装入ロックを有するコーティングプラントおよびそのための装置
本発明は、ロック開口部を開閉するためのシャッター（６）と、該シャッターを固定するためのラッチ（７）とを備え、少なくとも１０００ｍｍの長さを持つロック開口部（１３）を有する、コーティングチャンバー用の装入ロック、特には矩形の真空ロックを有するコーティングプラント、特には真空コーティングプラントに関する。シャッターおよびラッチを第１の開位置から第２の閉位置へと、またその逆に動かす手段が設けられており、これらの手段はまた確実に、シャッター（６）が、シャッターが閉じられた後にラッチ（７）によって自動的に固定されかつそれが開かれる前に再び解放されるようにして、シャッター（６）とラッチ（７）との動作が互いに連動されるようにする。
【発明の詳細な説明】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は、少なくとも１０００ｍｍ以上の長さを持つロック開口部を有する装入ロック、特には矩形の真空ロックを有し、大きな表面積を有する基板、例えばファサードガラス（facade glazing）を好ましくはコーティングするためのコーティングプラント、特には真空コーティングプラントに関し、また、前記ロック開口部を開閉するための適当な装置に関する。
【０００２】
真空またはほぼ真空の条件下で動作するコーティングプラントは、例えば基板を反応チャンバーまたはコーティングチャンバー内へと、およびそこから搬送するための、装入ロックを利用している。この目的のために、１０００〜１５００ｍｍの長さと約５０ｍｍの幅を持つ矩形のロックシャッターまたはロックディスクを有する矩形の真空ロックが知られている。ロック開口部の密な、特には気密な閉鎖を確保するために、シャッターまたはロックディスクを閉位置に保持するラッチを用いてロックシャッターまたはロックディスクを固定することが通常の慣行である。ロック開口部のサイズに起因して、一方の大気条件と他方の真空条件との間の圧力差は、一方ではロックの気密な閉鎖を維持しながらロック開口部の閉鎖のための装置によって吸収しなければならないかなりの力を生じる。
【０００３】
しかし、同時に、ロックを通しての基板の搬送は、コーティングプラント内におけるコーティングのサイクルタイムに影響を及ぼす。したがって、開閉ステップの時間を節約するためにはロックのロック開口部を迅速に開閉する必要がある。なぜなら、ロックおよび／またはコーティングチャンバーの真空引きすなわち排気は、適切な開口部が密に、特には気密に閉じられるまで開始できないからである。
【０００４】
したがって、本発明の目的は、ロックの、特には、真空ロックかつ／または問題となっているサイズの矩形の真空ロックの迅速な開閉を可能とする、コーティングプラントおよび／またはロック用の適当な装置を得ることができるようにすることである。
【０００５】
本発明の別の目的は、長い耐用寿命を有しかつ周囲条件の影響を受けず、それによりロックの安全かつ高信頼の動作を確保する装置を作り出すことである。これに加えて、この装置は、構造が簡単で、動作が単純であることが望ましい。
【０００６】
この目的は、請求項１の特徴を有するコーティングプラント、および請求項１８の特徴を有する装置によって達成される。好ましい実施形態は従属請求項に記述されている。
【０００７】
ロックの開閉は、ロックシャッターおよび／またはロックディスクの動作を監視および制御するためのあらゆるセンサーおよび時間のかかる制御ステップなしで行い、それにより、独立したシャッターの動作とラッチの動作との間に許容される必要のあるアイドル時間を避けることが可能となれば、早めることができるという発想に、本発明は基づいている。シャッターの開閉プロセス、およびラッチによってシャッターを固定および解放する付随するステップは、２つの動作が自動的に互いに連動、または結合されている場合、特に、それらがともに確動動作の意味において機械的に強制および制御されている場合に、最適化することができる、ということを本発明者らは見出した。
【０００８】
したがって、好ましい実施形態においては、ロックの開閉中にシャッターが回転動作ないしは旋回転作を行うときに、シャッターおよびラッチの連動または結合された動作を容易に得ることができる。これに加えて、ラッチは、回転もしくは旋回転作、または並進すなわち持上げ（垂直）動作を行い得る（ただし、シャッターおよびラッチの動作は互いに結合および／または連動されているものとする）。それでもなお、ラッチの回転または旋回転作が好ましい。
【０００９】
シャッターおよびラッチの結合または連動された動作を生じさせるために、好ましくは、伝動装置、特にはカム駆動装置、好ましくは揺動カム駆動装置または回転持上げ伝動装置を用いることができる。
【００１０】
本発明の一実施形態によれば、伝動装置は、それを駆動装置すなわちモーターに連結する駆動軸と、動作が互いに依存し、したがって連動する２本の従動軸とを備えうる。シャッターとラッチとの間の、それらが連動しているときの相互干渉を避けるために、シャッターおよびラッチの動作はタイムシフトによって分けることができ、それにより、閉鎖段階中に、シャッターは、ラッチがまだ静止している間に動き始め、開放プロセス中にはその逆となる。このようにして、シャッターおよびラッチの動作中にそれらが互いに干渉することを避けるために、シャッターまたはラッチの、またはこれらの要素の動作経路の特別な構成方法に頼ることは不要である。
【００１１】
同じ理由から、閉じるべきロック開口部の一方の側に回転軸線を有するシャッターを設ける一方、ラッチは、その回転軸線に関して、開口部の反対側に設けることが好ましい。
【００１２】
本発明による装置の安全かつ高信頼の動作を確保するために、本装置は、シャッターおよびラッチの両方、特には伝動装置を動かす手段が自己拘束式または自己ロック式であるように設計し得る。これは、装置を閉位置に保持するためにいかなる回転モーメントないしは回転力をも必要としないことを意味する。結果として、装置への、すなわち駆動装置へのエネルギー供給が遮断されるようになったときにも、ロックのシール機能を維持することができる。特に、シャッターおよびラッチからなる閉鎖装置が、圧力荷重を開口部の両側から加えることができるように設計されていて、それにより、開口部の相違する各側の間の圧力差を用いてロックの密な閉鎖に利する必要がない場合もまた有利である。
【００１３】
本発明の別の実施形態によれば、シャッターは、少なくとも１つのフラップホルダーと、閉じるべき開口部のシール座内に嵌まるシール要素とを備えている。好ましくは、シール要素を、特には弾性的に予め張力をかけてまたは支持して、フラップホルダーに対して移動可能なように配置し、これにより、ロック開口部のシール座に対して押し付けられているシャッターのシール要素によって、開口部の密な、特には気密なシールを得ることを可能とする。
【００１４】
これは、フラップホルダーへのシール要素の弾性支持（支え）を確保するためにばね装置を設け、これにより、閉位置のラッチが、フラップホルダーを、そしてその結果シャッターを、ばねの力に抗して開口部の中に押し入れることによって達成することができる。
【００１５】
ロック開口部のシール座に対してシール要素を中央に置く手段を設け、これにより、シール要素によって、シール座に対して常に自動的にその正しい位置が想定されることもまた有利である。
【００１６】
好ましい実施形態によれば、シール要素が中央部を備え、これは、周囲のシール面から突出し、閉位置においてシール要素によって閉じるべきロック開口部内に延びる錐状ないしは先細形状を有するものである。
