露光装置および露光方法
【課題】導入する大気中のＣＯＳ等のS含有有機物をより効果的に除去し、装置内環境中のＳＯｘ濃度を低減させることが可能な露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置１００は、大気中の気体を清浄するとともに温湿調整する空調部１と、この空調部１で処理された気体が配管２を介して供給され、この供給された気体の雰囲気中で該基板に紫外線を照射する露光部３と、を備える。
空調部１は、大気を装置内に送風する送風機１ａと、この送風機１ａの下流側に配置され送風された気体が入力される酸化装置１ｂと、この酸化装置１ｂの下流側に配置され、酸化装置１ｂで処理された気体が入力されるフィルタ１ｃと、このフィルタ１ｃの下流側に配置されフィルタ１ｃを通過した気体が入力され、配管２に処理した気体を出力する温湿調整装置１ｄと、を有する。
【解決手段】露光装置１００は、大気中の気体を清浄するとともに温湿調整する空調部１と、この空調部１で処理された気体が配管２を介して供給され、この供給された気体の雰囲気中で該基板に紫外線を照射する露光部３と、を備える。
空調部１は、大気を装置内に送風する送風機１ａと、この送風機１ａの下流側に配置され送風された気体が入力される酸化装置１ｂと、この酸化装置１ｂの下流側に配置され、酸化装置１ｂで処理された気体が入力されるフィルタ１ｃと、このフィルタ１ｃの下流側に配置されフィルタ１ｃを通過した気体が入力され、配管２に処理した気体を出力する温湿調整装置１ｄと、を有する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に紫外線を照射するための露光装置および露光方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＫｒＦ、ＡｒＦレーザを使用する露光装置では、使用するにつれて、ミラーやレンズなどの光学部品に曇りが生し、またマスク上に異物が発生し得る。これらのミラーやレンズなどの光学部品の曇りや、マスク上の異物は、装置設置環境中のＳｉ含有有機不純物やＳＯｘ、アンモニアなどが原因であると考えられている。
【０００３】
特に、硫酸アンモニウム生成による曇りや異物を防止するためには、装置設置環境中のＳＯｘ、アンモニアの制御が必要であることが知られている。露光装置では曇りや異物発生を防止するために、装置内のＳＯｘ濃度を数十ｐｐｔレベル以下に管理することが必要である。
【０００４】
通常、装置空調にケミカルフィルタを設置して、光学部品付近の環境中ＳＯｘやアンモニアなどの不純物濃度を下げる対策を行っている。
【０００５】
従来の装置空調にはケミカルフィルタや水シャワーを含む除去ユニットが設けられている。該ケミカルフィルタとしては、酸性物質除去用、塩基性物質除去用、有機物除去用などのフィルタがある。
【０００６】
一方、大気中のＳＯｘ以外に分子量の小さいS含有有機物も硫酸アンモニウム生成に寄与することがわかってきた。
【０００７】
例えば、大気中に含まれる硫黄化合物の中で存在比率の大きい硫化カルボニル(ＣＯＳ)は、紫外線などで酸化されるとＳＯｘに変化することが知られている。
【０００８】
すなわち、この硫化カルボニルは、露光装置内に導入されると装置内でＳＯｘに変化して硫酸アンモニウム生成の原因となる。
【０００９】
ところが、硫化カルボニル(ＣＯＳ)は、通常、有機物除去用活性炭フィルタでは十分に除去できない。このため、従来の露光装置の空調では、硫化カルボニル(ＣＯＳ)が除去されず、露光装置内に導入されて曇りや異物発生の原因となっていた。
【００１０】
同様に、大気中に存在するS含有有機物であるH２Ｓ、ＣＳ２、ＣＨ３ＳＨ、ＣＨ３ＳＣＨ３、ＣＨ３ＳＳＣＨ３なども水シャワーやケミカルフィルタでは除去されにくい。これらのS含有有機物が露光装置内の紫外光によりＳＯｘを生成する原因となっていた。
【００１１】
ここで、従来技術には、例えば、硫化カルボニル(ＣＯＳ)を含むガスから硫化カルボニル(ＣＯＳ)を選択的に除去するために、該ガスを低温プラズマに接触させて、硫化カルボニル(ＣＯＳ)をＳＯｘに酸化させるものがある（例えば、特許文献１参照。）。
【００１２】
しかし、上記従来技術は、露光装置へ適用するための具体的な構成を開示するものではない。
【特許文献１】特表２０００−５１００３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、導入する大気中のＣＯＳ等のS含有有機物をより効果的に除去し、装置内環境中のＳＯｘ濃度を低減させることが可能な露光装置および露光方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の一態様に係る露光装置は、
基板に紫外線を照射するための露光装置であって、
ＳＯｘまたはＣＯＳを含む気体の成分を酸化する酸化装置、この酸化装置で処理された気体をフィルタリングする酸性物質除去用ケミカルフィルタ、塩基性物質除去用ケミカルフィルタ、および有機物除去用活性炭フィルタを含むフィルタ、および、このフィルタを通過した気体の温度および湿度を所定値に調整する温湿調整装置、を有する空調部と、
前記空調部で処理された気体が供給され、この供給された気体の雰囲気中で前記基板に紫外線を照射する露光部と、を備えることを特徴とする。
【００１５】
本発明の他の態様に係る露光装置は、
基板に紫外線を照射するための露光装置であって、
ＳＯｘまたはＣＯＳを含む気体をフィルタリングする酸性物質除去用ケミカルフィルタ、塩基性物質除去用ケミカルフィルタ、および有機物除去用活性炭フィルタを含む第１のフィルタ、この第１のフィルタを通過した気体中の成分を酸化する酸化装置、この酸化装置により処理された気体をフィルタリングする酸性物質除去用ケミカルフィルタおよび有機物除去用活性炭フィルタを含む第２のフィルタ、および、この第２のフィルタを通過した気体の温度および湿度を所定値に調整する温湿調整装置、を有する空調部と、
前記空調部で処理された気体が供給され、この供給された気体の雰囲気中で前記基板に紫外線を照射する露光部と、を備えることを特徴とする。
【００１６】
本発明のさらに他の態様に係る露光装置は、
基板に紫外線を照射するための露光装置であって、
ＳＯｘまたはＣＯＳを含む気体をフィルタリングする塩基性物質除去用ケミカルフィルタを含む第１のフィルタ、この第１のフィルタを通過した気体中の成分を酸化する酸化装置、この酸化装置により処理された気体をフィルタリングする酸性物質除去用ケミカルフィルタおよび有機物除去用活性炭フィルタを含む第２のフィルタ、および、この第２のフィルタを通過した気体の温度および湿度を所定値に調整する温湿調整装置、を有する空調部と、
