表示装置の製造方法および表示装置
【課題】有機層の厚みのばらつきに起因する視野角特性の悪化、または輝度あるいは色度のムラを抑えることができる表示装置の製造方法および表示装置を提供する。
【解決手段】赤色有機層１６Ｒを、（２Ｌ）／λ＋Φ／（２π）＝ｍを満たす理論値Ｌの厚みで形成し、その厚みＬｄを計測する。次いで、緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂについて、各色ごとの理論値Ｌに、赤色有機層１６Ｒの厚みＬｄの計測結果に基づいて各色ごとに算出した補正値ａを加えることにより、各色ごとに設定値Ｌａを算出する。続いて、その設定値Ｌａの厚みで緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂを形成する。補正値ａは、例えば、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの厚みと理論値Ｌｒ，Ｌｇ，Ｌｂとのずれ量ΔＬｒ，ΔＬｇ，ΔＬｂが、ΔＬｒ／Ｌｒ＝ΔＬｇ／Ｌｇ＝ΔＬｂ／Ｌｂを満たすように算出する。
【解決手段】赤色有機層１６Ｒを、（２Ｌ）／λ＋Φ／（２π）＝ｍを満たす理論値Ｌの厚みで形成し、その厚みＬｄを計測する。次いで、緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂについて、各色ごとの理論値Ｌに、赤色有機層１６Ｒの厚みＬｄの計測結果に基づいて各色ごとに算出した補正値ａを加えることにより、各色ごとに設定値Ｌａを算出する。続いて、その設定値Ｌａの厚みで緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂを形成する。補正値ａは、例えば、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの厚みと理論値Ｌｒ，Ｌｇ，Ｌｂとのずれ量ΔＬｒ，ΔＬｇ，ΔＬｂが、ΔＬｒ／Ｌｒ＝ΔＬｇ／Ｌｇ＝ΔＬｂ／Ｌｂを満たすように算出する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、赤，緑および青を含む複数色の有機発光素子を備えたフルカラー表示可能な表示装置の製造方法および表示装置に係り、特に共振器構造を有する有機発光素子を備えたものに好適な表示装置の製造方法および表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機発光素子は、第１電極および第２電極の間に発光層を含む有機層を有し、第１電極と第２電極との間に直流電圧を印加すると発光層において正孔−電子再結合が起こり、光を発生するものである。このような有機発光素子を用いた表示装置では、製造工程上の原因により有機層の厚みが表示領域内で変動し、色度または輝度ムラの原因となってしまう場合がある。
【０００３】
従来では、例えば特許文献１に記載されたように、有機層の厚みの変動によって生じる輝度ムラを、有機層の厚みの変動そのものを低減することによって解決しようとする提案がある。
【特許文献１】特開平１１−３３９９６０号公報
【特許文献２】特開平９−１９０８８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、この従来方法は、原因そのものである有機層の厚みの変動を低減するという直接的で効果の高い方法であるが、そのための装置構成が複雑になり、製造コストの増大を招いてしまうという問題があった。特に、ガラス基板サイズを大きくする場合、有機層の厚み分布の低減が困難になり、生産性の低下やパネル特性の悪化のおそれがあった。
【０００５】
また、有機発光素子では、発光層において発生した光を、第１電極と有機層との界面および第２電極と有機層との界面の間で多重反射により共振させる共振器構造を形成する場合がある。共振器構造における共振波長は、二つの界面の間の光路長（光学的距離）すなわち有機層の厚みによって決まり、有機層の厚みに対して極めて敏感な依存性を有する。そのため、有機層の厚み変動そのものを低減することにより色度または輝度ムラを抑えるという従来方法では、その厚み分布を非常に小さくする必要があり、上述した問題が更に顕著になってしまっていた。
【０００６】
また、共振器構造により共振された光のスペクトルはピークが高く幅が狭くなる。そのため、表示画面に対して正面方向の光取り出し効率が向上する一方、画面を斜めから見た場合には、発光波長が大きくシフトしたり、発光強度が低下するという問題があった。すなわち、従来では、画面を視る角度により輝度の差異や色ずれが生じ、視野角特性の悪化または画像品位の低下などを招いてしまうという問題があった。
【０００７】
更に、このような視野角特性の悪化の問題は、共振長のばらつき、すなわち、有機層の厚みのばらつきによっても生じてしまっていた。
【０００８】
ちなみに、従来では、有機発光素子の視野角特性を改善するため、透明基板に凹面構造、光拡散層または光屈折層などを形成することにより、光の出射方向を拡散させ、光の指向性を平均化することで視野角の拡大を図ろうとする試みがある（例えば、特許文献２参照。）しかし、この方法では、透明基板に形成した凹面構造、光拡散層または光屈折層などにより、外光も散乱され、外光コントラストが著しく悪化してしまうという問題があった。また、新たに凹面構造、光拡散層または光屈折層などを設ける必要があり、コストアップの原因にもなっていた。
【０００９】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、有機層の厚みのばらつきに起因する視野角特性の悪化、または輝度あるいは色度のムラを抑えることができ、表示品質を向上させることができる表示装置の製造方法および表示装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明による表示装置の製造方法は、基板に第１電極、発光層を含む有機層および第２電極を順に積層することにより複数の有機発光素子を形成すると共に、前記複数の有機発光素子として、赤色，緑色および青色を含む複数色の有機発光素子を形成するものであって、有機層を形成する工程は、以下の（Ａ）〜（Ｄ）の工程を含むものである。
（Ａ）複数色のうち第一色目の有機層を、理論値Ｌの厚みで形成する工程
（Ｂ）第一色目の有機層の厚みＬｄを計測する工程
（Ｃ）複数色のうち他の色の有機層について、各色ごとの理論値Ｌに、第一色目の有機層の厚みＬｄの計測結果に基づいて各色ごとに算出した補正値ａを加えることにより、各色ごとに設定値Ｌａを算出する工程
（Ｄ）他の色の有機層を設定値Ｌａの厚みで形成する工程
【００１１】
本発明による表示装置は、第１電極および第２電極の間に発光層を含む赤色有機層を有する赤色有機発光素子と、第１電極および第２電極の間に発光層を含む緑色有機層を有する緑色有機発光素子と、第１電極および第２電極の間に発光層を含む青色有機層を有する青色有機発光素子とを配列した表示領域を備え、緑色有機層または青色有機層の表示領域内における厚み分布の形状は、赤色有機層を含む残り二色の有機層の表示領域内における厚み分布を緩和可能な形状であるものである。
【００１２】
なお、本明細書における「厚み分布」とは、一つの有機発光素子内における厚み分布ではなく、表示領域（表示有効エリア）内における厚み分布をいう。
【００１３】
本発明による表示装置では、表示領域内において赤，緑および青の各色有機層の厚み分布があり、この厚み分布に従って赤，緑および青の発光波長が表示領域内で変化している。よって、赤，緑および青の単色の色度または輝度に表示領域内で分布が生じていると共に、赤，緑および青の混色によって構成される白色または中間色を表示したときの色度または輝度にも表示領域内で分布が生じている。ここでは、緑色有機層または青色有機層の表示領域内における厚み分布の形状が、赤色有機層を含む残り二色の有機層の表示領域内における厚み分布を緩和可能な形状とされているので、緑または青の単色の色度または輝度の分布は、残り二色の色度または輝度の分布と相殺されて、白色または中間色を表示したときの色度または輝度の分布が低減される。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の表示装置の製造方法によれば、第一色目の有機層を、理論値Ｌの厚みで形成し、その厚みＬｄを計測したのち、他の色の有機層について、各色ごとの理論値Ｌに、第一色目の有機層の厚みＬｄの計測結果に基づいて各色ごとに算出した補正値ａを加えることにより、各色ごとに設定値Ｌａを算出し、その設定値Ｌａの厚みで他の色の有機層を形成するようにしたので、第一色目の有機層の厚みの変動による影響を、他の色の有機層の厚み調整により緩和することが可能となる。よって、有機層の厚みの変動に起因する視野角特性の悪化を抑えることができ、特に赤，緑および青の混色によって構成される白色または中間色を表示したときの視野角特性の悪化を抑え、表示品質を高めることができる。
【００１５】
本発明の表示装置によれば、緑色有機層または青色有機層の表示領域内における厚み分布の形状を、赤色有機層を含む残り二色の有機層の表示領域内における厚み分布を緩和可能な形状とするようにしたので、赤，緑および青の混色によって構成される白色または中間色を表示したときの色度または輝度の分布を低減することができる。よって、特に人間の視覚特性上視認されやすい白色または中間色の色度または輝度ムラを抑え、表示品質を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００１７】
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る有機発光素子を用いた表示装置の構成を表すものである。この表示装置は、極薄型の有機発光カラーディスプレイ装置などとして用いられるものであり、例えば、ガラス，シリコン（Ｓｉ）ウェハあるいは樹脂などよりなる基板１１の上に、後述する複数の有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂがマトリクス状に配置されてなる表示領域１１０が形成されると共に、この表示領域１１０の周辺に、映像表示用のドライバである信号線駆動回路１２０および走査線駆動回路１３０が形成されたものである。
【００１８】
表示領域１１０内には画素駆動回路１４０が形成されている。図２は、画素駆動回路１４０の一例を表したものである。この画素駆動回路１４０は、後述する第１電極１５の下層に形成され、駆動トランジスタＴｒ１および書き込みトランジスタＴｒ２と、その間のキャパシタ（保持容量）Ｃｓと、第１の電源ライン（Ｖｃｃ）および第２の電源ライン（ＧＮＤ）の間において駆動トランジスタＴｒ１に直列に接続された有機発光素子１０Ｒ（または１０Ｇ，１０Ｂ）とを有するアクティブ型の駆動回路である。駆動トランジスタＴｒ１および書き込みトランジスタＴｒ２は、一般的な薄膜トランジスタ（ＴＦＴ（Thin Film Transistor））により構成され、その構成は例えば逆スタガー構造（いわゆるボトムゲート型）でもよいしスタガー構造（トップゲート型）でもよく特に限定されない。
【００１９】
画素駆動回路１４０において、列方向には信号線１２０Ａが複数配置され、行方向には走査線１３０Ａが複数配置されている。各信号線１２０Ａと各走査線１３０Ａとの交差点が、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂのいずれか一つ（サブピクセル）に対応している。各信号線１２０Ａは、信号線駆動回路１２０に接続され、この信号線駆動回路１２０から信号線１２０Ａを介して書き込みトランジスタＴｒ２のソース電極に画像信号が供給されるようになっている。各走査線１３０Ａは走査線駆動回路１３０に接続され、この走査線駆動回路１３０から走査線１３０Ａを介して書き込みトランジスタＴｒ２のゲート電極に走査信号が順次供給されるようになっている。
【００２０】
図３は、表示領域１１０の平面構成の一例を表したものである。表示領域１１０には、赤色の光を発生する赤色有機発光素子１０Ｒと、緑色の光を発生する緑色有機発光素子１０Ｇと、青色の光を発生する青色有機発光素子１０Ｂとが、順に全体としてマトリクス状に形成されている。なお、隣り合う赤色有機発光素子１０Ｒ，緑色有機発光素子１０Ｇおよび青色有機発光素子１０Ｂ（以下、「有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂ」と総称する。）の組み合わせが一つの画素（ピクセル）１０を構成している。
【００２１】
図４は図３に示した有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの断面構成を表すものである。有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂは、それぞれ、基板１１の側から、上述した画素駆動回路１４０の駆動トランジスタＴｒ１、平坦化絶縁膜１３、陽極としての第１電極１４、電極間絶縁膜１５、後述する発光層１６ＣＲ，１６ＣＧ，１６ＣＢを含む赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇまたは青色有機層１６Ｂ、および陰極としての第２電極１７がこの順に積層された構成を有している。
【００２２】
このような有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂは、窒化ケイ素（ＳｉＮx ）などの保護膜３０により被覆され、更にこの保護膜３０上に接着層４０を間にしてガラスなどよりなる封止用基板５０が全面にわたって貼り合わされることにより封止されている。
【００２３】
駆動トランジスタＴｒ１は、平坦化絶縁膜１３に設けられた接続孔１３Ａを介して第１電極１５に電気的に接続されている。
【００２４】
平坦化絶縁膜１３は、画素駆動回路１４０が形成された基板１１の表面を平坦化するためのものであり、微細な接続孔１３Ａが形成されるためパターン精度が良い材料により構成されていることが好ましい。平坦化絶縁膜１３の構成材料としては、例えば、ポリイミド等の有機材料、あるいは酸化シリコン（ＳｉＯ2 ）などの無機材料が挙げられる。
【００２５】
第１電極１４は、反射層としての機能も兼ねており、できるだけ高い反射率を有するようにすることが発光効率を高める上で望ましい。第１電極１４は、例えば積層方向の厚み（以下、単に厚みと言う）が１００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下であり、クロム（Ｃｒ），金（Ａｕ），白金（Ｐｔ），ニッケル（Ｎｉ），銅（Ｃｕ），タングステン（Ｗ）あるいは銀（Ａｇ）などの金属元素の単体または合金が挙げられる。
【００２６】
電極間絶縁膜１５は、第１電極１４と第２電極１７との絶縁性を確保すると共に発光領域を正確に所望の形状にするためのものであり、例えば感光性樹脂により構成されている。電極間絶縁膜１５には、発光領域に対応して開口部が設けられている。なお、有機層１６および第２電極１７は、開口部だけでなく電極間絶縁膜１５の上にも設けられているが、発光が生じるのは電極間絶縁膜１５の開口部だけである。
【００２７】
赤色有機層１６Ｒは、例えば、第１電極１４の側から順に、正孔注入層１６ＡＲ，正孔輸送層１６ＢＲ，発光層１６ＣＲおよび電子輸送層１６ＤＲを積層した構成を有する。緑色有機層１６Ｇは、例えば、第１電極１４の側から順に、正孔注入層１６ＡＧ，正孔輸送層１６ＢＧ，発光層１６ＣＧおよび電子輸送層１６ＤＧを積層した構成を有する。青色有機層１６Ｂは、例えば、第１電極１４の側から順に、正孔注入層１６ＡＢ，正孔輸送層１６ＢＢ，発光層１６ＣＢおよび電子輸送層１６ＤＢを積層した構成を有する。これらのうち発光層１６ＣＲ，１６ＣＧ，１６ＣＢ以外の層は必要に応じて設ければよい。また、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇまたは青色有機層１６Ｂは、それぞれ構成が異なっていてもよい。正孔注入層１６ＡＲ，１６ＡＧ，１６ＡＢは、正孔注入効率を高めるためのものであると共に、リークを防止するためのバッファ層である。正孔輸送層１６ＢＲ，１６ＢＧ，１６ＢＢは、発光層１６ＣＲ，１６ＣＧ，１６ＣＢへの正孔輸送効率を高めるためのものである。発光層１６ＣＲ，１６ＣＧ，１６ＣＢは、電界をかけることにより電子と正孔との再結合が起こり、光を発生するものである。電子輸送層１６ＤＲ，１６ＤＧ，１６ＤＢは、発光層１６ＣＲ，１６ＣＧ，１６ＣＢへの電子輸送効率を高めるためのものである。なお、電子輸送層１６Ｄと第２電極１７との間には、ＬｉＦ，Ｌｉ2 Ｏなどよりなる電子注入層（図示せず）を設けてもよい。
【００２８】
赤色有機層１６Ｒの正孔注入層１６ＡＲは、例えば、厚みが５ｎｍ以上３００ｎｍ以下であり、４，４’，４”−トリス（３−メチルフェニルフェニルアミノ）トリフェニルアミン（ｍ−ＭＴＤＡＴＡ）あるいは４，４’，４”−トリス（２−ナフチルフェニルアミノ）トリフェニルアミン（２−ＴＮＡＴＡ）により構成されている。赤色有機層１６Ｒの正孔輸送層１６ＢＲは、例えば、厚みが５ｎｍ以上３００ｎｍ以下であり、ビス［（Ｎ−ナフチル）−Ｎ−フェニル］ベンジジン（α−ＮＰＤ）により構成されている。赤色有機層１６Ｒの発光層１８ＣＲは、例えば、厚みが１０ｎｍ以上１００ｎｍ以下であり、８−キノリノールアルミニウム錯体（Ａｌｑ3 ）に２，６−ビス［４−［Ｎ−（４−メトキシフェニル）−Ｎ−フェニル］アミノスチリル］ナフタレン−１，５−ジカルボニトリル（ＢＳＮ−ＢＣＮ）を４０体積％混合したものにより構成されている。赤色有機層１６Ｒの電子輸送層１６ＤＲは、例えば、厚みが５ｎｍ以上３００ｎｍ以下であり、Ａｌｑ3 により構成されている。
【００２９】
緑色有機層１６Ｇの正孔注入層１６ＡＧは、例えば、厚みが５ｎｍ以上３００ｎｍ以下であり、ｍ−ＭＴＤＡＴＡあるいは２−ＴＮＡＴＡにより構成されている。緑色有機層１６Ｇの正孔輸送層１６ＢＧは、例えば、厚みが５ｎｍ以上３００ｎｍ以下であり、α−ＮＰＤにより構成されている。緑色有機層１６Ｇの発光層１６ＣＧは、例えば、厚みが１０ｎｍ以上１００ｎｍ以下であり、Ａｌｑ3 にクマリン６（Ｃｏｕｍａｒｉｎ６）を３体積％混合したものにより構成されている。緑色有機層１６Ｇの電子輸送層１６ＤＧは、例えば、厚みが５ｎｍ以上３００ｎｍ以下であり、Ａｌｑ3 により構成されている。
【００３０】
青色有機層１６Ｂの正孔注入層１６ＡＢは、例えば、厚みが５ｎｍ以上３００ｎｍ以下であり、ｍ−ＭＴＤＡＴＡあるいは２−ＴＮＡＴＡにより構成されている。青色有機層１６Ｂの正孔輸送層１６ＢＢは、例えば、厚みが５ｎｍ以上３００ｎｍ以下であり、α−ＮＰＤにより構成されている。青色有機層１６Ｂの発光層１８ＣＢは、例えば、厚みが１０ｎｍ以上１００ｎｍ以下であり、スピロ６Φ（ｓｐｉｒｏ６Φ）により構成されている。青色有機層１６Ｂの電子輸送層１６ＤＢは、例えば、厚みが５ｎｍ以上３００ｎｍ以下であり、Ａｌｑ3 により構成されている。
【００３１】
第２電極１７は、例えば、厚みが５ｎｍ以上５０ｎｍ以下であり、アルミニウム（Ａｌ），マグネシウム（Ｍｇ），カルシウム（Ｃａ），ナトリウム（Ｎａ）などの金属元素の単体または合金により構成されている。中でも、マグネシウムと銀との合金（ＭｇＡｇ合金）、またはアルミニウム（Ａｌ）とリチウム（Ｌｉ）との合金（ＡｌＬｉ合金）が好ましい。
【００３２】
