測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置
【課題】 補正精度を向上することができる、測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置を提供する。
【解決手段】 試験治具２６と基準治具１６とで、相対補正データ取得用試料を測定し、試験治具２６での測定値から基準治具１６での測定値の推定値を算出するための第１の数式を求める。周波数ごとに、試験治具２６と基準治具１６とで、残留誤差補正データ取得用試料を測定し、第１の数式を用いて算出した基準治具１６での測定値の推定値に含まれる誤差を算出するための第２の数式を求める。任意の電子部品について、試験治具２６で測定し、試験治具２６での測定値から第１の数式を用いて基準治具１６での測定値の推定値を算出し、この推定値を第２の数式を用いて補正する。第２の数式は多項式又は有理式である。
【解決手段】 試験治具２６と基準治具１６とで、相対補正データ取得用試料を測定し、試験治具２６での測定値から基準治具１６での測定値の推定値を算出するための第１の数式を求める。周波数ごとに、試験治具２６と基準治具１６とで、残留誤差補正データ取得用試料を測定し、第１の数式を用いて算出した基準治具１６での測定値の推定値に含まれる誤差を算出するための第２の数式を求める。任意の電子部品について、試験治具２６で測定し、試験治具２６での測定値から第１の数式を用いて基準治具１６での測定値の推定値を算出し、この推定値を第２の数式を用いて補正する。第２の数式は多項式又は有理式である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置に関し、詳しくは、電子部品の電気特性を、試験治具に実装した状態で測定した結果から、その電子部品を基準治具に実装して測定したならば得られるであろう電気特性の推定値を算出する、測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、表面実装型電子部品などの同軸コネクタを有しない電子部品は、同軸コネクタを有する治具に実装し、治具と測定装置の間を同軸ケーブルを介して接続して、電気特性が測定されることがある。このような測定においては、個々の治具の特性のばらつきや、個々の同軸ケーブル及び測定装置の特性のばらつきが、測定誤差の原因となる。
【０００３】
同軸ケーブル及び測定装置については、基準特性を有する標準器を同軸ケーブルを介して測定装置に接続して測定することにより、標準器を接続した同軸ケーブル先端よりも測定装置側の誤差を同定することができる。
【０００４】
しかし、治具については、電子部品を実装する部分の接続端子と同軸ケーブルに接続するための同軸コネクタとの間の電気特性の誤差を精度よく同定することができない。また、治具間の特性が一致するように調整することは容易ではない。特に広い帯域幅で、治具間の特性が一致するように治具を調整することは、極めて困難である。
【０００５】
そこで、標準試料を複数の治具に実装して測定し、治具間における測定値のばらつきから、ある治具（以下、「基準治具」という。）と他の治具（以下、「試験治具」という。）との間の相対的な誤差を補正する数式を予め導出しておき、任意の電子部品の電気特性について、試験治具に実装した状態で測定した測定値（以下、「試験治具測定値」ともいう。）から、この数式を用いて、その電子部品を基準治具に実装して測定した測定値（以下、「基準治具測定値」ともいう。）の推定値を算出する、いわゆる相対補正法が提案されている。
【０００６】
例えば、基準治具はユーザに対して電気特性を保証するために用い、試験治具は電子部品の製造工程における良品選別のための測定に用いる。具体的には、各ポートについて、試験治具誤差を除去する散乱行列と基準治具誤差の散乱行列を合成した散乱行列（これを、「相対補正アダプタ」という。）をそれぞれ導出する。その相対補正アダプタを、試験治具測定値の散乱行列に対し合成することで、基準治具測定値の推定値を算出する。相対補正アダプタは、各ポートについて、それぞれ少なくとも３つの標準試料を、基準治具と試験治具の両方で測定し、その測定結果から計算できる（例えば、非特許文献１、２参照）。
【非特許文献１】ＧＡＫＵ ＫＡＭＩＴＡＮＩ（Ｍｕｒａｔａ ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ Ｃｏ．，Ｌｔｄ．） "Ａ ＭＥＴＨＯＤ ＴＯ ＣＯＲＲＥＣＴ ＤＩＦＦＥＲＥＮＣＥ ＯＦ ＩＮ−ＦＩＸＴＵＲＥ ＭＥＡＳＵＲＥＭＥＮＴＳ ＡＭＯＮＧ ＦＩＸＴＵＲＥＳ ＯＮ ＲＦ ＤＥＶＩＣＥＳ" ＡＰＭＣ Ｖｏｌ．２， ｐ１０９４−１０９７， ２００３
【非特許文献２】Ｊ．Ｐ．ＤＵＮＳＭＯＲＥ， Ｌ．ＢＥＴＴＳ （Ａｇｉｌｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ） "ＮＥＷ ＭＥＴＨＯＤＳ ＦＯＲ ＣＯＲＲＥＬＡＴＩＮＧ ＦＩＸＴＵＲＥＤ ＭＥＡＳＵＲＥＭＥＮＴＳ" ＡＰＭＣ Ｖｏｌ．１， ｐ５６８−５７１， ２００３
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
相対補正アダプタは、線形回路網モデルを用い、伝達関数は周波数によって変化せず一定であることを前提として導出されている。そのため、高周波電気特性測定系における線形的な治具間差異要因は補正できる。
【０００８】
しかし、例えば測定時に試料に加えられた荷重によって試料の電気特性が変化したり、治具のポート間において無視し得ない大きさの漏洩が発生したりするといった非線形的な治具間差異要因までは、補正アダプタでは補正できない。そのため、試験治具に実装した状態での測定値から相対補正アダプタを適用して算出した基準治具に実装した状態での測定値の推定値には、測定周波数によって大きさが変動する誤差（以下、「残留誤差」という。）が残存する。特に、構造の大きく異なる治具間について補正を行う場合には、残留誤差が拡大する。
【０００９】
電子部品の製造工程において、相対補正アダプタを適用して電子部品の良品選別を行った場合、残留誤差は製品の歩留まりを低下させる要因となる。そのため、補正精度の向上が望まれる。
【００１０】
本発明は、上記実情に鑑み、補正精度を向上することができる、測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した測定誤差の補正方法を提供する。
【００１２】
測定誤差の補正方法は、第１ないし第６のステップを備える。前記第１のステップにおいて、試験治具に実装した状態と基準治具に実装した状態とで、相対補正データ取得用試料をそれぞれ測定する。前記第２のステップにおいて、前記第１のステップでの測定結果に基づき、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出するための第１の数式を求める。前記第３のステップにおいて、周波数ごとに、前記試験治具に実装した状態と前記基準治具に実装した状態とで、残留誤差補正データ取得用試料をそれぞれ測定する。前記第４のステップにおいて、前記第３のステップでの測定結果に基づき、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて算出した前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値に含まれる誤差を算出するための第２の数式を求める。前記第５のステップにおいて、任意の電子部品について、前記試験治具に実装した状態で測定する。前記第６のステップにおいて、前記第５のステップでの測定結果に基づき、当該電子部品について、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出し、該推定値を前記第２の数式を用いて補正する。前記第２の数式は多項式である。
【００１３】
上記方法において、第３のステップでは、第２の数式（多項式）の次数に応じた最低個数（次数＋１個）以上の残留誤差補正データ取得用試料を、試験治具に実装した状態と基準治具に実装した状態とでそれぞれ測定し、第４ステップでは、第３ステップでの測定結果から、多項式の係数を決定する。第２の数式が多項式であれば、第４のステップは、計算機を用いて計算処理を簡単に行うことができる。
【００１４】
上記第２ステップにおいて、第１の数式は各測定周波数毎に定義される。しかし、試験治具に実装した状態での測定値から第１の数式を用いて算出した基準治具に実装した状態での測定値の推定値には、各測定周波数毎に大きさが異なる誤差（すなわち、残留誤差）を含むことがある。このような残留誤差は、第２の数式を用いて補正することができる。
【００１５】
また、本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した測定誤差の補正方法を提供する。
【００１６】
測定誤差の補正方法は、第１ないし第６のステップを備える。前記第１のステップにおいて、試験治具に実装した状態と基準治具に実装した状態とで、相対補正データ取得用試料をそれぞれ測定する。前記第２のステップにおいて、前記第１のステップでの測定結果に基づき、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出するための第１の数式を求める。前記第３のステップにおいて、周波数ごとに、前記試験治具に実装した状態と前記基準治具に実装した状態とで、残留誤差補正データ取得用試料をそれぞれ測定する。前記第４のステップにおいて、前記第３のステップでの測定結果に基づき、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて算出した前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値に含まれる誤差を算出するための第２の数式を求める。前記第５のステップにおいて、任意の電子部品について、前記試験治具に実装した状態で測定する。前記第６のステップにおいて、前記第５のステップでの測定結果に基づき、当該電子部品について、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出し、該推定値を前記第２の数式を用いて補正する。前記第２の数式は有理式である。
【００１７】
上記方法において、第３のステップでは、第２の数式（有理式）の次数に応じた最低個数以上の残留誤差補正データ取得用試料を、試験治具に実装した状態と基準治具に実装した状態とでそれぞれ測定し、第４ステップでは、第３ステップでの測定値から有理式の係数を決定する。第２の数式が有理式であれば、第４のステップは計算機を用いて計算処理を簡単に行うことができる。
【００１８】
上記第２ステップにおいて、第１の数式は各測定周波数毎に定義される。しかし、試験治具に実装した状態での測定値から第１の数式を用いて算出した基準治具に実装した状態での測定値の推定値には、各測定周波数毎に大きさが異なる誤差（すなわち、残留誤差）を含むことがある。このような残留誤差は、第２の数式を用いて補正することができる。
【００１９】
好ましくは、上記各方法において、上記第２の数式が１次式である。
【００２０】
ここで、多項式が１次式であるとは、指数が１のパラメータにかけあわせる係数が０以外であり、指数が２以上のパラメータにかけあわせる項がない場合をいう。有理式が１次式であるとは、有理式を多項式の商で表したとき、分母が１次の多項式となり、分子が０次又は１次の多項式となる場合である。
【００２１】
残留誤差の補正精度は、第２の数式が１次式であれば、実用上十分である。残留誤差補正データ取得用試料の個数が少なくてすむため、第３ステップでの残留誤差補正データ取得用試料の測定時間を短縮することができる。残留誤差補正データ取得用試料の個数が少なくなれば、残留誤差補正データ取得用試料を管理する負担も軽減される。
【００２２】
また、本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した電子部品特性測定装置を提供する。
【００２３】
電子部品測定装置は、電子部品を試験治具に実装した状態で測定した結果から、当該電子部品を基準治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するタイプのものである。電子部品特性測定装置は、記憶手段と、第１の数式決定手段と、第２の数式決定手段と、電気特性推定手段とを備える。前記記憶手段は、前記基準治具に実装した状態で、相対補正データ取得用試料を測定した第１の測定結果と、周波数ごとに、前記基準治具に実装した状態で、残留誤差補正データ取得用試料を測定した第２の測定結果とを格納する。前記第１の数式決定手段は、前記記憶手段に格納された前記第１の測定結果と、前記試験治具に実装した状態で、前記相対補正データ取得用試料を測定した測定結果とに基づき、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出するための第１の数式を決定する。前記第２の数式決定手段は、前記記憶手段に格納された前記第２の測定結果と、周波数ごとに、前記試験治具に実装した状態で、前記残留誤差補正データ取得用試料を測定した測定結果とに基づき、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて算出した前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値に含まれる誤差を算出するための第２の数式を決定する。前記電気特性推定手段は、任意の電子部品について、前記試験治具に実装した状態で測定した測定結果に基づき、当該電子部品について、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出し、該推定値を前記第２の数式を用いて補正する。前記第２の数式は多項式である。
【００２４】
上記構成において、第２の数式決定手段は、第２の数式（多項式）の次数に応じた最低個数（次数＋１個）以上の残留誤差補正データ取得用試料を、試験治具に実装した状態と基準治具に実装した状態とでそれぞれ測定した測定結果から、多項式の係数を決定する。第２の数式が多項式であれば、第２の数式決定手段は、計算処理を簡単に行うことができる。
【００２５】
上記構成において、第１の数式は各測定周波数毎に定義される。しかし、試験治具に実装した状態での測定値から第１の数式を用いて算出した基準治具に実装した状態での測定値の推定値には、各測定周波数毎に大きさが異なる誤差（すなわち、残留誤差）を含むことがある。このような残留誤差は、第２の数式を用いて補正することができる。
【００２６】
また、本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した電子部品特性測定装置を提供する。
【００２７】
