【課題】基材の表面に塗布された塗膜を乾燥するにあたり、乾燥後に塗膜に残留する溶剤の量を大きく減少させることができるとともに塗膜表面の質が悪化することを防止することにより、乾燥後の塗膜の品質を良好なものとすることができる乾燥装置および乾燥方法を提供する。
【解決手段】各温度測定部２４により測定された塗膜の表面温度に基づいて、基材Ｗ上の塗膜に対する各乾燥ノズル２２による乾燥強度を調整するよう各乾燥ノズル２２を制御する。この際に、温度測定部２４により測定された塗膜の表面温度が予め設定された設定温度以上となった場合には、基材Ｗの搬送方向におけるこの温度測定部２４よりも下流側にある各乾燥ノズル２２による塗膜に対する乾燥強度を、当該温度測定部２４よりも上流側にある各乾燥ノズル２２による塗膜に対する乾燥強度よりも大きくする。 （もっと読む）

【課題】移動するノズルから吐出される処理液の流量の変動を抑えられる技術を提供する。
【解決手段】基板処理装置２０は、基板２００を略水平に保持する基板保持部３０と、基板２００に対して略平行な主走査方向に沿って延びる主走査機構ガイド部４２と、主走査機構ガイド部４２により主走査方向に沿って移動可能に支持されたスライダ４４と、を有する主走査機構４０と、スライダ４４により主走査方向に沿って移動可能に支持され、基板２００に塗布液を吐出する吐出部５０と、吐出部５０に接続されるとともに吐出部５０に塗布液を導く可撓性の塗布液配管８０ｂと、塗布液配管８０ｂの途中の部分を支持するとともに、主走査の繰返しによるスライダ４４の周期的な動きに追随してその向きが周期的に変化する可動配管支持部１００と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 ノズルから吐出された液滴に変質等が生じないように吐出空間の雰囲気を置換することが可能なデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】 デバイスの製造方法は、基板をチャンバ内に搬入して載置台に載置する工程と、待機位置において封止部材により液滴吐出ノズルを隔離した状態で、チャンバの内部を減圧する減圧工程と、ガス供給機構からチャンバ内にパージガスを導入してチャンバ内部の雰囲気を置換するとともに大気圧状態に戻す雰囲気置換工程と、封止部材による液滴吐出ノズルの隔離を解除し、液滴吐出ノズルを吐出位置に移動させて被処理体へ向けて前記液滴を吐出する吐出工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】塗布動作を行う際に塗布液がミスト状に飛散する場合がある。ミスト状に飛散した塗布液が装置内部のうち基板以外の部分に付着すると、装置を汚してしまうという問題があるので、装置内の環境を清浄化する。
【解決手段】基板収容装置ＡＣＭは、基板Ｓを保持する基板保持部１０と、前記基板保持部１０に保持された状態の前記基板Ｓを囲うカップ部２０と、前記基板Ｓと前記カップ部２０との間に異物を回収する回収液を供給する回収液供給部３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】被処理基板上にレジストを精度良く形成することができるレジスト塗布装置を得る。
【解決手段】チャック１は、ウェハ２を保持して回転する。ノズル３は、ウェハ２上にレジスト液を供給する。チャック１をコーターカップ４が覆っている。チャック１の上方においてコーターカップ４に吸気孔５が設けられている。コーターカップ４に排気孔６が設けられている。吸気孔５に筒状治具１３が取り付けられている。筒状治具１３の空洞内に風速計１４が配置されている。筒状治具１３の中心軸は、チャック１の回転中心と一致する。 （もっと読む）

【課題】液処理の工程に応じて基板の上方における気流の状態を最適化可能な液処理装置、および液処理方法を提供すること。
【解決手段】基板Ｗを液処理する液処理装置１において、基板Ｗを水平に支持し、基板Ｗと共に回転可能な支持部材１０と、支持部材１０と共に基板Ｗを液処理するための処理室Ｓを形成し、処理室Ｓ内に気体を流入させる開口部２４を備えるカバー２０と、処理室Ｓ内において基板Ｗに上方から処理液を供給する液供給部材３０と、支持部材１０の外周部１３とカバー２０の外周部２３との間に形成される環状間隙ＧＰを取り囲み、環状間隙ＧＰを介して、回転する基板Ｗから振り切られる処理液を受け取るカップ４０と、環状間隙ＧＰを調節する調節機構１２２と、処理室Ｓの開口部２４に液供給部材３０を接近または離間させる移動機構１３２とを有する。 （もっと読む）

