物品収納装置
【課題】物品の収納能力を増強させつつ、搬送台車による搬送時間を少なくする。
【解決手段】収納空間1には、互いに平行に4つの収納棚23が配列され、隣接する収納棚23の間にレール25が敷設されている。移載ロボット24は収納棚23及び収納ポート32との間でキャリア18の受け渡しを行うとともに、レール25に沿って移動して収納棚23と収納ポート32との間でキャリア18を搬送する。昇降台6は収納ポート32及び搬入出ポート26との間でキャリア18の受け渡しを行うとともに、天井5を貫通して鉛直方向に移動して収納ポート32と搬入出ポート26との間でキャリア18を搬送する。OHT搬送台車17は、搬入出ポート26及び半導体製造装置との間でキャリア18の受け渡しを行うとともに、工程内軌道13に沿って移動して搬入出ポート26と半導体製造装置との間でキャリア18を搬送する。
【解決手段】収納空間1には、互いに平行に4つの収納棚23が配列され、隣接する収納棚23の間にレール25が敷設されている。移載ロボット24は収納棚23及び収納ポート32との間でキャリア18の受け渡しを行うとともに、レール25に沿って移動して収納棚23と収納ポート32との間でキャリア18を搬送する。昇降台6は収納ポート32及び搬入出ポート26との間でキャリア18の受け渡しを行うとともに、天井5を貫通して鉛直方向に移動して収納ポート32と搬入出ポート26との間でキャリア18を搬送する。OHT搬送台車17は、搬入出ポート26及び半導体製造装置との間でキャリア18の受け渡しを行うとともに、工程内軌道13に沿って移動して搬入出ポート26と半導体製造装置との間でキャリア18を搬送する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、天井から懸吊された搬送台車により搬送される物品を収納する物品収納装置に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献1には、液晶表示装置の製造工場において各製造工程に対応して、製造途中の基板などを保存しておくための自動倉庫(物品収納装置)が設けられており、各製造工程において製造された基板(物品)は、無人搬送車(搬送台車)によって対応する自動倉庫まで搬送され、自動倉庫内に設けられた自動倉庫間で基板を搬送する天井搬送車によって、別の製造工程に対応する自動倉庫に搬送され、この自動倉庫から基板が別の製造工程に搬送されるものが記載されている。
【0003】
【特許文献1】特開2001−159304号公報(図1)
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許文献1では、自動倉庫が各製造工程に近接して設けられているが、生産能力の向上などにより自動倉庫の収容能力を増強させる必要が生じた場合に、自動倉庫を製造工程と同じフロアに設けようとすると、スペースの関係から製造工程と自動倉庫とを近接させて配置することができない場合がある。そして、製造工程と自動倉庫とが離れて配置されると、無人搬送車が製造工程と自動倉庫との間で基板を搬送するのにかかる時間が増大してしまう。
【0005】
本発明の目的は、物品の収納能力を増強させつつ、搬送台車による搬送時間が少ない物品収納装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の物品収納装置は、天井から懸吊されて敷設された搬送軌道に沿って走行する搬送台車により搬送される物品を収納する物品収納装置である。そして、天井裏に設けられた収納空間と、収納空間内に設けられ、物品が収納される収納棚と、搬送台車から収納棚への物品の搬入、及び、収納棚から搬送台車への物品の搬出を行う搬入出装置とを備え、搬入出装置が、天井を貫通して鉛直方向に昇降し、物品を収納空間の内部及び収納空間の外部に搬送するとともに、搬送台車との間で物品の受け渡しを行う昇降搬送装置と、収納空間内に配置され、昇降搬送装置と前記収納棚との間を移動するとともに、昇降搬送装置との間、及び、収納棚との間で物品の受け渡しを行う収納搬送装置とを備えている。
【0007】
これによると、天井裏の空間を、物品を収納するための収納空間として用いることにより、物品の収納能力を増強させることができるとともに、工場設備などにおいて空間を有効活用することができる。さらに、昇降搬送装置は天井の任意の位置に設けることができるため、昇降搬送装置を物品の搬送先及び搬送元に近接させて配置することにより、搬送台車による物品の搬送に係る時間が短縮される。
【0008】
また、本発明の物品収納装置においては、複数の収納棚が一方向に沿って互いに平行に配列されており、収納搬送装置が、隣接する収納棚の間に収納棚の延在方向に沿って配設された第1走行軌道と、第1走行軌道を走行し、収納棚との間で前記物品の受け渡しを行う第1収納台車とを有していてもよい。これによると、複数の収納棚が一方向に沿って互いに平行に配置されている場合、第1収納台車が隣接する収納棚の間に配設された第1走行軌道に沿って走行し、収納棚との物品の受け渡しを行うことにより、収納棚に対する物品の受け渡しを効率よく行うことができる。
【0009】
また、本発明の物品収納装置においては、収納搬送装置が、複数の収納棚を取り囲むように配設された第2走行軌道と、第2走行軌道に沿って走行し、昇降搬送装置との間、及び、第1収納台車との間で物品の受け渡しを行う第2収納台車とをさらに備えていてもよい。これによると、複数の収納棚を取り囲む第2走行軌道に沿って走行する第2収納台車を介して、搬入出装置と任意の収納棚に対応する第1収納台車との間で物品の受け渡しを行うことができるため、収納棚及び対応する第1収納台車の数を増加させ、収納空間における物品の収納能力をさらに増強させることができる。さらに、第1収納台車と第2収納台車とが独立し移動可能であるので、収納棚への物品の収納及び収納棚からの物品の取り出しを効率よく行うことができる。
【0010】
また、本発明の物品収納装置においては、収納搬送装置が、複数の収納棚を取り囲むように配設され、物品を搬送する第1コンベアと、第1コンベアから分岐して収納位置近傍まで延びた第2コンベアとをさらに有し、昇降搬送装置が、第2コンベアとの間で物品の受け渡しを行い、第1収納台車が、第1コンベアとの間で物品の受け渡しを行ってもよい。これによると、複数の収納棚を取り囲むように配設された第1コンベアを介して搬入出装置と任意の収納棚に対応する第1収納台車との間で物品の受け渡しを行うことができるので、収納棚及び対応する第1収納台車の数を増加させ、収納空間における物品の収納能力をさらに向上させることができる。さらに、第1収納台車と第1、第2コンベアとは独立して動作することができるので、収納棚への物品の収納及び収納棚からの物品の取り出しを効率よく行うことができる。加えて、第1、第2コンベアが設けられていることにより、搬入出装置と第2コンベアとの間及び第1コンベアと第2コンベアとの間で物品の受け渡しを即座に行うことができるので、収納棚への物品の収納及び収納棚からの物品の取り出しを一層効率よく行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0011】
以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。
【0012】
図1は本実施の形態に係る搬送システム10の天井裏を除く部分の平面図である。図2は図1のリフタユニット2の1つと天井裏のこのリフタユニット2に対応する部分の斜視図である。図3は図2の天井裏の部分の平面図である。搬送システム10は半導体製造工場のクリーンルーム内に設けられたものであり、図1〜図3に示すように、4つのベイ7、4つのストッカ20、搬送軌道10、OHT(Overhead Hoist Transport)搬送台車17及び収納装置(物品収納装置)101を有する。
