【課題】吐出量の変化を高精度に補正し、塗布形状ないしフィレット形状を安定させることができる塗布方法、塗布装置およびプログラムの提供。
【解決手段】毛細管現象を利用して吐出装置から吐出した液体材料を充填する液体材料の塗布方法であって、連続した複数の塗布領域からなる塗布パターン作成工程と、一の吐出パルスに複数の休止パルスを所定の比率で組み合わせたサイクルを複数作成し、各塗布領域に割り当てる工程と、各塗布領域について割り当てられたサイクルで塗布を実施する工程と、予め設定した補正周期で、補正周期の時点における吐出量を計測し、吐出量の補正量を算出する補正量算出工程と、補正量算出工程で算出した補正量に基づき、１以上のサイクルについて、一の吐出パルスに対する休止パルスの比率を調整する工程と、を含み、休止パルスの長さを吐出パルスの長さと比べ充分に短く設定した液体材料の塗布方法並びに装置及びプログラム。 （もっと読む）

【課題】複数の液滴を同一の塗布領域内に位置をずらして塗布する際に、吐出性が低下すると、塗布領域の大きさや位置だけでは液滴の吐出性の低下による塗布異常を検出することが困難であり、吐出性の低下の種類に応じた適切な保全処理を行なうことが難しい。
【解決手段】
被塗布面の同一の塗布領域内の位置の異なる場所に時間差を設けて複数の液滴を吐出する塗布装置における液滴の塗布状態の判定装置であって、塗布後の塗布領域を計測する塗布領域計測手段と、所望の塗布領域と前記塗布領域計測手段により計測した塗布領域との差異を認識する塗布領域認識手段と、前記塗布領域計測手段及び塗布領域認識手段により、各々の液滴の吐出状態を判断する塗布状態判定手段とインクジェットヘッドのメンテナンスを行なう保全部を有し、塗布状態判定手段の判定結果を元に、インクジェットヘッドのメンテナンスの種類を選択して保全動作を行なう。 （もっと読む）

対象物（２０４）を浸漬処理する設備（２００）は、公知の移送システム（２０６）で作動する。対象物（２０４）が、移動経路に隣接する硬い構造物と衝突することを回避するために、保持フレーム（２１２）に固定された対象物（２０４）の移動の各可能な自由度のために、絶対値を測定する位置トランスデューサ（２７４、２７４’、２７５、２７５’、２７６）が設けられている。メモリに、対象物（２０４）の移動経路に沿った硬い構造物の推移を再現する第１の境界面又は境界線（２７０）の推移が記憶されている。さらに、第１の境界面又は境界線（２７０）に対してある距離を置いて延びる、第２の境界面又は境界線（２７１）の推移が記憶されている。そして、保持フレーム（２１２）に固定された対象物（２０４）の推移を表す輪郭（２７３）の推移も記憶されている。制御装置（２３２）が、位置トランスデューサ（２７４、２７５、２７６）から供給される信号と、他の記憶されているデータから、保持フレーム（２１２）に固定された対象物（２０４）を表す輪郭（２７３）が、第２の境界面又は境界線（２７１）を横切ったか否かを計算し、横切った場合には、対象物（２０４）のそれ以上の移動を即座に禁止する。
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【課題】 膜の厚さ精度が高く、かつ、表面が平滑で塗布ムラのない塗布膜を得ることができる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】 塗布装置は、長手方向に走行する長尺状のウエブ１６を外周面で支持するバックアップローラ２０と、バックアップローラ２０と一定間隔を離れて対向配置され、塗布液をウエブに供給する塗布ヘッド１８と、塗布ヘッド１８とバックアップローラ２０とを上面で支持する架台３０と、架台３０の底面に配置された能動型除振装置３２を備える。能動型除振装置３２が架台３０を支持し、駆動するためのアクチュエータ３３と、架台３０の振動を検出する第１のセンサ３４と、基礎の振動を検出する第２のセンサ３５と、バックアップローラ２０の振動を検出する第３のセンサ３６と、各センサの情報に基づいて振動を打ち消すための制御入力が作成される制御器３８を備える。 （もっと読む）

