【課題】高精度に量を規定して流体を送出する。
【解決手段】円筒状部材４と円柱状部材２とを有し、円柱状部材２を中心軸１０周りに回転することで、第１貫通孔群４αと溝部２ｂとが接続される第１の接続状態と、第２貫通孔群４βと溝部２ｂとが接続される第２の接続状態と、第１の接続状態と第２の接続状態との間における、溝部２ｂが円筒状部材４の内周面４ｅで塞がれている閉塞状態とが切り替えられる流路規定部材２０である。第１の状態において溝部２ｂに充填された流体を、第２の状態において第２貫通孔群から吐出させ、溝部２ｂに対応する量の流体を排出する。 （もっと読む）

【課題】塗布対象物の複数箇所に同時に塗布液を塗布して高スループット化を達成するとともに、解像度が高くかつ自由度の大きな塗布が可能で、装置構成が簡素でコストの低廉なマルチディスペンサ装置を提供する。
【解決手段】塗布液を塗布する塗布対象物（基板Ｋ）に対して水平面内でＹ軸方向に相対的に移動可能とされ、Ｙ軸走査移動装置によってＹ軸方向に相対移動される（白抜き矢印Ｍ）走査部材２と、走査部材２に装架され、塗布液を滴下するディスペンサノズルをそれぞれ有する複数のディスペンサ装置３１〜３５と、各ディスペンサノズルの塗布液を滴下する下端部を水平面内で移動させるノズル移動装置と、Ｙ軸走査移動装置とノズル移動装置とを同期制御する制御装置と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】液体吐出面にストレスを与えることなくノズル内部に付着した汚れ及び液体吐出面に付着した汚れを除去しうる洗浄装置、液体吐出装置及びインクジェットヘッドの洗浄方法を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド（１０）のノズル（１２）から吐出させる第１の液体（１４）の最大吐出速度以上の流速を有する第２の液体（１６）の層流（１６Ａ）を発生させ、発生させた第２の液体の層流をノズルの内部の前記第１の液体に接触させて、ノズルの内部の第１の液体と第２の液体の層流との間に生じるせん断応力によりノズルの内部に第１の液体の循環流を発生させて、ノズルの内部の汚れを除去するととともに、発生させた第２の液体の層流を前記インクジェットヘッドの液体吐出面（１２Ａ）に接触させて、液体吐出面に付着している汚れを除去する。 （もっと読む）

【課題】 塗布液による閉図形に対して太りや断線を生ずることなく、閉図形を正確に形成することが可能な塗布方法および塗布装置を提供する。
【解決手段】 ダム剤吐出ノズル１４の高さ位置を通常より低い位置に配置した状態で、ダム剤吐出ノズル１４からダム剤の吐出を開始するとともに、ダム剤吐出ノズル１４の移動を開始する吐出開始工程と、ダム剤吐出ノズル１４から吐出されたダム剤が基板１００の表面に着床した後にダム剤吐出ノズル１４の高さ位置を上昇させる上昇工程と、ダム剤吐出ノズル１４を矩形に対応させて移動させる塗布工程と、ダム剤吐出ノズル１４からのダム剤の吐出を停止するとともに、ダム剤吐出ノズル１４の高さ位置をさらに上方に上昇させる液切り工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化の抑制、ノズルの洗浄効率の向上及び処理液の乾燥防止を確実に行えるようにする。
【解決手段】漏斗部６５を有する洗浄室６２と、漏斗部に溶剤を供給する第１の溶剤供給手段７１と、漏斗部の上部側に溶剤を供給する第２の溶剤供給手段７２と、ノズル吸引手段と、ノズルの先端部の周囲に位置する漏斗部の内周面の下端がノズルの先端部よりも上方に位置する洗浄室内の位置と、基板に対して処理液を吐出する位置と、の間でノズルを移動させるノズル移動手段４４，４６と、第１，第２の溶剤供給手段、吸引手段及び移動手段を制御するコントローラ１００と、を具備する。第１の溶剤供給手段から洗浄室内に溶剤を供給し、溶剤の渦流を形成してノズルを洗浄し、第２の溶剤供給手段から洗浄室内に供給し、洗浄室内に溶剤の液溜りを形成し、吸引手段によりノズルを吸引して、ノズルの先端内部に処理液層と空気層と処理液の溶剤層とを形成する。 （もっと読む）

