液体噴射装置
【課題】装置コストの上昇を抑えつつ、高い液体噴射効率を得ることができる液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体噴射装置１は、ワークＷ１，Ｗ２に対して液体を噴射する液体噴射ヘッド３３と、第一ワークＷ１を載置する第一ワーク搬送テーブル２４と、第二ワークＷ２を載置する第二ワーク搬送テーブル２６と、第一ワーク搬送テーブル２４と第二ワーク搬送テーブル２６とを載置しつつ第一方向へ移動可能なスライダー２３と、液体噴射ヘッド３３及び第二ワーク搬送テーブルを駆動制御する制御部１１１と、を備え、第二ワーク搬送テーブル２６は、第一ワーク搬送テーブル２４の第二方向に並列配置されており、第一ワーク搬送テーブル２４に対して、第二ワークＷ２を載置しつつ第一方向に相対移動可能である。
【解決手段】液体噴射装置１は、ワークＷ１，Ｗ２に対して液体を噴射する液体噴射ヘッド３３と、第一ワークＷ１を載置する第一ワーク搬送テーブル２４と、第二ワークＷ２を載置する第二ワーク搬送テーブル２６と、第一ワーク搬送テーブル２４と第二ワーク搬送テーブル２６とを載置しつつ第一方向へ移動可能なスライダー２３と、液体噴射ヘッド３３及び第二ワーク搬送テーブルを駆動制御する制御部１１１と、を備え、第二ワーク搬送テーブル２６は、第一ワーク搬送テーブル２４の第二方向に並列配置されており、第一ワーク搬送テーブル２４に対して、第二ワークＷ２を載置しつつ第一方向に相対移動可能である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
紫外線の照射を受けることによって硬化する機能液を記録媒体に向けて吐出することによって記録媒体に機能液を塗布し、記録媒体に塗布された機能液を紫外線の照射により硬化させることができる液滴吐出装置（液体噴射装置）がある。
このような液滴吐出装置は、例えば、機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドを主走査方向に移動させるヘッド移動手段と、記録媒体を副走査方向に移動させる記録媒体移動手段と、機能液に紫外線を照射する紫外線照射装置等を備えている。
【０００３】
そして、液滴吐出装置では、液滴吐出ヘッドの主走査方向において、複数の液滴吐出ヘッドからなるヘッドユニットの両側と記録媒体の搬送方向でヘッドユニットの下流側とに紫外線照射装置を配置したものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−３１３４４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
産業用途などに用いられる液体噴射装置では、高い生産能力（液体噴射効率）が求められる。高い液体噴射効率を得るためには、液体噴射ヘッドの走査速度等を高めたり、液体噴射ヘッドの数を増やすことが考えられる。
しかし、装置コストの上昇や、液体噴射の着弾精度などにおいて技術的な課題が多い。
【０００６】
本発明はこのような事情に鑑み、装置コストの上昇を抑えつつ、高い液体噴射効率を得ることができる液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。
本発明に係る液体噴射装は、ワークに対して液体を噴射する液体噴射ヘッドと、第一ワークを載置する第一ワーク搬送テーブルと、第二ワークを載置する第二ワーク搬送テーブルと、前記第一ワーク搬送テーブルと前記第二ワーク搬送テーブルとを載置しつつ第一方向へ移動可能なスライダーと、前記液体噴射ヘッド及び前記第二ワーク搬送テーブルを駆動制御する制御部と、を備え、前記第二ワーク搬送テーブルは、前記第一ワーク搬送テーブルの前記第一方向と交差する第二方向に並列配置されており、前記第一ワーク搬送テーブルに対して、前記第二ワークを載置しつつ前記第一方向に相対移動可能であることを特徴とする。
【０００８】
前記制御部は、前記液体噴射ヘッドからの液体噴射に先だって、前記第一ワーク搬送テーブルと前記第二ワーク搬送テーブルの前記第一方向における相対位置調整を行うことを特徴とする。
【０００９】
前記第二ワーク搬送テーブルは、前記第一ワーク搬送テーブルに対して前記第二方向に相対移動可能であり、前記制御部は、前記液体噴射ヘッドからの液体噴射に先だって、前記第一ワーク搬送テーブルと前記第二ワーク搬送テーブルの前記第二方向における相対位置調整を行うことを特徴とする。
【００１０】
前記制御部は、前記第一ワーク搬送テーブルを駆動制御可能であり、前記第一ワーク搬送テーブル及び前記第二ワーク搬送テーブルは、それぞれ、前記第一方向及び前記第二方向に直交する軸回りに回転可能であり、前記制御部は、前記液体噴射ヘッドからの液体噴射に先だって、前記第一ワーク搬送テーブルと前記第二ワーク搬送テーブルの前記軸周りにおける姿勢調整を行うことを特徴とする。
【００１１】
前記第一ワーク搬送テーブル及び前記第二ワーク搬送テーブルの位置姿勢検出を行う検出部を備え、前記制御部は、前記検出部の検出結果に基づいて、前記第一ワーク搬送テーブルと前記第二ワーク搬送テーブルの位置調整および姿勢調整の少なくとも一方を行うことを特徴とする。
【００１２】
前記液体噴射ヘッドからの液体噴射を制御する噴射制御部を備え、前記噴射制御部は、前記第一ワーク搬送テーブルと前記第二ワーク搬送テーブルの前記第二方向の間隔に基づいて液体噴射データを補正して、前記第一ワーク搬送テーブルに載置された前記第一ワーク及び前記第二ワーク搬送テーブルに載置された前記第二ワークに対して同一の走査の間に前記液体を噴射させることを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態に係る液滴吐出装置１の概略構成を示す斜視図である。
【図２】キャリッジ７を示す側面図である（図１のＡ矢視図）。
【図３】キャリッジ７を示す底面図である。
【図４】吐出ヘッド３３を示す断面図である（図２のＢ−Ｂ線に沿う断面図）。
【図５】ワーク搬送装置３の構成を示す平面図及び側面図である。
【図６】液滴吐出装置１の制御ブロック図である。
【図７】液滴吐出装置１による描画処理を示すフロー図である。
【図８】ワーク搬送装置の変形例（ワーク搬送装置４）を示す平面図及び側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態に係る液体噴射装置について図面を参照して説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００１５】
図１は、本発明の実施形態に係る液滴吐出装置１の概略構成を示す斜視図である。
なお、図１のＹ方向はワークＷ（Ｗ１，Ｗ２）の移動方向（第一方向、副走査方向）を示し、Ｘ方向は平面視でＹ方向とは直交する方向を示している（第二方向、走査方向）。ＸＹ平面と直交する方向は、Ｚ方向としている。
Ｙ（−）側を上流側（一方側）、Ｙ（＋）側を下流側（他方側）と呼ぶ。
【００１６】
液滴吐出装置（液体噴射装置）１は、ワーク搬送装置３、キャリッジ７及びキャリッジ搬送装置１１等を有している。キャリッジ７には、ヘッドユニット１３と２個の紫外線照射装置１５が設けられている。
液滴吐出装置１では、ヘッドユニット１３と基板などのワークＷとの平面視での相対位置を変化させつつ、ヘッドユニット１３から液状体を液滴として吐出させることによって、ワークＷに液状体で所望のパターンを描画することができる。
【００１７】
このような液滴吐出装置１は、例えば、樹脂フィルムなどのように、液状体が浸透しにくい記録媒体への描画に適用され得る。
また、液滴吐出装置１を、例えば、液晶表示パネル等に用いられるカラーフィルターの製造や、有機ＥＬ（Electro Luminescence）装置の製造などに適用することもできる。
赤、緑及び青の３色のフィルターエレメントを有するカラーフィルターの場合、液滴吐出装置１は、例えば、基板に赤、緑及び青の各着色層を形成する工程で好適に使用され得る。この場合、ヘッドユニット１３から各着色層に対応する各液状体を、ワークＷに液滴として吐出させることによって、ワークＷに赤、緑及び青のそれぞれのフィルターエレメントのパターンが描画される。
また、有機ＥＬ装置の製造では、例えば、赤、緑及び青の画素ごとに、各色に対応する機能層（有機層）を形成する工程で好適に使用され得る。この場合、ヘッドユニット１３から各色の機能層に対応する各液状体を、ワークＷに液滴として吐出させることによって、ワークＷに赤、緑及び青のそれぞれの機能層のパターンが描画される。
【００１８】
図２は、キャリッジ７を示す側面図である（図１のＡ矢視図）。図３は、キャリッジ７を示す底面図である。
なお、図３では、ノズル３７をわかりやすく示すため、ノズル３７が誇張され、且つノズル３７の個数が減じられている。
【００１９】
ヘッドユニット１３は、ヘッドプレート３１と、吐出ヘッド３３と、を有している。
吐出ヘッド（液体噴射ヘッド）３３は、ノズル面３５を有している。ノズル面３５には、複数のノズル３７が形成されている。
吐出ヘッド３３において、複数のノズル３７は、Ｙ方向に沿って配列する４本のノズル列３９を構成している。４本のノズル列３９は、Ｘ方向に互いに隙間をあけた状態で並んでいる。各ノズル列３９において、複数のノズル３７は、Ｙ方向に沿って所定のノズル間隔Ｐで形成されている。
以下において、４本のノズル列３９のそれぞれが識別される場合に、ノズル列３９ａ、ノズル列３９ｂ、ノズル列３９ｃ及びノズル列３９ｄという表記が用いられる。
吐出ヘッド３３において、ノズル列３９ａとノズル列３９ｂとは、互いにＹ方向にＰ／２の距離だけずれている。ノズル列３９ｃ及びノズル列３９ｄも、互いにＹ方向にＰ／２の距離だけずれている。
【００２０】
２個の紫外線照射装置１５（１５ａ，１５ｂ）は、それぞれ、Ｘ方向にヘッドユニット１３を挟んで互いに対峙する位置に設けられている。
紫外線照射装置１５ａ，１５ｂは、それぞれ、紫外光４１を発する光源４３を有している。光源４３からの紫外光４１は、吐出ヘッド３３から吐出された機能液５３（液状体）の硬化を促進させる。機能液５３は、紫外光４１の照射を受けると、硬化が促進する。
光源４３としては、例えば、ＬＥＤ、ＬＤ、水銀ランプ、メクルハライドランプ、キセノンランプ、エキシマランプ等の種々の光源４３が採用され得る。
【００２１】
図４は、図２のＢ−Ｂ線における断面図である。
吐出ヘッド３３は、ノズルプレート４６と、キャビティープレート４７と、振動板４８と、複数の圧電崇子４９と、を有している。
ノズルプレート４６は、ノズル面３５を有している。複数のノズル３７は、ノズルプレート４６に設けられている。
キャビティープレート４７は、ノズルプレート４６のノズル面３５とは反対側の面に設けられている。キャビティープレート４７には、複数のキャビティー５１が形成されている。各キャビティー５１は、各ノズル３７に対応して設けられており、対応する各ノズル３７に連通している。各キャビティー５１には、不図示のタンクから機能液５３が供給される。
【００２２】
振動板４８は、キャビティープレート４７のノズルプレート４６側とは反対側の面に設けられている。振動板４８は、Ｚ方向に振動（縦振動）することによって、キャビティー５１内の容積を拡大したり、縮小したりする。
複数の圧電崇子４９は、それぞれ、振動板４８のキャビティープレート４７側とは反対側の面に設けられている。各圧電崇子４９は、各キャビティー５１に対応して設けられており、振動板４８を挟んで各キャビティー５１に対向している。各圧電素子４９は、駆動信号に基づいて、伸長する。
これにより、振動板４８がキャビティー５１内の容積を縮小する。このとき、キャビティー５１内の機能液５３に圧力が付与される。その結果、ノズル３７から、機能液５３が液滴（液体）５５として吐出される。吐出ヘッド３３による液滴５５の吐出法は、インクジェット法の１つである。インクジェット法は、塗布法の１つである。
【００２３】
そして、吐出ヘッド３３は、ノズル面３５がヘッドプレート３１から突出した状態で、ヘッドプレート３１に支持されている。さらに、ヘッドユニット１３は、キャリッジ７に支持されている。ヘッドユニット１３は、ノズル面３５がＺ方向の下方に向けられた状態でキャリッジ７に支持されている。
このようにして、ワークＷには、吐出ヘッド３３から機能液５３が塗布され得る。
【００２４】
なお、本実施形態では、縦振動型の圧電素子４９が採用されているが、機能液５３に圧力を付与するための加圧手段は、これに限定されず、例えば、下電極と圧電休層と上電極とを積層形成した撓み変形型の圧電素子も採用され得る。
また、加圧手段としては、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルから液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなども採用され得る。さらに、発熱体を用いてノズル内に泡を発生させ、その泡によって機能液に圧力を付与する構成も採用され得る。
【００２５】
