液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置の製造システム

【課題】液晶表示装置の表示ムラを軽減させた液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置
の製造システムを提供する。
【解決手段】第一液滴吐出装置が、複数の第一格子点の各々に向けて第一液滴を吐出させ
、Ｙ方向に隣接する第一格子点の間に第一凸部Ａ１を有したカラーフィルタ層ＣＦを形成
する。そして、第二液滴吐出装置が、Ｙ方向に隣接する第一格子点の間に規定された複数
の第二格子点Ｋ２に向けて第二液滴Ｄ２を吐出させ、対向基板１５の法線方向から見て、
隣接する第一凸部Ａ１の間に第二凸部Ａ２を有した配向膜を形成する。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置の製造システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置の製造工程は、生産性の向上を図るため、各種の薄膜材料を液状体として
使用し、カラーフィルタや配向膜などの多層膜を形成させる、いわゆる液相プロセスを採
用している。インクジェット法は、液状体を微小な液滴として吐出させるため、他の液相
プロセス（例えば、スピンコート法やロールコート法など）に比べ、より高い精度の下で
薄膜を形成させることができる。
【０００３】
インクジェット法は、液状体をノズルから吐出させるため、液状体の粘度を１０ｍＰａ
・ｓ以下にしなければならない。こうした低粘度の液状体は、液滴を乾燥させる際、吐出
領域の中央部と周辺部との間において、溶剤の蒸気圧に大きな差を来たす。すなわち、蒸
気圧の低い吐出領域の周辺部は、吐出領域の中央部に比べて、薄膜材料の濃度が高くなり
液状体の表面張力が高くなる。この結果、中央部に吐出された液状体が周辺部に流動し、
中央部の膜厚が周辺部の膜厚よりも薄くなってしまう。
【０００４】
上記の膜厚差は、吐出ヘッドを改行走査させる場合に、さらに顕著になる。すなわち、
吐出領域の幅が吐出ヘッドの幅よりも大きい場合、吐出ヘッドが、吐出領域の上で数回に
わたり改行走査される。先行走査によって吐出された液滴は、後続走査によって吐出され
る液滴よりも早く乾燥し始めて低粘度化する。この結果、後続走査によって吐出された液
滴が、先行走査によって吐出された液滴の方に流動し、吐出ヘッドを改行させるたびに、
先行走査と後続走査との境界に膜厚の段差（スジムラ）を生じてしまう。
【０００５】
特許文献１は、上記問題を解決するため、吐出ヘッドに複数のノズル列を設け、ノズル
列ごとに異なる濃度の配向膜材料を吐出させる。すなわち、吐出領域の中央部に高濃度の
配向膜材料を吐出させ、吐出領域の周辺部に低濃度の配向膜材料を吐出させる。これによ
って、配向膜材料の流動にともなう濃度分布を補償させることができ、配向膜の膜厚均一
性を向上させることができる。
【０００６】
特許文献２は、微小な連続気孔を有する基板を用い、液状体に含まれる分散媒を基板の
裏面側から蒸発させてカラーフィルタを形成させる。これによって、液状体に含まれる分
散媒に対し、基板の表面側からの蒸発を抑制させることができ、基板の平面方向に対する
蒸発速度を均一にさせることができる。そのため、カラーフィルタの膜厚均一性を向上さ
せることができる。
【特許文献１】特開２００６−３５０６２号公報
【特許文献２】特開２００６−７５７４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、異なる濃度の配向膜形成液を用いる場合、配向膜形成液の供給系の複雑
化を招き、さらには、吐出領域のサイズや形状を変更するたびに、配向膜形成液の濃度、
吐出位置、吐出量など、各種の吐出条件を最適化させなければならない。また、基板に通
気性を持たせる場合、基板の材質やサイズに大きな制約を設ける必要があり、インクジェ
ット法の適用範囲を著しく縮小させなければならない。
【０００８】
これらの結果、特許文献１及び特許文献２に記載の技術は、インクジェット法の汎用性
を損なうために、上記のスジムラを十分に改善し難いものであった。
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、液晶表示装置
の表示ムラを軽減させた液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置の製造システムを提供
することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の液晶表示装置の製造方法は、基板と第一ノズルとを一方向に相対移動させ、前
記基板上で前記一方向に延びる複数の第一経路の各々に対して前記第一ノズルを走査させ
るとともに、前記第一ノズルから前記複数の第一経路の各々に向けてカラーフィルタ材料
を含む複数の第一液滴を吐出させ、前記第一経路に沿って延びる複数の第一凸部を有した
カラーフィルタ層を形成する工程と、前記基板と第二ノズルとを前記一方向に相対移動さ
せ、前記カラーフィルタ層上で前記一方向に延びる複数の第二経路の各々に対して前記第
二ノズルを走査させるとともに、前記第二ノズルから前記複数の第二経路の各々に向けて
配向膜材料を含む第二液滴を吐出させ、前記基板の法線方向から見て、隣接する前記第一
凸部の間に前記一方向に延びる第二凸部を有した配向膜を形成する工程と、を備えた。
【００１０】
本発明の液晶表示装置の製造方法によれば、カラーフィルタ層が有する第一凸部と、配
向膜が有する第二凸部とが、同一方向に沿って交互に形成される。したがって、第一凸部
と第二凸部とを分散させる分だけ、基板の全体から見て、凸部に起因した表示ムラを目立
たなくさせることができる。この結果、液晶表示装置の表示ムラを低減させることができ
る。
【００１１】
この液晶表示装置の製造方法は、前記第一ノズルから複数の前記第一経路の各々に向け
て前記第一液滴を吐出させ、前記基板の法線方向から見て、隣接する前記各第一経路の間
に前記第一凸部を形成し、前記基板と前記第二ノズルとを前記一方向に相対移動させ、前
記基板の法線方向から見て、隣接する前記各第一経路の間に規定された前記第二経路に対
し前記第二ノズルを走査させるとともに、前記第二ノズルから複数の前記第二経路の各々
に向けて前記第二液滴を吐出させ、前記基板の法線方向から見て、隣接する前記第二経路
の間に前記第二凸部を形成する構成であってもよい。
【００１２】
この液晶表示装置の製造方法によれば、第一経路に沿って着弾する第一液滴が、隣接す
る第一経路の間に第一凸部を形成し、第二経路に沿って着弾する第二液滴が、隣接する第
二経路の間に第二凸部を形成する。そして、基板の法線方向から見て、隣接する第一経路