【0013】
4つのベイ7は、図1の上下方向に2つずつ、図1の左右方向に2列に配置されている。各ベイ7には4つの半導体製造装置14が設けられており、半導体製造装置14により半導体製造の各工程が行われる。各半導体製造装置14には、製造途中の製品などを搬送するためのキャリア(物品)18を搬入するための搬入ポート15及びキャリア18を搬出するための搬出ポート16が設けられている。
【0014】
4つのストッカ20は、4つのベイ7にそれぞれ隣接して配置されており、内部にキャリア18が収納されている。各ストッカ20には、キャリア18を搬入するための搬入ポート21及びキャリア18を搬出するための搬出ポート22が設けられている。
【0015】
搬送軌道10は天井から懸吊されて敷設された軌道であり、搬送軌道10から懸吊されたOHT搬送台車17が搬送軌道10に沿って走行する(OHT搬送台車17は搬送軌道10に沿って移動可能に支持されている)。そして、OHT搬送台車17がキャリア18を載置しつつ搬送軌道10に沿って走行することにより、キャリア18を半導体製造装置14、ストッカ15及び収納装置101の後述するリフタユニット2に搬送する。
【0016】
搬送軌道10は、工程間軌道11、分岐軌道12及び工程内軌道13から構成されている。工程間軌道11は、図1の上下方向に延びた環状の軌道であり、OHT搬送台車17が工程間軌道11に沿って走行することによりベイ7の間及びベイ7とストッカ20との間でキャリア18を搬送する。
【0017】
分岐軌道12は、4つのベイ7及び4つのストッカ20に対応して工程間軌道11から分岐した軌道である。OHT搬送台車17は、分岐軌道12を介して工程間軌道11と工程内軌道13との間を移動する。又は、OHT搬送台車17は、分岐軌道12に沿ってストッカ20の搬入ポート21の上方まで移動して搬入ポート21にキャリア18を移載し、搬出ポート22の上方まで移動して搬出ポート22に載置されたキャリア18をOHT搬送台車17に移載する。
【0018】
工程内軌道13は、各ベイ7の上方に配設された環状の軌道であり、OHT搬送台車18は、半導体製造装置14にキャリア18を搬入する場合には、工程内軌道13に沿って走行して、半導体製造装置14の搬入ポート15の上方まで移動して搬入ポート15にキャリア18を載置し、半導体製造装置14からキャリア18を搬出する場合には、工程内軌道13に沿って走行して、半導体製造装置14の搬出ポート16の上方まで移動し、搬出ポート16に載置されたキャリア18をOHT搬送台車17に移載する。
【0019】
収納装置101は、ストッカ20とは別に設けられたキャリア18を収納するための装置であり、クリーンルームの天井裏に設けられた収納空間1と、収納空間1に設けられた4つの収納棚23、2本のレール(第1走行軌道)25、2つ移載ロボット(第1搬送台車)24及び作業足場40と、リフタユニット2とにより構成されている。
【0020】
収納空間1は、天井5の上面を床面とする空間である。4つ収納棚23は、キャリア18を収納しておくための略直方体形状の棚であり、収納空間1内に、図3の左右方向に沿って互いに平行に配列されている。2本のレール25は、それぞれ、図3の左から1番目と2番目の収納棚23の間及び左から3番目と4番目の収納棚23の間に、収納棚23と平行に延びている。2つの移載ロボット24は、それぞれ2本のレール25に沿って収納棚23と収納ポート32(リフタ30)との間を走行し、収納棚23にキャリア18を載置する又は収納棚23に載置されたキャリア18を移載ロボット24に移載する(収納棚23との間でキャリア18の受け渡しを行う)。また、移載ロボット24は、レール25に沿って後述する収納ポート32近傍まで移動し、収納ポート32にキャリア18を移載する、あるいは、収納ポート32に載置されたキャリア18を移載ロボット24に移載する。作業足場40は、図2のリフタユニット2の手前側に設けられており、作業者が保守点検をするために用いる足場となっている。
【0021】
このように、クリーンルームの天井裏にキャリア18を収納するための収納空間1を設けることにより、キャリア18の収納能力を増強させることができるとともに、クリーンルームの空間を有効利用することができる。また、収納空間1において、収納棚23を互いに平行に配列し、隣接する収納棚23の間に配置されたレール25に沿って移載ロボット24を移動させて、収納棚23と移載ロボット24との間で効率よくキャリア18の受け渡しを行うことができる。なお、レール25と移載ロボット24とが、本発明の収納搬送装置に相当する。
【0022】
リフタユニット2は、略直方体の外形形状を有する筒状体であり、天井5の各ベイ7の上方の部分を貫通して鉛直方向に延びている。ここで、リフタユニット2は、天井5の任意の位置に設けることができるので、図1、図2に示すように、各ベイ7に近接させて設けることにより、OHT搬送台車17により半導体製造装置14とリフタユニット2との間でキャリア18を搬送するのにかかる時間が短くてすむ。なお、リフタユニット2は2つのリフタ(昇降搬送装置)30が一体となったものである。各リフタ30は、昇降台6、移載装置34、搬入出ポート26、収納ポート32及び地上ポート8を有している。昇降台6は、リフタ30(リフタユニット2)の内部空間内において、キャリア18を載置して鉛直方向に昇降することによりキャリア18を搬入出ポート26及び収納ポート32に搬送する(天井5を貫通して昇降し、キャリア18を収納空間1の内部及び収納空間1の外部に搬送する)。移載装置34は、昇降台6の上面に配置されており、キャリア18を昇降台6に載置する、又は、昇降台6に載置されたキャリア18を搬入出ポート26及び収納ポート32に移載する。
【0023】
搬入出ポート26は、工程内軌道13を走行するOHT搬送台車17の下方において、リフタユニット2に形成された搬入出口28から外側に略水平方向に延びている。搬入出ポート26には、OHT搬送台車17からキャリア18が移載され、搬入出ポート26に移載されたキャリア18はさらに昇降台6に移載される。あるいは、搬入出ポート26には、昇降台6からキャリア18が移載され、搬入出ポート26に移載されたキャリア18は、さらにOHT搬送台車17に移載される。すなわち、搬入出ポート26を介して、OHT搬送台車17と昇降台6(リフタ30)との間でキャリア18の受け渡しが行われる。
【0024】
収納ポート32は、リフタユニット2の上端部付近に形成された収納口35から外側に略水平方向に延びている。収納ポート32には、昇降台6からキャリア18が移載され、収納ポート32に移載されたキャリア18は、さらに移載ロボット24に移載される。あるいは、収納ポート32には、移載ロボット24からキャリア18が移載され、収納ポート18に移載されたキャリア18はさらに昇降台6に移載される。すなわち、収納ポート32を介して、昇降台6と移載ロボット24との間でキャリア18の受け渡しが行われる。
【0025】
地上ポート8は、リフタユニット2の下端部付近に形成された地上搬入出口9から外側に略水平方向に延びている。地上ポート8には、作業者Pによりキャリア18が移載され、地上ポート8に移載されたキャリア18はさらに昇降台6に移載される。あるいは、地上ポート8には、昇降台6によりキャリア18が移載され、地上ポート8に移載されたキャリア18が作業者Pによって取り出される。すなわち、地上ポート8を介して、作業者Pと昇降台6との間でキャリア18の受け渡しが行われる。
【0026】