第２電極１７は、また、半透過性反射層としての機能を兼ねている。すなわち、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂは、第１電極１４と赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇまたは青色有機層１６Ｂとの界面を第１端部Ｐ１、第２電極１７と赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇまたは青色有機層１６Ｂとの界面を第２端部Ｐ２とし、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇまたは青色有機層１６Ｂを共振部として、発光層１６ＣＲ，１６ＣＧ，１６ＣＢで発生した光を共振させて第２端部Ｐ２の側から取り出す共振器構造を有している。このように共振器構造を有するようにすれば、発光層１６ＣＲ，１６ＣＧ，１６ＣＢで発生した光が多重干渉を起こし、第２端部Ｐ２の側から取り出される光のスペクトルの半値幅が減少し、ピーク強度を高めることができる。すなわち、色純度を向上させ、発光効率を高めることができる。また、封止用基板５０側から入射した外光についても多重干渉により減衰させることができ、後述するカラーフィルタ５１との組合せにより有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂにおける外光の反射率を極めて小さくすることができる。
【００３３】
そのためには、第１端部Ｐ１と第２端部Ｐ２との間の光学的距離Ｌは数１を満たすようにすることが好ましい。
【００３４】
（数１）
（２Ｌ）／λ＋Φ／（２π）＝ｍ
（式中、Ｌは第１端部Ｐ１と第２端部Ｐ２との間の光学的距離、Φは第１端部Ｐ１で生じる反射光の位相シフトΦ1 と第２端部Ｐ２で生じる反射光の位相シフトΦ2 との和（Φ＝Φ1 ＋Φ2 ）（ｒａｄ）、λは第２端部Ｐ２の側から取り出したい光のスペクトルのピーク波長、ｍはＬが正となる整数をそれぞれ表す。なお、数１においてＬおよびλは単位が共通すればよいが、例えば（ｎｍ）を単位とする。）
【００３５】
光学的距離Ｌは、具体的には、共振器の共振波長（取り出される光のスペクトルのピーク波長）と、第２端部Ｐ２の側から取り出したい光のスペクトルのピーク波長とを一致させ、光取り出し効率を高めるように決定される。
【００３６】
また、光学的距離Ｌは、第１端部Ｐ１と第２端部Ｐ２との間に挟まれた赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇまたは青色有機層１６Ｂの厚みに相当する。赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇまたは青色有機層１６Ｂは、表示領域１１０内において厚み分布を有する。この厚み分布は、後述する成膜プロセスに起因するものであり、上述したようにその厚み分布自体を小さくすることには限界がある。
【００３７】
本実施の形態では、緑色有機層１６Ｇまたは青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布の形状は、赤色有機層１６Ｒを含む残り二色の有機層の表示領域１１０内における厚み分布を緩和可能な形状である。これにより、この表示装置では、輝度または色度のムラを抑えて表示品質を向上させることができるようになっている。
【００３８】
より好ましくは、緑色有機層１６Ｇまたは青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布の形状は、赤色有機層１６Ｒを含む残り二色の有機層の表示領域１１０内における厚み分布を打消し可能な形状である。このようにすることにより、輝度または色度のムラを確実に抑えることができるからである。
【００３９】
図５ないし図７は、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇまたは青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布の形状の例を表したものである。具体的には、緑色有機層１６Ｇの表示領域１１０内における厚み分布ＤＧの形状と、赤色有機層１６Ｒおよび青色有機層１６Ｂの有機層の表示領域１１０内における厚み分布ＤＲ，ＤＢの形状とは、設定厚みの線Ｌに関して対称であることが好ましい。なお、ここにいう「対称」とは必ずしも正確に設定厚みの線Ｌに関して対称である場合に限らず、ほぼ対称であればよい。
【００４０】
例えば、図５に示したように、緑色有機層１６Ｇの表示領域１１０内における厚み分布ＤＧの形状は、表示領域１１０の中央付近で厚く周辺で薄い凸形状であり、赤色有機層１６Ｒおよび青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲ，ＤＢの形状は、表示領域１１０の中央付近で薄く周辺で厚い凹形状である。
【００４１】
この反対に、緑色有機層１６Ｇの表示領域１１０内における厚み分布ＤＧが凹形状、赤色有機層１６Ｒおよび青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲ，ＤＢが凸形状であってもよい。
【００４２】
また、緑色有機層１６Ｇに代えて、青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＢが凸形状、赤色有機層１６Ｒおよび緑色有機層１６Ｇの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲ，ＤＧが凹形状であってもよい。
【００４３】
更にその反対に、青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＢが凹形状、赤色有機層１６Ｒおよび緑色有機層１６Ｇの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲ，ＤＧが凸形状であってもよい。
【００４４】
あるいは、例えば図６に示したように、緑色有機層１６Ｇの表示領域１１０内における厚み分布ＤＧの形状は、表示領域１１０の左端から右端に向かって厚くなる右上がり形状であり、赤色有機層１６Ｒおよび青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲ，ＤＢの形状は、表示領域１１０の右端から左端に向かって厚くなる左上がり形状である。
【００４５】
この反対に、緑色有機層１６Ｇの表示領域１１０内における厚み分布ＤＧが左上がり形状、赤色有機層１６Ｒおよび青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲ，ＤＢが右上がり形状であってもよい。
【００４６】
また、緑色有機層１６Ｇに代えて、青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＢが右上がり形状、赤色有機層１６Ｒおよび緑色有機層１６Ｇの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲ，ＤＧの形状が左上がり形状であってもよい。
【００４７】
更にその反対に、青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＢが左上がり形状、赤色有機層１６Ｒおよび青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲ，ＤＧが右上がり形状であってもよい。
【００４８】
また、例えば図７に示したように、緑色有機層１６Ｇの表示領域１１０内における厚み分布ＤＧの形状は、表示領域１１０の左部に極大値、右部に極小値を有する凸凹形状であり、赤色有機層１６Ｒおよび青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲの形状は、表示領域１１０の左部に極小値、右部に極大値を有する凹凸形状である。
【００４９】
この反対に、緑色有機層１６Ｇの表示領域１１０内における厚み分布ＤＧが凹凸形状、赤色有機層１６Ｒおよび青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲ，ＤＢが凸凹形状であってもよい。
【００５０】
また、緑色有機層１６Ｇに代えて、青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＢが凸凹形状、赤色有機層１６Ｒおよび緑色有機層１６Ｇの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲ，ＤＧの形状が凹凸形状であってもよい。
【００５１】
更にその反対に、青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＢが凹凸形状、赤色有機層１６Ｒおよび青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲ，ＤＧが凸凹形状であってもよい。
【００５２】
図４に示した接着層４０は、例えば熱硬化型樹脂または紫外線硬化型樹脂により構成されている。
【００５３】
図４に示した封止用基板５０は、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの第２電極１７の側に位置しており、接着層４０と共に有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂを封止するものであり、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂで発生した光に対して透明なガラスなどの材料により構成されている。封止用基板５０には、例えば、カラーフィルタ５１が設けられており、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂで発生した光を取り出すと共に、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂ並びにその間の配線において反射された外光を吸収し、コントラストを改善するようになっている。
【００５４】
カラーフィルタ５１は、封止用基板５０のどちら側の面に設けられてもよいが、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの側に設けられることが好ましい。カラーフィルタ５１が表面に露出せず、接着層４０により保護することができるからである。また、発光層１６ＣＲ，１６ＣＧ，１６ＣＢとカラーフィルタ５１との間の距離が狭くなることにより、発光層１６ＣＲ，１６ＣＧ，１６ＣＢから出射した光が隣接する他の色のカラーフィルタ５１に入射して混色を生じることを避けることができるからである。カラーフィルタ５１は、赤色フィルタ，緑色フィルタおよび青色フィルタ（いずれも図示せず）を有しており、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂに対応して順に配置されている。
【００５５】
赤色フィルタ，緑色フィルタおよび青色フィルタは、それぞれ例えば矩形形状で隙間なく形成されている。これら赤色フィルタ，緑色フィルタおよび青色フィルタは、顔料を混入した樹脂によりそれぞれ構成されており、顔料を選択することにより、目的とする赤，緑あるいは青の波長域における光透過率が高く、他の波長域における光透過率が低くなるように調整されている。
【００５６】
更に、カラーフィルタ５１における透過率の高い波長範囲と、共振器構造から取り出したい光のスペクトルのピーク波長λとは一致している。これにより、封止用基板５０から入射する外光のうち、取り出したい光のスペクトルのピーク波長λに等しい波長を有するもののみがカラーフィルタ５１を透過し、その他の波長の外光が有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂに侵入することが防止される。
【００５７】
この表示装置は、例えば次のようにして製造することができる。
【００５８】
まず、上述した材料よりなる基板１１の上に駆動トランジスタＴｒ１を含む画素駆動回路１４０を形成したのち、全面に感光性樹脂を塗布することにより平坦化絶縁膜１３を形成し、露光および現像により平坦化絶縁膜１３を所定の形状にパターニングすると共に接続孔１３Ａを形成し、焼成する。
【００５９】
次いで、例えばスパッタ法により、上述した材料よりなる第１電極１４を形成し、ウェットエッチングにより第１電極１４を選択的に除去して各有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂごとに分離する。
【００６０】
続いて、基板１１の全面にわたり感光性樹脂を塗布し、例えばフォトリソグラフィ法により発光領域に対応して開口部を設け、焼成することにより、電極間絶縁膜１５を形成する。
【００６１】
そののち、図８に示したように、ライン状蒸発源６１上で基板１１を一方向（矢印Ａ方向）に進行させて、例えば蒸着法により、上述した厚みおよび材料よりなる赤色有機層１６Ｒの正孔注入層１６ＡＲ，正孔輸送層１６ＢＲ，発光層１６ＣＲおよび電子輸送層１６ＤＲを形成する。このライン状蒸発源６１は、左部，中心部および右部の３分割のヒータ６２Ｌ，６２Ｃ，６２Ｒおよび温度制御器（図示せず）を有しており、個別に温度制御が可能となっている。中心部の温度を左部および右部に対して相対的に高くすることにより、中心部の蒸発レートが左部および右部よりも高くなるので、赤色有機層１６Ｒの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲを凸形状とすることができる。また、中心部の温度を左部および右部に対して相対的に低くすることにより、中心部の蒸発レートが左部および右部よりも低くなるので、赤色有機層１６Ｒの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲを凹形状とすることができる。
【００６２】
赤色有機層１６Ｒを形成したのち、赤色有機層１６Ｒと同様にして、緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂを順次形成する。その際、ライン状蒸発源６１の左部，中心部および右部の温度を、赤色有機層１６Ｒの形成工程と同様に制御する。これにより、図５に示したように、緑色有機層１６Ｇの表示領域１１０内における厚み分布ＤＧの形状を、例えば、表示領域１１０の中央付近で厚く周辺で薄い凸形状とし、赤色有機層１６Ｒおよび青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲ，ＤＢの形状を、例えば、表示領域１１０の中央付近で薄く周辺で厚い凹形状とする。
【００６３】
青色有機層１６Ｂを形成したのち、例えば蒸着法により、上述した厚みおよび材料よりなる第２電極１７を成膜し、図５に示したような有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂを形成する。続いて、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの上に上述した材料よりなる保護膜３０を形成する。
【００６４】
また、例えば、上述した材料よりなる封止用基板５０の上に、赤色フィルタの材料をスピンコートなどにより塗布し、フォトリソグラフィ技術によりパターニングして焼成することにより赤色フィルタを形成する。続いて、赤色フィルタと同様にして、青色フィルタおよび緑色フィルタを順次形成する。
【００６５】
そののち、保護膜３０の上に、接着層４０を形成し、この接着層４０を間にして封止用基板５０を貼り合わせる。その際、封止用基板５０のカラーフィルタ５１を形成した面を、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂ側にして配置することが好ましい。以上により、図３ないし図５に示した表示装置が完成する。
【００６６】
この表示装置では、各画素に対して走査線駆動回路１３０から書き込みトランジスタＴｒ２のゲート電極を介して走査信号が供給されると共に、信号線駆動回路１２０から画像信号が書き込みトランジスタＴｒ２を介して保持容量Ｃｓに保持される。すなわち、この保持容量Ｃｓに保持された信号に応じて駆動トランジスタＴｒ１がオンオフ制御され、これにより、各有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂに駆動電流Ｉｄが注入されることにより、正孔と電子とが再結合して発光が起こる。この光は、第１電極１４と第２電極１７との間で多重反射し、第２電極１７，カラーフィルタ５１および封止用基板５０を透過して取り出される。
【００６７】
このとき、表示領域１１０内においては、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの厚み分布ＤＲ，ＤＧ，ＤＢがあり、この厚み分布ＤＲ，ＤＧ，ＤＢに従って赤，緑および青の発光波長が表示領域１１０内で変化している。よって、赤，緑および青の単色の色度または輝度に表示領域１１０内で分布が生じていると共に、赤，緑および青の混色によって構成される白色または中間色を表示したときの色度または輝度にも表示領域１１０内で分布が生じている。ここで、本実施の形態では、例えば図５に示したように、緑色有機層１６Ｇの表示領域１１０内における厚み分布ＤＧの形状は、例えば、表示領域１１０の中央付近で厚く周辺で薄い凸形状とされ、赤色有機層１６Ｒおよび青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲ，ＤＢの形状は、例えば、表示領域１１０の中央付近で薄く周辺で厚い凹形状とされているので、緑の単色の色度または輝度の分布は、赤および青の色度または輝度の分布と相殺されて、白色または中間色を表示したときの色度または輝度の分布が低減される。一般的に、人間の視覚特性上、赤，緑および青の飽和色よりも、白色または肌色といった中間色の色度または輝度ムラが視認されやすい。よって、白色または中間色の色度または輝度の分布が低減されることにより、視認される色度または輝度ムラが抑えられ、その結果、表示品質が向上する。
【００６８】
表１は、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの厚み分布ＤＲ，ＤＧ，ＤＢの形状の八つの組合せ（Ｎｏ．１〜Ｎｏ．８）について、表示領域１１０の中心部および端部の白色色差Δｕ’ｖ’および輝度比Ｙ（端部）／Ｙ（中心部）のシミュレーション結果を表すものである。表１では、（青，緑，赤）＝（凸，凹，凹），（凹，凸，凹），（凸，凹，凸），（凹，凸，凸）の四つの場合（Ｎｏ．２，３，５，６）のみ白色色差および輝度比が小さくなっている。
【００６９】
【表１】
【００７０】
なお、シミュレーションでは、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの設定厚みをそれぞれ１９６ｎｍ，１００ｎｍ，１２０ｎｍとし、厚み分布ＤＲ，ＤＧ，ＤＢは、設定厚みに対して表示領域１１０の中心部と端部とで±２％となるように設定した。従って、厚み分布ＤＲ，ＤＧ，ＤＢの形状は、設定厚みに対して中心部が９８％、端部が１０２％となる凹形状と、中心部が１０２％、端部が９８％となる凸形状との２種類がある。