の間に、第二経路を設ける。したがって、第一凸部の間と対応する配向膜の領域に、より
確実に、第二凸部を形成させることができる。
【００１３】
この液晶表示装置の製造方法は、前記一方向と交差する他方向に配列された複数の前記
第一ノズルと、前記基板とを、前記一方向に相対移動させ、複数の前記第一経路の各々に
対して複数の前記第一ノズルの各々を走査させるとともに、複数の前記第一ノズルの各々
から対応する前記第一経路に向けて前記第一液滴を吐出させ、前記他方向に配列された複
数の前記第二ノズルと、前記基板とを、前記一方向に相対移動させ、複数の前記第二経路
の各々に対して複数の前記第二ノズルの各々を走査させるとともに、複数の前記第二ノズ
ルの各々から対応する前記第二経路に向けて前記第二液滴を吐出させる構成であってもよ
い。
【００１４】
この液晶表示装置の製造方法によれば、複数の第一経路に対し、複数の第一液滴を同時
に着弾させることができる。また、複数の第二経路に対し、複数の第二液滴を同時に着弾
させることができる。したがって、第一経路に応じた第一凸部と、第二経路に応じた第二
凸部とを、より高い精度の下で形成させることができる。
【００１５】
本発明の液晶表示装置の製造システムは、カラーフィルタ材料を含む第一液滴を吐出す
る第一ノズルと、前記第一ノズルと基板とを一方向に沿って相対移動させ、前記一方向に
延びる前記基板上の複数の第一経路の各々に対して前記第一ノズルを走査させる第一走査
手段と、前記第一ノズルと前記第一走査手段とを駆動し、前記複数の第一経路の各々に向
けて前記第一液滴を吐出させ、前記第一経路に沿って延びる複数の第一凸部を有したカラ
ーフィルタ層を形成する第一制御部と、を有した第一液滴吐出装置と、配向膜材料を含む
第二液滴を吐出する第二ノズルと、前記第二ノズルと前記基板とを前記一方向に沿って相
対移動させ、前記一方向に延びる前記基板上の複数の第二経路の各々に対して前記第二ノ
ズルを走査させる第二走査手段と、前記第二ノズルと前記第二走査手段とを駆動し、前記
複数の第二経路の各々に向けて前記第二液滴を吐出させ、前記基板の法線方向から見て、
隣接する前記第一凸部の間に前記一方向に延びる第二凸部を有した配向膜を形成させる第
二制御部と、を有した第二液滴吐出装置と、を備えた。
【００１６】
本発明の液晶表示装置の製造システムによれば、第一液滴吐出装置が、第一経路に沿う
第一凸部を有したカラーフィルタ層を形成する。そして、第二液滴吐出装置が、基板の法
線方向から見て、隣接する第一凸部の間に第二凸部を有した配向膜に形成する。したがっ
て、カラーフィルタ層の第一凸部と、配向膜の第二凸部とを、同一方向に沿って交互に形
成させることができる。よって、第一凸部と第二凸部とを分散させる分だけ、基板の全体
から見て、凸部に起因した表示ムラを目立たなくさせることができる。この結果、液晶表
示装置の表示ムラを低減させることができる。
【００１７】
この液晶表示装置の製造システムであって、前記第一制御部は、複数の前記第一経路の
各々に向けて前記第一液滴を吐出させ、前記基板の法線方向から見て、隣接する前記各第
一経路の間に前記第一凸部を形成し、前記第二走査手段は、前記基板の法線方向から見て
、隣接する前記各第一経路の間に規定された前記第二経路に対して前記第二ノズルを走査
させ、前記第二制御部は、複数の前記第二経路の各々に向けて前記第二液滴を吐出させ、
前記基板の法線方向から見て、隣接する前記各第二経路の間に前記第二凸部を形成する。
【００１８】
この液晶表示装置の製造システムによれば、第一液滴吐出装置が、隣接する第一経路の
間に第一凸部を形成し、第二液滴吐出装置が、隣接する第二経路の間に第二凸部を形成す
る。そして、第二液滴吐出装置が、基板の法線方向から見て、隣接する第一経路の間に対
して第二ノズルを走査させる。したがって、第一凸部の間と対向する配向膜の領域に、よ
り確実に、第二凸部を形成させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図１〜図９に従って説明する。まず、液晶表示
装置１０について説明する。図１は、液晶表示装置１０を示す斜視図である。
図１において、液晶表示装置１０は、バックライト１１と液晶パネル１２とを有する。
バックライト１１は、ＬＥＤなどの光源１３から出射された光を液晶パネル１２の全面に
照射する。液晶パネル１２には、相対向する透明基板（素子基板１４と対向基板１５）が
備えられている。素子基板１４と対向基板１５は、四角枠状のシール材１６により貼り合
わされて、その間隙に液晶ＬＣを封入する。
【００２０】
素子基板１４の下面には、偏光板や位相差板などの光学基板１７が貼り合わされている
。光学基板１７は、所定の方向に透過軸を有し、バックライト１１からの光を液晶ＬＣに
向けて透過可能にする。
【００２１】
素子基板１４の上面（以下単に、素子形成面１４ａという。）には、一方向に延びる複
数の走査線Ｌｘが配列形成されている。各走査線Ｌｘは、それぞれ素子基板１４の一側に
配設される走査線駆動回路１８に接続されている。各走査線Ｌｘには、走査線駆動回路１
８からの走査信号が所定のタイミングで入力される。
【００２２】
素子形成面１４ａには、走査線Ｌｘと直交する方向に延びる複数のデータ線Ｌｙが配列
形成されている。各データ線Ｌｙは、それぞれ素子基板１４の他側に配設されるデータ線
駆動回路１９に接続されている。各データ線Ｌｙには、データ線駆動回路１９からの表示
データに基づくデータ信号が所定のタイミングで入力される。
【００２３】
素子基板１４の素子形成面１４ａには、走査線Ｌｘとデータ線Ｌｙとによって区画形成
された複数の素子領域Ｓ１が形成されている。各素子領域Ｓ１には、それぞれＴＦＴから
なる図示しないスイッチング素子や光透過性の画素電極Ｐ１などが備えられている。
【００２４】
各画素電極Ｐ１の上側には、その全体にわたりラビング処理の施された配向膜２３が積
層されている。配向膜２３は、配向性ポリイミドなどの配向性高分子からなる薄膜であっ
て、対応する画素電極Ｐ１の近傍で液晶ＬＣの配向状態を規制する。
【００２５】
ここで、走査線Ｌｘの延びる方向をＸ方向とし、データ線Ｌｙの延びる方向をＹ方向と
いう。
図２は、素子基板１４側を上にした状態の対向基板１５を示す斜視図である。図３（ａ
）及び（ｂ）は、それぞれ対向基板１５の要部を示す平面図及び断面図である。
【００２６】
図２において、対向基板１５の下面（図１における上面）には、偏光板２４が配設され
ている。偏光板２４は、所定の方向に透過軸を有して液晶ＬＣからの光を透過可能にする
。対向基板１５の上面（図１における下面：以下単に、フィルタ形成面１５ａという。）
には、隔壁２５が形成されている。隔壁２５は、液晶ＬＣから出射される光を遮光する遮
