有機ＥＬ装置およびその製造方法
【課題】有機ＥＬ素子が形成された基板に当該有機ＥＬ素子を封止する封止缶を接着してなる有機ＥＬ装置において、破壊検査をすることなく、光学的に接着剤厚さを測定し、接着剤厚さを保証する。
【解決手段】基板１０の一面１１のうち接着剤４０が配置されている部位には、光を透過する膜よりなる光透過膜６０が、接着剤４０と基板１０との間に介在して設けられており、光透過膜６０と接着剤４０との屈折率差および光透過膜６０と基板１０との屈折率差を、接着剤４０と基板１０との屈折率差よりも大きいものとすることにより、光透過膜６０の位置では、基板１０の他面１２側から光の照射による接着剤４０の厚さ測定がなされるようにした。
【解決手段】基板１０の一面１１のうち接着剤４０が配置されている部位には、光を透過する膜よりなる光透過膜６０が、接着剤４０と基板１０との間に介在して設けられており、光透過膜６０と接着剤４０との屈折率差および光透過膜６０と基板１０との屈折率差を、接着剤４０と基板１０との屈折率差よりも大きいものとすることにより、光透過膜６０の位置では、基板１０の他面１２側から光の照射による接着剤４０の厚さ測定がなされるようにした。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）素子が形成された基板に当該有機ＥＬ素子を封止する封止缶を接着してなる有機ＥＬ装置およびその製造方法に関し、特に、接着剤の厚さを測定するものにする。
【背景技術】
【０００２】
従来より、この種の有機ＥＬディスプレイ等の有機ＥＬ装置としては、光透過性のガラスなどよりなる基板と、基板の一面上に設けられた有機ＥＬ発光材料を含むＥＬ素子と、基板の一面にてＥＬ素子の外側を取り巻くように配置された光透過性の接着剤と、基板の一面上に接着剤を介して基板に接着された封止缶とを備えたものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
ここで、封止缶は、一般にステンレスなどの光を通さない不透明なドーム状のものよりなり、その周辺部を接着剤にて基板に接着し、接着剤以外の部位すなわち中央部側の部位では基板の一面と離間しつつ、ＥＬ素子を封止するものである。
【０００４】
このような有機ＥＬ装置においては、従来では、基板と封止缶との間に介在する接着剤の厚さを管理することが求められている。これは、接着剤の厚さが、厚すぎると、接着剤から水分が封止缶内部に侵入し、有機ＥＬ素子の輝度低下を招くためである。そこで、従来では、有機ＥＬ装置を切断して、顕微鏡などにより接着剤の厚さを測定するという破壊検査を行い、接着剤の厚さを管理するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−１９８１８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明者は、接着剤の厚さ測定を破壊検査ではなく、より効率の良い光学的に行うことを考え、試作検討を行った。図２１、２２は、従来技術に基づいて試作した試作品としての有機ＥＬ装置を示す図である。
【０００７】
ここで、図２１において、（ａ）は当該有機ＥＬ装置の概略断面図、（ｂ）は同ディスプレイの概略平面図である。また、図２２において、（ａ）は図２１（ｂ）中のＸ−Ｘ概略断面図、（ｂ）は図２１（ｂ）中のＹ−Ｙ概略断面図である。
【０００８】
図２１、２２に示されるように、この有機ＥＬ装置は、基板１０の一面１１上にて、有機ＥＬ発光材料を含むＥＬ素子２０を設けるとともに、ＥＬ素子２０の外側にアクリル樹脂などよりなる接着剤４０（図２１（ｂ）における点ハッチング部分）を配置し、この接着剤４０を介して封止缶５０を接着してＥＬ素子２０を封止している。
【０００９】
ここで、図２１（ｂ）では、ＥＬ素子２０は矩形破線にて示されており、その外側には、一般のものと同様、ＩＴＯ（インジウムチンオキサイド）などの透明材料よりなる引き出し電極３０が設けられている。この引き出し電極３０は、基板１０の一面１１上にてＥＬ素子２０から基板１０の端部まで形成され、ＥＬ素子２０と外部との電気的接続を行うものである。
【００１０】
そのため、一般には、図２１（ｂ）に示されるように、基板１０の一面１１における接着剤４０の配置領域は、引き出し電極３０が存在する領域と、存在しない領域とに分かれる。
【００１１】
ここで、接着剤４０厚さの光学的な測定は、一般的な光学測定方法により行うことを試みた。これは、図２２に示されるように、基板１０の他面１２側からレーザなどの光ａ１を照射することにより、その反射光ａ２、ａ３を検出することにより行うものである。
【００１２】
ここで、引き出し電極３０が存在しない領域では、図２２（ａ）に示されるように、基板１０の他面１２側から光ａ１を照射した場合、その反射光としては、封止缶５０による反射光ａ２と、基板１０の一面１１による反射光ａ３とがある。この場合、基板１０の屈折率と接着剤４０の屈折率とに差があれば、これら両反射光ａ２、ａ３の光量差や位相差を検出することで接着剤４０の厚さが測定できる。
【００１３】
しかし、一般には、基板１０の屈折率（たとえば１．５）と接着剤４０の屈折率（たとえば１．５〜１．６）とが実質同等であるため、基板１０の一面１１による反射光ａ３が非常に小さいものとなり、両反射光ａ２、ａ３の差が検出されず、接着剤４０の厚さ測定が困難になってしまう。
【００１４】
また、図２２（ｂ）に示される引き出し電極３０が存在する領域では、封止缶５０による反射光ａ２と引き出し電極３０（たとえば屈折率：１．７〜２．０）による反射光ａ４とが発生する。
【００１５】
そこで、これら両反射光ａ２、ａ４の差を検出すれば接着剤４０の厚さが測定できると考えられるが、一般には、引き出し電極３０は、幅が非常に細い（例えば幅が１００μｍ以下）ものであり、しかも、引き出し電極３０間には引き出し電極３０が存在しない部分が存在する。
【００１６】
この種の有機ＥＬ装置においては、接着剤４０の厚さを測定するには、微小領域で測定しても、厚さばらつき等を考慮すれば意味がないものであり、ある程度の領域（たとえば１ｍｍ幅以上）で測定することが必要である。
【００１７】
そうすると、引き出し電極３０が存在する領域では、部分的にみれば、引き出し電極３０間の領域すなわち引き出し電極３０が存在しない領域と、存在する領域とが混在するため、全体として反射光にばらつきが生じ、接着剤４０の厚さ測定が安定しない。
【００１８】
いずれにせよ、従来では、この種の有機ＥＬ装置においては、光学的に接着剤厚さを測定することは困難であった。それゆえ、従来では、上記したように破壊検査により、接着剤厚さを測定することとなっていた。
【００１９】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、有機ＥＬ素子が形成された基板に当該有機ＥＬ素子を封止する封止缶を接着してなる有機ＥＬ装置において、破壊検査をすることなく、光学的に接着剤厚さを測定し、接着剤厚さを保証することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
基板および封止缶については、基板および封止缶のいずれか一方が透明の場合、両方が透明の場合があるので、それらを考慮して、以下の発明を創出するに至った。
【００２１】
請求項１に記載の発明では、光を透過する光透過性の基板（１０）と、光を透過しない不透明な封止缶（５０）と、を備える有機ＥＬ装置において、
接着剤（４０）と基板（１０）との界面には、光を透過する膜よりなる光透過膜（６０）が、設けられており、
光透過膜（６０）と接着剤（４０）との屈折率差および光透過膜（６０）と基板（１０）との屈折率差を、接着剤（４０）と基板（１０）との屈折率差よりも大きいものとすることにより、光透過膜（６０）の位置では、基板（１０）の他面（１２）側から光の照射による接着剤（４０）の厚さ測定がなされるようにしたことを特徴としている。
【００２２】
それによれば、基板（１０）の他面（１２）側から照射された光が、光透過膜（６０）と封止缶（５０）とで反射するので、この光透過膜（６０）を接着剤（４０）の配置部位のうち所望の測定領域に設けてやれば、光透過膜（６０）と封止缶（５０）での両反射光に基づいて接着剤（４０）の厚さ測定が可能となる。よって、本発明によれば、破壊検査をすることなく、光学的に接着剤厚さを測定し、接着剤厚さを保証することが可能となる。
【００２３】
請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の発明において、
封止缶（５０）は光を反射しないものであり、
接着剤（４０）と封止缶（５０）との界面には、光を反射する膜よりなる光反射膜（７０）が光透過膜（６０）と対向して設けられていることを特徴としている。
【００２４】
それによれば、不透明な封止缶が反射性を有さない場合でも、光透過膜（６０）と光反射膜（７０）との両反射光に基づいて接着剤（４０）の厚さ測定が可能となる。
【００２５】
また、請求項３に記載の発明では、請求項１に記載の発明において、
封止缶（５０）は光を反射するものであり、
封止缶（５０）のうち光透過膜（６０）と正対する領域の端部には、光を吸収する光吸収膜（６２）が設けられていることを特徴としている。
【００２６】
それによれば、光吸収膜（６２）が設けられている位置では、基板１０の他面１２側から照射した光が光吸収膜（６２）に遮断され、封止缶（５０）による反射光が検出されなくなるので、このような場合には、照射した光が接着剤厚さの測定範囲から外れたことを認識できる。
【００２７】
請求項４に記載の発明では、光を透過する光透過性の基板（１０）と、光を透過する光透過性の封止缶（５０）と、を備える有機ＥＬ装置において、
接着剤（４０）と基板（１０）との界面、および、接着剤（４０）と封止缶（５０）との界面の両界面には、光を透過する膜よりなる光透過膜（６０）が互いに対向して設けられており、
光透過膜（６０）と接着剤（４０）との屈折率差および光透過膜（６０）と基板（１０）との屈折率差を、接着剤（４０）と基板（１０）との屈折率差よりも大きいものとすることにより、光透過膜（６０）の位置では、基板（１０）の他面（１２）側もしくは封止缶（５０）の外側から光の照射による接着剤（４０）の厚さ測定がなされるようにしたことを特徴としている。
【００２８】
それによれば、基板（１０）の他面（１２）側もしくは封止缶（５０）の外側から照射された光が、接着剤（４０）と基板（１０）との界面、および、接着剤（４０）と封止缶（５０）との界面の両界面に設けられた光透過膜（６０）で反射するので、この２つの光透過膜（６０）を接着剤（４０）の配置部位のうち所望の測定領域に設けてやれば、この２つの光透過膜（６０）での両反射光に基づいて接着剤（４０）の厚さ測定が可能となる。よって、本発明によれば、破壊検査をすることなく、光学的に接着剤厚さを測定し、接着剤厚さを保証することが可能となる。
【００２９】
また、請求項５に記載の発明では、請求項４に記載の発明において、
接着剤（４０）と封止缶（５０）との界面に位置する光透過膜（６０）の端部に、光を吸収する光吸収膜または光を反射する光反射膜（６３）が設けられていることを特徴としている。
【００３０】
それによれば、封止缶（５０）の外側から光を照射したとき、光吸収膜または光反射膜（６３）が設けられている位置では、照射した光が光吸収膜または光反射膜（６３）に遮断され、接着剤（４０）と基板（１０）との界面に設けられた光透過膜（６０）による反射光が検出されなくなるので、このような場合には、照射した光が接着剤厚さの測定範囲から外れたことを認識できる。
【００３１】
請求項６に記載の発明では、光を透過する光透過性の基板（１０）と、光を透過する光透過性の封止缶（５０）と、を備える有機ＥＬ装置において、
接着剤（４０）と基板（１０）との界面には、光を透過する膜よりなる光透過膜（６０）が設けられており、
接着剤（４０）と封止缶（５０）との界面には、光を反射する膜よりなる光反射膜（７０）が光透過膜（６０）と対向して設けられており、
光透過膜（６０）と接着剤（４０）との屈折率差および光透過膜（６０）と基板（１０）との屈折率差を、接着剤（４０）と基板（１０）との屈折率差よりも大きいものとすることにより、光透過膜（６０）の位置では、基板（１０）の他面（１２）側から光の照射による接着剤（４０）の厚さ測定がなされるようにしたことを特徴としている。
【００３２】
それによれば、基板（１０）の他面（１２）側から照射された光が、光透過膜（６０）と光反射膜（７０）とで反射するので、この光透過膜（６０）および光反射膜（７０）を接着剤（４０）の配置部位のうち所望の測定領域に設けてやれば、光透過膜（６０）と光反射膜（７０）での両反射光に基づいて接着剤（４０）の厚さ測定が可能となる。よって、本発明によれば、破壊検査をすることなく、光学的に接着剤厚さを測定し、接着剤厚さを保証することが可能となる。
【００３３】
また、請求項７に記載の発明では、請求項６に記載の発明において、接着剤（４０）と封止缶（５０）との界面に位置する光反射膜（７０）の端部に、光を吸収する光吸収膜（６２）が設けられていることを特徴としている。
【００３４】
それによれば、光吸収膜（６２）が設けられている位置では、照射した光が光吸収膜（６２）に遮断され、接着剤（４０）と封止缶（５０）との界面に設けられた光反射膜（７０）による反射光が検出されなくなるので、このような場合には、照射した光が接着剤厚さの測定範囲から外れたことを認識できる。
【００３５】
請求項８に記載の発明では、光を透過しない不透明な基板（１０）と、光を透過する光透過性の封止缶（５０）と、を備える有機ＥＬ装置において、
接着剤（４０）と基板（１０）との界面には、光を反射する膜よりなる光反射膜（７０）が設けられており、
接着剤（４０）と封止缶（５０）との界面には、光を透過する膜よりなる光透過膜（６０）が光反射膜（７０）と対向して設けられており、
光透過膜（６０）と接着剤（４０）との屈折率差および光透過膜（６０）と封止缶（５０）との屈折率差を、接着剤（４０）と封止缶（５０）との屈折率差よりも大きいものとすることにより、光透過膜（６０）の位置では、封止缶（５０）の外側から光の照射による接着剤（４０）の厚さ測定がなされるようにしたことを特徴としている。
【００３６】
それによれば、封止缶（５０）の外側から照射された光が、光透過膜（６０）と光反射膜（７０）とで反射するので、この光透過膜（６０）を接着剤（４０）の配置部位のうち所望の測定領域に設けてやれば、光透過膜（６０）と光反射膜（７０）での両反射光に基づいて接着剤（４０）の厚さ測定が可能となる。よって、本発明によれば、破壊検査をすることなく、光学的に接着剤厚さを測定し、接着剤厚さを保証することが可能となる。
【００３７】
上記した請求項２、６、７、８に記載の発明においては、請求項９に記載の発明のように、光反射膜（７０）は、当該光反射膜（７０）と対向する光透過膜（６０）よりも平面サイズが小さいものであり、光反射膜（７０）の外郭が、厚さ測定の範囲を規定していることが好ましい。
【００３８】
また、請求項１０に記載の発明では、請求項１ないし７のいずれが１つに記載の発明において、ＥＬ素子（２０）は、基板（１０）の一面（１１）側から光透過性材料よりなる第１の電極（２１）、有機ＥＬ材料よりなる発光層（２２）、第２の電極（２３）が積層されてなるものであり、基板（１０）と接着剤（４０）との界面に位置する光透過膜（６０）は、第１の電極（２１）と同様の光透過性材料よりなることを特徴としている。
【００３９】
それによれば、ＥＬ素子（２０）を構成する第１の電極（２１）と光透過膜（６０）とを一括して製造することが可能となり、製造工程の簡略化および材料コストの低減が期待できる。
【００４０】
また、請求項１ないし９のいずれか１つに記載の発明においては、請求項１１に記載の発明のように、光透過膜（６０）が、フォト成膜による絶縁膜よりなる構成を採用できる。
【００４１】
また、請求項１２に記載の発明では、請求項１ないし１１のいずれか１つに記載の発明において、光透過膜（６０）の端部には、光を通さない不透明材料よりなる不透明膜（６１）が配置されていることを特徴としている。
【００４２】
それによれば、光による接着剤厚さの測定時に、光透過膜（６０）を外れた光は遮光されるので、測定範囲が明確になり、好ましい。
【００４３】
また、請求項１３に記載の発明では、請求項１ないし１２のいずれか１つに記載の有機ＥＬ装置において、光透過膜（６０）は、接着剤（４０）の最大厚さの部位に配置されていることを特徴としている。
【００４４】
上述のように、接着剤（４０）の厚さが、厚すぎると、接着剤から水分が封止缶内部に侵入することから、光透過膜（６０）を接着剤（４０）の最大厚さの部位に配置し、当該最大厚さを測定することが好ましい。
【００４５】
また、請求項１４に記載の発明では、請求項１３に記載の発明において、封止缶（５０）は、接着剤（４０）との接触部位が多角形であり、この多角形の角部が接着剤（４０）の最大厚さの部位となっており、当該角部に、光透過膜（６０）が配置されていることを特徴としている。