前記空調部で処理された気体が供給され、この供給された気体の雰囲気中で前記基板に紫外線を照射する露光部と、を備えることを特徴とする。
【００１７】
本発明の一態様に係る露光方法は、
基板に紫外線を照射するための露光方法であって、
ＳＯｘまたはＣＯＳを含む気体の成分を酸化装置により酸化し、
前記酸化装置で処理された気体を酸性物質除去用ケミカルフィルタ、塩基性物質除去用ケミカルフィルタ、および有機物除去用活性炭フィルタを含むフィルタによりフィルタリングし、
前記フィルタを通過した気体の温度および湿度を温湿調整装置により所定値に調整し、
前記温湿調整装置により温度および湿度が調整された気体が供給され、この供給された気体の雰囲気中で前記基板に紫外線を照射することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の一態様に係る露光装置および露光方法によれば、導入する大気中のＣＯＳ等のS含有有機物をより効果的に除去し、装置内環境中のＳＯｘ濃度を低減させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明の一態様に係る露光装置および露光方法は、硫化カルボニルなどのS含有有機物を有効に除去する機構を提供する。
【００２０】
以下、本発明を適用した各実施例について図面を参照しながら説明する。
【実施例１】
【００２１】
本実施例１では、露光装置の空調部内のフィルタ前に酸化装置を配置した構成について説明する。
【００２２】
図１は、本発明の一態様である実施例１に係る露光装置の要部構成を示すブロック図である。
【００２３】
図１に示す露光装置１００は、例えば、基板（例えば、半導体ウェーハ）に紫外線を照射し、該基板上に成膜されたレジストを感光させるのに用いられる。
【００２４】
図１に示すように、この露光装置１００は、大気中の気体を清浄するとともに温湿調整する空調部１と、この空調部１で処理された気体が配管２を介して供給され、この供給された気体の雰囲気中で該基板に紫外線を照射する露光部３と、を備える。
【００２５】
空調部１は、大気を装置内に送風する送風機１ａと、この送風機１ａの下流側に配置され送風された気体が入力される酸化装置１ｂと、この酸化装置１ｂの下流側に配置され、酸化装置１ｂで処理された気体が入力されるフィルタ１ｃと、このフィルタ１ｃの下流側に配置されフィルタ１ｃを通過した気体が入力され、配管２に処理した気体を出力する温湿調整装置１ｄと、を有する。
【００２６】
なお、送風機１ａは酸化装置１ｂ、フィルタ１ｃの下流側に配置されていてもよいが、好ましくは図１のように清浄度を向上するため酸化装置１ｂ、フィルタ１ｃの上流側に設けられる。
【００２７】
また、酸化装置１ｂは、大気中の硫黄酸化物（ＳＯｘ）または硫化カルボニル(ＣＯＳ)を含む気体の成分を酸化するようになっている。すなわち、酸化装置１ｂは、硫化カルボニル(ＣＯＳ)を酸化し、硫黄酸化物（ＳＯｘ）を生成する。
【００２８】
また、フィルタ１ｃは、酸化装置１ｂで処理された気体をフィルタリングする酸性物質除去用ケミカルフィルタ、塩基性物質除去用ケミカルフィルタ、および有機物除去用活性炭フィルタを含む。このフィルタ１ｃの酸性物質除去用ケミカルフィルタにより、硫黄酸化物（ＳＯｘ）が除去される。
【００２９】
さらに、大気中のアンモニアなどの塩基性不純物や有機物なども、このフィルタ１ｃの塩基性物質除去用ケミカルフィルタおよび有機物除去用活性炭フィルタで除去される。
【００３０】
また、酸化装置１ｂで発生または添加したオゾンは、このフィルタ１ｃの有機物除去用活性炭フィルタで除去される。
【００３１】
なお、このフィルタ１ｃには、水シャワーを用いてもよい。
【００３２】
また、温湿調整装置１ｄは、フィルタ１ｃを通過した気体の温度および湿度を所定値に調整するようになっている。
【００３３】
ここで、酸化装置１ｂにより、硫化カルボニル(ＣＯＳ)を酸化して硫黄酸化物（ＳＯｘ）を生成する具体例について検討する。
【００３４】
式（１）に示すように、硫化カルボニル(ＣＯＳ)は、紫外線を照射することにより光解離され、硫黄が分離されることが知られている（例えば、参考文献１：岡田一俊、南部伸孝、青柳睦、“OCS分子の全自由度波束ダイナミックス計算”２００１年分子構造総合討論会 要旨集、Ｐ７５８、を参照。）。
ＣＯＳ＋ｈν→ＣＯ＋Ｓ・・・（１）
【００３５】
なお、硫化カルボニル(ＣＯＳ)に照射する紫外線の波長が、２００ｎｍ〜２５０ｎｍの範囲で式（１）に示される反応が起きる（同参考文献１参照。）。
【００３６】
また、式（２）に示すように、硫化カルボニル(ＣＯＳ)は、励起した酸素と反応し、一酸化硫黄が生成されることが知られている（例えば、参考文献２：Paul J. Crutzen、“THE POSSIBLE IMPORTANCE OF CSO FOR THE SULFATE LAYER OF THE STRATOSPHERE”、Geophysical Research Letters FebruaryVol.3, No.2, pp.73-76.1976、を参照。）。
ＣＯＳ＋Ｏ＊→ＣＯ＋ＳＯ・・・（２）
【００３７】
なお、酸素は、１７５ｎｍ〜２０５ｎｍの範囲の波長の紫外線を照射することにより励起することが知られている（例えば、参考文献３：K.YOSHINO, D.E.FREEMAN,J.R.ESMOND and W.H.PARKINSON, “HIGH RESOLUTION ABSORPTION CROSS SECTION MEASURMENTS AND BAND OSCILLATOR STRENGTHS OF THE (1, 0)-(12, 0) SCHUMANN-RUNGE BANDS OF O2“ , Planet.Space Sci., Vol.31, pp. 339-353.1983、を参照。）。
【００３８】
また、式（３）に示すように、硫黄は、酸素と反応し、一酸化硫黄が生成される（上記参考文献２参照。）。
Ｓ＋Ｏ２→ＳＯ＋Ｏ・・・（３）
【００３９】
さらに、式（４）に示すように、一酸化硫黄は、酸素と反応し、二酸化硫黄が生成される（同参考文献２参照。）。
ＳＯ＋Ｏ２→ＳＯ２＋Ｏ・・・（４）
【００４０】
さらに、式（５）に示すように、一酸化硫黄は、オゾンと反応し、二酸化硫黄が生成される（同参考文献２参照。）。
ＳＯ＋Ｏ３→ＳＯ２＋Ｏ２・・・（５）
【００４１】
また、式（６）に示すように、オゾンは、分解されると、励起した酸素を生成する。
Ｏ３→Ｏ２＋Ｏ＊・・・（６）
【００４２】