電子部品特性測定装置は、電子部品を試験治具に実装した状態で測定した結果から、当該電子部品を基準治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するタイプのものである。電子部品特性測定装置は、記憶手段と、第１の数式決定手段と、第２の数式決定手段と、電気特性推定手段とを備える。前記記憶手段は、前記基準治具に実装した状態で、相対補正データ取得用試料を測定した第１の測定結果と、周波数ごとに、前記基準治具に実装した状態で、残留誤差補正データ取得用試料を測定した第２の測定結果とを格納する。前記第１の数式決定手段は、前記記憶手段に格納された前記第１の測定結果と、前記試験治具に実装した状態で、前記相対補正データ取得用試料を測定した測定結果とに基づき、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出するための第１の数式を決定する。前記第２の数式決定手段は、前記記憶手段に格納された前記第２の測定結果と、周波数ごとに、前記試験治具に実装した状態で、前記残留誤差補正データ取得用試料を測定した測定結果とに基づき、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて算出した前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値に含まれる誤差を算出するための第２の数式を決定する。前記電気特性推定手段は、任意の電子部品について、前記試験治具に実装した状態で測定した測定結果に基づき、当該電子部品について、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出し、該推定値を前記第２の数式を用いて補正する。前記第２の数式は有理式である。
【００２８】
上記構成において、第２の数式決定手段は、第２の数式（有理式）の次数に応じた最低個数以上の残留誤差補正データ取得用試料を、試験治具に実装した状態と基準治具に実装した状態とでそれぞれ測定した測定結果から、有理式の係数を決定する。第２の数式が有理式であれば、第２の数式決定手段は、計算処理を簡単に行うことができる。
【００２９】
上記構成において、第１の数式は各測定周波数毎に定義される。しかし、試験治具に実装した状態での測定値から第１の数式を用いて算出した基準治具に実装した状態での測定値の推定値には、各測定周波数毎に大きさが異なる誤差（すなわち、残留誤差）を含むことがある。このような残留誤差は、第２の数式を用いて補正することができる。
【００３０】
好ましくは、上記各構成において、上記第２の数式が１次式である。
【００３１】
ここで、多項式が１次式であるとは、指数が１のパラメータにかけあわせる係数が０以外であり、指数が２以上のパラメータにかけあわせる項がない場合をいう。有理式が１次式であるとは、有理式を多項式の商で表したとき、分母が１次の多項式となり、分子が０次又は１次の多項式となる場合である。
【００３２】
残留誤差の補正精度は、第２の数式が１次式であれば、実用上十分である。残留誤差補正データ取得用試料の個数が少なくてすむため、残留誤差補正データ取得用試料の測定時間を短縮することができる。残留誤差補正データ取得用試料の個数が少なくなれば、残留誤差補正データ取得用試料を管理する負担も軽減される。
【００３３】
また、本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した電子部品特性測定装置を提供する。
【００３４】
電子部品測定装置は、電子部品を試験治具に実装した状態で測定した結果から、当該電子部品を基準治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するタイプのものである。電子部品特性測定装置は、記憶手段と、電気特性推定手段とを備える。前記記憶手段は、ａ）前記基準治具に実装した状態で、相対補正データ取得用試料を測定した第１の測定結果と、前記試験治具に実装した状態で、前記相対補正データ取得用試料を測定した測定結果とに基づき決定された、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出するための第１の数式と、ｂ）周波数ごとに、前記基準治具に実装した状態で、残留誤差補正データ取得用試料を測定した第２の測定結果と、周波数ごとに、前記試験治具に実装した状態で、前記残留誤差補正データ取得用試料を測定した測定結果とに基づき決定された、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて算出した前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値に含まれる誤差を算出するための第２の数式とを記憶する。前記電気特性推定手段は、任意の電子部品について、前記試験治具に実装した状態で測定した測定結果に基づき、当該電子部品について、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出し、該推定値を前記第２の数式を用いて補正する。前記第２の数式は多項式である。
【００３５】
上記構成において、第２の数式（多項式）の次数に応じた最低個数（次数＋１個）以上の残留誤差補正データ取得用試料を、試験治具に実装した状態と基準治具に実装した状態とでそれぞれ測定した測定結果から、多項式の係数が決定される。
【００３６】
上記構成において、第１の数式は各測定周波数毎に定義される。しかし、試験治具に実装した状態での測定値から第１の数式を用いて算出した基準治具に実装した状態での測定値の推定値には、各測定周波数毎に大きさが異なる誤差（すなわち、残留誤差）を含むことがある。このような残留誤差は、第２の数式を用いて補正することができる。
【００３７】
また、本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した電子部品特性測定装置を提供する。
【００３８】
電子部品特性測定装置は、電子部品を試験治具に実装した状態で測定した結果から、当該電子部品を基準治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するタイプのものである。電子部品特性測定装置は、記憶手段と、電気特性推定手段とを備える。前記記憶手段は、ａ）前記基準治具に実装した状態で、相対補正データ取得用試料を測定した第１の測定結果と、前記試験治具に実装した状態で、前記相対補正データ取得用試料を測定した測定結果とに基づき決定された、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出するために第１の数式と、ｂ）周波数ごとに、前記基準治具に実装した状態で、残留誤差補正データ取得用試料を測定した第２の測定結果と、周波数ごとに、前記試験治具に実装した状態で、前記残留誤差補正データ取得用試料を測定した測定結果とに基づき決定された、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて算出した前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値に含まれる誤差を算出するための第２の数式とを記憶する。前記電気特性推定手段は、任意の電子部品について、前記試験治具に実装した状態で測定した測定結果に基づき、当該電子部品について、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出し、該推定値を前記第２の数式を用いて補正する。前記第２の数式は有理式である。
【００３９】
上記構成において、第２の数式（有理式）の次数に応じた最低個数以上の残留誤差補正データ取得用試料を、試験治具に実装した状態と基準治具に実装した状態とでそれぞれ測定した測定結果から、有理式の係数が決定される。
【００４０】
上記構成において、第１の数式は各測定周波数毎に定義される。しかし、試験治具に実装した状態での測定値から第１の数式を用いて算出した基準治具に実装した状態での測定値の推定値には、各測定周波数毎に大きさが異なる誤差（すなわち、残留誤差）を含むことがある。このような残留誤差は、第２の数式を用いて補正することができる。
【００４１】
好ましくは、上記各構成において、上記第２の数式が１次式である。
【００４２】
ここで、多項式が１次式であるとは、指数が１のパラメータにかけあわせる係数が０以外であり、指数が２以上のパラメータにかけあわせる項がない場合をいう。有理式が１次式であるとは、有理式を多項式の商で表したとき、分母が１次の多項式となり、分子が０次又は１次の多項式となる場合である。
【００４３】
残留誤差の補正精度は、第２の数式が１次式であれば、実用上十分である。残留誤差補正データ取得用試料の個数が少なくてすむため、残留誤差補正データ取得用試料の測定時間を短縮することができる。残留誤差補正データ取得用試料の個数が少なくなれば、残留誤差補正データ取得用試料を管理する負担も軽減される。
【発明の効果】
【００４４】
本発明の測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置は、補正精度を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４５】
以下、本発明の実施の形態について、図１〜図８を参照しながら説明する。
【００４６】
図５（ａ）及び（ｂ）に示すように、電子部品は、異なる測定系１０，２０で測定する。いずれの測定系１０，２０においても、治具１６，２６の実装部１８，２８に電子部品を実装した状態で、測定装置１２，２２を用いて電気特性の測定を行う。測定時には、治具１６，２６に設けられた同軸コネクタ１７ａ，１７ｂ，１７ｃ；２７ａ，２７ｂ，２７ｃに、測定装置１２，２２に接続された同軸ケーブル１３ａ，１３ｂ，１３ｃ；２３ａ，２３ｂ，２３ｃの先端に設けられた同軸コネクタ１４ａ，１４ｂ，１４ｃ；２４ａ，２４ｂ，２４ｃを接続する。
【００４７】
図示していないが、治具１６，２６の実装部１８，２８には、電子部品の各端子にそれぞれ圧接する接続端子が設けられ、その接続端子が同軸コネクタ１７ａ，１７ｂ，１７ｃ；２７ａ，２７ｂ，２７ｃにそれぞれ電気的に接続されている。
【００４８】
測定装置１２，２２は、予め、同軸コネクタ１４ａ，１４ｂ，１４ｃ；２４ａ，２４ｂ，２４ｃに、既知の電気特性を有する標準器（例えば、同軸形状の電子部品）を接続してキャリブレーションを行う。したがって、測定装置１２、２２が同一であってもよい。
【００４９】
測定装置１２，２２には、例えばベクトル・ネットワーク・アナライザ（ＶＮＡ）を用いる。ＶＮＡは、複数のポートを有し高周波で用いられる電子部品の電気特性を単に測定するだけでなく、測定した生データを任意に設定したプログラムにより演算して出力する機能も備え、演算に用いるデータやプログラムを適宜に入力することができる。
【００５０】
一方の測定系１０の治具１６（以下、「基準治具１６」と言う。）は、例えばユーザに対して電気特性を保証するために用いる。他方の測定系２０の治具２６（以下、「試験治具２６」と言う。）は、例えば電子部品の製造工程における良品選別のための測定に用いる。
【００５１】
基準治具１６に実装して測定系１０で測定したときの電子部品の電気特性の測定値（以下、「基準治具測定値」という。)と、試験治具２６に実装して測定系２０で測定したときの電子部品の電気特性の測定値（以下、「試験治具測定値」という。）とは、それぞれ測定誤差を含む。同軸コネクタ１４ａ，１４ｂ，１４ｃ；２４ａ，２４ｂ，２４ｃから測定装置１２，２２側は、標準器を接続して予めキャリブレーションを行っているので、治具１６，２６の測定誤差を相対補正法によって補正することができる。
【００５２】
すなわち、予め、治具１６，２６間の相対的な測定誤差を補正する相対補正アダプタ（第１の数式)を導出しておく。そして、任意の電子部品について、試験治具２６に実装し、測定装置２２を用いて測定した試験治具測定値から、予め導出した補正アダプタ（第１の数式)を用いて、その電子部品を基準治具１６に実装して測定したならば得られるであろう基準治具測定値の推定値を算出する。
【００５３】
〔相対補正法〕
ここで、電子部品を試験治具２６に実装して測定した試験治具測定値から、相対補正アダプタを用いて、基準治具１６に実装して測定した基準治具測定値の推定値を算出する相対補正法の基本原理について、説明する。以下では、簡単のため、２ポート間の電気特性について２端子対回路を例に説明するが、ｎ端子対回路（ｎは、１、又は３以上の整数）に対しても拡張することができる。
【００５４】
図６（ａ）は、２ポートの電子部品（以下、「試料ＤＵＴ」と言う。）を実装した基準治具１６の２端子対回路を示す。試料ＤＵＴの特性を散乱行列（ＳＤＵＴ）で表している。基準治具１６における同軸コネクタと試料ＤＵＴのポートとの間の誤差特性を散乱行列（ＥＤ１），（ＥＤ２）で表している。回路の両側の端子において、基準治具に試料ＤＵＴを実装した基準状態での測定値Ｓ１１Ｄ，Ｓ２１Ｄが得られる。
【００５５】
図６（ｂ）は、試料ＤＵＴを実装した試験治具２６の２端子対回路を示す。試料ＤＵＴの特性を散乱行列（ＳＤＵＴ）で表している。試験治具２６における同軸コネクタと試料ＤＵＴのポートとの間の誤差特性を散乱行列（ＥＴ１），（ＥＴ２）で表している。回路の両側の端子において、試験治具に試料ＤＵＴを実装した基準状態での測定値Ｓ１１Ｔ，Ｓ２１Ｔが得られる。
【００５６】
図６（ｃ）は、図６（ｂ）の回路の両側に、誤差特性（ＥＴ１），（ＥＴ２）を中和するアダプタ（ＥＴ１）−１，（ＥＴ２）−１を接続した状態を示す。このアダプタ（ＥＴ１）−１，（ＥＴ２）−１は、理論上は、誤差特性の散乱行列（ＥＴ１），（ＥＴ２）を伝送行列に変換し、その逆行列を求め、再度散乱行列に変換することにより得られる。誤差特性（ＥＴ１），（ＥＴ２）とアダプタ（ＥＴ１）−１，（ＥＴ２）−１との間の境界部分３０，３２において、試験治具２６に試料ＤＵＴを実装して測定した試験治具測定値Ｓ１１Ｔ，Ｓ２１Ｔが得られる。図６（ｃ）の回路は、試験治具２６の誤差が除去され、回路の両側の端子において、試料ＤＵＴそのものの測定値Ｓ１１ＤＵＴ，Ｓ２１ＤＵＴが得られる。
【００５７】
図６（ｃ）の回路は試料ＤＵＴのみと等価であるので、図６（ａ）と同様に、両側に、基準治具１６の誤差特性の散乱行列（ＥＤ１），（ＥＤ２）を接続すると、図７（ａ）のようになる。
【００５８】
図７（ａ）において符号３４で示した（ＥＤ１），（ＥＴ１）−１を合成した散乱行列を（ＣＡ１）とし、符号３６で示した（ＥＴ２）−１，（ＥＤ２）を合成した散乱行列を（ＣＡ２）とすると、図７（ｂ）のようになる。これらの散乱行列（ＣＡ１），（ＣＡ２）は、いわゆる「相対補正アダプタ」であり、試験治具測定値Ｓ１１Ｔ，Ｓ２１Ｔと基準治具測定値Ｓ１１Ｄ，Ｓ２１Ｄとを関係付ける。したがって、相対補正アダプタ（ＣＡ１），（ＣＡ２）が決まれば、任意の電子部品を試験治具に実装した状態での測定値Ｓ１１Ｔ，Ｓ２１Ｔから、相対補正アダプタ（ＣＡ１），（ＣＡ２）を用いて、基準治具測定値Ｓ１１Ｄ，Ｓ２１Ｄを算出（推定）することができる。
【００５９】
各相対補正アダプタ（ＣＡ１），（ＣＡ２）は、それぞれ、４つの係数ｃ００，ｃ０１，ｃ１０，ｃ１１；ｃ２２，ｃ２３，ｃ３２，ｃ３３を含むが、相反定理により、ｃ０１＝ｃ１０、ｃ２３＝ｃ３２となる。したがって、従来は、各ポートについて、特性の異なった３種類の１ポート標準試料(補正データ取得用試料)を基準治具１６と基準治具２６とに実装して測定し、各係数ｃ００，ｃ０１，ｃ１０，ｃ１１；ｃ２２，ｃ２３，ｃ３２，ｃ３３を決定していた。
【００６０】
〔残留誤差の補正〕
上述したように、試験治具に実装した状態で電子部品の特性（試験治具測定値）を測定し、その測定結果に相対補正アダプタを適用して、基準治具に実装した状態での特性（基準治具測定値）を推定することができる。しかし、実際には、試料の電気特性測定時に試料に加えられる荷重によって生じる試料の電気特性変化や無視し得ない大きさの治具のポート間漏洩といった非線形的な治具間差異要因のため、相対補正アダプタを用いただけでは、試験治具測定値を基準治具測定値に完全に補正することができず、残留誤差（基準治具測定値の推定値と実測値と誤差）が残る。そこで、残留誤差補正式（第２の数式）を用いて補正精度の向上を図る。
【００６１】
次に、残留誤差補正式を用いて補正精度を向上する場合の手順の概要について、説明する。
【００６２】
