【課題】アクセッサ機構の移動経路内の塵埃を自動的に除去可能なライブラリ装置を提供する。
【解決手段】ライブラリ装置は、記録媒体を収納するセルを複数備えたマガジンと、記録媒体に情報の記録および再生を行うドライブ装置と、ドライブ装置およびセルに対して記録媒体の出し入れを行うピッカ手段と、ピッカ手段を搭載しピッカ手段が取り出した記録媒体をドライブ装置と各セルとの間で搬送するアクセッサ手段と、を有し、ピッカ手段が、記録媒体と連結した状態でドライブ装置またはセルに対して離れるまたは近づく方向に移動して記録媒体の出し入れを行い、ピッカ手段の移動に連動して、ピッカ手段の底部に対向する対向領域の移動経路上の塵埃を除去する除去手段を有する。 （もっと読む）

【課題】防塵設計のために要する部材の点数増加を抑制する搬送装置を提供する。
【解決手段】レール１１、１１ａ上を進退する走行台車１２と、走行台車１２に立設された支柱１３、１３ａ、１３ｂ、１３ｃのガイド部にガイドローラ１４を当接させて支柱１３、１３ａ、１３ｂ、１３ｃに沿って昇降するキャリッジ１５と、ガイド部を覆う支柱側防塵機構１６とを備えた搬送装置１０において、レール１１、１１ａは、複数設けられ互いに距離を有して配置され、走行台車１２と共に、支柱１３、１３ａ、１３ｂ、１３ｃの通過領域を除いてカバーリング２０によって覆われ、支柱１３、１３ａの通過領域及び支柱１３ｂ、１３ｃの通過領域をそれぞれ覆うスクリーン２９、２９ａをカバーリング２０に張設し、支柱１３、１３ａには、スクリーン２９が挿通する貫通孔３０を設け、支柱１３ｂ、１３ｃには、スクリーン２９ａが挿通する貫通孔３０を設ける。 （もっと読む）

【課題】人に対する労力を減らし、異物混入の少ない製品を作りやすくする。
【解決手段】複数の工程毎に個別の処理室１を設け、各処理室１夫々に、複数種の粉体原料または製造中間品からなる処理物に対する第１出入り口部６を設けると共に、作業員の第２出入り口部７を設け、複数の第１出入り口部６同士を接続する処理物搬送路８を設け、複数の第２出入り口部７同士を接続する作業員移動通路９を設け、処理物搬送路８を介して各工程毎に第１出入り口部６から別の第１出入り口部６に処理物を搬送する自動搬送装置を設け、複数の処理室１を環状に配置して環状処理室群２Ｂを形成し、環状処理室群２Ｂの内側に作業員移動通路９を配置すると共に、外側に処理物搬送路８を配置し、第１出入り口部６を環状処理室群２Ｂの各処理室１夫々の外側に設け、第２出入り口部７を環状処理室群２Ｂの各処理室１夫々の内側に設けてある。 （もっと読む）

【課題】クリーニング処理した部材を長時間に亘り錆発生を起こさせず保管維持することができる部材の保管維持装置を提供する。
【解決手段】表面を清浄した部材または表面仕上げした部材を、外部環境の温度より２℃より高く１００℃より低い範囲で、且つ、通常大気中または不活性ガス雰囲気で保管維持する部材の保管維持装置１に関する。 （もっと読む）

【課題】被処理物に対して処理を行って処理物を得る複数の工程室と、被処理物または処理物からなる被搬送物を搬送容器に収納して搬送し、これら工程室に対して搬送容器の受け渡しを行う搬送領域とが設けられた処理設備において、工場の配置レイアウトの自由度が大きい処理設備を提供する。
【解決手段】複数の工程室２１が平面的に配置された処理フロア１の階上に、搬送容器Ｃの搬送を行う物流フロアを設けると共に、処理フロアと物流フロアとの間の天井面１１に受け渡し口を形成し、物流フロアを走行する搬送車５により受け渡し口を介して処理フロアと物流フロアとの間において搬送容器Ｃの受け渡しを行う。そして、物流フロアにおいて、搬送車５の走行する搬送路に沿って、搬送容器Ｃを載置するための棚７１を設ける。 （もっと読む）