以上の式（１）、（３）〜（４）により、硫化カルボニル(ＣＯＳ)を含む気体に紫外線（波長が２００ｎｍ〜２５０ｎｍの範囲）を照射することにより酸化し、二酸化硫黄（ＳＯ２）を生成することができると考えられる。
【００４３】
すなわち、この原理を利用して、酸化装置１ｂを、硫化カルボニル(ＣＯＳ)を含む気体に２００ｎｍから２５０ｎｍの範囲の波長を有する紫外線を照射して、該気体中の成分である硫化カルボニル(ＣＯＳ)を酸化するように構成してもよい。
【００４４】
また、式（２）〜（４）により、硫化カルボニル(ＣＯＳ)、酸素を含む気体に紫外線（波長が１７５ｎｍ〜２０５ｎｍの範囲）を照射することにより酸素を励起して硫化カルボニル(ＣＯＳ)を酸化し、二酸化硫黄（ＳＯ２）を生成することができると考えられる。
【００４５】
すなわち、この原理を利用して、酸化装置１ｂを、硫化カルボニル(ＣＯＳ)、酸素を含む気体に１７５ｎｍから２０５ｎｍの範囲の波長を有する紫外線を照射して気体中の該酸素を励起しこの励起した酸素と反応させて、該気体中の成分である硫化カルボニル(ＣＯＳ)を酸化するように構成してもよい。
【００４６】
このように、酸化装置１ｂは、硫化カルボニル(ＣＯＳ)、酸素を含む気体に１７５ｎｍから２５０ｎｍの範囲の少なくとも一部と重複する波長を有する紫外線を照射して、該気体中の成分を酸化する。
【００４７】
また、式（２）〜（６）により、硫化カルボニル(ＣＯＳ)、酸素を含む気体中にオゾンを添加することにより硫化カルボニル(ＣＯＳ)を酸化し、二酸化硫黄（ＳＯ２）を生成することができると考えられる。
【００４８】
すなわち、この原理を利用して、酸化装置１ｂを、硫化カルボニル(ＣＯＳ)を含む気体中にオゾンを添加しこのオゾンと反応させて、該気体中の成分である硫化カルボニル(ＣＯＳ)を酸化するように構成してもよい。
【００４９】
なお、酸化装置１ｂに用いる紫外線の波長には、露光部３に用いる紫外線の波長と同じものを選択するようにしてもよい。これにより、露光部における硫酸アンモニウムの生成をより効果的に抑制することができると考えられる。
【００５０】
また、酸化装置１ｂは、硫化カルボニル(ＣＯＳ)の酸化を促進させるため、気体中に酸素、水蒸気を添加するようにしてもよい。
【００５１】
ここで、H２Ｓ、ＣＳ２、ＣＨ３ＳＨ、ＣＨ３ＳＣＨ３、ＣＨ３ＳＳＣＨ３などの大気中に存在するS含有有機物は、酸化されると硫化カルボニル(ＣＯＳ)を生成することが知られている（例えば、参考文献４：陽 捷行、“６．温室効果ガス等の発生”、No21、環境保全型農業技術、農林水産研究文献解題、AGROPEDIA／農学情報システム、［online］、平成７年３月、［平成１８年１月１１日検索］、インターネット〈URL：http://rms1.agsearch.agropedia.affrc.go.jp/menu_ja.html〉、を参照。）
【００５２】
しかし、酸化装置１ｂにより上記Ｓ含有有機物が酸化されれば、大気中に含まれる硫化カルボニル(ＣＯＳ)と同様に、硫黄酸化物（ＳＯｘ）としてフィルタ１ｃにより除去され得る。
【００５３】
上述のように、露光装置１００は、大気中に存在する硫化カルボニル(ＣＯＳ)、ＳＯｘ等に由来するＳＯｘをより効果的に除去することができる。
【００５４】
したがって、露光部内のＳＯｘ濃度を数十ｐｐｔ以下に制御することができ、硫酸アンモニウム起因の光学系曇りやマスク上異物を抑制することができる。
【００５５】
これにより、デバイス製造の歩留まり向上に寄与するとともに、装置メンテナンスの必要性を低減して装置稼働率を向上させることができる。
【００５６】
以上のように、本実施例に係る露光装置によれば、導入する大気中のＣＯＳ等のS含有有機物をより効果的に除去し、装置内環境中のＳＯｘ濃度を低減させることができる。
【実施例２】
【００５７】
実施例１では、露光装置がフィルタを１つ備える構成について述べた。
【００５８】
本実施例では、露光装置がフィルタを２つに分けて備える構成について述べる。
【００５９】
図２は、本発明の一態様である実施例２に係る露光装置の要部構成を示すブロック図である。
【００６０】
なお、図２において、実施例１と同じ符号は、実施例１と同様の構成を示している。
【００６１】
図２に示す露光装置２００は、実施例１と同様に、例えば、基板（例えば、半導体ウェーハ）に紫外線を照射し、該基板上に成膜されたレジストを感光させるのに用いられる。
【００６２】
図２に示すように、この露光装置２００は、大気中の気体を清浄するとともに温湿調整する空調部２０１と、この空調部２０１で処理された気体が配管２を介して供給され、この供給された気体の雰囲気中で該基板に紫外線を照射する露光部３と、を備える。
【００６３】
空調部２０１は、大気を装置内に送風する送風機２０１ａと、この送風機２０１ａの下流側に配置され送風された気体が入力される第１のフィルタ２０１ｂと、この第１のフィルタ２０１ｂの下流側に配置され第１のフィルタ２０１ｂを通過した気体が入力される酸化装置２０１ｃと、この酸化装置２０１ｃの下流側に配置され、酸化装置２０１ｃで処理された気体が入力される第２のフィルタ２０１ｄと、この第２のフィルタ２０１ｄの下流側に配置され第２のフィルタ２０１ｄを通過した気体が入力され、配管２に処理した気体を出力する温湿調整装置２０１ｅと、を有する。
【００６４】
なお、送風機２０１ａは、実施例１の送風機１ａと同様の構成・機能を有する。また、酸化装置２０１ｃは、実施例１の酸化装置１ｂと同様の構成・機能を有する。また、温湿調整装置２０１ｅは、実施例１の温湿調整装置１ｄと同様の構成・機能を有する。
【００６５】
また、送風機２０１ａは酸化装置２０１ｃ、第１、第２のフィルタ２０１ｂ、２０１ｄの下流側に配置されていてもよいが、好ましくは図２のように清浄度を向上するため酸化装置２０１ｃ、第１、第２のフィルタ２０１ｂ、２０１ｄの上流側に設けられる。
【００６６】
ここで、第１のフィルタ２０１ｂは、ＳＯｘまたはＣＯＳを含む気体をフィルタリングする塩基性物質除去用ケミカルフィルタを含む。この第１のフィルタ２０１ｂの塩基性物質除去用ケミカルフィルタにより、大気中のアンモニアなどの塩基性不純物が除去される。
【００６７】
また、第２のフィルタ２０１ｄは、酸化装置２０１ｃにより処理された気体をフィルタリングする酸性物質除去用ケミカルフィルタおよび有機物除去用活性炭フィルタを含む。この第２のフィルタ２０１ｄの酸性物質除去用ケミカルフィルタにより、大気中に含まれていた硫黄酸化物（ＳＯｘ）、および酸化装置２０１ｃで硫化カルボニル(ＣＯＳ)、Ｓ含有有機物を酸化して生成された硫黄酸化物（ＳＯｘ）が除去される。