【課題】各噴射ノズルから吐出され飛翔中のインク滴をカメラで監視し、それら各インク滴の飛翔状態を噴射ノズルの駆動系にフィードバックして最適制御を行う。
【解決手段】オンデマンド方式によるインクジェットヘッドの制御方法において、少なくとも２以上の噴射ノズルよりインク滴１５を滴下させ、それら飛翔中のインク滴１５をカメラで撮像し、その撮像画面内で特定された複数の噴射ノズルから滴下されるインク滴１５ａ〜１５ｃを標本として、その平均高さｈｏを求めるとともに、平均高さｈｏと各標本インク滴１５ａ〜１５ｃとの差分Δｈを算出し、その差分Δｈの絶対値の和が所定値以下となるように所定のパラメータ（例えば、駆動電圧）を制御する。 （もっと読む）

【課題】プリンティング状態の検査に必要な時間、工程及び費用を減少させ、また、検査の結果を後続プリンティング工程に反映する。
【解決手段】インクジェットプリンティングの機能、及び検査の機能を具備した複合システムは、プリンティング対象物上に複数パターンを形成するようにインクを供給するための複数インクジェットヘッド、上記複数インクジェットヘッドが装着され、上記プリンティング対象物上で移動可能なガントリー、上記ガントリーの後方に裝着され、上記プリンティング対象物上に形成された上記複数パターンの状態を検査するための少なくとも一つ以上の検査装置、及び上記複数インクジェットヘッド、上記ガントリー、及び上記少なくとも一つ以上の検査装置のそれぞれの動作を制御する制御装置を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複雑なパラメータの計算が不要であり、吐出部の移動速度に影響を及ぼすことがない液体材料の塗布方法、その装置およびそのプログラムの提供。
【解決手段】ノズルとワークとを相対移動しながら液体材料をノズルから吐出し、ワークに対し規定した塗布量の液体材料を塗布する塗布方法において、吐出パルス信号または休止パルス信号を送信する回数を総パルス数として規定し、総パルス数のうち塗布量を達成するために必要な吐出パルス信号の数を規定し、残りを休止パルス信号として規定する初期パラメータ設定工程、予め設定した補正周期で、補正周期の時点におけるノズルからの吐出量を計測し、吐出量の補正量を算出する補正量算出工程、および、補正量算出工程で算出した補正量に基づき吐出パルス信号の数と休止パルス信号の数を調整する吐出量補正工程、とを含むことを特徴とする塗布方法、その装置並びにそのプログラム。 （もっと読む）

【課題】タイヤ製造工程のトレッド押出ラインにおいて、トレッド表面に色線を描くペイントガンの色およびセット位置が正しいか自動的に確認できるペイントガンのセット確認方法およびセット確認装置を提供すること。
【解決手段】予め記憶装置に記憶させたペイントガンの色およびセット位置に関する基準データを表示し、表示された基準データに従い、色データが書き込まれたＩＤタグが装着されたペイントガンをセットした後に、ＩＤ読取装置によりＩＤタグから色データを読み取ると共に、エンコーダーによりセット位置データを作成し、読み取った色データおよび作成したセット位置データと基準データとを制御装置により比較し、比較結果を制御装置から出力し、出力された比較結果からペイントガンのセットが正しいか否かを確認することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】連続走行するウエブに塗布液を間欠塗布して塗布部と未塗布部を交互に形成する際に、直線的な塗り付け線を形成することができる間欠塗布方法及び装置の提供。
【解決手段】塗布液を間欠吐出手段１４でウエブ１６上に塗布部Ａと未塗布部Ｂとを交互に形成する装置において、間欠吐出手段１４は、タンク３０に貯留される塗布液を送液ポンプ３２によりマニホールドの一方端入口２４Ａから流入させて他方端出口２４Ｂから流出させて再びタンク３０に戻す塗布液の循環ライン３４と、循環ライン３４のマニホールド出口２４Ｂ下流側近傍に設けられ、循環ライン３４を開閉する一対のバルブ３６Ａ，３６Ｂと、循環ライン３４の塗布液を吸引すると共に吸引した塗布液を循環ライン３４に排出する吸排液手段３８と、一対のバルブ３６Ａ，３６Ｂの開閉タイミング及び吸排液手段３８の吸引と排出のタイミングを制御する制御手段４０と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】
膜の厚さ精度が高く、かつ、表面が平滑で塗布ムラのない塗布膜を得ることができる塗布装置を提供する。
【解決手段】
長手方向に走行する長尺状のウエブ１６を外周面で支持するバックアップロール２０と、バックアップロール２０と一定間隔を離れて対向配置され、塗布液をウエブに供給する塗布ヘッド１８と、を備える塗布装置１０であって、塗布ヘッド１８とバックアップロール２０とが固定された架台３０と、能動型除振装置３２を備え、能動型除振装置３２が架台３０を支持し、駆動するためのアクチュエータ３３と、架台３０の振動を検出する第１のセンサ３４と、基礎の振動を検出する第２のセンサ３５と、ウエブの振動を検出する第３のセンサ３６と、各センサの情報に基づいて振動を打ち消すための制御入力が作成される制御手段を備える。 （もっと読む）