【００４６】
封止缶（５０）が、接着剤（４０）との接触部位が多角形であって、この多角形の角部が接着剤（４０）の最大厚さの部位となっているものである場合、当該角部に、光透過膜（６０）を配置するものにできる。
【００４７】
また、請求項１５に記載の発明では、請求項１ないし１４のいずれか１つに記載の発明において、光透過膜（６０）は、接着剤（４０）の端部よりも内側に収まって配置されていることを特徴としている。
【００４８】
一般に基板（１０）と接着剤（４０）との接着力に比べて、光透過膜（６０）と接着剤（４０）との接着力は弱く、さらには市場における温度ストレスの影響を受け、接着剤と各基板の線膨張係数差により接着剤と各基板の界面の接着剤端部には大きなせん断応力が発生する。よって、光透過膜（６０）を接着剤（４０）からはみ出さないように接着剤（４０）の内部に収めて、接着剤（４０）の端部を基板（１０）に接着するようにすれば、基板（１０）と封止缶（５０）との剥離を抑制するという点で好ましく、さらに、請求項１６に記載の発明のように、接着剤（４０）の内周側の端部（４０ａ）と光透過膜（６０）との距離（Ｌ１）と、接着剤（４０）の外周側の端部（４０ｂ）と光透過膜（６０）との距離（Ｌ２）とを等距離とすることがより好ましい。
【００４９】
また、請求項１ないし１６のいずれか１つに記載の発明においては、請求項１７に記載の発明のように、厚さ測定の領域の周囲に、厚さ測定の領域を位置決めするアライメントマーク（８０）が設けられていることが好ましい。このアライメントマークを確認することにより、厚さ測定の領域で、接着剤の厚さ測定を確実に行うことができるからである。
【００５０】
請求項１８に記載の発明では、光を透過する光透過性の基板（１０）と、光を透過しない不透明な封止缶（５０）と、を備える有機ＥＬ装置の製造方法において、
接着剤（４０）と基板（１０）との界面に、光を透過する膜よりなる光透過膜（６０）を、設けるとともに、
光透過膜（６０）と接着剤（４０）との屈折率差および光透過膜（６０）と基板（１０）との屈折率差を、接着剤（４０）と基板（１０）との屈折率差よりも大きいものとする屈折率の大小関係を有するものとし、
光透過膜（６０）の位置にて、基板（１０）の他面（１２）側から光の照射を行って、光透過膜（６０）と封止缶（５０）での両反射光に基づいて接着剤（４０）の厚さ測定を行うようにしたことを特徴としている。
【００５１】
請求項１８に記載の発明は、請求項１に記載の発明に対応するものであり、請求項１に記載の発明と同様の効果を奏する。
【００５２】
請求項１９に記載の発明では、光を透過する光透過性の基板（１０）と、光を透過する光透過性の封止缶（５０）と、を備える有機ＥＬ装置の製造方法において、
接着剤（４０）と基板（１０）との界面、および、接着剤（４０）と封止缶（５０）との界面の両界面に、光を透過する膜よりなる光透過膜（６０）を互いに対向して設けるとともに、
光透過膜（６０）と接着剤（４０）との屈折率差および光透過膜（６０）と基板（１０）との屈折率差を、接着剤（４０）と基板（１０）との屈折率差よりも大きいものとし、
光透過膜（６０）の位置にて、基板（１０）の他面（１２）側もしくは封止缶（５０）の外側から光の照射を行って、２つの光透過膜（６０）での両反射光に基づいて接着剤（４０）の厚さ測定を行うようにしたことを特徴としている。
【００５３】
請求項１９に記載の発明は、請求項４に記載の発明に対応するものであり、請求項４に記載の発明と同様の効果を奏する。
【００５４】
請求項２０に記載の発明では、光を透過する光透過性の基板（１０）と、光を透過する光透過性の封止缶（５０）と、を備える有機ＥＬ装置の製造方法において、
接着剤（４０）と基板（１０）との界面に、光を透過する膜よりなる光透過膜（６０）を設け、接着剤（４０）と封止缶（５０）との界面に、光を反射する膜よりなる光反射膜（７０）を光透過膜（６０）と対向して設けるとともに、
光透過膜（６０）と接着剤（４０）との屈折率差および光透過膜（６０）と基板（１０）との屈折率差を、接着剤（４０）と基板（１０）との屈折率差よりも大きいものとし、
光透過膜（６０）の位置にて、基板（１０）の他面（１２）側から光の照射を行って、光透過膜（６０）と光反射膜（７０）での両反射光に基づいて接着剤（４０）の厚さ測定を行うようにしたことを特徴としている。
【００５５】
請求項２０に記載の発明は、請求項６に記載の発明に対応するものであり、請求項６に記載の発明と同様の効果を奏する。
【００５６】
請求項２１に記載の発明では、光を透過しない不透明な基板（１０）と、光を透過する光透過性の封止缶（５０）と、を備える有機ＥＬ装置の製造方法において、
接着剤（４０）と基板（１０）との界面に、光を反射する膜よりなる光反射膜（７０）を設け、接着剤（４０）と封止缶（５０）との界面に、光を透過する膜よりなる光透過膜（６０）を光反射膜（７０）と対向して設けるとともに、
光透過膜（６０）と接着剤（４０）との屈折率差および光透過膜（６０）と封止缶（５０）との屈折率差を、接着剤（４０）と封止缶（５０）との屈折率差よりも大きいものとし、
光透過膜（６０）の位置にて、封止缶（５０）の外側から光の照射を行って、光透過膜（６０）と光反射膜（７０）での両反射光に基づいて接着剤（４０）の厚さ測定を行うようにしたことを特徴としている。
【００５７】
請求項２１に記載の発明は、請求項８に記載の発明に対応するものであり、請求項８に記載の発明と同様の効果を奏する。
【００５８】
なお、特許請求の範囲およびこの欄で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】（ａ）は、本発明の第１実施形態に係る有機ＥＬディスプレイの概略断面図、（ｂ）は同ディスプレイの概略平面図である。
【図２】図１（ｂ）中のＡ−Ａ概略断面図である。
【図３】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、それぞれ図１（ｂ）中のＡ−Ａ断面、Ｂ−Ｂ断面、Ｃ−Ｃ断面における封止缶の形状を示す概略断面図である。
【図４】有機ＥＬ素子の詳細構成を示す概略断面図である。
【図５】不透明膜を含む光透過膜の概略平面図である。
【図６】平面矩形の封止缶の両角部と両角部間に位置する辺部における接着剤厚さの傾向を表す図である。
【図７】第1実施形態の他の例を示す図である。
【図８】（ａ）は第２実施形態に係る有機ＥＬディスプレイの要部の概略断面図であり、（ｂ）は（ａ）中の光吸収膜６２の平面図である。
【図９】第３実施形態に係る有機ＥＬディスプレイの要部の概略断面図である。
【図１０】第３実施形態の他の例を示す図である。
【図１１】第４実施形態に係る有機ＥＬディスプレイの要部の概略断面図である。
【図１２】（ａ）は第５実施形態に係る有機ＥＬディスプレイの要部の概略断面図であり、（ｂ）は（ａ）中の光反射膜６３の平面図である。
【図１３】第６実施形態に係る有機ＥＬディスプレイの要部の概略断面図である。
【図１４】第６実施形態の他の例を示す図である。
【図１５】第７実施形態に係る有機ＥＬディスプレイの要部の概略断面図である。
【図１６】第７実施形態の他の例を示す図である。
【図１７】他の実施形態に係る光透過膜６０、光反射膜７０、不透明膜６１、光反射膜６３、光吸収膜６２の平面図である。
【図１８】他の実施形態に係る光透過膜６０、光反射膜７０、不透明膜６１、光反射膜６３、光吸収膜６２の平面図である。
【図１９】他の実施形態に係る光透過膜６０、光反射膜７０、不透明膜６１、光反射膜６３、光吸収膜６２の平面図である。
【図２０】他の実施形態に係る光透過膜６０、光反射膜７０の平面図である。
【図２１】（ａ）、（ｂ）は従来技術に基づいて試作した試作品としての有機ＥＬディスプレイの概略断面図、概略平面図である。
【図２２】（ａ）は図２１（ｂ）中のＸ−Ｘ概略断面図、（ｂ）は図２１（ｂ）中のＹ−Ｙ概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００６０】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各図および上記図２１、図２２において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。
【００６１】
（第１実施形態）
図１（ａ）は、本発明の第１実施形態に係る有機ＥＬディスプレイの概略断面図、（ｂ）は同ディスプレイの概略平面図である。また、図２は、図１（ｂ）中のＡ−Ａ概略断面図であり、図３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、それぞれ図１（ｂ）中のＡ−Ａ断面、Ｂ−Ｂ断面、Ｃ−Ｃ断面における封止缶５０の形状を示す概略断面図である。なお、図１（ｂ）では、封止缶５０の下部に位置する接着剤４０に点ハッチングを施してある。
【００６２】
図１（ａ）、（ｂ）に示されるように、本ディスプレイは、光を透過する光透過性のガラスなどよりなる基板１０を有する。基板１０は、一方の板面を一面１１、他方の板面を他面１２とする板状をなす。ここで、ガラスとしては、この種のディスプレイにおける一般的なものが採用され、例えばソーダガラスなどが用いられる。
【００６３】
この基板１０の一面１１上には、有機ＥＬ発光材料を含むＥＬ素子としての有機ＥＬ素子２０が設けられている。図１（ｂ）では、有機ＥＬ素子２０は矩形破線にて示されており、その外側には、上記図従１（ｂ）と同様のＩＴＯなどの透明材料よりなる引き出し電極３０が設けられている。
【００６４】
ここで、図４は、この有機ＥＬ素子２０の詳細構成を示す概略断面図である。有機ＥＬ素子２０は、基板１０の一面１１側から光透過性材料よりなる第１の電極２１、有機ＥＬ材料よりなる発光層２２、アルミニウムなどの金属よりなる第２の電極２３が積層されてなる一般的なものである。
【００６５】
ここで、引き出し電極３０は、一般的な構成と同様、第１の電極２１については、第１の電極２１から連続的に引き出されているものであり、第２の電極２３とは図示しない適所にて接続されている。
【００６６】
そして、この有機ＥＬ素子２０においては、実駆動時には、第１の電極２１を陽極、第２の電極２３を陰極として両極２１、２３間に順電圧を印加することにより、発光層２２にて発光がなされ、基板１０の他面１２側に当該発光が取り出されるようになっている。
【００６７】
また、図１に示されるように、基板１０の一面１１にて光透過性の接着剤４０が、有機ＥＬ素子２０の外側を取り巻くように配置されている。この接着剤４０はアクリル樹脂やエポキシ樹脂などよりなる透明なものであり、印刷などによる塗布・硬化により形成されるものである。
【００６８】
そして、封止缶５０は、基板１０の一面１１上にて、接着剤４０を介して基板１０に接着されるとともに、接着剤４０以外の部位では基板１０の一面１１と離間しつつ、有機ＥＬ素子２０を封止している。ここでは、封止缶５０は矩形のドーム状をなし、ドーム部分の端部に接着剤４０と接触する接着面５１を有するものである。
【００６９】
ここでは、封止缶５０は、光を透過しない不透明なものであって、光を反射する金属等よりなる。このような封止缶５０は、ステンレスなどの金属よりなる板材に対して、その周辺部を凹ませるようにプレス加工することにより形成される。
【００７０】
そして、本実施形態では、図１（ｂ）、図２に示されるように、基板１０の一面１１のうち接着剤４０が配置されている部位には、光を透過する膜よりなる光透過膜６０が、接着剤４０と基板１０との間に介在して設けられている。つまり、光透過膜６０は、接着剤４０と基板１０との界面に設けられている。
【００７１】
光透過膜６０は、有機ＥＬ素子２０の第１の電極２１と同様の光透過性材料で構成され、例えばスパッタによるＩＴＯ膜よりなる。これは、有機ＥＬ素子２０を構成する第１の電極２１と光透過膜６０とを、スパッタなどによって一括して製造することが可能となり、製造工程の簡略化および材料コストの低減が期待できるためである。もちろん、光透過膜６０と第１の電極２１とを異種の光透過性材料として、別工程で成膜してもよい。
【００７２】
また、光透過膜６０を他の光透過性材料で構成することもできる。光透過膜６０を、例えば、フォト成膜による絶縁膜よりなるものとすることもできる。フォト成膜とは、スピンコーディング法などによる感光性樹脂材料の塗布およびフォトリソグラフィによるパターン形成を意味し、フォト成膜による絶縁膜としては感光性レジストやポリイミドなどの一般的な感光性樹脂よりなるものが挙げられる。
【００７３】
この光透過膜６０については、光透過膜６０と接着剤４０との屈折率差および光透過膜６０と基板１０との屈折率差を、接着剤４０と基板１０との屈折率差よりも大きいものとしている。例えば、基板１０、接着剤４０、光透過膜６０の屈折率はそれぞれ、１．５、１．５〜１．６、１．７〜２．０である。
【００７４】
このような屈折率の大小関係により、本実施形態では、光透過膜６０の位置で、基板１０の他面１２側からの光の照射による接着剤４０の厚さ測定がなされるようにしている。具体的には、図２に示されるように、基板１０の他面１２側からレーザなどの光ａ１を照射した場合、基板１０と接着剤４０とでは屈折率が実質均等であるため、主たる反射光としては、封止缶５０による反射光ａ２と、光透過膜６０による反射光ａ５とが検出される。光透過膜６０による反射光ａ５は、光透過膜６０と接着剤４０との界面、光透過膜６０と基板１０との界面の少なくとも一方での反射光である。そして、これら両反射光ａ２、ａ５の光量差と位相差の少なくとも一方を検出することで接着剤４０の厚さが測定できる。
【００７５】
なお、光透過膜６０は、反射光ａ５が検出できるように、光透過膜６０と接着剤４０との屈折率差および光透過膜６０と基板１０との屈折率差が、接着剤４０と基板１０との屈折率差よりも大きいものであればよく、上記した材料例に限定されるものではない。
【００７６】
ここで、図２に示されるように、光透過膜６０の端部には、光を通さない不透明材料よりなる不透明膜６１が配置されている。図５は、この不透明膜６１を含む光透過膜６０の概略平面図である。
【００７７】
光透過膜６０は、接着剤厚さ測定に十分な平面サイズを有するものであり、ここでは、図５に示されるように、例えば一辺が１ｍｍ以上のサイズを有する矩形の膜である。そして、この不透明膜６１は、この光透過膜６０の端部上に、例えばアルミニウムなどの金属膜を蒸着やスパッタなどにより成膜したものであり、光透過膜６０の外周全域に沿った形状、すなわち、四角形の環状となっている。
【００７８】
これによれば、光による接着剤厚さの測定時に、光透過膜６０を外れた光と光透過膜６０に当たる光とは、不透明膜６１による遮光部分の存在により、光学的に明確に区別される。そのため、光透過膜６０による接着剤厚さの測定範囲が明確になる。なお、このような効果を奏するため、不透明膜６１を設けることが望ましいが、場合によっては省略してもよい。
【００７９】
また、図１（ｂ）に示されるように、接着剤４０は基板１０の一面１１上において環状に配置されているが、光透過膜６０は、接着剤４０の最大厚さの部位に配置されていることが望ましい。
【００８０】
上述したが、接着剤４０の厚さが、厚すぎると、接着剤４０から水分が封止缶５０内部に侵入して有機ＥＬ素子２０にダメージを与える可能性がある。このことから、光透過膜６０を接着剤４０の最大厚さの部位に配置し、当該最大厚さを測定することが好ましい。
【００８１】
ここでは、図１（ｂ）に示されるように、封止缶５０は、接着剤４０との接触部位が矩形であり、この矩形の角部（四隅部）が接着剤４０の最大厚さの部位となっており、当該角部に、光透過膜６０が配置されている。
【００８２】
これは、図３（ａ）〜（ｃ）に示されるように、矩形などの平面多角形の封止缶５０について、プレス加工によって周辺部を凹ませてドーム形状とする場合、角部の凹み５０ａは辺部の凹み５０ａに比べて小さくなるものが一般的であり、その結果として角部では辺部に比べて接着剤４０の厚さが大きくなるためである。
【００８３】
なお、封止缶が平板の場合や、封止缶における凹みがプレス加工ではなくエッチング等の加工により形成されている場合であっても、接着剤をディスペンス塗布した場合などに角部の接着材量が相対的に多いことにより、角部の接着剤厚さが大きくなる場合がある。
【００８４】
図６は、本発明者の測定に基づいて、平面矩形の封止缶５０の両角部と両角部間に位置する辺部における接着剤厚さの傾向を表す図である。このように、封止缶５０における接着剤４０との接触部位が矩形の場合、その角部にて接着剤厚さが最大となりやすい。
【００８５】
ここで、図７は本実施形態の他の例を示す図である。例えば封止缶５０における接着剤４０との接触部位が矩形ではなく、六角形の場合には、その六角形に対応した六角形状に接着剤４０が配置される。この場合も、やはり封止缶５０のプレス加工に起因して角部における接着剤厚さが最大となるため、その角部に光透過膜６０を配置することが望ましい。もちろん、当該封止缶５０の多角形としては、上記図以外の三角形、五角形等の場合も同様である。
