収納棚及び収納方法
【課題】パーティクル等を発生させることなく被搬送物を収納装置に収納する。
【解決手段】カセットを水平移動させる移送装置と、カセットを昇降させる荷台とを備えた搬出入装置によりカセットを搬入出可能に保管する棚ユニットにおいて、搬出入装置により載置位置の上方まで水平移動された後に下降されることによって、載置位置にカセットが載置される桟と、カセットを桟に下降して載置する際に、最初に当接する部分に設けられる、水平移動方向に移動自在なスライド部材２０とを備えている。
【解決手段】カセットを水平移動させる移送装置と、カセットを昇降させる荷台とを備えた搬出入装置によりカセットを搬入出可能に保管する棚ユニットにおいて、搬出入装置により載置位置の上方まで水平移動された後に下降されることによって、載置位置にカセットが載置される桟と、カセットを桟に下降して載置する際に、最初に当接する部分に設けられる、水平移動方向に移動自在なスライド部材２０とを備えている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ガラス基板等の被搬送物を搬送する搬送工程において、被搬送物を一時的に収納する収納棚及び収納方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造、液晶製造、ＦＡ（Factory Automation）等において、液晶ガラス基板や半導体ウェハ等の被処理物（被搬送物）は、カセット内に複数枚収納され、カセット単位で一時的に保管する収納装置や各処理を施す処理装置等に搬送されるようになっている。なお、従来の収納装置として複数の収納部で構成される収納棚があり、各収納部は、カセットの左右両底面を、各収納部の左右の壁面に対向配置された一対の直状部材である桟で支持する構造となっている。特許文献１には、この被搬送物を搬送経路から収納装置や各処理装置等に移載する移載装置が開示されている。この特許文献１によると、回動する第１及び第２アームが回転することで、被搬送物を載置するフォーク装置が伸縮するようになっており、移載装置が下降することにより、被搬送物を収納装置や各処理装置等に載置している。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−３７０１８４号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、この特許文献１において、被搬送物が載置された状態でフォーク装置を伸長させた場合、被搬送物の重量によりフォーク装置が撓んでしまっていた。このため、被搬送物を載置する各処理装置の載置部に対して、被搬送物を平行に維持できなくなってしまう。そうすると、被搬送物を載置する際、被搬送物が載置部に対して斜めに降下するようになり、被搬送物の最下点だけが最初に載置部に当接してしまう。そして、そのまま載置動作を続けると、その当接部分が載置部を滑り、その結果、被搬送物と載置部との間にすべり磨耗が発生し、多量のパーティクル（微小塵埃）が発生してしまう。上記移載装置や処理装置が配置されている空間は、空気清浄が行われているが、このパーティクル等が気流にのり、他の被搬送物に付着したりしてしまうと、製品の品質が低下してしまうという問題が発生してしまう。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、パーティクル等を発生させることなく被搬送物を収納することができる収納棚及び収納方法を提案することである。
【課題を解決するための手段及び効果】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明は、被搬送物を水平移動させる水平アーム部と、該被搬送物を昇降させる昇降部とを備えた移載装置により前記被搬送物を搬入出可能に保管する収納棚において、前記移載装置により載置位置の上方まで水平移動された後に下降されることによって、前記載置位置に前記被搬送物が載置される載置部と、前記被搬送物を前記載置部に下降して載置する際に、最初に当接する部分に設けられる、前記水平移動方向に移動自在な移動部とを備えている。
【０００７】
この構成によると、前記被搬送物を載せた前記移載装置の前記水平アーム部を水平移動させたとき、前記水平アーム部は前記被搬送物の重量により、水平移動方向先端に向かい撓む。この状態で前記移載装置の前記昇降部を下降させると、前記被搬送物が完全に載置位置に載置される前に、前記被搬送物の水平移動方向先端が前記移動部に当接する。その後、前記被搬送物の下降に従い、前記被搬送物の水平移動方向先端は水平移動方向に移動自在である前記移動部とともに水平移動方向に移動するので、前記被搬送物と前記載置部との間にすべり磨耗が発生しないようにすることができる。これにより、すべり磨耗により発生するパーティクル（微小塵埃）を発生させることなく前記載置部に前記被搬送物を載置して、前記被搬送物を収納することができるようになる。
【０００８】
また、本発明は、前記載置部は、対向配置され、前記被搬送物の下面の両端部で前記被搬送物を支持する一対の直状支持部材と、直状支持部材に設けられた略直方体形状の切欠部とを有し、前記移動部は、回転軸が前記水平移動方向と直交するように、前記切欠部に配置された回転ローラと、回転ローラを回転自在に保持し、前記被搬送物を支持する移動支持部とを有しているものでもよい。
【０００９】
この構成によると、前記被搬送物を前記移載装置により前記載置部に載置する際に、最初に前記被搬送物が当接する部分に、水平移動方向に回動する回転ローラと、前記被搬送物を支持する移動支持部を有する移動部が設けられている。これにより、前記被搬送物が斜めに前記載置部に当接後、載置されるような場合であっても、前記移動支持部材で支持された前記被搬送物は前記移動部とともに前記回転ローラを介して水平移動方向に回動するため、前記被搬送物と前記直状支持部材との間に摩擦等が発生するおそれを低減できる。
【００１０】
また、本発明は、前記水平移動方向と平行に伸縮する弾性体が、前記移動体と前記載置部を弾性体の夫々両端で固定されているものでもよい。
【００１１】
この構成によると、前記被搬送物を前記載置部に載置し、前記被搬送物によって前記移動部が水平移動方向に移動した場合、前記弾性体が前記移動部の前記水平移動方向にある場合は前記弾性体は移動した分だけ縮み、前記弾性体が前記水平移動方向と反対方向にある場合は前記弾性体は移動した分だけ伸びる。その後、前記載置部から前記被搬送物を取り去ると、前記弾性体は伸縮力により前記被搬送物を前記載置部に載置する前の状態に戻るため、前記弾性体に固定された前記移動部は前記被搬送物を前記載置部に載置する前の位置に戻る。これにより、前記被搬送物を前記載置部に載置する際に、前記移動体を前記被搬送物が前記載置部の最初に当接する位置に配置する制御を省くことができる。
【００１２】
また、本発明は、被搬送物が載置部方向に下降されることによって、該被搬送物の一部が最初に前記載置部に当接した後、該被搬送物の一部が前記載置部に対して摺接しながら最終的に該被搬送物の全体が載置されるときに、前記載置部における前記被搬送物の一部が最初に当接する部位を前記摺接する方向に移動させる。