【課題】塗布膜の乾燥効率を高めて乾燥時間を短くすることができる乾燥装置および該乾燥装置を組み込んだ熱処理システムを提供する。
【解決手段】乾燥部４０のチャンバ４１内には、５個の上側熱風噴出部４５、６個の上側排気ボックス５６、５個の下側熱風噴出部５１および６個の下側排気ボックス５５が設けられている。塗布膜が形成された基材５は搬入口４１ａから搬出口４１ｂに向けて搬送される。上側熱風噴出部４５および下側熱風噴出部５１によって基材５の上下から熱風を吹き付けるとともに、上側排気ボックス５６および下側排気ボックス５５によって排気を行う。乾燥部４０のチャンバ４１内に供給する熱風の流量よりもチャンバ４１から排気する気体の流量を大きくすることにより、チャンバ４１内を大気圧よりも低い減圧雰囲気とし、溶剤の蒸発を促進して塗布膜の乾燥効率を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】液滴ジェット方式を用いて媒体へ薬液を塗布するにあたって、薬液を求められる量だけ正確に塗布可能とする技術を提供する。
【解決手段】薬液塗布装置１の制御部６０は、塗布ヘッド３１と基材シート９０とを相対的に移動させつつ、塗布ヘッド３１の積層圧電素子に制御信号を印加して塗布ヘッド３１のノズルから基材シート９０に薬液を吐出させることによって、塗布処理を実行させる。塗布処理に先立って、制御部６０は、積層圧電素子を駆動する制御信号の周波数の変化に伴う、ノズルから吐出される液滴量の変動情報を取得し、当該変動情報を用いて、塗布処理において塗布ヘッド３１と基材シート９０とを相対的に移動させる相対移動速度と、積層圧電素子３２０に印加する制御信号の周波数とを決する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、防爆層内の換気用空気による乾燥効率を向上し、かつ、簡易な構成で防爆構造を実現する乾燥装置を提供することを課題とする。
【解決手段】乾燥装置１は、遠赤外線ＩＲを発生する遠赤外線ヒーター１０を含む加熱層５と、加熱層５に対して独立して設けられる防爆層７と、を備え、防爆層７に加熱層５で発生させた遠赤外線ＩＲを導入して、油系溶媒を含むペースト３を乾燥させる乾燥装置である。加熱層５と防爆層７との間に、加熱層５の熱が防爆層７に伝達されることを防止するとともに、遠赤外線ＩＲを透過する断熱層６を備え、防爆層７内の加熱層５側と反対側に、防爆層７内の雰囲気を換気する給排気システム３０が設けられ、給排気システム３０は、防爆層７内でペースト３の塗工面と平行に空気を流す。 （もっと読む）

【課題】 流動樹脂粉を使い、鉄系材料の配管部品の内面に樹脂皮膜を形成する実用的な方法を得ること。
【解決手段】 配管部品の内面に流動樹脂粉を流して樹脂皮膜を形成するのは次のようにする。加熱した配管部品の、一方の接続部を流動槽の流動樹脂粉の中に続く入口管に接続し、他方の接続部を集塵機の続く出口管に接続して、必要に応じて配管部品を回転させたり傾けたりしながら、流動槽の圧力を高めて、流動樹脂粉を入口管に押込み配管部品へ流して、樹脂皮膜を形成する。配管部品を通り抜けた流動樹脂粉は、集塵機で樹脂粉と空気に分離して回収する。 （もっと読む）

