説明

濾過方法及び濾過装置

【課題】フィルタF内に空気が詰まりフィルタ上流側を密閉状態にすることなく安定した濾過を行うことである。
【解決手段】液体チャンバ2と、液体チャンバ2に配管を介して連通され、フィルタFを収容するフィルタチャンバ4と、フィルタチャンバ4のフィルタF下流側に接続された濾液排出路6に設けられたチューブポンプP1と、フィルタFを迂回して設けられたバイパス路7と、バイパス路7上に設けられた開閉弁8と、を具備する濾過装置1を用いた濾過方法であって、開閉弁8を開けて、チューブポンプによりバイパス路7から空気を吸引して、液体チャンバ2からフィルタチャンバ4のフィルタF上流側に被濾過液を貯溜する貯溜ステップを備える。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
この発明は、フィルタを用いた濾過方法及びその方法に用いる濾過装置に関するものである。
【背景技術】
【0002】
従来、フィルタを用いた濾過装置として特許文献1に示すように、被濾過液を貯留する液体チャンバと、液体チャンバの下部に配管を介して連通され、その被濾過液を濾過するフィルタを収容するフィルタチャンバと、フィルタチャンバのフィルタ下流側に接続された濾液排出路に設けられた吸引ポンプと、を備えたものがある。この装置は、吸引ポンプにより吸引して、フィルタチャンバ内を引圧にすることにより、液体チャンバからフィルタチャンバにおけるフィルタ上流側に被濾過液を導き、さらにフィルタを通過させて被濾過液を濾過するものである。
【0003】
通常、被濾過液中の微粒子(例えば数μm)を濾過して分離する場合には、目の細かいフィルタ(濾過精度が数μm未満)を用いる必要があるが、このフィルタは、乾燥した状態では空気を通すが、濡れた状態では空気を殆ど通さないという性質がある。
【0004】
そして、上記濾過装置に目の細かいフィルタを用いた場合、濾過開始時は、フィルタは乾燥しており空気を通すので、液体チャンバ内の被濾過液が配管からフィルタチャンバ内に滴下される。
【0005】
しかしながら、フィルタが被濾過液の最初の数滴で濡れてしまうと、その後、フィルタチャンバのフィルタ上流側にある空気が、フィルタ内に詰まってしまう結果、フィルタ上流側は密室(密閉)状態となる。そうすると、吸引ポンプで吸引しても、フィルタ下流側は引圧となるが、フィルタ上流側は引圧とはならず、液体チャンバからフィルタチャンバ内に被濾過液が流入することができない。その結果、それ以上濾過処理を行うことができないという問題がある。
【0006】
また、フィルタを設置した段階で、フィルタが濡れている場合には、フィルタ上流側を引圧にすることができず、濾過開始時に被濾過液がフィルタチャンバ内に入ることができず、濾過を行うことができないという問題がある。
【特許文献1】特開平7−88307号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
そこで本発明は、上記問題点を一挙に解決するためになされたものであり、フィルタ内に空気が詰まりフィルタ上流側を密閉状態にすることなく安定した濾過を行うことをその主たる所期課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【0008】
すなわち本発明に係る濾過方法は、被濾過液を貯留する液体チャンバと、前記被濾過液を濾過するフィルタを収容するフィルタチャンバと、前記液体チャンバ、及び前記フィルタチャンバにおけるフィルタ上流側を連通して、外部からの吸引力によって前記被濾過液を前記液体チャンバから前記フィルタチャンバへ流通させる連通路と、前記フィルタチャンバにおけるフィルタ下流側に接続され、前記フィルタを通過した濾液を排出する濾液排出路と、前記濾液排出路に設けられた正逆回転可能なポンプと、前記フィルタチャンバにおけるフィルタ上流側、及び前記濾液排出路におけるポンプ上流側又は前記フィルタチャンバにおけるフィルタ下流側を連通するバイパス路と、前記バイパス路上に設けられ、前記バイパス路の開閉を行う開閉弁と、を具備する濾過装置を用いた濾過方法である。
【0009】