【００１７】
本装置の長い耐用寿命は、シャッターの回転軸線を、ロック開口部のシール座およびシャッターのシール面と同じ平面内に配置することにより得ることができる。これは、シール座に対して、したがって、シール座またはシャッターのシール面に配置されるＯリング等のようなシール部品に対しても、シャッターのいかなる相対運動をも最小化し、これにより、耐用寿命が延ばされる。
【００１８】
耐用寿命の延長は、それによりシール要素がフラップホルダーに弾性的に支持されるところのばね装置を、シール要素が確実に、ロック開口部を取り囲むシール座に対して常にできる限り平行に当たるようにして設計することによっても達成することができる。特に、平行な棒ばねの互い違いの配置によって、シール要素がある角度でロック開口部に対して当たることや、その中で引っかかることが防止される。例えば、旋回転作中に最初に開口部に達するロックシャッターのサイド上のばね要素による弾性支持は、シャッターが開口部に当たり始めることから生じるより高い圧力荷重を補償および／または防止するように選びうる。
【００１９】
わずかな摩擦および／または摩耗しか生じさせないラッチとシャッターとの間の連動による長い耐用寿命は、ラッチの形状をシャッターに合わせる、もしくはその逆によって、または、ラッチおよびシャッターの容易な連動または接触を確保する適当な手段（ローラー要素等が適例）を設けることによって達成することができる。
【００２０】
本発明のさらなる利点、特徴および特長は、添付の図面を参照する、本発明の好ましい実施形態の以下の詳細な説明によってより明らかになるであろう。なお、全ての図面は概略的なものである。
【００２１】
図１は、伝動装置、特には往復カム駆動装置または揺動カム駆動装置の側面図であり、この装置は、１つの駆動軸２と２つの従動軸３，４とを有し、後者は相互に依存した動作を行う。駆動軸２は、駆動装置、例えば電動機に有効に連結されており、従動軸は、ロックのシャッター６およびラッチ７に作動の目的で連結されている（図４参照）。そのため、駆動軸２と従動軸３，４とは、それらを駆動装置、シャッター６およびラッチ７に連結する連結手段を備えている。なお、例えば軸４に関しては、図２に最も明瞭に示されている。
【００２２】
伝動装置は、駆動軸２が駆動装置すなわちモーターによって駆動される際に、従動軸３，４の両方が自動的に回転ないしは旋回されるようにして、従動軸３，４を互いに連結している。特に、図３の作動線図から分かるように、軸３，４の連動は位相がずらされている。したがって、シャッター６に連結されている（図４）軸３は、第１の開位置から第２の閉位置の方向にまず動かされ、一方、シャッター６を閉位置に固定するラッチ７（図４参照）は、最初は開位置にとどまる。シャッター６、すなわち軸３の所定の動作に続いて、軸４が同様に、ラッチをその閉位置に動かすために回転し始める。軸３と軸４との、および／または、シャッター６とラッチ７との動作の間の位相のずれのために、シャッター６がまず第２の閉位置に達し、これにより、ラッチがこの閉位置を固定することが可能とされる。
【００２３】
シャッター６とラッチ７とが、開く間には逆のシーケンスで駆動されるようにして、伝動装置は設計されている。この場合、ラッチ７が開位置の方向に旋回しはじめる一方、シャッター６は、一定期間、閉位置にとどまる。ラッチ７が、シャッター６が解放される点まで回転したら、シャッター６が同様に軸３の旋回による回転を同様に開始する。往復または揺動カム駆動装置の機械構造は、それを常に同じ曲線に従わせるようなものであるため、従動軸３，４が機械的に制御され、常に同じ反復動作を行い、その結果、シャッター６とラッチ７との間の衝突はありえない。特に、往復カム駆動装置はまた、駆動軸２が一方向にのみ回転可能であり、かつ、従動軸３，４が、所定のパターンに従って、シャッターの閉鎖およびラッチによるシャッターの固定、またさらに、シャッターの解放およびシャッターの開放を経るようにも設計されている。しかし、カム駆動装置によって、駆動軸は、開閉の間、往復して回転する、すなわち、反対方向に動かすことも可能である。この場合、再び、従動軸３，４の制御された動作によって、ロック開口部を開閉するためのシャッター６およびラッチ７の対応する動作が確保される。
【００２４】
図４の断面図から最もよく分かるように、シャッター６およびラッチ７は、ロック、特に真空ロックの中に、または、コーティングプラントの反応チャンバーもしくはコーティングチャンバーの中に気密に配置することができるハウジング内に、収容される。ハウジング５は、対向する開口部１３，１９を備え、開口部１３が、シャッター６によって閉じることができるものである。これより先でより詳細に説明するように、シャッター６およびラッチ７を有する閉鎖機構の自己拘束構造のために、開口部１３の両方の側が、他方にある分離された空間よりも大きな圧力を受けるようになってもよい。なぜなら、本閉鎖装置は、圧力差によって閉位置に保持されてはいないからである。その結果として、閉鎖装置を有するハウジング５はユニバーサルな使用に適するものであり、例えば、大気条件が図４の開口部１３の左側に、真空条件がその右側にゆきわたってもよく、逆もまた同様である。
【００２５】
シャッター６は、軸３に取り付けられた少なくとも１つのフラップホルダー９と、閉位置にあるときに開口部１３の気密シールを提供するシール要素８とを備えている。ロック開口部１３が、好ましくは、長手方向の軸線が図４の面に対して垂直な角度で配置された矩形であり、幅が５０ｍｍとすると、少なくとも１０００ｍｍの長さ、好ましくは１５００ｍｍを上回る長さ、さらに好ましくは１８００〜２０００ｍｍの長さにわたって延びているため、シール要素８は、好ましくは、同様にこれらの寸法の単一の部品として設けることが望ましい。したがって、シール要素８の長さにわたって配置されたいくつかのフラップホルダー９を設けることが有利であろう。
【００２６】
シール要素８は、シール面１５と、周囲の該シール面１５から突出する錐状または先細形状の中央部１６とを備えている。
【００２７】
図６から最もよく分かるように、閉位置においては、シール要素８の中央部がロック開口部内へと延びており、シール面１５は、ロック開口部１３を取り囲むシール座１４と接触している。このようにして、シャッター６のシール要素８のシール面１５が、閉位置にあるときに、ロック開口部１３のシール座１４のＯリング１７と接触し、それにより気密にロック開口部１３をシールする。
【００２８】
同様に図４から最もよく分かるように、軸３の回転軸線２０は、ロック開口部１３のシール座１４の平面内でありかつシャッター６のシール要素１８のシール面１５の平面内に設けられている。したがって、シャッターを閉じていくときに、シール要素は、それをシール座１４および／またはシールリング１７に（続く）旋回転作または回転動作なしに接触させるようにして、シール座１４および／またはシールリング１７に近づけられる。特に、この配置により、シャッター６および／またはシール面１５が開口部１３のシール座１４と接触する際、この後に、シールリング１７に関して、ひっかかりや歩くような動きが続くことがないことが確実にされる。シャッター６および／またはシャッター６のシール面１５の、開口部１３の両側上との平行な接触のみもあり得る。その結果、シールリングに関して、動作によってシールリング１７に荷重がかかる、すなわち応力が加わることが最小限にされ、これにより、シールリングの耐用寿命が向上する。
【００２９】
