磁気ヘッドサスペンション
【課題】一対の圧電部材を備えた磁気ヘッドサスペンションにおいて、前記圧電部材のディスク面に対向する下面に設けられた電圧供給側電極層の短絡を有効に防止する。
【解決手段】圧電部材は厚肉部と先端側薄肉部及び基端側薄肉部とを有する。電圧供給側電極層は、先端側薄肉部及び基端側薄肉部の下面が露出して先端側露出面及び基端側露出面を形成するように厚肉部の下面に設けられる。圧電部材は、厚肉部が厚み方向に関し支持部の開口領域内に位置された状態で、先端側露出面と支持部の先端領域の先端側支持面との間、及び、基端側露出面と支持部の基端領域の基端側支持面との間に介挿された絶縁性接着剤を介して前記支持部に固着されている。
【解決手段】圧電部材は厚肉部と先端側薄肉部及び基端側薄肉部とを有する。電圧供給側電極層は、先端側薄肉部及び基端側薄肉部の下面が露出して先端側露出面及び基端側露出面を形成するように厚肉部の下面に設けられる。圧電部材は、厚肉部が厚み方向に関し支持部の開口領域内に位置された状態で、先端側露出面と支持部の先端領域の先端側支持面との間、及び、基端側露出面と支持部の基端領域の基端側支持面との間に介挿された絶縁性接着剤を介して前記支持部に固着されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク等の記憶媒体に対してデータをリード及び／又はライトする磁気ヘッドスライダを支持する為の磁気ヘッドサスペンションに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置の大容量化に伴って磁気ヘッドスライダの目的トラックに対する位置決め精度の向上が求められており、その為、ボイスコイルモータ等のメインアクチュエータによる磁気ヘッドスライダのシーク方向への粗動に加えて、サブアクチュエータとして作用する一対の圧電部材を備え、前記一対の圧電部材による前記磁気ヘッドスライダのシーク方向の微動を可能とした磁気ヘッドサスペンションが提案されている（例えば下記特許文献１〜３参照）。
【０００３】
詳しくは、前記磁気ヘッドサスペンションは、前記磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記支持部に装着された前記一対の圧電部材とを備えている。
【０００４】
前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域及び前記先端領域の間に位置する開口領域と、前記開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する左右一対の連結梁とを有している。
【０００５】
前記一対の圧電部材の各々は、圧電本体と電圧供給側電極層と接地側電極層とを有し、前記一対の電極層間への電圧印可に応じて前記厚み方向とは直交する方向に伸長又は短縮する。
【０００６】
前記磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記一対の圧電部材は、サスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なった状態で、先端部が前記先端領域に固着され且つ基端部が前記基端領域に固着されている。
【０００７】
斯かる構成を備えた前記磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記一対の圧電部材の前記一対の電極層間に電圧を印可して一方の圧電部材を伸長させ且つ他方の圧電部材を短縮させることにより、前記一対の連結梁を弾性変形させつつ前記先端領域を前記基端領域に対してシーク方向へ揺動させることができ、これにより、前記先端領域に前記荷重曲げ部，前記ロードビーム部及び前記フレクシャ部を介して支持される前記磁気ヘッドスライダをシーク方向へ微動させ得るようになっている。
【０００８】
ところで、前記一対の圧電部材への電圧印可構造の簡略化を図る為に、前記フレクシャ部として配線一体型フレクシャ部を用いつつ、前記配線一体型フレクシャ部に電圧供給配線を備え、前記電圧供給配線を介して前記電圧供給側電極層に電圧を供給する構成が提案されている。
【０００９】
詳しくは、前記配線一体型フレクシャ部は、ディスク面に近接する側において前記磁気ヘッドスライダを支持するヘッド搭載領域及びディスク面とは反対側が前記ロードビーム部及び前記支持部に当接された状態で固着される本体領域を含むフレクシャ金属基板と、前記フレクシャ金属基板におけるディスク面との対向面に積層された絶縁層と、一端部が前記磁気ヘッドスライダに電気的に接続され且つ他端部が外部に電気的に接続され得る状態で前記絶縁層におけるディスク面との対向面に積層された信号配線とを備えている。
【００１０】
斯かる構成の前記配線一体型フレクシャ部に、前記絶縁層におけるディスク面とは反対側に前記電圧供給配線を備えると共に、前記接地側電極層が上方（ディスク面から離間された側）に位置し且つ前記電圧供給側電極層が下方（ディスク面に近接する側）に位置するように前記圧電部材を配置させて、前記電圧供給側電極層に前記電圧供給配線から電圧を供給させる構成が提案されている。
【００１１】
しかしながら、従来の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記電圧供給側電極層の前記支持部への接触防止という観点においては十分な考慮がなされていない。前記電圧供給側電極層が一般的にはステンレス等の導電性金属板によって形成される前記支持部に対して接触して短絡すると、前記一対の電極層間に電圧を印可しても前記圧電部材を伸縮させることができなくなる。
【００１２】
詳しくは、前記特許文献１〜３に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記支持部の前記先端領域に、前記ディスク面とは反対側の上方及び前記開口領域に開く先端側受け部が設けられ、前記支持部の前記基端領域に、前記ディスク面とは反対側の上方及び前記開口領域に開く基端側受け部が設けられている。
【００１３】
なお、特許文献１及び２に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記先端領域の前記ディスク面とは反対側の上面及びサスペンション長手方向基端側を向く基端面が交差するエッジを切り取る先端側切り欠き部が形成され、且つ、前記基端領域の前記ディスク面とは反対側の上面及びサスペンション長手方向先端側を向く先端面が交差するエッジを切り取る基端側切り欠き部が形成されており、前記先端側切り欠き部及び前記基端側切り欠き部がそれぞれ前記先端側受け部及び前記基端側受け部を構成している。
【００１４】
一方、特許文献３に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいては、平面視において少なくとも一部が前記開口領域内に位置するように前記先端領域の下面（前記ディスク面と対向する面）に先端側プレートが固着され、且つ、平面視において少なくとも一部が前記開口領域内に位置するように前記基端領域の下面に基端側支持プレートが固着されている。
斯かる特許文献３においては、前記先端領域のサスペンション長手方向基端側を向く基端面と前記先端プレートとによって前記先端側受け部が形成され、前記基端領域のサスペンション長手方向先端側を向く先端面と前記基端プレートとによって前記基端側受け部が形成される。
【００１５】
又、前記特許文献１〜３に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記圧電部材は、圧電本体と、前記圧電本体におけるディスク面に対向する下面に設けられた前記電圧供給側電極層と、前記圧電本体におけるディスク面とは反対方向を向く上面に設けられた前記接地側電極層とを有しており、前記接地側電極層及び前記電圧供給側電極層はそれぞれ対応する前記上面及び前記下面の全域を覆うような大きさとされている。
【００１６】
そして、前記圧電部材は、サスペンション長手方向先端側を向く先端面と前記先端側受け部のサスペンション基端側を向く基端面との間、前記電圧供給側電極層のディスク面を向く下面と前記先端側受け部のディスク面とは反対側を向く上面との間、サスペンション長手方向基端側を向く基端面と前記基端側受け部のサスペンション先端側を向く先端面との間、並びに、前記電圧供給側電極層のディスク面を向く下面と前記基端側受け部のディスク面とは反対側を向く上面との間、にそれぞれ介挿された絶縁性接着剤によって前記支持部に固着されている。
【００１７】
つまり、前記特許文献１〜３に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記電圧供給側電極層の先端側及び基端側が絶縁性接着剤を介して前記先端側受け部の上面及び前記基端側受け部の上面にそれぞれ固着されている。
従って、前記圧電素子の前記支持部への装着作業時に前記圧電素子の前記支持部に対する平行性が損なわれると、前記電圧供給側電極層が前記先端側受け部及び前記基端側受け部に意に反して接触する事態、若しくは、両者が近づき過ぎて絶縁性を保てなくなる（絶縁劣化が生じる）事態が生じ易いという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１８】
【特許文献１】特開２００２−２５１８５４号公報
【特許文献２】特開２００９−０８０９１５号公報
【特許文献３】特開２００２−０５０１４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
本発明は、前記従来技術に鑑みなされたものであり、メインアクチュエータによる磁気ヘッドスライダの粗動に加えて、左右一対の圧電部材の伸縮動作による前記磁気ヘッドスライダの微動を行える磁気ヘッドサスペンションであって、前記圧電部材が圧電本体と前記圧電本体のディスク面に近接する側の下面に設けられた電圧供給側電極層と前記圧電本体のディスク面とは離間された側の上面に設けられた接地側電極層とを有する磁気ヘッドサスペンションにおいて、前記電圧供給側電極層の短絡を有効に防止し得る磁気ヘッドサスペンションの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明の一態様は、前記目的を達成する為に、磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにシーク方向へ揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着された左右一対の圧電部材とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域及び前記先端領域の間に位置する開口領域と、前記開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する左右一対の連結梁とを有し、前記一対の圧電部材の各々は、圧電本体と、前記圧電本体における前記ディスク面に近接する側の下面に設けられた電圧供給側電極層と、前記圧電本体における前記ディスク面とは反対側の上面に設けられた接地側電極層とを有し、前記圧電本体は、厚肉部と、前記厚肉部からサスペンション長手方向先端側及び基端側へ延びる先端側薄肉部及び基端側薄肉部とを有し、前記厚肉部は、厚み方向に関し前記薄肉部と略同一位置に位置するベース領域と、前記ベース領域より前記ディスク面に近接する厚み方向一方側へ延びる膨出領域とを含み、前記電圧供給側電極層は、前記先端側薄肉部及び前記基端側薄肉部の下面が露出して先端側露出面及び基端側露出面を形成するように前記膨出領域の下面に設けられており、前記一対の圧電部材は、前記電圧供給側電極層が前記ディスク面に近接する側に位置し且つ前記膨出領域が厚み方向に関し前記開口領域内に位置しつつ、前記先端側露出面及び前記基端側露出面が前記先端領域及び前記基端領域のディスク面とは反対側の上面のうち少なくとも前記開口領域に隣接する先端側支持面及び基端側支持面と対向した状態で、前記先端側露出面と前記先端側支持面との間、及び、前記基端側露出面と前記基端側支持面との間に介挿された絶縁性接着剤を介して前記支持部に固着されている磁気ヘッドサスペンションを提供する。
【００２１】
又、本発明の他態様は、磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにシーク方向へ揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着された左右一対の圧電部材とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域及び前記先端領域の間に位置する開口領域と、前記開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する左右一対の連結梁とを有し、前記一対の圧電部材の各々は、圧電本体と、前記圧電本体における前記ディスク面に近接する側の下面に設けられた電圧供給側電極層と、前記圧電本体における前記ディスク面とは反対側の上面に設けられた接地側電極層とを有し、前記電圧供給側電極層は、前記圧電本体の前記下面の先端側及び基端側が露出して先端側露出面及び基端側露出面を形成するように、前記圧電本体の前記下面に設けられ、前記支持部には、前記電圧供給側電極層がディスク面と対向した状態で該電圧供給側電極層が平面視において前記開口領域内に位置するように前記圧電部材を所定の装着位置に位置させた際に、前記先端側露出面及び前記基端側露出面とそれぞれ対向する先端側支持面及び基端側支持面が設けられており、前記圧電部材は、前記先端側露出面と前記先端側支持面との間、及び、前記基端側露出面と前記基端側支持面との間に介挿された絶縁性接着剤を介して前記支持部に直接又は間接的に固着されており、前記フレクシャ部は、フレクシャ金属基板と前記フレクシャ金属基板に積層されたフレクシャ配線体とを有し、前記フレクシャ配線体は、前記フレクシャ金属基板におけるディスク面との対向面に積層された絶縁層と前記絶縁層におけるディスク面との対向面に積層された信号配線と前記信号配線を囲繞する保護層と前記絶縁層におけるディスク面との対向面に積層された電圧供給配線とを含み、前記電圧供給配線は、一端部が前記絶縁層に形成された開口を介して前記電圧供給側電極層と対向し、前記一端部が導電性接着剤を介して前記電圧供給側電極層に電気的に接続されており、前記絶縁層のディスク面とは反対側には前記開口を囲繞する部材が設けられている磁気ヘッドサスペンションを提供する。
【発明の効果】
【００２２】