本発明に係る具体的な濾過方法は、前記濾過装置の前記開閉弁を開けて、前記ポンプにより前記バイパス路から空気を吸引して、前記液体チャンバから前記フィルタチャンバのフィルタ上流側に前記液体を貯溜する貯溜ステップと、前記貯留ステップの後、前記開閉弁を閉じ、前記ポンプにより吸引して、前記フィルタ上流側に貯溜された被濾過液を濾過する濾過ステップと、を備えることを特徴とする。
【0010】
このようなものであれば、濾過開始前にフィルタ上流側に被濾過液を貯留しているので、たとえ濡れてしまったフィルタを用いた場合であっても、濾過時にフィルタ内に空気が詰まって濾過が停止してしまうことを防止でき、安定した濾過を行うことができる。
【0011】
また、貯留ステップにおいて、被濾過液がバイパス路内に流入することを防止するためには、バイパス路の開口位置が、貯留ステップにおいて貯留される被濾過液の液面よりも上に設けられていることが望ましい。
【0012】
濾過装置に別の撹拌機構を装備することなく、液体チャンバ内の被濾過液を撹拌して、濾過を再現性良く行うためには、前記貯留ステップ前において、前記開閉弁を開けて、前記ポンプにより前記バイパス路を介して前記液体チャンバに空気を送り、前記液体チャンバ中の被濾過液をバブリングして撹拌する撹拌ステップを備えることが望ましい。
【0013】
また、本発明に係る濾過装置は、被濾過液を貯留する液体チャンバと、前記被濾過液を濾過するフィルタを収容するフィルタチャンバと、前記液体チャンバ、及び前記フィルタチャンバにおけるフィルタ上流側を連通して、外部からの吸引力によって前記被濾過液を前記液体チャンバから前記フィルタチャンバへ流通させる連通路と、前記フィルタチャンバにおけるフィルタ下流側に接続され、前記フィルタを通過した濾液を排出する濾液排出路と、前記濾液排出路に設けられた正逆回転可能なポンプと、前記フィルタチャンバにおけるフィルタ上流側、及び前記濾液排出路におけるポンプ上流側又は前記フィルタチャンバにおけるフィルタ下流側を連通するバイパス路と、前記バイパス路上に設けられ、前記バイパス路の開閉を行う開閉弁と、を具備することを特徴とする。
【発明の効果】
【0014】
このように本発明によれば、フィルタ内に空気が詰まりフィルタ上流側を密閉状態にすることなく安定した濾過を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0015】
次に、本発明に係る濾過装置を用いた液体処理濾過装置の一実施形態ついて図面を参照して説明する。
【0016】
<装置構成>
本実施形態に係る液体処理濾過装置1は、測定対象物質を含有する試料液と処理液とを混合することによって、測定対象物質の固体化合物を生成し、その固体化合物をフィルタF上に分離するものである。
【0017】
具体的にこのものは、図1に示すように、液体チャンバ2と、処理液供給路3と、フィルタFを収容するフィルタチャンバ4と、液体チャンバ2及びフィルタチャンバ4を連通する連通路5と、フィルタチャンバ4に設けられた濾過排出路6と、濾過排出路6に設けられたポンプP1と、フィルタFを迂回して設けられたバイパス路7と、そのバイパス路7上に設けられた開閉弁8と、制御装置9と、を備えている。
【0018】
以下、各部2〜9について説明する。
【0019】
液体チャンバ2は、試料液及び処理が注入されて、それら液体が混合されて被濾過液が生成されるものである。
【0020】
また、液体チャンバ2の上部には、試料液を例えばピペット等により定量注入可能なサンプル口(図示しない)が設けられている。
【0021】
処理液供給路3は、処理液を収容する処理液タンク10と液体チャンバ2とを連通し、処理液タンク10から液体チャンバ2内に処理液を供給するものである。なお、図1中、符号101は、処理液タンク10に設けられた空気孔である。
【0022】
そして、処理液供給路3は、光透過性を有するチューブにより構成されている。また、この供給路4の液体チャンバ側開口は、液体チャンバ2の上部において、下方を向いて開口している。さらに、この処理液供給路3には、処理液を定量して液体チャンバ2に注入するための処理液定量機構Aが設けられている。なお、処理液定量機構Aについては、後述する。
【0023】