【課題】プリウエット効果が安定して得られ、レジスト膜厚の均一性を向上させることができるとともに、レジスト塗布処理装置毎のプリウエット効果のばらつきを軽減できるレジスト塗布処理方法を提供する。
【解決手段】コントローラ９から発信されたダミー吐出信号に応じて、レジスト塗布手段にレジストを吐出させて、ダミー吐出信号が発信された発信時点とレジストが吐出された吐出時点との時間差である遅延時間をコントローラ９に算出させるダミーディスペンス工程と、プリウエット溶剤をウェハ３上に塗布し、所定時間よりも遅延時間分短い乾燥時間でプリウエット溶剤の乾燥処理を終了させるプリウエット工程と、乾燥処理が終了したことに応じてコントローラ９から発信されるレジスト吐出信号に応じて、レジスト塗布手段にレジストを吐出させて、ウェハ３上にレジストを塗布するレジスト塗布工程とを備えるレジスト塗布処理方法とする。 （もっと読む）

【課題】吐出量を精度良く制御できる、描画方法及び液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１５の複数のノズル３１から、機能液を液滴３７にして基板８に吐出し、描画する描画方法に関する。ノズル３１から液滴３７をフラッシングユニット１８に吐出する予備吐出工程と、予備吐出工程の後に、ノズル３１から液滴３７を基板８に吐出する描画工程とを有し、予備吐出工程では、ノズル３１の温度が高いノズル３１から液滴３７を吐出する吐出回数に比べて、ノズル３１の温度が低いノズル３１から液滴３７を吐出する吐出回数が多くなるように吐出する。 （もっと読む）

【課題】レジスト液を積み重ねて所定の膜厚を有するレジストパターンを形成することができる液体吐出装置及びレジストパターン形成方法を提供する。
【解決手段】配線基板２にレジスト液を吐出するヘッド１２は主走査方向に複数のノズルが並べられるとともに、副走査方向に配線基板の幅に対応する長さにわたって複数のノズルが並べられ、配線基板とヘッドとを主走査方向に１回だけ走査させて配線基板の全面にレジストパターンを形成する。主走査方向に並べられたノズルのうち１列目のノズルから吐出されたレジスト液１００の着弾位置には所定の時間間隔をおいてレジスト液１００が配線基板２に定着した後に２列目のノズルから吐出されたレジスト液１０２が積層される。更に、主走査方向に並べられた異なるノズルから吐出されたレジスト液１０４、…が所定の時間間隔で積層されて、所望の厚みを有するレジストパターンが形成される。 （もっと読む）

【課題】循環系内を流れる分散液を管理できる塗布装置を提供する。
【解決手段】循環系内の配管に含有率測定装置７０を接続し、循環系内を流れる分散液を一部サンプリングし、光学セル７１内に導入し、レーザ光７５を照射して分散液中に含まれる固体微粒子の含有率を測定する。循環系内を流れる分散液の種類を替えるときは、循環系から分散液を排出した後、溶剤を導入し、溶剤中に残存する個体微粒子の含有率を測定しながら配管内を洗浄する。洗浄後、古い個体微粒子の除去が確認された後、種類が異なる個体微粒子が分散された分散液を導入することができる。 （もっと読む）