機能液５３としては、光の照射を受けることによって硬化が促進する機能液５３が採用されている。また、機能液５３の硬化を促進させる光として、紫外光４１が採用されている。
機能液５３は、樹脂材料、光重合開始剤及び溶媒を、成分として含んでいる。これらの成分に、顔料や染料等の色素や、親液性や撥液性等の表面改質材料などの機能性材料身添加することによって固有の機能を有する機能液５３を生成することができる。顔料や染料等の色素を含有する機能液５３は、例えば、ワークＷに描画する画像を形成するための機能液５３として採用され得る。
以下において、ワークＷに描画する画像を形成するための機能液５３は、画像塗料と呼ばれる。
【００２６】
また、機能液５３の成分としての樹脂材料に、例えば、アクリル系の樹脂材料などの光透過性を有する樹脂材料身採用することによって、光透過性を有する機能液５３を構成することができる。このような光透過性を有する機能液５３は、例えば、クリアインクとしての用途が考えられる。以下において、光透過性を有する機能液５３は、透光塗料と呼ばれる。
クリアインクの用途としては、例えば、画像を被覆するオーバーコート層としての用途や、画像を形成する前の下地層としての用途などが考えられる。以下において、下地層として適用される機能液５３は、下地塗料と呼ばれる。
下地塗料としては、透光塗料だけでなく、透光塗料に種々の顔料を添加した機能液５３を採用することもできる。例えば、白色を呈する機能液５３や、金属的な光沢（メタリッ列を示す機能液５３なども、下地塗料として採用され得る。
【００２７】
機能液５３における樹脂材料は、樹脂膜を形成する材料である。このような樹脂材料としては、常温で液状であり、重合させることによってポリマーとなる材料であれば特に限定されない。樹脂材料としては、粘性が小さいものが好ましく、オリゴマーの形態であるのが好ましい。さらに、樹脂材料としては、モノマーの形態であることが一層好ましい。
光重合開始剤は、ポリマーの架橋吐基に作用して架橋反応を進行させる添加剤である。光重合開始剤としては、例えば、ペンジルジメチルケタールなどが採用され得る。本実施形態では、光重合開始剤として、ラジカル型の光重合開始剤が採用されている。ラジカル型の光重合開始剤としては、例えば、チバ・ジャパン（株）社製のイルガキュア８１９などが採用され得る。
溶媒は、樹脂材料の粘度を調整するためのものである。
【００２８】
図１に戻り、キャリッジ搬送装置１１は、架台１０１と、ガイドレール１０３と、を有している。
架台１０１は、Ｘ方向に延在しており、ワーク搬送装置３をＸ方向にまたいでいる。架台１０１は、ワーク搬送装置３の上面に対向している。架台１０１は、一対の支柱１０７によって支持されている。二対の支柱１０７（１０７ａ，１０７ｂ）は、定盤２１を挟んでＸ方向に互いに対峙する位置に設けられている。
支柱１０７は、ワーク搬送装置３よりもＺ方向の上方に突出している。これにより、架台１０１とワーク搬送装置３との間には、隙間が保たれている。
【００２９】
ガイドレール１０３は、架台１０１の定盤２１側に設けられている。ガイドレール１０３は、Ｘ方向に沿って延在しており、架台１０１のＸ方向における幅にわたって設けられている。
キャリッジ７は、ガイドレール１０３に支持されている。キャリッジ７がガイドレール１０３に支持された状態において、吐出ヘッド３３のノズル面３５は、Ｚ方向において、ワーク搬送装置３に対向している。
キャリッジ７は、ガイドレール１０３によってＸ方向に沿って案内され、Ｘ方向に往復動可能な状態でガイドレール１０３に支持されている。
なお、平面視で、キャリッジ７がワーク搬送装置３に重なっている状態において、ノズル面３５とワーク搬送装置３の上面（後述する載置面２４ａ，２６ａ）とは、互いに隙間を保った状態で対向する。
【００３０】
キャリッジ７は、不図示の移動機構及び動力源によって、Ｘ方向に往復動可能に構成されている。移動機構としては、例えば、ボールねじやリニアガイドなどを利用した機構が採用され得る。
また、本実施形態では、キャリッジ７をＸ方向に沿って移動させるための動力源として、不図示のキャリッジ搬送モーターが採用されている。キャリッジ搬送モーターとしては、ステッピングモーター、サーボモーター、リニアモーターなどの種々のモーターが採用され得る。
キャリッジ搬送モーターからの動力は、移動機構を介してキャリッジ７に伝達される。これにより、キャリッジ７は、ガイドレール１０３に沿って往復移動することができる。つまり、キャリッジ搬送装置１１は、キャリッジ７に支持されたヘッドユニット１３を、Ｘ方向に沿って往復移動させることができる。
液滴吐出装置１では、吐出ヘッド３３をワークＷ（ワークＷ１，Ｗ２）に対向させた状態で、吐出ヘッド３３とワークＷとを相対的に往復移動させながら、吐出ヘッド３３から液滴５５を吐出させることによって、ワークＷへのパターンの描画が行われる。
【００３１】
図５は、ワーク搬送装置３の構成を示す平面図及び側面図である。
ワーク搬送装置３は、床面Ｆに載置された定盤２１、定盤２１に対してＹ方向（第一方向）に移動可能なスライダー２３、スライダー２３に載置された第一ワークテーブル２４、スライダー２３に載置されると共にスライダー２３に対してＹ方向に移動可能な第二ワークテーブル２６等を備えている。
【００３２】
定盤２１は、例えば金属製のフレーム等の熱膨張係数が小さい材料で構成されており、Ｙ方向に沿って延びるように据えられている。
定盤２１の上面２１ａには、２本のガイドレール２２が平行に敷設される。ガイドレール２２は、互いにＸ方向に隙間をあけた状態で並んで、Ｙ方向に沿って延在している。
【００３３】
スライダー２３は、ガイドレール２２を挟んで定盤２１の上面２１ａに対向した状態で設けられている。スライダー２３は、ガイドレール２２によってＹ方向に沿って案内され、定盤２１上をＹ方向に沿って往復移動可能に構成されている。
スライダー２３の上面２３ａと下面は、ほぼ平行に形成される。そして、スライダー２３の上面２３ａのＸ（＋）側（第二方向の一方側）には、ワークＷ１が載置される第一ワークテーブル（第一ワーク搬送テーブル）２４が配置される。スライダー２３の上面２３ａのＸ（−）側（第二方向の他方側）には、ワークＷ２が載置される第二ワークテーブル（第二ワーク搬送テーブル）２６が配置される。
第一ワークテーブル２４と第二ワークテーブル２６は、平面視においてほぼ同一形状を有しており、スライダー２３の上面２３ａ上においてＸ方向に所定の間隙を有して並列に近接配置される。
【００３４】
スライダー２３の上面２３ａのＸ（−）側には、２本のガイドレール２８が平行に敷設される。ガイドレール２８は、互いにＸ方向に隙間をあけた状態で並んで、Ｙ方向に沿って延在している。これにより、第二ワークテーブル２６は、Ｙ方向に沿って案内され、スライダー２３上をＹ方向に沿って往復移動可能に構成されている。
【００３５】
第一ワークテーブル２４及び第二ワークテーブル２６は、それぞれ、ワークＷ（ワークＷ１，Ｗ２）が載置される面である載置面２４ａ，２６aを有している。載置面２４ａ，２６aは、スライダー２３側とは反対側（上側）に向けられている。
載置面２４ａ，２６aは、Ｚ方向の同一位置（高さ）において同一面内に位置するように調整されている。つまり、吐出ヘッド３３のノズル面３５から載置面２４ａまでの距離と載置面２４ａまでの距離は、同一距離に設定されている。
更に、第一ワークテーブル２４及び第二ワークテーブル２６は、それぞれ、載置面２４ａ，２６aをスライダー２３に対してＺ方向回りに回転させるθ１回転機構２５、θ２回転機構２７を備えている。
【００３６】
スライダー２３及び第二ワークテーブル２６は、それぞれ、不図示の移動機構及び動力源によって、Ｙ方向に往復動可能に構成されている。移動機構としては、例えば、ボールねじやリニアガイドなどを利用した機構が採用され得る。
θ１回転機構２５、θ２回転機構２７としては、例えば、円弧形ガイドやクロスローラリングなどを利用した機構が採用され得る。
【００３７】
スライダー２３及び第二ワークテーブル２６をＹ方向に沿って移動させるための動力源として、ステッピングモーター、サーボモーター、リニアモーターなどの種々のモーターが採用され得る（スライダー搬送モーター１２３、第二ワークテーブル搬送モーター１２４）。
同様に、θ１回転機構２５、θ２回転機構２７の動力源として、ステッピングモーター、サーボモーター、リニアモーターなどの種々のモーターが採用され得る（第一ワークテーブル回転モーター１２５、第二ワークテーブル回転モーター１２６）。
【００３８】
これにより、ワーク搬送装置３は、スライダー２３をＹ方向に移動させることにより、第一ワークテーブル２４の載置面２４ａに載置されたワークＷ１と、第二ワークテーブル２６の載置面２６ａに載置されたワークＷ２を、同時にＹ方向に沿って往復移動させることができる。
また、スライダー２３に対して第二ワークテーブル２６をＹ方向に移動させることにより、第一ワークテーブル２４に対する第二ワークテーブル２６のＹ方向の位置を調整可能である。つまり、ワークＷ１とワークＷ２のＹ方向の相対位置を調整可能である。
同様に、θ１回転機構２５、θ２回転機構２７を駆動することにより、スライダー２３に対する第一ワークテーブル２４及び第二ワークテーブル２６のＺ方向回りの姿勢をそれぞれ独立に調整可能である。つまり、吐出ヘッド３３に対するワークＷ１とワークＷ２のＺ方向回りの相対姿勢を調整可能である。
【００３９】
第一ワークテーブル２４の載置面２４ａ及び第二ワークテーブル２６の載置面２６ａには、それぞれアライメントマーク２４ｂ，２６ｂが貼付又は刻印されている。
このアライメントマーク２４ｂ，２６ｂは、ワーク搬送装置３の上流側（Ｙ（−）側）に配置されたアライメントカメラ６１，６２により検出される。
そして、アライメントカメラ６１，６２によるアライメントマーク２４ｂ，２６ｂの検出結果に基づいて、第一ワークテーブル２４に対する第二ワークテーブル２６のＹ方向の位置調整、すなわちワークＷ１とワークＷ２のＹ方向の相対位置の調整が行われる。
同様に、アライメントカメラ６１，６２によるアライメントマーク２４ｂ，２６ｂの検出結果に基づいて、スライダー２３（定盤２１）に対する第一ワークテーブル２４及び第二ワークテーブル２６のＺ方向回り（θ方向）の姿勢調整、すなわち吐出ヘッド３３に対するワークＷ１及びワークＷ２のＺ方向回りの相対姿勢の調整も行われる。
【００４０】
アライメントカメラ（検出部）６１，６２は、ワーク搬送装置３の上流側に配置される。
ワーク搬送装置３の上流側において、架台１０１を支持する一対の支柱１０７には、カメラ支持部材６５が架台１０１と平行となるように架け渡されている。そして、カメラ支持部材６５に対して、アライメントカメラ６１，６２が第一ワークテーブル２４の載置面２４ａ及び第二ワークテーブル２６に対向するようにして配置されている。
なお、アライメントカメラ６１，６２の配置位置は、図１に示される位置に限定されず、ワークＷ（ワークＷ１，Ｗ２）を給材した位置でアライメントマーク２４ｂ，２６ｂを取り込める位置であればよい。
【００４１】
図６は、液滴吐出装置１の制御ブロック図である。
液滴吐出装置１は、上記各構成の動作を制御する制御部１１１を有している。制御部１１１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）１１３と、制御部１１５と、メモリー部１１７と、を有している。制御部１１５及びメモリー部１１７は、バス１１９を介してＣＰＵ１１３に接続されている。
また、液滴吐出装置１は、キャリッジ搬送モーター１２１、スライダー搬送モーター１２３、第二ワークテーブル搬送モーター１２４、第一ワークテーブル回転モーター１２５、第二ワークテーブル回転モーター１２６、入力装置１２９、表示装置１３１等を有している。これらは、それぞれ、入出力インターフェース１３３とバス１１９とを介して制御部１１１に接続されている。
また、アライメントカメラ６１，６２も、入出力インターフェース１３３とバス１１９とを介して制御部１１１に接続されている。
【００４２】
キャリッジ搬送モーター１２１は、キャリッジ７を駆動するための動力を発生させる。
スライダー搬送モーター１２３は、スライダー２３を駆動するための動力を発生させる。第二ワークテーブル搬送モーター１２４は、第二ワークテーブル２６を駆動するための動力を発生させる。
第一ワークテーブル回転モーター１２５は、θ１回転機構２５を駆動するための動力を発生させる。第二ワークテーブル回転モーター１２６は、θ２回転機構２７を駆動するための動力を発生させる。
【００４３】
入力装置１２９は、各種の加工条件を入力する装置である。表示装置１３１は、加工条件や、作業状況を表示する装置である。液滴吐出装置１を操作するオペレーターは、表示装置１３１に表示される情報を確認しながら、入力装置１２９を介して種々の情報を入力することができる。
吐出ヘッド３３、紫外線照射装置１５ａ，１５ｂも、それぞれ、入出力インターフェース１３３とバス１１９とを介して制御部１１１に接続されている。
