【課題】キャリアの向きを変えるのに必要な時間を短縮することができるようにする。
【解決手段】分岐部２ｃにおいて、主軌道３により直線方向に案内されてきたキャリア８を、進行方向が変わるように案内する分岐軌道６と、直線方向に案内する直線軌道５とを備える。切替手段は、キャリア８の進行方向に応じて、分岐軌道６と直線軌道５のどちらか一方でキャリア８を案内させるように分岐軌道６と直線軌道５とを切り替える。 （もっと読む）

【課題】ＦＯＵＰ等の被搬送物の搬送時間が長くなることによる搬送量の低下を低減する。
【解決手段】駆動することでＦＯＵＰ１０を搬送方向に搬送するローラ２１ａを有する、工程間又は装置間に配置された主搬送路２１と、ローラ２２ａを有し、少なくとも一部が主搬送路２１と平行に配置された副搬送路２２と、ローラ２１ａ・２２ａを駆動した状態で、主搬送路２１上のＦＯＵＰ１０を副搬送路２２に強制的に送り出すプッシャー３と、副搬送路２２上のＦＯＵＰ１０を搬出する移載装置７とを備える。 （もっと読む）

【課題】搬送時間を短縮することができる方向転換装置を提供する。
【解決手段】同じ長さを有し、何れか一方が第１搬送レール１６と同じ高さで、他方が一方よりも下方に配置され、且つ、互いに垂直で、２つの中点が同一鉛直線上に位置するように配置され、ＦＯＵＰ５を搬送する直線状の第１及び第２搬送路３・４と、その中点を中心に、第１及び第２搬送路３・４を同時に回転させるターンテーブル２及び回転部２２と、第１及び第２搬送路３・４を鉛直方向に移動させる昇降部２３と第１搬送レール１６からＦＯＵＰ５が第１搬送レール１６と同じ高さの搬送路に排出されると、第１及び第２搬送路３・４を略９０度回転させ、ＦＯＵＰ５を搬送路外に搬出した後、第１及び第２搬送路３・４の鉛直方向の位置を入れ替えるように制御する制御部２１とを備える。 （もっと読む）

【課題】被搬送物の進行方向の変更を短時間の内に開始する。
【解決手段】搬送軌道の搬入側と搬出側とにそれぞれ連絡可能にされた入口側端部Ａと出口側端部Ｂとを有し、被搬送物を入口側端部Ａから出口側端部Ｂに搬送する第１軌道３および第２軌道４と、第１軌道３および第２軌道４が設けられたテーブル部材７と、テーブル部材７を任意の回転角度で停止可能に回転させるテーブル回転機構８と、第１軌道３および第２軌道４を搬送される被搬送物の搬送方向の回転を制御するテーブル回転制御機構とを有している。第１軌道３および第２軌道４は、搬送方向が設定されたときに、何れかの第１軌道３および第２軌道４の入口側端部Ａが搬送軌道の搬入側に連絡されるように、テーブル部材７に配置されている。 （もっと読む）

【課題】軌道と一体に敷設された給電線の敷設状況及び接触状況と、接触が発生している軌道位置情報とを同時に自動収集する軌道検査台車を提供する。
【解決手段】発光素子２９から放射されたビーム光を、受光素子３０が受光し、受光強さに比例した出力信号をセンサモジュールコントローラ２１に出力する。従って、発光素子２９と受光素子３０との間に遮光物体である給電線１０が存在すると、入射は遮断され、これにより水平方向の給電線１０の位置が特定される。また、反射型センサ素子３２の放射した放射光が給電線１０に当たり反射して戻ってきた時の反射型センサ素子３２での受光ビームを検出する。これにより、垂直方向の給電線１０の位置が特定される。 （もっと読む）

【課題】クリーンルームスペースの有効活用を図るとともに被搬送物の搬送を円滑且つ安全に行う。
【解決手段】カルーセル型リフタ５は、同一構成の２つのチェーンユニット４ａ、４ｂと搬送台１７とで構成されるチェーン手段２、入庫ポート１０５及び出庫ポート１０６に備えられＦＯＵＰ１０を搬送台１７に搬入出する移載アーム１０７、リフタカバー１０８で構成される。チェーンユニット４ａ、４ｂは同一構成で平行にずらして配置される１組のチェーンモジュール６ａ及び６ｂ、６ｃ及び６ｄで構成され、搬送台１７はスプロケットに懸架されるチェーン２１ａ及び２１ｂ、２２ａ及び２２ｂに備えられる前方リンク、後方リンクに回動自在に支持される前方連結部材、後方連結部材に両端を回動自在に支持される。 （もっと読む）