なお、上述した本発明の収納搬送装置に相当するレール25及び移載ロボット24に、リフタユニット2を加えたものが、本発明の搬入出装置に相当し、この搬入出装置が、OHT搬送台車17から収納棚23へのキャリア18の搬入、及び、収納棚23からOHT搬送台車17へのキャリア18の搬出を行う。
【0027】
ここで、収納棚23にキャリア18を収納する方法及び収納棚23に収納されたキャリア18を取り出す方法について説明する。
【0028】
収納棚23にキャリア18を収納するには、OHT搬送台車17を収納棚23に収納するキャリア18がある半導体製造装置14の搬出ポート16の上方まで移動させ、搬出ポート16からOHT搬送台車17にキャリア18を移載する。そして、OHT搬送台車17を同じベイ7内に設けられたリフタ30(リフタユニット2)の搬入出ポート26の上方まで移動させ、キャリア18を搬入出ポート26に移載する。このとき、リフタ30が、天井5の各ベイ7の上方の部分を貫通して鉛直方向に延びており、各ベイ7に近接した位置にあるので、OHT搬送台車17を搬出ポート16から搬入出ポート26まで移動させるのにかかる時間が少なくてすむ。
【0029】
次に、昇降台6を搬入出口28と同じ高さまで移動させてから、移載装置34により搬入出ポート26に移載されたキャリア28を昇降台6に移載する。そして、昇降台6を収納口35と同じ高さまで移動させ、移載装置34により、キャリア18を昇降台6から収納ポート32に移載する。
【0030】
次に、移載ロボット24をレール25に沿って収納ポート32に近接する位置まで移動させ、収納ポート32に移載されたキャリア18を移載ロボット24に移載する。そして、移載ロボット24を、レール25に沿って収納棚23のキャリア18を収納すべき位置に対向する位置まで移動させ、移載ロボット24から収納棚23にキャリア18を移載し、キャリア18を収納棚23に収納する。
【0031】
一方、収納棚23に収納されたキャリア18を取り出すには、移載ロボット24をレール25に沿って収納棚23の取り出すべきキャリア18が収納された部分に対向する位置まで移動させ、収納棚23から移載ロボット24にキャリア18を移載する。次に、移載ロボット24をレール25に沿って収納ポート32に近接する位置まで移動させ、移載ロボット24から収納ポート32にキャリア18を移載する。
【0032】
次に、昇降台6を収納口35と同じ高さまで移動させ、移載装置34により、収納ポート32から昇降台6にキャリア18を移載する。そして、昇降台6を搬入出口28と同じ高さまで移動させ、移載装置34により昇降台6から搬入出ポート26にキャリア18を移載する。
【0033】
次に、OHT搬送台車17を搬入出ポート26の上方まで移動させ、搬入出ポート26からOHT搬送台車17にキャリア18を移載する。そして、OHT搬送台車17を搬送先の半導体製造装置14の搬入ポート15の上方まで移動させ、OHT搬送台車17から搬入ポート15にキャリア18を移載する。このとき、リフタ30が、天井5の各ベイ7の上方の部分を貫通して鉛直方向に延びており、各ベイ7に近接した位置にあるので、OHT搬送台車17を搬入出ポート26から搬入ポート15まで移動させるのにかかる時間が少なくてすむ。
【0034】
なお、地上ポート8から収納装置101にキャリア18を収納する方法、及び、収納装置101に収納されたキャリア18を地上ポート8において取り出す方法も上述したのと同様であるのでここでは説明を省略する。
【0035】
以上に説明した実施の形態によると、クリーンルームの天井裏の空間を、キャリア18を収納するための収納空間1として用いることにより、キャリア18の収納能力を増強させることができるとともに、クリーンルームにおいて空間を有効活用することができる。さらに、リフタユニット2は天井5の任意の位置に設けることができるため、リフタユニット2を搬送先及び搬送元である半導体製造装置14があるベイ7に近接させて配置することにより、OHT搬送台車17によるキャリア17の搬送にかかる時間が短縮される。
【0036】
また、収納空間1において、収納棚23を互いに平行に配列し、隣接する収納棚23の間に収納棚23の延在方向に沿って延びたレール25に沿って移載ロボット24を移動させることにより、収納棚23と移載ロボット24との間で効率よくキャリア18の受け渡しを行うことができる。
【0037】
次に、本実施の形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。ただし、本実施の形態と同様の構成を有するものについては同じ符号を付し、適宜その説明を省略する。
【0038】
一変形例では、図4に示すように、収納空間3に、6つの収納棚23が図4の左右方向に沿って互いに平行に配列されており、左から1番目と2番目の収納棚23の間、左から3番目と4番目の収納棚23の間、及び、左から5番目と6番目の収納棚23の間にそれぞれレール25が敷設され、レール25に沿って移載ロボット24が走行するように構成されている。さらに、これら6つの収納棚23及び3本のレール25を取り囲むようにレール(第2走行経路)50が敷設され、レール50に沿ってOHS(Over Head Shuttle)搬送台車(第2収納台車)51が走行する(変形例1)。
【0039】
この場合、収納空間3にキャリア18を収納する際には、前述したのと同様、キャリア18を載置した昇降台6を、収納口35(図2参照)と同じ高さまで移動させる。そして、昇降台6から、移載装置34によりこの昇降台6に近接する位置まで移動させたOHS搬送台車51にキャリア18を移載し、OHS搬送台車51をこのキャリア18が収納される収納棚23に対応する移載ロボット24が走行するレール25の一方の端近傍まで移動させ、この位置において、OHS搬送台車51から移載ロボット24にキャリア18を移載する。
【0040】
一方、収納空間3に収納されたキャリア18を取り出す際には、取り出すべきキャリア18が収納された収納棚23に対応する移載ロボット24が走行するレール25の一方の端近傍までOHS搬送台車51を移動させ、移載ロボット24からOHS搬送台車51にキャリア18を移載する。そして、OHS搬送台車51をレール50に沿ってリフタユニット2と近接する位置まで移動させ、移載装置34によりOHS搬送台車51から昇降台6にキャリア18を移載する。
【0041】
この場合には、複数の収納棚23を取り囲むように敷設されたレール50に沿って走行するOHS搬送台車51を介して、昇降台6と移載ロボット24との間のキャリア18の受け渡しを行っているので、リフタユニット2とレール25とが離れて配置されていてもよく、収納棚23、レール25及び移載ロボット24の数を増加させて、収納空間3におけるキャリア18の収納能力を増強させることができる。
【0042】
また、移載ロボット24とOHS搬送台車51とは独立して移動可能であるので、移載ロボット24が収納棚23との間でキャリア18の受け渡しを行っている間にも、OHS搬送台車51と昇降台6との間でキャリア18の受け渡しを行うことができ、収納空間3へのキャリア18の収納及び収納空間3からのキャリア18の取り出しを効率よく行うことができる。
【0043】
なお、変形例1では、収納棚23の数を6つ、レール25及び移載ロボット24の数を3本としているが、収納棚23、レール25及び移載ロボット24の数を、収納空間3の大きさに合わせて適宜増加させることも可能である。また、変形例1においては、レール25、移載ロボット24、レール50及びOHS搬送台車51が、本発明の収納搬送装置に相当する。
【0044】
