【課題】高周波測定装置の測定値の精度を可及的に高くするように校正するために使用される模擬負荷装置を提供する。
【解決手段】プラズマ処理装置のチャンバー内に配置されたときに、正電極板７０およびグランド電極板６０をプラズマ処理装置の２つの電極にそれぞれ押し付けるコイルばね４０を、模擬負荷装置１に設けた。したがって、正電極板７０をプラズマ処理装置の正電極に接続し、グランド電極板６０をグランド電極に接続するようにして、模擬負荷装置１をプラズマ処理装置の正電極とグランド電極との間に配置することができる。これにより、高周波測定装置による検出値をプラズマ処理装置の電極間における値に校正する校正パラメータを算出することができる。当該校正パラメータを用いることで、高周波測定装置の測定値の精度を高くすることができる。 （もっと読む）

【課題】フィクスチャ基板の回路パラメータを簡単に測定する。
【解決手段】フットプリント相当パターン１１３ｉ，１１３ｏとＳＭＡコネクタ１０２と校正配線パターンと有する校正基板１００を用いて、フィクスチャ基板の回路パラメータを測定する。フットプリント相当パターン１１３ｉ，１１３ｏは、一組のフィクスチャ基板それぞれに設けられたフットプリントに対応する配線パターンである。ＳＭＡコネクタ１０２は、各フィクスチャ基板に搭載されたＳＭＡコネクタと同一のものである。校正配線パターンは、各フィクスチャ基板の配線パターンに対応する、フットプリント相当パターン１１３ｉ，１１３ｏとＳＭＡコネクタ１０２とを接続する配線パターンである。そして、測定対象回路を介して接続されるフィクスチャ基板のフットプリントに相当するフットプリント相当パターン同士が直接接続されている。 （もっと読む）

【課題】方向性結合器を用いた電力測定において、測定端子が１つであっても運用中の送信信号から反射波電力を正確に測定すること。
【解決手段】送信機１００は、測定する方向性結合器のモニタ端子が切替部によって切り換えられて、進行波モニタ端子で測定される第１パイロット信号を基準信号として、反射波モニタ端子で測定される第２パイロット信号を正規化し、正規化後の測定反射波信号ベクトルを得る。方向性結合器の出力端子を終端して、同様に測定された正規化後の進行波の漏れ信号ベクトルとのベクトル差分から真の反射波信号ベクトルを求める。これらをもとに測定反射波電力に対する電力補正係数を算出する。 （もっと読む）

【課題】伝送線路の伝送特性を評価する評価装置のジッタ校正を容易にする伝送装置、この伝送装置のＳパラメータについての測定方法、およびこの伝送装置のゲイン調整方法を実現する。
【解決手段】伝送線路の伝送特性を評価する評価装置をジッタ校正する際に、評価装置のプローブ端子群２１１とソケット端子群２１２との間に接続される伝送装置１は、プローブ端子群２１１と同じピッチで端子群２１が設けられた第１の面と、ソケット端子群２１２と同じピッチで端子群２２が設けられた、第１の面とは反対側の面である第２の面とを有するアダプタ装置１１と、このアダプタ装置１１に接続され、第１の面上の端子群２１から第２の面上の端子群２２までの対応する端子間の信号経路ごとの伝送損失がそれぞれゼロとなるように信号を補償する信号補償装置１２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ミリ波帯における誘電材料の誘電率や透磁率などの電気特性を，広い温度範囲で測定できるようにし、温度変化の激しい環境下で使用されるようなミリ波帯無線装置に用いられる誘電材料の開発・選択を容易にする。
【解決手段】ビームレンズ１０７，１０８を備えた２つの電磁ホーン１０１，１０２の焦点が一致するように配置し、その焦点位置に置いた板状の誘電材料試料１０６のミリ波帯における透過特性を測定して、誘電材料の電気特性を測定するようにした誘電材料の電気特性測定装置において、前記試料１０６をその内部に含む密閉空間１４を、ケース１および該ケース１に設けた開口部に着脱可能なシール２により形成し、温度を可変制御可能な加熱・冷却装置３により温度制御されたガスを上記密閉空間１４内へ通流させて前記試料１０６の温度を目標温度とし、この目標温度における試料の電気特性を測定できるようにする。 （もっと読む）