【００４４】
ＣＰＵ１１３は、プロセッサーとして各種の演算処理を行う。制御部１１５は、各構成の駆動を制御する。メモリー部１１７は、ＲＡＭ（Random Access Memory）や、ＲＯＭ（Read Only Memory）などを含んでいる。
メモリー部１１７には、液滴吐出装置１における動作の制御手順が記述されたプログラムソフト１３５を記憶する領域や、各種のデータを一時的に展開する領域であるデータ展開部１３７などが設定されている。データ展開部１３７に展開されるデータとしては、例えば、描画すべきパターンが示される描画データや、描画処理等のプログラムデータなどが挙げられる。
制御部１１５は、モーター制御部１４１と、吐出制御部１４５と、照射制御部１４７と、表示制御部１５１と、を有している。
【００４５】
モーター制御部１４１は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、キャリッジ搬送モーター１２１の駆動及びスライダー搬送モーター１２３の駆動を個別に制御する。
また、モーター制御部１４１は、アライメントカメラ６１，６２からの検出結果に基づいて、第二ワークテーブル２６を駆動して、第一ワークテーブル２４と第二ワークテーブル２６のＹ方向の相対位置を調整する。同様に、モーター制御部１４１は、アライメントカメラ６１，６２からの検出結果に基づいて、θ１回転機構２５、θ２回転機構２７を駆動して、第一ワークテーブル２４及び第二ワークテーブル２６のＺ方向回りの姿勢を個別に制御する。
【００４６】
吐出制御部（噴射制御部）１４５は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、吐出ヘッド３３の駆動を制御する。
照射制御部１４７は、ＣＰＵ1１３からの指令に基づいて、紫外線照射装置１５ａ，１５ｂのそれぞれにおける光源４３の発光状態を個別に制御する。
表示制御部１５１は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、表示装置１３１の駆動を制御する。
【００４７】
次に、液滴吐出装置１における描画処理について説明する。
図７は、液滴吐出装置１による描画処理を示すフロー図である。
液滴吐出装置１では、制御部１１１が入力装置１２９から入出力インターフェース１３３及びバス１１９を介して描画データを受け取ると、ＣＰＵ１１３によって、図７に示す描画処理が開始される。
描画データは、機能液５３（液状体）により、ワークＷ（ワークＷ１，Ｗ２）に描画すべきパターンを指示するものであり、描画すべきパターンがビットマップ状に表現されている。ワークＷへのパターンの描画は、吐出ヘッド３３をワークＷに対向させた状態で、吐出ヘッド３３とワークＷとを相対的に往復移動させながら、吐出ヘッド３３から液滴５５を所定周期で吐出させることによって行われる。
【００４８】
最初に、ＣＰＵ１１３は、ステップＳ１において、キャリッジ搬送指令をモーター制御部１４１に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、キャリッジ搬送モーター１２１の駆動を制御して、キャリッジ７を往路開始位置に移動させる。
液滴吐出装置１では、描画エリアが設定されている。描画エリアは、
第一ワークテーブル２４及び第二ワークテーブル２６によってＹ方向に沿って描かれる軌跡と、吐出ヘッド３３によってＸ方向（走査方向）に沿って描かれる軌跡とが重なり合う領域である。
そして、往路開始位置は、キャリッジ７をＸ方向に沿って往復移動させるときの往路が開始する位置である。往路開始位置は、平面視で、描画エリアの外側に位置している。往路開始位置は、平面視で、描画エリアの支柱１０７ａ側に位置している。
【００４９】
次いで、ステップＳ２において、ＣＰＵ１１３は、ワーク搬送指令をモーター制御部１４１に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、スライダー搬送モーター１２３の駆動を制御して、ワークＷ（ワークＷ１，Ｗ２）を描画エリアに向けて移動させる。
この際、モーター制御部１４１は、第二ワークテーブル搬送モーター１２４、第一ワークテーブル回転モーター１２５及び第二ワークテーブル回転モーター１２６の駆動も制御する。
具体的には、第一ワークテーブル２４及び第二ワークテーブル２６がアライメントカメラ６１，６２の下方を通過した際に、第一ワークテーブル２４及び第二ワークテーブル２６の載置面２４ａ，２６aに刻印されたアライメントマークを検出する。そして、アライメントカメラ６１，６２の検出結果に基づいて、制御部１１１が第一ワークテーブル２４と第二ワークテーブル２６の位置・姿勢を求める。更に、モーター制御部１４１が、第一ワークテーブル２４と第二ワークテーブル２６の位置・姿勢（Ｙ，θ）が所定の範囲内となるように、第二ワークテーブル搬送モーター１２４、第一ワークテーブル回転モーター１２５及び第二ワークテーブル回転モーター１２６を駆動制御する。つまり、ワークＷ１，Ｗ２のＹ方向の相対位置と、吐出ヘッド３３に対するワークＷ１，Ｗ２のＺ方向周り（θ方向）の姿勢が調整される。具体的には、ワークＷ１，Ｗ２のＸ方向の両端が同一直線上において平行となるように調整される。
そして、ワークＷ１，Ｗ２の位置・姿勢（Ｙ，θ）の調整が完了すると、第二ワークテーブル搬送モーター１２４、第一ワークテーブル回転モーター１２５及び第二ワークテーブル回転モーター１２６を停止させて、第一ワークテーブル２４と第二ワークテーブル２６の位置・姿勢（Ｙ，θ）が固定され、ワークＷ１，Ｗ２が位置ずれ・回転ずれが防止される。
【００５０】
また、吐出制御部１４５は、アライメントカメラ６１，６２の検出結果に基づいて求められたワークＷ１とワークＷ２の走査方向の距離に基づいて、描画データを補正する。
具体的には、まず、ワークＷ１とワークＷ２の走査方向の距離に対応する無吐出画像データを生成する。次いで、描画データのうち、ワークＷ１に対する描画データとワークＷ２に対する描画データとの間に、生成した無吐出画像データを挿入して、一つの描画データを生成する。つまり、描画データにおけるワークＷ１，Ｗ２への吐出開始位置を、実際のワークＷ１，Ｗ２の位置に合わせ込むように補正する。
これにより、ワークＷ１，Ｗ２に対する描画処理を一つの描画データを用いて、キャリッジ７を途中で停止させることなく連続的に行うことが可能となる。
【００５１】
次に、ステップＳ３において、ＣＰＵ１１３は、キャリッジ走査指令をモーター制御部１４１に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、キャリッジ搬送モーター１２１の駆動を制御して、キャリッジ７の往復移動を開始させる。
ここで、キャリッジ７の往復移動では、キャリッジ７は、上述した往路開始位置と復路開始位置との間を往復移動する。つまり、往路開始位置から復路開始位置で折り返して往路開始位置に戻る経路がキャリッジ７の１往復である。このため、往路開始位置から復路開始位置に向かう経路がキャリッジ７の往路である。他方で、復路開始位置から往路開始位置に向かう経路がキャリッジ７の復路である。
なお、復路開始位置は、Ｘ方向に描画エリアを挟んで往路開始位置に対峙する位置である。復路開始位置は、平面視で、描画エリアの外側に位置している。このため、往路開始位置と復路開始位置とは、平面視で、描画エリアをＸ方向に挟んで互いに対峙している。復路開始位置は、平面視で、描画エリアの支柱１０７ｂ側に位置している。
【００５２】
次いで、ステップＳ４において、ＣＰＵ１１３は、紫外線照射装置１５ａに対する照射指令を照射制御部１４７に出力する。このとき、照射制御部１４７は、紫外線照射装置１５ａの光源４３の駆動を制御して、紫外線照射装置１５ａの光源４３を点灯させる。
次いで、ステップＳ５において、ＣＰＵ１１３は、吐出ヘッド３３の位置が往路における描画開始位置に到達したか否かを判定する。ここで、描画開始位置は、描画エリア内で吐出ヘッド３３から液滴５５の吐出を開始させる位置である。
このとき、吐出ヘッド３３の位置が描画開始位置に到達した（Ｙｅs）と判定されると、処理がステップＳ６に移行する。他方で、吐出ヘッド３３の位置が描画開始位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、吐出ヘッド３３の位置が描画開始位置に到達するまで処理が待機される。
次いで、ステップＳ６において、ＣＰＵ１１３は、吐出指令を吐出制御部１４５に出力する。このとき、吐出制御部１４５は、吐出ヘッド３３の駆動を制御して、描画データに基づいて、各ノズル３７から液滴５５を吐出させる。これにより、往路での描画が開始される。
【００５３】
次いで、ステップＳ７において、ＣＰＵ１１３は、吐出ヘッド３３の位置が往路における描画停止位置に到達したか否かを判定する。ここで、描画停止位置は、描画エリア内で吐出ヘッド３３から液滴５５の吐出を停止させる位置である。
このとき、吐出ヘッド３３の位置が描画停止位置に到達した（Ｙｅs）と判定されると、処理がステップＳ８に移行する。他方で、吐出ヘッド３３の位置が描画停止位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、吐出ヘッド３３の位置が描画停止位置に到達するまで処理が待機される。
【００５４】
次いで、ステップＳ８において、ＣＰＵ１１３は、吐出停止指令を吐出制御部１４５に出力する。このとき、吐出制御部１４５は、吐出ヘッド３３の駆動を停止して、各ノズル３７からの液滴５５の吐出を停止させる。これにより、往路での描画が終了する。
次いで、ステップＳ９において、ＣＰＵ１１３は、紫外線照射装置１５ａに対する照射停止指令を照射制御部１４７に出力する。このとき、照射制御部１４７は、紫外線照射装置１５ａの光源４３の駆動を制御して、紫外線照射装置１５ａの光源４３を消灯させる。
【００５５】
次いで、ステップＳ１０において、ＣＰＵ１１３は、キャリッジ７の位置が復路開始位置に到達したか否かを判定する。このとき、キャリッジ７の位置が復路開始位置に到達した（Ｙｅs）と判定されると、処理がステップＳ１１に移行する。他方で、キャリッシ７の位置が復路開始位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、キャリッジ７の位置が復路開始位置に到達するまで処理が待機される。
次いで、ステップＳ１１において、ＣＰＵ１１３は、改行指令をモーター制御部１４１に出力する。このとき、改行指令を受けたモーター制御部１４１は、スライダー搬送モーター１２３の駆動を制御して、ワークＷをＹ（＋）側に移動（改行）させ、ワークＷにおいてパターンを描画すべき新たな領域を描画エリアに移動させる。
【００５６】
次いで、ステップＳ１２では、ＣＰＵ１１３は、描画データが終了したか否かを判定する。このとき、描画データが終了した（Ｙｅs）と判定されると、処理がステップＳ１３に移行する。他方で、描画データが終了していない（Ｎｏ）と判定されると、処理がステップＳ１４に移行する。
ステップＳ１３では、ＣＰＵ１１３は、キヤリッジ７の位置が往路開始位置に到達したか否かを判定する。このとき、キャリッジ７の位置が往路開始位置に到達した（Ｙｅs）と判定されると、処理がステップＳ２４に移行する。他方で、キャリッジ７の位置が往路開始位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、キャリッジ７の位置が往路開始位置に到達するまで処理が待機される。
【００５７】
次いで、ステップＳ１４において、ＣＰＵ１１３は、紫外線照射装置１５ｂに対する照射指令を照射制御部１４７に出力する。このとき、照射制御部１４７は、紫外線照射装置１５ｂの光源４３の駆動を制御して、紫外線照射装置１５ｂの光源４３を点灯させる。
次いで、ステップＳ１５において、ＣＰＵ１１３は、吐出ヘッド３３の位置が復路における描画開始位置に到達したか否かを判定する。このとき、吐出ヘッド３３の位置が描画開始位置に到達した（Ｙｅs）と判定されると、処理がステップＳ１６に移行する。他方で、吐出ヘッド３３の位置が描画開始位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、吐出ヘッド３３の位置が描画開始位置に到達するまで処理が特機される。
次いで、ステップＳ１６において、ＣＰＵ１１３は、吐出指令を吐出制御部１４５に出力する。このとき、吐出制御部１４５は、吐出ヘッド３３の駆動を制御して、描画データに基づいて、各ノズル３７から液滴５５を吐出させる。これにより、復路での描画が開始される。
【００５８】
次いで、ステップＳ１７において、ＣＰＵ１１３は、吐出ヘッド３３の位置が復路における描画停止位置に到達したか否かを判定する。このとき、吐出ヘッド３３の位置が描画停止位置に到達した（Ｙｅs）と判定されると、処理がステップＳ１８に移行する。他方で、吐出ヘッド３３の位置が描画停止位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、吐出ヘッド３３の位置が描画停止位置に到達するまで処理が待機される。