【００８６】
また、図２に示されるように、光透過膜６０は、接着剤４０の端部よりも内側に収まって配置されていることが望ましい。ここでは、環状に配置された接着剤４０の内周側の端部と外周側の端部との間に光透過膜６０が収まっている。これは、一般に基板１０と接着剤４０との接着力に比べて、光透過膜６０と接着剤４０との接着力は弱いことによる。
【００８７】
そこで、光透過膜６０を接着剤４０からはみ出さないように接着剤４０の内部に収めて、接着剤４０の端部を基板１０に接着するようにすれば、基板１０と封止缶５０との剥離を抑制するという効果が期待できる。もちろん、光透過膜６０と接着剤４０との接着力が確保されるならば、光透過膜６０は、接着剤４０の端部から一部はみ出して配置されたものであってもよい。
【００８８】
さらに、光透過膜６０を接着剤４０からはみ出さないように接着剤４０の内部に収める場合では、図２に示すように、接着剤４０の内周側の端部４０ａと光透過膜６０との距離Ｌ１と、接着剤４０の外周側の端部４０ｂと光透過膜６０との距離Ｌ２とが等距離であることが望ましい。
【００８９】
このような有機ＥＬディスプレイは、基板１０の一面１１上に、有機ＥＬ素子２０、引き出し電極３０および光透過膜６０等を、一般的な成膜法により形成した後、接着剤４０の塗布、封止缶５０の取り付け、接着剤４０の硬化を行い、続いて、接着剤４０の厚さ測定を行うことで製造される。
【００９０】
この接着剤４０の厚さ測定については、上記図２を参照して述べたように、光透過膜６０と接着剤４０との屈折率差および光透過膜６０と基板１０との屈折率差を、接着剤４０と基板１０との屈折率差よりも大きいものとする屈折率の大小関係を有するものとし、光透過膜６０の位置にて、基板１０の他面１２側から光の照射を行って、封止缶５０と光透過膜６０での両反射光ａ２、ａ５に基づいて厚さ測定を行うものである。
【００９１】
以上のように、本実施形態によれば、光透過膜６０を接着剤４０の配置部位のうち所望の測定領域に設けてやれば、接着剤４０の厚さ測定が可能となるから、破壊検査をすることなく、光学的に接着剤厚さを測定し、接着剤厚さを保証することが可能となる。
【００９２】
（第２実施形態）
図８（ａ）は、第２実施形態に係る有機ＥＬディスプレイの要部の概略断面構成を示す図であり、図８（ｂ）は図８（ａ）中の光吸収膜６２の平面図である。
【００９３】
本実施形態は、第１実施形態に対して、不透明膜６１の代わりに光吸収膜６２を設けたものであり、その他の構成は第１実施形態と同じである。
【００９４】
図８（ａ）に示すように、光吸収膜６２は、封止缶５０の接着面５１のうち光透過膜６０と正対する領域の端部に設けられている。本実施形態では、光透過膜６０が矩形であるため、図８（ｂ）に示すように、光吸収膜６２は光透過膜６０の外周全域に沿った形状、すなわち、四角形の環状となっている。この光吸収膜６２は、光を吸収する膜であり、例えば、フォト成膜によって成膜した黒色の絶縁膜よりなるものである。
【００９５】
これによれば、接着剤厚さの測定範囲（検査範囲）である光吸収膜６２の内側の領域では、光による接着剤厚さの測定時に、封止缶５０による反射光ａ２と、光透過膜６０による反射光ａ５の２つの反射光が検出されるのに対して、光吸収膜６２が設けられている位置では、基板１０の他面１２側から照射した光ａ１が光吸収膜６２に遮断されるため、封止缶５０による反射光ａ２が検出されなくなる。
【００９６】
したがって、光による接着剤厚さの測定時に、上述の２つの反射光が検出できなくなった場合に、基板１０の他面１２側から照射した光ａ１が接着剤厚さの測定範囲から外れたことがわかる。
【００９７】
（第３実施形態）
図９は、第３実施形態に係る有機ＥＬディスプレイの要部の概略断面構成を示す図である。本実施形態は、第１実施形態に対して、封止缶５０を不透明で光を反射しない金属等からなるものに変更し、さらに、光反射膜７０を追加したものである。なお、図９では、図２中の不透明膜６１が省略されている。
【００９８】
本実施形態では、具体的には、図９に示すように、接着剤４０と封止缶５０との界面に、光を反射する膜よりなる光反射膜７０が光透過膜６０と対向して設けられている。この光反射膜７０は、例えばアルミニウムなどの金属膜を蒸着やスパッタなどにより成膜したものである。なお、図９に示す例では、光透過膜６０と光反射膜７０の両方は、基板表面方向でのサイズ（平面サイズ）がどちらも接着剤厚さの測定範囲（検査範囲）と同じであり、測定範囲のみに配置されている。
【００９９】
これによれば、接着剤４０と封止缶５０との界面に光反射膜７０を設けているので、不透明な封止缶５０が光反射性を有さない場合でも、基板１０の他面１２側から光ａ１を照射すると、光透過膜６０による反射光ａ５と、光反射膜７０による反射光ａ６とを検出できるので、適切に接着剤厚さの測定ができる。
【０１００】
ここで、図１０に図９の変形例を示す。上述した図９に示す例では、光透過膜６０と光反射膜７０の両方を接着剤厚さの測定範囲（検査範囲）と同じ大きさとしたが、図１０に示す例では、光透過膜６０と光反射膜７０のうち光反射膜７０のみを、接着剤厚さの測定範囲（検査範囲）と同じ大きさとし、光透過膜６０を光反射膜７０よりも大きくしている。
【０１０１】
すなわち、図１０に示す例では、光反射膜７０は、光反射膜７０と対向する光透過膜６０よりも平面サイズが小さいものであり、この光反射膜７０の外郭が、接着剤厚さの測定範囲を規定している。
【０１０２】
このように、光反射膜７０の外郭が接着剤厚さの測定範囲を規定していれば、光反射膜７０が配置された領域では、光による接着剤厚さの測定時に、光反射膜７０による反射光ａ６と、光透過膜６０による反射光ａ５の２つの反射光が検出されるのに対して、光反射膜７０よりも外側の位置では、光反射膜７０が無いので、光反射膜７０による反射光ａ６が検出されない。
【０１０３】
したがって、光による接着剤厚さの測定時に、上述の２つの反射光が検出できなくなった場合に、基板１０の他面１２側から照射した光ａ１が接着剤厚さの測定範囲から外れたことがわかる。
【０１０４】
なお、本実施形態においては、光反射膜７０の外郭が接着剤厚さの測定範囲を規定する代わりに、基板１０の他面１２側から照射した光ａ１が接着剤厚さの測定範囲から外れたことがわかるように、図９に示す構造に対して、第１実施形態のように、光透過膜６０の端部に不透明膜６１を設けたり、第２実施形態のように、光反射膜７０の端部に光吸収膜６２を設けたりしても良い。
【０１０５】
（第４実施形態）
図１１は、第４実施形態に係る有機ＥＬディスプレイの要部の概略断面構成を示す図である。本実施形態は、第１実施形態に対して、封止缶５０を、光を通す光透過性のものに変更し、それに伴って光透過膜６０を追加したものである。
【０１０６】
本実施形態では、光透過性の封止缶５０としては、ソーダガラスなどよりなるものが挙げられる。そして、光透過膜６０は、上記第１実施形態と同様に基板１０の一面１１に設けられるが、さらに、本実施形態では、封止缶５０における接着剤４０との接触面にも設けられている。つまり、本実施形態では、接着剤４０と基板１０との第１界面、および、接着剤４０と封止缶５０との第２界面の両界面に、光透過膜６０が互いに対向して設けられている。
【０１０７】
この場合、第１、第２界面の両方の光透過膜６０を、同じ光透過性材料で構成でき、例えばスパッタによるＩＴＯ膜で構成したり、フォト成膜による絶縁膜で構成したりすることができる。なお、第１、第２界面の両方の光透過膜６０を異なる光透過性材料で構成しても良い。例えば、一方をスパッタによるＩＴＯ膜で構成し、他方をフォト成膜による絶縁膜で構成しても良い。
【０１０８】
この場合の接着剤厚さ測定は、次のとおりである。図１１に示されるように、基板１０の他面１２側からレーザなどの光ａ１を照射すると、主たる反射光としては、封止缶５０側の光透過膜６０による反射光ａ７と、基板１０の一面１１側の光透過膜６０による反射光ａ５とが検出される。そして、これら両反射光ａ７、ａ５の光量差と位相差の少なくとも一方を検出することで接着剤４０の厚さが測定できる。
【０１０９】
一方、本実施形態では、封止缶５０の外側からも、光学的に接着剤厚さを測定可能である。図１１に示されるように、封止缶５０の外側からレーザなどの光ｂ１を照射すると、主たる反射光としては、基板１０の一面１１側の光透過膜６０による反射光ｂ２と、封止缶５０側の光透過膜６０による反射光ｂ３とが検出される。そして、これら両反射光ｂ２、ｂ３の光量差と位相差の少なくとも一方を検出することで接着剤４０の厚さが測定できる。
【０１１０】
このように、本実施形態によれば、封止缶５０が透明なものであっても、破壊検査をすることなく、光学的に接着剤厚さを測定し、接着剤厚さを保証することが可能となる。
【０１１１】
（第５実施形態）
図１２（ａ）は、第５実施形態に係る有機ＥＬディスプレイの要部の概略断面構成を示す図であり、図１２（ｂ）は図１２（ａ）中の光反射膜６３の平面図である。
【０１１２】
本実施形態は、第４実施形態に対して、光を反射する光反射膜６３を追加したものであり、その他の構成は、第４実施形態と同じである。
【０１１３】
図１２（ａ）に示すように、光反射膜６３は、封止缶５０の界面に位置する光透過膜６０の端部に設けられている。本実施形態では、光透過膜６０が矩形であるため、図１２（ｂ）に示すように、光反射膜６３は、光透過膜６０の外周全域に沿って、四角形の環状となっている。この光反射膜６３は、例えばアルミニウムなどの金属膜を蒸着やスパッタなどにより成膜したものである。
【０１１４】
これによれば、封止缶５０の外側からレーザなどの光ｂ１を照射して接着剤厚さを測定する場合、接着剤厚さの測定範囲（検査範囲）である光反射膜６３の内側の領域では、基板１０の一面１１側の光透過膜６０による反射光ｂ２と、封止缶５０側の光透過膜６０による反射光ｂ３との２つの反射光が検出されるのに対して、光反射膜６３が設けられている位置では、封止缶５０の外側から照射した光ｂ１が光反射膜６３によって遮断されるため、基板１０の一面１１側の光透過膜６０による反射光ｂ２が検出されなくなる。
【０１１５】
したがって、光による接着剤厚さの測定時に、上述の２つの反射光が検出できなくなった場合に、封止缶５０の外側から照射した光ｂ１が接着剤厚さの測定範囲から外れたことがわかる。
【０１１６】
なお、本実施形態においては、光反射膜６３の代わりに、第２実施形態のように光吸収膜を設けても良い。このようにしても、光吸収膜が設けられている位置では、封止缶５０の外側から照射した光ｂ１が光吸収膜によって遮断され、基板１０の一面１１側の光透過膜６０による反射光ｂ２が検出されなくなるので、基板１０の他面１２側から照射した光ａ１が接着剤厚さの測定範囲から外れたことがわかる。
【０１１７】
（第６実施形態）
図１３は、第６実施形態に係る有機ＥＬディスプレイの要部の概略断面構成を示す図である。本実施形態は、第４実施形態に対して、接着剤４０と封止缶５０との第２界面の光透過膜６０を、光を反射する膜よりなる光反射膜７０に変更したものであり、他の構成は、第４実施形態と同じである。
【０１１８】
この光反射膜７０は、例えばアルミニウムなどの金属膜を蒸着やスパッタなどにより成膜したものである。図１３に示す例では、光反射膜７０は、接着剤４０と基板１０との第１界面に設けられた光透過膜６０と対向して設けられており、光透過膜６０と光反射膜７０の両方は、基板表面方向でのサイズ（平面サイズ）がどちらも接着剤厚さの測定範囲（検査範囲）と同じであり、測定範囲のみに配置されている。
【０１１９】
この場合の接着剤厚さ測定は、次のとおりである。図１３に示されるように、基板１０の他面１２側からレーザなどの光ａ１を照射すると、主たる反射光としては、封止缶５０側の光反射膜７０による反射光ａ８と、基板１０の一面１１側の光透過膜６０による反射光ａ５とが検出される。そして、これら両反射光ａ８、ａ５の光量差と位相差の少なくとも一方を検出することで接着剤４０の厚さが測定できる。
【０１２０】
このように、本実施形態によれば、封止缶５０が透明で、封止缶５０と接着剤４０との間に屈折率の差が実質的に無い場合であっても、破壊検査をすることなく、光学的に接着剤厚さを測定し、接着剤厚さを保証することが可能となる。
【０１２１】
ここで、図１４に図１３の変形例を示す。上述した図１３に示す例では、光透過膜６０と光反射膜７０の両方を接着剤厚さの測定範囲（検査範囲）と同じ大きさとしたが、図１４に示す例では、光透過膜６０と光反射膜７０のうち光反射膜７０のみを、接着剤厚さの測定範囲（検査範囲）と同じ大きさとし、光透過膜６０を光反射膜７０よりも大きくしている。
【０１２２】
すなわち、図１４に示す例では、光反射膜７０は、光反射膜７０と対向する光透過膜６０よりも平面サイズが小さいものであり、この光反射膜７０の外郭が、接着剤厚さの測定範囲を規定している。
【０１２３】
このように、少なくとも光反射膜７０の外郭が接着剤厚さの測定範囲を規定していれば、光反射膜７０が配置された領域では、光による接着剤厚さの測定時に、光反射膜７０による反射光ａ８と、光透過膜６０による反射光ａ５の２つの反射光が検出されるのに対して、光反射膜７０よりも外側の位置では、光反射膜７０が無いので、光反射膜７０による反射光ａ８が検出されない。
【０１２４】
したがって、光による接着剤厚さの測定時に、上述の２つの反射光が検出できなくなった場合に、基板１０の他面１２側から照射した光ａ１が接着剤厚さの測定範囲から外れたことがわかる。
【０１２５】
なお、本実施形態においても、光反射膜７０の外郭が接着剤厚さの測定範囲を規定する代わりに、基板１０の他面１２側から照射した光ａ１が接着剤厚さの測定範囲から外れたことがわかるように、図１３に示す構造に対して、第１実施形態のように、光透過膜６０の端部に不透明膜６１を設けたり、第２実施形態のように、光反射膜７０の端部に光吸収膜６２を設けたりしても良い。
【０１２６】
（第７実施形態）
図１５は、第７実施形態に係る有機ＥＬディスプレイの要部の概略断面構成を示す図である。本実施形態は、第１実施形態に対して、封止缶５０を、光を通す光透過性のものに変更し、基板１０を、光を透過しない不透明なものであって、光を反射しないものに変更したものである。
【０１２７】
光透過性の封止缶５０としては、ソーダガラスなどよりなるものが挙げられる。また、不透明な基板１０としては、一般的な不透明な樹脂よりなるものが挙げられる。
【０１２８】
そして、本実施形態では、接着剤４０と基板１０との第１界面には、光を反射する膜よりなる光反射膜７０が設けられており、接着剤４０と封止缶５０との第２界面には、光を透過する膜よりなる光透過膜６０が、光反射膜７０と対向して設けられている。
【０１２９】
光透過膜６０は、第１実施形態で説明したものと同じであり、光反射膜７０は、第３実施液体で説明したものと同じものである。なお、図１５に示す例では、光透過膜６０と光反射膜７０の両方は、基板表面方向でのサイズ（平面サイズ）がどちらも接着剤厚さの測定範囲（検査範囲）と同じであり、測定範囲のみに配置されている。
【０１３０】
この場合の接着剤厚さ測定は、次のとおりである。図１５に示されるように、封止缶５０の外側からレーザなどの光ｂ１を照射すると、主たる反射光としては、基板１０の一面１１側の光反射膜７０による反射光ｂ４と、封止缶５０側の光透過膜６０による反射光ｂ５とが検出される。そして、これら両反射光ｂ４、ｂ５の光量差と位相差の少なくとも一方を検出することで接着剤４０の厚さが測定できる。
【０１３１】
ここで、図１６に図１５の変形例を示す。上述した図１５に示す例では、光透過膜６０と光反射膜７０の両方を接着剤厚さの測定範囲（検査範囲）と同じ大きさとしたが、図１６に示す例では、第６実施形態の図１４に示す例と同様に、光反射膜７０は、光反射膜７０と対向する光透過膜６０よりも平面サイズが小さいものであり、この光反射膜７０の外郭が、接着剤厚さの測定範囲を規定している。
【０１３２】
このように、少なくとも光反射膜７０の外郭が接着剤厚さの測定範囲を規定していれば、光反射膜７０が配置された領域では、光による接着剤厚さの測定時に、光反射膜７０による反射光ｂ４と、光透過膜６０による反射光ｂ５の２つの反射光が検出されるのに対して、光反射膜７０よりも外側の位置では、光反射膜７０が無いので、光反射膜７０による反射光ｂ４が検出されない。
【０１３３】
したがって、光による接着剤厚さの測定時に、上述の２つの反射光が検出できなくなった場合に、封止缶５０の外側から照射した光ｂ１が接着剤厚さの測定範囲から外れたことがわかる。
【０１３４】
なお、本実施形態においても、光反射膜７０の外郭が接着剤厚さの測定範囲を規定する代わりに、封止缶５０の外側から照射した光ｂ１が接着剤厚さの測定範囲から外れたことがわかるように、図１５に示す構造に対して、第１実施形態のように、光透過膜６０の端部に不透明膜６１を設けたり、第２実施形態のように、光反射膜７０の端部に光吸収膜６２を設けたりしても良い。