【課題】高周波測定装置によって検出された電圧と電流を高い精度で校正する方法、および、当該校正を行うことができる高周波測定装置を提供する。
【解決手段】低精度だが広いインピーダンスの範囲で校正可能な基本校正パラメータと、スミスチャート上の範囲を４つに分割した各象限でそれぞれ高精度に校正可能な各象限別校正パラメータとを、それぞれ、３つの基準負荷を測定した値とそれらの真値とに基づいて算出しておく。第１校正部３８２は、検出された電圧と電流とを基本校正パラメータで校正する。象限判定部３８５は、この校正された電圧と電流とから算出されたインピーダンスがどの象限に位置するかを判定する。第２校正部３８６は、象限判定部３８５から入力される判定結果に対応する象限別校正パラメータでさらに校正を行う。 （もっと読む）

【課題】ケーブルアッセンブリに対して容易かつ確実に検査をすることができるケーブル検査用アダプタを提供する。
【解決手段】ネットワークアナライザ６０とケーブルアッセンブリ２０との間に接続されるケーブルアダプタ１（１Ａ，１Ｂ）において、一方の端部に雌コネクタ２のシールド部材である雌アウター導体４と電気的に接続され、他方の端部にＳＭＡ雄コネクタ１５が取り付けられている同軸ケーブル１０を備える。 （もっと読む）

【課題】製品内パターンでの高周波特性の保証を比較的低コストで実施でき、パッドに対する物理的ダメージを気にする必要がなく、且つ、複数箇所の同時検査も可能な実用性に秀れたプリント配線板の検査方法の提供。
【解決手段】グラウンド層及び信号層を有するプリント配線板の特性インピーダンス若しくはＳパラメータ等を検査する方法であって、プリント配線板の導体ネットのうち少なくとも一組をショート導体により電気的にショートさせた状態で前記特性インピーダンス若しくは前記Ｓパラメータを測定した後、前記ショート導体を除去し、更に電気的な導通・絶縁検査を行う。 （もっと読む）

【課題】正常時の測定データを予め準備する必要がなく、ケーブルの故障を特定することができるケーブル診断装置を得る。
【解決手段】ステップ波を差動信号線２１、２２へ出力するステップ波発生器１１と、差動信号線２１、２２から入力した反射信号に基づいて、差動モードインピーダンス、コモンモードインピーダンス、並びに第１又は第２のシングルエンドインピーダンスを測定するインピーダンス測定部１２と、基準値１＞基準値４＞終端抵抗値＞基準値３＞基準値２＞０、かつ基準値１≧２×終端抵抗値の関係がある、基準値１、基準値２、基準値３及び基準値４が予め設定されている基準値設定部１３と、測定された差動モードインピーダンス、コモンモードインピーダンス、並びに第１又は第２のシングルエンドインピーダンスと、基準値１、基準値２、基準値３及び基準値４との大小関係に基づいて、ケーブルの複数の故障を診断する診断部１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】ＴＲＬ校正の精度を向上することができるＴＲＬ校正標準器およびそれを備えた校正装置を提供する。
【解決手段】ＴＲＬ校正標準器１は、スルー標準器１Ｔと、リフレクト標準器１Ｒと、ライン標準器１Ｌとを備えている。スルー標準器１Ｔ、リフレクト標準器１Ｒおよびライン標準器１Ｌのそれぞれは、一方面２ａから他方面２ｂを貫通するように２つの貫通孔４が設けられた保持部材２と、両端のそれぞれにプローブ１２と電気的に接触するための外部端子３ａが設けられた同軸ケーブル３とを含み、同軸ケーブル３の外部端子３ａのそれぞれは保持部材２の一方面２ａ側から２つの貫通孔４のそれぞれに挿入されており、スルー標準器１Ｔ、リフレクト標準器１Ｒおよびライン標準器１Ｌのそれぞれにおいて、２つの貫通孔４のそれぞれに挿入された外部端子３ａ同士は同じ間隔Ｌとなるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】チャンバー内の高周波パラメータを精度よく測定できるように高周波測定装置を校正する方法を提供する。
【解決手段】第１の３つの基準負荷の高周波測定装置による測定インピーダンスと真値から校正パラメータXを算出し(S1,2)、高周波測定装置の接続点とプラズマ処理装置のチャンバー内との間で測定されたＳパラメータから校正パラメータX'を算出し（S3,4）、校正パラメータX,X'を用いて校正した電圧信号と電流信号からチャンバー内のインピーダンスを算出し(S5)、S5で算出されたインピーダンスを含み、第１の３つの基準負荷より狭い範囲を囲むことになる第２の３つの基準負荷を決定し(S6)、第２の３つの基準負荷の高周波測定装置による測定インピーダンスと真値から校正パラメータX”を算出し(S7,8)、検出された電圧信号と電流信号とを校正パラメータX,X’,X”を用いて校正する(S9)。 （もっと読む）