【００１３】
この方法によると、前記被搬送物の一部が最初に当接する前記載置部の部位を、摺接する方向に移動させることで、当接した位置から最終的に前記被搬送物の全体が載置する位置まで移動する間において、前記被搬送物の摺動による前記被搬送物と前記載置部の摩擦の発生を回避することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。本実施の形態に係る収納棚１は、搬送される被搬送物を一時的に保管する所謂「ストッカ」であり、図４（ｂ）に示すように、被搬送物を収納する１以上の棚ユニット１ａから構成されている。棚ユニット１ａに対して被搬送物は搬出入装置３によって出し入れされる。
【００１５】
なお、本実施の形態において、被搬送物とは、例えば複数枚のガラス基板や半導体ウェハ等を収容する立方体又は直方体の形状を有したカセットである。以下の説明で、被搬送物をカセットと称する。
【００１６】
（機械的構成：棚ユニット１ａ）
図４（ｂ）に示すように、収納棚１には鉛直方向に４段の棚ユニット１ａが設けられており、棚ユニット１ａにはカセット１０の底面でカセット１０を支持する桟２（載置部）が配置されている。そして、後述の搬出入装置３（移載装置）により、カセット１０を水平移動および降下をさせて、棚ユニット１ａの桟２にカセット１０を載置する。
【００１７】
（機械的構成：桟２）
図４（ａ）に示すように、桟２は、カセット１０の底面の両端を支持する、対向配置された一対の直状の支持部２ａ（直状支持部材）から構成されている。さらに、図３で示される、Ａ−Ａ’面の断面を表す図１（ａ）に示すように、支持部２ａの一部には略直方体の底面を有する切欠部２ｂが形成されているため、支持部２ａは断面が略コの字形状を有している。さらに、図１（ａ）及び、図３で示される、Ｂ−Ｂ’面の断面を表す図１（ｂ）に示すように、切欠部２ｂには、水平移動方向と平行に、２つのスライド部材２０（移動部）が切欠部２ｂの長さを略３等分する位置に夫々配置されており、支持部２ａの両外面側において、バネ２４で接続されている。なお、２つ配置されたスライド部材２０は水平方向順にスライド部材２０ｂ、スライド部材２０ａとする。具体的には、図２及び図３に示すように、水平移動方向順に見ると、支持部２ａとスライド部材２０ｂの間、スライド部材２０ｂとスライド部材２０ａの間、そしてスライド部材２０ａと支持部２ａの間が、支持部２ａの両外面側において、夫々バネ２４で接続されている。このときバネ２４は自然長を維持している。さらに、切欠部２ｂの底面にはベース板２１が配設され、スライド部材２０はこのベース板２１上を水平移動方向に往復動する。このベース板２１は、図１（ｂ）に示すように、幅が支持部２ａ（切欠部２ｂ）の幅よりも多少長く、両端部がＬ字型に折れ曲がっており、このＬ字部分で支持部２ａを挟み込むように支持部２ａに嵌合している。
【００１８】
上記切欠部２ｂ及びスライド部材２０は、カセット１０が桟２に載置される際に、最初にカセット１０と接触する部分に設けられている。詳しくは後述するが、カセット１０を桟２に載置する際、カセット１０は水平移動方向に向かって垂直下方向に撓んでしまう。そのため、後述の図７（ａ）に示すようにカセット１０を桟２に載置するために垂直下方向に降下させた場合、最初にカセット１０の水平移動方向先端が桟２に当接する。さらに後述の図７（ｂ）に示すようにカセット１０は垂直下方向への降下に伴って、桟２に対して水平移動方向先端から水平移動方向とは逆方向に徐々に当接して行き、カセット１０の当接した全面が水平移動方向に摺動する。従って、カセット１０がスライド部材２０に当接されるようにスライド部材２０を設けることで、カセット１０を水平方向に摺動させることができる。本実施の形態では、スライド部材２０を２つ設けているが、スライド部材２０を１つ設けた場合との対比において、広い範囲でスライド部材２０を受け止めることができる。なお、スライド部材２０の大きさや個数に関しては、適宜変更可能である。また、最初にカセット１０と接触する部分については後に詳述する。
【００１９】
（機械的構成：スライド部材２０）
図１（ａ）（ｂ）に示すように、スライド部材２０はスライド板２２と、ローラ２３とを有している。 スライド板２２は、カセット１０を支持する天板２２ａと、その天板２２ａの両端部に設けられた、ローラ２３を回転自在に支持するＬ字型の軸受け２２ｂとからなり、水平移動方向に往復動する。軸受け２２ｂのＬ字部分は、上記ベース板２１のＬ字型に折れ曲がった部分と係合するようになっており、かかる係合部分が水平移動方向に往復動するスライド板２２のガイドの役割を果たしている。また、軸受け２２ｂには、図示しない孔が設けられており、ローラ２３の回転軸２３ａが緩挿され、天板２２ａとベース板２１との間にローラ２３が介在するようになっている。これにより、スライド部材２０は、ローラ２３がベース板２１上を回転することで、ベース板２１上を水平移動方向に往復動するようになっている。
【００２０】
上記したように、切欠部２ｂ及びスライド部材２０は、カセット１０が桟２に載置される際に、最初にカセット１０と接触する部分に設けられている。より具体的に説明すると、後述の搬出入装置３の第１アーム３０及び第２アーム３１が水平移動している状態において、カセット１０を支持したフォーク本体３２は、図６の矢印に示すように、カセット１０の重量により先端にかけて下方に撓んでしまう。このため、フォーク本体３２に載置されるカセット１０も先端にかけて斜めになる。従って、この状態でカセット１０を載置部方向へ下降させると、カセット１０は桟２の支持部２ａに対して斜めに載置されることになる。この際に、支持部２ａにおいて、カセット１０の先端部分が最初に当接する部分に切欠部２ｂ及びスライド部材２０が設けられるようになっている。
【００２１】
なお、切欠部２ｂ及びスライド部材２０を配設する位置は、カセットサイズや第１及び第２アーム３０・３１の長さ等によって適宜変更可能である。
【００２２】
（機械的構成：搬出入装置３）
搬出入装置３は、図４（ａ）（ｂ）及び図５に示すように、対面に平行配置された収納棚１間に形成された通路６内の走行レール６ａに支持案内されて走行経路上を走行する走行体（図示せず）と、走行体に立設された一対の支柱３ａと、支柱３ａに支持案内されて昇降する荷台３ｂと、上記荷台３ｂに設けられかつ棚ユニット１ａとの間でカセット１０を移送する移送装置３ｃとで構成されている。
【００２３】
上記移送装置３ｃは、第１アーム３０及び第２アーム３１が回転して、フォーク本体３２が一直線上に移動する。なお、この実施例では詳細を記述しないが、第１アーム３０、第２アーム３１及びフォーク本体３２は、荷台３ｂに回転可能に設けられた回転盤３４に設けられ、回転することで、通路６に面する、何れの棚ユニット１ａに対してもカセット１０を搬出入できるようになっている。
【００２４】