光材料によって形成された薄膜であり、走査線Ｌｘ及びデータ線Ｌｙと対向する格子状に
形成されている。
【００２７】
隔壁２５は、素子基板１４の素子領域Ｓ１と対向するフィルタ形成面１５ａの領域に、
それぞれ隔壁２５によって囲まれたフィルタ領域Ｓ２を区画形成する。複数のフィルタ領
域Ｓ２の各々には、それぞれカラーフィルタ層ＣＦが形成されている。カラーフィルタ層
ＣＦは、液晶ＬＣから出射される光の中から特定波長の光を透過し、バックライト１１か
らの光を有色の光に変換する。
【００２８】
各カラーフィルタ層ＣＦは、図３においてグラデーションを付した領域が厚く、グラデ
ーションを付していない領域が薄く形成されている。ここで、各カラーフィルタ層ＣＦに
おいて、それぞれ相対的に膜厚の厚い領域を第一凸部Ａ１という。各第一凸部Ａ１は、そ
れぞれＸ方向に沿って連続する帯状に形成され、かつ、Ｙ方向に沿って所定の間隔ごとに
形成されている。この第一凸部Ａ１のＹ方向の形成ピッチを吐出ピッチＰｙという。
【００２９】
各カラーフィルタ層ＣＦは、それぞれカラーフィルタ材料（例えば、有機系顔料や無機
系顔料）の分散したフィルタ用インクを液滴にして各フィルタ領域Ｓ２の内部に吐出し、
複数の液滴からなる液状膜を乾燥させることにより形成される。
【００３０】
隔壁２５及びカラーフィルタ層ＣＦの上側には、共通するオーバーコート層２６と、対
向電極Ｐ２とが積層されている。オーバーコート層２６は、液晶ＬＣから出射される光を
透過する光透過性の樹脂によって形成された薄膜であり、対向基板１５の表面全体を平坦
にする。対向電極Ｐ２は、透明電極材料（例えば、インジウム錫酸化物：ＩＴＯ）からな
る光透過性の導電膜であり、走査線駆動回路１８に接続されて所定の共通電位を受ける。
【００３１】
対向電極Ｐ２の上側には、配向膜ＯＦが積層されている。配向膜ＯＦは、配向膜２３と
同じく、配向性ポリイミドなどの配向性高分子からなる薄膜であって、近傍に位置する液
晶分子の配向状態を規制する。
【００３２】
配向膜ＯＦは、図３においてグラデーションを付した領域が厚く、グラデーションを付
していない領域が薄く形成されている。ここで、配向膜ＯＦにおいて、相対的に膜厚の厚
い領域を第二凸部Ａ２という。各第二凸部Ａ２は、Ｘ方向に沿って連続する帯状に形成さ
れ、対向基板１５の法線方向（反Ｚ方向）から見て、第一凸部Ａ１の間にあって、Ｙ方向
に沿って前記吐出ピッチＰｙごとに形成されている。
【００３３】
すなわち、この対向基板１５は、その法線方向から見て、Ｘ方向に連続する第一凸部Ａ
１と、Ｘ方向に連続する第二凸部Ａ２とを、Ｙ方向に沿って交互に分散して配置させてい
る。なお、隔壁２５は、遮光材料によって形成されるため、第一凸部Ａ１や第二凸部Ａ２
よりも濃い黒色を表すが、図３では、カラーフィルタ層ＣＦにおける第一凸部Ａ１の濃淡
、及び配向膜ＯＦにおける第二凸部Ａ２の濃淡を説明する便宜上、隔壁２５の黒色を省略
する。
【００３４】
走査線駆動回路１８は、各走査線Ｌｘを線順次走査に基づいて１本ずつ所定のタイミン
グで選択し、各素子領域Ｓ１の制御素子をそれぞれ選択期間中だけオン状態にする。オン
状態のスイッチング素子は、表示データに基づくデータ信号をデータ線Ｌｙから受けて、
対応する画素電極Ｐ１にデータ信号を出力する。各画素電極Ｐ１は、それぞれ画素電極Ｐ
１と対向電極Ｐ２との間の電位差に基づいて、対応する液晶ＬＣの配向状態を変調し、光
学基板１７からの光の偏光状態を素子領域Ｓ１ごとに変調させる。
【００３５】
この際、対向基板１５は、第一凸部Ａ１と第二凸部Ａ２とを分散させる分だけ、対向基
板１５の全体から見て、カラーフィルタ層ＣＦの膜厚のバラツキや配向膜ＯＦの膜厚のバ
ラツキに起因した表示ムラを目立たなくさせることができる。そのため、変調された光は
、対応する配向膜ＯＦとカラーフィルタ層ＣＦを介して有色の光に変換され、表示ムラの
無いフルカラーの画像を表示する。
【００３６】
次に、液晶表示装置１０の製造システムについて図４に従って説明する。図４は液晶表
示装置１０の製造システムを模式的に示す構成図である。
液晶表示装置１０の製造システム３０は、対向基板１５の搬入・搬出を行うストッカ３
１と、対向基板１５に対して各種の処理工程を行う対向基板製造ライン３２とを有する。
【００３７】
ストッカ３１は、任意の処理工程までの処理が行われた複数種類の対向基板１５をカセ
ット単位で保管する。ストッカ３１は、保管する対向基板１５をカセット単位で対向基板
製造ライン３２に搬入し、対向基板製造ライン３２から搬出される対向基板１５を空のカ
セットに収納して保管する。
【００３８】
なお、ストッカ３１は、素子基板１４を製造するための図示しない素子基板製造ライン
に素子基板１４を搬入し、素子基板製造ラインから搬出される素子基板１４を空のカセッ
トに収納して保管する。また、ストッカ３１は、素子基板１４と対向基板１５との間に液
晶ＬＣを封入し液晶パネルを製造するための図示しないパネル製造ラインに、素子基板１
４と対向基板１５とを搬入し、パネル製造ラインから搬出される液晶パネル１２を保管す
る。
【００３９】
対向基板製造ライン３２は、隔壁２５の形成工程を行う隔壁形成ライン３３、カラーフ
ィルタ層ＣＦの形成工程を行うフィルタ形成ライン３４、オーバーコート層２６の形成工
程を行うオーバーコート層形成ライン３５を有する。また、対向基板製造ライン３２は、
対向電極Ｐ２の形成工程を行う対向電極形成ライン３６、配向膜ＯＦの形成工程を行う配
向膜形成ライン３７を有する。
【００４０】
隔壁形成ライン３３は、未処理状態の対向基板１５をストッカ３１から搬入して各種装
置に搬送するための搬送ライン３３Ｌを有する。隔壁形成ライン３３は、その搬送ライン
３３Ｌの途中に、例えば対向基板１５の表面を洗浄する洗浄装置３３Ａ、洗浄したフィル
タ形成面１５ａに対し遮光材料を含むアクリル系感光性樹脂を塗布する塗布装置３３Ｂを
有する。また、隔壁形成ライン３３は、搬送ライン３３Ｌの途中に、フィルタ形成面１５
ａに形成した塗布膜を露光・現像する露光装置３３Ｃ及び現像装置３３Ｄ、現像した塗布
膜を乾燥するベーキング装置３３Ｅを有する。
【００４１】
隔壁形成ライン３３は、ストッカ３１から搬入される対向基板１５に対し、洗浄装置３
３Ａを用いた洗浄工程、塗布装置３３Ｂを用いた塗布工程を実行する。また、隔壁形成ラ
イン３３は、露光装置３３Ｃを用いた露光工程、現像装置３３Ｄを用いた現像工程、ベー
キング装置３３Ｅを用いた乾燥工程を実行し、対向基板１５のフィルタ形成面１５ａに隔
壁２５を形成してストッカ３１に搬出する。
【００４２】
フィルタ形成ライン３４は、隔壁２５の形成された対向基板１５をストッカ３１から搬
入して各種装置に搬送するための搬送ライン３４Ｌを有する。フィルタ形成ライン３４は
