レジスト塗布装置
【課題】被処理基板上にレジストを精度良く形成することができるレジスト塗布装置を得る。
【解決手段】チャック１は、ウェハ２を保持して回転する。ノズル３は、ウェハ２上にレジスト液を供給する。チャック１をコーターカップ４が覆っている。チャック１の上方においてコーターカップ４に吸気孔５が設けられている。コーターカップ４に排気孔６が設けられている。吸気孔５に筒状治具１３が取り付けられている。筒状治具１３の空洞内に風速計１４が配置されている。筒状治具１３の中心軸は、チャック１の回転中心と一致する。
【解決手段】チャック１は、ウェハ２を保持して回転する。ノズル３は、ウェハ２上にレジスト液を供給する。チャック１をコーターカップ４が覆っている。チャック１の上方においてコーターカップ４に吸気孔５が設けられている。コーターカップ４に排気孔６が設けられている。吸気孔５に筒状治具１３が取り付けられている。筒状治具１３の空洞内に風速計１４が配置されている。筒状治具１３の中心軸は、チャック１の回転中心と一致する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被処理基板上にレジストを精度良く形成することができるレジスト塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
レジスト塗布装置は、塗布容器内において被処理基板上にレジストを形成する。この塗布容器内は常に有機排気が行われている。この排気を正常に保つために、塗布容器内の風速を測定する技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平２−３４９０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、塗布容器内は気流が安定しないため、安定して風速を測定することができない。このため、従来のレジスト塗布装置では、被処理基板上にレジストを精度良く形成することができなかった。
【０００５】
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、その目的は被処理基板上にレジストを精度良く形成することができるレジスト塗布装置を得るものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るレジスト塗布装置は、被処理基板を保持して回転する保持部と、前記被処理基板上にレジスト液を供給するノズルと、前記保持部を覆う塗布容器と、前記保持部の上方において前記塗布容器に設けられた吸気孔と、前記塗布容器に設けられた排気孔と、前記吸気孔に取り付けられた筒状治具と、前記筒状治具の空洞内に配置された風速計とを備え、前記筒状治具の中心軸は、前記保持部の回転中心と一致することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明により、被処理基板上にレジストを精度良く形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施の形態に係るレジスト塗布装置を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
図１は、本発明の実施の形態に係るレジスト塗布装置を示す断面図である。チャック１は、ウェハ２を保持して回転する。ノズル３は、ウェハ２上にレジスト液を供給する。チャック１をコーターカップ４が覆っている。チャック１の上方においてコーターカップ４に吸気孔５が設けられている。コーターカップ４の下方に排気孔６と廃液孔７が設けられている。
【００１０】
コーターカップ４の下方に廃液ボックス８が設けられている。廃液ボックス８は排気ダクト９に接続されている。廃液ボックス８と排気孔６は排気用ホース１０により接続されている。廃液ボックス８内に廃液タンク１１が設けられている。この廃液タンク１１とコーターカップ４の廃液孔７が廃液用ホース１２により接続されている。
【００１１】
吸気孔５に筒状治具１３が取り付けられている。筒状治具１３は、第１の筒１３ａと第２の筒１３ｂを有する。第１の筒１３ａの一端は、排気のリークを防止するために吸気孔５に隙間無く取り付けられる。第１の筒１３ａの他端に、第１の筒１３ａよりも細い第２の筒１３ｂが接合されている。筒状治具１３の中心軸は、チャック１の回転中心と一致する。第１の筒１３ａと第２の筒１３ｂは中心軸が一致している。筒状治具１３の空洞（丸穴）内の第２の筒１３ｂの中心軸に、風速計１４が配置されている。
【００１２】
続いて、本発明の実施の形態に係るレジスト塗布装置の動作を説明する。チャック１によりウェハ２を回転しながら、ノズル３によりウェハ２上にレジスト液を供給することで、ウェハ２上にレジストが形成される。この際に、排気ダクト９により廃液ボックス８と排気用ホース１０を介してコーターカップ４内の大気が常に排気される。また、廃液用ホース１２を介してコーターカップ４内の廃液が廃液タンク１１に廃棄される。