【課題】 高周波測定装置によって検出された電圧と電流を高い精度で校正する方法を提供する。
【解決手段】 第１の３つの基準負荷の高周波測定装置による測定インピーダンスと真値とに基づいて、校正パラメータＸを算出し(Ｓ１，２)、校正パラメータＸを用いて校正した電圧信号と電流信号とに基づいて、プラズマ処理装置のインピーダンスを算出し(Ｓ３)、スミスチャート上で、Ｓ３で算出されたインピーダンスを含み、第１の３つの基準負荷のインピーダンスによって囲まれる範囲より狭い範囲を囲むことになる３つのインピーダンスを決定し(Ｓ４)、当該３つのインピーダンスをそれぞれ有する第２の３つの基準負荷の高周波測定装置による測定インピーダンスと真値とに基づいて、校正パラメータＸ’を算出し(Ｓ５，６)、検出された電圧信号と電流信号とを校正パラメータＸ、Ｘ’を用いて校正する(Ｓ７)。 （もっと読む）

【課題】簡単な作業のみで高周波部品のＳパラメータを補正することができる高周波部品のＳパラメータを補正する方法、及び補正したＳパラメータに基づいて高周波部品を搭載したモジュールの特性算出方法を提供することを目的とする。
【解決手段】全ての第１端子及び第２端子からの入射波に基づく反射波及び通過波を測定して高周波部品２のＳパラメータである第１パラメータを取得する第１ステップと、第２端子を終端状態として、全ての第１端子からの入射波に基づく反射波及び通過波を測定して高周波部品２のＳパラメータである第２パラメータを取得する第２ステップと、第１ステップで取得した第１パラメータの第１端子に関する各要素を、第２ステップで取得した第２パラメータの対応する各要素に基づいて補正する第３ステップとを含む。また、補正したＳパラメータに基づいて高周波部品２をモジュール基板に実装したモジュールの高周波特性を算出する。 （もっと読む）

【課題】低レベルの反射波に対しても送信機を保護することができる反射波検出回路及び反射波検出方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、方向性結合器１及び方向性結合器２を有する。線路８は、端子１１とカップリングされた端子１３と端子２３とカップリングされた端子２１とを接続する。線路９は、端子１２とカップリングされた端子１４と端子２４とを接続する。端子１３で進行波から分岐された分岐進行波は、線路８及び端子２１を介して端子２１に入力される。端子１４により反射波から分岐された分岐反射波と、端子１１から漏れ出して端子１４に伝わる漏れ進行波と、は線路９、端子２４及び線路２５を介して端子２３に入力される。端子２３において、漏れ進行波は分岐進行波に対して｛（２ｍ＋１）×１８０｝°の位相差（但し、ｍは整数）を有する。 （もっと読む）