、その搬送ライン３４Ｌの途中に、例えば対向基板１５の表面を洗浄する洗浄装置３４Ａ
、洗浄したフィルタ形成面１５ａに対し各色用のフィルタ用インクを吐出する第一液滴吐
出装置３４Ｂ、吐出したフィルタ用インクを乾燥するベーキング装置３４Ｃを有する。
【００４３】
フィルタ形成ライン３４は、ストッカ３１から搬入されて隔壁２５を有した対向基板１
５に対し、洗浄装置３４Ａを用いた洗浄工程、第一液滴吐出装置３４Ｂを用いた液滴吐出
工程を実行する。また、フィルタ形成ライン３４は、ベーキング装置３４Ｃを用いた乾燥
工程を実行し、対向基板１５のフィルタ形成面１５ａにカラーフィルタ層ＣＦを形成して
ストッカ３１に搬出する。
【００４４】
オーバーコート層形成ライン３５は、カラーフィルタ層ＣＦの形成された対向基板１５
をストッカ３１から搬入して各種装置に搬送するための搬送ライン３５Ｌを有する。オー
バーコート層形成ライン３５は、その搬送ライン３５Ｌの途中に、例えば対向基板１５の
表面を洗浄する洗浄装置３５Ａ、洗浄したカラーフィルタ層ＣＦに対し無色透明の樹脂材
料を分散させた感光性樹脂を塗布する塗布装置３５Ｂを有する。また、オーバーコート層
形成ライン３５は、搬送ライン３５Ｌの途中に、カラーフィルタ層ＣＦの上に形成した塗
布膜を露光・現像する露光装置３５Ｃ及び現像装置３５Ｄ、現像したオーバーコート層２
６を乾燥するベーキング装置３５Ｅを有する。
【００４５】
オーバーコート層形成ライン３５は、ストッカ３１から搬入されてカラーフィルタ層Ｃ
Ｆを有した対向基板１５に対し、洗浄装置３５Ａを用いた洗浄工程、塗布装置３５Ｂを用
いた塗布工程を実行する。また、オーバーコート層形成ライン３５は、露光装置３５Ｃを
用いた露光工程、現像装置３５Ｄを用いた現像工程、ベーキング装置３５Ｅを用いた乾燥
工程を実行し、カラーフィルタ層ＣＦの上にオーバーコート層２６を形成してストッカ３
１に搬出する。
【００４６】
対向電極形成ライン３６は、オーバーコート層２６の形成された対向基板１５をストッ
カ３１から搬入して各種装置に搬送するための搬送ライン３６Ｌを有する。対向電極形成
ライン３６は、その搬送ライン３６Ｌの途中に、例えばオーバーコート層２６の表面を洗
浄する洗浄装置３６Ａ、洗浄したオーバーコート層２６に対し対向電極Ｐ２を成膜する成
膜装置３６Ｂを有する。
【００４７】
対向電極形成ライン３６は、ストッカ３１から搬入されてオーバーコート層２６を有し
た対向基板１５に対し、洗浄装置３６Ａを用いた洗浄工程と、成膜装置３６Ｂを用いた成
膜工程とを実行し、オーバーコート層２６の上に対向電極Ｐ２を積層してストッカ３１に
搬出する。なお、対向電極Ｐ２をパターニングする場合には、成膜装置３６Ｂの後段に、
レジストマスクを形成するための塗布装置、ベーキング装置、露光装置、現像装置、レジ
ストマスクをマスクにして対向電極Ｐ２をエッチングするエッチング装置、洗浄装置を配
置する構成にしてもよい。
【００４８】
配向膜形成ライン３７は、対向電極Ｐ２の形成された対向基板１５をストッカ３１から
搬入して各種装置に搬送するための搬送ライン３７Ｌを有する。配向膜形成ライン３７は
、その搬送ライン３７Ｌの途中に、例えば対向電極Ｐ２の表面を洗浄する洗浄装置３７Ａ
、洗浄した対向電極Ｐ２に対し配向膜用インクを吐出する第二液滴吐出装置３７Ｂ、吐出
した対向電極用インクを乾燥して焼成するベーキング装置３７Ｃを有する。
【００４９】
配向膜形成ライン３７は、ストッカ３１から搬入されて対向電極Ｐ２を有した対向基板
１５に対し、洗浄装置３７Ａを用いた洗浄工程、第二液滴吐出装置３７Ｂを用いた液滴吐
出工程を実行する。また、配向膜形成ライン３７は、ベーキング装置３７Ｃを用いた乾燥
・焼成工程を実行し、対向電極Ｐ２の上に配向膜ＯＦを積層してストッカ３１に搬出する
。
【００５０】
次に、上記第一液滴吐出装置３４Ｂついて、図５及び図６に従って説明する。図５は、
第一液滴吐出装置３４Ｂを示す斜視図である。なお、第二液滴吐出装置３７Ｂは、第一液
滴吐出装置３４Ｂと略同様の構成を有するため、第一液滴吐出装置３４Ｂと異なる点につ
いてのみ以下に説明する。
【００５１】
図５において、第一液滴吐出装置３４Ｂには、直方体形状に形成された基台４０が備え
られている。基台４０の上面には、その長手方向（Ｘ方向）に沿って延びる一対の案内溝
４０ａが形成されている。一対の案内溝４０ａには、基台４０に内設されたＸ軸モータの
出力軸に駆動連結される基板ステージ４１が取着されている。
【００５２】
基板ステージ４１は、フィルタ形成面１５ａ（あるいは対向電極Ｐ２）を上側にした状
態で対向基板１５を位置決め固定する。基板ステージ４１は、Ｘ軸モータが正転又は逆転
するとき、案内溝４０ａに沿って所定の速度でＸ方向又は反Ｘ方向に移動し、位置決め固
定した対向基板１５をＸ方向又は反Ｘ方向に走査（主走査）する。なお、本実施形態では
、第一液滴吐出装置３４Ｂの基板ステージ４１が第一走査手段を構成し、第二液滴吐出装
置３７Ｂの基板ステージ４１が第二走査手段を構成する。
【００５３】
基台４０の上方には、門型に形成されたガイド部材４２が架設されている。ガイド部材
４２の上側には、インクタンク４２ａが配設されている。インクタンク４２ａは、各種の
インクＩｋ（対向電極用インクあるいは配向膜用インク）を収容し、所定の圧力に調整さ
れたインクＩｋを吐出ヘッドＨに向けて供給する。
【００５４】
ガイド部材４２には、Ｘ方向に延びる上下一対のガイドレール４２ｂが形成されている
。上下一対のガイドレール４２ｂには、ガイド部材４２に内設されたＹ軸モータの出力軸
に駆動連結されるキャリッジ４３が取着されている。キャリッジ４３の下側には、Ｙ方向
に延びる略直方体形状の吐出ヘッドＨが搭載されている。キャリッジ４３は、Ｙ軸モータ
が正転又は逆転するとき、ガイドレール４２ｂに沿ってＹ方向又は反Ｙ方向に移動し、搭
載する吐出ヘッドＨをＹ方向又は反Ｙ方向に走査（副走査）する。
【００５５】
図６は、吐出ヘッドＨを下方（対向基板１５）から見た図である。図７及び図８は、そ
れぞれ第一及び第二液滴吐出装置３４Ｂ，３７Ｂの吐出動作を模式的に示す図である。な
お、図７及び図８では、カラーフィルタ層ＣＦにおける第一凸部Ａ１の濃淡と、配向膜Ｏ
Ｆにおける第二凸部Ａ２の濃淡とを説明する便宜上、隔壁２５が表す黒色を省略する。
【００５６】
図６において、吐出ヘッドＨの上側（基板ステージ４１側）には、ノズルプレート４４
が備えられている。ノズルプレート４４の上面には、対向基板１５と平行のノズル形成面
４４ａが形成され、そのノズル形成面４４ａには、ノズル形成面４４ａの法線方向に貫通
する複数のノズルＮがＹ方向に沿って等間隔に配列され、１列のノズル列を構成している
。ノズルＮの形成ピッチは、上記第一凸部Ａ１の形成ピッチと同じく、吐出ピッチＰｙに
よって形成されている。
【００５７】
