説明

有機発光表示装置及びその製造方法

【課題】簡単な方法でカソードにアイランド状の透過窓を形成できる有機発光表示装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板1と、基板上に形成され、発光する第1領域31と外光が透過される第2領域32とを有する複数のピクセルと、各ピクセルの第1領域に配置された複数の薄膜トランジスタTRと、各ピクセルの第1領域に配置され、各薄膜トランジスタと電気的に連結された複数の第1電極221と、第1電極に対向し、第2領域に対応するアイランド状の透過窓224を複数個有する第2電極222と、第1電極と第2電極との間に介在された有機膜223と、を備える。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、有機発光表示装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
有機発光表示装置は、視野角、コントラスト、応答速度、消費電力の側面で特性が良好であるため、MP3プレイヤや携帯電話のような個人用携帯機器からテレビに至るまで応用範囲が拡大されている。
【0003】
このような有機発光表示装置に対して、装置内部の薄膜トランジスタや有機発光素子を透明な形態に作ることによって、透明表示装置として形成しようとする試みがある。
【0004】
しかし、カソードは通常金属を用いて形成するため、透明表示装置の透過率向上には、限界がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
本発明が解決しようとする課題は、外光の透過度が高い透明な有機発光表示装置及びその製造方法を提供することである。
【0006】
また、本発明が解決しようとする課題は、簡単な方法でカソードにアイランド状の透過窓を形成できる有機発光表示装置及びその製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0007】
前記課題を達成するために、本発明に係る有機発光表示装置は、基板と、前記基板上に形成され、発光する第1領域と外光が透過される第2領域とを有する複数のピクセルと、前記各ピクセルの第1領域に配置された複数の薄膜トランジスタと、前記各ピクセルの第1領域に配置され、前記各薄膜トランジスタと電気的に連結された複数の第1電極と、前記第1電極に対向し、前記第2領域に対応するアイランド状の透過窓を複数個有する第2電極と、前記第1電極と第2電極との間に介在された有機膜と、を備える。
【0008】
前記透過窓は、前記ピクセル別に独立に備えられ得る。
【0009】
前記透過窓は、相互隣接した少なくとも二つのピクセルに対して連結されるように備えられ得る。
【0010】
前記第2電極は、光反射物質で備えられ得る。
【0011】
前記第1電極は、光透過物質で備えられ得る。
【0012】
前記薄膜トランジスタは、前記第1電極に重畳され得る。
【0013】
前記各ピクセルの第1領域は、発光領域と回路領域とを備え、前記薄膜トランジスタは、前記回路領域に配置され、前記第1電極は、前記発光領域に配置され得る。
【0014】
前記各ピクセルの前記発光領域と前記回路領域とは、相互に隣接して配置され得る。
【0015】
また、本発明に係る有機発光表示装置の製造方法は、基板上に発光する第1領域と外光が透過される第2領域とを有する複数のピクセルを区画する工程と、前記各ピクセルの第1領域に複数の薄膜トランジスタを形成する工程と、前記各ピクセルの第1領域に前記各薄膜トランジスタと電気的に連結された複数の第1電極を形成する工程と、前記第1電極上に有機膜を形成する工程と、前記第1領域に対応する開口パターンを有するマスクを利用して、前記有機膜上に前記第2領域に対応するアイランド状の透過窓を複数個有する第2電極を形成する工程と、を含む。
【0016】
前記開口は、互いに一定間隔離隔され得る。
【0017】
前記開口の離隔された間隔は、少なくとも一つのピクセルに対応する距離以下であり得る。
【発明の効果】
【0018】
本発明によれば、外光が透過される第2領域での透過率低下を最大限減らすことができ、これにより、ユーザの外部イメージの観察をより容易にすることができる。
【0019】
また、簡単な方法で第2電極にアイランド状の透過窓を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【0020】
【図1】本発明の一の実施形態に係る有機発光表示装置の概略的な断面図である。
【図2】本発明の一の実施形態に係る有機発光表示装置の概略的な平面図である。
【図3】本発明の他の実施形態による有機発光表示装置の概略的な平面図である。
【図4】本発明の一の実施形態による有機発光表示装置の一ピクセルを示す断面図である。
【図5】透過窓を有する第2電極を形成するためのマスクの一の例を示す平面図である。
【図6A】図5のマスクを利用して第2電極を形成する工程を順次に示す平面図である。
【図6B】図5のマスクを利用して第2電極を形成する工程を順次に示す平面図である。
【図6C】図5のマスクを利用して第2電極を形成する工程を順次に示す平面図である。
