【課題】各生産装置の稼働率が低下することを抑制することができると共にリードタイムの増加を抑制することができる搬送システムおよびその制御方法を提供する。
【解決手段】複数の生産装置それぞれに対する保管庫に収容されている合計カセット数を示す保管庫データを作成し、保管庫データに基づいて合計カセット数が閾値以上である場合には当該カセットを処理する生産装置を特定装置とする特定装置データを作成する。そして、特定装置データに基づいて搬送元移載箇所または搬送先移載箇所が特定装置である搬送指示の優先度を高いものに変更し、搬送元エリアに搬送指示が割付けられていない搬送台車がなく、選択した搬送指示の優先度が搬送指示変更部で高いものに変更され、かつ搬送元エリアに搬送指示が割付けられているがカセットを搭載せずに搬送元エリアを搬送している搬送台車がある場合、当該搬送台車に改めて選択した搬送指示を割付ける特別割付けを行う。 （もっと読む）

【課題】経路上に進入禁止区間が設けられた場合であっても、効率的な搬送作業を可能とする搬送車システムを提供すること。
【解決手段】経路１４０と、複数の搬送車３００と、複数の搬送車３００の制御を行うコントローラ１２０とを備える搬送車システム１００であって、ＭＣＳ１２０は、搬送要求を受信する通信部１２１と、進入禁止区間を示す区間情報および予備期間を示す予備期間情報を記憶する記憶部１２２と、搬送要求が、予備期間内において実行の開始が予定され、かつ、目的地が進入禁止区間に含まれている特定搬送要求であるか否かを判定する判定部１２５と、当該搬送要求が特定搬送要求であると判定された場合、目的地の代わりとなる代替目的地を決定する代替目的地決定部１２６と、決定された代替目的地に、複数の搬送車２００のうちのいずれかの搬送車２００を向かわせるための搬送指令を送出する指令送出部１２７とを備える。 （もっと読む）

【課題】 クリーンルームで行われる半導体製造プロセス等において、棚に運搬容器を保管する際に塵埃が発生し、また他のエリアで運搬容器に付着した塵埃が落下して、同じ棚に保管されている他の運搬容器に付着する可能性があった。
【解決手段】 棚１０は、クリーンルームで用いられるものであり、少なくとも１段の棚板１１を有する。各棚板１１は、所定の間隔Ｇをあけて上下に対向配置された上板部１２と下板部１３とを有している。上板部１２は、空気を通過させる複数の開口部１４を有している。下板部１３は、少なくとも上板部１２の開口部１４に対向する部分に、塵埃を捕捉する塵埃捕捉部（粘着マット１５）を有している。 （もっと読む）

【課題】複合搬送装置及びそれを用いた搬送方法を提供する。
【解決手段】複合搬送装置は、基台と、少なくとも一つの積み込み機構と、降ろし機構と、を備えている。基台は当該基台上に少なくとも一つのカセットを備えている。積み込み機構は基台の一側に隣接し、カセットに複数の目的物を積み込むために用いられる。他方、降ろし機構は、基台の他側に隣接し、カセットから複数の目的物を降ろすために用いられる。基台は少なくとも二つの領域を備え、各々の領域は積み込み機構又は降ろし機構に隣接し、カセットは、目的物の積み込み動作及び降ろし動作を実行するために、二つの領域の間を移動する。 （もっと読む）

【課題】
簡単な制御でファンフィルタユニットの消費電力を低減する。
【構成】
クリーンルーム用の自動倉庫は、棚と、棚の間口へクリーンエアを送風する複数のファンフィルタユニットと、倉庫内搬送装置と、ファンフィルタユニットと倉庫内搬送装置とを制御するコントローラとを備えている。コントローラは棚を物品の入庫位置が属する清浄エリアと省エネエリアとに区分し、清浄エリアへのクリーンエアの送風量を省エネエリアに比べて大きくするように、複数のファンフィルタユニットを制御する。 （もっと読む）

