【課題】屈折率が高く、組成物の塗布後の塗布面状の経時変化が小さく、かつ、現像処理後の屈折率の低下が小さい膜を形成できる組成物、並びに、これを用いた透明膜、マイクロレンズ、固体撮像素子、透明膜の製造方法、マイクロレンズの製造方法、及び、固体撮像素子の製造方法を提供する。
【解決手段】 金属酸化物粒子（Ａ）としての酸化チタン粒子又は酸化ジルコニウム粒子と、ベンジル（メタ）アクリレートから誘導される繰り返し単位を含有するバインダーポリマー（Ｆ）と、界面活性剤（Ｇ）とを含有する組成物であって、前記界面活性剤（Ｇ）の含有量が前記組成物の全固形分に対して０．００１０質量％〜３．０質量％である組成物。

【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属酸化物粒子（Ａ）としての酸化チタン粒子又は酸化ジルコニウム粒子と、ベンジル（メタ）アクリレートから誘導される繰り返し単位を含有するバインダーポリマー（Ｆ）と、界面活性剤（Ｇ）とを含有する組成物であって、前記界面活性剤（Ｇ）の含有量が前記組成物の全固形分に対して０．００１０質量％〜３．０質量％である組成物。
【請求項２】
前記界面活性剤（Ｇ）がフッ素系界面活性剤又はノニオン系界面活性剤である請求項１に記載の組成物。
【請求項３】
前記界面活性剤（Ｇ）の含有量が前記組成物の全固形分に対して０．５０質量％〜３．０質量％である請求項１又は２に記載の組成物。
【請求項４】
前記金属酸化物粒子（Ａ）として酸化チタン粒子を含有する請求項１〜３のいずれか１項に記載の組成物。
【請求項５】
前記バインダーポリマー（Ｆ）が更に（メタ）アクリレートから誘導される繰り返し単位を含有する請求項１〜４のいずれか１項に記載の組成物。
【請求項６】
前記バインダーポリマー（Ｆ）がエチレンオキサイド基を有する請求項１〜５のいずれか１項に記載の組成物。
【請求項７】
前記バインダーポリマー（Ｆ）が更にエチレンオキサイド基を含有するアルキル（メタ）アクリレートから誘導される繰り返し単位及びイソブチル（メタ）アクリレートから誘導される繰り返し単位の両方を含有する請求項１〜６のいずれか１項に記載の組成物。
【請求項８】
マイクロレンズ形成用である請求項１〜７のいずれか１項に記載の組成物。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載の組成物を用いて形成された透明膜。
【請求項１０】
請求項９に記載の透明膜を用いて形成されたマイクロレンズ。
【請求項１１】
前記透明膜をドライエッチングすることにより形成された請求項１０に記載のマイクロレンズ。
【請求項１２】
請求項１０又は１１に記載のマイクロレンズを有する固体撮像素子。
【請求項１３】
請求項１〜８のいずれか１項に記載の組成物をウエハ上に塗布する工程、
続く第一の加熱工程、及び
更に続いて前記第一の加熱工程における加熱温度より高い温度での第二の加熱工程を有する、透明膜の製造方法。
【請求項１４】
請求項９に記載の透明膜をポストベーク処理し整形する工程、及び更にドライエッチング工程を有する、マイクロレンズの製造方法。
【請求項１５】
少なくともフォトダイオード、遮光膜、及びデバイス保護膜を有する固体撮像素子用基板に、赤色画素、青色画素、及び緑色画素を形成する工程、
請求項１〜８のいずれか１項に記載の組成物を塗布し加熱する工程、
レジストパターンを形成する工程、
ポストベーク処理し、形成したレジストパターンをレンズ状の形状に整形する工程、及び
ドライエッチング工程、
を有する、固体撮像素子の製造方法。

【公開番号】特開２０１２−２５５１２８（Ｐ２０１２−２５５１２８Ａ）
【公開日】平成２４年１２月２７日（２０１２．１２．２７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１９０１８０（Ｐ２０１１−１９０１８０）
【出願日】平成２３年８月３１日（２０１１．８．３１）
【出願人】（３０６０３７３１１）富士フイルム株式会社 (25,513)
【Ｆターム（参考）】