【図6D】図5のマスクを利用して第2電極を形成する工程を順次に示す平面図である。
【図7】透過窓を有する第2電極を形成するためのマスクの他の例を示す平面図である。
【図8】透過窓を有する第2電極を形成するためのマスクのさらに他の例を示す平面図である。
【図9】本発明のさらに他の実施形態に係る有機発光表示装置の一ピクセルを示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0021】
以下、添付した図面を参照して、本発明に係る実施形態について詳細に説明する。
【0022】
図1は、本発明の一の実施形態に係る有機発光表示装置を概略的に示した断面図である。
【0023】
図1を参照すれば、本発明の一の実施形態に係る有機発光表示装置は、基板1上にディスプレイ部2が備えられる。
【0024】
このような有機発光表示装置で、外光は、基板1及びディスプレイ部2を透過して入射される。
【0025】
ディスプレイ部2は、外光が透過可能に備えられたものであって、画像が具現される側に位置したユーザが基板1の上部外側のイメージを観察することができるように備えられる。図1に示された本発明に係る実施形態においては、ディスプレイ部2の画像が基板1の方向に具現される背面発光型として示されているが、本発明は、必ずしもこれに限定されず、ディスプレイ部2の画像が基板1の反対方向に具現される前面発光型にも同様に適用できる。
【0026】
図1は、本発明に係る有機発光表示装置の相互隣接した二つのピクセルである第1ピクセルP1と第2ピクセルP2とを示したものである。
【0027】
各ピクセルP1、P2は、第1領域31と第2領域32とを備えている。
【0028】
第1領域31を通じて、ディスプレイ部2から画像が具現され、第2領域32を通じて、外光が透過される。
【0029】
すなわち、本発明に係る実施形態は、各ピクセルP1、P2がいずれも画像を具現する第1領域31と外光が透過される第2領域32とが備えられ、ユーザは、イメージを見ない時は、外部イメージを見ることができる。
【0030】
この時、第2領域32には、薄膜トランジスタ、キャパシタ、有機発光素子などの素子を形成しないことによって、外光透過率を極大化でき、透過イメージが薄膜トランジスタ、キャパシタ、有機発光素子などの素子によって干渉されて歪曲が起きることを最大限減らすことができる。
【0031】
図2は、相互隣接した赤色ピクセルP、緑色ピクセルP及び青色ピクセルPを示す平面図である。
【0032】
各赤色ピクセルP、緑色ピクセルP及び青色ピクセルPは、第1領域31に回路領域311と発光領域312とをそれぞれ備える。これらの回路領域311と発光領域312とは、相互隣接して配置される。
【0033】
そして、第1領域31に隣接し、外光を透過する第2領域32が配置される。
【0034】
第2領域32は、図2に示したように、各ピクセルP、P、P別に独立して備えられることもあり、図3に示したように、各ピクセルP、P、Pにわたって相互連結されて備えられることもある。図3に示す本発明に係る他の実施形態の場合、外光が透過される第2領域32の面積が広くなるため、ディスプレイ部2の全体の透過率を高めることができる。
【0035】
図3では、赤色ピクセルP、緑色ピクセルP及び青色ピクセルPの第2領域32がいずれも連結されたものを示したが、本発明は、必ずしもこれに限定されず、赤色ピクセルP、緑色ピクセルP及び青色ピクセルPのうち相互隣接したいずれか二つのピクセルの第2領域のみが相互連結されるように備えられることもある。
【0036】
図4は、図2及び図3に示されたピクセルP、P、Pのうちいずれか一つのピクセルの断面を示した図面である。
【0037】
図4に示したように、回路領域311には、薄膜トランジスタTRが配置されるが、必ずしも一つの薄膜トランジスタTRが配置されるわけではなく、この薄膜トランジスタTRを備えるピクセル回路が備えられうる。このピクセル回路には、薄膜トランジスタTR以外にも、複数の薄膜トランジスタ及びストレージキャパシタがさらに備えられてもよく、これらと連結されたスキャンライン、データライン及びVddラインなどの配線がさらに備えられてもよい。
【0038】
発光領域312には、発光素子である有機発光素子ELが配される。この有機発光素子ELは、ピクセル回路の薄膜トランジスタTRと電気的に連結されている。
【0039】
基板1上には、バッファ膜211が形成され、バッファ膜211上に薄膜トランジスタTRを備えるピクセル回路が形成される。
【0040】
まず、バッファ膜211上には、半導体活性層212が形成される。
【0041】
バッファ膜211は、透明な絶縁物で形成されるが、不純物元素の浸透を防止し、表面を平坦化する役割を行うものであって、このような役割を行うことができる多様な物質で形成されうる。一例として、バッファ膜211は、酸化シリコン、窒化シリコン、酸窒化シリコン、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化チタンまたは窒化チタンなどの無機物や、ポリイミド、ポリエステル、アクリルなどの有機物またはこれらの積層体で形成されうる。バッファ膜211は、必須の構成要素ではなく、必要に応じて省略することができる。