【課題】高効率のマテリアル取扱システム（ＡＭＨＳ）を提供する。
【解決手段】本発明は、マテリアル取扱システムであり、複数の貯蔵容器を含み、各貯蔵容器は、少なくともマテリアルの１ユニットを保持するようになっている少なくとも一つの貯蔵ユニット、及び、少なくとも一つのオーバーヘッドホイストを含み、このオーバーヘッドホイストは、所定の位置へ搬送するために複数の貯蔵容器の選ばれた一つにおける少なくとも一つのマテリアル・ユニットに直接にアクセスできるオーバーヘッドホイスト搬送サブシステム、を備える。 （もっと読む）

【課題】サイズの小型化を図り、面積生産性を向上させることができる液剤塗布装置及び液剤塗布方法を提供することを目的とする。
【解決手段】液剤Ｑが塗布される前の基板４を収容した基板供給用のマガジン５が設置される基板供給部Ｒ１、基板供給部Ｒ１に設置された基板供給用のマガジン５から取り出されて作業位置に移送された基板４に液剤Ｑを塗布する塗布ヘッド１４、塗布ヘッド１４により液剤Ｑが塗布された基板４を収容する基板回収用のマガジン５が設置された基板回収部Ｒ２を備えた液剤塗布装置１において、基板供給部Ｒ１と基板回収部Ｒ２が上下方向に並んで位置する。 （もっと読む）

【課題】マガジンの移動機構を簡単化して製造コストを低減することができる液剤塗布装置及び液剤塗布方法を提供することを目的とする。
【解決手段】液剤塗布前の基板４を収容した基板供給用のマガジン５が設置される基板供給部Ｒ１、基板供給部Ｒ１に設置された基板供給用のマガジン５から取り出されて作業位置に移送された基板４に液剤Ｑを塗布する塗布ヘッド１４、液剤塗布後の基板４を収容する基板回収用のマガジン５が設置された基板回収部Ｒ２を備えた液剤塗布装置１において、基板供給部Ｒ１に設置された基板供給用のマガジン５を新たな基板供給用のマガジン５に交換する場合に、基板回収部Ｒ２から基板回収用のマガジン５を取り除いてその基板回収部Ｒ２にそれまで基板供給部Ｒ１に設置されていた基板供給用のマガジン５を次に使用する基板回収用のマガジン５として移動させた後、基板供給部Ｒ１に新たな基板供給用のマガジン５を設置する。 （もっと読む）

【課題】坂坂道軌道部において停止した天井搬送車の移動を容易に行うことができ、作業性の向上を図れる移動装置を提供する。
【解決手段】移動装置１は、軌道Ｒに沿って走行する天井搬送車１００を軌道Ｒの坂道軌道部ＳＲで支持して移動させる装置であり、坂道軌道部ＳＲに沿って設けられたガイドユニット１０と、ガイドユニット１０に摺動可能に設けられたスライド部１２と、スライド部１２をガイドユニット１０に沿って移動させる移動機構１６と、スライド部１２に連結され、天井搬送車１００を坂道軌道部ＳＲにおいて支持する支持部１４と、を備え、支持部１４は、天井搬送車１００を支持しないときには天井搬送車１００と干渉しない位置にある。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタ製造ラインでカセット交換の際に製造ラインへの基板投入や、製造ラインからの基板回収時に発生する、投入、回収停止が無く、しかも設置場所のスペースを縮小することが出来、更に設備費用の削減を可能とする、ローダとアンローダを提供する。
【解決手段】ローダ本体と、その下流に第一のコンベアバッファを備え、ローダ本体はローダ本体上にセットされた第一のカセットからガラス基板を１枚ずつ外部に取り出す機能を有し、第一のコンベアバッファは、第一のコンベアと、第一のバッファで構成され、第一のコンベアは、前記１枚ずつ取り出されたガラス基板を下流に設置された第一の処理装置に直接搬送する機能と、前記第一のバッファに収納する機能と、を有し、更に前記第一のコンベアは、前記第一のカセットの交換時に第一のバッファに収納したガラス基板を前記下流に設置された第一の処理装置に搬送することを特徴とするローダ。 （もっと読む）