フィルタチャンバ4は、試料液及び処理液からなる被濾過液から固体化合物を濾過するフィルタFを収容するものであり、液体チャンバ2の下方に設けられている。またフィルタチャンバ4は、フィルタチャンバ4内に流入した被濾過液の全てがフィルタFを通過するように、フィルタFを保持するものである。
【0024】
さらに、フィルタチャンバ4には、フィルタFの取り付け及び取り外しのための開閉扉(図示しない)が設けられている。そして、その開閉扉が閉じられた状態において、フィルタチャンバ4内は密閉される。また、フィルタチャンバ4において、フィルタFが設置される部分の上部(フィルタF上流側)には、連通路5が開口している。また、フィルタチャンバ4において、フィルタFが設置される部分の下部(フィルタF下流側)には、濾過排出路6が開口している。
【0025】
フィルタFは、被濾過液を濾過して、その被濾過液中の固体化合物を分離するものであり、被濾過液から固体化合物を分離可能な濾過精度(例えば数μm)を有するものである。このフィルタFは、乾燥した状態では空気を通すが、濡れた状態では空気を殆ど通さないという性質がある。
【0026】
連通路5は、液体チャンバ2の下部及びフィルタチャンバ4におけるフィルタF上流側を連通するものであり、一端が液体チャンバ2の下端部に接続され、他端がフィルタチャンバ4の上端部に接続された接続配管H1により構成されている。
【0027】
そして、この連通路5は、外部(ポンプP1)からの吸引力によって被濾過液を液体チャンバ2からフィルタチャンバ4へ流通させるものである。つまり、接続配管H1は、液体の表面張力が作用して、外部からの吸引力を受けなければ液体を通さない程度の内径を有するものである。
【0028】
濾過排出路6は、フィルタチャンバ4におけるフィルタF下流側に設けられ、フィルタFを通過した濾過を排液タンク11に排出するものである。
【0029】
ポンプP1は、濾過排出路6に設けられた正逆回転可能なポンプであり、本実施形態では、チューブポンプ(ペリスタティックポンプとも言う。)を用いている。このチューブポンプは、可撓性材料からなる給排チューブと、周方向に複数のローラを外周側に有し、給排チューブの長手方向に沿って移動しながら該チューブを順次押圧するロータとを備えるものである。そして、チューブポンプは、ロータを回転させることにより、ローラが給排チューブを押し潰しながら回転し、給排チューブ内部の流体を押し出す一方で、給排チューブのローラにより押し潰された部分が復元力によって元の形状に戻る際、給排チューブ内に発生する引圧により次の流体を吸引する。チューブポンプはこの動作を連続的に行うことで吸引・吐出というポンプ機能を有する。
【0030】
そして、ポンプP1は、被濾過液を吸引して液体チャンバ2から連通路5を介してフィルタチャンバ4へ導く。さらに、フィルタF上にある被濾過液がフィルタFを通過するように、濾過排出路6を介してフィルタチャンバ4内の被濾過液を吸引する。
【0031】
バイパス路7は、フィルタチャンバ4内に収容されたフィルタFを迂回して設けられるものであり、一端がフィルタチャンバ4においてフィルタFの上流側に開口し、他端が濾過排出路6におけるポンプP1の上流側に開口している。そして、バイパス路の開口位置は、後述する貯留ステップにおいて貯留される被濾過液の液面よりも上に設けられている。なお、バイパス路7上には、濾過排出路6の圧力を測定する圧力計12が設けられている。
【0032】
開閉弁8は、制御装置9に制御されてバイパス路7の開閉を行うものであり、本実施形態では電磁弁を用いている。
【0033】
制御装置9は、後述する流路センサ及び圧力計12からの検出信号を受信等して、チューブポンプP1及び開閉弁8等の制御を行うものであり、その機器構成は、図示しないCPU、内部メモリ、外部メモリ(図示しない)、入出力インタフェース、通信インタフェース、AD変換器、キーボードやタッチパネル等の入力手段、ディスプレイやプリンタ等の出力手段等からなる汎用又は専用のコンピュータである。そして、CPU及びその周辺機器の、前記メモリの所定領域に格納されたプログラムに従って協働動作することにより、以下に適宜説明する機能を発揮する。
【0034】
なお、CPUを用いず、アナログ回路のみで前記各部としての機能を果たすように構成してもよいし、その一部の機能を外部のパソコン等と兼用するなど、物理的に一体である必要はなく、有線乃至無線によって互いに接続された複数の機器からなるものであってもよい。