【課題】気流制御を通して基板を均一に加熱することが可能な加熱処理装置およびこれを備える塗布現像装置を提供する。
【解決手段】基板を収容可能で、前記基板Ｓが通過する第１の搬入口６２Ｉおよび第１の搬出口６２Ｏを有する筐体と、前記第１の搬入口６２Ｉから前記第１の搬出口６２Ｏへ向かう方向に前記基板Ｓを搬送する第１の搬送機構と、前記第１の搬送機構により前記筐体内を搬送される前記基板Ｓを加熱するヒータ７２と、前記筐体に設けられる排気口であって前記第１の搬入口６２Ｉおよび前記第１の搬出口６２Ｏから前記排気口に至る気流を形成可能な当該排気口と、前記第１の搬入口６２Ｉおよび前記第１の搬出口６２Ｏの一方または双方に臨んで設けられ、吸気により前記気流を調整する当該吸気口とを備える加熱処理装置が開示される。 （もっと読む）

【課題】 シャワーヘッドから塗料を吐出するための液圧の調整を作業中に任意に行うことができるシャワー式塗装装置を得る。
【解決手段】 塗料をシャワー状に吐出して基材の表面に塗装を行うシャワー式塗装装置であって、シャワー板１に設けられた多数のシャワー孔２から塗料を吐出するシャワーヘッド３と、シャワーヘッド３の塗料供給口４に接続されてシャワーヘッド３に塗料を供給する塗料供給容器部５と、塗料供給容器部５の塗料供給口６に接続された塗料供給配管７と、塗料供給配管７を通して塗料供給容器部５に塗料を供給する塗料供給ポンプ８と、塗料供給配管７に分岐接続されて塗料供給配管７及び塗料供給容器部５内の空気及び塗料の排出を行う空気・塗料排出配管９とを備えた。 （もっと読む）

【課題】乾燥室内に配置された被塗装物の乾燥効率を高めつつ、低コストかつ省エネルギーを実現した塗装乾燥ブースを提供する。
【解決手段】塗装乾燥ブース１は、天井２ａに、通気口６の一部を遮蔽する遮蔽部８が設けられている。通気口６は、遮蔽部８により遮蔽され、部分通気口６ａが残る。この残った部分である部分通気口６ａの天井２ａにおける面積は、被塗装物となる車両Ｃが天井２ａに対して投影される際の投影面積に応じて確定される。具体的には、天井２ａは、全面にメッシュ状の通気口６を備えつつ、この通気口６の四方を方形状に遮蔽する板状の遮蔽部８を複数備える。板状の遮蔽部８は、各辺に対応して長方形状のものが２枚ずつ、計８枚設けられている。 （もっと読む）

【課題】フラックス転写装置において、シリンジのフラックス切れによる生産停止を回避して生産効率を向上させながらフラックスの無駄を無くして生産コストを低減する。
【解決手段】フラックスを貯留する２本のシリンジ８１を設け、各シリンジ８１の配管８８にそれぞれ電磁バルブ９０を設け、転写テーブル５０にフラックスを供給する場合は、いずれか一方の電磁バルブ９０のみを開弁して、いずれか一方のシリンジ８１のみからフラックスを供給する。１本の圧縮エア供給配管９３に設けた圧縮エア流量センサ９４で検出した圧縮エア流量が判定しきい値以上であるか否かで圧縮エア供給先のシリンジ８１がフラックス切れであるか否かを判定し、フラックス切れと判定されれば、各シリンジ８１の電磁バルブ９０の開弁／閉弁をそれぞれ切り替えて、圧縮エア供給先を他のシリンジ８１に切り替えて当該他のシリンジ８１からフラックスを転写テーブル５０に供給する。 （もっと読む）

【課題】不活性ガスの供給流量にばらつきが生じてもチャンバー内を圧力を安定して保つことができ、初期動作時、不活性ガスの供給流量を増やして不活性ガス化に必要な時間を短縮させることができる基板処理システムを提供する。
【解決手段】基板に対し所定の処理を行う基板処理部と、前記基板処理部を密封状態に収容するチャンバーと、チャンバー内に不活性ガスを供給するガス供給部と、チャンバー内のガスを排気するガス排気部と、を備えており、前記チャンバー内の圧力がチャンバー外の圧力よりも高いチャンバー設定圧力になるように、前記ガス供給部の不活性ガスの供給流量と前記ガス排気部の排気流量とが調整される構成とする。 （もっと読む）