【課題】塗布装置のサイクルタイムを短縮して生産効率を向上させる。
【解決手段】塗布液を貯留するシリンジ３４とこのシリンジ３４内の塗布液の吐出口となるノズル３０とを有した移動可能なディスペンサヘッド２５と、エア供給源４４から供給される圧縮空気の供給と停止を切替バルブ４６の作動に応じて切り替えることにより、上記シリンジ３４内に一時的に圧縮空気を導入して上記ノズル３０から所定量の塗布液を吐出させるエア供給回路５０とを備えた塗布装置において、切替バルブ４６の非作動時間ｔに基づいて塗布液の吐出所要時間Ｔを求めるとともに、この塗布液の吐出所要時間Ｔに応じて、上記ディスペンサヘッド２５のノズル３０を塗布ポイント上の静止位置から離間させるタイミングを変化させるように制御する。 （もっと読む）

【課題】基板にレジスト膜を形成し、液浸露光した後の基板に対して現像処理を行う装置において、液浸露光により基板上に残留する水滴によるレジストパターンの解像に対する悪影響を抑えること。
【解決手段】基板に付着した液滴はある時間が経つと、そのサイズが急激に小さくなり、このとき基板のレジスト膜に変質層（ウオータマーク）が形成されることに着眼し、液浸露光後に液滴のサイズが急激に小さくなっていく時間帯に入る前の時間帯にて基板が洗浄部で洗浄されるように基板の搬送制御を行う。具体的には露光装置から搬出準備信号が出力されたときに、インターフェイス部の基板搬送手段が他の搬送作業に優先して搬送ステージ上の基板を洗浄部に搬送する。 （もっと読む）

【課題】 塗布故障を未然に防止可能な塗布システム及び塗布方法を得る。
【解決手段】 塗布システム３２の供給系４２は、並列配置された２組の脱気装置４６Ａ、４６Ｂを有している。脱気装置４６Ａを使用しているときに、溶存酸素計６６による塗布液の溶存酸素量の測定値が閾値に達すると、その時点で未使用であった脱気装置４６Ｂが使用されるように、制御装置がバルブ４８、５０および真空ポンプ６２を切り替える。塗布システム３２の全体で高い脱気能力に維持されるので、塗布装置３４での塗布時の塗布故障を未然に防止できる。 （もっと読む）

第一のプリントヘッドおよび第一の流体源を含む第一の液滴噴射堆積システムからの第一の堆積を有する液体の噴射と、第一の液滴噴射堆積システムのために様々な噴射条件における液体の挙動についての情報の収集と、選択された噴射条件における第二のプリントヘッドおよび第二の流体源を含む第二の液滴噴射堆積システムからの第一の物質組成を有する液体の噴射とを含む方法である。第一のプリントヘッドは少数の流路を有し、第一の流体源は少量の液体を保持するよう構成されている。第二のプリントヘッドは複数の、実質的に同一の流路を有しており、各流路は少数の流路の少なくとも一つと実質的に同一であり、第二のプリントヘッドには第一のプリントヘッドよりも大幅に多い流路が存在する。
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【課題】 乾燥性の高い液状体を用いる場合でも、乾燥ムラを生じさせない。
【解決手段】 液状体を吐出して基板に塗布する吐出装置と、液状体が塗布された基板を乾燥させる乾燥装置とを備える。基板に吐出された後の前記液状体の溶媒蒸発量に関する情報を測定する測定手段と、測定手段の測定結果に基づいて、液状体が塗布された基板に対する処理を制御する制御手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】 シーラーの塗布品質の管理を正確に行う。
【解決手段】 レーザー投光機１８によって、ウインドガラス１２上に塗布されたシーラー１６に対し、塗布ガン１４と平行な方向からレーザースリット光Ｌを照射し、シーラー１６の断面形状を、レーザースリット光の線形状として視認可能とする。制御手段２４において、レーザースリット光の照射軸に対する傾斜角の小さいカメラ２０で撮影した画像に基づき、画像内でのワーク表面座標及びシーラー１６の幅を検出する。また、カメラ２０で撮影した画像に基づき検出された画像内でのワーク表面座標と、レーザースリット光の照射軸に対して傾斜角の大きいカメラ２２で撮影した画像とに基づき、シーラー１６の高さを検出する。よって、シーラー１６の断面形状を正確に把握し、シーラー１６の塗布高さとシーラーの塗布幅を正確に求めることができる。
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