定結果に基づき前記表示領域における画素領域の発光特性を推定することを特徴とする。
【００１６】
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法では、基板上に、表示領域の外側に隣接しかつ表示領域から独立した複数個の画素領域からなる検査用画素領域を形成するとともに、この検査用画素領域の各画素領域に、定電圧駆動または定電流駆動可能な端子を、駆動回路に対して独立して接続し、次いで、端子により検査用画素領域の各画素領域を定電圧駆動または定電流駆動させて検査用画素領域の発光特性を測定し、次いで、この測定結果に基づき前記表示領域における画素領域の発光特性を推定するので、インクジェットによる表示領域の仕上がり状態を、表示領域の各画素領域を全面点灯することなく、簡易かつ短時間にて評価することができる。
【００１７】
また、検査用画素領域の各画素領域を定電圧駆動または定電流駆動させながら発光輝度を測定することで、検査用画素領域の各画素領域の電流−電圧−輝度評価（ＩＶＬ評価）を定量的に行うことができる。その結果、表示領域における画素領域各々の特性バラツキを速やかに把握することができ、インクジェットによる表示領域の製造工程に速やかにフィードバックすることができ、製造工程における歩留まり及びスループットを向上させることができる。
【００１８】
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法は、前記推定結果に基づき前記表示領域における画素領域の形成条件を最適化することを特徴とする。
【００１９】
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法では、前記推定結果に基づき前記表示領域における画素領域の形成条件を最適化するので、インクジェットによる表示領域の仕上がり状態を、簡易かつ短時間にて最適化することができる。したがって、製造工程における歩留まり及びスループットを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１の実施形態の有機ＥＬ表示装置を示す平面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態の有機ＥＬ表示装置の要部を示す部分拡大平面図である。
【図３】本発明の第１の実施形態の有機ＥＬ表示装置の配線構造を示す図である。
【図４】インクジェット法を用いた液滴吐出装置を示す斜視図である。
【図５】本発明の第１の実施形態の有機ＥＬ表示装置の製造方法を示す過程図である。
【図６】本発明の第２の実施形態の有機ＥＬ表示装置を示す平面図である。
【図７】本発明の第１の実施形態の有機ＥＬ表示装置を備えた電子機器の一例である映像モニタを示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明の有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）装置及びその製造方法を実施するための形態について説明する。
【００２２】
「第１の実施形態」
図１は、本実施形態の有機ＥＬ表示装置を示す平面図、図２は、この有機ＥＬ表示装置の配線構造を示す図、図３は、この有機ＥＬ表示装置の要部を示す部分拡大平面図であり、この有機ＥＬ表示装置１は、スイッチング素子として薄膜トランジスタ（ Thin Film Transistor：ＴＦＴ）を用いたアクティブマトリクス型の有機ＥＬ表示装置である。
【００２３】
この有機ＥＬ表示装置１は、図１に示すように、平面視略矩形状の素子基板２の中央部分に、複数の画素領域３がマトリクス状に配置されて実表示領域４が形成され、この素子基板２上の実表示領域４の外側には、この実表示領域４を囲むように信号線駆動回路５及び一対の走査線駆動回路６が設けられ、これら信号線駆動回路５及び走査線駆動回路６を含む領域がダミー領域７とされ、この素子基板２上のダミー領域７の外側には、陰極用配線８が設けられ、この実表示領域４及びダミー領域７により画素部９が構成されている。
【００２４】
この素子基板２上かつ実表示領域４の外側には、この実表示領域４に隣接しかつ独立した検査用画素領域１１が設けられ、さらに、この検査用画素領域１１の外側には、この検査用画素領域１１に隣接しかつ独立したダミー画素領域１２が設けられている。そして、素子基板２の端部には、配線基板１３が電気的に接続されている。
【００２５】
この有機ＥＬ表示装置１の配線構造は、図２に示すように、複数（図示では５本）の走査線２１と、これらの走査線２１に直交して延びる複数（図示では４本）の信号線２２及び電源線２３とが設けられており、走査線２１及び信号線２２に囲まれた領域が画素領域３に対応している。
これらの画素領域３それぞれには、画素電極となる陽極層３１と、陰極層３２と、これら陽極層３１及び陰極層３２により挟まれた発光層３３とにより有機ＥＬ素子が構成されている。