次いで、ステップＳ１８において、ＣＰＵ１１３は、吐出停止指令を吐出制御部１４５に出力する。このとき、吐出制御部１４５は、吐出ヘッド３３の駆動を停止して、各ノズル３７からの液滴５５の吐出を停止させる。これにより、復路での描画が終了する。
次いで、ステップＳ１９において、ＣＰＵ１１３は、紫外線照射装置１５ｂに対する照射停止指令を照射制御部１４７に出力する。このとき、照射制御部１４７は、紫外線照射装置１５ｂの光源４３の駆動を制御して、紫外線照射装置１５ｂの光源４３を消灯させる。
【００５９】
次いで、ステップＳ２０において、ＣＰＵ１１３は、キャリッジ７の位置が往路開始位置に到達したか否かを判定する。このとき、キャリッジ７の位置が往路開始位置に到達した（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ２１に移行する。他方で、キャリッジ７の位置が往路開始位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、キャリッジ７の位置が往路開始位置に到達するまで処理が待機される。
次いで、ステップＳ２１において、ＣＰＵ１１３は、改行指令をモーター制御部１４１に出力する。このとき、改行指令を受けたモーター制御部１４１は、スライダー搬送モーター１２３の駆動を制御して、ワークＷをＹ（＋）側に移動（改行）させ、ワークＷにおいてパターンを描画すべき新たな領域を描画エリアに移動させる。
次いで、ステップＳ２２において、ＣＰＵ１１３は、描画データが終了したか否かを判定する。このとき、描画データが終了した（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ２３に移行する。他方で、描画データが終了していない（Ｎｏ）と判定されると、処理がステップＳ４に移行する。
【００６０】
ステップＳ２３では、ＣＰＵ１１３は、キャリッジ７の位置が復路開始位置に到達したか否かを判定する。このとき、キャリッジ７の位置が復路開始位置に到達した（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ２４に移行する。他方で、キャリッジ７の位置が復路開始位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、キャリッジ７の位置が復路開始位置に到達するまで処理が待機される。
次いで、ステップＳ２４において、ＣＰＵ１１３は、キャリッジ走査停止指令をモーター制御部１４１に出力してから、処理を終了させる。このとき、キャリッジ走査停止指令を受けたモーター制御部１４１は、キャリッジ搬送モーター１２１の駆動を制御して、キャリッジ７の往復移動を停止させる。
【００６１】
以上、説明したように、液滴吐出装置１によれば、一つのヘッドユニット１３（キャリッジ７）の１回の走査の間に、２つのワークＷ１，Ｗ２に対して同一の走査の間に描画処理を行うことができるので、高い描画能力（液体噴射効率）を実現することができる。
また、ワークＷ１，Ｗ２を載置する第一ワークテーブル２４，第二ワークテーブル２６が同時にＹ方向に移動すると共に、第二ワークテーブル２６が第一ワークテーブル２４に対して位置調整可能に構成したので、少ない軸構成（移動機構）によりワークＷ１，Ｗ２の位置姿勢の調整を実現することができる。したがって、装置コストの上昇を最小限に抑えることができる。
【００６２】
本実施形態では、ステップＳ２において吐出制御部１４５が、アライメントカメラ６１，６２の検出結果に基づいて求められたワークＷ１とワークＷ２の走査方向の距離に基づいて、描画データを補正する例を示したが、これに限らない。画像データの補正は行わずに、Ｘ方向における吐出タイミングを補正することで対応しても良い。
このときワークＷ１，Ｗ２に対する描画処理は、キャリッジ７を途中で停止させることなく連続的に行うように制御しておく。
また、本実施形態では、スライダー２３と第一ワークテーブル２４とを別々に構成したが、一体に構成するようにしても良い。
【００６３】
図８は、ワーク搬送装置の変形例を示す平面図及び側面図である。なお、ワーク搬送装置３と同一の構成部材等には、同一の符号を付してその説明を省略する。
ワーク搬送装置４は、第二ワークテーブル２６とスライダー２３との間に、副走査方向（Ｙ方向（第一方向））に敷設されたガイドレール２８に加えて、走査方向（Ｘ方向（第二方向））に敷設されたガイドレール２９が設けられている。これにより、第二ワークテーブル２６は、Ｘ方向及びＹ方向に沿って案内され、スライダー２３上をＸ方向及びＹ方向に沿って往復移動可能に構成されている。
これにより、第一ワークテーブル２４と第二ワークテーブル２６のＸ方向の間隔を正確に調整することが可能となる。
【００６４】
また、本変形例では、第二ワークテーブル２６とスライダー２３との間に、Ｙ方向に敷設されたガイドレール２８に加えて、Ｘ方向に敷設されたガイドレール２９が設けられる構成を示したが、これに限らない。
Ｘ方向に敷設されたガイドレール２９は、第一ワークテーブル２４とスライダー２３との間に施設してもよい。この場合、ガイドレール２８と２９とが、第一ワークテーブル２４と第二ワークテーブル２６とに分散して配置されるため、装置の高さを本変形例に比べて低くすることができる。また、精度影響も本変形例に比べて小さくすることができる。
【００６５】
また、ワーク搬送装置４を用いた場合には、上述した描画処理のステップＳ２において以下の処理が行われる（ステップＳ２´）。
すなわち、ステップＳ２´においては、アライメントカメラ６１，６２の検出結果に基づいて、第一ワークテーブル２４と第二ワークテーブル２６の位置・姿勢（Ｘ，Ｙ,θ）を求めた後に、第一ワークテーブル２４と第二ワークテーブル２６の位置・姿勢（Ｘ，Ｙ,θ）が所定の範囲内となるように調整される。つまり、ワークＷ１，Ｗ２のＸ方向及びＹ方向の相対位置、吐出ヘッド３３に対するワークＷ１，Ｗ２のＺ方向回り（θ方向）の相対姿勢がそれぞれ調整される。
また、吐出制御部１４５では、ワークＷ１とワークＷ２の走査方向（Ｘ）の距離が所定の範囲内となるように調整されることが予め分かっているので、その距離に応じた無吐出画像データが予め用意されている。したがって、この無吐出画像データをワークＷ１に対する描画データとワークＷ２に対する描画データとの間に挿入して、一つの描画データを生成する。
【００６６】
ワーク搬送装置４を用いた場合にも、一つのヘッドユニット１３（キャリッジ７）の１回の走査の間に、２つのワークＷ１，Ｗ２に対して同一の走査の間に描画処理を行うことができるので、高い描画能力（液体噴射効率）を実現することができる。
また、ワークＷ１，Ｗ２を載置する第一ワークテーブル２４，第二ワークテーブル２６が同時にＹ方向に移動すると共に、第二ワークテーブル２６が第一ワークテーブル２４に対して位置調整可能に構成したので、少ない軸構成（移動機構）によりワークＷ１，Ｗ２の位置姿勢の調整を実現することができる。したがって、装置コストの上昇を最小限に抑えることができる。
【００６７】
また、本変形例では、ステップＳ２´において、吐出制御部１４５では、予め用意されている無吐出画像データをワークＷ１に対する描画データとワークＷ２に対する描画データとの間に挿入して、一つの描画データを生成する例を示したが、これに限らない。
ワークＷ１とワークＷ２の位置・姿勢（Ｘ，Ｙ，θ）が所定の範囲内となるように調整されることが予め分かっているので、無吐出画像データをワークＷ１に対する描画データとワークＷ２に対する描画データとの間に挿入して作成した一つの描画データを予め用意しておいてもよい。
【００６８】
また、上述した実施形態では、圧力発生室内の液体に圧力を付与する圧力発生素子として、撓み振動型の圧電素子を例示したが、特に限定されない。例えば、圧力発生素子として、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子であってもよいし、発熱素子等であってもよい。
【００６９】
また、上述の実施形態では、機能液を吐出する液滴吐出装置について説明したが、本発明は広く液体噴射装置全般を対象としたものである。
液体噴射装置としては、例えば、インク滴を吐出するインクジェット式プリンター、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射装置、有機ＥＬディスプレーやＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射装置、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射装置等を挙げることができる。
【００７０】
また、上述の実施形態では、吐出ヘッド３３がスライダー２３に対してＸ方向に往復走査する構成としたが、これに限らない。
スライダー２３が吐出ヘッド３３に対してＸ方向に往復走査する構成としても良い。この場合、吐出ヘッド３３はスライダー２３に対してＹ方向に移動可能としても良いし、吐出ヘッド３３を固定とするとともに、吐出ヘッド３３の長さをワークのＹ方向における印刷領域の幅以上とするいわゆるラインヘッドを採用してもよい。
また、スライダー２３をＹ方向に移動させる構成とし、吐出ヘッド３３の長さをワークのＸ方向における印刷領域の幅以上とするいわゆるラインヘッドを採用してもよい。この場合、第二ワーク搬送テーブル２６は、第一ワーク搬送テーブル２４に対して、少なくともＸ方向において相対位置を調整可能な構成とする。
また。ラインヘッドを採用する場合、吐出ヘッド３３を固定すると説明したがこれに限らず、解像度をあげるために吐出ヘッド３３も移動可能な構成としても良い。
【符号の説明】
【００７１】
１…液滴吐出装置、 ３，４…ワーク搬送装置、 ２１…定盤、 ２３…スライダー、 ２４…第一ワークテーブル（第一ワーク搬送テーブル）、 ２５…θ１回転機構、 ２６…第二ワークテーブル（第二ワーク搬送テーブル）、 ２７…θ２回転機構、 ３３…吐出ヘッド（液体噴射ヘッド）、 ５５…液滴（液体）、 ６１，６２…アライメントカメラ（検出部）、 １１１…制御部、 １４１…モーター制御部、 １４５…吐出制御部（噴射制御部）、 Ｗ１，Ｗ２…ワーク
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
紫外線の照射を受けることによって硬化する機能液を記録媒体に向けて吐出することによって記録媒体に機能液を塗布し、記録媒体に塗布された機能液を紫外線の照射により硬化させることができる液滴吐出装置（液体噴射装置）がある。
このような液滴吐出装置は、例えば、機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドを主走査方向に移動させるヘッド移動手段と、記録媒体を副走査方向に移動させる記録媒体移動手段と、機能液に紫外線を照射する紫外線照射装置等を備えている。
【０００３】
そして、液滴吐出装置では、液滴吐出ヘッドの主走査方向において、複数の液滴吐出ヘッドからなるヘッドユニットの両側と記録媒体の搬送方向でヘッドユニットの下流側とに紫外線照射装置を配置したものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−３１３４４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
産業用途などに用いられる液体噴射装置では、高い生産能力（液体噴射効率）が求められる。高い液体噴射効率を得るためには、液体噴射ヘッドの走査速度等を高めたり、液体噴射ヘッドの数を増やすことが考えられる。
しかし、装置コストの上昇や、液体噴射の着弾精度などにおいて技術的な課題が多い。
【０００６】
本発明はこのような事情に鑑み、装置コストの上昇を抑えつつ、高い液体噴射効率を得ることができる液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。
本発明に係る液体噴射装は、ワークに対して液体を噴射する液体噴射ヘッドと、第一ワークを載置する第一ワーク搬送テーブルと、第二ワークを載置する第二ワーク搬送テーブルと、前記第一ワーク搬送テーブルと前記第二ワーク搬送テーブルとを載置しつつ第一方向へ移動可能なスライダーと、前記液体噴射ヘッド及び前記第二ワーク搬送テーブルを駆動制御する制御部と、を備え、前記第二ワーク搬送テーブルは、前記第一ワーク搬送テーブルの前記第一方向と交差する第二方向に並列配置されており、前記第一ワーク搬送テーブルに対して、前記第二ワークを載置しつつ前記第一方向に相対移動可能であることを特徴とする。
【０００８】
前記制御部は、前記液体噴射ヘッドからの液体噴射に先だって、前記第一ワーク搬送テーブルと前記第二ワーク搬送テーブルの前記第一方向における相対位置調整を行うことを特徴とする。
【０００９】