本発明に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、一対の圧電部材の各々は、圧電本体と前記圧電本体における前記ディスク面に近接する側の下面に設けられた電圧供給側電極層と前記圧電本体における前記ディスク面とは反対側の上面に設けられた接地側電極層とを有し、前記電圧供給側電極層は、前記圧電本体の前記下面の先端側及び基端側が露出して先端側露出面及び基端側露出面を形成するように前記圧電本体の前記下面に設けられ、前記磁気ヘッドサスペンションの支持部には、前記圧電部材を所定の装着位置に位置させた際に前記先端側露出面及び前記基端側露出面とそれぞれ対向する先端側支持面及び基端側支持面が設けられ、前記圧電部材は、前記先端側露出面と前記先端側支持面との間、及び、前記基端側露出面と前記基端側支持面との間に介挿された絶縁性接着剤を介して前記支持部に直接又は間接的に固着されているので、前記電圧供給側電極層が意に反して短絡することを有効に防止できる。
【００２３】
又、本発明の一態様によれば、前記一対の圧電部材における厚肉部の膨出領域が厚み方向に関し前記支持部の開口領域内に位置されているので、前記支持部に対する前記一対の圧電部材の装着位置に関する精度を向上させることができ、さらに、前記一対の圧電部材の伸縮動作を前記支持部の先端領域に効率的に伝達することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】図１は、本発明の実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの上方斜視図である。
【図２】図２(a)及び(b)は、それぞれ、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。
【図３】図３は、図２(a)におけるIII-III線に沿った断面図である。
【図４】図４は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションにおける一対の圧電部材の上方斜視図である。
【図５】図５(a)及び(b)は、それぞれ、前記圧電部材の上面図及び側面図である。
【図６】図６は、前記一対の圧電部材を取り外した状態の前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図７】図７は、前記圧電部材を支持部に装着させる際に使用されるコレットを含んだ状態の図３に相当する断面図であり、図７(a)及び(b)は、それぞれ、前記コレットの一例及び他例を示している。
【図８】図８(a)〜(d)は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションにおける前記圧電部材の製造方法の一例のフロー図である。
【図９】図９(a)〜(d)は、前記圧電部材の一変形例の製造方法の一例のフロー図である。
【図１０】図１０は、本発明の実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンション２の上方斜視図である。
【図１１】図１１(a)及び(b)は、それぞれ、前記実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。
【図１２】図１２は、図１１(a)におけるXII-XII線に沿った断面図である。
【図１３】図１３は、前記実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションにおける一対の圧電部材の上方斜視図である。
【図１４】図１４(a)及び(b)は、それぞれ、図１３に示す前記圧電部材の上面図及び側面図である。
【図１５】図１５(a)及び(b)は、それぞれ、前記一対の圧電部材を取り外した状態の前記実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。
【図１６】図１６は、前記コレットの一例及び他例を含んだ状態の図１２に相当する断面図である。
【図１７】図１７(a)〜(c)は、それぞれ、第１例に係る圧電部材形成体の下方斜視図，側面図及び下面図である。
【図１８】図１８(a)〜(d)は、それぞれ、第２例に係る圧電部材形成体の下方斜視図，上面図，側面図及び下面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
実施の形態１
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１をディスク面とは反対側である上方から視た斜視図を示す。
又、図２(a)及び(b)に、それぞれ、前記磁気ヘッドサスペンション１の上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）及び下面図（ディスク面側から見た底面図）を示す。 さらに、図３に、図２(a)におけるIII-III線に沿った断面図を示す。
【００２６】
図１〜図３に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション１は、磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部２０と、前記荷重を磁気ヘッドスライダ（図示せず）に伝達するためのロードビーム部３０と、前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに前記ディスク面と平行なシーク方向へ揺動される支持部１０と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０に支持されるフレクシャ部４０と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部１０に装着された左右一対の圧電部材６０とを備えている。
【００２７】
前記支持部１０は、ボイスコイルモータ等の前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結された状態で、前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持する部材であり、比較的高剛性を有するものとされる。
【００２８】
本実施の形態においては、前記支持部１０は、前記メインアクチュエータに連結されるキャリッジアーム（図示せず）の先端にかしめ加工によって接合されるボス部１５を備えたベースプレートとされている。
前記支持部１０は、例えば、厚さ０．１ｍｍ〜０．８ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
【００２９】
図１及び図２に示すように、前記支持部１０は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域１１と、前記荷重曲げ部２０が連結される先端領域１２と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域１１及び前記先端領域１２の間に位置する開口領域１３と、前記開口領域１３のサスペンション幅方向両側において前記基端領域１１及び前記先端領域１２の間を連結する左右一対の連結梁１４であって、サスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称な形状を有している左右一対の連結梁１４とを有している。
【００３０】
なお、本実施の形態においては、図２(a)及び(b)に示すように、前記支持部１０は、前記先端領域１２，前記一対の連結梁１４，前記基端領域１１及び前記ボス部１５を一体形成する第１支持部形成板１０（１）と、前記第１支持部形成板１０（１）の前記基端領域１１を形成する部分に接合される第２支持部形成板１０（２）とを有している。
【００３１】
前記ロードビーム部３０は、前述の通り、前記荷重曲げ部２０によって発生される荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達する為の部材であり、従って、所定の剛性が要求される。
本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記ロードビーム部３０は、平板状の本体部３１と、前記本体部３１の幅方向両端部からディスク面とは反対側に曲げ形成されたフランジ部３２とを有しており、前記フランジ部３２によって剛性を確保している。
前記ロードビーム部３０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
【００３２】
詳しくは、前記ロードビーム部３０は、先端部に、所謂ディンプルと呼ばれる突起３５を有している。
前記突起３５は、ディスク面に近接する方向に、例えば、０．０５ｍｍ〜０．１ｍｍ程度突出されている。この突起３５は、前記フレクシャ部４０におけるヘッド搭載領域４３の裏面（ディスク面とは反対側の面）に接触しており、前記荷重はこの突起３５を介して前記フレクシャ部４０のヘッド搭載領域４３に伝達される。
【００３３】
本実施の形態においては、前記ロードビーム部３０は、さらに、前記本体部３１の先端からサスペンション長手方向先端側へ延びるリフトタブ３４を一体的に有している。前記リフトタブ３４は、前記磁気ヘッドスライダがディスク面の径方向外方へ位置するように前記磁気ヘッドサスペンション１が前記メインアクチュエータによって揺動された際に、磁気ディスク装置に備えられたランプと係合して前記磁気ヘッドスライダをｚ方向（前記ディスク面と直交する方向）に沿って前記ディスク面から離間させる為の部材である。
【００３４】
前記荷重曲げ部２０は、基端部が前記支持部１０に連結され且つ先端部が前記ロードビーム部３０に連結されており、自己の弾性変形に基づいて前記磁気ヘッドスライダを前記ディスク面へ向けて押し付ける押し付け荷重を発生する。
【００３５】
図１及び図２に示すように、本実施の形態においては、前記荷重曲げ部２０は、板面が前記ディスク面と対向するように配置された左右一対の板バネ２１を有している。
好ましくは、前記一対の板バネ２１は、前記磁気ヘッドサスペンション１が前記磁気ディスク装置へ実装される前の段階において前記磁気ヘッドスライダが前記ディスク面に近づく方向に予め折り曲げられ、且つ、前記磁気ヘッドサスペンション１の前記磁気ディスク装置への実装時には曲げ戻されることで前記押し付け荷重を発生するように、構成される。
【００３６】
前記荷重曲げ部２０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって形成される。
なお、本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記荷重曲げ部２０は前記ロードビーム部３０と一体形成されている。
【００３７】
即ち、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１は、前記ロードビーム部３０及び前記荷重曲げ部２０を一体形成するロードビーム部／荷重曲げ部形成部材を有しており、前記ロードビーム部／荷重曲げ部形成部材における前記ディスク面とは反対側の上面が前記支持部１０の前記先端領域１２における前記ディスク面と対向する下面に当接された状態で、前記ロードビーム部形成部材が前記支持部１０に溶接されている。
【００３８】
前記フレクシャ部４０は、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０に接合される。
詳しくは、前記フレクシャ部４０は、図２(b)に示すように、前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０における前記ディスク面との対向面に溶接等によって接合される本体領域４１と、前記本体領域４１から先端側へ延びる一対の支持片４２と、前記支持片４２によって支持された前記ヘッド搭載領域４３とを有している。
【００３９】
前記ヘッド搭載領域４３は、ディスク面と対向する対向面において前記磁気ヘッドスライダを支持している。
前述の通り、前記ヘッド搭載領域４３の裏面には前記突起３５が接触しており、従って、前記ヘッド搭載領域４３は前記突起３５を支点としてロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。
前記フレクシャ部４０は、前記ヘッド搭載領域４３がロール方向及びピッチ方向に揺動し得るように、前記ロードビーム部３０よりも低剛性とされる。
前記フレクシャ部４０は、例えば、厚さ０．０１ｍｍ〜０．０２５ｍｍ程度のステンレス板によって好適に形成される。
【００４０】
なお、本実施の形態においては、前記フレクシャ部４０には、前記磁気ヘッドスライダに書き込み信号及び／又は読み取り信号を伝達する為の信号配線がプリント回路として一体的に備えられている。
即ち、前記フレクシャ部４０は、前記本体領域４１，前記一対の支持片４２及び前記ヘッド搭載領域４３を一体的に有するフレクシャ金属基板４００と、前記フレクシャ金属基板４００に積層されたフレクシャ配線体４１０とを有している。
前記フレクシャ配線体４１０は、前記フレクシャ金属基板４００におけるディスク面との対向面に積層された絶縁層４１１（図３参照）と、前記絶縁層４１１におけるディスク面との対向面に積層された信号配線４１２（図２(b)参照）と、前記信号配線４１２を囲繞する保護層（図示せず）とを有し得る。
【００４１】
本実施の形態においては、前記フレクシャ金属基板４００は、図２(b)に示すように、前記ロードビーム部３０の前記本体領域３１，前記支持部１０の前記先端領域１２及び前記支持部１０の前記基端領域１１にそれぞれ溶接によって接合されている。
【００４２】
図４に、前記一対の圧電部材６０をディスク面とは反対側である上方から視た斜視図を示す。
又、図５(a)及び(b)に、それぞれ、前記圧電部材６０の上面図（ディスク面とは反対側から視た平面図）及び側面図を示す。
【００４３】
図４及び図５に示すように、前記圧電部材６０は、ＰＺＴ（チタン酸ジリコン酸鉛）からなる圧電本体６１と、電圧供給側電極層６５と、接地側電極層６６とを有している。
前記圧電本体６１は、例えば厚さ０．０５ｍｍ〜０．３ｍｍとされ、前記電極層６５，６６は、例えば厚さ０．０５μｍ〜数μｍのＡｇやＡｕによって形成される。
【００４４】
前記一対の圧電部材６０は、先端部及び基端部が前記支持部１０の前記先端領域１２及び前記基端領域１１にそれぞれ連結された状態で、サスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように配置されている。
【００４５】
即ち、前記一対の圧電部材６０は、前記電圧供給側電極層６５及び前記接地側電極層６６の間への電圧印可に応じて一方が伸長し且つ他方が短縮し、これにより、前記先端領域１２を前記基端領域１１に対してシーク方向へ移動させて、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させ得るようになっている。
【００４６】
本実施の形態においては、前記電圧供給側電極層６５は、前記圧電本体６１における前記ディスク面に近接する側の下面に配設されている。
これは、前記電圧供給側電極層６５への電圧供給構造の簡略化を図る為である。
【００４７】