また、これらの画素領域３それぞれには、陽極層３１をスイッチング制御するためのスイッチング用ＴＦＴ３４、３５と保持容量３６とが設けられている。
【００２６】
この有機ＥＬ表示装置１における画素領域３の配列は、図３に示すＹ軸方向ではＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）各々が同一色となるように配列され、Ｘ軸方向ではＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）がこの順で繰り返されるように配列されている。すなわち、この画素領域３の配列は、一方向（Ｙ軸方向）に直線状に配列された同一色の画素領域３が、他方向（Ｘ軸方向）に所定の間隔をおいて平行に配列されたストライプ型となっている。
この画素領域３におけるＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）各々の色は、画素領域３の発光層に発光材料を、または、画素領域３のエレクトロルミネッセンスを発生する発光層上にカラーフィルタを設けることにより可能である。例えば、発光材料としては、電界の印加によりエレクトロルミネッセンスを発生するＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）各々の有機半導体発光材料が挙げられ、また、エレクトロルミネッセンスを発生する発光層上に設けられるカラーフィルタ材料としては、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）各々の着色材料が挙げられる。
【００２７】
検査用画素領域１１は、図３に示すように、実表示領域４の外側に、この実表示領域４に隣接しかつ実表示領域４から独立した画素領域４１が複数個、この実表示領域４の一つの辺に沿って複数列に配列されている。そして、各画素領域４１には、各画素領域４１を定電圧駆動または定電流駆動可能な端子４２、４３が、スイッチング用ＴＦＴ４４及び配線４５を介して、信号線駆動回路５及び走査線駆動回路６に対して独立に、接続されている。
【００２８】
この画素領域４１の配列は、画素領域３の配列と同様、図３に示すＹ軸方向ではＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）各々が同一色となるように配列され、Ｘ軸方向ではＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）がこの順に配列されている。すなわち、この画素領域４１の配列は、一方向（Ｙ軸方向）に直線状に配列された同一色の画素領域４１が、他方向（Ｘ軸方向）に所定の間隔をおいて平行に配列されたストライプ型となっている。
この画素領域４１におけるＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）各々の色についても、画素領域３と同様、画素領域４１の発光層に発光材料を、または、画素領域４１のエレクトロルミネッセンスを発生する発光層上にカラーフィルタを設けることにより可能である。
【００２９】
この検査用画素領域１１では、画素領域４１の配列方向を、後述する液滴吐出装置６１の液滴吐出ヘッド６６の描画方向（走査方向）（図３中、矢印方向）に対して垂直方向としている。
これにより、検査用画素領域１１の各画素領域４１の電流−電圧−輝度評価（ＩＶＬ評価）を行うことで、液滴吐出ヘッド６６の描画方向に対して垂直方向に発生する液滴吐出ヘッド６６のノズル間の吐出量バラツキに起因する発光ムラを定量評価することが可能である。
【００３０】
ダミー画素領域１２は、検査用画素領域１１の外側に、この検査用画素領域１１に隣接しかつ検査用画素領域１１から独立した画素領域５１が複数個、この検査用画素領域１１の一つの辺に沿って複数列に配列されている。
この画素領域５１の配列も、画素領域４１の配列と同様、図３に示すＹ軸方向ではＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）各々が同一色となるように配列され、Ｘ軸方向ではＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）がこの順に配列されている。すなわち、この画素領域５１の配列においても、画素領域４１の配列と同様、一方向（Ｙ軸方向）に直線状に配列された同一色の画素領域５１が、他方向（Ｘ軸方向）に所定の間隔をおいて平行に配列されたストライプ型となっている。
【００３１】
次に、この有機ＥＬ表示装置１を、インクジェット法により製造する方法について説明する。
ここでは、まず、画素領域３、４１、５１の製造に用いられるインクジェット法を用いた液滴吐出装置について、図４に基づき説明する。
この液滴吐出装置６１は、インクジェット法により素子基板２上の所定領域に液滴を吐出して複数の画素領域３、４１、５１を形成する装置であり、装置架台６２と、ワークステージ６３と、ステージ移動装置６４と、キャリッジ６５と、液滴吐出ヘッド６６と、キャリッジ移動装置６７と、チューブ６８と、第１〜第３タンク６９〜７１と、制御装置７２と、を備えている。