別の一変形例では、図5に示すように、収納空間4に変形例1と同様、6つの収納棚23が図5の左右方向に沿って互いに平行に配列されており、左から1番目と2番目の収納棚23の間、左から3番目と4番目の収納棚23の間、及び、左から5番目と6番目の収納棚23の間にそれぞれレール25が敷設され、レール25に沿って移載ロボット24が走行するように構成されている。さらに、これら6つの収納棚23及び3本のレール25を取り囲むようにコンベア(第1コンベア)52が敷設されており、また、コンベア52から分岐したコンベア(第2コンベア)53がリフタユニット2に近接する位置まで延びている。さらに、コンベア52とコンベア53との分岐点、コンベア53のリフタユニット2近傍、及び、コンベア52のレール25の両端近傍には、それぞれ、ターンテーブル55、56、57が設けられている(変形例2)。
【0045】
この場合、収納空間4にキャリア18を収納する際には、前述したように、キャリア18を載置した昇降台6を収納口35(図2参照)と同じ高さまで移動させる。そして、昇降台6から、移載装置34によりターンテーブル56にキャリア18を移載する。すると、キャリア18がコンベア53に沿ってコンベア52との分岐点に設けられたターンテーブル55まで搬送される。さらに、キャリア18は、コンベア52に沿ってこのキャリア18が収納される収納棚23に対応するレール25の一方の端近傍に配置されたターンテーブル57上まで搬送され、このターンテーブル57によってその位置に留められる。そして、このターンテーブル57上に留められた搬送されたキャリア18は移載ロボット24に移載される。
【0046】
一方、収納空間4に収納されたキャリア18を取り出す際には、取り出すキャリア18が収納された収納棚23に対応する移載ロボット24がレール25の一方の端近傍ターンテーブル55にキャリア18を載置する。すると、キャリア18は、コンベア52に沿って搬送先の半導体制御装置14(図1参照)があるベイ7(図1参照)に対応するリフタユニット2とコンベア52との間に延びたコンベア53との分岐点にあるターンテーブル55まで搬送され、ターンテーブル55によってコンベア52に搬送される。さらに、キャリア18はコンベア52によりリフタユニット2近傍にあるターンテーブル56まで搬送され、ターンテーブル56によってその位置に留められる。そして、このターンテーブル56に留められたキャリア18を移載装置34により昇降台6に移載する。
【0047】
この場合には、複数の収納棚23を取り囲むように敷設されたコンベア52、及び、コンベア52から分岐したコンベア53を介して、昇降台6と移載ロボット24との間のキャリア18の受け渡しを行っているので、リフタユニット2とレール25とが離れて配置されていてもよく、収納棚23、レール25及び移載ロボット24の数を増加させて、収納空間4におけるキャリア18の収納能力を増強させることができる。
【0048】
また、移載ロボット24とコンベア52、53とは独立して動作するので、移載ロボット24が収納棚23との間でキャリア18の受け渡しを行っている間にも、昇降台6とコンベア53との間でキャリア18の受け渡しを行うことができ、収納空間4へのキャリア18の収納及び収納空間4からのキャリア18の取り出しを効率よく行うことができる。さらに、昇降台6から移載ロボット24までキャリア18を搬送するのが、コンベア52、53であるので、昇降台6との間でキャリア18の受け渡しを行う際に、変形例1のようにOHS搬送台車51(図4参照)が昇降台6の近傍にくるのを待つ必要がなく、昇降台6とコンベア53との間で即座にキャリア18の受け渡しを行い、コンベア52に搬送することができるため、収納空間4へのキャリア18の収納及び収納空間4からのキャリア18の取り出しを一層効率よく行うことができる。
【0049】
なお、変形例2でも、変形例1と同様、収納棚23、レール25及び移載ロボット24の数を、収納空間4の大きさに合わせて適宜増加させることが可能である。また、変形例2においては、レール25、移載ロボット24、コンベア52、53及びターンテーブル55〜57が本発明の収納搬送装置に相当する。
【0050】
また、本実施の形態では、搬送台車としてOHT搬送台車17を用いた例について説明したが、搬送台車として、OHS搬送台車などOHT搬送台車17以外のものを用いてもよい。
【0051】
また、本実施の形態では、リフタユニット2を構成する2つのリフタ30の両方を収納空間1へのキャリア18の収納、及び、収納空間1からのキャリア18の取り出しのために使用したが、2つのリフタ30のうちの一方を収納空間1へのキャリア18の収納のためだけに使用し、他方を収納空間1からのキャリア18の取り出しのためだけに使用し、収納空間1からのキャリア18の取り出しのために使用するリフタ30の収納口32近傍にエアシャワーを設けてもよい。この場合には、収納空間1内に僅かな塵等があり、その塵がキャリア18に付着していたとしても、エアシャワーによりその塵が除去され、クリーンルーム内に塵が持ち込まれるのを防止することができる。
【0052】
また、収納空間1が外気に連通している場合には、収納空間内に外気中に含まれる塵などを除去し、収納空間1の内部に塵が入るのを防止するためのフィルタが設けられていてもよい。
【0053】
また、天井5は、本実施の形態の場合のように上面が平面となった構造の他に、グレーチング構造などにすることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【0054】
【図1】本発明の実施の形態に係る搬送システムの天井裏を除く部分の概略構成図である。
【図2】図1の搬送システムの1つのリフタユニットと天井裏のこのリフタユニットに対応する部分の斜視図である。
【図3】図2の天井裏の部分の平面図である。
【図4】変形例1の図3相当の平面図である。
【図5】変形例2の図3相当の平面図である。
【符号の説明】
【0055】
1 収納空間
2 リフタユニット
5 天井
6 昇降台
10 搬送システム
17 OHT搬送台車
18 キャリア
23 収納棚
24 移載ロボット
25 レール
30 リフタ
50 レール
51 OHS搬送台車
52、53 コンベア
55〜57 ターンテーブル
101 収納装置
【技術分野】
【0001】
本発明は、天井から懸吊された搬送台車により搬送される物品を収納する物品収納装置に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献1には、液晶表示装置の製造工場において各製造工程に対応して、製造途中の基板などを保存しておくための自動倉庫(物品収納装置)が設けられており、各製造工程において製造された基板(物品)は、無人搬送車(搬送台車)によって対応する自動倉庫まで搬送され、自動倉庫内に設けられた自動倉庫間で基板を搬送する天井搬送車によって、別の製造工程に対応する自動倉庫に搬送され、この自動倉庫から基板が別の製造工程に搬送されるものが記載されている。
【0003】
【特許文献1】特開2001−159304号公報(図1)
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許文献1では、自動倉庫が各製造工程に近接して設けられているが、生産能力の向上などにより自動倉庫の収容能力を増強させる必要が生じた場合に、自動倉庫を製造工程と同じフロアに設けようとすると、スペースの関係から製造工程と自動倉庫とを近接させて配置することができない場合がある。そして、製造工程と自動倉庫とが離れて配置されると、無人搬送車が製造工程と自動倉庫との間で基板を搬送するのにかかる時間が増大してしまう。
【0005】