前記第二ワーク搬送テーブルは、前記第一ワーク搬送テーブルに対して前記第二方向に相対移動可能であり、前記制御部は、前記液体噴射ヘッドからの液体噴射に先だって、前記第一ワーク搬送テーブルと前記第二ワーク搬送テーブルの前記第二方向における相対位置調整を行うことを特徴とする。
【００１０】
前記制御部は、前記第一ワーク搬送テーブルを駆動制御可能であり、前記第一ワーク搬送テーブル及び前記第二ワーク搬送テーブルは、それぞれ、前記第一方向及び前記第二方向に直交する軸回りに回転可能であり、前記制御部は、前記液体噴射ヘッドからの液体噴射に先だって、前記第一ワーク搬送テーブルと前記第二ワーク搬送テーブルの前記軸周りにおける姿勢調整を行うことを特徴とする。
【００１１】
前記第一ワーク搬送テーブル及び前記第二ワーク搬送テーブルの位置姿勢検出を行う検出部を備え、前記制御部は、前記検出部の検出結果に基づいて、前記第一ワーク搬送テーブルと前記第二ワーク搬送テーブルの位置調整および姿勢調整の少なくとも一方を行うことを特徴とする。
【００１２】
前記液体噴射ヘッドからの液体噴射を制御する噴射制御部を備え、前記噴射制御部は、前記第一ワーク搬送テーブルと前記第二ワーク搬送テーブルの前記第二方向の間隔に基づいて液体噴射データを補正して、前記第一ワーク搬送テーブルに載置された前記第一ワーク及び前記第二ワーク搬送テーブルに載置された前記第二ワークに対して同一の走査の間に前記液体を噴射させることを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態に係る液滴吐出装置１の概略構成を示す斜視図である。
【図２】キャリッジ７を示す側面図である（図１のＡ矢視図）。
【図３】キャリッジ７を示す底面図である。
【図４】吐出ヘッド３３を示す断面図である（図２のＢ−Ｂ線に沿う断面図）。
【図５】ワーク搬送装置３の構成を示す平面図及び側面図である。
【図６】液滴吐出装置１の制御ブロック図である。
【図７】液滴吐出装置１による描画処理を示すフロー図である。
【図８】ワーク搬送装置の変形例（ワーク搬送装置４）を示す平面図及び側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態に係る液体噴射装置について図面を参照して説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００１５】
図１は、本発明の実施形態に係る液滴吐出装置１の概略構成を示す斜視図である。
なお、図１のＹ方向はワークＷ（Ｗ１，Ｗ２）の移動方向（第一方向、副走査方向）を示し、Ｘ方向は平面視でＹ方向とは直交する方向を示している（第二方向、走査方向）。ＸＹ平面と直交する方向は、Ｚ方向としている。
Ｙ（−）側を上流側（一方側）、Ｙ（＋）側を下流側（他方側）と呼ぶ。
【００１６】
液滴吐出装置（液体噴射装置）１は、ワーク搬送装置３、キャリッジ７及びキャリッジ搬送装置１１等を有している。キャリッジ７には、ヘッドユニット１３と２個の紫外線照射装置１５が設けられている。
液滴吐出装置１では、ヘッドユニット１３と基板などのワークＷとの平面視での相対位置を変化させつつ、ヘッドユニット１３から液状体を液滴として吐出させることによって、ワークＷに液状体で所望のパターンを描画することができる。
【００１７】
このような液滴吐出装置１は、例えば、樹脂フィルムなどのように、液状体が浸透しにくい記録媒体への描画に適用され得る。
また、液滴吐出装置１を、例えば、液晶表示パネル等に用いられるカラーフィルターの製造や、有機ＥＬ（Electro Luminescence）装置の製造などに適用することもできる。
赤、緑及び青の３色のフィルターエレメントを有するカラーフィルターの場合、液滴吐出装置１は、例えば、基板に赤、緑及び青の各着色層を形成する工程で好適に使用され得る。この場合、ヘッドユニット１３から各着色層に対応する各液状体を、ワークＷに液滴として吐出させることによって、ワークＷに赤、緑及び青のそれぞれのフィルターエレメントのパターンが描画される。
また、有機ＥＬ装置の製造では、例えば、赤、緑及び青の画素ごとに、各色に対応する機能層（有機層）を形成する工程で好適に使用され得る。この場合、ヘッドユニット１３から各色の機能層に対応する各液状体を、ワークＷに液滴として吐出させることによって、ワークＷに赤、緑及び青のそれぞれの機能層のパターンが描画される。
【００１８】
図２は、キャリッジ７を示す側面図である（図１のＡ矢視図）。図３は、キャリッジ７を示す底面図である。
なお、図３では、ノズル３７をわかりやすく示すため、ノズル３７が誇張され、且つノズル３７の個数が減じられている。
【００１９】
ヘッドユニット１３は、ヘッドプレート３１と、吐出ヘッド３３と、を有している。
吐出ヘッド（液体噴射ヘッド）３３は、ノズル面３５を有している。ノズル面３５には、複数のノズル３７が形成されている。
吐出ヘッド３３において、複数のノズル３７は、Ｙ方向に沿って配列する４本のノズル列３９を構成している。４本のノズル列３９は、Ｘ方向に互いに隙間をあけた状態で並んでいる。各ノズル列３９において、複数のノズル３７は、Ｙ方向に沿って所定のノズル間隔Ｐで形成されている。
以下において、４本のノズル列３９のそれぞれが識別される場合に、ノズル列３９ａ、ノズル列３９ｂ、ノズル列３９ｃ及びノズル列３９ｄという表記が用いられる。
吐出ヘッド３３において、ノズル列３９ａとノズル列３９ｂとは、互いにＹ方向にＰ／２の距離だけずれている。ノズル列３９ｃ及びノズル列３９ｄも、互いにＹ方向にＰ／２の距離だけずれている。
【００２０】
２個の紫外線照射装置１５（１５ａ，１５ｂ）は、それぞれ、Ｘ方向にヘッドユニット１３を挟んで互いに対峙する位置に設けられている。
紫外線照射装置１５ａ，１５ｂは、それぞれ、紫外光４１を発する光源４３を有している。光源４３からの紫外光４１は、吐出ヘッド３３から吐出された機能液５３（液状体）の硬化を促進させる。機能液５３は、紫外光４１の照射を受けると、硬化が促進する。
光源４３としては、例えば、ＬＥＤ、ＬＤ、水銀ランプ、メクルハライドランプ、キセノンランプ、エキシマランプ等の種々の光源４３が採用され得る。
【００２１】
図４は、図２のＢ−Ｂ線における断面図である。
吐出ヘッド３３は、ノズルプレート４６と、キャビティープレート４７と、振動板４８と、複数の圧電崇子４９と、を有している。
ノズルプレート４６は、ノズル面３５を有している。複数のノズル３７は、ノズルプレート４６に設けられている。
キャビティープレート４７は、ノズルプレート４６のノズル面３５とは反対側の面に設けられている。キャビティープレート４７には、複数のキャビティー５１が形成されている。各キャビティー５１は、各ノズル３７に対応して設けられており、対応する各ノズル３７に連通している。各キャビティー５１には、不図示のタンクから機能液５３が供給される。
【００２２】
振動板４８は、キャビティープレート４７のノズルプレート４６側とは反対側の面に設けられている。振動板４８は、Ｚ方向に振動（縦振動）することによって、キャビティー５１内の容積を拡大したり、縮小したりする。
複数の圧電崇子４９は、それぞれ、振動板４８のキャビティープレート４７側とは反対側の面に設けられている。各圧電崇子４９は、各キャビティー５１に対応して設けられており、振動板４８を挟んで各キャビティー５１に対向している。各圧電素子４９は、駆動信号に基づいて、伸長する。
これにより、振動板４８がキャビティー５１内の容積を縮小する。このとき、キャビティー５１内の機能液５３に圧力が付与される。その結果、ノズル３７から、機能液５３が液滴（液体）５５として吐出される。吐出ヘッド３３による液滴５５の吐出法は、インクジェット法の１つである。インクジェット法は、塗布法の１つである。
【００２３】
そして、吐出ヘッド３３は、ノズル面３５がヘッドプレート３１から突出した状態で、ヘッドプレート３１に支持されている。さらに、ヘッドユニット１３は、キャリッジ７に支持されている。ヘッドユニット１３は、ノズル面３５がＺ方向の下方に向けられた状態でキャリッジ７に支持されている。
このようにして、ワークＷには、吐出ヘッド３３から機能液５３が塗布され得る。
【００２４】
なお、本実施形態では、縦振動型の圧電素子４９が採用されているが、機能液５３に圧力を付与するための加圧手段は、これに限定されず、例えば、下電極と圧電休層と上電極とを積層形成した撓み変形型の圧電素子も採用され得る。
また、加圧手段としては、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルから液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなども採用され得る。さらに、発熱体を用いてノズル内に泡を発生させ、その泡によって機能液に圧力を付与する構成も採用され得る。
【００２５】
機能液５３としては、光の照射を受けることによって硬化が促進する機能液５３が採用されている。また、機能液５３の硬化を促進させる光として、紫外光４１が採用されている。
機能液５３は、樹脂材料、光重合開始剤及び溶媒を、成分として含んでいる。これらの成分に、顔料や染料等の色素や、親液性や撥液性等の表面改質材料などの機能性材料身添加することによって固有の機能を有する機能液５３を生成することができる。顔料や染料等の色素を含有する機能液５３は、例えば、ワークＷに描画する画像を形成するための機能液５３として採用され得る。
以下において、ワークＷに描画する画像を形成するための機能液５３は、画像塗料と呼ばれる。
【００２６】
また、機能液５３の成分としての樹脂材料に、例えば、アクリル系の樹脂材料などの光透過性を有する樹脂材料身採用することによって、光透過性を有する機能液５３を構成することができる。このような光透過性を有する機能液５３は、例えば、クリアインクとしての用途が考えられる。以下において、光透過性を有する機能液５３は、透光塗料と呼ばれる。
クリアインクの用途としては、例えば、画像を被覆するオーバーコート層としての用途や、画像を形成する前の下地層としての用途などが考えられる。以下において、下地層として適用される機能液５３は、下地塗料と呼ばれる。
下地塗料としては、透光塗料だけでなく、透光塗料に種々の顔料を添加した機能液５３を採用することもできる。例えば、白色を呈する機能液５３や、金属的な光沢（メタリッ列を示す機能液５３なども、下地塗料として採用され得る。
【００２７】
機能液５３における樹脂材料は、樹脂膜を形成する材料である。このような樹脂材料としては、常温で液状であり、重合させることによってポリマーとなる材料であれば特に限定されない。樹脂材料としては、粘性が小さいものが好ましく、オリゴマーの形態であるのが好ましい。さらに、樹脂材料としては、モノマーの形態であることが一層好ましい。
光重合開始剤は、ポリマーの架橋吐基に作用して架橋反応を進行させる添加剤である。光重合開始剤としては、例えば、ペンジルジメチルケタールなどが採用され得る。本実施形態では、光重合開始剤として、ラジカル型の光重合開始剤が採用されている。ラジカル型の光重合開始剤としては、例えば、チバ・ジャパン（株）社製のイルガキュア８１９などが採用され得る。
溶媒は、樹脂材料の粘度を調整するためのものである。
【００２８】
図１に戻り、キャリッジ搬送装置１１は、架台１０１と、ガイドレール１０３と、を有している。
架台１０１は、Ｘ方向に延在しており、ワーク搬送装置３をＸ方向にまたいでいる。架台１０１は、ワーク搬送装置３の上面に対向している。架台１０１は、一対の支柱１０７によって支持されている。二対の支柱１０７（１０７ａ，１０７ｂ）は、定盤２１を挟んでＸ方向に互いに対峙する位置に設けられている。
支柱１０７は、ワーク搬送装置３よりもＺ方向の上方に突出している。これにより、架台１０１とワーク搬送装置３との間には、隙間が保たれている。
【００２９】
ガイドレール１０３は、架台１０１の定盤２１側に設けられている。ガイドレール１０３は、Ｘ方向に沿って延在しており、架台１０１のＸ方向における幅にわたって設けられている。
キャリッジ７は、ガイドレール１０３に支持されている。キャリッジ７がガイドレール１０３に支持された状態において、吐出ヘッド３３のノズル面３５は、Ｚ方向において、ワーク搬送装置３に対向している。
キャリッジ７は、ガイドレール１０３によってＸ方向に沿って案内され、Ｘ方向に往復動可能な状態でガイドレール１０３に支持されている。
なお、平面視で、キャリッジ７がワーク搬送装置３に重なっている状態において、ノズル面３５とワーク搬送装置３の上面（後述する載置面２４ａ，２６ａ）とは、互いに隙間を保った状態で対向する。
【００３０】
キャリッジ７は、不図示の移動機構及び動力源によって、Ｘ方向に往復動可能に構成されている。移動機構としては、例えば、ボールねじやリニアガイドなどを利用した機構が採用され得る。
また、本実施形態では、キャリッジ７をＸ方向に沿って移動させるための動力源として、不図示のキャリッジ搬送モーターが採用されている。キャリッジ搬送モーターとしては、ステッピングモーター、サーボモーター、リニアモーターなどの種々のモーターが採用され得る。
