【課題】ダイコータで、ガラス基板とダイ間のクリアランスを全幅に渡って略均一に非常に小さくすることで、ガラス基板に非常に薄い塗布膜を形成できる塗布装置および塗布方法、並びにディスプレイ用部材の製造方法を提供する
【解決手段】スリット状の吐出口を有する塗布器から、塗布液を被塗布部材上に吐出して塗布膜を形成する塗布方法で、被塗布部材表面が高さＨだけエアー浮上されて保持されている被塗布部材に、塗布器の吐出口面がＨ−６０μｍ〜Ｈ＋５０μｍの高さに位置するよう塗布器を近接させ、吐出口より塗布液を吐出しながら、塗布器および被塗布部材の少なくとも一方を相対的に移動させて、被塗布部材上に塗布膜の形成を行う塗布方法。 （もっと読む）

【課題】製膜の際よりも、吐出不良検査の際は吐出ヘッドからの吐出数が少ないことに起因して、不良が検出され難くなることを抑制することができる製膜装置、及び製膜方法を提供する。
【解決手段】製膜装置は、吐出ヘッドと、被製膜媒体を保持する媒体保持手段と、吐出ヘッドと媒体保持手段とを相対移動させる相対移動手段と、を備え、吐出ヘッドと媒体保持手段とを相対移動させるとともに、吐出ヘッドから媒体保持手段に保持された被製膜媒体に向けて液状体を吐出する吐出走査によって、被製膜媒体上に膜を形成する製膜装置であって、吐出ヘッドから検査吐出した液状体を着弾させる検査着弾媒体を保持する検査媒体保持手段と、吐出ヘッドと検査媒体保持手段とを相対移動させる検査相対移動手段と、を備え、検査媒体保持手段は、検査相対移動手段による相対移動方向の長さが、媒体保持手段の相対移動手段による相対移動方向の長さより長いことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化及び低価格化に寄与できる印刷装置を提供する。
【解決手段】基材１を搬送する搬送部１３と、基材に対して相対移動して、液滴を吐出する吐出ヘッドと、搬送部１３に設けられ、対向する基材の表面の凹凸情報を検出する検出装置１２０と、を備える。検出装置１２０は、基材１の表面に投光した検知光Ｌの反射光を受光した結果に基づいて、表面位置までの距離を計測する測距部１２１と、搬送部１３の移動を制御して搬送部１３の基材１の表面に沿った方向の位置と測距部１２１の計測結果とに基づいて凹凸情報を導出する制御部とを有する。 （もっと読む）

【課題】複数の画面が面付けされて製造されるガラス基板上に塗布された塗布膜の溶媒を乾燥する減圧乾燥装置において、画面サイズ変更に伴う基板保持ピンの配置位置変更の作業負荷の低減と停止ロスを抑制できる省スペースな乾燥装置を提供する。
【解決手段】溶媒を含む塗布液が塗布されたガラス基板を乾燥する減圧乾燥装置であって、真空吸引可能なチャンバー内に前記ガラス基板を保持する複数の可動基板受けピンを有し、且つ、前記可動基板受けピンの各々のピン配置位置を所望する位置に自動で変更するピン位置自動変更機構を具備している。 （もっと読む）