【００１３】
この動作中において、筒状治具１３の空洞内に風速計１４のセンサーを挿入する。約１５秒間そのまま保持した後、風速計の数値を読み取り規格内であるか判定する。風速値の変動（ふらつき）を確認すると共に最終的に規格内であるかを判定する。この判定結果により排気異常を発見することができる。
【００１４】
続いて、本実施の形態の効果を説明する。筒状治具１３の中心軸をチャック１の回転中心と一致させることにより気流が安定するため、安定して風速を測定することができる。これにより、レジストの膜厚の変動や、異物（ミスト）発塵によるパターン不具合を防止することができる。この結果、ウェハ２上にレジストを精度良く形成することができる。
【００１５】
また、細い第２の筒１３ｂで局所的に気流を取り込むことにより気流が安定するため、更に安定して風速を測定することができる。そして、コーターカップ４に取り付けられる第１の筒１３ａをコーターカップ４の形状に応じて形成すれば、様々な種類のレジスト塗布装置に本発明を適用することができる。
【００１６】
また、細い第２の筒１３ｂの中心軸に風速計１４を配置することで、作業者による風速計１４の配置の誤差を低減でき、更に安定して風速を測定することができる。
【符号の説明】
【００１７】
１ チャック（保持部）
２ ウェハ（被処理基板）
３ ノズル
４ コーターカップ（塗布容器）
５ 吸気孔
６ 排気孔
１３ 筒状治具
１３ａ 第１の筒
１３ｂ 第２の筒
１４ 風速計
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被処理基板上にレジストを精度良く形成することができるレジスト塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
レジスト塗布装置は、塗布容器内において被処理基板上にレジストを形成する。この塗布容器内は常に有機排気が行われている。この排気を正常に保つために、塗布容器内の風速を測定する技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平２−３４９０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、塗布容器内は気流が安定しないため、安定して風速を測定することができない。このため、従来のレジスト塗布装置では、被処理基板上にレジストを精度良く形成することができなかった。
【０００５】
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、その目的は被処理基板上にレジストを精度良く形成することができるレジスト塗布装置を得るものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るレジスト塗布装置は、被処理基板を保持して回転する保持部と、前記被処理基板上にレジスト液を供給するノズルと、前記保持部を覆う塗布容器と、前記保持部の上方において前記塗布容器に設けられた吸気孔と、前記塗布容器に設けられた排気孔と、前記吸気孔に取り付けられた筒状治具と、前記筒状治具の空洞内に配置された風速計とを備え、前記筒状治具の中心軸は、前記保持部の回転中心と一致することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明により、被処理基板上にレジストを精度良く形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施の形態に係るレジスト塗布装置を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
図１は、本発明の実施の形態に係るレジスト塗布装置を示す断面図である。チャック１は、ウェハ２を保持して回転する。ノズル３は、ウェハ２上にレジスト液を供給する。チャック１をコーターカップ４が覆っている。チャック１の上方においてコーターカップ４に吸気孔５が設けられている。コーターカップ４の下方に排気孔６と廃液孔７が設けられている。
【００１０】
コーターカップ４の下方に廃液ボックス８が設けられている。廃液ボックス８は排気ダクト９に接続されている。廃液ボックス８と排気孔６は排気用ホース１０により接続されている。廃液ボックス８内に廃液タンク１１が設けられている。この廃液タンク１１とコーターカップ４の廃液孔７が廃液用ホース１２により接続されている。
【００１１】
吸気孔５に筒状治具１３が取り付けられている。筒状治具１３は、第１の筒１３ａと第２の筒１３ｂを有する。第１の筒１３ａの一端は、排気のリークを防止するために吸気孔５に隙間無く取り付けられる。第１の筒１３ａの他端に、第１の筒１３ａよりも細い第２の筒１３ｂが接合されている。筒状治具１３の中心軸は、チャック１の回転中心と一致する。第１の筒１３ａと第２の筒１３ｂは中心軸が一致している。筒状治具１３の空洞（丸穴）内の第２の筒１３ｂの中心軸に、風速計１４が配置されている。