本発明の目的は、物品の収納能力を増強させつつ、搬送台車による搬送時間が少ない物品収納装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の物品収納装置は、天井から懸吊されて敷設された搬送軌道に沿って走行する搬送台車により搬送される物品を収納する物品収納装置である。そして、天井裏に設けられた収納空間と、収納空間内に設けられ、物品が収納される収納棚と、搬送台車から収納棚への物品の搬入、及び、収納棚から搬送台車への物品の搬出を行う搬入出装置とを備え、搬入出装置が、天井を貫通して鉛直方向に昇降し、物品を収納空間の内部及び収納空間の外部に搬送するとともに、搬送台車との間で物品の受け渡しを行う昇降搬送装置と、収納空間内に配置され、昇降搬送装置と前記収納棚との間を移動するとともに、昇降搬送装置との間、及び、収納棚との間で物品の受け渡しを行う収納搬送装置とを備えている。
【0007】
これによると、天井裏の空間を、物品を収納するための収納空間として用いることにより、物品の収納能力を増強させることができるとともに、工場設備などにおいて空間を有効活用することができる。さらに、昇降搬送装置は天井の任意の位置に設けることができるため、昇降搬送装置を物品の搬送先及び搬送元に近接させて配置することにより、搬送台車による物品の搬送に係る時間が短縮される。
【0008】
また、本発明の物品収納装置においては、複数の収納棚が一方向に沿って互いに平行に配列されており、収納搬送装置が、隣接する収納棚の間に収納棚の延在方向に沿って配設された第1走行軌道と、第1走行軌道を走行し、収納棚との間で前記物品の受け渡しを行う第1収納台車とを有していてもよい。これによると、複数の収納棚が一方向に沿って互いに平行に配置されている場合、第1収納台車が隣接する収納棚の間に配設された第1走行軌道に沿って走行し、収納棚との物品の受け渡しを行うことにより、収納棚に対する物品の受け渡しを効率よく行うことができる。
【0009】
また、本発明の物品収納装置においては、収納搬送装置が、複数の収納棚を取り囲むように配設された第2走行軌道と、第2走行軌道に沿って走行し、昇降搬送装置との間、及び、第1収納台車との間で物品の受け渡しを行う第2収納台車とをさらに備えていてもよい。これによると、複数の収納棚を取り囲む第2走行軌道に沿って走行する第2収納台車を介して、搬入出装置と任意の収納棚に対応する第1収納台車との間で物品の受け渡しを行うことができるため、収納棚及び対応する第1収納台車の数を増加させ、収納空間における物品の収納能力をさらに増強させることができる。さらに、第1収納台車と第2収納台車とが独立し移動可能であるので、収納棚への物品の収納及び収納棚からの物品の取り出しを効率よく行うことができる。
【0010】
また、本発明の物品収納装置においては、収納搬送装置が、複数の収納棚を取り囲むように配設され、物品を搬送する第1コンベアと、第1コンベアから分岐して収納位置近傍まで延びた第2コンベアとをさらに有し、昇降搬送装置が、第2コンベアとの間で物品の受け渡しを行い、第1収納台車が、第1コンベアとの間で物品の受け渡しを行ってもよい。これによると、複数の収納棚を取り囲むように配設された第1コンベアを介して搬入出装置と任意の収納棚に対応する第1収納台車との間で物品の受け渡しを行うことができるので、収納棚及び対応する第1収納台車の数を増加させ、収納空間における物品の収納能力をさらに向上させることができる。さらに、第1収納台車と第1、第2コンベアとは独立して動作することができるので、収納棚への物品の収納及び収納棚からの物品の取り出しを効率よく行うことができる。加えて、第1、第2コンベアが設けられていることにより、搬入出装置と第2コンベアとの間及び第1コンベアと第2コンベアとの間で物品の受け渡しを即座に行うことができるので、収納棚への物品の収納及び収納棚からの物品の取り出しを一層効率よく行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0011】
以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。
【0012】
図1は本実施の形態に係る搬送システム10の天井裏を除く部分の平面図である。図2は図1のリフタユニット2の1つと天井裏のこのリフタユニット2に対応する部分の斜視図である。図3は図2の天井裏の部分の平面図である。搬送システム10は半導体製造工場のクリーンルーム内に設けられたものであり、図1〜図3に示すように、4つのベイ7、4つのストッカ20、搬送軌道10、OHT(Overhead Hoist Transport)搬送台車17及び収納装置(物品収納装置)101を有する。
【0013】
4つのベイ7は、図1の上下方向に2つずつ、図1の左右方向に2列に配置されている。各ベイ7には4つの半導体製造装置14が設けられており、半導体製造装置14により半導体製造の各工程が行われる。各半導体製造装置14には、製造途中の製品などを搬送するためのキャリア(物品)18を搬入するための搬入ポート15及びキャリア18を搬出するための搬出ポート16が設けられている。
【0014】
4つのストッカ20は、4つのベイ7にそれぞれ隣接して配置されており、内部にキャリア18が収納されている。各ストッカ20には、キャリア18を搬入するための搬入ポート21及びキャリア18を搬出するための搬出ポート22が設けられている。
【0015】
搬送軌道10は天井から懸吊されて敷設された軌道であり、搬送軌道10から懸吊されたOHT搬送台車17が搬送軌道10に沿って走行する(OHT搬送台車17は搬送軌道10に沿って移動可能に支持されている)。そして、OHT搬送台車17がキャリア18を載置しつつ搬送軌道10に沿って走行することにより、キャリア18を半導体製造装置14、ストッカ15及び収納装置101の後述するリフタユニット2に搬送する。
【0016】
搬送軌道10は、工程間軌道11、分岐軌道12及び工程内軌道13から構成されている。工程間軌道11は、図1の上下方向に延びた環状の軌道であり、OHT搬送台車17が工程間軌道11に沿って走行することによりベイ7の間及びベイ7とストッカ20との間でキャリア18を搬送する。
【0017】
分岐軌道12は、4つのベイ7及び4つのストッカ20に対応して工程間軌道11から分岐した軌道である。OHT搬送台車17は、分岐軌道12を介して工程間軌道11と工程内軌道13との間を移動する。又は、OHT搬送台車17は、分岐軌道12に沿ってストッカ20の搬入ポート21の上方まで移動して搬入ポート21にキャリア18を移載し、搬出ポート22の上方まで移動して搬出ポート22に載置されたキャリア18をOHT搬送台車17に移載する。
【0018】
工程内軌道13は、各ベイ7の上方に配設された環状の軌道であり、OHT搬送台車18は、半導体製造装置14にキャリア18を搬入する場合には、工程内軌道13に沿って走行して、半導体製造装置14の搬入ポート15の上方まで移動して搬入ポート15にキャリア18を載置し、半導体製造装置14からキャリア18を搬出する場合には、工程内軌道13に沿って走行して、半導体製造装置14の搬出ポート16の上方まで移動し、搬出ポート16に載置されたキャリア18をOHT搬送台車17に移載する。
【0019】
収納装置101は、ストッカ20とは別に設けられたキャリア18を収納するための装置であり、クリーンルームの天井裏に設けられた収納空間1と、収納空間1に設けられた4つの収納棚23、2本のレール(第1走行軌道)25、2つ移載ロボット(第1搬送台車)24及び作業足場40と、リフタユニット2とにより構成されている。
【0020】