【００３２】
装置架台６２は、ワークステージ６３及びステージ移動装置６４の支持台である。ワークステージ６３は、装置架台６２上においてステージ移動装置６４により主走査方向であるＸ軸方向に移動可能に設置されており、上流側の搬送装置（図示略）から搬送される素子基板２を真空吸着機構によりＸＹ平面上に保持する。
ステージ移動装置６４は、リニアガイド及びボールネジ等の直動機構を備えており、制御装置７２から出力されるワークステージ６３の移動先のＸ座標を示すステージ位置制御信号に基づいて、ワークステージ６３をＸ軸方向に移動させる。
【００３３】
キャリッジ６５は、液滴吐出ヘッド６６を保持しており、キャリッジ移動装置６７により副走査方向であるＹ軸方向及びＺ軸方向に移動可能に設けられている。
液滴吐出ヘッド６６は、複数のノズル（図示略）を備えており、制御装置７２から出力される描画データ信号や駆動信号に基づいて液滴を吐出する。
この液滴吐出ヘッド６６は、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の各液滴に対応した数だけヘッド（図示略）が設けられており、それぞれキャリッジ６５を介してチューブ６８と接続されている。
そして、Ｒ（赤）に対応するヘッドには、チューブ６８を介して第１タンク６９からＲ（赤）のインク（液体）が供給され、Ｇ（緑）に対応するヘッドには、チューブ６８を介して第２タンク７０からＧ（緑）のインク（液体）が供給され、Ｂ（青）に対応するヘッドには、チューブ６８を介して第３タンク７１からＢ（青）のインク（液体）が供給される。
【００３４】
キャリッジ移動装置６７は、装置架台６２をＹ軸方向に沿って跨ぐように設けられた橋梁構造のものであり、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に沿ってリニアガイド及びボールネジ等の直動機構を備え、制御装置７２から出力されるキャリッジ６５の移動先のＹ座標及びＺ座標を示すキャリッジ位置制御信号に基づいてキャリッジ６５をＹ軸方向及びＺ軸方向に移動させる。
【００３５】
チューブ６８は、第１〜第３タンク６９〜７１からキャリッジ６５にＲ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の各インクを供給するための供給用チューブである。
第１タンク６９は、Ｒ（赤）のインクを貯留すると共にチューブ６８を介して液滴吐出ヘッド６６のＲ（赤）に対応するヘッドにＲ（赤）のインクを供給する。また、第２タンク７０は、Ｇ（緑）のインクを貯留すると共にチューブ６８を介して液滴吐出ヘッド６６のＧ（緑）に対応するヘッドにＧ（緑）のインクを供給する。また、第３タンク７１は、Ｂ（青）のインクを貯留すると共にチューブ６８を介して液滴吐出ヘッド６６のＢ（青）に対応するヘッドにＢ（青）のインクを供給する。
【００３６】
制御装置７２は、ワークステージ６３の移動による素子基板２の位置決め動作と、キャリッジ６５の移動による液滴吐出ヘッド６６の位置決め動作と、液滴吐出ヘッド６６による素子基板２上の所定位置にインクを吐出する液滴吐出動作と、を制御する装置である。この制御装置７２では、ステージ移動装置６４にステージ位置制御信号を出力し、キャリッジ移動装置６７にキャリッジ位置制御信号を出力し、液滴吐出ヘッド６６に描画データ及び駆動信号を出力する。
【００３７】
次に、この液滴吐出装置６１を用いて素子基板２上に画素領域３を形成する方法について、図３〜図５に基づき説明する。
ここでは、液滴吐出ヘッド６６から吐出する液滴として、電界の印加によりエレクトロルミネッセンスを発生するＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）各々の有機半導体発光材料を含むインクを用いる。
【００３８】
ここでは、ワークステージ６２上に素子基板２を載置し、この素子基板２の上面と液滴吐出ヘッド６６とを対向させ、素子基板２上の、ダミー画素領域１２の各画素領域５１それぞれに対応する領域に、上述した液滴吐出装置６１を用いてインク８１を吐出し、その後乾燥させ、ダミー画素領域１２の各画素領域５１を形成する。
【００３９】
次いで、図５（ａ）に示すように、素子基板２上の、検査用画素領域１１のＲ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の画素領域４１それぞれに対応する被塗布領域８１ａ〜８１ｃに、上述した液滴吐出装置６１を用いてＲ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）のインクをそれぞれ吐出し、被塗布領域８１ａ〜８１ｃに、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の塗膜８２（Ｒ）、８２（Ｇ）及び８２（Ｂ）を形成する。
【００４０】
次いで、この塗膜８２（Ｒ）、８２（Ｇ）及び８２（Ｂ）を乾燥させる。