【０１３５】
（他の実施形態）
（１）上述の各実施形態では、光透過膜６０や光反射膜７０の形状を矩形としていたが、他の形状としても良い。また、光透過膜６０の端部に不透明膜６１（図５参照）や光反射膜６３（図１２（ｂ）参照）を設けたり、封止缶５０のうち光透過膜６０と正対する領域の端部に光吸収膜６２（図８（ｂ）参照）を設けたりする場合では、不透明膜６１、光反射膜６３、光吸収膜６２は、光透過膜６０や光反射膜７０の端部に沿った形状となる。
【０１３６】
ここで、図１７（ａ）〜（ｃ）、図１８（ａ）〜（ｃ）、図１９（ａ）〜（ｃ）に、光透過膜６０、光反射膜７０、不透明膜６１、光反射膜６３、光吸収膜６２の形状例を示す。
【０１３７】
例えば、図１７（ａ）、（ｂ）に示すように、光透過膜６０や光反射膜７０を円形状とすることもできる。この場合、図１７（ａ）、（ｃ）に示すように、不透明膜６１、光反射膜６３、光吸収膜６２の形状を円の環状とすることができる。
【０１３８】
また、図１８（ａ）、（ｂ）に示すように、光透過膜６０や光反射膜７０を十字形状とすることもできる。この場合、図１８（ａ）、（ｃ）に示すように、不透明膜６１、光反射膜６３、光吸収膜６２の形状を十字型の環状とすることができる。
【０１３９】
また、図１９（ａ）、（ｂ）に示すように、光透過膜６０や光反射膜７０をＬ字形状とすることもできる。この場合、図１９（ａ）、（ｃ）に示すように、不透明膜６１、光反射膜６３、光吸収膜６２の形状をＬ字型の環状とすることができる。
【０１４０】
（２）上述の各実施形態において、厚さ測定の領域の周囲に、厚さ測定の領域を位置決めするアライメントマークを設けても良い。図２０に光透過膜６０や光反射膜７０の平面図を示す。具体的には、図２０に示すように、光透過膜６０や光反射膜７０の近傍にアライメントマーク８０を設けても良い。
【０１４１】
これにより、厚さ測定の開始前に、ＣＣＤイメージセンサ等によりアライメントマーク８０を確認することで、光の照射位置がずれていれば、光の照射位置を補正でき、光透過膜６０や光反射膜７０が配置された領域で、接着剤４０の厚さ測定を確実に行うことができる。
【０１４２】
（３）上述の各実施形態では、本発明の有機ＥＬ装置を有機ＥＬディスプレイに適用したが、本発明の有機ＥＬ装置は、照明や光源等の他の有機ＥＬ装置にも適用可能である。
【符号の説明】
【０１４３】
１０ 基板
１１ 基板の一面
１２ 基板の他面
２０ ＥＬ素子
２１ 第1の電極
２２ 発光層
２３ 第２の電極
４０ 接着剤
５０ 封止缶
６０ 光透過膜
６１ 不透明膜
６２ 光吸収膜
６３ 光反射膜
７０ 光反射膜
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）素子が形成された基板に当該有機ＥＬ素子を封止する封止缶を接着してなる有機ＥＬ装置およびその製造方法に関し、特に、接着剤の厚さを測定するものにする。
【背景技術】
【０００２】
従来より、この種の有機ＥＬディスプレイ等の有機ＥＬ装置としては、光透過性のガラスなどよりなる基板と、基板の一面上に設けられた有機ＥＬ発光材料を含むＥＬ素子と、基板の一面にてＥＬ素子の外側を取り巻くように配置された光透過性の接着剤と、基板の一面上に接着剤を介して基板に接着された封止缶とを備えたものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
ここで、封止缶は、一般にステンレスなどの光を通さない不透明なドーム状のものよりなり、その周辺部を接着剤にて基板に接着し、接着剤以外の部位すなわち中央部側の部位では基板の一面と離間しつつ、ＥＬ素子を封止するものである。
【０００４】
このような有機ＥＬ装置においては、従来では、基板と封止缶との間に介在する接着剤の厚さを管理することが求められている。これは、接着剤の厚さが、厚すぎると、接着剤から水分が封止缶内部に侵入し、有機ＥＬ素子の輝度低下を招くためである。そこで、従来では、有機ＥＬ装置を切断して、顕微鏡などにより接着剤の厚さを測定するという破壊検査を行い、接着剤の厚さを管理するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−１９８１８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明者は、接着剤の厚さ測定を破壊検査ではなく、より効率の良い光学的に行うことを考え、試作検討を行った。図２１、２２は、従来技術に基づいて試作した試作品としての有機ＥＬ装置を示す図である。
【０００７】
ここで、図２１において、（ａ）は当該有機ＥＬ装置の概略断面図、（ｂ）は同ディスプレイの概略平面図である。また、図２２において、（ａ）は図２１（ｂ）中のＸ−Ｘ概略断面図、（ｂ）は図２１（ｂ）中のＹ−Ｙ概略断面図である。
【０００８】
図２１、２２に示されるように、この有機ＥＬ装置は、基板１０の一面１１上にて、有機ＥＬ発光材料を含むＥＬ素子２０を設けるとともに、ＥＬ素子２０の外側にアクリル樹脂などよりなる接着剤４０（図２１（ｂ）における点ハッチング部分）を配置し、この接着剤４０を介して封止缶５０を接着してＥＬ素子２０を封止している。
【０００９】
ここで、図２１（ｂ）では、ＥＬ素子２０は矩形破線にて示されており、その外側には、一般のものと同様、ＩＴＯ（インジウムチンオキサイド）などの透明材料よりなる引き出し電極３０が設けられている。この引き出し電極３０は、基板１０の一面１１上にてＥＬ素子２０から基板１０の端部まで形成され、ＥＬ素子２０と外部との電気的接続を行うものである。
【００１０】
そのため、一般には、図２１（ｂ）に示されるように、基板１０の一面１１における接着剤４０の配置領域は、引き出し電極３０が存在する領域と、存在しない領域とに分かれる。
【００１１】
ここで、接着剤４０厚さの光学的な測定は、一般的な光学測定方法により行うことを試みた。これは、図２２に示されるように、基板１０の他面１２側からレーザなどの光ａ１を照射することにより、その反射光ａ２、ａ３を検出することにより行うものである。
【００１２】
ここで、引き出し電極３０が存在しない領域では、図２２（ａ）に示されるように、基板１０の他面１２側から光ａ１を照射した場合、その反射光としては、封止缶５０による反射光ａ２と、基板１０の一面１１による反射光ａ３とがある。この場合、基板１０の屈折率と接着剤４０の屈折率とに差があれば、これら両反射光ａ２、ａ３の光量差や位相差を検出することで接着剤４０の厚さが測定できる。
【００１３】
しかし、一般には、基板１０の屈折率（たとえば１．５）と接着剤４０の屈折率（たとえば１．５〜１．６）とが実質同等であるため、基板１０の一面１１による反射光ａ３が非常に小さいものとなり、両反射光ａ２、ａ３の差が検出されず、接着剤４０の厚さ測定が困難になってしまう。
【００１４】
また、図２２（ｂ）に示される引き出し電極３０が存在する領域では、封止缶５０による反射光ａ２と引き出し電極３０（たとえば屈折率：１．７〜２．０）による反射光ａ４とが発生する。
【００１５】
そこで、これら両反射光ａ２、ａ４の差を検出すれば接着剤４０の厚さが測定できると考えられるが、一般には、引き出し電極３０は、幅が非常に細い（例えば幅が１００μｍ以下）ものであり、しかも、引き出し電極３０間には引き出し電極３０が存在しない部分が存在する。
【００１６】
この種の有機ＥＬ装置においては、接着剤４０の厚さを測定するには、微小領域で測定しても、厚さばらつき等を考慮すれば意味がないものであり、ある程度の領域（たとえば１ｍｍ幅以上）で測定することが必要である。
【００１７】
そうすると、引き出し電極３０が存在する領域では、部分的にみれば、引き出し電極３０間の領域すなわち引き出し電極３０が存在しない領域と、存在する領域とが混在するため、全体として反射光にばらつきが生じ、接着剤４０の厚さ測定が安定しない。
【００１８】
いずれにせよ、従来では、この種の有機ＥＬ装置においては、光学的に接着剤厚さを測定することは困難であった。それゆえ、従来では、上記したように破壊検査により、接着剤厚さを測定することとなっていた。
【００１９】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、有機ＥＬ素子が形成された基板に当該有機ＥＬ素子を封止する封止缶を接着してなる有機ＥＬ装置において、破壊検査をすることなく、光学的に接着剤厚さを測定し、接着剤厚さを保証することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
基板および封止缶については、基板および封止缶のいずれか一方が透明の場合、両方が透明の場合があるので、それらを考慮して、以下の発明を創出するに至った。
【００２１】
請求項１に記載の発明では、光を透過する光透過性の基板（１０）と、光を透過しない不透明な封止缶（５０）と、を備える有機ＥＬ装置において、
接着剤（４０）と基板（１０）との界面には、光を透過する膜よりなる光透過膜（６０）が、設けられており、
光透過膜（６０）と接着剤（４０）との屈折率差および光透過膜（６０）と基板（１０）との屈折率差を、接着剤（４０）と基板（１０）との屈折率差よりも大きいものとすることにより、光透過膜（６０）の位置では、基板（１０）の他面（１２）側から光の照射による接着剤（４０）の厚さ測定がなされるようにしたことを特徴としている。
【００２２】
それによれば、基板（１０）の他面（１２）側から照射された光が、光透過膜（６０）と封止缶（５０）とで反射するので、この光透過膜（６０）を接着剤（４０）の配置部位のうち所望の測定領域に設けてやれば、光透過膜（６０）と封止缶（５０）での両反射光に基づいて接着剤（４０）の厚さ測定が可能となる。よって、本発明によれば、破壊検査をすることなく、光学的に接着剤厚さを測定し、接着剤厚さを保証することが可能となる。
【００２３】
請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の発明において、
封止缶（５０）は光を反射しないものであり、
接着剤（４０）と封止缶（５０）との界面には、光を反射する膜よりなる光反射膜（７０）が光透過膜（６０）と対向して設けられていることを特徴としている。
【００２４】
それによれば、不透明な封止缶が反射性を有さない場合でも、光透過膜（６０）と光反射膜（７０）との両反射光に基づいて接着剤（４０）の厚さ測定が可能となる。
【００２５】
また、請求項３に記載の発明では、請求項１に記載の発明において、
封止缶（５０）は光を反射するものであり、
封止缶（５０）のうち光透過膜（６０）と正対する領域の端部には、光を吸収する光吸収膜（６２）が設けられていることを特徴としている。
【００２６】
それによれば、光吸収膜（６２）が設けられている位置では、基板１０の他面１２側から照射した光が光吸収膜（６２）に遮断され、封止缶（５０）による反射光が検出されなくなるので、このような場合には、照射した光が接着剤厚さの測定範囲から外れたことを認識できる。
【００２７】
請求項４に記載の発明では、光を透過する光透過性の基板（１０）と、光を透過する光透過性の封止缶（５０）と、を備える有機ＥＬ装置において、
接着剤（４０）と基板（１０）との界面、および、接着剤（４０）と封止缶（５０）との界面の両界面には、光を透過する膜よりなる光透過膜（６０）が互いに対向して設けられており、
光透過膜（６０）と接着剤（４０）との屈折率差および光透過膜（６０）と基板（１０）との屈折率差を、接着剤（４０）と基板（１０）との屈折率差よりも大きいものとすることにより、光透過膜（６０）の位置では、基板（１０）の他面（１２）側もしくは封止缶（５０）の外側から光の照射による接着剤（４０）の厚さ測定がなされるようにしたことを特徴としている。
【００２８】
それによれば、基板（１０）の他面（１２）側もしくは封止缶（５０）の外側から照射された光が、接着剤（４０）と基板（１０）との界面、および、接着剤（４０）と封止缶（５０）との界面の両界面に設けられた光透過膜（６０）で反射するので、この２つの光透過膜（６０）を接着剤（４０）の配置部位のうち所望の測定領域に設けてやれば、この２つの光透過膜（６０）での両反射光に基づいて接着剤（４０）の厚さ測定が可能となる。よって、本発明によれば、破壊検査をすることなく、光学的に接着剤厚さを測定し、接着剤厚さを保証することが可能となる。
【００２９】
また、請求項５に記載の発明では、請求項４に記載の発明において、
接着剤（４０）と封止缶（５０）との界面に位置する光透過膜（６０）の端部に、光を吸収する光吸収膜または光を反射する光反射膜（６３）が設けられていることを特徴としている。
【００３０】
それによれば、封止缶（５０）の外側から光を照射したとき、光吸収膜または光反射膜（６３）が設けられている位置では、照射した光が光吸収膜または光反射膜（６３）に遮断され、接着剤（４０）と基板（１０）との界面に設けられた光透過膜（６０）による反射光が検出されなくなるので、このような場合には、照射した光が接着剤厚さの測定範囲から外れたことを認識できる。
【００３１】
請求項６に記載の発明では、光を透過する光透過性の基板（１０）と、光を透過する光透過性の封止缶（５０）と、を備える有機ＥＬ装置において、
接着剤（４０）と基板（１０）との界面には、光を透過する膜よりなる光透過膜（６０）が設けられており、
接着剤（４０）と封止缶（５０）との界面には、光を反射する膜よりなる光反射膜（７０）が光透過膜（６０）と対向して設けられており、
光透過膜（６０）と接着剤（４０）との屈折率差および光透過膜（６０）と基板（１０）との屈折率差を、接着剤（４０）と基板（１０）との屈折率差よりも大きいものとすることにより、光透過膜（６０）の位置では、基板（１０）の他面（１２）側から光の照射による接着剤（４０）の厚さ測定がなされるようにしたことを特徴としている。
【００３２】
それによれば、基板（１０）の他面（１２）側から照射された光が、光透過膜（６０）と光反射膜（７０）とで反射するので、この光透過膜（６０）および光反射膜（７０）を接着剤（４０）の配置部位のうち所望の測定領域に設けてやれば、光透過膜（６０）と光反射膜（７０）での両反射光に基づいて接着剤（４０）の厚さ測定が可能となる。よって、本発明によれば、破壊検査をすることなく、光学的に接着剤厚さを測定し、接着剤厚さを保証することが可能となる。
【００３３】
また、請求項７に記載の発明では、請求項６に記載の発明において、接着剤（４０）と封止缶（５０）との界面に位置する光反射膜（７０）の端部に、光を吸収する光吸収膜（６２）が設けられていることを特徴としている。
【００３４】
それによれば、光吸収膜（６２）が設けられている位置では、照射した光が光吸収膜（６２）に遮断され、接着剤（４０）と封止缶（５０）との界面に設けられた光反射膜（７０）による反射光が検出されなくなるので、このような場合には、照射した光が接着剤厚さの測定範囲から外れたことを認識できる。
【００３５】
請求項８に記載の発明では、光を透過しない不透明な基板（１０）と、光を透過する光透過性の封止缶（５０）と、を備える有機ＥＬ装置において、
接着剤（４０）と基板（１０）との界面には、光を反射する膜よりなる光反射膜（７０）が設けられており、
接着剤（４０）と封止缶（５０）との界面には、光を透過する膜よりなる光透過膜（６０）が光反射膜（７０）と対向して設けられており、
光透過膜（６０）と接着剤（４０）との屈折率差および光透過膜（６０）と封止缶（５０）との屈折率差を、接着剤（４０）と封止缶（５０）との屈折率差よりも大きいものとすることにより、光透過膜（６０）の位置では、封止缶（５０）の外側から光の照射による接着剤（４０）の厚さ測定がなされるようにしたことを特徴としている。
【００３６】
それによれば、封止缶（５０）の外側から照射された光が、光透過膜（６０）と光反射膜（７０）とで反射するので、この光透過膜（６０）を接着剤（４０）の配置部位のうち所望の測定領域に設けてやれば、光透過膜（６０）と光反射膜（７０）での両反射光に基づいて接着剤（４０）の厚さ測定が可能となる。よって、本発明によれば、破壊検査をすることなく、光学的に接着剤厚さを測定し、接着剤厚さを保証することが可能となる。
【００３７】
上記した請求項２、６、７、８に記載の発明においては、請求項９に記載の発明のように、光反射膜（７０）は、当該光反射膜（７０）と対向する光透過膜（６０）よりも平面サイズが小さいものであり、光反射膜（７０）の外郭が、厚さ測定の範囲を規定していることが好ましい。
【００３８】
また、請求項１０に記載の発明では、請求項１ないし７のいずれが１つに記載の発明において、ＥＬ素子（２０）は、基板（１０）の一面（１１）側から光透過性材料よりなる第１の電極（２１）、有機ＥＬ材料よりなる発光層（２２）、第２の電極（２３）が積層されてなるものであり、基板（１０）と接着剤（４０）との界面に位置する光透過膜（６０）は、第１の電極（２１）と同様の光透過性材料よりなることを特徴としている。