【００７１】
表示領域１１０の中心部および端部の白色色差Δｕ’ｖ’および輝度比Ｙ（端部）／Ｙ（中心部）の計算は、次のようにして行った。赤，緑および青の各色について、各有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの構成材料のｎｋ値および厚みから、共振器フィルターのスペクトルを計算した。この際、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの厚みを上述した厚み分布ＤＲ，ＤＧ，ＤＢの形状に対応した値で形成し、厚み分布ＤＲ，ＤＧ，ＤＢの各点での共振器フィルターを計算することができる。得られた共振器フィルターのスペクトルに、干渉効果を含まない発光層１６ＣＲ，１６ＣＧ，１６ＣＢ内部のスペクトルを掛け合わせ、更にカラーフィルタ５１の透過率を掛け合わせることにより、表示装置の外部に取り出される発光スペクトルが得られる。厚み分布ＤＲ，ＤＧ，ＤＢを構成する各点の赤，緑および青の発光スペクトルから、各点の色度および輝度を計算する。表示領域１１０の中心部でホワイトバランスの調整を行い、表示領域１１０の各位置での白色色度および輝度から、表示領域１１０の中心部と端部の白色色差Δｕ’ｖ’および輝度比Ｙ（端部）／Ｙ（中心部）を計算した。
【００７２】
表２は、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの設定厚みをそれぞれ１９６ｎｍ，２４５ｎｍ，２９０ｎｍとしたことを除いては、表１と同様にしてシミュレーションを行った結果を表したものである。表２では、表１と同様に、（青，緑，赤）＝（凸，凹，凹），（凹，凸，凹），（凸，凹，凸），（凹，凸，凸）の四つの場合（Ｎｏ．２，３，５，６）のみ白色色差および輝度比が小さくなっている。
【００７３】
【表２】
【００７４】
以上の結果を、図９を参照して更に説明する。図９は、表１に示した八つの組合せ（Ｎｏ．１〜Ｎｏ．８）のそれぞれに対応した色度変化を表したものである。位置０ｍｍが図９の（０，０）に対応し、位置３００ｍｍ、−３００ｍｍはそれぞれのプロットの端部に対応する。青と緑の厚み分布ＤＧ，ＤＢの形状が同一、すなわち（青，緑）＝（凸，凸），（凹，凹）であるＮｏ．１，４，５，８の場合、中心部からの色差Δｕ’ｖ’は直線的に大きくなる。青と緑の厚み分布ＤＧ，ＤＢの形状が異なる、すなわち（青，緑）＝（凸，凹），（凹，凸）であるＮｏ．２，３，６，７の場合、中心部からの色差Δｕ’ｖ’は曲線的になり、小さくなる。輝度比Ｙ（端部）／Ｙ（中心部）は、緑および青の変化に大きく依存するので、緑および青が同形状の厚み分布ＤＧ，ＤＢを持つ（青，緑）＝（凸，凸），（凹，凹）の場合（Ｎｏ．１，４，５，８）に大きくなり、緑および青が異なる形状の厚み分布ＤＧ，ＤＢを持つ（緑，青）＝（凸，凹），（凹，凸）の場合（Ｎｏ．２，３，６，７）には相殺して小さくなる。
【００７５】
すなわち、緑色有機層１６Ｇまたは青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布の形状を、赤色有機層１６Ｒを含む残り二色の有機層の有機層の表示領域１１０内における厚み分布を緩和可能な形状とすれば、緑または青の単色の色度または輝度の分布を、残り二色の色度または輝度の分布と相殺し、白色または中間色を表示したときの色度または輝度の分布を低減することができることが分かる。
【００７６】
表３は、図６に示したような斜めの厚み分布ＤＲ，ＤＧ，ＤＢの四つの組合せ（Ｎｏ．１〜Ｎｏ．４）について、表示領域１１０内の２点間で最大となる白色色差Δｕ’ｖ’および輝度比Ｙ（最小値）／Ｙ（最大値）のシミュレーション結果を表すものである。表３では、（赤，緑，青）＝（／，／，＼），（／，＼，／）の場合のみ白色色差および輝度比が小さくなっている。なお、３色すべてが中心に対して左右対称の組み合わせの場合は表３と同様の結果であるため、省略した。
【００７７】
【表３】
【００７８】
なお、シミュレーションでは、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの設定厚みをそれぞれ１９６ｎｍ，１００ｎｍ，１２０ｎｍとし、厚み分布ＤＲ，ＤＧ，ＤＢは、設定厚みに対して表示領域１１０内の最厚点と最薄点とで±２％となるように設定した。従って、厚み分布ＤＲ，ＤＧ，ＤＢの形状は、設定厚みに対して左側の最薄点が９８％、右側の最厚点が１０２％となる右上がり形状（／）と、左側の最厚点が１０２％、右側の最薄点が９８％となる左上がり形状（＼）との２種類がある。
【００７９】
すなわち、斜めの厚み分布とした場合も、凹凸分布の場合と同様に、緑色有機層１６Ｇまたは青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布の形状を、赤色有機層１６Ｒを含む残り二色の有機層の有機層の表示領域１１０内における厚み分布を緩和可能な形状とすれば、緑または青の単色の色度または輝度の分布を、残り二色の色度または輝度の分布と相殺し、白色または中間色を表示したときの色度または輝度の分布を低減することができることが分かる。
【００８０】
このように本実施の形態では、緑色有機層１６Ｇまたは青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布の形状を、赤色有機層１６Ｒを含む残り二色の有機層の有機層の表示領域１１０内における厚み分布を緩和可能な形状とするようにしたので、赤，緑および青の混色によって構成される白色または中間色を表示したときの色度または輝度の分布を低減することができる。よって、特に人間の視覚特性上視認されやすい白色または中間色の色度または輝度ムラを抑え、表示品質を向上させることができる。
【００８１】
（第２の実施の形態）
図１０は本発明の第２の実施の形態に係る表示装置の製造方法の流れを表すものである。この製造方法は、第１の実施の形態で説明した製造方法とは赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂを形成する工程が異なるものである。なお、この製造方法は、第１の実施の形態に係る表示装置を製造する場合に限られるものではないが、理解を容易とするために、第１の実施の形態で示した図５に示したような緑色有機層１６Ｇの表示領域１１０内における厚み分布ＤＧの形状は、表示領域１１０の中央付近で厚く周辺で薄い凸形状であり、赤色有機層１６Ｒおよび青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲ，ＤＢの形状は、表示領域１１０の中央付近で薄く周辺で厚い凹形状である表示装置を製造する場合について説明する。
【００８２】
まず、第１の実施の形態と同様にして、基板１１の上に画素駆動回路１４０，平坦化絶縁膜１３，第１電極１４および電極間絶縁膜１５を形成する。
【００８３】
次いで、第１の実施の形態と同様にして、図８に示した工程により、赤色有機層１６Ｒを形成する（ステップＳ１０１）。その際、赤色有機層１６Ｒは、数１により算出した理論値Ｌの厚みで形成するが、製造工程上の原因により、表示領域１１０内において厚み分布ＤＲが生じ、この厚み分布ＤＲ自体を小さくすることには限界がある。
【００８４】
続いて、例えば蒸着速度モニターを用いて、赤色有機層１６Ｒの厚みＬｄを計測する（ステップＳ１０２）。また、蒸着速度モニターに代えて、光学干渉式の膜厚測定器（膜厚センサ）を用いれば、膜厚測定精度の向上が期待できる。
【００８５】
そののち、緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂについて、各色ごとの理論値Ｌに、赤色有機層１６Ｒの厚みＬｄの計測結果に基づいて各色ごとに算出した補正値ａを加えることにより、各色ごとに設定値Ｌａを算出する（ステップＳ１０３）。
【００８６】
例えば、赤色有機層１６Ｒの厚みＬｄを計測した結果として、赤色有機層１６Ｒの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲが凹形状になっていた場合には、図５に示したように、緑色有機層１６Ｇの表示領域１１０内における厚み分布ＤＧが凸形状、青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＢが凹形状となるように補正値ａを算出し、緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの設定値Ｌａを算出する。これにより、本実施の形態では、第１の実施の形態で説明したような赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲ，ＤＧ，ＤＢを確実に形成することが可能となる。
【００８７】
補正値ａは、計測値Ｌｄから理論値Ｌを引いたものであるから、以下の式で計算される。
ａ＝Ｌｄ−Ｌ
緑色有機層１６Ｇの表示領域１１０内における厚み分布が凸形状となるように、緑色有機層１６Ｇの設定値Ｌａは、補正値ａの符号を反転して、Ｌａ＝Ｌ−ａとする。青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＢが凹形状となるように、青色有機層１６Ｂの設定値Ｌａは、Ｌａ＝Ｌ＋ａとする。
【００８８】
緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの設定値Ｌａを算出したのち、基板１１を搬送する速度を調整し（ステップＳ１０４）、緑色有機層１６Ｇを設定値Ｌａの厚みで形成する（ステップＳ１０５）。基板１１の搬送速度を速くすると、基板１１に蒸着される有機材料の厚みが薄くなり、基板１１の搬送速度を遅くすると、基板１１に蒸着される有機材料の厚みが厚くなる。なお、基板１１の搬送速度に代えて、緑色有機層１６Ｇの成膜レートを調整するようにしてもよい。
【００８９】
緑色有機層１６Ｇを形成したのち、基板１１を搬送する速度を調整し（ステップＳ１０６）、青色有機層１６Ｇを設定値Ｌａの厚みで形成する（ステップＳ１０７）。なお、基板１１の搬送速度に代えて、青色有機層１６Ｂの成膜レートを調整するようにしてもよい。
【００９０】
青色有機層１６Ｂを形成したのち、第１の実施の形態と同様にして、第２電極１７および保護膜３０を形成し、この保護膜３０の上に接着層４０を形成し、この接着層４０を間にして封止用基板５０を貼り合わせる。以上により、図３ないし図５に示した表示装置が完成する。
【００９１】
このように本実施の形態では、赤色有機層１６Ｒを、理論値Ｌの厚みで形成し、その厚みＬｄを計測したのち、緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂについて、各色ごとの理論値Ｌに、赤色有機層１６Ｒの厚みＬｄの計測結果に基づいて各色ごとに算出した補正値ａを加えることにより、各色ごとに設定値Ｌａを算出し、その設定値Ｌａの厚みで緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂを形成するようにしたので、第１の実施の形態のような赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲ，ＤＧ，ＤＢを確実に形成することが可能となる。よって、有機層の厚みの変動に起因する輝度または色度のムラを抑えることができ、特に赤，緑および青の混色によって構成される白色または中間色の輝度または色度のムラを抑え、表示品質を高めることができる。
【００９２】
（第３の実施の形態）
次に、本発明の第３の実施の形態に係る表示装置について説明する。この表示装置は、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの厚みの変動を全色で同程度とするようにしたことを除いては、第１および第２の実施の形態と同様の構成を有している。よって、対応する構成要素には、同一の符号を付して説明する。
【００９３】
なお、本実施の形態における「厚みの変動」とは、第１および第２の実施の形態にいう「厚み分布ＤＲ，ＤＧ，ＤＢ」とは異なり、一つの有機発光素子１０Ｒ（または１０Ｇ、１０Ｂ）内における赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇ，青色有機層１６Ｂの厚みのばらつきをいう。
【００９４】
赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの厚みの理論値Ｌは、数１を満たしている。また、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの理論値をそれぞれＬｒ，Ｌｇ，Ｌｂとし、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの厚みＬｄと理論値Ｌとのずれ量ΔＬ（ΔＬ＝Ｌｄ−Ｌ）をそれぞれΔＬｒ，ΔＬｇ，ΔＬｂとすると、数２を満たしている。これにより、この表示装置では、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの厚みのばらつきに起因する視野角特性の悪化を抑え、表示品質を高めることができるようになっている。
【００９５】
（数２）
ΔＬｒ／Ｌｒ＝ΔＬｇ／Ｌｇ＝ΔＬｂ／Ｌｂ
【００９６】
図１１は、４５度の色度視野角特性として、白色の０度と４５度の色差Δｕ’ｖ’を、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの各々の厚みに対して３次元プロットしたものである。例えば、製造工程で±２％のばらつきがある場合、赤色有機層１６Ｒおよび緑色有機層１６Ｇの厚みばらつきの範囲は、図１１（Ｄ）の中央の正方形を含む立方体となる。
【００９７】
図１１から分かるように、色度視野角特性は、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの合計厚みに対するずれ比率が、赤，緑および青で同じになった場合に小さくなる。よって、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの厚みＬｄと理論値Ｌとのずれ量ΔＬｒ，ΔＬｇ，ΔＬｂが、数２を満たすことにより、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇまたは青色有機層１６Ｂの厚みがばらついた場合にも視野角特性の悪化を抑制することが可能となる。なお、数２は、図１１（Ｄ）における右上角と左下角との対角線に対応する。
【００９８】
この表示装置は、例えば次のようにして製造することができる。
【００９９】
まず、第１の実施の形態と同様にして、基板１１の上に画素駆動回路１４０，平坦化絶縁膜１３，第１電極１４および電極間絶縁膜１５を形成する。
【０１００】
次いで、第２の実施の形態と同様にして、赤色有機層１６Ｒを、数１により算出した理論値Ｌｒの厚みで形成し（図１０；ステップＳ１０１）、蒸着速度モニターまたは膜厚センサを用いて、赤色有機層１６Ｒの厚みＬｄを計測する（図１０；ステップＳ１０２）。
【０１０１】
続いて、緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂについて、各色ごとの理論値Ｌｇ，Ｌｂに、赤色有機層１６Ｒの厚みＬｄの計測結果に基づいて各色ごとに算出した補正値ａｇ，ａｂを加えることにより、各色ごとに設定値Ｌａｇ，Ｌａｂを算出する（図１０；ステップＳ１０３）。
【０１０２】
具体的には、まず、赤色有機層１６Ｒの厚みＬｄと理論値Ｌｒとのずれ量ΔＬｒ（ΔＬｒ＝Ｌｄ−Ｌｒ）を算出する。次いで、緑色有機層１６Ｇについて、数１により算出した理論値Ｌｇに、補正値ａｇすなわち数２により算出した最適なずれ量ΔＬｇを加え、設定値Ｌａｇ（Ｌａｇ＝Ｌｇ＋ΔＬｇ）を算出する。また、青色有機層１６Ｂについて、数１により算出した理論値Ｌｂに、補正値ａｂすなわち数２により算出した最適なずれ量ΔＬｂを加え、設定値Ｌａｂ（Ｌａｂ＝Ｌｂ＋ΔＬｂ）を算出する。
【０１０３】
数１により理論値Ｌｒ，Ｌｇ，Ｌｂを算出する際には、数１におけるｍを、すべての色で等しくすることが好ましい。次数ｍが高いほど視野角特性が悪化するので、次数ｍの高い色があるとその色によって視野角特性がほぼ決定されてしまう。そのため、数１におけるｍをすべての色で等しくしたほうが、本実施の形態により視野角特性を制御しやすいからである。
【０１０４】
すなわち、ｍ＝０の場合は０次の共振条件となり視野角特性は良好であるが、理論値Ｌすなわち光学的距離が最小となるために、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇまたは青色有機層１６Ｂの厚みが薄くなり、第１電極１４と第２電極１７とのショートにより非発光点（滅点）などの画素欠陥が生じるおそれがある。このような画素欠陥を低減するためには、例えばｍ＝１の１次の共振条件を用いて理論値Ｌを大きくすることが好ましいが、ｍ＝０の場合に比べて共振フィルタのスペクトルが細くなるために、視野角特性は低下する。ｍ＝２の場合は更に視野角特性が悪化する。
【０１０５】
例えば、すべての色でｍ＝１とした場合、赤色有機層１６Ｒの厚みの理論値Ｌｒは３００ｎｍ、緑色有機層１６Ｇの厚みの理論値Ｌｇは２５０ｎｍ、青色有機層１６Ｂの厚みの理論値Ｌｂは１９６ｎｍである。
【０１０６】
緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの設定値Ｌａｇ，Ｌａｂを算出したのち、基板１１を搬送する速度を調整し（図１０；ステップＳ１０４）、緑色有機層１６Ｇを設定値Ｌａｇの厚みで形成する（図１０；ステップＳ１０５）。基板１１の搬送速度を速くすると、基板１１に蒸着される有機材料の厚みが薄くなり、基板１１の搬送速度を遅くすると、基板１１に蒸着される有機材料の厚みが厚くなる。なお、基板１１の搬送速度に代えて、緑色有機層１６Ｇの成膜レートを調整するようにしてもよい。
【０１０７】
緑色有機層１６Ｇを形成したのち、基板１１を搬送する速度を調整し（図１０；ステップＳ１０６）、青色有機層１６Ｇを設定値Ｌａｂの厚みで形成する（図１０；ステップＳ１０７）。なお、基板１１の搬送速度に代えて、青色有機層１６Ｂの成膜レートを調整するようにしてもよい。
【０１０８】
なお、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂは、上述したような赤色，緑色，青色の順、または緑色，赤色，青色の順で形成することが好ましい。赤色または緑色は、青色に比べて、厚みのばらつきによる視野角特性が変化する感度が大きいからである。
【０１０９】
青色有機層１６Ｂを形成したのち、第１の実施の形態と同様にして、第２電極１７および保護膜３０を形成し、この保護膜３０の上に接着層４０を形成し、この接着層４０を間にして封止用基板５０を貼り合わせる。以上により、図３ないし図５に示した表示装置が完成する。
【０１１０】
この表示装置では、各画素に対して第１の実施の形態で説明したように駆動制御がなされ、表示が行われる。ここでは、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの厚みと理論値Ｌとのずれ量ΔＬｒ，ΔＬｇ，ΔＬｂが、数２を満たしているので、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの厚みの変動がすべての色で同程度となっている。よって、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの厚みの変動に起因する視野角特性の悪化が抑えられ、特に赤，緑および青の混色によって構成される白色または中間色を表示したときの視野角特性が向上する。