【課題】非接触給電方式を採用した搬送車システムにおいて、給電線とコアとの接触を減らす。
【解決手段】搬送車システムは、軌道と、給電線４１と、複数の給電線ホルダ３９と、搬送車と、ピックアップユニット５９と、ガイド昇降機構６５とを備えている。軌道は、分岐部を有する。給電線４１は、軌道に沿って配置されている。給電線ホルダ３９は間隔を空けて配置され、給電線ホルダ３９の保持部４５は鉛直方向に延びて給電線４１を支持する。ピックアップユニット５９は、搬送車に設けられ、給電線４１に対して近接しており鉛直方向を向いた開口５９ａを有する。ガイド昇降機構６５は、分岐部において、給電線４１からピックアップユニット５９を離れさせることができる。 （もっと読む）

【課題】スタッカクレーン走行時においても側方へ押し退けられる塵埃を含んだ空気流がポートエリア内に流れ込まないようにしてカセットを汚染することなく高速で搬送できるようにしたカセットストッカを提供すること。
【解決手段】スタッカクレーンエリアＳａを走行するスタッカクレーンＫの走行台車側部位置で、かつポートエリアＳｂ下方位置にスタッカクレーンエリアＳａ下部と互いに導通するようにして、スタッカクレーンＫの走行時に発生した塵埃をダウンフローと一緒に吸収するようにしたエアーチャンバＣを、スタッカクレーンＫの走行方向に沿って設置する。 （もっと読む）

【課題】ウエーハなどの保管対象物をより良い条件で保管可能なシステムおよび方法を提供すること。不活性ガスの消費量を削減可能なシステムおよび方法を提供すること。
【解決手段】保管対象物２を密閉状に収納可能で、内部から外部への気体の移動と外部から内部への気体の移動とを許す制御ポート４ａ，４ｂを備えた保管容器４と、保管容器４を収納する真空チャンバーＣｎと、真空チャンバーＣｎと真空減圧装置Ｐ，５とを接続する排気経路Ｒｄｎと、真空チャンバーＣｎと不活性ガス供給手段７とを接続する不活性ガス供給経路Ｒｐｎとを備え、真空チャンバーＣｎ内を真空に保持する真空保管モードと、保管容器の出庫に際して、真空チャンバーＣｎと保管容器４とを不活性ガスで満たすべく対応する不活性ガス供給経路Ｒｐｎを開放状態にする出庫準備モードとを有する保管システム。 （もっと読む）

【課題】工程室内の雰囲気の汚染を抑制する処理設備を提供すること。また他の目的は、工程室や機器の改変に容易に対応できる処理設備を提供すること。
【解決手段】複数の工程室１１が前後方向に配置された処理フロア１と、この処理フロア１の階下に設けられ、前記複数の工程室１１の各々に搬送容器Ｔを搬入するための搬入通路２１と、前記複数の工程室の各々から搬送容器を搬出するための搬出通路２２とが、互いに左右方向に区画された物流フロア２と、を備える。工程室１１には搬入口Ａを介して搬入通路２１に設けられた搬入用搬送車４Ａにより搬送容器Ｔが受け渡され、当該工程室１１から搬出口Ｂを介して搬出通路２２に設けられた搬出用搬送車４Ｂに搬送容器Ｔが受け渡される。 （もっと読む）

【課題】コスト面で有利で、しかも、円滑な保守作業ができる倉庫設備を提供すること。
【解決手段】天井Ｓ側から吊り下げ支持された状態で設定走行領域Ｋを走行自在な物品搬送用の天井搬送車２の設定走行領域Ｋに平面視で近接する状態で床面Ｆ側に設置されて、複数の物品を縦横に並べた状態で収納自在な倉庫本体と、倉庫本体の外壁４Ｓに設けられた保守作業者進入用の上層用の進入口１１Ｈに対して作業者が床面Ｆから上り下りするために用いられる昇降具とが備えられ、昇降具が、倉庫本体の外壁４Ｓに対して着脱自在に、かつ、移動用の車輪２１を備えて人為操作により床面Ｆ上を移動自在な昇降用台車２０にて構成され、かつ、上端部２０Ｔの床上高さＨ３が設定走行領域Ｋの下限高さＨ２よりも低く構成されている。 （もっと読む）