【００３９】
それによれば、ＥＬ素子（２０）を構成する第１の電極（２１）と光透過膜（６０）とを一括して製造することが可能となり、製造工程の簡略化および材料コストの低減が期待できる。
【００４０】
また、請求項１ないし９のいずれか１つに記載の発明においては、請求項１１に記載の発明のように、光透過膜（６０）が、フォト成膜による絶縁膜よりなる構成を採用できる。
【００４１】
また、請求項１２に記載の発明では、請求項１ないし１１のいずれか１つに記載の発明において、光透過膜（６０）の端部には、光を通さない不透明材料よりなる不透明膜（６１）が配置されていることを特徴としている。
【００４２】
それによれば、光による接着剤厚さの測定時に、光透過膜（６０）を外れた光は遮光されるので、測定範囲が明確になり、好ましい。
【００４３】
また、請求項１３に記載の発明では、請求項１ないし１２のいずれか１つに記載の有機ＥＬ装置において、光透過膜（６０）は、接着剤（４０）の最大厚さの部位に配置されていることを特徴としている。
【００４４】
上述のように、接着剤（４０）の厚さが、厚すぎると、接着剤から水分が封止缶内部に侵入することから、光透過膜（６０）を接着剤（４０）の最大厚さの部位に配置し、当該最大厚さを測定することが好ましい。
【００４５】
また、請求項１４に記載の発明では、請求項１３に記載の発明において、封止缶（５０）は、接着剤（４０）との接触部位が多角形であり、この多角形の角部が接着剤（４０）の最大厚さの部位となっており、当該角部に、光透過膜（６０）が配置されていることを特徴としている。
【００４６】
封止缶（５０）が、接着剤（４０）との接触部位が多角形であって、この多角形の角部が接着剤（４０）の最大厚さの部位となっているものである場合、当該角部に、光透過膜（６０）を配置するものにできる。
【００４７】
また、請求項１５に記載の発明では、請求項１ないし１４のいずれか１つに記載の発明において、光透過膜（６０）は、接着剤（４０）の端部よりも内側に収まって配置されていることを特徴としている。
【００４８】
一般に基板（１０）と接着剤（４０）との接着力に比べて、光透過膜（６０）と接着剤（４０）との接着力は弱く、さらには市場における温度ストレスの影響を受け、接着剤と各基板の線膨張係数差により接着剤と各基板の界面の接着剤端部には大きなせん断応力が発生する。よって、光透過膜（６０）を接着剤（４０）からはみ出さないように接着剤（４０）の内部に収めて、接着剤（４０）の端部を基板（１０）に接着するようにすれば、基板（１０）と封止缶（５０）との剥離を抑制するという点で好ましく、さらに、請求項１６に記載の発明のように、接着剤（４０）の内周側の端部（４０ａ）と光透過膜（６０）との距離（Ｌ１）と、接着剤（４０）の外周側の端部（４０ｂ）と光透過膜（６０）との距離（Ｌ２）とを等距離とすることがより好ましい。
【００４９】
また、請求項１ないし１６のいずれか１つに記載の発明においては、請求項１７に記載の発明のように、厚さ測定の領域の周囲に、厚さ測定の領域を位置決めするアライメントマーク（８０）が設けられていることが好ましい。このアライメントマークを確認することにより、厚さ測定の領域で、接着剤の厚さ測定を確実に行うことができるからである。
【００５０】
請求項１８に記載の発明では、光を透過する光透過性の基板（１０）と、光を透過しない不透明な封止缶（５０）と、を備える有機ＥＬ装置の製造方法において、
接着剤（４０）と基板（１０）との界面に、光を透過する膜よりなる光透過膜（６０）を、設けるとともに、
光透過膜（６０）と接着剤（４０）との屈折率差および光透過膜（６０）と基板（１０）との屈折率差を、接着剤（４０）と基板（１０）との屈折率差よりも大きいものとする屈折率の大小関係を有するものとし、
光透過膜（６０）の位置にて、基板（１０）の他面（１２）側から光の照射を行って、光透過膜（６０）と封止缶（５０）での両反射光に基づいて接着剤（４０）の厚さ測定を行うようにしたことを特徴としている。
【００５１】
請求項１８に記載の発明は、請求項１に記載の発明に対応するものであり、請求項１に記載の発明と同様の効果を奏する。
【００５２】
請求項１９に記載の発明では、光を透過する光透過性の基板（１０）と、光を透過する光透過性の封止缶（５０）と、を備える有機ＥＬ装置の製造方法において、
接着剤（４０）と基板（１０）との界面、および、接着剤（４０）と封止缶（５０）との界面の両界面に、光を透過する膜よりなる光透過膜（６０）を互いに対向して設けるとともに、
光透過膜（６０）と接着剤（４０）との屈折率差および光透過膜（６０）と基板（１０）との屈折率差を、接着剤（４０）と基板（１０）との屈折率差よりも大きいものとし、
光透過膜（６０）の位置にて、基板（１０）の他面（１２）側もしくは封止缶（５０）の外側から光の照射を行って、２つの光透過膜（６０）での両反射光に基づいて接着剤（４０）の厚さ測定を行うようにしたことを特徴としている。
【００５３】
請求項１９に記載の発明は、請求項４に記載の発明に対応するものであり、請求項４に記載の発明と同様の効果を奏する。
【００５４】
請求項２０に記載の発明では、光を透過する光透過性の基板（１０）と、光を透過する光透過性の封止缶（５０）と、を備える有機ＥＬ装置の製造方法において、
接着剤（４０）と基板（１０）との界面に、光を透過する膜よりなる光透過膜（６０）を設け、接着剤（４０）と封止缶（５０）との界面に、光を反射する膜よりなる光反射膜（７０）を光透過膜（６０）と対向して設けるとともに、
光透過膜（６０）と接着剤（４０）との屈折率差および光透過膜（６０）と基板（１０）との屈折率差を、接着剤（４０）と基板（１０）との屈折率差よりも大きいものとし、
光透過膜（６０）の位置にて、基板（１０）の他面（１２）側から光の照射を行って、光透過膜（６０）と光反射膜（７０）での両反射光に基づいて接着剤（４０）の厚さ測定を行うようにしたことを特徴としている。
【００５５】
請求項２０に記載の発明は、請求項６に記載の発明に対応するものであり、請求項６に記載の発明と同様の効果を奏する。
【００５６】
請求項２１に記載の発明では、光を透過しない不透明な基板（１０）と、光を透過する光透過性の封止缶（５０）と、を備える有機ＥＬ装置の製造方法において、
接着剤（４０）と基板（１０）との界面に、光を反射する膜よりなる光反射膜（７０）を設け、接着剤（４０）と封止缶（５０）との界面に、光を透過する膜よりなる光透過膜（６０）を光反射膜（７０）と対向して設けるとともに、
光透過膜（６０）と接着剤（４０）との屈折率差および光透過膜（６０）と封止缶（５０）との屈折率差を、接着剤（４０）と封止缶（５０）との屈折率差よりも大きいものとし、
光透過膜（６０）の位置にて、封止缶（５０）の外側から光の照射を行って、光透過膜（６０）と光反射膜（７０）での両反射光に基づいて接着剤（４０）の厚さ測定を行うようにしたことを特徴としている。
【００５７】
請求項２１に記載の発明は、請求項８に記載の発明に対応するものであり、請求項８に記載の発明と同様の効果を奏する。
【００５８】
なお、特許請求の範囲およびこの欄で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】（ａ）は、本発明の第１実施形態に係る有機ＥＬディスプレイの概略断面図、（ｂ）は同ディスプレイの概略平面図である。
【図２】図１（ｂ）中のＡ−Ａ概略断面図である。
【図３】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、それぞれ図１（ｂ）中のＡ−Ａ断面、Ｂ−Ｂ断面、Ｃ−Ｃ断面における封止缶の形状を示す概略断面図である。
【図４】有機ＥＬ素子の詳細構成を示す概略断面図である。
【図５】不透明膜を含む光透過膜の概略平面図である。
【図６】平面矩形の封止缶の両角部と両角部間に位置する辺部における接着剤厚さの傾向を表す図である。
【図７】第1実施形態の他の例を示す図である。
【図８】（ａ）は第２実施形態に係る有機ＥＬディスプレイの要部の概略断面図であり、（ｂ）は（ａ）中の光吸収膜６２の平面図である。
【図９】第３実施形態に係る有機ＥＬディスプレイの要部の概略断面図である。
【図１０】第３実施形態の他の例を示す図である。
【図１１】第４実施形態に係る有機ＥＬディスプレイの要部の概略断面図である。
【図１２】（ａ）は第５実施形態に係る有機ＥＬディスプレイの要部の概略断面図であり、（ｂ）は（ａ）中の光反射膜６３の平面図である。
【図１３】第６実施形態に係る有機ＥＬディスプレイの要部の概略断面図である。
【図１４】第６実施形態の他の例を示す図である。
【図１５】第７実施形態に係る有機ＥＬディスプレイの要部の概略断面図である。
【図１６】第７実施形態の他の例を示す図である。
【図１７】他の実施形態に係る光透過膜６０、光反射膜７０、不透明膜６１、光反射膜６３、光吸収膜６２の平面図である。
【図１８】他の実施形態に係る光透過膜６０、光反射膜７０、不透明膜６１、光反射膜６３、光吸収膜６２の平面図である。
【図１９】他の実施形態に係る光透過膜６０、光反射膜７０、不透明膜６１、光反射膜６３、光吸収膜６２の平面図である。
【図２０】他の実施形態に係る光透過膜６０、光反射膜７０の平面図である。
【図２１】（ａ）、（ｂ）は従来技術に基づいて試作した試作品としての有機ＥＬディスプレイの概略断面図、概略平面図である。
【図２２】（ａ）は図２１（ｂ）中のＸ−Ｘ概略断面図、（ｂ）は図２１（ｂ）中のＹ−Ｙ概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００６０】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各図および上記図２１、図２２において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。
【００６１】
（第１実施形態）
図１（ａ）は、本発明の第１実施形態に係る有機ＥＬディスプレイの概略断面図、（ｂ）は同ディスプレイの概略平面図である。また、図２は、図１（ｂ）中のＡ−Ａ概略断面図であり、図３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、それぞれ図１（ｂ）中のＡ−Ａ断面、Ｂ−Ｂ断面、Ｃ−Ｃ断面における封止缶５０の形状を示す概略断面図である。なお、図１（ｂ）では、封止缶５０の下部に位置する接着剤４０に点ハッチングを施してある。
【００６２】
図１（ａ）、（ｂ）に示されるように、本ディスプレイは、光を透過する光透過性のガラスなどよりなる基板１０を有する。基板１０は、一方の板面を一面１１、他方の板面を他面１２とする板状をなす。ここで、ガラスとしては、この種のディスプレイにおける一般的なものが採用され、例えばソーダガラスなどが用いられる。
【００６３】
この基板１０の一面１１上には、有機ＥＬ発光材料を含むＥＬ素子としての有機ＥＬ素子２０が設けられている。図１（ｂ）では、有機ＥＬ素子２０は矩形破線にて示されており、その外側には、上記図従１（ｂ）と同様のＩＴＯなどの透明材料よりなる引き出し電極３０が設けられている。
【００６４】
ここで、図４は、この有機ＥＬ素子２０の詳細構成を示す概略断面図である。有機ＥＬ素子２０は、基板１０の一面１１側から光透過性材料よりなる第１の電極２１、有機ＥＬ材料よりなる発光層２２、アルミニウムなどの金属よりなる第２の電極２３が積層されてなる一般的なものである。
【００６５】
ここで、引き出し電極３０は、一般的な構成と同様、第１の電極２１については、第１の電極２１から連続的に引き出されているものであり、第２の電極２３とは図示しない適所にて接続されている。
【００６６】
そして、この有機ＥＬ素子２０においては、実駆動時には、第１の電極２１を陽極、第２の電極２３を陰極として両極２１、２３間に順電圧を印加することにより、発光層２２にて発光がなされ、基板１０の他面１２側に当該発光が取り出されるようになっている。
【００６７】
また、図１に示されるように、基板１０の一面１１にて光透過性の接着剤４０が、有機ＥＬ素子２０の外側を取り巻くように配置されている。この接着剤４０はアクリル樹脂やエポキシ樹脂などよりなる透明なものであり、印刷などによる塗布・硬化により形成されるものである。
【００６８】
そして、封止缶５０は、基板１０の一面１１上にて、接着剤４０を介して基板１０に接着されるとともに、接着剤４０以外の部位では基板１０の一面１１と離間しつつ、有機ＥＬ素子２０を封止している。ここでは、封止缶５０は矩形のドーム状をなし、ドーム部分の端部に接着剤４０と接触する接着面５１を有するものである。
【００６９】
ここでは、封止缶５０は、光を透過しない不透明なものであって、光を反射する金属等よりなる。このような封止缶５０は、ステンレスなどの金属よりなる板材に対して、その周辺部を凹ませるようにプレス加工することにより形成される。
【００７０】
そして、本実施形態では、図１（ｂ）、図２に示されるように、基板１０の一面１１のうち接着剤４０が配置されている部位には、光を透過する膜よりなる光透過膜６０が、接着剤４０と基板１０との間に介在して設けられている。つまり、光透過膜６０は、接着剤４０と基板１０との界面に設けられている。
【００７１】
光透過膜６０は、有機ＥＬ素子２０の第１の電極２１と同様の光透過性材料で構成され、例えばスパッタによるＩＴＯ膜よりなる。これは、有機ＥＬ素子２０を構成する第１の電極２１と光透過膜６０とを、スパッタなどによって一括して製造することが可能となり、製造工程の簡略化および材料コストの低減が期待できるためである。もちろん、光透過膜６０と第１の電極２１とを異種の光透過性材料として、別工程で成膜してもよい。
【００７２】
また、光透過膜６０を他の光透過性材料で構成することもできる。光透過膜６０を、例えば、フォト成膜による絶縁膜よりなるものとすることもできる。フォト成膜とは、スピンコーディング法などによる感光性樹脂材料の塗布およびフォトリソグラフィによるパターン形成を意味し、フォト成膜による絶縁膜としては感光性レジストやポリイミドなどの一般的な感光性樹脂よりなるものが挙げられる。
【００７３】
この光透過膜６０については、光透過膜６０と接着剤４０との屈折率差および光透過膜６０と基板１０との屈折率差を、接着剤４０と基板１０との屈折率差よりも大きいものとしている。例えば、基板１０、接着剤４０、光透過膜６０の屈折率はそれぞれ、１．５、１．５〜１．６、１．７〜２．０である。
【００７４】
このような屈折率の大小関係により、本実施形態では、光透過膜６０の位置で、基板１０の他面１２側からの光の照射による接着剤４０の厚さ測定がなされるようにしている。具体的には、図２に示されるように、基板１０の他面１２側からレーザなどの光ａ１を照射した場合、基板１０と接着剤４０とでは屈折率が実質均等であるため、主たる反射光としては、封止缶５０による反射光ａ２と、光透過膜６０による反射光ａ５とが検出される。光透過膜６０による反射光ａ５は、光透過膜６０と接着剤４０との界面、光透過膜６０と基板１０との界面の少なくとも一方での反射光である。そして、これら両反射光ａ２、ａ５の光量差と位相差の少なくとも一方を検出することで接着剤４０の厚さが測定できる。
【００７５】
なお、光透過膜６０は、反射光ａ５が検出できるように、光透過膜６０と接着剤４０との屈折率差および光透過膜６０と基板１０との屈折率差が、接着剤４０と基板１０との屈折率差よりも大きいものであればよく、上記した材料例に限定されるものではない。
【００７６】
ここで、図２に示されるように、光透過膜６０の端部には、光を通さない不透明材料よりなる不透明膜６１が配置されている。図５は、この不透明膜６１を含む光透過膜６０の概略平面図である。
【００７７】
光透過膜６０は、接着剤厚さ測定に十分な平面サイズを有するものであり、ここでは、図５に示されるように、例えば一辺が１ｍｍ以上のサイズを有する矩形の膜である。そして、この不透明膜６１は、この光透過膜６０の端部上に、例えばアルミニウムなどの金属膜を蒸着やスパッタなどにより成膜したものであり、光透過膜６０の外周全域に沿った形状、すなわち、四角形の環状となっている。
【００７８】
これによれば、光による接着剤厚さの測定時に、光透過膜６０を外れた光と光透過膜６０に当たる光とは、不透明膜６１による遮光部分の存在により、光学的に明確に区別される。そのため、光透過膜６０による接着剤厚さの測定範囲が明確になる。なお、このような効果を奏するため、不透明膜６１を設けることが望ましいが、場合によっては省略してもよい。
【００７９】
また、図１（ｂ）に示されるように、接着剤４０は基板１０の一面１１上において環状に配置されているが、光透過膜６０は、接着剤４０の最大厚さの部位に配置されていることが望ましい。
【００８０】
