【課題】バインダーの偏在を抑制できる電極シート製造装置を提供する。
【解決手段】集電箔Ｓに電極ペーストＰを塗工し、塗工した電極ペーストＰを乾燥させることにより電極シートを製造する電極シート製造装置１００であって、電極ペーストＰを、常温以上かつ電極ペーストＰに含まれる溶媒の揮発温度以下の予熱温度Ｔ０で予熱する加熱ユニット１１０と、加熱ユニット１１０によって予熱された電極ペーストＰを、集電箔Ｓに塗工するスロットダイ１２０と、スロットダイ１２０によって塗工された電極ペーストＰを、予熱温度Ｔ０と略同一の第一乾燥温度Ｔ１で乾燥させる第一乾燥炉１３０と、第一乾燥炉１３０によって乾燥させた電極ペーストＰを、電極ペーストＰに含まれる溶媒の揮発温度以上の第二乾燥温度Ｔ２で乾燥させる第二乾燥炉１４０と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】電極性能の低下を招くことなく、スラリー状態の電極層に含まれる溶媒を効率よく揮発させて、乾燥時間の短縮を図ることが可能な電極乾燥方法、および電極乾燥装置を提供する。
【解決手段】電極乾燥装置１０は、溶媒２１を含む電極スラリー２０を電極箔３０に塗布することによって形成された電極層４０を乾燥炉５０の中において乾燥させる。電極乾燥装置は、電極層内に残存する溶媒濃度と乾燥炉内の雰囲気５７における溶媒濃度との濃度差を、雰囲気における溶媒濃度を高めることによって小さくする蒸発速度調整部材７０と、電極層を乾燥させる熱を付与するヒーター部８０と、を有している。 （もっと読む）

【課題】循環系を循環する塗液を適切な手段により管理することで上記塗液のポットライフをより長期にわたって確保し、より安定的な塗膜を塗布物上に得るためのグラビア塗工装置を提供する。
【解決手段】液受けパンと前記送液ポンプ、前記送液ポンプと前記塗液タンク、前記塗液タンクと前記液受けパンがそれぞれ送液チューブにより連結され、前記送液ポンプと前記塗液タンクの間の送液チューブが３方向に分岐し、分岐した送液チューブが追液タンクと連結しており、さらに、前記自動分析装置が液受けパン内の塗液を採取し前記塗液の状態を分析し前記追液タンクによる塗液の調整にフィードバックを与える。 （もっと読む）

【課題】塗料貯留タンクの内壁面への乾燥皮膜の形成を防いで異物の発生を防止すると共に、塗料の濃度変動を抑えることにより、揮発性の有機溶剤を含む塗料を、長期間に渡り安定して貯留する塗料貯留システムおよび貯留方法を提供することを課題とする。
【解決手段】揮発性の有機溶剤を含む塗料を貯留する気密性の構造を有する塗料貯留タンクと、前記有機溶剤と同じあるいは同等の成分を含有した有機溶剤を貯蔵した気密性の構造を有する有機溶剤貯槽と、前記有機溶剤貯槽内の有機溶剤にバブリングさせたガスを、前記塗料貯留タンクの頂部へ供給するガス供給配管と、を備えることを特徴とする塗料貯留システムを提供する。 （もっと読む）

【課題】 ノズルから吐出された液滴に変質等が生じないように吐出空間の雰囲気を置換することが可能なデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】 デバイスの製造方法は、基板をチャンバ内に搬入して載置台に載置する工程と、待機位置において封止部材により液滴吐出ノズルを隔離した状態で、チャンバの内部を減圧する減圧工程と、ガス供給機構からチャンバ内にパージガスを導入してチャンバ内部の雰囲気を置換するとともに大気圧状態に戻す雰囲気置換工程と、封止部材による液滴吐出ノズルの隔離を解除し、液滴吐出ノズルを吐出位置に移動させて被処理体へ向けて前記液滴を吐出する吐出工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】ＵＶ硬化に際して酸素による硬化阻害を抑制するため、不活性ガスを光源を経由させて硬化部に直接吹き付けることにより、高精度・低濃度の濃度管理を可能とし、かつ光源を効率的に冷却し得る紫外線照射ユニットを提供する。
【解決手段】不活性ガス供給口９および不活性ガス排出口１０および不活性ガスを充填する空間部１１を有する筐体８を備え、紫外線(ＵＶ)を照射する紫外線光源１が回路基板４に固定され、不活性ガス排出口の近傍に配置され、紫外線光源に電力を供給するように構成された電源を備えた、紫外線照射ユニット。 （もっと読む）

【課題】スプレー噴射時には、蛍光体含有液を安定してスプレーノズル１２に供給し、スプレー非噴射時には、不純物を混入させることなく蛍光体含有液を移動させ、これによって、蛍光体含有液が塗布される発光素子の部分的な点欠陥を低減する。
【解決手段】蛍光体塗布装置１０は、蛍光体含有液の移動を調節する移動調節部１８を有している。移動調節部１８は、スプレーノズル１２によるスプレー噴射時には、圧力タンク１５の内部に空気を供給することによって、圧力タンク１５から蛍光体含有液を押し出してスプレーノズル１２に供給する一方、スプレー非噴射時には、上記空気の供給によって圧力タンク１５から蛍光体含有液を押し出し、スプレーノズル１２を介して貯蔵タンク１４に移動させる。 （もっと読む）