収納空間1は、天井5の上面を床面とする空間である。4つ収納棚23は、キャリア18を収納しておくための略直方体形状の棚であり、収納空間1内に、図3の左右方向に沿って互いに平行に配列されている。2本のレール25は、それぞれ、図3の左から1番目と2番目の収納棚23の間及び左から3番目と4番目の収納棚23の間に、収納棚23と平行に延びている。2つの移載ロボット24は、それぞれ2本のレール25に沿って収納棚23と収納ポート32(リフタ30)との間を走行し、収納棚23にキャリア18を載置する又は収納棚23に載置されたキャリア18を移載ロボット24に移載する(収納棚23との間でキャリア18の受け渡しを行う)。また、移載ロボット24は、レール25に沿って後述する収納ポート32近傍まで移動し、収納ポート32にキャリア18を移載する、あるいは、収納ポート32に載置されたキャリア18を移載ロボット24に移載する。作業足場40は、図2のリフタユニット2の手前側に設けられており、作業者が保守点検をするために用いる足場となっている。
【0021】
このように、クリーンルームの天井裏にキャリア18を収納するための収納空間1を設けることにより、キャリア18の収納能力を増強させることができるとともに、クリーンルームの空間を有効利用することができる。また、収納空間1において、収納棚23を互いに平行に配列し、隣接する収納棚23の間に配置されたレール25に沿って移載ロボット24を移動させて、収納棚23と移載ロボット24との間で効率よくキャリア18の受け渡しを行うことができる。なお、レール25と移載ロボット24とが、本発明の収納搬送装置に相当する。
【0022】
リフタユニット2は、略直方体の外形形状を有する筒状体であり、天井5の各ベイ7の上方の部分を貫通して鉛直方向に延びている。ここで、リフタユニット2は、天井5の任意の位置に設けることができるので、図1、図2に示すように、各ベイ7に近接させて設けることにより、OHT搬送台車17により半導体製造装置14とリフタユニット2との間でキャリア18を搬送するのにかかる時間が短くてすむ。なお、リフタユニット2は2つのリフタ(昇降搬送装置)30が一体となったものである。各リフタ30は、昇降台6、移載装置34、搬入出ポート26、収納ポート32及び地上ポート8を有している。昇降台6は、リフタ30(リフタユニット2)の内部空間内において、キャリア18を載置して鉛直方向に昇降することによりキャリア18を搬入出ポート26及び収納ポート32に搬送する(天井5を貫通して昇降し、キャリア18を収納空間1の内部及び収納空間1の外部に搬送する)。移載装置34は、昇降台6の上面に配置されており、キャリア18を昇降台6に載置する、又は、昇降台6に載置されたキャリア18を搬入出ポート26及び収納ポート32に移載する。
【0023】
搬入出ポート26は、工程内軌道13を走行するOHT搬送台車17の下方において、リフタユニット2に形成された搬入出口28から外側に略水平方向に延びている。搬入出ポート26には、OHT搬送台車17からキャリア18が移載され、搬入出ポート26に移載されたキャリア18はさらに昇降台6に移載される。あるいは、搬入出ポート26には、昇降台6からキャリア18が移載され、搬入出ポート26に移載されたキャリア18は、さらにOHT搬送台車17に移載される。すなわち、搬入出ポート26を介して、OHT搬送台車17と昇降台6(リフタ30)との間でキャリア18の受け渡しが行われる。
【0024】
収納ポート32は、リフタユニット2の上端部付近に形成された収納口35から外側に略水平方向に延びている。収納ポート32には、昇降台6からキャリア18が移載され、収納ポート32に移載されたキャリア18は、さらに移載ロボット24に移載される。あるいは、収納ポート32には、移載ロボット24からキャリア18が移載され、収納ポート18に移載されたキャリア18はさらに昇降台6に移載される。すなわち、収納ポート32を介して、昇降台6と移載ロボット24との間でキャリア18の受け渡しが行われる。
【0025】
地上ポート8は、リフタユニット2の下端部付近に形成された地上搬入出口9から外側に略水平方向に延びている。地上ポート8には、作業者Pによりキャリア18が移載され、地上ポート8に移載されたキャリア18はさらに昇降台6に移載される。あるいは、地上ポート8には、昇降台6によりキャリア18が移載され、地上ポート8に移載されたキャリア18が作業者Pによって取り出される。すなわち、地上ポート8を介して、作業者Pと昇降台6との間でキャリア18の受け渡しが行われる。
【0026】
なお、上述した本発明の収納搬送装置に相当するレール25及び移載ロボット24に、リフタユニット2を加えたものが、本発明の搬入出装置に相当し、この搬入出装置が、OHT搬送台車17から収納棚23へのキャリア18の搬入、及び、収納棚23からOHT搬送台車17へのキャリア18の搬出を行う。
【0027】
ここで、収納棚23にキャリア18を収納する方法及び収納棚23に収納されたキャリア18を取り出す方法について説明する。
【0028】
収納棚23にキャリア18を収納するには、OHT搬送台車17を収納棚23に収納するキャリア18がある半導体製造装置14の搬出ポート16の上方まで移動させ、搬出ポート16からOHT搬送台車17にキャリア18を移載する。そして、OHT搬送台車17を同じベイ7内に設けられたリフタ30(リフタユニット2)の搬入出ポート26の上方まで移動させ、キャリア18を搬入出ポート26に移載する。このとき、リフタ30が、天井5の各ベイ7の上方の部分を貫通して鉛直方向に延びており、各ベイ7に近接した位置にあるので、OHT搬送台車17を搬出ポート16から搬入出ポート26まで移動させるのにかかる時間が少なくてすむ。
【0029】
次に、昇降台6を搬入出口28と同じ高さまで移動させてから、移載装置34により搬入出ポート26に移載されたキャリア28を昇降台6に移載する。そして、昇降台6を収納口35と同じ高さまで移動させ、移載装置34により、キャリア18を昇降台6から収納ポート32に移載する。
【0030】
次に、移載ロボット24をレール25に沿って収納ポート32に近接する位置まで移動させ、収納ポート32に移載されたキャリア18を移載ロボット24に移載する。そして、移載ロボット24を、レール25に沿って収納棚23のキャリア18を収納すべき位置に対向する位置まで移動させ、移載ロボット24から収納棚23にキャリア18を移載し、キャリア18を収納棚23に収納する。
【0031】
一方、収納棚23に収納されたキャリア18を取り出すには、移載ロボット24をレール25に沿って収納棚23の取り出すべきキャリア18が収納された部分に対向する位置まで移動させ、収納棚23から移載ロボット24にキャリア18を移載する。次に、移載ロボット24をレール25に沿って収納ポート32に近接する位置まで移動させ、移載ロボット24から収納ポート32にキャリア18を移載する。
【0032】
次に、昇降台6を収納口35と同じ高さまで移動させ、移載装置34により、収納ポート32から昇降台6にキャリア18を移載する。そして、昇降台6を搬入出口28と同じ高さまで移動させ、移載装置34により昇降台6から搬入出ポート26にキャリア18を移載する。
【0033】
次に、OHT搬送台車17を搬入出ポート26の上方まで移動させ、搬入出ポート26からOHT搬送台車17にキャリア18を移載する。そして、OHT搬送台車17を搬送先の半導体製造装置14の搬入ポート15の上方まで移動させ、OHT搬送台車17から搬入ポート15にキャリア18を移載する。このとき、リフタ30が、天井5の各ベイ7の上方の部分を貫通して鉛直方向に延びており、各ベイ7に近接した位置にあるので、OHT搬送台車17を搬入出ポート26から搬入ポート15まで移動させるのにかかる時間が少なくてすむ。
【0034】
なお、地上ポート8から収納装置101にキャリア18を収納する方法、及び、収納装置101に収納されたキャリア18を地上ポート8において取り出す方法も上述したのと同様であるのでここでは説明を省略する。
【0035】