【0042】
半導体活性層212は、多結晶シリコンで形成されうるが、必ずしもこれに限定されず、酸化物半導体で形成されうる。例えば、G−I−Z−O層[(In)a(Ga)b(ZnO)c層](a、b、cは、それぞれa≧0、b≧0、c>0の条件を満足させる実数)でありうる。このように、半導体活性層212を酸化物半導体で形成する場合には、第1領域31の回路領域311での透光度がさらに高まり、これにより、ディスプレイ部2の全体の外光透過度を上昇させることができる。
【0043】
半導体活性層212を覆うように、ゲート絶縁膜213がバッファ膜211上に形成され、ゲート絶縁膜213上にゲート電極214が形成される。
【0044】
ゲート電極214を覆うように、ゲート絶縁膜213上に層間絶縁膜215が形成され、この層間絶縁膜215上にソース電極216とドレイン電極217とが形成され、それぞれ半導体活性層212とコンタクトホールを通じて接続される。
【0045】
このような薄膜トランジスタTRの構造は、必ずしもこれに限定されず、多様な形態の薄膜トランジスタの構造を適用することができる。
【0046】
薄膜トランジスタTRを覆うように、パッシベーション膜218が形成される。パッシベーション膜218は、上面が平坦化された単一または複数層の絶縁膜で構成しうる。このパッシベーション膜218は、無機物若しくは有機物又はこれら両方によって形成されうる。
【0047】
パッシベーション膜218上には、図4に示すように、薄膜トランジスタTRと電気的に接続された有機発光素子ELの第1電極221が形成される。第1電極221は、すべてのピクセル別に独立したアイランド状に形成される。
【0048】
パッシベーション膜218上には、有機絶縁物若しくは無機絶縁物またはこれらの両方により形成された絶縁膜219が備えられる。
【0049】
絶縁膜219は、第1電極221のエッジを覆い、中央部は、露出させる。この絶縁膜219は、第1領域31を覆うように備えられることができるが、必ずしもこれに限定されず、少なくとも一部、特に、第1電極221のエッジを覆うようにしてもよい。
【0050】
第1電極221上には、有機膜223と第2電極222とが順次積層される。第2電極222は、有機膜223と絶縁膜219とを覆い、すべてのピクセルにわたって相互に電気的に接続される。
【0051】
有機膜223は、低分子または高分子有機膜が使われうる。低分子有機膜を使用する場合、ホール注入層(HIL:Hole Injection Layer)、ホール輸送層(HTL:Hole Transport Layer)、発光層(EML:Emission Layer)、電子輸送層(ETL:Electron Transport Layer)、電子注入層(EIL:Electron Injection Layer)が単一あるいは複合の構造に積層されて形成され、使用可能な有機材料も、銅フタロシアニン(CuPc)、N,N−ジ(ナフタレン−1−イル)−N,N'−ジフェニル−ベンジジン(NPB)、トリス−8−ヒドロキシキノリンアルミニウム(Alq3)をはじめとして多様に適用可能である。これらの低分子有機膜は、真空蒸着により形成されうる。この時、ホール注入層、ホール輸送層、発光層、電子輸送層、及び電子注入層は、共通層として、赤、緑、青色のピクセルに共通に適用されうる。
【0052】
第1電極221は、アノード電極の機能を行い、第2電極222は、カソード電極の機能を行えるが、もちろん、これらの第1電極221及び第2電極222の極性は、相互に逆になってもよい。
【0053】
本発明の一実施形態によれば、第1電極221は、透明電極としもよく、第2電極222は、反射電極としてもよい。第1電極221は、仕事関数が高いITO(Indium Tin Oxide)、IZO(Indium Zinc Oxide)、ZnO、またはInで備えられうる。そして、第2電極222は、仕事関数が小さい金属、すなわち、Ag、Mg、Al、Pt、Pd、Au、Ni、Nd、Ir、Cr、Li、またはCaで形成されうる。したがって、有機発光素子ELは、第1電極221の方向に画像を具現する背面発光型となる。
【0054】
しかし、本発明は、必ずしもこれに限定されず、第2電極222も、透明電極で備えられうる。
【0055】
パッシベーション膜218、ゲート絶縁膜213、層間絶縁膜215及び絶縁膜219は、透明な絶縁膜で形成することが望ましい。
【0056】
第2電極222の上部には、密封基板4が配置されうる。この密封基板4は、ディスプレイ部2の外郭でシーラント(図示せず)によって基板1と接合されて、ディスプレイ部2を外気に対して密封させうる。密封基板4と第2電極222との間の空間には、充填材(図示せず)が充填され、吸湿剤も介在されうる。ディスプレイ部2に対する密封構造は、必ずしも密封基板4を使用することに限定されず、フィルム状の密封構造を適用することもできる。
【0057】