なお、本実施形態において、第一液滴吐出装置３４Ｂが有するノズルＮを第一ノズルと
し、第二液滴吐出装置３７Ｂが有するノズルＮを第二ノズルという。
吐出ヘッドＨの下側には、ヘッド基板４５が設けられ、そのヘッド基板４５の一側端に
は、入力端子４５ａが設けられている。入力端子４５ａには、吐出ヘッドＨを駆動するた
めの所定の駆動波形信号が入力される。
【００５８】
図７において、吐出ヘッドＨは、各ノズルＮの上側に、それぞれインクタンク４２ａに
連通するキャビティ４６を有している。各キャビティ４６は、それぞれインクタンク４２
ａが導出するインクＩｋを対応するノズルＮに供給する。各キャビティ４６の上側には、
上下方向に振動可能な振動板４７が貼り付けられて、対応するキャビティ４６の容積を拡
大・縮小可能にする。振動板４７の上側には、各ノズルＮに対応する圧電素子ＰＺが配設
されている。各圧電素子ＰＺは、それぞれ圧電素子ＰＺを駆動するための駆動波形信号を
受けるとき、上下方向に収縮・伸張し、対応する振動板４７を振動させる。キャビティ４
６は、対応する振動板４７が振動するとき、対応するノズルＮの内部のメニスカスを上下
方向に振動させ、所定重量のインクＩｋをノズルＮから液滴として吐出させる。吐出され
た液滴は、対向基板１５に向かって飛行して対向電極Ｐ２の上面に着弾する。
【００５９】
ここで、図７（ａ）に示すように、第一液滴吐出装置３４Ｂに搭載された吐出ヘッドＨ
を第一吐出ヘッドＨ１とし、第一吐出ヘッドＨ１から吐出される液滴を、第一液滴Ｄ１と
いう。また、図８（ａ）に示すように、第二液滴吐出装置３７Ｂに搭載された吐出ヘッド
Ｈをヘッド第二吐出ヘッドＨ２とし、第二吐出ヘッドＨ２から吐出される液滴を、第二液
滴Ｄ２という。
【００６０】
図７（ｂ）において、対向基板１５の上面、すなわちフィルタ形成面１５ａは、一点鎖
線で示す第一ドットパターン格子によって仮想分割されている。第一ドットパターン格子
とは、Ｘ方向の吐出ピッチＰｘと、Ｙ方向の吐出ピッチＰｙとによって規定された格子で
ある。吐出ピッチＰｘは、第一液滴Ｄ１の吐出周波数と基板ステージ４１の走査速度とに
基づいて規定される値であって、Ｘ方向に沿って規定される第一液滴Ｄ１の最小の吐出間
隔である。第一液滴Ｄ１の吐出・非吐出は、この第一ドットパターン格子の格子点（第一
格子点Ｋ１）ごとに規定される。第一液滴Ｄ１を吐出するノズルＮは、第一格子点Ｋ１の
上方を通過するノズルＮに規定される。なお、本実施形態では、Ｘ方向に連続する複数の
第一格子点Ｋ１によって第一経路が構成される。
【００６１】
第一吐出ヘッドＨ１は、フィルタ形成面１５ａがＸ方向に主走査されるとき、第一格子
点Ｋ１がノズルＮの直下に位置するたびに、各圧電素子ＰＺをそれぞれ駆動させて対応す
るノズルＮから第一液滴Ｄ１を吐出させる。吐出された各第一液滴Ｄ１は、それぞれ対応
する第一格子点Ｋ１の上に着弾してフィルタ形成面１５ａの面方向に濡れ広がり、各フィ
ルタ領域Ｓ２の内部にそれぞれ第一液状膜ＬＣＦを形成する。
【００６２】
この際、各第一格子点Ｋ１に着弾した第一液滴Ｄ１は、それぞれ濡れ広がる際に、液滴
Ｄ１の中央部と周辺部との間において溶剤の蒸気圧に大きな差を来たし、中央部の液状体
が周辺部に流動することによって、周辺部の膜厚を中央部の膜厚よりも厚くする。周辺部
の膜厚を厚くする各第一液滴Ｄ１は、それぞれ反Ｘ方向に沿って順に合一し、Ｙ方向に隣
接する第一格子点Ｋ１の略中央に、Ｘ方向に連続する膜厚の厚い領域、すなわち第一凸部
Ａ１を形成する。
【００６３】
図８（ｂ）において、対向電極Ｐ２の上面、すなわち対向電極Ｐ２の上面は、一点鎖線
で示す第二ドットパターン格子によって仮想分割されている。第二ドットパターン格子と
は、第一ドットパターン格子と同じく、Ｘ方向の吐出ピッチＰｘと、Ｙ方向の吐出ピッチ
Ｐｙとによって規定された格子である。
【００６４】
第二ドットパターン格子の各格子点（第二格子点Ｋ２）は、それぞれ第一液滴Ｄ１の着
弾位置（第一格子点Ｋ１）からＹ方向に向かって吐出ピッチＰｙの半分の距離だけ変位し
た位置、すなわち第一凸部Ａ１の直上に規定されている。第二液滴Ｄ２の吐出・非吐出は
、これら第二格子点Ｋ２ごとに規定される。第二液滴Ｄ２を吐出するノズルＮは、各第二
格子点Ｋ２の上方を通過するノズルＮ、すなわち第一凸部Ａ１の直上を通過するノズルＮ
に規定される。なお、本実施形態では、Ｘ方向に連続する複数の第二格子点Ｋ２によって
、第二経路が構成される。
【００６５】
第二吐出ヘッドＨ２は、対向電極Ｐ２がＸ方向に主走査されるとき、第二格子点Ｋ２が
ノズルＮの直下に位置するたびに、各圧電素子ＰＺをそれぞれ駆動させて対応するノズル
Ｎから第二液滴Ｄ２を吐出させる。吐出された各第二液滴Ｄ２は、それぞれ対向電極Ｐ２
の上に着弾して対向電極Ｐ２の面方向に濡れ広がり、対向電極Ｐ２の反Ｘ方向に沿って順
に延びる第二液状膜ＬＯＦを形成する。
【００６６】
この際、各第二格子点Ｋ２に着弾した第二液滴Ｄ２は、それぞれ濡れ広がる際に、液滴
の中央部と周辺部との間において溶剤の蒸気圧に大きな差を来たし、中央部の液状体が周
辺部に流動することによって、周辺部の膜厚を中央部の膜厚よりも厚くする。周辺部の膜
厚を厚くした各第二液滴Ｄ２は、それぞれ反Ｘ方向に沿って順に合一し、Ｙ方向に隣接す
る第二格子点Ｋ２の略中央に、Ｘ方向に連続する膜厚の厚い領域、すなわち第二凸部Ａ２
を形成する。
【００６７】
これによって、各第二液滴Ｄ２は、対向基板１５の法線方向から見て、隣接する第一凸
部Ａ１の間に第二凸部Ａ２を形成し、Ｘ方向に連続する第一凸部Ａ１と、Ｘ方向に連続す
る第二凸部Ａ２とを、Ｙ方向に沿って交互に分散させる。
【００６８】
次に、上記第一液滴吐出装置３４Ｂの電気的構成ついて図９に従って説明する。図９は
、第一液滴吐出装置３４Ｂの電気的構成を示すブロック回路図である。なお、第二液滴吐
出装置３７Ｂは、第一液滴吐出装置３４Ｂと略同様の電気的構成を有するため、第一液滴
吐出装置３４Ｂと異なる点についてのみ以下に説明する。
【００６９】
図９において、制御部５１には、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭなどが備えられている。制御
部５１は、ＲＡＭやＲＯＭなどに格納された各種データ及び各種プログラムに従って、基
板ステージ４１及びキャリッジ４３を移動させるとともに、吐出ヘッドＨを駆動制御させ
る。なお、本実施形態では、第一液滴吐出装置３４Ｂの制御部５１が第一制御部を構成し
、第二液滴吐出装置３７Ｂの制御部５１が第二制御部を構成する。
【００７０】
制御部５１には、起動スイッチ、停止スイッチ等の操作スイッチを有した入出力装置５
２が接続されている。入出力装置５２は、例えばＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ、ハードディス