以上は、シール要素８をフラップホルダー９上に配置する方法により確実にされ、次にこれを説明する。図４の断面図が示すように、シール要素は、好ましくは棒ばねで構成されるばね装置１０によって、フラップホルダー９に可動に取り付ける。そのため、シール要素８は、閉位置にあるときに、フラップホルダー９の方向に、すなわち、開口部１３の軸線２１に平行に動かすことができる。その結果、シール要素８は、フラップホルダー９に圧力を加えることによって、シール座１４に対して弾性的に押し付けることができる。図８に特によく示されるように、閉位置にあるときに、フラップホルダー９にかかる圧力はラッチ７によって加えられる。
【００３０】
図４〜図８から分かるように、ばね装置１０は、互いに平行に、かつロック開口部１３の長手方向にも平行に、すなわち図の面に対して垂直な角度で配置された２本の棒ばね２２を備えている。棒ばね２２の端がシール要素８内へと延び、同時に、それらの中央領域に位置するロックピン２３が、それらを所定の位置に保持し、また、それらを開口部１３の方向に押しかつ／または予め張力をかける（閉位置にあるとき）。ただし、この予めの張力印加は、棒ばね２２が所定の位置に保持されるのみで、他のいかなる弾性応力も存在するようにならない程度に小さくてもよい。ロックピン２３は、棒ばねと反対側にあるそれらの端部で適当な取付部２４によって固定することができ、取付部２４は、好ましくは、棒ばね２２に予めの張力印加をなす能力を構成するようなものである。ヒートシールド２５も取付部２４に設けることができる。言うまでもなく、ロックピンのかわりに保持ねじを用いてもよく、単一のばね装置１０は、シール要素８の全長にわたって配置されたいくつかのばね装置で置き換えることもできる。
【００３１】
好ましくは、各棒ばね２２を、横向きに互い違いに（不図示）、かつ／またはロックピン２３によって別様に張力をかけられるようにして配置し、これにより、シール要素８とシール座１４との間の可能な限り平行な接触を確保する。
【００３２】
ラッチ７は、それによりカム駆動装置１の従動軸４にラッチ７が取り付けられるところのクランプ１１を備えている。好ましくは、いくつかのラッチが従動軸４に沿って配置され、従動軸４がロック開口部１３の長手方向の軸に平行に延びるものである。
【００３３】
ラッチ７のクランプ１１の片側には、湾曲した、またはボール形状の、特には部分的にボール形状の係合要素１２が配置されている。図８に見られるように、閉位置にあるときに、係合要素１２は、シャッター６のフラップホルダー９上に形成された切除部１８と係合する。少なくとも部分的に相補的な形状の切除部１８および係合要素１２が与えられると、後者をその最終の終端位置に容易に至らしめることができ、そこでラッチ７がシャッター６を閉位置に固定する（図７参照）。シャッター６、さらに詳細には切除部１８とラッチ７の係合要素１２との設計は、係合要素を切除部１８と係合させたときに、フラップホルダー９が、開口部１３の方向に押されて、シール面１５を有するシール要素８を、ばね装置１０の弾性回復力に抗して、シール座１４およびシール座１４のシールリング１７に押しつけ、開口部１３の密な、特には気密な被覆を確保するように選択することができる。
【００３４】
本装置は、閉位置にあるときに自己拘束ないしは自己ロックし、その結果、装置を閉位置に保持するために、伝動装置１の駆動軸２または従動軸３，４に対していかなる回転モーメントも加える必要がない。それどころか、装置がラッチ７によって固定されることで、軸が遊び状態であっても、確実に、閉鎖部を片側からもその反対側からも開けられなくする。
【００３５】
図４〜図９に示す本発明による装置は、以下のように動作する。図４に示す開位置から、図５の矢印で示すように、開口部１３の方向に従動軸３によってシャッター６を回転させるために、駆動軸２をまず駆動する。従動軸３および／またはシャッター６の一定の動作に続いて、ラッチ７が同様に回転し始める。シャッター６が閉じた最終位置（そこでシール要素８はロック開口部１３のシール座１４内まで延びる）に達すると、ラッチ７がシャッター６の方向に旋回し、それによりその係合要素１２をシャッター６の切除部１８に係合させる（図６および図７参照）。ラッチ７がその最終位置（そこで係合要素１２はフラップホルダー９の切除部１８に収められる）に達すると、フラップホルダー９が開口部１３の方向に押され、その結果、シール要素８が、開口部１３のシール座１４に押し付けられ、それによりこの開口部を気密に閉鎖する。
【００３６】
ロック開口部１３を開くべきときには、ラッチ７を、まず、駆動軸２によって駆動される従動軸４によって切除部１８から離して回転させ、シャッター６を従動軸３の回転軸２０の回りで旋回させられるようにしなければならない。
【００３７】
従動軸３，４、および／またはシャッター６およびラッチ７の連動がなされると、ロック開口部について非常に短い、特に開口の大きさが５０×１０００ｍｍ以上の場合に１秒未満からの範囲の開閉時間を達成することができる。したがって、例えばロックを通してコーティング基板を搬送するための非常に短い動作時間を達成することができ、これは、ロック開口部および／またはシール要素が、幅が約５０ｍｍで、少なくとも１０００ｍｍ以上の長さ、好ましくは１５００ｍｍを上回る長さ、特には１８００〜２０００ｍｍの長さを有する場合においてさえもである。本発明による設計により、１０６を上回るサイクルに耐用寿命を増大させることも可能とされる。さらに、シャッターおよびラッチの機械的に制御された連動がなされると、シャッターおよびラッチの動作を管理するためのセンサーの必要性がない。図１０は、図４に示すものに類似した、本発明による装入ロックの別の実施形態を示している。したがって、同一の部品は同一の符号で示し、以下では相違点のみを説明する。
【００３８】
図１０に示す実施形態のラッチ７は、それによりラッチ７がカム駆動装置の従動軸４に取り付けられるところのクランプ１１をも備えている。
【００３９】
湾曲した、円筒のまたはボール形状の固定された係合要素１２のかわりに、軸３１上に回転可能に支持されるローラー３０を設け、その回転軸は従動軸４に平行である。したがって、シャッター６の切除部１８との係合要素１２の係合は、非常に滑らかかつ穏やかに行われうる。
【００４０】
図１１に示す装入ロックの第３実施形態は、上で述べた各実施形態に対して、ラッチ７の設計において異なる。係合位置と開位置との間で旋回する、前の実施形態の回転可能なラッチ７のかわりに、係合位置と開位置との間で並進動作を行う、再配置可能な、すなわち移動可能なラッチ７０を設ける。したがって、切除部１８のかわりに、傾斜面４２をシャッター６に配置する。ラッチ７０は、閉位置すなわち固定位置において、シャッター６の傾斜面４２と接触する対応する傾斜面４３を備えている。
【００４１】
装入ロックを開くためには、ラッチ７０が図１１に示す矢印に従って並進動作を行う。
【００４２】
ラッチ７０は、接触面すなわちラック歯車４１と契合する駆動リングすなわち歯車４０を備える従動軸４によって駆動される。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明による装置の伝動装置の側面図である。
【図２】９０°回転した、図１の伝動装置の側面図である。
【図３】本発明の好ましい実施形態によるシャッターおよびラッチの作動線図である。
【図４】シャッターおよびラッチが中に配置されるハウジングを通しての断面図である。
【図５】ロックの開閉中のさまざまな位置における、図４による実施形態を通しての断面図である。