【課題】描画品質を損わず単純な構造で効率的にワーク処理を行う液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】描画エリア１１でワークＷを移動させてワークＷに描画動作を実施し、描画エリア１１からワークＷの移動方向の両外側の２つの検査エリア１３で機能液滴吐出ヘッド４４の吐出検査を交互に実施し、且つ各検査エリア１３から移動方向の外側の２つの除給材エリア１４でワークＷの除給材を交互に実施し、一対のワークステージ２２と、一対のワークステージ２２間で検査吐出を受ける単一の検査ステージ５２と、各検査エリア１３で検査ステージ５２を画像認識する一対の画像認識手段６と、一方のワークステージ２２を描画エリア１１と一方の除給材エリア１４間で移動させると共に他方のワークステージ２２を描画エリア１１と他方の除給材エリア１４間で移動させ且つ検査ステージを一対の検査エリア１３間で移動させるステージ移動手段２と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】描画品質を損わず単純な構造で効率的にワーク処理する液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】描画エリア１１からワークＷの移動方向の両外側の第１除給材エリア１４ａおよび第２除給材エリア１４ｂでワークＷの除給材を交互に実施し且つ描画エリア１１と第１除給材エリア１４ａ間の検査エリア１３で吐出検査を実施し、第１ワークステージ２２ａおよび第２ワークステージ２２ｂと、第１ワークステージ２２ａおよび第２ワークステージ２２ｂの間に検査吐出を受ける検査ステージ５２と、検査ステージ５２を画像認識する画像認識手段６と、第１ワークステージ２２ａを描画エリア１１と第１除給材エリア１４ａで移動させ第２ワークステージ２２ｂを描画エリア１１と第２除給材エリア１４ｂで移動させ検査ステージ５２を検査エリア１３と描画エリア１１で移動させるステージ移動手段２と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】短時間でワークのパターン許容範囲内にパターンを描画する。
【解決手段】ワーク上にパターンを描画する液滴吐出装置であって、複数のノズルが配列された液滴吐出ヘッドと、前記ワークが載置される描画ステージと、前記液滴吐出ヘッドと前記描画ステージとを相対的に移動させる移動部と、前記描画ステージに載置された前記ワークを画像認識する画像認識部と、画像認識された前記ワークの中心点を基点として、前記ワークの傾きを補正した仮想レイアウトを作成するとともに、前記複数のノズルのうちから、前記仮想レイアウトにおける前記パターンの位置に対応する対応ノズルを選択し、前記対応ノズルを駆動させる制御部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】大型基板又は二個の小型基板とヘッドとの位置合わせが可能に構成された吐出装置を提供する。
【解決手段】本発明の吐出装置１０は、第一、第二の載置台２４ａ、２４ｂを有している。第一の載置台２４ａは第二の載置台２４ｂより大きく、第一の載置台２４ａ上に第二の載置台２４ｂが配置される。基板５０を第一、第二の載置台２４ａ、２４ｂの両方に係るように載せると、第一の基板回転機構４２によって第一の載置台２４ａを基準面に平行に回転させ、ヘッド移動機構４５によってヘッド３２を移動することにより、基板５０とヘッド３２が位置合わせできる。第一、第二の基板５０ａ、５０ｂを第一、第二の載置台２４ａ、２４ｂ上にそれぞれ載せると、第一の基板５０ａを基板５０と同様に位置合わせした後、第二の基板位置合わせ機構によって第二の載置台２４ｂを基準面に平行に回転し、かつ移動することにより、第二の基板５０ｂとヘッド３２が位置合わせすることができる。 （もっと読む）

【課題】ボンディングツールへの良好な吸着を可能とすることで信頼性の高い液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法、及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】第１基板２２と、駆動素子２３と、第２基板２５と、第２基板２５の第１基板２２と反対側に設けられたケース部材１０１と、駆動回路部２６が実装されており、駆動回路部２６と第２基板２５の開口部６０に露出している駆動素子２３の端子部４７とを電気的に接続するフレキシブル基板２７と、を備える液滴吐出ヘッド１である。フレキシブル基板２７の端子部４７に対する接続部２７ｂの近傍に、駆動回路部２６の実装に起因して生じるフレキシブル基板２７を変形させる力を抑制する変形抑制部２８が設けられている。 （もっと読む）

【課題】超音波振動を与えることにより被塗工材に対する塗工液の塗布が均一に行える塗布方法及び装置を得る。
【解決手段】モータで回転させる塗布ロール１の回転軸３の一端に塗布ロール１に超音波振動を与える超音波振動子１５を接続し、塗布ロール１の回転軸３の他端に超音波振動を遮断または減衰させるカップリングを介してモータの出力軸を接続し、塗布ロール１に超音波振動を与えて塗布ロール１を超音波振動させることにより、塗布ロール１と該塗布ロール１に接する塗工液９との界面に微細振動を与えつつ塗工液９を被塗工材２の面に塗布する。 （もっと読む）

【課題】簡便な装置構成で異物の大きさに応じて良否判定をすることができる基板検査装
置、基板検査方法、液滴吐出装置及び吐出方法を提供する。
【解決手段】
基板１に付着した異物を検査する基板検査装置４にかかわり、基板１を真空吸着して保持
する平面を有する吸着板３と、平面に保持された基板１の垂線に対して、斜め方向から入
射光を照射して、基板１に直線を含む図形を投影する照明装置２０と、入射光が基板１の
表面で正反射した反射光の進行方向に配置された撮像装置２６と、撮像装置２６が撮像し
た画像を用いて、異物を検査する異物高さ演算部と、を備え、異物高さ演算部は画像にお
いて、直線の歪みを測定して、基板１と吸着板との間に挟まれた異物の大きさを推定する
。 （もっと読む）

