【課題】大型液晶基板等のカセットを搬送する場合において、スタッカクレーンの大型化、大重量化を回避するとともに、移載速度が速く作業効率の高いストッカを提供する。
【解決手段】垂直方向及び水平方向に複数並べてカセット３５を保管可能な棚本体７（保管棚）を備えるとともに、棚本体７と平行に敷設されたレール２８と、該レール２８上を走行可能なスタッカクレーン５と、カセット３５をストッカ６に対し入出庫するためのコンベアポート１７と、を備える。前記スタッカクレーン５は、垂直方向に昇降自在な昇降フレーム３２と、該昇降フレーム３２上に設置され前記棚本体７に対向して進退自在なリニアスライドフォーク３３とを備える移載手段３６と、この移載手段３６から前記カセット３５を受け継いで前記コンベアポート１７へ受渡しする、ローラ３０を有するコンベアテーブル３４と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】懸垂式昇降搬送台車等の駆動手段にて移送され、複数枚のウエハ等の基板を挿脱自在に支持する棚部材を備えたＦＯＵＰ等の容器は、移送中、加減速時の慣性力による振動に加えて駆動源から受ける微振動を受ける。これら複合された振動の棚部材への伝達を抑制し、棚部材に支持される基板の損傷を防止すること。
【解決手段】 ＦＯＵＰ本体３ａと、当該ＦＯＵＰ本体３ａに備えられる棚部材３ｅとは別体とし、ＦＯＵＰ本体３ａと棚部材３ｅとの間に弾性体３ｇを介在させ、棚部材３ｅがＦＯＵＰ本体３ａに対して弾性支持されるように構成する。 （もっと読む）

【課題】 懸垂式昇降搬送台車の環状軌道に沿って設けられ、半導体製造用基板（ウエハ）に対して異なる処理を施す複数の処理ステーションにおけるＦＯＵＰ用搬入・搬出ポート上に載置されており、当該処理ステーションにて処理済の基板を収納したＦＯＵＰと、懸垂式昇降搬送台車によって搬送され当該処理ステーションにて処理を受けようとしている基板を収納したＦＯＵＰとを、汎用の懸垂式昇降搬送台車の昇降機能を基に交換できるようにすること。
【解決手段】 処理ステーション５におけるＦＯＵＰ用搬入・搬出ポート５ａ上に載置され、当該処理ステーション５において処理済の基板を収納したＦＯＵＰ９ａと、当該ＦＯＵＰ９ａの上方に位置し、懸垂式昇降搬送台車にて搬送され、当該処理ステーション５にて処理を得ようとしている基板を収納したＦＯＵＰ９ｂとを、懸垂式昇降搬送台車の昇降機構と、その昇降領域にて水平方向に進退する一対のスライド板１０ｂｙ、１０ｃｙの作用とで交換できるように構成する。 （もっと読む）

【課題】懸垂式昇降搬送台車の環状軌道に沿って設けられ、半導体基板に対して異なる処理を施す複数の処理ステーションにおけるＦＯＵＰ用搬入・搬出ポート上に載置されており、当該処理ステーションにて処理済の基板を収納したＦＯＵＰと、処理を受けようとしている基板を収納したＦＯＵＰとを、懸垂式昇降搬送台車の昇降機能を基に交換できるようにすること。
【解決手段】処理ステーション５におけるＦＯＵＰ用搬入・搬出ポート５ａ上に載置され、当該処理ステーション５において処理済の基板を収納したＦＯＵＰ９ａと、当該ＦＯＵＰ９ａの上方に位置し、当該処理ステーション５にて処理を受けようとしている基板を収納したＦＯＵＰ９ｂとを、懸垂式昇降搬送台車の昇降機構と、その昇降領域にて水平方向に進退し、この進退方向に沿って２個のＦＯＵＰを載置できる懸垂式一時保管棚のスライド板１０ｂｙの作用とで交換できるように構成する。 （もっと読む）