【0035】
次に、このように構成した液体処理濾過装置1の濾過方法について、制御装置9の機能と併せて、図3のフローチャートを参照して説明する。
【0036】
液体チャンバ2内に試料液及び処理液を定量注入した状態において(注入ステップSa1)、制御装置9は、開閉弁8を開けて、チューブポンプP1を逆回転駆動し、バイパス路7を介して液体チャンバ2下部から空気を送り、試料液及び処理液からなる被濾過液をバブリングして撹拌する(撹拌ステップSa2)。これにより、固体化合物の生成が促進されるとともに、被濾過液の濃度が均一となる。
【0037】
次に、制御装置9は、バイパス路7の開閉弁8を開けて、ポンプP1を回転駆動する。そうすると、ポンプP1は、濾過排出路6から空気を吸引する。このとき、フィルタFが介在する流路の圧力欠損よりもバイパス路7の流路の圧力欠損の方が小さいので、フィルタチャンバ4のフィルタF上流側にある空気は、バイパス路7から吸引される。フィルタチャンバ4は密閉されているので、空気が吸引された分だけ、被濾過液が液体チャンバ2からフィルタチャンバ4内に流入する。
【0038】
そして、所定時間ポンプP1を回転駆動すると、液体チャンバ2からフィルタチャンバ4のフィルタF上流側に所定量の被濾過液が貯留される(貯留ステップSa3)。
【0039】
このとき、フィルタF上流側に貯留される被濾過液は、フィルタチャンバ4におけるバイパス路7の開口位置よりも下側となるようにする。これにより、被濾過液がバイパス路7内に流入することを防止することができる。
【0040】
その後、制御装置9は、開閉弁8を閉じ、吸引ポンプP1を回転駆動する。そうすると、フィルタF下流側が引圧となり、フィルタF上流側に貯留された被濾過液がフィルタFを通過する(濾過ステップSa4)。
【0041】
フィルタF上流側の被濾過液が濾過されて減少すれば、フィルタF上流側の空間が引圧となり、被濾過液が、液体チャンバ2から連通路5を経てフィルタチャンバ4内に流入する。このようにして、被濾過液が濾過される。
【0042】
<定量機構>
次に、処理液供給路3に設けられた処理液定量機構Aについて説明する。
【0043】
処理液定量機構Aは、図1及び図4に示すように、処理液供給路3に設けられた正逆回転可能なポンプであるチューブポンプP2と、当該チューブポンプP2よりも下流側に流路方向に離間して設けられた上流側流路センサA1及び下流側流路センサA2と、からなる。
【0044】
流路センサA1、A2は、チューブから構成される処理液供給路3内の液体の有無を検知するものであり、本実施形態では、光透過型フォトインタラプタを用いたものである。
【0045】
この処理液定量機構Aを用いた処理液の定量注入方法について、制御装置9の機能と併せて図5を参照して説明する。
【0046】
本実施形態の定量注入方法は、液体を液体チャンバに定量注入する時にポンプP2による液体流量を測定し、その液体流量に基づいて定量注入に必要なポンプP1の駆動時間を設定するものである。
【0047】
液体を容器内に注入する時に、制御装置9がチューブポンプP2を回転駆動すると、処理液が処理液タンク12から吸引されて、上流側流路センサA1及び下流側流路センサA2を通過する。このとき、制御装置9は、各流路センサA1、A2からの検出信号を受信して、処理液が上流側流路センサA1から下流側流路センサA2に至るまでの流通時間Tを計測する(計測ステップSb1)。
【0048】
そして、制御装置9は、その流通時間T及び流路センサA1、A2間の処理液供給路3の液体を収容可能な容量(V)から、チューブポンプP2による液体流速(V/T)を算出する(算出ステップSb2)。
【0049】
下流側流路センサA2から供給路4の容器側開口までの容量(V’)、及び液体流速(V/T)に基づいて、制御装置9は、処理液が下流側流路センサA2を通過した後のチューブポンプP2の駆動時間を設定する(設定ステップSb3)。そして、その駆動時間に基づいて、ポンプP2を回転駆動させて、処理液を液体チャンバ2内に定量注入する(定量注入ステップSb4)。なお、流路センサA1、A2間の容量(V)及び下流側流路センサA2から供給路4の容器側開口までの容量(V’)は、予め制御装置9に入力して記憶させておく。