【課題】 補給する帯電防止剤の濃度にバラツキが生じるのを抑制することができるとともに、帯電防止剤を確実に且つ効率良く補給することができる帯電防止剤塗布装置を提供する。
【解決手段】 供給用貯め手段２６に帯電防止剤を補給する補給手段３０を備える。補給手段３０は、補給用の帯電防止剤が貯められる補給用貯め手段４４と、補給用貯め手段４４と供給用貯め手段２６とを相互に連通する連通流路４２と、補給用貯め手段４４に帯電防止剤の原液を供給する原液供給手段５４と、補給用貯め手段４４に帯電防止剤の希釈液を供給する希釈液供給手段５２と、を有している。原液供給手段５４により供給された原液と、希釈液供給手段５２により供給された希釈液とが混合されることにより所定濃度の帯電防止剤が生成され、この生成された帯電防止剤が供給用貯め手段２６に補給される。 （もっと読む）

【課題】塗布環境の変化を抑制すること。
【解決手段】易酸化性の金属及び溶媒を含む液状体を基板に塗布する塗布部と、前記塗布部によって前記液状体の塗布を行う塗布空間及び前記液状体の塗布された前記基板の塗布後移動空間を囲むチャンバーと、前記チャンバー内の雰囲気中における前記溶媒の濃度が閾値を超えたときに前記液状体を前記チャンバー内の雰囲気から隔離させる隔離部とを備える。 （もっと読む）

【課題】前処理時に媒体にダメージを与えることを防止するとともに良好な印刷品質が得られる印刷方法及び印刷装置を提供する。
【解決手段】樹脂でモールドされた半導体装置３に対し、オゾンを含有する雰囲気で紫外線を照射して表面処理を行う表面処理部９と、半導体装置３の表面に活性光線で硬化する液体の液滴を吐出するノズルを有する吐出ヘッドと、半導体装置３上の液滴に活性光線を照射する照射部と、を備える印刷装置に関する。 （もっと読む）

【課題】スプレー法によって蛍光体分散膜を形成する際に、蛍光体混合液を給送する配管内で蛍光体が沈殿せず、繰り返し塗布作業を行っても、濃度ムラが生じず、蛍光体が均一に分散された蛍光体分散膜を形成可能な蛍光体塗布装置を提供し、この蛍光体塗布装置を用いて、蛍光体が均一に分散された蛍光体分散膜を有する発光装置を連続的に製造可能な発光装置の製造方法を提供する。
【解決手段】蛍光体混合液を貯留するタンク１１からスプレーノズル１４まで給送する配管１３内の蛍光体混合液２０を攪拌する攪拌手段３０を設けた蛍光体塗布装置１０（１０Ａ〜１０Ｋ）とし、この蛍光体塗布装置を用いて、配管内で攪拌混合された前記蛍光体混合液をスプレーノズルから吹き付けて塗布する配管内攪拌塗布工程を備える発光装置の製造方法とした。 （もっと読む）

【課題】塗布製品の品質を向上させる。
【解決手段】塗布液の塗布装置１は、塗布液を吐出する塗布ヘッド４と、その塗布ヘッド４に供給する塗布液を貯留する容器５と、その容器５内の塗布液を撹拌する撹拌装置６と、容器５内の塗布液の濃度情報を容器５の高さ方向の上下に離れた少なくとも二箇所で検出する検出装置７と、その検出装置７により検出された二箇所の濃度情報に基づいて撹拌装置６の撹拌力を制御する制御装置８とを備える。 （もっと読む）

【課題】乾燥炉から熱が漏れるのを防止するとともに、ペーストが塗布されたシートの振動を防止する。
【解決手段】シート２１にペースト２２が塗布されたペースト付きシートを乾燥する乾燥炉１０とともに用いられる熱遮蔽装置１１であって、ガスを送り出し、ペースト付きシートが通過する乾燥炉の開口部１０ａをガスの層によって塞ぐガス供給口１１ａを有する。ガス供給口は、ペーストが塗布されたシートの表面に沿った方向Ｇ１にガスを送り出す。 （もっと読む）

【課題】不活性ガスの供給流量にばらつきが生じてもチャンバー内を圧力を安定して保つことができ、初期動作時、不活性ガスの供給流量を増やして不活性ガス化に必要な時間を短縮させることができる基板処理システムを提供する。
【解決手段】基板に対し所定の処理を行う基板処理部と、前記基板処理部を密封状態に収容するチャンバーと、チャンバー内に不活性ガスを供給するガス供給部と、チャンバー内のガスを排気するガス排気部と、を備えており、前記チャンバー内の圧力がチャンバー外の圧力よりも高いチャンバー設定圧力になるように、前記ガス供給部の不活性ガスの供給流量と前記ガス排気部の排気流量とが調整される構成とする。 （もっと読む）