一方、本実施形態において、第2電極222及び絶縁膜219には、透過窓224がさらに形成される。透過窓224は、第2電極222にのみ形成されてもよく、パッシベーション膜218、層間絶縁膜215、ゲート絶縁膜213及びバッファ膜211のうち少なくとも一つに形成されてもよい。
【0058】
この透過窓224は、第2領域32に対応する位置に形成される。透過窓224は、図2及び図3でのアイランドパターンで形成されうる。
【0059】
しかし、第2電極222に形成するアイランドパターンの透過窓224は、その形成が比較的困難である。これは、アイランドパターンの透過窓224の形成のためには、この透過窓224のパターンに対応する遮蔽部を有するマスクを利用して、第2電極222用金属を蒸着しなければならないが、アイランド形状の遮蔽部を有するマスクは、その製造が不可能であるためである。
【0060】
このようなアイランドパターンの透過窓224を有する第2電極222を形成するために、図5に示したようなマスク5を利用する。
【0061】
このマスク5は、特定のピクセルの第1領域31に対応する開口51を有する。図5に示された開口51のパターンは、図3に示されたパターンの透過窓224を形成するためのものであって、相互に隣接した赤、緑、青の三つのピクセルの第1領域31に対応する開口51を有する。開口51のサイズは、一般的に、赤、緑、青の三つのピクセルの第1領域31より若干大きく形成して、第2電極222形成用物質を蒸着する時に、開口51によって蒸着されたパターンが相互重畳することによって、第2電極222を共通電極にさせうる。
【0062】
開口51は、相互に離隔されているが、赤、緑、青の三つのピクセルを一つの単位ピクセルから見た時、横及び縦方向に一単位のピクセル距離以下ほど離隔されている。
【0063】
このマスク5を利用して、有機膜223上に第2電極222形成用金属を蒸着すれば、図6Aに示したようなパターンを得る。
【0064】
この状態でマスク5を側方に一単位ピクセルほどシフトした後に金属を蒸着すれば、図6Bのような状態が得られ、また、マスク5を下側に一単位ピクセルほどシフトした状態で金属を蒸着すれば、図6Cのような状態が得られる。その後、再びマスク5を側方に一単位ピクセルほどシフトした後に金属を蒸着すれば、図6Dのような状態が得られる。すなわち、図6Dに示したように、アイランド状の透過窓224を有する第2電極222が得られる。
【0065】
マスク5の開口51のパターンは、必ずしも図5に示された例に限定されず、図5から見たとき、隣接した4つの開口51の中央にも同じ開口51を形成する場合、マスク5を側方に1回ほどシフトすることによって、図6Dのようなパターンの第2電極222が得られる。
【0066】
図7及び図8は、さらに他の形態のマスク5を示した図面である。
【0067】
透過窓224に対応する領域を中心に、三つのピクセルに当たる第1領域31に対応するように開口51を形成したものである。図7による開口51パターンとしては、マスク5を側方に1回ほどシフトすることによって、図6Dのようなパターンの第2電極222が得られる。もちろん、この場合、各開口51間の間隔が十分であるので、マスク5が引張によっても破損されず、安定的に実施できる。
【0068】
図8は、図7の他の変形例を示した図面であって、開口51の中央部が上下方向に突出することによって、マスク5を側方に一単位ピクセルほどシフトして、蒸着する時に、開口51の突出した部分に重畳して蒸着が起きることによって、第2電極222がディスプレイ部の全体にわたって途絶えずに安定的に連結される構造を有する。
【0069】
以上、前述した本発明に係る実施形態は、図4のように、薄膜トランジスタTRを備える回路部が第1電極221と重畳されない構造にのみに適用されるのではなく、図9に示したように、薄膜トランジスタTRを備える回路部が第1電極221と重畳する構造にも適用され得る。
【0070】
図9のような構造の場合、第1電極221を反射電極として形成すれば、第1電極221によって回路部の導電パターンが覆われる効果が得られるため、外光が回路部の導電パターンによって散乱されて、透過イメージの歪曲が発生することを抑制することができる。
【0071】
本発明は、図面に示された実施形態を参照して説明されたが、実施形態は、例示的なものに過ぎず、当業者であれば、これから多様な変形及び均等な他の実施形態が可能であるということが理解できるであろう。したがって、本発明の真の保護範囲は、特許請求の範囲によって決定されねばならない。
【符号の説明】
【0072】
1 基板、
2 ディスプレイ部、
4 密封基板、
5 マスク、
31 第1領域、
32 第2領域、
51 開口、
211 バッファ膜、
212 半導体活性層、
213 ゲート絶縁膜、
214 ゲート電極、
215 層間絶縁膜、
216 ソース電極、
217 ドレイン電極、
218 パッシベーション膜、
219 絶縁膜、
221 第1電極、
222 第2電極、
223 有機膜、
224 透過窓、
311 回路領域、
312 発光領域。

【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板と、
前記基板上に形成され、発光する第1領域と外光が透過される第2領域とを有する複数のピクセルと、