【課題】処理装置の制御負荷の増加を回避しながらも、処理作業効率の向上を図ることができる処理設備を提供する。
【解決手段】複数の処理装置１及び処理対象物を貯留する貯留装置Ｑを経由する搬送ラインに沿って走行して処理対象物を搬送する搬送車３を管理する搬送管理手段ＨＣが、処理装置１から主管理手段ＪＣに対して通信される処理進行情報を監視して、複数の処理装置１のうちで、処理対象物の処理が終了した又は終了間近である処理装置１を、主管理手段ＪＣから搬送指令情報が通信されてくる以前に、事前搬送元として抽出し、その処理装置１から処理対象物を搬出するために、事前搬送元として抽出した処理装置１に対して搬送車３を走行させる事前搬送制御を実行するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】被搬送物の位置ずれを効率良く補正することができる搬送車を提供する。
【解決手段】搬送車１は、走行台車３と、ターンテーブル９と、カセットＷ載置すると共に、所定の伸縮方向に沿って伸縮してカセットＷを出し入れする移載装置１１と、移載装置１１にカセットＷが載置されたときに、伸縮方向におけるカセットＷの第１位置を検出する第１位置検出センサ１３と、移載装置１１にカセットＷが載置されたときに、伸縮方向に水平面で直交する方向におけるカセットＷの第２位置を検出する第３位置検出センサ１７と、移載装置１１がカセットＷを取り込んでからカセットＷの移送先に到達するまでに、カセットＷの位置ずれの補正量を算出し、補正量を加味した走行台車３の移動量、ターンテーブル９の回転量及び移載装置１の伸張量を設定するコントローラ１９とを備える。 （もっと読む）

【課題】複数のウエハ型被処理物を一時保管するための装置および方法を提供する。
【解決手段】本発明は複数のウエハ型被処理物１７を一時保管するための装置に関し、この装置は、フレーム１と、少なくとも２つの搬送要素３とを備え、搬送要素は、各々、フレームに接続された上側と下側の偏向装置５の周りを垂直方向に循環し、被処理物１７を水平方向に載せるための等間隔の複数の支持領域４を有し、各搬送要素３の偏向装置５のうち少なくとも一方が駆動され、搬送要素３間に空きスペースがある。装置はさらに上側の偏向装置５間の搬入位置３３を備える。搬入位置で、各被処理物１７を対応する支持領域４上に配置できる。装置はさらに、搬入位置３３の下方の、水平搬送装置７、８、９を含む静止取出し装置を備え、静止取出し装置の第１の端部は、搬送要素３間の空きスペース内にある。本発明はまた、上記装置を用いる、複数のウエハ型被処理物１７の一時保管方法に関する。 （もっと読む）

【課題】防塵設計のために要する部材の点数増加を抑制する搬送装置を提供する。
【解決手段】レール１１、１１ａ上を進退する走行台車１２と、走行台車１２に立設された支柱１３、１３ａ、１３ｂ、１３ｃのガイド部にガイドローラ１４を当接させて支柱１３、１３ａ、１３ｂ、１３ｃに沿って昇降するキャリッジ１５と、ガイド部を覆う支柱側防塵機構１６とを備えた搬送装置１０において、レール１１、１１ａは、複数設けられ互いに距離を有して配置され、走行台車１２と共に、支柱１３、１３ａ、１３ｂ、１３ｃの通過領域を除いてカバーリング２０によって覆われ、支柱１３、１３ａの通過領域及び支柱１３ｂ、１３ｃの通過領域をそれぞれ覆うスクリーン２９、２９ａをカバーリング２０に張設し、支柱１３、１３ａには、スクリーン２９が挿通する貫通孔３０を設け、支柱１３ｂ、１３ｃには、スクリーン２９ａが挿通する貫通孔３０を設ける。 （もっと読む）