即ち、図２(b)及び図３に示すように、前記フレクシャ部４０は、前記構成要素に加えて、さらに、前記絶縁層４１１におけるディスク面との対向面に積層された電圧供給配線４１５を有している。
【００４８】
図６に、前記一対の圧電部材６０を取り外した状態の前記磁気ヘッドサスペンションの上面図を示す。
図３及び図６に示すように、本実施の形態においては、前記電圧供給配線４１５は、一端部が前記絶縁層４１１に形成された開口を介して前記電圧供給側電極層６５と対向しており、前記一端部が導電性接着剤９５を介して前記電圧供給側電極層６５に電気的に接続されている。
なお、図３及び図６中の符号９６は、前記導電性接着剤６５の広がりを抑制するために前記開口の一部又は全部を囲繞する部材であり、例えば、金属によって形成される。
【００４９】
一方、前記接地側電極層６６は、図３及び図５(b)に示すように、前記圧電本体６１のディスク面とは反対側の上面に配設されている。
本実施の形態においては、前記接地側電極層６６は、図１，図２(a)及び図３に示すように、導電性接着剤９７を介して前記支持部１０（図示の形態においては前記先端領域１２）に電気的に接続されている。
【００５０】
さらに、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１は、前記電圧供給側電極層６５の短絡を有効に防止する為に下記構成を備えている。
【００５１】
即ち、図３及び図５(b)に示すように、前記電圧供給側電極層６５は、前記圧電本体６１の前記下面が先端側及び基端側においては露出して先端側露出面６１Ｆ及び基端側露出面６１Ｒを形成するように、前記圧電本体６１の前記下面に設けられている。
【００５２】
一方、前記支持部１０には、前記電圧供給側電極層６５がディスク面と対向し且つ該電圧供給側電極層６５が平面視において前記開口領域１３内に位置するように前記圧電部材６０を所定の装着位置に位置させた際に、前記先端側露出面６１Ｆ及び前記基端側露出面６１Ｒとそれぞれ対向する先端側支持面１０Ｆ及び基端側支持面１０Ｒが設けられている。
【００５３】
本実施の形態においては、図３に示すように、前記先端領域１２の上面のうち前記開口領域１３に隣接する部分が前記先端側支持面１０Ｆとして作用し、前記基端領域１１の上面のうち前記開口領域１３に隣接する部分が前記基端側支持面１０Ｒとして作用している。
【００５４】
そして、図３に示すように、前記圧電部材６０は、前記先端側露出面６１Ｆと前記先端側支持面１０Ｆとの間、及び、前記基端側露出面６１Ｒと前記基端側支持面１０Ｒとの間にそれぞれ介挿された絶縁性接着剤９０Ｆ，９０Ｒを介して前記支持部１０に直接又は間接的に固着されている。
【００５５】
このように、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１においては、前記圧電本体６１の下面のうち先端側及び基端側には前記電圧供給側電極層６５が存在しない前記先端側露出面６１Ｆ及び前記基端側露出面６１Ｒが設けられ、前記先端側露出面６１Ｆ及び前記基端側露出面６１Ｒが前記支持部１０の前記先端側支持面１０Ｆ及び前記基端側支持面１０Ｒに絶縁性接着剤９０Ｆ，９０Ｒを介して固着されている。
斯かる構成によれば、前記電圧供給側電極層６５が前記支持部１０に意に反して接触して短絡することを有効に防止できる。
【００５６】
さらに、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１は下記構成を備えている。
即ち、図３及び図４等に示すように、前記圧電本体６１は、厚肉部６２と、前記厚肉部６２からサスペンション長手方向先端側及び基端側へ延びる先端側薄肉部６３Ｆ及び基端側薄肉部６３Ｒとを有している。
前記厚肉部６２は、厚み方向に関し前記薄肉部６３Ｆ，６３Ｒと略同一位置に位置するベース領域６２（１）と、前記ベース領域６２（１）より厚み方向一方側へ延びる膨出領域６２（２）とを含んでいる。
【００５７】
斯かる構成の前記圧電本体６１に対して、前記電圧供給側電極層６５は、前記先端側薄肉部６３Ｆ及び前記基端側薄肉部６３Ｒの厚み方向一方側の表面が前記先端側露出面６１Ｆ及び前記基端側露出面６１Ｒとして作用するように前記膨出領域６２（２）の厚み方向一方側の表面にのみ設けられている。
【００５８】
そして、前記先端側薄肉部６３Ｆの厚み方向一方側の表面が前記絶縁性接着剤９０Ｆを介して前記支持部１０の前記先端領域１２の上面に固着され且つ前記基端側薄肉部６３Ｒの厚み方向一方側の表面が前記絶縁性接着剤９０Ｒを介して前記支持部１０の前記基端領域１１の上面に固着されることで、前記膨出領域６２（２）が厚み方向に関し前記開口領域１３内に位置し且つ前記電圧供給側電極層６５がディスク面に近接する側に位置する状態で前記圧電部材６０が前記支持部１０に装着されている。
【００５９】
斯かる構成を備えた前記磁気ヘッドサスペンション１によれば、前記一対の圧電部材６０の少なくとも一部を厚み方向に関し前記開口領域１３内に位置させつつ、前記支持部１０に対する前記一対の圧電部材６０の装着位置に関する精度を向上させることができる。
【００６０】
即ち、前記一対の圧電部材６０の伸縮動作は前記先端領域１２を前記基端領域１１に対して前記ディスク面に平行な方向へ揺動させる力として前記先端領域１２へ伝達され、前記先端領域１２が前記ディスク面に平行な方向へ揺動することによって前記磁気ヘッドスライダがシーク方向へ移動する。
従って、前記一対の圧電部材６０の伸縮動作を前記先端領域１２に効率的に伝達させるという観点においては、前記一対の圧電部材６０は厚み方向に関し可及的に前記開口領域１３内に位置させることが望ましい。
【００６１】
又、前記圧電部材６０の前記支持部１０への装着作業は、前記圧電部材６０を吸引保持した状態で前記圧電部材６０を所定の装着位置へ移動させることができ、さらに、その後に吸引保持を解除して前記圧電部材６０を前記支持部１０の所定装着位置に載置させることができるコレットを用いて行われる。
【００６２】
詳しくは、テーパ状の位置決め面５１０Ａを有するコレット５００Ａ（図７(a)参照）又は水平面及び垂直面によって画される位置決め面５１０Ｂを有するコレット５００Ｂ（図７(b)参照）によって前記圧電部材６０を吸引保持して前記圧電部材６０を前記支持部１０の所定装着位置まで移動させ、その後に、吸引を解除することで前記圧電部材６０を前記絶縁性接着剤９０Ｆ，９０Ｒが塗布されている前記支持部１０の所定装着位置に載置させて固着させる。
【００６３】
従って、前記圧電部材６０を前記装着位置に正確に位置させる為には、前記圧電部材６０が前記コレット５００Ａ，５００Ｂによって保持される際の保持位置を正確に制御する必要がある。
【００６４】
この点に関し、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１においては、前記膨出領域６２（２）を厚み方向に関し前記開口領域１３内に位置させた状態を基準にして、図３及び図７に示すように、前記先端側薄肉部６３Ｆの上面及びサスペンション長手方向先端側を向く先端面が交差する先端側上方エッジ６４Ｆは前記先端領域１２の上面より上方（前記ディスク面から離間された側）に位置し、且つ、前記基端側薄肉部６３Ｒの上面及びサスペンション長手方向基端側を向く基端面が交差する基端側上方エッジ６４Ｒは前記基端領域１１の上面より上方（前記ディスク面から離間された側）に位置している。
【００６５】
従って、前記先端側上方エッジ６４Ｆ及び前記基端側上方エッジ６４Ｒを前記コレットの位置決め面５１０Ａ，５１０Ｂによって位置決めされる部位として利用しつつ、前記膨出領域６２（２）を厚み方向に関し前記開口領域１３内に位置させることができる。
【００６６】
図８(a)〜(d)に、前記圧電部材６０の製造方法の一例のフロー図を示す。
図８(a)に示す第１工程において前記圧電本体６１を形成するウエハ１６１を用意する。
図８(b)に示す第２工程においては、前記ウエハ１６１の両端面のうち前記圧電本体６１の下面に相当する第１端面に前記電圧供給側電極層６５を形成する第１導電性部材１６５をスパッタリング又は蒸着により設け、前記ウエハ１６１の両端面のうち前記圧電本体６１の上面に相当する第２端面に前記接地側電極層６６を形成する第２導電性部材１６６をスパッタリング又は蒸着により設ける。
【００６７】
なお、本実施の形態においては、前記接地側電極層６６は、図５(b)に示すように、前記圧電本体６１の上面の全域ではなく、前記電圧供給側電極層６５と対向する領域（即ち、前記厚肉部６２の上面）にのみ設けられている。
従って、前記第２工程における前記第２導電性部材１６６の形成は、前記接地側電極層６６が不要な領域をマスクで覆った状態で行われる。
【００６８】
次いで、図８(c)に示す第３工程において、前記ウエハ１６１の前記第１端面の側からダイシングを行って、前記先端側薄肉部６３Ｆ及び前記基端側薄肉部６３Ｒに相当する薄肉部１６３を介して複数の圧電部材６０が連結されてなる圧電部材集合体１６０を形成する。
【００６９】
そして、図８(d)に示す第４工程において、前記薄肉部１６３を切断して前記圧電部材集合体１６０から複数の前記圧電部材６０を形成する。
【００７０】
なお、本実施の形態においては、前述の通り、前記圧電部材６０は、前記圧電本体６１の上面のうち前記電圧供給側電極層６５と対向する領域にのみ前記接地側電極層６６を有している。
従って、前記第２工程においては、前記圧電本体６１の上面に相当する前記ウエハ１６１の前記第２端面に前記マスクを配置させてから、前記接地側電極層６６を形成する前記第２導電性部材１６６を前記ウエハ１６１の前記第２端面に蒸着又はスパッタリングによって設けている。
【００７１】
前記圧電部材６０に代えて、前記接地側電極層６６が前記圧電本体６１の上面の全域に設けられている圧電部材６０’を採用することも可能である。
図９(a)〜(d)に、前記圧電部材６０’の製造方法の一例のフロー図を示す。
図９(b)に示すように、前記圧電部材６０’の製造方法においては前記第２工程のマスキングが削除される。
【００７２】
実施の形態２
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１０に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション２をディスク面とは反対側である上方から視た斜視図を示す。
又、図１１(a)及び(b)に、それぞれ、前記磁気ヘッドサスペンション２の上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）及び下面図（ディスク面側から見た底面図）を示す。 さらに、図１２に、図１１(a)におけるXII-XII線に沿った断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１におけると同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００７３】
本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション２は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１を基準にして、前記一対の圧電部材６０に代えて一対の圧電部材６０Ｂを有している。
【００７４】
図１３に、前記一対の圧電部材６０Ｂをディスク面とは反対側である上方から視た斜視図を示す。
又、図１４(a)及び(b)に、それぞれ、前記圧電部材６０Ｂの上面図（ディスク面とは反対側から視た平面図）及び側面図を示す。
【００７５】
前記圧電部材６０Ｂは、図１３及び図１４に示すように、圧電本体６１と電圧供給側電極層６５と接地側電極層６６とを有する点、前記圧電本体６１が厚肉部６２と前記厚肉部６２からサスペンション長手方向先端側へ延びる先端側薄肉部６３Ｆと前記厚肉部６２からサスペンション長手方向基端側へ延びる基端側薄肉部６３Ｒとを有している点、並びに、前記厚肉部６２が厚み方向に関し前記薄肉部６３Ｆ，６３Ｒと略同一位置に位置するベース領域６２（１）と前記ベース領域６２（１）より厚み方向一方側へ延びる膨出領域６２（２）とを含む点において、前記実施の形態１における前記圧電部材６０と共通する。
【００７６】
他方、前記圧電部材６０Ｂは、図１３及び図１４に示すように、前記電圧供給側電極層６５が前記圧電本体６１の厚み方向他方側の表面（即ち、前記膨出領域６２（２）とは反対側の表面）に設けられている点、並びに、前記先端側薄肉部６３Ｆ及び前記基端側薄肉部６３Ｒの厚み方向他方側の表面の少なくとも一部が前記先端側露出面６１Ｆ及び前記基端側露出面６１Ｒとして作用する点において、前記実施の形態１における前記圧電部材６０と相違している。
【００７７】
即ち、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション２においては、図１２に示すように、前記圧電部材６０Ｂは、前記膨出領域６２（２）が前記ベース領域６２（１）よりもディスク面から離間される側（即ち、上方側）に位置する状態で、平面視において全体が前記支持部１０の前記開口領域１３内に位置するように前記支持部１０に装着されている。
【００７８】
つまり、本実施の形態においては、前記圧電本体６１の厚み方向他方側の表面が前記ディスク面に近接する状態で（即ち、前記ベース領域６２（１）が前記ディスク面に対向する状態で）、前記圧電部材６０Ｂの全体が平面視において前記開口領域１３内に位置されている。
【００７９】
斯かる構成の前記磁気ヘッドサスペンション２においては、前記圧電本体６１の前記先端側薄肉部６３Ｆ及び前記基端側薄肉部６３Ｒの厚み方向他方側の表面の少なくとも一部が前記先端側露出面６１Ｆ及び前記基端側露出面６１Ｒとして作用する。
即ち、前記電圧供給側電極層６５は、前記先端側薄肉部６３Ｒ及び前記基端側薄肉部６３Ｒの厚み方向他方側の表面の少なくとも一部が前記先端側露出面６１Ｆ及び前記基端側露出面６１Ｒとして作用するように前記圧電本体６１の厚み方向他方側の表面に設けられている。
【００８０】
一方、前記支持部１０の前記先端領域１２にはディスク面とは反対側の上方及び前記開口領域１３の双方に開く先端側受け部１９Ｆが設けられ、前記支持部１０の前記基端領域１１にはディスク面とは反対側の上方及び前記開口領域１３の双方に開く基端側受け部１９Ｒが設けられている。
【００８１】
図１５(a)及び(b)に、それぞれ、前記一対の圧電部材６０Ｂを取り外した状態の前記磁気ヘッドサスペンション２の上面図及び下面図を示す。
図１２及び図１５に示すように、本実施の形態においては、前記支持部１０には、少なくとも一部が平面視において前記開口領域１３内に位置した状態で前記先端領域１２の基端側エッジ近傍に位置するように前記支持部１０の下面（ディスク面との対向面）に固着された先端側支持プレート１２０と、少なくとも一部が平面視において前記開口領域１３内に位置した状態で前記基端領域１１の先端側エッジ近傍に位置するように前記支持部１０の下面（ディスク面との対向面）に固着された基端側支持プレート１１０とが設けられている。