また、フォーク本体３２は、カセット１０の底面中央を支持し、図４（ａ）に示すように、対向する支持部２ａ間を通り抜け可能となっている。即ち、カセット１０を支持したフォーク本体３２が桟２の上方から下方に移動すると、フォーク本体３２は一対の支持部２ａ間を通り抜けるが、カセット１０は、底面両端部が支持部２ａに引っかかる。これにより、カセット１０がフォーク本体３２から離脱すると共に桟２に載置されるようになる。また、第１及び第２アーム３０・３１が伸縮（回転）することで、フォーク本体３２を退入位置と突出位置との間で一定の速度で水平移動することができる。なお、退入位置とは、第１及び第２アーム３０・３１を折り曲げ、フォーク本体３２が棚ユニット１ａ外に位置していることを意味し、突入位置とは、第１及び第２アーム３０・３１を伸長し、フォーク本体３２が棚ユニット１ａ内に位置していることを意味している。
【００２５】
次に、上記のように構成される搬出入装置３による、カセット１０の収納時の動作、及びカセット１０の載置時におけるスライド部材２０の動作について説明する。
【００２６】
（カセット１０の動作：棚ユニット１ａへのカセット１０の搬入）
フォーク本体３２にカセット１０を載置している搬出入装置３は、図示しない制御コントローラ等からの指令信号を受けて、走行レールを走行し、目的の収納棚１の前まで移動する。その後、荷台３ｂを昇降し、目的の棚ユニット１ａまで移動する。そして、第１アーム３０及び第２アーム３１が回転することで、フォーク本体３２が退入位置から突出位置に水平移動する。また、突出位置にあるカセット１０及びフォーク本体３２は、少なくとも目的の棚ユニット１ａの桟２よりも上方に位置するようになっている。
【００２７】
次に、その状態を保持しながら、荷台３ｂが降下する。この荷台３ｂの降下に伴い、フォーク本体３２も降下する。このフォーク本体３２は、対向する支持部２ａの間を通り抜けるようになっており、その通り抜けの際に、フォーク本体３２上のカセット１０は、底面両端部が支持部２ａに引っかかり、これにより、カセット１０が桟２上に載置されるようになる。
【００２８】
（収納棚の動作：スライド部材２０）
また、上記したようにフォーク本体３２はカセット１０の重量により、先端部が重力方向に撓んでいるため、降下する途中でまず、図７（ａ）に示すように、カセット１０の先端部がスライド部材２０ａに当接する。この当接部分には、スライド板２２が設けられており、カセット１０はスライド部材２０ａのスライド板２２で支持されるようになる。そして、カセット１０の降下に伴い、スライド部材２０ａは、ローラ２３が回転することでベース板２１上を図７（ｂ）の水平移動方向の矢印が示す方向に移動を開始する。さらに、カセット１０の降下が進行すると、カセット１０の底面はスライド部材２０ｂにも当接し、スライド部材２０ｂはスライド部材２０ａと同様に、カセット１０と当接した状態で矢印方向に移動を開始する。従って、スライド部材２０及びベース板２１との間に磨耗によるパーティクルが発生することはない。また、カセット１０は、スライド部材２０のスライド板２２で支持されているため、カセット１０と桟２との間にも磨耗によるパーティクルが発生することはない。そして、そのままフォーク本体３２が降下すると、図７（ｃ）に示すように、カセット１０が桟２に載置されるようになる。
【００２９】
なお、スライド部材２０は、バネ２４が配設されているため、カセット１０が桟２から取り除かれると、バネ２４の伸縮力により、バネ２４の自然長である元の位置に戻る。また、図７において、説明の都合上カセット１０を支持するフォーク本体３２は省略している。
【００３０】
（カセット１０の収納方法）
次に、上記のように構成した収納棚に、カセット１０を収納する収納方法について説明する。
【００３１】
まず、カセット１０を桟２方向に下降させる。そして、それによって、カセット１０の先端部が最初に桟２に当接した後、カセット１０の先端部を桟２に対して摺接させ、最終的にカセット１０の全体を載置させる。この際に、桟２におけるカセット１０の先端部が最初に当接する部位を摺接する方向に移動させる。より具体的には、カセット１０の先端部を桟２のスライド部材２０に当接させると、先端部がスライド部材２０を摺接方向に移動させる。そして、先端部が摺接方向に移動しながら、最終的にカセット１０を桟２に載置できるようになる。これにより、カセット１０を、微小塵埃を発生させることなく桟２に載置できるようになる。
【００３２】
（本実施の形態の概要）
以上のように、本実施形態は、カセット１０を水平移動させる移送装置３ｃと、カセット１０を昇降させる荷台３ｂとを備えた搬出入装置３によりカセット１０を搬入出可能に保管する棚ユニット１ａにおいて、搬出入装置３により載置位置の上方まで水平移動された後に下降されることによって、載置位置にカセット１０が載置される桟２と、カセット１０を桟２に下降して載置する際に、最初に当接する部分に設けられる、水平移動方向に移動自在なスライド部材２０とを備えている構成にされている。
【００３３】
この構成によると、カセット１０を載せた搬出入装置３の移送装置３ｃを水平移動させたとき、移送装置３ｃはカセット１０の重量により、水平移動方向先端に向かい撓む。この状態で搬出入装置３の荷台３ｂを下降させると、カセット１０が完全に載置位置に載置される前に、カセット１０の水平移動方向先端がスライド部材２０に当接する。その後、カセット１０の下降に従い、カセット１０の水平移動方向先端は水平移動方向に移動自在であるスライド部材２０とともに水平移動方向に移動するので、カセット１０と桟２との間にすべり磨耗が発生しないようにすることができる。これにより、すべり磨耗により発生するパーティクル（微小塵埃）を発生させることなく桟２にカセット１０を載置して、カセット１０を収納することができるようになる。
【００３４】
また、本実施形態は、桟２は、対向配置され、カセット１０の下面の両端部でカセット１０を支持する一対の支持部２ａと、支持部２ａに設けられた略直方体形状の切欠部２ｂとを有し、スライド部材２０は、回転軸が水平移動方向と直交するように、切欠部２ｂに配置されたローラ２３と、ローラ２３を回転自在に保持し、カセット１０を支持するスライド板２２とを有している構成にされている。
【００３５】
この構成によると、カセット１０を搬出入装置３により桟２に載置する際に、最初にカセット１０が当接する部分に、水平移動方向に回動するローラ２３と、カセット１０を支持するスライド板２２を有するスライド部材２０が設けられている。これにより、カセット１０が斜めに桟２に当接後、載置されるような場合であっても、スライド板２２で支持されたカセット１０はスライド部材２０とともに回転ローラを介して水平移動方向に移動するため、カセット１０と桟２との間に摩擦等が発生するおそれを低減できる。
【００３６】
また、本実施形態は、水平移動方向と平行に伸縮するバネ２４と桟２をバネ２４の夫々両端で固定されているものでもよい。
【００３７】
この構成によると、カセット１０を桟２に載置して、カセット１０によってスライド部材２０が水平移動方向に移動した場合、バネ２４がスライド部材２０の水平移動方向にある場合はバネ２４は移動した分だけ縮み、バネ２４が水平移動方向と反対方向にある場合はバネ２４は移動した分だけ伸びる。その後、桟２からカセット１０を取り去ると、バネ２４は伸縮力によりカセット１０を桟２に載置する前の状態に戻るため、バネ２４を固定した桟２はカセット１０を桟２に載置する前の位置に戻る。これにより、カセット１０を桟２に載置する際に、スライド部材２０をカセット１０が桟２の最初に当接する位置に配置する制御を省くことができる。