【００１２】
続いて、本発明の実施の形態に係るレジスト塗布装置の動作を説明する。チャック１によりウェハ２を回転しながら、ノズル３によりウェハ２上にレジスト液を供給することで、ウェハ２上にレジストが形成される。この際に、排気ダクト９により廃液ボックス８と排気用ホース１０を介してコーターカップ４内の大気が常に排気される。また、廃液用ホース１２を介してコーターカップ４内の廃液が廃液タンク１１に廃棄される。
【００１３】
この動作中において、筒状治具１３の空洞内に風速計１４のセンサーを挿入する。約１５秒間そのまま保持した後、風速計の数値を読み取り規格内であるか判定する。風速値の変動（ふらつき）を確認すると共に最終的に規格内であるかを判定する。この判定結果により排気異常を発見することができる。
【００１４】
続いて、本実施の形態の効果を説明する。筒状治具１３の中心軸をチャック１の回転中心と一致させることにより気流が安定するため、安定して風速を測定することができる。これにより、レジストの膜厚の変動や、異物（ミスト）発塵によるパターン不具合を防止することができる。この結果、ウェハ２上にレジストを精度良く形成することができる。
【００１５】
また、細い第２の筒１３ｂで局所的に気流を取り込むことにより気流が安定するため、更に安定して風速を測定することができる。そして、コーターカップ４に取り付けられる第１の筒１３ａをコーターカップ４の形状に応じて形成すれば、様々な種類のレジスト塗布装置に本発明を適用することができる。
【００１６】
また、細い第２の筒１３ｂの中心軸に風速計１４を配置することで、作業者による風速計１４の配置の誤差を低減でき、更に安定して風速を測定することができる。
【符号の説明】
【００１７】
１ チャック（保持部）
２ ウェハ（被処理基板）
３ ノズル
４ コーターカップ（塗布容器）
５ 吸気孔
６ 排気孔
１３ 筒状治具
１３ａ 第１の筒
１３ｂ 第２の筒
１４ 風速計
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理基板を保持して回転する保持部と、
前記被処理基板上にレジスト液を供給するノズルと、
前記保持部を覆う塗布容器と、
前記保持部の上方において前記塗布容器に設けられた吸気孔と、
前記塗布容器に設けられた排気孔と、
前記吸気孔に取り付けられた筒状治具と、
前記筒状治具の空洞内に配置された風速計とを備え、
前記筒状治具の中心軸は、前記保持部の回転中心と一致することを特徴とするレジスト塗布装置。
【請求項２】
前記筒状治具は、
一端が前記吸気孔に取り付けられた第１の筒と、
前記第１の筒の他端に接合され、前記第１の筒と中心軸が一致し、前記第１の筒よりも細い第２の筒とを有することを特徴とする請求項１に記載のレジスト塗布装置。
【請求項３】
前記風速計は、前記第２の筒の中心軸に配置されていることを特徴とする請求項２に記載のレジスト塗布装置。
【請求項１】
被処理基板を保持して回転する保持部と、
前記被処理基板上にレジスト液を供給するノズルと、
前記保持部を覆う塗布容器と、
前記保持部の上方において前記塗布容器に設けられた吸気孔と、
前記塗布容器に設けられた排気孔と、
前記吸気孔に取り付けられた筒状治具と、
前記筒状治具の空洞内に配置された風速計とを備え、
前記筒状治具の中心軸は、前記保持部の回転中心と一致することを特徴とするレジスト塗布装置。
【請求項２】
前記筒状治具は、
一端が前記吸気孔に取り付けられた第１の筒と、
前記第１の筒の他端に接合され、前記第１の筒と中心軸が一致し、前記第１の筒よりも細い第２の筒とを有することを特徴とする請求項１に記載のレジスト塗布装置。
【請求項３】
前記風速計は、前記第２の筒の中心軸に配置されていることを特徴とする請求項２に記載のレジスト塗布装置。
【図１】
【公開番号】特開２０１２−２５３１５６（Ｐ２０１２−２５３１５６Ａ）
【公開日】平成２４年１２月２０日（２０１２．１２．２０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１２３７２０（Ｐ２０１１−１２３７２０）
【出願日】平成２３年６月１日（２０１１．６．１）
【出願人】（０００００６０１３）三菱電機株式会社 (33,312)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１２月２０日（２０１２．１２．２０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年６月１日（２０１１．６．１）
【出願人】（０００００６０１３）三菱電機株式会社 (33,312)
【Ｆターム（参考）】
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