上述したが、接着剤４０の厚さが、厚すぎると、接着剤４０から水分が封止缶５０内部に侵入して有機ＥＬ素子２０にダメージを与える可能性がある。このことから、光透過膜６０を接着剤４０の最大厚さの部位に配置し、当該最大厚さを測定することが好ましい。
【００８１】
ここでは、図１（ｂ）に示されるように、封止缶５０は、接着剤４０との接触部位が矩形であり、この矩形の角部（四隅部）が接着剤４０の最大厚さの部位となっており、当該角部に、光透過膜６０が配置されている。
【００８２】
これは、図３（ａ）〜（ｃ）に示されるように、矩形などの平面多角形の封止缶５０について、プレス加工によって周辺部を凹ませてドーム形状とする場合、角部の凹み５０ａは辺部の凹み５０ａに比べて小さくなるものが一般的であり、その結果として角部では辺部に比べて接着剤４０の厚さが大きくなるためである。
【００８３】
なお、封止缶が平板の場合や、封止缶における凹みがプレス加工ではなくエッチング等の加工により形成されている場合であっても、接着剤をディスペンス塗布した場合などに角部の接着材量が相対的に多いことにより、角部の接着剤厚さが大きくなる場合がある。
【００８４】
図６は、本発明者の測定に基づいて、平面矩形の封止缶５０の両角部と両角部間に位置する辺部における接着剤厚さの傾向を表す図である。このように、封止缶５０における接着剤４０との接触部位が矩形の場合、その角部にて接着剤厚さが最大となりやすい。
【００８５】
ここで、図７は本実施形態の他の例を示す図である。例えば封止缶５０における接着剤４０との接触部位が矩形ではなく、六角形の場合には、その六角形に対応した六角形状に接着剤４０が配置される。この場合も、やはり封止缶５０のプレス加工に起因して角部における接着剤厚さが最大となるため、その角部に光透過膜６０を配置することが望ましい。もちろん、当該封止缶５０の多角形としては、上記図以外の三角形、五角形等の場合も同様である。
【００８６】
また、図２に示されるように、光透過膜６０は、接着剤４０の端部よりも内側に収まって配置されていることが望ましい。ここでは、環状に配置された接着剤４０の内周側の端部と外周側の端部との間に光透過膜６０が収まっている。これは、一般に基板１０と接着剤４０との接着力に比べて、光透過膜６０と接着剤４０との接着力は弱いことによる。
【００８７】
そこで、光透過膜６０を接着剤４０からはみ出さないように接着剤４０の内部に収めて、接着剤４０の端部を基板１０に接着するようにすれば、基板１０と封止缶５０との剥離を抑制するという効果が期待できる。もちろん、光透過膜６０と接着剤４０との接着力が確保されるならば、光透過膜６０は、接着剤４０の端部から一部はみ出して配置されたものであってもよい。
【００８８】
さらに、光透過膜６０を接着剤４０からはみ出さないように接着剤４０の内部に収める場合では、図２に示すように、接着剤４０の内周側の端部４０ａと光透過膜６０との距離Ｌ１と、接着剤４０の外周側の端部４０ｂと光透過膜６０との距離Ｌ２とが等距離であることが望ましい。
【００８９】
このような有機ＥＬディスプレイは、基板１０の一面１１上に、有機ＥＬ素子２０、引き出し電極３０および光透過膜６０等を、一般的な成膜法により形成した後、接着剤４０の塗布、封止缶５０の取り付け、接着剤４０の硬化を行い、続いて、接着剤４０の厚さ測定を行うことで製造される。
【００９０】
この接着剤４０の厚さ測定については、上記図２を参照して述べたように、光透過膜６０と接着剤４０との屈折率差および光透過膜６０と基板１０との屈折率差を、接着剤４０と基板１０との屈折率差よりも大きいものとする屈折率の大小関係を有するものとし、光透過膜６０の位置にて、基板１０の他面１２側から光の照射を行って、封止缶５０と光透過膜６０での両反射光ａ２、ａ５に基づいて厚さ測定を行うものである。
【００９１】
以上のように、本実施形態によれば、光透過膜６０を接着剤４０の配置部位のうち所望の測定領域に設けてやれば、接着剤４０の厚さ測定が可能となるから、破壊検査をすることなく、光学的に接着剤厚さを測定し、接着剤厚さを保証することが可能となる。
【００９２】
（第２実施形態）
図８（ａ）は、第２実施形態に係る有機ＥＬディスプレイの要部の概略断面構成を示す図であり、図８（ｂ）は図８（ａ）中の光吸収膜６２の平面図である。
【００９３】
本実施形態は、第１実施形態に対して、不透明膜６１の代わりに光吸収膜６２を設けたものであり、その他の構成は第１実施形態と同じである。
【００９４】
図８（ａ）に示すように、光吸収膜６２は、封止缶５０の接着面５１のうち光透過膜６０と正対する領域の端部に設けられている。本実施形態では、光透過膜６０が矩形であるため、図８（ｂ）に示すように、光吸収膜６２は光透過膜６０の外周全域に沿った形状、すなわち、四角形の環状となっている。この光吸収膜６２は、光を吸収する膜であり、例えば、フォト成膜によって成膜した黒色の絶縁膜よりなるものである。
【００９５】
これによれば、接着剤厚さの測定範囲（検査範囲）である光吸収膜６２の内側の領域では、光による接着剤厚さの測定時に、封止缶５０による反射光ａ２と、光透過膜６０による反射光ａ５の２つの反射光が検出されるのに対して、光吸収膜６２が設けられている位置では、基板１０の他面１２側から照射した光ａ１が光吸収膜６２に遮断されるため、封止缶５０による反射光ａ２が検出されなくなる。
【００９６】
したがって、光による接着剤厚さの測定時に、上述の２つの反射光が検出できなくなった場合に、基板１０の他面１２側から照射した光ａ１が接着剤厚さの測定範囲から外れたことがわかる。
【００９７】
（第３実施形態）
図９は、第３実施形態に係る有機ＥＬディスプレイの要部の概略断面構成を示す図である。本実施形態は、第１実施形態に対して、封止缶５０を不透明で光を反射しない金属等からなるものに変更し、さらに、光反射膜７０を追加したものである。なお、図９では、図２中の不透明膜６１が省略されている。
【００９８】
本実施形態では、具体的には、図９に示すように、接着剤４０と封止缶５０との界面に、光を反射する膜よりなる光反射膜７０が光透過膜６０と対向して設けられている。この光反射膜７０は、例えばアルミニウムなどの金属膜を蒸着やスパッタなどにより成膜したものである。なお、図９に示す例では、光透過膜６０と光反射膜７０の両方は、基板表面方向でのサイズ（平面サイズ）がどちらも接着剤厚さの測定範囲（検査範囲）と同じであり、測定範囲のみに配置されている。
【００９９】
これによれば、接着剤４０と封止缶５０との界面に光反射膜７０を設けているので、不透明な封止缶５０が光反射性を有さない場合でも、基板１０の他面１２側から光ａ１を照射すると、光透過膜６０による反射光ａ５と、光反射膜７０による反射光ａ６とを検出できるので、適切に接着剤厚さの測定ができる。
【０１００】
ここで、図１０に図９の変形例を示す。上述した図９に示す例では、光透過膜６０と光反射膜７０の両方を接着剤厚さの測定範囲（検査範囲）と同じ大きさとしたが、図１０に示す例では、光透過膜６０と光反射膜７０のうち光反射膜７０のみを、接着剤厚さの測定範囲（検査範囲）と同じ大きさとし、光透過膜６０を光反射膜７０よりも大きくしている。
【０１０１】
すなわち、図１０に示す例では、光反射膜７０は、光反射膜７０と対向する光透過膜６０よりも平面サイズが小さいものであり、この光反射膜７０の外郭が、接着剤厚さの測定範囲を規定している。
【０１０２】
このように、光反射膜７０の外郭が接着剤厚さの測定範囲を規定していれば、光反射膜７０が配置された領域では、光による接着剤厚さの測定時に、光反射膜７０による反射光ａ６と、光透過膜６０による反射光ａ５の２つの反射光が検出されるのに対して、光反射膜７０よりも外側の位置では、光反射膜７０が無いので、光反射膜７０による反射光ａ６が検出されない。
【０１０３】
したがって、光による接着剤厚さの測定時に、上述の２つの反射光が検出できなくなった場合に、基板１０の他面１２側から照射した光ａ１が接着剤厚さの測定範囲から外れたことがわかる。
【０１０４】
なお、本実施形態においては、光反射膜７０の外郭が接着剤厚さの測定範囲を規定する代わりに、基板１０の他面１２側から照射した光ａ１が接着剤厚さの測定範囲から外れたことがわかるように、図９に示す構造に対して、第１実施形態のように、光透過膜６０の端部に不透明膜６１を設けたり、第２実施形態のように、光反射膜７０の端部に光吸収膜６２を設けたりしても良い。
【０１０５】
（第４実施形態）
図１１は、第４実施形態に係る有機ＥＬディスプレイの要部の概略断面構成を示す図である。本実施形態は、第１実施形態に対して、封止缶５０を、光を通す光透過性のものに変更し、それに伴って光透過膜６０を追加したものである。
【０１０６】
本実施形態では、光透過性の封止缶５０としては、ソーダガラスなどよりなるものが挙げられる。そして、光透過膜６０は、上記第１実施形態と同様に基板１０の一面１１に設けられるが、さらに、本実施形態では、封止缶５０における接着剤４０との接触面にも設けられている。つまり、本実施形態では、接着剤４０と基板１０との第１界面、および、接着剤４０と封止缶５０との第２界面の両界面に、光透過膜６０が互いに対向して設けられている。
【０１０７】
この場合、第１、第２界面の両方の光透過膜６０を、同じ光透過性材料で構成でき、例えばスパッタによるＩＴＯ膜で構成したり、フォト成膜による絶縁膜で構成したりすることができる。なお、第１、第２界面の両方の光透過膜６０を異なる光透過性材料で構成しても良い。例えば、一方をスパッタによるＩＴＯ膜で構成し、他方をフォト成膜による絶縁膜で構成しても良い。
【０１０８】
この場合の接着剤厚さ測定は、次のとおりである。図１１に示されるように、基板１０の他面１２側からレーザなどの光ａ１を照射すると、主たる反射光としては、封止缶５０側の光透過膜６０による反射光ａ７と、基板１０の一面１１側の光透過膜６０による反射光ａ５とが検出される。そして、これら両反射光ａ７、ａ５の光量差と位相差の少なくとも一方を検出することで接着剤４０の厚さが測定できる。
【０１０９】
一方、本実施形態では、封止缶５０の外側からも、光学的に接着剤厚さを測定可能である。図１１に示されるように、封止缶５０の外側からレーザなどの光ｂ１を照射すると、主たる反射光としては、基板１０の一面１１側の光透過膜６０による反射光ｂ２と、封止缶５０側の光透過膜６０による反射光ｂ３とが検出される。そして、これら両反射光ｂ２、ｂ３の光量差と位相差の少なくとも一方を検出することで接着剤４０の厚さが測定できる。
【０１１０】
このように、本実施形態によれば、封止缶５０が透明なものであっても、破壊検査をすることなく、光学的に接着剤厚さを測定し、接着剤厚さを保証することが可能となる。
【０１１１】
（第５実施形態）
図１２（ａ）は、第５実施形態に係る有機ＥＬディスプレイの要部の概略断面構成を示す図であり、図１２（ｂ）は図１２（ａ）中の光反射膜６３の平面図である。
【０１１２】
本実施形態は、第４実施形態に対して、光を反射する光反射膜６３を追加したものであり、その他の構成は、第４実施形態と同じである。
【０１１３】
図１２（ａ）に示すように、光反射膜６３は、封止缶５０の界面に位置する光透過膜６０の端部に設けられている。本実施形態では、光透過膜６０が矩形であるため、図１２（ｂ）に示すように、光反射膜６３は、光透過膜６０の外周全域に沿って、四角形の環状となっている。この光反射膜６３は、例えばアルミニウムなどの金属膜を蒸着やスパッタなどにより成膜したものである。
【０１１４】
これによれば、封止缶５０の外側からレーザなどの光ｂ１を照射して接着剤厚さを測定する場合、接着剤厚さの測定範囲（検査範囲）である光反射膜６３の内側の領域では、基板１０の一面１１側の光透過膜６０による反射光ｂ２と、封止缶５０側の光透過膜６０による反射光ｂ３との２つの反射光が検出されるのに対して、光反射膜６３が設けられている位置では、封止缶５０の外側から照射した光ｂ１が光反射膜６３によって遮断されるため、基板１０の一面１１側の光透過膜６０による反射光ｂ２が検出されなくなる。
【０１１５】
したがって、光による接着剤厚さの測定時に、上述の２つの反射光が検出できなくなった場合に、封止缶５０の外側から照射した光ｂ１が接着剤厚さの測定範囲から外れたことがわかる。
【０１１６】
なお、本実施形態においては、光反射膜６３の代わりに、第２実施形態のように光吸収膜を設けても良い。このようにしても、光吸収膜が設けられている位置では、封止缶５０の外側から照射した光ｂ１が光吸収膜によって遮断され、基板１０の一面１１側の光透過膜６０による反射光ｂ２が検出されなくなるので、基板１０の他面１２側から照射した光ａ１が接着剤厚さの測定範囲から外れたことがわかる。
【０１１７】
（第６実施形態）
図１３は、第６実施形態に係る有機ＥＬディスプレイの要部の概略断面構成を示す図である。本実施形態は、第４実施形態に対して、接着剤４０と封止缶５０との第２界面の光透過膜６０を、光を反射する膜よりなる光反射膜７０に変更したものであり、他の構成は、第４実施形態と同じである。
【０１１８】
この光反射膜７０は、例えばアルミニウムなどの金属膜を蒸着やスパッタなどにより成膜したものである。図１３に示す例では、光反射膜７０は、接着剤４０と基板１０との第１界面に設けられた光透過膜６０と対向して設けられており、光透過膜６０と光反射膜７０の両方は、基板表面方向でのサイズ（平面サイズ）がどちらも接着剤厚さの測定範囲（検査範囲）と同じであり、測定範囲のみに配置されている。
【０１１９】
この場合の接着剤厚さ測定は、次のとおりである。図１３に示されるように、基板１０の他面１２側からレーザなどの光ａ１を照射すると、主たる反射光としては、封止缶５０側の光反射膜７０による反射光ａ８と、基板１０の一面１１側の光透過膜６０による反射光ａ５とが検出される。そして、これら両反射光ａ８、ａ５の光量差と位相差の少なくとも一方を検出することで接着剤４０の厚さが測定できる。
【０１２０】
このように、本実施形態によれば、封止缶５０が透明で、封止缶５０と接着剤４０との間に屈折率の差が実質的に無い場合であっても、破壊検査をすることなく、光学的に接着剤厚さを測定し、接着剤厚さを保証することが可能となる。
【０１２１】
ここで、図１４に図１３の変形例を示す。上述した図１３に示す例では、光透過膜６０と光反射膜７０の両方を接着剤厚さの測定範囲（検査範囲）と同じ大きさとしたが、図１４に示す例では、光透過膜６０と光反射膜７０のうち光反射膜７０のみを、接着剤厚さの測定範囲（検査範囲）と同じ大きさとし、光透過膜６０を光反射膜７０よりも大きくしている。
【０１２２】
すなわち、図１４に示す例では、光反射膜７０は、光反射膜７０と対向する光透過膜６０よりも平面サイズが小さいものであり、この光反射膜７０の外郭が、接着剤厚さの測定範囲を規定している。
【０１２３】
このように、少なくとも光反射膜７０の外郭が接着剤厚さの測定範囲を規定していれば、光反射膜７０が配置された領域では、光による接着剤厚さの測定時に、光反射膜７０による反射光ａ８と、光透過膜６０による反射光ａ５の２つの反射光が検出されるのに対して、光反射膜７０よりも外側の位置では、光反射膜７０が無いので、光反射膜７０による反射光ａ８が検出されない。
【０１２４】
したがって、光による接着剤厚さの測定時に、上述の２つの反射光が検出できなくなった場合に、基板１０の他面１２側から照射した光ａ１が接着剤厚さの測定範囲から外れたことがわかる。
【０１２５】
なお、本実施形態においても、光反射膜７０の外郭が接着剤厚さの測定範囲を規定する代わりに、基板１０の他面１２側から照射した光ａ１が接着剤厚さの測定範囲から外れたことがわかるように、図１３に示す構造に対して、第１実施形態のように、光透過膜６０の端部に不透明膜６１を設けたり、第２実施形態のように、光反射膜７０の端部に光吸収膜６２を設けたりしても良い。
【０１２６】
（第７実施形態）
図１５は、第７実施形態に係る有機ＥＬディスプレイの要部の概略断面構成を示す図である。本実施形態は、第１実施形態に対して、封止缶５０を、光を通す光透過性のものに変更し、基板１０を、光を透過しない不透明なものであって、光を反射しないものに変更したものである。
【０１２７】
光透過性の封止缶５０としては、ソーダガラスなどよりなるものが挙げられる。また、不透明な基板１０としては、一般的な不透明な樹脂よりなるものが挙げられる。
【０１２８】
そして、本実施形態では、接着剤４０と基板１０との第１界面には、光を反射する膜よりなる光反射膜７０が設けられており、接着剤４０と封止缶５０との第２界面には、光を透過する膜よりなる光透過膜６０が、光反射膜７０と対向して設けられている。
【０１２９】
光透過膜６０は、第１実施形態で説明したものと同じであり、光反射膜７０は、第３実施液体で説明したものと同じものである。なお、図１５に示す例では、光透過膜６０と光反射膜７０の両方は、基板表面方向でのサイズ（平面サイズ）がどちらも接着剤厚さの測定範囲（検査範囲）と同じであり、測定範囲のみに配置されている。
【０１３０】