【図６】ロックの開閉中のさまざまな位置における、図４による実施形態を通しての断面図である。
【図７】ロックの開閉中のさまざまな位置における、図４による実施形態を通しての断面図である。
【図８】ロックの開閉中のさまざまな位置における、図４による実施形態を通しての断面図である。
【図９】ロックの開閉中のさまざまな位置における、図４による実施形態を通しての断面図である。
【図１０】装入ロックの別の実施形態の断面図である。
【図１１】装入ロックのさらに別の実施形態の断面図である。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は、少なくとも１０００ｍｍ以上の長さを持つロック開口部を有する装入ロック、特には矩形の真空ロックを有し、大きな表面積を有する基板、例えばファサードガラス（facade glazing）を好ましくはコーティングするためのコーティングプラント、特には真空コーティングプラントに関し、また、前記ロック開口部を開閉するための適当な装置に関する。
【０００２】
真空またはほぼ真空の条件下で動作するコーティングプラントは、例えば基板を反応チャンバーまたはコーティングチャンバー内へと、およびそこから搬送するための、装入ロックを利用している。この目的のために、１０００〜１５００ｍｍの長さと約５０ｍｍの幅を持つ矩形のロックシャッターまたはロックディスクを有する矩形の真空ロックが知られている。ロック開口部の密な、特には気密な閉鎖を確保するために、シャッターまたはロックディスクを閉位置に保持するラッチを用いてロックシャッターまたはロックディスクを固定することが通常の慣行である。ロック開口部のサイズに起因して、一方の大気条件と他方の真空条件との間の圧力差は、一方ではロックの気密な閉鎖を維持しながらロック開口部の閉鎖のための装置によって吸収しなければならないかなりの力を生じる。
【０００３】
しかし、同時に、ロックを通しての基板の搬送は、コーティングプラント内におけるコーティングのサイクルタイムに影響を及ぼす。したがって、開閉ステップの時間を節約するためにはロックのロック開口部を迅速に開閉する必要がある。なぜなら、ロックおよび／またはコーティングチャンバーの真空引きすなわち排気は、適切な開口部が密に、特には気密に閉じられるまで開始できないからである。
【０００４】
したがって、本発明の目的は、ロックの、特には、真空ロックかつ／または問題となっているサイズの矩形の真空ロックの迅速な開閉を可能とする、コーティングプラントおよび／またはロック用の適当な装置を得ることができるようにすることである。
【０００５】
本発明の別の目的は、長い耐用寿命を有しかつ周囲条件の影響を受けず、それによりロックの安全かつ高信頼の動作を確保する装置を作り出すことである。これに加えて、この装置は、構造が簡単で、動作が単純であることが望ましい。
【０００６】
この目的は、請求項１の特徴を有するコーティングプラント、および請求項１８の特徴を有する装置によって達成される。好ましい実施形態は従属請求項に記述されている。
【０００７】
ロックの開閉は、ロックシャッターおよび／またはロックディスクの動作を監視および制御するためのあらゆるセンサーおよび時間のかかる制御ステップなしで行い、それにより、独立したシャッターの動作とラッチの動作との間に許容される必要のあるアイドル時間を避けることが可能となれば、早めることができるという発想に、本発明は基づいている。シャッターの開閉プロセス、およびラッチによってシャッターを固定および解放する付随するステップは、２つの動作が自動的に互いに連動、または結合されている場合、特に、それらがともに確動動作の意味において機械的に強制および制御されている場合に、最適化することができる、ということを本発明者らは見出した。
【０００８】
したがって、好ましい実施形態においては、ロックの開閉中にシャッターが回転動作ないしは旋回転作を行うときに、シャッターおよびラッチの連動または結合された動作を容易に得ることができる。これに加えて、ラッチは、回転もしくは旋回転作、または並進すなわち持上げ（垂直）動作を行い得る（ただし、シャッターおよびラッチの動作は互いに結合および／または連動されているものとする）。それでもなお、ラッチの回転または旋回転作が好ましい。
【０００９】
シャッターおよびラッチの結合または連動された動作を生じさせるために、好ましくは、伝動装置、特にはカム駆動装置、好ましくは揺動カム駆動装置または回転持上げ伝動装置を用いることができる。
【００１０】
本発明の一実施形態によれば、伝動装置は、それを駆動装置すなわちモーターに連結する駆動軸と、動作が互いに依存し、したがって連動する２本の従動軸とを備えうる。シャッターとラッチとの間の、それらが連動しているときの相互干渉を避けるために、シャッターおよびラッチの動作はタイムシフトによって分けることができ、それにより、閉鎖段階中に、シャッターは、ラッチがまだ静止している間に動き始め、開放プロセス中にはその逆となる。このようにして、シャッターおよびラッチの動作中にそれらが互いに干渉することを避けるために、シャッターまたはラッチの、またはこれらの要素の動作経路の特別な構成方法に頼ることは不要である。
【００１１】
同じ理由から、閉じるべきロック開口部の一方の側に回転軸線を有するシャッターを設ける一方、ラッチは、その回転軸線に関して、開口部の反対側に設けることが好ましい。
【００１２】
本発明による装置の安全かつ高信頼の動作を確保するために、本装置は、シャッターおよびラッチの両方、特には伝動装置を動かす手段が自己拘束式または自己ロック式であるように設計し得る。これは、装置を閉位置に保持するためにいかなる回転モーメントないしは回転力をも必要としないことを意味する。結果として、装置への、すなわち駆動装置へのエネルギー供給が遮断されるようになったときにも、ロックのシール機能を維持することができる。特に、シャッターおよびラッチからなる閉鎖装置が、圧力荷重を開口部の両側から加えることができるように設計されていて、それにより、開口部の相違する各側の間の圧力差を用いてロックの密な閉鎖に利する必要がない場合もまた有利である。
【００１３】
本発明の別の実施形態によれば、シャッターは、少なくとも１つのフラップホルダーと、閉じるべき開口部のシール座内に嵌まるシール要素とを備えている。好ましくは、シール要素を、特には弾性的に予め張力をかけてまたは支持して、フラップホルダーに対して移動可能なように配置し、これにより、ロック開口部のシール座に対して押し付けられているシャッターのシール要素によって、開口部の密な、特には気密なシールを得ることを可能とする。
【００１４】
これは、フラップホルダーへのシール要素の弾性支持（支え）を確保するためにばね装置を設け、これにより、閉位置のラッチが、フラップホルダーを、そしてその結果シャッターを、ばねの力に抗して開口部の中に押し入れることによって達成することができる。
【００１５】
ロック開口部のシール座に対してシール要素を中央に置く手段を設け、これにより、シール要素によって、シール座に対して常に自動的にその正しい位置が想定されることもまた有利である。
【００１６】
好ましい実施形態によれば、シール要素が中央部を備え、これは、周囲のシール面から突出し、閉位置においてシール要素によって閉じるべきロック開口部内に延びる錐状ないしは先細形状を有するものである。
【００１７】
本装置の長い耐用寿命は、シャッターの回転軸線を、ロック開口部のシール座およびシャッターのシール面と同じ平面内に配置することにより得ることができる。これは、シール座に対して、したがって、シール座またはシャッターのシール面に配置されるＯリング等のようなシール部品に対しても、シャッターのいかなる相対運動をも最小化し、これにより、耐用寿命が延ばされる。