これにより、図５（ｂ）に示すように、素子基板２上に、それぞれの被塗布領域８１ａ〜８１ｃにＲ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の画素領域４１（Ｒ）、４１（Ｇ）及び４１（Ｂ）が形成される。よって、画素領域４１（Ｒ）、４１（Ｇ）及び４１（Ｂ）を有する検査用画素領域１１を備えた素子基板８３が得られる。
【００４１】
次いで、この素子基板８３の画素領域４１（Ｒ）、４１（Ｇ）及び４１（Ｂ）の評価を行う。
例えば、検査用画素領域１１の画素領域４１（Ｒ）、４１（Ｇ）及び４１（Ｂ）各々の電流−電圧−輝度評価（ＩＶＬ評価）を行う場合、端子４２、４３間に駆動用電圧を印加してスイッチング用ＴＦＴ４４を「ＯＮ」状態とし、画素領域４１（Ｒ）、４１（Ｇ）及び４１（Ｂ）各々に閾値を超える定電流を流すと、この定電流による再結合により画素領域４１（Ｒ）、４１（Ｇ）及び４１（Ｂ）各々が発光する。この発光における画素領域４１（Ｒ）、４１（Ｇ）及び４１（Ｂ）各々の電流−電圧と発光輝度との関係を求め、この発光輝度の値に基づき画素領域４１（Ｒ）、４１（Ｇ）及び４１（Ｂ）各々の発光特性を評価する。
【００４２】
この発光特性評価は、画素領域４１（Ｒ）、４１（Ｇ）及び４１（Ｂ）各々に対して定量的に行うことができるので、検査用画素領域１１の画素領域４１（Ｒ）、４１（Ｇ）及び４１（Ｂ）各々の電流−電圧−輝度評価（ＩＶＬ評価）を定量的に行うことができる。
これにより、検査用画素領域１１の画素領域４１（Ｒ）、４１（Ｇ）及び４１（Ｂ）各々の定量的な発光特性評価を基に、この液滴吐出装置６１を用いて形成する実表示領域４の複数の画素領域３各々の特性バラツキを速やかに推定し、把握することができる。したがって、インクジェットによる実表示領域４の複数の画素領域３各々の仕上がり状態を、実表示領域４の各画素領域３を全面点灯することなく、簡易かつ短時間にて推定することができる。
【００４３】
次いで、検査用画素領域１１の画素領域４１（Ｒ）、４１（Ｇ）及び４１（Ｂ）各々の定量的な発光特性評価を基に、この液滴吐出装置６１の液滴吐出ヘッド６６の走査速度、液滴吐出ヘッド６６から吐出されるＲ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）のそれぞれのインクの吐出量、塗膜の乾燥条件等を最適化する。
次いで、この最適化された条件の下で、この液滴吐出装置６１を用いて実表示領域４の複数の画素領域３各々を形成する。
これにより、検査用画素領域１１の定量的な発光特性評価を、インクジェットによる実表示領域４の製造工程に速やかにフィードバックすることができ、製造工程における実表示領域４の歩留まり及びスループットを向上させることができる。
【００４４】
また、検査用画素領域１１は実表示領域４と完全に分離しているので、検査用画素領域１１と実表示領域４とが互いに影響を及ぼし合う虞が無く、したがって、検査用画素領域１１における定電圧駆動または定電流駆動が実表示領域４の各画素領域３に対して影響を及ぼす虞もなく、実表示領域４の各画素領域３における点灯表示品位を良好に保持することができる。
【００４５】
以上説明したように、本実施形態の有機ＥＬ表示装置１によれば、素子基板２上に、実表示領域４の外側に隣接しかつ実表示領域４から独立した複数個の画素領域４１からなる検査用画素領域１１を設け、この検査用画素領域１１の各画素領域４１に、定電圧駆動または定電流駆動可能な端子４２、４３を接続したので、検査用画素領域１１の画素領域４１（Ｒ）、４１（Ｇ）及び４１（Ｂ）各々の電流−電圧−輝度評価（ＩＶＬ評価）を定量的に行うことができる。したがって、この評価に基づき、インクジェットによる実表示領域４の各画素領域３の仕上がり状態を、実表示領域４を全面点灯することなく、簡易かつ短時間にて推定することができる。
【００４６】
また、検査用画素領域１１の各画素領域４１を定電圧駆動または定電流駆動させながら発光輝度を測定することで、検査用画素領域１１の各画素領域４１の電流−電圧−輝度評価（ＩＶＬ評価）を定量的に行うことができる。その結果、実表示領域４における画素領域３各々の特性バラツキを速やかに把握することができ、インクジェットによる実表示領域４の製造工程に速やかにフィードバックすることができ、製造工程における実表示領域４の特性バラツキを歩留まり及びスループットを向上させることができる。したがって、発光特性のバラツキが無く、高画質で、均一な明るさの有機ＥＬ表示装置を提供することができる。
【００４７】
また、本実施形態の有機ＥＬ表示装置１の製造方法によれば、インクジェットによる実表示領域４の仕上がり状態を、実表示領域４の各画素領域３を全面点灯することなく、簡易かつ短時間にて推定することができる。