この場合の接着剤厚さ測定は、次のとおりである。図１５に示されるように、封止缶５０の外側からレーザなどの光ｂ１を照射すると、主たる反射光としては、基板１０の一面１１側の光反射膜７０による反射光ｂ４と、封止缶５０側の光透過膜６０による反射光ｂ５とが検出される。そして、これら両反射光ｂ４、ｂ５の光量差と位相差の少なくとも一方を検出することで接着剤４０の厚さが測定できる。
【０１３１】
ここで、図１６に図１５の変形例を示す。上述した図１５に示す例では、光透過膜６０と光反射膜７０の両方を接着剤厚さの測定範囲（検査範囲）と同じ大きさとしたが、図１６に示す例では、第６実施形態の図１４に示す例と同様に、光反射膜７０は、光反射膜７０と対向する光透過膜６０よりも平面サイズが小さいものであり、この光反射膜７０の外郭が、接着剤厚さの測定範囲を規定している。
【０１３２】
このように、少なくとも光反射膜７０の外郭が接着剤厚さの測定範囲を規定していれば、光反射膜７０が配置された領域では、光による接着剤厚さの測定時に、光反射膜７０による反射光ｂ４と、光透過膜６０による反射光ｂ５の２つの反射光が検出されるのに対して、光反射膜７０よりも外側の位置では、光反射膜７０が無いので、光反射膜７０による反射光ｂ４が検出されない。
【０１３３】
したがって、光による接着剤厚さの測定時に、上述の２つの反射光が検出できなくなった場合に、封止缶５０の外側から照射した光ｂ１が接着剤厚さの測定範囲から外れたことがわかる。
【０１３４】
なお、本実施形態においても、光反射膜７０の外郭が接着剤厚さの測定範囲を規定する代わりに、封止缶５０の外側から照射した光ｂ１が接着剤厚さの測定範囲から外れたことがわかるように、図１５に示す構造に対して、第１実施形態のように、光透過膜６０の端部に不透明膜６１を設けたり、第２実施形態のように、光反射膜７０の端部に光吸収膜６２を設けたりしても良い。
【０１３５】
（他の実施形態）
（１）上述の各実施形態では、光透過膜６０や光反射膜７０の形状を矩形としていたが、他の形状としても良い。また、光透過膜６０の端部に不透明膜６１（図５参照）や光反射膜６３（図１２（ｂ）参照）を設けたり、封止缶５０のうち光透過膜６０と正対する領域の端部に光吸収膜６２（図８（ｂ）参照）を設けたりする場合では、不透明膜６１、光反射膜６３、光吸収膜６２は、光透過膜６０や光反射膜７０の端部に沿った形状となる。
【０１３６】
ここで、図１７（ａ）〜（ｃ）、図１８（ａ）〜（ｃ）、図１９（ａ）〜（ｃ）に、光透過膜６０、光反射膜７０、不透明膜６１、光反射膜６３、光吸収膜６２の形状例を示す。
【０１３７】
例えば、図１７（ａ）、（ｂ）に示すように、光透過膜６０や光反射膜７０を円形状とすることもできる。この場合、図１７（ａ）、（ｃ）に示すように、不透明膜６１、光反射膜６３、光吸収膜６２の形状を円の環状とすることができる。
【０１３８】
また、図１８（ａ）、（ｂ）に示すように、光透過膜６０や光反射膜７０を十字形状とすることもできる。この場合、図１８（ａ）、（ｃ）に示すように、不透明膜６１、光反射膜６３、光吸収膜６２の形状を十字型の環状とすることができる。
【０１３９】
また、図１９（ａ）、（ｂ）に示すように、光透過膜６０や光反射膜７０をＬ字形状とすることもできる。この場合、図１９（ａ）、（ｃ）に示すように、不透明膜６１、光反射膜６３、光吸収膜６２の形状をＬ字型の環状とすることができる。
【０１４０】
（２）上述の各実施形態において、厚さ測定の領域の周囲に、厚さ測定の領域を位置決めするアライメントマークを設けても良い。図２０に光透過膜６０や光反射膜７０の平面図を示す。具体的には、図２０に示すように、光透過膜６０や光反射膜７０の近傍にアライメントマーク８０を設けても良い。
【０１４１】
これにより、厚さ測定の開始前に、ＣＣＤイメージセンサ等によりアライメントマーク８０を確認することで、光の照射位置がずれていれば、光の照射位置を補正でき、光透過膜６０や光反射膜７０が配置された領域で、接着剤４０の厚さ測定を確実に行うことができる。
【０１４２】
（３）上述の各実施形態では、本発明の有機ＥＬ装置を有機ＥＬディスプレイに適用したが、本発明の有機ＥＬ装置は、照明や光源等の他の有機ＥＬ装置にも適用可能である。
【符号の説明】
【０１４３】
１０ 基板
１１ 基板の一面
１２ 基板の他面
２０ ＥＬ素子
２１ 第1の電極
２２ 発光層
２３ 第２の電極
４０ 接着剤
５０ 封止缶
６０ 光透過膜
６１ 不透明膜
６２ 光吸収膜
６３ 光反射膜
７０ 光反射膜
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を透過する光透過性の基板（１０）と、
前記基板（１０）の一面（１１）上に設けられた有機ＥＬ発光材料を含むＥＬ素子（２０）と、
前記基板（１０）の一面（１１）にて前記ＥＬ素子（２０）の外側を取り巻くように配置された光透過性の接着剤（４０）と、
前記基板（１０）の一面上に前記接着剤（４０）を介して前記基板（１０）に接着されるとともに前記接着剤（４０）以外の部位では前記基板（１０）の一面（１１）と離間しつつ、前記ＥＬ素子（２０）を封止する前記光を透過しない不透明な封止缶（５０）と、を備える有機ＥＬディスプレイにおいて、
前記接着剤（４０）と前記基板（１０）との界面には、前記光を透過する膜よりなる光透過膜（６０）が、設けられており、
前記光透過膜（６０）と前記接着剤（４０）との屈折率差および前記光透過膜（６０）と前記基板（１０）との屈折率差を、前記接着剤（４０）と前記基板（１０）との屈折率差よりも大きいものとすることにより、前記光透過膜（６０）の位置では、前記基板（１０）の他面（１２）側から前記光の照射による前記接着剤（４０）の厚さ測定がなされるようにしたことを特徴とする有機ＥＬ装置。
【請求項２】
前記封止缶（５０）は前記光を反射しないものであり、
前記接着剤（４０）と前記封止缶（５０）との界面には、前記光を反射する膜よりなる光反射膜（７０）が前記光透過膜（６０）と対向して設けられていることを特徴とする請求項１に記載の有機ＥＬ装置。
【請求項３】
前記封止缶（５０）は前記光を反射するものであり、
前記封止缶（５０）のうち前記光透過膜（６０）と正対する領域の端部には、前記光を吸収する光吸収膜（６２）が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の有機ＥＬ装置。
【請求項４】
光を透過する光透過性の基板（１０）と、
前記基板（１０）の一面（１１）上に設けられた有機ＥＬ発光材料を含むＥＬ素子（２０）と、
前記基板（１０）の一面（１１）にて前記ＥＬ素子（２０）の外側を取り巻くように配置された光透過性の接着剤（４０）と、
前記基板（１０）の一面上に前記接着剤（４０）を介して前記基板（１０）に接着されるとともに前記接着剤（４０）以外の部位では前記基板（１０）の一面（１１）と離間しつつ、前記ＥＬ素子（２０）を封止する前記光を透過する光透過性の封止缶（５０）と、を備える有機ＥＬ装置において、
前記接着剤（４０）と前記基板（１０）との界面、および、前記接着剤（４０）と前記封止缶（５０）との界面の両界面には、前記光を透過する膜よりなる光透過膜（６０）が互いに対向して設けられており、
前記光透過膜（６０）と前記接着剤（４０）との屈折率差および前記光透過膜（６０）と前記基板（１０）との屈折率差を、前記接着剤（４０）と前記基板（１０）との屈折率差よりも大きいものとすることにより、前記光透過膜（６０）の位置では、前記基板（１０）の他面（１２）側もしくは前記封止缶（５０）の外側から前記光の照射による前記接着剤（４０）の厚さ測定がなされるようにしたことを特徴とする有機ＥＬ装置。
【請求項５】
前記接着剤（４０）と前記封止缶（５０）との界面に位置する前記光透過膜（６０）の端部に、前記光を吸収する光吸収膜または前記光を反射する光反射膜（６３）が設けられていることを特徴とする請求項４に記載の有機ＥＬ装置。
【請求項６】
光を透過する光透過性の基板（１０）と、
前記基板（１０）の一面（１１）上に設けられた有機ＥＬ発光材料を含むＥＬ素子（２０）と、
前記基板（１０）の一面（１１）にて前記ＥＬ素子（２０）の外側を取り巻くように配置された光透過性の接着剤（４０）と、
前記基板（１０）の一面上に前記接着剤（４０）を介して前記基板（１０）に接着されるとともに前記接着剤（４０）以外の部位では前記基板（１０）の一面（１１）と離間しつつ、前記ＥＬ素子（２０）を封止する前記光を透過する光透過性の封止缶（５０）と、を備える有機ＥＬ装置において、
前記接着剤（４０）と前記基板（１０）との界面には、前記光を透過する膜よりなる光透過膜（６０）が設けられており、
前記接着剤（４０）と前記封止缶（５０）との界面には、前記光を反射する膜よりなる光反射膜（７０）が前記光透過膜（６０）と対向して設けられており、
前記光透過膜（６０）と前記接着剤（４０）との屈折率差および前記光透過膜（６０）と前記基板（１０）との屈折率差を、前記接着剤（４０）と前記基板（１０）との屈折率差よりも大きいものとすることにより、前記光透過膜（６０）の位置では、前記基板（１０）の他面（１２）側から前記光の照射による前記接着剤（４０）の厚さ測定がなされるようにしたことを特徴とする有機ＥＬ装置。
【請求項７】
前記接着剤（４０）と前記封止缶（５０）との界面に位置する前記光反射膜（７０）の端部に、前記光を吸収する光吸収膜（６２）が設けられていることを特徴とする請求項６に記載の有機ＥＬ装置。
【請求項８】
光を透過しない不透明な基板（１０）と、
前記基板（１０）の一面（１１）上に設けられた有機ＥＬ発光材料を含むＥＬ素子（２０）と、
前記基板（１０）の一面（１１）にて前記ＥＬ素子（２０）の外側を取り巻くように配置された光透過性の接着剤（４０）と、
前記基板（１０）の一面上に前記接着剤（４０）を介して前記基板（１０）に接着されるとともに前記接着剤（４０）以外の部位では前記基板（１０）の一面（１１）と離間しつつ、前記ＥＬ素子（２０）を封止する前記光を透過する光透過性の封止缶（５０）と、を備える有機ＥＬ装置において、
前記接着剤（４０）と前記基板（１０）との界面には、前記光を反射する膜よりなる光反射膜（７０）が設けられており、
前記接着剤（４０）と前記封止缶（５０）との界面には、前記光を透過する膜よりなる光透過膜（６０）が前記光反射膜（７０）と対向して設けられており、
前記光透過膜（６０）と前記接着剤（４０）との屈折率差および前記光透過膜（６０）と前記封止缶（５０）との屈折率差を、前記接着剤（４０）と前記封止缶（５０）との屈折率差よりも大きいものとすることにより、前記光透過膜（６０）の位置では、前記封止缶（５０）の外側から前記光の照射による前記接着剤（４０）の厚さ測定がなされるようにしたことを特徴とする有機ＥＬ装置。
【請求項９】
前記光反射膜（７０）は、当該光反射膜（７０）と対向する前記光透過膜（６０）よりも平面サイズが小さいものであり、
前記光反射膜（７０）の外郭が、前記厚さ測定の範囲を規定していることを特徴とする請求項２、６、７、８のいずれか１つに記載の有機ＥＬ装置。
【請求項１０】
前記ＥＬ素子（２０）は、前記基板（１０）の一面（１１）側から光透過性材料よりなる第１の電極（２１）、有機ＥＬ材料よりなる発光層（２２）、第２の電極（２３）が積層されてなるものであり、
前記基板（１０）と前記接着剤（４０）との界面に位置する前記光透過膜（６０）は、前記第１の電極（２１）と同様の光透過性材料よりなることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１つに記載の有機ＥＬ装置。
【請求項１１】
前記光透過膜（６０）は、フォト成膜による絶縁膜よりなることを特徴とする請求項１ないし９のいずれか１つに記載の有機ＥＬディスプレイ。
【請求項１２】
前記光透過膜（６０）の端部には、前記光を通さない不透明材料よりなる不透明膜（６１）が配置されていることを特徴とする請求項１ないし１１のいずれか１つに記載の有機ＥＬディスプレイ。
【請求項１３】
前記光透過膜（６０）は、前記接着剤（４０）の最大厚さの部位に配置されていることを特徴とする請求項１ないし１２のいずれか１つに記載の有機ＥＬ装置。
【請求項１４】
前記封止缶（５０）は、前記接着剤（４０）との接触部位が多角形であり、この多角形の角部が前記接着剤（４０）の最大厚さの部位となっており、
当該角部に、前記光透過膜（６０）が配置されていることを特徴とする請求項１３に記載の有機ＥＬ装置。
【請求項１５】
前記光透過膜（６０）は、前記接着剤（４０）の端部よりも内側に収まって配置されていることを特徴とする請求項１ないし１４のいずれか１つに記載の有機ＥＬ装置。
【請求項１６】
前記接着剤（４０）の内周側の端部（４０ａ）と前記光透過膜（６０）との距離（Ｌ１）と、前記接着剤（４０）の外周側の端部（４０ｂ）と前記光透過膜（６０）との距離（Ｌ２）とが等距離であることを特徴とする請求項１５に記載の有機ＥＬ装置。
【請求項１７】
前記厚さ測定の領域の周囲に、前記厚さ測定の領域を位置決めするアライメントマーク（８０）が設けられていることを特徴とする請求項１ないし１６のいずれか１つに記載の有機ＥＬ装置。
【請求項１８】
光を透過する光透過性の基板（１０）と、
前記基板（１０）の一面（１１）上に設けられた有機ＥＬ発光材料を含むＥＬ素子（２０）と、
前記基板（１０）の一面（１１）にて前記ＥＬ素子（２０）の外側を取り巻くように配置された光透過性の接着剤（４０）と、
前記基板（１０）の一面上に前記接着剤（４０）を介して前記基板（１０）に接着されるとともに前記接着剤（４０）以外の部位では前記基板（１０）の一面（１１）と離間しつつ、前記ＥＬ素子（２０）を封止する前記光を透過しない不透明な封止缶（５０）と、を備える有機ＥＬ装置の製造方法において、
前記接着剤（４０）と前記基板（１０）との界面に、前記光を透過する膜よりなる光透過膜（６０）を、設けるとともに、
前記光透過膜（６０）と前記接着剤（４０）との屈折率差および前記光透過膜（６０）と前記基板（１０）との屈折率差を、前記接着剤（４０）と前記基板（１０）との屈折率差よりも大きいものとする屈折率の大小関係を有するものとし、
前記光透過膜（６０）の位置にて、前記基板（１０）の他面（１２）側から前記光の照射を行って、前記光透過膜（６０）と前記封止缶（５０）での両反射光に基づいて前記接着剤（４０）の厚さ測定を行うようにしたことを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【請求項１９】
光を透過する光透過性の基板（１０）と、
前記基板（１０）の一面（１１）上に設けられた有機ＥＬ発光材料を含むＥＬ素子（２０）と、
前記基板（１０）の一面（１１）にて前記ＥＬ素子（２０）の外側を取り巻くように配置された光透過性の接着剤（４０）と、
前記基板（１０）の一面上に前記接着剤（４０）を介して前記基板（１０）に接着されるとともに前記接着剤（４０）以外の部位では前記基板（１０）の一面（１１）と離間しつつ、前記ＥＬ素子（２０）を封止する前記光を透過する光透過性の封止缶（５０）と、を備える有機ＥＬ装置の製造方法において、
前記接着剤（４０）と前記基板（１０）との界面、および、前記接着剤（４０）と前記封止缶（５０）との界面の両界面に、前記光を透過する膜よりなる光透過膜（６０）を互いに対向して設けるとともに、
前記光透過膜（６０）と前記接着剤（４０）との屈折率差および前記光透過膜（６０）と前記基板（１０）との屈折率差を、前記接着剤（４０）と前記基板（１０）との屈折率差よりも大きいものとし、
前記光透過膜（６０）の位置にて、前記基板（１０）の他面（１２）側もしくは前記封止缶（５０）の外側から前記光の照射を行って、２つの前記光透過膜（６０）での両反射光に基づいて前記接着剤（４０）の厚さ測定を行うようにしたことを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【請求項２０】
光を透過する光透過性の基板（１０）と、
前記基板（１０）の一面（１１）上に設けられた有機ＥＬ発光材料を含むＥＬ素子（２０）と、
前記基板（１０）の一面（１１）にて前記ＥＬ素子（２０）の外側を取り巻くように配置された光透過性の接着剤（４０）と、
前記基板（１０）の一面上に前記接着剤（４０）を介して前記基板（１０）に接着されるとともに前記接着剤（４０）以外の部位では前記基板（１０）の一面（１１）と離間しつつ、前記ＥＬ素子（２０）を封止する前記光を透過する光透過性の封止缶（５０）と、を備える有機ＥＬ装置の製造方法において、
前記接着剤（４０）と前記基板（１０）との界面に、前記光を透過する膜よりなる光透過膜（６０）を設け、前記接着剤（４０）と前記封止缶（５０）との界面に、前記光を反射する膜よりなる光反射膜（７０）を前記光透過膜（６０）と対向して設けるとともに、
前記光透過膜（６０）と前記接着剤（４０）との屈折率差および前記光透過膜（６０）と前記基板（１０）との屈折率差を、前記接着剤（４０）と前記基板（１０）との屈折率差よりも大きいものとし、