【００１８】
耐用寿命の延長は、それによりシール要素がフラップホルダーに弾性的に支持されるところのばね装置を、シール要素が確実に、ロック開口部を取り囲むシール座に対して常にできる限り平行に当たるようにして設計することによっても達成することができる。特に、平行な棒ばねの互い違いの配置によって、シール要素がある角度でロック開口部に対して当たることや、その中で引っかかることが防止される。例えば、旋回転作中に最初に開口部に達するロックシャッターのサイド上のばね要素による弾性支持は、シャッターが開口部に当たり始めることから生じるより高い圧力荷重を補償および／または防止するように選びうる。
【００１９】
わずかな摩擦および／または摩耗しか生じさせないラッチとシャッターとの間の連動による長い耐用寿命は、ラッチの形状をシャッターに合わせる、もしくはその逆によって、または、ラッチおよびシャッターの容易な連動または接触を確保する適当な手段（ローラー要素等が適例）を設けることによって達成することができる。
【００２０】
本発明のさらなる利点、特徴および特長は、添付の図面を参照する、本発明の好ましい実施形態の以下の詳細な説明によってより明らかになるであろう。なお、全ての図面は概略的なものである。
【００２１】
図１は、伝動装置、特には往復カム駆動装置または揺動カム駆動装置の側面図であり、この装置は、１つの駆動軸２と２つの従動軸３，４とを有し、後者は相互に依存した動作を行う。駆動軸２は、駆動装置、例えば電動機に有効に連結されており、従動軸は、ロックのシャッター６およびラッチ７に作動の目的で連結されている（図４参照）。そのため、駆動軸２と従動軸３，４とは、それらを駆動装置、シャッター６およびラッチ７に連結する連結手段を備えている。なお、例えば軸４に関しては、図２に最も明瞭に示されている。
【００２２】
伝動装置は、駆動軸２が駆動装置すなわちモーターによって駆動される際に、従動軸３，４の両方が自動的に回転ないしは旋回されるようにして、従動軸３，４を互いに連結している。特に、図３の作動線図から分かるように、軸３，４の連動は位相がずらされている。したがって、シャッター６に連結されている（図４）軸３は、第１の開位置から第２の閉位置の方向にまず動かされ、一方、シャッター６を閉位置に固定するラッチ７（図４参照）は、最初は開位置にとどまる。シャッター６、すなわち軸３の所定の動作に続いて、軸４が同様に、ラッチをその閉位置に動かすために回転し始める。軸３と軸４との、および／または、シャッター６とラッチ７との動作の間の位相のずれのために、シャッター６がまず第２の閉位置に達し、これにより、ラッチがこの閉位置を固定することが可能とされる。
【００２３】
シャッター６とラッチ７とが、開く間には逆のシーケンスで駆動されるようにして、伝動装置は設計されている。この場合、ラッチ７が開位置の方向に旋回しはじめる一方、シャッター６は、一定期間、閉位置にとどまる。ラッチ７が、シャッター６が解放される点まで回転したら、シャッター６が同様に軸３の旋回による回転を同様に開始する。往復または揺動カム駆動装置の機械構造は、それを常に同じ曲線に従わせるようなものであるため、従動軸３，４が機械的に制御され、常に同じ反復動作を行い、その結果、シャッター６とラッチ７との間の衝突はありえない。特に、往復カム駆動装置はまた、駆動軸２が一方向にのみ回転可能であり、かつ、従動軸３，４が、所定のパターンに従って、シャッターの閉鎖およびラッチによるシャッターの固定、またさらに、シャッターの解放およびシャッターの開放を経るようにも設計されている。しかし、カム駆動装置によって、駆動軸は、開閉の間、往復して回転する、すなわち、反対方向に動かすことも可能である。この場合、再び、従動軸３，４の制御された動作によって、ロック開口部を開閉するためのシャッター６およびラッチ７の対応する動作が確保される。
【００２４】
図４の断面図から最もよく分かるように、シャッター６およびラッチ７は、ロック、特に真空ロックの中に、または、コーティングプラントの反応チャンバーもしくはコーティングチャンバーの中に気密に配置することができるハウジング内に、収容される。ハウジング５は、対向する開口部１３，１９を備え、開口部１３が、シャッター６によって閉じることができるものである。これより先でより詳細に説明するように、シャッター６およびラッチ７を有する閉鎖機構の自己拘束構造のために、開口部１３の両方の側が、他方にある分離された空間よりも大きな圧力を受けるようになってもよい。なぜなら、本閉鎖装置は、圧力差によって閉位置に保持されてはいないからである。その結果として、閉鎖装置を有するハウジング５はユニバーサルな使用に適するものであり、例えば、大気条件が図４の開口部１３の左側に、真空条件がその右側にゆきわたってもよく、逆もまた同様である。
【００２５】
シャッター６は、軸３に取り付けられた少なくとも１つのフラップホルダー９と、閉位置にあるときに開口部１３の気密シールを提供するシール要素８とを備えている。ロック開口部１３が、好ましくは、長手方向の軸線が図４の面に対して垂直な角度で配置された矩形であり、幅が５０ｍｍとすると、少なくとも１０００ｍｍの長さ、好ましくは１５００ｍｍを上回る長さ、さらに好ましくは１８００〜２０００ｍｍの長さにわたって延びているため、シール要素８は、好ましくは、同様にこれらの寸法の単一の部品として設けることが望ましい。したがって、シール要素８の長さにわたって配置されたいくつかのフラップホルダー９を設けることが有利であろう。
【００２６】
シール要素８は、シール面１５と、周囲の該シール面１５から突出する錐状または先細形状の中央部１６とを備えている。
【００２７】
図６から最もよく分かるように、閉位置においては、シール要素８の中央部がロック開口部内へと延びており、シール面１５は、ロック開口部１３を取り囲むシール座１４と接触している。このようにして、シャッター６のシール要素８のシール面１５が、閉位置にあるときに、ロック開口部１３のシール座１４のＯリング１７と接触し、それにより気密にロック開口部１３をシールする。
【００２８】
同様に図４から最もよく分かるように、軸３の回転軸線２０は、ロック開口部１３のシール座１４の平面内でありかつシャッター６のシール要素１８のシール面１５の平面内に設けられている。したがって、シャッターを閉じていくときに、シール要素は、それをシール座１４および／またはシールリング１７に（続く）旋回転作または回転動作なしに接触させるようにして、シール座１４および／またはシールリング１７に近づけられる。特に、この配置により、シャッター６および／またはシール面１５が開口部１３のシール座１４と接触する際、この後に、シールリング１７に関して、ひっかかりや歩くような動きが続くことがないことが確実にされる。シャッター６および／またはシャッター６のシール面１５の、開口部１３の両側上との平行な接触のみもあり得る。その結果、シールリングに関して、動作によってシールリング１７に荷重がかかる、すなわち応力が加わることが最小限にされ、これにより、シールリングの耐用寿命が向上する。
【００２９】
以上は、シール要素８をフラップホルダー９上に配置する方法により確実にされ、次にこれを説明する。図４の断面図が示すように、シール要素は、好ましくは棒ばねで構成されるばね装置１０によって、フラップホルダー９に可動に取り付ける。そのため、シール要素８は、閉位置にあるときに、フラップホルダー９の方向に、すなわち、開口部１３の軸線２１に平行に動かすことができる。その結果、シール要素８は、フラップホルダー９に圧力を加えることによって、シール座１４に対して弾性的に押し付けることができる。図８に特によく示されるように、閉位置にあるときに、フラップホルダー９にかかる圧力はラッチ７によって加えられる。