まず、例えば少なくとも３個の補正データ取得用試料を、基準治具と試験治具の双方で測定し、その測定結果より、試験治具で測定した試験治具測定値から基準治具で測定したならば得られるであろう基準治具測定値の推定値を導出するための相対補正アダプタ（第１の数式）を算出する。
【００６３】
次に、測定対象と類似した特性を持つ任意の試料（以下、「残留誤差補正データ取得用試料」という。）を、基準治具と試験治具の双方で測定する。そして、試験治具で測定した試験治具測定値から、相対補正アダプタを用い、基準治具で測定したならば得られるであろう基準治具測定値（推定値）を算出し、実際に基準治具で測定したときの測定値（実測値）との差、すなわち残留誤差を求める。周波数ごとに、測定と残留誤差の算出を行い、周波数をパラメータとして残留誤差の近似関数、すなわち残留誤差補正式（第２の数式）を求める。
【００６４】
そして、測定対象の試料について、試験治具に実装した状態で測定し、その試験治具測定値に相対補正アダプタを適用して、基準治具で測定したならば得られるであろう基準治具測定値（推定値）を算出し、これに対して、残留誤差の近似関数（残留誤差補正式）を用いて算出した残留誤差の予測値をオフセットとして加える。
【００６５】
次に、残留誤差補正式（第２の数式）には多項式又は有理式を用いることができることを説明する。
【００６６】
〔多項式による補正〕
周波数ｆにおいて、次式を想定する。
【数１】
ここで、Ｓｄは図５に示したような、電気部品の電気特性を測定する測定系において、補正アダプタ法の適用対象試料を基準治具に実装した状態で測定したときの測定値（以下、「基準治具測定値」という。）、Ｓｔは同じく補正アダプタ法の適用対象試料を試験治具に実装した状態で測定したときの測定値（以下、「試験治具測定値」という。）、ｇ（）は補正アダプタ法による変換関数、εは残留誤差であり、それぞれ複素数である。
【００６７】
（１）式を複素数ｚの関数と考えると、任意の測定値ａの周辺ではテイラーの公式より以下が成り立つ。
【数２】
ここで、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは、定数である。
【００６８】
ｚを狭い範囲で考えると、（２）式は少ない次数の項までで近似できる。近似に必要な次数を設定し、（次数＋１）個の残留誤差補正データ取得用試料の測定を行い、測定値と誤差の連立方程式を解くことにより、εを求めることができる。
【００６９】
具体例として、（２）式が１次式の場合には、次の（３）のような形で表すことができる。
【数３】
【００７０】
（３）式を（１）式に代入すれば、すなわち、補正アダプタを適用して求めた基準治具測定値の推定値ｇ（Ｓｔ）について、Ｓｔの関数として求めたεを加算すれば、試験治具測定値Ｓｔから基準治具測定値Ｓｄを推定することができる。
【００７１】
残留誤差補正式、すなわち、残留誤差補正データ取得用試料を用いて定数Ａ，Ｂを求めた（３）式を、その他の試料の残留誤差の補正に用いることにより、残留誤差を低減することができる。すなわち、補正アダプタを適用して求めた基準治具測定値の推定値ｇ（Ｓｔ）に、残留誤差補正データ取得用試料の測定から求めた残留誤差の予測式である残留誤差補正式を用いて算出した残留誤差の予測値を加算する補正を行う。これにより、試料測定時における補正アダプタ法の残留誤差を低減することができる。
【００７２】
次に、このような残留誤差補正方法の妥当性について検証する。
【００７３】
伝達系における代表的な誤差要因としては、ポート間の漏洩（Ｌｅａｋａｇｅ）が挙げられる。漏洩はシグナルフローダイヤグラムにおいてモデル化はされているものの、正確には表現できないため、現実の測定においては十分に小さい（換言すれば、寄与しない）ことを前提としている。測定系が全て同軸系で完結していれば、このような扱いでも間題を生じないが、現実に高周波デバイスを運用する環境は表面実装などであるため、漏洩が常に十分に小さいとは言えないのが現状である。
【００７４】
図１に、漏洩が存在する場合のシグナルフローダイヤグラムを示す。式を簡潔に表現するため、入力側の治具の挿入損失は出力側の治具の挿入損失と一体にして扱う。図１における試料（ＤＵＴ）の伝達係数Ｓ２１ＤＵＴと、漏洩が重畳されて測定される伝達係数Ｓ２１Ｍの関係は、次の（４）式で表せる。なお、（４）式では、４個以上の変数の積から構成される項を省略している。
【数４】
【００７５】
（４）式において、本来の伝達係数は、Ｅ２１ＦＳ２１ＤＵＴ＝Ｓ２１ｄと表せるので、漏洩によって発生する誤差の補正式は、次の（５）式のように表せる。
【数５】
【００７６】
（５）式は次の（６）式のように表せる。
【数６】
ここで（１）式より、Ｓ２１ｄ−ｇ（Ｓ２１ｔ）＝εと表せるので、（６）式は次の（７）式のように変形できる。
【数７】
【００７７】
ここで−ＥＸＦ／（１−ＥＸＦ）をＡ、ＥＸＦ／（１−ＥＸＦ）をＢと見なすと、（７）式は（５）式を（３）式の形式で表現したものと言える。したがって、主に漏洩によって発生する伝達係数における補正アダプタ法残留誤差の補正には、多項式による補正が有効なことが分かる。
【００７８】
なお、上述した補正式は、テイラー展開に基づく誤差の近似による一般的な補正式であるため、反射係数の補正の場合においても有効なことは明らかである。
【００７９】
〔有理式による補正〕
補正アダプタ法は高周波電気特性測定系における線形的な治具間差異要因を補正できるが、何らかの要因により反射系において誤差要因が残留した場合、補正アダプタ法により推定された値であるｇ（Ｓｔ）がその残留した誤差によって受ける影響は、３つのパラメータで表現され、本来推定するべき値であるＳｄとは、図２に示すような関係を有する。
【００８０】
すなわち、本来の反射係数Ｓｄと、残留した誤差要因が重畳されて測定された反射係数ｇ（Ｓｔ）との間の関係は、次の（８）式で表せる。
【数８】
【００８１】
したがって、誤差要因を補正する関係式は（８）式を整理することで得られ、次の（９）式のように表される。ここで、Ａ，Ｂ，Ｃは定数であり、以下に説明するようにしてこれらを求めることで、補正を行なうことができる。
【数９】
【００８２】
（９）式を解くのに必要な数量（３個＝未知の定数）の残留誤差補正データ取得用試料について測定を行い、連立方程式を解いて上記の未知の定数Ａ，Ｂ，Ｃを導出し、補正アダプタ法適用済みの試験治具測定値Ｓｔと、基準治具測定値Ｓｄとの間の補正式を導出する。
【００８３】
上記方法によりＡ，Ｂ，Ｃを決定した（９）式を、その他試料の補正アダプタ法適用結果に適用することにより、試料測定時における補正アダプタ法残留誤差を低減することができる。
【００８４】
導出過程から明らかなように、有理式を用いた補正は、反射係数（反射波）において発生する誤差要因の補正に適しているが、伝達係数（伝達波）の補正においても有効である。すなわち、伝達係数の測定経路は反射係数のそれを含んでいるため、反射系において発生した誤差要因は伝達系においても寄与を生じ得るためである。
【００８５】
〔電子部品特性測定装置〕
次に、測定装置１２，２２の構成について、図８のブロック図を参照しながら説明する。
【００８６】
測定装置１２，２２は、表示部５２と、操作部５４と、測定部５６と、制御部５８と、記憶部６０と、演算部６２と、インターフェース部６４とを備える。
【００８７】
表示部５２は、表示パネル等を含み、測定装置１２，２２の動作状況や操作指示などを表示する。操作部５４は、ボタンやスイッチなどを含み、オペレータからの電子部品測定装置１２，２２に対する操作を受け付ける。測定部５６は、同軸ケーブル１３ａ〜１３ｃ；２３ａ〜２３ｃ及び治具１６，２６を介して電子部品の端子に接続され、電子部品の端子を適宜に選択して信号を入力し出力信号を測定する。制御部５８は、測定装置１２，２２全体の制御を統括する。記憶部６０には、制御部５８や演算部６２を動作させるためのプログラム、測定部５６からの測定データ、演算部６２の演算結果データなどが格納される。演算部６２は、測定部５６からのデータや記憶部６０に格納されたデータを用い、所定のプログラムに従って演算を行う。インターフェース部６４は、外部機器とデータを送受信するためのインターフェースであり、記憶部６０に格納するためのデータやプログラムや、演算部６２からの演算結果データなどを受け付け、入出力を行う。
【００８８】
測定装置１２，２２は、記憶部６０に格納されたプログラムに従って動作する。測定装置１２，２２は、校正モードと測定モードを含む複数の動作モードで動作させることができる。
【００８９】
校正モードでは、基準治具１６と試験治具２６との間の相対的な測定誤差を補正するためのデータを取得し、電気特性を推定するための第１及び第２の数式を決定する。すなわち、測定部５６は、基準治具１６や試験治具２６に、標準試料、相対補正データ取得用試料又は残留誤差補正データ取得用試料が実装された状態で、順次、電気特性の測定を行う。このとき、例えば表示部５２に測定対象の試料の種別が表示される。オペレータは、表示された測定対象の準備が完了すると、操作部５４を操作する。この操作を操作部５４が受け付けると、測定部５６は測定を開始し、測定データは記憶部６０に格納される。
【００９０】
演算部６２は、記憶部６０に格納された測定データを、適宜なタイミングで読み出して、補正アダプタ（ＣＡ１），（ＣＡ２）などについて演算し、電気特性を推定するための第１の数式を決定する。また、演算部６２は、記憶部６０に格納された残留誤差補正データ取得用試料を測定したデータを読み出し、残留誤差補正データ取得用試料について、測定部５６で測定した基準治具測定値（実測値）と、測定部５６で測定した試験治具測定値に第１の数式を用いて算出した基準治具測定値（測定値）とから、第２の数式を決定する。
【００９１】
測定モードでは、試験治具２６を用いた試験状態の測定データから、基準治具１６を用いた基準状態での電気特性を推定する。すなわち、測定部５６は、試験治具２６に任意の電子部品が実装された状態で測定を行う。演算部６２は、測定部５６からの測定データから、その電子部品の電気特性の推定値を算出する。このとき、演算部６２は、校正モードで決定された第１及び第２の数式を記憶部６０から読み出し、それらの数式を用いて、電子部品の電気特性の推定値を算出する。算出された推定値は、表示部５２に表示されたり、インターフェース部６４から外部機器に出力されたりする。
【００９２】
なお、標準試料、相対補正データ取得用試料、残留誤差補正データ取得用試料を基準治具１６に実装して測定したデータは、試験治具２６を含む測定系２０の測定装置２２の記憶部６０に記憶しておくようにしてもよい。この場合、校正モードにおいて、標準試料、相対補正データ取得用試料、残留誤差補正データ取得用試料を試験治具２６に実装したときの測定値は測定装置２２を用いて測定し、基準治具１６に実装したときの測定値については、記憶部６０に記憶されているデータを用いる。個々の測定装置２２で標準試料、相対補正データ取得用試料、残留誤差補正データ取得用試料を基準治具１６に実装して測定する必要がないので、測定装置２２の台数を容易に増やすことができる。
【００９３】
さらには、基準治具１６や試験治具２６を別の測定装置に接続して、相対補正データ取得用試料や残留誤差補正データ取得用試料を測定して相対補正アダプタ（第１の数式）や残留誤差補正式（第２の数式）を求め、そのようにして求めた相対補正アダプタ（第１の数式）や残留誤差補正式（第２の数式）のデータを、試験治具２６を含む測定系２０の測定装置２２の記憶部６０に記憶しておくようにしてもよい。この場合、試験治具２６を含む測定系２０で、相対補正データ取得用試料や残留誤差補正データ取得用試料を試験治具２６に実装して測定する作業を省略することができる。
【実施例１】
【００９４】
実施例１として、表面弾性表面フィルタの反射波及び伝達波の治具間差異補正について説明する。
【００９５】
試料には表面弾性波フィルタ、基準治具には検査基板、試験治具にはプローブ治具を用いる。
【００９６】
まず、基準治具とする検査基板において、補正データ取得用試料３個の基準治具測定値を測定する。
【００９７】
補正データ取得用試料は、各ポートにおいて開放、短絡、終端を実現した試料であり、各ポート間は２５ｄＢ以上のアイソレーションを持つ。また、補正データ取得用試料の外形は、試料と同様に治具に実装して測定できるような形状とされている。
【００９８】
続いて、試験治具とするプローブ治具において、補正データ取得用試料３個の試験治具測定値を取得する。
【００９９】
取得した補正データ取得用試料の基準治具測定値及び試験治具測定値から、前述した相対補正法により、試料の試験治具測定値から基準治具測定値を推定する補正式（補正アダプタ）を導出する。
【０１００】
試料とは同一品種の、平均的な特性を持つ表面弾性波フィルタ２個を任意に選択し、それらの基準治具測定値を取得する。この２個の表面弾性波フィルタが、先に述べた残留誤差補正データ取得用試料である。この表面弾性波フィルタ２個（残留誤差補正データ取得用試料）については、上記補正アダプタを適用した状態での試験治具測定値の推定値も算出する。
【０１０１】
残留誤差補正データ取得用試料の測定により得られた表面弾性波フィルタの基準治具測定値及び上記補正アダプタを適用した状態での試験治具測定値から、前述した補正アダプタ法残留誤差補正式の（３）式における未知数を決定する。
【０１０２】
１個目の表面弾性波フィルタの基準治具測定値をＳｄ１、２個目の表面弾性波フィルタの基準治具測定値をＳｄ２、１個目の表面弾性フィルタの補正アダプタを適用した状態での試験治具測定値をＳｃ１、２個月の表面弾性波フィルタの補正アダプタを適用した状態での試験治具測定値をＳｃ２とする。Ｓｄ１、Ｓｄ２、Ｓｃ１、及びＳｃ２は、いずれもＳパラメータである。
【０１０３】
これらを（３）式に代入すると、以下の２式が得られる。
【数１０】
これらは、Ａ及びＢについての連立方程式であるので、これを解くことにより、（３）式における未知数Ａ及びＢを導出できる。
【０１０４】
続いて、測定対象試料の、補正アダプタ法を適用した状態での試験治具測定値を取得する。この試料の試験治具測定値を（３）式に代入して（（３）式におけるＡ、Ｂの値は、上で導出した値を用いる。）、補正アダプタ法を適用した試験治具測定値における残留誤差を予測し、試料の補正アダプタ法を適用した状態での試験治具測定値の推定値に加算する。
【０１０５】
これら基準治具測定値及び上記補正アダプタを適用した状態での試験治具測定値、及び補正アダプタ法残留誤差補正式の係数導出及び該補正アダプタ法残留誤差補正式による残留誤差の予測、補正アダプタ法を適用した状態での試料の試験治具測定値への加算は、測定している全Ｓパラメータについて行う。
【０１０６】
なお、残留誤差補正データ取得用試料の選別方法として、平均的な特性を持つ試料から任意に（無作為に）選択する場合を説明したが、母集団とする試料の特性分布を評価し、母集団の分散をより効果的に表現し得る試料を選別して残留誤差補正データ取得用試料とすれば、より高い補正精度を得られることは明らかである。
【０１０７】
また、補正アダプタ法残留誤差補正式の次数として１次式を選択する場合を説明したが、補正アダプタ法残留誤差が小さければ１次式である必要はなく、０次式でも十分な補正精度を得られる。したがって、残留誤差が小さい場合には、次数の低い補正式を運用することによって、測定が必要な残留誤差補正データ取得用試料の個数を減らし、残留誤差補正に伴う段取りを簡略化する一方、残留誤差が比較的大きい、もしくは残留誤差の特性が測定周波数に対して比較的複雑であれば１次式以上の補正式を適用して補正精度を確保するといった運用法の使い分けも可能である。
【０１０８】