【０１１１】
このように本実施の形態では、赤色有機層１６Ｒを、理論値Ｌの厚みで形成し、その厚みＬｄを計測したのち、緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂについて、各色ごとの理論値Ｌに、赤色有機層１６Ｒの厚みＬｄの計測結果に基づいて各色ごとに算出した補正値ａを加えることにより、各色ごとに設定値Ｌａを算出し、その設定値Ｌａの厚みで緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂを形成するようにしたので、赤色有機層１６Ｒの厚みの変動による影響を、緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの厚み調整により緩和することが可能となる。よって、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの厚みの変動に起因する視野角特性の悪化を抑えることができ、特に赤，緑および青の混色によって構成される白色または中間色を表示したときの視野角特性の悪化を抑え、表示品質を高めることができる。
【０１１２】
また、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの厚みと理論値Ｌとのずれ量ΔＬｒ，ΔＬｇ，ΔＬｂが、数２を満たすようにしたので、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの厚みの変動を、すべての色で同程度とすることができ、より高い効果を得ることが可能となる。
【０１１３】
また、上記実施の形態では、第１色目の赤色有機層１６Ｒの厚みを計測するようにしたが、第１色目および第２色目の厚みを計測し、その計測結果に基づいて第３色目の厚みを制御するようにしてもよい。
【０１１４】
（モジュールおよび適用例）
以下、上記実施の形態で説明した表示装置の適用例について説明する。上記実施の形態の表示装置は、テレビジョン装置，デジタルカメラ，ノート型パーソナルコンピュータ、携帯電話等の携帯端末装置あるいはビデオカメラなど、外部から入力された映像信号あるいは内部で生成した映像信号を、画像あるいは映像として表示するあらゆる分野の電子機器の表示装置に適用することが可能である。
【０１１５】
（モジュール）
上記実施の形態の表示装置は、例えば、図１２に示したようなモジュールとして、後述する適用例１〜５などの種々の電子機器に組み込まれる。このモジュールは、例えば、基板１１の一辺に、封止用基板５０および接着層４０から露出した領域２１０を設け、この露出した領域２１０に、信号線駆動回路１２０および走査線駆動回路１３０の配線を延長して外部接続端子（図示せず）を形成したものである。外部接続端子には、信号の入出力のためのフレキシブルプリント配線基板（ＦＰＣ；Flexible Printed Circuit）２２０が設けられていてもよい。
【０１１６】
（適用例１）
図１３は、上記実施の形態の表示装置が適用されるテレビジョン装置の外観を表したものである。このテレビジョン装置は、例えば、フロントパネル３１０およびフィルターガラス３２０を含む映像表示画面部３００を有しており、この映像表示画面部３００は、上記各実施の形態に係る表示装置により構成されている。
【０１１７】
（適用例２）
図１４は、上記実施の形態の表示装置が適用されるデジタルカメラの外観を表したものである。このデジタルカメラは、例えば、フラッシュ用の発光部４１０、表示部４２０、メニュースイッチ４３０およびシャッターボタン４４０を有しており、その表示部４２０は、上記各実施の形態に係る表示装置により構成されている。
【０１１８】
（適用例３）
図１５は、上記実施の形態の表示装置が適用されるノート型パーソナルコンピュータの外観を表したものである。このノート型パーソナルコンピュータは、例えば、本体５１０，文字等の入力操作のためのキーボード５２０および画像を表示する表示部５３０を有しており、その表示部５３０は、上記各実施の形態に係る表示装置により構成されている。
【０１１９】
（適用例４）
図１６は、上記実施の形態の表示装置が適用されるビデオカメラの外観を表したものである。このビデオカメラは、例えば、本体部６１０，この本体部６１０の前方側面に設けられた被写体撮影用のレンズ６２０，撮影時のスタート／ストップスイッチ６３０および表示部６４０を有しており、その表示部６４０は、上記各実施の形態に係る表示装置により構成されている。
【０１２０】
（適用例５）
図１７は、上記実施の形態の表示装置が適用される携帯電話機の外観を表したものである。この携帯電話機は、例えば、上側筐体７１０と下側筐体７２０とを連結部（ヒンジ部）７３０で連結したものであり、ディスプレイ７４０，サブディスプレイ７５０，ピクチャーライト７６０およびカメラ７７０を有している。そのディスプレイ７４０またはサブディスプレイ７５０は、上記各実施の形態に係る表示装置により構成されている。
【０１２１】
以上、実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、種々変形が可能である。例えば、上記実施の形態では、赤色有機発光素子１０Ｒ，緑色有機発光素子１０Ｇおよび青色有機発光素子１０Ｂが共振器構造を有する場合について説明したが、本発明は、共振器構造を有しない有機発光素子を用いた表示装置にも適用可能である。
【０１２２】
また、上記実施の形態では、表示領域１１０に、赤色有機発光素子１０Ｒ，緑色有機発光素子１０Ｇ，青色有機発光素子１０Ｂが順に全体としてマトリクス状に形成されている場合について説明したが、これらは必ずしも順に配列されていなければならないわけではなく、他の配列としてもよい。
【０１２３】
また、上記実施の形態において説明した各層の材料および厚み、または成膜方法および成膜条件などは限定されるものではなく、他の材料および厚みとしてもよく、または他の成膜方法および成膜条件としてもよい。例えば、上記実施の形態においては、基板１１の上に、第１電極１４，有機層１６および第２電極１７を基板１１の側から順で積層し、封止用基板５０の側から光を取り出すようにした場合について説明したが、積層順序を逆にして、基板１１の上に、第２電極１７，有機層１６および第１電極１４を基板１１の側から順に積層し、基板１１の側から光を取り出すようにすることもできる。
【０１２４】
加えてまた、例えば、上記実施の形態では、第１電極１４を陽極、第２電極１７を陰極とする場合について説明したが、陽極および陰極を逆にして、第１電極１４を陰極、第２電極１７を陽極としてもよい。さらに、第１電極１４を陰極、第２電極１７を陽極とすると共に、基板１１の上に、第２電極１７，有機層１６および第１電極１４を基板１１の側から順に積層し、基板１１の側から光を取り出すようにすることもできる。
【０１２５】
更にまた、上記実施の形態では、赤色有機発光素子１０Ｒ，緑色有機発光素子１０Ｇおよび青色有機発光素子１０Ｂの構成を具体的に挙げて説明したが、全ての層を備える必要はなく、また、他の層を更に備えていてもよい。例えば、第１電極１４と有機層１６との間に、酸化クロム（ＩＩＩ）（Ｃｒ2 Ｏ3 ），ＩＴＯ（Indium-Tin Oxide：インジウム（Ｉｎ）およびスズ（Ｓｎ）の酸化物混合膜）などからなる正孔注入用薄膜層を備えていてもよい。また、例えば第１電極１４は、誘電体多層膜とすることもできる。
【０１２６】
加えてまた、上記実施の形態では、第２電極１７が半透過性反射層により構成されている場合について説明したが、第２電極１７は、半透過性反射層と透明電極とが第１電極１４の側から順に積層された構造としてもよい。この透明電極は、半透過性反射層の電気抵抗を下げるためのものであり、発光層で発生した光に対して十分な透光性を有する導電性材料により構成されている。透明電極を構成する材料としては、例えば、ＩＴＯまたはインジウムと亜鉛（Ｚｎ）と酸素とを含む化合物が好ましい。室温で成膜しても良好な導電性を得ることができるからである。透明電極の厚みは、例えば３０ｎｍ以上１０００ｎｍ以下とすることができる。また、この場合、半透過性反射層を一方の端部とし、透明電極を挟んで半透過性電極に対向する位置に他方の端部を設け、透明電極を共振部とする共振器構造を形成するようにしてもよい。さらに、そのような共振器構造を設けた上で、赤色有機発光素子１０Ｒ，緑色有機発光素子１０Ｇおよび青色有機発光素子１０Ｂを保護膜３０で覆うようにし、この保護膜３０を、透明電極を構成する材料と同程度の屈折率を有する材料により構成すれば、保護膜３０を共振部の一部とすることができ、好ましい。
【０１２７】
更にまた、本発明は、第２電極１７を透明電極により構成すると共に、この透明電極の有機層１６と反対側の界面の反射率が大きくなるように構成し、第１電極１４と有機層１６との界面を第１端部、透明電極の有機層と反対側の界面を第２端部とした共振器構造を構成した場合についても適用することができる。例えば、透明電極を大気層に接触させ、透明電極と大気層との境界面の反射率を大きくして、この境界面を第２端部としてもよい。また、接着層との境界面での反射率を大きくして、この境界面を第２端部としてもよい。さらに、赤色有機発光素子１０Ｒ，緑色有機発光素子１０Ｇおよび青色有機発光素子１０Ｂを保護膜３０で覆い、この保護膜３０との境界面での反射率を大きくして、この境界面を第２端部としてもよい。
【０１２８】
加えてまた、上記実施の形態では、アクティブマトリクス型の表示装置の場合について説明したが、本発明はパッシブマトリクス型の表示装置への適用も可能である。更にまた、アクティブマトリクス駆動のための画素駆動回路の構成は、上記実施の形態で説明したものに限られず、必要に応じて容量素子やトランジスタを追加してもよい。その場合、画素駆動回路の変更に応じて、上述した信号線駆動回路１２０や走査線駆動回路１３０のほかに、必要な駆動回路を追加してもよい。
【０１２９】
更にまた、上記第３の実施の形態では、赤色，緑色および青色の三色フルカラー表示装置を例として説明したが、本発明は、白色、シアン色またはマゼンタ色等の中間色を加えた４色以上のフルカラー表示装置にも適用可能であり、これにより、色域をより広くすることができる。その場合、第一色目の有機層は、数１により算出する理論値Ｌの最も大きい色の有機層とすることが好ましい。理論値Ｌが大きい色は、理論値Ｌの小さい色に比べて、厚みのばらつきによる視野角特性が変化する感度が大きいからである。
【図面の簡単な説明】
【０１３０】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る表示装置の構成を表す図である。
【図２】図１に示した画素駆動回路の一例を表す図である。
【図３】図１に示した表示領域の構成を表す平面図である。
【図４】図３に示した有機発光素子の構成を表す断面図である。
【図５】赤色有機層，緑色有機層および青色有機層の表示領域内における厚み分布の形状の一例を表す図である。
【図６】赤色有機層，緑色有機層および青色有機層の表示領域内における厚み分布の形状の他の例を表す図である。
【図７】赤色有機層，緑色有機層および青色有機層の表示領域内における厚み分布の形状の更に他の例を表す図である。
【図８】図５に示した赤色有機層を形成する工程を説明するための図である。
【図９】表１に示した八つの組合せ（Ｎｏ．１〜Ｎｏ．８）のそれぞれに対応した色度変化を表す図である。
【図１０】本発明の第２の実施の形態に係る表示装置の製造方法の流れを表す図である。
【図１１】本発明の第３の実施の形態に係る表示装置の４５度の色度視野角特性を表す図である。
【図１２】上記実施の形態の表示装置を含むモジュールの概略構成を表す平面図である。
【図１３】上記実施の形態の表示装置の適用例１の外観を表す斜視図である。
【図１４】（Ａ）は適用例２の表側から見た外観を表す斜視図であり、（Ｂ）は裏側から見た外観を表す斜視図である。
【図１５】適用例３の外観を表す斜視図である。
【図１６】適用例４の外観を表す斜視図である。
【図１７】（Ａ）は適用例５の開いた状態の正面図、（Ｂ）はその側面図、（Ｃ）は閉じた状態の正面図、（Ｄ）は左側面図、（Ｅ）は右側面図、（Ｆ）は上面図、（Ｇ）は下面図である。
【符号の説明】
【０１３１】
１０…画素、１０Ｒ…赤色有機発光素子、１０Ｇ…緑色有機発光素子、１０Ｂ…青色有機発光素子、１１…基板、１４…第１電極、１５…電極間絶縁膜、１６…有機層、１６Ａ…正孔注入層、１６Ｂ…正孔輸送層、１６ＣＲ…赤色発光層、１６ＣＧ…緑色発光層、１６ＣＢ…青色発光層、１６Ｄ…電子輸送層、１７…第２電極、３０…保護膜、４０…接着層、５０…封止用基板、５１…カラーフィルタ、Ｐ１…第１端部、Ｐ２…第２端部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、赤，緑および青を含む複数色の有機発光素子を備えたフルカラー表示可能な表示装置の製造方法および表示装置に係り、特に共振器構造を有する有機発光素子を備えたものに好適な表示装置の製造方法および表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機発光素子は、第１電極および第２電極の間に発光層を含む有機層を有し、第１電極と第２電極との間に直流電圧を印加すると発光層において正孔−電子再結合が起こり、光を発生するものである。このような有機発光素子を用いた表示装置では、製造工程上の原因により有機層の厚みが表示領域内で変動し、色度または輝度ムラの原因となってしまう場合がある。
【０００３】
従来では、例えば特許文献１に記載されたように、有機層の厚みの変動によって生じる輝度ムラを、有機層の厚みの変動そのものを低減することによって解決しようとする提案がある。
【特許文献１】特開平１１−３３９９６０号公報
【特許文献２】特開平９−１９０８８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、この従来方法は、原因そのものである有機層の厚みの変動を低減するという直接的で効果の高い方法であるが、そのための装置構成が複雑になり、製造コストの増大を招いてしまうという問題があった。特に、ガラス基板サイズを大きくする場合、有機層の厚み分布の低減が困難になり、生産性の低下やパネル特性の悪化のおそれがあった。
【０００５】
また、有機発光素子では、発光層において発生した光を、第１電極と有機層との界面および第２電極と有機層との界面の間で多重反射により共振させる共振器構造を形成する場合がある。共振器構造における共振波長は、二つの界面の間の光路長（光学的距離）すなわち有機層の厚みによって決まり、有機層の厚みに対して極めて敏感な依存性を有する。そのため、有機層の厚み変動そのものを低減することにより色度または輝度ムラを抑えるという従来方法では、その厚み分布を非常に小さくする必要があり、上述した問題が更に顕著になってしまっていた。
【０００６】
また、共振器構造により共振された光のスペクトルはピークが高く幅が狭くなる。そのため、表示画面に対して正面方向の光取り出し効率が向上する一方、画面を斜めから見た場合には、発光波長が大きくシフトしたり、発光強度が低下するという問題があった。すなわち、従来では、画面を視る角度により輝度の差異や色ずれが生じ、視野角特性の悪化または画像品位の低下などを招いてしまうという問題があった。
【０００７】
更に、このような視野角特性の悪化の問題は、共振長のばらつき、すなわち、有機層の厚みのばらつきによっても生じてしまっていた。
【０００８】
ちなみに、従来では、有機発光素子の視野角特性を改善するため、透明基板に凹面構造、光拡散層または光屈折層などを形成することにより、光の出射方向を拡散させ、光の指向性を平均化することで視野角の拡大を図ろうとする試みがある（例えば、特許文献２参照。）しかし、この方法では、透明基板に形成した凹面構造、光拡散層または光屈折層などにより、外光も散乱され、外光コントラストが著しく悪化してしまうという問題があった。また、新たに凹面構造、光拡散層または光屈折層などを設ける必要があり、コストアップの原因にもなっていた。
【０００９】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、有機層の厚みのばらつきに起因する視野角特性の悪化、または輝度あるいは色度のムラを抑えることができ、表示品質を向上させることができる表示装置の製造方法および表示装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明による表示装置の製造方法は、基板に第１電極、発光層を含む有機層および第２電極を順に積層することにより複数の有機発光素子を形成すると共に、前記複数の有機発光素子として、赤色，緑色および青色を含む複数色の有機発光素子を形成するものであって、有機層を形成する工程は、以下の（Ａ）〜（Ｄ）の工程を含むものである。
（Ａ）複数色のうち第一色目の有機層を、理論値Ｌの厚みで形成する工程
（Ｂ）第一色目の有機層の厚みＬｄを計測する工程
（Ｃ）複数色のうち他の色の有機層について、各色ごとの理論値Ｌに、第一色目の有機層の厚みＬｄの計測結果に基づいて各色ごとに算出した補正値ａを加えることにより、各色ごとに設定値Ｌａを算出する工程
（Ｄ）他の色の有機層を設定値Ｌａの厚みで形成する工程
【００１１】
本発明による表示装置は、第１電極および第２電極の間に発光層を含む赤色有機層を有する赤色有機発光素子と、第１電極および第２電極の間に発光層を含む緑色有機層を有する緑色有機発光素子と、第１電極および第２電極の間に発光層を含む青色有機層を有する青色有機発光素子とを配列した表示領域を備え、緑色有機層または青色有機層の表示領域内における厚み分布の形状は、赤色有機層を含む残り二色の有機層の表示領域内における厚み分布を緩和可能な形状であるものである。
【００１２】
なお、本明細書における「厚み分布」とは、一つの有機発光素子内における厚み分布ではなく、表示領域（表示有効エリア）内における厚み分布をいう。
【００１３】
本発明による表示装置では、表示領域内において赤，緑および青の各色有機層の厚み分布があり、この厚み分布に従って赤，緑および青の発光波長が表示領域内で変化している。よって、赤，緑および青の単色の色度または輝度に表示領域内で分布が生じていると共に、赤，緑および青の混色によって構成される白色または中間色を表示したときの色度または輝度にも表示領域内で分布が生じている。ここでは、緑色有機層または青色有機層の表示領域内における厚み分布の形状が、赤色有機層を含む残り二色の有機層の表示領域内における厚み分布を緩和可能な形状とされているので、緑または青の単色の色度または輝度の分布は、残り二色の色度または輝度の分布と相殺されて、白色または中間色を表示したときの色度または輝度の分布が低減される。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の表示装置の製造方法によれば、第一色目の有機層を、理論値Ｌの厚みで形成し、その厚みＬｄを計測したのち、他の色の有機層について、各色ごとの理論値Ｌに、第一色目の有機層の厚みＬｄの計測結果に基づいて各色ごとに算出した補正値ａを加えることにより、各色ごとに設定値Ｌａを算出し、その設定値Ｌａの厚みで他の色の有機層を形成するようにしたので、第一色目の有機層の厚みの変動による影響を、他の色の有機層の厚み調整により緩和することが可能となる。よって、有機層の厚みの変動に起因する視野角特性の悪化を抑えることができ、特に赤，緑および青の混色によって構成される白色または中間色を表示したときの視野角特性の悪化を抑え、表示品質を高めることができる。