【００８２】
前記先端側支持プレート１２０は前記先端領域１２と共働して前記先端側受け部１９Ｆを形成している。
即ち、図１２に示すように、本実施の形態においては、前記先端側支持プレート１２０の上面（ディスク面とは反対側の面）と前記先端領域１２のサスペンション長手方向基端側を向く端面とによって前記先端側受け部１９Ｆが形成されている。
【００８３】
前記基端側支持プレート１１０は前記基端領域１１と共働して前記基端側受け部１９Ｒを形成している。
即ち、図１２に示すように、本実施の形態においては、前記基端側支持プレート１１０の上面（ディスク面とは反対側の面）と前記基端領域１１のサスペンション長手方向先端側を向く端面とによって前記基端側受け部１９Ｒが形成されている。
【００８４】
なお、本実施の形態においては、図１５(b)に示すように、前記先端側支持プレート１２０は、前記ロードビーム部３０及び前記荷重曲げ部２０と一体形成されている。
即ち、前記磁気ヘッドサスペンション２は、前記ロードビーム部３０，前記荷重曲げ部２０及び前記先端側支持プレート１２０を一体形成するロードビーム部／荷重曲げ部／先端側支持プレート形成部材を有している。
【００８５】
一方、前記基端側支持プレート１１０は、図１５(b)に示すように、前記支持部１０を形成する前記第２支持部形成板１０（２）に一体形成されている。
【００８６】
なお、本実施の形態においては、前述の通り、前記支持部１０に前記先端側支持プレート１２０及び前記基端側支持プレート１１０を備え、前記先端領域１２のサスペンション長手方向基端側を向く端面と前記先端側支持プレート１２０の上面とによって前記先端側受け部１９Ｆを形成し、且つ、前記基端領域１１のサスペンション長手方向先端側を向く端面と前記基端側支持プレート１１０の上面とによって前記基端側受け部１９Ｒを形成しているが、本発明は斯かる形態に限定されるものではない。
【００８７】
即ち、図示は省略するが、前記先端領域１２の上面とサスペンション長手方向基端側を向く基端面とが交差する基端側上方エッジを含む領域を切り欠く先端側切り欠き部を形成し、且つ、前記基端領域１１の上面とサスペンション長手方向先端側を向く先端面とが交差する先端側上方エッジを含む領域を切り欠く基端側切り欠き部を形成して、前記先端側切り欠き部及び前記基端側切り欠き部によって前記先端側受け部１９Ｆ及び前記基端側受け部１９Ｒを形成することも可能である。
【００８８】
斯かる構成の前記支持部１０に対して、図１２に示すように、前記先端側露出面６１Ｆとして作用する前記先端側薄肉部６３Ｆの厚み方向他方側の表面が前記絶縁性接着剤９０Ｆを介して前記先端側支持面１０Ｆとして作用する前記先端側受け部１９Ｆの上面に固着され、且つ、前記基端側露出面６１Ｒとして作用する前記基端側薄肉部６３Ｒの厚み方向他方側の表面が前記絶縁性接着剤９０Ｒを介して前記基端側支持面１０Ｒとして作用する前記基端側受け部１９Ｒの上面に固着されている。
斯かる構成を備えた前記磁気ヘッドサスペンション２によれば、前記実施の形態１におけると同様に、前記電圧供給側電極層６５の短絡を有効に防止できる。
【００８９】
さらに、前記磁気ヘッドサスペンション２においては、図１２に示すように、前記圧電部材６０Ｂを装着位置に位置させた状態において、前記膨出領域６２（２）の先端側上方エッジ６２Ｆ及び基端側上方エッジ６２Ｒが前記先端領域１２の基端側上方エッジ及び前記基端領域の先端側上方エッジからそれぞれ離間されることになる。
【００９０】
斯かる構成によれば、図１２，図１６(a)及び(b)に示すように、前記膨出領域６２（２）の上面及びサスペンション長手方向先端側を向く先端面が交差する前記先端側上方エッジ６２Ｆと前記膨出領域６２の上面及びサスペンション長手方向基端側を向く基端面が交差する前記基端側上方エッジ６２Ｒとを前記コレット５００Ａ，５００Ｂの前記位置決め面５１０Ａ，５１０Ｂによって位置決めされる部位として利用しつつ、前記コレット５００Ａ，５００Ｂによって吸引保持された状態で前記圧電部材６０Ｂを厚み方向に関し可及的に前記開口領域１３内に位置させることができる。
【００９１】
従って、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション２においても、前記実施の形態１におけると同様に、前記一対の圧電部材６０Ｂを厚み方向に関し可及的に前記開口領域１３内に位置させつつ前記支持部１０に対する前記一対の圧電部材６０Ｂの装着位置に関する精度を向上させることができる。
【００９２】
なお、前記各実施の形態においては、前記一対の圧電部材６０（６０Ｂ）は互いに対して別体とされているが、本発明は斯かる形態に限定されるものではない。
即ち、前記一対の圧電部材６０（６０Ｂ）を単一の圧電部材形成体によって一体形成することも可能である。
【００９３】
図１７(a)〜(c)に、それぞれ、第１例に係る圧電部材形成体６００の下方斜視図，側面図及び下面図を示す。
図１７に示すように、前記第１例に係る圧電部材形成体６００は、前記一対の圧電部材６０（６０Ｂ）における前記圧電本体６１を一体的に有する圧電本体形成体６１０と、前記一対の圧電部材６０（６０Ｂ）における前記電圧供給側電極層６５を形成する電圧供給側電極層形成体６５０と、前記一対の圧電部材６０（６０Ｂ）における前記接地側電極層６６を形成する接地側電極層形成体６６０とを含んでいる。
【００９４】
前記電圧供給側電極層形成体６５０及び前記接地側電極層形成体６６０の少なくとも一方（図示の形態においては前記電圧供給側電極層形成体６５０）は、サスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称に配置され且つ互いに対して電気的に分離された一対の電極板６７１，６７２であって、前記一対の圧電部材６０（６０Ｂ）の対応する電極層（図示の形態においては前記電圧供給側電極層６５）をそれぞれ形成する一対の電極板６７０を有している。
このように、前記一対の圧電部材６０（６０Ｂ）が一体化された前記圧電部材形成体６００を用いることにより、製造プロセスの簡略化を図ることができる。
【００９５】
なお、前記電圧供給側電極層形成体６５０及び前記接地側電極層形成体６６０の他方（図示の形態においては前記接地側電極層６６０）は、単一の電極板を有することも可能であるし、若しくは、サスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称に配置され且つ互いに対して電気的に分離された一対の電極板であって、前記一対の圧電部材の対応する電極層（図示の形態においては前記接地側電極層６６）をそれぞれ形成する一対の電極板を有することも可能である。
【００９６】
好ましくは、前記圧電本体形成体６１０のうち一方の前記圧電部材６０（６０Ｂ）の前記圧電本体６１を形成する部分の分極方向と他方の前記圧電部材６０（６０Ｂ）の前記圧電本体６１を形成する部分の分極方向とを異ならせることができる。
斯かる好ましい構成によれば、前記一対の圧電部材６０（６０Ｂ）の前記電圧供給側電極層６５に同一電圧を印可することで前記一対の圧電部材６０（６０Ｂ）の一方を伸長動作させ、他方を圧縮動作させることができる。
【００９７】
図１８(a)〜(d)に、それぞれ、第２例に係る圧電部材形成体７００の下方斜視図，上面図，側面図及び下面図を示す。
図１８に示すように、前記第２例に係る前記圧電部材形成体７００は、接地配線７１０を有している点において、前記第１例に係る前記圧電部材形成体６００と相違している。
【００９８】
詳しくは、前記接地配線７１０は、一端部が前記圧電部材形成体７００の上面（ディスク面とは反対側の面）に配設された前記接地側電極層形成体６６０に電気的に接続され且つ他端部が前記圧電部材形成体７００の下面（ディスク面と対向する面）に配設された接地端子７１５を形成している。
【００９９】
前記第２例に係る前記圧電部材形成体７００によれば、前記電圧供給側電極層６５に電圧を供給する為の電気接続構造及び前記接地側電極層６６を接地させる為の電気接続構造の双方を前記圧電部材形成体７００の下面（ディスク面に対向する面）側に設けることができ、これにより、前記電気接続構造の簡略化を図ることができる。
【０１００】
図１８に示すように、前記第２例に係る前記圧電部材形成体７００においては、前記電圧供給側電極層形成体６５０は、サスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称に配置され且つ互いに対して電気的に分離された一対の電圧供給側電極板６５１，６５２であって、前記一対の圧電部材６０（６０Ｂ）の前記電圧供給側電極層６５をそれぞれ形成する一対の電圧供給側電極板６５１，６５２を有している。
【０１０１】
斯かる構成においては、好ましくは、前記接地端子７１５はサスペンション幅方向に関し前記一対の電圧供給側電極板６５１，６５２の間に配置される。
斯かる構成によれば、前記接地端子７１５に接続される接地用の電気接続構造の存在が、前記一対の圧電部材６０（６０Ｂ）の伸縮動作による前記磁気ヘッドスライダのシーク方向への移動特性を阻害することを有効に防止できる。
【０１０２】
前記第２例に係る前記圧電部材形成体７００においては、図１８(a)及び(d)に示すように、前記接地配線７１０のうち前記圧電部材形成体７００の下面に位置する部分は、前記先端側露出面６１Ｆ又は前記基端側露出面６１Ｒを利用してサスペンション幅方向に延びている。
斯かる構成によれば、前記圧電部材形成体７００を大型化させることなく、前記接地端子７１５をサスペンション幅方向に関し前記一対の電圧供給側電極板６５１，６５２の間に位置させることができる。
【符号の説明】
【０１０３】
１，２ 磁気ヘッドサスペンション
１０ 支持部
１０Ｆ 先端側支持面
１０Ｒ 基端側支持面
１１ 基端領域
１２ 先端領域
１３ 開口領域
１４ 連結梁
２０ 荷重曲げ部
３０ ロードビーム部
４０ フレクシャ部
６０，６０’，６０Ｂ 圧電部材
６１ 圧電本体
６１Ｆ 先端側露出面
６１Ｒ 基端側露出面
６２ 厚肉部
６２（１） ベース領域
６２（２） 膨出領域
６３Ｆ 先端側薄肉部
６３Ｒ 基端側薄肉部
６５ 電圧供給側電極層
６６ 接地側電極層
９０Ｆ，９０Ｒ 絶縁性接着剤
９６ 絶縁層の開口を囲繞する部材
４００ フレクシャ金属基板
４１０ フレクシャ配線体
４１１ 絶縁層
４１２ 信号配線
４１５ 電圧供給配線
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク等の記憶媒体に対してデータをリード及び／又はライトする磁気ヘッドスライダを支持する為の磁気ヘッドサスペンションに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置の大容量化に伴って磁気ヘッドスライダの目的トラックに対する位置決め精度の向上が求められており、その為、ボイスコイルモータ等のメインアクチュエータによる磁気ヘッドスライダのシーク方向への粗動に加えて、サブアクチュエータとして作用する一対の圧電部材を備え、前記一対の圧電部材による前記磁気ヘッドスライダのシーク方向の微動を可能とした磁気ヘッドサスペンションが提案されている（例えば下記特許文献１〜３参照）。
【０００３】
詳しくは、前記磁気ヘッドサスペンションは、前記磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記支持部に装着された前記一対の圧電部材とを備えている。
【０００４】
前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域及び前記先端領域の間に位置する開口領域と、前記開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する左右一対の連結梁とを有している。
【０００５】
前記一対の圧電部材の各々は、圧電本体と電圧供給側電極層と接地側電極層とを有し、前記一対の電極層間への電圧印可に応じて前記厚み方向とは直交する方向に伸長又は短縮する。
【０００６】
前記磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記一対の圧電部材は、サスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なった状態で、先端部が前記先端領域に固着され且つ基端部が前記基端領域に固着されている。
【０００７】
斯かる構成を備えた前記磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記一対の圧電部材の前記一対の電極層間に電圧を印可して一方の圧電部材を伸長させ且つ他方の圧電部材を短縮させることにより、前記一対の連結梁を弾性変形させつつ前記先端領域を前記基端領域に対してシーク方向へ揺動させることができ、これにより、前記先端領域に前記荷重曲げ部，前記ロードビーム部及び前記フレクシャ部を介して支持される前記磁気ヘッドスライダをシーク方向へ微動させ得るようになっている。
【０００８】
ところで、前記一対の圧電部材への電圧印可構造の簡略化を図る為に、前記フレクシャ部として配線一体型フレクシャ部を用いつつ、前記配線一体型フレクシャ部に電圧供給配線を備え、前記電圧供給配線を介して前記電圧供給側電極層に電圧を供給する構成が提案されている。
【０００９】
詳しくは、前記配線一体型フレクシャ部は、ディスク面に近接する側において前記磁気ヘッドスライダを支持するヘッド搭載領域及びディスク面とは反対側が前記ロードビーム部及び前記支持部に当接された状態で固着される本体領域を含むフレクシャ金属基板と、前記フレクシャ金属基板におけるディスク面との対向面に積層された絶縁層と、一端部が前記磁気ヘッドスライダに電気的に接続され且つ他端部が外部に電気的に接続され得る状態で前記絶縁層におけるディスク面との対向面に積層された信号配線とを備えている。
【００１０】
斯かる構成の前記配線一体型フレクシャ部に、前記絶縁層におけるディスク面とは反対側に前記電圧供給配線を備えると共に、前記接地側電極層が上方（ディスク面から離間された側）に位置し且つ前記電圧供給側電極層が下方（ディスク面に近接する側）に位置するように前記圧電部材を配置させて、前記電圧供給側電極層に前記電圧供給配線から電圧を供給させる構成が提案されている。
【００１１】
しかしながら、従来の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記電圧供給側電極層の前記支持部への接触防止という観点においては十分な考慮がなされていない。前記電圧供給側電極層が一般的にはステンレス等の導電性金属板によって形成される前記支持部に対して接触して短絡すると、前記一対の電極層間に電圧を印可しても前記圧電部材を伸縮させることができなくなる。
【００１２】