ク、液晶ディスプレイなどを有した外部コンピュータである。入出力装置５２は、ＲＯＭ
又はハードディスクに記憶された制御プログラムに従って液滴吐出装置を駆動させるため
の各種の制御信号を制御部５１に出力する。制御部５１は、対向電極Ｐ２あるいは配向膜
ＯＦを描画するための描画データＩｐを入出力装置５２から受信する。
【００７１】
制御部５１は、入出力装置５２からの描画データＩｐをドットパターンデータＰＤに展
開して格納する。ここで、ドットパターンデータＰＤは、Ｘ方向の吐出ピッチＰｘとＹ方
向の吐出ピッチＰｙとからなるドットパターン格子、すなわち第一あるいは第二ドットパ
ターン格子を規定する。ドットパターンデータＰＤは、規定したドットパターン格子の各
格子点にそれぞれ各ビットの値（“０”あるいは“１”）を対応させるためのデータであ
って、各ビットの値に応じて、それぞれ圧電素子ＰＺのオンあるいはオフを規定するもの
である。すなわち、ドットパターンデータＰＤは、対向基板１５が主走査されるとき、吐
出ピッチＰｘに応じた所定の吐出周波数ごとに圧電素子ＰＺのオンあるいはオフを規定す
るものである。
【００７２】
制御部５１は、基板ステージ４１の１走査分に相当するドットパターンデータＰＤを展
開すると、ドットパターンデータＰＤを利用して所定の転送クロックに同期したシリアル
パターンデータＳＩを生成し、ヘッド駆動回路５８にシリアル転送する。シリアルパター
ンデータＳＩは、液滴の吐出・非吐出を規定するためのビットの値をノズルＮの数量分だ
け有し、吐出周期ごとに順次生成される。
【００７３】
制御部５１は、Ｘ軸モータ駆動回路５３に接続されて、Ｘ軸モータ駆動回路５３に対応
する駆動制御信号を出力する。Ｘ軸モータ駆動回路５３は、制御部５１からの駆動制御信
号に応答してＸ軸モータＭＸを正転又は逆転させ、基板ステージ４１をＸ方向又は反Ｘ方
向に主走査する。
【００７４】
制御部５１は、Ｙ軸モータ駆動回路５４に接続されて、Ｙ軸モータ駆動回路５４に対応
する駆動制御信号を出力する。Ｙ軸モータ駆動回路５４は、制御部５１からの駆動制御信
号に応答してＹ軸モータＭＹを正転又は逆転させ、キャリッジ４３をＹ方向又は反Ｙ方向
に副走査する。
【００７５】
制御部５１は、Ｘ軸モータ回転検出器５５に接続されて、Ｘ軸モータ回転検出器５５か
ら検出信号を受ける。制御部５１は、Ｘ軸モータ回転検出器５５からの検出信号に基づい
て、基板ステージ４１の移動方向及び移動量、すなわち、対向基板１５の移動方向及び移
動量を演算する。制御部５１は、演算結果に基づいて、ドットパターン格子における各格
子点Ｋ１，Ｋ２が対応するノズルＮの直下に位置するとき、吐出タイミング信号ＬＰを出
力する。
【００７６】
制御部５１は、Ｙ軸モータ回転検出器５６に接続されて、Ｙ軸モータ回転検出器５６か
ら検出信号を受ける。制御部５１は、Ｙ軸モータ回転検出器５６からの検出信号に基づい
て、キャリッジ４３の移動方向及び移動量を演算する。制御部５１は、演算結果に基づい
て、各格子点Ｋ１，Ｋ２が主走査される経路上に、各ノズルＮを配置させる。すなわち、
第一液滴吐出装置３４Ｂの制御部５１は、各第一格子点Ｋ１が主走査される経路上に、各
ノズルＮを配置させる。また、第二液滴吐出装置３７Ｂの制御部５１は、各第二格子点Ｋ
２が主走査される経路上に、各ノズルＮを配置させる。
【００７７】
制御部５１は、対向基板１５の端縁を検出する基板検出装置５７に接続されて、基板検
出装置５７から検出信号を受ける。制御部５１は、基板検出装置５７からの検出信号に基
づいて、対向基板１５の初期位置を演算する。
【００７８】
制御部５１は、ヘッド駆動回路５８に接続されて、ヘッド駆動回路５８にラッチ信号Ｌ
ＡＴと吐出タイミング信号ＬＰを入力する。また、制御部５１は、圧電素子ＰＺを駆動す
るための駆動波形信号ＣＯＭを吐出タイミング信号ＬＰに同期させてヘッド駆動回路５８
に入力する。
【００７９】
ヘッド駆動回路５８は、ラッチ信号ＬＡＴを受けるたびに、制御部５１からのシリアル
パターンデータＳＩをラッチしてシリアル／パラレル変換する。ヘッド駆動回路５８は、
制御部５１からの吐出タイミング信号ＬＰを受けるとき、シリアル／パラレル変換したデ
ータに基づいて選択される圧電素子ＰＺにそれぞれ駆動波形信号ＣＯＭを供給する。
【００８０】
次に、液晶表示装置の製造システム３０を利用した液晶表示装置の製造方法について説
明する。
まず、図４に示すように、ストッカ３１は、未処理の対向基板１５を隔壁形成ライン３
３に搬送する。隔壁形成ライン３３は、対向基板１５に対して洗浄工程、塗布工程、露光
工程、現像装置、乾燥工程を順に実行し、対向基板１５のフィルタ形成面１５ａに隔壁２
５を形成してストッカ３１に搬出する。
【００８１】
次いで、ストッカ３１は、隔壁２５を有した対向基板１５を、隔壁形成ライン３３から
フィルタ形成ライン３４に搬送する。フィルタ形成ライン３４は、隔壁２５を有した対向
基板１５に対して洗浄工程を実行し、第一液滴吐出装置３４Ｂに搬送する。
【００８２】
第一液滴吐出装置３４Ｂは、フィルタ形成面１５ａを上側にした対向基板１５を基板ス
テージ４１に載置固定し、キャリッジ４３の反Ｘ方向に配置させる。次いで、第一液滴吐
出装置３４Ｂは、その入出力装置５２からの描画データＩｐを受信し、描画データＩｐを
ドットパターンデータＰＤに展開して格納する。また、第一液滴吐出装置３４Ｂは、その
Ｙ軸モータ駆動回路５４を介してＹ軸モータＭＹを駆動制御し、第一格子点Ｋ１の走査径
路上に各ノズルＮを配置させる、すなわち、キャリッジ４３を第一液状膜ＬＣＦ用にセッ
トする。
【００８３】
第一液滴吐出装置３４Ｂは、キャリッジ４３をセットすると、そのＸ軸モータ駆動回路
５３を介してＸ軸モータＭＸを駆動制御して対向基板１５の主走査を開始する。第一液滴
吐出装置３４Ｂは、対向基板１５の主走査を開始すると、その基板検出装置５７及びＸ軸
モータ回転検出器５５からの検出信号に基づいて、第一格子点Ｋ１がノズルＮの直下に到
達したか否か判断する。
【００８４】
この間、第一液滴吐出装置３４Ｂは、１走査分に相当するドットパターンデータＰＤを
展開して転送クロックに同期したシリアルパターンデータＳＩを順次生成し、そのヘッド
駆動回路５８にシリアル転送する。また、第一液滴吐出装置３４Ｂは、シリアルパターン
データＳＩを転送するたびに、そのヘッド駆動回路５８に対してラッチ信号ＬＡＴを入力
し、ヘッド駆動回路５８にシリアルパターンデータＳＩをシリアル／パラレル変換させる
。そして、第一液滴吐出装置３４Ｂは、第一格子点Ｋ１がノズルＮの直下に到達するたび
に、そのヘッド駆動回路５８に対して吐出タイミング信号ＬＰと駆動波形信号ＣＯＭを入
力する。
【００８５】