【００１５】
本発明の表示装置によれば、緑色有機層または青色有機層の表示領域内における厚み分布の形状を、赤色有機層を含む残り二色の有機層の表示領域内における厚み分布を緩和可能な形状とするようにしたので、赤，緑および青の混色によって構成される白色または中間色を表示したときの色度または輝度の分布を低減することができる。よって、特に人間の視覚特性上視認されやすい白色または中間色の色度または輝度ムラを抑え、表示品質を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００１７】
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る有機発光素子を用いた表示装置の構成を表すものである。この表示装置は、極薄型の有機発光カラーディスプレイ装置などとして用いられるものであり、例えば、ガラス，シリコン（Ｓｉ）ウェハあるいは樹脂などよりなる基板１１の上に、後述する複数の有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂがマトリクス状に配置されてなる表示領域１１０が形成されると共に、この表示領域１１０の周辺に、映像表示用のドライバである信号線駆動回路１２０および走査線駆動回路１３０が形成されたものである。
【００１８】
表示領域１１０内には画素駆動回路１４０が形成されている。図２は、画素駆動回路１４０の一例を表したものである。この画素駆動回路１４０は、後述する第１電極１５の下層に形成され、駆動トランジスタＴｒ１および書き込みトランジスタＴｒ２と、その間のキャパシタ（保持容量）Ｃｓと、第１の電源ライン（Ｖｃｃ）および第２の電源ライン（ＧＮＤ）の間において駆動トランジスタＴｒ１に直列に接続された有機発光素子１０Ｒ（または１０Ｇ，１０Ｂ）とを有するアクティブ型の駆動回路である。駆動トランジスタＴｒ１および書き込みトランジスタＴｒ２は、一般的な薄膜トランジスタ（ＴＦＴ（Thin Film Transistor））により構成され、その構成は例えば逆スタガー構造（いわゆるボトムゲート型）でもよいしスタガー構造（トップゲート型）でもよく特に限定されない。
【００１９】
画素駆動回路１４０において、列方向には信号線１２０Ａが複数配置され、行方向には走査線１３０Ａが複数配置されている。各信号線１２０Ａと各走査線１３０Ａとの交差点が、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂのいずれか一つ（サブピクセル）に対応している。各信号線１２０Ａは、信号線駆動回路１２０に接続され、この信号線駆動回路１２０から信号線１２０Ａを介して書き込みトランジスタＴｒ２のソース電極に画像信号が供給されるようになっている。各走査線１３０Ａは走査線駆動回路１３０に接続され、この走査線駆動回路１３０から走査線１３０Ａを介して書き込みトランジスタＴｒ２のゲート電極に走査信号が順次供給されるようになっている。
【００２０】
図３は、表示領域１１０の平面構成の一例を表したものである。表示領域１１０には、赤色の光を発生する赤色有機発光素子１０Ｒと、緑色の光を発生する緑色有機発光素子１０Ｇと、青色の光を発生する青色有機発光素子１０Ｂとが、順に全体としてマトリクス状に形成されている。なお、隣り合う赤色有機発光素子１０Ｒ，緑色有機発光素子１０Ｇおよび青色有機発光素子１０Ｂ（以下、「有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂ」と総称する。）の組み合わせが一つの画素（ピクセル）１０を構成している。
【００２１】
図４は図３に示した有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの断面構成を表すものである。有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂは、それぞれ、基板１１の側から、上述した画素駆動回路１４０の駆動トランジスタＴｒ１、平坦化絶縁膜１３、陽極としての第１電極１４、電極間絶縁膜１５、後述する発光層１６ＣＲ，１６ＣＧ，１６ＣＢを含む赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇまたは青色有機層１６Ｂ、および陰極としての第２電極１７がこの順に積層された構成を有している。
【００２２】
このような有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂは、窒化ケイ素（ＳｉＮx ）などの保護膜３０により被覆され、更にこの保護膜３０上に接着層４０を間にしてガラスなどよりなる封止用基板５０が全面にわたって貼り合わされることにより封止されている。
【００２３】
駆動トランジスタＴｒ１は、平坦化絶縁膜１３に設けられた接続孔１３Ａを介して第１電極１５に電気的に接続されている。
【００２４】
平坦化絶縁膜１３は、画素駆動回路１４０が形成された基板１１の表面を平坦化するためのものであり、微細な接続孔１３Ａが形成されるためパターン精度が良い材料により構成されていることが好ましい。平坦化絶縁膜１３の構成材料としては、例えば、ポリイミド等の有機材料、あるいは酸化シリコン（ＳｉＯ2 ）などの無機材料が挙げられる。
【００２５】
第１電極１４は、反射層としての機能も兼ねており、できるだけ高い反射率を有するようにすることが発光効率を高める上で望ましい。第１電極１４は、例えば積層方向の厚み（以下、単に厚みと言う）が１００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下であり、クロム（Ｃｒ），金（Ａｕ），白金（Ｐｔ），ニッケル（Ｎｉ），銅（Ｃｕ），タングステン（Ｗ）あるいは銀（Ａｇ）などの金属元素の単体または合金が挙げられる。
【００２６】
電極間絶縁膜１５は、第１電極１４と第２電極１７との絶縁性を確保すると共に発光領域を正確に所望の形状にするためのものであり、例えば感光性樹脂により構成されている。電極間絶縁膜１５には、発光領域に対応して開口部が設けられている。なお、有機層１６および第２電極１７は、開口部だけでなく電極間絶縁膜１５の上にも設けられているが、発光が生じるのは電極間絶縁膜１５の開口部だけである。
【００２７】
赤色有機層１６Ｒは、例えば、第１電極１４の側から順に、正孔注入層１６ＡＲ，正孔輸送層１６ＢＲ，発光層１６ＣＲおよび電子輸送層１６ＤＲを積層した構成を有する。緑色有機層１６Ｇは、例えば、第１電極１４の側から順に、正孔注入層１６ＡＧ，正孔輸送層１６ＢＧ，発光層１６ＣＧおよび電子輸送層１６ＤＧを積層した構成を有する。青色有機層１６Ｂは、例えば、第１電極１４の側から順に、正孔注入層１６ＡＢ，正孔輸送層１６ＢＢ，発光層１６ＣＢおよび電子輸送層１６ＤＢを積層した構成を有する。これらのうち発光層１６ＣＲ，１６ＣＧ，１６ＣＢ以外の層は必要に応じて設ければよい。また、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇまたは青色有機層１６Ｂは、それぞれ構成が異なっていてもよい。正孔注入層１６ＡＲ，１６ＡＧ，１６ＡＢは、正孔注入効率を高めるためのものであると共に、リークを防止するためのバッファ層である。正孔輸送層１６ＢＲ，１６ＢＧ，１６ＢＢは、発光層１６ＣＲ，１６ＣＧ，１６ＣＢへの正孔輸送効率を高めるためのものである。発光層１６ＣＲ，１６ＣＧ，１６ＣＢは、電界をかけることにより電子と正孔との再結合が起こり、光を発生するものである。電子輸送層１６ＤＲ，１６ＤＧ，１６ＤＢは、発光層１６ＣＲ，１６ＣＧ，１６ＣＢへの電子輸送効率を高めるためのものである。なお、電子輸送層１６Ｄと第２電極１７との間には、ＬｉＦ，Ｌｉ2 Ｏなどよりなる電子注入層（図示せず）を設けてもよい。
【００２８】
赤色有機層１６Ｒの正孔注入層１６ＡＲは、例えば、厚みが５ｎｍ以上３００ｎｍ以下であり、４，４’，４”−トリス（３−メチルフェニルフェニルアミノ）トリフェニルアミン（ｍ−ＭＴＤＡＴＡ）あるいは４，４’，４”−トリス（２−ナフチルフェニルアミノ）トリフェニルアミン（２−ＴＮＡＴＡ）により構成されている。赤色有機層１６Ｒの正孔輸送層１６ＢＲは、例えば、厚みが５ｎｍ以上３００ｎｍ以下であり、ビス［（Ｎ−ナフチル）−Ｎ−フェニル］ベンジジン（α−ＮＰＤ）により構成されている。赤色有機層１６Ｒの発光層１８ＣＲは、例えば、厚みが１０ｎｍ以上１００ｎｍ以下であり、８−キノリノールアルミニウム錯体（Ａｌｑ3 ）に２，６−ビス［４−［Ｎ−（４−メトキシフェニル）−Ｎ−フェニル］アミノスチリル］ナフタレン−１，５−ジカルボニトリル（ＢＳＮ−ＢＣＮ）を４０体積％混合したものにより構成されている。赤色有機層１６Ｒの電子輸送層１６ＤＲは、例えば、厚みが５ｎｍ以上３００ｎｍ以下であり、Ａｌｑ3 により構成されている。
【００２９】
緑色有機層１６Ｇの正孔注入層１６ＡＧは、例えば、厚みが５ｎｍ以上３００ｎｍ以下であり、ｍ−ＭＴＤＡＴＡあるいは２−ＴＮＡＴＡにより構成されている。緑色有機層１６Ｇの正孔輸送層１６ＢＧは、例えば、厚みが５ｎｍ以上３００ｎｍ以下であり、α−ＮＰＤにより構成されている。緑色有機層１６Ｇの発光層１６ＣＧは、例えば、厚みが１０ｎｍ以上１００ｎｍ以下であり、Ａｌｑ3 にクマリン６（Ｃｏｕｍａｒｉｎ６）を３体積％混合したものにより構成されている。緑色有機層１６Ｇの電子輸送層１６ＤＧは、例えば、厚みが５ｎｍ以上３００ｎｍ以下であり、Ａｌｑ3 により構成されている。
【００３０】
青色有機層１６Ｂの正孔注入層１６ＡＢは、例えば、厚みが５ｎｍ以上３００ｎｍ以下であり、ｍ−ＭＴＤＡＴＡあるいは２−ＴＮＡＴＡにより構成されている。青色有機層１６Ｂの正孔輸送層１６ＢＢは、例えば、厚みが５ｎｍ以上３００ｎｍ以下であり、α−ＮＰＤにより構成されている。青色有機層１６Ｂの発光層１８ＣＢは、例えば、厚みが１０ｎｍ以上１００ｎｍ以下であり、スピロ６Φ（ｓｐｉｒｏ６Φ）により構成されている。青色有機層１６Ｂの電子輸送層１６ＤＢは、例えば、厚みが５ｎｍ以上３００ｎｍ以下であり、Ａｌｑ3 により構成されている。
【００３１】
第２電極１７は、例えば、厚みが５ｎｍ以上５０ｎｍ以下であり、アルミニウム（Ａｌ），マグネシウム（Ｍｇ），カルシウム（Ｃａ），ナトリウム（Ｎａ）などの金属元素の単体または合金により構成されている。中でも、マグネシウムと銀との合金（ＭｇＡｇ合金）、またはアルミニウム（Ａｌ）とリチウム（Ｌｉ）との合金（ＡｌＬｉ合金）が好ましい。
【００３２】
第２電極１７は、また、半透過性反射層としての機能を兼ねている。すなわち、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂは、第１電極１４と赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇまたは青色有機層１６Ｂとの界面を第１端部Ｐ１、第２電極１７と赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇまたは青色有機層１６Ｂとの界面を第２端部Ｐ２とし、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇまたは青色有機層１６Ｂを共振部として、発光層１６ＣＲ，１６ＣＧ，１６ＣＢで発生した光を共振させて第２端部Ｐ２の側から取り出す共振器構造を有している。このように共振器構造を有するようにすれば、発光層１６ＣＲ，１６ＣＧ，１６ＣＢで発生した光が多重干渉を起こし、第２端部Ｐ２の側から取り出される光のスペクトルの半値幅が減少し、ピーク強度を高めることができる。すなわち、色純度を向上させ、発光効率を高めることができる。また、封止用基板５０側から入射した外光についても多重干渉により減衰させることができ、後述するカラーフィルタ５１との組合せにより有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂにおける外光の反射率を極めて小さくすることができる。
【００３３】
そのためには、第１端部Ｐ１と第２端部Ｐ２との間の光学的距離Ｌは数１を満たすようにすることが好ましい。
【００３４】
（数１）
（２Ｌ）／λ＋Φ／（２π）＝ｍ
（式中、Ｌは第１端部Ｐ１と第２端部Ｐ２との間の光学的距離、Φは第１端部Ｐ１で生じる反射光の位相シフトΦ1 と第２端部Ｐ２で生じる反射光の位相シフトΦ2 との和（Φ＝Φ1 ＋Φ2 ）（ｒａｄ）、λは第２端部Ｐ２の側から取り出したい光のスペクトルのピーク波長、ｍはＬが正となる整数をそれぞれ表す。なお、数１においてＬおよびλは単位が共通すればよいが、例えば（ｎｍ）を単位とする。）
【００３５】
光学的距離Ｌは、具体的には、共振器の共振波長（取り出される光のスペクトルのピーク波長）と、第２端部Ｐ２の側から取り出したい光のスペクトルのピーク波長とを一致させ、光取り出し効率を高めるように決定される。
【００３６】
また、光学的距離Ｌは、第１端部Ｐ１と第２端部Ｐ２との間に挟まれた赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇまたは青色有機層１６Ｂの厚みに相当する。赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇまたは青色有機層１６Ｂは、表示領域１１０内において厚み分布を有する。この厚み分布は、後述する成膜プロセスに起因するものであり、上述したようにその厚み分布自体を小さくすることには限界がある。
【００３７】
本実施の形態では、緑色有機層１６Ｇまたは青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布の形状は、赤色有機層１６Ｒを含む残り二色の有機層の表示領域１１０内における厚み分布を緩和可能な形状である。これにより、この表示装置では、輝度または色度のムラを抑えて表示品質を向上させることができるようになっている。
【００３８】
より好ましくは、緑色有機層１６Ｇまたは青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布の形状は、赤色有機層１６Ｒを含む残り二色の有機層の表示領域１１０内における厚み分布を打消し可能な形状である。このようにすることにより、輝度または色度のムラを確実に抑えることができるからである。
【００３９】
図５ないし図７は、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇまたは青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布の形状の例を表したものである。具体的には、緑色有機層１６Ｇの表示領域１１０内における厚み分布ＤＧの形状と、赤色有機層１６Ｒおよび青色有機層１６Ｂの有機層の表示領域１１０内における厚み分布ＤＲ，ＤＢの形状とは、設定厚みの線Ｌに関して対称であることが好ましい。なお、ここにいう「対称」とは必ずしも正確に設定厚みの線Ｌに関して対称である場合に限らず、ほぼ対称であればよい。
【００４０】
例えば、図５に示したように、緑色有機層１６Ｇの表示領域１１０内における厚み分布ＤＧの形状は、表示領域１１０の中央付近で厚く周辺で薄い凸形状であり、赤色有機層１６Ｒおよび青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲ，ＤＢの形状は、表示領域１１０の中央付近で薄く周辺で厚い凹形状である。
【００４１】
この反対に、緑色有機層１６Ｇの表示領域１１０内における厚み分布ＤＧが凹形状、赤色有機層１６Ｒおよび青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲ，ＤＢが凸形状であってもよい。
【００４２】
また、緑色有機層１６Ｇに代えて、青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＢが凸形状、赤色有機層１６Ｒおよび緑色有機層１６Ｇの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲ，ＤＧが凹形状であってもよい。
【００４３】
更にその反対に、青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＢが凹形状、赤色有機層１６Ｒおよび緑色有機層１６Ｇの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲ，ＤＧが凸形状であってもよい。
【００４４】
あるいは、例えば図６に示したように、緑色有機層１６Ｇの表示領域１１０内における厚み分布ＤＧの形状は、表示領域１１０の左端から右端に向かって厚くなる右上がり形状であり、赤色有機層１６Ｒおよび青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲ，ＤＢの形状は、表示領域１１０の右端から左端に向かって厚くなる左上がり形状である。
【００４５】
この反対に、緑色有機層１６Ｇの表示領域１１０内における厚み分布ＤＧが左上がり形状、赤色有機層１６Ｒおよび青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲ，ＤＢが右上がり形状であってもよい。
【００４６】
また、緑色有機層１６Ｇに代えて、青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＢが右上がり形状、赤色有機層１６Ｒおよび緑色有機層１６Ｇの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲ，ＤＧの形状が左上がり形状であってもよい。
【００４７】
更にその反対に、青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＢが左上がり形状、赤色有機層１６Ｒおよび青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲ，ＤＧが右上がり形状であってもよい。
【００４８】
また、例えば図７に示したように、緑色有機層１６Ｇの表示領域１１０内における厚み分布ＤＧの形状は、表示領域１１０の左部に極大値、右部に極小値を有する凸凹形状であり、赤色有機層１６Ｒおよび青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲの形状は、表示領域１１０の左部に極小値、右部に極大値を有する凹凸形状である。
【００４９】
この反対に、緑色有機層１６Ｇの表示領域１１０内における厚み分布ＤＧが凹凸形状、赤色有機層１６Ｒおよび青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲ，ＤＢが凸凹形状であってもよい。
【００５０】