また、検査用画素領域１１の各画素領域４１の電流−電圧−輝度評価（ＩＶＬ評価）を定量的に行うことができ、その結果、インクジェットによる実表示領域４の画素領域３各々の特性バラツキを速やかに把握することができる。したがって、インクジェットによる実表示領域４の製造工程に速やかにフィードバックすることで、発光特性にバラツキの無い実表示領域４を作製することができ、製造工程における実表示領域４の歩留まり及びスループットを向上させることができる。
【００４８】
また、推定結果に基づき実表示領域４における画素領域３の形成条件を最適化するので、インクジェットによる表示領域の仕上がり状態を、簡易かつ短時間にて最適化することができる。したがって、製造工程における歩留まり及びスループットを向上させることができる。
【００４９】
また、検査用画素領域１１の画素領域４１の配列方向を、液滴吐出装置６１の液滴吐出ヘッド６６の描画方向（走査方向）に対して垂直方向としたので、検査用画素領域１１の各画素領域４１の電流−電圧−輝度評価（ＩＶＬ評価）を行うことで、液滴吐出ヘッド６６の描画方向（走査方向）に対して垂直方向に発生する液滴吐出ヘッド６６のノズル間の吐出量バラツキに起因する実表示領域４における画素領域３の発光ムラを定量評価することができる。
【００５０】
なお、本実施形態の有機ＥＬ表示装置１では、インクジェットにより実表示領域４の画素領域３各々を作製する場合について説明したが、インクジェットに限ることなく、例えば、低分子材料を用いた蒸着プロセスに対しても適用可能である。この場合においても、検査用画素領域１１の各画素領域４１の発光特性を定量的に評価することで、低分子材料を用いた蒸着プロセスにおける実表示領域４の画素領域３の形成条件を最適化することができる。
【００５１】
「第２の実施形態」
図６は、本発明の第２の実施形態の有機ＥＬ表示装置を示す平面図であり、本実施形態の有機ＥＬ表示装置９１が第１の実施形態の有機ＥＬ表示装置１と異なる点は、大型の素子基板９２上に、実表示領域４及び、信号線駆動回路５及び走査線駆動回路６を含むダミー領域７により構成された画素部９が複数（図６では２個）配列され、この大型の素子基板９２上かつ画素部９、９の外側に、これらの画素部９、９に隣接しかつ独立した検査用画素領域１１が設けられた点であり、これ以外の点については第１の実施形態の有機ＥＬ表示装置１と全く同様である。
【００５２】
本実施形態の有機ＥＬ表示装置９１においても、第１の実施形態の有機ＥＬ表示装置１と同様の作用、効果を奏することができる。
また、検査用画素領域１１の画素領域４１の配列方向を、液滴吐出装置６１の液滴吐出ヘッド６６の描画方向（走査方向）に対して垂直方向としたので、検査用画素領域１１の各画素領域４１の電流−電圧−輝度評価（ＩＶＬ評価）を行うことで、液滴吐出ヘッド６６の描画方向（走査方向）に対して垂直方向に発生する液滴吐出ヘッド６６のノズル間の吐出量バラツキに起因する各画素部９の実表示領域４における画素領域３の発光ムラを定量評価することができる。
【００５３】
また、この大型の素子基板９２上かつ画素部９、９の外側に、これらの画素部９、９に隣接しかつ独立した検査用画素領域１１を設けたので、インクジェットによる画素部９、９各々の画素領域３の仕上がり状態を、画素部９、９それぞれの画素領域３を全面点灯することなく、簡易かつ短時間にて推定することができる。
また、検査用画素領域１１を画素部９、９それぞれに対して設ける必要が無いので、インクジェットによる画素部９、９各々の実表示領域４の仕上がり状態を、一括して評価することができる。
【００５４】
「電子機器」
図７は、本発明の第１の実施形態の有機ＥＬ表示装置を備えた電子機器の一例である映像モニタを示す斜視図である。
この映像モニタ１２００は、有機ＥＬ表示装置１を備えた表示部１２０１と、筐体１２０２と、スピーカ１２０３等を備えている。
この映像モニタ１２００は、表示部１２０１に有機ＥＬ表示装置１を備えているので、表示部１２０１の発光特性のバラツキが無く、したがって、高画質で、均一な明るさの表示が可能である。
【符号の説明】
【００５５】
１…有機ＥＬ表示装置、２…素子基板、３…画素領域、４…実表示領域、５…信号線駆動回路、６…走査線駆動回路、９…画素部、１１…検査用画素領域、４１、４１（Ｒ）、４１（Ｇ）、４１（Ｂ）…画素領域、４２、４３…端子、６１…液滴吐出装置、６６…液滴
吐出ヘッド、８３…素子基板、９１…有機ＥＬ表示装置、９２…大型の素子基板。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に、複数個の画素領域をインクジェットによりマトリックス状に形成してなる表示領域を備えた画素部と、この画素部を駆動する駆動回路とを備えてなる有機エレクトロルミネッセンス装置であって、
前記基板上に、前記表示領域の外側に隣接しかつ該表示領域から独立した複数個の画素領域からなる検査用画素領域を設け、この検査用画素領域の各画素領域に、定電圧駆動または定電流駆動可能な端子を、前記駆動回路に対して独立して接続してなることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置。
【請求項２】
