【課題】塗布液の粘性やぬれ性を制御して膜厚を制御する。
【解決手段】塗布装置１は、基板Ｗを支持するステージ２と、前記ステージに対して相対移動可能であり、前記ステージ上の基板に塗布材料を吐出する材料吐出ノズル７と、前記材料吐出ノズルとともに前記ステージに対して相対移動可能であり、前記ステージ上の基板に気体を噴射する気体噴射ノズル８と、を一体に備える塗布ヘッド４を備えた。 （もっと読む）

【課題】乾燥ムラの発生を抑制することができる乾燥装置を提供する。
【解決手段】走行する帯状可撓性基材に塗工ヘッドによって連続的に塗布された塗布膜を前記基材を重力方向と反対方向に走行させながら乾燥する乾燥装置であって、基材の塗布膜面側に近接して設けられ、塗布膜面の幅方向と同等以上の幅方向の大きさを有し、且つ、複数のスリットを設けたスリット板と、前記スリット板に対して前記基材の反対側に設けられ、塗布膜面から蒸発した溶剤成分を凝縮回収する手段と、前記基材に対し前記スリット板の反対側に設けられ、基材を加熱する手段と、を備え、前記スリット板の複数のスリットは、基材の走行方向に対して傾斜して設けられ、且つ、スリットの前記基材に近い側の開口が重力方向の上側で、スリットの前記基材に遠い側の開口が重力方向の下側であることを特徴とする乾燥装置。 （もっと読む）

【課題】溶剤の揮発による画素形状の変形を抑えることができる塗布装置、その塗布装置を用いた塗布方法及びその塗布装置を用いた有機機能性素子の製造方法を提供する。
【解決手段】塗布装置は、透光性基板１８を設置する可動ステージ１９と、透光性基板１８上にインク１１を吐出するノズルヘッド１３と、可動ステージ１９とノズルヘッド１３とを透光性基板１８の面方向に相対的に移動可能とする移動機構とを含み、さらに吐出されたインク１１に含まれる溶剤の蒸気を排気する排気部２３を有し、排気部２３はノズルヘッド１３に隣接配置されていることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】溶存気体の含有量が少ないインクがインク供給装置の内部に留まることで、溶存気体の含有量が少ないことに起因する不具合が発生することを抑制することができる、描画装置及びインク供給装置を提供する。
【解決手段】描画装置は、活性エネルギーを受けることによって硬化する性質を有するインクを貯留するインク貯留部と、インクを吐出する吐出ヘッドと、インクを吐出ヘッドに導く導液路と、導液路から分岐し、導液路内のインクを排出する排出路と、排出されたインクを貯留する排出インク貯留部と、導液路に設けられた切替部と、排出インク貯留部におけるインクの気体の溶存量を増加させる溶存気体増加部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、防爆層内の換気用空気による乾燥効率を向上し、かつ、簡易な構成で防爆構造を実現する乾燥装置を提供することを課題とする。
【解決手段】乾燥装置１は、遠赤外線ＩＲを発生する遠赤外線ヒーター１０を含む加熱層５と、加熱層５に対して独立して設けられる防爆層７と、を備え、防爆層７に加熱層５で発生させた遠赤外線ＩＲを導入して、油系溶媒を含むペースト３を乾燥させる乾燥装置である。加熱層５と防爆層７との間に、加熱層５の熱が防爆層７に伝達されることを防止するとともに、遠赤外線ＩＲを透過する断熱層６を備え、防爆層７内の加熱層５側と反対側に、防爆層７内の雰囲気を換気する給排気システム３０が設けられ、給排気システム３０は、防爆層７内でペースト３の塗工面と平行に空気を流す。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドを乾燥させることなくフラッシング部近傍のインクミストを偏り無く吸引することで、インクの吐出不良やインクミストの基板への付着が原因で画素形成性能に影響を及ぼすことを防止する吸引装置を提供する。
【解決手段】インク液滴を吐出する液滴吐出ユニットより吐出されたインク液滴を下方から受ける液滴受け部と、前記液滴吐出ユニットと前記液滴受け部の間で発生し、浮遊するインクミストを吸引する吸気部と、を備える吸引装置であって、前記液滴受け部は、前記液滴吐出ユニットより吐出されたインク液滴を受けて内部に貯留することで、該液滴吐出ユニット直下に液溜まりを形成する機構を有し、前記吸気部は、前記液滴受け部と対をなしており、インクミストを吸引する開口を有し、前記開口は、前記液滴受け部の下方に位置する構成とする。 （もっと読む）