また、緑色有機層１６Ｇに代えて、青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＢが凸凹形状、赤色有機層１６Ｒおよび緑色有機層１６Ｇの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲ，ＤＧの形状が凹凸形状であってもよい。
【００５１】
更にその反対に、青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＢが凹凸形状、赤色有機層１６Ｒおよび青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲ，ＤＧが凸凹形状であってもよい。
【００５２】
図４に示した接着層４０は、例えば熱硬化型樹脂または紫外線硬化型樹脂により構成されている。
【００５３】
図４に示した封止用基板５０は、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの第２電極１７の側に位置しており、接着層４０と共に有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂを封止するものであり、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂで発生した光に対して透明なガラスなどの材料により構成されている。封止用基板５０には、例えば、カラーフィルタ５１が設けられており、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂで発生した光を取り出すと共に、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂ並びにその間の配線において反射された外光を吸収し、コントラストを改善するようになっている。
【００５４】
カラーフィルタ５１は、封止用基板５０のどちら側の面に設けられてもよいが、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの側に設けられることが好ましい。カラーフィルタ５１が表面に露出せず、接着層４０により保護することができるからである。また、発光層１６ＣＲ，１６ＣＧ，１６ＣＢとカラーフィルタ５１との間の距離が狭くなることにより、発光層１６ＣＲ，１６ＣＧ，１６ＣＢから出射した光が隣接する他の色のカラーフィルタ５１に入射して混色を生じることを避けることができるからである。カラーフィルタ５１は、赤色フィルタ，緑色フィルタおよび青色フィルタ（いずれも図示せず）を有しており、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂに対応して順に配置されている。
【００５５】
赤色フィルタ，緑色フィルタおよび青色フィルタは、それぞれ例えば矩形形状で隙間なく形成されている。これら赤色フィルタ，緑色フィルタおよび青色フィルタは、顔料を混入した樹脂によりそれぞれ構成されており、顔料を選択することにより、目的とする赤，緑あるいは青の波長域における光透過率が高く、他の波長域における光透過率が低くなるように調整されている。
【００５６】
更に、カラーフィルタ５１における透過率の高い波長範囲と、共振器構造から取り出したい光のスペクトルのピーク波長λとは一致している。これにより、封止用基板５０から入射する外光のうち、取り出したい光のスペクトルのピーク波長λに等しい波長を有するもののみがカラーフィルタ５１を透過し、その他の波長の外光が有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂに侵入することが防止される。
【００５７】
この表示装置は、例えば次のようにして製造することができる。
【００５８】
まず、上述した材料よりなる基板１１の上に駆動トランジスタＴｒ１を含む画素駆動回路１４０を形成したのち、全面に感光性樹脂を塗布することにより平坦化絶縁膜１３を形成し、露光および現像により平坦化絶縁膜１３を所定の形状にパターニングすると共に接続孔１３Ａを形成し、焼成する。
【００５９】
次いで、例えばスパッタ法により、上述した材料よりなる第１電極１４を形成し、ウェットエッチングにより第１電極１４を選択的に除去して各有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂごとに分離する。
【００６０】
続いて、基板１１の全面にわたり感光性樹脂を塗布し、例えばフォトリソグラフィ法により発光領域に対応して開口部を設け、焼成することにより、電極間絶縁膜１５を形成する。
【００６１】
そののち、図８に示したように、ライン状蒸発源６１上で基板１１を一方向（矢印Ａ方向）に進行させて、例えば蒸着法により、上述した厚みおよび材料よりなる赤色有機層１６Ｒの正孔注入層１６ＡＲ，正孔輸送層１６ＢＲ，発光層１６ＣＲおよび電子輸送層１６ＤＲを形成する。このライン状蒸発源６１は、左部，中心部および右部の３分割のヒータ６２Ｌ，６２Ｃ，６２Ｒおよび温度制御器（図示せず）を有しており、個別に温度制御が可能となっている。中心部の温度を左部および右部に対して相対的に高くすることにより、中心部の蒸発レートが左部および右部よりも高くなるので、赤色有機層１６Ｒの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲを凸形状とすることができる。また、中心部の温度を左部および右部に対して相対的に低くすることにより、中心部の蒸発レートが左部および右部よりも低くなるので、赤色有機層１６Ｒの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲを凹形状とすることができる。
【００６２】
赤色有機層１６Ｒを形成したのち、赤色有機層１６Ｒと同様にして、緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂを順次形成する。その際、ライン状蒸発源６１の左部，中心部および右部の温度を、赤色有機層１６Ｒの形成工程と同様に制御する。これにより、図５に示したように、緑色有機層１６Ｇの表示領域１１０内における厚み分布ＤＧの形状を、例えば、表示領域１１０の中央付近で厚く周辺で薄い凸形状とし、赤色有機層１６Ｒおよび青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲ，ＤＢの形状を、例えば、表示領域１１０の中央付近で薄く周辺で厚い凹形状とする。
【００６３】
青色有機層１６Ｂを形成したのち、例えば蒸着法により、上述した厚みおよび材料よりなる第２電極１７を成膜し、図５に示したような有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂを形成する。続いて、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの上に上述した材料よりなる保護膜３０を形成する。
【００６４】
また、例えば、上述した材料よりなる封止用基板５０の上に、赤色フィルタの材料をスピンコートなどにより塗布し、フォトリソグラフィ技術によりパターニングして焼成することにより赤色フィルタを形成する。続いて、赤色フィルタと同様にして、青色フィルタおよび緑色フィルタを順次形成する。
【００６５】
そののち、保護膜３０の上に、接着層４０を形成し、この接着層４０を間にして封止用基板５０を貼り合わせる。その際、封止用基板５０のカラーフィルタ５１を形成した面を、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂ側にして配置することが好ましい。以上により、図３ないし図５に示した表示装置が完成する。
【００６６】
この表示装置では、各画素に対して走査線駆動回路１３０から書き込みトランジスタＴｒ２のゲート電極を介して走査信号が供給されると共に、信号線駆動回路１２０から画像信号が書き込みトランジスタＴｒ２を介して保持容量Ｃｓに保持される。すなわち、この保持容量Ｃｓに保持された信号に応じて駆動トランジスタＴｒ１がオンオフ制御され、これにより、各有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂに駆動電流Ｉｄが注入されることにより、正孔と電子とが再結合して発光が起こる。この光は、第１電極１４と第２電極１７との間で多重反射し、第２電極１７，カラーフィルタ５１および封止用基板５０を透過して取り出される。
【００６７】
このとき、表示領域１１０内においては、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの厚み分布ＤＲ，ＤＧ，ＤＢがあり、この厚み分布ＤＲ，ＤＧ，ＤＢに従って赤，緑および青の発光波長が表示領域１１０内で変化している。よって、赤，緑および青の単色の色度または輝度に表示領域１１０内で分布が生じていると共に、赤，緑および青の混色によって構成される白色または中間色を表示したときの色度または輝度にも表示領域１１０内で分布が生じている。ここで、本実施の形態では、例えば図５に示したように、緑色有機層１６Ｇの表示領域１１０内における厚み分布ＤＧの形状は、例えば、表示領域１１０の中央付近で厚く周辺で薄い凸形状とされ、赤色有機層１６Ｒおよび青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲ，ＤＢの形状は、例えば、表示領域１１０の中央付近で薄く周辺で厚い凹形状とされているので、緑の単色の色度または輝度の分布は、赤および青の色度または輝度の分布と相殺されて、白色または中間色を表示したときの色度または輝度の分布が低減される。一般的に、人間の視覚特性上、赤，緑および青の飽和色よりも、白色または肌色といった中間色の色度または輝度ムラが視認されやすい。よって、白色または中間色の色度または輝度の分布が低減されることにより、視認される色度または輝度ムラが抑えられ、その結果、表示品質が向上する。
【００６８】
表１は、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの厚み分布ＤＲ，ＤＧ，ＤＢの形状の八つの組合せ（Ｎｏ．１〜Ｎｏ．８）について、表示領域１１０の中心部および端部の白色色差Δｕ’ｖ’および輝度比Ｙ（端部）／Ｙ（中心部）のシミュレーション結果を表すものである。表１では、（青，緑，赤）＝（凸，凹，凹），（凹，凸，凹），（凸，凹，凸），（凹，凸，凸）の四つの場合（Ｎｏ．２，３，５，６）のみ白色色差および輝度比が小さくなっている。
【００６９】
【表１】
【００７０】
なお、シミュレーションでは、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの設定厚みをそれぞれ１９６ｎｍ，１００ｎｍ，１２０ｎｍとし、厚み分布ＤＲ，ＤＧ，ＤＢは、設定厚みに対して表示領域１１０の中心部と端部とで±２％となるように設定した。従って、厚み分布ＤＲ，ＤＧ，ＤＢの形状は、設定厚みに対して中心部が９８％、端部が１０２％となる凹形状と、中心部が１０２％、端部が９８％となる凸形状との２種類がある。
【００７１】
表示領域１１０の中心部および端部の白色色差Δｕ’ｖ’および輝度比Ｙ（端部）／Ｙ（中心部）の計算は、次のようにして行った。赤，緑および青の各色について、各有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの構成材料のｎｋ値および厚みから、共振器フィルターのスペクトルを計算した。この際、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの厚みを上述した厚み分布ＤＲ，ＤＧ，ＤＢの形状に対応した値で形成し、厚み分布ＤＲ，ＤＧ，ＤＢの各点での共振器フィルターを計算することができる。得られた共振器フィルターのスペクトルに、干渉効果を含まない発光層１６ＣＲ，１６ＣＧ，１６ＣＢ内部のスペクトルを掛け合わせ、更にカラーフィルタ５１の透過率を掛け合わせることにより、表示装置の外部に取り出される発光スペクトルが得られる。厚み分布ＤＲ，ＤＧ，ＤＢを構成する各点の赤，緑および青の発光スペクトルから、各点の色度および輝度を計算する。表示領域１１０の中心部でホワイトバランスの調整を行い、表示領域１１０の各位置での白色色度および輝度から、表示領域１１０の中心部と端部の白色色差Δｕ’ｖ’および輝度比Ｙ（端部）／Ｙ（中心部）を計算した。
【００７２】
表２は、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの設定厚みをそれぞれ１９６ｎｍ，２４５ｎｍ，２９０ｎｍとしたことを除いては、表１と同様にしてシミュレーションを行った結果を表したものである。表２では、表１と同様に、（青，緑，赤）＝（凸，凹，凹），（凹，凸，凹），（凸，凹，凸），（凹，凸，凸）の四つの場合（Ｎｏ．２，３，５，６）のみ白色色差および輝度比が小さくなっている。
【００７３】
【表２】
【００７４】
以上の結果を、図９を参照して更に説明する。図９は、表１に示した八つの組合せ（Ｎｏ．１〜Ｎｏ．８）のそれぞれに対応した色度変化を表したものである。位置０ｍｍが図９の（０，０）に対応し、位置３００ｍｍ、−３００ｍｍはそれぞれのプロットの端部に対応する。青と緑の厚み分布ＤＧ，ＤＢの形状が同一、すなわち（青，緑）＝（凸，凸），（凹，凹）であるＮｏ．１，４，５，８の場合、中心部からの色差Δｕ’ｖ’は直線的に大きくなる。青と緑の厚み分布ＤＧ，ＤＢの形状が異なる、すなわち（青，緑）＝（凸，凹），（凹，凸）であるＮｏ．２，３，６，７の場合、中心部からの色差Δｕ’ｖ’は曲線的になり、小さくなる。輝度比Ｙ（端部）／Ｙ（中心部）は、緑および青の変化に大きく依存するので、緑および青が同形状の厚み分布ＤＧ，ＤＢを持つ（青，緑）＝（凸，凸），（凹，凹）の場合（Ｎｏ．１，４，５，８）に大きくなり、緑および青が異なる形状の厚み分布ＤＧ，ＤＢを持つ（緑，青）＝（凸，凹），（凹，凸）の場合（Ｎｏ．２，３，６，７）には相殺して小さくなる。
【００７５】
すなわち、緑色有機層１６Ｇまたは青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布の形状を、赤色有機層１６Ｒを含む残り二色の有機層の有機層の表示領域１１０内における厚み分布を緩和可能な形状とすれば、緑または青の単色の色度または輝度の分布を、残り二色の色度または輝度の分布と相殺し、白色または中間色を表示したときの色度または輝度の分布を低減することができることが分かる。
【００７６】
表３は、図６に示したような斜めの厚み分布ＤＲ，ＤＧ，ＤＢの四つの組合せ（Ｎｏ．１〜Ｎｏ．４）について、表示領域１１０内の２点間で最大となる白色色差Δｕ’ｖ’および輝度比Ｙ（最小値）／Ｙ（最大値）のシミュレーション結果を表すものである。表３では、（赤，緑，青）＝（／，／，＼），（／，＼，／）の場合のみ白色色差および輝度比が小さくなっている。なお、３色すべてが中心に対して左右対称の組み合わせの場合は表３と同様の結果であるため、省略した。
【００７７】
【表３】
【００７８】
なお、シミュレーションでは、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの設定厚みをそれぞれ１９６ｎｍ，１００ｎｍ，１２０ｎｍとし、厚み分布ＤＲ，ＤＧ，ＤＢは、設定厚みに対して表示領域１１０内の最厚点と最薄点とで±２％となるように設定した。従って、厚み分布ＤＲ，ＤＧ，ＤＢの形状は、設定厚みに対して左側の最薄点が９８％、右側の最厚点が１０２％となる右上がり形状（／）と、左側の最厚点が１０２％、右側の最薄点が９８％となる左上がり形状（＼）との２種類がある。
【００７９】
すなわち、斜めの厚み分布とした場合も、凹凸分布の場合と同様に、緑色有機層１６Ｇまたは青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布の形状を、赤色有機層１６Ｒを含む残り二色の有機層の有機層の表示領域１１０内における厚み分布を緩和可能な形状とすれば、緑または青の単色の色度または輝度の分布を、残り二色の色度または輝度の分布と相殺し、白色または中間色を表示したときの色度または輝度の分布を低減することができることが分かる。
【００８０】
このように本実施の形態では、緑色有機層１６Ｇまたは青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布の形状を、赤色有機層１６Ｒを含む残り二色の有機層の有機層の表示領域１１０内における厚み分布を緩和可能な形状とするようにしたので、赤，緑および青の混色によって構成される白色または中間色を表示したときの色度または輝度の分布を低減することができる。よって、特に人間の視覚特性上視認されやすい白色または中間色の色度または輝度ムラを抑え、表示品質を向上させることができる。
【００８１】
（第２の実施の形態）
図１０は本発明の第２の実施の形態に係る表示装置の製造方法の流れを表すものである。この製造方法は、第１の実施の形態で説明した製造方法とは赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂを形成する工程が異なるものである。なお、この製造方法は、第１の実施の形態に係る表示装置を製造する場合に限られるものではないが、理解を容易とするために、第１の実施の形態で示した図５に示したような緑色有機層１６Ｇの表示領域１１０内における厚み分布ＤＧの形状は、表示領域１１０の中央付近で厚く周辺で薄い凸形状であり、赤色有機層１６Ｒおよび青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲ，ＤＢの形状は、表示領域１１０の中央付近で薄く周辺で厚い凹形状である表示装置を製造する場合について説明する。
【００８２】
まず、第１の実施の形態と同様にして、基板１１の上に画素駆動回路１４０，平坦化絶縁膜１３，第１電極１４および電極間絶縁膜１５を形成する。
【００８３】
次いで、第１の実施の形態と同様にして、図８に示した工程により、赤色有機層１６Ｒを形成する（ステップＳ１０１）。その際、赤色有機層１６Ｒは、数１により算出した理論値Ｌの厚みで形成するが、製造工程上の原因により、表示領域１１０内において厚み分布ＤＲが生じ、この厚み分布ＤＲ自体を小さくすることには限界がある。
【００８４】
続いて、例えば蒸着速度モニターを用いて、赤色有機層１６Ｒの厚みＬｄを計測する（ステップＳ１０２）。また、蒸着速度モニターに代えて、光学干渉式の膜厚測定器（膜厚センサ）を用いれば、膜厚測定精度の向上が期待できる。
【００８５】
そののち、緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂについて、各色ごとの理論値Ｌに、赤色有機層１６Ｒの厚みＬｄの計測結果に基づいて各色ごとに算出した補正値ａを加えることにより、各色ごとに設定値Ｌａを算出する（ステップＳ１０３）。
【００８６】
例えば、赤色有機層１６Ｒの厚みＬｄを計測した結果として、赤色有機層１６Ｒの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲが凹形状になっていた場合には、図５に示したように、緑色有機層１６Ｇの表示領域１１０内における厚み分布ＤＧが凸形状、青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＢが凹形状となるように補正値ａを算出し、緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの設定値Ｌａを算出する。これにより、本実施の形態では、第１の実施の形態で説明したような赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲ，ＤＧ，ＤＢを確実に形成することが可能となる。