以上に説明した実施の形態によると、クリーンルームの天井裏の空間を、キャリア18を収納するための収納空間1として用いることにより、キャリア18の収納能力を増強させることができるとともに、クリーンルームにおいて空間を有効活用することができる。さらに、リフタユニット2は天井5の任意の位置に設けることができるため、リフタユニット2を搬送先及び搬送元である半導体製造装置14があるベイ7に近接させて配置することにより、OHT搬送台車17によるキャリア17の搬送にかかる時間が短縮される。
【0036】
また、収納空間1において、収納棚23を互いに平行に配列し、隣接する収納棚23の間に収納棚23の延在方向に沿って延びたレール25に沿って移載ロボット24を移動させることにより、収納棚23と移載ロボット24との間で効率よくキャリア18の受け渡しを行うことができる。
【0037】
次に、本実施の形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。ただし、本実施の形態と同様の構成を有するものについては同じ符号を付し、適宜その説明を省略する。
【0038】
一変形例では、図4に示すように、収納空間3に、6つの収納棚23が図4の左右方向に沿って互いに平行に配列されており、左から1番目と2番目の収納棚23の間、左から3番目と4番目の収納棚23の間、及び、左から5番目と6番目の収納棚23の間にそれぞれレール25が敷設され、レール25に沿って移載ロボット24が走行するように構成されている。さらに、これら6つの収納棚23及び3本のレール25を取り囲むようにレール(第2走行経路)50が敷設され、レール50に沿ってOHS(Over Head Shuttle)搬送台車(第2収納台車)51が走行する(変形例1)。
【0039】
この場合、収納空間3にキャリア18を収納する際には、前述したのと同様、キャリア18を載置した昇降台6を、収納口35(図2参照)と同じ高さまで移動させる。そして、昇降台6から、移載装置34によりこの昇降台6に近接する位置まで移動させたOHS搬送台車51にキャリア18を移載し、OHS搬送台車51をこのキャリア18が収納される収納棚23に対応する移載ロボット24が走行するレール25の一方の端近傍まで移動させ、この位置において、OHS搬送台車51から移載ロボット24にキャリア18を移載する。
【0040】
一方、収納空間3に収納されたキャリア18を取り出す際には、取り出すべきキャリア18が収納された収納棚23に対応する移載ロボット24が走行するレール25の一方の端近傍までOHS搬送台車51を移動させ、移載ロボット24からOHS搬送台車51にキャリア18を移載する。そして、OHS搬送台車51をレール50に沿ってリフタユニット2と近接する位置まで移動させ、移載装置34によりOHS搬送台車51から昇降台6にキャリア18を移載する。
【0041】
この場合には、複数の収納棚23を取り囲むように敷設されたレール50に沿って走行するOHS搬送台車51を介して、昇降台6と移載ロボット24との間のキャリア18の受け渡しを行っているので、リフタユニット2とレール25とが離れて配置されていてもよく、収納棚23、レール25及び移載ロボット24の数を増加させて、収納空間3におけるキャリア18の収納能力を増強させることができる。
【0042】
また、移載ロボット24とOHS搬送台車51とは独立して移動可能であるので、移載ロボット24が収納棚23との間でキャリア18の受け渡しを行っている間にも、OHS搬送台車51と昇降台6との間でキャリア18の受け渡しを行うことができ、収納空間3へのキャリア18の収納及び収納空間3からのキャリア18の取り出しを効率よく行うことができる。
【0043】
なお、変形例1では、収納棚23の数を6つ、レール25及び移載ロボット24の数を3本としているが、収納棚23、レール25及び移載ロボット24の数を、収納空間3の大きさに合わせて適宜増加させることも可能である。また、変形例1においては、レール25、移載ロボット24、レール50及びOHS搬送台車51が、本発明の収納搬送装置に相当する。
【0044】
別の一変形例では、図5に示すように、収納空間4に変形例1と同様、6つの収納棚23が図5の左右方向に沿って互いに平行に配列されており、左から1番目と2番目の収納棚23の間、左から3番目と4番目の収納棚23の間、及び、左から5番目と6番目の収納棚23の間にそれぞれレール25が敷設され、レール25に沿って移載ロボット24が走行するように構成されている。さらに、これら6つの収納棚23及び3本のレール25を取り囲むようにコンベア(第1コンベア)52が敷設されており、また、コンベア52から分岐したコンベア(第2コンベア)53がリフタユニット2に近接する位置まで延びている。さらに、コンベア52とコンベア53との分岐点、コンベア53のリフタユニット2近傍、及び、コンベア52のレール25の両端近傍には、それぞれ、ターンテーブル55、56、57が設けられている(変形例2)。
【0045】
この場合、収納空間4にキャリア18を収納する際には、前述したように、キャリア18を載置した昇降台6を収納口35(図2参照)と同じ高さまで移動させる。そして、昇降台6から、移載装置34によりターンテーブル56にキャリア18を移載する。すると、キャリア18がコンベア53に沿ってコンベア52との分岐点に設けられたターンテーブル55まで搬送される。さらに、キャリア18は、コンベア52に沿ってこのキャリア18が収納される収納棚23に対応するレール25の一方の端近傍に配置されたターンテーブル57上まで搬送され、このターンテーブル57によってその位置に留められる。そして、このターンテーブル57上に留められた搬送されたキャリア18は移載ロボット24に移載される。
【0046】
一方、収納空間4に収納されたキャリア18を取り出す際には、取り出すキャリア18が収納された収納棚23に対応する移載ロボット24がレール25の一方の端近傍ターンテーブル55にキャリア18を載置する。すると、キャリア18は、コンベア52に沿って搬送先の半導体制御装置14(図1参照)があるベイ7(図1参照)に対応するリフタユニット2とコンベア52との間に延びたコンベア53との分岐点にあるターンテーブル55まで搬送され、ターンテーブル55によってコンベア52に搬送される。さらに、キャリア18はコンベア52によりリフタユニット2近傍にあるターンテーブル56まで搬送され、ターンテーブル56によってその位置に留められる。そして、このターンテーブル56に留められたキャリア18を移載装置34により昇降台6に移載する。
【0047】
この場合には、複数の収納棚23を取り囲むように敷設されたコンベア52、及び、コンベア52から分岐したコンベア53を介して、昇降台6と移載ロボット24との間のキャリア18の受け渡しを行っているので、リフタユニット2とレール25とが離れて配置されていてもよく、収納棚23、レール25及び移載ロボット24の数を増加させて、収納空間4におけるキャリア18の収納能力を増強させることができる。
【0048】
また、移載ロボット24とコンベア52、53とは独立して動作するので、移載ロボット24が収納棚23との間でキャリア18の受け渡しを行っている間にも、昇降台6とコンベア53との間でキャリア18の受け渡しを行うことができ、収納空間4へのキャリア18の収納及び収納空間4からのキャリア18の取り出しを効率よく行うことができる。さらに、昇降台6から移載ロボット24までキャリア18を搬送するのが、コンベア52、53であるので、昇降台6との間でキャリア18の受け渡しを行う際に、変形例1のようにOHS搬送台車51(図4参照)が昇降台6の近傍にくるのを待つ必要がなく、昇降台6とコンベア53との間で即座にキャリア18の受け渡しを行い、コンベア52に搬送することができるため、収納空間4へのキャリア18の収納及び収納空間4からのキャリア18の取り出しを一層効率よく行うことができる。
