【課題】パーティクル等を発生させることなく被搬送物を収納装置に収納する。
【解決手段】カセットを水平移動させる移送装置と、カセットを昇降させる荷台とを備えた搬出入装置によりカセットを搬入出可能に保管する棚ユニットにおいて、搬出入装置により載置位置の上方まで水平移動された後に下降されることによって、載置位置にカセットが載置される桟と、カセットを桟に下降して載置する際に、最初に当接する部分に設けられる、水平移動方向に移動自在なスライド部材２０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】天井から懸吊された高低差がある搬送台車走行軌道を容易に形成する。
【解決手段】搬送台車走行軌道２は、懸吊部材１４により天井から懸吊された第１直線レール部材８及び湾曲レールモジュール４１、４２が互いに接続されることによって構成されている。湾曲レールモジュール４１は、５つの第２直線レール部材１２が凹型湾曲部材１０の下面に形成された湾曲面１０ａに沿って配列されることにより構成されており、湾曲レールモジュール４２は、５つの第２直線レール部材１２が凸型湾曲部材１１の下面に形成された湾曲面１１ａに沿って配列されることにより構成されている。湾曲レールモジュール４１、４２においては、隣接する第２直線レール部材４２の延在方向は異なっており、５つの第２直線レール部材１２が全体として、湾曲面１０ａ、１１ａに沿って滑らかに湾曲した軌道を構成している。 （もっと読む）

【課題】省コスト、省スペースを実現することができるようにする。
【解決手段】上層分岐軌道１１及び下層分岐軌道１２はメンテナンスステーション１の内部で分断されており、昇降レール２７により昇降される分割レール２８が、どちらかの分岐軌道１１，１２に継合されるようにされている。分岐軌道１１，１２から搬送台車７を確保した分割レール２８は下降されて、搬出入レール２９に継合される。搬出入レール２９は、搬送台車７をメンテナンスステーション１の外部に搬出する一方、搬送台車７をメンテナンスステーション１の内部に搬入する。搬出入レール２９から搬送台車７を確保した分割レール２８は上昇されて、どちらかの分岐軌道１１，１２に継合される。 （もっと読む）

【課題】異常が発生した無人搬送台車を速やかに復帰させることにより、搬送効率を向上させる。
【解決手段】搬送台車に入力された入力信号が異常イベントログである場合（ステップＳ２：Ｙｅｓ）には、経路探索コントローラは、搬送台車の経路を閉鎖する（ステップＳ４）。そして、異常判定部が復帰ログ記憶部の復帰ログを参照して、当該異常イベントログに係る異常が自動復帰可能な異常か否かを判断する（ステップＳ６）。これにより、搬送台車に生じた異常が自動復帰可能であると判断された場合（ステップＳ６：Ｙｅｓ）には、搬送台車の初期化による再稼動が行われ（ステップＳ７）、閉鎖していた経路が開放される（ステップＳ８）。また、搬送台車に生じた異常が自動復帰不可能であると判断された場合（ステップＳ６：Ｎｏ）には、マニュアル復帰表示部に、作業者によるマニュアル復帰が必要である旨が表示される（ステップＳ１０）。 （もっと読む）