図３に、試料（表面弾性波フィルタ）の基準治具測定値（Ｄｅｆｉｎｉｔｉｏｎ）、試験治具測定値（Ｔｅｓｔ）、補正アダプタ法を適用した状態での試験治具測定値（Ｃｏｒｒｅｃｔｅｄ＿Ａ）、補正アダプタ法を適用した上で本補正アダプタ法残留誤差補正法を適用した試料の試験治具測定値（Ｃｏｒｒｅｃｔｅｄ＿Ｂ）を、それぞれ示す。図３（ａ）は反射波、図３（ｂ）は伝達波について、それぞれ示す。
【０１０９】
反射波及び伝達波のいずれにおいても、治具間差異補正誤差（すなわち、基準治具測定値の推定値と実測値との差異）は、補正アダプタ法に本補正アダプタ法残留誤差補正法を併用した場合の方が、補正アダプタ法のみを適用した場合に比べて小さい。
【０１１０】
したがって、本補正アダプタ法残留誤差補正法が、反射波もしくは伝達波に関わらず、補正アダプタ法残留誤差の補正に有効であり、結果として治具間差異補正の補正精度向上に有効であることが分かる。
【実施例２】
【０１１１】
実施例２では、残留誤差の補正式に有理式を用いる。
【０１１２】
試料には表面弾性波フィルタ、基準治具には検査基板、試験治具にはプローブ治具をそれぞれ用いる。
【０１１３】
まず、基準治具とする検査基板において、補正データ取得用試料３個の基準治具測定値を測定する。
【０１１４】
補正データ取得用試料は、各ポートにおいて開放、短絡、終端を実現した試料であり、各ポート間は２５ｄＢ以上のアイソレーションを持つ。また、補正データ取得用試料の外形は、試料と同様に治具に実装して測定できるような形状とされている。
【０１１５】
続いて、試験治具とするプローブ治具において、補正データ取得用試料３個の試験治具測定値を取得する。
【０１１６】
上で取得した補正データ取得用試料の基準治具測定値及び試験治具測定値から、前述した相対補正法により、試料の試験治具測定値から基準治具測定値を推定する補正式（補正アダプタ）を導出する。
【０１１７】
試料とは同一品種の、平均的な特性を持つ表面弾性波フィルタ３個を任意に選択し、それらの基準治具測定値を取得する。この３個の表面弾性波フィルタが、先に述べた残留誤差補正データ取得用試料である。この表面弾性波フィルタ３個（残留誤差補正データ取得用試料）については、上記補正アダプタを適用した状態での試験治具測定値の推定値も算出する。
【０１１８】
残留誤差補正データ取得用試料の測定により得られた表面弾性波フィルタの基準治具測定値及び上記補正アダプタを適用した状態での試験治具測定値から、前述した補正アダプタ法残留誤差補正式の（９）式における未知数を決定する。
【０１１９】
１個目の表面弾性波フィルタの基準治具測定値をＳｄ１、２個目の表面弾性波フィルタの基準治具測定値をＳｄ２、３個目の表面弾性波フィルタの基準治具測定値をＳｄ３、１個目の表面弾性フィルタの補正アダプタを適用した状態での試験治具測定値をＳｃ１、２個目の表面弾性波フィルタの補正アダプタを適用した状態での試験治具測定値をＳｃ２、３個目の表面弾性波フィルタの補正アダプタを適用した状態での試験治具測定値をＳｃ３とする。Ｓｄ１、Ｓｄ２、Ｓｄ３、Ｓｃ１、Ｓｃ２、及びＳｃ３は、いずれもＳパラメータである。
【０１２０】
これらを（９）式に代入すると、以下の３式が得られる。
【数１１】
【０１２１】
これらはＡ、Ｂ及びＣについての連立方程式であるので、この３式を解くことによって（１１）式における未知数Ａ、Ｂ及びＣを全て導出できる。
【０１２２】
続いて試料の、補正アダプタ法を適用した状態での試験治具測定値を取得する。この試料の試験治具測定値を（９）式に代入して（（９）式における定数Ａ，Ｂ及びＣの値は、上で導出した値を用いる。）、補正アダプタ法を適用した試験治具測定値における残留誤差を予測し、試料の補正アダプタ法を適用した状態での試験治具測定値に加算する。
【０１２３】
これら基準治具測定値や試験治具測定値の測定、補正アダプタを適用した基準治具測定値の推定値の算出、残留誤差補正式の係数導出、残留誤差補正式を用いた残留誤差の予測、基準治具測定値の残留誤差分の補正は、測定している全Ｓパラメータについて行う。
【０１２４】
図４に、試料（表面弾性波フイルタ）の基準治具測定値（Ｄｅｆｉｎｉｔｉｏｎ）、試験治具測定値（Ｔｅｓｔ）、補正アダプタ法を適用した状態での試験治具測定値（Ｃｏｒｒｅｃｔｉｎ＿Ａ）、補正アダプタ法を適用した上で本補正アダプタ法残留誤差補正法を適用した試料の試験治具測定値（Ｃｏｒｒｅｃｔｉｏｎ＿Ｂ）を示す。図４（ａ）は反射波、図４（ｂ）は伝達波について、それぞれ示す。
【０１２５】
反射波及び弾性波のいずれにおいても、治具間差異補正誤差（すなわち、基準治具測定値の実測値と推定値との差異）は、補正アダプタを用いた相対補正法に、残留誤差補正式を用いて残留誤差分の補正を併用した場合の方が、補正アダプタを用いた相対補正法のみを適用した場合に比べて小さい。
【０１２６】
したがって、補正アダプタを用いた相対補正法に、残留誤差補正式を用いて残留誤差分の補正を併用することには、反射波もしくは伝達波に関わらず、残留誤差の補正に有効であり、結果として治具間差異補正の補正精度向上に有効であることが分かる。
【０１２７】
以上に説明したように、本発明の測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置は、相対補正法における残留誤差を補正することにより、補正精度を向上することができる。
【０１２８】
なお、本発明は、上記実施形態や実施例に限定されるものではなく、種々の変形を加えて実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１２９】
【図１】漏洩を含むシグナルフローダイヤグラムである。
【図２】反射系におけるシグナルフローダイヤグラムである。
【図３】補正結果を示すグラフである。（実施例１）
【図４】補正結果を示すグラフである。（実施例２）
【図５】測定系の構成図である。
【図６】誤差補正の基本原理を示す２端子対回路図である。
【図７】誤差補正の基本原理を示す２端子対回路図である。
【図８】測定装置のブロック図である。（実施例）
【符号の説明】
【０１３０】
１２ 測定装置（電子部品特性測定装置）
１６ 基準治具
２６ 試験治具
５２ 表示部
５４ 操作部
５６ 測定部
５８ 制御部
６０ 記憶部（記憶手段）
６２ 演算部（第１の数式決定手段、第２の数式決定手段、電気特性推定手段）
６４ インターフェース部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置に関し、詳しくは、電子部品の電気特性を、試験治具に実装した状態で測定した結果から、その電子部品を基準治具に実装して測定したならば得られるであろう電気特性の推定値を算出する、測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、表面実装型電子部品などの同軸コネクタを有しない電子部品は、同軸コネクタを有する治具に実装し、治具と測定装置の間を同軸ケーブルを介して接続して、電気特性が測定されることがある。このような測定においては、個々の治具の特性のばらつきや、個々の同軸ケーブル及び測定装置の特性のばらつきが、測定誤差の原因となる。
【０００３】
同軸ケーブル及び測定装置については、基準特性を有する標準器を同軸ケーブルを介して測定装置に接続して測定することにより、標準器を接続した同軸ケーブル先端よりも測定装置側の誤差を同定することができる。
【０００４】
しかし、治具については、電子部品を実装する部分の接続端子と同軸ケーブルに接続するための同軸コネクタとの間の電気特性の誤差を精度よく同定することができない。また、治具間の特性が一致するように調整することは容易ではない。特に広い帯域幅で、治具間の特性が一致するように治具を調整することは、極めて困難である。
【０００５】
そこで、標準試料を複数の治具に実装して測定し、治具間における測定値のばらつきから、ある治具（以下、「基準治具」という。）と他の治具（以下、「試験治具」という。）との間の相対的な誤差を補正する数式を予め導出しておき、任意の電子部品の電気特性について、試験治具に実装した状態で測定した測定値（以下、「試験治具測定値」ともいう。）から、この数式を用いて、その電子部品を基準治具に実装して測定した測定値（以下、「基準治具測定値」ともいう。）の推定値を算出する、いわゆる相対補正法が提案されている。
【０００６】
例えば、基準治具はユーザに対して電気特性を保証するために用い、試験治具は電子部品の製造工程における良品選別のための測定に用いる。具体的には、各ポートについて、試験治具誤差を除去する散乱行列と基準治具誤差の散乱行列を合成した散乱行列（これを、「相対補正アダプタ」という。）をそれぞれ導出する。その相対補正アダプタを、試験治具測定値の散乱行列に対し合成することで、基準治具測定値の推定値を算出する。相対補正アダプタは、各ポートについて、それぞれ少なくとも３つの標準試料を、基準治具と試験治具の両方で測定し、その測定結果から計算できる（例えば、非特許文献１、２参照）。
【非特許文献１】ＧＡＫＵ ＫＡＭＩＴＡＮＩ（Ｍｕｒａｔａ ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ Ｃｏ．，Ｌｔｄ．） "Ａ ＭＥＴＨＯＤ ＴＯ ＣＯＲＲＥＣＴ ＤＩＦＦＥＲＥＮＣＥ ＯＦ ＩＮ−ＦＩＸＴＵＲＥ ＭＥＡＳＵＲＥＭＥＮＴＳ ＡＭＯＮＧ ＦＩＸＴＵＲＥＳ ＯＮ ＲＦ ＤＥＶＩＣＥＳ" ＡＰＭＣ Ｖｏｌ．２， ｐ１０９４−１０９７， ２００３
【非特許文献２】Ｊ．Ｐ．ＤＵＮＳＭＯＲＥ， Ｌ．ＢＥＴＴＳ （Ａｇｉｌｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ） "ＮＥＷ ＭＥＴＨＯＤＳ ＦＯＲ ＣＯＲＲＥＬＡＴＩＮＧ ＦＩＸＴＵＲＥＤ ＭＥＡＳＵＲＥＭＥＮＴＳ" ＡＰＭＣ Ｖｏｌ．１， ｐ５６８−５７１， ２００３
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
相対補正アダプタは、線形回路網モデルを用い、伝達関数は周波数によって変化せず一定であることを前提として導出されている。そのため、高周波電気特性測定系における線形的な治具間差異要因は補正できる。
【０００８】
しかし、例えば測定時に試料に加えられた荷重によって試料の電気特性が変化したり、治具のポート間において無視し得ない大きさの漏洩が発生したりするといった非線形的な治具間差異要因までは、補正アダプタでは補正できない。そのため、試験治具に実装した状態での測定値から相対補正アダプタを適用して算出した基準治具に実装した状態での測定値の推定値には、測定周波数によって大きさが変動する誤差（以下、「残留誤差」という。）が残存する。特に、構造の大きく異なる治具間について補正を行う場合には、残留誤差が拡大する。
【０００９】
電子部品の製造工程において、相対補正アダプタを適用して電子部品の良品選別を行った場合、残留誤差は製品の歩留まりを低下させる要因となる。そのため、補正精度の向上が望まれる。
【００１０】
本発明は、上記実情に鑑み、補正精度を向上することができる、測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した測定誤差の補正方法を提供する。
【００１２】
測定誤差の補正方法は、第１ないし第６のステップを備える。前記第１のステップにおいて、試験治具に実装した状態と基準治具に実装した状態とで、相対補正データ取得用試料をそれぞれ測定する。前記第２のステップにおいて、前記第１のステップでの測定結果に基づき、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出するための第１の数式を求める。前記第３のステップにおいて、周波数ごとに、前記試験治具に実装した状態と前記基準治具に実装した状態とで、残留誤差補正データ取得用試料をそれぞれ測定する。前記第４のステップにおいて、前記第３のステップでの測定結果に基づき、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて算出した前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値に含まれる誤差を算出するための第２の数式を求める。前記第５のステップにおいて、任意の電子部品について、前記試験治具に実装した状態で測定する。前記第６のステップにおいて、前記第５のステップでの測定結果に基づき、当該電子部品について、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出し、該推定値を前記第２の数式を用いて補正する。前記第２の数式は多項式である。
【００１３】
上記方法において、第３のステップでは、第２の数式（多項式）の次数に応じた最低個数（次数＋１個）以上の残留誤差補正データ取得用試料を、試験治具に実装した状態と基準治具に実装した状態とでそれぞれ測定し、第４ステップでは、第３ステップでの測定結果から、多項式の係数を決定する。第２の数式が多項式であれば、第４のステップは、計算機を用いて計算処理を簡単に行うことができる。
【００１４】
上記第２ステップにおいて、第１の数式は各測定周波数毎に定義される。しかし、試験治具に実装した状態での測定値から第１の数式を用いて算出した基準治具に実装した状態での測定値の推定値には、各測定周波数毎に大きさが異なる誤差（すなわち、残留誤差）を含むことがある。このような残留誤差は、第２の数式を用いて補正することができる。
【００１５】
また、本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した測定誤差の補正方法を提供する。
【００１６】
測定誤差の補正方法は、第１ないし第６のステップを備える。前記第１のステップにおいて、試験治具に実装した状態と基準治具に実装した状態とで、相対補正データ取得用試料をそれぞれ測定する。前記第２のステップにおいて、前記第１のステップでの測定結果に基づき、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出するための第１の数式を求める。前記第３のステップにおいて、周波数ごとに、前記試験治具に実装した状態と前記基準治具に実装した状態とで、残留誤差補正データ取得用試料をそれぞれ測定する。前記第４のステップにおいて、前記第３のステップでの測定結果に基づき、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて算出した前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値に含まれる誤差を算出するための第２の数式を求める。前記第５のステップにおいて、任意の電子部品について、前記試験治具に実装した状態で測定する。前記第６のステップにおいて、前記第５のステップでの測定結果に基づき、当該電子部品について、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出し、該推定値を前記第２の数式を用いて補正する。前記第２の数式は有理式である。
【００１７】
上記方法において、第３のステップでは、第２の数式（有理式）の次数に応じた最低個数以上の残留誤差補正データ取得用試料を、試験治具に実装した状態と基準治具に実装した状態とでそれぞれ測定し、第４ステップでは、第３ステップでの測定値から有理式の係数を決定する。第２の数式が有理式であれば、第４のステップは計算機を用いて計算処理を簡単に行うことができる。
【００１８】
上記第２ステップにおいて、第１の数式は各測定周波数毎に定義される。しかし、試験治具に実装した状態での測定値から第１の数式を用いて算出した基準治具に実装した状態での測定値の推定値には、各測定周波数毎に大きさが異なる誤差（すなわち、残留誤差）を含むことがある。このような残留誤差は、第２の数式を用いて補正することができる。
【００１９】