【課題】複数階において様々な搬送方向の搬送軌道が敷設される搬送システムにおいて階層間の搬送効率を向上させる。
【解決手段】昇降コンベア５は、ターンテーブル１７とローラコンベア１８から構成される。ローラコンベア１８はターンテーブル１７上に支持され、ターンテーブルコントローラ７によりターンテーブル１７を旋回して荷受け又は荷渡しするコンベアレールの搬送方向とローラコンベア１８を一致させた上でコンベアレールとローラコンベア１８を駆動してＦＯＵＰ８を荷受け又は荷渡しする。昇降コンベア５は、ケーブルベア２０の結合部材２０ｂで昇降空間９内に設置されるケーブル２０ａに支持され、昇降コンベアコントローラ４によりケーブルベア２０の垂直方向の往復循環によりケーブルベア２０の動きに連動して各階に設置されたポート２１に昇降自在に停止する。 （もっと読む）

【課題】開閉扉と開閉扉により開閉される開口部との間に挟み込まれる物体に対する安全性を確保する。
【解決手段】安全対策装置１は、１対のバネ１８を介して安全扉１０に弾性支持一体化されるカバー１７、安全扉１０の被開閉口４に近接する側面に一端が支持固定されて他端がカバー１７に支持固定される１対のバネ１８、１対のバネ１８間に設置されるリミットスイッチ１９及び警報装置２２で構成される。バネ１８は通常伸長状態となるように保持され、人体が安全扉１０に挟み込まれカバー１７に接触した際に弾性変形する。リミットスイッチ１９はバネ１８が所定寸法以上圧縮された際にＯＮ動作して信号を発生し、警報装置２２が警報を発生すると共に、安全扉駆動装置２を介して駆動モータ１４を反転させて安全扉１０の開動作を開始させる。 （もっと読む）

【課題】ウエハ等の基板を挿脱自在に収納したＦＯＵＰ等の容器を、キネマティック嵌合機構等の位置決め手段にてストッカー内の棚板の所定個所に載置してある場合において、地震等の要因により前記位置決め手段の機能を損なう程度の衝撃を受けても、位置決め機能を維持でき、且つ、ロボットハンドにより棚板へのＦＯＵＰの搬入及び棚板からのＦＯＵＰの搬出を行うこと。
【解決手段】第１のレバー２２及び第２のレバー２３からなる操作レバーと、施錠レバー２４の連係によって、ロボットハンド７ｂによるＦＯＵＰ８の棚板２ａｘからの搬出に際しては、ロボットハンド７ｂのＦＯＵＰ載置面がＦＯＵＰ８の底面に到達する以前に施錠レバー２４とＦＯＵＰ８との係合が解かれ、ロボットハンド７ｂによるＦＯＵＰ８の棚板２ａｘへの搬入に際しては、前記操作レバーと施錠レバー２４との連係を解き、自動的に施錠される施錠部２４ｃを備える。 （もっと読む）

【課題】大型液晶基板等のカセットを搬送する場合において、スタッカクレーンの大型化、大重量化を回避するとともに、移載速度が速く作業効率の高いストッカを提供する。
【解決手段】垂直方向及び水平方向に複数並べてカセット３５を保管可能な棚本体７（保管棚）を備えるとともに、棚本体７と平行に敷設されたレール２８と、該レール２８上を走行可能なスタッカクレーン５と、カセット３５をストッカ６に対し入出庫するためのコンベアポート１７と、を備える。前記スタッカクレーン５は、垂直方向に昇降自在な昇降フレーム３２と、該昇降フレーム３２上に設置され前記棚本体７に対向して進退自在なリニアスライドフォーク３３とを備える移載手段３６と、この移載手段３６から前記カセット３５を受け継いで前記コンベアポート１７へ受渡しする、ローラ３０を有するコンベアテーブル３４と、を備えている。 （もっと読む）