【課題】視認性が高く微細なパターンを形成することができるパターン形成装置及びパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】液滴を基材上に吐出する吐出部と、前記基材上に吐出された前記液滴を固化させる固化部と、前記吐出部を用いて前記液滴を基材上に吐出させる第一吐出動作、前記固化部を用いて前記液滴を固化させて第一層を形成する第一層形成動作、前記第一層の形状に関する情報に応じて前記第一層上に前記液滴を重ねて吐出させる第二吐出動作、前記固化部を用いて前記液滴を固化させて第二層を形成する第二固化動作、を行わせる制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】粉体の供給を簡単な構造で実現する。
【解決手段】粉体供給装置１２は、粉体ＹＡ１を収容すると共に、粉体ＹＡ１を供給先である粉体散布装置１１に供給する供給口２８ａを有する耐圧容器２０と、この耐圧容器２０内に間欠的な圧力を加える第１の送気手段２２と、耐圧容器２０内に連続的な圧力を加える第２の送気手段２３と、第１および第２の送気手段２２，２３を制御して耐圧容器２０内に間欠的な圧力および連続的な圧力を同時に加え、粉体ＹＡ１を耐圧容器２０内で浮遊させる制御ユニット２４と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】塗布膜の膜厚制御、特に塗布膜の周縁部の膜厚均一化を容易に行うこと。
【解決手段】この面状塗布ユニット（ＡＣＴ）４０では、ステージ８０の上に基板Ｇを載置して、レジスト液供給機構８６およびノズル移動機構８８を動作させると、長尺ノズル８２の塗布走査により基板Ｇ上に基板の一端から他端に向ってレジスト液の面状塗布膜１００が形成されていく。その際、面状レジスト塗布膜１００が基板Ｇの外側へ向って広がる過程でライン状レジスト塗布膜７６と接触ないし一体化し、ライン状レジスト塗布膜７６によって面状レジスト塗布膜１００の外縁の位置が規定されると同時に膜厚も制御される。 （もっと読む）

【課題】シート材に液状剤を塗布した際、シート材上に発生する泡を確実に取り除くことが可能な塗工装置、及び塗工方法を提供する。
【解決手段】搬送中のフィルムＦに液状材を塗布する塗工装置であって、フィルムＦの搬送方向と垂直な幅方向に沿って形成された吐出口２１を有するダイヘッド２と、このダイヘッド２を挟んで搬送方向の下流側に配置され、フィルムＦに空気を吹き付ける空気供給具と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】塗工開始運転時における塗工部分が波打ちやかすれなどが生じない安定した状態で形成できる塗工装置を提供する。
【解決手段】制御部３４は、塗工開始運転を行う場合、ウエブＷを走行させ、給液バルブ３２を閉状態にし、ポンプ２８の運転を開始し、圧力計３７が検出した検出圧力が、設定圧力より高くなると給液バルブ３２を開状態にする。 （もっと読む）

【課題】塗布された塗布液の膜厚の不均一性を改善し得る技術を提供する。
【解決手段】塗布装置は、塗布液を吐出するノズルと、基板に対して、ノズルを移動させるノズル移動機構と、ノズルに塗布液を供給する塗布液供給部と、塗布液をノズルに供給するためにノズルに接続され、ノズル移動機構によるノズルの移動に追従して変形する接続チューブと、塗布液供給部からノズルに向けて供給される塗布液の流量を測定する流量測定部と、塗布液供給部からノズルに通じる塗布液流路の開度を調節する開度調節部と、流量測定部の測定結果に基づいて、開度調節部を制御する開度調節制御部とを備える。開度調節制御部は、ノズルが移動して、基板の表面に塗布液を吐出する際、開度調節部を、ノズルの停止中に調節した開度を維持するように制御する。 （もっと読む）

【課題】液体材料貯留部と吐出装置を物理的に接続する必要がなく、パーティクルの発生および混入を効果的に防止することができる液体自動供給機構およびこれを備える塗布装置の提供。
【解決手段】液体材料を貯留する液体貯留部と、液体貯留部に貯留された液体材料を供給する供給口を有する供給部と、供給部から排出される液体材料を受ける受給口および気泡除去機構を有する受給部と、受給部を移動させる受給部駆動装置とを備え、受給部が受給口が供給口の直下に位置する受給位置に移動して供給口から液体材料の滴下供給を受け、気泡除去機構により気泡が除去された液体材料を吐出装置に供給することを特徴とする液体自動供給機構およびこれを備える塗布装置。 （もっと読む）

【課題】本液体貯留部内に発生する気泡の排出を効率良く実行する。
【解決手段】工程４において、流量１と流量２（流量１＞流量２）を設定し、相対的に急激な圧力変化率で昇圧し、目標圧力到達後、相対的に緩やかな圧力変化率で降圧することで、昇圧時にヘッドモジュール１２の貯留室の内壁に付着する気泡を剥がしテインク内を浮遊させ、その後、降圧時にヘッドモジュール１２のノズルから気泡を排出するようにした。 （もっと読む）

