【課題】 搬送システムに起因した製造装置の遊休状態を検出することができる自動搬送システムを提供する。
【解決手段】 自動搬送システム１が有する搬送起因稼働率ロス検出器３では、収集部４が製造装置２からＭＥＳ２０に報告される製造装置のポートにおけるカセットの載置完了、払出可能、払出完了の情報、ＭＣＳ２３から搬送システム１１に指令される搬送開始の情報を収集する。収集部の情報に基づき、カセット待ち時間検出部５で、ポートに載置されたカセットの払出可能時又は払出完了時と次に供給すべきカセットの搬送を搬送システムに対してＭＣＳが指令した搬送開始時とが同時であるか検出する。又、全ポートカセット終了検出部６で、ポートの払出可能報告時に該ポート以外の全ポートから載置完了の情報を収集し、且つ、カセット交換時間内にポート以外の全ポートから払出可能の情報を収集したことを検出する。 （もっと読む）

【課題】 搬送台車側に設置した一次側交番磁界発生装置及び曲線箇所を含む搬送台車の走行路に沿って表面磁極がＮＳ交互に配置されるニ次側永久磁石からなるリニアモータにて搬送台車に推力又は制動力を与える構成において、曲線部を搬送台車が走行するに当って、曲線部における推力又は制動力の低下を抑制すること。
【解決手段】 搬送台車の曲線走行路１１における曲率の中心から径方向の永久磁石の長さを、曲線走行路１１の曲率の大きさに応じて、搬送台車の走行方向と直交する方向の直線走行路における永久磁石の長さより大とし、曲線走行路においても、前記交番磁界発生装置１２の一連の磁極面が全面に亘って一連の永久磁石の表面に対面するように構成する。 （もっと読む）

【課題】 懸垂式昇降搬送装置用台車の台車本体と、昇降体とを結び、内部に互いに絶縁された電線が埋設された帯状ベルトが、台車本体部に設けられたドラムに巻取り、或いは当該ドラムから繰出すに当り必要とされるスリップリングと刷子を主体とする通電機構において、スリップリングと刷子との摺動面に付着する絶縁被膜を効率よく除去する。
【解決手段】 通電機構の主たる構成要素としてのスリップリング１３ｃと刷子１３ｅとを洗浄装置にセットするか、あるいは台車本体にセットしたままの状態で、ＯＨＴ台車の稼動時における帯状ベルト用ドラムの回転速度よりも高い回転速度にてスリップリング１３ｃを回転させ、併せて、洗浄液、好ましくはイソプロピルアルコール、エチルアルコールなどの有機溶剤をスリップリング１３ｃの刷子１３ｅとの摺動面に適宜注入する。 （もっと読む）

【課題】 容易に導電線の敷設位置を確認することができる導電線敷設位置検出装置を提供する。
【解決手段】 送信コイル１０を誘導線２０が敷設範囲内であることが明確な場所に、受信コイル１１を誘導線２０が敷設範囲外であることが明確な場所にレール８の外部表面に当接して設置する。次に、送信コイル１０を固定したまま、受信コイル１１を送信コイル１０方向に逐次接近させる。そして、受信コイル１１が誘導線２０の敷設範囲内に侵入すると、送信コイル１０で誘導線２０に誘導され磁性鋼板２１により増強された誘導電流により受信コイル１１に誘導電流が誘起され、この誘導電流が誘導電流検出回路２５により検知されて誘導線検出表示灯１４と誘導線検出ブザー１７が作動し、受信コイル１１のレール８上の位置を、誘導線２０の敷設範囲の端部と認識する。 （もっと読む）

【課題】 配置が容易であり、作業負担及び費用負担を削減することができる軌道上の搬送台車以外の電気機器に対する給電装置を提供する。
【解決手段】 非接触給電装置３０は、給電線１に配置されて巻回された二次巻線３と給電線１との間で電磁誘導により非接触で給電が行われる非接触給電トランス２と、二次巻線３の電源入力から所定の直流電圧を出力する定電圧回路ユニット５とを備え、軌道上の搬送台車以外の電気機器である負荷１５に対して一定電圧を供給する。定電圧回路ユニット５は、二次巻線３の両端に並列に接続されたＯＮ／ＯＦＦスイッチ７の開／閉で電源ＯＮ／ＯＦＦの制御を行い、定電圧回路６において、整流回路１０で二次巻線３からの電流を直流化し、ＰＷＭ制御手段１４により制御されるスイッチ手段１１で直流化した電流を負荷電力に応じてバイパスさせて、出力コンデンサ１３により負荷１５に一定電圧を出力する。 （もっと読む）