【００８７】
補正値ａは、計測値Ｌｄから理論値Ｌを引いたものであるから、以下の式で計算される。
ａ＝Ｌｄ−Ｌ
緑色有機層１６Ｇの表示領域１１０内における厚み分布が凸形状となるように、緑色有機層１６Ｇの設定値Ｌａは、補正値ａの符号を反転して、Ｌａ＝Ｌ−ａとする。青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＢが凹形状となるように、青色有機層１６Ｂの設定値Ｌａは、Ｌａ＝Ｌ＋ａとする。
【００８８】
緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの設定値Ｌａを算出したのち、基板１１を搬送する速度を調整し（ステップＳ１０４）、緑色有機層１６Ｇを設定値Ｌａの厚みで形成する（ステップＳ１０５）。基板１１の搬送速度を速くすると、基板１１に蒸着される有機材料の厚みが薄くなり、基板１１の搬送速度を遅くすると、基板１１に蒸着される有機材料の厚みが厚くなる。なお、基板１１の搬送速度に代えて、緑色有機層１６Ｇの成膜レートを調整するようにしてもよい。
【００８９】
緑色有機層１６Ｇを形成したのち、基板１１を搬送する速度を調整し（ステップＳ１０６）、青色有機層１６Ｇを設定値Ｌａの厚みで形成する（ステップＳ１０７）。なお、基板１１の搬送速度に代えて、青色有機層１６Ｂの成膜レートを調整するようにしてもよい。
【００９０】
青色有機層１６Ｂを形成したのち、第１の実施の形態と同様にして、第２電極１７および保護膜３０を形成し、この保護膜３０の上に接着層４０を形成し、この接着層４０を間にして封止用基板５０を貼り合わせる。以上により、図３ないし図５に示した表示装置が完成する。
【００９１】
このように本実施の形態では、赤色有機層１６Ｒを、理論値Ｌの厚みで形成し、その厚みＬｄを計測したのち、緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂについて、各色ごとの理論値Ｌに、赤色有機層１６Ｒの厚みＬｄの計測結果に基づいて各色ごとに算出した補正値ａを加えることにより、各色ごとに設定値Ｌａを算出し、その設定値Ｌａの厚みで緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂを形成するようにしたので、第１の実施の形態のような赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの表示領域１１０内における厚み分布ＤＲ，ＤＧ，ＤＢを確実に形成することが可能となる。よって、有機層の厚みの変動に起因する輝度または色度のムラを抑えることができ、特に赤，緑および青の混色によって構成される白色または中間色の輝度または色度のムラを抑え、表示品質を高めることができる。
【００９２】
（第３の実施の形態）
次に、本発明の第３の実施の形態に係る表示装置について説明する。この表示装置は、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの厚みの変動を全色で同程度とするようにしたことを除いては、第１および第２の実施の形態と同様の構成を有している。よって、対応する構成要素には、同一の符号を付して説明する。
【００９３】
なお、本実施の形態における「厚みの変動」とは、第１および第２の実施の形態にいう「厚み分布ＤＲ，ＤＧ，ＤＢ」とは異なり、一つの有機発光素子１０Ｒ（または１０Ｇ、１０Ｂ）内における赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇ，青色有機層１６Ｂの厚みのばらつきをいう。
【００９４】
赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの厚みの理論値Ｌは、数１を満たしている。また、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの理論値をそれぞれＬｒ，Ｌｇ，Ｌｂとし、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの厚みＬｄと理論値Ｌとのずれ量ΔＬ（ΔＬ＝Ｌｄ−Ｌ）をそれぞれΔＬｒ，ΔＬｇ，ΔＬｂとすると、数２を満たしている。これにより、この表示装置では、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの厚みのばらつきに起因する視野角特性の悪化を抑え、表示品質を高めることができるようになっている。
【００９５】
（数２）
ΔＬｒ／Ｌｒ＝ΔＬｇ／Ｌｇ＝ΔＬｂ／Ｌｂ
【００９６】
図１１は、４５度の色度視野角特性として、白色の０度と４５度の色差Δｕ’ｖ’を、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの各々の厚みに対して３次元プロットしたものである。例えば、製造工程で±２％のばらつきがある場合、赤色有機層１６Ｒおよび緑色有機層１６Ｇの厚みばらつきの範囲は、図１１（Ｄ）の中央の正方形を含む立方体となる。
【００９７】
図１１から分かるように、色度視野角特性は、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの合計厚みに対するずれ比率が、赤，緑および青で同じになった場合に小さくなる。よって、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの厚みＬｄと理論値Ｌとのずれ量ΔＬｒ，ΔＬｇ，ΔＬｂが、数２を満たすことにより、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇまたは青色有機層１６Ｂの厚みがばらついた場合にも視野角特性の悪化を抑制することが可能となる。なお、数２は、図１１（Ｄ）における右上角と左下角との対角線に対応する。
【００９８】
この表示装置は、例えば次のようにして製造することができる。
【００９９】
まず、第１の実施の形態と同様にして、基板１１の上に画素駆動回路１４０，平坦化絶縁膜１３，第１電極１４および電極間絶縁膜１５を形成する。
【０１００】
次いで、第２の実施の形態と同様にして、赤色有機層１６Ｒを、数１により算出した理論値Ｌｒの厚みで形成し（図１０；ステップＳ１０１）、蒸着速度モニターまたは膜厚センサを用いて、赤色有機層１６Ｒの厚みＬｄを計測する（図１０；ステップＳ１０２）。
【０１０１】
続いて、緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂについて、各色ごとの理論値Ｌｇ，Ｌｂに、赤色有機層１６Ｒの厚みＬｄの計測結果に基づいて各色ごとに算出した補正値ａｇ，ａｂを加えることにより、各色ごとに設定値Ｌａｇ，Ｌａｂを算出する（図１０；ステップＳ１０３）。
【０１０２】
具体的には、まず、赤色有機層１６Ｒの厚みＬｄと理論値Ｌｒとのずれ量ΔＬｒ（ΔＬｒ＝Ｌｄ−Ｌｒ）を算出する。次いで、緑色有機層１６Ｇについて、数１により算出した理論値Ｌｇに、補正値ａｇすなわち数２により算出した最適なずれ量ΔＬｇを加え、設定値Ｌａｇ（Ｌａｇ＝Ｌｇ＋ΔＬｇ）を算出する。また、青色有機層１６Ｂについて、数１により算出した理論値Ｌｂに、補正値ａｂすなわち数２により算出した最適なずれ量ΔＬｂを加え、設定値Ｌａｂ（Ｌａｂ＝Ｌｂ＋ΔＬｂ）を算出する。
【０１０３】
数１により理論値Ｌｒ，Ｌｇ，Ｌｂを算出する際には、数１におけるｍを、すべての色で等しくすることが好ましい。次数ｍが高いほど視野角特性が悪化するので、次数ｍの高い色があるとその色によって視野角特性がほぼ決定されてしまう。そのため、数１におけるｍをすべての色で等しくしたほうが、本実施の形態により視野角特性を制御しやすいからである。
【０１０４】
すなわち、ｍ＝０の場合は０次の共振条件となり視野角特性は良好であるが、理論値Ｌすなわち光学的距離が最小となるために、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇまたは青色有機層１６Ｂの厚みが薄くなり、第１電極１４と第２電極１７とのショートにより非発光点（滅点）などの画素欠陥が生じるおそれがある。このような画素欠陥を低減するためには、例えばｍ＝１の１次の共振条件を用いて理論値Ｌを大きくすることが好ましいが、ｍ＝０の場合に比べて共振フィルタのスペクトルが細くなるために、視野角特性は低下する。ｍ＝２の場合は更に視野角特性が悪化する。
【０１０５】
例えば、すべての色でｍ＝１とした場合、赤色有機層１６Ｒの厚みの理論値Ｌｒは３００ｎｍ、緑色有機層１６Ｇの厚みの理論値Ｌｇは２５０ｎｍ、青色有機層１６Ｂの厚みの理論値Ｌｂは１９６ｎｍである。
【０１０６】
緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの設定値Ｌａｇ，Ｌａｂを算出したのち、基板１１を搬送する速度を調整し（図１０；ステップＳ１０４）、緑色有機層１６Ｇを設定値Ｌａｇの厚みで形成する（図１０；ステップＳ１０５）。基板１１の搬送速度を速くすると、基板１１に蒸着される有機材料の厚みが薄くなり、基板１１の搬送速度を遅くすると、基板１１に蒸着される有機材料の厚みが厚くなる。なお、基板１１の搬送速度に代えて、緑色有機層１６Ｇの成膜レートを調整するようにしてもよい。
【０１０７】
緑色有機層１６Ｇを形成したのち、基板１１を搬送する速度を調整し（図１０；ステップＳ１０６）、青色有機層１６Ｇを設定値Ｌａｂの厚みで形成する（図１０；ステップＳ１０７）。なお、基板１１の搬送速度に代えて、青色有機層１６Ｂの成膜レートを調整するようにしてもよい。
【０１０８】
なお、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂは、上述したような赤色，緑色，青色の順、または緑色，赤色，青色の順で形成することが好ましい。赤色または緑色は、青色に比べて、厚みのばらつきによる視野角特性が変化する感度が大きいからである。
【０１０９】
青色有機層１６Ｂを形成したのち、第１の実施の形態と同様にして、第２電極１７および保護膜３０を形成し、この保護膜３０の上に接着層４０を形成し、この接着層４０を間にして封止用基板５０を貼り合わせる。以上により、図３ないし図５に示した表示装置が完成する。
【０１１０】
この表示装置では、各画素に対して第１の実施の形態で説明したように駆動制御がなされ、表示が行われる。ここでは、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの厚みと理論値Ｌとのずれ量ΔＬｒ，ΔＬｇ，ΔＬｂが、数２を満たしているので、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの厚みの変動がすべての色で同程度となっている。よって、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの厚みの変動に起因する視野角特性の悪化が抑えられ、特に赤，緑および青の混色によって構成される白色または中間色を表示したときの視野角特性が向上する。
【０１１１】
このように本実施の形態では、赤色有機層１６Ｒを、理論値Ｌの厚みで形成し、その厚みＬｄを計測したのち、緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂについて、各色ごとの理論値Ｌに、赤色有機層１６Ｒの厚みＬｄの計測結果に基づいて各色ごとに算出した補正値ａを加えることにより、各色ごとに設定値Ｌａを算出し、その設定値Ｌａの厚みで緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂを形成するようにしたので、赤色有機層１６Ｒの厚みの変動による影響を、緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの厚み調整により緩和することが可能となる。よって、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの厚みの変動に起因する視野角特性の悪化を抑えることができ、特に赤，緑および青の混色によって構成される白色または中間色を表示したときの視野角特性の悪化を抑え、表示品質を高めることができる。
【０１１２】
また、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの厚みと理論値Ｌとのずれ量ΔＬｒ，ΔＬｇ，ΔＬｂが、数２を満たすようにしたので、赤色有機層１６Ｒ，緑色有機層１６Ｇおよび青色有機層１６Ｂの厚みの変動を、すべての色で同程度とすることができ、より高い効果を得ることが可能となる。
【０１１３】
また、上記実施の形態では、第１色目の赤色有機層１６Ｒの厚みを計測するようにしたが、第１色目および第２色目の厚みを計測し、その計測結果に基づいて第３色目の厚みを制御するようにしてもよい。
【０１１４】
（モジュールおよび適用例）
以下、上記実施の形態で説明した表示装置の適用例について説明する。上記実施の形態の表示装置は、テレビジョン装置，デジタルカメラ，ノート型パーソナルコンピュータ、携帯電話等の携帯端末装置あるいはビデオカメラなど、外部から入力された映像信号あるいは内部で生成した映像信号を、画像あるいは映像として表示するあらゆる分野の電子機器の表示装置に適用することが可能である。
【０１１５】
（モジュール）
上記実施の形態の表示装置は、例えば、図１２に示したようなモジュールとして、後述する適用例１〜５などの種々の電子機器に組み込まれる。このモジュールは、例えば、基板１１の一辺に、封止用基板５０および接着層４０から露出した領域２１０を設け、この露出した領域２１０に、信号線駆動回路１２０および走査線駆動回路１３０の配線を延長して外部接続端子（図示せず）を形成したものである。外部接続端子には、信号の入出力のためのフレキシブルプリント配線基板（ＦＰＣ；Flexible Printed Circuit）２２０が設けられていてもよい。
【０１１６】
（適用例１）
図１３は、上記実施の形態の表示装置が適用されるテレビジョン装置の外観を表したものである。このテレビジョン装置は、例えば、フロントパネル３１０およびフィルターガラス３２０を含む映像表示画面部３００を有しており、この映像表示画面部３００は、上記各実施の形態に係る表示装置により構成されている。
【０１１７】
（適用例２）
図１４は、上記実施の形態の表示装置が適用されるデジタルカメラの外観を表したものである。このデジタルカメラは、例えば、フラッシュ用の発光部４１０、表示部４２０、メニュースイッチ４３０およびシャッターボタン４４０を有しており、その表示部４２０は、上記各実施の形態に係る表示装置により構成されている。
【０１１８】
（適用例３）
図１５は、上記実施の形態の表示装置が適用されるノート型パーソナルコンピュータの外観を表したものである。このノート型パーソナルコンピュータは、例えば、本体５１０，文字等の入力操作のためのキーボード５２０および画像を表示する表示部５３０を有しており、その表示部５３０は、上記各実施の形態に係る表示装置により構成されている。
【０１１９】
（適用例４）
図１６は、上記実施の形態の表示装置が適用されるビデオカメラの外観を表したものである。このビデオカメラは、例えば、本体部６１０，この本体部６１０の前方側面に設けられた被写体撮影用のレンズ６２０，撮影時のスタート／ストップスイッチ６３０および表示部６４０を有しており、その表示部６４０は、上記各実施の形態に係る表示装置により構成されている。
【０１２０】
（適用例５）
図１７は、上記実施の形態の表示装置が適用される携帯電話機の外観を表したものである。この携帯電話機は、例えば、上側筐体７１０と下側筐体７２０とを連結部（ヒンジ部）７３０で連結したものであり、ディスプレイ７４０，サブディスプレイ７５０，ピクチャーライト７６０およびカメラ７７０を有している。そのディスプレイ７４０またはサブディスプレイ７５０は、上記各実施の形態に係る表示装置により構成されている。
【０１２１】
以上、実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、種々変形が可能である。例えば、上記実施の形態では、赤色有機発光素子１０Ｒ，緑色有機発光素子１０Ｇおよび青色有機発光素子１０Ｂが共振器構造を有する場合について説明したが、本発明は、共振器構造を有しない有機発光素子を用いた表示装置にも適用可能である。
【０１２２】
また、上記実施の形態では、表示領域１１０に、赤色有機発光素子１０Ｒ，緑色有機発光素子１０Ｇ，青色有機発光素子１０Ｂが順に全体としてマトリクス状に形成されている場合について説明したが、これらは必ずしも順に配列されていなければならないわけではなく、他の配列としてもよい。
【０１２３】
また、上記実施の形態において説明した各層の材料および厚み、または成膜方法および成膜条件などは限定されるものではなく、他の材料および厚みとしてもよく、または他の成膜方法および成膜条件としてもよい。例えば、上記実施の形態においては、基板１１の上に、第１電極１４，有機層１６および第２電極１７を基板１１の側から順で積層し、封止用基板５０の側から光を取り出すようにした場合について説明したが、積層順序を逆にして、基板１１の上に、第２電極１７，有機層１６および第１電極１４を基板１１の側から順に積層し、基板１１の側から光を取り出すようにすることもできる。
【０１２４】
加えてまた、例えば、上記実施の形態では、第１電極１４を陽極、第２電極１７を陰極とする場合について説明したが、陽極および陰極を逆にして、第１電極１４を陰極、第２電極１７を陽極としてもよい。さらに、第１電極１４を陰極、第２電極１７を陽極とすると共に、基板１１の上に、第２電極１７，有機層１６および第１電極１４を基板１１の側から順に積層し、基板１１の側から光を取り出すようにすることもできる。
【０１２５】
更にまた、上記実施の形態では、赤色有機発光素子１０Ｒ，緑色有機発光素子１０Ｇおよび青色有機発光素子１０Ｂの構成を具体的に挙げて説明したが、全ての層を備える必要はなく、また、他の層を更に備えていてもよい。例えば、第１電極１４と有機層１６との間に、酸化クロム（ＩＩＩ）（Ｃｒ2 Ｏ3 ），ＩＴＯ（Indium-Tin Oxide：インジウム（Ｉｎ）およびスズ（Ｓｎ）の酸化物混合膜）などからなる正孔注入用薄膜層を備えていてもよい。また、例えば第１電極１４は、誘電体多層膜とすることもできる。
【０１２６】
加えてまた、上記実施の形態では、第２電極１７が半透過性反射層により構成されている場合について説明したが、第２電極１７は、半透過性反射層と透明電極とが第１電極１４の側から順に積層された構造としてもよい。この透明電極は、半透過性反射層の電気抵抗を下げるためのものであり、発光層で発生した光に対して十分な透光性を有する導電性材料により構成されている。透明電極を構成する材料としては、例えば、ＩＴＯまたはインジウムと亜鉛（Ｚｎ）と酸素とを含む化合物が好ましい。室温で成膜しても良好な導電性を得ることができるからである。透明電極の厚みは、例えば３０ｎｍ以上１０００ｎｍ以下とすることができる。また、この場合、半透過性反射層を一方の端部とし、透明電極を挟んで半透過性電極に対向する位置に他方の端部を設け、透明電極を共振部とする共振器構造を形成するようにしてもよい。さらに、そのような共振器構造を設けた上で、赤色有機発光素子１０Ｒ，緑色有機発光素子１０Ｇおよび青色有機発光素子１０Ｂを保護膜３０で覆うようにし、この保護膜３０を、透明電極を構成する材料と同程度の屈折率を有する材料により構成すれば、保護膜３０を共振部の一部とすることができ、好ましい。