前記光透過膜（６０）の位置にて、前記基板（１０）の他面（１２）側から前記光の照射を行って、前記光透過膜（６０）と前記光反射膜（７０）での両反射光に基づいて前記接着剤（４０）の厚さ測定を行うようにしたことを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【請求項２１】
光を透過しない不透明な基板（１０）と、
前記基板（１０）の一面（１１）上に設けられた有機ＥＬ発光材料を含むＥＬ素子（２０）と、
前記基板（１０）の一面（１１）にて前記ＥＬ素子（２０）の外側を取り巻くように配置された光透過性の接着剤（４０）と、
前記基板（１０）の一面上に前記接着剤（４０）を介して前記基板（１０）に接着されるとともに前記接着剤（４０）以外の部位では前記基板（１０）の一面（１１）と離間しつつ、前記ＥＬ素子（２０）を封止する前記光を透過する光透過性の封止缶（５０）と、を備える有機ＥＬ装置の製造方法において、
前記接着剤（４０）と前記基板（１０）との界面に、前記光を反射する膜よりなる光反射膜（７０）を設け、前記接着剤（４０）と前記封止缶（５０）との界面に、前記光を透過する膜よりなる光透過膜（６０）を前記光反射膜（７０）と対向して設けるとともに、
前記光透過膜（６０）と前記接着剤（４０）との屈折率差および前記光透過膜（６０）と前記封止缶（５０）との屈折率差を、前記接着剤（４０）と前記封止缶（５０）との屈折率差よりも大きいものとし、
前記光透過膜（６０）の位置にて、前記封止缶（５０）の外側から前記光の照射を行って、前記光透過膜（６０）と前記光反射膜（７０）での両反射光に基づいて前記接着剤（４０）の厚さ測定を行うようにしたことを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【請求項１】
光を透過する光透過性の基板（１０）と、
前記基板（１０）の一面（１１）上に設けられた有機ＥＬ発光材料を含むＥＬ素子（２０）と、
前記基板（１０）の一面（１１）にて前記ＥＬ素子（２０）の外側を取り巻くように配置された光透過性の接着剤（４０）と、
前記基板（１０）の一面上に前記接着剤（４０）を介して前記基板（１０）に接着されるとともに前記接着剤（４０）以外の部位では前記基板（１０）の一面（１１）と離間しつつ、前記ＥＬ素子（２０）を封止する前記光を透過しない不透明な封止缶（５０）と、を備える有機ＥＬディスプレイにおいて、
前記接着剤（４０）と前記基板（１０）との界面には、前記光を透過する膜よりなる光透過膜（６０）が、設けられており、
前記光透過膜（６０）と前記接着剤（４０）との屈折率差および前記光透過膜（６０）と前記基板（１０）との屈折率差を、前記接着剤（４０）と前記基板（１０）との屈折率差よりも大きいものとすることにより、前記光透過膜（６０）の位置では、前記基板（１０）の他面（１２）側から前記光の照射による前記接着剤（４０）の厚さ測定がなされるようにしたことを特徴とする有機ＥＬ装置。
【請求項２】
前記封止缶（５０）は前記光を反射しないものであり、
前記接着剤（４０）と前記封止缶（５０）との界面には、前記光を反射する膜よりなる光反射膜（７０）が前記光透過膜（６０）と対向して設けられていることを特徴とする請求項１に記載の有機ＥＬ装置。
【請求項３】
前記封止缶（５０）は前記光を反射するものであり、
前記封止缶（５０）のうち前記光透過膜（６０）と正対する領域の端部には、前記光を吸収する光吸収膜（６２）が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の有機ＥＬ装置。
【請求項４】
光を透過する光透過性の基板（１０）と、
前記基板（１０）の一面（１１）上に設けられた有機ＥＬ発光材料を含むＥＬ素子（２０）と、
前記基板（１０）の一面（１１）にて前記ＥＬ素子（２０）の外側を取り巻くように配置された光透過性の接着剤（４０）と、
前記基板（１０）の一面上に前記接着剤（４０）を介して前記基板（１０）に接着されるとともに前記接着剤（４０）以外の部位では前記基板（１０）の一面（１１）と離間しつつ、前記ＥＬ素子（２０）を封止する前記光を透過する光透過性の封止缶（５０）と、を備える有機ＥＬ装置において、
前記接着剤（４０）と前記基板（１０）との界面、および、前記接着剤（４０）と前記封止缶（５０）との界面の両界面には、前記光を透過する膜よりなる光透過膜（６０）が互いに対向して設けられており、
前記光透過膜（６０）と前記接着剤（４０）との屈折率差および前記光透過膜（６０）と前記基板（１０）との屈折率差を、前記接着剤（４０）と前記基板（１０）との屈折率差よりも大きいものとすることにより、前記光透過膜（６０）の位置では、前記基板（１０）の他面（１２）側もしくは前記封止缶（５０）の外側から前記光の照射による前記接着剤（４０）の厚さ測定がなされるようにしたことを特徴とする有機ＥＬ装置。
【請求項５】
前記接着剤（４０）と前記封止缶（５０）との界面に位置する前記光透過膜（６０）の端部に、前記光を吸収する光吸収膜または前記光を反射する光反射膜（６３）が設けられていることを特徴とする請求項４に記載の有機ＥＬ装置。
【請求項６】
光を透過する光透過性の基板（１０）と、
前記基板（１０）の一面（１１）上に設けられた有機ＥＬ発光材料を含むＥＬ素子（２０）と、
前記基板（１０）の一面（１１）にて前記ＥＬ素子（２０）の外側を取り巻くように配置された光透過性の接着剤（４０）と、
前記基板（１０）の一面上に前記接着剤（４０）を介して前記基板（１０）に接着されるとともに前記接着剤（４０）以外の部位では前記基板（１０）の一面（１１）と離間しつつ、前記ＥＬ素子（２０）を封止する前記光を透過する光透過性の封止缶（５０）と、を備える有機ＥＬ装置において、
前記接着剤（４０）と前記基板（１０）との界面には、前記光を透過する膜よりなる光透過膜（６０）が設けられており、
前記接着剤（４０）と前記封止缶（５０）との界面には、前記光を反射する膜よりなる光反射膜（７０）が前記光透過膜（６０）と対向して設けられており、
前記光透過膜（６０）と前記接着剤（４０）との屈折率差および前記光透過膜（６０）と前記基板（１０）との屈折率差を、前記接着剤（４０）と前記基板（１０）との屈折率差よりも大きいものとすることにより、前記光透過膜（６０）の位置では、前記基板（１０）の他面（１２）側から前記光の照射による前記接着剤（４０）の厚さ測定がなされるようにしたことを特徴とする有機ＥＬ装置。
【請求項７】
前記接着剤（４０）と前記封止缶（５０）との界面に位置する前記光反射膜（７０）の端部に、前記光を吸収する光吸収膜（６２）が設けられていることを特徴とする請求項６に記載の有機ＥＬ装置。
【請求項８】
光を透過しない不透明な基板（１０）と、
前記基板（１０）の一面（１１）上に設けられた有機ＥＬ発光材料を含むＥＬ素子（２０）と、
前記基板（１０）の一面（１１）にて前記ＥＬ素子（２０）の外側を取り巻くように配置された光透過性の接着剤（４０）と、
前記基板（１０）の一面上に前記接着剤（４０）を介して前記基板（１０）に接着されるとともに前記接着剤（４０）以外の部位では前記基板（１０）の一面（１１）と離間しつつ、前記ＥＬ素子（２０）を封止する前記光を透過する光透過性の封止缶（５０）と、を備える有機ＥＬ装置において、
前記接着剤（４０）と前記基板（１０）との界面には、前記光を反射する膜よりなる光反射膜（７０）が設けられており、
前記接着剤（４０）と前記封止缶（５０）との界面には、前記光を透過する膜よりなる光透過膜（６０）が前記光反射膜（７０）と対向して設けられており、
前記光透過膜（６０）と前記接着剤（４０）との屈折率差および前記光透過膜（６０）と前記封止缶（５０）との屈折率差を、前記接着剤（４０）と前記封止缶（５０）との屈折率差よりも大きいものとすることにより、前記光透過膜（６０）の位置では、前記封止缶（５０）の外側から前記光の照射による前記接着剤（４０）の厚さ測定がなされるようにしたことを特徴とする有機ＥＬ装置。
【請求項９】
前記光反射膜（７０）は、当該光反射膜（７０）と対向する前記光透過膜（６０）よりも平面サイズが小さいものであり、
前記光反射膜（７０）の外郭が、前記厚さ測定の範囲を規定していることを特徴とする請求項２、６、７、８のいずれか１つに記載の有機ＥＬ装置。
【請求項１０】
前記ＥＬ素子（２０）は、前記基板（１０）の一面（１１）側から光透過性材料よりなる第１の電極（２１）、有機ＥＬ材料よりなる発光層（２２）、第２の電極（２３）が積層されてなるものであり、
前記基板（１０）と前記接着剤（４０）との界面に位置する前記光透過膜（６０）は、前記第１の電極（２１）と同様の光透過性材料よりなることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１つに記載の有機ＥＬ装置。
【請求項１１】
前記光透過膜（６０）は、フォト成膜による絶縁膜よりなることを特徴とする請求項１ないし９のいずれか１つに記載の有機ＥＬディスプレイ。
【請求項１２】
前記光透過膜（６０）の端部には、前記光を通さない不透明材料よりなる不透明膜（６１）が配置されていることを特徴とする請求項１ないし１１のいずれか１つに記載の有機ＥＬディスプレイ。
【請求項１３】
前記光透過膜（６０）は、前記接着剤（４０）の最大厚さの部位に配置されていることを特徴とする請求項１ないし１２のいずれか１つに記載の有機ＥＬ装置。
【請求項１４】
前記封止缶（５０）は、前記接着剤（４０）との接触部位が多角形であり、この多角形の角部が前記接着剤（４０）の最大厚さの部位となっており、
当該角部に、前記光透過膜（６０）が配置されていることを特徴とする請求項１３に記載の有機ＥＬ装置。
【請求項１５】
前記光透過膜（６０）は、前記接着剤（４０）の端部よりも内側に収まって配置されていることを特徴とする請求項１ないし１４のいずれか１つに記載の有機ＥＬ装置。
【請求項１６】
前記接着剤（４０）の内周側の端部（４０ａ）と前記光透過膜（６０）との距離（Ｌ１）と、前記接着剤（４０）の外周側の端部（４０ｂ）と前記光透過膜（６０）との距離（Ｌ２）とが等距離であることを特徴とする請求項１５に記載の有機ＥＬ装置。
【請求項１７】
前記厚さ測定の領域の周囲に、前記厚さ測定の領域を位置決めするアライメントマーク（８０）が設けられていることを特徴とする請求項１ないし１６のいずれか１つに記載の有機ＥＬ装置。
【請求項１８】
光を透過する光透過性の基板（１０）と、
前記基板（１０）の一面（１１）上に設けられた有機ＥＬ発光材料を含むＥＬ素子（２０）と、
前記基板（１０）の一面（１１）にて前記ＥＬ素子（２０）の外側を取り巻くように配置された光透過性の接着剤（４０）と、
前記基板（１０）の一面上に前記接着剤（４０）を介して前記基板（１０）に接着されるとともに前記接着剤（４０）以外の部位では前記基板（１０）の一面（１１）と離間しつつ、前記ＥＬ素子（２０）を封止する前記光を透過しない不透明な封止缶（５０）と、を備える有機ＥＬ装置の製造方法において、
前記接着剤（４０）と前記基板（１０）との界面に、前記光を透過する膜よりなる光透過膜（６０）を、設けるとともに、
前記光透過膜（６０）と前記接着剤（４０）との屈折率差および前記光透過膜（６０）と前記基板（１０）との屈折率差を、前記接着剤（４０）と前記基板（１０）との屈折率差よりも大きいものとする屈折率の大小関係を有するものとし、
前記光透過膜（６０）の位置にて、前記基板（１０）の他面（１２）側から前記光の照射を行って、前記光透過膜（６０）と前記封止缶（５０）での両反射光に基づいて前記接着剤（４０）の厚さ測定を行うようにしたことを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【請求項１９】
光を透過する光透過性の基板（１０）と、
前記基板（１０）の一面（１１）上に設けられた有機ＥＬ発光材料を含むＥＬ素子（２０）と、
前記基板（１０）の一面（１１）にて前記ＥＬ素子（２０）の外側を取り巻くように配置された光透過性の接着剤（４０）と、
前記基板（１０）の一面上に前記接着剤（４０）を介して前記基板（１０）に接着されるとともに前記接着剤（４０）以外の部位では前記基板（１０）の一面（１１）と離間しつつ、前記ＥＬ素子（２０）を封止する前記光を透過する光透過性の封止缶（５０）と、を備える有機ＥＬ装置の製造方法において、
前記接着剤（４０）と前記基板（１０）との界面、および、前記接着剤（４０）と前記封止缶（５０）との界面の両界面に、前記光を透過する膜よりなる光透過膜（６０）を互いに対向して設けるとともに、
前記光透過膜（６０）と前記接着剤（４０）との屈折率差および前記光透過膜（６０）と前記基板（１０）との屈折率差を、前記接着剤（４０）と前記基板（１０）との屈折率差よりも大きいものとし、
前記光透過膜（６０）の位置にて、前記基板（１０）の他面（１２）側もしくは前記封止缶（５０）の外側から前記光の照射を行って、２つの前記光透過膜（６０）での両反射光に基づいて前記接着剤（４０）の厚さ測定を行うようにしたことを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【請求項２０】
光を透過する光透過性の基板（１０）と、
前記基板（１０）の一面（１１）上に設けられた有機ＥＬ発光材料を含むＥＬ素子（２０）と、
前記基板（１０）の一面（１１）にて前記ＥＬ素子（２０）の外側を取り巻くように配置された光透過性の接着剤（４０）と、
前記基板（１０）の一面上に前記接着剤（４０）を介して前記基板（１０）に接着されるとともに前記接着剤（４０）以外の部位では前記基板（１０）の一面（１１）と離間しつつ、前記ＥＬ素子（２０）を封止する前記光を透過する光透過性の封止缶（５０）と、を備える有機ＥＬ装置の製造方法において、
前記接着剤（４０）と前記基板（１０）との界面に、前記光を透過する膜よりなる光透過膜（６０）を設け、前記接着剤（４０）と前記封止缶（５０）との界面に、前記光を反射する膜よりなる光反射膜（７０）を前記光透過膜（６０）と対向して設けるとともに、
前記光透過膜（６０）と前記接着剤（４０）との屈折率差および前記光透過膜（６０）と前記基板（１０）との屈折率差を、前記接着剤（４０）と前記基板（１０）との屈折率差よりも大きいものとし、
前記光透過膜（６０）の位置にて、前記基板（１０）の他面（１２）側から前記光の照射を行って、前記光透過膜（６０）と前記光反射膜（７０）での両反射光に基づいて前記接着剤（４０）の厚さ測定を行うようにしたことを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【請求項２１】
光を透過しない不透明な基板（１０）と、
前記基板（１０）の一面（１１）上に設けられた有機ＥＬ発光材料を含むＥＬ素子（２０）と、
前記基板（１０）の一面（１１）にて前記ＥＬ素子（２０）の外側を取り巻くように配置された光透過性の接着剤（４０）と、
前記基板（１０）の一面上に前記接着剤（４０）を介して前記基板（１０）に接着されるとともに前記接着剤（４０）以外の部位では前記基板（１０）の一面（１１）と離間しつつ、前記ＥＬ素子（２０）を封止する前記光を透過する光透過性の封止缶（５０）と、を備える有機ＥＬ装置の製造方法において、
前記接着剤（４０）と前記基板（１０）との界面に、前記光を反射する膜よりなる光反射膜（７０）を設け、前記接着剤（４０）と前記封止缶（５０）との界面に、前記光を透過する膜よりなる光透過膜（６０）を前記光反射膜（７０）と対向して設けるとともに、
前記光透過膜（６０）と前記接着剤（４０）との屈折率差および前記光透過膜（６０）と前記封止缶（５０）との屈折率差を、前記接着剤（４０）と前記封止缶（５０）との屈折率差よりも大きいものとし、
前記光透過膜（６０）の位置にて、前記封止缶（５０）の外側から前記光の照射を行って、前記光透過膜（６０）と前記光反射膜（７０）での両反射光に基づいて前記接着剤（４０）の厚さ測定を行うようにしたことを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【公開番号】特開２０１２−２１６４６６（Ｐ２０１２−２１６４６６Ａ）
【公開日】平成２４年１１月８日（２０１２．１１．８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−８１９２１（Ｐ２０１１−８１９２１）
【出願日】平成２３年４月１日（２０１１．４．１）
【出願人】（０００００４２６０）株式会社デンソー (27,639)
【出願人】（０００２２１９２６）東北パイオニア株式会社 (474)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１１月８日（２０１２．１１．８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年４月１日（２０１１．４．１）
【出願人】（０００００４２６０）株式会社デンソー (27,639)
【出願人】（０００２２１９２６）東北パイオニア株式会社 (474)
【Ｆターム（参考）】
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