【００３８】
また、本実施形態は、カセット１０が桟２方向に下降されることによって、カセット１０の水平移動方向先端部が最初に桟２に当接した後、カセット１０の水平移動方向先端部が桟２に対して摺接しながら最終的にカセット１０の全体が載置されるときに、桟２におけるカセット１０の水平移動方向先端部が最初に当接するスライド部材２０を前記摺接する方向に移動させる方法となっている。
【００３９】
この方法によると、カセット１０の一部が最初に当接する桟２の部位を、摺接する方向に移動させることで、当接した位置から最終的にカセット１０の全体が載置する位置まで移動する間において、カセット１０の摺動によるカセット１０と桟２の摩擦の発生を回避することができる。
【００４０】
（本実施の形態の変形例）
本発明は、上記の好ましい実施形態に記載されているが、本発明はそれだけに制限されない。本発明の趣旨と範囲から逸脱することのない様々な実施形態が他になされることは理解されよう。さらに、本実施形態において、本発明の構成による作用および効果を述べているが、これら作用および効果は、一例であり、本発明を限定するものではない。
【００４１】
例えば、上述の実施形態では、載置方向に往復動する移動部を、スライド板２２及びローラ２３等で構成されたスライド部材２０としているが、これに限定されることはない。例えば、図８に示すように、ローラ５１を支持部２ａに直接取り付けた構成にしてもよい（変形例１）。具体的には、支持部２ａのカセット１０が載置される面に開口部を設ける。そして、４つのローラ５１を並列配置し、各ローラ５１の回転軸５１ａが支持部２ａの側面に回転自在に緩挿されるようになっている。このとき、ローラ５１の上面が支持部２ａよりも僅かに突出するようになっている。また、ローラ５１の下面側に、ローラ５１を支持する支持板５２を設けるようにしてもよい。
【００４２】
また、図９に示すように、ローラ６１を支持部２ａに直接取り付け、その上に被せるようにスライド板６２を設置する構成にしてもよい（変形例２）。具体的には、支持部２ａのカセット１０が載置される面に開口部を設ける。そして、３つのローラ６１を並列配置し、各ローラ６１の回転軸６１ａが支持部２ａの側面に回転自在に緩挿されるようになっている。スライド板６２の断面は略コの字形状で、３つのローラ６１に被せるように設置されている。このとき、スライド板６２の上部が支持部２ａよりも僅かに突出するようになっている。また、スライド板６２の両側面は支持部２ａと内部でバネ６３によって接続されている。このとき、バネ６３は自然長の状態を維持しており、スライド板６２がいずれかの方向に移動しても、バネ６３により元の位置に戻るようになっている。また、ローラ６１の下面側に、ローラ６１を支持する支持板６４を設けるようにしてもよい。
【００４３】
また、上述の実施形態では、カセット１０が最初に桟２に当接する位置をカセット１０の先端と限定していたが、カセット１０が桟２に載置される面の全体であってもよい。具体的には、カセット１０を桟２に対して斜め上方から載置されるような場合、カセット１０の載置面全体が桟２に対して摺接するようになる。このため、カセット１０の載置面全体が摺動するようにスライド部材２０等を設けるようにすることで、上述の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００４４】
また、カセット１０を桟２に載置する方法としては、上方からカセット１０を把持して、懸吊状態で桟２に載置するようにしてもよく、この際に、カセット１０の先端部又は載置面全体が摺動するような構成としてもよい。
【００４５】
さらに、上述の実施の形態では、被搬送物をカセット１０、載置部を桟２としているが、これらに限定されず、上述の実施形態で説明した構成などは適宜変更可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本実施形態の収納棚において、載置部と、被搬送物を載置部に下降して載置する際に、最初に当接する部分に設けられる水平移動方向に移動自在な移動部とを示す断面図であり、(ａ)は図３におけるＡ−Ａ’面での断面図を示し、（ｂ）は図３におけるＢ−Ｂ’面での断面図を示す。
【図２】本実施形態における収納棚の載置部及び移動部を示す斜視図。
【図３】本実施形態における収納棚の載置部及び移動部を示す上面図。
【図４】移載装置と載置部の構成を説明するための概観図であり、（ａ）は上面図を示し、（ｂ）は側面図を示す。
【図５】被搬送物を載置部に載置する動作を説明するための図。
【図６】本発明が解決する問題点を示した移載装置の側面図。
【図７】本発明が解決する問題点の解決方法を説明するための被搬送物および載置部の側面図であり、(ａ)は被搬送物の水平移動方向先端部が載置部に当接した図を示し、（ｂ）は被搬送物の下降に従い、被搬送物の水平移動方向先端部が移動部とともに水平移動方向に移動していることを示し、そして（ｃ）は被搬送物の全体が載置部に完全に載置していることを示す。
【図８】本発明の第１の変形例を示す斜視図。
【図９】本発明の第２の変形例を示す斜視図。
【符号の説明】
【００４７】
１ 収納棚
１ａ 棚ユニット
２ 桟（載置部）
２ａ 支持部（直状支持部材）
２ｂ 切欠部
３ 搬出入装置（移載装置）
１０ カセット（被搬送物）
２０ スライド部材（移動部）
２２ スライド板（移動支持部）
２３ ローラ（回転ローラ）
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ガラス基板等の被搬送物を搬送する搬送工程において、被搬送物を一時的に収納する収納棚及び収納方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造、液晶製造、ＦＡ（Factory Automation）等において、液晶ガラス基板や半導体ウェハ等の被処理物（被搬送物）は、カセット内に複数枚収納され、カセット単位で一時的に保管する収納装置や各処理を施す処理装置等に搬送されるようになっている。なお、従来の収納装置として複数の収納部で構成される収納棚があり、各収納部は、カセットの左右両底面を、各収納部の左右の壁面に対向配置された一対の直状部材である桟で支持する構造となっている。特許文献１には、この被搬送物を搬送経路から収納装置や各処理装置等に移載する移載装置が開示されている。この特許文献１によると、回動する第１及び第２アームが回転することで、被搬送物を載置するフォーク装置が伸縮するようになっており、移載装置が下降することにより、被搬送物を収納装置や各処理装置等に載置している。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−３７０１８４号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、この特許文献１において、被搬送物が載置された状態でフォーク装置を伸長させた場合、被搬送物の重量によりフォーク装置が撓んでしまっていた。このため、被搬送物を載置する各処理装置の載置部に対して、被搬送物を平行に維持できなくなってしまう。そうすると、被搬送物を載置する際、被搬送物が載置部に対して斜めに降下するようになり、被搬送物の最下点だけが最初に載置部に当接してしまう。そして、そのまま載置動作を続けると、その当接部分が載置部を滑り、その結果、被搬送物と載置部との間にすべり磨耗が発生し、多量のパーティクル（微小塵埃）が発生してしまう。上記移載装置や処理装置が配置されている空間は、空気清浄が行われているが、このパーティクル等が気流にのり、他の被搬送物に付着したりしてしまうと、製品の品質が低下してしまうという問題が発生してしまう。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、パーティクル等を発生させることなく被搬送物を収納することができる収納棚及び収納方法を提案することである。