【０１２７】
更にまた、本発明は、第２電極１７を透明電極により構成すると共に、この透明電極の有機層１６と反対側の界面の反射率が大きくなるように構成し、第１電極１４と有機層１６との界面を第１端部、透明電極の有機層と反対側の界面を第２端部とした共振器構造を構成した場合についても適用することができる。例えば、透明電極を大気層に接触させ、透明電極と大気層との境界面の反射率を大きくして、この境界面を第２端部としてもよい。また、接着層との境界面での反射率を大きくして、この境界面を第２端部としてもよい。さらに、赤色有機発光素子１０Ｒ，緑色有機発光素子１０Ｇおよび青色有機発光素子１０Ｂを保護膜３０で覆い、この保護膜３０との境界面での反射率を大きくして、この境界面を第２端部としてもよい。
【０１２８】
加えてまた、上記実施の形態では、アクティブマトリクス型の表示装置の場合について説明したが、本発明はパッシブマトリクス型の表示装置への適用も可能である。更にまた、アクティブマトリクス駆動のための画素駆動回路の構成は、上記実施の形態で説明したものに限られず、必要に応じて容量素子やトランジスタを追加してもよい。その場合、画素駆動回路の変更に応じて、上述した信号線駆動回路１２０や走査線駆動回路１３０のほかに、必要な駆動回路を追加してもよい。
【０１２９】
更にまた、上記第３の実施の形態では、赤色，緑色および青色の三色フルカラー表示装置を例として説明したが、本発明は、白色、シアン色またはマゼンタ色等の中間色を加えた４色以上のフルカラー表示装置にも適用可能であり、これにより、色域をより広くすることができる。その場合、第一色目の有機層は、数１により算出する理論値Ｌの最も大きい色の有機層とすることが好ましい。理論値Ｌが大きい色は、理論値Ｌの小さい色に比べて、厚みのばらつきによる視野角特性が変化する感度が大きいからである。
【図面の簡単な説明】
【０１３０】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る表示装置の構成を表す図である。
【図２】図１に示した画素駆動回路の一例を表す図である。
【図３】図１に示した表示領域の構成を表す平面図である。
【図４】図３に示した有機発光素子の構成を表す断面図である。
【図５】赤色有機層，緑色有機層および青色有機層の表示領域内における厚み分布の形状の一例を表す図である。
【図６】赤色有機層，緑色有機層および青色有機層の表示領域内における厚み分布の形状の他の例を表す図である。
【図７】赤色有機層，緑色有機層および青色有機層の表示領域内における厚み分布の形状の更に他の例を表す図である。
【図８】図５に示した赤色有機層を形成する工程を説明するための図である。
【図９】表１に示した八つの組合せ（Ｎｏ．１〜Ｎｏ．８）のそれぞれに対応した色度変化を表す図である。
【図１０】本発明の第２の実施の形態に係る表示装置の製造方法の流れを表す図である。
【図１１】本発明の第３の実施の形態に係る表示装置の４５度の色度視野角特性を表す図である。
【図１２】上記実施の形態の表示装置を含むモジュールの概略構成を表す平面図である。
【図１３】上記実施の形態の表示装置の適用例１の外観を表す斜視図である。
【図１４】（Ａ）は適用例２の表側から見た外観を表す斜視図であり、（Ｂ）は裏側から見た外観を表す斜視図である。
【図１５】適用例３の外観を表す斜視図である。
【図１６】適用例４の外観を表す斜視図である。
【図１７】（Ａ）は適用例５の開いた状態の正面図、（Ｂ）はその側面図、（Ｃ）は閉じた状態の正面図、（Ｄ）は左側面図、（Ｅ）は右側面図、（Ｆ）は上面図、（Ｇ）は下面図である。
【符号の説明】
【０１３１】
１０…画素、１０Ｒ…赤色有機発光素子、１０Ｇ…緑色有機発光素子、１０Ｂ…青色有機発光素子、１１…基板、１４…第１電極、１５…電極間絶縁膜、１６…有機層、１６Ａ…正孔注入層、１６Ｂ…正孔輸送層、１６ＣＲ…赤色発光層、１６ＣＧ…緑色発光層、１６ＣＢ…青色発光層、１６Ｄ…電子輸送層、１７…第２電極、３０…保護膜、４０…接着層、５０…封止用基板、５１…カラーフィルタ、Ｐ１…第１端部、Ｐ２…第２端部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に第１電極、発光層を含む有機層および第２電極を順に積層することにより複数の有機発光素子を形成すると共に、前記複数の有機発光素子として、赤色，緑色および青色を含む複数色の有機発光素子を形成する表示装置の製造方法であって、
前記有機層を形成する工程は、
前記複数色のうち第一色目の有機層を、理論値Ｌの厚みで形成する工程と、
前記第一色目の有機層の厚みＬｄを計測する工程と、
前記複数色のうち他の色の有機層について、各色ごとの理論値Ｌに、前記第一色目の有機層の厚みＬｄの計測結果に基づいて各色ごとに算出した補正値ａを加えることにより、各色ごとに設定値Ｌａを算出する工程と、
前記他の色の有機層を設定値Ｌａの厚みで形成する工程と
を含むことを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項２】
前記発光層で発生した光を、前記第１電極と前記有機層との界面および前記第２電極と前記有機層との界面の間で共振させる共振器構造を構成すると共に、
前記理論値Ｌを、数１により算出し、
前記補正値ａを、前記有機層の厚みＬｄと理論値Ｌとのずれ量ΔＬ（ΔＬ＝Ｌｄ−Ｌ）の理論値Ｌに対する比（ΔＬ／Ｌ）を、前記複数色のすべてで等しくするように算出する
ことを特徴とする請求項１記載の表示装置の製造方法。
（数１）
２Ｌ／λ＋Φ／（２π）＝ｍ
（式中、Ｌは前記第１電極と前記有機層との界面および前記第２電極と前記有機層との界面の間の光学的距離、Φは前記第１電極と前記有機層との界面で生じる反射光の位相シフトΦ1 および前記第２電極と前記有機層との界面で生じる反射光の位相シフトΦ2 との和（Φ＝Φ1 ＋Φ2 ）（ｒａｄ）、λは共振器構造から取り出したい光のスペクトルのピーク波長、ｍは整数をそれぞれ表す。）
【請求項３】
前記数１におけるｍを、前記複数色のすべてで等しくする
ことを特徴とする請求項２記載の表示装置の製造方法。
【請求項４】
前記第一色目の有機層を、理論値Ｌの最も大きい色の有機層とする
ことを特徴とする請求項２または３記載の表示装置の製造方法。
【請求項５】
前記有機発光素子として、前記第１電極および前記第２電極の間に発光層を含む赤色有機層を有する赤色有機発光素子と、前記第１電極および前記第２電極の間に発光層を含む緑色有機層を有する緑色有機発光素子と、前記第１電極および前記第２電極の間に発光層を含む青色有機層を有する青色有機発光素子とを形成し、
前記赤色有機層，前記緑色有機層および前記青色有機層の厚みの理論値をそれぞれＬｒ，Ｌｇ，Ｌｂとし、前記ずれ量をそれぞれΔＬｒ，ΔＬｇ，ΔＬｂとすると、数２を満たす
ことを特徴とする請求項２ないし４のいずれか１項に記載の表示装置の製造方法。
（数２）
ΔＬｒ／Ｌｒ＝ΔＬｇ／Ｌｇ＝ΔＬｂ／Ｌｂ
【請求項６】
前記赤色有機層，前記緑色有機層および前記青色有機層を、赤色，緑色，青色の順、または緑色，赤色，青色の順で形成する
ことを特徴とする請求項５記載の表示装置の製造方法。
【請求項７】
前記基板を搬送する速度を調整することにより、前記他の色の有機層を前記設定値Ｌａの厚みで形成する
ことを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の表示装置の製造方法。
【請求項８】
前記有機層の成膜レートを調整することにより、前記他の色の有機層を前記設定値Ｌａの厚みで形成する
ことを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の表示装置の製造方法。
【請求項９】
第１電極および第２電極の間に発光層を含む赤色有機層を有する赤色有機発光素子と、前記第１電極および前記第２電極の間に発光層を含む緑色有機層を有する緑色有機発光素子と、前記第１電極および前記第２電極の間に発光層を含む青色有機層を有する青色有機発光素子とを配列した表示領域を備え、
前記緑色有機層または前記青色有機層の前記表示領域内における厚み分布の形状は、前記赤色有機層を含む残り二色の有機層の前記表示領域内における厚み分布を緩和可能な形状である
ことを特徴とする表示装置。
【請求項１０】
前記緑色有機層または前記青色有機層の前記表示領域内における厚み分布の形状は、前記赤色有機層を含む残り二色の有機層の前記表示領域内における厚み分布を打消し可能な形状である
ことを特徴とする請求項９記載の表示装置。
【請求項１１】
前記緑色有機層または前記青色有機層の前記表示領域内における厚み分布の形状と、前記赤色有機層を含む残り二色の有機層の前記表示領域内における厚み分布の形状とは、設定厚みの線に関して対称である
ことを特徴とする請求項９または１０記載の表示装置。
【請求項１２】
前記緑色有機層または前記青色有機層の厚み分布の形状は、前記表示領域の中央付近で厚く周辺で薄い凸形状であり、
前記赤色有機層を含む残り二色の有機層の厚み分布の形状は、前記表示領域の中央付近で薄く周辺で厚い凹形状である
ことを特徴とする請求項９ないし１１のいずれか１項に記載の表示装置。
【請求項１３】
前記緑色有機層または前記青色有機層の厚み分布の形状は、前記表示領域の中央付近で薄く周辺で厚い凹形状であり、
前記赤色有機層を含む残り二色の有機層の厚み分布の形状は、前記表示領域の中央付近で厚く周辺で薄い凸形状である
ことを特徴とする請求項９ないし１１のいずれか１項に記載の表示装置。
【請求項１４】
前記赤色有機発光素子，前記緑色有機発光素子および前記青色有機発光素子は、前記発光層で発生した光を、前記第１電極と前記赤色有機層，前記緑色有機層または前記青色有機層との界面および前記第２電極と前記赤色有機層，前記緑色有機層または前記青色有機層との界面の間で共振させる共振器構造を有する
ことを特徴とする請求項９ないし１３のいずれか１項に記載の表示装置。
【請求項１５】
前記赤色有機層，前記緑色有機層および前記青色有機層の厚みの理論値Ｌが、数１を満たしており、
前記赤色有機層，前記緑色有機層および前記青色有機層の理論値ＬをそれぞれＬｒ，Ｌｇ，Ｌｂとし、前記赤色有機層，前記緑色有機層および前記青色有機層の厚みＬｄと理論値Ｌとのずれ量ΔＬ（ΔＬ＝Ｌｄ−Ｌ）をそれぞれΔＬｒ，ΔＬｇ，ΔＬｂとすると、数２を満たす
ことを特徴とする請求項１４記載の表示装置。
（数１）
２Ｌ／λ＋Φ／（２π）＝ｍ
（式中、Ｌは前記第１電極と前記赤色有機層，前記緑色有機層または前記青色有機層との界面および前記第２電極と前記赤色有機層，前記緑色有機層または前記青色有機層との界面の間の光学的距離、Φは前記第１電極と前記赤色有機層，前記緑色有機層または前記青色有機層との界面で生じる反射光の位相シフトΦ1 および前記第２電極と前記赤色有機層，前記緑色有機層または前記青色有機層との界面で生じる反射光の位相シフトΦ2 との和（Φ＝Φ1 ＋Φ2 ）（ｒａｄ）、λは共振器構造から取り出したい光のスペクトルのピーク波長、ｍは整数をそれぞれ表す。）
（数２）
ΔＬｒ／Ｌｒ＝ΔＬｇ／Ｌｇ＝ΔＬｂ／Ｌｂ
【請求項１】
基板に第１電極、発光層を含む有機層および第２電極を順に積層することにより複数の有機発光素子を形成すると共に、前記複数の有機発光素子として、赤色，緑色および青色を含む複数色の有機発光素子を形成する表示装置の製造方法であって、
前記有機層を形成する工程は、
前記複数色のうち第一色目の有機層を、理論値Ｌの厚みで形成する工程と、
前記第一色目の有機層の厚みＬｄを計測する工程と、
前記複数色のうち他の色の有機層について、各色ごとの理論値Ｌに、前記第一色目の有機層の厚みＬｄの計測結果に基づいて各色ごとに算出した補正値ａを加えることにより、各色ごとに設定値Ｌａを算出する工程と、
前記他の色の有機層を設定値Ｌａの厚みで形成する工程と
を含むことを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項２】
前記発光層で発生した光を、前記第１電極と前記有機層との界面および前記第２電極と前記有機層との界面の間で共振させる共振器構造を構成すると共に、
前記理論値Ｌを、数１により算出し、
前記補正値ａを、前記有機層の厚みＬｄと理論値Ｌとのずれ量ΔＬ（ΔＬ＝Ｌｄ−Ｌ）の理論値Ｌに対する比（ΔＬ／Ｌ）を、前記複数色のすべてで等しくするように算出する
ことを特徴とする請求項１記載の表示装置の製造方法。
（数１）
２Ｌ／λ＋Φ／（２π）＝ｍ
（式中、Ｌは前記第１電極と前記有機層との界面および前記第２電極と前記有機層との界面の間の光学的距離、Φは前記第１電極と前記有機層との界面で生じる反射光の位相シフトΦ1 および前記第２電極と前記有機層との界面で生じる反射光の位相シフトΦ2 との和（Φ＝Φ1 ＋Φ2 ）（ｒａｄ）、λは共振器構造から取り出したい光のスペクトルのピーク波長、ｍは整数をそれぞれ表す。）
【請求項３】
前記数１におけるｍを、前記複数色のすべてで等しくする
ことを特徴とする請求項２記載の表示装置の製造方法。
【請求項４】
前記第一色目の有機層を、理論値Ｌの最も大きい色の有機層とする
ことを特徴とする請求項２または３記載の表示装置の製造方法。
【請求項５】
前記有機発光素子として、前記第１電極および前記第２電極の間に発光層を含む赤色有機層を有する赤色有機発光素子と、前記第１電極および前記第２電極の間に発光層を含む緑色有機層を有する緑色有機発光素子と、前記第１電極および前記第２電極の間に発光層を含む青色有機層を有する青色有機発光素子とを形成し、
前記赤色有機層，前記緑色有機層および前記青色有機層の厚みの理論値をそれぞれＬｒ，Ｌｇ，Ｌｂとし、前記ずれ量をそれぞれΔＬｒ，ΔＬｇ，ΔＬｂとすると、数２を満たす
ことを特徴とする請求項２ないし４のいずれか１項に記載の表示装置の製造方法。
（数２）
ΔＬｒ／Ｌｒ＝ΔＬｇ／Ｌｇ＝ΔＬｂ／Ｌｂ
【請求項６】
前記赤色有機層，前記緑色有機層および前記青色有機層を、赤色，緑色，青色の順、または緑色，赤色，青色の順で形成する
ことを特徴とする請求項５記載の表示装置の製造方法。
【請求項７】
前記基板を搬送する速度を調整することにより、前記他の色の有機層を前記設定値Ｌａの厚みで形成する
ことを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の表示装置の製造方法。
【請求項８】
前記有機層の成膜レートを調整することにより、前記他の色の有機層を前記設定値Ｌａの厚みで形成する
ことを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の表示装置の製造方法。
【請求項９】
第１電極および第２電極の間に発光層を含む赤色有機層を有する赤色有機発光素子と、前記第１電極および前記第２電極の間に発光層を含む緑色有機層を有する緑色有機発光素子と、前記第１電極および前記第２電極の間に発光層を含む青色有機層を有する青色有機発光素子とを配列した表示領域を備え、
前記緑色有機層または前記青色有機層の前記表示領域内における厚み分布の形状は、前記赤色有機層を含む残り二色の有機層の前記表示領域内における厚み分布を緩和可能な形状である
ことを特徴とする表示装置。
【請求項１０】
前記緑色有機層または前記青色有機層の前記表示領域内における厚み分布の形状は、前記赤色有機層を含む残り二色の有機層の前記表示領域内における厚み分布を打消し可能な形状である
ことを特徴とする請求項９記載の表示装置。
【請求項１１】
前記緑色有機層または前記青色有機層の前記表示領域内における厚み分布の形状と、前記赤色有機層を含む残り二色の有機層の前記表示領域内における厚み分布の形状とは、設定厚みの線に関して対称である
ことを特徴とする請求項９または１０記載の表示装置。
【請求項１２】
前記緑色有機層または前記青色有機層の厚み分布の形状は、前記表示領域の中央付近で厚く周辺で薄い凸形状であり、
前記赤色有機層を含む残り二色の有機層の厚み分布の形状は、前記表示領域の中央付近で薄く周辺で厚い凹形状である
ことを特徴とする請求項９ないし１１のいずれか１項に記載の表示装置。
【請求項１３】
前記緑色有機層または前記青色有機層の厚み分布の形状は、前記表示領域の中央付近で薄く周辺で厚い凹形状であり、
前記赤色有機層を含む残り二色の有機層の厚み分布の形状は、前記表示領域の中央付近で厚く周辺で薄い凸形状である
ことを特徴とする請求項９ないし１１のいずれか１項に記載の表示装置。
【請求項１４】
前記赤色有機発光素子，前記緑色有機発光素子および前記青色有機発光素子は、前記発光層で発生した光を、前記第１電極と前記赤色有機層，前記緑色有機層または前記青色有機層との界面および前記第２電極と前記赤色有機層，前記緑色有機層または前記青色有機層との界面の間で共振させる共振器構造を有する
ことを特徴とする請求項９ないし１３のいずれか１項に記載の表示装置。
【請求項１５】
前記赤色有機層，前記緑色有機層および前記青色有機層の厚みの理論値Ｌが、数１を満たしており、
前記赤色有機層，前記緑色有機層および前記青色有機層の理論値ＬをそれぞれＬｒ，Ｌｇ，Ｌｂとし、前記赤色有機層，前記緑色有機層および前記青色有機層の厚みＬｄと理論値Ｌとのずれ量ΔＬ（ΔＬ＝Ｌｄ−Ｌ）をそれぞれΔＬｒ，ΔＬｇ，ΔＬｂとすると、数２を満たす
ことを特徴とする請求項１４記載の表示装置。
（数１）
２Ｌ／λ＋Φ／（２π）＝ｍ
（式中、Ｌは前記第１電極と前記赤色有機層，前記緑色有機層または前記青色有機層との界面および前記第２電極と前記赤色有機層，前記緑色有機層または前記青色有機層との界面の間の光学的距離、Φは前記第１電極と前記赤色有機層，前記緑色有機層または前記青色有機層との界面で生じる反射光の位相シフトΦ1 および前記第２電極と前記赤色有機層，前記緑色有機層または前記青色有機層との界面で生じる反射光の位相シフトΦ2 との和（Φ＝Φ1 ＋Φ2 ）（ｒａｄ）、λは共振器構造から取り出したい光のスペクトルのピーク波長、ｍは整数をそれぞれ表す。）
（数２）
ΔＬｒ／Ｌｒ＝ΔＬｇ／Ｌｇ＝ΔＬｂ／Ｌｂ
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【公開番号】特開２００８−２９３９６２（Ｐ２００８−２９３９６２Ａ）
【公開日】平成２０年１２月４日（２００８．１２．４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−１０５８８０（Ｐ２００８−１０５８８０）
【出願日】平成２０年４月１５日（２００８．４．１５）
【出願人】（０００００２１８５）ソニー株式会社 (34,172)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年１２月４日（２００８．１２．４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年４月１５日（２００８．４．１５）
【出願人】（０００００２１８５）ソニー株式会社 (34,172)
【Ｆターム（参考）】
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