【0049】
なお、変形例2でも、変形例1と同様、収納棚23、レール25及び移載ロボット24の数を、収納空間4の大きさに合わせて適宜増加させることが可能である。また、変形例2においては、レール25、移載ロボット24、コンベア52、53及びターンテーブル55〜57が本発明の収納搬送装置に相当する。
【0050】
また、本実施の形態では、搬送台車としてOHT搬送台車17を用いた例について説明したが、搬送台車として、OHS搬送台車などOHT搬送台車17以外のものを用いてもよい。
【0051】
また、本実施の形態では、リフタユニット2を構成する2つのリフタ30の両方を収納空間1へのキャリア18の収納、及び、収納空間1からのキャリア18の取り出しのために使用したが、2つのリフタ30のうちの一方を収納空間1へのキャリア18の収納のためだけに使用し、他方を収納空間1からのキャリア18の取り出しのためだけに使用し、収納空間1からのキャリア18の取り出しのために使用するリフタ30の収納口32近傍にエアシャワーを設けてもよい。この場合には、収納空間1内に僅かな塵等があり、その塵がキャリア18に付着していたとしても、エアシャワーによりその塵が除去され、クリーンルーム内に塵が持ち込まれるのを防止することができる。
【0052】
また、収納空間1が外気に連通している場合には、収納空間内に外気中に含まれる塵などを除去し、収納空間1の内部に塵が入るのを防止するためのフィルタが設けられていてもよい。
【0053】
また、天井5は、本実施の形態の場合のように上面が平面となった構造の他に、グレーチング構造などにすることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【0054】
【図1】本発明の実施の形態に係る搬送システムの天井裏を除く部分の概略構成図である。
【図2】図1の搬送システムの1つのリフタユニットと天井裏のこのリフタユニットに対応する部分の斜視図である。
【図3】図2の天井裏の部分の平面図である。
【図4】変形例1の図3相当の平面図である。
【図5】変形例2の図3相当の平面図である。
【符号の説明】
【0055】
1 収納空間
2 リフタユニット
5 天井
6 昇降台
10 搬送システム
17 OHT搬送台車
18 キャリア
23 収納棚
24 移載ロボット
25 レール
30 リフタ
50 レール
51 OHS搬送台車
52、53 コンベア
55〜57 ターンテーブル
101 収納装置
【特許請求の範囲】
【請求項1】
天井から懸吊されて敷設された搬送軌道に沿って走行する搬送台車により搬送される物品を収納する物品収納装置であって、
天井裏に設けられた収納空間と、
前記収納空間内に設けられ、前記物品が収納される収納棚と、
前記搬送台車から前記収納棚への前記物品の搬入、及び、前記収納棚から前記搬送台車への前記物品の搬出を行う搬入出装置とを備え、
前記搬入出装置が、
前記天井を貫通して鉛直方向に昇降し、前記物品を前記収納空間の内部及び前記収納空間の外部に搬送するとともに、前記搬送台車との間で前記物品の受け渡しを行う昇降搬送装置と、
前記収納空間内に配置され、前記昇降搬送装置と前記収納棚との間を移動するとともに、前記昇降搬送装置との間、及び、前記収納棚との間で前記物品の受け渡しを行う収納搬送装置とを備えていることを特徴とする物品収納装置。
【請求項2】
複数の前記収納棚が一方向に沿って互いに平行に配列されており、
前記収納搬送装置が、
隣接する前記収納棚の間に前記収納棚の延在方向に沿って配設された第1走行軌道と、
前記第1走行軌道を走行し、前記収納棚との間で前記物品の受け渡しを行う第1収納台車とを有していることを特徴とする請求項1に記載の物品収納装置。
【請求項3】
前記収納搬送装置が、
複数の前記収納棚を取り囲むように配設された第2走行軌道と、
前記第2走行軌道に沿って走行し、前記昇降搬送装置との間、及び、前記第1収納台車との間で前記物品の受け渡しを行う第2収納台車とをさらに備えていることを特徴とする請求項2に記載の物品収納装置。
【請求項4】
前記収納搬送装置が、
複数の前記収納棚を取り囲むように配設され、前記物品を搬送する第1コンベアと、
前記第1コンベアから分岐して前記収納位置近傍まで延びた第2コンベアとをさらに有し、
前記昇降搬送装置が、前記第2コンベアとの間で前記物品の受け渡しを行い、
前記第1収納台車が、前記第1コンベアとの間で前記物品の受け渡しを行うことを特徴とする請求項2に記載の物品収納装置。
【請求項1】
天井から懸吊されて敷設された搬送軌道に沿って走行する搬送台車により搬送される物品を収納する物品収納装置であって、
天井裏に設けられた収納空間と、
前記収納空間内に設けられ、前記物品が収納される収納棚と、
前記搬送台車から前記収納棚への前記物品の搬入、及び、前記収納棚から前記搬送台車への前記物品の搬出を行う搬入出装置とを備え、
前記搬入出装置が、
前記天井を貫通して鉛直方向に昇降し、前記物品を前記収納空間の内部及び前記収納空間の外部に搬送するとともに、前記搬送台車との間で前記物品の受け渡しを行う昇降搬送装置と、
前記収納空間内に配置され、前記昇降搬送装置と前記収納棚との間を移動するとともに、前記昇降搬送装置との間、及び、前記収納棚との間で前記物品の受け渡しを行う収納搬送装置とを備えていることを特徴とする物品収納装置。
【請求項2】
複数の前記収納棚が一方向に沿って互いに平行に配列されており、
前記収納搬送装置が、
隣接する前記収納棚の間に前記収納棚の延在方向に沿って配設された第1走行軌道と、
前記第1走行軌道を走行し、前記収納棚との間で前記物品の受け渡しを行う第1収納台車とを有していることを特徴とする請求項1に記載の物品収納装置。
【請求項3】
前記収納搬送装置が、
複数の前記収納棚を取り囲むように配設された第2走行軌道と、
前記第2走行軌道に沿って走行し、前記昇降搬送装置との間、及び、前記第1収納台車との間で前記物品の受け渡しを行う第2収納台車とをさらに備えていることを特徴とする請求項2に記載の物品収納装置。
【請求項4】
前記収納搬送装置が、
複数の前記収納棚を取り囲むように配設され、前記物品を搬送する第1コンベアと、
前記第1コンベアから分岐して前記収納位置近傍まで延びた第2コンベアとをさらに有し、
前記昇降搬送装置が、前記第2コンベアとの間で前記物品の受け渡しを行い、
前記第1収納台車が、前記第1コンベアとの間で前記物品の受け渡しを行うことを特徴とする請求項2に記載の物品収納装置。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【公開番号】特開2008−19017(P2008−19017A)
【公開日】平成20年1月31日(2008.1.31)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2006−190149(P2006−190149)
【出願日】平成18年7月11日(2006.7.11)
【出願人】(302059274)アシスト テクノロジーズ ジャパン株式会社 (146)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成20年1月31日(2008.1.31)
【国際特許分類】
【出願日】平成18年7月11日(2006.7.11)
【出願人】(302059274)アシスト テクノロジーズ ジャパン株式会社 (146)
【Fターム(参考)】
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