【課題を解決するための手段及び効果】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明は、被搬送物を水平移動させる水平アーム部と、該被搬送物を昇降させる昇降部とを備えた移載装置により前記被搬送物を搬入出可能に保管する収納棚において、前記移載装置により載置位置の上方まで水平移動された後に下降されることによって、前記載置位置に前記被搬送物が載置される載置部と、前記被搬送物を前記載置部に下降して載置する際に、最初に当接する部分に設けられる、前記水平移動方向に移動自在な移動部とを備えている。
【０００７】
この構成によると、前記被搬送物を載せた前記移載装置の前記水平アーム部を水平移動させたとき、前記水平アーム部は前記被搬送物の重量により、水平移動方向先端に向かい撓む。この状態で前記移載装置の前記昇降部を下降させると、前記被搬送物が完全に載置位置に載置される前に、前記被搬送物の水平移動方向先端が前記移動部に当接する。その後、前記被搬送物の下降に従い、前記被搬送物の水平移動方向先端は水平移動方向に移動自在である前記移動部とともに水平移動方向に移動するので、前記被搬送物と前記載置部との間にすべり磨耗が発生しないようにすることができる。これにより、すべり磨耗により発生するパーティクル（微小塵埃）を発生させることなく前記載置部に前記被搬送物を載置して、前記被搬送物を収納することができるようになる。
【０００８】
また、本発明は、前記載置部は、対向配置され、前記被搬送物の下面の両端部で前記被搬送物を支持する一対の直状支持部材と、直状支持部材に設けられた略直方体形状の切欠部とを有し、前記移動部は、回転軸が前記水平移動方向と直交するように、前記切欠部に配置された回転ローラと、回転ローラを回転自在に保持し、前記被搬送物を支持する移動支持部とを有しているものでもよい。
【０００９】
この構成によると、前記被搬送物を前記移載装置により前記載置部に載置する際に、最初に前記被搬送物が当接する部分に、水平移動方向に回動する回転ローラと、前記被搬送物を支持する移動支持部を有する移動部が設けられている。これにより、前記被搬送物が斜めに前記載置部に当接後、載置されるような場合であっても、前記移動支持部材で支持された前記被搬送物は前記移動部とともに前記回転ローラを介して水平移動方向に回動するため、前記被搬送物と前記直状支持部材との間に摩擦等が発生するおそれを低減できる。
【００１０】
また、本発明は、前記水平移動方向と平行に伸縮する弾性体が、前記移動体と前記載置部を弾性体の夫々両端で固定されているものでもよい。
【００１１】
この構成によると、前記被搬送物を前記載置部に載置し、前記被搬送物によって前記移動部が水平移動方向に移動した場合、前記弾性体が前記移動部の前記水平移動方向にある場合は前記弾性体は移動した分だけ縮み、前記弾性体が前記水平移動方向と反対方向にある場合は前記弾性体は移動した分だけ伸びる。その後、前記載置部から前記被搬送物を取り去ると、前記弾性体は伸縮力により前記被搬送物を前記載置部に載置する前の状態に戻るため、前記弾性体に固定された前記移動部は前記被搬送物を前記載置部に載置する前の位置に戻る。これにより、前記被搬送物を前記載置部に載置する際に、前記移動体を前記被搬送物が前記載置部の最初に当接する位置に配置する制御を省くことができる。
【００１２】
また、本発明は、被搬送物が載置部方向に下降されることによって、該被搬送物の一部が最初に前記載置部に当接した後、該被搬送物の一部が前記載置部に対して摺接しながら最終的に該被搬送物の全体が載置されるときに、前記載置部における前記被搬送物の一部が最初に当接する部位を前記摺接する方向に移動させる。
【００１３】
この方法によると、前記被搬送物の一部が最初に当接する前記載置部の部位を、摺接する方向に移動させることで、当接した位置から最終的に前記被搬送物の全体が載置する位置まで移動する間において、前記被搬送物の摺動による前記被搬送物と前記載置部の摩擦の発生を回避することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。本実施の形態に係る収納棚１は、搬送される被搬送物を一時的に保管する所謂「ストッカ」であり、図４（ｂ）に示すように、被搬送物を収納する１以上の棚ユニット１ａから構成されている。棚ユニット１ａに対して被搬送物は搬出入装置３によって出し入れされる。
【００１５】
なお、本実施の形態において、被搬送物とは、例えば複数枚のガラス基板や半導体ウェハ等を収容する立方体又は直方体の形状を有したカセットである。以下の説明で、被搬送物をカセットと称する。
【００１６】
（機械的構成：棚ユニット１ａ）
図４（ｂ）に示すように、収納棚１には鉛直方向に４段の棚ユニット１ａが設けられており、棚ユニット１ａにはカセット１０の底面でカセット１０を支持する桟２（載置部）が配置されている。そして、後述の搬出入装置３（移載装置）により、カセット１０を水平移動および降下をさせて、棚ユニット１ａの桟２にカセット１０を載置する。
【００１７】
（機械的構成：桟２）
図４（ａ）に示すように、桟２は、カセット１０の底面の両端を支持する、対向配置された一対の直状の支持部２ａ（直状支持部材）から構成されている。さらに、図３で示される、Ａ−Ａ’面の断面を表す図１（ａ）に示すように、支持部２ａの一部には略直方体の底面を有する切欠部２ｂが形成されているため、支持部２ａは断面が略コの字形状を有している。さらに、図１（ａ）及び、図３で示される、Ｂ−Ｂ’面の断面を表す図１（ｂ）に示すように、切欠部２ｂには、水平移動方向と平行に、２つのスライド部材２０（移動部）が切欠部２ｂの長さを略３等分する位置に夫々配置されており、支持部２ａの両外面側において、バネ２４で接続されている。なお、２つ配置されたスライド部材２０は水平方向順にスライド部材２０ｂ、スライド部材２０ａとする。具体的には、図２及び図３に示すように、水平移動方向順に見ると、支持部２ａとスライド部材２０ｂの間、スライド部材２０ｂとスライド部材２０ａの間、そしてスライド部材２０ａと支持部２ａの間が、支持部２ａの両外面側において、夫々バネ２４で接続されている。このときバネ２４は自然長を維持している。さらに、切欠部２ｂの底面にはベース板２１が配設され、スライド部材２０はこのベース板２１上を水平移動方向に往復動する。このベース板２１は、図１（ｂ）に示すように、幅が支持部２ａ（切欠部２ｂ）の幅よりも多少長く、両端部がＬ字型に折れ曲がっており、このＬ字部分で支持部２ａを挟み込むように支持部２ａに嵌合している。