【課題】基板に形成された位置決め用のマークの検出の確実性を向上させた塗布液塗布装置を提供する。
【解決手段】基板ステージ１１６は、アライメントマーク５１が形成されたガラス基板５０を搭載するものであり、側面からガラス基板５０のアライメントマーク５１の部分が搭載されるべき面にかけて貫通する導光部１５２が形成されている。照明部１６０−１は、基板ステージ１１６の側面における導光部１５２の開口部へ向けて光を照射し、導光部１５２内に配置された反射ミラー１５５は、照明部１６０−１からの光を基板ステージ１１６のガラス基板５０のアライメントマーク５１の部分が搭載されるべき面に向けて反射させる。 （もっと読む）

【課題】ワークの種類や大きさが異なる場合でも、基準マークの位置認識時間を短縮すること。
【解決手段】液滴吐出装置１は、一対の基準マークＭの位置が異なる複数種のワークＷに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１７を主走査方向に相対的に移動させて描画を行なう描画手段と、給材された各ワークＷをプリアライメント状態にセットすると共に各ワークＷに対しθ補正によるアライメント動作可能に構成されたワークステージ２１と、副走査方向に延在する帯状の認識可能領域８４を有し、一対の基準マークＭを画像認識する画像認識手段８０と、認識結果に基づいて、ワークステージ２１をアライメント動作させるアライメント制御手段と、ワークステージ２１に対し、各ワークＷを除給材する除給材手段７０と、を備え、除給材手段７０は、主走査方向において、一対の基準マークＭが認識可能領域８４と合致する位置に各ワークＷを給材する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ドア開保持治具をドアを若干開いた状態で車体に保持させるドア開保持を解除するアンロック操作をロボットで行うことができる技術を提供することを課題とする。
【解決手段】ドア開保持治具２０は、治具ベース３１と、ドア１１の閉じ側の位置を規制するために治具ベース３１に設けた閉じ側規制部材４４と、ドア１１の開き側の位置を規制するために、ドア１１に掛からない位置からドア１１に掛かる位置まで移動できるようにして治具ベース３１に設けた開き側規制部材３８と、この開き側規制部材３８をドア１１に掛かる位置へ弾性的に押す弾性部材４２と、開き側規制部材３８から水平に張り出した第１の環状部材４６と、この第１の環状部材４６より大径であって、この第１の環状部材４６より上位位置にてドア１１から張り出した第２の環状部材４７とからなる。 （もっと読む）

【課題】大型のワークであっても、液滴をワークに対して容易に吐出することができ、ワ
ークの生産性を向上することができる液滴吐出装置、液滴吐出方法、電気光学装置の製造
方法、電気光学装置および電子機器を提供すること。
【解決手段】ヘッド１２０のノズルから液体をワークＷに吐出する液滴吐出装置１０であ
って、ワークＷを搭載するためのテーブル２０と、テーブル２０を第１方向Ｘと第１方向
Ｘと略直交する第２方向Ｙに移動可能な第１移動部４１と、ヘッド１２０を有する複数の
キャリッジ５０と、各キャリッジ５０を第２方向Ｙに沿って相互に移動して位置決め可能
な第２移動部４２とを備える。 （もっと読む）

【課題】ワークにおける指標の位置にかかわらずパターンの形成（描画）を行うことができる液滴吐出装置、かかる液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置、かかる液滴吐出装置を用いる電気光学装置の製造方法、および、かかる電気光学装置を備える電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明の液滴吐出装置は、装置本体と、基板搬送テーブルと、基板搬送テーブルをＹ軸方向に移動させるＹ軸方向移動機構と、液滴吐出ヘッドを有するヘッドユニット１１と、ヘッドユニット１１をＸ軸方向に移動させるＸ軸方向移動機構６とを備える。Ｘ軸方向移動機構６は、アライメントカメラ１７を、ヘッドユニット１１と独立にＸ軸方向に移動させる。 （もっと読む）