【課題】例えば半導体装置製造用の各種基板などの荷を搬送する搬送システムにおいて、基準データの配信時間をなるべく短くしつつ、基準データを効率よく配信する。
【解決手段】搬送システム（１００）は、軌道（１）に係る基準データのうち修正が反映された基準データ部分である修正用データを生成するデータ生成手段（１１）と、生成された修正用データをブロードキャスト方式で配信する配信手段（１２）と、軌道に沿って荷を搬送可能である搬送車、配信された修正用データを受信する通信手段、受信された修正用データで更新され得る基準データに従って搬送させる搬送制御手段（４）、及び受信される修正用データの通信に係るエラーを検出するエラー検出手段（６）を夫々備える複数の搬送手段（３）と、エラーが検出された場合に、生成された修正用データを再度配信させる再配信制御手段（１３）とを備える。 （もっと読む）

【課題】例えばビークル等の搬送手段により搬送する搬送システムにおいて、比較的容易にして迅速且つ正確に、搬送手段が複数の領域間を乗り移れるようにする。
【解決手段】搬送システム（１００）は、第１及び第２領域並びに該第１及び第２領域間に乗り移り領域を有する経路（１）と、経路に沿って走行する搬送手段（３）と、第１制御信号を通信可能であると共に乗り移り領域内の少なくとも一部及び第１領域内に設けられている第１通信線部分、並びに第２制御信号を通信可能であると共に乗り移り領域内の少なくとも一部及び第２領域内に設けられている第２通信線部分を有する通信線（２）と、搬送手段に設けられ、通信線を介して通信される第１又は第２制御信号を送受信可能な通信手段（５，６）と、乗り移り領域で、通信手段の通信がオフになるように通信のオン及びオフを切り替える切替手段（９）とを備える。 （もっと読む）

【課題】貴重なクリーンルーム内の床面積に対する占有面積を小さくすることが可能な被収容物移替システムを提供する。
【解決手段】被収容物移替システムは、被収容物移載装置及び保管庫を備える。被収容物移載装置は、被収容物を収容する容器を載置する複数の載置部と、載置部の各々に載置された各容器同士の間で被収容物の移し替えを行う被収容物移載装置とを有する。保管庫は、容器を載置する棚と、棚と載置部との間で容器の移載を行う容器移載装置とを有する。被収容物移載装置において、各載置部は被収容物移替装置の高さ方向に配列されている。また、保管庫において、その高さ方向に配列された一群の棚は、被収容物移替装置と保管庫の配列方向に且つ容器移載装置を挟む位置に夫々配置されている。これらの構成により、貴重なクリーンルーム内の床面積に対する、被収容物移替システムの占有面積を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】保管庫における容器の入出庫機構の簡素化によるコスト削減等を図ることが可能な保管庫システムを提供する。
【解決手段】保管庫システムは、筐体と、筐体内に配置され、容器を一時的に保管する棚と、入庫用受け渡し機構及び出庫用受け渡し機構と、筐体内に配置された容器移載装置と、を備える。入庫用受け渡し機構は、筐体の外部（例えば搬送車）より受け渡された容器を当該容器の向きを変えることなく容器移載装置に向けて移動又は搬送して、当該容器を容器移載装置に受け渡し可能な状態とする移動機構を備える。一方、第２の受け渡し機構は、容器移載装置より受け渡された容器を、当該容器の向きを変えることなく筐体の外部（例えば搬送車）に向けて移動して、当該容器を筐体の外部（例えば搬送車など）に対して受け渡し可能な状態とする他の移動機構を備える。これらの構成によれば入出庫用受け渡し機構を簡素化でき、保管庫のコストを削減できる。 （もっと読む）

【課題】例えば半導体素子製造用の各種基板などの被搬送物を搬送する搬送システムの各部における時刻を管理する時刻管理システムにおいて、主制御手段及び複数の副制御手段間の時刻差を解消し、搬送スケジュールに沿った搬送を正常に実行する。
【解決手段】時刻管理システム（１００）は、主制御手段（１１）側に設けられ、当該時刻管理システムの基準となる基準時刻を設定すると共に配信する基準時刻配信手段（１２）と、複数の副制御手段（２）の各々に設けられ、複数の副制御手段の各々が搬送制御時に参照する自己時刻を設定する自己時刻設定手段（３）と、複数の副制御手段の各々に設けられ、配信された基準時刻及び設定された自己時刻間の時刻差を取得する時刻差取得手段（３）と、複数の副制御手段の各々に設けられ、取得された時刻差に応じて、設定された自己時刻を段階的に更新する更新手段（３）とを備える。 （もっと読む）