【００１８】
上記切欠部２ｂ及びスライド部材２０は、カセット１０が桟２に載置される際に、最初にカセット１０と接触する部分に設けられている。詳しくは後述するが、カセット１０を桟２に載置する際、カセット１０は水平移動方向に向かって垂直下方向に撓んでしまう。そのため、後述の図７（ａ）に示すようにカセット１０を桟２に載置するために垂直下方向に降下させた場合、最初にカセット１０の水平移動方向先端が桟２に当接する。さらに後述の図７（ｂ）に示すようにカセット１０は垂直下方向への降下に伴って、桟２に対して水平移動方向先端から水平移動方向とは逆方向に徐々に当接して行き、カセット１０の当接した全面が水平移動方向に摺動する。従って、カセット１０がスライド部材２０に当接されるようにスライド部材２０を設けることで、カセット１０を水平方向に摺動させることができる。本実施の形態では、スライド部材２０を２つ設けているが、スライド部材２０を１つ設けた場合との対比において、広い範囲でスライド部材２０を受け止めることができる。なお、スライド部材２０の大きさや個数に関しては、適宜変更可能である。また、最初にカセット１０と接触する部分については後に詳述する。
【００１９】
（機械的構成：スライド部材２０）
図１（ａ）（ｂ）に示すように、スライド部材２０はスライド板２２と、ローラ２３とを有している。 スライド板２２は、カセット１０を支持する天板２２ａと、その天板２２ａの両端部に設けられた、ローラ２３を回転自在に支持するＬ字型の軸受け２２ｂとからなり、水平移動方向に往復動する。軸受け２２ｂのＬ字部分は、上記ベース板２１のＬ字型に折れ曲がった部分と係合するようになっており、かかる係合部分が水平移動方向に往復動するスライド板２２のガイドの役割を果たしている。また、軸受け２２ｂには、図示しない孔が設けられており、ローラ２３の回転軸２３ａが緩挿され、天板２２ａとベース板２１との間にローラ２３が介在するようになっている。これにより、スライド部材２０は、ローラ２３がベース板２１上を回転することで、ベース板２１上を水平移動方向に往復動するようになっている。
【００２０】
上記したように、切欠部２ｂ及びスライド部材２０は、カセット１０が桟２に載置される際に、最初にカセット１０と接触する部分に設けられている。より具体的に説明すると、後述の搬出入装置３の第１アーム３０及び第２アーム３１が水平移動している状態において、カセット１０を支持したフォーク本体３２は、図６の矢印に示すように、カセット１０の重量により先端にかけて下方に撓んでしまう。このため、フォーク本体３２に載置されるカセット１０も先端にかけて斜めになる。従って、この状態でカセット１０を載置部方向へ下降させると、カセット１０は桟２の支持部２ａに対して斜めに載置されることになる。この際に、支持部２ａにおいて、カセット１０の先端部分が最初に当接する部分に切欠部２ｂ及びスライド部材２０が設けられるようになっている。
【００２１】
なお、切欠部２ｂ及びスライド部材２０を配設する位置は、カセットサイズや第１及び第２アーム３０・３１の長さ等によって適宜変更可能である。
【００２２】
（機械的構成：搬出入装置３）
搬出入装置３は、図４（ａ）（ｂ）及び図５に示すように、対面に平行配置された収納棚１間に形成された通路６内の走行レール６ａに支持案内されて走行経路上を走行する走行体（図示せず）と、走行体に立設された一対の支柱３ａと、支柱３ａに支持案内されて昇降する荷台３ｂと、上記荷台３ｂに設けられかつ棚ユニット１ａとの間でカセット１０を移送する移送装置３ｃとで構成されている。
【００２３】
上記移送装置３ｃは、第１アーム３０及び第２アーム３１が回転して、フォーク本体３２が一直線上に移動する。なお、この実施例では詳細を記述しないが、第１アーム３０、第２アーム３１及びフォーク本体３２は、荷台３ｂに回転可能に設けられた回転盤３４に設けられ、回転することで、通路６に面する、何れの棚ユニット１ａに対してもカセット１０を搬出入できるようになっている。
【００２４】
また、フォーク本体３２は、カセット１０の底面中央を支持し、図４（ａ）に示すように、対向する支持部２ａ間を通り抜け可能となっている。即ち、カセット１０を支持したフォーク本体３２が桟２の上方から下方に移動すると、フォーク本体３２は一対の支持部２ａ間を通り抜けるが、カセット１０は、底面両端部が支持部２ａに引っかかる。これにより、カセット１０がフォーク本体３２から離脱すると共に桟２に載置されるようになる。また、第１及び第２アーム３０・３１が伸縮（回転）することで、フォーク本体３２を退入位置と突出位置との間で一定の速度で水平移動することができる。なお、退入位置とは、第１及び第２アーム３０・３１を折り曲げ、フォーク本体３２が棚ユニット１ａ外に位置していることを意味し、突入位置とは、第１及び第２アーム３０・３１を伸長し、フォーク本体３２が棚ユニット１ａ内に位置していることを意味している。
【００２５】
次に、上記のように構成される搬出入装置３による、カセット１０の収納時の動作、及びカセット１０の載置時におけるスライド部材２０の動作について説明する。
【００２６】
（カセット１０の動作：棚ユニット１ａへのカセット１０の搬入）
フォーク本体３２にカセット１０を載置している搬出入装置３は、図示しない制御コントローラ等からの指令信号を受けて、走行レールを走行し、目的の収納棚１の前まで移動する。その後、荷台３ｂを昇降し、目的の棚ユニット１ａまで移動する。そして、第１アーム３０及び第２アーム３１が回転することで、フォーク本体３２が退入位置から突出位置に水平移動する。また、突出位置にあるカセット１０及びフォーク本体３２は、少なくとも目的の棚ユニット１ａの桟２よりも上方に位置するようになっている。
【００２７】
次に、その状態を保持しながら、荷台３ｂが降下する。この荷台３ｂの降下に伴い、フォーク本体３２も降下する。このフォーク本体３２は、対向する支持部２ａの間を通り抜けるようになっており、その通り抜けの際に、フォーク本体３２上のカセット１０は、底面両端部が支持部２ａに引っかかり、これにより、カセット１０が桟２上に載置されるようになる。
【００２８】
（収納棚の動作：スライド部材２０）
また、上記したようにフォーク本体３２はカセット１０の重量により、先端部が重力方向に撓んでいるため、降下する途中でまず、図７（ａ）に示すように、カセット１０の先端部がスライド部材２０ａに当接する。この当接部分には、スライド板２２が設けられており、カセット１０はスライド部材２０ａのスライド板２２で支持されるようになる。そして、カセット１０の降下に伴い、スライド部材２０ａは、ローラ２３が回転することでベース板２１上を図７（ｂ）の水平移動方向の矢印が示す方向に移動を開始する。さらに、カセット１０の降下が進行すると、カセット１０の底面はスライド部材２０ｂにも当接し、スライド部材２０ｂはスライド部材２０ａと同様に、カセット１０と当接した状態で矢印方向に移動を開始する。従って、スライド部材２０及びベース板２１との間に磨耗によるパーティクルが発生することはない。また、カセット１０は、スライド部材２０のスライド板２２で支持されているため、カセット１０と桟２との間にも磨耗によるパーティクルが発生することはない。そして、そのままフォーク本体３２が降下すると、図７（ｃ）に示すように、カセット１０が桟２に載置されるようになる。