キャリッジ搬送モーターからの動力は、移動機構を介してキャリッジ７に伝達される。これにより、キャリッジ７は、ガイドレール１０３に沿って往復移動することができる。つまり、キャリッジ搬送装置１１は、キャリッジ７に支持されたヘッドユニット１３を、Ｘ方向に沿って往復移動させることができる。
液滴吐出装置１では、吐出ヘッド３３をワークＷ（ワークＷ１，Ｗ２）に対向させた状態で、吐出ヘッド３３とワークＷとを相対的に往復移動させながら、吐出ヘッド３３から液滴５５を吐出させることによって、ワークＷへのパターンの描画が行われる。
【００３１】
図５は、ワーク搬送装置３の構成を示す平面図及び側面図である。
ワーク搬送装置３は、床面Ｆに載置された定盤２１、定盤２１に対してＹ方向（第一方向）に移動可能なスライダー２３、スライダー２３に載置された第一ワークテーブル２４、スライダー２３に載置されると共にスライダー２３に対してＹ方向に移動可能な第二ワークテーブル２６等を備えている。
【００３２】
定盤２１は、例えば金属製のフレーム等の熱膨張係数が小さい材料で構成されており、Ｙ方向に沿って延びるように据えられている。
定盤２１の上面２１ａには、２本のガイドレール２２が平行に敷設される。ガイドレール２２は、互いにＸ方向に隙間をあけた状態で並んで、Ｙ方向に沿って延在している。
【００３３】
スライダー２３は、ガイドレール２２を挟んで定盤２１の上面２１ａに対向した状態で設けられている。スライダー２３は、ガイドレール２２によってＹ方向に沿って案内され、定盤２１上をＹ方向に沿って往復移動可能に構成されている。
スライダー２３の上面２３ａと下面は、ほぼ平行に形成される。そして、スライダー２３の上面２３ａのＸ（＋）側（第二方向の一方側）には、ワークＷ１が載置される第一ワークテーブル（第一ワーク搬送テーブル）２４が配置される。スライダー２３の上面２３ａのＸ（−）側（第二方向の他方側）には、ワークＷ２が載置される第二ワークテーブル（第二ワーク搬送テーブル）２６が配置される。
第一ワークテーブル２４と第二ワークテーブル２６は、平面視においてほぼ同一形状を有しており、スライダー２３の上面２３ａ上においてＸ方向に所定の間隙を有して並列に近接配置される。
【００３４】
スライダー２３の上面２３ａのＸ（−）側には、２本のガイドレール２８が平行に敷設される。ガイドレール２８は、互いにＸ方向に隙間をあけた状態で並んで、Ｙ方向に沿って延在している。これにより、第二ワークテーブル２６は、Ｙ方向に沿って案内され、スライダー２３上をＹ方向に沿って往復移動可能に構成されている。
【００３５】
第一ワークテーブル２４及び第二ワークテーブル２６は、それぞれ、ワークＷ（ワークＷ１，Ｗ２）が載置される面である載置面２４ａ，２６aを有している。載置面２４ａ，２６aは、スライダー２３側とは反対側（上側）に向けられている。
載置面２４ａ，２６aは、Ｚ方向の同一位置（高さ）において同一面内に位置するように調整されている。つまり、吐出ヘッド３３のノズル面３５から載置面２４ａまでの距離と載置面２４ａまでの距離は、同一距離に設定されている。
更に、第一ワークテーブル２４及び第二ワークテーブル２６は、それぞれ、載置面２４ａ，２６aをスライダー２３に対してＺ方向回りに回転させるθ１回転機構２５、θ２回転機構２７を備えている。
【００３６】
スライダー２３及び第二ワークテーブル２６は、それぞれ、不図示の移動機構及び動力源によって、Ｙ方向に往復動可能に構成されている。移動機構としては、例えば、ボールねじやリニアガイドなどを利用した機構が採用され得る。
θ１回転機構２５、θ２回転機構２７としては、例えば、円弧形ガイドやクロスローラリングなどを利用した機構が採用され得る。
【００３７】
スライダー２３及び第二ワークテーブル２６をＹ方向に沿って移動させるための動力源として、ステッピングモーター、サーボモーター、リニアモーターなどの種々のモーターが採用され得る（スライダー搬送モーター１２３、第二ワークテーブル搬送モーター１２４）。
同様に、θ１回転機構２５、θ２回転機構２７の動力源として、ステッピングモーター、サーボモーター、リニアモーターなどの種々のモーターが採用され得る（第一ワークテーブル回転モーター１２５、第二ワークテーブル回転モーター１２６）。
【００３８】
これにより、ワーク搬送装置３は、スライダー２３をＹ方向に移動させることにより、第一ワークテーブル２４の載置面２４ａに載置されたワークＷ１と、第二ワークテーブル２６の載置面２６ａに載置されたワークＷ２を、同時にＹ方向に沿って往復移動させることができる。
また、スライダー２３に対して第二ワークテーブル２６をＹ方向に移動させることにより、第一ワークテーブル２４に対する第二ワークテーブル２６のＹ方向の位置を調整可能である。つまり、ワークＷ１とワークＷ２のＹ方向の相対位置を調整可能である。
同様に、θ１回転機構２５、θ２回転機構２７を駆動することにより、スライダー２３に対する第一ワークテーブル２４及び第二ワークテーブル２６のＺ方向回りの姿勢をそれぞれ独立に調整可能である。つまり、吐出ヘッド３３に対するワークＷ１とワークＷ２のＺ方向回りの相対姿勢を調整可能である。
【００３９】
第一ワークテーブル２４の載置面２４ａ及び第二ワークテーブル２６の載置面２６ａには、それぞれアライメントマーク２４ｂ，２６ｂが貼付又は刻印されている。
このアライメントマーク２４ｂ，２６ｂは、ワーク搬送装置３の上流側（Ｙ（−）側）に配置されたアライメントカメラ６１，６２により検出される。
そして、アライメントカメラ６１，６２によるアライメントマーク２４ｂ，２６ｂの検出結果に基づいて、第一ワークテーブル２４に対する第二ワークテーブル２６のＹ方向の位置調整、すなわちワークＷ１とワークＷ２のＹ方向の相対位置の調整が行われる。
同様に、アライメントカメラ６１，６２によるアライメントマーク２４ｂ，２６ｂの検出結果に基づいて、スライダー２３（定盤２１）に対する第一ワークテーブル２４及び第二ワークテーブル２６のＺ方向回り（θ方向）の姿勢調整、すなわち吐出ヘッド３３に対するワークＷ１及びワークＷ２のＺ方向回りの相対姿勢の調整も行われる。
【００４０】
アライメントカメラ（検出部）６１，６２は、ワーク搬送装置３の上流側に配置される。
ワーク搬送装置３の上流側において、架台１０１を支持する一対の支柱１０７には、カメラ支持部材６５が架台１０１と平行となるように架け渡されている。そして、カメラ支持部材６５に対して、アライメントカメラ６１，６２が第一ワークテーブル２４の載置面２４ａ及び第二ワークテーブル２６に対向するようにして配置されている。
なお、アライメントカメラ６１，６２の配置位置は、図１に示される位置に限定されず、ワークＷ（ワークＷ１，Ｗ２）を給材した位置でアライメントマーク２４ｂ，２６ｂを取り込める位置であればよい。
【００４１】
図６は、液滴吐出装置１の制御ブロック図である。
液滴吐出装置１は、上記各構成の動作を制御する制御部１１１を有している。制御部１１１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）１１３と、制御部１１５と、メモリー部１１７と、を有している。制御部１１５及びメモリー部１１７は、バス１１９を介してＣＰＵ１１３に接続されている。
また、液滴吐出装置１は、キャリッジ搬送モーター１２１、スライダー搬送モーター１２３、第二ワークテーブル搬送モーター１２４、第一ワークテーブル回転モーター１２５、第二ワークテーブル回転モーター１２６、入力装置１２９、表示装置１３１等を有している。これらは、それぞれ、入出力インターフェース１３３とバス１１９とを介して制御部１１１に接続されている。
また、アライメントカメラ６１，６２も、入出力インターフェース１３３とバス１１９とを介して制御部１１１に接続されている。
【００４２】
キャリッジ搬送モーター１２１は、キャリッジ７を駆動するための動力を発生させる。
スライダー搬送モーター１２３は、スライダー２３を駆動するための動力を発生させる。第二ワークテーブル搬送モーター１２４は、第二ワークテーブル２６を駆動するための動力を発生させる。
第一ワークテーブル回転モーター１２５は、θ１回転機構２５を駆動するための動力を発生させる。第二ワークテーブル回転モーター１２６は、θ２回転機構２７を駆動するための動力を発生させる。
【００４３】
入力装置１２９は、各種の加工条件を入力する装置である。表示装置１３１は、加工条件や、作業状況を表示する装置である。液滴吐出装置１を操作するオペレーターは、表示装置１３１に表示される情報を確認しながら、入力装置１２９を介して種々の情報を入力することができる。
吐出ヘッド３３、紫外線照射装置１５ａ，１５ｂも、それぞれ、入出力インターフェース１３３とバス１１９とを介して制御部１１１に接続されている。
【００４４】
ＣＰＵ１１３は、プロセッサーとして各種の演算処理を行う。制御部１１５は、各構成の駆動を制御する。メモリー部１１７は、ＲＡＭ（Random Access Memory）や、ＲＯＭ（Read Only Memory）などを含んでいる。
メモリー部１１７には、液滴吐出装置１における動作の制御手順が記述されたプログラムソフト１３５を記憶する領域や、各種のデータを一時的に展開する領域であるデータ展開部１３７などが設定されている。データ展開部１３７に展開されるデータとしては、例えば、描画すべきパターンが示される描画データや、描画処理等のプログラムデータなどが挙げられる。
制御部１１５は、モーター制御部１４１と、吐出制御部１４５と、照射制御部１４７と、表示制御部１５１と、を有している。
【００４５】
モーター制御部１４１は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、キャリッジ搬送モーター１２１の駆動及びスライダー搬送モーター１２３の駆動を個別に制御する。
また、モーター制御部１４１は、アライメントカメラ６１，６２からの検出結果に基づいて、第二ワークテーブル２６を駆動して、第一ワークテーブル２４と第二ワークテーブル２６のＹ方向の相対位置を調整する。同様に、モーター制御部１４１は、アライメントカメラ６１，６２からの検出結果に基づいて、θ１回転機構２５、θ２回転機構２７を駆動して、第一ワークテーブル２４及び第二ワークテーブル２６のＺ方向回りの姿勢を個別に制御する。
【００４６】
吐出制御部（噴射制御部）１４５は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、吐出ヘッド３３の駆動を制御する。
照射制御部１４７は、ＣＰＵ1１３からの指令に基づいて、紫外線照射装置１５ａ，１５ｂのそれぞれにおける光源４３の発光状態を個別に制御する。
表示制御部１５１は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、表示装置１３１の駆動を制御する。
【００４７】
次に、液滴吐出装置１における描画処理について説明する。
図７は、液滴吐出装置１による描画処理を示すフロー図である。
液滴吐出装置１では、制御部１１１が入力装置１２９から入出力インターフェース１３３及びバス１１９を介して描画データを受け取ると、ＣＰＵ１１３によって、図７に示す描画処理が開始される。
描画データは、機能液５３（液状体）により、ワークＷ（ワークＷ１，Ｗ２）に描画すべきパターンを指示するものであり、描画すべきパターンがビットマップ状に表現されている。ワークＷへのパターンの描画は、吐出ヘッド３３をワークＷに対向させた状態で、吐出ヘッド３３とワークＷとを相対的に往復移動させながら、吐出ヘッド３３から液滴５５を所定周期で吐出させることによって行われる。
【００４８】
最初に、ＣＰＵ１１３は、ステップＳ１において、キャリッジ搬送指令をモーター制御部１４１に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、キャリッジ搬送モーター１２１の駆動を制御して、キャリッジ７を往路開始位置に移動させる。
液滴吐出装置１では、描画エリアが設定されている。描画エリアは、
第一ワークテーブル２４及び第二ワークテーブル２６によってＹ方向に沿って描かれる軌跡と、吐出ヘッド３３によってＸ方向（走査方向）に沿って描かれる軌跡とが重なり合う領域である。
そして、往路開始位置は、キャリッジ７をＸ方向に沿って往復移動させるときの往路が開始する位置である。往路開始位置は、平面視で、描画エリアの外側に位置している。往路開始位置は、平面視で、描画エリアの支柱１０７ａ側に位置している。
【００４９】
次いで、ステップＳ２において、ＣＰＵ１１３は、ワーク搬送指令をモーター制御部１４１に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、スライダー搬送モーター１２３の駆動を制御して、ワークＷ（ワークＷ１，Ｗ２）を描画エリアに向けて移動させる。