【課題】 粉体塗装ガンから吐出される総エアー量の調整を行っても、粉体塗装ガンから吐出される単位時間当たりの粉体量を一定に保つことができるようする。
【解決手段】 吐出口１４から搬送ホース６を介して粉体のエアー搬送を行うインジェクター１２を備えた粉体搬送装置において、メインエアーノズル７から供給されるメインエアー量を、吐出口１４から搬送ホース６に供給する粉体の設定吐出量が得られる量とし、サブエアーノズル８から供給されるサブエアー量を、搬送ホース６に供給する総エアーの設定量からメインエアー量を差し引いた量に制御し、インジェクター１２の吐出口１４から吐出される総エアー量を増減させても、インジェクター１２の吐出口１４から吐出される総エアー量中に含まれる単位時間当たりの粉体量を一定に保つことができるようにした。 （もっと読む）

【課題】 例えば太陽電池用のフィンガー配線パターンなどのパターンを、その開始端も含めて均一に形成することができるパターン形成方法およびパターン形成装置を提供する。
【解決手段】 ペーストに加えるせん断応力の増加に応じたペーストの粘度変化（粘度特性）を測定する（ステップＳ１０）。測定した粘度特性に応じて、ノズルからのペーストの吐出を開始する際における基板の移動速度条件を調整する（ステップＳ２０）。調整された速度条件で基板を移動させるとともにノズルからペーストを線状に吐出して基板上に線状のフィンガー配線パターンを塗布形成する（ステップＳ３０）。 （もっと読む）

【課題】処理液ノズルからの処理液の吐出の有無及び処理液ノズルから吐出される処理液の吐出状態の変化の有無を正確に判定することができる液処理装置を提供すること。
【解決手段】基板Ｗの表面に、処理液供給部７から塗布液Ｒを供給して基板の表面に向けて吐出させて液処理をする液処理装置において、処理液の流路１０ｅを形成したノズル１０と、ノズルの先端部１０ｄから基板表面Ｗ１間の領域に光Ｌを照射する光源１１０と、ノズルと基板表面間の領域を撮像する撮像部１７と、ノズルから基板に向けて処理液を吐出するための吐出信号を出力すると共に撮像部により撮像を開始させる制御部９ａと、基板に向けて吐出される処理液中に光が入射して処理液に反射されたときの光の明暗を撮像する撮像結果に基づいて識別することによって、ノズルからの処理液の吐出の有無及びノズルから吐出される処理液の吐出状態の変化の有無を判定する判定部９ｂと、を備える。 （もっと読む）

【課題】毛管状隙間を有するノズルによりレジスト塗布面を迅速に均一に乾燥させることが可能なレジスト塗布方法および塗布装置、並びに該レジスト塗布方法を用いたフォトマスクブランクおよびフォトマスクの製造方法を提供する。
【解決手段】被塗布面１０ａを下方に向けた基板１０にレジスト液を塗布する方法であって、液槽に溜められたレジスト液を、ノズル２４の毛細管現象によって被塗布面１０ａに導いて接液させ、ノズル２４と基板１０とを水平方向に相対移動させることにより、被塗布面１０ａにレジスト液１１０を塗布し、被塗布面１０ａに対し、一定方向にほぼ一定の相対流速で被塗布面１０ａと平行な気流を供給し、気流を被塗布面１０ａに接触させることにより、レジスト液１１０の乾燥を行うレジスト塗布方法および塗布装置、並びに該レジスト塗布方法を用いたフォトマスクブランクおよびフォトマスクの製造方法。 （もっと読む）

【課題】基板の搬送高さを高精度に制御し得る技術を提供する。
【解決手段】塗布ステージ４は、空気を噴出する噴出孔４０ａと、空気を吸引する吸引孔４０ｂとが設けられている。噴出孔４０ａのそれぞれには、空気を供給する供給ラインＬ１が接続されており、吸引孔４０ｂのそれぞれには、空気を吸引する吸引ラインＬ２が接続されている。供給ラインＬ１の供給流量は、流量計１４ａが検出する流量値に基づいて、ニードル弁１３の開度が調整されることによって制御される。また、吸引ラインＬ２の吸引流量は、流量計１４ｂが検出する流量値に基づいて、ニードル弁１９ａの開度が調整されることによって制御される。なお、この供給流量および吸引流量の制御は、基板Ｗが塗布ステージ４上に搬送されてくるよりも前に実行される。 （もっと読む）