【００２９】
なお、スライド部材２０は、バネ２４が配設されているため、カセット１０が桟２から取り除かれると、バネ２４の伸縮力により、バネ２４の自然長である元の位置に戻る。また、図７において、説明の都合上カセット１０を支持するフォーク本体３２は省略している。
【００３０】
（カセット１０の収納方法）
次に、上記のように構成した収納棚に、カセット１０を収納する収納方法について説明する。
【００３１】
まず、カセット１０を桟２方向に下降させる。そして、それによって、カセット１０の先端部が最初に桟２に当接した後、カセット１０の先端部を桟２に対して摺接させ、最終的にカセット１０の全体を載置させる。この際に、桟２におけるカセット１０の先端部が最初に当接する部位を摺接する方向に移動させる。より具体的には、カセット１０の先端部を桟２のスライド部材２０に当接させると、先端部がスライド部材２０を摺接方向に移動させる。そして、先端部が摺接方向に移動しながら、最終的にカセット１０を桟２に載置できるようになる。これにより、カセット１０を、微小塵埃を発生させることなく桟２に載置できるようになる。
【００３２】
（本実施の形態の概要）
以上のように、本実施形態は、カセット１０を水平移動させる移送装置３ｃと、カセット１０を昇降させる荷台３ｂとを備えた搬出入装置３によりカセット１０を搬入出可能に保管する棚ユニット１ａにおいて、搬出入装置３により載置位置の上方まで水平移動された後に下降されることによって、載置位置にカセット１０が載置される桟２と、カセット１０を桟２に下降して載置する際に、最初に当接する部分に設けられる、水平移動方向に移動自在なスライド部材２０とを備えている構成にされている。
【００３３】
この構成によると、カセット１０を載せた搬出入装置３の移送装置３ｃを水平移動させたとき、移送装置３ｃはカセット１０の重量により、水平移動方向先端に向かい撓む。この状態で搬出入装置３の荷台３ｂを下降させると、カセット１０が完全に載置位置に載置される前に、カセット１０の水平移動方向先端がスライド部材２０に当接する。その後、カセット１０の下降に従い、カセット１０の水平移動方向先端は水平移動方向に移動自在であるスライド部材２０とともに水平移動方向に移動するので、カセット１０と桟２との間にすべり磨耗が発生しないようにすることができる。これにより、すべり磨耗により発生するパーティクル（微小塵埃）を発生させることなく桟２にカセット１０を載置して、カセット１０を収納することができるようになる。
【００３４】
また、本実施形態は、桟２は、対向配置され、カセット１０の下面の両端部でカセット１０を支持する一対の支持部２ａと、支持部２ａに設けられた略直方体形状の切欠部２ｂとを有し、スライド部材２０は、回転軸が水平移動方向と直交するように、切欠部２ｂに配置されたローラ２３と、ローラ２３を回転自在に保持し、カセット１０を支持するスライド板２２とを有している構成にされている。
【００３５】
この構成によると、カセット１０を搬出入装置３により桟２に載置する際に、最初にカセット１０が当接する部分に、水平移動方向に回動するローラ２３と、カセット１０を支持するスライド板２２を有するスライド部材２０が設けられている。これにより、カセット１０が斜めに桟２に当接後、載置されるような場合であっても、スライド板２２で支持されたカセット１０はスライド部材２０とともに回転ローラを介して水平移動方向に移動するため、カセット１０と桟２との間に摩擦等が発生するおそれを低減できる。
【００３６】
また、本実施形態は、水平移動方向と平行に伸縮するバネ２４と桟２をバネ２４の夫々両端で固定されているものでもよい。
【００３７】
この構成によると、カセット１０を桟２に載置して、カセット１０によってスライド部材２０が水平移動方向に移動した場合、バネ２４がスライド部材２０の水平移動方向にある場合はバネ２４は移動した分だけ縮み、バネ２４が水平移動方向と反対方向にある場合はバネ２４は移動した分だけ伸びる。その後、桟２からカセット１０を取り去ると、バネ２４は伸縮力によりカセット１０を桟２に載置する前の状態に戻るため、バネ２４を固定した桟２はカセット１０を桟２に載置する前の位置に戻る。これにより、カセット１０を桟２に載置する際に、スライド部材２０をカセット１０が桟２の最初に当接する位置に配置する制御を省くことができる。
【００３８】
また、本実施形態は、カセット１０が桟２方向に下降されることによって、カセット１０の水平移動方向先端部が最初に桟２に当接した後、カセット１０の水平移動方向先端部が桟２に対して摺接しながら最終的にカセット１０の全体が載置されるときに、桟２におけるカセット１０の水平移動方向先端部が最初に当接するスライド部材２０を前記摺接する方向に移動させる方法となっている。
【００３９】
この方法によると、カセット１０の一部が最初に当接する桟２の部位を、摺接する方向に移動させることで、当接した位置から最終的にカセット１０の全体が載置する位置まで移動する間において、カセット１０の摺動によるカセット１０と桟２の摩擦の発生を回避することができる。
【００４０】
（本実施の形態の変形例）
本発明は、上記の好ましい実施形態に記載されているが、本発明はそれだけに制限されない。本発明の趣旨と範囲から逸脱することのない様々な実施形態が他になされることは理解されよう。さらに、本実施形態において、本発明の構成による作用および効果を述べているが、これら作用および効果は、一例であり、本発明を限定するものではない。
【００４１】
例えば、上述の実施形態では、載置方向に往復動する移動部を、スライド板２２及びローラ２３等で構成されたスライド部材２０としているが、これに限定されることはない。例えば、図８に示すように、ローラ５１を支持部２ａに直接取り付けた構成にしてもよい（変形例１）。具体的には、支持部２ａのカセット１０が載置される面に開口部を設ける。そして、４つのローラ５１を並列配置し、各ローラ５１の回転軸５１ａが支持部２ａの側面に回転自在に緩挿されるようになっている。このとき、ローラ５１の上面が支持部２ａよりも僅かに突出するようになっている。また、ローラ５１の下面側に、ローラ５１を支持する支持板５２を設けるようにしてもよい。
【００４２】
また、図９に示すように、ローラ６１を支持部２ａに直接取り付け、その上に被せるようにスライド板６２を設置する構成にしてもよい（変形例２）。具体的には、支持部２ａのカセット１０が載置される面に開口部を設ける。そして、３つのローラ６１を並列配置し、各ローラ６１の回転軸６１ａが支持部２ａの側面に回転自在に緩挿されるようになっている。スライド板６２の断面は略コの字形状で、３つのローラ６１に被せるように設置されている。このとき、スライド板６２の上部が支持部２ａよりも僅かに突出するようになっている。また、スライド板６２の両側面は支持部２ａと内部でバネ６３によって接続されている。このとき、バネ６３は自然長の状態を維持しており、スライド板６２がいずれかの方向に移動しても、バネ６３により元の位置に戻るようになっている。また、ローラ６１の下面側に、ローラ６１を支持する支持板６４を設けるようにしてもよい。