第一液滴吐出装置３４Ｂは、吐出タイミング信号ＬＰと駆動波形信号ＣＯＭをヘッド駆
動回路５８に入力するたびに、ヘッド駆動回路５８を介し、シリアルパターンデータＳＩ
に基づいて選択される各圧電素子ＰＺにそれぞれ駆動波形信号ＣＯＭを供給する。そして
、第一液滴吐出装置３４Ｂは、ドットパターンデータＰＤに基づいて選択されるノズルＮ
から対応する第一格子点Ｋ１に向けて一斉に第一液滴Ｄ１を吐出させ、第一凸部Ａ１を有
した第一液状膜ＬＣＦを各フィルタ領域Ｓ２に形成する。
【００８６】
フィルタ形成ライン３４は、第一液状膜ＬＣＦを有した対向基板１５に乾燥工程を実行
し、各フィルタ領域Ｓ２にカラーフィルタ層ＣＦを形成してストッカ３１に搬出する。
ストッカ３１は、カラーフィルタ層ＣＦを有した対向基板１５を、フィルタ形成ライン
３４からオーバーコート層形成ライン３５に搬送する。オーバーコート層形成ライン３５
は、カラーフィルタ層ＣＦを有した対向基板１５に対して洗浄工程、塗布工程、露光工程
、現像工程、乾燥工程を実行し、カラーフィルタ層ＣＦの上にオーバーコート層２６を積
層してストッカ３１に搬出する。
【００８７】
ストッカ３１は、オーバーコート層２６を有した対向基板１５を、オーバーコート層形
成ライン３５から対向電極形成ライン３６に搬送する。対向電極形成ライン３６は、オー
バーコート層２６を有した対向基板１５に対して洗浄工程と成膜工程を実行し、オーバー
コート層２６に対向電極Ｐ２を積層してストッカ３１に搬出する。
【００８８】
ストッカ３１は、対向電極Ｐ２を有した対向基板１５を、対向電極形成ライン３６から
配向膜形成ライン３７に搬送する。配向膜形成ライン３７は、対向電極Ｐ２を有した対向
基板１５に対して洗浄工程を実行し、第二液滴吐出装置３７Ｂに搬送する。
【００８９】
第二液滴吐出装置３７Ｂは、対向電極Ｐ２を上側にした対向基板１５を基板ステージ４
１に載置固定し、キャリッジ４３の反Ｘ方向に配置させる。次いで、第二液滴吐出装置３
７Ｂは、その入出力装置５２からの描画データＩｐを受信し、描画データＩｐをドットパ
ターンデータＰＤに展開して格納する。また、第二液滴吐出装置３７Ｂは、そのＹ軸モー
タ駆動回路５４を介してＹ軸モータＭＹを駆動制御し、第二格子点Ｋ２の走査径路上に各
ノズルＮを配置させる、すなわち、キャリッジ４３を第二液状膜ＬＯＦ用にセットする。
【００９０】
第二液滴吐出装置３７Ｂは、キャリッジ４３をセットすると、そのＸ軸モータ駆動回路
５３を介してＸ軸モータＭＸを駆動制御して対向基板１５の主走査を開始する。第二液滴
吐出装置３７Ｂは、対向基板１５の主走査を開始すると、その基板検出装置５７及びＸ軸
モータ回転検出器５５からの検出信号に基づいて、第二格子点Ｋ２がノズルＮの直下に到
達したか否か判断する。
【００９１】
この間、第二液滴吐出装置３７Ｂは、１走査分に相当するドットパターンデータＰＤを
展開して転送クロックに同期したシリアルパターンデータＳＩを順次生成し、そのヘッド
駆動回路５８にシリアル転送する。また、第二液滴吐出装置３７Ｂは、シリアルパターン
データＳＩを転送するたびに、そのヘッド駆動回路５８に対してラッチ信号ＬＡＴを入力
し、ヘッド駆動回路５８にシリアルパターンデータＳＩをシリアル／パラレル変換させる
。そして、第二液滴吐出装置３７Ｂは、第二格子点Ｋ２がノズルＮの直下に到達するたび
に、そのヘッド駆動回路５８に対して吐出タイミング信号ＬＰと駆動波形信号ＣＯＭを入
力する。
【００９２】
第二液滴吐出装置３７Ｂは、吐出タイミング信号ＬＰと駆動波形信号ＣＯＭをヘッド駆
動回路５８に入力するたびに、ヘッド駆動回路５８を介し、シリアルパターンデータＳＩ
に基づいて選択される各圧電素子ＰＺにそれぞれ駆動波形信号ＣＯＭを供給する。そして
、第二液滴吐出装置３７Ｂは、ドットパターンデータＰＤに基づいて選択されるノズルＮ
から対応する第二格子点Ｋ２に向けて一斉に第二液滴Ｄ２を吐出させ、対向基板１５の法
線方向から見て、隣接する第一凸部Ａ１の間に第二凸部Ａ２を有した第二液状膜ＬＯＦを
形成する。
【００９３】
配向膜形成ライン３７は、第二液状膜ＬＯＦを有した対向基板１５に乾燥工程を実行し
、対向電極Ｐ２の上に配向膜ＯＦを積層してストッカ３１に搬出する。
以後、ストッカ３１は、配向膜ＯＦを有する対向基板１５と、素子基板製造ラインから
搬出される素子基板１４とをパネル製造ラインに搬入し、素子基板１４と対向基板１５と
の間に液晶ＬＣを封入させて液晶パネル１２を製造する。
【００９４】
次に、上記のように構成した本実施形態の効果を以下に記載する。
（１）上記実施形態によれば、第一液滴吐出装置３４Ｂが、複数の第一格子点Ｋ１の各
々に向けて第一液滴Ｄ１を吐出させ、Ｙ方向に隣接する第一格子点Ｋ１の間に第一凸部Ａ
１を有したカラーフィルタ層ＣＦを形成する。そして、第二液滴吐出装置３７Ｂが、Ｙ方
向に隣接する第一格子点Ｋ１の間に規定された複数の第二格子点Ｋ２に向けて第二液滴Ｄ
２を吐出させ、対向基板１５の法線方向から見て、隣接する第一凸部Ａ１の間に第二凸部
Ａ２を有した配向膜ＯＦを形成する。
【００９５】
したがって、カラーフィルタ層ＣＦが有する第一凸部Ａ１と、配向膜ＯＦが有する第二
凸部Ａ２とを分散させる分だけ、液晶パネル１２の全体から見て、凸部に起因した表示ム
ラを目立たなくさせることができる。この結果、液晶表示装置１０の表示ムラを低減させ
ることができる。
【００９６】
（２）上記実施形態によれば、Ｙ方向に配列された複数のノズルＮを有する第一吐出ヘ
ッドＨ１に対し、対向基板１５をＸ方向に主走査させ、複数の第一格子点Ｋ１の各々に向
けて複数の第一液滴Ｄ１を同時に吐出させた。また、Ｙ方向に配列された複数のノズルＮ
を有する第二吐出ヘッドＨ２に対し、対向基板１５をＸ方向に主走査させ、複数の第二格
子点Ｋ２の各々に向けて複数の第二液滴Ｄ２を同時に吐出させた。
【００９７】
したがって、第一液滴Ｄ１及び第二液滴Ｄ２の着弾間隔をノズルＮの形成ピッチによっ
て規定させることができ、吐出ピッチＰｘと吐出ピッチＰｙとによって規定される複数の
第一格子点Ｋ１及び複数の第二格子点Ｋ２の各々に対し、より高い精度の下で、第一液滴
Ｄ１及び第二液滴Ｄ２を着弾させることができる。ひいては、第一格子点Ｋ１に応じたカ
ラーフィルタ層ＣＦと、第二格子点Ｋ２に応じた配向膜ＯＦとを、より高い精度の下で形
成させることができ、第一凸部Ａ１と第二凸部Ａ２の相対的な位置関係を、より高い精度
の下で再現させることができる。
【００９８】
（３）上記実施形態によれば、第一液滴吐出装置３４Ｂと第二液滴吐出装置３７Ｂとが
、それぞれ共通するＸ方向に沿って対向基板１５を主走査させる。したがって、搬送ライ
ン３４Ｌにおける対向基板１５の搬送方向と、搬送ライン３７Ｌにおける対向基板１５の
搬送方向とを同一方向に構成させることができる。ひいては、液晶表示装置１０の製造シ