好ましくは、上記各方法において、上記第２の数式が１次式である。
【００２０】
ここで、多項式が１次式であるとは、指数が１のパラメータにかけあわせる係数が０以外であり、指数が２以上のパラメータにかけあわせる項がない場合をいう。有理式が１次式であるとは、有理式を多項式の商で表したとき、分母が１次の多項式となり、分子が０次又は１次の多項式となる場合である。
【００２１】
残留誤差の補正精度は、第２の数式が１次式であれば、実用上十分である。残留誤差補正データ取得用試料の個数が少なくてすむため、第３ステップでの残留誤差補正データ取得用試料の測定時間を短縮することができる。残留誤差補正データ取得用試料の個数が少なくなれば、残留誤差補正データ取得用試料を管理する負担も軽減される。
【００２２】
また、本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した電子部品特性測定装置を提供する。
【００２３】
電子部品測定装置は、電子部品を試験治具に実装した状態で測定した結果から、当該電子部品を基準治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するタイプのものである。電子部品特性測定装置は、記憶手段と、第１の数式決定手段と、第２の数式決定手段と、電気特性推定手段とを備える。前記記憶手段は、前記基準治具に実装した状態で、相対補正データ取得用試料を測定した第１の測定結果と、周波数ごとに、前記基準治具に実装した状態で、残留誤差補正データ取得用試料を測定した第２の測定結果とを格納する。前記第１の数式決定手段は、前記記憶手段に格納された前記第１の測定結果と、前記試験治具に実装した状態で、前記相対補正データ取得用試料を測定した測定結果とに基づき、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出するための第１の数式を決定する。前記第２の数式決定手段は、前記記憶手段に格納された前記第２の測定結果と、周波数ごとに、前記試験治具に実装した状態で、前記残留誤差補正データ取得用試料を測定した測定結果とに基づき、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて算出した前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値に含まれる誤差を算出するための第２の数式を決定する。前記電気特性推定手段は、任意の電子部品について、前記試験治具に実装した状態で測定した測定結果に基づき、当該電子部品について、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出し、該推定値を前記第２の数式を用いて補正する。前記第２の数式は多項式である。
【００２４】
上記構成において、第２の数式決定手段は、第２の数式（多項式）の次数に応じた最低個数（次数＋１個）以上の残留誤差補正データ取得用試料を、試験治具に実装した状態と基準治具に実装した状態とでそれぞれ測定した測定結果から、多項式の係数を決定する。第２の数式が多項式であれば、第２の数式決定手段は、計算処理を簡単に行うことができる。
【００２５】
上記構成において、第１の数式は各測定周波数毎に定義される。しかし、試験治具に実装した状態での測定値から第１の数式を用いて算出した基準治具に実装した状態での測定値の推定値には、各測定周波数毎に大きさが異なる誤差（すなわち、残留誤差）を含むことがある。このような残留誤差は、第２の数式を用いて補正することができる。
【００２６】
また、本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した電子部品特性測定装置を提供する。
【００２７】
電子部品特性測定装置は、電子部品を試験治具に実装した状態で測定した結果から、当該電子部品を基準治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するタイプのものである。電子部品特性測定装置は、記憶手段と、第１の数式決定手段と、第２の数式決定手段と、電気特性推定手段とを備える。前記記憶手段は、前記基準治具に実装した状態で、相対補正データ取得用試料を測定した第１の測定結果と、周波数ごとに、前記基準治具に実装した状態で、残留誤差補正データ取得用試料を測定した第２の測定結果とを格納する。前記第１の数式決定手段は、前記記憶手段に格納された前記第１の測定結果と、前記試験治具に実装した状態で、前記相対補正データ取得用試料を測定した測定結果とに基づき、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出するための第１の数式を決定する。前記第２の数式決定手段は、前記記憶手段に格納された前記第２の測定結果と、周波数ごとに、前記試験治具に実装した状態で、前記残留誤差補正データ取得用試料を測定した測定結果とに基づき、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて算出した前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値に含まれる誤差を算出するための第２の数式を決定する。前記電気特性推定手段は、任意の電子部品について、前記試験治具に実装した状態で測定した測定結果に基づき、当該電子部品について、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出し、該推定値を前記第２の数式を用いて補正する。前記第２の数式は有理式である。
【００２８】
上記構成において、第２の数式決定手段は、第２の数式（有理式）の次数に応じた最低個数以上の残留誤差補正データ取得用試料を、試験治具に実装した状態と基準治具に実装した状態とでそれぞれ測定した測定結果から、有理式の係数を決定する。第２の数式が有理式であれば、第２の数式決定手段は、計算処理を簡単に行うことができる。
【００２９】
上記構成において、第１の数式は各測定周波数毎に定義される。しかし、試験治具に実装した状態での測定値から第１の数式を用いて算出した基準治具に実装した状態での測定値の推定値には、各測定周波数毎に大きさが異なる誤差（すなわち、残留誤差）を含むことがある。このような残留誤差は、第２の数式を用いて補正することができる。
【００３０】
好ましくは、上記各構成において、上記第２の数式が１次式である。
【００３１】
ここで、多項式が１次式であるとは、指数が１のパラメータにかけあわせる係数が０以外であり、指数が２以上のパラメータにかけあわせる項がない場合をいう。有理式が１次式であるとは、有理式を多項式の商で表したとき、分母が１次の多項式となり、分子が０次又は１次の多項式となる場合である。
【００３２】
残留誤差の補正精度は、第２の数式が１次式であれば、実用上十分である。残留誤差補正データ取得用試料の個数が少なくてすむため、残留誤差補正データ取得用試料の測定時間を短縮することができる。残留誤差補正データ取得用試料の個数が少なくなれば、残留誤差補正データ取得用試料を管理する負担も軽減される。
【００３３】
また、本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した電子部品特性測定装置を提供する。
【００３４】
電子部品測定装置は、電子部品を試験治具に実装した状態で測定した結果から、当該電子部品を基準治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するタイプのものである。電子部品特性測定装置は、記憶手段と、電気特性推定手段とを備える。前記記憶手段は、ａ）前記基準治具に実装した状態で、相対補正データ取得用試料を測定した第１の測定結果と、前記試験治具に実装した状態で、前記相対補正データ取得用試料を測定した測定結果とに基づき決定された、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出するための第１の数式と、ｂ）周波数ごとに、前記基準治具に実装した状態で、残留誤差補正データ取得用試料を測定した第２の測定結果と、周波数ごとに、前記試験治具に実装した状態で、前記残留誤差補正データ取得用試料を測定した測定結果とに基づき決定された、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて算出した前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値に含まれる誤差を算出するための第２の数式とを記憶する。前記電気特性推定手段は、任意の電子部品について、前記試験治具に実装した状態で測定した測定結果に基づき、当該電子部品について、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出し、該推定値を前記第２の数式を用いて補正する。前記第２の数式は多項式である。
【００３５】
上記構成において、第２の数式（多項式）の次数に応じた最低個数（次数＋１個）以上の残留誤差補正データ取得用試料を、試験治具に実装した状態と基準治具に実装した状態とでそれぞれ測定した測定結果から、多項式の係数が決定される。
【００３６】
上記構成において、第１の数式は各測定周波数毎に定義される。しかし、試験治具に実装した状態での測定値から第１の数式を用いて算出した基準治具に実装した状態での測定値の推定値には、各測定周波数毎に大きさが異なる誤差（すなわち、残留誤差）を含むことがある。このような残留誤差は、第２の数式を用いて補正することができる。
【００３７】
また、本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した電子部品特性測定装置を提供する。
【００３８】
電子部品特性測定装置は、電子部品を試験治具に実装した状態で測定した結果から、当該電子部品を基準治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するタイプのものである。電子部品特性測定装置は、記憶手段と、電気特性推定手段とを備える。前記記憶手段は、ａ）前記基準治具に実装した状態で、相対補正データ取得用試料を測定した第１の測定結果と、前記試験治具に実装した状態で、前記相対補正データ取得用試料を測定した測定結果とに基づき決定された、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出するために第１の数式と、ｂ）周波数ごとに、前記基準治具に実装した状態で、残留誤差補正データ取得用試料を測定した第２の測定結果と、周波数ごとに、前記試験治具に実装した状態で、前記残留誤差補正データ取得用試料を測定した測定結果とに基づき決定された、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて算出した前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値に含まれる誤差を算出するための第２の数式とを記憶する。前記電気特性推定手段は、任意の電子部品について、前記試験治具に実装した状態で測定した測定結果に基づき、当該電子部品について、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出し、該推定値を前記第２の数式を用いて補正する。前記第２の数式は有理式である。
【００３９】
上記構成において、第２の数式（有理式）の次数に応じた最低個数以上の残留誤差補正データ取得用試料を、試験治具に実装した状態と基準治具に実装した状態とでそれぞれ測定した測定結果から、有理式の係数が決定される。
【００４０】
上記構成において、第１の数式は各測定周波数毎に定義される。しかし、試験治具に実装した状態での測定値から第１の数式を用いて算出した基準治具に実装した状態での測定値の推定値には、各測定周波数毎に大きさが異なる誤差（すなわち、残留誤差）を含むことがある。このような残留誤差は、第２の数式を用いて補正することができる。
【００４１】
好ましくは、上記各構成において、上記第２の数式が１次式である。
【００４２】
ここで、多項式が１次式であるとは、指数が１のパラメータにかけあわせる係数が０以外であり、指数が２以上のパラメータにかけあわせる項がない場合をいう。有理式が１次式であるとは、有理式を多項式の商で表したとき、分母が１次の多項式となり、分子が０次又は１次の多項式となる場合である。
【００４３】
残留誤差の補正精度は、第２の数式が１次式であれば、実用上十分である。残留誤差補正データ取得用試料の個数が少なくてすむため、残留誤差補正データ取得用試料の測定時間を短縮することができる。残留誤差補正データ取得用試料の個数が少なくなれば、残留誤差補正データ取得用試料を管理する負担も軽減される。
【発明の効果】
【００４４】
本発明の測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置は、補正精度を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４５】
以下、本発明の実施の形態について、図１〜図８を参照しながら説明する。
【００４６】
図５（ａ）及び（ｂ）に示すように、電子部品は、異なる測定系１０，２０で測定する。いずれの測定系１０，２０においても、治具１６，２６の実装部１８，２８に電子部品を実装した状態で、測定装置１２，２２を用いて電気特性の測定を行う。測定時には、治具１６，２６に設けられた同軸コネクタ１７ａ，１７ｂ，１７ｃ；２７ａ，２７ｂ，２７ｃに、測定装置１２，２２に接続された同軸ケーブル１３ａ，１３ｂ，１３ｃ；２３ａ，２３ｂ，２３ｃの先端に設けられた同軸コネクタ１４ａ，１４ｂ，１４ｃ；２４ａ，２４ｂ，２４ｃを接続する。
【００４７】
図示していないが、治具１６，２６の実装部１８，２８には、電子部品の各端子にそれぞれ圧接する接続端子が設けられ、その接続端子が同軸コネクタ１７ａ，１７ｂ，１７ｃ；２７ａ，２７ｂ，２７ｃにそれぞれ電気的に接続されている。
【００４８】
測定装置１２，２２は、予め、同軸コネクタ１４ａ，１４ｂ，１４ｃ；２４ａ，２４ｂ，２４ｃに、既知の電気特性を有する標準器（例えば、同軸形状の電子部品）を接続してキャリブレーションを行う。したがって、測定装置１２、２２が同一であってもよい。
【００４９】
測定装置１２，２２には、例えばベクトル・ネットワーク・アナライザ（ＶＮＡ）を用いる。ＶＮＡは、複数のポートを有し高周波で用いられる電子部品の電気特性を単に測定するだけでなく、測定した生データを任意に設定したプログラムにより演算して出力する機能も備え、演算に用いるデータやプログラムを適宜に入力することができる。
【００５０】
一方の測定系１０の治具１６（以下、「基準治具１６」と言う。）は、例えばユーザに対して電気特性を保証するために用いる。他方の測定系２０の治具２６（以下、「試験治具２６」と言う。）は、例えば電子部品の製造工程における良品選別のための測定に用いる。
【００５１】
基準治具１６に実装して測定系１０で測定したときの電子部品の電気特性の測定値（以下、「基準治具測定値」という。)と、試験治具２６に実装して測定系２０で測定したときの電子部品の電気特性の測定値（以下、「試験治具測定値」という。）とは、それぞれ測定誤差を含む。同軸コネクタ１４ａ，１４ｂ，１４ｃ；２４ａ，２４ｂ，２４ｃから測定装置１２，２２側は、標準器を接続して予めキャリブレーションを行っているので、治具１６，２６の測定誤差を相対補正法によって補正することができる。
【００５２】