【目的】 塗布液微粒子の再付着を防止し塗布される膜厚を比較的簡単な構造で効果的に均一化することが可能な比較的小型なスピンコータを廉価に実現する。
【構成】 被塗布材である基板３を水平に保持して回転する回転テーブル１と、この回転テーブル１の周囲を覆うように構成され、基板３から飛散する塗布液を受け止めるカップ６とを備え、基板３の表面上に滴下される塗布液を基板３の表面上に遠心力で拡散させて塗布するスピンコータにおいて、カップ６の底部中心の開口部に接続されて排気を誘導する排気誘導ボックス７を設け、この排気誘導ボックス７を介してカップ６の内部の排気を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 インクジェットを用いた基板への塗布工程において、インクの捨て吐出や基板端部への描画の際に、基板裏面やステージ上に不要なインクが付着することを防ぐことができる、基板載置ステージ及びこれを備えたインクジェット塗布装置を実現する。
【解決手段】 インクジェットヘッドにより液滴が滴下される基板を載置する載置面と、前記載置面の周辺に沿って形成された複数の側壁とを有する基板載置ステージであって、前記側壁には、エア排気口が形成され、前記基板載置ステージは、前記エア排気口からの排気により吹き飛ばされた液滴を吸引する吸引機構を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】対象物に置換ガスを吹き付けて該対象物の表面近傍を置換ガスに置換するガス置換装置において、置換効率を向上させたガス置換装置を提供する。
【解決手段】搬送されるシート状のウェブ１１の表面に向かって吹き出し口２３から置換ガス１６を吹き出して該ウェブ１１の表面の雰囲気を該置換ガス１６に置換するガス置換装置において、吹き出し口２３は、ウェブ１１の表面に平行になるように配置される対向面２１に形成されてウェブ１１の表面に直交する方向に沿って置換ガス１６を吹き出すとともに、対向面２１を搬送方向にて該吹き出し口２３よりも上流側の上流側対向面２４と下流側の下流側対向面２５とに区画している。そして上流側対向面２４とウェブ１１の表面との間隔が０．５ｍｍ以上３．５ｍｍ以下に設定される。 （もっと読む）

【課題】シート状部材の表面上への材料の塗布及び乾燥を効率よく行い、光学フィルム用基材及びフレキシブル基板の表面に高い生産効率で薄膜を形成できる薄膜塗布乾燥装置及び薄膜の製造方法を提供する。
【解決手段】薄膜塗布乾燥装置１は、筐体１０の内部に、貯留部１３内に貯留された液状又はペースト状の材料３の一部に進入して筐体１０の内部を第１の空間１６と第２の空間１７とに区画する隔壁１５を有する。搬送部（搬送ローラ１４）は、シート状部材２を第１の空間１６から貯留部１３内の材料３中に浸漬させた後、第２の空間１７にてシート状部材２を材料３から取り出すように、シート状部材２を搬送する。第１の空間１６内及び第２の空間１７内は、夫々第１及び第２の排気部材４により排気され、第２の空間１７に取り出されたシート状部材２は、表面に付着した材料３が第２の空間１７で乾燥される。 （もっと読む）

【課題】液状体の塗布領域上部において均一性の高い蒸気濃度分布を実現する。
【解決手段】乾燥炉外形５の内のステージ４の上に設置された基板１の上には、機能膜の溶液を塗布する塗布領域２の外側に立て板３が設けられている。立て板３の材質はステンレス鋼などの金属が用いられ、基板１上に設置される。基板１端部は、塗布領域２内では蒸気が発生し続けるのに対し、塗布領域外には蒸気の発生源がなく、塗布領域２外への拡散が起こるために濃度差が発生する。立て板３を設けることにより、基板１と平行な方向への蒸気の拡散が抑制され、塗布領域２端部の蒸気濃度が基板１中央部の蒸気濃度に近づいていく。立て板３の高さの選択により拡散の抑制効果を得られ、塗布領域２上で均一性の高い蒸気濃度分布を実現できる。 （もっと読む）

【課題】易酸化性の金属を含む塗布膜の膜質の低下を抑えることができる塗布装置及び塗布方法を提供すること。
【解決手段】易酸化性の金属を含む液状体を基板に複数回塗布し前記基板上に複数の液状体層を積層する塗布ステップと、前記塗布ステップによって前記液状体の塗布される塗布空間及び前記液状体の塗布された前記基板の塗布後移動空間を囲むチャンバ内の酸素濃度及び湿度のうち少なくとも一方を調整する調整ステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】基板上に、有機ＥＬ素子の機能層をはじめとして、塗付膜をウェット法で形成する際に、基板上全体に配される塗膜形状のバラツキを抑えて、塗膜形状を均一化する。
【解決手段】乾燥装置２０は、減圧容器２１の内部に設けられた支持台２２上に、インクが充填された基板１が支持台２２に載置される。基板１の上方には、整流部材５０が配置されている。整流部材５０には、溶剤蒸気を流通させるスリット５３が複数並設されている。整流部材５０の下面には、各スリット５３の入口を覆うように、板上の網目部材４０が配設されている。網目部材４０には、各スリット５３に対して貫通孔４１が複数個づつ開設されている。 （もっと読む）

【課題】基板乾燥時間を短縮することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置において、基板Ｗを保持する保持テーブル４と、その保持テーブル４を回転させるテーブル回転機構と、基板Ｗの表面に対向して離間する位置からその表面を覆うように設けられ、基板Ｗ側の表面Ｍ２に複数の窪み８ａを有する平板８とを備える。 （もっと読む）