【課題】スラリー状の樹脂に含有されるフィラーがシリンジの底部に溜まることを防止して、フィラーが均一に分散した状態の樹脂を供給することができる充填装置を提供する。
【解決手段】ポッティング装置１は、粒状の蛍光体Ｆを含有したスラリー状の液状樹脂材Ｒが貯留されるシリンジ２と、シリンジ２の軸心に位置する回転シャフト３１に沿って設けられた螺旋状の撹拌翼３２と、回転シャフト３１を回転させて撹拌翼３２を回転させ、液状樹脂材Ｒを上方へ誘導する駆動部４とを備えている。このシリンジ２は、円筒状の胴部２１と、胴部２１の下端に設けられ、液状樹脂材Ｒが排出される供給口２２２を有する漏斗状の先端部２２とにより形成されている。そして、撹拌翼３２の先端が、回転シャフト３１の先端部３１１と共に、シリンジ２の先端部２２内に位置していることで、蛍光体Ｆを液状樹脂材Ｒと共に上方へ誘導して撹拌することで、均一に分散させる。 （もっと読む）

【課題】対象物に置換ガスを吹き付けて該対象物の表面近傍を置換ガスに置換するガス置換装置において、置換効率を向上させたガス置換装置を提供する。
【解決手段】搬送されるシート状のウェブ１１の表面に向かって吹き出し口２３から置換ガス１６を吹き出して該ウェブ１１の表面の雰囲気を該置換ガス１６に置換するガス置換装置において、吹き出し口２３は、ウェブ１１の表面に平行になるように配置される対向面２１に形成されてウェブ１１の表面に直交する方向に沿って置換ガス１６を吹き出すとともに、対向面２１を搬送方向にて該吹き出し口２３よりも上流側の上流側対向面２４と下流側の下流側対向面２５とに区画している。そして上流側対向面２４とウェブ１１の表面との間隔が０．５ｍｍ以上３．５ｍｍ以下に設定される。 （もっと読む）

【課題】ダイヘッドを用いて基板の表面に塗布液を塗布する場合に、高品質な塗布膜を実現する塗布方法を提供する。
【解決手段】ダイヘッド内部の塗布液を戻り配管を介して供給タンクへと循環させる流量を、その流量によって除去できる沈降物の量が、粒子の沈降速度から算出される沈降量以上になる流量で循環させて、塗布欠陥のない高品質な塗布膜を実現する。 （もっと読む）

【課題】安定して高い疎水性を確保できる疎水化処理方法及び疎水化処理装置を提供すること。
【解決手段】 処理容器内にて、ウエハＷに、ＨＭＤＳガスを供給し、前記ウエハの表面に−Ｏ（ＣＨ_３）_３よりなる疎水基を生成する疎水化処理において、前記疎水化を促進させる反応促進剤として水蒸気をウエハＷに供給する工程と、前記処理容器内に搬入されたウエハＷを加熱する工程と、加熱されたウエハＷの表面に前記水蒸気が吸着している状態で、当該ウエハＷの表面に前記ＨＭＤガスを供給する工程と、を実施する。前記水蒸気により、ＨＭＤＳ疎水化処理ガスのケイ素と、基板表面の酸素との反応が促進され、安定して高い疎水性が得られる。 （もっと読む）

【課題】 洗浄移動ユニットとインクジェットヘッドとの位置関係が不当に厳格とならないようにした上で、両者の接触に起因する耐久性の低下、摩耗粉塵等の異物の発生、印刷不良や配向膜形成不良等を回避する。また、インクジェットヘッドの液状材料噴出口を通じてその内部に洗浄液が浸入して液状材料の濃度が低下するという不具合を回避した上で、負圧吸引による洗浄能力をより高める。
【解決手段】 ライン状に配列された複数の液状材料噴出口３の周辺に負圧による吸引力を発生させる真空ノズル５を有し且つインクジェットヘッド１に対して相対移動可能な洗浄移動ユニット４を備えた構成において、真空ノズル５の先端に存する負圧吸引領域を、液状材料噴出口３の配列方向に短尺に且つその配列方向と直交する方向に長尺になるようにして、真空ノズル５を上記の配列方向に移動させるように構成する。 （もっと読む）

【課題】液体供給流路および液体回収流路のポンプおよびフィルターの性能を個別に判断することができる液付与装置および画像形成装置、並びにポンプ及びフィルターの判定方法を提供する。
【解決手段】塗布液を記録媒体に塗布する塗布手段と、塗布手段に塗布液を供給する供給部と、塗布手段から塗布液を回収する回収部と、を有し、供給部の送液能力を判定する供給能力判定手段と、回収部の送液能力を判定する回収能力判定手段と、を備えることを特徴とする液付与装置、および、この液付与装置を備える画像形成装置である。供給能力判定手段および回収能力判定手段により、ポンプ、フィルターなどの能力を個別に判定することができる。 （もっと読む）