前記各ピクセルの第1領域に配置された複数の薄膜トランジスタと、
前記各ピクセルの第1領域に配置され、前記各薄膜トランジスタと電気的に連結された複数の第1電極と、
前記第1電極に対向し、前記第2領域に対応するアイランド状の透過窓を複数個有する第2電極と、
前記第1電極と第2電極との間に介在された有機膜と、
を備える有機発光表示装置。
【請求項2】
前記透過窓は、前記ピクセル別に独立に備えられたことを特徴とする請求項1に記載の有機発光表示装置。
【請求項3】
前記透過窓は、相互隣接した少なくとも二つのピクセルに対して連結されるように備えられたことを特徴とする請求項1に記載の有機発光表示装置。
【請求項4】
前記第2電極は、光反射物質で備えられたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の有機発光表示装置。
【請求項5】
前記第1電極は、光透過物質で備えられたことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の有機発光表示装置。
【請求項6】
前記薄膜トランジスタは、前記第1電極に重畳されたことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の有機発光表示装置。
【請求項7】
前記各ピクセルの第1領域は、発光領域と回路領域とを備え、前記薄膜トランジスタは、前記回路領域に配置され、前記第1電極は、前記発光領域に配置されることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の有機発光表示装置。
【請求項8】
前記各ピクセルの前記発光領域と前記回路領域とは、相互に隣接して配置されたことを特徴とする請求項7に記載の有機発光表示装置。
【請求項9】
基板上に発光する第1領域と外光が透過される第2領域とを有する複数のピクセルを区画する工程と、
前記各ピクセルの第1領域に複数の薄膜トランジスタを形成する工程と、
前記各ピクセルの第1領域に前記各薄膜トランジスタと電気的に連結された複数の第1電極を形成する工程と、
前記第1電極上に有機膜を形成する工程と、
前記第1領域に対応する開口パターンを有するマスクを利用して、前記有機膜上に前記第2領域に対応するアイランド状の透過窓を複数個有する第2電極を形成する工程と、
を含む有機発光表示装置の製造方法。
【請求項10】
前記開口は、互いに一定間隔離隔されたことを特徴とする請求項9に記載の有機発光表示装置の製造方法。
【請求項11】
前記開口の離隔された間隔は、少なくとも一つのピクセルに対応する距離以下であることを特徴とする請求項10に記載の有機発光表示装置の製造方法。

【図1】
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【図2】
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【図3】
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【図4】
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【図5】
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【図6A】
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【図6B】
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【図6C】
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【図6D】
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【図7】
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【図8】
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【図9】
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【公開番号】特開2011−187431(P2011−187431A)
【公開日】平成23年9月22日(2011.9.22)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2010−183437(P2010−183437)
【出願日】平成22年8月18日(2010.8.18)
【出願人】(308040351)三星モバイルディスプレイ株式會社 (764)
【氏名又は名称原語表記】Samsung Mobile Display Co., Ltd.
【住所又は居所原語表記】San #24 Nongseo−Dong,Giheung−Gu,Yongin−City,Gyeonggi−Do 446−711 Republic of KOREA
【Fターム(参考)】