詳しくは、前記特許文献１〜３に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記支持部の前記先端領域に、前記ディスク面とは反対側の上方及び前記開口領域に開く先端側受け部が設けられ、前記支持部の前記基端領域に、前記ディスク面とは反対側の上方及び前記開口領域に開く基端側受け部が設けられている。
【００１３】
なお、特許文献１及び２に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記先端領域の前記ディスク面とは反対側の上面及びサスペンション長手方向基端側を向く基端面が交差するエッジを切り取る先端側切り欠き部が形成され、且つ、前記基端領域の前記ディスク面とは反対側の上面及びサスペンション長手方向先端側を向く先端面が交差するエッジを切り取る基端側切り欠き部が形成されており、前記先端側切り欠き部及び前記基端側切り欠き部がそれぞれ前記先端側受け部及び前記基端側受け部を構成している。
【００１４】
一方、特許文献３に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいては、平面視において少なくとも一部が前記開口領域内に位置するように前記先端領域の下面（前記ディスク面と対向する面）に先端側プレートが固着され、且つ、平面視において少なくとも一部が前記開口領域内に位置するように前記基端領域の下面に基端側支持プレートが固着されている。
斯かる特許文献３においては、前記先端領域のサスペンション長手方向基端側を向く基端面と前記先端プレートとによって前記先端側受け部が形成され、前記基端領域のサスペンション長手方向先端側を向く先端面と前記基端プレートとによって前記基端側受け部が形成される。
【００１５】
又、前記特許文献１〜３に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記圧電部材は、圧電本体と、前記圧電本体におけるディスク面に対向する下面に設けられた前記電圧供給側電極層と、前記圧電本体におけるディスク面とは反対方向を向く上面に設けられた前記接地側電極層とを有しており、前記接地側電極層及び前記電圧供給側電極層はそれぞれ対応する前記上面及び前記下面の全域を覆うような大きさとされている。
【００１６】
そして、前記圧電部材は、サスペンション長手方向先端側を向く先端面と前記先端側受け部のサスペンション基端側を向く基端面との間、前記電圧供給側電極層のディスク面を向く下面と前記先端側受け部のディスク面とは反対側を向く上面との間、サスペンション長手方向基端側を向く基端面と前記基端側受け部のサスペンション先端側を向く先端面との間、並びに、前記電圧供給側電極層のディスク面を向く下面と前記基端側受け部のディスク面とは反対側を向く上面との間、にそれぞれ介挿された絶縁性接着剤によって前記支持部に固着されている。
【００１７】
つまり、前記特許文献１〜３に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記電圧供給側電極層の先端側及び基端側が絶縁性接着剤を介して前記先端側受け部の上面及び前記基端側受け部の上面にそれぞれ固着されている。
従って、前記圧電素子の前記支持部への装着作業時に前記圧電素子の前記支持部に対する平行性が損なわれると、前記電圧供給側電極層が前記先端側受け部及び前記基端側受け部に意に反して接触する事態、若しくは、両者が近づき過ぎて絶縁性を保てなくなる（絶縁劣化が生じる）事態が生じ易いという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１８】
【特許文献１】特開２００２−２５１８５４号公報
【特許文献２】特開２００９−０８０９１５号公報
【特許文献３】特開２００２−０５０１４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
本発明は、前記従来技術に鑑みなされたものであり、メインアクチュエータによる磁気ヘッドスライダの粗動に加えて、左右一対の圧電部材の伸縮動作による前記磁気ヘッドスライダの微動を行える磁気ヘッドサスペンションであって、前記圧電部材が圧電本体と前記圧電本体のディスク面に近接する側の下面に設けられた電圧供給側電極層と前記圧電本体のディスク面とは離間された側の上面に設けられた接地側電極層とを有する磁気ヘッドサスペンションにおいて、前記電圧供給側電極層の短絡を有効に防止し得る磁気ヘッドサスペンションの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明の一態様は、前記目的を達成する為に、磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにシーク方向へ揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着された左右一対の圧電部材とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域及び前記先端領域の間に位置する開口領域と、前記開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する左右一対の連結梁とを有し、前記一対の圧電部材の各々は、圧電本体と、前記圧電本体における前記ディスク面に近接する側の下面に設けられた電圧供給側電極層と、前記圧電本体における前記ディスク面とは反対側の上面に設けられた接地側電極層とを有し、前記圧電本体は、厚肉部と、前記厚肉部からサスペンション長手方向先端側及び基端側へ延びる先端側薄肉部及び基端側薄肉部とを有し、前記厚肉部は、厚み方向に関し前記薄肉部と略同一位置に位置するベース領域と、前記ベース領域より前記ディスク面に近接する厚み方向一方側へ延びる膨出領域とを含み、前記電圧供給側電極層は、前記先端側薄肉部及び前記基端側薄肉部の下面が露出して先端側露出面及び基端側露出面を形成するように前記膨出領域の下面に設けられており、前記一対の圧電部材は、前記電圧供給側電極層が前記ディスク面に近接する側に位置し且つ前記膨出領域が厚み方向に関し前記開口領域内に位置しつつ、前記先端側露出面及び前記基端側露出面が前記先端領域及び前記基端領域のディスク面とは反対側の上面のうち少なくとも前記開口領域に隣接する先端側支持面及び基端側支持面と対向した状態で、前記先端側露出面と前記先端側支持面との間、及び、前記基端側露出面と前記基端側支持面との間に介挿された絶縁性接着剤を介して前記支持部に固着されている磁気ヘッドサスペンションを提供する。
【００２１】
又、本発明の他態様は、磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにシーク方向へ揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着された左右一対の圧電部材とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域及び前記先端領域の間に位置する開口領域と、前記開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する左右一対の連結梁とを有し、前記一対の圧電部材の各々は、圧電本体と、前記圧電本体における前記ディスク面に近接する側の下面に設けられた電圧供給側電極層と、前記圧電本体における前記ディスク面とは反対側の上面に設けられた接地側電極層とを有し、前記電圧供給側電極層は、前記圧電本体の前記下面の先端側及び基端側が露出して先端側露出面及び基端側露出面を形成するように、前記圧電本体の前記下面に設けられ、前記支持部には、前記電圧供給側電極層がディスク面と対向した状態で該電圧供給側電極層が平面視において前記開口領域内に位置するように前記圧電部材を所定の装着位置に位置させた際に、前記先端側露出面及び前記基端側露出面とそれぞれ対向する先端側支持面及び基端側支持面が設けられており、前記圧電部材は、前記先端側露出面と前記先端側支持面との間、及び、前記基端側露出面と前記基端側支持面との間に介挿された絶縁性接着剤を介して前記支持部に直接又は間接的に固着されており、前記フレクシャ部は、フレクシャ金属基板と前記フレクシャ金属基板に積層されたフレクシャ配線体とを有し、前記フレクシャ配線体は、前記フレクシャ金属基板におけるディスク面との対向面に積層された絶縁層と前記絶縁層におけるディスク面との対向面に積層された信号配線と前記信号配線を囲繞する保護層と前記絶縁層におけるディスク面との対向面に積層された電圧供給配線とを含み、前記電圧供給配線は、一端部が前記絶縁層に形成された開口を介して前記電圧供給側電極層と対向し、前記一端部が導電性接着剤を介して前記電圧供給側電極層に電気的に接続されており、前記絶縁層のディスク面とは反対側には前記開口を囲繞する部材が設けられている磁気ヘッドサスペンションを提供する。
【発明の効果】
【００２２】
本発明に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、一対の圧電部材の各々は、圧電本体と前記圧電本体における前記ディスク面に近接する側の下面に設けられた電圧供給側電極層と前記圧電本体における前記ディスク面とは反対側の上面に設けられた接地側電極層とを有し、前記電圧供給側電極層は、前記圧電本体の前記下面の先端側及び基端側が露出して先端側露出面及び基端側露出面を形成するように前記圧電本体の前記下面に設けられ、前記磁気ヘッドサスペンションの支持部には、前記圧電部材を所定の装着位置に位置させた際に前記先端側露出面及び前記基端側露出面とそれぞれ対向する先端側支持面及び基端側支持面が設けられ、前記圧電部材は、前記先端側露出面と前記先端側支持面との間、及び、前記基端側露出面と前記基端側支持面との間に介挿された絶縁性接着剤を介して前記支持部に直接又は間接的に固着されているので、前記電圧供給側電極層が意に反して短絡することを有効に防止できる。
【００２３】
又、本発明の一態様によれば、前記一対の圧電部材における厚肉部の膨出領域が厚み方向に関し前記支持部の開口領域内に位置されているので、前記支持部に対する前記一対の圧電部材の装着位置に関する精度を向上させることができ、さらに、前記一対の圧電部材の伸縮動作を前記支持部の先端領域に効率的に伝達することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】図１は、本発明の実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの上方斜視図である。
【図２】図２(a)及び(b)は、それぞれ、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。
【図３】図３は、図２(a)におけるIII-III線に沿った断面図である。
【図４】図４は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションにおける一対の圧電部材の上方斜視図である。
【図５】図５(a)及び(b)は、それぞれ、前記圧電部材の上面図及び側面図である。
【図６】図６は、前記一対の圧電部材を取り外した状態の前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図７】図７は、前記圧電部材を支持部に装着させる際に使用されるコレットを含んだ状態の図３に相当する断面図であり、図７(a)及び(b)は、それぞれ、前記コレットの一例及び他例を示している。
【図８】図８(a)〜(d)は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションにおける前記圧電部材の製造方法の一例のフロー図である。
【図９】図９(a)〜(d)は、前記圧電部材の一変形例の製造方法の一例のフロー図である。
【図１０】図１０は、本発明の実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンション２の上方斜視図である。
【図１１】図１１(a)及び(b)は、それぞれ、前記実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。
【図１２】図１２は、図１１(a)におけるXII-XII線に沿った断面図である。
【図１３】図１３は、前記実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションにおける一対の圧電部材の上方斜視図である。
【図１４】図１４(a)及び(b)は、それぞれ、図１３に示す前記圧電部材の上面図及び側面図である。
【図１５】図１５(a)及び(b)は、それぞれ、前記一対の圧電部材を取り外した状態の前記実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。
【図１６】図１６は、前記コレットの一例及び他例を含んだ状態の図１２に相当する断面図である。
【図１７】図１７(a)〜(c)は、それぞれ、第１例に係る圧電部材形成体の下方斜視図，側面図及び下面図である。
【図１８】図１８(a)〜(d)は、それぞれ、第２例に係る圧電部材形成体の下方斜視図，上面図，側面図及び下面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
実施の形態１
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１をディスク面とは反対側である上方から視た斜視図を示す。
又、図２(a)及び(b)に、それぞれ、前記磁気ヘッドサスペンション１の上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）及び下面図（ディスク面側から見た底面図）を示す。 さらに、図３に、図２(a)におけるIII-III線に沿った断面図を示す。
【００２６】
図１〜図３に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション１は、磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部２０と、前記荷重を磁気ヘッドスライダ（図示せず）に伝達するためのロードビーム部３０と、前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに前記ディスク面と平行なシーク方向へ揺動される支持部１０と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０に支持されるフレクシャ部４０と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部１０に装着された左右一対の圧電部材６０とを備えている。
【００２７】