【課題】 懸垂式昇降搬送装置用台車において、被搬送体を把持あるいはこの把持を解除するハンド部の昇降機構要素であって、弾性体から形成され、一端を前記ハンド部に固定し、他端を巻取ドラムに巻込み・繰出しするタイミングベルトと、当該タイミングベルトに駆動力を与えるタイミングプーリとの相互の歯部での噛合い部位における歯飛びを防止することである。
【解決手段】 ハンド部が被搬送体を把持して上昇するときにおけるタイミングベルト５の歯５ａのピッチが最大となる場合、及びハンド部が被搬送体を把持しないで降下するときにおけるタイミングベルト５の歯５ａのピッチが最小となる場合、の何れの場合においても、タイミングベルト５及びこれを駆動する剛体からなり、歯部ピッチが不変であるタイミングプーリ１４の各歯部５ａ、１４ａの噛合い部位はクリアランスが存在し、かつ必要な噛合い強度をもつようにする。 （もっと読む）

【課題】 懸垂型搬送台車の被搬送物を懸架状態で把持する昇降体に対して安定した電力供給及び双方向通信を行うことができる搬送台車を提供する。
【解決手段】 レール８を走行するＯＨＴ搬送台車１は、懸垂機構１０を備えるＯＨＴ搬送台車本体１ａと懸垂機構１０によりタイミングベルト６を介して昇降される昇降体５を有する。制御回路３５に接続されタイミングベルト６に埋設された二次側導体１１は、駆動軸４１内部を経由して二重リング状鉄心１５の内側突起部１５ａに巻回されて二次側リング３ｂを構成する。ＯＨＴ搬送台車１の一次側電源５５を有する搬送台車コントローラ２に接続された一次側導体１２は、二重リング状鉄心１５の溝内部の空間に配置された導体ホルダ１９にクリップされて一次側リング３ａを構成する。一次側リング３ａと二次側リング３ｂにより、非接触給電・通信部３が形成される。 （もっと読む）

【課題】 懸垂式昇降搬送装置用台車において昇降制御を受け、被搬送用キャリアのフランジ部を把持、開放を行う一対のフィンガが互いに接近して前記フランジ部の把持完了時に生じる動力伝達機構に与えられる衝撃を緩和することである。
【解決手段】 一対のフィンガ４ａ、４ｂがボールねじ１１の回転方向に応じて接近又は離隔させる機構において、前記一対のフィンガ４ａ、４ｂの接近状態を維持するための永久磁石１０ａ、１０ｂの対向する磁極面同士の当接時の衝撃を緩和するためにストッパ部材８ａ、８ｂ夫々に対向する動力受部材１２ａ、１２ｂ相互間にゲル材等のダンピング材を介在させる。 （もっと読む）

【課題】棚構造体の骨組構造にアルミニュームプロファイル材を使用する場合、長さ方向４面に設けられた連続する溝の任意の位置で棚板をボルト締結可能であるが、組立精度確保が困難で、作業性も悪い。

【解決手段】
プロファイル材１０の上下端部に設けられた冶具プレート位置決め穴２２ａ、２２ｂに、冶具プレート２０の端部位置決め突起２１ａ、２１ｂを勘合させて重ねる。次いで専用ナット１２を冶具プレート２０のパンチング穴１５を通しプロファイル材１０の溝２９に挿入する。専用ナット１２は冶具プレート２０の折り曲げ爪１６上に支持され、プロファイル材１０の溝２９内部にあっても落下することはない。
棚板１１の棚板位置決め穴１７を冶具プレート２０の棚板位置決め用突起１４に勘合させて棚板１１を冶具プレート２０に重ね、ボルト１３を貫通させ、専用ナット１２にボルト１３をネジ込むことで、棚板１１はプロファイル材１０にボルト締結される。
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【課題】 懸垂式昇降搬送装置用台車において、昇降制御を受け、被搬送用キャリアのフランジを把持、開放を行う一対のフィンガに関し、制御上の空間座標位置から前記フランジを適正に把持する空間座標位置に移行するに必要な補正値を正確に得ること。
【解決手段】 ウエハ等の被搬送物の搬送に際して、実際に稼動するキャリアに比べて、形状精度が十分高い位置補正用基準治具５を所定の載置台３に正規に位置決めし、当該位置補正用基準治具５のフランジ５ａに対して一対のフィンガ２４ｃａ、２４ｃｂが所望の状態に把持されるハンド部２４の空間座標位置を把握することにより、この空間座標位置と制御上の空間座標位置とを特定する各要素に基づいて基準となる補正値を得る。 （もっと読む）