【００６８】
また、酸化装置２０１ｃで発生または添加したオゾンは、この第２のフィルタ２０１ｄの有機物除去用活性炭フィルタで除去される。
【００６９】
上記構成の露光装置２００では、大気中のアンモニアなどの塩基性物質を除去した後に酸化装置２０１ｃに大気を導入することになる。
【００７０】
硫化カルボニルは第１のフィルタ２０１ｂでは除去されずに通過し、酸化装置２０１ｃで酸化される。
【００７１】
この露光装置２００の構成では、アンモニアなどの塩基性物質を先に除去するため、例えば、酸化装置２０１ｃで大気中のアンモニアが酸化されてNOxが生成するのを抑制する。これにより、酸化装置２０１ｃ下流のNOｘ濃度を低く抑えることができる。したがって、第２のフィルタ２０１ｄの酸性物質除去用ケミカルフィルタの寿命を延ばすことができる。
【００７２】
一方、露光装置２００において、第１のフィルタ２０１ｂは、ＳＯｘまたはＣＯＳを含む気体をフィルタリングする酸性物質除去用ケミカルフィルタ、塩基性物質除去用ケミカルフィルタ、および有機物除去用活性炭フィルタを含むようにしてもよい。
【００７３】
この場合、第１のフィルタ２０１ｂの酸性物質除去用ケミカルフィルタにより、大気中に含まれていた硫黄酸化物（ＳＯｘ）が除去される。
【００７４】
さらに、大気中のアンモニアなどの塩基性不純物や有機物なども、この第１のフィルタ２０１ｂの塩基性物質除去用ケミカルフィルタおよび有機物除去用活性炭フィルタで除去される。
【００７５】
そして、第２のフィルタ２０１ｄの酸性物質除去用ケミカルフィルタにより、酸化装置２０１ｃで硫化カルボニル(ＣＯＳ)、Ｓ含有有機物を酸化して生成された硫黄酸化物（ＳＯｘ）が除去される。また、酸化装置２０１ｃで発生または添加したオゾンは、この第２のフィルタ２０１ｄの有機物除去用活性炭フィルタで除去される。
【００７６】
この場合、第１のフィルタ２０１ｂで除去可能な不純物を除去してから酸化装置２０１ｃに大気を導入するため、酸化装置２０１ｄにおける酸化対象物質濃度を減らし、効率よく酸化を行うことができる。
【００７７】
以上のように、本実施例に係る露光装置によれば、実施例１と同様に、導入する大気中のＣＯＳ等のS含有有機物をより効果的に除去し、装置内環境中のＳＯｘ濃度を低減させることができる。
【００７８】
本発明は、以下の付記に記載されているような構成が考えられる。
【００７９】
（付記１）基板に紫外線を照射するための露光方法であって、ＳＯｘまたはＣＯＳを含む気体の成分を酸化装置により酸化し、前記酸化装置で処理された気体を酸性物質除去用ケミカルフィルタ、塩基性物質除去用ケミカルフィルタ、および有機物除去用活性炭フィルタを含むフィルタによりフィルタリングし、前記フィルタを通過した気体の温度および湿度を温湿調整装置により所定値に調整し、前記温湿調整装置により温度および湿度が調整された気体が供給され、この供給された気体の雰囲気中で前記基板に紫外線を照射することを特徴とする露光方法。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】本発明の一態様である実施例１に係る露光装置の要部構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の一態様である実施例２に係る露光装置の要部構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００８１】
１、２０１ 空調部
１ａ、２０１ａ 送風機
１ｂ、２０１ｃ 酸化装置
１ｃ フィルタ
１ｄ、２０１ｅ 温湿調整装置
２ 配管
３ 露光部
１００、２００ 露光装置
２０１ｂ 第１のフィルタ
２０１ｄ 第２のフィルタ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に紫外線を照射するための露光装置および露光方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＫｒＦ、ＡｒＦレーザを使用する露光装置では、使用するにつれて、ミラーやレンズなどの光学部品に曇りが生し、またマスク上に異物が発生し得る。これらのミラーやレンズなどの光学部品の曇りや、マスク上の異物は、装置設置環境中のＳｉ含有有機不純物やＳＯｘ、アンモニアなどが原因であると考えられている。
【０００３】
特に、硫酸アンモニウム生成による曇りや異物を防止するためには、装置設置環境中のＳＯｘ、アンモニアの制御が必要であることが知られている。露光装置では曇りや異物発生を防止するために、装置内のＳＯｘ濃度を数十ｐｐｔレベル以下に管理することが必要である。
【０００４】
通常、装置空調にケミカルフィルタを設置して、光学部品付近の環境中ＳＯｘやアンモニアなどの不純物濃度を下げる対策を行っている。
【０００５】
従来の装置空調にはケミカルフィルタや水シャワーを含む除去ユニットが設けられている。該ケミカルフィルタとしては、酸性物質除去用、塩基性物質除去用、有機物除去用などのフィルタがある。
【０００６】
一方、大気中のＳＯｘ以外に分子量の小さいS含有有機物も硫酸アンモニウム生成に寄与することがわかってきた。
【０００７】
例えば、大気中に含まれる硫黄化合物の中で存在比率の大きい硫化カルボニル(ＣＯＳ)は、紫外線などで酸化されるとＳＯｘに変化することが知られている。
【０００８】
すなわち、この硫化カルボニルは、露光装置内に導入されると装置内でＳＯｘに変化して硫酸アンモニウム生成の原因となる。
【０００９】
ところが、硫化カルボニル(ＣＯＳ)は、通常、有機物除去用活性炭フィルタでは十分に除去できない。このため、従来の露光装置の空調では、硫化カルボニル(ＣＯＳ)が除去されず、露光装置内に導入されて曇りや異物発生の原因となっていた。
【００１０】
同様に、大気中に存在するS含有有機物であるH２Ｓ、ＣＳ２、ＣＨ３ＳＨ、ＣＨ３ＳＣＨ３、ＣＨ３ＳＳＣＨ３なども水シャワーやケミカルフィルタでは除去されにくい。これらのS含有有機物が露光装置内の紫外光によりＳＯｘを生成する原因となっていた。
【００１１】
ここで、従来技術には、例えば、硫化カルボニル(ＣＯＳ)を含むガスから硫化カルボニル(ＣＯＳ)を選択的に除去するために、該ガスを低温プラズマに接触させて、硫化カルボニル(ＣＯＳ)をＳＯｘに酸化させるものがある（例えば、特許文献１参照。）。
【００１２】
しかし、上記従来技術は、露光装置へ適用するための具体的な構成を開示するものではない。