【課題】 負荷変動に対する電圧補償をすると共に、給電線ロスによる消費電力が少なくでき、受電ユニットが小型化できる非接触給電装置を提供する。
【解決手段】 一次電源１からの交流電流Ｉ１は給電線２を通り、非接触給電トランス３の一次側コイル３ａに流れ、一次側コイル３ａ近傍に磁界を発生させる。その磁界は非接触給電トランス３の二次側コイル３ｂに伝わり、二次側コイル３ｂには電流Ｉ２が流れる。電流Ｉ２は受電ユニット４に流れ、受電ユニット４の出力端に一定直流電圧出力Ｖを出力させる。一定直流電圧出力Ｖは負荷６にかかると共に、大容量コンデンサ５にもかかり、大容量コンデンサ５に充電を行う。最大負荷で動作する時は、大容量コンデンサ５に充電された電荷が負荷６に流れる。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造用基板（ウエハ）を挿脱自在に収納した容器（ＦＯＵＰ）のストッカー内において、前記容器（ＦＯＵＰ）をスタッカクレーンにて所定の収納棚に対して搬入し、或いは所定の収納棚から搬出するロボットにて把持しつつ高速搬送するに当って、始動時及び制動時に受ける慣性力が増しても、容器（ＦＯＵＰ）内に収容されている基板（ウエハ）に伝わる振動を抑制し、当該基板（ウエハ）を保護すること。
【解決手段】 ストッカー内の棚群に面した２次元空間に沿って移動体９が走行し、容器（ＦＯＵＰ）８を所定の棚への搬入或いは所定の棚からの搬出するスタッカクレーンにおいて、前記移動体にはロボット７が備えられ、当該ロボット７のアーム機構７ａが縮退形態になることに連動して係止部材１５が容器（ＦＯＵＰ）８の所定個所を押圧し、伸長形態になることに連動して係止部材１５と容器（ＦＯＵＰ）８とは平面視において離れるように構成した。 （もっと読む）

【課題】 小型化を図ると共にスイッチング速度の低下を抑制する。
【解決手段】 高周波交流電源１１に接続された１次給電線１２と、コア１５及びコアに巻き付けられた２次巻線１６を含むピックアップ１７とで電力トランスＴを形成している。さらに、電力トランスＴと２次巻線に直列に接続された共振コンデンサ１６とで直列共振回路２０を形成している。ピックアップ１７とこれに接続された整流部１９とを含む２つの給電ユニット１３が直列に接続されている。定電圧制御部１４が、直列に接続された２つの給電ユニット１３から出力された電圧を所定の電圧に昇圧して負荷１３ａに供給する。 （もっと読む）

【課題】 ターンテーブルを含むローラコンベアを用いた搬送システムにおいて遮断された電源を再投入する際に、効率的に被搬送物の搬送を再開する。
【解決手段】 ドグ検出センサ３と補助ドグ検出センサ４とドグ５とからなる回転位置検出機構２により回転テーブル６の回転位置を検出して、フォトセンサ２６によりローラ支持フレーム４２上のキャリア２３の存在を確認する（Ｓ１、２）。ローラ支持フレーム４２上にキャリア２３が存在する場合は、フォトセンサ２６でキャリア２３が所定の停止位置にあるか確認する（Ｓ３、４）。キャリア２３が所定の停止位置に無い場合はキャリアを撤去してする（Ｓ４、５）。次に、回転テーブル６が所定の停止位置にあるか確認し（Ｓ６）、所定の停止位置に無い場合は回転テーブル６を正常位置にした後（Ｓ７）、回転テーブル６を目標位置に回転し、搬送システム１の電源を再投入する（Ｓ８、９）。 （もっと読む）

【課題】 搬送材をローラコンベアポートの停止位置に精度良く停止できるローラコンベアポート及び搬送材の位置決め方法を提供する。
【解決手段】 搬送方向Ｃに向けて延びる駆動ローラモジュール２１と、駆動ローラモジュール２１の制御装置２２と、搬送材５５の位置を検出する位置検出手段４１、４２とからなるローラコンベアポート２０であって、少なくとも一対の位置検出手段４１、４２が搬送方向Ｃに縦列に配置され、一方の位置検出手段４１が検出状態となり、他方の位置検出手段４２が非検出状態となったことを以って、搬送材５５が停止位置４０まで搬送されたと判断することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ストッカ装置が複数階に渡り階間を貫くものであっても、火災発生時にストッカ装置内部と火災発生エリアとを遮断でき、階層間の延焼を阻止できるストッカ装置を提供する。
【解決手段】 少なくとも２階以上の階層を有する建屋内部に設けられ、複数階を貫き外部と遮断された密閉構造の本体部２と、この本体部２内に多数設けられた保管棚３と、前記本体部２外側面に開口し、荷物を入出庫するための開口部２１、及び、この開口部２１の前後の本体部２内外に設けられた荷物載置台２２を有する少なくとも１つ以上のポート４、５と、前記ポート４、５に載置された荷物を保管棚３に搬入、または、保管棚３から荷物を前記ポート４、５まで搬出するため、前記本体部内２に走行自在に設置されたスタッカクレーン６と、前記ポート４、５の前記開口部２１を閉鎖自在である扉部材７とを備える。 （もっと読む）