【課題】可変コンデンサの調整処理を高速に行うことができるインピーダンス整合装置を提供すること。
【解決手段】 高周波電源Ａと負荷Ｂとの間に接続された第１及び第２可変コンデンサＣ１，Ｃ２と、負荷側Ｂの反射係数ρの実部Ｚの大きさに応じた第１検出値（Ｚ’値）と虚部φの大きさに応じた第２検出値（φ値）とを検出する検出部１２と、この検出部１２で検出した第１検出値に基づいて第１可変コンデンサＣ１の静電容量値を調整し、第２検出値に基づいて第２可変コンデンサＣ２の静電容量値を調整する制御部とを備えており、検出部１２は、負荷側Ｂの反射係数ρの実部Ｚの大きさに応じた値に反射係数ρの大きさに応じた値を加算した値を第１検出値（Ｚ’値）として検出する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の電気特性を正確に測定することができ、製造容易であるプローブおよびその製造方法、ならびにこのプローブを用いた電気特性測定方法を実現する。
【解決手段】プローブ１の製造方法は、平板状フレキシブル基板からなる第１の部材１２の一方の面にプローブパッド２０を設け、第１の部材１２のもう一方の面にプローブパッド２０と外部回路との間で電気信号を伝送するための配線１３を設けるステップと、第１の部材１２の配線１３が設けられた面に、平板状リジット基板からなる２枚の第２の部材１０−１および１０−２を、第２の部材１０−１もしくは１０−２の厚さの略２倍の長さの空隙２１を空けてそれぞれ貼着するステップと、２枚の第２の部材１０−１および１０−２が貼着された第１の部材１２を、空隙２１の中心で内方に折り曲げ、２枚の第２の部材１０−１および１０−２同士を貼着するステップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】電力の通過損失を低減し且つ精度が良い定在波比を測定する。
【解決手段】定在波比測定回路１は、送信系の増幅回路１１０と、増幅された送信信号をアンテナ１９０方向へ出力し、アンテナ１９０で受信された受信信号を受信系へ出力する第１のサーキュレータ１２０と、定在波比の測定要求が検出されたとき、増幅回路１１０に入力する前の送信信号（進行波）を、増幅回路１１０を迂回して受信系へ進行させる進行波迂回部１４０と、迂回した進行波を第１のサーキュレータ１２０方向へ出力する第２のサーキュレータ１５０と、出力した進行波が第１のサーキュレータ１２０を介してアンテナ１９０方向へ進行するように、増幅回路１１０を制御する制御部１６０と、反射波を受信系のうち第２のサーキュレータ１５０以降で取得する反射波取得部１７０と、進行波と反射波とを用いて定在波比を測定する測定回路１８０とを備える。 （もっと読む）

【課題】配線基板におけるピッチの狭いパッドとピッチの広いパッドとの間を接続する伝送線路における信号の伝送特性を、１０ＧＨｚを超える高周波の周波数帯域においても良好に測定することが可能な配線基板の高周波信号伝送特性の測定方法およびそれに用いる配線基板を提供すること。
【解決手段】広いピッチで形成された信号用パッド４Ｓおよび接地用パッド４Ｇに接続された信号用プローブ接続パッド５Ｓおよび接地用プローブ接続パッド５Ｓをそのピッチが狭まるように配線基板１０に設けるとともに、先端部が狭いピッチで配置された信号用接触端子９Ｓおよび接地用接触端子９Ｇを有するプローブ８を、信号用接触端子９Ｓの先端部と信号用プローブ接続パッド５Ｓとを接触させるとともに接地用接触端子９Ｇの先端部と接地用プローブ接続パッド５Ｇとを接触させることにより信号用外部接続パッドおよび接地用外部接続パッドに接続して測定する。 （もっと読む）