【００３０】
図４〜図８から分かるように、ばね装置１０は、互いに平行に、かつロック開口部１３の長手方向にも平行に、すなわち図の面に対して垂直な角度で配置された２本の棒ばね２２を備えている。棒ばね２２の端がシール要素８内へと延び、同時に、それらの中央領域に位置するロックピン２３が、それらを所定の位置に保持し、また、それらを開口部１３の方向に押しかつ／または予め張力をかける（閉位置にあるとき）。ただし、この予めの張力印加は、棒ばね２２が所定の位置に保持されるのみで、他のいかなる弾性応力も存在するようにならない程度に小さくてもよい。ロックピン２３は、棒ばねと反対側にあるそれらの端部で適当な取付部２４によって固定することができ、取付部２４は、好ましくは、棒ばね２２に予めの張力印加をなす能力を構成するようなものである。ヒートシールド２５も取付部２４に設けることができる。言うまでもなく、ロックピンのかわりに保持ねじを用いてもよく、単一のばね装置１０は、シール要素８の全長にわたって配置されたいくつかのばね装置で置き換えることもできる。
【００３１】
好ましくは、各棒ばね２２を、横向きに互い違いに（不図示）、かつ／またはロックピン２３によって別様に張力をかけられるようにして配置し、これにより、シール要素８とシール座１４との間の可能な限り平行な接触を確保する。
【００３２】
ラッチ７は、それによりカム駆動装置１の従動軸４にラッチ７が取り付けられるところのクランプ１１を備えている。好ましくは、いくつかのラッチが従動軸４に沿って配置され、従動軸４がロック開口部１３の長手方向の軸に平行に延びるものである。
【００３３】
ラッチ７のクランプ１１の片側には、湾曲した、またはボール形状の、特には部分的にボール形状の係合要素１２が配置されている。図８に見られるように、閉位置にあるときに、係合要素１２は、シャッター６のフラップホルダー９上に形成された切除部１８と係合する。少なくとも部分的に相補的な形状の切除部１８および係合要素１２が与えられると、後者をその最終の終端位置に容易に至らしめることができ、そこでラッチ７がシャッター６を閉位置に固定する（図７参照）。シャッター６、さらに詳細には切除部１８とラッチ７の係合要素１２との設計は、係合要素を切除部１８と係合させたときに、フラップホルダー９が、開口部１３の方向に押されて、シール面１５を有するシール要素８を、ばね装置１０の弾性回復力に抗して、シール座１４およびシール座１４のシールリング１７に押しつけ、開口部１３の密な、特には気密な被覆を確保するように選択することができる。
【００３４】
本装置は、閉位置にあるときに自己拘束ないしは自己ロックし、その結果、装置を閉位置に保持するために、伝動装置１の駆動軸２または従動軸３，４に対していかなる回転モーメントも加える必要がない。それどころか、装置がラッチ７によって固定されることで、軸が遊び状態であっても、確実に、閉鎖部を片側からもその反対側からも開けられなくする。
【００３５】
図４〜図９に示す本発明による装置は、以下のように動作する。図４に示す開位置から、図５の矢印で示すように、開口部１３の方向に従動軸３によってシャッター６を回転させるために、駆動軸２をまず駆動する。従動軸３および／またはシャッター６の一定の動作に続いて、ラッチ７が同様に回転し始める。シャッター６が閉じた最終位置（そこでシール要素８はロック開口部１３のシール座１４内まで延びる）に達すると、ラッチ７がシャッター６の方向に旋回し、それによりその係合要素１２をシャッター６の切除部１８に係合させる（図６および図７参照）。ラッチ７がその最終位置（そこで係合要素１２はフラップホルダー９の切除部１８に収められる）に達すると、フラップホルダー９が開口部１３の方向に押され、その結果、シール要素８が、開口部１３のシール座１４に押し付けられ、それによりこの開口部を気密に閉鎖する。
【００３６】
ロック開口部１３を開くべきときには、ラッチ７を、まず、駆動軸２によって駆動される従動軸４によって切除部１８から離して回転させ、シャッター６を従動軸３の回転軸２０の回りで旋回させられるようにしなければならない。
【００３７】
従動軸３，４、および／またはシャッター６およびラッチ７の連動がなされると、ロック開口部について非常に短い、特に開口の大きさが５０×１０００ｍｍ以上の場合に１秒未満からの範囲の開閉時間を達成することができる。したがって、例えばロックを通してコーティング基板を搬送するための非常に短い動作時間を達成することができ、これは、ロック開口部および／またはシール要素が、幅が約５０ｍｍで、少なくとも１０００ｍｍ以上の長さ、好ましくは１５００ｍｍを上回る長さ、特には１８００〜２０００ｍｍの長さを有する場合においてさえもである。本発明による設計により、１０６を上回るサイクルに耐用寿命を増大させることも可能とされる。さらに、シャッターおよびラッチの機械的に制御された連動がなされると、シャッターおよびラッチの動作を管理するためのセンサーの必要性がない。図１０は、図４に示すものに類似した、本発明による装入ロックの別の実施形態を示している。したがって、同一の部品は同一の符号で示し、以下では相違点のみを説明する。
【００３８】
図１０に示す実施形態のラッチ７は、それによりラッチ７がカム駆動装置の従動軸４に取り付けられるところのクランプ１１をも備えている。
【００３９】
湾曲した、円筒のまたはボール形状の固定された係合要素１２のかわりに、軸３１上に回転可能に支持されるローラー３０を設け、その回転軸は従動軸４に平行である。したがって、シャッター６の切除部１８との係合要素１２の係合は、非常に滑らかかつ穏やかに行われうる。
【００４０】
図１１に示す装入ロックの第３実施形態は、上で述べた各実施形態に対して、ラッチ７の設計において異なる。係合位置と開位置との間で旋回する、前の実施形態の回転可能なラッチ７のかわりに、係合位置と開位置との間で並進動作を行う、再配置可能な、すなわち移動可能なラッチ７０を設ける。したがって、切除部１８のかわりに、傾斜面４２をシャッター６に配置する。ラッチ７０は、閉位置すなわち固定位置において、シャッター６の傾斜面４２と接触する対応する傾斜面４３を備えている。
【００４１】
装入ロックを開くためには、ラッチ７０が図１１に示す矢印に従って並進動作を行う。
【００４２】
ラッチ７０は、接触面すなわちラック歯車４１と契合する駆動リングすなわち歯車４０を備える従動軸４によって駆動される。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明による装置の伝動装置の側面図である。
【図２】９０°回転した、図１の伝動装置の側面図である。
【図３】本発明の好ましい実施形態によるシャッターおよびラッチの作動線図である。
【図４】シャッターおよびラッチが中に配置されるハウジングを通しての断面図である。
【図５】ロックの開閉中のさまざまな位置における、図４による実施形態を通しての断面図である。
【図６】ロックの開閉中のさまざまな位置における、図４による実施形態を通しての断面図である。
【図７】ロックの開閉中のさまざまな位置における、図４による実施形態を通しての断面図である。
【図８】ロックの開閉中のさまざまな位置における、図４による実施形態を通しての断面図である。