前記支持部１０は、ボイスコイルモータ等の前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結された状態で、前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持する部材であり、比較的高剛性を有するものとされる。
【００２８】
本実施の形態においては、前記支持部１０は、前記メインアクチュエータに連結されるキャリッジアーム（図示せず）の先端にかしめ加工によって接合されるボス部１５を備えたベースプレートとされている。
前記支持部１０は、例えば、厚さ０．１ｍｍ〜０．８ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
【００２９】
図１及び図２に示すように、前記支持部１０は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域１１と、前記荷重曲げ部２０が連結される先端領域１２と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域１１及び前記先端領域１２の間に位置する開口領域１３と、前記開口領域１３のサスペンション幅方向両側において前記基端領域１１及び前記先端領域１２の間を連結する左右一対の連結梁１４であって、サスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称な形状を有している左右一対の連結梁１４とを有している。
【００３０】
なお、本実施の形態においては、図２(a)及び(b)に示すように、前記支持部１０は、前記先端領域１２，前記一対の連結梁１４，前記基端領域１１及び前記ボス部１５を一体形成する第１支持部形成板１０（１）と、前記第１支持部形成板１０（１）の前記基端領域１１を形成する部分に接合される第２支持部形成板１０（２）とを有している。
【００３１】
前記ロードビーム部３０は、前述の通り、前記荷重曲げ部２０によって発生される荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達する為の部材であり、従って、所定の剛性が要求される。
本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記ロードビーム部３０は、平板状の本体部３１と、前記本体部３１の幅方向両端部からディスク面とは反対側に曲げ形成されたフランジ部３２とを有しており、前記フランジ部３２によって剛性を確保している。
前記ロードビーム部３０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
【００３２】
詳しくは、前記ロードビーム部３０は、先端部に、所謂ディンプルと呼ばれる突起３５を有している。
前記突起３５は、ディスク面に近接する方向に、例えば、０．０５ｍｍ〜０．１ｍｍ程度突出されている。この突起３５は、前記フレクシャ部４０におけるヘッド搭載領域４３の裏面（ディスク面とは反対側の面）に接触しており、前記荷重はこの突起３５を介して前記フレクシャ部４０のヘッド搭載領域４３に伝達される。
【００３３】
本実施の形態においては、前記ロードビーム部３０は、さらに、前記本体部３１の先端からサスペンション長手方向先端側へ延びるリフトタブ３４を一体的に有している。前記リフトタブ３４は、前記磁気ヘッドスライダがディスク面の径方向外方へ位置するように前記磁気ヘッドサスペンション１が前記メインアクチュエータによって揺動された際に、磁気ディスク装置に備えられたランプと係合して前記磁気ヘッドスライダをｚ方向（前記ディスク面と直交する方向）に沿って前記ディスク面から離間させる為の部材である。
【００３４】
前記荷重曲げ部２０は、基端部が前記支持部１０に連結され且つ先端部が前記ロードビーム部３０に連結されており、自己の弾性変形に基づいて前記磁気ヘッドスライダを前記ディスク面へ向けて押し付ける押し付け荷重を発生する。
【００３５】
図１及び図２に示すように、本実施の形態においては、前記荷重曲げ部２０は、板面が前記ディスク面と対向するように配置された左右一対の板バネ２１を有している。
好ましくは、前記一対の板バネ２１は、前記磁気ヘッドサスペンション１が前記磁気ディスク装置へ実装される前の段階において前記磁気ヘッドスライダが前記ディスク面に近づく方向に予め折り曲げられ、且つ、前記磁気ヘッドサスペンション１の前記磁気ディスク装置への実装時には曲げ戻されることで前記押し付け荷重を発生するように、構成される。
【００３６】
前記荷重曲げ部２０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって形成される。
なお、本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記荷重曲げ部２０は前記ロードビーム部３０と一体形成されている。
【００３７】
即ち、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１は、前記ロードビーム部３０及び前記荷重曲げ部２０を一体形成するロードビーム部／荷重曲げ部形成部材を有しており、前記ロードビーム部／荷重曲げ部形成部材における前記ディスク面とは反対側の上面が前記支持部１０の前記先端領域１２における前記ディスク面と対向する下面に当接された状態で、前記ロードビーム部形成部材が前記支持部１０に溶接されている。
【００３８】
前記フレクシャ部４０は、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０に接合される。
詳しくは、前記フレクシャ部４０は、図２(b)に示すように、前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０における前記ディスク面との対向面に溶接等によって接合される本体領域４１と、前記本体領域４１から先端側へ延びる一対の支持片４２と、前記支持片４２によって支持された前記ヘッド搭載領域４３とを有している。
【００３９】
前記ヘッド搭載領域４３は、ディスク面と対向する対向面において前記磁気ヘッドスライダを支持している。
前述の通り、前記ヘッド搭載領域４３の裏面には前記突起３５が接触しており、従って、前記ヘッド搭載領域４３は前記突起３５を支点としてロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。
前記フレクシャ部４０は、前記ヘッド搭載領域４３がロール方向及びピッチ方向に揺動し得るように、前記ロードビーム部３０よりも低剛性とされる。
前記フレクシャ部４０は、例えば、厚さ０．０１ｍｍ〜０．０２５ｍｍ程度のステンレス板によって好適に形成される。
【００４０】
なお、本実施の形態においては、前記フレクシャ部４０には、前記磁気ヘッドスライダに書き込み信号及び／又は読み取り信号を伝達する為の信号配線がプリント回路として一体的に備えられている。
即ち、前記フレクシャ部４０は、前記本体領域４１，前記一対の支持片４２及び前記ヘッド搭載領域４３を一体的に有するフレクシャ金属基板４００と、前記フレクシャ金属基板４００に積層されたフレクシャ配線体４１０とを有している。
前記フレクシャ配線体４１０は、前記フレクシャ金属基板４００におけるディスク面との対向面に積層された絶縁層４１１（図３参照）と、前記絶縁層４１１におけるディスク面との対向面に積層された信号配線４１２（図２(b)参照）と、前記信号配線４１２を囲繞する保護層（図示せず）とを有し得る。
【００４１】
本実施の形態においては、前記フレクシャ金属基板４００は、図２(b)に示すように、前記ロードビーム部３０の前記本体領域３１，前記支持部１０の前記先端領域１２及び前記支持部１０の前記基端領域１１にそれぞれ溶接によって接合されている。
【００４２】
図４に、前記一対の圧電部材６０をディスク面とは反対側である上方から視た斜視図を示す。
又、図５(a)及び(b)に、それぞれ、前記圧電部材６０の上面図（ディスク面とは反対側から視た平面図）及び側面図を示す。
【００４３】
図４及び図５に示すように、前記圧電部材６０は、ＰＺＴ（チタン酸ジリコン酸鉛）からなる圧電本体６１と、電圧供給側電極層６５と、接地側電極層６６とを有している。
前記圧電本体６１は、例えば厚さ０．０５ｍｍ〜０．３ｍｍとされ、前記電極層６５，６６は、例えば厚さ０．０５μｍ〜数μｍのＡｇやＡｕによって形成される。
【００４４】
前記一対の圧電部材６０は、先端部及び基端部が前記支持部１０の前記先端領域１２及び前記基端領域１１にそれぞれ連結された状態で、サスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように配置されている。
【００４５】
即ち、前記一対の圧電部材６０は、前記電圧供給側電極層６５及び前記接地側電極層６６の間への電圧印可に応じて一方が伸長し且つ他方が短縮し、これにより、前記先端領域１２を前記基端領域１１に対してシーク方向へ移動させて、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させ得るようになっている。
【００４６】
本実施の形態においては、前記電圧供給側電極層６５は、前記圧電本体６１における前記ディスク面に近接する側の下面に配設されている。
これは、前記電圧供給側電極層６５への電圧供給構造の簡略化を図る為である。
【００４７】
即ち、図２(b)及び図３に示すように、前記フレクシャ部４０は、前記構成要素に加えて、さらに、前記絶縁層４１１におけるディスク面との対向面に積層された電圧供給配線４１５を有している。
【００４８】
図６に、前記一対の圧電部材６０を取り外した状態の前記磁気ヘッドサスペンションの上面図を示す。
図３及び図６に示すように、本実施の形態においては、前記電圧供給配線４１５は、一端部が前記絶縁層４１１に形成された開口を介して前記電圧供給側電極層６５と対向しており、前記一端部が導電性接着剤９５を介して前記電圧供給側電極層６５に電気的に接続されている。
なお、図３及び図６中の符号９６は、前記導電性接着剤６５の広がりを抑制するために前記開口の一部又は全部を囲繞する部材であり、例えば、金属によって形成される。
【００４９】
一方、前記接地側電極層６６は、図３及び図５(b)に示すように、前記圧電本体６１のディスク面とは反対側の上面に配設されている。
本実施の形態においては、前記接地側電極層６６は、図１，図２(a)及び図３に示すように、導電性接着剤９７を介して前記支持部１０（図示の形態においては前記先端領域１２）に電気的に接続されている。
【００５０】
さらに、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１は、前記電圧供給側電極層６５の短絡を有効に防止する為に下記構成を備えている。
【００５１】
即ち、図３及び図５(b)に示すように、前記電圧供給側電極層６５は、前記圧電本体６１の前記下面が先端側及び基端側においては露出して先端側露出面６１Ｆ及び基端側露出面６１Ｒを形成するように、前記圧電本体６１の前記下面に設けられている。
【００５２】
一方、前記支持部１０には、前記電圧供給側電極層６５がディスク面と対向し且つ該電圧供給側電極層６５が平面視において前記開口領域１３内に位置するように前記圧電部材６０を所定の装着位置に位置させた際に、前記先端側露出面６１Ｆ及び前記基端側露出面６１Ｒとそれぞれ対向する先端側支持面１０Ｆ及び基端側支持面１０Ｒが設けられている。
【００５３】
本実施の形態においては、図３に示すように、前記先端領域１２の上面のうち前記開口領域１３に隣接する部分が前記先端側支持面１０Ｆとして作用し、前記基端領域１１の上面のうち前記開口領域１３に隣接する部分が前記基端側支持面１０Ｒとして作用している。
【００５４】
そして、図３に示すように、前記圧電部材６０は、前記先端側露出面６１Ｆと前記先端側支持面１０Ｆとの間、及び、前記基端側露出面６１Ｒと前記基端側支持面１０Ｒとの間にそれぞれ介挿された絶縁性接着剤９０Ｆ，９０Ｒを介して前記支持部１０に直接又は間接的に固着されている。
【００５５】
このように、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１においては、前記圧電本体６１の下面のうち先端側及び基端側には前記電圧供給側電極層６５が存在しない前記先端側露出面６１Ｆ及び前記基端側露出面６１Ｒが設けられ、前記先端側露出面６１Ｆ及び前記基端側露出面６１Ｒが前記支持部１０の前記先端側支持面１０Ｆ及び前記基端側支持面１０Ｒに絶縁性接着剤９０Ｆ，９０Ｒを介して固着されている。
斯かる構成によれば、前記電圧供給側電極層６５が前記支持部１０に意に反して接触して短絡することを有効に防止できる。
【００５６】
さらに、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１は下記構成を備えている。
即ち、図３及び図４等に示すように、前記圧電本体６１は、厚肉部６２と、前記厚肉部６２からサスペンション長手方向先端側及び基端側へ延びる先端側薄肉部６３Ｆ及び基端側薄肉部６３Ｒとを有している。
前記厚肉部６２は、厚み方向に関し前記薄肉部６３Ｆ，６３Ｒと略同一位置に位置するベース領域６２（１）と、前記ベース領域６２（１）より厚み方向一方側へ延びる膨出領域６２（２）とを含んでいる。
【００５７】
斯かる構成の前記圧電本体６１に対して、前記電圧供給側電極層６５は、前記先端側薄肉部６３Ｆ及び前記基端側薄肉部６３Ｒの厚み方向一方側の表面が前記先端側露出面６１Ｆ及び前記基端側露出面６１Ｒとして作用するように前記膨出領域６２（２）の厚み方向一方側の表面にのみ設けられている。
【００５８】
そして、前記先端側薄肉部６３Ｆの厚み方向一方側の表面が前記絶縁性接着剤９０Ｆを介して前記支持部１０の前記先端領域１２の上面に固着され且つ前記基端側薄肉部６３Ｒの厚み方向一方側の表面が前記絶縁性接着剤９０Ｒを介して前記支持部１０の前記基端領域１１の上面に固着されることで、前記膨出領域６２（２）が厚み方向に関し前記開口領域１３内に位置し且つ前記電圧供給側電極層６５がディスク面に近接する側に位置する状態で前記圧電部材６０が前記支持部１０に装着されている。
【００５９】
斯かる構成を備えた前記磁気ヘッドサスペンション１によれば、前記一対の圧電部材６０の少なくとも一部を厚み方向に関し前記開口領域１３内に位置させつつ、前記支持部１０に対する前記一対の圧電部材６０の装着位置に関する精度を向上させることができる。
【００６０】
即ち、前記一対の圧電部材６０の伸縮動作は前記先端領域１２を前記基端領域１１に対して前記ディスク面に平行な方向へ揺動させる力として前記先端領域１２へ伝達され、前記先端領域１２が前記ディスク面に平行な方向へ揺動することによって前記磁気ヘッドスライダがシーク方向へ移動する。
従って、前記一対の圧電部材６０の伸縮動作を前記先端領域１２に効率的に伝達させるという観点においては、前記一対の圧電部材６０は厚み方向に関し可及的に前記開口領域１３内に位置させることが望ましい。