ステムを、より簡単な構成にすることができる。
【００９９】
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、Ｙ方向に隣接する第一格子点Ｋ１の間に第二格子点Ｋ２を設けた
。これに限らず、第一格子点Ｋ１と第二格子点Ｋ２とを同じ位置に設ける構成であっても
よい。すなわち、第一液滴Ｄ１と第二液滴Ｄ２とを、対向基板１５の法線方向から見て、
同じ位置に着弾させる構成であってもよい。
【０１００】
この構成によれば、例えば、配向膜用インクに対し、対向電極Ｐ２の表面が撥液性を有
する場合、着弾した第二液滴Ｄ２を第二格子点Ｋ２の領域に停滞させることができ、対向
基板１５の法線方向から見て、第一凸部Ａ１の間に第二凸部Ａ２を形成させることができ
る。
【０１０１】
すなわち、第一格子点Ｋ１と第二格子点Ｋ２は、それぞれ対向基板１５の法線方向から
見て、隣接する第一凸部Ａ１の間に第二凸部Ａ２を形成させる位置関係であればよい。
・上記実施形態では、走査手段を基板ステージ４１に具体化した。これに限らず、例え
ば、走査手段をキャリッジ４３、あるいは基板ステージ４１とキャリッジ４３の双方に具
体化してもよい。
【０１０２】
・上記実施形態では、吐出ヘッドＨが１列だけノズル列を有する構成にした。これに限
らず、例えば吐出ヘッドＨが２列以上のノズル列を有する構成にしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１０３】
【図１】液晶表示装置を示す斜視図。
【図２】対向基板を示す斜視図。
【図３】（ａ）、（ｂ）は、それぞれ対向基板を示す平面図と側断面図。
【図４】液晶表示装置の製造システムを示す図。
【図５】液滴吐出装置を示す斜視図。
【図６】吐出ヘッドを示す斜視図。
【図７】（ａ）は第一吐出ヘッドを示す要部断面図、（ｂ）は第一液滴の吐出動作を示す対向基板の平面図。
【図８】（ａ）は第二吐出ヘッドを示す要部断面図、（ｂ）は第二液滴の吐出動作を示す対向基板の平面図。
【図９】液滴吐出装置の電気的構成を示す電気ブロック回路図。
【符号の説明】
【０１０４】
Ａ１…第一凸部、Ａ２…第二凸部、Ｄ１…第一液滴、Ｄ２…第二液滴、Ｈ…吐出ヘッド、
Ｎ…ノズル、ＣＦ…カラーフィルタ層、ＯＦ…配向膜、１０…液晶表示装置、１５…対向
基板、３０…液晶表示装置の製造システム、３４Ｂ…第一液滴吐出装置、３７Ｂ…第二液
滴吐出装置、４１…走査手段を構成する基板ステージ。

【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と第一ノズルとを一方向に相対移動させ、前記基板上で前記一方向に延びる複数の
第一経路の各々に対して前記第一ノズルを走査させるとともに、前記第一ノズルから前記
複数の第一経路の各々に向けてカラーフィルタ材料を含む複数の第一液滴を吐出させ、前
記第一経路に沿って延びる複数の第一凸部を有したカラーフィルタ層を形成する工程と、
前記基板と第二ノズルとを前記一方向に相対移動させ、前記カラーフィルタ層上で前記
一方向に延びる複数の第二経路の各々に対して前記第二ノズルを走査させるとともに、前
記第二ノズルから前記複数の第二経路の各々に向けて配向膜材料を含む第二液滴を吐出さ
せ、前記基板の法線方向から見て、隣接する前記第一凸部の間に前記一方向に延びる第二
凸部を有した配向膜を形成する工程と、を備えたこと、
を特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法であって、
前記第一ノズルから複数の前記第一経路の各々に向けて前記第一液滴を吐出させ、前記
基板の法線方向から見て、隣接する前記各第一経路の間に前記第一凸部を形成し、
前記基板と前記第二ノズルとを前記一方向に相対移動させ、前記基板の法線方向から見
て、隣接する前記各第一経路の間に規定された前記第二経路に対し前記第二ノズルを走査
させるとともに、前記第二ノズルから複数の前記第二経路の各々に向けて前記第二液滴を
吐出させ、前記基板の法線方向から見て、隣接する前記第二経路の間に前記第二凸部を形
成すること、
を特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の液晶表示装置の製造方法であって、
前記一方向と交差する他方向に配列された複数の前記第一ノズルと、前記基板とを、前
記一方向に相対移動させ、複数の前記第一経路の各々に対して複数の前記第一ノズルの各
々を走査させるとともに、複数の前記第一ノズルの各々から対応する前記第一経路に向け
て前記第一液滴を吐出させ、
前記他方向に配列された複数の前記第二ノズルと、前記基板とを、前記一方向に相対移
動させ、複数の前記第二経路の各々に対して複数の前記第二ノズルの各々を走査させると
ともに、複数の前記第二ノズルの各々から対応する前記第二経路に向けて前記第二液滴を
吐出させること、
を特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項４】
カラーフィルタ材料を含む第一液滴を吐出する第一ノズルと、
前記第一ノズルと基板とを一方向に沿って相対移動させ、前記一方向に延びる前記基板
上の複数の第一経路の各々に対して前記第一ノズルを走査させる第一走査手段と、
前記第一ノズルと前記第一走査手段とを駆動し、前記複数の第一経路の各々に向けて前
記第一液滴を吐出させ、前記第一経路に沿って延びる複数の第一凸部を有したカラーフィ
ルタ層を形成する第一制御部と、を有した第一液滴吐出装置と、
配向膜材料を含む第二液滴を吐出する第二ノズルと、
前記第二ノズルと前記基板とを前記一方向に沿って相対移動させ、前記一方向に延びる
前記基板上の複数の第二経路の各々に対して前記第二ノズルを走査させる第二走査手段と
、
前記第二ノズルと前記第二走査手段とを駆動し、前記複数の第二経路の各々に向けて前
記第二液滴を吐出させ、前記基板の法線方向から見て、隣接する前記第一凸部の間に前記
一方向に延びる第二凸部を有した配向膜を形成させる第二制御部と、を有した第二液滴吐
出装置と、
を備えたことを特徴とする液晶表示装置の製造システム。
【請求項５】
請求項４に記載の液晶表示装置の製造システムであって、
前記第一制御部は、
複数の前記第一経路の各々に向けて前記第一液滴を吐出させ、前記基板の法線方向から
見て、隣接する前記各第一経路の間に前記第一凸部を形成し、
前記第二走査手段は、
前記基板の法線方向から見て、隣接する前記各第一経路の間に規定された前記第二経路
に対して前記第二ノズルを走査させ、
前記第二制御部は、
複数の前記第二経路の各々に向けて前記第二液滴を吐出させ、前記基板の法線方向から
見て、隣接する前記各第二経路の間に前記第二凸部を形成すること、
を特徴とする液晶表示装置の製造システム。

【図１】