【図９】ロックの開閉中のさまざまな位置における、図４による実施形態を通しての断面図である。
【図１０】装入ロックの別の実施形態の断面図である。
【図１１】装入ロックのさらに別の実施形態の断面図である。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
特に大きな表面積を有する基板、好ましくはファサードガラスをコーティングするためのコーティングプラント、特には真空コーティングプラントであり、コーティングの間、前記基板を収容するコーティングチャンバーと、そこを通して前記基板を前記コーティングチャンバー内に導入するまたは前記コーティングチャンバーから取り出すところの少なくとも１つの装入ロックとを有するコーティングプラントであって、前記ロックが、シャッター（６）によって閉じることができる開口部（１３）を備え、前記シャッター（６）は少なくとも１つのラッチ（７）によって固定することができるコーティングプラントにおいて、
前記シャッター（６）と前記ラッチ（７）との両方を第１の開位置から第２の閉位置へと動かす手段が設けられており、前記シャッター（６）と前記ラッチ（７）との動作が互いに連動（結合）されていて、それにより、前記シャッター（６）は、前記ラッチ（７）によって自動的に、前記シャッター（６）の閉鎖後に固定され、かつ前記シャッター（６）の開放前に解放されることを特徴とするコーティングプラント。
【請求項２】
前記シャッター（６）および前記ラッチ（７）の動作が機械的に制御された動作であることを特徴とする、請求項１に記載のコーティング装置。
【請求項３】
前記シャッター（６）の動作が回転動作または旋回転作であり、前記ラッチ（７）の動作が回転、旋回または並進動作すなわち持上げ動作であることを特徴とする、請求項１または２に記載のコーティング装置。
【請求項４】
前記シャッター（６）および前記ラッチ（７）を動かす前記手段が、駆動側の駆動軸（２）と、前記シャッター（６）および前記ラッチ（７）に連結された少なくとも２本の連動する従動軸（３，４）とを有する伝動装置を備えることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載のコーティング装置。
【請求項５】
前記伝動装置が、カム駆動装置、特には、往復カム駆動装置もしくは揺動カム駆動装置、または回転持上げ駆動装置であることを特徴とする、請求項４に記載のコーティング装置。
【請求項６】
前記シャッター（６）の動作および前記ラッチ（７）の動作が、位相がずらされており、特には、前記ラッチ（７）の動作が、閉鎖するときには遅らされ、開放するときには先行することを特徴とする、請求項１〜５のいずれか１項に記載のコーティング装置。
【請求項７】
前記シャッター（６）と前記ラッチ（７）との両方がそれぞれの回転軸線を有しており、前記シャッター（６）および前記ラッチ（７）の前記回転軸線が、前記ロック開口部の両側に設けられていることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか１項に記載のコーティング装置。
【請求項８】
前記シャッター（６）と前記ラッチ（７）とを動かす前記手段が、自己拘束装置ないしは自己ロック装置を備えることを特徴とする、請求項１〜７のいずれか１項に記載のコーティング装置。
【請求項９】
前記シャッター（６）が、フラップホルダー（９）と、前記開口部（１３）のシール座（１４）内に延びかつシールすることができるシール要素（８）とを備え、前記シール要素（８）が、弾性手段、特には、棒ばねを好ましくは有するばね装置（１０）によって、前記フラップホルダー（９）に対して可動なようにして取り付けられていることを特徴とする、請求項１〜８のいずれか１項に記載のコーティング装置。
【請求項１０】
前記棒ばねが、前記シール要素（８）および前記ロック開口部の長手方向に平行に向けられており、前記棒ばねは、前記フラップホルダー（９）に対して、特には前記ロック開口部（１３）の方向に予め張力がかけられていることを特徴とする、請求項９に記載のコーティング装置。
【請求項１１】
前記シャッター（６）、また特には前記シール要素（８）が、少なくともシール面（１５）と、前記ロック開口部（１３）内に延びる中央部（１６）とを備えるシールサイドを有し、前記シール面（１５）が、閉位置にあるときに前記開口部（１３）のシール座（１４）のシール部と接触することを特徴とする、請求項１〜１０のいずれか１項に記載のコーティング装置。
【請求項１２】
前記シャッター（６）が、前記ロック開口部（１３）の前記シール座（１４）の平面内に、特には前記シール座（１４）のシール部と前記シャッター（６）の前記シール面（１５）との平面内に実質的に配置されている回転軸線（２０）を有することを特徴とする、請求項１１に記載のコーティング装置。
【請求項１３】
前記シール要素（８）および／または前記シール座（１４）が、少なくとも１つのシールリング（１７）を備えることを特徴とする、請求項９〜１２のいずれか１項に記載のコーティング装置。
【請求項１４】
前記中央部（１６）が錐状または先細形状をなし、前記中央部（１６）が、特には、前記シャッター（６）の前記周囲のシール面（１５）から突出していることを特徴とする、請求項９〜１２のいずれか１項に記載のコーティング装置。
【請求項１５】
実質的に互いに相補的に設計され、それにより互いに非常に滑らかかつほとんど摩擦や摩耗なしに係合されるようになることを可能とするそれぞれの係合面、特には湾曲した係合面を前記シャッター（６）および前記ラッチ（７）が有することを特徴とする、請求項１〜１４のいずれか１項に記載のコーティング装置。
【請求項１６】
回転可能に支持され、それにより前記シャッター（６）を固定すべきときに前記シャッター（６）との接触を可能とするローラーを前記シャッター（６）および前記ラッチ（７）が備えることを特徴とする、請求項１〜１５のいずれか１項に記載のコーティング装置。
【請求項１７】
前記ラッチ（７）が、前記第２の閉位置にあるときに、前記シャッター（６）を前記ロック開口部（１３）に押し付けることを特徴とする、請求項１〜１６のいずれか１項に記載のコーティング装置。
【請求項１８】
ロック開口部（１３）を閉じるためのシャッター（６）と、前記シャッター（６）を固定するための少なくとも１つのラッチ（７）とを備えるロック装置、特には請求項１〜１７のいずれかに記載のコーティングプラント用の装置において、請求項１の特徴および／または請求項２〜１６の特徴によって特徴づけられる装置。
【請求項１９】
ロック開口部（１３）と、さらなる開口部（１９）とが設けられ、かつ前記シャッター（６）および前記ラッチ（７）が収容される、ハウジング（５）を備えることを特徴とする、請求項１８に記載の装置。
【請求項２０】
前記ハウジング（５）が、特には気密連結のためのシール手段と、隣接する部品への取付部とを備えることを特徴とする、請求項１８または１９のいずれかに記載の装置。
【請求項１】
特に大きな表面積を有する基板、好ましくはファサードガラスをコーティングするためのコーティングプラント、特には真空コーティングプラントであり、コーティングの間、前記基板を収容するコーティングチャンバーと、そこを通して前記基板を前記コーティングチャンバー内に導入するまたは前記コーティングチャンバーから取り出すところの少なくとも１つの装入ロックとを有するコーティングプラントであって、前記ロックが、シャッター（６）によって閉じることができる開口部（１３）を備え、前記シャッター（６）は少なくとも１つのラッチ（７）によって固定することができるコーティングプラントにおいて、