【0050】
また、制御装置9は、処理液の定量注入後、チューブポンプP2を逆回転駆動して、処理液供給路3内の処理液を吸引し、その処理液を上流側流路センサA1の上流側まで吸引する(吸引ステップSb5)。これにより、定量注入後に、処理液供給路3の先端開口(液体チャンバ側開口)に残留した処理液が、誤って液体チャンバ2内に注入されることを防ぐことができるとともに、次回の注入時において、再び定量して注入することができる。
【0051】
本実施形態では、液体注入毎に、チューブポンプP2の流速(V/T)を測定して、チューブポンプP2の駆動時間を設定するようにしている。
【0052】
<本実施形態の動作>
次に、本実施形態の液体処理濾過装置1の動作及び操作方法について図3のフローチャートを参照して説明する。
【0053】
操作者は、フィルタチャンバ4の開閉扉を開けて、フィルタFを設置する。そして、一定量の試料液を液体チャンバ2上部に設けられたサンプル口からピペット等を用いて注入する。このとき、所定量の試料粉末を液体チャンバ2内に投入し、所定量の水をピペット等を用いて定量注入しても良い。
【0054】
次に、処理開始ボタン(図示しない)を押すと、処理液が処理液定量機構Aにより定量されて、処理液供給路3から液体チャンバ2内に自動的に注入される(注入ステップSa1)。これにより、試料液中にある測定対象物質の固体化合物が生成される。
【0055】
なお、この注入ステップにおいて、ポンプP1及び開閉弁8を動作させて、液体チャンバ2の下部から空気を送り込み、バブリングして撹拌を行い固体化合物の生成を促す(撹拌ステップSa2)。
【0056】
撹拌ステップ後、固体化合物が生成された状態で開閉弁8を開けて、ポンプP1を回転駆動して、フィルタチャンバ4におけるフィルタF上流側の空気を吸引して、フィルタF上流側に所定量の被濾過液を貯留する(貯留ステップSa3)。このとき、所定量の被濾過液を貯留するために、チューブポンプP1の駆動時間を予め設定しておくこともできるし、操作者が所定量の貯留を確認後、タッチパネルにより操作して、ポンプP1を停止するようにすることもできる。
【0057】
そして、所定量の被濾過液が貯留された後、開閉弁8を閉じて、ポンプP1を回転駆動すると、フィルタF上流側に貯留された被濾過液が、フィルタFを通過する(濾過ステップSa4)。このとき、固体化合物は、フィルタF上に捕集され堆積する。
【0058】
そして、フィルタF下流側に流れた濾過は、フィルタチャンバ4の下部に開口する濾過排出路6を通り、排液タンク11内に流れ出る。一方、被濾過液がフィルタFを通過すると、フィルタチャンバ4のフィルタF上流側が引圧となり、その分、液体チャンバ2から被濾過液が流入する。
【0059】
そして、フィルタF上流側に被濾過液が無くなると、水分を含んだフィルタFは空気を通過させないので、濾過排出路6又はバイパス路7の第4開閉弁8下流側に設けられた圧力計12の圧力値が急激に変化する。その圧力計12の検出信号を受信した制御装置9は、被濾過液の濾過が終了したと判断して、ポンプP1を停止する。これにより、被濾過液の濾過が終了する。つまり、制御装置9は、圧力計12で測定する濾過排出路6内の圧力の値の急激な変化により濾過を終了する濾過終了検出機能を有する。
【0060】
濾過の後、作業者は、フィルタチャンバ4からフィルタFを取り出し、フィルタF上に堆積された固体化合物を分析装置を用いて分析する。
【0061】
<本実施形態の効果>
このように構成した本実施形態の処理濾過装置によれば、バイパス路7及びポンプP1により濾過ステップ前にフィルタF上流側に被濾過液を貯留しているので、濾過ステップ中にフィルタ内に空気が詰まって濾過が停止してしまうことを防止でき、安定した濾過を行うことができる。
【0062】
また、バイパス路7及びポンプP1により、液体チャンバ2内の被濾過液をバブリングして撹拌しているので、液体処理濾過装置1に専用の撹拌機構を装備する必要が無く、濾過を再現性良く行うことができる。
【0063】
さらに、試料液及び処理液の混合を自動で行うことができ、その混合処理に際して、作業者はピペットやシリンジなどを用いた手作業を要しないので、安全性を向上させることができ、処理手順や注入量などの間違いによる処理ミスを防ぐことができる。