【００６１】
又、前記圧電部材６０の前記支持部１０への装着作業は、前記圧電部材６０を吸引保持した状態で前記圧電部材６０を所定の装着位置へ移動させることができ、さらに、その後に吸引保持を解除して前記圧電部材６０を前記支持部１０の所定装着位置に載置させることができるコレットを用いて行われる。
【００６２】
詳しくは、テーパ状の位置決め面５１０Ａを有するコレット５００Ａ（図７(a)参照）又は水平面及び垂直面によって画される位置決め面５１０Ｂを有するコレット５００Ｂ（図７(b)参照）によって前記圧電部材６０を吸引保持して前記圧電部材６０を前記支持部１０の所定装着位置まで移動させ、その後に、吸引を解除することで前記圧電部材６０を前記絶縁性接着剤９０Ｆ，９０Ｒが塗布されている前記支持部１０の所定装着位置に載置させて固着させる。
【００６３】
従って、前記圧電部材６０を前記装着位置に正確に位置させる為には、前記圧電部材６０が前記コレット５００Ａ，５００Ｂによって保持される際の保持位置を正確に制御する必要がある。
【００６４】
この点に関し、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１においては、前記膨出領域６２（２）を厚み方向に関し前記開口領域１３内に位置させた状態を基準にして、図３及び図７に示すように、前記先端側薄肉部６３Ｆの上面及びサスペンション長手方向先端側を向く先端面が交差する先端側上方エッジ６４Ｆは前記先端領域１２の上面より上方（前記ディスク面から離間された側）に位置し、且つ、前記基端側薄肉部６３Ｒの上面及びサスペンション長手方向基端側を向く基端面が交差する基端側上方エッジ６４Ｒは前記基端領域１１の上面より上方（前記ディスク面から離間された側）に位置している。
【００６５】
従って、前記先端側上方エッジ６４Ｆ及び前記基端側上方エッジ６４Ｒを前記コレットの位置決め面５１０Ａ，５１０Ｂによって位置決めされる部位として利用しつつ、前記膨出領域６２（２）を厚み方向に関し前記開口領域１３内に位置させることができる。
【００６６】
図８(a)〜(d)に、前記圧電部材６０の製造方法の一例のフロー図を示す。
図８(a)に示す第１工程において前記圧電本体６１を形成するウエハ１６１を用意する。
図８(b)に示す第２工程においては、前記ウエハ１６１の両端面のうち前記圧電本体６１の下面に相当する第１端面に前記電圧供給側電極層６５を形成する第１導電性部材１６５をスパッタリング又は蒸着により設け、前記ウエハ１６１の両端面のうち前記圧電本体６１の上面に相当する第２端面に前記接地側電極層６６を形成する第２導電性部材１６６をスパッタリング又は蒸着により設ける。
【００６７】
なお、本実施の形態においては、前記接地側電極層６６は、図５(b)に示すように、前記圧電本体６１の上面の全域ではなく、前記電圧供給側電極層６５と対向する領域（即ち、前記厚肉部６２の上面）にのみ設けられている。
従って、前記第２工程における前記第２導電性部材１６６の形成は、前記接地側電極層６６が不要な領域をマスクで覆った状態で行われる。
【００６８】
次いで、図８(c)に示す第３工程において、前記ウエハ１６１の前記第１端面の側からダイシングを行って、前記先端側薄肉部６３Ｆ及び前記基端側薄肉部６３Ｒに相当する薄肉部１６３を介して複数の圧電部材６０が連結されてなる圧電部材集合体１６０を形成する。
【００６９】
そして、図８(d)に示す第４工程において、前記薄肉部１６３を切断して前記圧電部材集合体１６０から複数の前記圧電部材６０を形成する。
【００７０】
なお、本実施の形態においては、前述の通り、前記圧電部材６０は、前記圧電本体６１の上面のうち前記電圧供給側電極層６５と対向する領域にのみ前記接地側電極層６６を有している。
従って、前記第２工程においては、前記圧電本体６１の上面に相当する前記ウエハ１６１の前記第２端面に前記マスクを配置させてから、前記接地側電極層６６を形成する前記第２導電性部材１６６を前記ウエハ１６１の前記第２端面に蒸着又はスパッタリングによって設けている。
【００７１】
前記圧電部材６０に代えて、前記接地側電極層６６が前記圧電本体６１の上面の全域に設けられている圧電部材６０’を採用することも可能である。
図９(a)〜(d)に、前記圧電部材６０’の製造方法の一例のフロー図を示す。
図９(b)に示すように、前記圧電部材６０’の製造方法においては前記第２工程のマスキングが削除される。
【００７２】
実施の形態２
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１０に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション２をディスク面とは反対側である上方から視た斜視図を示す。
又、図１１(a)及び(b)に、それぞれ、前記磁気ヘッドサスペンション２の上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）及び下面図（ディスク面側から見た底面図）を示す。 さらに、図１２に、図１１(a)におけるXII-XII線に沿った断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１におけると同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００７３】
本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション２は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１を基準にして、前記一対の圧電部材６０に代えて一対の圧電部材６０Ｂを有している。
【００７４】
図１３に、前記一対の圧電部材６０Ｂをディスク面とは反対側である上方から視た斜視図を示す。
又、図１４(a)及び(b)に、それぞれ、前記圧電部材６０Ｂの上面図（ディスク面とは反対側から視た平面図）及び側面図を示す。
【００７５】
前記圧電部材６０Ｂは、図１３及び図１４に示すように、圧電本体６１と電圧供給側電極層６５と接地側電極層６６とを有する点、前記圧電本体６１が厚肉部６２と前記厚肉部６２からサスペンション長手方向先端側へ延びる先端側薄肉部６３Ｆと前記厚肉部６２からサスペンション長手方向基端側へ延びる基端側薄肉部６３Ｒとを有している点、並びに、前記厚肉部６２が厚み方向に関し前記薄肉部６３Ｆ，６３Ｒと略同一位置に位置するベース領域６２（１）と前記ベース領域６２（１）より厚み方向一方側へ延びる膨出領域６２（２）とを含む点において、前記実施の形態１における前記圧電部材６０と共通する。
【００７６】
他方、前記圧電部材６０Ｂは、図１３及び図１４に示すように、前記電圧供給側電極層６５が前記圧電本体６１の厚み方向他方側の表面（即ち、前記膨出領域６２（２）とは反対側の表面）に設けられている点、並びに、前記先端側薄肉部６３Ｆ及び前記基端側薄肉部６３Ｒの厚み方向他方側の表面の少なくとも一部が前記先端側露出面６１Ｆ及び前記基端側露出面６１Ｒとして作用する点において、前記実施の形態１における前記圧電部材６０と相違している。
【００７７】
即ち、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション２においては、図１２に示すように、前記圧電部材６０Ｂは、前記膨出領域６２（２）が前記ベース領域６２（１）よりもディスク面から離間される側（即ち、上方側）に位置する状態で、平面視において全体が前記支持部１０の前記開口領域１３内に位置するように前記支持部１０に装着されている。
【００７８】
つまり、本実施の形態においては、前記圧電本体６１の厚み方向他方側の表面が前記ディスク面に近接する状態で（即ち、前記ベース領域６２（１）が前記ディスク面に対向する状態で）、前記圧電部材６０Ｂの全体が平面視において前記開口領域１３内に位置されている。
【００７９】
斯かる構成の前記磁気ヘッドサスペンション２においては、前記圧電本体６１の前記先端側薄肉部６３Ｆ及び前記基端側薄肉部６３Ｒの厚み方向他方側の表面の少なくとも一部が前記先端側露出面６１Ｆ及び前記基端側露出面６１Ｒとして作用する。
即ち、前記電圧供給側電極層６５は、前記先端側薄肉部６３Ｒ及び前記基端側薄肉部６３Ｒの厚み方向他方側の表面の少なくとも一部が前記先端側露出面６１Ｆ及び前記基端側露出面６１Ｒとして作用するように前記圧電本体６１の厚み方向他方側の表面に設けられている。
【００８０】
一方、前記支持部１０の前記先端領域１２にはディスク面とは反対側の上方及び前記開口領域１３の双方に開く先端側受け部１９Ｆが設けられ、前記支持部１０の前記基端領域１１にはディスク面とは反対側の上方及び前記開口領域１３の双方に開く基端側受け部１９Ｒが設けられている。
【００８１】
図１５(a)及び(b)に、それぞれ、前記一対の圧電部材６０Ｂを取り外した状態の前記磁気ヘッドサスペンション２の上面図及び下面図を示す。
図１２及び図１５に示すように、本実施の形態においては、前記支持部１０には、少なくとも一部が平面視において前記開口領域１３内に位置した状態で前記先端領域１２の基端側エッジ近傍に位置するように前記支持部１０の下面（ディスク面との対向面）に固着された先端側支持プレート１２０と、少なくとも一部が平面視において前記開口領域１３内に位置した状態で前記基端領域１１の先端側エッジ近傍に位置するように前記支持部１０の下面（ディスク面との対向面）に固着された基端側支持プレート１１０とが設けられている。
【００８２】
前記先端側支持プレート１２０は前記先端領域１２と共働して前記先端側受け部１９Ｆを形成している。
即ち、図１２に示すように、本実施の形態においては、前記先端側支持プレート１２０の上面（ディスク面とは反対側の面）と前記先端領域１２のサスペンション長手方向基端側を向く端面とによって前記先端側受け部１９Ｆが形成されている。
【００８３】
前記基端側支持プレート１１０は前記基端領域１１と共働して前記基端側受け部１９Ｒを形成している。
即ち、図１２に示すように、本実施の形態においては、前記基端側支持プレート１１０の上面（ディスク面とは反対側の面）と前記基端領域１１のサスペンション長手方向先端側を向く端面とによって前記基端側受け部１９Ｒが形成されている。
【００８４】
なお、本実施の形態においては、図１５(b)に示すように、前記先端側支持プレート１２０は、前記ロードビーム部３０及び前記荷重曲げ部２０と一体形成されている。
即ち、前記磁気ヘッドサスペンション２は、前記ロードビーム部３０，前記荷重曲げ部２０及び前記先端側支持プレート１２０を一体形成するロードビーム部／荷重曲げ部／先端側支持プレート形成部材を有している。
【００８５】
一方、前記基端側支持プレート１１０は、図１５(b)に示すように、前記支持部１０を形成する前記第２支持部形成板１０（２）に一体形成されている。
【００８６】
なお、本実施の形態においては、前述の通り、前記支持部１０に前記先端側支持プレート１２０及び前記基端側支持プレート１１０を備え、前記先端領域１２のサスペンション長手方向基端側を向く端面と前記先端側支持プレート１２０の上面とによって前記先端側受け部１９Ｆを形成し、且つ、前記基端領域１１のサスペンション長手方向先端側を向く端面と前記基端側支持プレート１１０の上面とによって前記基端側受け部１９Ｒを形成しているが、本発明は斯かる形態に限定されるものではない。
【００８７】
即ち、図示は省略するが、前記先端領域１２の上面とサスペンション長手方向基端側を向く基端面とが交差する基端側上方エッジを含む領域を切り欠く先端側切り欠き部を形成し、且つ、前記基端領域１１の上面とサスペンション長手方向先端側を向く先端面とが交差する先端側上方エッジを含む領域を切り欠く基端側切り欠き部を形成して、前記先端側切り欠き部及び前記基端側切り欠き部によって前記先端側受け部１９Ｆ及び前記基端側受け部１９Ｒを形成することも可能である。
【００８８】
斯かる構成の前記支持部１０に対して、図１２に示すように、前記先端側露出面６１Ｆとして作用する前記先端側薄肉部６３Ｆの厚み方向他方側の表面が前記絶縁性接着剤９０Ｆを介して前記先端側支持面１０Ｆとして作用する前記先端側受け部１９Ｆの上面に固着され、且つ、前記基端側露出面６１Ｒとして作用する前記基端側薄肉部６３Ｒの厚み方向他方側の表面が前記絶縁性接着剤９０Ｒを介して前記基端側支持面１０Ｒとして作用する前記基端側受け部１９Ｒの上面に固着されている。
斯かる構成を備えた前記磁気ヘッドサスペンション２によれば、前記実施の形態１におけると同様に、前記電圧供給側電極層６５の短絡を有効に防止できる。
【００８９】
さらに、前記磁気ヘッドサスペンション２においては、図１２に示すように、前記圧電部材６０Ｂを装着位置に位置させた状態において、前記膨出領域６２（２）の先端側上方エッジ６２Ｆ及び基端側上方エッジ６２Ｒが前記先端領域１２の基端側上方エッジ及び前記基端領域の先端側上方エッジからそれぞれ離間されることになる。
【００９０】
斯かる構成によれば、図１２，図１６(a)及び(b)に示すように、前記膨出領域６２（２）の上面及びサスペンション長手方向先端側を向く先端面が交差する前記先端側上方エッジ６２Ｆと前記膨出領域６２の上面及びサスペンション長手方向基端側を向く基端面が交差する前記基端側上方エッジ６２Ｒとを前記コレット５００Ａ，５００Ｂの前記位置決め面５１０Ａ，５１０Ｂによって位置決めされる部位として利用しつつ、前記コレット５００Ａ，５００Ｂによって吸引保持された状態で前記圧電部材６０Ｂを厚み方向に関し可及的に前記開口領域１３内に位置させることができる。
【００９１】
従って、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション２においても、前記実施の形態１におけると同様に、前記一対の圧電部材６０Ｂを厚み方向に関し可及的に前記開口領域１３内に位置させつつ前記支持部１０に対する前記一対の圧電部材６０Ｂの装着位置に関する精度を向上させることができる。
【００９２】
なお、前記各実施の形態においては、前記一対の圧電部材６０（６０Ｂ）は互いに対して別体とされているが、本発明は斯かる形態に限定されるものではない。
即ち、前記一対の圧電部材６０（６０Ｂ）を単一の圧電部材形成体によって一体形成することも可能である。
【００９３】
図１７(a)〜(c)に、それぞれ、第１例に係る圧電部材形成体６００の下方斜視図，側面図及び下面図を示す。
図１７に示すように、前記第１例に係る圧電部材形成体６００は、前記一対の圧電部材６０（６０Ｂ）における前記圧電本体６１を一体的に有する圧電本体形成体６１０と、前記一対の圧電部材６０（６０Ｂ）における前記電圧供給側電極層６５を形成する電圧供給側電極層形成体６５０と、前記一対の圧電部材６０（６０Ｂ）における前記接地側電極層６６を形成する接地側電極層形成体６６０とを含んでいる。
【００９４】