【課題】連続する入庫を効率的に行う。
【解決手段】保管庫２０は、内部が鉛直方向に複数段に分断され、荷３を出し入れ可能な出入口が設けられている筐体と、筐体外にて出入口に隣接し、荷を載置可能である入出庫ポートと、筐体内にて荷を水平一方向及び鉛直方向に移動可能な内部移動手段３０と、筐体内に、複数段の各々において水平一方向に広がるように配列され、内部移動手段により移動される荷を載置可能に夫々構成されている複数の棚部分２１，２３ａ，２３ｂのうち相互に連結される一及び二の棚部分を、一の棚部分が出入口に隣接する第１位置と二の棚部分が出入口に隣接する第２位置との間で、一体に変位可能な棚部分変位手段４０と、第１位置に変位された一の棚部分又は第２位置に変位された二の棚部分と入出庫ポートとの間で出入口を介して荷を水平移動可能な外内移動手段４１ａ，４１ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】液晶基板の保管倉庫室に設置される搬送装置であるスタッカクレーンの動作に伴う気流の乱れに対して効果的に防止する液晶基板の保管倉庫室を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の液晶基板の保管倉庫室１０は、液晶基板を収容するカセットを保管する複数の保管棚２０と、複数の保管棚２０に沿って配置したレールを走行し、カセットを搬送するスタッカクレーン３０と、スタッカクレーン３０の走行方向前方で室内の空気を排気する排気手段と、スタッカクレーン３０の走行方向後方で排気手段の排気した排気量の空気を給気する給気手段と、スタッカクレーン３０の移動制御信号に基づいて、スタッカクレーン３０の投影面積と移動距離から生じるスタッカクレーン３０の押し退ける空気量を排気手段から排気させると共に給気手段から給気させる制御手段６０と、を備えたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で基板移載装置による基板の移載が行い易い基板搬送設備を提供する。
【解決手段】収納容器２を、基板移載用の開口が形成され且つ内部に基板を複数枚収納する容器本体４１と、容器本体４１に対して着脱自在で容器本体４１に装着した状態において開口の全面を閉じる蓋部材４２とを備えて構成し、容器搬送手段１１１を、収納容器２を基板移載位置に下降移動させて搬送するように構成し、容器搬送手段１１１による収納容器２の基板移載位置への下降移動途中において蓋部材４２の被支持部１１９を受け止め支持して蓋部材４２を容器本体２から離脱させる受け止め支持体１２２を設ける。 （もっと読む）

【課題】 移動体装置のレール走行に起因する発塵物を室内で拡散させることなく、速やかに且つ効率よく除去すること。
【解決手段】レール３０との間に吸引用の間隙４２を形成する吸引ガイド４０ａ、４０ｂを、レール３０の車輪６２との接触面を囲うようにレール３０に沿って配置し、レール３０と吸引ガイド４０ａ、４０ｂとの間の間隙４２から塵埃とともに空気を吸引する構成とした。レール３０が内部空間（図示を省略）を有する場合には、そのレールの内部空間を吸引経路として用い、レールの内部空間から塵埃とともに空気を吸引する構成としてもよい。 （もっと読む）

【課題】外気の汚染物質濃度が高い場合であっても、ケミカルフィルタの劣化を効果的に抑制することができる保管装置を提供する。
【解決手段】物品を収納する収納室１３と、前記収納室１３の上流側に設けられたケミカルフィルタ４０，５０と、前記ケミカルフィルタ４０，５０によって浄化された気体を前記収納室１３に送風する送風機６０と、前記収納室１３に送風された浄化気体を循環させるために前記収納室１３の側壁１１に沿って設けられた循環流路３１と、を備えた保管装置１とする。 （もっと読む）