前記基板上に、前記画素部を複数個配列し、これらの画素部の外側に、前記検査用画素領域を設けてなることを特徴とする請求項１記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
【請求項３】
前記検査用画素領域の複数個の画素領域を、前記インクジェットの描画方向に対して垂直方向に配列してなることを特徴とする請求項１または２記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
【請求項４】
基板上に、複数個の画素領域をインクジェットによりマトリックス状に形成してなる表示領域を備えた画素部と、この画素部を駆動する駆動回路とを備えてなる有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法であって、
前記基板上に、前記表示領域の外側に隣接しかつ該表示領域から独立した複数個の画素領域からなる検査用画素領域を形成するとともに、この検査用画素領域の各画素領域に、定電圧駆動または定電流駆動可能な端子を、前記駆動回路に対して独立して接続し、
次いで、前記端子により前記検査用画素領域の各画素領域を定電圧駆動または定電流駆動させて前記検査用画素領域の発光特性を測定し、次いで、この測定結果に基づき前記表示領域における画素領域の発光特性を推定することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。
【請求項５】
前記推定結果に基づき前記表示領域における画素領域の形成条件を最適化することを特徴とする請求項４記載の有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。
【請求項１】
基板上に、複数個の画素領域をインクジェットによりマトリックス状に形成してなる表示領域を備えた画素部と、この画素部を駆動する駆動回路とを備えてなる有機エレクトロルミネッセンス装置であって、
前記基板上に、前記表示領域の外側に隣接しかつ該表示領域から独立した複数個の画素領域からなる検査用画素領域を設け、この検査用画素領域の各画素領域に、定電圧駆動または定電流駆動可能な端子を、前記駆動回路に対して独立して接続してなることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置。
【請求項２】
前記基板上に、前記画素部を複数個配列し、これらの画素部の外側に、前記検査用画素領域を設けてなることを特徴とする請求項１記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
【請求項３】
前記検査用画素領域の複数個の画素領域を、前記インクジェットの描画方向に対して垂直方向に配列してなることを特徴とする請求項１または２記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
【請求項４】
基板上に、複数個の画素領域をインクジェットによりマトリックス状に形成してなる表示領域を備えた画素部と、この画素部を駆動する駆動回路とを備えてなる有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法であって、
前記基板上に、前記表示領域の外側に隣接しかつ該表示領域から独立した複数個の画素領域からなる検査用画素領域を形成するとともに、この検査用画素領域の各画素領域に、定電圧駆動または定電流駆動可能な端子を、前記駆動回路に対して独立して接続し、
次いで、前記端子により前記検査用画素領域の各画素領域を定電圧駆動または定電流駆動させて前記検査用画素領域の発光特性を測定し、次いで、この測定結果に基づき前記表示領域における画素領域の発光特性を推定することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。
【請求項５】
前記推定結果に基づき前記表示領域における画素領域の形成条件を最適化することを特徴とする請求項４記載の有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２０１１−１８７４０８（Ｐ２０１１−１８７４０８Ａ）
【公開日】平成２３年９月２２日（２０１１．９．２２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−５４３２８（Ｐ２０１０−５４３２８）
【出願日】平成２２年３月１１日（２０１０．３．１１）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年９月２２日（２０１１．９．２２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年３月１１日（２０１０．３．１１）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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