【0064】
被濾過液を濾過させる際には、フィルタF上に固体化合物を確実に堆積させるため、適切な流量で濾過しつつけることが必要であるが、手作業ではこの処理を行うことは難しい。しかし、本実施形態によれば、制御装置9によりポンプP1を制御することによって適切な流量で濾過させることができるので、フィルタF上への測定対象物質の堆積を確実に行うことができる。したがって、安全且つ再現性のある処理及び濾過を簡単に行うことができる。
【0065】
<その他の変形実施形態>
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。以下の説明において前記実施形態に対応する部材には同一の符号を付すこととする。
【0066】
例えば、バイパス路7は、図6に示すように、フィルタチャンバ4におけるフィルタF上流側と、フィルタチャンバ4におけるフィルタF下流側とを連通するものであっても良い。これならば、濡れたフィルタFが空気を通さないことから、濾過排出路6のポンプP1上流側に排出できない濾過が溜まってしまうが、これを好適に防ぐことができる。なお、この場合、制御装置9は、濾過排出路6上に設けられた圧力計12の値が大きくなった後、開閉弁8を開けて、バイパス路7を介して吸引する。
【0067】
また、バイパス路7を介して液体チャンバ2からフィルタチャンバ4のフィルタF上流側及びフィルタチャンバ4のフィルタF下流側に空気を流すことにより、フィルタチャンバ4内及びフィルタFを乾燥させることもできる。これにより、固体化合物が堆積したフィルタFを、周囲を汚すこと無く取り出すことができる。
【0068】
さらに、フィルタチャンバ4におけるフィルタFを、上下に間隔を置いて2以上設けても良い。なお、この場合、各フィルタFに対して、前記実施形態と同様にその上流側に開閉弁8を含むバイパス路7を設ける。
【0069】
また、図6に示すように、濾過排出路6に圧力計12を設けず、連通路5に流路センサ13を設けても良い。この場合、流路センサ13からの検出信号により、液体チャンバ2内に被濾過液が無くなったことが分かる。このとき、制御装置9は、濾過開始時からの液体チャンバ2の被濾過液が無くなる迄の時間を計測して、残りの濾過時間を算出し、ポンプP1を駆動制御することもできる。
【0070】
さらに、前記実施形態のフィルタチャンバ4に、その開閉扉の開閉を監視する開閉センサを設けていることが望ましい。そして、制御装置9が、開閉センサからの検出信号に基づいて、扉が開いている場合には、処理液がフィルタチャンバ4内に注入されないようにすることもできる。
【0071】
加えて、各プロセスを進行状況を音や音声で作業者に知らせたり、その進行状況を制御装置9等の画面に表示したりすることも可能である。
【0072】
その上、処理液タンク11には、例えば点滴などに用いられるパックを使用することもでき、この場合には、空気抜き用の孔は不要となる上、装置1の構成を簡単にすることができる。
【0073】
さらに加えて、図7に示すように、圧力計12とバイパス路7又は濾過排出路6との間に圧力計12に液体が流れ込まないようにする液体流入防止構造Kを設けるようにしても良い。この液体流入防止構造Kは、液貯め部及びその液貯め部の上部に空気を収容する空気収容部を内部に有するチャンバK1と、そのチャンバK1において空気収容部と圧力計12とを接続する接続路K2とからなる。これにより、圧力計12に液体が流れ込むことを防止することができ、気体用の圧力計12を用いることができる。
【0074】
その他、前述した実施形態や変形実施形態の一部又は全部を適宜組み合わせてよいし、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【0075】
【図1】本発明の一実施形態に係る液体処理濾過装置の概略構成図。
【図2】同実施形態のバイパス路及び開閉弁を主として示す模式図。
【図3】濾過方法を示すフローチャート。
【図4】同実施形態の処理液定量機構を示す模式図。
【図5】定量注入方法を示すフローチャート。
【図6】その他の変形実施形態に係る液体処理濾過装置の概略構成図。
【図7】その他の変形実施形態に係る液体処理濾過装置の部分構成図。