【課題】カセットとカセット収納棚との間に滑り磨耗が発生するのを防止する。
【解決手段】この搬送台車１の台座１１に取り付けられる車輪１４の近傍には、油圧ジャッキ３０ａ及び３０ｂが設けられている。この油圧ジャッキ３０ａ及び３０ｂは、カセット棚装置４側に配置される一対の前方ジャッキ３０ａと、一対の前方ジャッキ３０ａのカセット棚装置４の反対側に配置される一対の後方ジャッキ３０ｂとから構成されている。そして、一対の前方ジャッキ３０ａ及び一対の後方ジャッキ３０ｂをジャッキ制御部により制御することによって、前方ジャッキ３０ａを後方ジャッキ３０ｂより高位置に保持して、車体部１０を傾斜させる。 （もっと読む）

【課題】利用者が自分のすきなときに衣類を出し入れでき、しかも保管中に衣類にかびが生えるのも防止できる新たな回転式衣類収納ボックスコンベヤを提供する。
【解決手段】衣類を収納できる縦長の複数の収納箱１を互いに平行を保たせた状態で環状に連ね、水平面内で循環するチェーン３によって一つ一つの収納箱１を水平方向に移動させる。収納箱１ごとに利用者の衣類を区別することができるので、利用者が安心して衣類を預けることができる。縦長の収納箱１は環状に連ねられると共にチェーン３によって水平方向に移動されるので、空間の利用効率がよく、狭い空間であっても多数の収納箱を配置することができる。 （もっと読む）

【課題】スタッカークレーンにより搬送される被搬送体間でのクロスコンタミネーションを抑えることができる技術を提供すること。
【解決手段】被搬送体の載せ降ろしを行う受け渡し手段を壁面に沿って移動させ、壁面に形成された複数の受け渡し口の間で被搬送体の受け渡しを行うスタッカークレーンにおいて、前記受け渡し手段及び被搬送体を収容する密閉された収容空間を形成する筺体と、この筺体に設けられた、被搬送体の受け渡しのために設けられた開閉手段と、前記収容空間に収容された被搬送体にエアを吐出し、被搬送体に付着した塵埃を除去するためのエアノズルと、このエアノズルよりもエア流路の上流側に設けられた塵埃除去用のフィルタと、その一端が収容空間に臨む吸引口をなす吸引路と、この吸引路に設けられた吸引手段と、を備えるようにスタッカークレーンを構成する。 （もっと読む）

【課題】粉体を収容した複数個のコンテナ（６）を順次に貯槽（８）に接続し、コンテナから貯槽に粉体を供給し、そして貯槽内の粉体を定量供給機（１０）を通して定量的に供給する粉体供給システムであって、コンテナを移送する際にコンテナから粉体が漏出することが確実に防止され、そしてまた貯槽に接続されたコンテナから貯槽に粉体の漏出等を発生させることなく粉体を供給することができる粉体供給システムを提供する。
【解決手段】コンテナは下端に排出口が形成されている容器本体、排出口に付設されたガイド、排出口を開閉するための弁体、弁体に固着された下端から該容器本体外まで上方に延びるロッド、及びロッドを下方に偏倚して弁体を排出口を閉じる閉位置に弾性的に偏倚するばねを含む。コンテナの容器本体の排出口に付設されたガイドは貯槽の連結筒に接続される。コンテナのロッドの上端を把持し、ばねの偏倚作用に抗してロッドを昇降動して弁体を昇降動し排出口を開閉する弁開閉手段が配設されている。 （もっと読む）

【課題】走行レールの両側面と接触してガイドするようにしたガイドローラに、走行レールの幅方向の厚さに許容範囲内の製作誤差或いは施工誤差が生じるような場合でも、簡単な機構で常に走行レール側面に正確に平面接触させて、ガイドローラの片摩耗、偏摩耗を防止するようにした走行台車の走行ガイドを提供すること。
【解決手段】走行レールＲの左右両側面からこれに接触させて回転可能に、かつ対峙して配設したガイドローラ３、４の少なくとも一方のガイドローラ４を、走行レールＲの側面より接離方向に揺動可能に取り付けた揺動フレーム５の下端部に、揺動フレーム５の揺動方向と同じ方向に揺動するガイドローラ取付フレーム６に取り付ける。 （もっと読む）