前記電圧供給側電極層形成体６５０及び前記接地側電極層形成体６６０の少なくとも一方（図示の形態においては前記電圧供給側電極層形成体６５０）は、サスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称に配置され且つ互いに対して電気的に分離された一対の電極板６７１，６７２であって、前記一対の圧電部材６０（６０Ｂ）の対応する電極層（図示の形態においては前記電圧供給側電極層６５）をそれぞれ形成する一対の電極板６７０を有している。
このように、前記一対の圧電部材６０（６０Ｂ）が一体化された前記圧電部材形成体６００を用いることにより、製造プロセスの簡略化を図ることができる。
【００９５】
なお、前記電圧供給側電極層形成体６５０及び前記接地側電極層形成体６６０の他方（図示の形態においては前記接地側電極層６６０）は、単一の電極板を有することも可能であるし、若しくは、サスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称に配置され且つ互いに対して電気的に分離された一対の電極板であって、前記一対の圧電部材の対応する電極層（図示の形態においては前記接地側電極層６６）をそれぞれ形成する一対の電極板を有することも可能である。
【００９６】
好ましくは、前記圧電本体形成体６１０のうち一方の前記圧電部材６０（６０Ｂ）の前記圧電本体６１を形成する部分の分極方向と他方の前記圧電部材６０（６０Ｂ）の前記圧電本体６１を形成する部分の分極方向とを異ならせることができる。
斯かる好ましい構成によれば、前記一対の圧電部材６０（６０Ｂ）の前記電圧供給側電極層６５に同一電圧を印可することで前記一対の圧電部材６０（６０Ｂ）の一方を伸長動作させ、他方を圧縮動作させることができる。
【００９７】
図１８(a)〜(d)に、それぞれ、第２例に係る圧電部材形成体７００の下方斜視図，上面図，側面図及び下面図を示す。
図１８に示すように、前記第２例に係る前記圧電部材形成体７００は、接地配線７１０を有している点において、前記第１例に係る前記圧電部材形成体６００と相違している。
【００９８】
詳しくは、前記接地配線７１０は、一端部が前記圧電部材形成体７００の上面（ディスク面とは反対側の面）に配設された前記接地側電極層形成体６６０に電気的に接続され且つ他端部が前記圧電部材形成体７００の下面（ディスク面と対向する面）に配設された接地端子７１５を形成している。
【００９９】
前記第２例に係る前記圧電部材形成体７００によれば、前記電圧供給側電極層６５に電圧を供給する為の電気接続構造及び前記接地側電極層６６を接地させる為の電気接続構造の双方を前記圧電部材形成体７００の下面（ディスク面に対向する面）側に設けることができ、これにより、前記電気接続構造の簡略化を図ることができる。
【０１００】
図１８に示すように、前記第２例に係る前記圧電部材形成体７００においては、前記電圧供給側電極層形成体６５０は、サスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称に配置され且つ互いに対して電気的に分離された一対の電圧供給側電極板６５１，６５２であって、前記一対の圧電部材６０（６０Ｂ）の前記電圧供給側電極層６５をそれぞれ形成する一対の電圧供給側電極板６５１，６５２を有している。
【０１０１】
斯かる構成においては、好ましくは、前記接地端子７１５はサスペンション幅方向に関し前記一対の電圧供給側電極板６５１，６５２の間に配置される。
斯かる構成によれば、前記接地端子７１５に接続される接地用の電気接続構造の存在が、前記一対の圧電部材６０（６０Ｂ）の伸縮動作による前記磁気ヘッドスライダのシーク方向への移動特性を阻害することを有効に防止できる。
【０１０２】
前記第２例に係る前記圧電部材形成体７００においては、図１８(a)及び(d)に示すように、前記接地配線７１０のうち前記圧電部材形成体７００の下面に位置する部分は、前記先端側露出面６１Ｆ又は前記基端側露出面６１Ｒを利用してサスペンション幅方向に延びている。
斯かる構成によれば、前記圧電部材形成体７００を大型化させることなく、前記接地端子７１５をサスペンション幅方向に関し前記一対の電圧供給側電極板６５１，６５２の間に位置させることができる。
【符号の説明】
【０１０３】
１，２ 磁気ヘッドサスペンション
１０ 支持部
１０Ｆ 先端側支持面
１０Ｒ 基端側支持面
１１ 基端領域
１２ 先端領域
１３ 開口領域
１４ 連結梁
２０ 荷重曲げ部
３０ ロードビーム部
４０ フレクシャ部
６０，６０’，６０Ｂ 圧電部材
６１ 圧電本体
６１Ｆ 先端側露出面
６１Ｒ 基端側露出面
６２ 厚肉部
６２（１） ベース領域
６２（２） 膨出領域
６３Ｆ 先端側薄肉部
６３Ｒ 基端側薄肉部
６５ 電圧供給側電極層
６６ 接地側電極層
９０Ｆ，９０Ｒ 絶縁性接着剤
９６ 絶縁層の開口を囲繞する部材
４００ フレクシャ金属基板
４１０ フレクシャ配線体
４１１ 絶縁層
４１２ 信号配線
４１５ 電圧供給配線
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにシーク方向へ揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着された左右一対の圧電部材とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域及び前記先端領域の間に位置する開口領域と、前記開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する左右一対の連結梁とを有し、
前記一対の圧電部材の各々は、圧電本体と、前記圧電本体における前記ディスク面に近接する側の下面に設けられた電圧供給側電極層と、前記圧電本体における前記ディスク面とは反対側の上面に設けられた接地側電極層とを有し、
前記圧電本体は、厚肉部と、前記厚肉部からサスペンション長手方向先端側及び基端側へ延びる先端側薄肉部及び基端側薄肉部とを有し、
前記厚肉部は、厚み方向に関し前記薄肉部と略同一位置に位置するベース領域と、前記ベース領域より前記ディスク面に近接する厚み方向一方側へ延びる膨出領域とを含み、
前記電圧供給側電極層は、前記先端側薄肉部及び前記基端側薄肉部の下面が露出して先端側露出面及び基端側露出面を形成するように前記膨出領域の下面に設けられており、
前記一対の圧電部材は、前記電圧供給側電極層が前記ディスク面に近接する側に位置し且つ前記膨出領域が厚み方向に関し前記開口領域内に位置しつつ、前記先端側露出面及び前記基端側露出面が前記先端領域及び前記基端領域のディスク面とは反対側の上面のうち少なくとも前記開口領域に隣接する先端側支持面及び基端側支持面と対向した状態で、前記先端側露出面と前記先端側支持面との間、及び、前記基端側露出面と前記基端側支持面との間に介挿された絶縁性接着剤を介して前記支持部に固着されていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２】
磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにシーク方向へ揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着された左右一対の圧電部材とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域及び前記先端領域の間に位置する開口領域と、前記開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する左右一対の連結梁とを有し、
前記一対の圧電部材の各々は、圧電本体と、前記圧電本体における前記ディスク面に近接する側の下面に設けられた電圧供給側電極層と、前記圧電本体における前記ディスク面とは反対側の上面に設けられた接地側電極層とを有し、
前記電圧供給側電極層は、前記圧電本体の前記下面の先端側及び基端側が露出して先端側露出面及び基端側露出面を形成するように、前記圧電本体の前記下面に設けられ、
前記支持部には、前記電圧供給側電極層がディスク面と対向した状態で該電圧供給側電極層が平面視において前記開口領域内に位置するように前記圧電部材を所定の装着位置に位置させた際に、前記先端側露出面及び前記基端側露出面とそれぞれ対向する先端側支持面及び基端側支持面が設けられており、
前記圧電部材は、前記先端側露出面と前記先端側支持面との間、及び、前記基端側露出面と前記基端側支持面との間に介挿された絶縁性接着剤を介して前記支持部に直接又は間接的に固着されており、
前記フレクシャ部は、フレクシャ金属基板と前記フレクシャ金属基板に積層されたフレクシャ配線体とを有し、
前記フレクシャ配線体は、前記フレクシャ金属基板におけるディスク面との対向面に積層された絶縁層と前記絶縁層におけるディスク面との対向面に積層された信号配線と前記信号配線を囲繞する保護層と前記絶縁層におけるディスク面との対向面に積層された電圧供給配線とを含み、
前記電圧供給配線は、一端部が前記絶縁層に形成された開口を介して前記電圧供給側電極層と対向し、前記一端部が導電性接着剤を介して前記電圧供給側電極層に電気的に接続されており、
前記絶縁層のディスク面とは反対側には前記開口を囲繞する部材が設けられていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１】
磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにシーク方向へ揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着された左右一対の圧電部材とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域及び前記先端領域の間に位置する開口領域と、前記開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する左右一対の連結梁とを有し、
前記一対の圧電部材の各々は、圧電本体と、前記圧電本体における前記ディスク面に近接する側の下面に設けられた電圧供給側電極層と、前記圧電本体における前記ディスク面とは反対側の上面に設けられた接地側電極層とを有し、
前記圧電本体は、厚肉部と、前記厚肉部からサスペンション長手方向先端側及び基端側へ延びる先端側薄肉部及び基端側薄肉部とを有し、
前記厚肉部は、厚み方向に関し前記薄肉部と略同一位置に位置するベース領域と、前記ベース領域より前記ディスク面に近接する厚み方向一方側へ延びる膨出領域とを含み、
前記電圧供給側電極層は、前記先端側薄肉部及び前記基端側薄肉部の下面が露出して先端側露出面及び基端側露出面を形成するように前記膨出領域の下面に設けられており、
前記一対の圧電部材は、前記電圧供給側電極層が前記ディスク面に近接する側に位置し且つ前記膨出領域が厚み方向に関し前記開口領域内に位置しつつ、前記先端側露出面及び前記基端側露出面が前記先端領域及び前記基端領域のディスク面とは反対側の上面のうち少なくとも前記開口領域に隣接する先端側支持面及び基端側支持面と対向した状態で、前記先端側露出面と前記先端側支持面との間、及び、前記基端側露出面と前記基端側支持面との間に介挿された絶縁性接着剤を介して前記支持部に固着されていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２】
磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにシーク方向へ揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着された左右一対の圧電部材とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域及び前記先端領域の間に位置する開口領域と、前記開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する左右一対の連結梁とを有し、
前記一対の圧電部材の各々は、圧電本体と、前記圧電本体における前記ディスク面に近接する側の下面に設けられた電圧供給側電極層と、前記圧電本体における前記ディスク面とは反対側の上面に設けられた接地側電極層とを有し、
前記電圧供給側電極層は、前記圧電本体の前記下面の先端側及び基端側が露出して先端側露出面及び基端側露出面を形成するように、前記圧電本体の前記下面に設けられ、
前記支持部には、前記電圧供給側電極層がディスク面と対向した状態で該電圧供給側電極層が平面視において前記開口領域内に位置するように前記圧電部材を所定の装着位置に位置させた際に、前記先端側露出面及び前記基端側露出面とそれぞれ対向する先端側支持面及び基端側支持面が設けられており、
前記圧電部材は、前記先端側露出面と前記先端側支持面との間、及び、前記基端側露出面と前記基端側支持面との間に介挿された絶縁性接着剤を介して前記支持部に直接又は間接的に固着されており、
前記フレクシャ部は、フレクシャ金属基板と前記フレクシャ金属基板に積層されたフレクシャ配線体とを有し、
前記フレクシャ配線体は、前記フレクシャ金属基板におけるディスク面との対向面に積層された絶縁層と前記絶縁層におけるディスク面との対向面に積層された信号配線と前記信号配線を囲繞する保護層と前記絶縁層におけるディスク面との対向面に積層された電圧供給配線とを含み、
前記電圧供給配線は、一端部が前記絶縁層に形成された開口を介して前記電圧供給側電極層と対向し、前記一端部が導電性接着剤を介して前記電圧供給側電極層に電気的に接続されており、
前記絶縁層のディスク面とは反対側には前記開口を囲繞する部材が設けられていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【公開番号】特開２０１２−３８４１７（Ｐ２０１２−３８４１７Ａ）
【公開日】平成２４年２月２３日（２０１２．２．２３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２５３４７４（Ｐ２０１１−２５３４７４）
【出願日】平成２３年１１月２１日（２０１１．１１．２１）
【分割の表示】特願２００９−２２５８０８（Ｐ２００９−２２５８０８）の分割
【原出願日】平成２１年９月３０日（２００９．９．３０）
【出願人】（０００１７５７２２）サンコール株式会社 (96)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年２月２３日（２０１２．２．２３）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１１月２１日（２０１１．１１．２１）
【分割の表示】特願２００９−２２５８０８（Ｐ２００９−２２５８０８）の分割
【原出願日】平成２１年９月３０日（２００９．９．３０）
【出願人】（０００１７５７２２）サンコール株式会社 (96)
【Ｆターム（参考）】
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