【課題】高重量化された被搬送物であっても、大型化、高重量化させることなく、搬送できる搬送設備を提供する。
【解決手段】軌道上を走行して載置された収容容器１０を搬送する搬送装置１と、収容容器１０を処理又は保管する処理・保管装置６に搬送装置１に載置された収容容器１０を取り込み、処理・保管装置６内に取り込んだ収容容器１０を搬送装置１に載置する移載装置７とを具備する。そして、搬送装置１は、レール機構３に沿って走行する搬送台車２と、収容容器１０が載置可能な載置台５３を有し、載置台５３が搬送台車２上と搬送台車２外との間を移動するように、水平方向に伸長可能に搬送台車２に設けられるフォーク機構５とを備えた構成にする。また、移載装置７は、伸長状態にあるフォーク機構５を下方から支持するフォークサポート７１と、伸長状態にあるフォーク機構５の載置台５３と処理・保管装置６との間で収容容器１０を搬送する昇降式コンベヤ７２とを備えた構成にする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、液晶表示パネル製造工場や、半導体製造工場等のクリーンルームで使用される無人搬送台車において、その上部からのパーティクルの発生を防止した開閉扉を備えた無人搬送台車を提供するものである。
【解決手段】クリーンルーム内に設置され、側面にスライド式扉装置４が設けてあり被搬送物を搭載して装置間に被搬送物を搬送する無人搬送台車１０において、
前記スライド式扉装置４を、無人搬送台車１０の下部に設けた駆動部によって開閉移動させられる扉５、６、７、８と、この扉５、６、７、８の上部を案内するレール体１２と、前記扉５、６、７、８の上部とレール体１２との間に同一極性を対抗させて磁性体３１、３２、３３、３４を配置した構成を有する保持装置３５とで構成としたことを特徴とする無人搬送台車。 （もっと読む）

【課題】搬送車が渋滞に巻き込まれる可能性を低くすることによって、短時間で搬送車を目標位置に到達させる可能性を高いものにする。
【解決手段】搬送路を走行する複数の搬送車３の現在位置をそれぞれ検出する搬送車位置検出部２１と、複数の搬送車３の中から特定された搬送車３の出発位置から目標位置までの全ての経路を探索する経路探索部２０と、経路探索部２０で探索された各経路における渋滞状況を各搬送車３の現在位置に基づいて判定する渋滞判定部２３と、経路探索部２０で探索された各経路の総経路長を求める経路長算出部２４と、渋滞状況と総経路長とに基づいて目標位置に最短時間で到達可能な走行経路を決定する経路決定部２５と、特定の搬送車３に対して走行経路を指示する走行経路指示部２７とを有している。 （もっと読む）

【課題】スタッカクレーンの高さの如何に拘らずその剛性を増すことなく、当該スタッカクレーンの走行時における撓みを生じず、かつ、停止時におけるスタッカクレーンの上端部の振動減衰時間を短縮し、スタッカクレーンの走行停止後、スタッカクレーンの棚に対する相対位置精度を確保し、遅滞なくスタッカクレーンのマストの上下方向に昇降体を移動させ、スタッカクレーンの稼動効率を上げる。
【解決手段】スタッカクレーン３の上下に位置するフレーム３ｂ、３ｃに夫々第３の駆動機構３６及び第１の駆動機構３２を備え、各駆動機構３５、３２のモータを、前記フレーム３ｂ、３ｃを略等速度で駆動させ、これによってスタッカクレーン３を、直立状態を保って所定の搬送元から所定の搬送先に移動させ、スタッカクレーン停止時には上部フレーム３ｂの駆動機構３６の動力伝達を遮断する手段を当該駆動装置３６に内蔵する。 （もっと読む）

【課題】ウエハの処理を好適に実施することが可能なストッカを提供する。
【解決手段】被収納物を収納した収納手段を保管する保管手段と、収納手段内の被搬送物に製造上の処理を施す被収納物処理手段と、保管手段と被収納物処理手段との間で収納手段を移載する移載手段とを備え、保管手段及び移載手段は第１の床板に載置されるとともに、被収納物処理手段は、第１の床板から独立した第２の床板に載置されている。第２床板は防振手段により支持されている。 （もっと読む）

【課題】ＦＯＵＰ等の被搬送物の搬送時間が長くなることによる搬送量の低下を低減する。
【解決手段】駆動することでＦＯＵＰ１０を搬送方向に搬送するローラ２１ａを有する、工程間又は装置間に配置された主搬送路２１と、ローラ２２ａを有し、少なくとも一部が主搬送路２１と平行に配置された副搬送路２２と、ローラ２１ａ・２２ａを駆動した状態で、主搬送路２１上のＦＯＵＰ１０を副搬送路２２に強制的に送り出すプッシャー３と、副搬送路２２上のＦＯＵＰ１０を搬出する移載装置７とを備える。 （もっと読む）