すなわち、予め、治具１６，２６間の相対的な測定誤差を補正する相対補正アダプタ（第１の数式)を導出しておく。そして、任意の電子部品について、試験治具２６に実装し、測定装置２２を用いて測定した試験治具測定値から、予め導出した補正アダプタ（第１の数式)を用いて、その電子部品を基準治具１６に実装して測定したならば得られるであろう基準治具測定値の推定値を算出する。
【００５３】
〔相対補正法〕
ここで、電子部品を試験治具２６に実装して測定した試験治具測定値から、相対補正アダプタを用いて、基準治具１６に実装して測定した基準治具測定値の推定値を算出する相対補正法の基本原理について、説明する。以下では、簡単のため、２ポート間の電気特性について２端子対回路を例に説明するが、ｎ端子対回路（ｎは、１、又は３以上の整数）に対しても拡張することができる。
【００５４】
図６（ａ）は、２ポートの電子部品（以下、「試料ＤＵＴ」と言う。）を実装した基準治具１６の２端子対回路を示す。試料ＤＵＴの特性を散乱行列（ＳＤＵＴ）で表している。基準治具１６における同軸コネクタと試料ＤＵＴのポートとの間の誤差特性を散乱行列（ＥＤ１），（ＥＤ２）で表している。回路の両側の端子において、基準治具に試料ＤＵＴを実装した基準状態での測定値Ｓ１１Ｄ，Ｓ２１Ｄが得られる。
【００５５】
図６（ｂ）は、試料ＤＵＴを実装した試験治具２６の２端子対回路を示す。試料ＤＵＴの特性を散乱行列（ＳＤＵＴ）で表している。試験治具２６における同軸コネクタと試料ＤＵＴのポートとの間の誤差特性を散乱行列（ＥＴ１），（ＥＴ２）で表している。回路の両側の端子において、試験治具に試料ＤＵＴを実装した基準状態での測定値Ｓ１１Ｔ，Ｓ２１Ｔが得られる。
【００５６】
図６（ｃ）は、図６（ｂ）の回路の両側に、誤差特性（ＥＴ１），（ＥＴ２）を中和するアダプタ（ＥＴ１）−１，（ＥＴ２）−１を接続した状態を示す。このアダプタ（ＥＴ１）−１，（ＥＴ２）−１は、理論上は、誤差特性の散乱行列（ＥＴ１），（ＥＴ２）を伝送行列に変換し、その逆行列を求め、再度散乱行列に変換することにより得られる。誤差特性（ＥＴ１），（ＥＴ２）とアダプタ（ＥＴ１）−１，（ＥＴ２）−１との間の境界部分３０，３２において、試験治具２６に試料ＤＵＴを実装して測定した試験治具測定値Ｓ１１Ｔ，Ｓ２１Ｔが得られる。図６（ｃ）の回路は、試験治具２６の誤差が除去され、回路の両側の端子において、試料ＤＵＴそのものの測定値Ｓ１１ＤＵＴ，Ｓ２１ＤＵＴが得られる。
【００５７】
図６（ｃ）の回路は試料ＤＵＴのみと等価であるので、図６（ａ）と同様に、両側に、基準治具１６の誤差特性の散乱行列（ＥＤ１），（ＥＤ２）を接続すると、図７（ａ）のようになる。
【００５８】
図７（ａ）において符号３４で示した（ＥＤ１），（ＥＴ１）−１を合成した散乱行列を（ＣＡ１）とし、符号３６で示した（ＥＴ２）−１，（ＥＤ２）を合成した散乱行列を（ＣＡ２）とすると、図７（ｂ）のようになる。これらの散乱行列（ＣＡ１），（ＣＡ２）は、いわゆる「相対補正アダプタ」であり、試験治具測定値Ｓ１１Ｔ，Ｓ２１Ｔと基準治具測定値Ｓ１１Ｄ，Ｓ２１Ｄとを関係付ける。したがって、相対補正アダプタ（ＣＡ１），（ＣＡ２）が決まれば、任意の電子部品を試験治具に実装した状態での測定値Ｓ１１Ｔ，Ｓ２１Ｔから、相対補正アダプタ（ＣＡ１），（ＣＡ２）を用いて、基準治具測定値Ｓ１１Ｄ，Ｓ２１Ｄを算出（推定）することができる。
【００５９】
各相対補正アダプタ（ＣＡ１），（ＣＡ２）は、それぞれ、４つの係数ｃ００，ｃ０１，ｃ１０，ｃ１１；ｃ２２，ｃ２３，ｃ３２，ｃ３３を含むが、相反定理により、ｃ０１＝ｃ１０、ｃ２３＝ｃ３２となる。したがって、従来は、各ポートについて、特性の異なった３種類の１ポート標準試料(補正データ取得用試料)を基準治具１６と基準治具２６とに実装して測定し、各係数ｃ００，ｃ０１，ｃ１０，ｃ１１；ｃ２２，ｃ２３，ｃ３２，ｃ３３を決定していた。
【００６０】
〔残留誤差の補正〕
上述したように、試験治具に実装した状態で電子部品の特性（試験治具測定値）を測定し、その測定結果に相対補正アダプタを適用して、基準治具に実装した状態での特性（基準治具測定値）を推定することができる。しかし、実際には、試料の電気特性測定時に試料に加えられる荷重によって生じる試料の電気特性変化や無視し得ない大きさの治具のポート間漏洩といった非線形的な治具間差異要因のため、相対補正アダプタを用いただけでは、試験治具測定値を基準治具測定値に完全に補正することができず、残留誤差（基準治具測定値の推定値と実測値と誤差）が残る。そこで、残留誤差補正式（第２の数式）を用いて補正精度の向上を図る。
【００６１】
次に、残留誤差補正式を用いて補正精度を向上する場合の手順の概要について、説明する。
【００６２】
まず、例えば少なくとも３個の補正データ取得用試料を、基準治具と試験治具の双方で測定し、その測定結果より、試験治具で測定した試験治具測定値から基準治具で測定したならば得られるであろう基準治具測定値の推定値を導出するための相対補正アダプタ（第１の数式）を算出する。
【００６３】
次に、測定対象と類似した特性を持つ任意の試料（以下、「残留誤差補正データ取得用試料」という。）を、基準治具と試験治具の双方で測定する。そして、試験治具で測定した試験治具測定値から、相対補正アダプタを用い、基準治具で測定したならば得られるであろう基準治具測定値（推定値）を算出し、実際に基準治具で測定したときの測定値（実測値）との差、すなわち残留誤差を求める。周波数ごとに、測定と残留誤差の算出を行い、周波数をパラメータとして残留誤差の近似関数、すなわち残留誤差補正式（第２の数式）を求める。
【００６４】
そして、測定対象の試料について、試験治具に実装した状態で測定し、その試験治具測定値に相対補正アダプタを適用して、基準治具で測定したならば得られるであろう基準治具測定値（推定値）を算出し、これに対して、残留誤差の近似関数（残留誤差補正式）を用いて算出した残留誤差の予測値をオフセットとして加える。
【００６５】
次に、残留誤差補正式（第２の数式）には多項式又は有理式を用いることができることを説明する。
【００６６】
〔多項式による補正〕
周波数ｆにおいて、次式を想定する。
【数１】
ここで、Ｓｄは図５に示したような、電気部品の電気特性を測定する測定系において、補正アダプタ法の適用対象試料を基準治具に実装した状態で測定したときの測定値（以下、「基準治具測定値」という。）、Ｓｔは同じく補正アダプタ法の適用対象試料を試験治具に実装した状態で測定したときの測定値（以下、「試験治具測定値」という。）、ｇ（）は補正アダプタ法による変換関数、εは残留誤差であり、それぞれ複素数である。
【００６７】
（１）式を複素数ｚの関数と考えると、任意の測定値ａの周辺ではテイラーの公式より以下が成り立つ。
【数２】
ここで、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは、定数である。
【００６８】
ｚを狭い範囲で考えると、（２）式は少ない次数の項までで近似できる。近似に必要な次数を設定し、（次数＋１）個の残留誤差補正データ取得用試料の測定を行い、測定値と誤差の連立方程式を解くことにより、εを求めることができる。
【００６９】
具体例として、（２）式が１次式の場合には、次の（３）のような形で表すことができる。
【数３】
【００７０】
（３）式を（１）式に代入すれば、すなわち、補正アダプタを適用して求めた基準治具測定値の推定値ｇ（Ｓｔ）について、Ｓｔの関数として求めたεを加算すれば、試験治具測定値Ｓｔから基準治具測定値Ｓｄを推定することができる。
【００７１】
残留誤差補正式、すなわち、残留誤差補正データ取得用試料を用いて定数Ａ，Ｂを求めた（３）式を、その他の試料の残留誤差の補正に用いることにより、残留誤差を低減することができる。すなわち、補正アダプタを適用して求めた基準治具測定値の推定値ｇ（Ｓｔ）に、残留誤差補正データ取得用試料の測定から求めた残留誤差の予測式である残留誤差補正式を用いて算出した残留誤差の予測値を加算する補正を行う。これにより、試料測定時における補正アダプタ法の残留誤差を低減することができる。
【００７２】
次に、このような残留誤差補正方法の妥当性について検証する。
【００７３】
伝達系における代表的な誤差要因としては、ポート間の漏洩（Ｌｅａｋａｇｅ）が挙げられる。漏洩はシグナルフローダイヤグラムにおいてモデル化はされているものの、正確には表現できないため、現実の測定においては十分に小さい（換言すれば、寄与しない）ことを前提としている。測定系が全て同軸系で完結していれば、このような扱いでも間題を生じないが、現実に高周波デバイスを運用する環境は表面実装などであるため、漏洩が常に十分に小さいとは言えないのが現状である。
【００７４】
図１に、漏洩が存在する場合のシグナルフローダイヤグラムを示す。式を簡潔に表現するため、入力側の治具の挿入損失は出力側の治具の挿入損失と一体にして扱う。図１における試料（ＤＵＴ）の伝達係数Ｓ２１ＤＵＴと、漏洩が重畳されて測定される伝達係数Ｓ２１Ｍの関係は、次の（４）式で表せる。なお、（４）式では、４個以上の変数の積から構成される項を省略している。
【数４】
【００７５】
（４）式において、本来の伝達係数は、Ｅ２１ＦＳ２１ＤＵＴ＝Ｓ２１ｄと表せるので、漏洩によって発生する誤差の補正式は、次の（５）式のように表せる。
【数５】
【００７６】
（５）式は次の（６）式のように表せる。
【数６】
ここで（１）式より、Ｓ２１ｄ−ｇ（Ｓ２１ｔ）＝εと表せるので、（６）式は次の（７）式のように変形できる。
【数７】
【００７７】
ここで−ＥＸＦ／（１−ＥＸＦ）をＡ、ＥＸＦ／（１−ＥＸＦ）をＢと見なすと、（７）式は（５）式を（３）式の形式で表現したものと言える。したがって、主に漏洩によって発生する伝達係数における補正アダプタ法残留誤差の補正には、多項式による補正が有効なことが分かる。
【００７８】
なお、上述した補正式は、テイラー展開に基づく誤差の近似による一般的な補正式であるため、反射係数の補正の場合においても有効なことは明らかである。
【００７９】
〔有理式による補正〕
補正アダプタ法は高周波電気特性測定系における線形的な治具間差異要因を補正できるが、何らかの要因により反射系において誤差要因が残留した場合、補正アダプタ法により推定された値であるｇ（Ｓｔ）がその残留した誤差によって受ける影響は、３つのパラメータで表現され、本来推定するべき値であるＳｄとは、図２に示すような関係を有する。
【００８０】
すなわち、本来の反射係数Ｓｄと、残留した誤差要因が重畳されて測定された反射係数ｇ（Ｓｔ）との間の関係は、次の（８）式で表せる。
【数８】
【００８１】
したがって、誤差要因を補正する関係式は（８）式を整理することで得られ、次の（９）式のように表される。ここで、Ａ，Ｂ，Ｃは定数であり、以下に説明するようにしてこれらを求めることで、補正を行なうことができる。
【数９】
【００８２】
（９）式を解くのに必要な数量（３個＝未知の定数）の残留誤差補正データ取得用試料について測定を行い、連立方程式を解いて上記の未知の定数Ａ，Ｂ，Ｃを導出し、補正アダプタ法適用済みの試験治具測定値Ｓｔと、基準治具測定値Ｓｄとの間の補正式を導出する。
【００８３】
上記方法によりＡ，Ｂ，Ｃを決定した（９）式を、その他試料の補正アダプタ法適用結果に適用することにより、試料測定時における補正アダプタ法残留誤差を低減することができる。
【００８４】
導出過程から明らかなように、有理式を用いた補正は、反射係数（反射波）において発生する誤差要因の補正に適しているが、伝達係数（伝達波）の補正においても有効である。すなわち、伝達係数の測定経路は反射係数のそれを含んでいるため、反射系において発生した誤差要因は伝達系においても寄与を生じ得るためである。
【００８５】
〔電子部品特性測定装置〕
次に、測定装置１２，２２の構成について、図８のブロック図を参照しながら説明する。
【００８６】
測定装置１２，２２は、表示部５２と、操作部５４と、測定部５６と、制御部５８と、記憶部６０と、演算部６２と、インターフェース部６４とを備える。
【００８７】
表示部５２は、表示パネル等を含み、測定装置１２，２２の動作状況や操作指示などを表示する。操作部５４は、ボタンやスイッチなどを含み、オペレータからの電子部品測定装置１２，２２に対する操作を受け付ける。測定部５６は、同軸ケーブル１３ａ〜１３ｃ；２３ａ〜２３ｃ及び治具１６，２６を介して電子部品の端子に接続され、電子部品の端子を適宜に選択して信号を入力し出力信号を測定する。制御部５８は、測定装置１２，２２全体の制御を統括する。記憶部６０には、制御部５８や演算部６２を動作させるためのプログラム、測定部５６からの測定データ、演算部６２の演算結果データなどが格納される。演算部６２は、測定部５６からのデータや記憶部６０に格納されたデータを用い、所定のプログラムに従って演算を行う。インターフェース部６４は、外部機器とデータを送受信するためのインターフェースであり、記憶部６０に格納するためのデータやプログラムや、演算部６２からの演算結果データなどを受け付け、入出力を行う。
【００８８】
測定装置１２，２２は、記憶部６０に格納されたプログラムに従って動作する。測定装置１２，２２は、校正モードと測定モードを含む複数の動作モードで動作させることができる。
【００８９】
校正モードでは、基準治具１６と試験治具２６との間の相対的な測定誤差を補正するためのデータを取得し、電気特性を推定するための第１及び第２の数式を決定する。すなわち、測定部５６は、基準治具１６や試験治具２６に、標準試料、相対補正データ取得用試料又は残留誤差補正データ取得用試料が実装された状態で、順次、電気特性の測定を行う。このとき、例えば表示部５２に測定対象の試料の種別が表示される。オペレータは、表示された測定対象の準備が完了すると、操作部５４を操作する。この操作を操作部５４が受け付けると、測定部５６は測定を開始し、測定データは記憶部６０に格納される。
【００９０】
演算部６２は、記憶部６０に格納された測定データを、適宜なタイミングで読み出して、補正アダプタ（ＣＡ１），（ＣＡ２）などについて演算し、電気特性を推定するための第１の数式を決定する。また、演算部６２は、記憶部６０に格納された残留誤差補正データ取得用試料を測定したデータを読み出し、残留誤差補正データ取得用試料について、測定部５６で測定した基準治具測定値（実測値）と、測定部５６で測定した試験治具測定値に第１の数式を用いて算出した基準治具測定値（測定値）とから、第２の数式を決定する。
【００９１】
測定モードでは、試験治具２６を用いた試験状態の測定データから、基準治具１６を用いた基準状態での電気特性を推定する。すなわち、測定部５６は、試験治具２６に任意の電子部品が実装された状態で測定を行う。演算部６２は、測定部５６からの測定データから、その電子部品の電気特性の推定値を算出する。このとき、演算部６２は、校正モードで決定された第１及び第２の数式を記憶部６０から読み出し、それらの数式を用いて、電子部品の電気特性の推定値を算出する。算出された推定値は、表示部５２に表示されたり、インターフェース部６４から外部機器に出力されたりする。
【００９２】
なお、標準試料、相対補正データ取得用試料、残留誤差補正データ取得用試料を基準治具１６に実装して測定したデータは、試験治具２６を含む測定系２０の測定装置２２の記憶部６０に記憶しておくようにしてもよい。この場合、校正モードにおいて、標準試料、相対補正データ取得用試料、残留誤差補正データ取得用試料を試験治具２６に実装したときの測定値は測定装置２２を用いて測定し、基準治具１６に実装したときの測定値については、記憶部６０に記憶されているデータを用いる。個々の測定装置２２で標準試料、相対補正データ取得用試料、残留誤差補正データ取得用試料を基準治具１６に実装して測定する必要がないので、測定装置２２の台数を容易に増やすことができる。
【００９３】