本発明は、第１有機物層（２）と第１無機物層（４）によってフレキシブル基板（１）をコーティングするための装置に関するものである。本発明による装置は、第１および第２チャンバ（１０，２０）と、雰囲気分離スロット（３０）と、を備えている。第１チャンバ（１０）内には、前駆体またはオリゴマーまたはポリマーネットワークと重合開始剤とを含有した混合物でフレキシブル基板をプリントするプリント設備（４０）が配置されている。第１チャンバ（１０）内には、成膜された混合物を硬化させて第１有機物層（２）を形成する硬化設備（５０）が配置されている。第２チャンバ（２０）内には、基板（１）上に第１無機物層（４）を成膜する気相蒸着設備（６０）が配置されている。装置は、基板（１）を設備（４０，５０，６０）に沿って案内するための設備（７０）を備えている。
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【課題】ノズルが吐出した接着剤から生じるガスを効率よく除去することができる布接着装置を提供する。
【解決手段】支持部４０には、透明な板状のカバー部材５１が設けてある。カバー部材５１の板面は、布の接着作業時に、ノズル４５と操作者との間に位置する。カバー部材５１は、ノズル４５から操作者側への気体の直接の流動を遮断する。また、カバー部材５１には第一ガスセンサ５３及び第二ガスセンサを取り付けている。台座部１１は、ノズル４５の正面側下方に送出ファン５６を備えている。送出ファン５６は、操作者側から空気を取り込み、ノズル４５へ向けて送出する。送出ファン５６の出力を制御するＣＰＵは、第一ガスセンサ５３及び第二ガスセンサが検出したガスの濃度の少なくとも一方が所定のしきい値以上となると、送出ファン５６の出力を大きくする。 （もっと読む）

【課題】ダミー領域、バンク等を必要とせず、膜厚及び膜形状が均一な機能膜や配線等の膜パターンを形成する。
【解決手段】基板１に、膜パターン２を形成するための膜形成材料を含む液滴３を付与して、複数の膜前駆体４を形成し、乾燥させる。次いで、基板１を冷却し、結露を発生（雰囲気を凝縮）させて、複数の膜前駆体４を吸湿膨潤させることにより、所定のパターンに合体させた後、再乾燥させて、膜パターン２を形成する。複数の膜前駆体４を液体状態に戻して合体させることで、均一な膜厚及び膜形状を持つ膜パターン２を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】塗布液の乾燥後に形成される膜の膜厚のバラつきの低減を図った減圧乾燥装置を提供する。
【解決手段】減圧乾燥装置１０は、基板１上に塗布された塗布液を乾燥させる際に使用され、基板１を載置する載置台１１と、載置台１１に上方から対向するように配置され、多孔質材料から形成される排気整流部１２と、排気整流部１２の周囲を隙間なく囲むように設けられる側壁部１３と、載置台１１と側壁部１３との間に配置されるシール材１４と、基板１が載置台１１に載置された状態で、基板１と排気整流部１２との間に配置されるスペーサ部１５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】
レジスト液をスピンコーティングにより塗布する工程において、回転している基板の遠心力により飛散したレジストミストを排気流から効率良く分離し、レジストミストが排気路側へ回り込むことを抑えること。
【解決手段】
基板の回転による遠心力よりレジスト液が飛散する前に、カップ内部表面にカップ内部の表面を濡らすためのミストを吹き付ける。この工程によりカップの内部表面に液膜（親水性）をつくり、この液膜にレジストミストが接触し当該レジストミストは吸着される。
そして、基板の回転による遠心力によりレジストミストが飛散しているときにミスト供給ノズルより捕捉用のミストをカップ内部へ供給し、当該捕捉用のミストがレジストミストを捕捉する。その結果、レジストミストの質量が増加しレジストミストは廃液路へ落ちていくとともにウエハの回転により生じた気流は排気路へ流れていく。この結果、効率的な気液分離が可能となる。 （もっと読む）

【課題】全印刷装置の塗工機（ロールによる印刷機、インクジェット、スリットコートすべての印刷）に対して、環境を調整することができ、液状原料により形成される高機能な機能膜や電気光学部品に、雰囲気中の物質が不純物としての混入や、酸化等の機能劣化を防ぐことができる液状原料塗工装置、液状原料塗工方法、およびそれを用いた基体を提供する。
【解決手段】基体上に液状原料を塗工して機能性膜もしくは電気光学機能を有する積層構造体を形成する液状原料塗工部と、前記基体を固定する台座と、前記液状原料塗工部と前記台座とを相対的に移動させる移動機構とを備えた液状原料塗工装置であって、前記液状原料塗工部と前記台座を覆う気密容器とにより塗工領域を形成し、該塗工領域内の雰囲気を調整する雰囲気調整機構を有し、前記気密容器が液状原料塗工部から隔離できることを特徴とする液状原料塗工装置、液状原料塗工方法、およびそれを用いた基体。 （もっと読む）