【００４３】
また、上述の実施形態では、カセット１０が最初に桟２に当接する位置をカセット１０の先端と限定していたが、カセット１０が桟２に載置される面の全体であってもよい。具体的には、カセット１０を桟２に対して斜め上方から載置されるような場合、カセット１０の載置面全体が桟２に対して摺接するようになる。このため、カセット１０の載置面全体が摺動するようにスライド部材２０等を設けるようにすることで、上述の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００４４】
また、カセット１０を桟２に載置する方法としては、上方からカセット１０を把持して、懸吊状態で桟２に載置するようにしてもよく、この際に、カセット１０の先端部又は載置面全体が摺動するような構成としてもよい。
【００４５】
さらに、上述の実施の形態では、被搬送物をカセット１０、載置部を桟２としているが、これらに限定されず、上述の実施形態で説明した構成などは適宜変更可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本実施形態の収納棚において、載置部と、被搬送物を載置部に下降して載置する際に、最初に当接する部分に設けられる水平移動方向に移動自在な移動部とを示す断面図であり、(ａ)は図３におけるＡ−Ａ’面での断面図を示し、（ｂ）は図３におけるＢ−Ｂ’面での断面図を示す。
【図２】本実施形態における収納棚の載置部及び移動部を示す斜視図。
【図３】本実施形態における収納棚の載置部及び移動部を示す上面図。
【図４】移載装置と載置部の構成を説明するための概観図であり、（ａ）は上面図を示し、（ｂ）は側面図を示す。
【図５】被搬送物を載置部に載置する動作を説明するための図。
【図６】本発明が解決する問題点を示した移載装置の側面図。
【図７】本発明が解決する問題点の解決方法を説明するための被搬送物および載置部の側面図であり、(ａ)は被搬送物の水平移動方向先端部が載置部に当接した図を示し、（ｂ）は被搬送物の下降に従い、被搬送物の水平移動方向先端部が移動部とともに水平移動方向に移動していることを示し、そして（ｃ）は被搬送物の全体が載置部に完全に載置していることを示す。
【図８】本発明の第１の変形例を示す斜視図。
【図９】本発明の第２の変形例を示す斜視図。
【符号の説明】
【００４７】
１ 収納棚
１ａ 棚ユニット
２ 桟（載置部）
２ａ 支持部（直状支持部材）
２ｂ 切欠部
３ 搬出入装置（移載装置）
１０ カセット（被搬送物）
２０ スライド部材（移動部）
２２ スライド板（移動支持部）
２３ ローラ（回転ローラ）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被搬送物を水平移動させる水平アーム部と、該被搬送物を昇降させる昇降部と
を備えた移載装置により前記被搬送物を搬入出可能に保管する収納棚において、
前記移載装置により載置位置の上方まで水平移動された後に下降されることによって、前記載置位置に前記被搬送物が載置される載置部と、
前記被搬送物を前記載置部に下降して載置する際に、最初に当接する部分に設けられる、前記水平移動方向に移動自在な移動部と
を備えていることを特徴とする収納棚。
【請求項２】
前記載置部は、
対向配置され、前記被搬送物の下面の両端部で前記被搬送物を支持する一対の直状支持部材と、前記直状支持部材に設けられた略直方体形状の切欠部とを有し、
前記移動部は、
回転軸が前記水平移動方向と直交するように、前記切欠部に配置された回転ローラと、 前記回転ローラを回転自在に保持し、前記被搬送物を支持する移動支持部とを有していること
を特徴とする請求項１に記載の収納棚。
【請求項３】
前記水平移動方向と平行に伸縮する弾性体が、
前記移動体と前記載置部を弾性体の夫々両端で固定されていることを特徴とする請求項１、請求項２に記載の収納棚。
【請求項４】
被搬送物が載置部方向に下降されることによって、該被搬送物の一部が最初に前記載置部に当接した後、該被搬送物の一部が前記載置部に対して摺接しながら最終的に該被搬送物の全体が載置されるときに、
前記載置部における前記被搬送物の一部が最初に当接する部位を前記摺接する方向に移動させることを特徴とする収納方法。
【請求項１】
被搬送物を水平移動させる水平アーム部と、該被搬送物を昇降させる昇降部と
を備えた移載装置により前記被搬送物を搬入出可能に保管する収納棚において、
前記移載装置により載置位置の上方まで水平移動された後に下降されることによって、前記載置位置に前記被搬送物が載置される載置部と、
前記被搬送物を前記載置部に下降して載置する際に、最初に当接する部分に設けられる、前記水平移動方向に移動自在な移動部と
を備えていることを特徴とする収納棚。
【請求項２】
前記載置部は、
対向配置され、前記被搬送物の下面の両端部で前記被搬送物を支持する一対の直状支持部材と、前記直状支持部材に設けられた略直方体形状の切欠部とを有し、
前記移動部は、
回転軸が前記水平移動方向と直交するように、前記切欠部に配置された回転ローラと、 前記回転ローラを回転自在に保持し、前記被搬送物を支持する移動支持部とを有していること
を特徴とする請求項１に記載の収納棚。
【請求項３】
前記水平移動方向と平行に伸縮する弾性体が、
前記移動体と前記載置部を弾性体の夫々両端で固定されていることを特徴とする請求項１、請求項２に記載の収納棚。
【請求項４】
被搬送物が載置部方向に下降されることによって、該被搬送物の一部が最初に前記載置部に当接した後、該被搬送物の一部が前記載置部に対して摺接しながら最終的に該被搬送物の全体が載置されるときに、
前記載置部における前記被搬送物の一部が最初に当接する部位を前記摺接する方向に移動させることを特徴とする収納方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２００８−１３２６８（Ｐ２００８−１３２６８Ａ）
【公開日】平成２０年１月２４日（２００８．１．２４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−１８３２６２（Ｐ２００６−１８３２６２）
【出願日】平成１８年７月３日（２００６．７．３）
【出願人】（３０２０５９２７４）アシスト テクノロジーズ ジャパン株式会社 (146)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年１月２４日（２００８．１．２４）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年７月３日（２００６．７．３）
【出願人】（３０２０５９２７４）アシスト テクノロジーズ ジャパン株式会社 (146)
【Ｆターム（参考）】
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