さらには、基準治具１６や試験治具２６を別の測定装置に接続して、相対補正データ取得用試料や残留誤差補正データ取得用試料を測定して相対補正アダプタ（第１の数式）や残留誤差補正式（第２の数式）を求め、そのようにして求めた相対補正アダプタ（第１の数式）や残留誤差補正式（第２の数式）のデータを、試験治具２６を含む測定系２０の測定装置２２の記憶部６０に記憶しておくようにしてもよい。この場合、試験治具２６を含む測定系２０で、相対補正データ取得用試料や残留誤差補正データ取得用試料を試験治具２６に実装して測定する作業を省略することができる。
【実施例１】
【００９４】
実施例１として、表面弾性表面フィルタの反射波及び伝達波の治具間差異補正について説明する。
【００９５】
試料には表面弾性波フィルタ、基準治具には検査基板、試験治具にはプローブ治具を用いる。
【００９６】
まず、基準治具とする検査基板において、補正データ取得用試料３個の基準治具測定値を測定する。
【００９７】
補正データ取得用試料は、各ポートにおいて開放、短絡、終端を実現した試料であり、各ポート間は２５ｄＢ以上のアイソレーションを持つ。また、補正データ取得用試料の外形は、試料と同様に治具に実装して測定できるような形状とされている。
【００９８】
続いて、試験治具とするプローブ治具において、補正データ取得用試料３個の試験治具測定値を取得する。
【００９９】
取得した補正データ取得用試料の基準治具測定値及び試験治具測定値から、前述した相対補正法により、試料の試験治具測定値から基準治具測定値を推定する補正式（補正アダプタ）を導出する。
【０１００】
試料とは同一品種の、平均的な特性を持つ表面弾性波フィルタ２個を任意に選択し、それらの基準治具測定値を取得する。この２個の表面弾性波フィルタが、先に述べた残留誤差補正データ取得用試料である。この表面弾性波フィルタ２個（残留誤差補正データ取得用試料）については、上記補正アダプタを適用した状態での試験治具測定値の推定値も算出する。
【０１０１】
残留誤差補正データ取得用試料の測定により得られた表面弾性波フィルタの基準治具測定値及び上記補正アダプタを適用した状態での試験治具測定値から、前述した補正アダプタ法残留誤差補正式の（３）式における未知数を決定する。
【０１０２】
１個目の表面弾性波フィルタの基準治具測定値をＳｄ１、２個目の表面弾性波フィルタの基準治具測定値をＳｄ２、１個目の表面弾性フィルタの補正アダプタを適用した状態での試験治具測定値をＳｃ１、２個月の表面弾性波フィルタの補正アダプタを適用した状態での試験治具測定値をＳｃ２とする。Ｓｄ１、Ｓｄ２、Ｓｃ１、及びＳｃ２は、いずれもＳパラメータである。
【０１０３】
これらを（３）式に代入すると、以下の２式が得られる。
【数１０】
これらは、Ａ及びＢについての連立方程式であるので、これを解くことにより、（３）式における未知数Ａ及びＢを導出できる。
【０１０４】
続いて、測定対象試料の、補正アダプタ法を適用した状態での試験治具測定値を取得する。この試料の試験治具測定値を（３）式に代入して（（３）式におけるＡ、Ｂの値は、上で導出した値を用いる。）、補正アダプタ法を適用した試験治具測定値における残留誤差を予測し、試料の補正アダプタ法を適用した状態での試験治具測定値の推定値に加算する。
【０１０５】
これら基準治具測定値及び上記補正アダプタを適用した状態での試験治具測定値、及び補正アダプタ法残留誤差補正式の係数導出及び該補正アダプタ法残留誤差補正式による残留誤差の予測、補正アダプタ法を適用した状態での試料の試験治具測定値への加算は、測定している全Ｓパラメータについて行う。
【０１０６】
なお、残留誤差補正データ取得用試料の選別方法として、平均的な特性を持つ試料から任意に（無作為に）選択する場合を説明したが、母集団とする試料の特性分布を評価し、母集団の分散をより効果的に表現し得る試料を選別して残留誤差補正データ取得用試料とすれば、より高い補正精度を得られることは明らかである。
【０１０７】
また、補正アダプタ法残留誤差補正式の次数として１次式を選択する場合を説明したが、補正アダプタ法残留誤差が小さければ１次式である必要はなく、０次式でも十分な補正精度を得られる。したがって、残留誤差が小さい場合には、次数の低い補正式を運用することによって、測定が必要な残留誤差補正データ取得用試料の個数を減らし、残留誤差補正に伴う段取りを簡略化する一方、残留誤差が比較的大きい、もしくは残留誤差の特性が測定周波数に対して比較的複雑であれば１次式以上の補正式を適用して補正精度を確保するといった運用法の使い分けも可能である。
【０１０８】
図３に、試料（表面弾性波フィルタ）の基準治具測定値（Ｄｅｆｉｎｉｔｉｏｎ）、試験治具測定値（Ｔｅｓｔ）、補正アダプタ法を適用した状態での試験治具測定値（Ｃｏｒｒｅｃｔｅｄ＿Ａ）、補正アダプタ法を適用した上で本補正アダプタ法残留誤差補正法を適用した試料の試験治具測定値（Ｃｏｒｒｅｃｔｅｄ＿Ｂ）を、それぞれ示す。図３（ａ）は反射波、図３（ｂ）は伝達波について、それぞれ示す。
【０１０９】
反射波及び伝達波のいずれにおいても、治具間差異補正誤差（すなわち、基準治具測定値の推定値と実測値との差異）は、補正アダプタ法に本補正アダプタ法残留誤差補正法を併用した場合の方が、補正アダプタ法のみを適用した場合に比べて小さい。
【０１１０】
したがって、本補正アダプタ法残留誤差補正法が、反射波もしくは伝達波に関わらず、補正アダプタ法残留誤差の補正に有効であり、結果として治具間差異補正の補正精度向上に有効であることが分かる。
【実施例２】
【０１１１】
実施例２では、残留誤差の補正式に有理式を用いる。
【０１１２】
試料には表面弾性波フィルタ、基準治具には検査基板、試験治具にはプローブ治具をそれぞれ用いる。
【０１１３】
まず、基準治具とする検査基板において、補正データ取得用試料３個の基準治具測定値を測定する。
【０１１４】
補正データ取得用試料は、各ポートにおいて開放、短絡、終端を実現した試料であり、各ポート間は２５ｄＢ以上のアイソレーションを持つ。また、補正データ取得用試料の外形は、試料と同様に治具に実装して測定できるような形状とされている。
【０１１５】
続いて、試験治具とするプローブ治具において、補正データ取得用試料３個の試験治具測定値を取得する。
【０１１６】
上で取得した補正データ取得用試料の基準治具測定値及び試験治具測定値から、前述した相対補正法により、試料の試験治具測定値から基準治具測定値を推定する補正式（補正アダプタ）を導出する。
【０１１７】
試料とは同一品種の、平均的な特性を持つ表面弾性波フィルタ３個を任意に選択し、それらの基準治具測定値を取得する。この３個の表面弾性波フィルタが、先に述べた残留誤差補正データ取得用試料である。この表面弾性波フィルタ３個（残留誤差補正データ取得用試料）については、上記補正アダプタを適用した状態での試験治具測定値の推定値も算出する。
【０１１８】
残留誤差補正データ取得用試料の測定により得られた表面弾性波フィルタの基準治具測定値及び上記補正アダプタを適用した状態での試験治具測定値から、前述した補正アダプタ法残留誤差補正式の（９）式における未知数を決定する。
【０１１９】
１個目の表面弾性波フィルタの基準治具測定値をＳｄ１、２個目の表面弾性波フィルタの基準治具測定値をＳｄ２、３個目の表面弾性波フィルタの基準治具測定値をＳｄ３、１個目の表面弾性フィルタの補正アダプタを適用した状態での試験治具測定値をＳｃ１、２個目の表面弾性波フィルタの補正アダプタを適用した状態での試験治具測定値をＳｃ２、３個目の表面弾性波フィルタの補正アダプタを適用した状態での試験治具測定値をＳｃ３とする。Ｓｄ１、Ｓｄ２、Ｓｄ３、Ｓｃ１、Ｓｃ２、及びＳｃ３は、いずれもＳパラメータである。
【０１２０】
これらを（９）式に代入すると、以下の３式が得られる。
【数１１】
【０１２１】
これらはＡ、Ｂ及びＣについての連立方程式であるので、この３式を解くことによって（１１）式における未知数Ａ、Ｂ及びＣを全て導出できる。
【０１２２】
続いて試料の、補正アダプタ法を適用した状態での試験治具測定値を取得する。この試料の試験治具測定値を（９）式に代入して（（９）式における定数Ａ，Ｂ及びＣの値は、上で導出した値を用いる。）、補正アダプタ法を適用した試験治具測定値における残留誤差を予測し、試料の補正アダプタ法を適用した状態での試験治具測定値に加算する。
【０１２３】
これら基準治具測定値や試験治具測定値の測定、補正アダプタを適用した基準治具測定値の推定値の算出、残留誤差補正式の係数導出、残留誤差補正式を用いた残留誤差の予測、基準治具測定値の残留誤差分の補正は、測定している全Ｓパラメータについて行う。
【０１２４】
図４に、試料（表面弾性波フイルタ）の基準治具測定値（Ｄｅｆｉｎｉｔｉｏｎ）、試験治具測定値（Ｔｅｓｔ）、補正アダプタ法を適用した状態での試験治具測定値（Ｃｏｒｒｅｃｔｉｎ＿Ａ）、補正アダプタ法を適用した上で本補正アダプタ法残留誤差補正法を適用した試料の試験治具測定値（Ｃｏｒｒｅｃｔｉｏｎ＿Ｂ）を示す。図４（ａ）は反射波、図４（ｂ）は伝達波について、それぞれ示す。
【０１２５】
反射波及び弾性波のいずれにおいても、治具間差異補正誤差（すなわち、基準治具測定値の実測値と推定値との差異）は、補正アダプタを用いた相対補正法に、残留誤差補正式を用いて残留誤差分の補正を併用した場合の方が、補正アダプタを用いた相対補正法のみを適用した場合に比べて小さい。
【０１２６】
したがって、補正アダプタを用いた相対補正法に、残留誤差補正式を用いて残留誤差分の補正を併用することには、反射波もしくは伝達波に関わらず、残留誤差の補正に有効であり、結果として治具間差異補正の補正精度向上に有効であることが分かる。
【０１２７】
以上に説明したように、本発明の測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置は、相対補正法における残留誤差を補正することにより、補正精度を向上することができる。
【０１２８】
なお、本発明は、上記実施形態や実施例に限定されるものではなく、種々の変形を加えて実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１２９】
【図１】漏洩を含むシグナルフローダイヤグラムである。
【図２】反射系におけるシグナルフローダイヤグラムである。
【図３】補正結果を示すグラフである。（実施例１）
【図４】補正結果を示すグラフである。（実施例２）
【図５】測定系の構成図である。
【図６】誤差補正の基本原理を示す２端子対回路図である。
【図７】誤差補正の基本原理を示す２端子対回路図である。
【図８】測定装置のブロック図である。（実施例）
【符号の説明】
【０１３０】
１２ 測定装置（電子部品特性測定装置）
１６ 基準治具
２６ 試験治具
５２ 表示部
５４ 操作部
５６ 測定部
５８ 制御部
６０ 記憶部（記憶手段）
６２ 演算部（第１の数式決定手段、第２の数式決定手段、電気特性推定手段）
６４ インターフェース部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試験治具に実装した状態と基準治具に実装した状態とで、相対補正データ取得用試料をそれぞれ測定する、第１のステップと、
前記第１のステップでの測定結果に基づき、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出するための第１の数式を求める、第２のステップと、
周波数ごとに、前記試験治具に実装した状態と前記基準治具に実装した状態とで、残留誤差補正データ取得用試料をそれぞれ測定する、第３のステップと、
前記第３のステップでの測定結果に基づき、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて算出した前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値に含まれる誤差を算出するための第２の数式を求める、第４のステップと、
任意の電子部品について、前記試験治具に実装した状態で測定する、第５のステップと、
前記第５のステップでの測定結果に基づき、当該電子部品について、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出し、該推定値を前記第２の数式を用いて補正する、第６のステップとを含み、
前記第２の数式は多項式であることを特徴とする、測定誤差の補正方法。
【請求項２】
試験治具に実装した状態と基準治具に実装した状態とで、相対補正データ取得用試料をそれぞれ測定する、第１のステップと、
前記第１のステップでの測定結果に基づき、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出するための第１の数式を求める、第２のステップと、
周波数ごとに、前記試験治具に実装した状態と前記基準治具に実装した状態とで、残留誤差補正データ取得用試料をそれぞれ測定する、第３のステップと、
前記第３のステップでの測定結果に基づき、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて算出した前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値に含まれる誤差を算出するための第２の数式を求める、第４のステップと、
任意の電子部品について、前記試験治具に実装した状態で測定する、第５のステップと、
前記第５のステップでの測定結果に基づき、当該電子部品について、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出し、該推定値を前記第２の数式を用いて補正する、第６のステップとを含み、
前記第２の数式は有理式であることを特徴とする、測定誤差の補正方法。
【請求項３】
上記第２の数式が１次式であることを特徴とする、請求項１又は２に記載の測定誤差の補正方法。
【請求項４】
電子部品を試験治具に実装した状態で測定した結果から、当該電子部品を基準治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、電子部品特性測定装置であって、
前記基準治具に実装した状態で、相対補正データ取得用試料を測定した第１の測定結果と、周波数ごとに、前記基準治具に実装した状態で、残留誤差補正データ取得用試料を測定した第２の測定結果とを格納する、記憶手段と、
前記記憶手段に格納された前記第１の測定結果と、前記試験治具に実装した状態で、前記相対補正データ取得用試料を測定した測定結果とに基づき、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出するための第１の数式を決定する、第１の数式決定手段と、
前記記憶手段に格納された前記第２の測定結果と、周波数ごとに、前記試験治具に実装した状態で、前記残留誤差補正データ取得用試料を測定した測定結果とに基づき、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて算出した前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値に含まれる誤差を算出するための第２の数式を決定する、第２の数式決定手段と、
任意の電子部品について、前記試験治具に実装した状態で測定した測定結果に基づき、当該電子部品について、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出し、該推定値を前記第２の数式を用いて補正する、電気特性推定手段とを備え、
前記第２の数式は多項式であることを特徴とする、電子部品特性測定装置。
【請求項５】
電子部品を試験治具に実装した状態で測定した結果から、当該電子部品を基準治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、電子部品特性測定装置であって、