【課題】基板上に塗布液を塗布する際に、塗布液の供給量を少量に抑えつつ、基板面内で均一に塗布液を塗布する。
【解決手段】回転中のウェハ上に溶剤を供給し、ウェハを第６の回転数で回転させて溶剤を拡散させる（工程Ｓ１）。ウェハの回転を第１の回転数まで加速させ、第１の回転数でウェハを回転させる（工程Ｓ２）。ウェハの回転を第２の回転数まで減速させ、ウェハＷを第２の回転数で回転させる（工程Ｓ３）。ウェハの回転を第３の回転数までさらに加速し、第３の回転数でウェハを回転させる（工程Ｓ４）。ウェハの回転を第４の回転数である０ｒｐｍ超５００ｒｐｍ以下まで減速させ、第４の回転数で１〜１０秒間ウェハを回転させる（工程Ｓ５）。ウェハの回転を第５の回転数まで加速し、第５の回転数でウェハを回転させる（工程Ｓ６）。工程Ｓ２から工程Ｓ３の途中まで、あるいは工程Ｓ２の間ウェハの中心にレジスト液を連続的に供給する。 （もっと読む）

【課題】ダイヘッドを用いて基板の表面に塗布液を塗布する場合に、高品質な塗布膜を実現する塗布方法を提供する。
【解決手段】ダイヘッド内部の塗布液を戻り配管を介して供給タンクへと循環させる流量を、その流量によって除去できる沈降物の量が、粒子の沈降速度から算出される沈降量以上になる流量で循環させて、塗布欠陥のない高品質な塗布膜を実現する。 （もっと読む）

【課題】流体を受容する吸収部材として線状のものを用い、これを移動させる場合において、吸収材の終端を事前に検出することのできる流体噴射装置を提供する。
【解決手段】複数のノズル２４からなるノズル列Ｌを有し、ノズル列Ｌから流体を噴射する流体噴射ヘッド２１Ａ〜Ｅを備えた流体噴射装置である。ノズル列Ｌに沿って延在するとともに、ノズル列Ｌに沿って移動可能に設けられ、ノズル２４から噴射された流体を吸収する線状の吸収部材１２と、吸収部材１２を巻き取った状態からこれを巻き出すことで送り出す送出回転体１５と、送出回転体１５から送り出された吸収部材１２を巻き取る巻取回転体１６と、送出回転体１５から送り出される吸収部材１２が終了したことを検出する検出装置１００と、を備える。 （もっと読む）

【課題】安価且つ小型の塗布検査装置を提供する。
【解決手段】塗布検査装置１０は、シリンジ５４から吐出された励起光の照射により蛍光を発する接着剤が、塗布対象物７０に塗布されたか否かを検査する。塗布検査装置１０は、励起光源１２から出射された励起光を伝搬する第２光ファイバ２２と、第２光ファイバ２２の先端部と、第２光ファイバ２２の先端部から出射された励起光を集光して塗布された接着剤に照射するとともに、励起光が照射された接着剤から発生する蛍光を集光して第２光ファイバ２２へ導くレンズ２８とを含むプローブ１８と、第２光ファイバ２２を伝搬した蛍光を受光する検出器１６と、プローブ１８とシリンジ５４とを一体的に連結する連結機構６０とを備える。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で特別な調整を必要とせず容易に定流量化が図れる流量調整装置を提供する。
【解決手段】流路３を流れる液体の流量を設定流量に調整する流量調整装置であり、流路３に設けられるベンチュリ管１を備えている。ベンチュリ管１を通過する液体が設定流量を超える場合、キャビテーションによる気泡の発生に伴う圧力損失によりその流量が抑えられて設定流量に略定流量化されるように、ベンチュリ管１のスロート部６の流路断面積が設定されている。 （もっと読む）

【課題】大きさや形状が異なる被乾燥物を乾燥させた場合にも乾燥効率を低下させずにエネルギの消費量を低減できる乾燥装置を提供すること。
【解決手段】乾燥装置１は、複数種類の被乾燥物を乾燥可能な乾燥室４と、乾燥室４に空気を供給する空気供給部と、複数種類の被乾燥物それぞれから蒸発させる必要のある必要水分量と複数種類の被乾燥物それぞれとを関連付けて記憶する記憶部９と、乾燥室４において被乾燥物から蒸発した蒸発水分量を算出する蒸発水分量算出部８１と、蒸発水分量算出部８１により算出された所定の被乾燥物についての蒸発水分量と記憶部９に記憶された所定の被乾燥物についての必要水分量に基づいて空気供給部から乾燥室４に供給される空気を制御する空気制御部８２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】吐出口周辺に突出部を有するノズルを用いてストライプ状塗布膜を形成する手段で、いかなる特性の塗布液や塗布条件であっても、塗布開始部から均一な厚さや幅のストライプ状塗布膜を形成できる塗布方法ならびに塗布装置を実現させるとともに、低コストで高品質のディスプレイ用部材を製造できるディスプレイ用部材の製造方法を提供する。
【解決手段】長手方向にわたってノズル３０と被塗布部材Ａの両方に接触する全幅連結ビードを形成した後に、連結ビードの連続性を切断する塗布液量を、ノズルの吐出口４０を介して塗布液供給装置で吸引して、ノズルの吐出口周辺にある突出部と被塗布部材の両方に接触する部分連結ビードＢＰを形成して、被塗布部材上にストライプ状塗布膜を形成する塗布方法。 （もっと読む）