この際、モーター制御部１４１は、第二ワークテーブル搬送モーター１２４、第一ワークテーブル回転モーター１２５及び第二ワークテーブル回転モーター１２６の駆動も制御する。
具体的には、第一ワークテーブル２４及び第二ワークテーブル２６がアライメントカメラ６１，６２の下方を通過した際に、第一ワークテーブル２４及び第二ワークテーブル２６の載置面２４ａ，２６aに刻印されたアライメントマークを検出する。そして、アライメントカメラ６１，６２の検出結果に基づいて、制御部１１１が第一ワークテーブル２４と第二ワークテーブル２６の位置・姿勢を求める。更に、モーター制御部１４１が、第一ワークテーブル２４と第二ワークテーブル２６の位置・姿勢（Ｙ，θ）が所定の範囲内となるように、第二ワークテーブル搬送モーター１２４、第一ワークテーブル回転モーター１２５及び第二ワークテーブル回転モーター１２６を駆動制御する。つまり、ワークＷ１，Ｗ２のＹ方向の相対位置と、吐出ヘッド３３に対するワークＷ１，Ｗ２のＺ方向周り（θ方向）の姿勢が調整される。具体的には、ワークＷ１，Ｗ２のＸ方向の両端が同一直線上において平行となるように調整される。
そして、ワークＷ１，Ｗ２の位置・姿勢（Ｙ，θ）の調整が完了すると、第二ワークテーブル搬送モーター１２４、第一ワークテーブル回転モーター１２５及び第二ワークテーブル回転モーター１２６を停止させて、第一ワークテーブル２４と第二ワークテーブル２６の位置・姿勢（Ｙ，θ）が固定され、ワークＷ１，Ｗ２が位置ずれ・回転ずれが防止される。
【００５０】
また、吐出制御部１４５は、アライメントカメラ６１，６２の検出結果に基づいて求められたワークＷ１とワークＷ２の走査方向の距離に基づいて、描画データを補正する。
具体的には、まず、ワークＷ１とワークＷ２の走査方向の距離に対応する無吐出画像データを生成する。次いで、描画データのうち、ワークＷ１に対する描画データとワークＷ２に対する描画データとの間に、生成した無吐出画像データを挿入して、一つの描画データを生成する。つまり、描画データにおけるワークＷ１，Ｗ２への吐出開始位置を、実際のワークＷ１，Ｗ２の位置に合わせ込むように補正する。
これにより、ワークＷ１，Ｗ２に対する描画処理を一つの描画データを用いて、キャリッジ７を途中で停止させることなく連続的に行うことが可能となる。
【００５１】
次に、ステップＳ３において、ＣＰＵ１１３は、キャリッジ走査指令をモーター制御部１４１に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、キャリッジ搬送モーター１２１の駆動を制御して、キャリッジ７の往復移動を開始させる。
ここで、キャリッジ７の往復移動では、キャリッジ７は、上述した往路開始位置と復路開始位置との間を往復移動する。つまり、往路開始位置から復路開始位置で折り返して往路開始位置に戻る経路がキャリッジ７の１往復である。このため、往路開始位置から復路開始位置に向かう経路がキャリッジ７の往路である。他方で、復路開始位置から往路開始位置に向かう経路がキャリッジ７の復路である。
なお、復路開始位置は、Ｘ方向に描画エリアを挟んで往路開始位置に対峙する位置である。復路開始位置は、平面視で、描画エリアの外側に位置している。このため、往路開始位置と復路開始位置とは、平面視で、描画エリアをＸ方向に挟んで互いに対峙している。復路開始位置は、平面視で、描画エリアの支柱１０７ｂ側に位置している。
【００５２】
次いで、ステップＳ４において、ＣＰＵ１１３は、紫外線照射装置１５ａに対する照射指令を照射制御部１４７に出力する。このとき、照射制御部１４７は、紫外線照射装置１５ａの光源４３の駆動を制御して、紫外線照射装置１５ａの光源４３を点灯させる。
次いで、ステップＳ５において、ＣＰＵ１１３は、吐出ヘッド３３の位置が往路における描画開始位置に到達したか否かを判定する。ここで、描画開始位置は、描画エリア内で吐出ヘッド３３から液滴５５の吐出を開始させる位置である。
このとき、吐出ヘッド３３の位置が描画開始位置に到達した（Ｙｅs）と判定されると、処理がステップＳ６に移行する。他方で、吐出ヘッド３３の位置が描画開始位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、吐出ヘッド３３の位置が描画開始位置に到達するまで処理が待機される。
次いで、ステップＳ６において、ＣＰＵ１１３は、吐出指令を吐出制御部１４５に出力する。このとき、吐出制御部１４５は、吐出ヘッド３３の駆動を制御して、描画データに基づいて、各ノズル３７から液滴５５を吐出させる。これにより、往路での描画が開始される。
【００５３】
次いで、ステップＳ７において、ＣＰＵ１１３は、吐出ヘッド３３の位置が往路における描画停止位置に到達したか否かを判定する。ここで、描画停止位置は、描画エリア内で吐出ヘッド３３から液滴５５の吐出を停止させる位置である。
このとき、吐出ヘッド３３の位置が描画停止位置に到達した（Ｙｅs）と判定されると、処理がステップＳ８に移行する。他方で、吐出ヘッド３３の位置が描画停止位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、吐出ヘッド３３の位置が描画停止位置に到達するまで処理が待機される。
【００５４】
次いで、ステップＳ８において、ＣＰＵ１１３は、吐出停止指令を吐出制御部１４５に出力する。このとき、吐出制御部１４５は、吐出ヘッド３３の駆動を停止して、各ノズル３７からの液滴５５の吐出を停止させる。これにより、往路での描画が終了する。
次いで、ステップＳ９において、ＣＰＵ１１３は、紫外線照射装置１５ａに対する照射停止指令を照射制御部１４７に出力する。このとき、照射制御部１４７は、紫外線照射装置１５ａの光源４３の駆動を制御して、紫外線照射装置１５ａの光源４３を消灯させる。
【００５５】
次いで、ステップＳ１０において、ＣＰＵ１１３は、キャリッジ７の位置が復路開始位置に到達したか否かを判定する。このとき、キャリッジ７の位置が復路開始位置に到達した（Ｙｅs）と判定されると、処理がステップＳ１１に移行する。他方で、キャリッシ７の位置が復路開始位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、キャリッジ７の位置が復路開始位置に到達するまで処理が待機される。
次いで、ステップＳ１１において、ＣＰＵ１１３は、改行指令をモーター制御部１４１に出力する。このとき、改行指令を受けたモーター制御部１４１は、スライダー搬送モーター１２３の駆動を制御して、ワークＷをＹ（＋）側に移動（改行）させ、ワークＷにおいてパターンを描画すべき新たな領域を描画エリアに移動させる。
【００５６】
次いで、ステップＳ１２では、ＣＰＵ１１３は、描画データが終了したか否かを判定する。このとき、描画データが終了した（Ｙｅs）と判定されると、処理がステップＳ１３に移行する。他方で、描画データが終了していない（Ｎｏ）と判定されると、処理がステップＳ１４に移行する。
ステップＳ１３では、ＣＰＵ１１３は、キヤリッジ７の位置が往路開始位置に到達したか否かを判定する。このとき、キャリッジ７の位置が往路開始位置に到達した（Ｙｅs）と判定されると、処理がステップＳ２４に移行する。他方で、キャリッジ７の位置が往路開始位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、キャリッジ７の位置が往路開始位置に到達するまで処理が待機される。
【００５７】
次いで、ステップＳ１４において、ＣＰＵ１１３は、紫外線照射装置１５ｂに対する照射指令を照射制御部１４７に出力する。このとき、照射制御部１４７は、紫外線照射装置１５ｂの光源４３の駆動を制御して、紫外線照射装置１５ｂの光源４３を点灯させる。
次いで、ステップＳ１５において、ＣＰＵ１１３は、吐出ヘッド３３の位置が復路における描画開始位置に到達したか否かを判定する。このとき、吐出ヘッド３３の位置が描画開始位置に到達した（Ｙｅs）と判定されると、処理がステップＳ１６に移行する。他方で、吐出ヘッド３３の位置が描画開始位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、吐出ヘッド３３の位置が描画開始位置に到達するまで処理が特機される。
次いで、ステップＳ１６において、ＣＰＵ１１３は、吐出指令を吐出制御部１４５に出力する。このとき、吐出制御部１４５は、吐出ヘッド３３の駆動を制御して、描画データに基づいて、各ノズル３７から液滴５５を吐出させる。これにより、復路での描画が開始される。
【００５８】
次いで、ステップＳ１７において、ＣＰＵ１１３は、吐出ヘッド３３の位置が復路における描画停止位置に到達したか否かを判定する。このとき、吐出ヘッド３３の位置が描画停止位置に到達した（Ｙｅs）と判定されると、処理がステップＳ１８に移行する。他方で、吐出ヘッド３３の位置が描画停止位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、吐出ヘッド３３の位置が描画停止位置に到達するまで処理が待機される。
次いで、ステップＳ１８において、ＣＰＵ１１３は、吐出停止指令を吐出制御部１４５に出力する。このとき、吐出制御部１４５は、吐出ヘッド３３の駆動を停止して、各ノズル３７からの液滴５５の吐出を停止させる。これにより、復路での描画が終了する。
次いで、ステップＳ１９において、ＣＰＵ１１３は、紫外線照射装置１５ｂに対する照射停止指令を照射制御部１４７に出力する。このとき、照射制御部１４７は、紫外線照射装置１５ｂの光源４３の駆動を制御して、紫外線照射装置１５ｂの光源４３を消灯させる。
【００５９】
次いで、ステップＳ２０において、ＣＰＵ１１３は、キャリッジ７の位置が往路開始位置に到達したか否かを判定する。このとき、キャリッジ７の位置が往路開始位置に到達した（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ２１に移行する。他方で、キャリッジ７の位置が往路開始位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、キャリッジ７の位置が往路開始位置に到達するまで処理が待機される。
次いで、ステップＳ２１において、ＣＰＵ１１３は、改行指令をモーター制御部１４１に出力する。このとき、改行指令を受けたモーター制御部１４１は、スライダー搬送モーター１２３の駆動を制御して、ワークＷをＹ（＋）側に移動（改行）させ、ワークＷにおいてパターンを描画すべき新たな領域を描画エリアに移動させる。
次いで、ステップＳ２２において、ＣＰＵ１１３は、描画データが終了したか否かを判定する。このとき、描画データが終了した（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ２３に移行する。他方で、描画データが終了していない（Ｎｏ）と判定されると、処理がステップＳ４に移行する。
【００６０】
ステップＳ２３では、ＣＰＵ１１３は、キャリッジ７の位置が復路開始位置に到達したか否かを判定する。このとき、キャリッジ７の位置が復路開始位置に到達した（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ２４に移行する。他方で、キャリッジ７の位置が復路開始位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、キャリッジ７の位置が復路開始位置に到達するまで処理が待機される。
次いで、ステップＳ２４において、ＣＰＵ１１３は、キャリッジ走査停止指令をモーター制御部１４１に出力してから、処理を終了させる。このとき、キャリッジ走査停止指令を受けたモーター制御部１４１は、キャリッジ搬送モーター１２１の駆動を制御して、キャリッジ７の往復移動を停止させる。
【００６１】
以上、説明したように、液滴吐出装置１によれば、一つのヘッドユニット１３（キャリッジ７）の１回の走査の間に、２つのワークＷ１，Ｗ２に対して同一の走査の間に描画処理を行うことができるので、高い描画能力（液体噴射効率）を実現することができる。
また、ワークＷ１，Ｗ２を載置する第一ワークテーブル２４，第二ワークテーブル２６が同時にＹ方向に移動すると共に、第二ワークテーブル２６が第一ワークテーブル２４に対して位置調整可能に構成したので、少ない軸構成（移動機構）によりワークＷ１，Ｗ２の位置姿勢の調整を実現することができる。したがって、装置コストの上昇を最小限に抑えることができる。
【００６２】
本実施形態では、ステップＳ２において吐出制御部１４５が、アライメントカメラ６１，６２の検出結果に基づいて求められたワークＷ１とワークＷ２の走査方向の距離に基づいて、描画データを補正する例を示したが、これに限らない。画像データの補正は行わずに、Ｘ方向における吐出タイミングを補正することで対応しても良い。
このときワークＷ１，Ｗ２に対する描画処理は、キャリッジ７を途中で停止させることなく連続的に行うように制御しておく。
また、本実施形態では、スライダー２３と第一ワークテーブル２４とを別々に構成したが、一体に構成するようにしても良い。
【００６３】