前記基準治具に実装した状態で、相対補正データ取得用試料を測定した第１の測定結果と、周波数ごとに、前記基準治具に実装した状態で、残留誤差補正データ取得用試料を測定した第２の測定結果とを格納する、記憶手段と、
前記記憶手段に格納された前記第１の測定結果と、前記試験治具に実装した状態で、前記相対補正データ取得用試料を測定した測定結果とに基づき、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出するための第１の数式を決定する、第１の数式決定手段と、
前記記憶手段に格納された前記第２の測定結果と、周波数ごとに、前記試験治具に実装した状態で、前記残留誤差補正データ取得用試料を測定した測定結果とに基づき、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて算出した前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値に含まれる誤差を算出するための第２の数式を決定する、第２の数式決定手段と、
任意の電子部品について、前記試験治具に実装した状態で測定した測定結果に基づき、当該電子部品について、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出し、該推定値を前記第２の数式を用いて補正する、電気特性推定手段とを備え、
前記第２の数式は有理式であることを特徴とする、電子部品特性測定装置。
【請求項６】
上記第２の数式が１次式であることを特徴とする、請求項４又は５に記載の電子部品特性測定装置。
【請求項７】
電子部品を試験治具に実装した状態で測定した結果から、当該電子部品を基準治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、電子部品特性測定装置であって、
前記基準治具に実装した状態で、相対補正データ取得用試料を測定した第１の測定結果と、前記試験治具に実装した状態で、前記相対補正データ取得用試料を測定した測定結果とに基づき決定された、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出するための第１の数式と、周波数ごとに、前記基準治具に実装した状態で、残留誤差補正データ取得用試料を測定した第２の測定結果と、周波数ごとに、前記試験治具に実装した状態で、前記残留誤差補正データ取得用試料を測定した測定結果とに基づき決定された、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて算出した前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値に含まれる誤差を算出するための第２の数式とを記憶する、記憶手段と、
任意の電子部品について、前記試験治具に実装した状態で測定した測定結果に基づき、当該電子部品について、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出し、該推定値を前記第２の数式を用いて補正する、電気特性推定手段とを備え、
前記第２の数式は多項式であることを特徴とする、電子部品特性測定装置。
【請求項８】
電子部品を試験治具に実装した状態で測定した結果から、当該電子部品を基準治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、電子部品特性測定装置であって、
前記基準治具に実装した状態で、相対補正データ取得用試料を測定した第１の測定結果と、前記試験治具に実装した状態で、前記相対補正データ取得用試料を測定した測定結果とに基づき決定された、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出するための第１の数式と、周波数ごとに、前記基準治具に実装した状態で、残留誤差補正データ取得用試料を測定した第２の測定結果と、周波数ごとに、前記試験治具に実装した状態で、前記残留誤差補正データ取得用試料を測定した測定結果とに基づき決定された、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて算出した前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値に含まれる誤差を算出するための第２の数式とを記憶する、記憶手段と、
任意の電子部品について、前記試験治具に実装した状態で測定した測定結果に基づき、当該電子部品について、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出し、該推定値を前記第２の数式を用いて補正する、電気特性推定手段とを備え、
前記第２の数式は有理式であることを特徴とする、電子部品特性測定装置。
【請求項９】
上記第２の数式が１次式であることを特徴とする、請求項７又は８に記載の電子部品特性測定装置。
【請求項１】
試験治具に実装した状態と基準治具に実装した状態とで、相対補正データ取得用試料をそれぞれ測定する、第１のステップと、
前記第１のステップでの測定結果に基づき、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出するための第１の数式を求める、第２のステップと、
周波数ごとに、前記試験治具に実装した状態と前記基準治具に実装した状態とで、残留誤差補正データ取得用試料をそれぞれ測定する、第３のステップと、
前記第３のステップでの測定結果に基づき、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて算出した前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値に含まれる誤差を算出するための第２の数式を求める、第４のステップと、
任意の電子部品について、前記試験治具に実装した状態で測定する、第５のステップと、
前記第５のステップでの測定結果に基づき、当該電子部品について、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出し、該推定値を前記第２の数式を用いて補正する、第６のステップとを含み、
前記第２の数式は多項式であることを特徴とする、測定誤差の補正方法。
【請求項２】
試験治具に実装した状態と基準治具に実装した状態とで、相対補正データ取得用試料をそれぞれ測定する、第１のステップと、
前記第１のステップでの測定結果に基づき、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出するための第１の数式を求める、第２のステップと、
周波数ごとに、前記試験治具に実装した状態と前記基準治具に実装した状態とで、残留誤差補正データ取得用試料をそれぞれ測定する、第３のステップと、
前記第３のステップでの測定結果に基づき、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて算出した前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値に含まれる誤差を算出するための第２の数式を求める、第４のステップと、
任意の電子部品について、前記試験治具に実装した状態で測定する、第５のステップと、
前記第５のステップでの測定結果に基づき、当該電子部品について、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出し、該推定値を前記第２の数式を用いて補正する、第６のステップとを含み、
前記第２の数式は有理式であることを特徴とする、測定誤差の補正方法。
【請求項３】
上記第２の数式が１次式であることを特徴とする、請求項１又は２に記載の測定誤差の補正方法。
【請求項４】
電子部品を試験治具に実装した状態で測定した結果から、当該電子部品を基準治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、電子部品特性測定装置であって、
前記基準治具に実装した状態で、相対補正データ取得用試料を測定した第１の測定結果と、周波数ごとに、前記基準治具に実装した状態で、残留誤差補正データ取得用試料を測定した第２の測定結果とを格納する、記憶手段と、
前記記憶手段に格納された前記第１の測定結果と、前記試験治具に実装した状態で、前記相対補正データ取得用試料を測定した測定結果とに基づき、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出するための第１の数式を決定する、第１の数式決定手段と、
前記記憶手段に格納された前記第２の測定結果と、周波数ごとに、前記試験治具に実装した状態で、前記残留誤差補正データ取得用試料を測定した測定結果とに基づき、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて算出した前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値に含まれる誤差を算出するための第２の数式を決定する、第２の数式決定手段と、
任意の電子部品について、前記試験治具に実装した状態で測定した測定結果に基づき、当該電子部品について、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出し、該推定値を前記第２の数式を用いて補正する、電気特性推定手段とを備え、
前記第２の数式は多項式であることを特徴とする、電子部品特性測定装置。
【請求項５】
電子部品を試験治具に実装した状態で測定した結果から、当該電子部品を基準治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、電子部品特性測定装置であって、
前記基準治具に実装した状態で、相対補正データ取得用試料を測定した第１の測定結果と、周波数ごとに、前記基準治具に実装した状態で、残留誤差補正データ取得用試料を測定した第２の測定結果とを格納する、記憶手段と、
前記記憶手段に格納された前記第１の測定結果と、前記試験治具に実装した状態で、前記相対補正データ取得用試料を測定した測定結果とに基づき、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出するための第１の数式を決定する、第１の数式決定手段と、
前記記憶手段に格納された前記第２の測定結果と、周波数ごとに、前記試験治具に実装した状態で、前記残留誤差補正データ取得用試料を測定した測定結果とに基づき、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて算出した前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値に含まれる誤差を算出するための第２の数式を決定する、第２の数式決定手段と、
任意の電子部品について、前記試験治具に実装した状態で測定した測定結果に基づき、当該電子部品について、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出し、該推定値を前記第２の数式を用いて補正する、電気特性推定手段とを備え、
前記第２の数式は有理式であることを特徴とする、電子部品特性測定装置。
【請求項６】
上記第２の数式が１次式であることを特徴とする、請求項４又は５に記載の電子部品特性測定装置。
【請求項７】
電子部品を試験治具に実装した状態で測定した結果から、当該電子部品を基準治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、電子部品特性測定装置であって、
前記基準治具に実装した状態で、相対補正データ取得用試料を測定した第１の測定結果と、前記試験治具に実装した状態で、前記相対補正データ取得用試料を測定した測定結果とに基づき決定された、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出するための第１の数式と、周波数ごとに、前記基準治具に実装した状態で、残留誤差補正データ取得用試料を測定した第２の測定結果と、周波数ごとに、前記試験治具に実装した状態で、前記残留誤差補正データ取得用試料を測定した測定結果とに基づき決定された、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて算出した前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値に含まれる誤差を算出するための第２の数式とを記憶する、記憶手段と、
任意の電子部品について、前記試験治具に実装した状態で測定した測定結果に基づき、当該電子部品について、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出し、該推定値を前記第２の数式を用いて補正する、電気特性推定手段とを備え、
前記第２の数式は多項式であることを特徴とする、電子部品特性測定装置。
【請求項８】
電子部品を試験治具に実装した状態で測定した結果から、当該電子部品を基準治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、電子部品特性測定装置であって、
前記基準治具に実装した状態で、相対補正データ取得用試料を測定した第１の測定結果と、前記試験治具に実装した状態で、前記相対補正データ取得用試料を測定した測定結果とに基づき決定された、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出するための第１の数式と、周波数ごとに、前記基準治具に実装した状態で、残留誤差補正データ取得用試料を測定した第２の測定結果と、周波数ごとに、前記試験治具に実装した状態で、前記残留誤差補正データ取得用試料を測定した測定結果とに基づき決定された、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて算出した前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値に含まれる誤差を算出するための第２の数式とを記憶する、記憶手段と、
任意の電子部品について、前記試験治具に実装した状態で測定した測定結果に基づき、当該電子部品について、前記試験治具に実装した状態での測定値から前記第１の数式を用いて前記基準治具に実装した状態での測定値の推定値を算出し、該推定値を前記第２の数式を用いて補正する、電気特性推定手段とを備え、
前記第２の数式は有理式であることを特徴とする、電子部品特性測定装置。
【請求項９】
上記第２の数式が１次式であることを特徴とする、請求項７又は８に記載の電子部品特性測定装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２００６−２４２７９９（Ｐ２００６−２４２７９９Ａ）
【公開日】平成１８年９月１４日（２００６．９．１４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−６０１６９（Ｐ２００５−６０１６９）
【出願日】平成１７年３月４日（２００５．３．４）
【出願人】（０００００６２３１）株式会社村田製作所 (3,635)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年９月１４日（２００６．９．１４）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年３月４日（２００５．３．４）
【出願人】（０００００６２３１）株式会社村田製作所 (3,635)
【Ｆターム（参考）】
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