【特許文献１】特表２０００−５１００３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、導入する大気中のＣＯＳ等のS含有有機物をより効果的に除去し、装置内環境中のＳＯｘ濃度を低減させることが可能な露光装置および露光方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の一態様に係る露光装置は、
基板に紫外線を照射するための露光装置であって、
ＳＯｘまたはＣＯＳを含む気体の成分を酸化する酸化装置、この酸化装置で処理された気体をフィルタリングする酸性物質除去用ケミカルフィルタ、塩基性物質除去用ケミカルフィルタ、および有機物除去用活性炭フィルタを含むフィルタ、および、このフィルタを通過した気体の温度および湿度を所定値に調整する温湿調整装置、を有する空調部と、
前記空調部で処理された気体が供給され、この供給された気体の雰囲気中で前記基板に紫外線を照射する露光部と、を備えることを特徴とする。
【００１５】
本発明の他の態様に係る露光装置は、
基板に紫外線を照射するための露光装置であって、
ＳＯｘまたはＣＯＳを含む気体をフィルタリングする酸性物質除去用ケミカルフィルタ、塩基性物質除去用ケミカルフィルタ、および有機物除去用活性炭フィルタを含む第１のフィルタ、この第１のフィルタを通過した気体中の成分を酸化する酸化装置、この酸化装置により処理された気体をフィルタリングする酸性物質除去用ケミカルフィルタおよび有機物除去用活性炭フィルタを含む第２のフィルタ、および、この第２のフィルタを通過した気体の温度および湿度を所定値に調整する温湿調整装置、を有する空調部と、
前記空調部で処理された気体が供給され、この供給された気体の雰囲気中で前記基板に紫外線を照射する露光部と、を備えることを特徴とする。
【００１６】
本発明のさらに他の態様に係る露光装置は、
基板に紫外線を照射するための露光装置であって、
ＳＯｘまたはＣＯＳを含む気体をフィルタリングする塩基性物質除去用ケミカルフィルタを含む第１のフィルタ、この第１のフィルタを通過した気体中の成分を酸化する酸化装置、この酸化装置により処理された気体をフィルタリングする酸性物質除去用ケミカルフィルタおよび有機物除去用活性炭フィルタを含む第２のフィルタ、および、この第２のフィルタを通過した気体の温度および湿度を所定値に調整する温湿調整装置、を有する空調部と、
前記空調部で処理された気体が供給され、この供給された気体の雰囲気中で前記基板に紫外線を照射する露光部と、を備えることを特徴とする。
【００１７】
本発明の一態様に係る露光方法は、
基板に紫外線を照射するための露光方法であって、
ＳＯｘまたはＣＯＳを含む気体の成分を酸化装置により酸化し、
前記酸化装置で処理された気体を酸性物質除去用ケミカルフィルタ、塩基性物質除去用ケミカルフィルタ、および有機物除去用活性炭フィルタを含むフィルタによりフィルタリングし、
前記フィルタを通過した気体の温度および湿度を温湿調整装置により所定値に調整し、
前記温湿調整装置により温度および湿度が調整された気体が供給され、この供給された気体の雰囲気中で前記基板に紫外線を照射することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の一態様に係る露光装置および露光方法によれば、導入する大気中のＣＯＳ等のS含有有機物をより効果的に除去し、装置内環境中のＳＯｘ濃度を低減させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明の一態様に係る露光装置および露光方法は、硫化カルボニルなどのS含有有機物を有効に除去する機構を提供する。
【００２０】
以下、本発明を適用した各実施例について図面を参照しながら説明する。
【実施例１】
【００２１】
本実施例１では、露光装置の空調部内のフィルタ前に酸化装置を配置した構成について説明する。
【００２２】
図１は、本発明の一態様である実施例１に係る露光装置の要部構成を示すブロック図である。
【００２３】
図１に示す露光装置１００は、例えば、基板（例えば、半導体ウェーハ）に紫外線を照射し、該基板上に成膜されたレジストを感光させるのに用いられる。
【００２４】
図１に示すように、この露光装置１００は、大気中の気体を清浄するとともに温湿調整する空調部１と、この空調部１で処理された気体が配管２を介して供給され、この供給された気体の雰囲気中で該基板に紫外線を照射する露光部３と、を備える。
【００２５】
空調部１は、大気を装置内に送風する送風機１ａと、この送風機１ａの下流側に配置され送風された気体が入力される酸化装置１ｂと、この酸化装置１ｂの下流側に配置され、酸化装置１ｂで処理された気体が入力されるフィルタ１ｃと、このフィルタ１ｃの下流側に配置されフィルタ１ｃを通過した気体が入力され、配管２に処理した気体を出力する温湿調整装置１ｄと、を有する。
【００２６】
なお、送風機１ａは酸化装置１ｂ、フィルタ１ｃの下流側に配置されていてもよいが、好ましくは図１のように清浄度を向上するため酸化装置１ｂ、フィルタ１ｃの上流側に設けられる。
【００２７】
また、酸化装置１ｂは、大気中の硫黄酸化物（ＳＯｘ）または硫化カルボニル(ＣＯＳ)を含む気体の成分を酸化するようになっている。すなわち、酸化装置１ｂは、硫化カルボニル(ＣＯＳ)を酸化し、硫黄酸化物（ＳＯｘ）を生成する。
【００２８】
また、フィルタ１ｃは、酸化装置１ｂで処理された気体をフィルタリングする酸性物質除去用ケミカルフィルタ、塩基性物質除去用ケミカルフィルタ、および有機物除去用活性炭フィルタを含む。このフィルタ１ｃの酸性物質除去用ケミカルフィルタにより、硫黄酸化物（ＳＯｘ）が除去される。
【００２９】
さらに、大気中のアンモニアなどの塩基性不純物や有機物なども、このフィルタ１ｃの塩基性物質除去用ケミカルフィルタおよび有機物除去用活性炭フィルタで除去される。
【００３０】
また、酸化装置１ｂで発生または添加したオゾンは、このフィルタ１ｃの有機物除去用活性炭フィルタで除去される。
【００３１】
なお、このフィルタ１ｃには、水シャワーを用いてもよい。
【００３２】
また、温湿調整装置１ｄは、フィルタ１ｃを通過した気体の温度および湿度を所定値に調整するようになっている。
【００３３】
ここで、酸化装置１ｂにより、硫化カルボニル(ＣＯＳ)を酸化して硫黄酸化物（ＳＯｘ）を生成する具体例について検討する。
【００３４】
式（１）に示すように、硫化カルボニル(ＣＯＳ)は、紫外線を照射することにより光解離され、硫黄が分離されることが知られている（例えば、参考文献１：岡田一俊、南部伸孝、青柳睦、“OCS分子の全自由度波束ダイナミックス計算”２００１年分子構造総合討論会 要旨集、Ｐ７５８、を参照。）。
ＣＯＳ＋ｈν→ＣＯ＋Ｓ・・・（１）
【００３５】