【符号の説明】
【0076】
1・・・液体処理濾過装置(濾過装置)
2・・・液体チャンバ
3・・・処理液供給路
4・・・フィルタチャンバ
F・・・フィルタ
5・・・連通路
6・・・濾液排出路
P1・・・ポンプ(チューブポンプ)
7・・・バイパス路
8・・・開閉弁

【特許請求の範囲】
【請求項1】
被濾過液を貯留する液体チャンバと、
前記被濾過液を濾過するフィルタを収容するフィルタチャンバと、
前記液体チャンバ、及び前記フィルタチャンバにおけるフィルタ上流側を連通して、外部からの吸引力によって前記被濾過液を前記液体チャンバから前記フィルタチャンバへ流通させる連通路と、
前記フィルタチャンバにおけるフィルタ下流側に接続され、前記フィルタを通過した濾液を排出する濾液排出路と、
前記濾液排出路に設けられた正逆回転可能なポンプと、
前記フィルタチャンバにおけるフィルタ上流側、及び前記濾液排出路におけるポンプ上流側又は前記フィルタチャンバにおけるフィルタ下流側を連通するバイパス路と、
前記バイパス路上に設けられ、前記バイパス路の開閉を行う開閉弁と、を具備する濾過装置を用いた濾過方法であって、
前記開閉弁を開けて、前記ポンプにより前記バイパス路から空気を吸引して、前記液体チャンバから前記フィルタチャンバのフィルタ上流側に前記液体を貯溜する貯溜ステップと、
前記貯留ステップの後、前記開閉弁を閉じ、前記ポンプにより吸引して、前記フィルタ上流側に貯溜された被濾過液を濾過する濾過ステップと、を備える濾過方法。
【請求項2】
前記バイパス路の開口位置が、前記貯留ステップにおいて貯留される被濾過液の液面よりも上に設けられている請求項1記載の濾過方法。
【請求項3】
前記貯留ステップ前において、前記開閉弁を開けて、前記ポンプにより前記バイパス路を介して前記液体チャンバに空気を送り、前記液体チャンバ中の被濾過液をバブリングして撹拌する撹拌ステップを備える請求項1又は2記載の濾過方法。
【請求項4】
被濾過液を貯留する液体チャンバと、
前記被濾過液を濾過するフィルタを収容するフィルタチャンバと、
前記液体チャンバ、及び前記フィルタチャンバにおけるフィルタ上流側を連通して、外部からの吸引力によって前記被濾過液を前記液体チャンバから前記フィルタチャンバへ流通させる連通路と、
前記フィルタチャンバにおけるフィルタ下流側に接続され、前記フィルタを通過した濾液を排出する濾液排出路と、
前記濾液排出路に設けられた正逆回転可能なポンプと、
前記フィルタチャンバにおけるフィルタ上流側、及び前記濾液排出路におけるポンプ上流側又は前記フィルタチャンバにおけるフィルタ下流側を連通するバイパス路と、
前記バイパス路上に設けられ、前記バイパス路の開閉を行う開閉弁と、を具備する濾液装置。

【図1】
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【図2】
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【図3】
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【図4】
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【図5】
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【図6】
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【図7】
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【公開番号】特開2009−131811(P2009−131811A)
【公開日】平成21年6月18日(2009.6.18)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2007−311452(P2007−311452)
【出願日】平成19年11月30日(2007.11.30)
【出願人】(000155023)株式会社堀場製作所 (638)
【出願人】(000245531)野村マイクロ・サイエンス株式会社 (116)
【Fターム(参考)】