図８は、ワーク搬送装置の変形例を示す平面図及び側面図である。なお、ワーク搬送装置３と同一の構成部材等には、同一の符号を付してその説明を省略する。
ワーク搬送装置４は、第二ワークテーブル２６とスライダー２３との間に、副走査方向（Ｙ方向（第一方向））に敷設されたガイドレール２８に加えて、走査方向（Ｘ方向（第二方向））に敷設されたガイドレール２９が設けられている。これにより、第二ワークテーブル２６は、Ｘ方向及びＹ方向に沿って案内され、スライダー２３上をＸ方向及びＹ方向に沿って往復移動可能に構成されている。
これにより、第一ワークテーブル２４と第二ワークテーブル２６のＸ方向の間隔を正確に調整することが可能となる。
【００６４】
また、本変形例では、第二ワークテーブル２６とスライダー２３との間に、Ｙ方向に敷設されたガイドレール２８に加えて、Ｘ方向に敷設されたガイドレール２９が設けられる構成を示したが、これに限らない。
Ｘ方向に敷設されたガイドレール２９は、第一ワークテーブル２４とスライダー２３との間に施設してもよい。この場合、ガイドレール２８と２９とが、第一ワークテーブル２４と第二ワークテーブル２６とに分散して配置されるため、装置の高さを本変形例に比べて低くすることができる。また、精度影響も本変形例に比べて小さくすることができる。
【００６５】
また、ワーク搬送装置４を用いた場合には、上述した描画処理のステップＳ２において以下の処理が行われる（ステップＳ２´）。
すなわち、ステップＳ２´においては、アライメントカメラ６１，６２の検出結果に基づいて、第一ワークテーブル２４と第二ワークテーブル２６の位置・姿勢（Ｘ，Ｙ,θ）を求めた後に、第一ワークテーブル２４と第二ワークテーブル２６の位置・姿勢（Ｘ，Ｙ,θ）が所定の範囲内となるように調整される。つまり、ワークＷ１，Ｗ２のＸ方向及びＹ方向の相対位置、吐出ヘッド３３に対するワークＷ１，Ｗ２のＺ方向回り（θ方向）の相対姿勢がそれぞれ調整される。
また、吐出制御部１４５では、ワークＷ１とワークＷ２の走査方向（Ｘ）の距離が所定の範囲内となるように調整されることが予め分かっているので、その距離に応じた無吐出画像データが予め用意されている。したがって、この無吐出画像データをワークＷ１に対する描画データとワークＷ２に対する描画データとの間に挿入して、一つの描画データを生成する。
【００６６】
ワーク搬送装置４を用いた場合にも、一つのヘッドユニット１３（キャリッジ７）の１回の走査の間に、２つのワークＷ１，Ｗ２に対して同一の走査の間に描画処理を行うことができるので、高い描画能力（液体噴射効率）を実現することができる。
また、ワークＷ１，Ｗ２を載置する第一ワークテーブル２４，第二ワークテーブル２６が同時にＹ方向に移動すると共に、第二ワークテーブル２６が第一ワークテーブル２４に対して位置調整可能に構成したので、少ない軸構成（移動機構）によりワークＷ１，Ｗ２の位置姿勢の調整を実現することができる。したがって、装置コストの上昇を最小限に抑えることができる。
【００６７】
また、本変形例では、ステップＳ２´において、吐出制御部１４５では、予め用意されている無吐出画像データをワークＷ１に対する描画データとワークＷ２に対する描画データとの間に挿入して、一つの描画データを生成する例を示したが、これに限らない。
ワークＷ１とワークＷ２の位置・姿勢（Ｘ，Ｙ，θ）が所定の範囲内となるように調整されることが予め分かっているので、無吐出画像データをワークＷ１に対する描画データとワークＷ２に対する描画データとの間に挿入して作成した一つの描画データを予め用意しておいてもよい。
【００６８】
また、上述した実施形態では、圧力発生室内の液体に圧力を付与する圧力発生素子として、撓み振動型の圧電素子を例示したが、特に限定されない。例えば、圧力発生素子として、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子であってもよいし、発熱素子等であってもよい。
【００６９】
また、上述の実施形態では、機能液を吐出する液滴吐出装置について説明したが、本発明は広く液体噴射装置全般を対象としたものである。
液体噴射装置としては、例えば、インク滴を吐出するインクジェット式プリンター、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射装置、有機ＥＬディスプレーやＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射装置、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射装置等を挙げることができる。
【００７０】
また、上述の実施形態では、吐出ヘッド３３がスライダー２３に対してＸ方向に往復走査する構成としたが、これに限らない。
スライダー２３が吐出ヘッド３３に対してＸ方向に往復走査する構成としても良い。この場合、吐出ヘッド３３はスライダー２３に対してＹ方向に移動可能としても良いし、吐出ヘッド３３を固定とするとともに、吐出ヘッド３３の長さをワークのＹ方向における印刷領域の幅以上とするいわゆるラインヘッドを採用してもよい。
また、スライダー２３をＹ方向に移動させる構成とし、吐出ヘッド３３の長さをワークのＸ方向における印刷領域の幅以上とするいわゆるラインヘッドを採用してもよい。この場合、第二ワーク搬送テーブル２６は、第一ワーク搬送テーブル２４に対して、少なくともＸ方向において相対位置を調整可能な構成とする。
また。ラインヘッドを採用する場合、吐出ヘッド３３を固定すると説明したがこれに限らず、解像度をあげるために吐出ヘッド３３も移動可能な構成としても良い。
【符号の説明】
【００７１】
１…液滴吐出装置、 ３，４…ワーク搬送装置、 ２１…定盤、 ２３…スライダー、 ２４…第一ワークテーブル（第一ワーク搬送テーブル）、 ２５…θ１回転機構、 ２６…第二ワークテーブル（第二ワーク搬送テーブル）、 ２７…θ２回転機構、 ３３…吐出ヘッド（液体噴射ヘッド）、 ５５…液滴（液体）、 ６１，６２…アライメントカメラ（検出部）、 １１１…制御部、 １４１…モーター制御部、 １４５…吐出制御部（噴射制御部）、 Ｗ１，Ｗ２…ワーク
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークに対して液体を噴射する液体噴射ヘッドと、
第一ワークを載置する第一ワーク搬送テーブルと、
第二ワークを載置する第二ワーク搬送テーブルと、
前記第一ワーク搬送テーブルと前記第二ワーク搬送テーブルとを載置しつつ第一方向へ移動可能なスライダーと、
前記液体噴射ヘッド及び前記第二ワーク搬送テーブルを駆動制御する制御部と、
を備え、
前記第二ワーク搬送テーブルは、前記第一ワーク搬送テーブルの前記第一方向と交差する第二方向に並列配置されており、前記第一ワーク搬送テーブルに対して、前記第二ワークを載置しつつ前記第一方向に相対移動可能であることを特徴とする液体噴射装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記液体噴射ヘッドからの液体噴射に先だって、前記第一ワーク搬送テーブルと前記第二ワーク搬送テーブルの前記第一方向における相対位置調整を行う
ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射装置。
【請求項３】
前記第二ワーク搬送テーブルは、前記第一ワーク搬送テーブルに対して前記第二方向に相対移動可能であり、
前記制御部は、前記液体噴射ヘッドからの液体噴射に先だって、前記第一ワーク搬送テーブルと前記第二ワーク搬送テーブルの前記第二方向における相対位置調整を行う
ことを特徴とする請求項２に記載の液体噴射装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記第一ワーク搬送テーブルを駆動制御可能であり、
前記第一ワーク搬送テーブル及び前記第二ワーク搬送テーブルは、それぞれ、前記第一方向及び前記第二方向に直交する軸回りに回転可能であり、
前記制御部は、前記液体噴射ヘッドからの液体噴射に先だって、前記第一ワーク搬送テーブルと前記第二ワーク搬送テーブルの前記軸周りにおける姿勢調整を行う
ことを特徴とする請求項１から３のうちいずれか一項に記載の液体噴射装置。
【請求項５】
前記第一ワーク搬送テーブル及び前記第二ワーク搬送テーブルの位置姿勢検出を行う検出部を備え、
前記制御部は、前記検出部の検出結果に基づいて、前記第一ワーク搬送テーブルと前記第二ワーク搬送テーブルの位置調整および姿勢調整の少なくとも一方を行う
ことを特徴とする請求項１から４のうちいずれか一項に記載の液体噴射装置。
【請求項６】
前記液体噴射ヘッドからの液体噴射を制御する噴射制御部を備え、
前記噴射制御部は、前記第一ワーク搬送テーブルと前記第二ワーク搬送テーブルの前記第二方向の間隔に基づいて液体噴射データを補正して、前記第一ワーク搬送テーブルに載置された前記第一ワーク及び前記第二ワーク搬送テーブルに載置された前記第二ワークに対して同一の走査の間に前記液体を噴射させる
ことを特徴とする請求項１から５のうちいずれか一項に記載の液体噴射装置。
【請求項１】
ワークに対して液体を噴射する液体噴射ヘッドと、
第一ワークを載置する第一ワーク搬送テーブルと、
第二ワークを載置する第二ワーク搬送テーブルと、
前記第一ワーク搬送テーブルと前記第二ワーク搬送テーブルとを載置しつつ第一方向へ移動可能なスライダーと、
前記液体噴射ヘッド及び前記第二ワーク搬送テーブルを駆動制御する制御部と、
を備え、
前記第二ワーク搬送テーブルは、前記第一ワーク搬送テーブルの前記第一方向と交差する第二方向に並列配置されており、前記第一ワーク搬送テーブルに対して、前記第二ワークを載置しつつ前記第一方向に相対移動可能であることを特徴とする液体噴射装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記液体噴射ヘッドからの液体噴射に先だって、前記第一ワーク搬送テーブルと前記第二ワーク搬送テーブルの前記第一方向における相対位置調整を行う
ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射装置。
【請求項３】
前記第二ワーク搬送テーブルは、前記第一ワーク搬送テーブルに対して前記第二方向に相対移動可能であり、
前記制御部は、前記液体噴射ヘッドからの液体噴射に先だって、前記第一ワーク搬送テーブルと前記第二ワーク搬送テーブルの前記第二方向における相対位置調整を行う
ことを特徴とする請求項２に記載の液体噴射装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記第一ワーク搬送テーブルを駆動制御可能であり、
前記第一ワーク搬送テーブル及び前記第二ワーク搬送テーブルは、それぞれ、前記第一方向及び前記第二方向に直交する軸回りに回転可能であり、
前記制御部は、前記液体噴射ヘッドからの液体噴射に先だって、前記第一ワーク搬送テーブルと前記第二ワーク搬送テーブルの前記軸周りにおける姿勢調整を行う
ことを特徴とする請求項１から３のうちいずれか一項に記載の液体噴射装置。
【請求項５】
前記第一ワーク搬送テーブル及び前記第二ワーク搬送テーブルの位置姿勢検出を行う検出部を備え、
前記制御部は、前記検出部の検出結果に基づいて、前記第一ワーク搬送テーブルと前記第二ワーク搬送テーブルの位置調整および姿勢調整の少なくとも一方を行う
ことを特徴とする請求項１から４のうちいずれか一項に記載の液体噴射装置。
【請求項６】
前記液体噴射ヘッドからの液体噴射を制御する噴射制御部を備え、
前記噴射制御部は、前記第一ワーク搬送テーブルと前記第二ワーク搬送テーブルの前記第二方向の間隔に基づいて液体噴射データを補正して、前記第一ワーク搬送テーブルに載置された前記第一ワーク及び前記第二ワーク搬送テーブルに載置された前記第二ワークに対して同一の走査の間に前記液体を噴射させる
ことを特徴とする請求項１から５のうちいずれか一項に記載の液体噴射装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２０１２−２１３７３９（Ｐ２０１２−２１３７３９Ａ）
【公開日】平成２４年１１月８日（２０１２．１１．８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−８１６４９（Ｐ２０１１−８１６４９）
【出願日】平成２３年４月１日（２０１１．４．１）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１１月８日（２０１２．１１．８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年４月１日（２０１１．４．１）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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