なお、硫化カルボニル(ＣＯＳ)に照射する紫外線の波長が、２００ｎｍ〜２５０ｎｍの範囲で式（１）に示される反応が起きる（同参考文献１参照。）。
【００３６】
また、式（２）に示すように、硫化カルボニル(ＣＯＳ)は、励起した酸素と反応し、一酸化硫黄が生成されることが知られている（例えば、参考文献２：Paul J. Crutzen、“THE POSSIBLE IMPORTANCE OF CSO FOR THE SULFATE LAYER OF THE STRATOSPHERE”、Geophysical Research Letters FebruaryVol.3, No.2, pp.73-76.1976、を参照。）。
ＣＯＳ＋Ｏ＊→ＣＯ＋ＳＯ・・・（２）
【００３７】
なお、酸素は、１７５ｎｍ〜２０５ｎｍの範囲の波長の紫外線を照射することにより励起することが知られている（例えば、参考文献３：K.YOSHINO, D.E.FREEMAN,J.R.ESMOND and W.H.PARKINSON, “HIGH RESOLUTION ABSORPTION CROSS SECTION MEASURMENTS AND BAND OSCILLATOR STRENGTHS OF THE (1, 0)-(12, 0) SCHUMANN-RUNGE BANDS OF O2“ , Planet.Space Sci., Vol.31, pp. 339-353.1983、を参照。）。
【００３８】
また、式（３）に示すように、硫黄は、酸素と反応し、一酸化硫黄が生成される（上記参考文献２参照。）。
Ｓ＋Ｏ２→ＳＯ＋Ｏ・・・（３）
【００３９】
さらに、式（４）に示すように、一酸化硫黄は、酸素と反応し、二酸化硫黄が生成される（同参考文献２参照。）。
ＳＯ＋Ｏ２→ＳＯ２＋Ｏ・・・（４）
【００４０】
さらに、式（５）に示すように、一酸化硫黄は、オゾンと反応し、二酸化硫黄が生成される（同参考文献２参照。）。
ＳＯ＋Ｏ３→ＳＯ２＋Ｏ２・・・（５）
【００４１】
また、式（６）に示すように、オゾンは、分解されると、励起した酸素を生成する。
Ｏ３→Ｏ２＋Ｏ＊・・・（６）
【００４２】
以上の式（１）、（３）〜（４）により、硫化カルボニル(ＣＯＳ)を含む気体に紫外線（波長が２００ｎｍ〜２５０ｎｍの範囲）を照射することにより酸化し、二酸化硫黄（ＳＯ２）を生成することができると考えられる。
【００４３】
すなわち、この原理を利用して、酸化装置１ｂを、硫化カルボニル(ＣＯＳ)を含む気体に２００ｎｍから２５０ｎｍの範囲の波長を有する紫外線を照射して、該気体中の成分である硫化カルボニル(ＣＯＳ)を酸化するように構成してもよい。
【００４４】
また、式（２）〜（４）により、硫化カルボニル(ＣＯＳ)、酸素を含む気体に紫外線（波長が１７５ｎｍ〜２０５ｎｍの範囲）を照射することにより酸素を励起して硫化カルボニル(ＣＯＳ)を酸化し、二酸化硫黄（ＳＯ２）を生成することができると考えられる。
【００４５】
すなわち、この原理を利用して、酸化装置１ｂを、硫化カルボニル(ＣＯＳ)、酸素を含む気体に１７５ｎｍから２０５ｎｍの範囲の波長を有する紫外線を照射して気体中の該酸素を励起しこの励起した酸素と反応させて、該気体中の成分である硫化カルボニル(ＣＯＳ)を酸化するように構成してもよい。
【００４６】
このように、酸化装置１ｂは、硫化カルボニル(ＣＯＳ)、酸素を含む気体に１７５ｎｍから２５０ｎｍの範囲の少なくとも一部と重複する波長を有する紫外線を照射して、該気体中の成分を酸化する。
【００４７】
また、式（２）〜（６）により、硫化カルボニル(ＣＯＳ)、酸素を含む気体中にオゾンを添加することにより硫化カルボニル(ＣＯＳ)を酸化し、二酸化硫黄（ＳＯ２）を生成することができると考えられる。
【００４８】
すなわち、この原理を利用して、酸化装置１ｂを、硫化カルボニル(ＣＯＳ)を含む気体中にオゾンを添加しこのオゾンと反応させて、該気体中の成分である硫化カルボニル(ＣＯＳ)を酸化するように構成してもよい。
【００４９】
なお、酸化装置１ｂに用いる紫外線の波長には、露光部３に用いる紫外線の波長と同じものを選択するようにしてもよい。これにより、露光部における硫酸アンモニウムの生成をより効果的に抑制することができると考えられる。
【００５０】
また、酸化装置１ｂは、硫化カルボニル(ＣＯＳ)の酸化を促進させるため、気体中に酸素、水蒸気を添加するようにしてもよい。
【００５１】
ここで、H２Ｓ、ＣＳ２、ＣＨ３ＳＨ、ＣＨ３ＳＣＨ３、ＣＨ３ＳＳＣＨ３などの大気中に存在するS含有有機物は、酸化されると硫化カルボニル(ＣＯＳ)を生成することが知られている（例えば、参考文献４：陽 捷行、“６．温室効果ガス等の発生”、No21、環境保全型農業技術、農林水産研究文献解題、AGROPEDIA／農学情報システム、［online］、平成７年３月、［平成１８年１月１１日検索］、インターネット〈URL：http://rms1.agsearch.agropedia.affrc.go.jp/menu_ja.html〉、を参照。）
【００５２】
しかし、酸化装置１ｂにより上記Ｓ含有有機物が酸化されれば、大気中に含まれる硫化カルボニル(ＣＯＳ)と同様に、硫黄酸化物（ＳＯｘ）としてフィルタ１ｃにより除去され得る。
【００５３】
上述のように、露光装置１００は、大気中に存在する硫化カルボニル(ＣＯＳ)、ＳＯｘ等に由来するＳＯｘをより効果的に除去することができる。
【００５４】
したがって、露光部内のＳＯｘ濃度を数十ｐｐｔ以下に制御することができ、硫酸アンモニウム起因の光学系曇りやマスク上異物を抑制することができる。
【００５５】
これにより、デバイス製造の歩留まり向上に寄与するとともに、装置メンテナンスの必要性を低減して装置稼働率を向上させることができる。
【００５６】
以上のように、本実施例に係る露光装置によれば、導入する大気中のＣＯＳ等のS含有有機物をより効果的に除去し、装置内環境中のＳＯｘ濃度を低減させることができる。
【実施例２】
【００５７】
実施例１では、露光装置がフィルタを１つ備える構成について述べた。
【００５８】
本実施例では、露光装置がフィルタを２つに分けて備える構成について述べる。
【００５９】
図２は、本発明の一態様である実施例２に係る露光装置の要部構成を示すブロック図である。
【００６０】
なお、図２において、実施例１と同じ符号は、実施例１と同様の構成を示している。
【００６１】
図２に示す露光装置２００は、実施例１と同様に、例えば、基板（例えば、半導体ウェーハ）に紫外線を照射し、該基板上に成膜されたレジストを感光させるのに用いられる。
【００６２】