【課題】例えば半導体装置製造用の各種基板等が収容された容器等の被搬送物を、合流箇所を含む軌道上で搬送する搬送システムにおいて、搬送車同士の衝突を防止しつつ、搬送車を効率良く稼働する。
【解決手段】搬送システム（１００）は、軌道（１）と、複数の搬送車（３）と、軌道上における合流箇所を含む所定範囲内へ、複数の搬送車のうち一の搬送車が軌道の一部を介して進入した場合に、所定範囲内へ、複数の搬送車のうち他の搬送車が軌道の他部を介して進入することを禁止する旨の進入禁止信号を出力する進入制御手段（７，９）とを備える。進入制御手段は、進入禁止信号が出力されている際に前記一の搬送車で停止を伴う故障が発生した場合に、一の搬送車の停止位置を基準として他の搬送車が一の搬送車に衝突するか否かを判定し、他の搬送車が衝突しないと判定されると、進入禁止信号を解除する。 （もっと読む）

【課題】例えば半導体素子製造用の各種基板を収容するＦＯＵＰ等の被搬送物を搬送する搬送システムにおいて、収容装置における入出庫作業を含めて被搬送物を効率良く搬送する。
【解決手段】搬送システム１００は、搬送手段３と、収容装置３１に対応する積み降し用箇所に隣接して配置され、積み降し用箇所に位置する搬送手段との間で被搬送物２の積み降しが夫々行われる複数のポート１１と、複数のポートの各々と、収容装置における被搬送物を出し入れ可能な出入口との間で、被搬送物を移載可能な移載手段２１と、複数のポートのうち被搬送物が載置されていない一の未載置ポートを特定する特定手段と、特定された一の未載置ポートまで被搬送物を搬送すると共に特定された一の未載置ポートに被搬送物が載置されるように、搬送手段を制御する載置制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】高い搬送能力を確保しつつ搬送システムの規模を抑制する。
【解決手段】天井付近に主軌道２ａを水平に敷設すると共に、主軌道２ａの下方に副軌道２ｂを水平に敷設する。主軌道２ａから副軌道２ｂまでを結ぶ分岐軌道６と、副軌道２ｂから主軌道２ａまでを結ぶ分岐軌道７とを設ける。搬送台車３は、主軌道２ａを通って物品を搬送すると共に、主軌道２ａにおいて渋滞等が生じた場合には、副軌道２ｂを通って渋滞を回避しつつ物品を搬送することができる。 （もっと読む）

【課題】例えば半導体素子製造用の各種基板を収容するＦＯＵＰ等の荷を、ビークル等の搬送手段により搬送する搬送システムにおいて、簡単な構成により効率良く荷を搬送する。
【解決手段】搬送システム（１００）は、第１経路（１）と、第１経路に沿って一の荷（３）を搬送すると共に該搬送される一の荷を移載可能な第１移載手段（５）を有する搬送車（２）と、少なくとも一箇所において、第１経路の側方における第１経路よりも下方を通る第２経路と、第２経路上で一の荷と同一又は異なる他の荷を搬送する搬送手段（３０）と、一箇所における第２経路よりも下方に配置されたポートと、少なくとも一箇所において、搬送される他の荷を横移載方式でポートとの間で移載可能な第２移載手段（４０）とを備える。第１移載手段は、一の荷を縦移載又は横移載方式でポートとの間で移載可能である。 （もっと読む）

【課題】例えば半導体装置製造用の基板等が収容された被搬送物を搬送する搬送装置において、搬送効率の低下を回避しつつカーブを安定して走行する。
【解決手段】搬送装置（２０）は、搬送手段（３）と、搬送手段が走行する予定経路を設定する旨を示す搬送指令を受信可能な受信手段と、予定経路を走行する際の目標速度を示す速度指令を特定する特定手段（４）と、新たに特定される新規の速度指令により示される新規の目標速度に向けて速度変更を行いつつ受信手段により新たに受信される新規の搬送指令により示される新規の予定経路を走行するものと仮定して、搬送手段の現在速度及び特定された今回の速度指令により示された今回の目標速度に基づいて、搬送手段が新規の予定経路に含まれる所定箇所に進入するまでに速度変更が完了するか否かを判定する判定手段（６）とを備える。 （もっと読む）