【課題】
坂道軌道の途中で搬送台車に異常が生じた際に、天井走行車を退避させることにより、後続の天井走行車が渋滞しないようにすると共に、退避させた天井走行車が他の天井走行車と干渉しないようにする。
【構成】
天井スペースに設けられた軌道に沿って天井走行車が走行する。軌道として、高低を変えて少なくとも２個所に設けれられている水平軌道と、水平軌道間を接続する坂道軌道と、坂道軌道から分岐して天井走行車を退避させると共に、退避中の天井走行車が坂道軌道へ誤進入することを防止するように構成された退避軌道、とを備えている。 （もっと読む）

【課題】半導体の製造ラインにおいて、ロットの搬入および搬出の作業を作業者が行うことを前提とした管理を効率的に行える棚管理システムおよび棚管理プログラムを提供する。
【解決手段】ポジション決定手段８２がそのロットを格納すべきポジションを決定すると、ポジション予約手段８３はそのポジションを「予約中」とする。入庫入力手段６２が入庫完了操作を受け付けると、ポジション予約手段８３はそのポジション状態を「使用中」とする。 （もっと読む）

【課題】天井搬送車において、被搬送物の揺れ及び振動の伝達を抑制する。
【解決手段】天井搬送車は、軌道を走行する走行部と、被搬送物４００を収容して搬送する搬送部と、搬送部の下端側に回動可能に軸支され、被搬送物の収容を可能とする退避位置と、被搬送物の側面を押圧する押圧位置との間を往復動可能な揺れ抑制部材２６０とを備える。揺れ抑制部材は、押圧部２７３と、押圧部を先端側で支持すると共に基端側が搬送部に軸支されたレバー部２７１，２７２と、押圧部を被搬送物側に付勢する付勢部材２７４とを有している。押圧部は、レバー部に回動可能に軸支された本体部、押圧面を先端側に有して本体部にスライド可能に支持されたスライド部、スライド部の弾性的なスライドを可能にする弾性体を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】本来構成を有効利用して、物品載置体に載置する物品の重量を適切に検出することができるスタッカークレーンを提供する。
【解決手段】走行台車から立設されたマスト１３に案内された状態で昇降駆動される昇降台１４に、車体横幅方向に出退する屈伸リンク機構３０の基端部が連結され、且つ、その屈伸リンク機構３０の先端部に、物品載置体２９の基端部が連結されて、屈伸リンク機構３０の出退作動により、物品載置体２９が昇降台側に引退させた引退位置と外方に突出する突出位置とに出退操作されるように構成され、引退位置に位置する物品載置体２９の下方側への撓み量を検出する撓み量検出手段Ｑが設けられ、物品載置体２９が物品載置状態で引退位置に位置するときに、その物品載置体２９に載置した物品の重量情報として、撓み量検出手段Ｑが検出する撓み量を取得する撓み量取得手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】被搬送物の除菌状態を保ちつつ該被搬送物を階の異なるクリーンルームへ搬送する。
【解決手段】階の異なるクリーンルーム（C2,C3）間で被搬送物（A）を搬送するための搬送装置に、該搬送装置のキャリッジ（50）内及び搬送路（14）へ除菌成分を含む除菌ガスを供給するための除菌機構を設ける。 （もっと読む）

【課題】発塵の拡散を抑制できる搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置１は、集電子２８に電気的に接続されたモータを有する走行台車２０と、集電子２８とトロリ１１との接触により発生する塵の拡散を防止する防塵手段１２とを備え、防塵手段１２は、開口部１３２を有する箱状に形成され、内部にトロリ１１を収容可能な防塵ケース１３と、この防塵ケース１３に設けられ、開口部１３２における一側縁と略平行に配置された外側基部１４１と、開口部１３２における他側縁に沿って配置され、内側基部１４２と、内側基部１４２を付勢して、内側基部１４２と外側基部１４１とを密着させることで開口部１３２を閉塞する閉塞付勢手段１６と、を備え、走行台車２０は、開口部１３２の一部を開放する開放付勢手段２９と、開放付勢手段２９により開放された部分に挿通され、防塵ケース１３内において、集電子２８を保持するアーム２７と、を備える。 （もっと読む）