図２に示すように、この露光装置２００は、大気中の気体を清浄するとともに温湿調整する空調部２０１と、この空調部２０１で処理された気体が配管２を介して供給され、この供給された気体の雰囲気中で該基板に紫外線を照射する露光部３と、を備える。
【００６３】
空調部２０１は、大気を装置内に送風する送風機２０１ａと、この送風機２０１ａの下流側に配置され送風された気体が入力される第１のフィルタ２０１ｂと、この第１のフィルタ２０１ｂの下流側に配置され第１のフィルタ２０１ｂを通過した気体が入力される酸化装置２０１ｃと、この酸化装置２０１ｃの下流側に配置され、酸化装置２０１ｃで処理された気体が入力される第２のフィルタ２０１ｄと、この第２のフィルタ２０１ｄの下流側に配置され第２のフィルタ２０１ｄを通過した気体が入力され、配管２に処理した気体を出力する温湿調整装置２０１ｅと、を有する。
【００６４】
なお、送風機２０１ａは、実施例１の送風機１ａと同様の構成・機能を有する。また、酸化装置２０１ｃは、実施例１の酸化装置１ｂと同様の構成・機能を有する。また、温湿調整装置２０１ｅは、実施例１の温湿調整装置１ｄと同様の構成・機能を有する。
【００６５】
また、送風機２０１ａは酸化装置２０１ｃ、第１、第２のフィルタ２０１ｂ、２０１ｄの下流側に配置されていてもよいが、好ましくは図２のように清浄度を向上するため酸化装置２０１ｃ、第１、第２のフィルタ２０１ｂ、２０１ｄの上流側に設けられる。
【００６６】
ここで、第１のフィルタ２０１ｂは、ＳＯｘまたはＣＯＳを含む気体をフィルタリングする塩基性物質除去用ケミカルフィルタを含む。この第１のフィルタ２０１ｂの塩基性物質除去用ケミカルフィルタにより、大気中のアンモニアなどの塩基性不純物が除去される。
【００６７】
また、第２のフィルタ２０１ｄは、酸化装置２０１ｃにより処理された気体をフィルタリングする酸性物質除去用ケミカルフィルタおよび有機物除去用活性炭フィルタを含む。この第２のフィルタ２０１ｄの酸性物質除去用ケミカルフィルタにより、大気中に含まれていた硫黄酸化物（ＳＯｘ）、および酸化装置２０１ｃで硫化カルボニル(ＣＯＳ)、Ｓ含有有機物を酸化して生成された硫黄酸化物（ＳＯｘ）が除去される。
【００６８】
また、酸化装置２０１ｃで発生または添加したオゾンは、この第２のフィルタ２０１ｄの有機物除去用活性炭フィルタで除去される。
【００６９】
上記構成の露光装置２００では、大気中のアンモニアなどの塩基性物質を除去した後に酸化装置２０１ｃに大気を導入することになる。
【００７０】
硫化カルボニルは第１のフィルタ２０１ｂでは除去されずに通過し、酸化装置２０１ｃで酸化される。
【００７１】
この露光装置２００の構成では、アンモニアなどの塩基性物質を先に除去するため、例えば、酸化装置２０１ｃで大気中のアンモニアが酸化されてNOxが生成するのを抑制する。これにより、酸化装置２０１ｃ下流のNOｘ濃度を低く抑えることができる。したがって、第２のフィルタ２０１ｄの酸性物質除去用ケミカルフィルタの寿命を延ばすことができる。
【００７２】
一方、露光装置２００において、第１のフィルタ２０１ｂは、ＳＯｘまたはＣＯＳを含む気体をフィルタリングする酸性物質除去用ケミカルフィルタ、塩基性物質除去用ケミカルフィルタ、および有機物除去用活性炭フィルタを含むようにしてもよい。
【００７３】
この場合、第１のフィルタ２０１ｂの酸性物質除去用ケミカルフィルタにより、大気中に含まれていた硫黄酸化物（ＳＯｘ）が除去される。
【００７４】
さらに、大気中のアンモニアなどの塩基性不純物や有機物なども、この第１のフィルタ２０１ｂの塩基性物質除去用ケミカルフィルタおよび有機物除去用活性炭フィルタで除去される。
【００７５】
そして、第２のフィルタ２０１ｄの酸性物質除去用ケミカルフィルタにより、酸化装置２０１ｃで硫化カルボニル(ＣＯＳ)、Ｓ含有有機物を酸化して生成された硫黄酸化物（ＳＯｘ）が除去される。また、酸化装置２０１ｃで発生または添加したオゾンは、この第２のフィルタ２０１ｄの有機物除去用活性炭フィルタで除去される。
【００７６】
この場合、第１のフィルタ２０１ｂで除去可能な不純物を除去してから酸化装置２０１ｃに大気を導入するため、酸化装置２０１ｄにおける酸化対象物質濃度を減らし、効率よく酸化を行うことができる。
【００７７】
以上のように、本実施例に係る露光装置によれば、実施例１と同様に、導入する大気中のＣＯＳ等のS含有有機物をより効果的に除去し、装置内環境中のＳＯｘ濃度を低減させることができる。
【００７８】
本発明は、以下の付記に記載されているような構成が考えられる。
【００７９】
（付記１）基板に紫外線を照射するための露光方法であって、ＳＯｘまたはＣＯＳを含む気体の成分を酸化装置により酸化し、前記酸化装置で処理された気体を酸性物質除去用ケミカルフィルタ、塩基性物質除去用ケミカルフィルタ、および有機物除去用活性炭フィルタを含むフィルタによりフィルタリングし、前記フィルタを通過した気体の温度および湿度を温湿調整装置により所定値に調整し、前記温湿調整装置により温度および湿度が調整された気体が供給され、この供給された気体の雰囲気中で前記基板に紫外線を照射することを特徴とする露光方法。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】本発明の一態様である実施例１に係る露光装置の要部構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の一態様である実施例２に係る露光装置の要部構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００８１】
１、２０１ 空調部
１ａ、２０１ａ 送風機
１ｂ、２０１ｃ 酸化装置
１ｃ フィルタ
１ｄ、２０１ｅ 温湿調整装置
２ 配管
３ 露光部
１００、２００ 露光装置
２０１ｂ 第１のフィルタ
２０１ｄ 第２のフィルタ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に紫外線を照射するための露光装置であって、
ＳＯｘまたはＣＯＳを含む気体の成分を酸化する酸化装置、この酸化装置で処理された気体をフィルタリングする酸性物質除去用ケミカルフィルタ、塩基性物質除去用ケミカルフィルタ、および有機物除去用活性炭フィルタを含むフィルタ、および、このフィルタを通過した気体の温度および湿度を所定値に調整する温湿調整装置、を有する空調部と、
前記空調部で処理された気体が供給され、この供給された気体の雰囲気中で前記基板に紫外線を照射する露光部と、を備える
ことを特徴とする露光装置。
【請求項２】
基板に紫外線を照射するための露光装置であって、
