【課題】例えば半導体装置製造用の各種基板等を、軌道上で搬送する搬送車において、小スペースに対応する簡単な構成により、被搬送物の振動を抑制する。
【解決手段】搬送車（１１）は、軌道に沿って軌道の両側に敷設されると共に軌道が合流又は分岐する箇所で片側が途切れるガイドレール（２）上を転動する走行ローラ（１２）と、走行ローラが転動可能に取り付けられた搬送車本体（１１ａ）と、搬送車本体の上方に軌道に沿って敷設されると共に少なくとも合流又は分岐する箇所に設けられるローラ受け（２１）に対向する位置に設けられ、搬送車本体がガイドレール上で傾くのをローラ受けに接触することで抑制する体勢保持ローラ（１３）とを備える。 （もっと読む）

【課題】被搬送物を下降させる際に複雑に移動を制御することなく、コンベア上の所定の載置位置に被搬送物を正確に載置しやすい。
【解決手段】容器Ｆの載置領域Ａ１に隣接するように案内部材４０１及び４０２を配置する。案内部材４０１及び４０２には、案内面４０１ａ及び４０２ａが形成されている。上方から容器Ｆが下降してくるとき、容器Ｆが幅方向Ｗに関してずれると、容器Ｆの底面が案内面４０１ａ及び４０２ａのいずれかに当接し、載置領域Ａ１に近づくように案内される。これによって、容器Ｆは、搬送ベルト１０１及び１０２上の載置領域Ａ１の近傍に載置される。 （もっと読む）

【課題】通信装置において、信号を伝達する際に、誤った信号が伝達されることを効果的に防止する。
【解決手段】通信装置は、搬送システムを制御する信号として、互いに同一の情報を含む、少なくとも２つの信号を並列に出力可能である出力手段（１００）と、出力された信号に対して夫々設けられており、出力された信号を夫々伝送する複数の伝送路（２１０、２２０）と、複数の伝送路に対して夫々設けられた複数のフィルタ手段であって、各々が、出力された信号のエラーを検出し、エラーが検出されない信号をそのまま通過させ、エラーが検出された信号を、情報を削除した後に通過させる複数のフィルタ手段（３１０、３２０）と、複数のフィルタ手段を通過した信号を、１つの信号に合成して出力する合成手段（５００）とを備える。 （もっと読む）

【課題】例えば、ＦＯＵＰ等の被搬送物を搬送するビークル等の搬送装置において、搬送装置に被搬送物を速やかに且つ確実に固定する。
【解決手段】搬送装置（５）は、搬送用の定位置へ移動された被搬送物（１１）の下側の脇から該下側へ伸びることで、その落下を防止する落下防止手段（１００）と、被搬送物を搬送する搬送手段（３）とを備える。被搬送物を定位置に固定するために用いられる押さえ機構は、被搬送物を介して相対向する一対の押さえ部（４２a）と、落下防止手段が伸びるのに連動して、一対の押さえ部により被搬送物が挟持されるように、一対の押さえ部の少なくとも一方を被搬送物側に移動させると共に付勢する移動付勢手段（４３a、４４a）とを備える。 （もっと読む）

【課題】搬送システムにおいて、より確実に被搬送物の移載を行えるような教示を可能とする。
【解決手段】搬送システムは、軌道部（１００）と、位置が少なくとも一方向について相異なるように設けられた複数の荷台（５００）と、軌道部に沿って走行する走行部（２１０）、及び被搬送物（４００）を積載可能な積載部（２５０）を有する複数の搬送車（２００）と、基準搬送車が被搬送物を積載する際の積載部の位置である、第１基準位置を検出する第１検出手段（３００ａ）と、基準搬送車を除く他の搬送車の夫々が基準荷台に設置された被搬送物を積載する際の積載部の位置である、第２基準位置を検出する第２検出手段（３００ｂ）と、検出された第１及び第２基準位置に基づいて、他の搬送車が被搬送物を積載する際の荷台の各々に対する積載部の位置に係る教示を行う教示手段（３００ｃ）とを備える （もっと読む）

【課題】搬送システムを設置する際に工程や費用を抑制する
【解決手段】載置ポート１３０に対して所定の位置関係を有する軌道１１０上の位置に移送装置１００を固定する。移送装置１００は、軌道１１０上の搬送台車１２０に載置されたフープＦを載置ポート１３０上に移送したり、載置ポート１３０上のフープＦを搬送台車１２０に移送したりする。移送装置１００は、移送装置１００の固定位置に対して載置ポート１３０が所定の位置にあるときにフープＦを適切に移送するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】例えば、半導体製造工程においてウェハキャリアを搬送するのに用いられる走行ローラに適用可能なローラ装置の振れ量を低減する。
【解決手段】ローラ装置は、軸受（１０）と、該軸受に外嵌されている環状の第１弾性体部（４ａ及び４ｂ）と、該第１弾性体部に外嵌されている環状部材（２）と、該環状部材に外嵌されている環状の第２弾性体部（３）とを備える。環状部材は、第１及び第２弾性体部よりも弾性が小さく、第１弾性体部は、環状部材の内周面が臨む空間に圧入されることにより環状部材に内嵌されている。 （もっと読む）

【課題】高い搬送効率を維持しつつ安定した走行を実現する。
【解決手段】搬送台車３０は、搬送台車３０に取り付けられた１次側鉄心３４と、軌道１０に取り付けられた２次側永久磁石３とで構成されるリニアモータにより駆動され、軌道１０の内部下面１２と当接しつつ回転する走行ローラ４９、５０によって走行する。軌道１０における湾曲部分２６の内部下面１２、及び湾曲部分２６に取り付けられた２次側永久磁石３の１次側鉄心３４との対向平面３ａは、それらの水平面とのなす角が、該湾曲部分２６を走行する搬送台車３０の遠心力と重力との合力の向きの鉛直方向となす角度と等しくなるように傾斜している。 （もっと読む）

【課題】ビークル等の搬送車を用いた搬送システムにおいて、配車を効率的に行う。
【解決手段】搬送システム（１００）は、被搬送物に対して各種処理を施す作業装置（３）を含んで夫々構成される複数の集合の各々の内部及び該複数の集合の相互間で、被搬送物を搬送する。搬送システムは、複数の搬送車（２）と、前記内部及び前記相互間で搬送車を移動させる移動手段（１１）と、将来の一時点又は時期において前記内部の各々で被搬送物を搬送するために要求される予定の複数の搬送車の台数を特定する予定台数特定手段（４）と、該特定された台数に基づいて、搬送車を前記相互間で移動させるように、移動手段を制御する制御手段（６）とを備える。 （もっと読む）

【課題】ビークル等の搬送装置において、小型化を図りつつ横移載を可能とする。
【解決手段】搬送装置は、軌道部の側方に向かう伸長方向に伸長可能である積載部（２２０）、及びこれを伸長させる伸長機構（６００）を有する搬送部（１２０）を備える。伸長機構は、伸長方向に夫々延びると共に空間を隔てて相対向する、本体部（２１０）に対し固定されている第１ラック（５１０）及び積載部に対し固定されている第２ラック（５２０）と、第１ラックに噛み合わせられる第１ピニオン（６１０）及び第２ラックに噛み合わされる第２ピニオン（６２０）、並びに第１及び第２ピニオン間に噛み合わせられる奇数個の第３ピニオン（６３０）とを備える。 （もっと読む）