前記シャッター（６）と前記ラッチ（７）との両方を第１の開位置から第２の閉位置へと動かす手段が設けられており、前記シャッター（６）と前記ラッチ（７）との動作が互いに連動（結合）されていて、それにより、前記シャッター（６）は、前記ラッチ（７）によって自動的に、前記シャッター（６）の閉鎖後に固定され、かつ前記シャッター（６）の開放前に解放されることを特徴とするコーティングプラント。
【請求項２】
前記シャッター（６）および前記ラッチ（７）の動作が機械的に制御された動作であることを特徴とする、請求項１に記載のコーティング装置。
【請求項３】
前記シャッター（６）の動作が回転動作または旋回転作であり、前記ラッチ（７）の動作が回転、旋回または並進動作すなわち持上げ動作であることを特徴とする、請求項１または２に記載のコーティング装置。
【請求項４】
前記シャッター（６）および前記ラッチ（７）を動かす前記手段が、駆動側の駆動軸（２）と、前記シャッター（６）および前記ラッチ（７）に連結された少なくとも２本の連動する従動軸（３，４）とを有する伝動装置を備えることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載のコーティング装置。
【請求項５】
前記伝動装置が、カム駆動装置、特には、往復カム駆動装置もしくは揺動カム駆動装置、または回転持上げ駆動装置であることを特徴とする、請求項４に記載のコーティング装置。
【請求項６】
前記シャッター（６）の動作および前記ラッチ（７）の動作が、位相がずらされており、特には、前記ラッチ（７）の動作が、閉鎖するときには遅らされ、開放するときには先行することを特徴とする、請求項１〜５のいずれか１項に記載のコーティング装置。
【請求項７】
前記シャッター（６）と前記ラッチ（７）との両方がそれぞれの回転軸線を有しており、前記シャッター（６）および前記ラッチ（７）の前記回転軸線が、前記ロック開口部の両側に設けられていることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか１項に記載のコーティング装置。
【請求項８】
前記シャッター（６）と前記ラッチ（７）とを動かす前記手段が、自己拘束装置ないしは自己ロック装置を備えることを特徴とする、請求項１〜７のいずれか１項に記載のコーティング装置。
【請求項９】
前記シャッター（６）が、フラップホルダー（９）と、前記開口部（１３）のシール座（１４）内に延びかつシールすることができるシール要素（８）とを備え、前記シール要素（８）が、弾性手段、特には、棒ばねを好ましくは有するばね装置（１０）によって、前記フラップホルダー（９）に対して可動なようにして取り付けられていることを特徴とする、請求項１〜８のいずれか１項に記載のコーティング装置。
【請求項１０】
前記棒ばねが、前記シール要素（８）および前記ロック開口部の長手方向に平行に向けられており、前記棒ばねは、前記フラップホルダー（９）に対して、特には前記ロック開口部（１３）の方向に予め張力がかけられていることを特徴とする、請求項９に記載のコーティング装置。
【請求項１１】
前記シャッター（６）、また特には前記シール要素（８）が、少なくともシール面（１５）と、前記ロック開口部（１３）内に延びる中央部（１６）とを備えるシールサイドを有し、前記シール面（１５）が、閉位置にあるときに前記開口部（１３）のシール座（１４）のシール部と接触することを特徴とする、請求項１〜１０のいずれか１項に記載のコーティング装置。
【請求項１２】
前記シャッター（６）が、前記ロック開口部（１３）の前記シール座（１４）の平面内に、特には前記シール座（１４）のシール部と前記シャッター（６）の前記シール面（１５）との平面内に実質的に配置されている回転軸線（２０）を有することを特徴とする、請求項１１に記載のコーティング装置。
【請求項１３】
前記シール要素（８）および／または前記シール座（１４）が、少なくとも１つのシールリング（１７）を備えることを特徴とする、請求項９〜１２のいずれか１項に記載のコーティング装置。
【請求項１４】
前記中央部（１６）が錐状または先細形状をなし、前記中央部（１６）が、特には、前記シャッター（６）の前記周囲のシール面（１５）から突出していることを特徴とする、請求項９〜１２のいずれか１項に記載のコーティング装置。
【請求項１５】
実質的に互いに相補的に設計され、それにより互いに非常に滑らかかつほとんど摩擦や摩耗なしに係合されるようになることを可能とするそれぞれの係合面、特には湾曲した係合面を前記シャッター（６）および前記ラッチ（７）が有することを特徴とする、請求項１〜１４のいずれか１項に記載のコーティング装置。
【請求項１６】
回転可能に支持され、それにより前記シャッター（６）を固定すべきときに前記シャッター（６）との接触を可能とするローラーを前記シャッター（６）および前記ラッチ（７）が備えることを特徴とする、請求項１〜１５のいずれか１項に記載のコーティング装置。
【請求項１７】
前記ラッチ（７）が、前記第２の閉位置にあるときに、前記シャッター（６）を前記ロック開口部（１３）に押し付けることを特徴とする、請求項１〜１６のいずれか１項に記載のコーティング装置。
【請求項１８】
ロック開口部（１３）を閉じるためのシャッター（６）と、前記シャッター（６）を固定するための少なくとも１つのラッチ（７）とを備えるロック装置、特には請求項１〜１７のいずれかに記載のコーティングプラント用の装置において、請求項１の特徴および／または請求項２〜１６の特徴によって特徴づけられる装置。
【請求項１９】
ロック開口部（１３）と、さらなる開口部（１９）とが設けられ、かつ前記シャッター（６）および前記ラッチ（７）が収容される、ハウジング（５）を備えることを特徴とする、請求項１８に記載の装置。
【請求項２０】
前記ハウジング（５）が、特には気密連結のためのシール手段と、隣接する部品への取付部とを備えることを特徴とする、請求項１８または１９のいずれかに記載の装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公表番号】特表２００６−５２２７２７（Ｐ２００６−５２２７２７Ａ）
【公表日】平成１８年１０月５日（２００６．１０．５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−５１８６７６（Ｐ２００５−５１８６７６）
【出願日】平成１６年３月１１日（２００４．３．１１）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＥＰ２００４／００２５４２
【国際公開番号】ＷＯ２００５／０６４０３８
【国際公開日】平成１７年７月１４日（２００５．７．１４）
【出願人】（５０５０５１９７６）アプライド フィルムズ ゲーエムベーハー ウント ツェーオー．カーゲー (17)
【Ｆターム（参考）】
【公表日】平成１８年１０月５日（２００６．１０．５）
【国際特許分類】
【出願日】平成１６年３月１１日（２００４．３．１１）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＥＰ２００４／００２５４２
【国際公開番号】ＷＯ２００５／０６４０３８
【国際公開日】平成１７年７月１４日（２００５．７．１４）
【出願人】（５０５０５１９７６）アプライド フィルムズ ゲーエムベーハー ウント ツェーオー．カーゲー (17)
【Ｆターム（参考）】
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