ＳＯｘまたはＣＯＳを含む気体をフィルタリングする酸性物質除去用ケミカルフィルタ、塩基性物質除去用ケミカルフィルタ、および有機物除去用活性炭フィルタを含む第１のフィルタ、この第１のフィルタを通過した気体中の成分を酸化する酸化装置、この酸化装置により処理された気体をフィルタリングする酸性物質除去用ケミカルフィルタおよび有機物除去用活性炭フィルタを含む第２のフィルタ、および、この第２のフィルタを通過した気体の温度および湿度を所定値に調整する温湿調整装置、を有する空調部と、
前記空調部で処理された気体が供給され、この供給された気体の雰囲気中で前記基板に紫外線を照射する露光部と、を備える
ことを特徴とする露光装置。
【請求項３】
基板に紫外線を照射するための露光装置であって、
ＳＯｘまたはＣＯＳを含む気体をフィルタリングする塩基性物質除去用ケミカルフィルタを含む第１のフィルタ、この第１のフィルタを通過した気体中の成分を酸化する酸化装置、この酸化装置により処理された気体をフィルタリングする酸性物質除去用ケミカルフィルタおよび有機物除去用活性炭フィルタを含む第２のフィルタ、および、この第２のフィルタを通過した気体の温度および湿度を所定値に調整する温湿調整装置、を有する空調部と、
前記空調部で処理された気体が供給され、この供給された気体の雰囲気中で前記基板に紫外線を照射する露光部と、を備える
ことを特徴とする露光装置。
【請求項４】
前記酸化装置は、前記気体に紫外線を照射して前記気体中の酸素を励起しこの励起した酸素と反応させて、前記気体中の成分を酸化する
ことを特徴とする請求項１ないし３の何れかに記載の露光装置。
【請求項５】
前記酸化装置は、前記気体中にオゾンを添加しこのオゾンと反応させて、前記気体中の成分を酸化する
ことを特徴とする請求項１ないし３の何れかに記載の露光装置。
【請求項６】
基板に紫外線を照射するための露光方法であって、
ＳＯｘまたはＣＯＳを含む気体の成分を酸化装置により酸化し、
前記酸化装置で処理された気体を酸性物質除去用ケミカルフィルタ、塩基性物質除去用ケミカルフィルタ、および有機物除去用活性炭フィルタを含むフィルタによりフィルタリングし、
前記フィルタを通過した気体の温度および湿度を温湿調整装置により所定値に調整し、
前記温湿調整装置により温度および湿度が調整された気体が供給され、この供給された気体の雰囲気中で前記基板に紫外線を照射する
ことを特徴とする露光方法。
【請求項１】
基板に紫外線を照射するための露光装置であって、
ＳＯｘまたはＣＯＳを含む気体の成分を酸化する酸化装置、この酸化装置で処理された気体をフィルタリングする酸性物質除去用ケミカルフィルタ、塩基性物質除去用ケミカルフィルタ、および有機物除去用活性炭フィルタを含むフィルタ、および、このフィルタを通過した気体の温度および湿度を所定値に調整する温湿調整装置、を有する空調部と、
前記空調部で処理された気体が供給され、この供給された気体の雰囲気中で前記基板に紫外線を照射する露光部と、を備える
ことを特徴とする露光装置。
【請求項２】
基板に紫外線を照射するための露光装置であって、
ＳＯｘまたはＣＯＳを含む気体をフィルタリングする酸性物質除去用ケミカルフィルタ、塩基性物質除去用ケミカルフィルタ、および有機物除去用活性炭フィルタを含む第１のフィルタ、この第１のフィルタを通過した気体中の成分を酸化する酸化装置、この酸化装置により処理された気体をフィルタリングする酸性物質除去用ケミカルフィルタおよび有機物除去用活性炭フィルタを含む第２のフィルタ、および、この第２のフィルタを通過した気体の温度および湿度を所定値に調整する温湿調整装置、を有する空調部と、
前記空調部で処理された気体が供給され、この供給された気体の雰囲気中で前記基板に紫外線を照射する露光部と、を備える
ことを特徴とする露光装置。
【請求項３】
基板に紫外線を照射するための露光装置であって、
ＳＯｘまたはＣＯＳを含む気体をフィルタリングする塩基性物質除去用ケミカルフィルタを含む第１のフィルタ、この第１のフィルタを通過した気体中の成分を酸化する酸化装置、この酸化装置により処理された気体をフィルタリングする酸性物質除去用ケミカルフィルタおよび有機物除去用活性炭フィルタを含む第２のフィルタ、および、この第２のフィルタを通過した気体の温度および湿度を所定値に調整する温湿調整装置、を有する空調部と、
前記空調部で処理された気体が供給され、この供給された気体の雰囲気中で前記基板に紫外線を照射する露光部と、を備える
ことを特徴とする露光装置。
【請求項４】
前記酸化装置は、前記気体に紫外線を照射して前記気体中の酸素を励起しこの励起した酸素と反応させて、前記気体中の成分を酸化する
ことを特徴とする請求項１ないし３の何れかに記載の露光装置。
【請求項５】
前記酸化装置は、前記気体中にオゾンを添加しこのオゾンと反応させて、前記気体中の成分を酸化する
ことを特徴とする請求項１ないし３の何れかに記載の露光装置。
【請求項６】
基板に紫外線を照射するための露光方法であって、
ＳＯｘまたはＣＯＳを含む気体の成分を酸化装置により酸化し、
前記酸化装置で処理された気体を酸性物質除去用ケミカルフィルタ、塩基性物質除去用ケミカルフィルタ、および有機物除去用活性炭フィルタを含むフィルタによりフィルタリングし、
前記フィルタを通過した気体の温度および湿度を温湿調整装置により所定値に調整し、
前記温湿調整装置により温度および湿度が調整された気体が供給され、この供給された気体の雰囲気中で前記基板に紫外線を照射する
ことを特徴とする露光方法。
【図１】
【図２】
【図２】
【公開番号】特開２００８−１８２０３１（Ｐ２００８−１８２０３１Ａ）
【公開日】平成２０年８月７日（２００８．８．７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−１３９６６（Ｐ２００７−１３９６６）
【出願日】平成１９年１月２４日（２００７．１．２４）
【出願人】（０００００３０７８）株式会社東芝 (54,554)
【出願人】（３０２０５２３０１）東芝ナノアナリシス株式会社 (7)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年８月７日（２００８．８．７）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年１月２４日（２００７．１．２４）
【出願人】（０００００３０７８）株式会社東芝 (54,554)
【出願人】（３０２０５２３０１）東芝ナノアナリシス株式会社 (7)
【Ｆターム（参考）】
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